JP2010190836A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 被測定信号を第１周波数付近の周波数を有する信号に変換して出力する周波数変換部と、
   前記第１周波数付近の周波数が通過帯域に含まれ、且つ前記周波数変換部の出力信号が入力される第１のフィルター部と、
   前記第１のフィルター部の出力信号と第２周波数の基準クロック信号を混合するミキサーと、
   前記第１周波数と前記第２周波数の差付近の周波数が通過帯域に含まれるとともに、前記第１周波数と前記第２周波数の和付近の周波数が阻止帯域に含まれ、且つ前記ミキサーの出力信号が入力される第２のフィルター部と、
   前記第２のフィルター部の出力信号の周波数を測定する周波数測定部と、を含むことを特徴とする周波数測定装置。
2. 請求項１において、
   前記周波数変換部は、
   波形パターンの位相角と振幅値の対応関係が記憶され、且つ入力された位相角データに対応する振幅値データを出力する波形記憶部と、クロック信号に同期して所定値を順次加算することにより前記位相角データを計算する位相角計算部と、前記波形記憶部が出力する振幅値データをＤ／Ａ変換するＤ／Ａ変換部と、を含むダイレクトディジタルシンセサイザーとして構成され、
   前記ダイレクトディジタルシンセサイザーの前記クロック信号として前記被測定信号が供給されることを特徴とする周波数測定装置。
3. 請求項１又は２において、
   前記周波数測定部は、
   前記第２のフィルター部の出力信号の波形を整形する波形整形回路と、前記波形整形回路により波形整形された信号の所定周期の時間をカウントするカウンターと、を含むことを特徴とする周波数測定装置。
4. 請求項１乃至３のいずれか一項において、
   前記第１のフィルター部は、
   前記周波数変換部の出力に接続され、共振周波数が前記第１周波数付近の周波数である直列共振回路と、当該直列共振回路の出力に接続され、共振周波数が前記第１周波数付近の周波数である並列共振回路と、当該並列共振回路と直列に接続された終端回路と、を含むことを特徴とする周波数測定装置。
5. 請求項１乃至４のいずれか一項において、
   前記第２のフィルター部は、
   前記ミキサーの出力に接続され、共振周波数が前記第１周波数と前記第２周波数の和付近の周波数である直列共振回路と、当該直列共振回路と直列に接続された終端回路と、前記ミキサーの出力に接続され、共振周波数が前記第１周波数と前記第２周波数の和付近の周波数である並列共振回路と、当該並列共振回路の出力に接続され、前記第１周波数と前記第２周波数の差付近の周波数が通過帯域に含まれるフィルターと、を含むことを特徴とする周波数測定装置。
6. 請求項５において、
   前記第２のフィルター部は、
   前記並列共振回路の出力に接続された終端回路をさらに含み、前記フィルターがアクティブフィルターとして構成されていることを特徴とする周波数測定装置。
7. 請求項１乃至６のいずれか一項において、
   入力されたクロック信号又は当該クロック信号を所定の分周比で分周した分周クロック信号のいずれかを選択して前記基準クロック信号として出力する基準信号出力部を含み、
   前記周波数変換部は、
   公称周波数に応じて、周波数比率が前記分周比と略等しい２つの異なる周波数のいずれかを前記第１周波数として選択し、
   前記基準信号出力部は、
   前記周波数変換部により、前記第１周波数として高い方の周波数が選択される場合は前記クロック信号を選択し、前記第１周波数として低い方の周波数が選択される場合は前記分周クロック信号を選択し、
   前記第１のフィルター部は、
   前記周波数変換部の出力信号が入力される第１のバンドパスフィルターと、前記周波数変換部の出力信号が入力され、前記第１のバンドパスフィルターの中心周波数よりも低い中心周波数の第２のバンドパスフィルターと、を含み、前記第１のバンドパスフィルターの中心周波数と前記第２のバンドパスフィルターの中心周波数の比は前記分周比と略等しく、前記周波数変換部により、前記第１周波数として高い方の周波数が選択される場合は前記第１のバンドパスフィルターの出力信号を選択し、前記第１周波数として低い方の周波数が選択される場合は前記第２のバンドパスフィルターの出力信号を選択し、前記ミキサーに供給することを特徴とする周波数測定装置。
8. 請求項１乃至７のいずれか一項に記載の周波数測定装置と、
   公称周波数に応じて前記周波数データを調整するとともに、前記周波数測定装置の出力信号に基づいて前記被測定信号の前記公称周波数に対する周波数誤差が仕様を満たすか否かを判定する検査装置と、を含むことを特徴とする検査システム。