JP2010212567A - レーザ発振装置とレーザ加工機 - Google Patents

Abstract

【課題】長期間に渡って安定したレーザ出力およびレーザ加工性能を維持できるレーザ発振装置およびレーザ加工機を提供することを目的とする。
【解決手段】電極６と、前記電極６へ接続した電源７と、前記電源７と前記電極６により形成される放電空間にレーザガス４を循環供給させる送風機１を備え、前記送風機１には、レーザガス４を移動させる回転体２１と、前記回転体２１を駆動する駆動部２２と、前記回転体２１と前記駆動部２２を連結する駆動軸２３と、前記駆動軸２３を貫通させるとともに前記回転体２１と前記駆動部２２を隔離する隔壁２５と、前記隔壁２５と前記駆動軸２３の間に配置した軸受け２６と、前記軸受け２６と前記回転体２１の間にシール材２７とを配置し、前記駆動軸２３と隔壁２５間の空間に圧力変動低減部２８を設けた。
【選択図】図３

Description

本発明はレーザ発振装置とレーザ加工機に関するものである。

近年、ガスレーザ発振装置ならびにガスレーザ加工機は、レーザビームの品質が良いことから、金属材料や樹脂、木材などの非金属材料にいたるまで、切断、溶接・溶着、スクライビングといった広範囲に渡る加工に応用されてきている。

特にガス溶断、プラズマ切断、金属バイトによる切断加工、型を用いた抜き加工などと比較し、ガスレーザ加工は高精度、高品質、金型不要など、多くの長所を備えており、幅広い業界に導入されつつある。

そのような中で、より幅広い産業分野への導入、多岐に渡る業種、材料へのガスレーザ加工の適用が渇望されている。

ガスレーザ加工は、ガス溶断、プラズマ切断などに関して品質、性能的には凌駕していたが、他の工法と比較し装置自身が高額であるという点が課題であった。ガスレーザ加工の普及のためには、ガスレーザ発振装置のイニシャル、ランニング双方の低コスト化が望まれていた。

このような従来のレーザ発振装置は、レーザガスを通過させるための配管の一部分を並列とする構成を有してはいたものの、その目的はレーザガス内部に存在する不純物を除去することであり、並列の配管それぞれに種類の異なるトラップが設けられていた（例えば特許文献１参照）。

図９は従来のガスレーザ発振装置を示す構成図で、この図に示したガスレーザ発振装置は、送風機１０１、熱交換器１０２ａ，１０２ｂ、配管１０３、配管１０３内部を循環するレーザガス１０４、放電管１０５、放電管１０５に設けた電極１０６、電極１０６に接続した電源１０７、部分透過鏡１０８、全反射鏡１０９、レーザガス１０４の供給器１１０、供給器１１０から配管１０３内へ流入するレーザガス１０４の調整装置１１１、レーザガス１０４の排出装置１１２、配管１０３内部の圧力検出装置１１３、制御部１１４を備えている。

図に示すとおり、送風機１０１から出てきたレーザガス１０４は、圧縮され高温となっているため、熱交換器１０２ａにより冷却される。熱交換器１０２ｂ通過後、レーザガス１０４は経路１０３で接続されている放電管１０５に流入する。放電管１０５には電極１０６を介して電源１０７が接続されており、電源１０７により放電管１０５内を通過するレーザガス１０４に高電圧が印加され放電が発生する。放電の電気エネルギーによりレーザガス１０４が励起され反転分布となり光を発し、部分透過鏡１０８と全反射鏡１０９の間を光が往復することによりレーザ発振状態となる。発生したレーザビームの一部は部分透過鏡１０８から外部へと取り出され、レーザ加工に用いられる。

放電管１０５で放電エネルギーにより高温となったレーザガス１０４は熱交換器１０２ｂにより冷却され、送風機１０１に戻る。レーザガス１０４は経路１０３内部を循環するうちに、放電エネルギーや電極１０６の磨耗粉などにより劣化する。そのためレーザガス１０４は、経路１０３からその一部が排出調整装置１１２によってレーザ発振装置外部へ取り出され廃棄される。また、後述するが、排出調整装置１１２を送風機１０１の駆動部側空間に接続し、経路１０３の圧力よりも送風機１０１の駆動部側空間の圧力を低くするとともに、廃棄されたレーザガス１０４と同量の新しいレーザガス１０４を供給器１１０から調整装置１１１を通して経路１０３内部へ供給し、経路１０３内部の圧力が一定となるように圧力検出装置１１３により、制御部１１４を介して調整装置１１１を制御している。

この従来のガスレーザ発振装置に用いる送風機１０１の詳細を図１０に示す。

図において、１２０は送風機１０１の外殻を形成するケーシング、１２１ａ，１２１ｂはケーシング内部に設けられている回転体、１２２は回転体１２１ａ，１２１ｂを回転させるための駆動部、１２３は回転体１２１ａ，１２１ｂに駆動部１２２の駆動力を伝達する駆動軸、１２４は回転体１２１ａ，１２１ｂ間で駆動力を伝達するためのギア、１２５は回転体１２１ａ，１２１ｂが収容されている空間と駆動部側が収容されている空間を隔離する隔壁、１２６は隔壁１２５に具備された軸受け、１２７は隔壁１２５に具備されたシール材を示している。

図１０において、駆動部１２２により駆動軸１２３を介して回転体１２１ａを回転させる。このとき回転体１２１ａに加わった力は、ギア１２４により回転体１２１ｂにも伝達され同様に回転する。このとき回転体１２１ａ，１２１ｂは断面がまゆ玉形状をしており、回転する角度によりケーシング１２０との間に空間が生ずる構成となっているため、回転体１２１ａ，１２１ｂが回転することにより、レーザガス１０４が送風機１０１に吸入、吐出される作用を有している。

ギア１２４や駆動軸１２３には、潤滑用のオイルを付与する構成とし、これらを回転の摩擦から保護している。しかし前記オイルがレーザガス１０４内に混入すると、レーザガス１０４の成分比率を変化させ放電悪化によるレーザ出力低下を引き起こすため、隔壁１２５を設け駆動部側と回転体側を隔離し、オイルの回転体１２１ａ，１２１ｂ側への流入を防止している。

実際には駆動軸１２３を回転させるため隔壁１２５に埋め込まれた軸受け１２６により保持される構成としており、微小な隙間が駆動軸１２３と隔壁１２５間に存在していたが、この微小隙間を塞ぐことを目的として、従来のガスレーザ発振装置では、例えば特許文献１に示すようなシール材１２７を隔壁１２５に具備し、シール材先端を駆動軸１２３に接触させ、前記微小隙間を塞ぐ構成としていた。

また、特許文献２に示すように、ラビリンスとチャンバー溝の関連形成と、ラビリンスとチャンバー溝と四弗化エチレン樹脂製シールの並列配置でオイルの回転体１２１ａ，１２１ｂ側への流入を防止するものもあった。

しかし、従来のレーザ発振装置では、送風機１０１の長期間運転時において、シール材１２７の磨耗、弾力性変動などの経時変化により、駆動軸１２３と隔壁１２５間の流路抵抗が安定せず微小隙間が発生して駆動部側空間の圧力が高くなり、駆動部側のオイルが回転体１２１ａ，１２１ｂ側に流入する場合が存在した。

この場合、オイルが回転体１２１ａ，１２１ｂ側に流入すると、レーザガス１０４の成分比率を変化させるため、放電の悪化によりレーザ出力が低下し、レーザ出力を安定して維持できないという課題を有していた。

隔壁１２５の駆動部側空間の圧力は、レーザガス１０４の送風機１０１への吸入圧、吐出圧のおおよそ平均された数値となる。そのため送風機１０１の吸入側で見た場合には駆動部側空間の圧力の方が高くなるため、シール材１２７が磨耗すると、オイルが回転体１２１ａ，１２１ｂ側に流入する場合が存在した。

この送風機１０１から吐出されるレーザガス１０４の圧力は一定ではなく、時間とともに変動する。これは回転体１２１ａ，ｂの断面がまゆ玉形状をしており、回転体１２１ａ，ｂが回転することにより、レーザガス１０４が送風機１０１に吸入、吐出されるという構造上の問題による。

図１１に示すように、まゆ玉形状の凹部とケーシング１２０間に生ずる空間にレーザガス１０４が滞留し、その状態のまま回転体１２１ａ，ｂが回転することで空間が送風機１０１の吸入側から吐出側へ移動し、最終的に経路１０３へ圧縮、排出されているため、レーザガス１０４は連続的には排出されていない。回転体１２１ａ，１２１ｂのまゆ玉形状の凹部の位置が経路１０３に来たときのみで排出し、それ以外の時間帯では排出していない構成となっている。
実開平３−２５２６４号公報 特開昭６２−３０３８７号公報

従来のレーザ発振装置では、上述したように送風機１０１から吐出されるレーザガス１０４の圧力は脈動を持つこととなっていた。送風機１０１内部において回転体１２１ａ，１２１ｂ、ケーシング１２０、隔壁１２５はそれぞれの間に微小な隙間が空いており、そのため前述のレーザガス１０４で発生した圧力脈動が、これら構成部品にも伝達されていた。圧力脈動が繰り返しシール材１２７に加わると、シール材１２７の弾力性が急速に失われ磨耗し、適切な駆動軸１２３と隔壁１２５間の流路抵抗を短時間で維持できなくなり、前記のようにオイルが回転体１２１ａ，１２１ｂ側に流入することとなっていた。

また従来のレーザ発振装置では、このような流入を防止するため、排出調整装置１１２を送風機１０１の駆動部側空間に接続し、常時一定量のレーザガス１０４を吸引して回転体１２１ａ，１２１ｂ側圧力よりも駆動部側圧力を低くする構成も取られていた。しかしシール材１２７の磨耗が大きくなり駆動軸１２３と隔壁１２５間の流路抵抗が漸次小さくなると、定常時の駆動部側空間吸引量では充分に圧力を低くすることができず、オイルの回転体１２１ａ，１２１ｂ側への流入が発生していた。

シール材１２７の磨耗が大きくなった場合でも駆動部側圧力を低くするためには吸引量を増大すればよいが、排出されたレーザガス１０４と同量を供給器１１０から供給しているため、この場合はレーザ発振装置のランニングコストの増大となるという問題が発生していた。

本発明は、このような点に鑑みてなされたものであり、安定したレーザ出力を低コストで長期間に渡って維持できるレーザ発振装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために本発明は、電極と、前記電極へ接続した電源と、前記電源と前記電極により形成される放電空間にレーザガスを循環供給させる送風機を備え、前記送風機には、レーザガスを移動させる回転体と、前記回転体を駆動する駆動部と、前記回転体と前記駆動部を連結する駆動軸と、前記駆動軸を貫通させるとともに前記回転体と前記駆動部を隔離する隔壁と、前記隔壁と前記駆動軸の間に配置した軸受けと、前記軸受けと前記回転体の間にシール材とを配置し、前記駆動軸と隔壁間の空間に圧力変動低減部を設けたものである。

そしてこの構成により、回転体部分で発生したレーザガスの圧力脈動がシール材に加わることを圧力変動低減部で軽減でき、シール材の弾力性を維持できるので、駆動軸と隔壁間の流路抵抗を維持でき、より安定したレーザ出力を長期間に渡って維持できるレーザ発振装置を実現することができる。

以上のように、本発明は、送風機内部の駆動軸と隔壁間の空間に圧力変動低減部を設けたので、回転体側で発生したレーザガスの圧力脈動が減衰され、シール材の劣化を抑制することが可能となる。このため駆動軸と隔壁間の流路抵抗を一定に維持することができ、駆動部側オイルの回転体側への流入を防止し、レーザ発振装置のレーザ出力を長期間に渡って安定して維持することができる。

（実施の形態１）
以下、本発明の実施の形態１のレーザ発振装置について、図１を用いて説明する。

図１は本発明の実施の形態１のレーザ発振装置を示しており、送風機１、熱交換器２ａ，２ｂ、レーザガスを循環させる経路３、経路３内部を循環するレーザガス４、放電管５、放電管５に設けられた電極６、電極６に接続された電源７、部分透過鏡８、全反射鏡９、レーザガス４の供給器１０、供給器１０から経路３内へ流入するレーザガス４の調整装置１１、レーザガス４の排出調整装置１２、経路３内部の圧力を検出する圧力検出装置１３、圧力検出装置１３からの信号を入力して調整装置１１を制御する制御部１４を備えている。

図に示すとおり、電源７と電極６により形成される放電空間にレーザガス４を循環供給させる送風機１から出てきたレーザガス４は、圧縮され高温となっているため、熱交換器２ａにより冷却される。熱交換器２ａ通過後、レーザガス４は経路３で接続されている放電管５に流入する。放電管５には電極６を介して電源７が接続されており、電源７により放電管５内を通過するレーザガス４に高電圧が印加され放電が発生する。放電の電気エネルギーによりレーザガス４が励起され反転分布となり光を発し、部分透過鏡８と全反射鏡９の間を光が往復することによりレーザ発振状態となる。発生したレーザビームの一部は部分透過鏡８から外部へと取り出され、レーザ加工に用いられる。

放電管５で放電エネルギーにより高温となったレーザガス４は熱交換器２ｂにより冷却され、送風機１に戻る。レーザガス４は経路３内部を循環するうちに、放電エネルギーや電極６の磨耗粉などにより劣化する。そのためレーザガス４は、その一部が排出調整装置１２によってレーザ発振装置外部へ取り出され廃棄される。廃棄されたレーザガス４と同量の新しいレーザガス４を供給器１０から調整装置１１を通して経路３内部へ供給し、経路３内部の圧力が一定となるように圧力検出装置１３により、制御部１４を介して調整装置１１を制御している。

このガスレーザ発振装置に用いる送風機１の詳細を図２に示す。

図に示すようにこのガスレーザ発振装置に用いる送風機１は、送風機１の外殻を形成するケーシング２０、ケーシング２０内部に設けられて回転することでレーザガス４を移動させる回転体２１ａ，２１ｂ、回転体２１ａ，２１ｂを回転駆動させるための駆動部２２、回転体２１ａ，２１ｂに駆動部２２の駆動力を伝達する駆動軸２３、回転体２１ａ，２１ｂ間で駆動力を伝達するためのギア２４、駆動軸２３を貫通させるとともに回転体２１ａ，２１ｂが収容されている空間と駆動部側が収容されている空間を隔離する隔壁２５、隔壁２５と駆動軸２３の間に配置した軸受け２６、軸受け２６よりも回転体２１ａ，２１ｂ側に配置したシール材２７を備えている。

図において、駆動部２２により駆動軸２３を介して回転体２１ａを回転させる。このとき回転体２１ａに加わった力は、ギア２４により回転体２１ｂにも伝達され同様に回転する。このとき回転体２１ａ，２１ｂは断面がまゆ玉形状をしており、回転する角度によりケーシング２０との間に空間が生ずる構成となっているため、回転体２１ａ，２１ｂが回転することにより、レーザガス４が送風機１に吸入、吐出される作用を有している。

ギア２４や駆動軸２３には、潤滑用のオイルを付与する構成とし、これらを回転の摩擦から保護している。しかし前記オイルがレーザガス４内に混入すると、レーザガス４の成分比率を変化させ放電悪化によるレーザ出力低下を引き起こすため、隔壁２５を設け駆動部側と回転体側を隔離し、オイルの回転体２１ａ，２１ｂ側への流入を防止している。

図３は送風機１の駆動軸２３周囲の詳細図で、駆動軸２３を回転させるため隔壁２５に埋め込まれた軸受け２６により保持される構成としており、微小な隙間が駆動軸２３と隔壁２５間に存在していたが、この微小隙間を塞ぐことを目的として、シール材２７を軸受け２６と回転体２１ａ、２１ｂの間に配置し、シール材２７の先端を駆動軸２３に接触させ、前記微小隙間を塞ぐ構成としている。

なお、本実施の形態の特徴は、駆動軸２３と隔壁２５間で、シール材２７と回転体２１の間の空間に、複数の微小空間で構成されて流路抵抗がその前後の空間よりも大きな圧力変動低減部２８を設けた点である。

従来のレーザ発振装置では、送風機１を長期間運転させると、回転体２１で発生する圧力脈動の影響により、シール材２７の弾力性低下、磨耗が発生し、駆動軸２３と隔壁２５間の流路抵抗が安定せず微小隙間が発生していた。

本実施の形態１では、駆動軸２３と隔壁２５間に圧力変動低減部２８を設けたため、送風機１が動作することで発生するガス圧脈動が減衰してシール材２７に加わる構成となる。そのためシール材２７に繰り返しガス圧脈動が加わることで発生していた弾力性の劣化を防止でき、シール材２７により駆動軸２３と隔壁２５間の流路抵抗を長期間に渡って一定に維持することが可能となる。

したがって、シール材２７の機能を維持することが可能となり、レーザガス４供給量の増加によるランニングコストの増大なしに、駆動部側オイルの回転体２１ａ，２１ｂ側への逆流を防止することが可能となり、レーザ発振装置のレーザ出力を長期間に渡って安定して維持することができる。

（実施の形態２）
以下、本発明の実施の形態２について、送風機１の駆動軸２３周囲の詳細図の図４を用いて説明する。

なお、実施の形態１と同様な構成については同じ符号を付し、その説明を省略する。

本実施の形態２の特徴とする点は、実施の形態１の圧力変動低減部２８として、メッシュ状フィルタ２９を用いたものである。

メッシュ状フィルタ２９は駆動軸２３と隔壁２５間の隙間を埋める構成となっている。メッシュ状フィルタ２９には細かい穴が多数開いて通気性は維持しているが、流路抵抗を持っている。そのため回転体２１側で発生した圧力脈動はメッシュ状フィルタ２９の流路抵抗により減衰されてシール材２７に伝達されることとなり、シール材２７の弾力性を維持することができるので、レーザガス４供給量の増加によるランニングコストの増大なしに、駆動部側オイルの回転体２１ａ，２１ｂ側への逆流を防止することが可能となり、レーザ発振装置のレーザ出力を長期間に渡って安定して維持することができるとともに、さらに、メッシュ状フィルタ２９は柔らかく弾力性がある材質とすることで、駆動軸２３と接触しても回転に影響を与えずにすむことができる。

（実施の形態３）
以下、本発明の実施の形態３について、送風機１の駆動軸２３周囲の詳細図の図５を用いて説明する。

なお、実施の形態１、２と同様な構成については同じ符号を付し、その説明を省略する。

本実施の形態３の特徴とする点は、実施の形態２のメッシュ状フィルタ２９の材料として線状ステンレス３０を用いたものである。ステンレスは化学的に安定しており、自身が錆びなどを発生しにくく、また駆動軸２３と隔壁２５などの周辺材料や、レーザガス４などへの影響もほとんどないため、レーザ発振装置としての性能を安定して維持することができる。

したがって、メッシュ状フィルタとして線状ステンレス３０を駆動軸２３と隔壁２５間の隙間に埋め込むことで、上述した実施の形態２の効果に加えて、周辺材料や、レーザガス４などへの影響もほとんどなく、レーザ発振装置のレーザ出力を長期間に渡って安定して維持することができる。

（実施の形態４）
以下、本発明の実施の形態４について、送風機１の駆動軸２３周囲の詳細図の図６を用いて説明する。

なお、実施の形態１から３と同様な構成については同じ符号を付し、その説明を省略する。

本実施の形態４の特徴とする点は、実施の形態１の圧力変動低減部２８として、隔壁２５に設けられた凹凸状の溝３１を設けたことである。

回転体２１側で発生した圧力脈動の一部が、駆動軸２３と隔壁２５間の隙間に伝達される。このとき、溝３１の凸部と駆動軸２３の隙間は狭く、溝３１の凹部と駆動軸２３の隙間は広くなるような構成としておく。この場合、溝３１凸部の狭い部分から伝達された圧力脈動は、次の溝３１凹部の広くなる部分において圧力が拡散される。拡散、減衰された圧力脈動の一部が、次の溝３１凸部の狭い部分に伝達され、次の溝３１凹部において、さらに圧力が拡散、減衰されていく。このようにして回転体２１側で発生した圧力脈動は、凹凸状の溝３１により減衰されてシール材２７に伝達されることとなり、そのためシール材２７に繰り返しガス圧脈動が加わることで発生していた弾力性の劣化を防止でき、シール材２７により駆動軸２３と隔壁２５間の流路抵抗を長期間に渡って一定に維持することが可能となる。

したがって、シール材２７の機能を維持することが可能となり、レーザガス４供給量の増加によるランニングコストの増大なしに、駆動部側オイルの回転体２１ａ，２１ｂ側への逆流を防止することが可能となり、レーザ発振装置のレーザ出力を長期間に渡って安定して維持することができる。

（実施の形態５）
以下、本発明の実施の形態５について、送風機１の駆動軸２３周囲の詳細図の図７を用いて説明する。

なお、実施の形態１から４と同様な構成については同じ符号を付し、その説明を省略する。

本実施の形態５の特徴とする点は、実施の形態４の溝３１として、良振動性のベローズ３２を用いたことである。ベローズ３２の表面に凹凸状の溝がついているため、この構成だけでも圧力脈動を減衰させることができるが、ベローズ３２自体も駆動軸２３の回転軸に対して直角方向に振動可能なため、回転体２１からシール材２７に向かって伝わる圧力脈動を、さらにベローズ３２が吸収、低減することができ、そのためシール材２７に繰り返しガス圧脈動が加わることで発生していた弾力性の劣化を防止でき、シール材２７により駆動軸２３と隔壁２５間の流路抵抗を長期間に渡って一定に維持することが可能となる。

したがって、シール材２７の機能を維持することが可能となり、レーザガス４供給量の増加によるランニングコストの増大なしに、駆動部側オイルの回転体２１ａ，２１ｂ側への逆流を防止することが可能となり、レーザ発振装置のレーザ出力を長期間に渡って安定して維持することができる。

（実施の形態６）
図８には、本実施の形態のレーザ加工機を示しており、このレーザ加工機は、上記実施の形態１から５の何れかのガスレーザ発振装置５０、全反射鏡５１、集光手段５２、被加工物５３、レーザビーム５４を備えている。

レーザ発振装置５０から出たレーザビーム５４は全反射鏡５１により集光手段５２に導かれる。集光手段５２により集光されたレーザビームは被加工物５３に照射され、切断、溶接などが行われる。

本発明によれば、送風機内部の駆動軸と隔壁間に具備されたシール材の機能を長期間維持でき、流路抵抗を一定とすることが可能となるため長期間に渡って安定して品質を維持することができるレーザ発振装置およびレーザ加工機として有用である。

本発明の実施の形態１におけるレーザ発振装置の構成図 本発明の実施の形態１における送風機１の詳細図 本発明の実施の形態１における送風機１の駆動軸２３周囲の詳細図 本発明の実施の形態２における送風機１の駆動軸２３周囲の詳細図 本発明の実施の形態３における送風機１の駆動軸２３周囲の詳細図 本発明の実施の形態４における送風機１の駆動軸２３周囲の詳細図 本発明の実施の形態５における送風機１の駆動軸２３周囲の詳細図 本発明の実施の形態６におけるレーザ加工機の詳細図 従来のレーザ発振装置の構成図 従来のレーザ発振装置における送風機１０１の詳細図 従来のレーザ発振装置における送風機１０１の断面図

１ 送風機
２ 熱交換器
３ 経路
４ レーザガス
５ 放電管
６ 電極
７ 電源
８ 部分透過鏡
９ 全反射鏡
１０ 供給器
１１ 調整装置
１２ 排出調整装置
１３ 圧力検出装置
１４ 制御部
２０ ケーシング
２１ 回転体
２２ 駆動部
２３ 駆動軸
２４ ギア
２５ 隔壁
２６ 軸受け
２７ シール材
２８ 圧力変動低減部
２９ メッシュ状フィルタ
３０ 線状ステンレス
３１ 溝
３２ ベローズ
５０ レーザ発振装置
５１ 全反射鏡
５２ 集光手段
５３ 被加工物
５４ レーザビーム

Claims (6)

1. 電極と、前記電極へ接続した電源と、前記電源と前記電極により形成される放電空間にレーザガスを循環供給させる送風機を備え、前記送風機には、レーザガスを移動させる回転体と、前記回転体を駆動する駆動部と、前記回転体と前記駆動部を連結する駆動軸と、前記駆動軸を貫通させるとともに前記回転体と前記駆動部を隔離する隔壁と、前記隔壁と前記駆動軸の間に配置した軸受けと、前記軸受けと前記回転体の間にシール材とを配置し、前記駆動軸と隔壁間の空間に圧力変動低減部を設けたレーザ発振装置。
2. 前記圧力変動低減部として、メッシュ状フィルタを設けた請求項１記載のレーザ発振装置。
3. 前記メッシュ状フィルタの材質として、線状ステンレスを用いた請求項２記載のレーザ発振装置。
4. 前記圧力変動低減部として、前記隔壁側に一つ以上の凹凸状の溝を設けた請求項１記載のレーザ発振装置。
5. 前記隔壁側に設けた一つ以上の凹凸状の溝を、良振動性のベローズとした請求項４記載のレーザ発振装置。
6. 加工物を乗せる加工テーブルと、前記加工テーブルの移動とレーザ光の集光手段のうち少なくとも一方を移動する駆動手段と、前記駆動手段を制御する数値制御手段と、レーザ光を発生する請求項１から５のいずれかに記載のガスレーザ発振装置とを備えたレーザ加工機。

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