JP2010190481A - Heat treatment device for plasma display panel - Google Patents

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Masataka Morita
真登 森田
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a heat treatment device for a plasma display panel (PDP) performing heat treatment on a large-size glass substrate without needing a long roller conveyor. <P>SOLUTION: In this heat treatment device for a PDP performing heat treatment singly to the glass substrate 36 configuring the PDP or while conveying the glass substrate in a loaded state on a glass substrate support member 35, a plurality of roller conveyors 32 are extended into the inside of the heat treatment device 31 respectively from both sidewalls 31b of the heat treatment device for the PDP in a rotatable state and facing to each other in the conveying direction. The roller conveyors 32 respectively have a hollow structure, and are constituted to jet gas passing through the roller conveyors 32 from tips 32a of the roller conveyors 32 and to blow to a bottom surface of the glass substrate 36 conveyed by the roller conveyors 32, or to a bottom surface of the glass substrate placed with the support member 35 placed with the glass substrate 36. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、プラズマディスプレイパネルを製造する際に用いるプラズマディスプレイパネル用熱処理装置に関し、特に、例えば42インチサイズ16面取り、のような大版のガラス基板を熱処理する熱処理装置に関する。   The present invention relates to a heat treatment apparatus for a plasma display panel used when manufacturing a plasma display panel, and more particularly to a heat treatment apparatus for heat-treating a large glass substrate such as a 42-inch size 16 chamfer.

プラズマディスプレイパネル(以下、PDPと記す)は、対向配置した前面パネルと背面パネルの周縁部を封着部材によって封着した構造であって、前面パネルと背面パネルとの間に形成された放電空間には、ネオンおよびキセノンなどの放電ガスが封入されている。   A plasma display panel (hereinafter referred to as PDP) has a structure in which peripheral portions of a front panel and a back panel arranged opposite to each other are sealed by a sealing member, and a discharge space formed between the front panel and the back panel. Is filled with a discharge gas such as neon and xenon.

前面パネルは、ガラス基板の片面にストライプ状に形成された走査電極と維持電極とからなる複数の表示電極対と、これらの表示電極対を覆う誘電体層および保護層とを備えている。表示電極対は、それぞれ透明電極とその透明電極上に形成した金属材料からなる補助電極とによって構成されている。   The front panel includes a plurality of display electrode pairs formed of scan electrodes and sustain electrodes formed in a stripe shape on one surface of a glass substrate, and a dielectric layer and a protective layer covering these display electrode pairs. Each of the display electrode pairs includes a transparent electrode and an auxiliary electrode made of a metal material formed on the transparent electrode.

背面パネルは、もう一方のガラス基板の片面に、表示電極対と直交する方向にストライプ状に形成された複数のアドレス電極と、これらのアドレス電極を覆う下地誘電体層と、放電空間をアドレス電極毎に区画するストライプ状の隔壁と、隔壁間の溝に順次塗布された赤色、緑色、青色の蛍光体層とを備えている。   The back panel has a plurality of address electrodes formed in a stripe shape in a direction perpendicular to the display electrode pair on one side of the other glass substrate, a base dielectric layer covering these address electrodes, and an address electrode for discharging space. Stripe-shaped partition walls that are partitioned every time, and red, green, and blue phosphor layers that are sequentially applied to the grooves between the partition walls.

表示電極対とアドレス電極は立体的に交差していて、その交差部が放電セルになる。これらの放電セルはマトリクス状に配列され、表示電極対の方向に並ぶ赤色、緑色、青色の蛍光体層を有する3個の放電セルがカラー表示のための画素になる。   The display electrode pair and the address electrode cross three-dimensionally, and the intersection becomes a discharge cell. These discharge cells are arranged in a matrix, and three discharge cells having red, green, and blue phosphor layers arranged in the direction of the display electrode pair become pixels for color display.

PDPは順次、走査電極とアドレス電極間、および走査電極と維持電極間に所定の電圧を印加してガス放電を発生させ、そのガス放電で生じる紫外線で蛍光体層を励起し発光させることによりカラー画像を表示している。   The PDP sequentially applies a predetermined voltage between the scan electrode and the address electrode and between the scan electrode and the sustain electrode to generate a gas discharge, and the phosphor layer is excited by the ultraviolet rays generated by the gas discharge to emit light. An image is displayed.

ここで、前面パネルおよび背面パネルの製造方法としては、前面ガラス基板上には、表示電極対、誘電体層などの構成物を、また、背面ガラス基板上には、アドレス電極、下地誘電体層、隔壁、蛍光体層などの構成物を、所定の形状、パターンで配置している。   Here, as a manufacturing method of the front panel and the back panel, components such as a display electrode pair and a dielectric layer are formed on the front glass substrate, and an address electrode and a base dielectric layer are formed on the back glass substrate. Components such as barrier ribs and phosphor layers are arranged in a predetermined shape and pattern.

これら構成物は、それぞれの材料(前駆体材料)をガラス基板上に塗布し、必要に応じてフォトリソグラフィ法やサンドブラスト法などにより所定のパターニングした後、焼成により固化することで形成される。   These constituents are formed by applying each material (precursor material) on a glass substrate, performing a predetermined patterning by a photolithography method or a sandblasting method, if necessary, and then solidifying by firing.

ここで、ガラス基板上に所定の材料(前駆体材料)を塗布することで材料層を形成し、そして、焼成・固化することによりそれぞれの構成物をガラス基板上に形成するという工程において、焼成・固化する際には、ガラス基板をガラス基板支持板上(いわゆる、セッター)に載せ、ガラス基板支持板とともに熱処理装置に投入し、投入されたガラス基板は、セッター上に載置されたまま、熱処理装置内に設けられたローラーコンベア等の搬送手段によって搬送されながら、所定の温度曲線に従ったプロセスにより焼成などの熱処理が行われる、いわゆるローラーハース方式の熱処理装置が使用されている(例えば、特許文献1参照)。
特開2003−322472号公報
Here, in the process of forming a material layer by applying a predetermined material (precursor material) on a glass substrate, and forming each component on the glass substrate by firing and solidification, firing is performed. -When solidifying, place the glass substrate on a glass substrate support plate (so-called setter), put it into a heat treatment apparatus together with the glass substrate support plate, and the charged glass substrate is placed on the setter, A so-called roller hearth type heat treatment apparatus is used in which heat treatment such as baking is performed by a process according to a predetermined temperature curve while being conveyed by a conveyance means such as a roller conveyor provided in the heat treatment apparatus (for example, Patent Document 1).
JP 2003-322472 A

最近では、製造されるPDPが大画面化しつつあることから、ガラス基板を熱処理するための上述のような熱処理装置においても装置幅が大きくなり、その結果、使用されるローラーコンベアの長さも長くなりつつある。   Recently, since the PDP to be manufactured is becoming larger in screen, the apparatus width is increased in the above-described heat treatment apparatus for heat treating the glass substrate, and as a result, the length of the roller conveyor used is also increased. It's getting on.

しかしながら、ローラーコンベアはセラミックス製であることから、長尺のローラーコンベアを製作することは、中央部分での曲げモーメントが増大することからローラーコンベアが撓んだり破損する可能性があるという理由から、困難であるという問題があった。また、装置をメンテナンスする場合に、ローラーコンベアを装置側面からから抜きとる必要があり、そのためのスペースを確保することが必要となるのであるが、ローラーコンベアが長尺である場合には、そのスペースも大きくなり、工場スペースの有効利用という観点からは問題となる場合があった。   However, since the roller conveyor is made of ceramics, it is possible to produce a long roller conveyor because the roller conveyor may bend or break because the bending moment at the center portion increases. There was a problem that it was difficult. In addition, when maintaining the device, it is necessary to remove the roller conveyor from the side of the device, and it is necessary to secure a space for it, but if the roller conveyor is long, the space From the viewpoint of effective use of factory space, there are cases where it becomes a problem.

本発明はこのような課題に鑑みなされたもので、長尺なローラーコンベアを必要とせずに大版のガラス基板の熱処理が可能なPDP用熱処理装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such problems, and an object of the present invention is to provide a PDP heat treatment apparatus capable of heat-treating a large glass substrate without requiring a long roller conveyor.

上記目的を実現するために本発明は、PDPを構成するガラス基板を、単独で、もしくはガラス基板支持材上に載置した状態で搬送しつつ熱処理を行うPDP用熱処理装置であって、ローラーコンベアを、前記PDP用熱処理装置の両側壁それぞれから前記熱処理装置の内部に延出させて、搬送方向に複数本、互いに対向させて、且つ回転自在に配設し、前記ローラーコンベアは中空構造で、ローラコンベア内を通った気体を、ローラコンベアの先端から噴出させ、前記ローラーコンベアで搬送されるガラス基板の底面、もしくは、ガラス基板を載置したガラス基板支持材の底面に吹き付けるように構成したものである。   In order to achieve the above object, the present invention is a heat treatment apparatus for PDP that performs heat treatment while conveying a glass substrate constituting a PDP alone or in a state of being placed on a glass substrate support, Are extended from each side wall of the heat treatment apparatus for PDP to the inside of the heat treatment apparatus, a plurality of them are opposed to each other in the conveying direction, and are rotatably arranged, and the roller conveyor has a hollow structure, The gas that has passed through the roller conveyor is jetted from the tip of the roller conveyor and blown to the bottom surface of the glass substrate transported by the roller conveyor or the bottom surface of the glass substrate support material on which the glass substrate is placed It is.

本発明によれば、長尺なローラーコンベアを必要とせずに大版のガラス基板の熱処理が可能なPDP用熱処理装置を提供することが可能となる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, it becomes possible to provide the heat processing apparatus for PDP which can heat-process a large-sized glass substrate, without requiring a long roller conveyor.

以下、本発明の一実施の形態によるPDP用熱処理装置について図面を用いて説明するが、本発明の実施の態様はこれに限定されるものではない。   Hereinafter, although the heat processing apparatus for PDP by one Embodiment of this invention is demonstrated using drawing, the aspect of this invention is not limited to this.

図1は本発明の一実施の形態によるPDP用熱処理装置を用いて製造されるPDPの概略構成を示す断面斜視図である。   FIG. 1 is a cross-sectional perspective view showing a schematic configuration of a PDP manufactured using a PDP heat treatment apparatus according to an embodiment of the present invention.

PDP1は前面ガラス基板3などよりなる前面パネル2と、背面ガラス基板11などよりなる背面パネル10とが対向して配置され、その外周部をガラスフリットなどからなる封着部材によって気密封着している。封着されたPDP1内部の放電空間16には、ネオン(Ne)およびキセノン(Xe)などの放電ガスが400Torr〜600Torrの圧力で封入されている。   In the PDP 1, a front panel 2 made of a front glass substrate 3 and the like and a back panel 10 made of a back glass substrate 11 and the like are arranged to face each other, and the outer periphery thereof is hermetically sealed by a sealing member made of glass frit or the like. Yes. A discharge gas such as neon (Ne) and xenon (Xe) is sealed at a pressure of 400 Torr to 600 Torr in the discharge space 16 inside the sealed PDP 1.

前面パネル2の前面ガラス基板3の一主面上には、走査電極4および維持電極5よりなる一対のストライプ状の表示電極6とブラックストライプ(遮光層)7が互いに平行にそれぞれ複数列配置されている。さらにこれらの表示電極6と遮光層7とを覆うようにPb−B系ガラスなどからなりコンデンサとしての働きをする誘電体層8が形成され、さらにその表面に酸化マグネシウム(MgO)などからなる保護層9が形成されている。   On one main surface of the front glass substrate 3 of the front panel 2, a pair of striped display electrodes 6 and black stripes (light-shielding layers) 7 made up of the scan electrodes 4 and the sustain electrodes 5 are arranged in parallel to each other in multiple rows. ing. Furthermore, a dielectric layer 8 made of Pb-B glass or the like is formed so as to cover these display electrodes 6 and the light shielding layer 7, and a protective layer made of magnesium oxide (MgO) is formed on the surface thereof. Layer 9 is formed.

また、背面パネル10の背面ガラス基板11の一主面上には、走査電極4および維持電極5と直交する方向に、複数のストライプ状のアドレス電極12が互いに平行に配置され、これを下地誘電体層13が被覆している。さらに、アドレス電極12間の下地誘電体層13上には放電空間16を区切る所定の高さの隔壁14が形成されている。隔壁14間の溝にアドレス電極12毎に、紫外線によって赤色、緑色、および青色にそれぞれ発光する蛍光体層15が順次塗布されている。走査電極4および維持電極5とアドレス電極12とが交差する位置に放電セルが形成され、表示電極6方向に並んだ赤色、緑色、および青色の蛍光体層15を有する放電セルがカラー表示のための画素になる。   A plurality of stripe-shaped address electrodes 12 are arranged in parallel to each other in a direction orthogonal to the scanning electrodes 4 and the sustain electrodes 5 on one main surface of the rear glass substrate 11 of the rear panel 10, and this is used as a base dielectric. The body layer 13 is covering. Further, a partition wall 14 having a predetermined height is formed on the base dielectric layer 13 between the address electrodes 12 to divide the discharge space 16. A phosphor layer 15 that emits red, green, and blue light by ultraviolet rays is sequentially applied to the grooves between the barrier ribs 14 for each address electrode 12. A discharge cell is formed at a position where the scan electrode 4 and the sustain electrode 5 intersect with the address electrode 12, and the discharge cell having the red, green, and blue phosphor layers 15 arranged in the direction of the display electrode 6 is used for color display. It becomes the pixel of.

次に、PDPの製造方法について説明する。まず、前面ガラス基板3の一主面上に、走査電極4および維持電極5と遮光層7とを形成する。走査電極4と維持電極5は、インジウムスズ酸化物(ITO)や酸化スズ(SnO)などからなる透明電極と、その上に形成した銀ペーストなどからなる金属バス電極とによって構成されている。これらの電極は、フォトリソグラフィ法などを用いてパターニングして形成される。これらの電極材料層は所望の温度で焼成固化される。また、遮光層7も同様に、黒色顔料を含むペーストをスクリーン印刷する方法や黒色顔料をガラス基板の全面に形成した後、フォトリソグラフィ法を用いてパターニングし、焼成固化することにより形成される。 Next, a method for manufacturing a PDP will be described. First, the scan electrode 4, the sustain electrode 5, and the light shielding layer 7 are formed on one main surface of the front glass substrate 3. Scan electrode 4 and sustain electrode 5 are configured by a transparent electrode made of indium tin oxide (ITO), tin oxide (SnO 2 ), or the like, and a metal bus electrode made of silver paste or the like formed thereon. These electrodes are formed by patterning using a photolithography method or the like. These electrode material layers are fired and solidified at a desired temperature. Similarly, the light shielding layer 7 is formed by screen printing a paste containing a black pigment or by forming a black pigment on the entire surface of the glass substrate, patterning it using a photolithography method, and baking and solidifying it.

次に、走査電極4、維持電極5および遮光層7を覆うように前面ガラス基板3上に誘電体ペーストをダイコート法などにより塗布して誘電体ペースト層(誘電体材料層)を形成する。誘電体ペーストを塗布した後、所定の時間放置することにより塗布された誘電体ペースト表面がレベリングされて平坦な表面になる。その後、誘電体ペースト層を焼成固化することにより、走査電極4、維持電極5および遮光層7を覆う誘電体層8が形成される。なお、誘電体ペーストはガラス粉末などの誘電体材料、バインダおよび溶剤を含む塗料である。次に、誘電体層8上に酸化マグネシウム(MgO)からなる保護層9を真空蒸着法により形成する。以上の工程により前面ガラス基板3上に所定の構成物(走査電極4、維持電極5、遮光層7、誘電体層8、保護層9)が形成され、前面パネル2が完成する。   Next, a dielectric paste is applied on the front glass substrate 3 by a die coating method or the like so as to cover the scan electrode 4, the sustain electrode 5, and the light shielding layer 7, thereby forming a dielectric paste layer (dielectric material layer). After the dielectric paste is applied, the surface of the applied dielectric paste is leveled by leaving it to stand for a predetermined time, so that a flat surface is obtained. Thereafter, the dielectric paste layer is baked and solidified to form the dielectric layer 8 that covers the scan electrode 4, the sustain electrode 5, and the light shielding layer 7. The dielectric paste is a paint containing a dielectric material such as glass powder, a binder and a solvent. Next, a protective layer 9 made of magnesium oxide (MgO) is formed on the dielectric layer 8 by a vacuum deposition method. Through the above steps, predetermined components (scanning electrode 4, sustaining electrode 5, light shielding layer 7, dielectric layer 8, and protective layer 9) are formed on front glass substrate 3, and front panel 2 is completed.

一方、背面パネル10は以下のようにして形成される。まず、背面ガラス基板11の一主面上に、銀ペーストをスクリーン印刷する方法や、金属膜を全面に形成した後、フォトリソグラフィ法を用いてパターニングする方法などによりアドレス電極12用の構成物となる材料層を形成し、それを所望の温度で焼成固化することによりアドレス電極12を形成する。   On the other hand, the back panel 10 is formed as follows. First, the composition for the address electrode 12 is formed by a method of screen printing a silver paste on one main surface of the rear glass substrate 11 or a method of patterning using a photolithography method after forming a metal film on the entire surface. An address electrode 12 is formed by forming a material layer and baking and solidifying the material layer at a desired temperature.

次に、アドレス電極12が形成された面の背面ガラス基板11上にダイコート法などによりアドレス電極12を覆うように誘電体ペーストを塗布して誘電体ペースト層を形成する。その後、誘電体ペースト層を焼成することにより下地誘電体層13を形成する。なお、誘電体ペーストはガラス粉末などの誘電体材料とバインダおよび溶剤を含んだ塗料である。   Next, a dielectric paste is applied to the rear glass substrate 11 on the surface on which the address electrodes 12 are formed by a die coating method so as to cover the address electrodes 12 to form a dielectric paste layer. Thereafter, the base dielectric layer 13 is formed by firing the dielectric paste layer. The dielectric paste is a paint containing a dielectric material such as glass powder, a binder and a solvent.

次に、下地誘電体層13上に隔壁材料を含む隔壁形成用ペーストを塗布して所定の形状にパターニングすることにより、隔壁材料層を形成した後、焼成固化することにより隔壁14を形成する。ここで、下地誘電体層13上に塗布した隔壁用ペーストをパターニングする方法としては、フォトリソグラフィ法やサンドブラスト法を用いることができる。   Next, a partition wall forming paste containing a partition wall material is applied on the base dielectric layer 13 and patterned into a predetermined shape to form a partition wall material layer, and then the partition wall 14 is formed by baking and solidifying. Here, as a method of patterning the partition wall paste applied on the base dielectric layer 13, a photolithography method or a sand blast method can be used.

次に、隣接する隔壁14間の下地誘電体層13上および隔壁14側面に蛍光体材料を含む蛍光体ペーストを塗布し、焼成固化することにより蛍光体層15が形成される。以上の工程により、背面ガラス基板11上に所定の構成部材を有する背面パネル10が完成する。   Next, the phosphor layer 15 is formed by applying a phosphor paste containing a phosphor material on the base dielectric layer 13 between the adjacent barrier ribs 14 and on the side surfaces of the barrier ribs 14 and baking and solidifying the phosphor paste. Through the above steps, the rear panel 10 having predetermined components on the rear glass substrate 11 is completed.

上述した工程より所定の構成部材を備えた前面パネル2と背面パネル10とを、走査電極4及び維持電極5とアドレス電極12とが直交するように対向配置して、その周囲をガラスフリットで封着し、放電空間16にネオン、キセノンなどを含む放電ガスを封入することによりPDP1が完成する。   The front panel 2 and the back panel 10 having predetermined constituent members from the above-described steps are arranged so as to face each other so that the scan electrode 4, the sustain electrode 5, and the address electrode 12 are orthogonal to each other, and the periphery is sealed with a glass frit. Then, the discharge space 16 is filled with a discharge gas containing neon, xenon, etc., thereby completing the PDP 1.

以上、説明したように、PDPの製造工程において、前面ガラス基板3上の金属バス電極(図示せず)、遮光層7、誘電体層8、および背面ガラス基板11上のアドレス電極12、下地誘電体層13、隔壁14、蛍光体層15は、それぞれの構成部材用の前駆体材料を前面ガラス基板3または背面ガラス基板11の上に塗布し、必要に応じて所定のパターンに形成した後、焼成固化することにより作製される。焼成工程は構成部材毎に500℃〜600℃で行われ、少なくとも前面パネル2の場合には2回、背面パネル10の場合には4回の焼成工程が必要となる。   As described above, in the PDP manufacturing process, the metal bus electrode (not shown) on the front glass substrate 3, the light shielding layer 7, the dielectric layer 8, the address electrode 12 on the rear glass substrate 11, and the base dielectric The body layer 13, the partition wall 14, and the phosphor layer 15 are formed by applying a precursor material for each constituent member on the front glass substrate 3 or the back glass substrate 11 and forming a predetermined pattern as necessary. It is produced by baking and solidifying. The firing step is performed at 500 ° C. to 600 ° C. for each constituent member, and at least twice for the front panel 2 and four times for the rear panel 10 are necessary.

次に、上述した熱処理工程である、焼成・固化する工程で使用するPDP用熱処理装置について説明する。   Next, a heat treatment apparatus for PDP used in the above-described heat treatment process, the firing and solidifying process, will be described.

図2は、一般的なローラーハース方式の熱処理装置の概略構成を示す断面図である。図2に示すように、熱処理装置22は、その側壁22aを貫通させて、複数本のセラミックス製のローラーコンベア20を一定ピッチで配置した、トンネル炉方式の熱処理装置である。   FIG. 2 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of a general roller hearth type heat treatment apparatus. As shown in FIG. 2, the heat treatment apparatus 22 is a tunnel furnace type heat treatment apparatus in which a plurality of ceramic roller conveyors 20 are arranged at a constant pitch through the side wall 22a.

各ローラーコンベア20は、熱処理装置22外に設けた駆動装置21によって同一向きに回転するようになっている。そして、ガラス基板24をガラス基板支持材23上に載置した状態で、ガラス基板支持材23を前記ローラーコンベア20上に載せて、ガラス基板支持材23ごとガラス基板24を搬送するようにしている。   Each roller conveyor 20 is rotated in the same direction by a driving device 21 provided outside the heat treatment device 22. And in the state which mounted the glass substrate 24 on the glass substrate support material 23, the glass substrate support material 23 is mounted on the said roller conveyor 20, and the glass substrate 24 is conveyed with the glass substrate support material 23 together. .

熱処理装置22内は、ガラス基板24の搬送方向に沿って、予熱帯、乾燥帯、焼成帯、冷却帯など、その温度プロファイルに従って区分されており、この温度プロファイルは、熱処理装置22内に設けられた、バーナやヒータ等の加熱手段によって形成されている。   The inside of the heat treatment apparatus 22 is divided according to its temperature profile, such as a pre-tropical zone, a dry zone, a firing zone, and a cooling zone, along the conveyance direction of the glass substrate 24. Further, it is formed by a heating means such as a burner or a heater.

すなわち、ガラス基板24は、多数のローラーコンベア20によって炉長方向に搬送されることで、熱処理装置22内において、予熱帯、乾燥帯、焼成帯、冷却帯などを通過し、その間に、所定の温度履歴が与えられ、熱処理される。   That is, the glass substrate 24 is transported in the furnace length direction by a large number of roller conveyors 20, and thus passes through the pre-tropical zone, the drying zone, the firing zone, the cooling zone, etc. A temperature history is given and heat treated.

図3は、本発明の一実施の形態によるPDP用熱処理装置の一部分を切り出して概略構成を示す図である。図3(a)は、本発明の一実施の形態によるPDP用熱処理装置31の一部分を上方から見た平面図であり、図3(b)は、本発明の一実施の形態によるPDP用熱処理装置31の一部分を、ガラス基板36の搬送方向に対して正面から見た断面図である。   FIG. 3 is a diagram showing a schematic configuration by cutting out a part of a heat treatment apparatus for PDP according to an embodiment of the present invention. 3A is a plan view of a part of the PDP heat treatment apparatus 31 according to the embodiment of the present invention as viewed from above, and FIG. 3B is a heat treatment for PDP according to the embodiment of the present invention. FIG. 6 is a cross-sectional view of a part of the device 31 as viewed from the front with respect to the conveyance direction of the glass substrate 36.

熱処理装置31は、耐火材や断熱材による、床面31a、側壁31b、天井壁31cから構成され、トンネル状をしている。そして、熱処理装置31内部には、加熱手段が設けられている。この加熱手段の一例として、天井ヒータ、床面ヒータが挙げられる。   The heat treatment apparatus 31 is composed of a floor surface 31a, a side wall 31b, and a ceiling wall 31c made of a refractory material or a heat insulating material, and has a tunnel shape. A heating means is provided inside the heat treatment apparatus 31. Examples of this heating means include a ceiling heater and a floor heater.

また、ローラーコンベア32は、円柱形状であり、耐熱材料である、例えばセラミックス材料で構成されており、アルミナ(Al)や炭化珪素(SiC)などを挙げることができる。 The roller conveyor 32 has a cylindrical shape and is made of, for example, a ceramic material, which is a heat resistant material, and examples thereof include alumina (Al 2 O 3 ) and silicon carbide (SiC).

ローラーコンベア32は、熱処理装置31の両側壁31bを貫通して複数本、ガラス基板36の搬送方向に沿って一定ピッチで配置され、熱処理装置31内に延出したローラーコンベア32の先端32aは互いに対向している。   A plurality of roller conveyors 32 pass through both side walls 31b of the heat treatment apparatus 31 and are arranged at a constant pitch along the conveying direction of the glass substrate 36, and the tips 32a of the roller conveyors 32 extending into the heat treatment apparatus 31 are mutually connected. Opposite.

なお、上記の「先端32aは互いに対向している」とは、両側壁31bそれぞれから熱処理装置31内に延出したローラコンベア32の軸心が一致する場合だけでなく、例えば互い違いにずれているといった構造も含む。   The above-mentioned “tips 32a are opposed to each other” is not only the case where the axial centers of the roller conveyors 32 extending from the both side walls 31b into the heat treatment apparatus 31 coincide with each other, for example, they are staggered. Such a structure is also included.

ローラコンベア32は、前述したように、熱処理装置31外から側壁31bを貫通して配設されている。ローラーコンベア32の基端32bは、装置31外に配設されたローラコンベア支持部材33により回転自在に支持されている。そして、ローラコンベア32は、サーボモータやインバータモータなどの駆動手段34により、同一速度で一定の向きに回転するようになっている。   As described above, the roller conveyor 32 is disposed through the side wall 31b from the outside of the heat treatment apparatus 31. A base end 32 b of the roller conveyor 32 is rotatably supported by a roller conveyor support member 33 disposed outside the apparatus 31. The roller conveyor 32 is rotated in a fixed direction at the same speed by a driving means 34 such as a servo motor or an inverter motor.

ここで、ローラーコンベア32は中空構造となっており、その基端32bには気体供給管37が取り付けられており、供給された気体はローラコンベア32内を通り、ローラーコンベア32の先端32aの孔(開口)から気体が噴出するようになっている。   Here, the roller conveyor 32 has a hollow structure, and a gas supply pipe 37 is attached to the base end 32b of the roller conveyor 32. The supplied gas passes through the roller conveyor 32, and the hole 32 is formed at the tip 32a of the roller conveyor 32. Gas is ejected from (opening).

そして、ローラコンベア32により支持されて搬送される、ガラス基板36を載置したガラス基板支持材35は、底面31aとの間に、2〜3mm程度の隙間31dを形成するようにローラーコンベア32によって支持されており、且つ、床面31aには、ローラ32が配設される部分に、断面形状がローラ32の形状に沿った円弧状である溝部38を設けており、先端32aより噴出した気体は溝部38の断面形状に沿って上方に吹き出、その後、隙間31dに吹き込むことから、すなわち、先端32aから噴出した気体はガラス基板支持材35の底面に向かって吹き付けられることとなる。   And the glass substrate support material 35 which mounted the glass substrate 36 supported and conveyed by the roller conveyor 32 is formed by the roller conveyor 32 so as to form a gap 31d of about 2 to 3 mm between the bottom surface 31a. The floor surface 31a is provided with a groove portion 38 having a circular arc shape along the shape of the roller 32 at the portion where the roller 32 is disposed, and the gas ejected from the tip 32a. Is blown upward along the cross-sectional shape of the groove portion 38 and then blown into the gap 31d, that is, the gas blown from the tip 32a is blown toward the bottom surface of the glass substrate support member 35.

以上のような構成により、先端32aから噴出した気体により、ガラス基板36を載せたガラス基板支持材35の底面を、浮かび上がらない程度に押し上げることが可能となる。   With the configuration as described above, the bottom surface of the glass substrate support member 35 on which the glass substrate 36 is placed can be pushed up by the gas ejected from the tip 32a to the extent that it does not float up.

このことにより、ローラーコンベア32がガラス基板36を載置したガラス基板支持材35を搬送する際に作用する、ガラス基板36とガラス基板支持材35との荷重によるローラーコンベア32に対する曲げモーメントは、ガラス基板36の大版化に伴いその程度が大きくなってしまうのであるが、その曲げモーメントを低減することが可能となり、もって、最悪の場合、ローラーコンベア32が破損してしまうという課題の発生を防止することができる。   As a result, the bending moment applied to the roller conveyor 32 due to the load between the glass substrate 36 and the glass substrate support material 35 that acts when the roller conveyor 32 conveys the glass substrate support material 35 on which the glass substrate 36 is placed is made of glass. The degree of the increase in the size of the substrate 36 increases, but the bending moment can be reduced, and in the worst case, the roller conveyor 32 is prevented from being damaged. can do.

そして上述したような状態で、ローラコンベア32を一定の向きに回転させ、この回転により、ローラコンベア32の上に載せられた、ガラス基板36を載置したガラス基板支持材35を、熱処理装置31内で搬送する。ガラス基板支持材35上に載置されたガラス基板36は、熱処理装置31内を搬送される間に熱処理され、例えば、前駆体材料により形成した材料層の焼成・固化が行われるようになっている。なお、前記熱処理には、焼成・固化以外にも、例えば乾燥などの処理も含まれる。   Then, in the state as described above, the roller conveyor 32 is rotated in a certain direction, and the glass substrate support material 35 on which the glass substrate 36 placed on the roller conveyor 32 is placed by this rotation is converted into a heat treatment apparatus 31. Carry in. The glass substrate 36 placed on the glass substrate support 35 is heat-treated while being transported through the heat treatment apparatus 31, and for example, a material layer formed of a precursor material is fired and solidified. Yes. Note that the heat treatment includes, for example, a treatment such as drying in addition to firing and solidification.

以上述べた構成においては、先端32aからの気体の噴出量は、ガラス基板36を載せたガラス基板支持材35の底面を、浮かび上がらない程度に押し上げる程度で、且つ、熱処理装置31内での温度状態制御の観点から、できるだけ少なくすることが好ましい。   In the configuration described above, the amount of gas ejected from the tip 32a is such that the bottom surface of the glass substrate support 35 on which the glass substrate 36 is placed is pushed up to the extent that it does not float up, and the temperature state in the heat treatment apparatus 31. From the viewpoint of control, it is preferable to reduce as much as possible.

また、供給された気体が、ローラーコンベア32の、両側壁31bに対する貫通部分から漏れないように、漏れ防止のためのカラー39を取り付けてもよい。   Further, a collar 39 for preventing leakage may be attached so that the supplied gas does not leak from the penetrating portion of the roller conveyor 32 with respect to the both side walls 31b.

また、以上の説明においては、ガラス基板36の搬送に際しては、ガラス基板支持材35上に載置した状態とした例を示しているが、ガラス基板支持材35を用いずにガラス基板36を単独で、直接、ローラーコンベア32により搬送する形態であっても構わない。すなわち、上述した本発明の一実施の形態によるPDP用熱処理装置によれば、先端32aからの気体の噴出により、ローラーコンベア32に作用するガラス基板36の自重に起因する荷重は低減されることとなるので、ガラス基板36とローラーコンベア32との間で作用する摩擦力は小さくなり、したがって、ガラス基板36のローラーコンベア32とが搬送時に接触することによりガラス基板に発生する場合がある「擦りキズ」を大幅に低減することができる。   In the above description, an example in which the glass substrate 36 is placed on the glass substrate support material 35 is shown when the glass substrate 36 is transported. However, the glass substrate 36 is used alone without using the glass substrate support material 35. Thus, it may be a form that is directly conveyed by the roller conveyor 32. That is, according to the heat treatment apparatus for a PDP according to the embodiment of the present invention described above, the load caused by the weight of the glass substrate 36 acting on the roller conveyor 32 is reduced by the ejection of gas from the tip 32a. As a result, the frictional force acting between the glass substrate 36 and the roller conveyor 32 is reduced, and therefore, the glass substrate 36 may come into contact with the roller conveyor 32 during conveyance, and may be generated on the glass substrate. Can be greatly reduced.

特に、本発明のPDP用熱処理装置が対象とする、大版のガラス基板36であると、その自重が大きく、通常の熱処理装置であるとローラーコンベアに対しその自重がそのまま作用することとなるため、ガラス基板36の、ローラーコンベアとの接触面においては「擦れキズ」の発生が顕著となってしまうところ、上述した本発明の一実施の形態のPDP用熱処理装置によれば、そのようなキズの発生を大幅に低減することが可能となる。   In particular, the large-sized glass substrate 36 targeted by the heat treatment apparatus for PDP of the present invention has its own weight, and if it is a normal heat treatment apparatus, its own weight acts on the roller conveyor as it is. In the contact surface of the glass substrate 36 with the roller conveyor, the occurrence of “scratching scratches” becomes prominent. According to the above-described heat treatment apparatus for PDP according to one embodiment of the present invention, such scratches. It is possible to greatly reduce the occurrence of.

なお、気体供給管37は、図示しない、例えばブロワなどの気体供給手段に接続されており、気体供給手段により、気体供給管37には、空気や窒素等の気体が加圧された状態で供給されるようになっている。   The gas supply pipe 37 is connected to a gas supply means such as a blower (not shown). The gas supply pipe 37 is supplied with a gas such as air or nitrogen in a pressurized state. It has come to be.

気体供給管37からローラコンベア32内を通った気体は、熱処理装置31内の熱で予熱され、先端部32aから噴出することとなる。   The gas that has passed through the roller conveyor 32 from the gas supply pipe 37 is preheated by the heat in the heat treatment apparatus 31, and is ejected from the tip end portion 32a.

図4は、本発明の他の実施の形態によるPDP用熱処理装置の一部分を切り出して概略構成を示す図である。図4(a)は、本発明の一実施の形態によるPDP用熱処理装置41の一部分を上方から見た平面図であり、図4(b)は、本発明の一実施の形態によるPDP用熱処理装置41の一部分を、ガラス基板36の搬送方向に対して正面から見た断面図である。なお、図3と同じ構成要素には同じ符号を付している。   FIG. 4 is a diagram showing a schematic configuration of a part of a PDP heat treatment apparatus according to another embodiment of the present invention. 4A is a plan view of a part of a PDP heat treatment apparatus 41 according to an embodiment of the present invention as viewed from above, and FIG. 4B is a heat treatment for PDP according to an embodiment of the present invention. FIG. 6 is a cross-sectional view of a part of the apparatus 41 as viewed from the front with respect to the conveyance direction of the glass substrate 36. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same component as FIG.

図4に示す実施の形態の特徴的な点は、床面41aの形状が、ローラコンベア32が配設されている部分で、ローラコンベア32の形状に沿って設けられている、断面が円弧状である溝部48の先端48aを、ローラーコンベア32の先端32aよりさらに延長した形状としており、このことにより図3に示した構造の場合に比べ、さらに効果的に、先端32aから噴出した気体を、被搬送物である、ガラス基板36を載置したガラス基板支持材35の底面、もしくはガラス基板36単体の場合にはガラス基板36の底面に、吹き付けることが可能となり、もってローラーコンベア32に対して作用する曲げモーメントの低減を効果的に行うことが可能となる。   A characteristic point of the embodiment shown in FIG. 4 is that the shape of the floor surface 41a is a portion where the roller conveyor 32 is disposed, and is provided along the shape of the roller conveyor 32. The tip 48a of the groove 48, which is a shape further extended from the tip 32a of the roller conveyor 32, allows the gas ejected from the tip 32a to be more effectively compared to the structure shown in FIG. It is possible to spray the bottom surface of the glass substrate support material 35 on which the glass substrate 36 is placed, or the bottom surface of the glass substrate 36 in the case of the glass substrate 36 alone. It is possible to effectively reduce the acting bending moment.

図5は、本発明の一実施の形態によるPDP用熱処理装置におけるローラーコンベア32の先端32aの概略構造の一例を示す図である。図5(a)に示すような孔32cを形成したコーン形状や、図5(b)に示すような孔32cの加工を施したオリフィス形状などを挙げることができる。   FIG. 5 is a diagram showing an example of a schematic structure of the tip 32a of the roller conveyor 32 in the PDP heat treatment apparatus according to the embodiment of the present invention. A cone shape in which a hole 32c as shown in FIG. 5A is formed, an orifice shape in which the hole 32c is processed as shown in FIG.

以上のように本発明は、大画面、高精細のPDPを提供する上で有用な発明である。   As described above, the present invention is useful for providing a large-screen, high-definition PDP.

本発明の一実施の形態によるPDP用熱処理装置を用いて製造されるPDPの概略構成を示す断面斜視図Sectional perspective view which shows schematic structure of PDP manufactured using the heat processing apparatus for PDP by one embodiment of this invention 一般的なローラーハース方式の熱処理装置の概略構成を示す断面図Sectional drawing which shows schematic structure of the heat processing apparatus of a general roller hearth system 本発明の一実施の形態によるPDP用熱処理装置の一部分を切り出して概略構成を示す図The figure which cuts out one part of the heat processing apparatus for PDP by one embodiment of this invention, and shows schematic structure 本発明の他の実施の形態によるPDP用熱処理装置の一部分を切り出して概略構成を示す図The figure which cuts out a part of heat processing apparatus for PDP by other embodiment of this invention, and shows schematic structure 本発明の一実施の形態によるPDP用熱処理装置におけるローラーコンベアの先端の概略構造の一例を示す図The figure which shows an example of schematic structure of the front-end | tip of the roller conveyor in the heat processing apparatus for PDP by one embodiment of this invention

1 プラズマディスプレイパネル(PDP)
2 前面板
3 前面ガラス基板
4 走査電極
5 維持電極
6 表示電極
7 ブラックストライプ(遮光層)
8 誘電体層
9 保護層
10 背面板
11 背面ガラス基板
12 アドレス電極
13 下地誘電体層
14 隔壁
15 蛍光体層
16 放電空間
20 ローラコンベア
21 駆動装置
22 熱処理装置
23 ガラス基板支持材
24 ガラス基板
31 熱処理装置
31a 床面
31b 側壁
31c 天井壁
31d 隙間
32 ローラコンベア
32a ローラ先端
32b ローラ基端
32c 孔
33 ローラコンベア支持部材
34 駆動手段
35 ガラス基板支持材
36 ガラス基板
37 気体供給管
38 溝部
39 カラー
41 熱処理装置
48 溝部
48a 溝部の先端
1 Plasma display panel (PDP)
2 Front plate 3 Front glass substrate 4 Scan electrode 5 Sustain electrode 6 Display electrode 7 Black stripe (light shielding layer)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 8 Dielectric layer 9 Protective layer 10 Back plate 11 Back glass substrate 12 Address electrode 13 Base dielectric layer 14 Partition 15 Phosphor layer 16 Discharge space 20 Roller conveyor 21 Drive device 22 Heat treatment device 23 Glass substrate support material 24 Glass substrate 31 Heat treatment Device 31a Floor surface 31b Side wall 31c Ceiling wall 31d Clearance 32 Roller conveyor 32a Roller tip 32b Roller base end 32c Hole 33 Roller conveyor support member 34 Driving means 35 Glass substrate support material 36 Glass substrate 37 Gas supply pipe 38 Groove portion 39 Color 41 Heat treatment device 48 Groove 48a Groove tip

Claims (1)

プラズマディスプレイパネルを構成するガラス基板を、単独で、もしくはガラス基板支持材上に載置した状態で搬送しつつ熱処理を行うプラズマディスプレイパネル用熱処理装置であって、ローラーコンベアを、前記プラズマディスプレイパネル用熱処理装置の両側壁それぞれから前記熱処理装置の内部に延出させて、搬送方向に複数本、互いに対向させて、且つ回転自在に配設し、前記ローラーコンベアは中空構造で、ローラコンベア内を通った気体を、ローラコンベアの先端から噴出させ、前記ローラーコンベアで搬送されるガラス基板の底面、もしくは、ガラス基板を載置したガラス基板支持材の底面に吹き付けるように構成したプラズマディスプレイパネル用熱処理装置。 A plasma display panel heat treatment apparatus that performs heat treatment while conveying a glass substrate constituting a plasma display panel alone or in a state of being placed on a glass substrate support material, wherein a roller conveyor is used for the plasma display panel. Extending from each side wall of the heat treatment apparatus to the inside of the heat treatment apparatus, a plurality of them are opposed to each other in the conveying direction and are rotatably arranged. The roller conveyor has a hollow structure and passes through the roller conveyor. The plasma display panel heat treatment apparatus is configured such that the gas is ejected from the tip of the roller conveyor and sprayed to the bottom surface of the glass substrate conveyed by the roller conveyor or the bottom surface of the glass substrate supporting material on which the glass substrate is placed. .
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