JP2010190815A - 表面抵抗測定装置及び表面抵抗測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】表面抵抗値測定装置100は、測定対象物1000の帯電領域1001に非接触で電荷を与える帯電装置110と、測定領域1002における電荷量を非接触で測定する電荷検出装置120と、からなる。帯電装置110が帯電領域1001に電荷を与えながら、電荷検出装置120が帯電領域1001から測定領域1002に流入する電荷量を経時的に測定する。このようにして測定された電荷量に基づいて測定対象物1000の表面抵抗値が算出される。
【選択図】図1
Description
110 帯電装置
120 電荷検出装置
130 制御装置
140 換算装置
150 表示装置
200 本発明の第二の実施形態に係る電荷移動速度測定装置
210 帯電装置
211 直流高圧電源
212 課電電極
220 電荷検出装置
221 検出電極
222 電流計
300 本発明の第三の実施形態に係る電荷移動速度測定装置
310 帯電装置
311 直流高圧電源
312 針状電極
313 接地電極
320 電荷検出装置
400 本発明の第四の実施形態に係る電荷移動速度測定装置
410 帯電装置
420A、420B 電荷検出装置
500 本発明の第五の実施形態に係る電荷移動速度測定装置
510 帯電装置
520A、520B 電荷検出装置
511 直流高圧電源
512 針状電極
1000 測定対象物
1001 帯電領域
1002 測定領域
図1は本発明の第一の実施形態に係る電荷移動速度測定装置100の概念図である。
図4は本発明の第二の実施形態に係る電荷移動速度測定装置200の概念図である。
図5は本発明の第三の実施形態に係る電荷移動速度測定装置300の概念図である。
図6は本発明の第四の実施形態に係る電荷移動速度測定装置400の概念図である。
図7は本発明の第五の実施形態に係る電荷移動速度測定装置500の概念図である。
0.3≦gn/gt≦0.8
Claims (20)
- 測定対象物の表面における電荷の移動速度を測定する電荷移動速度測定装置であって、
前記測定対象物の前記表面の所定の帯電領域に、前記測定対象物と非接触で電荷を与える帯電装置と、
前記測定対象物の前記表面の前記帯電領域以外に設ける測定領域における電荷量を前記測定対象物と非接触で経時的に測定する電荷検出装置と、
を備え、
前記帯電装置が前記帯電領域に電荷を与えながら、前記電荷検出装置が前記帯電領域から前記測定領域に流入する電荷量を経時的に測定することを特徴とする電荷移動速度測定装置。 - 前記帯電装置は、
電源と、
基端と先端とを有し、前記基端において前記電源と接続され、前記先端が、前記測定対象物と接触しない範囲において、前記測定対象物に向けて配置される課電電極と、
からなり、
前記課電電極は、前記電源から電圧の供給を受け、正イオンまたは負イオンを電界を介して前記測定対象物に向けて駆動して付着させることにより、前記測定対象物の前記表面にそれぞれ正電荷または負電荷を与えることを特徴とする請求項1に記載の電荷移動速度測定装置。 - 上下方向に開口している開口部を有し、接地されている接地電極をさらに備えており、
前記課電電極は前記先端が尖っている針状電極からなり、
前記針状電極は前記接地電極と接触することなく前記開口部の内部に配置されていることを特徴とする請求項2に記載の電荷移動速度測定装置。 - 前記接地電極はリング形状をなしていることを特徴とする請求項3に記載の電荷移動速度測定装置。
- 前記針状電極は、前記測定対象物に向かう方向において、その先端が前記接地電極よりも突き出ていることを特徴とする請求項3または4に記載の電荷移動速度測定装置。
- 前記電荷検出装置により検出された、前記帯電領域から前記測定領域に流入する電荷による誘導電荷を前記測定領域の表面電位または前記測定領域の流入電荷量に換算する換算装置をさらに備えることを特徴とする請求項1乃至5の何れか一項に記載の電荷移動速度測定装置。
- 前記測定領域は複数個存在し、
前記測定領域に対応して複数個の前記電荷検出装置を備えることを特徴とする請求項1乃至6の何れか一項に記載の電荷移動速度測定装置。 - 前記測定領域の各々は前記帯電領域からの距離がそれぞれ異なることを特徴とする請求項7に記載の電荷移動速度測定装置。
- 前記測定対象物と一定の間隔に隔置され、かつ、接地されている導体板をさらに備え、
前記導体板には複数個の開口部が形成されており、
前記帯電装置及び前記電荷検出装置は前記開口部を介して前記測定対象物と対向していることを特徴とする請求項1、2及び5乃至8の何れか一項に記載の電荷移動速度測定装置。 - 前記測定対象物と前記導体板との間隔をgtとし、前記針状電極の先端が前記接地導体板から突き出た長さをgnとすると、
0mm<gt≦10mm、かつ、0.3≦gn/gt≦0.8の範囲に設定することを特徴とする請求項5に記載の電荷移動速度測定装置。 - 前記帯電装置及び前記電荷検出装置の各々の動作を制御する制御装置をさらに備えることを特徴とする請求項1乃至10の何れか一項に記載された電荷移動速度測定装置。
- 請求項1乃至11の何れか一項に記載された電荷移動速度測定装置と、
前記電荷移動速度測定装置の電荷検出装置により検出された電荷量の経時変化を表面抵抗値に換算する換算装置と、
を備えることを特徴とする表面抵抗測定装置。 - 測定対象物の表面における電荷の移動速度を測定する電荷移動速度測定方法であって、
前記測定対象物の表面の一部の第一領域を前記測定対象物と非接触の下に帯電させる第一の過程と、
前記第一領域の外側の第二領域に流入した電荷量の経時変化を前記測定対象物と非接触の下に検出する第二の過程と、
を備える電荷移動速度測定方法。 - 前記第二の過程においては、前記第一領域から前記第二領域に流入する電荷による誘導電荷を検出し、前記誘導電荷を前記第二領域の表面電位または前記第二領域の流入電荷量に換算することを特徴とする請求項13に記載の電荷移動速度測定方法。
- 前記第二の過程においては、前記第一領域からの距離が異なる複数の第二領域において、前記電荷量の経時変化を検出することを特徴とする請求項12または14に記載の電荷移動速度測定方法。
- 測定対象物の表面抵抗を非接触の状態で測定する表面抵抗測定方法であって、
請求項13乃至15の何れか一項に記載された電荷移動速度測定方法と、
前記電荷移動速度測定方法の第二の過程において検出された電荷量の経時変化を表面抵抗に換算する過程と、
を備えることを特徴とする表面抵抗測定方法。 - 測定対象物の表面における電荷の移動速度を測定する電荷移動速度測定方法をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記プログラムが行う処理は、
前記測定対象物の表面の一部の第一領域を前記測定対象物と非接触の下に帯電させる第一の処理と、
前記第一領域の外側の第二領域に流入した電荷量の経時変化を前記測定対象物と非接触の下に検出する第二の処理と、
からなるものであるプログラム。 - 前記第二の処理においては、前記第一領域から前記第二領域に流入する電荷による誘導電荷を検出し、前記誘導電荷を前記第二領域の表面電位または前記第二領域の流入電荷量に換算することを特徴とする請求項16に記載のプログラム。
- 前記第二の処理においては、前記第一領域からの距離が異なる複数の第二領域において、前記電荷量の経時変化を検出することを特徴とする請求項16または17に記載のプログラム。
- 測定対象物の表面抵抗を非接触の状態で測定する表面抵抗測定方法をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記プログラムが行う処理は、
前記測定対象物の表面の一部の第一領域を前記測定対象物と非接触の下に帯電させる第一の処理と、
前記第一領域の外側の第二領域に流入した電荷量の経時変化を前記測定対象物と非接触の下に検出する第二の処理と、
前記第二の処理において検出された電荷量の経時変化を表面抵抗に換算する第三の処理と、
からなるものであるプログラム。
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