JP2010181367A - Power supply device and semiconductor testing device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a power supply device capable of suppressing maximumly increase of a circuit scale and cost, and to provide a semiconductor testing device capable of reducing cost by including the power supply device. <P>SOLUTION: The power supply device 1 include: a sense amplifier 20 for measuring a voltage appearing in a grounding pin P2 of a DUT 40 to which a DC voltage is to be supplied; a device power supply part 10 for supplying a prescribed DC voltage to the DUT 40 based on the voltage measured by the sense amplifier 20; and an AC signal source 30 connected to an inverting input terminal of the sense amplifier 20, for outputting an AC signal to be superimposed on the voltage measured by the sense amplifier 20. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、電源の供給を行う電源装置、及び当該電源装置を備える半導体試験装置に関する。   The present invention relates to a power supply device that supplies power and a semiconductor test apparatus including the power supply device.

半導体試験装置を用いた半導体デバイス（以下、ＤＵＴ（Device Under Test）という）の試験は、直流試験と交流試験とに大別される。ここで、直流試験とは、ＤＵＴの特定のピンに直流信号を印加したときに測定される直流信号が予め定められた規格内であるか否かを判定する試験であり、交流試験とは、パルス状の試験信号をＤＵＴに印加したときに、期待通りの信号が得られるか否かを判定する試験である。上記の直流試験の試験項目の１つに、ＤＵＴの電源電圧変動除去（Power-Supply Rejection）特性の試験がある。かかる試験を実現するために、半導体試験装置は、ＤＵＴに対して交流信号が重畳された直流電源を供給することが可能な電源装置を備える。   A test of a semiconductor device (hereinafter referred to as a DUT (Device Under Test)) using a semiconductor test apparatus is roughly divided into a DC test and an AC test. Here, the DC test is a test for determining whether or not a DC signal measured when a DC signal is applied to a specific pin of the DUT is within a predetermined standard. This is a test for determining whether or not an expected signal is obtained when a pulsed test signal is applied to the DUT. One of the test items of the DC test is a test of the power-supply rejection characteristic of the DUT. In order to realize such a test, the semiconductor test apparatus includes a power supply device capable of supplying a DC power source on which an AC signal is superimposed on the DUT.

図６は、半導体試験装置が備える従来の電源装置の一例を示すブロック図である。図６に示す通り、従来の電源装置１００は、交流信号源１１０、デバイス電源部１２０、及びセンスアンプ１３０を備えており、交流信号が重畳された直流電源（直流電圧）をＤＵＴ２００に供給する。交流信号源１１０は、コンデンサ１１１を介してデバイス電源部１２０に接続されており、ＤＵＴ２００に供給される直流電圧に重畳される交流信号をデバイス電源部１２０に出力する。   FIG. 6 is a block diagram showing an example of a conventional power supply device provided in the semiconductor test apparatus. As shown in FIG. 6, the conventional power supply apparatus 100 includes an AC signal source 110, a device power supply unit 120, and a sense amplifier 130, and supplies a DC power supply (DC voltage) on which an AC signal is superimposed to the DUT 200. The AC signal source 110 is connected to the device power supply unit 120 via the capacitor 111, and outputs an AC signal superimposed on the DC voltage supplied to the DUT 200 to the device power supply unit 120.

デバイス電源部１２０は、ＤＡＣ（ディジタル／アナログ変換器）１２１、アンプ１２２〜１２５、及び抵抗１２６〜１２９を備えており、ＤＵＴ２００に供給すべき直流電圧を生成するとともに、生成した直流電圧に対して交流信号源１１０から出力される交流信号を重畳してＤＵＴ２００に供給する。このデバイス電源部１２０は、２本の信号線Ｌ１１１，Ｌ１１２を介してＤＵＴ２００の電源ピンＰ１００と電気的に接続され、一端がデバイス電源部１２０の内部で接地された１本の信号線Ｌ１２１を介してＤＵＴ２００の接地ピン（グランドピン）Ｐ２００と電気的に接続される。   The device power supply unit 120 includes a DAC (digital / analog converter) 121, amplifiers 122 to 125, and resistors 126 to 129, and generates a DC voltage to be supplied to the DUT 200. The AC signal output from the AC signal source 110 is superimposed and supplied to the DUT 200. The device power supply unit 120 is electrically connected to the power supply pin P100 of the DUT 200 via two signal lines L111 and L112, and one signal line L121 whose one end is grounded inside the device power supply unit 120. Are electrically connected to the ground pin (ground pin) P200 of the DUT 200.

ＤＡＣ１２１は、ＤＵＴ２００の電源ピンＰ１００に印加すべき電圧（目標電圧）を示すディジタル信号（図示省略）を入力としており、このディジタル信号をアナログ信号に変換して出力する。ＤＡＣ１２１の出力端は、抵抗１２６を介してアンプ１２２の反転入力端に接続されている。アンプ１２２は、反転入力端に入力される信号と非反転入力端に入力される信号との差を抵抗１２６，１２７の抵抗値で定まる増幅率で増幅して出力する。このアンプ１２２の出力端は、抵抗１２８を介して信号線Ｌ１１１に接続されている。   The DAC 121 receives a digital signal (not shown) indicating a voltage (target voltage) to be applied to the power supply pin P100 of the DUT 200, converts the digital signal into an analog signal, and outputs the analog signal. The output terminal of the DAC 121 is connected to the inverting input terminal of the amplifier 122 via the resistor 126. The amplifier 122 amplifies and outputs the difference between the signal input to the inverting input terminal and the signal input to the non-inverting input terminal with an amplification factor determined by the resistance values of the resistors 126 and 127. The output terminal of the amplifier 122 is connected to the signal line L111 via the resistor 128.

アンプ１２３，１２４，１２５は、何れも出力端と反転入力端とが接続された増幅率が「１」であるアンプである。アンプ１２３は、信号線Ｌ１１２が接続されている非反転入力端に入力される電圧を出力端から出力する。このアンプ１２３の出力端は、抵抗１２７を介してアンプ１２２の反転入力端に接続されている。アンプ１２４はセンスアンプ１３０から出力される電圧をアンプ１２２の非反転入力端に入力するために設けられる。また、アンプ１２５は交流信号源１１０から出力される交流信号を、抵抗１２９を介してアンプ１２２の反転入力端に入力するために設けられる。   Each of the amplifiers 123, 124, and 125 is an amplifier having an amplification factor of “1” in which an output terminal and an inverting input terminal are connected. The amplifier 123 outputs the voltage input to the non-inverting input terminal to which the signal line L112 is connected from the output terminal. The output terminal of the amplifier 123 is connected to the inverting input terminal of the amplifier 122 via a resistor 127. The amplifier 124 is provided to input the voltage output from the sense amplifier 130 to the non-inverting input terminal of the amplifier 122. The amplifier 125 is provided for inputting an AC signal output from the AC signal source 110 to the inverting input terminal of the amplifier 122 via the resistor 129.

センスアンプ１３０は、出力端と反転入力端とが接続された増幅率が「１」であるアンプであり、ＤＵＴ２００の接地ピンＰ２００に現れる電圧を測定するために設けられる。このセンスアンプ１３０は、その非反転入力端に信号線Ｌ１２２が接続されており、この信号線Ｌ１２２を介してＤＵＴ２００の接地ピンＰ２００と電気的に接続される。   The sense amplifier 130 is an amplifier having an amplification factor of “1” connected to the output terminal and the inverting input terminal, and is provided to measure a voltage appearing at the ground pin P200 of the DUT 200. The sense amplifier 130 has a signal line L122 connected to the non-inverting input terminal thereof, and is electrically connected to the ground pin P200 of the DUT 200 via the signal line L122.

上記構成の電源装置１００において、ＤＡＣ１２１から出力された信号（目標電圧を示す信号）は抵抗１２６を介してアンプ１２２の反転入力端に入力され、センスアンプ１３０から出力されてアンプ１２４を介した信号（ＤＵＴ２００の接地ピンＰ２００に現れる電圧を示す信号）はアンプ１２２の非反転入力端に入力される。アンプ１２２ではこれらの差分が増幅され、増幅された信号に応じた直流電圧がＤＵＴ２００の電源ピンＰ１００に印加される。   In the power supply device 100 configured as described above, a signal (a signal indicating a target voltage) output from the DAC 121 is input to the inverting input terminal of the amplifier 122 via the resistor 126, and is output from the sense amplifier 130 and passes through the amplifier 124. (A signal indicating a voltage appearing at the ground pin P200 of the DUT 200) is input to the non-inverting input terminal of the amplifier 122. The amplifier 122 amplifies these differences, and a DC voltage corresponding to the amplified signal is applied to the power supply pin P100 of the DUT 200.

ここで、アンプ１２２の反転入力端には、アンプ１２５及び抵抗１２９を介して交流信号源１１０から出力される交流信号も入力されるため、ＤＵＴ２００の電源ピンＰ１００には交流信号が重畳された直流電圧が印加されることになる。尚、ＤＵＴ２００の電源ピンＰ１００に現れる電圧は、信号線Ｌ１１２、アンプ１２３、及び抵抗１２７を介してアンプ１２２の反転入力端にフィードバックされる。   Here, since the AC signal output from the AC signal source 110 via the amplifier 125 and the resistor 129 is also input to the inverting input terminal of the amplifier 122, the DC signal in which the AC signal is superimposed on the power supply pin P100 of the DUT 200. A voltage will be applied. The voltage appearing at the power supply pin P100 of the DUT 200 is fed back to the inverting input terminal of the amplifier 122 via the signal line L112, the amplifier 123, and the resistor 127.

このように、交流信号が重畳がされた直流電圧がＤＵＴ２００に印加されることによって、ＤＵＴの電源電圧変動除去特性を試験することができる。尚、以下の特許文献１は、直流電圧に対して交流信号を重畳させるものではないが、ＤＵＴに印加すべき電圧に対して重畳電圧を重畳することで、ＤＵＴに印加される電圧を低下させる技術が開示されている。   In this way, the DC voltage superimposed with the AC signal is applied to the DUT 200, so that the power supply voltage fluctuation removal characteristics of the DUT can be tested. The following Patent Document 1 does not superimpose an AC signal on a DC voltage, but lowers the voltage applied to the DUT by superimposing the superimposed voltage on the voltage to be applied to the DUT. Technology is disclosed.

特開平６−３０８１９７号公報JP-A-6-308197

ところで、複数のＤＵＴに対する直流試験を並列して実施可能な半導体試験装置、或いは複数の電源を必要とするＤＵＴの試験が可能な半導体試験装置は、図６に示すデバイス電源部１２０が複数設けられ、交流信号源１１０から出力される交流信号が各々のデバイス電源部１２０に分配される電源装置を備える。例えば、アナログ信号とディジタル信号との双方が用いられるＤＵＴ（例えば、ミックスドシグナルＩＣ）や、複数の機能が集積されるＤＵＴ（例えば、ＳＯＣ：System On a Chip）の試験を行う従来の半導体試験装置は、同測数（同時に試験可能なＤＵＴの数）が数個〜数十個程度である。このため、これらの半導体試験装置は、デバイス電源部１２０が数個〜数十個程度設けられた電源装置を備える。   Incidentally, a semiconductor test apparatus capable of performing DC tests on a plurality of DUTs in parallel, or a semiconductor test apparatus capable of testing a DUT requiring a plurality of power supplies, includes a plurality of device power supply units 120 shown in FIG. A power supply device in which an AC signal output from the AC signal source 110 is distributed to each device power supply unit 120 is provided. For example, a conventional semiconductor test for testing a DUT (for example, mixed signal IC) in which both an analog signal and a digital signal are used, and a DUT (for example, SOC: System On a Chip) in which a plurality of functions are integrated The apparatus has a number of measurements (the number of DUTs that can be tested simultaneously) of about several to several tens. For this reason, these semiconductor test apparatuses include a power supply apparatus in which several to several tens of device power supply units 120 are provided.

ここで、前述した通り、デバイス電源部１２０は、交流信号源１１０から出力される交流信号をＤＵＴ２００に供給する直流電圧に重畳させるためにアンプ１２５及び抵抗１２９を備える。デバイス電源部１２０を複数備える電源装置は、デバイス電源部１２０の各々にこれらアンプ１２５及び抵抗１２９が設けられるため、デバイス電源部１２０の回路規模が増大してしまう。   Here, as described above, the device power supply unit 120 includes the amplifier 125 and the resistor 129 in order to superimpose the AC signal output from the AC signal source 110 on the DC voltage supplied to the DUT 200. In a power supply device including a plurality of device power supply units 120, the amplifier 125 and the resistor 129 are provided in each of the device power supply units 120, so that the circuit scale of the device power supply unit 120 increases.

電源装置に設けられるデバイス電源部１２０の数が数個〜数十個程度であれば電源装置の回路規模やコストはさほど増大はしないが、同測数が増大するにつれて電源装置の回路規模やコストの上昇を無視することはできなくなる。特に、半導体メモリの試験を行うメモリテスタでは、同測数が５００以上のものが実用化されており、このような半導体試験装置に上記の電源装置を適用しようとした場合には、電源装置の回路規模及びコストが飛躍的に増大してしまうという問題がある。   If the number of device power supply units 120 provided in the power supply apparatus is several to several tens, the circuit scale and cost of the power supply apparatus will not increase so much, but the circuit scale and cost of the power supply apparatus will increase as the number of measurements increases. The rise of can not be ignored. In particular, in a memory tester for testing a semiconductor memory, those having the same number of 500 or more have been put into practical use, and when the above power supply device is applied to such a semiconductor test device, There is a problem that the circuit scale and cost increase dramatically.

本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、回路規模及びコストの増大を極力抑えることができる電源装置、及び当該電源装置を備えることによりコストの低減を図ることができる半導体試験装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and provides a power supply device capable of suppressing an increase in circuit scale and cost as much as possible, and a semiconductor test apparatus capable of reducing cost by including the power supply device. The purpose is to do.

上記課題を解決するために、本発明の電源装置は、直流電源を供給すべき被供給対象（４０、４０ａ〜４０ｎ、４１）の接地電位を測定する測定部（２０）と、当該測定部で測定される接地電位を基準として前記被供給対象に対して所定の直流電源を供給する電源部（１０、１０ａ〜１０ｎ）とを備える電源装置（１〜４）において、前記測定部の入力端に接続されて、前記測定部で測定される接地電位に重畳されるべき交流信号を出力する交流信号源（３０）を備えることを特徴としている。
この発明によると、測定部で測定された被供給対象の接地電位に対して交流信号源からの交流信号が重畳され、この交流信号が重畳された接地電位を基準として電源部で被供給対象に供給すべき所定の直流電源が生成されて被測定対象に供給される。
また、本発明の電源装置は、前記電源部が、複数設けられており、前記測定部で測定されて前記交流信号が重畳された接地電位は、複数設けられた前記電源部の各々に分配されることを特徴としている。
また、本発明の電源装置は、前記測定部が、一方の入力端が前記被供給対象の接地電極（Ｐ２）と電気的に接続され、他方の入力端が前記交流信号源と電気的に接続された差動増幅器を備えることを特徴としている。
また、本発明の電源装置は、前記被供給対象の接地電位を、前記測定部を含めた複数の部位に分配する分配部（５０）を備えることを特徴としている。
また、本発明の電源装置は、複数のスイッチを備えており、当該スイッチの開閉状態に応じて前記被供給対象の接地電位を複数に分配可能な第１スイッチ部（６１）と、前記第１スイッチ部が備える前記複数のスイッチに対して排他的に開閉する複数のスイッチを備えており、当該スイッチの開閉状態に応じて前記測定部で測定されて前記交流信号が重畳された接地電位を複数に分配可能な第２スイッチ部（６２）とを備えることを特徴としている。
本発明の半導体試験装置は、半導体デバイスの試験を行う半導体試験装置において、前記被供給対象としての前記半導体デバイスに対して前記交流信号が重畳された直流電源を供給する上記の何れかに記載の電源装置を備えることを特徴としている。 In order to solve the above-described problem, a power supply device of the present invention includes a measurement unit (20) that measures a ground potential of a supply target (40, 40a to 40n, 41) to which a DC power supply is to be supplied, and the measurement unit. In a power supply device (1 to 4) including a power supply unit (10, 10a to 10n) for supplying a predetermined DC power to the supply target with reference to a measured ground potential, an input terminal of the measurement unit An AC signal source (30) that is connected and outputs an AC signal to be superimposed on the ground potential measured by the measurement unit is provided.
According to the present invention, the AC signal from the AC signal source is superimposed on the ground potential of the supply target measured by the measurement unit, and the supply target is supplied to the power supply unit based on the ground potential on which the AC signal is superimposed. A predetermined DC power supply to be supplied is generated and supplied to the object to be measured.
In the power supply device of the present invention, a plurality of the power supply units are provided, and the ground potential measured by the measurement unit and superimposed with the AC signal is distributed to each of the plurality of power supply units provided. It is characterized by that.
In the power supply device of the present invention, the measurement unit has one input end electrically connected to the ground electrode (P2) to be supplied and the other input end electrically connected to the AC signal source. It is characterized by comprising a differential amplifier.
Moreover, the power supply device of the present invention is characterized by including a distribution unit (50) that distributes the ground potential to be supplied to a plurality of parts including the measurement unit.
In addition, the power supply device of the present invention includes a plurality of switches, and a first switch unit (61) capable of distributing the ground potential of the supply target to a plurality according to an open / closed state of the switches, and the first switch A plurality of switches that open and close exclusively with respect to the plurality of switches included in the switch unit; And a second switch section (62) that can be distributed to the first and second switches.
The semiconductor test apparatus of the present invention is the semiconductor test apparatus for testing a semiconductor device, wherein the semiconductor device as the supply target supplies the direct-current power on which the alternating current signal is superimposed. A power supply device is provided.

本発明によれば、測定部で測定された被供給対象の接地電位に対して交流信号源からの交流信号を重畳し、この交流信号を重畳した接地電位を基準として被供給対象に供給すべき所定の直流電源を電源部で生成して被供給対象に供給している。このため、交流信号が重畳された直流電圧を被供給対象に供給するという機能は維持しつつ、電源装置の回路規模及びコストの増大を極力抑えることができることができる。また、かかる電源装置を半導体試験装置に備えることで、半導体試験装置のコストの低減を図ることもできる。   According to the present invention, the AC signal from the AC signal source should be superimposed on the ground potential of the supply target measured by the measurement unit, and supplied to the supply target based on the ground potential on which the AC signal is superimposed. A predetermined DC power source is generated by the power supply unit and supplied to the supply target. For this reason, it is possible to suppress the increase in the circuit scale and cost of the power supply device as much as possible while maintaining the function of supplying the DC voltage on which the AC signal is superimposed to the supply target. Further, by providing such a power supply device in the semiconductor test apparatus, the cost of the semiconductor test apparatus can be reduced.

本発明の第１実施形態による電源装置の要部構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the principal part structure of the power supply device by 1st Embodiment of this invention. 本発明の第２実施形態による電源装置の要部構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the principal part structure of the power supply device by 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第２実施形態による電源装置の要部構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the principal part structure of the power supply device by 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第３実施形態による電源装置の要部構成の一部を示すブロック図である。It is a block diagram which shows a part of principal part structure of the power supply device by 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第４実施形態による電源装置の要部構成の一部を示すブロック図である。It is a block diagram which shows a part of principal part structure of the power supply device by 4th Embodiment of this invention. 半導体試験装置が備える従来の電源装置の一例を示すブロック図である。It is a block diagram which shows an example of the conventional power supply device with which a semiconductor test apparatus is provided.

以下、図面を参照して本発明の実施形態による電源装置及び半導体試験装置について詳細に説明する。尚、以下では、本発明の実施形態による電源装置が、半導体試験装置に設けられているものとして説明する。   Hereinafter, a power supply device and a semiconductor test apparatus according to embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the following description, it is assumed that the power supply apparatus according to the embodiment of the present invention is provided in a semiconductor test apparatus.

図１は、本発明の第１実施形態による電源装置の要部構成を示すブロック図である。図１に示す通り、本実施形態の電源装置１は、デバイス電源部１０（電源部）、センスアンプ２０（測定部）、及び交流信号源３０を備えており、交流信号が重畳された直流電源（直流電圧）をＤＵＴ４０（被供給対象）に供給する。ここで、図１に示す通り、ＤＵＴ４０は、電源ピンＰ１と接地ピン（グランドピン）Ｐ２（接地電極）とを備えており、上記の交流信号が重畳された直流電圧はＤＵＴ４０の電源ピンＰ１に印加される。   FIG. 1 is a block diagram showing a main configuration of the power supply device according to the first embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, the power supply device 1 of this embodiment includes a device power supply unit 10 (power supply unit), a sense amplifier 20 (measurement unit), and an AC signal source 30, and a DC power source on which an AC signal is superimposed. (DC voltage) is supplied to the DUT 40 (object to be supplied). Here, as shown in FIG. 1, the DUT 40 includes a power pin P <b> 1 and a ground pin (ground pin) P <b> 2 (ground electrode), and the DC voltage on which the AC signal is superimposed is applied to the power pin P <b> 1 of the DUT 40. Applied.

デバイス電源部１０は、ＤＡＣ（ディジタル／アナログ変換器）１１、アンプ１２〜１４、及び抵抗１５〜１７を備えており、ＤＵＴ４０に供給すべき直流電圧を生成するとともに、生成した直流電圧に対して交流信号源３０から出力される交流信号を重畳してＤＵＴ４０に供給する。このデバイス電源部１０は、２本の信号線Ｌ１１，Ｌ１２を介してＤＵＴ４０の電源ピンＰ１と電気的に接続され、１本の信号線Ｌ２１を介してＤＵＴ４０の接地ピンＰ２と電気的に接続される。   The device power supply unit 10 includes a DAC (digital / analog converter) 11, amplifiers 12 to 14, and resistors 15 to 17, generates a DC voltage to be supplied to the DUT 40, and generates a DC voltage for the generated DC voltage. The AC signal output from the AC signal source 30 is superimposed and supplied to the DUT 40. The device power supply unit 10 is electrically connected to the power supply pin P1 of the DUT 40 via the two signal lines L11 and L12, and is electrically connected to the ground pin P2 of the DUT 40 via the single signal line L21. The

上記の信号線Ｌ１１は直流電圧（交流信号が重畳された直流電圧）をＤＵＴ４０の電源ピンＰ１に印加するために用いられる信号線であり、信号線Ｌ１２はＤＵＴ４０の電源ピンＰ１に実際に現れる電圧を測定するために用いられる信号線である。また、上記の信号線Ｌ２１は、一端がデバイス電源部１０の内部で接地されており、デバイス電源部１０のグランド（図示省略）とＤＵＴ４０の接地ピンＰ２とを電気的に接続するために用いられる信号線である。   The signal line L11 is a signal line used to apply a DC voltage (DC voltage on which an AC signal is superimposed) to the power supply pin P1 of the DUT 40, and the signal line L12 is a voltage that actually appears at the power supply pin P1 of the DUT 40. Is a signal line used to measure One end of the signal line L21 is grounded inside the device power supply unit 10, and is used to electrically connect the ground (not shown) of the device power supply unit 10 and the ground pin P2 of the DUT 40. It is a signal line.

ＤＡＣ１１は、ＤＵＴ４０の電源ピンＰ１に印加すべき電圧（目標電圧）を示すディジタル信号（図示省略）を入力としており、このディジタル信号をアナログ信号に変換して出力する。ＤＡＣ１１の出力端は、抵抗１５を介してアンプ１２の反転入力端に接続されている。アンプ１２（差動増幅器）は、反転入力端に入力される信号と非反転入力端に入力される信号との差を抵抗１５，１６の抵抗値で定まる増幅率で増幅して出力する。尚、アンプ１２及び抵抗１５，１６は、反転増幅器を構成している。アンプ１２の出力端は、抵抗１７を介して信号線Ｌ１１に接続されている。   The DAC 11 receives a digital signal (not shown) indicating a voltage (target voltage) to be applied to the power supply pin P1 of the DUT 40, converts the digital signal into an analog signal, and outputs the analog signal. The output terminal of the DAC 11 is connected to the inverting input terminal of the amplifier 12 via the resistor 15. The amplifier 12 (differential amplifier) amplifies and outputs the difference between the signal input to the inverting input terminal and the signal input to the non-inverting input terminal at an amplification factor determined by the resistance values of the resistors 15 and 16. The amplifier 12 and the resistors 15 and 16 constitute an inverting amplifier. The output terminal of the amplifier 12 is connected to the signal line L11 via the resistor 17.

アンプ１３，１４は、出力端と反転入力端とが接続された増幅率が「１」であるアンプである。アンプ１３は、信号線Ｌ１２が接続されている非反転入力端に入力される電圧を出力端から出力する。このアンプ１３の出力端は、抵抗１６を介してアンプ１２の反転入力端に接続されている。アンプ１４はセンスアンプ２０から出力される電圧をアンプ１２の反転入力端に入力するために設けられる。また、アンプ１２５は交流信号源３０から出力される交流信号を、抵抗１２９を介してアンプ１２の非反転入力端に入力するために設けられる。   The amplifiers 13 and 14 are amplifiers having an amplification factor of “1” in which the output terminal and the inverting input terminal are connected. The amplifier 13 outputs the voltage input to the non-inverting input terminal to which the signal line L12 is connected from the output terminal. The output terminal of the amplifier 13 is connected to the inverting input terminal of the amplifier 12 via the resistor 16. The amplifier 14 is provided to input the voltage output from the sense amplifier 20 to the inverting input terminal of the amplifier 12. The amplifier 125 is provided for inputting an AC signal output from the AC signal source 30 to the non-inverting input terminal of the amplifier 12 via the resistor 129.

センスアンプ２０は、出力端と反転入力端とが抵抗２１を介して接続されたアンプであり、ＤＵＴ４０の接地ピンＰ２に現れる電圧（接地電位）を測定するために設けられる。このセンスアンプ２０は、その非反転入力端に信号線Ｌ２２が接続されており、この信号線Ｌ２２を介してＤＵＴ４０の接地ピンＰ２と電気的に接続される。尚、信号線Ｌ２２は、接地ピンＰ２に現れる電圧を測定するために用いられる信号線である。   The sense amplifier 20 is an amplifier having an output terminal and an inverting input terminal connected via a resistor 21 and is provided for measuring a voltage (ground potential) appearing at the ground pin P2 of the DUT 40. The sense amplifier 20 has a signal line L22 connected to its non-inverting input terminal, and is electrically connected to the ground pin P2 of the DUT 40 via the signal line L22. The signal line L22 is a signal line used for measuring a voltage appearing at the ground pin P2.

また、センスアンプ２０の反転入力端には、コンデンサ３１を介して交流信号源３０が接続される。交流信号源３０は、センスアンプ２０で測定される電圧に重畳されるべき交流信号を出力する。ここで、交流信号源３０がコンデンサ３１を介してセンスアンプ２０の反転入力端に接続されているため、直流成分に対するセンスアンプ２０の増幅率は抵抗２１の抵抗値に拘わらず「１」である。これに対し、交流成分（交流信号源３０から出力される交流信号）に対するセンスアンプ２０の増幅率は、抵抗２１の抵抗値と交流信号源３０の出力抵抗の抵抗値とによって決定される。尚、交流成分に対するセンスアンプ２０の増幅率を設定し、或いは調整するために、交流信号源３０とコンデンサ３１との間に抵抗を設けても良い。   An AC signal source 30 is connected to the inverting input terminal of the sense amplifier 20 via a capacitor 31. The AC signal source 30 outputs an AC signal to be superimposed on the voltage measured by the sense amplifier 20. Here, since the AC signal source 30 is connected to the inverting input terminal of the sense amplifier 20 via the capacitor 31, the amplification factor of the sense amplifier 20 with respect to the DC component is “1” regardless of the resistance value of the resistor 21. . On the other hand, the amplification factor of the sense amplifier 20 with respect to the AC component (AC signal output from the AC signal source 30) is determined by the resistance value of the resistor 21 and the resistance value of the output resistance of the AC signal source 30. A resistor may be provided between the AC signal source 30 and the capacitor 31 in order to set or adjust the amplification factor of the sense amplifier 20 with respect to the AC component.

上記構成の電源装置１において、ＤＵＴ４０の電源ピンＰ１に印加すべき電圧（目標電圧）を示すディジタル信号がデバイス電源部１０入力されると、デバイス電源部１０のＤＡＣ１１においてアナログ信号に変換される。このアナログ信号は、抵抗１５を介してアンプ１２の反転入力端に入力される。一方、ＤＵＴ４０の接地ピンＰ２に現れる電圧がセンスアンプ２０で測定され、その測定結果を示す信号がセンスアンプ２０から出力されてアンプ１４を介してアンプ１２の非反転入力端に入力される。   In the power supply device 1 having the above configuration, when a digital signal indicating a voltage (target voltage) to be applied to the power supply pin P1 of the DUT 40 is input to the device power supply unit 10, the DAC 11 of the device power supply unit 10 converts the digital signal into an analog signal. This analog signal is input to the inverting input terminal of the amplifier 12 via the resistor 15. On the other hand, the voltage appearing at the ground pin P <b> 2 of the DUT 40 is measured by the sense amplifier 20, and a signal indicating the measurement result is output from the sense amplifier 20 and input to the non-inverting input terminal of the amplifier 12 via the amplifier 14.

ここで、センスアンプ２０の反転入力端には、交流信号源３０から出力されてコンデンサ３１を介した交流信号が入力されている。このため、センスアンプ２０から出力される信号は、ＤＵＴ４０の接地ピンＰ２に現れる電圧に対して、交流信号源３０からの交流信号が重畳された信号であり、アンプ１２の非反転入力端には交流信号が重畳された信号が入力される。   Here, an AC signal output from the AC signal source 30 and inputted through the capacitor 31 is input to the inverting input terminal of the sense amplifier 20. For this reason, the signal output from the sense amplifier 20 is a signal in which an AC signal from the AC signal source 30 is superimposed on the voltage appearing at the ground pin P2 of the DUT 40. A signal on which an AC signal is superimposed is input.

アンプ１２では、反転入力端に入力される信号と非反転入力端に入力される信号との差分が増幅され、増幅された信号に応じた直流電圧がＤＵＴ４０の電源ピンＰ１に印加される。ここで、仮に反転入力される信号が一定の信号であったとしても、非反転入力端に入力される信号は交流信号が重畳された信号であるため、ＤＵＴ４０の電源ピンＰ１に印加される直流電圧は交流信号が重畳されたものになる。尚、ＤＵＴ４０の電源ピンＰ１に現れる電圧は、信号線Ｌ１２、アンプ１３、及び抵抗１６を介してアンプ１２の反転入力端にフィードバックされる。   In the amplifier 12, the difference between the signal input to the inverting input terminal and the signal input to the non-inverting input terminal is amplified, and a DC voltage corresponding to the amplified signal is applied to the power supply pin P1 of the DUT 40. Here, even if the signal that is inverted and input is a constant signal, the signal that is input to the non-inverted input terminal is a signal on which an AC signal is superimposed, so that the DC that is applied to the power supply pin P1 of the DUT 40 The voltage is an AC signal superimposed on it. The voltage appearing at the power supply pin P1 of the DUT 40 is fed back to the inverting input terminal of the amplifier 12 via the signal line L12, the amplifier 13, and the resistor 16.

以上説明した通り、本実施形態では、ＤＵＴ４０に印加する直流電圧を生成するデバイス電源部１０とは別に設けられてＤＵＴ４０の接地ピンＰ２に現れる電圧を測定するセンスアンプ２０の入力端に交流信号源３０を接続しているため、交流信号が重畳された直流電圧をＤＵＴ４０の電源ピンＰ１に供給するという機能は維持しつつ、デバイス電源部１０の構成を従来よりも簡略化することができる。具体的には、図６に示す従来のデバイス電源部１２０に設けられていたアンプ１２５及び抵抗１２９（交流信号源１１０からの交流信号をアンプ１２２の反転入力端に入力するための構成）を簡略化することができる。   As described above, in this embodiment, an AC signal source is provided at the input terminal of the sense amplifier 20 that is provided separately from the device power supply unit 10 that generates a DC voltage to be applied to the DUT 40 and measures the voltage appearing at the ground pin P2 of the DUT 40. 30 is connected, the configuration of the device power supply unit 10 can be simplified compared to the conventional one while maintaining the function of supplying a DC voltage on which an AC signal is superimposed to the power supply pin P1 of the DUT 40. Specifically, the amplifier 125 and the resistor 129 (configuration for inputting an AC signal from the AC signal source 110 to the inverting input terminal of the amplifier 122) provided in the conventional device power supply unit 120 shown in FIG. Can be

〔第２実施形態〕
図２，図３は、本発明の第２実施形態による電源装置の要部構成を示すブロック図である。図２，図３に示す通り、本実施形態の電源装置２は、複数のデバイス電源部１０ａ〜１０ｎ、センスアンプ２０、及び交流信号源３０を備える。デバイス電源部１０ａ〜１０ｎは、図１に示すデバイス電源部１０と同様の構成である。また、第１実施形態と同様に、センスアンプ２０の出力端と反転入力端とは抵抗２１を介して接続されており、センスアンプ２０の反転入力端にはコンデンサ３１を介して交流信号源３０が接続されている。 [Second Embodiment]
2 and 3 are block diagrams showing the main configuration of the power supply device according to the second embodiment of the present invention. As shown in FIGS. 2 and 3, the power supply device 2 of the present embodiment includes a plurality of device power supply units 10 a to 10 n, a sense amplifier 20, and an AC signal source 30. The device power supply units 10a to 10n have the same configuration as the device power supply unit 10 shown in FIG. As in the first embodiment, the output terminal and the inverting input terminal of the sense amplifier 20 are connected via a resistor 21, and the AC signal source 30 is connected to the inverting input terminal of the sense amplifier 20 via a capacitor 31. Is connected.

図２は、複数のＤＵＴ４０ａ〜４０ｎに対して、電源装置２が備えるデバイス電源部１０ａ〜１０ｎの各々を接続した状態を示す図である。図２に示す通り、デバイス電源部１０ａ〜１０ｎとＤＵＴ４０ａ〜４０ｎの各々に設けられる電源ピンＰ１とは、信号線Ｌ１１，Ｌ１２を介してそれぞれ個別に接続される。また、ＤＵＴ４０ａ〜４０ｎの各々に設けられる接地ピンＰ２は、例えば信号線Ｌ３０を介して相互に接続される。更に、信号線Ｌ３０を介して相互に接続された接地ピンＰ２とセンスアンプ２０の非反転入力端とは信号線Ｌ２２を介して接続され、同接地ピンＰ２とデバイス電源部１０ａ〜１０ｎとは信号線Ｌ２１を介して接続される。   FIG. 2 is a diagram illustrating a state in which each of the device power supply units 10a to 10n included in the power supply device 2 is connected to a plurality of DUTs 40a to 40n. As shown in FIG. 2, the power supply pins P1 provided in each of the device power supply units 10a to 10n and the DUTs 40a to 40n are individually connected via signal lines L11 and L12. The ground pins P2 provided in each of the DUTs 40a to 40n are connected to each other through, for example, the signal line L30. Further, the ground pin P2 connected to each other via the signal line L30 and the non-inverting input terminal of the sense amplifier 20 are connected to each other via the signal line L22. The ground pin P2 and the device power supply units 10a to 10n are connected to each other. Connection is made via a line L21.

図３は、複数の電源ピンを有する１つのＤＵＴ４１に対して、電源装置２が備える複数のデバイス電源部１０ａ〜１０ｎを接続した状態を示す図である。図２に示す通り、デバイス電源部１０ａ〜１０ｎとＤＵＴ４１に設けられる複数の電源ピンＰ１１〜Ｐ１ｎとは、信号線Ｌ１１，Ｌ１２を介してそれぞれ個別に接続される。また、ＤＵＴ４１の接地ピンＰ２０とセンスアンプ２０の非反転入力端とは信号線Ｌ２２を介して接続され、同接地ピンＰ２０とデバイス電源部１０ａ〜１０ｎとは信号線Ｌ２１を介して接続される。   FIG. 3 is a diagram illustrating a state in which a plurality of device power supply units 10a to 10n included in the power supply device 2 are connected to one DUT 41 having a plurality of power supply pins. As shown in FIG. 2, the device power supply units 10a to 10n and the plurality of power supply pins P11 to P1n provided in the DUT 41 are individually connected via signal lines L11 and L12. The ground pin P20 of the DUT 41 and the non-inverting input terminal of the sense amplifier 20 are connected via a signal line L22, and the ground pin P20 and the device power supply units 10a to 10n are connected via a signal line L21.

以上の通り、本実施形態においても、デバイス電源部１０ａ〜１０ｎとは別に設けられたセンスアンプ２０の入力端に交流信号源３０を接続しているため、交流信号が重畳された直流電圧をＤＵＴ４０ａ〜４０ｎの電源ピンＰ１の各々、又はＤＵＴ４１の複数の電源ピンＰ１１〜Ｐ１ｎに供給するという機能は維持しつつ、デバイス電源部１０ａ〜１０ｎの構成を従来よりも簡略化することができる。このような簡略化された構成のデバイス電源部１０ａ〜１０ｎを複数備えることによって、従来よりも電源装置の回路規模及びコストの増大を抑えることができる。   As described above, also in this embodiment, since the AC signal source 30 is connected to the input terminal of the sense amplifier 20 provided separately from the device power supply units 10a to 10n, the DC voltage on which the AC signal is superimposed is applied to the DUT 40a. It is possible to simplify the configuration of the device power supply units 10a to 10n while maintaining the function of supplying each of the power supply pins P1 to 40n or the plurality of power supply pins P11 to P1n of the DUT 41. By providing a plurality of device power supply units 10a to 10n having such a simplified configuration, it is possible to suppress an increase in the circuit scale and cost of the power supply device as compared with the related art.

〔第３実施形態〕
図４は、本発明の第３実施形態による電源装置の要部構成の一部を示すブロック図である。図４に示す通り、本実施形態の電源装置３は、図１に示すデバイス電源部１０（図４では図示を省略している）、センスアンプ２０、及び交流信号源３０に加えて分配部５０を備える。分配部５０は、出力端と反転入力端とが接続された増幅率が「１」であるアンプ５１と、アンプ５１の出力端に接続される複数の接続線Ｌ３１〜Ｌ３ｎとからなり、ＤＵＴ４０の接地ピンＰ２に現れる電圧を複数に分配するものである。尚、アンプ５１の非反転入力端は、信号線Ｌ２を介してＤＵＴ４０の接地ピンＰ２に接続される。 [Third Embodiment]
FIG. 4 is a block diagram showing a part of the main configuration of the power supply device according to the third embodiment of the present invention. As shown in FIG. 4, the power supply device 3 of the present embodiment includes a distribution unit 50 in addition to the device power supply unit 10 (not shown in FIG. 4), the sense amplifier 20, and the AC signal source 30 shown in FIG. 1. Is provided. The distribution unit 50 includes an amplifier 51 having an amplification factor of “1” connected to the output terminal and the inverting input terminal, and a plurality of connection lines L31 to L3n connected to the output terminal of the amplifier 51. The voltage appearing at the ground pin P2 is distributed to a plurality of parts. The non-inverting input terminal of the amplifier 51 is connected to the ground pin P2 of the DUT 40 through the signal line L2.

ＤＵＴ４０の接地ピンＰ２に現れる電圧を測定するために設けられるセンスアンプ２０の反転入力端には交流信号源３０が接続されており、センスアンプ２０から出力される電圧には交流信号が重畳されている。このため、ＤＵＴ４０の接地ピンＰ２に現れる電圧が必要となるユニットに対してセンスアンプ２０で測定された電圧を供給することはできない。分配部５０は、これらのユニットに対してＤＵＴ４０の接地ピンＰ２に現れる電圧を分配するために設けられる。   An AC signal source 30 is connected to the inverting input terminal of the sense amplifier 20 provided to measure the voltage appearing at the ground pin P2 of the DUT 40, and an AC signal is superimposed on the voltage output from the sense amplifier 20. Yes. For this reason, the voltage measured by the sense amplifier 20 cannot be supplied to a unit that requires a voltage appearing at the ground pin P2 of the DUT 40. Distribution unit 50 is provided to distribute the voltage appearing at ground pin P2 of DUT 40 to these units.

分配部５０における分配数は任意である。図４に示す例では、分配部５０に設けられる複数の信号線Ｌ３１〜Ｌ３ｎのうちの１つの信号線Ｌ３ｎは、センスアンプ２０の非反転入力端に接続されている。他の信号線Ｌ３１〜Ｌ３３等は、例えば半導体試験装置が備えるピンエレクトロニクスやＰＭＵ（ＤＣパラメトリック測定装置）等の各種ユニットに接続することができる。尚、本実施形態の電源装置３は、複数のデバイス電源部１０が複数設けられる場合にも適用可能である。   The number of distribution in the distribution unit 50 is arbitrary. In the example illustrated in FIG. 4, one signal line L3n among the plurality of signal lines L31 to L3n provided in the distribution unit 50 is connected to the non-inverting input terminal of the sense amplifier 20. The other signal lines L31 to L33 and the like can be connected to various units such as pin electronics and PMU (DC parametric measurement device) included in the semiconductor test apparatus, for example. Note that the power supply device 3 of the present embodiment is also applicable when a plurality of device power supply units 10 are provided.

〔第４実施形態〕
図５は、本発明の第４実施形態による電源装置の要部構成の一部を示すブロック図である。図５に示す通り、本実施形態の電源装置４は、図１に示すデバイス電源部１０（図５では図示を省略している）、センスアンプ２０、及び交流信号源３０に加えてアンプ６０、スイッチ部６１（第１スイッチ部）、及びスイッチ部６２（第２スイッチ部）を備える。アンプ６０は、出力端と反転入力端とが接続された増幅率が「１」であり、非反転入力端が信号線Ｌ２を介してＤＵＴ４０の接地ピンＰ２に接続される。尚、センスアンプ２０の非反転入力端は、アンプ６０の反転入力端（出力端）に接続されている。 [Fourth Embodiment]
FIG. 5 is a block diagram showing a part of the main configuration of the power supply device according to the fourth embodiment of the present invention. As shown in FIG. 5, the power supply device 4 of the present embodiment includes an amplifier 60 in addition to the device power supply unit 10 (not shown in FIG. 5), the sense amplifier 20, and the AC signal source 30 shown in FIG. 1. A switch unit 61 (first switch unit) and a switch unit 62 (second switch unit) are provided. The amplifier 60 has an amplification factor of “1” in which the output terminal and the inverting input terminal are connected, and the non-inverting input terminal is connected to the ground pin P2 of the DUT 40 via the signal line L2. The non-inverting input terminal of the sense amplifier 20 is connected to the inverting input terminal (output terminal) of the amplifier 60.

スイッチ部６１は、アンプ６０の出力端に接続された１つの入力端と、複数の信号線Ｌ４１〜Ｌ４ｎに接続された複数の出力端と、一端が１つの入力端に共通して接続されるとともに他端が複数の出力端の各々に接続された複数のスイッチ（図示省略）とを備える。かかる構成のスイッチ部６１は、複数設けられたスイッチの開閉状態に応じて、アンプ６０から出力される信号（ＤＵＴ４０の接地ピンＰ２に現れる電圧を示す信号）を複数に分配可能である。   The switch unit 61 has one input terminal connected to the output terminal of the amplifier 60, a plurality of output terminals connected to the plurality of signal lines L41 to L4n, and one end connected in common to one input terminal. And a plurality of switches (not shown) having the other end connected to each of the plurality of output ends. The switch unit 61 having such a configuration can distribute a signal output from the amplifier 60 (a signal indicating a voltage appearing at the ground pin P2 of the DUT 40) to a plurality according to the open / close state of the plurality of switches provided.

スイッチ部６２は、センスアンプ２０の出力端に接続された１つの入力端と、複数の信号線Ｌ４１〜Ｌ４ｎに接続された複数の出力端と、一端が１つの入力端に共通して接続されるとともに他端が複数の出力端の各々に接続され、スイッチ部６１が備えるスイッチに対して排他的に開閉する複数のスイッチ（図示省略）とを備える。例えば、スイッチ部６１に設けられた複数のスイッチのうちの信号線Ｌ４１と電気的に接続されているスイッチが開状態である場合には、スイッチ部６２に設けられた複数のスイッチのうちの信号線Ｌ４１と電気的に接続されたスイッチが閉状態になる。かかる構成のスイッチ部６２は、複数設けられたスイッチの開閉状態に応じて、センスアンプ２０から出力される信号（交流信号が重畳された信号）を複数に分配可能である。   The switch unit 62 has one input terminal connected to the output terminal of the sense amplifier 20, a plurality of output terminals connected to the plurality of signal lines L41 to L4n, and one end connected in common to one input terminal. And the other end is connected to each of the plurality of output ends, and includes a plurality of switches (not shown) that open and close exclusively with respect to the switches included in the switch unit 61. For example, when the switch electrically connected to the signal line L41 among the plurality of switches provided in the switch unit 61 is in the open state, the signal among the plurality of switches provided in the switch unit 62 The switch electrically connected to the line L41 is closed. The switch unit 62 having such a configuration can distribute a signal output from the sense amplifier 20 (a signal on which an AC signal is superimposed) to a plurality according to the open / close state of a plurality of switches.

尚、本実施形態においても、アンプ６０から出力される信号の分配数、及びセンスアンプ２０から出力される信号の分配数は任意である。また、信号線Ｌ４１〜Ｌ４ｎには、例えば、デバイス電源部１０、半導体試験装置が備えるピンエレクトロニクスやＰＭＵ等の各種ユニット等を接続することができる。更に、本実施形態の電源装置３は、複数のデバイス電源部１０が複数設けられる場合にも適用可能である。   Also in this embodiment, the distribution number of the signal output from the amplifier 60 and the distribution number of the signal output from the sense amplifier 20 are arbitrary. Further, for example, the device power supply unit 10 and various units such as pin electronics and PMU provided in the semiconductor test apparatus can be connected to the signal lines L41 to L4n. Furthermore, the power supply device 3 according to the present embodiment is also applicable when a plurality of device power supply units 10 are provided.

以上、本発明の実施形態による電源装置について説明したが、本発明は上述した実施形態に制限されることなく、本発明の範囲内で自由に変更が可能である。例えば、以上説明した実施形態では、ＤＡＣ１１、アンプ１２〜１４、及び抵抗１５〜１７からなるデバイス電源部１０，１０ａ〜１０ｎを備える電源装置を例に挙げて説明したが、デバイス電源部１０，１０ａ〜１０ｎの構成は適宜変更することが可能である。   Although the power supply device according to the embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be freely changed within the scope of the present invention. For example, in the embodiment described above, the power supply device including the device power supply units 10 and 10a to 10n including the DAC 11, the amplifiers 12 to 14 and the resistors 15 to 17 has been described as an example, but the device power supply units 10 and 10a are described. The configuration of -10n can be changed as appropriate.

また、本発明の電源装置は、メモリの試験を行うメモリテスタといわれる半導体試験装置、半導体論理回路を試験するロジックテスタといわれる半導体試験装置、及びＬＣＤ（Liquid Crystal Display：液晶表示ディスプレイ）の駆動ドライバを試験するトライバテスタといわれる半導体試験装置、その他の各種の半導体試験装置の何れにも適用することが可能である。特に、同測数が５００以上であるメモリテスタに適用すると、大幅にコストを削減することができる。尚、本発明の電源装置は、半導体試験装置以外であっても、所定の直流電源を供給する必要がある任意の装置に適用することが可能である。   Further, the power supply device of the present invention includes a semiconductor test device called a memory tester for testing a memory, a semiconductor test device called a logic tester for testing a semiconductor logic circuit, and a driver for driving an LCD (Liquid Crystal Display). The present invention can be applied to any of a semiconductor test apparatus called a tribat tester for testing and various other semiconductor test apparatuses. In particular, when applied to a memory tester having the same measurement number of 500 or more, the cost can be significantly reduced. Note that the power supply device of the present invention can be applied to any device that needs to supply a predetermined DC power supply other than a semiconductor test device.

１〜４ 電源装置
１０ デバイス電源部
１０ａ〜１０ｎ デバイス電源部
２０ センスアンプ
３０ 交流信号源
４０ ＤＵＴ
４０ａ〜４０ｎ ＤＵＴ
４１ ＤＵＴ
５０ 分配部
６１，６２ スイッチ部
Ｐ２ 接地ピン 1 to 4 power supply device 10 device power supply unit 10a to 10n device power supply unit 20 sense amplifier 30 AC signal source 40 DUT
40a-40n DUT
41 DUT
50 Distribution unit 61, 62 Switch unit P2 Ground pin

Claims (6)

直流電源を供給すべき被供給対象の接地電位を測定する測定部と、当該測定部で測定される接地電位を基準として前記被供給対象に対して所定の直流電源を供給する電源部とを備える電源装置において、
前記測定部の入力端に接続されて、前記測定部で測定される接地電位に重畳されるべき交流信号を出力する交流信号源を備えることを特徴とする電源装置。 A measurement unit that measures a ground potential of a supply target to be supplied with a DC power source, and a power supply unit that supplies a predetermined DC power source to the supply target with reference to the ground potential measured by the measurement unit. In power supply,
A power supply apparatus comprising: an AC signal source connected to an input end of the measurement unit and outputting an AC signal to be superimposed on a ground potential measured by the measurement unit. 前記電源部は、複数設けられており、
前記測定部で測定されて前記交流信号が重畳された接地電位は、複数設けられた前記電源部の各々に分配される
ことを特徴とする請求項１記載の電源装置。 A plurality of the power supply units are provided,
The power supply apparatus according to claim 1, wherein the ground potential measured by the measurement unit and overlaid with the AC signal is distributed to each of the plurality of power supply units. 前記測定部は、一方の入力端が前記被供給対象の接地電極と電気的に接続され、他方の入力端が前記交流信号源と電気的に接続された差動増幅器を備えることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の電源装置。   The measurement unit includes a differential amplifier having one input terminal electrically connected to the ground electrode to be supplied and the other input terminal electrically connected to the AC signal source. The power supply device according to claim 1 or 2. 前記被供給対象の接地電位を、前記測定部を含めた複数の部位に分配する分配部を備えることを特徴とする請求項１から請求項３の何れか一項に記載の電源装置。   4. The power supply device according to claim 1, further comprising a distribution unit that distributes the ground potential of the supply target to a plurality of parts including the measurement unit. 5. 複数のスイッチを備えており、当該スイッチの開閉状態に応じて前記被供給対象の接地電位を複数に分配可能な第１スイッチ部と、
前記第１スイッチ部が備える前記複数のスイッチに対して排他的に開閉する複数のスイッチを備えており、当該スイッチの開閉状態に応じて前記測定部で測定されて前記交流信号が重畳された接地電位を複数に分配可能な第２スイッチ部と
を備えることを特徴とする請求項１から請求項３の何れか一項に記載の電源装置。 A first switch unit comprising a plurality of switches, and capable of distributing the ground potential of the supply target to a plurality according to the open / closed state of the switches;
A plurality of switches that open and close exclusively with respect to the plurality of switches included in the first switch unit, and are measured by the measurement unit according to the open / closed state of the switches and are grounded on which the AC signal is superimposed The power supply apparatus according to any one of claims 1 to 3, further comprising: a second switch unit capable of distributing the potential to a plurality of parts. 半導体デバイスの試験を行う半導体試験装置において、
前記被供給対象としての前記半導体デバイスに対して前記交流信号が重畳された直流電源を供給する請求項１から請求項５の何れか一項に記載の電源装置を備えることを特徴とする半導体試験装置。 In semiconductor testing equipment for testing semiconductor devices,
A semiconductor test comprising the power supply apparatus according to claim 1, wherein a DC power supply on which the AC signal is superimposed is supplied to the semiconductor device as the supply target. apparatus.
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