JP2010185630A - Heat treatment device for plasma display panel - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、プラズマディスプレイパネルを製造する際に用いるプラズマディスプレイ用熱処理装置に関するものである。 The present invention relates to a plasma display heat treatment apparatus used when manufacturing a plasma display panel.
プラズマディスプレイパネル(以下、PDPと記す)は、対向配置した前面パネルと背面パネルの周縁部を封着部材によって封着した構造であって、前面パネルと背面パネルとの間に形成された放電空間には、ネオンおよびキセノンなどの放電ガスが封入されている。 A plasma display panel (hereinafter referred to as PDP) has a structure in which peripheral portions of a front panel and a back panel arranged opposite to each other are sealed by a sealing member, and a discharge space formed between the front panel and the back panel. Is filled with a discharge gas such as neon and xenon.
前面パネルは、ガラス基板の片面にストライプ状に形成された走査電極と維持電極とからなる複数の表示電極対と、これらの表示電極対を覆う誘電体層および保護層とを備えている。表示電極対は、それぞれ透明電極とその透明電極上に形成した金属材料からなる補助電極とによって構成されている。 The front panel includes a plurality of display electrode pairs formed of scan electrodes and sustain electrodes formed in a stripe shape on one surface of a glass substrate, and a dielectric layer and a protective layer covering these display electrode pairs. Each of the display electrode pairs includes a transparent electrode and an auxiliary electrode made of a metal material formed on the transparent electrode.
背面パネルは、もう一方のガラス基板の片面に、表示電極対と直交する方向にストライプ状に形成された複数のアドレス電極と、これらのアドレス電極を覆う下地誘電体層と、放電空間をアドレス電極毎に区画するストライプ状の隔壁と、隔壁間の溝に順次塗布された赤色、緑色、青色の蛍光体層とを備えている。 The back panel has a plurality of address electrodes formed in a stripe shape in a direction perpendicular to the display electrode pair on one side of the other glass substrate, a base dielectric layer covering these address electrodes, and an address electrode for discharging space. Stripe-shaped partition walls that are partitioned every time, and red, green, and blue phosphor layers that are sequentially applied to the grooves between the partition walls.
表示電極対とアドレス電極は立体的に交差していて、その交差部が放電セルになる。これらの放電セルはマトリクス状に配列され、表示電極対の方向に並ぶ赤色、緑色、青色の蛍光体層を有する3個の放電セルがカラー表示のための画素になる。 The display electrode pair and the address electrode cross three-dimensionally, and the intersection becomes a discharge cell. These discharge cells are arranged in a matrix, and three discharge cells having red, green, and blue phosphor layers arranged in the direction of the display electrode pair become pixels for color display.
PDPは順次、走査電極とアドレス電極間、および走査電極と維持電極間に所定の電圧を印加してガス放電を発生させ、そのガス放電で生じる紫外線で蛍光体層を励起し発光させることによりカラー画像を表示している。 The PDP sequentially applies a predetermined voltage between the scan electrode and the address electrode and between the scan electrode and the sustain electrode to generate a gas discharge, and the phosphor layer is excited by the ultraviolet rays generated by the gas discharge to emit light. An image is displayed.
ここで、前面パネルおよび背面パネルの製造方法としては、前面ガラス基板上には、表示電極対、誘電体層などの構成物を、また、背面ガラス基板上には、アドレス電極、下地誘電体層、隔壁、蛍光体層などの構成物を、所定の形状、パターンで配置している。 Here, as a manufacturing method of the front panel and the back panel, components such as a display electrode pair and a dielectric layer are formed on the front glass substrate, and an address electrode and a base dielectric layer are formed on the back glass substrate. Components such as barrier ribs and phosphor layers are arranged in a predetermined shape and pattern.
これら構成物は、それぞれの材料(前駆体材料)をガラス基板上に塗布し、必要に応じてフォトリソグラフィ法やサンドブラスト法などにより所定のパターニングした後、焼成により固化することで形成される。 These constituents are formed by applying each material (precursor material) on a glass substrate, performing a predetermined patterning by a photolithography method or a sandblasting method, if necessary, and then solidifying by firing.
ここで、ガラス基板上に所定の材料(前駆体材料)を塗布することで材料層を形成し、そして、焼成・固化することによりそれぞれの構成物をガラス基板上に形成するという工程において、焼成・固化する際には、ガラス基板をガラス基板支持板上(いわゆる、セッター)に載せ、ガラス基板支持板とともに熱処理装置に搬入することで、材料層の焼成・固化を行っている(例えば、特許文献1参照)。
ガラス基板上に形成した、構成物の前駆体材料を焼成し固化する際に、焼成むらの発生を防止し得る、PDP用熱処理装置を提供することを目的とする。 It is an object of the present invention to provide a heat treatment apparatus for PDP that can prevent the occurrence of uneven firing when firing a precursor material of a constituent formed on a glass substrate and solidifying it.
上記目的を実現するために本発明のPDP用熱処理装置は、PDPを構成するガラス基板を熱処理装置内に投入する際に使用するガラス基板を載せるガラス基板支持板であって、ガラス基板支持板は、ガラス基板支持板基台とガラス基板支持板分割片とが組み合わされ、嵌合することで、ガラス基板を載置する面がフラットな状態に一体化する構造となっており、ガラス基板支持板分割片が、突き上げ機構により上下動することで、ガラス基板支持板に対しガラス基板の載置および切り離しが行われることを特徴とするものである。 In order to achieve the above object, the heat treatment apparatus for PDP of the present invention is a glass substrate support plate on which a glass substrate used when a glass substrate constituting the PDP is put into the heat treatment apparatus, The glass substrate support plate base and the glass substrate support plate split piece are combined and fitted to form a structure in which the surface on which the glass substrate is placed is integrated in a flat state. The division piece moves up and down by a push-up mechanism, whereby the glass substrate is placed and separated from the glass substrate support plate.
本発明によれば、ガラス基板上に形成した、構成物の前駆体材料を焼成し固化する際に、焼成むらの発生の防止を実現できるPDP用熱処理装置を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, when baking the precursor material of the structure formed on the glass substrate and solidifying, the heat processing apparatus for PDP which can implement | achieve generation | occurrence | production of baking nonuniformity can be provided.
以下、本発明の一実施の形態によるPDP用熱処理装置について図面を用いて説明するが、本発明の実施の態様はこれに限定されるものではない。 Hereinafter, although the heat processing apparatus for PDP by one Embodiment of this invention is demonstrated using drawing, the aspect of this invention is not limited to this.
図1は本発明の一実施の形態によるPDP用熱処理装置を用いて製造されるPDPの概略構成を示す断面斜視図である。 FIG. 1 is a cross-sectional perspective view showing a schematic configuration of a PDP manufactured using a PDP heat treatment apparatus according to an embodiment of the present invention.
PDP1は前面ガラス基板3などよりなる前面パネル2と、背面ガラス基板11などよりなる背面パネル10とが対向して配置され、その外周部をガラスフリットなどからなる封着部材によって気密封着している。封着されたPDP1内部の放電空間16には、ネオン(Ne)およびキセノン(Xe)などの放電ガスが400Torr〜600Torrの圧力で封入されている。
In the
前面パネル2の前面ガラス基板3の一主面上には、走査電極4および維持電極5よりなる一対のストライプ状の表示電極6とブラックストライプ(遮光層)7が互いに平行にそれぞれ複数列配置されている。さらにこれらの表示電極6と遮光層7とを覆うようにPb−B系ガラスなどからなりコンデンサとしての働きをする誘電体層8が形成され、さらにその表面に酸化マグネシウム(MgO)などからなる保護層9が形成されている。
On one main surface of the front glass substrate 3 of the front panel 2, a pair of
また、背面パネル10の背面ガラス基板11の一主面上には、走査電極4および維持電極5と直交する方向に、複数のストライプ状のアドレス電極12が互いに平行に配置され、これを下地誘電体層13が被覆している。さらに、アドレス電極12間の下地誘電体層13上には放電空間16を区切る所定の高さの隔壁14が形成されている。隔壁14間の溝にアドレス電極12毎に、紫外線によって赤色、緑色、および青色にそれぞれ発光する蛍光体層15が順次塗布されている。走査電極4および維持電極5とアドレス電極12とが交差する位置に放電セルが形成され、表示電極6方向に並んだ赤色、緑色、および青色の蛍光体層15を有する放電セルがカラー表示のための画素になる。
A plurality of stripe-
次に、PDPの製造方法について説明する。まず、前面ガラス基板3の一主面上に、走査電極4および維持電極5と遮光層7とを形成する。走査電極4と維持電極5は、インジウムスズ酸化物(ITO)や酸化スズ(SnO2)などからなる透明電極と、その上に形成した銀ペーストなどからなる金属バス電極とによって構成されている。これらの電極は、フォトリソグラフィ法などを用いてパターニングして形成される。これらの電極材料層は所望の温度で焼成固化される。また、遮光層7も同様に、黒色顔料を含むペーストをスクリーン印刷する方法や黒色顔料をガラス基板の全面に形成した後、フォトリソグラフィ法を用いてパターニングし、焼成固化することにより形成される。
Next, a method for manufacturing a PDP will be described. First, the scan electrode 4, the sustain electrode 5, and the
次に、走査電極4、維持電極5および遮光層7を覆うように前面ガラス基板3上に誘電体ペーストをダイコート法などにより塗布して誘電体ペースト層(誘電体材料層)を形成する。誘電体ペーストを塗布した後、所定の時間放置することにより塗布された誘電体ペースト表面がレベリングされて平坦な表面になる。その後、誘電体ペースト層を焼成固化することにより、走査電極4、維持電極5および遮光層7を覆う誘電体層8が形成される。なお、誘電体ペーストはガラス粉末などの誘電体材料、バインダおよび溶剤を含む塗料である。次に、誘電体層8上に酸化マグネシウム(MgO)からなる保護層9を真空蒸着法により形成する。以上の工程により前面ガラス基板3上に所定の構成物(走査電極4、維持電極5、遮光層7、誘電体層8、保護層9)が形成され、前面パネル2が完成する。
Next, a dielectric paste is applied on the front glass substrate 3 by a die coating method or the like so as to cover the scan electrode 4, the sustain electrode 5, and the
一方、背面パネル10は以下のようにして形成される。まず、背面ガラス基板11の一主面上に、銀ペーストをスクリーン印刷する方法や、金属膜を全面に形成した後、フォトリソグラフィ法を用いてパターニングする方法などによりアドレス電極12用の構成物となる材料層を形成し、それを所望の温度で焼成固化することによりアドレス電極12を形成する。
On the other hand, the
次に、アドレス電極12が形成された面の背面ガラス基板11上にダイコート法などによりアドレス電極12を覆うように誘電体ペーストを塗布して誘電体ペースト層を形成する。その後、誘電体ペースト層を焼成することにより下地誘電体層13を形成する。なお、誘電体ペーストはガラス粉末などの誘電体材料とバインダおよび溶剤を含んだ塗料である。
Next, a dielectric paste is applied to the
次に、下地誘電体層13上に隔壁材料を含む隔壁形成用ペーストを塗布して所定の形状にパターニングすることにより、隔壁材料層を形成した後、焼成固化することにより隔壁14を形成する。ここで、下地誘電体層13上に塗布した隔壁用ペーストをパターニングする方法としては、フォトリソグラフィ法やサンドブラスト法を用いることができる。
Next, a partition wall forming paste containing a partition wall material is applied on the base
次に、隣接する隔壁14間の下地誘電体層13上および隔壁14側面に蛍光体材料を含む蛍光体ペーストを塗布し、焼成固化することにより蛍光体層15が形成される。以上の工程により、背面ガラス基板11上に所定の構成部材を有する背面パネル10が完成する。
Next, the
上述した工程より所定の構成部材を備えた前面パネル2と背面パネル10とを、走査電極4とアドレス電極12とが直交するように対向配置して、その周囲をガラスフリットで封着し、放電空間16にネオン、キセノンなどを含む放電ガスを封入することによりPDP1が完成する。
The front panel 2 and the
以上、説明したように、PDPの製造工程において、前面ガラス基板3上の金属バス電極(図示せず)、遮光層7、誘電体層8、および背面ガラス基板11上のアドレス電極12、下地誘電体層13、隔壁14、蛍光体層15は、それぞれの構成部材用の前駆体材料を前面ガラス基板3または背面ガラス基板11の上に塗布し、必要に応じて所定のパターンに形成した後、焼成固化することにより作製される。焼成工程は構成部材毎に500℃〜600℃で行われ、少なくとも前面パネル2の場合には2回、背面パネル10の場合には4回の焼成工程が必要となる。
As described above, in the PDP manufacturing process, the metal bus electrode (not shown) on the front glass substrate 3, the
次に、焼成工程で使用するPDP用熱処理装置について説明する。 Next, a heat treatment apparatus for PDP used in the firing process will be described.
図2は、本発明の一実施の形態によるPDP用熱処理装置の概略構成を示す側面断面図である。 FIG. 2 is a side sectional view showing a schematic configuration of a heat treatment apparatus for PDP according to an embodiment of the present invention.
熱処理装置21のローラーコンベア24上をガラス基板支持板23に載せられたガラス基板22が搬送される。熱処理装置21は切離し装置及びローダ/アンローダー25と熱処理装置本体26の入口とリターンコンベア29の出口で繋がれている。
The
切離し装置及びローダ/アンローダー25は、ガラス基板22をガラス基板支持板23上に設置し熱処理装置本体26へ投入する。ガラス基板22及びガラス基板支持板23は、熱処理装置本体26内上部に設けられた加熱ヒーター27で加熱され熱処理が行われる。ガラス基板22及びガラス基板支持板23が所定の熱処理後、リフター28で熱処理装置本体26の下部に設置されたリターンコンベア29内を搬送される。ガラス基板22及びガラス基板支持板23はリターンコンベア29内で冷却装置30を用いて室温状態まで冷却する。切離し装置及びローダ/アンローダー25はリターンコンベア29の出口から排出されたガラス基板22をガラス基板支持板23から分離して、カセット(図示せず)に投入する。
The separation device and loader /
ここで、従来のガラス基板支持板123の概略構造を、ガラス基板22が載置された状態で図3に示す。ガラス基板22はガラス基板支持板123上に図3に示すように載置され、ガラス基板支持板123には、穴132が複数設けられている。穴132の直径最大20mm程度が一般的である。
Here, a schematic structure of the conventional glass
以上のようなガラス基板支持板123の構造において、ガラス基板22をガラス基板支持板123に載置する際には、ガラス基板22を、切離し装置及びローダ/アンローダーと呼ばれる装置上にて、ガラス基板支持板123に設けられた複数の穴132を貫通して突き上がった状態の突き上げピン上に載せられ、その後、突き上げピンが下がり、ガラス基板支持板123の穴132から抜けることでガラス基板22がガラス基板支持板123上に載置される。このため、従来、ガラス基板支持板123には、図3に示したように、突き上げピンが通過するための複数の穴132が設けられた構造となっていた。
In the structure of the glass
しかしながら、上述したようなガラス基板支持板123の場合、ガラス基板22がこのようなガラス基板支持板123上に載置された状態で熱処理装置内で焼成されると、ガラス基板支持板123の複数の穴132に接するガラス基板22の部分とそれ以外の部分とで、熱容量の違いに起因すると考えられる、温度の変化率の違いが発生し、その結果、ガラス基板22上に形成した構成物の前駆体材料の焼成に「むら」が発生してしまう、という場合があった。
However, in the case of the glass
そこで、本発明の一実施の形態によるPDP用熱処理装置では、図4にその概略構成を示すような、ガラス基板支持板23を用いている。なお、図4(a)は斜視図であり、図4(b)は、図4(a)中のA−A矢視断面図である。なお、図4に示すいずれの図においても、上面がガラス基板22を載置する面となる。
Therefore, in the heat treatment apparatus for PDP according to one embodiment of the present invention, a glass
すなわち、本発明の一実施の形態によるPDP用熱処理装置におけるガラス基板支持板23は、ガラス基板支持板基台23aとガラス基板支持板分割片23bとが組み合わされ、ガラス基板支持板基台23aとガラス基板支持板分割片23bとが嵌合することで、ガラス基板22を載置する面がフラットな状態に一体化する構造となっている。
That is, the glass
また、図4に示すように、ガラス基板支持板分割片23bは、熱処理装置内での搬送方向と平行方向に分割するように構成されている。
Moreover, as shown in FIG. 4, the glass substrate support plate division |
図5は、本発明の一実施の形態によるPDP用熱処理装置におけるガラス基板支持板23を用いた際の動作を説明するための図であり、図5(a)は上面図と側面図を、図5(b)〜図5(d)は、側面図を、それぞれ概略的に示す。
FIG. 5 is a view for explaining the operation when the glass
まず、切離し装置上で、ガラス基板支持板分割片23bの下方位置に突き上げピン42が、少なくともガラス基板支持板23の進行方向に3箇所以上待機している(図5(a))。この状態から、突き上げピン42などの突き上げ機構により上方に移動(突き上げ)し、ガラス基板支持板分割片23bをガラス基板支持板基台23aから持ち上げられる(図5(b))。そして、突き上げピン42によって持ち上げられた状態のガラス基板支持板分割片23bに、ロボットなどを用いてガラス基板22を静かに設置する(図5(c))。そして、突き上げピン42を下げることで、当初のように、ガラス基板支持板基台23aとガラス基板支持板分割片23bとが嵌合して一体化し、もって、ガラス基板22は、ガラス基板支持板基台23aとガラス基板支持板分割片23bとが嵌合して一体化することによって構成されるガラス基板支持板23上に載置されることとなる。そしてこの状態で熱処理装置に投入することで、ガラス基板22上に形成した材料層の焼成を行う(図5(d))。
First, on the separating apparatus, the push-up
また、焼成が終了し、熱処理装置から出てきたガラス基板支持板23とガラス基板22とは、上述した動作とは逆の動作とすることで、分離する。
In addition, the glass
以上のようなガラス基板支持板23によりガラス基板22上に形成した材料層の焼成を行えば、ガラス基板支持板23には穴など、貫通口が存在しないので、熱容量の違いに起因すると考えられる、ガラス基板22上に形成した構成物の前駆体材料の焼成に対する「むら」の発生を大幅に抑制することが可能となる。
If the material layer formed on the
その結果、良好な画像表示が可能なPDPを実現することが可能となる。 As a result, it becomes possible to realize a PDP capable of displaying a good image.
なお、上述した動作より明らかなように、安定にガラス基板22を持ち上げるためには、ガラス基板支持板分割片23bは、2箇所以上、必要である。
As is clear from the above-described operation, two or more glass substrate support
上述した本発明の一実施の形態によるPDP用熱処理装置は、ガラス基板支持板を、ガラス基板支持板基台とガラス基板支持板分割片とを組み合わせた構成とし、ガラス基板支持板基台の、ガラス基板支持板分割片が嵌合する箇所の穴部を通って突き上げピンが突き出るようにしていることから、熱処理装置内にて、突き上げピンが下がった状態の際には、ガラス基板支持板分割片によってガラス基板支持板基台の、突き上げピンが通る穴部が塞がれた状態となることから、ガラス基板の焼成の際に焼成の「むら」が発生することが防止できることとなる。 In the heat treatment apparatus for PDP according to one embodiment of the present invention described above, the glass substrate support plate is configured by combining the glass substrate support plate base and the glass substrate support plate divided piece, Since the push-up pin protrudes through the hole where the glass substrate support plate split piece is fitted, the glass substrate support plate is divided when the push-up pin is lowered in the heat treatment apparatus. Since the hole passes through the push-up pin of the glass substrate support plate base by the piece, it is possible to prevent the occurrence of firing “unevenness” during firing of the glass substrate.
以上のように本発明は、大画面、高精細のPDPを提供する上で有用な発明である。 As described above, the present invention is useful for providing a large-screen, high-definition PDP.
1 プラズマディスプレイパネル(PDP)
2 前面板
3 前面ガラス基板
4 走査電極
4a、5a 透明電極
4b、5b 金属バス電極
5 維持電極
6 表示電極
7 ブラックストライプ
8 誘電体層
9 保護層
10 背面板
11 背面ガラス基板
12 アドレス電極
13 下地誘電体層
14 隔壁
15 蛍光体層
16 放電空間
21 熱処理装置
22 ガラス基板
23 ガラス基板支持板
23a ガラス基板支持板基台
23b ガラス基板支持板分割片
24 ローラーコンベア
25 切離し装置及びローダ/アンローダー
26 熱処理装置本体
27 ヒーター
28 リフター
29 リターンコンベア
30 冷却装置
31 切離し装置及びローダ/アンローダー
42 突き上げピン(突き上げ機構)
1 Plasma display panel (PDP)
2 Front plate 3 Front glass substrate 4 Scan electrode 4a, 5a Transparent electrode 4b, 5b Metal bus electrode 5 Sustain
Claims (1)
ガラス基板支持板は、ガラス基板支持板基台とガラス基板支持板分割片とが組み合わされ、嵌合することで、ガラス基板を載置する面がフラットな状態に一体化する構造となっており、
ガラス基板支持板分割片が、突き上げ機構により上下動することで、ガラス基板支持板に対するガラス基板の載置および切り離しが行われることを特徴とするプラズマディスプレイパネル用熱処理装置。 A glass substrate support plate for placing a glass substrate used when a glass substrate constituting a plasma display panel is put into a heat treatment apparatus,
The glass substrate support plate has a structure in which the surface on which the glass substrate is placed is integrated in a flat state by combining and fitting the glass substrate support plate base and the glass substrate support plate divided piece. ,
A heat treatment apparatus for a plasma display panel, wherein the glass substrate support plate divided pieces are moved up and down by a push-up mechanism, whereby the glass substrate is placed on and separated from the glass substrate support plate.
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