JP2010203974A - Method of evaluating durability - Google Patents

Method of evaluating durability Download PDF

Info

Publication number
JP2010203974A
JP2010203974A JP2009051113A JP2009051113A JP2010203974A JP 2010203974 A JP2010203974 A JP 2010203974A JP 2009051113 A JP2009051113 A JP 2009051113A JP 2009051113 A JP2009051113 A JP 2009051113A JP 2010203974 A JP2010203974 A JP 2010203974A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
storage medium
particles
durability
suspension
magnetic disk
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2009051113A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP5184404B2 (en
Inventor
Eishin Yamakawa
栄進 山川
Makoto Okada
誠 岡田
Yoshihiro Mitobe
善弘 水戸部
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Resonac Holdings Corp
Original Assignee
Showa Denko KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Showa Denko KK filed Critical Showa Denko KK
Priority to JP2009051113A priority Critical patent/JP5184404B2/en
Publication of JP2010203974A publication Critical patent/JP2010203974A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5184404B2 publication Critical patent/JP5184404B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of evaluating durability for stably evaluating durability for damage caused by particles. <P>SOLUTION: First, a suspension 100 in which particles 110 are dispersed to a fluorine-based solvent 120 is dripped on the surface of a disk by a dripping/drying treatment of the suspension (step S102). Then, the suspension 100 is dried naturally and particles adhere to the surface of a disk. Further, seek operation is performed to the surface of a disk to which particles have adhered by a head slider 520 for evaluation by seek processing (step S104). The durability of a magnetic disk is evaluated, based on a criterion on whether there are not less than a number of permitted scratches on the surface of a disk after the seek operation in a scratch observation/evaluation processing (step S105). <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本件は、磁気ディスク等の記憶媒体について、表面に付着したパーティクルに起因する傷付きに対する耐久性を評価する耐久性評価方法に関する。   The present invention relates to a durability evaluation method for evaluating the durability against scratches caused by particles adhering to the surface of a storage medium such as a magnetic disk.

従来、磁気ディスク等の記憶媒体に対する耐久性評価としては、例えば、ハードディスク装置(HDD)でのヘッドによる規格回数分のアクセス動作に、記憶媒体が傷付くことなく耐えられるか否かを評価する信頼性評価が挙げられる。この信頼性評価では、コンタクトスタートストップ(CSS)方式でのアクセス動作に対する信頼性評価や、ロード/アンロード(L/UL)方式でのアクセス動作に対する信頼性評価が行なわれる。また、記憶媒体に対する耐久性評価としては、次のような摺動評価も挙げられる。この摺動評価では、ヘッドが搭載されるスライダの構成材料として使われることが多いAl−TiCで形成された摺動ピンや実際のヘッドスライダそのものでの規格時間に亘る摺動に記憶媒体が傷付くことなく耐えられるか否かが評価される。これらの耐久性評価では、ヘッドが記憶媒体に繰返し接触した場合や、ヘッドが記憶媒体に接触し続けた場合に、記憶媒体が許容以上に傷付くか否か等が評価される。   Conventionally, as a durability evaluation for a storage medium such as a magnetic disk, for example, a reliability of evaluating whether or not the storage medium can withstand a standard number of access operations by a head in a hard disk device (HDD) without being damaged. Sexual evaluation is mentioned. In this reliability evaluation, a reliability evaluation for an access operation using a contact start / stop (CSS) method and a reliability evaluation for an access operation using a load / unload (L / UL) method are performed. Further, as the durability evaluation for the storage medium, the following sliding evaluation can be given. In this sliding evaluation, the storage medium is damaged by sliding over a specified time with a sliding pin made of Al-TiC, which is often used as a constituent material of the slider on which the head is mounted, or with the actual head slider itself. It is evaluated whether it can endure without sticking. In these durability evaluations, it is evaluated whether the storage medium is damaged more than allowable when the head repeatedly contacts the storage medium or when the head continues to contact the storage medium.

ここで、HDD等の実際の装置では、このような接触の他にも、装置内に存在する粉塵等に起因して記憶媒体が傷付いてしまうことがある。そこで、このような粉塵等を模擬した固体粒であるパーティクルを分散した雰囲気中で、記憶媒体に対するアクセス動作を行なって記憶媒体が傷付くか否かを評価する方法が提案されている(例えば、特許文献1および特許文献2参照。)。   Here, in an actual apparatus such as an HDD, in addition to such contact, the storage medium may be damaged due to dust or the like existing in the apparatus. Therefore, a method for evaluating whether or not the storage medium is damaged by performing an access operation to the storage medium in an atmosphere in which particles that are solid particles simulating such dusts are dispersed has been proposed (for example, (See Patent Document 1 and Patent Document 2.)

特開平2−181630号公報JP-A-2-181630 特開平7−120377号公報JP-A-7-120377

しかしながら、パーティクル雰囲気中でのアクセス動作による耐久性評価では、記憶媒体に対するパーティクルの付着密度や付着位置が、評価の度に変わってしまうおそれがある。また、このような耐久性評価が繰り返し実行されると、ある記憶媒体が傷付いたときに生じた微小な破片が、新たなパーティクルとして雰囲気に追加されるという現象が起きることがある。その結果、後で実行される耐久性評価ほど、記憶媒体に対する負荷が大きくなるという問題が生じてしまう。   However, in the durability evaluation by the access operation in the particle atmosphere, there is a possibility that the adhesion density and the adhesion position of the particles with respect to the storage medium change depending on the evaluation. Further, when such durability evaluation is repeatedly performed, a phenomenon may occur in which minute fragments generated when a certain storage medium is damaged are added to the atmosphere as new particles. As a result, there arises a problem that the load on the storage medium increases as the durability evaluation executed later.

本件は上記問題点を解決し、パーティクルに起因した傷付きに対する耐久性を安定して評価することができる耐久性評価方法を提供することを目的とするものである。   The object of the present invention is to solve the above-mentioned problems and to provide a durability evaluation method capable of stably evaluating the durability against scratches caused by particles.

上記目的を達成する耐久性評価方法の基本形態は、以下に説明する粒付着過程と動作過程と評価過程とを有する形態となっている。   The basic form of the durability evaluation method for achieving the above object is a form having a grain adhesion process, an operation process, and an evaluation process described below.

粒付着過程は、使用時に表面に物体が近接あるいは接触しその表面に沿って相対的に移動する、情報を記憶する記憶媒体のその表面上に、次のように粒を付着させる過程である。この粒付着過程は、上記表面上に、複数の粒が被分散液中に分散されてなる懸濁液を滴下し、その滴下された懸濁液の被分散液を揮発させることで、上記粒を上記記憶媒体の表面上に付着させる過程となっている。   The particle adhesion process is a process in which particles are adhered on the surface of a storage medium for storing information in which an object approaches or contacts the surface and moves relatively along the surface when used. This particle adhesion process is carried out by dropping a suspension obtained by dispersing a plurality of particles in a dispersion liquid on the surface and volatilizing the dispersion liquid of the dropped suspension. Is attached to the surface of the storage medium.

動作過程は、上記粒付着過程によって上記粒が表面に付着された記憶媒体のその表面に対して、以下の処理を実行する過程である。即ち、この動作過程は、その表面に、上記物体を模した試験物を近接あるいは接触させ、その試験物をその表面に対して相対的にその表面に沿って移動させることでその粒の付着箇所を横断させる過程となっている。   The operation process is a process in which the following processing is performed on the surface of the storage medium in which the grains are adhered to the surface by the grain adhesion process. That is, in this operation process, a test specimen simulating the above object is brought close to or in contact with the surface, and the test specimen is moved along the surface relative to the surface to thereby attach the grains. It is a process of crossing.

評価過程は、上記動作過程を経た記憶媒体の表面における傷の数に基づいてその記憶媒体の耐久性を評価する過程である。   The evaluation process is a process of evaluating the durability of the storage medium based on the number of scratches on the surface of the storage medium that has undergone the above operation process.

本件の耐久性評価方法によれば、パーティクルに起因した傷付きに対する耐久性を安定して評価することができる。   According to the durability evaluation method of the present case, it is possible to stably evaluate the durability against damage caused by particles.

図1は、基本形態について説明した耐久性評価方法の具体的な実施形態を示す工程図である。FIG. 1 is a process diagram showing a specific embodiment of the durability evaluation method described for the basic form. 複数のサンプルの磁気ディスクについて高輝度顕微鏡で確認されたパーティクル付着状態のうちの1つを示す写真である。It is a photograph which shows one of the particle adhesion states confirmed with the high-intensity microscope about the magnetic disk of the some sample. 十分な耐久性を有していると評価されたロットに属するサンプルの磁気ディスクのうちの1つについてシーク後の表面を示す写真である。It is the photograph which shows the surface after a seek about one of the magnetic disks of the sample which belongs to the lot evaluated as having sufficient durability. 耐久性が不十分であると評価されたロットに属するサンプルの磁気ディスクのうちの1つについてシーク後の表面を示す写真である。It is a photograph which shows the surface after a seek about one of the magnetic disks of the sample which belongs to the lot evaluated as insufficient durability.

以下、上記に基本形態について説明した耐久性評価方法の具体的な実施形態について、図面を参照して説明する。   Hereinafter, specific embodiments of the durability evaluation method described above for the basic mode will be described with reference to the drawings.

図1は、基本形態について説明した耐久性評価方法の具体的な実施形態である耐久性評価処理を示す工程図である。   FIG. 1 is a process diagram showing a durability evaluation process which is a specific embodiment of the durability evaluation method described for the basic mode.

この具体的な実施形態の耐久性評価処理は、ロット単位で量産される磁気ディスクの中からロット毎に抜き取られたサンプルの磁気ディスクに対して実行される。これにより、各ロットの磁気ディスクを評価対象とした耐久性評価が行われる。   The durability evaluation process of this specific embodiment is executed on a sample magnetic disk extracted for each lot from among the magnetic disks mass-produced in lot units. As a result, durability evaluation for the magnetic disks of each lot is performed.

また、本実施形態と異なり、このようなサンプルの抜き取りと耐久性評価処理は、新規に設計された磁気ディスクの量産が開始されたときや、製造条件が変更されたとき等といったタイミングで実行されても良い。   Also, unlike the present embodiment, such sample extraction and durability evaluation processing are executed at a timing such as when mass production of a newly designed magnetic disk is started or when manufacturing conditions are changed. May be.

この図1の工程図が示す耐久性評価処理は、概略、次のような処理となっている。即ち、この耐久性評価処理では、評価対象の磁気ディスクが搭載されるHDD等の装置で使われるヘッドと同等な評価用ヘッドによる、パーティクル付着済みのサンプルの磁気ディスク上でのシーク動作が行なわれる。そして、そのシーク動作によってサンプルの磁気ディスクの表面に許容以上に多数の傷が付いたか否かを判定することで耐久性が評価される。   The durability evaluation process shown in the process diagram of FIG. 1 is roughly the following process. That is, in this durability evaluation process, a seek operation on the magnetic disk of the sample with particles attached is performed by an evaluation head equivalent to a head used in an apparatus such as an HDD on which the magnetic disk to be evaluated is mounted. . Then, the durability is evaluated by determining whether or not the surface of the sample magnetic disk is damaged by the seek operation.

この耐久性評価処理では、まず、複数のパーティクル110をフッ素系溶剤120中に分散させて懸濁液100を作成する(ステップS101)。   In this durability evaluation process, first, a plurality of particles 110 are dispersed in the fluorinated solvent 120 to create a suspension 100 (step S101).

本実施形態では、後述するように、サンプルの磁気ディスクの表面への懸濁液100の滴下と乾燥によって、その磁気ディスクの表面上にパーティクル110が付けられる。   In the present embodiment, as will be described later, particles 110 are attached to the surface of the magnetic disk by dropping and drying the suspension 100 on the surface of the sample magnetic disk.

このステップS101の処理では、懸濁液100の材料として、アルミナあるいはカーボンのパーティクル100が使われる。特に、アルミナのパーティクルは、一般的な研磨剤として利用されており入手性が良いことから好ましい。さらに、本実施形態では、このパーティクル100として、平均粒径が3μm以下のものが使われる。粒径が3μmを超えるパーティクルは、上記のシーク動作の際に評価用ヘッドに弾かれるおそれがあるためである。   In the processing of step S101, alumina or carbon particles 100 are used as the material of the suspension 100. In particular, alumina particles are preferred because they are used as general abrasives and are readily available. Further, in the present embodiment, the particles 100 having an average particle size of 3 μm or less are used. This is because particles having a particle size exceeding 3 μm may be repelled by the evaluation head during the seek operation.

また、上記のステップS101の処理では、懸濁液100の材料として、表面張力が20mN/m以下で、蒸発熱が100KJ/Kg以下のフッ素系溶剤120が使われる。表面張力がこの範囲のものが使われる理由は、表面張力が20mN/mを超えると、サンプルの磁気ディスクの表面上に滴下された懸濁液100が乾燥されたときに、その表面上に乾燥シミが残るおそれがあるためである。また、蒸発熱が上記の範囲のものが使われる理由は、蒸発熱が100KJ/Kgを超えると、上記の乾燥時に結露が生じるおそれがあるためである。   In the process of step S101, a fluorine-based solvent 120 having a surface tension of 20 mN / m or less and a heat of evaporation of 100 KJ / Kg or less is used as the material of the suspension 100. The reason why the surface tension in this range is used is that when the surface tension exceeds 20 mN / m, when the suspension 100 dropped on the surface of the sample magnetic disk is dried, the surface is dried on the surface. This is because spots may remain. The reason why the heat of evaporation is in the above range is that if the heat of evaporation exceeds 100 KJ / Kg, condensation may occur during the drying.

ここで、この耐久性評価処理の評価対象の磁気ディスク、即ち、上記のサンプルの磁気ディスク200が属するロットで量産される磁気ディスクは、HDD搭載用の一般的な磁気ディスクと同様に、表面に潤滑剤が塗布されたものである。フッ素系溶剤の中には、このような潤滑剤を溶融してしまうものがある。そこで、上記のステップS101の処理では、懸濁液100の材料として、フッ素系溶剤の中でも、特に、サンプルの磁気ディスク200の潤滑剤を溶融しないものが使われる。   Here, the magnetic disk to be evaluated in the durability evaluation process, that is, the magnetic disk mass-produced in the lot to which the sample magnetic disk 200 belongs, is on the surface in the same manner as a general magnetic disk for HDD mounting. A lubricant is applied. Some fluorinated solvents will melt such lubricants. Therefore, in the process of step S101 described above, as the material of the suspension 100, a fluorine-based solvent that does not melt the lubricant of the sample magnetic disk 200 is used.

以上のような条件を満足するフッ素系溶剤の一例として、パーフルオロカーボン(PFC)等が挙げられる。   An example of a fluorine-based solvent that satisfies the above conditions is perfluorocarbon (PFC).

そして、このステップS101の処理では、複数のパーティクル110が、フッ素系溶剤120に、0.002〜0.01wt%の範囲内の濃度で混入され攪拌されることで懸濁液100が作成される。この濃度範囲に対応した懸濁液100によれば、上記のシーク動作で傷が発生したときに、その傷を観察しやすいためである。   In the process of step S101, a plurality of particles 110 are mixed in the fluorinated solvent 120 at a concentration in the range of 0.002 to 0.01 wt% and stirred to create the suspension 100. . This is because according to the suspension 100 corresponding to this concentration range, when a scratch is generated by the above-described seek operation, the scratch is easily observed.

このステップS101の処理に続いて、サンプルの磁気ディスク200の表面への懸濁液100の滴下と乾燥が行われる(ステップS102)。   Subsequent to the processing in step S101, the suspension 100 is dropped onto the surface of the magnetic disk 200 and dried (step S102).

このステップS102の処理では、始めに、マイクロピペット300を使った懸濁液100の滴下が行われる。   In the process of step S102, first, the suspension 100 is dropped using the micropipette 300.

この滴下では、まず、上記のように作成された懸濁液100の一部がマイクロピペット300で吸引される。本実施形態では、この吸引は、上記のステップS101の処理における攪拌の直後で、フッ素系溶剤120中にパーティクル110が均一に分散している状態のときに行われる。そして、この吸引に続いて、マイクロピペット300から、サンプルの磁気ディスク200の表面に、1〜5μLの滴下量で懸濁液100が滴下される。この滴下量は、滴下後に表面上に広がる懸濁液100の径(滴下径)が3〜10mmとなる量である。また、本実施形態では、サンプルの磁気ディスク200の表面上での滴下位置としては、ディスク中央に空いたディスク固定用の穴の縁から外周までの間のセンタ付近が採用される。本実施形態におけるこのような滴下量、滴下径、滴下位置は、いずれも、上記のシーク動作で発生する傷を観察しやすい値となっている。   In this dripping, first, a part of the suspension 100 prepared as described above is sucked by the micropipette 300. In the present embodiment, this suction is performed immediately after the stirring in the process of step S101 and when the particles 110 are uniformly dispersed in the fluorinated solvent 120. Following this suction, the suspension 100 is dropped from the micropipette 300 onto the surface of the sample magnetic disk 200 in a drop amount of 1 to 5 μL. This dropping amount is such that the diameter (dropping diameter) of the suspension 100 spreading on the surface after dropping is 3 to 10 mm. In the present embodiment, as the dropping position of the sample on the surface of the magnetic disk 200, the vicinity of the center between the edge of the disk fixing hole vacated in the center of the disk and the outer periphery is adopted. In this embodiment, all of the dropping amount, the dropping diameter, and the dropping position are values that make it easy to observe the scratches generated by the seek operation.

ステップS102の処理では、上記の滴下に続いて、その滴下された懸濁液100の乾燥が行われる。本実施形態では、この乾燥が、懸濁液100滴下後のサンプルの磁気ディスク200に対する1〜5minの間の自然乾燥によって行われる。このような自然乾燥によって、懸濁液100のフッ素系溶剤120が揮発し、サンプルの磁気ディスク200の表面にパーティクル100が残されることとなる。   In the process of step S102, following the dropping, the dropped suspension 100 is dried. In this embodiment, this drying is performed by natural drying for 1 to 5 minutes with respect to the magnetic disk 200 of the sample after the suspension 100 is dropped. By such natural drying, the fluorinated solvent 120 of the suspension 100 is volatilized, and the particles 100 are left on the surface of the sample magnetic disk 200.

以上に説明したステップS101からステップS102までの処理が、上述の基本形態における粒付着過程の一例に相当する。また、サンプルの磁気ディスク200が、この基本形態における記憶媒体の一例に相当する。また、図1の懸濁液100が、この基本形態における懸濁液の一例に相当する。また、図1のパーティクル110が、この基本形態における粒の一例に相当する。また、図1のフッ素系溶剤120が、この基本形態における被分散液の一例に相当する。   The processing from step S101 to step S102 described above corresponds to an example of the particle adhesion process in the basic form described above. The sample magnetic disk 200 corresponds to an example of a storage medium in this basic form. Further, the suspension 100 in FIG. 1 corresponds to an example of the suspension in this basic form. Further, the particle 110 in FIG. 1 corresponds to an example of a particle in this basic form. 1 corresponds to an example of the liquid to be dispersed in this basic form.

ここで、本実施形態では、図1のステップS101の処理で、上述したように上記の懸濁液100の材料として20mN/m以下の表面張力を有するフッ素系溶剤120が使われている。この表面張力は、73mN/mという水の表面張力よりも低い。水は、このような高い表面張力に起因して乾燥時に乾燥シミを残してしまうことが知られている。本実施形態では、このような水の表面張力よりも低い表面張力を有するフッ素系溶剤120を用いることで乾燥シミの発生が回避されている。   Here, in the present embodiment, as described above, the fluorine-based solvent 120 having a surface tension of 20 mN / m or less is used as the material of the suspension 100 in the process of step S101 in FIG. This surface tension is lower than the surface tension of water of 73 mN / m. It is known that water leaves dry spots due to such high surface tension during drying. In this embodiment, generation of dry spots is avoided by using the fluorinated solvent 120 having a surface tension lower than that of water.

このことは、上述の基本形態に対し、上記被分散液が、水の表面張力よりも低い表面張力を有するものであるという応用形態が好適であることを意味している。   This means that an application mode in which the liquid to be dispersed has a surface tension lower than that of water is preferable to the basic mode described above.

図1のフッ素系溶剤120は、この応用形態における被分散液の一例にも相当している。   The fluorinated solvent 120 in FIG. 1 also corresponds to an example of a dispersion liquid in this application mode.

また、本実施形態では、上記のフッ素系溶剤120として、上述したようにサンプルの磁気ディスク200の潤滑剤を溶融しないものが使われる。これにより、上記のように滴下された懸濁液100中に潤滑剤が溶け出してしまうことが回避されている。   In the present embodiment, as the above-described fluorine-based solvent 120, a solvent that does not melt the lubricant of the sample magnetic disk 200 is used as described above. Thereby, it is avoided that the lubricant is dissolved into the suspension 100 dropped as described above.

このことは、上述の基本形態に対し、以下に説明する応用形態が好適であることを意味している。この応用形態では、上記記憶媒体が、表面に潤滑剤が塗布されているものとなっている。さらに、上記被分散液は、その被分散液に対して上記潤滑剤が非溶融性を有するものとなっている。   This means that the application modes described below are preferable to the basic mode described above. In this application mode, the storage medium has a surface coated with a lubricant. Further, in the dispersion liquid, the lubricant has non-melting property with respect to the dispersion liquid.

図1のフッ素系溶剤120は、この応用形態における被分散液の一例にも相当している。   The fluorinated solvent 120 in FIG. 1 also corresponds to an example of a dispersion liquid in this application mode.

ここまでに説明した処理に続いて、図1の耐久性評価処理では、サンプルの磁気ディスク200の表面上にパーティクル110が所望の付着状態で付着したことが付着箇所の観察により確認される(ステップS103)。   Subsequent to the processing described so far, in the durability evaluation processing of FIG. 1, it is confirmed by observing the adhesion location that the particles 110 are adhered in the desired adhesion state on the surface of the sample magnetic disk 200 (step). S103).

本実施形態では、付着箇所の観察が、図1に模式的に示す高輝度顕微鏡400を使って行われる。この高輝度顕微鏡400は、観察対象物が載置されるステージ410と、観察視野を照らす高輝度の光源420と、観察視野を撮影するカメラ430と、撮影された画像を表示するモニタ440とを備えている。   In this embodiment, observation of an adhesion location is performed using the high-intensity microscope 400 typically shown in FIG. The high-intensity microscope 400 includes a stage 410 on which an observation object is placed, a high-intensity light source 420 that illuminates the observation field, a camera 430 that captures the observation field, and a monitor 440 that displays the captured image. I have.

ステップS103の処理では、パーティクル110が付着したサンプルの磁気ディスク200がステージ410に載置される。そして、パーティクル110が付着した箇所が視野に捉えられるように、カメラ430の位置および向きが調整される。そして、そのカメラ430で撮影されたその箇所の画像が、所望の倍率で拡大されてモニタ440に表示される。   In the process of step S <b> 103, the sample magnetic disk 200 to which the particles 110 are attached is placed on the stage 410. Then, the position and orientation of the camera 430 are adjusted so that the spot where the particles 110 are attached is captured in the field of view. Then, the image of the part taken by the camera 430 is enlarged at a desired magnification and displayed on the monitor 440.

そして、このステップS103の処理では、パーティクル110が付着した箇所におけるそのパーティクル110の付着位置や付着密度や付着量等の付着状態が、次のような所望の付着状態となっているか否かが目視により判断される。即ち、パーティクル110が、上述の滴下径の範囲内に、ほぼ均一な付着密度および十分な付着量で付着しているか否かが判断される。パーティクル110の付着状態がこのような付着状態になっていないと判断された場合には、その付着されたパーティクル110が除去され、上記のステップS101からステップS102までの処理が再度行われる。本実施形態では、これらの処理が、このステップS103で、パーティクル110が所望の付着状態で付着したことが確認されるまで繰り返される。   In the process of step S103, it is visually checked whether or not the adhesion state such as the adhesion position, the adhesion density, and the adhesion amount of the particle 110 at the location where the particle 110 is adhered is the following desired adhesion state. It is judged by. That is, it is determined whether or not the particles 110 are adhered with a substantially uniform adhesion density and a sufficient adhesion amount within the above-described drop diameter range. When it is determined that the adhesion state of the particles 110 is not such an adhesion state, the adhered particles 110 are removed, and the processing from step S101 to step S102 is performed again. In the present embodiment, these processes are repeated until it is confirmed in step S103 that the particles 110 are attached in a desired attachment state.

本実施形態では、上記のようなパーティクル110の付着状態を、懸濁液100の濃度や、攪拌からマイクロピペット300での吸引までの時間間隔や、懸濁液100の滴下位置等によって容易にコントロールすることができる。そして、本実施形態では、このようなパーティクル110の付着状態についてのコントロールと上記の確認とにより所望の付着状態を確実に作り出すことができる。   In the present embodiment, the adhesion state of the particles 110 as described above is easily controlled by the concentration of the suspension 100, the time interval from stirring to suction with the micropipette 300, the dropping position of the suspension 100, and the like. can do. In the present embodiment, a desired adhesion state can be reliably generated by such control of the adhesion state of the particles 110 and the above confirmation.

このことは、上記の基本形態に対し、以下に説明する応用形態が好適であることを意味している。   This means that the application modes described below are preferable to the basic mode described above.

この応用形態は、上記粒付着過程を経た上記記憶媒体の表面上での上記粒の付着状態が、所定条件を満たしているか否かを判定する付着判定過程を有している。そして、この応用形態では、上記粒付着過程は、上記付着判定過程で上記付着状態が上記所定条件を満たしていると判定されるまでやり直される過程となっている。   This application mode includes an adhesion determination process for determining whether or not the adhesion state of the grains on the surface of the storage medium that has undergone the grain adhesion process satisfies a predetermined condition. In this application mode, the particle adhesion process is a process that is repeated until the adhesion determination process determines that the adhesion state satisfies the predetermined condition.

本実施形態におけるステップS103の処理が、この応用形態における付着判定過程の一例に相当する。また、本実施形態におけるステップS101からステップS102までの処理は、この応用形態における粒付着過程の一例にも相当している。   The process of step S103 in this embodiment corresponds to an example of an adhesion determination process in this applied mode. Further, the processing from step S101 to step S102 in the present embodiment also corresponds to an example of a particle adhesion process in this applied mode.

図1の耐久性評価処理では、ステップS103の処理で、パーティクル110が所望の付着状態で付着したことが確認されるとステップS104の処理に進む。   In the durability evaluation process of FIG. 1, when it is confirmed in the process of step S103 that the particles 110 have adhered in a desired adhesion state, the process proceeds to step S104.

このステップS104の処理では、パーティクル110の付着状態が確認されたサンプルの磁気ディスク200に対するシーク動作が行なわれる。本実施形態では、このシーク動作が、図1に模式的に示すテスタ500を使って行われる。   In the process of step S104, a seek operation is performed on the sample magnetic disk 200 for which the adhesion state of the particles 110 has been confirmed. In the present embodiment, this seek operation is performed using a tester 500 schematically shown in FIG.

このステップS104の処理が、上述の基本形態における動作過程の一例に相当する。   The processing in step S104 corresponds to an example of the operation process in the basic mode described above.

このテスタ500は、回転軸511を中心に磁気ディスクを回転駆動するスピンスタンド510と、先端に評価用ヘッドスライダ520を搭載したアーム530と、そのアーム530を動かして評価用ヘッドスライダ520にシーク動作をさせるキャリッジ540とを備えている。ここで、評価用ヘッドスライダ520は、上述したように、量産される評価対象の磁気ディスクが搭載される、例えばHDD等といった装置で使われるヘッドスライダと同等なものである。   The tester 500 includes a spin stand 510 that rotates and drives a magnetic disk around a rotation shaft 511, an arm 530 that has an evaluation head slider 520 mounted on the tip, and a seek operation on the evaluation head slider 520 by moving the arm 530. And a carriage 540 for performing the above. Here, as described above, the evaluation head slider 520 is equivalent to a head slider used in a device such as an HDD on which a magnetic disk to be evaluated to be mass-produced is mounted.

この評価用ヘッドスライダ520が、上述の基本形態にいう「物体を模した試験物」の一例に相当する。   The evaluation head slider 520 corresponds to an example of the “test object imitating an object” in the basic form described above.

本実施形態では、このような評価用ヘッドスライダ520を用いることで、この磁気ディスク200対して実際のヘッドスライダが与える負荷に近い負荷で耐久性を評価することができる。   In this embodiment, by using such an evaluation head slider 520, durability can be evaluated with a load close to the load applied to the magnetic disk 200 by an actual head slider.

このことは、上記の基本形態に対し、上記物体が、上記記憶媒体に対し情報記憶及び/又は情報再生を実行するヘッドを搭載したスライダであるという応用形態が好適であることを意味している。   This means that an application form in which the object is a slider mounted with a head for performing information storage and / or information reproduction with respect to the storage medium is preferable to the basic form. .

本実施形態の評価用ヘッドスライダ520が模している実際のヘッドスライダが、この応用形態における物体の一例に相当している。   The actual head slider imitated by the evaluation head slider 520 of this embodiment corresponds to an example of an object in this application mode.

ステップS104の処理では、パーティクル110の付着状態が確認されたサンプルの磁気ディスク200がスピンスタンド510に搭載されて回転駆動される。このときの回転速度は、評価対象の磁気ディスクが搭載される、例えばHDD等といった装置での磁気ディスクの回転速度と同じである。   In the process of step S104, the sample magnetic disk 200 in which the adhesion state of the particles 110 is confirmed is mounted on the spin stand 510 and rotated. The rotation speed at this time is the same as the rotation speed of the magnetic disk in an apparatus such as an HDD on which the magnetic disk to be evaluated is mounted.

そして、パーティクル110の付着箇所を横断するシーク範囲で、評価用ヘッドスライダ520がシーク動作を行なう。また、この時のシーク動作は、30〜60secのシーク時間に亘る、周波数が2Hzの往復動作である。本実施形態におけるこのようなシーク時間と、シーク動作の周波数は、いずれも、このシーク動作で発生する傷を観察しやすい値となっている。   Then, the evaluation head slider 520 performs a seek operation within a seek range that crosses the adhesion location of the particles 110. The seek operation at this time is a reciprocating operation with a frequency of 2 Hz over a seek time of 30 to 60 sec. In this embodiment, both the seek time and the frequency of the seek operation are values at which it is easy to observe scratches generated by the seek operation.

本実施形態では、このスピンスタンド510によるサンプルの磁気ディスク200の回転駆動と、評価用ヘッドスライダ520による上記のシーク動作によって、HDD等といった実際の装置でパーティクル起因の傷が発生するときの状態に近い状態が模擬される。本実施形態では、これにより、一層実際に則した耐久性評価が可能となっている。   In the present embodiment, the rotation of the sample magnetic disk 200 by the spin stand 510 and the above-described seek operation by the evaluation head slider 520 result in a state where scratches due to particles occur in an actual device such as an HDD. A close state is simulated. In the present embodiment, this makes it possible to evaluate the durability in accordance with the actual situation.

このことは、上述の基本形態に対し、以下に説明する応用形態が好適であることを意味している。   This means that the application modes described below are preferable to the basic mode described above.

この応用形態では、上記記憶媒体がディスク形状を有したものとなっている。そして、上記動作過程が、まず、上記記憶媒体を、その記憶媒体の中央を回転中心として回転し、回転中の記憶媒体に対して、次の処理を実行する過程となっている。即ち、この動作過程は、この回転中の記憶媒体に対して、上記物体をその記憶媒体の中央から外周に向かって、あるいはその記憶媒体の外周から中央に向かって移動させる過程となっている。   In this application mode, the storage medium has a disk shape. The operation process is a process in which the storage medium is first rotated about the center of the storage medium and the next process is executed on the rotating storage medium. That is, this operation process is a process of moving the object from the center of the storage medium toward the outer periphery or from the outer periphery of the storage medium toward the center with respect to the rotating storage medium.

図1のステップS104の処理は、この応用形態における動作過程の一例にも相当している。   The process of step S104 in FIG. 1 also corresponds to an example of an operation process in this applied form.

図1の耐久性評価処理では、ステップS104の処理に続いて、このステップS104の処理でのシーク動作によってサンプルの磁気ディスク200の表面に許容以上の多数の傷が付いたか否かが観察される(ステップS105)。このステップS105の処理が、上述の基本形態における評価過程の一例に相当する。   In the durability evaluation process of FIG. 1, following the process of step S104, it is observed whether or not a large number of scratches exceeding the allowable limit are formed on the surface of the sample magnetic disk 200 by the seek operation in the process of step S104. (Step S105). The processing in step S105 corresponds to an example of an evaluation process in the basic form described above.

本実施形態では、このステップS105での観察が、上記のステップS103でパーティクル110の付着状態の観察に使われた高輝度顕微鏡400を使って行われる。   In the present embodiment, the observation in step S105 is performed using the high-intensity microscope 400 used for observing the adhesion state of the particles 110 in step S103.

ステップS103の処理では、上記のシーク動作を経たサンプルの磁気ディスク200がステージ410に載置される。そして、上記のシーク範囲に対応した箇所が視野に捉えられるように、カメラ430の位置および向きが調整される。そして、そのカメラ430で撮影されたその箇所の画像が、所望の倍率で拡大されてモニタ440に表示される。   In the process of step S 103, the sample magnetic disk 200 that has undergone the above-described seek operation is placed on the stage 410. Then, the position and orientation of the camera 430 are adjusted so that a portion corresponding to the seek range is captured in the field of view. Then, the image of the part taken by the camera 430 is enlarged at a desired magnification and displayed on the monitor 440.

本実施形態では、この観察によって許容以上の多数の傷が付いていないことが確認された場合には、サンプルの磁気ディスク200と同じロットで量産される磁気ディスクが十分な耐久性を有していると評価される。一方、この観察によって許容以上の多数の傷の存在が確認された場合には、このロットで量産される磁気ディスクについて、耐久性が不十分であると評価される。   In this embodiment, when it is confirmed by this observation that there are no more scratches than allowable, the magnetic disk mass-produced in the same lot as the sample magnetic disk 200 has sufficient durability. It is evaluated that On the other hand, when the existence of a large number of scratches exceeding the allowable range is confirmed by this observation, it is evaluated that the durability of the magnetic disk mass-produced in this lot is insufficient.

以上に説明した図1の耐久性評価処理では、上述した懸濁液の滴下により所望の付着状態を確実に実現することができる。その結果、図1の耐久性評価処理によれば、サンプルの磁気ディスク200を交換して、耐久性評価が繰返し行なわれたとしても、毎回の評価を、パーティクルの付着状態が互いに概ね似通った安定した条件下で行うことができる。つまり、この図1の耐久性評価処理によれば、パーティクルに起因した傷付きに対する耐久性を安定して評価することができる。   In the durability evaluation process of FIG. 1 described above, a desired adhesion state can be reliably realized by dropping the suspension described above. As a result, according to the durability evaluation process of FIG. 1, even when the sample magnetic disk 200 is replaced and the durability evaluation is repeatedly performed, the evaluation is performed every time. Can be carried out under the conditions described above. That is, according to the durability evaluation process of FIG. 1, it is possible to stably evaluate the durability against scratches caused by particles.

尚、上記では、フッ素系溶剤の一例としてPFCを例示したが、懸濁液に使用するフッ素系溶剤はこれに限るものではない。このフッ素系溶剤は、例えば、ハイドロフルオロカーボン(HFC)やハイドロフルオロエーテル(HFE)等であっても良い。   In the above, PFC is exemplified as an example of the fluorinated solvent, but the fluorinated solvent used in the suspension is not limited to this. The fluorine-based solvent may be, for example, hydrofluorocarbon (HFC) or hydrofluoroether (HFE).

また、上記では、滴下径や滴下位置、また、シーク範囲やシーク時間について具体的な数値範囲を例示したが、本件の耐久性評価方法はこれらの数値範囲に限定されるものではない。滴下径や滴下位置、また、シーク範囲やシーク時間等については、評価対象の磁気ディスクのサイズや、磁気ディスクの搭載装置におけるアクセス状態によって適宜に決められることとなる。   In the above description, specific numerical ranges for the drop diameter, the drop position, the seek range, and the seek time are exemplified, but the durability evaluation method of the present invention is not limited to these numerical ranges. The drop diameter, drop position, seek range, seek time, and the like are appropriately determined according to the size of the magnetic disk to be evaluated and the access state of the magnetic disk mounting apparatus.

次に、上述の実施形態に対応した実施例に基づいて本件を更に具体的に説明するが、本件は以下の実施例に何ら限定されるものではない。   Next, the present case will be described more specifically based on examples corresponding to the above-described embodiment, but the present case is not limited to the following examples.

この実施例で使用されたパーティクルやフッ素系溶剤の具体例、および、この実施例で使用された高輝度顕微鏡やテスタの具体例等を以下の表1に示す。   Specific examples of particles and fluorine-based solvents used in this example, and specific examples of the high-intensity microscope and tester used in this example are shown in Table 1 below.

この表1に示すように、この実施例では、パーティクルとして平均粒径が3μmのアルミナのパーティクルが使われた。また、フッ素系溶剤として、この実施例では、住友3M社製のPFCであるFC77が使われた。ここで、この住友3M社製のPFCとしては、このFC77以外にもPF5060も使うことができる。   As shown in Table 1, in this example, alumina particles having an average particle diameter of 3 μm were used as particles. In this example, FC77, a PFC manufactured by Sumitomo 3M Co., was used as the fluorinated solvent. Here, as this PFC made by Sumitomo 3M, PF5060 can be used in addition to this FC77.

また、この実施例では、濃度が0.005wt%の懸濁液が作成された。   In this example, a suspension having a concentration of 0.005 wt% was prepared.

そして、この実施例では、攪拌の直後に懸濁液がマイクロピペットに吸引され、2μLの滴下量で懸濁液が滴下された。また、この滴下では、滴下位置は、ディスク中心から24mm離れた位置の近傍となっている。さらに、滴下径は、約5mmとなっている。また、この実施例では、滴下後の自然乾燥が1minに亘って行われた。   In this example, immediately after stirring, the suspension was sucked into the micropipette, and the suspension was dropped in a dropping amount of 2 μL. Further, in this dropping, the dropping position is in the vicinity of a position 24 mm away from the center of the disk. Further, the dropping diameter is about 5 mm. Moreover, in this Example, the natural drying after dripping was performed over 1 minute.

また、この実施例では、パーティクル付着状態の確認が、ビジョンサイテック社製の高輝度顕微鏡であるMicro−MAX(型番:VMX−2100)を使って行われた。   Further, in this example, the particle adhesion state was confirmed using Micro-MAX (model number: VMX-2100), which is a high-intensity microscope manufactured by Vision Cytec.

ここで、この実施例では、以上に説明したパーティクルの付着や確認が、設計や製造条件が互いに異なる2種類のロットそれぞれから複数枚ずつ抜き出されたサンプルの磁気ディスクについて行われた。   Here, in this embodiment, the adhesion and confirmation of the particles described above were performed on a sample magnetic disk extracted from each of two types of lots having different design and manufacturing conditions.

図2は、複数のサンプルの磁気ディスクについて高輝度顕微鏡で確認されたパーティクル付着状態のうちの1つを示す写真である。   FIG. 2 is a photograph showing one of the particle adhesion states confirmed with a high-intensity microscope for a plurality of sample magnetic disks.

この図2の写真では、図2中で丸で囲まれた領域Aに、パーティクルがほぼ均一な付着密度および十分な付着量で付着している様子が写っている。そして、この実施例では、いずれのサンプルの磁気ディスクについても、パーティクルの付着後に、この図2の写真に写っている付着状態とほぼ同じ付着状態が確認された。   In the photograph of FIG. 2, it can be seen that particles are attached with a substantially uniform adhesion density and a sufficient adhesion amount in a region A circled in FIG. In this example, the magnetic disk of any sample was confirmed to have almost the same adhesion state as that shown in the photograph of FIG. 2 after the adhesion of the particles.

次に、この実施例では、各サンプルの磁気ディスクについて、次のシーク動作が行なわれた。この実施例では、シーク動作が、交洋製作所製のL/ULテスタ(型番:KT701)を使って行われた。この装置を使って、サンプルの磁気ディスクが、評価対象の磁気ディスクが搭載される装置での磁気ディスクの回転速度と同じ回転速度で回転駆動された。そして、ディスク中心からの距離が20mmの位置から28mmの位置まで亘るシーク範囲で、50secというシーク時間に亘って、周波数が2Hzの往復運動というシーク動作が行われた。   Next, in this embodiment, the following seek operation was performed for each sample magnetic disk. In this example, the seek operation was performed using an L / UL tester (model number: KT701) manufactured by Koyo Seisakusho. Using this apparatus, the sample magnetic disk was rotationally driven at the same rotational speed as that of the magnetic disk in the apparatus on which the magnetic disk to be evaluated was mounted. Then, a seek operation called a reciprocating motion with a frequency of 2 Hz was performed over a seek time of 50 sec in a seek range where the distance from the center of the disk ranges from 20 mm to 28 mm.

そして、このシーク動作の後に、上記のビジョンサイテック社製の高輝度顕微鏡であるMicro−MAX(型番:VMX−2100)を使って傷の観察が行われた。   After this seek operation, scratches were observed using Micro-MAX (model number: VMX-2100), which is a high-intensity microscope manufactured by Vision Cytec.

この観察の結果、上記の2つのロットのうち一方のロットについては傷が存在せず十分な耐久性を有しているという評価結果が得られ、他方のロットについては許容以上の多数の傷が確認され耐久性が不十分であるという評価結果が得られた。さらに、いずれのロットについても、ロットが同じサンプルの磁気ディスクどうしでは、同じ評価結果が得られた。   As a result of this observation, an evaluation result is obtained that one of the above two lots has no scratches and has sufficient durability, and the other lot has a number of scratches that are more than allowable. It was confirmed that an evaluation result indicating that the durability was insufficient was obtained. Furthermore, for any lot, the same evaluation results were obtained between the magnetic disks of the same lot.

図3は、十分な耐久性を有していると評価されたロットに属するサンプルの磁気ディスクのうちの1つについてシーク後の表面を示す写真である。   FIG. 3 is a photograph showing the surface after seek for one of the sample magnetic disks belonging to the lot evaluated as having sufficient durability.

この図3の写真から、この写真に写っているサンプルの磁気ディスクの表面には、目視できるような傷が存在せず、このサンプルの磁気ディスクがパーティクルに起因した傷付きに対する十分な耐久性を有していることが分かる。そして、このロットに属する他のサンプルの磁気ディスクについても、シーク後の表面が、この図3の写真に写っている状態とほぼ同じ状態となっていた。   From the photograph of FIG. 3, there is no visible scratch on the surface of the sample magnetic disk shown in this photograph, and the sample magnetic disk has sufficient durability against scratches caused by particles. You can see that Further, the surface of the other sample magnetic disks belonging to this lot was almost in the same state as shown in the photograph of FIG.

図4は、耐久性が不十分であると評価されたロットに属するサンプルの磁気ディスクのうちの1つについてシーク後の表面を示す写真である。   FIG. 4 is a photograph showing the surface after seek for one of the sample magnetic disks belonging to the lot evaluated as having insufficient durability.

図4の写真では、図中の帯状の領域Bに、多数の傷がはっきりと目視できる。このことから、この図4の写真に写っているサンプルの磁気ディスクについては、パーティクルに起因した傷付きに対する耐久性が不十分であることが分かる。そして、このロットに属する他のサンプルの磁気ディスクについても、シーク後の表面が、この図4の写真に写っている状態とほぼ同じ状態となっていた。   In the photograph of FIG. 4, many scratches are clearly visible in the band-like region B in the drawing. From this, it can be seen that the sample magnetic disk shown in the photograph of FIG. 4 has insufficient durability against scratches caused by particles. Further, the surface of the other sample magnetic disks belonging to this lot was almost the same as the state shown in the photograph of FIG.

以上、実施例を参照して具体的に説明したように、図1に示す耐久性評価処理によれば、毎回の評価を、パーティクルの付着状態が互いに概ね似通った安定した条件下で行うことができる。そして、このように安定した条件下での評価により、上記のように安定した評価結果を得ることができる。つまり、図1に示す耐久性評価処理によれば、パーティクルに起因した傷付きに対する耐久性を安定して評価することができる。   As described above in detail with reference to the embodiment, according to the durability evaluation process shown in FIG. 1, each evaluation can be performed under stable conditions in which particle adhesion states are substantially similar to each other. it can. And the evaluation result stable as mentioned above can be obtained by the evaluation under such a stable condition. That is, according to the durability evaluation process shown in FIG. 1, it is possible to stably evaluate the durability against scratches caused by particles.

以下、上述した基本形態を含む種々の形態に関し、更に以下の付記を開示する。   Hereinafter, the following additional remarks are disclosed regarding various forms including the basic form described above.

(付記1)
使用時に表面に物体が近接あるいは接触し該表面に沿って相対的に移動する、情報を記憶する記憶媒体の該表面上に、複数の粒が被分散液中に分散されてなる懸濁液を滴下し、その滴下された懸濁液の被分散液を揮発させることで、前記粒を前記記憶媒体の表面上に付着させる粒付着過程と、
前記粒付着過程によって前記粒が表面に付着された記憶媒体の該表面に対して、前記物体を模した試験物を近接あるいは接触させ、該試験物を該表面に対して相対的に該表面に沿って移動させることで該粒の付着箇所を横断させる動作過程と、
前記動作過程を経た記憶媒体の表面における傷の数に基づいて該記憶媒体の耐久性を評価する評価過程とを有することを特徴とする耐久性評価方法。
(Appendix 1)
A suspension in which a plurality of grains are dispersed in a dispersion liquid on the surface of a storage medium for storing information, in which an object approaches or contacts the surface and moves relatively along the surface during use. Dropping and volatilizing the liquid to be dispersed of the dropped suspension, thereby depositing the particles on the surface of the storage medium,
A test object imitating the object is brought close to or in contact with the surface of the storage medium having the particles attached to the surface by the particle adhesion process, and the test object is brought into contact with the surface relative to the surface. An operation process of traversing the adhesion site of the grains by moving along the
A durability evaluation method comprising: an evaluation process for evaluating the durability of the storage medium based on the number of scratches on the surface of the storage medium that has undergone the operation process.

(付記2)
前記物体が、前記記憶媒体に対し情報記憶及び/又は情報再生を実行するヘッドを搭載したスライダであることを特徴とする付記1記載の耐久性評価方法。
(Appendix 2)
The durability evaluation method according to claim 1, wherein the object is a slider on which a head for executing information storage and / or information reproduction with respect to the storage medium is mounted.

(付記3)
前記粒付着過程を経た前記記憶媒体の表面上での前記粒の付着状態が、所定条件を満たしているか否かを判定する付着判定過程を有し、
前記粒付着過程は、前記付着判定過程で前記付着状態が前記所定条件を満たしていると判定されるまでやり直される過程であることを特徴とする付記1又は2記載の耐久性評価方法。
(Appendix 3)
An adhesion determination process for determining whether or not the adhesion state of the grains on the surface of the storage medium that has undergone the grain adhesion process satisfies a predetermined condition;
The durability evaluation method according to appendix 1 or 2, wherein the grain adhesion process is a process that is repeated until it is determined in the adhesion determination process that the adhesion state satisfies the predetermined condition.

(付記4)
前記被分散液が、水の表面張力よりも低い表面張力を有するものであることを特徴とする付記1から3のうちいずれか1項記載の耐久性評価方法。
(Appendix 4)
The durability evaluation method according to any one of supplementary notes 1 to 3, wherein the dispersion liquid has a surface tension lower than that of water.

(付記5)
前記記憶媒体が、表面に潤滑剤が塗布されているものであり、
前記被分散液は、該被分散液に対して前記潤滑剤が非溶融性を有するものであることを特徴とする付記1から4のうちいずれか1項記載の耐久性評価方法。
(Appendix 5)
The storage medium has a surface coated with a lubricant,
5. The durability evaluation method according to any one of appendices 1 to 4, wherein the dispersion liquid is one in which the lubricant is non-meltable with respect to the dispersion liquid.

(付記6)
前記記憶媒体がディスク形状を有するものであり、
前記動作過程が、前記記憶媒体を、該記憶媒体の中央を回転中心として回転し、回転中の記憶媒体に対して、前記物体を該記憶媒体の中央から外周に向かって、あるいは該記憶媒体の外周から中央に向かって移動させる過程であることを特徴とする付記1から5のうちいずれか1項記載の耐久性評価方法。
(Appendix 6)
The storage medium has a disk shape;
The operation process rotates the storage medium around the center of the storage medium, and the object is moved from the center of the storage medium toward the outer periphery with respect to the rotating storage medium or the storage medium 6. The durability evaluation method according to any one of supplementary notes 1 to 5, wherein the durability evaluation is a process of moving from the outer periphery toward the center.

100 懸濁液
110 パーティクル
120 フッ素系溶剤
200 サンプルの磁気ディスク
300 マイクロピペット
400 高輝度顕微鏡
410 ステージ
420 光源
430 カメラ
440 モニタ
500 テスタ
510 スピンスタンド
511 回転軸
520 評価用ヘッドスライダ
530 アーム
540 キャリッジ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 Suspension 110 Particle | grain 120 Fluorinated solvent 200 Sample magnetic disk 300 Micropipette 400 High-intensity microscope 410 Stage 420 Light source 430 Camera 440 Monitor 500 Tester 510 Spin stand 511 Rotating shaft 520 Evaluation head slider 530 Arm 540 Carriage

Claims (3)

使用時に表面に物体が近接あるいは接触し該表面に沿って相対的に移動する、情報を記憶する記憶媒体の該表面上に、複数の粒が被分散液中に分散されてなる懸濁液を滴下し、その滴下された懸濁液の被分散液を揮発させることで、前記粒を前記記憶媒体の表面上に付着させる粒付着過程と、
前記粒付着過程によって前記粒が表面に付着された記憶媒体の該表面に対して、前記物体を模した試験物を近接あるいは接触させ、該試験物を該表面に対して相対的に該表面に沿って移動させることで該粒の付着箇所を横断させる動作過程と、
前記動作過程を経た記憶媒体の表面における傷の数に基づいて該記憶媒体の耐久性を評価する評価過程とを有することを特徴とする耐久性評価方法。
A suspension in which a plurality of grains are dispersed in a dispersion liquid on the surface of a storage medium for storing information, in which an object approaches or contacts the surface and moves relatively along the surface during use. Dropping and volatilizing the liquid to be dispersed of the dropped suspension, thereby depositing the particles on the surface of the storage medium,
A test object imitating the object is brought close to or in contact with the surface of the storage medium having the particles attached to the surface by the particle adhesion process, and the test object is brought into contact with the surface relative to the surface. An operation process of traversing the adhesion site of the grains by moving along the
A durability evaluation method comprising: an evaluation process for evaluating the durability of the storage medium based on the number of scratches on the surface of the storage medium that has undergone the operation process.
前記被分散液が、水の表面張力よりも低い表面張力を有するものであることを特徴とする請求項1記載の耐久性評価方法。   The durability evaluation method according to claim 1, wherein the dispersion liquid has a surface tension lower than that of water. 前記記憶媒体が、表面に潤滑剤が塗布されているものであり、
前記被分散液は、該被分散液に対して前記潤滑剤が非溶融性を有するものであることを特徴とする請求項1又は2記載の耐久性評価方法。
The storage medium has a surface coated with a lubricant,
The durability evaluation method according to claim 1, wherein the liquid dispersion is one in which the lubricant is non-meltable with respect to the liquid dispersion.
JP2009051113A 2009-03-04 2009-03-04 Durability evaluation method Active JP5184404B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009051113A JP5184404B2 (en) 2009-03-04 2009-03-04 Durability evaluation method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009051113A JP5184404B2 (en) 2009-03-04 2009-03-04 Durability evaluation method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2010203974A true JP2010203974A (en) 2010-09-16
JP5184404B2 JP5184404B2 (en) 2013-04-17

Family

ID=42965596

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009051113A Active JP5184404B2 (en) 2009-03-04 2009-03-04 Durability evaluation method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5184404B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN118500965A (en) * 2024-07-22 2024-08-16 常州岚玥新材料科技有限公司 Charcoal composite material wearability check out test set

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59148135A (en) * 1983-02-14 1984-08-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd Evaluating method of durability for magnetic disk
JPS60182518A (en) * 1984-02-29 1985-09-18 Fujitsu Ltd Method for evaluating durability of magnetic disk
JPH02181630A (en) * 1989-01-06 1990-07-16 Fujitsu Ltd Method for testing durability of medium
JPH03255930A (en) * 1990-03-06 1991-11-14 Nec Corp Machine and method for dust test of magnetic disk medium
JPH05225558A (en) * 1992-02-17 1993-09-03 Hitachi Ltd Magnetic disk and production thereof and magnetic disk device
JPH07120377A (en) * 1993-10-26 1995-05-12 Sony Corp Testing apparatus for dust-durability of recording medium

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59148135A (en) * 1983-02-14 1984-08-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd Evaluating method of durability for magnetic disk
JPS60182518A (en) * 1984-02-29 1985-09-18 Fujitsu Ltd Method for evaluating durability of magnetic disk
JPH02181630A (en) * 1989-01-06 1990-07-16 Fujitsu Ltd Method for testing durability of medium
JPH03255930A (en) * 1990-03-06 1991-11-14 Nec Corp Machine and method for dust test of magnetic disk medium
JPH05225558A (en) * 1992-02-17 1993-09-03 Hitachi Ltd Magnetic disk and production thereof and magnetic disk device
JPH07120377A (en) * 1993-10-26 1995-05-12 Sony Corp Testing apparatus for dust-durability of recording medium

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN118500965A (en) * 2024-07-22 2024-08-16 常州岚玥新材料科技有限公司 Charcoal composite material wearability check out test set

Also Published As

Publication number Publication date
JP5184404B2 (en) 2013-04-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1311430C (en) Magnetic recording disk and process for manufacture thereof
Giannuzzi et al. Theory and new applications of ex situ lift out
CN101643195B (en) Method and device for preparing colloid probe
CN1571017A (en) Magnetic disk and method of manufacturing same
JP5184404B2 (en) Durability evaluation method
JP7517801B2 (en) Coating Fluid
CN1702027A (en) Board picking up apparatus and method for use therewith
US20070210789A1 (en) Automated disk clamping method for spinstand for testing magnetic heads and disks
CN101960940B (en) Vacuum suction nozzle
JP2009146511A (en) Magnetic disk and magnetic disk unit
US20040045377A1 (en) Methods for sampling and testing data centers for metallic particulates
JP5177159B2 (en) Slag particulate identification method
CN205600747U (en) Receive end effector automatic exchange device of robot a little
JP2010504505A5 (en)
JPH07116583A (en) Device for marking defective coating film position
Huang et al. Particles detection and analysis of hard disk substrate after cleaning of post chemical mechanical polishing
JP2019067477A (en) Magnetic recording medium and magnetic recording/reproducing device
JP2009257954A (en) Method of adjusting sample for optical microscopic observation, method of observing flocculated state/dispersed state of particles using the same, and photographing method
Nagarajan Survey of cleaning and cleanliness measurement in disk drive manufacture
CN106596546A (en) Method for placing and screening mineral single particle sample on a microscope slide
JP2004298759A (en) Washing material and washing method using washing material
CN117890287A (en) Powder morphology observation and sphericity analysis method for additive manufacturing
CN206248412U (en) A kind of ESEM powder sample sample preparation device
US5988001A (en) Method of locating a particle on a surface
US8801496B2 (en) Reducing agglomeration of particles while manufacturing a lapping plate using oil-based slurry

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20111201

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20121101

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20121106

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20121217

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130115

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130116

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5184404

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160125

Year of fee payment: 3

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350