JP2010175609A - Photosensitive composition and solder resist composition - Google Patents

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Takashi Nishimura
貴史 西村
Hide Nakamura
秀 中村
Takashi Shikage
崇至 鹿毛
Takashi Watanabe
貴志 渡邉
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Sekisui Chemical Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive composition for forming a resist film less liable to cause discoloration, such as, yellowing and having superior adhesion with respect to a substrate, or the like, even if it is exposed to high temperature. <P>SOLUTION: The photosensitive composition contains: (A) a polymerizable hydrocarbon compound which is at least one of a polymerizable hydrocarbon monomer and a polymerizable hydrocarbon polymer within a molecule, having at least one carboxyl group per molecule; (B) a compound having at least two cyclic ether groups per molecule; (C) a photopolymerization initiator; and (D) a specific amine compound or a specified phosphine compound. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、基板上にソルダーレジスト膜を形成したり、または発光ダイオードチップが搭載される基板上に光を反射させるレジスト膜を形成したりする用途に好適に用いられる感光性組成物及びソルダーレジスト組成物に関する。   The present invention relates to a photosensitive composition and a solder resist suitably used for forming a solder resist film on a substrate or forming a resist film that reflects light on a substrate on which a light emitting diode chip is mounted. Relates to the composition.

プリント配線基板を高温の半田から保護するための保護膜として、ソルダーレジスト膜が広く用いられている。   A solder resist film is widely used as a protective film for protecting a printed wiring board from high-temperature solder.

下記の特許文献1は、上記ソルダーレジスト膜を形成するための材料を開示している。より具体的には、特許文献1は、アクリレートプレポリマー樹脂を含有するソルダーレジスト材料を開示している。   The following Patent Document 1 discloses a material for forming the solder resist film. More specifically, Patent Document 1 discloses a solder resist material containing an acrylate prepolymer resin.

従来、様々な電子機器用途において、プリント配線基板の上面に発光ダイオード(以下、LEDと略す)チップが搭載されている。LEDから生じた光の内、上記プリント配線基板の上面側に到達した光をも利用するために、プリント配線基板の上面に到達した光を高い反射率で反射するために、プリント配線基板が上面に白色ソルダーレジスト膜が形成されていることがある。LEDチップの表面からプリント配線基板とは反対側に直接照射される光だけでなく、プリント配線基板の上面側に到達し、白色ソルダーレジスト膜により反射された反射光も利用される。従って、LEDから生じた光の利用効率を高めることができる。   Conventionally, in various electronic device applications, a light emitting diode (hereinafter abbreviated as LED) chip is mounted on the upper surface of a printed wiring board. Of the light generated from the LED, the light reaching the upper surface side of the printed wiring board is also used, so that the light reaching the upper surface of the printed wiring board is reflected with high reflectance. In some cases, a white solder resist film is formed. Not only light directly irradiated from the surface of the LED chip to the side opposite to the printed wiring board but also reflected light that reaches the upper surface side of the printed wiring board and is reflected by the white solder resist film is used. Therefore, the utilization efficiency of the light generated from the LED can be increased.

下記の特許文献2は、白色ソルダーレジスト膜を形成するための材料の一例を開示している。具体的には、特許文献2は、加水分解性アルコキシ基を有するシラン変性エポキシ樹脂と、エポキシ樹脂とを含有しているソルダーレジスト材料を開示している。   The following Patent Document 2 discloses an example of a material for forming a white solder resist film. Specifically, Patent Document 2 discloses a solder resist material containing a silane-modified epoxy resin having a hydrolyzable alkoxy group and an epoxy resin.

他方、下記の特許文献3は、アクリレート樹脂と、エポキシ樹脂とを含有している白色ソルダーレジスト材料を開示している。   On the other hand, the following Patent Document 3 discloses a white solder resist material containing an acrylate resin and an epoxy resin.

特開昭58−25374号公報JP 58-25374 A 特開2007−249148号公報JP 2007-249148 A 特開2007−322546号公報JP 2007-322546 A

しかしながら、特許文献1〜3に開示されている各材料からなるレジスト膜は、半田リフロー時の温度のような200℃近くの高温の環境に晒されると、レジスト膜が黄色に変色したり、プリント配線基板などの基板に対する密着性が低下したりすることがあった。   However, when the resist film made of each material disclosed in Patent Documents 1 to 3 is exposed to a high temperature environment near 200 ° C. such as the temperature at the time of solder reflow, the resist film turns yellow or prints. In some cases, adhesion to a substrate such as a wiring substrate may be reduced.

本発明の目的は、高温に晒されたとしても、黄変などの変色が生じ難く、かつ基板に対する密着性に優れているレジスト膜を形成することを可能とする感光性組成物、並びに該感光性組成物からなるソルダーレジスト組成物を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a photosensitive composition that can form a resist film that hardly undergoes discoloration such as yellowing even when exposed to a high temperature and has excellent adhesion to a substrate, and the photosensitive composition. It is providing the soldering resist composition which consists of an adhesive composition.

本発明の広い局面によれば、(A)1分子中に少なくとも1つのカルボキシル基を有する重合性炭化水素モノマー及び重合性炭化水素ポリマーの内の少なくとも一方の重合性炭化水素化合物と、(B)1分子中に少なくとも2つの環状エーテル基を有する化合物と、(C)光重合開始剤と、(D)下記の式(1)で表わされるアミン化合物(D1)または下記の式(2)で表わされるホスフィン化合物(D2)とを含む、感光性組成物が提供される。   According to a wide aspect of the present invention, (A) at least one polymerizable hydrocarbon compound of a polymerizable hydrocarbon monomer and a polymerizable hydrocarbon polymer having at least one carboxyl group in one molecule, and (B) A compound having at least two cyclic ether groups in one molecule, (C) a photopolymerization initiator, (D) an amine compound (D1) represented by the following formula (1) or represented by the following formula (2): And a phosphine compound (D2).

Figure 2010175609
Figure 2010175609

Figure 2010175609
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式(1)または式(2)において、R〜Rは、水素原子、炭化水素基及び酸素原子を含む有機基からなる群から選択された1種であり、R〜Rは同一であってもよく、異なっていてもよい。 In Formula (1) or Formula (2), R 1 to R 6 are one selected from the group consisting of a hydrogen atom, a hydrocarbon group, and an organic group containing an oxygen atom, and R 1 to R 6 are the same. May be different.

本発明のある特定の局面では、上記R〜Rが、炭素数2〜20の鎖状炭化水素基または炭素数3〜12の脂環式炭化水素基である。この場合には、該化合物(D)と化合物(B)との反応により生じた水酸基により、基板に対する密着性を高めることができ、かつ高温に晒された場合の密着性がより一層低下し難い。 In a specific aspect of the present invention, R 1 to R 6 are a chain hydrocarbon group having 2 to 20 carbon atoms or an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 12 carbon atoms. In this case, the hydroxyl group generated by the reaction between the compound (D) and the compound (B) can enhance the adhesion to the substrate, and the adhesion when exposed to a high temperature is further unlikely to decrease. .

好ましくは、上記R〜Rは、エチル基、n−プロピル基、n−ブチル基及びシクロヘキシル基からなる群から選択される1種の炭化水素基であり、それによって、化合物(D)と1分子中に少なくとも2つの環状エーテル基を有する化合物(B)とが適度に反応し、感光性組成物からなるレジスト膜の現像性を高めることができる。 Preferably, R 1 to R 6 are one hydrocarbon group selected from the group consisting of an ethyl group, an n-propyl group, an n-butyl group, and a cyclohexyl group, whereby the compound (D) and The compound (B) having at least two cyclic ether groups in one molecule reacts appropriately, and the developability of the resist film made of the photosensitive composition can be enhanced.

本発明のさらに他の特定の局面では、pHが6.8以上、11以下の無機フィラーが含有されており、それによって、レジスト膜を形成した場合のレジスト膜の変色をより一層効果的に抑制することができる。   In still another specific aspect of the present invention, an inorganic filler having a pH of 6.8 or more and 11 or less is contained, thereby further effectively suppressing discoloration of the resist film when the resist film is formed. can do.

本発明に係る感光性組成物の他の特定の局面では、前記化合物(A)と前記化合物(B)との合計100重量部に対し、前記化合物(D)が0.01〜5重量部で含有されている。この場合には、レジスト膜を形成した場合のレジスト膜の変色をより効果的に抑制し、かつ高温下における基板等に対するレジスト膜の密着性を効果的に高めることができる
本発明に係るソルダーレジスト組成物は、本発明の感光性組成物からなり、従って、ソルダーレジスト膜を形成した場合、高温下に晒されたとしても、変色が生じ難く、かつ基板に対する密着性の低下が生じ難い。
In another specific aspect of the photosensitive composition according to the present invention, the compound (D) is 0.01 to 5 parts by weight with respect to a total of 100 parts by weight of the compound (A) and the compound (B). Contained. In this case, it is possible to more effectively suppress discoloration of the resist film when the resist film is formed, and to effectively improve the adhesion of the resist film to the substrate or the like at a high temperature. The composition is composed of the photosensitive composition of the present invention. Therefore, when a solder resist film is formed, even when exposed to a high temperature, discoloration hardly occurs and adhesion to the substrate does not easily decrease.

本発明に係る感光性組成物は、上記特定の重合性炭化水素モノマー及び重合性炭化水素ポリマーの内の少なくとも一方の重合性炭化水素化合物(A)、少なくとも2つの環状エーテル基を有する化合物(B)、光重合開始剤(C)及び上記特定の化合物(D)を含むため、該感光性組成物を露光・現像処理することによりレジスト膜を得ることができ、該レジスト膜は、高温に晒されたとしても、黄変などの変色が生じ難く、かつ基板に対する密着性が低下し難い。   The photosensitive composition according to the present invention comprises at least one polymerizable hydrocarbon compound (A) of the specific polymerizable hydrocarbon monomer and polymerizable hydrocarbon polymer, a compound having at least two cyclic ether groups (B ), A photopolymerization initiator (C) and the specific compound (D), a resist film can be obtained by exposing and developing the photosensitive composition, and the resist film is exposed to a high temperature. Even if it is done, discoloration such as yellowing is difficult to occur, and adhesion to the substrate is difficult to decrease.

本発明のソルダーレジスト膜を有するLEDデバイスの一例を示す部分切欠正面断面図である。It is a partial notch front sectional drawing which shows an example of the LED device which has a soldering resist film | membrane of this invention.

以下、図面を参照しつつ本発明の具体的な実施形態及び実施例を説明することにより、本発明を明らかにする。   Hereinafter, the present invention will be clarified by describing specific embodiments and examples of the present invention with reference to the drawings.

〔1分子中に少なくとも1つのカルボキシ基を有する、重合性炭化水素モノマー及び重合性炭化水素ポリマーの内の少なくとも一方の重合性炭化水素化合物(A)〕
本発明に係る感光性組成物は、上記特定の重合性炭化水素モノマー及び重合性炭化水素ポリマーの内の少なくとも一方を含む。すなわち、本発明に係る感光性組成物は、上記化合物(A)として、重合性炭化水素モノマーのみを含んでいてもよく、重合性炭化水素ポリマーのみを含んでいてもよく、重合性炭化水素モノマー及び重合性炭化水素ポリマーの双方を含んでいてもよい。また、上記重合性炭化水素モノマーとしては、1種の重合性炭化水素モノマーのみが用いられてもよく、2種以上の重合性炭化水素モノマーが用いられてもよい。同様に、上記重合性炭化水素ポリマーとしても、1種の重合性炭化水素ポリマーなどが用いられてもよく、2種以上の重合性炭化水素ポリマーが用いられてもよい。
[At least one polymerizable hydrocarbon compound (A) of polymerizable hydrocarbon monomer and polymerizable hydrocarbon polymer having at least one carboxy group in one molecule]
The photosensitive composition according to the present invention contains at least one of the specific polymerizable hydrocarbon monomer and the polymerizable hydrocarbon polymer. That is, the photosensitive composition according to the present invention may contain only a polymerizable hydrocarbon monomer as the compound (A), or may contain only a polymerizable hydrocarbon polymer. And a polymerizable hydrocarbon polymer. Further, as the polymerizable hydrocarbon monomer, only one type of polymerizable hydrocarbon monomer may be used, or two or more types of polymerizable hydrocarbon monomers may be used. Similarly, as the polymerizable hydrocarbon polymer, one type of polymerizable hydrocarbon polymer or the like may be used, or two or more types of polymerizable hydrocarbon polymers may be used.

上記重合性炭化水素モノマーとしては、重合性不飽和基を有するモノマー、または重合性環状エーテル基を有するモノマーが挙げられる。上記重合性炭化水素ポリマーとしては、アクリル樹脂、エポキシ樹脂またはオレフィン樹脂などが挙げられる。なお、本明細書における「樹脂」なる用語は、固形の樹脂だけでなく、液状樹脂及びオリゴマーをも含む。   Examples of the polymerizable hydrocarbon monomer include a monomer having a polymerizable unsaturated group or a monomer having a polymerizable cyclic ether group. Examples of the polymerizable hydrocarbon polymer include acrylic resin, epoxy resin, and olefin resin. In addition, the term “resin” in the present specification includes not only solid resins but also liquid resins and oligomers.

重合性不飽和基を有するモノマーは、(メタ)アクリル基を有する化合物であることが好ましい。(メタ)アクリル基を有する化合物としては、エチレングリコール、メトキシテトラエチレングリコール、ポリエチレングリコールもしくはプロピレングリコールなどのグリコールのジ(メタ)アクリレートや、多価アルコール、多価アルコールのエチレンオキサイド付加物もしくは多価アルコールのプロピレンオキサイド付加物の多価(メタ)アクリレートや、フェノール、フェノールのエチレンオキサイド付加物もしくはフェノールのプロピレンオキサイド付加物の(メタ)アクリレートや、グルセリンジグリシジルエーテルもしくはトリメチロールプロパントリグリシジルエーテルなどのグリシジルエーテルの(メタ)アクリレートや、メラミン(メタ)アクリレートが挙げられる。   The monomer having a polymerizable unsaturated group is preferably a compound having a (meth) acryl group. Examples of the compound having a (meth) acryl group include di (meth) acrylates of glycols such as ethylene glycol, methoxytetraethylene glycol, polyethylene glycol or propylene glycol, polyhydric alcohols, ethylene oxide adducts of polyhydric alcohols or polyhydric alcohols. Polyhydric (meth) acrylate of propylene oxide adduct of alcohol, phenol, ethylene oxide adduct of phenol or (meth) acrylate of propylene oxide adduct of phenol, glycerin diglycidyl ether or trimethylolpropane triglycidyl ether, etc. (Meth) acrylate of glycidyl ether and melamine (meth) acrylate.

多価アルコールとしては、ヘキサンジオール、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール又はトリス−ヒドロキシエチルイソシアヌレートが挙げられる。フェノールの(メタ)アクリレートとしては、フェノキシ(メタ)アクリレート又はビスフェノールAのジ(メタ)アクリレートが挙げられる。   Examples of the polyhydric alcohol include hexanediol, trimethylolpropane, pentaerythritol, dipentaerythritol, or tris-hydroxyethyl isocyanurate. Examples of the (meth) acrylate of phenol include phenoxy (meth) acrylate and di (meth) acrylate of bisphenol A.

なお、本明細書における「(メタ)アクリル」は、アクリル又はメタクリルを意味し、「(メタ)アクリレート」は、アクリレート又はメタクリレートを意味する。   In the present specification, “(meth) acryl” means acryl or methacryl, and “(meth) acrylate” means acrylate or methacrylate.

上記重合性不飽和基を有するモノマーは、少なくとも2個の不飽和二重結合基を有するアクリルモノマーを含むことが好ましく、より好ましくは、重合性不飽和基を有するモノマーは、少なくとも2個の不飽和二重結合基を有するアクリルモノマーである。重合性不飽和基を有するモノマーが、2個以上の不飽和二重結合基を有するアクリルモノマーを含む場合には、最終的に得られたレジスト膜の架橋密度を高めることができ、従って、高温に晒されたとしてもレジスト膜が変色し難い。   The monomer having a polymerizable unsaturated group preferably includes an acrylic monomer having at least two unsaturated double bond groups, and more preferably, the monomer having a polymerizable unsaturated group has at least two unsaturated groups. An acrylic monomer having a saturated double bond group. When the monomer having a polymerizable unsaturated group includes an acrylic monomer having two or more unsaturated double bond groups, it is possible to increase the crosslink density of the finally obtained resist film. The resist film is difficult to discolor even when exposed to.

上記重合性炭化水素ポリマーは、下記の(i)〜(iv)で挙げられるカルボキシル基を有する樹脂であることが好ましい。   The polymerizable hydrocarbon polymer is preferably a resin having a carboxyl group mentioned in the following (i) to (iv).

(i)不飽和カルボン酸と不飽和二重結合とを有する化合物を共重合させた樹脂
(ii)カルボキシル基を有する(メタ)アクリル共重合樹脂(b1)に、1分子中にオキシラン環とエチレン性不飽和基とを有する化合物(b2)を反応させた樹脂
(iii)1分子中に1個のエポキシ基と不飽和二重結合とを有する化合物と不飽和二重結合を有する化合物との共重合体に、不飽和モノカルボン酸を反応させた後、反応により生成した第2級の水酸基に飽和又は不飽和多塩基酸無水物を反応させた樹脂
(iv)水酸基を有するポリマーに、飽和又は不飽和多塩基酸無水物を反応させた後、反応により生成したカルボン酸基に、1分子中に1個のエポキシ基及び不飽和二重結合を有する化合物を反応させて得られる、水酸基とカルボキシル基とを有する樹脂
(I) a resin obtained by copolymerizing a compound having an unsaturated carboxylic acid and an unsaturated double bond (ii) a (meth) acrylic copolymer resin (b1) having a carboxyl group and an oxirane ring and ethylene in one molecule A resin obtained by reacting a compound (b2) having a polymerizable unsaturated group (iii) a compound having one epoxy group and an unsaturated double bond in one molecule and a compound having an unsaturated double bond Resin in which unsaturated monocarboxylic acid is reacted with polymer and then secondary hydroxyl group produced by reaction is reacted with saturated or unsaturated polybasic acid anhydride (iv) Polymer having hydroxyl group is saturated or After reacting an unsaturated polybasic acid anhydride, the carboxylic acid group produced by the reaction is reacted with a compound having one epoxy group and an unsaturated double bond in one molecule. Having a group resin

なお、レジスト膜の高温下における黄変性をより一層高めることができるので、上記重合性炭化水素ポリマーは、上記(ii)カルボキシル基含有樹脂であることが好ましい。   In addition, since the yellowing at a high temperature of the resist film can be further enhanced, the polymerizable hydrocarbon polymer is preferably (ii) the carboxyl group-containing resin.

カルボキシル基を有する(メタ)アクリル共重合樹脂(b1)は、例えば、(メタ)アクリル酸エステル(b11)と、1分子中に1個の不飽和基及び少なくとも1個のカルボキシル基を有する化合物(b12)とを共重合させることにより得られる。   The (meth) acrylic copolymer resin (b1) having a carboxyl group includes, for example, a (meth) acrylic acid ester (b11), a compound having one unsaturated group and at least one carboxyl group in one molecule ( and b12) are copolymerized.

上記(メタ)アクリル酸エステル(b11)としては、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、ペンチル(メタ)アクリレート、ヘキシル(メタ)アクリレートが挙げられる。さらに、(メタ)アクリル酸エステル(b11)としては、水酸基含有(メタ)アクリル酸エステルやグリコール変性(メタ)アクリレートが挙げられる。1種の(メタ)アクリル酸エステル(b11)が用いられてもよく、2種以上の(メタ)アクリル酸エステル(b11)が併用されてもよい。   Examples of the (meth) acrylic acid ester (b11) include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, pentyl (meth) acrylate, and hexyl (meth) acrylate. It is done. Furthermore, examples of the (meth) acrylic acid ester (b11) include a hydroxyl group-containing (meth) acrylic acid ester and glycol-modified (meth) acrylate. One type of (meth) acrylic acid ester (b11) may be used, or two or more types of (meth) acrylic acid ester (b11) may be used in combination.

水酸基含有(メタ)アクリル酸エステルとしては、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート又はカプロラクトン変性2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートが挙げられる。グリコール変性(メタ)アクリレートとして、メトキシジエチレングリコール(メタ)アクリレート、エトキシジエチレングリコール(メタ)アクリレート、イソオクチルオキシジエチレングリコール(メタ)アクリレート、フェノキシトリエチレングリコール(メタ)アクリレート、メトキシトリエチレングリコール(メタ)アクリレート、メトキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレートが挙げられる。   Examples of the hydroxyl group-containing (meth) acrylic acid ester include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, hydroxybutyl (meth) acrylate, or caprolactone-modified 2-hydroxyethyl (meth) acrylate. As glycol-modified (meth) acrylate, methoxydiethylene glycol (meth) acrylate, ethoxydiethylene glycol (meth) acrylate, isooctyloxydiethylene glycol (meth) acrylate, phenoxytriethylene glycol (meth) acrylate, methoxytriethylene glycol (meth) acrylate, methoxy Examples include polyethylene glycol (meth) acrylate.

1分子中に1個の不飽和基及び少なくとも1個のカルボキシル基を有する化合物(b12)としては、(メタ)アクリル酸、不飽和基とカルボン酸との間が鎖延長された変性不飽和モノカルボン酸、β−カルボキシエチル(メタ)アクリレート、2−アクリロイルオキシエチルコハク酸、2−アクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸、ラクトン変性などによりエステル結合を有する不飽和モノカルボン酸、エーテル結合を有する変性不飽和モノカルボン酸、マレイン酸などのカルボキシル基を1分子中に2個以上有する化合物が挙げられる。1種の上記化合物(b12)が用いられてもよく、2種以上の化合物(b12)が用いられてもよい。   Examples of the compound (b12) having one unsaturated group and at least one carboxyl group in one molecule include (meth) acrylic acid, and a modified unsaturated monoester having a chain extended between the unsaturated group and the carboxylic acid. Carboxylic acid, β-carboxyethyl (meth) acrylate, 2-acryloyloxyethyl succinic acid, 2-acryloyloxyethyl hexahydrophthalic acid, unsaturated monocarboxylic acid having an ester bond due to lactone modification, etc. Examples thereof include compounds having two or more carboxyl groups in one molecule such as saturated monocarboxylic acid and maleic acid. One type of the compound (b12) may be used, or two or more types of compounds (b12) may be used.

1分子中にオキシラン環及びエチレン性不飽和基を有する化合物(b2)としては、例えば、グリシジル(メタ)アクリレート、α−メチルグリシジル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルエチル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルブチル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチルアミノアクリレートが挙げられる。なかでも、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレートが好ましい。1種の化合物(b2)が用いられてもよく、2種以上の化合物(b2)が用いられてもよい。   Examples of the compound (b2) having an oxirane ring and an ethylenically unsaturated group in one molecule include glycidyl (meth) acrylate, α-methylglycidyl (meth) acrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate, Examples include 3,4-epoxycyclohexylethyl (meth) acrylate, 3,4-epoxycyclohexylbutyl (meth) acrylate, and 3,4-epoxycyclohexylmethylaminoacrylate. Of these, 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate is preferable. 1 type of compounds (b2) may be used and 2 or more types of compounds (b2) may be used.

カルボキシル基含有樹脂(i)〜(iv)の酸価は50〜150mgKOH/gの範囲内にあることが好ましい。酸価が50〜150mgKOH/gの範囲内にあると、現像の際の解像度を高めることができる。   The acid value of the carboxyl group-containing resins (i) to (iv) is preferably in the range of 50 to 150 mgKOH / g. When the acid value is in the range of 50 to 150 mgKOH / g, the resolution during development can be increased.

なお、化合物(i)は、1個以上の不飽和二重結合基および2個以上のカルボキシル基または酸無水物基を有する重合性炭化水素ポリマーを含有し、酸価が50〜150mgKOH/gであることがより好ましい。現像の際の解像度を高めることができる。   Compound (i) contains a polymerizable hydrocarbon polymer having one or more unsaturated double bond groups and two or more carboxyl groups or acid anhydride groups, and has an acid value of 50 to 150 mgKOH / g. More preferably. The resolution during development can be increased.

なお、ここでいう「酸価」は、具体的には、化合物を溶剤(トルエン/2−プロパノール/水(体積比で5/5/0.05))に溶かして水酸化カリウムを用いて中和滴定することにより算出できる。中和滴定法としては、P−ナフトールベンゼイン指示薬法や電位差滴定法が挙げられる。   In addition, the “acid value” mentioned here is specifically determined by dissolving the compound in a solvent (toluene / 2-propanol / water (5/5 / 0.05 by volume)) and using potassium hydroxide. It can be calculated by Japanese titration. Examples of the neutralization titration method include a P-naphtholbenzein indicator method and a potentiometric titration method.

また、重合性炭化水素ポリマーは、エポキシ樹脂を含むことがより好ましい。例えば、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ジグリシジルフタレート樹脂、トリグリシジルイソシアヌレートなどの複素環式エポキシ樹脂、ビキシレノール型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂、テトラグリシジルキシレノイルエタン樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型樹脂、臭素化ビスフェノールA型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型またはクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、ビスフェノールAのノボラック型エポキシ樹脂、キレート型エポキシ樹脂、グリオキザール型エポキシ樹脂、アミノ基含有エポキシ樹脂、ゴム変性エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエンフェノリック型エポキシ樹脂、シリコーン変性エポキシ樹脂、ε−カプロラクトン変性エポキシ樹脂が挙げられる。1種のエポキシ樹脂が用いられてもよく、2種以上のエポキシ樹脂が組み合わせて用いられてもよい。   Moreover, it is more preferable that the polymerizable hydrocarbon polymer includes an epoxy resin. For example, heterocyclic epoxy resins such as bisphenol S type epoxy resin, diglycidyl phthalate resin, triglycidyl isocyanurate, bixylenol type epoxy resin, biphenol type epoxy resin, tetraglycidyl xylenoylethane resin, bisphenol A type epoxy resin, Hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type resin, brominated bisphenol A type epoxy resin, phenol novolac type or cresol novolac type epoxy resin, alicyclic epoxy resin, bisphenol A novolak type epoxy resin, chelate type epoxy resin, Glyoxal type epoxy resin, amino group-containing epoxy resin, rubber modified epoxy resin, dicyclopentadiene phenolic type epoxy resin, silicone modified epoxy resin, ε-ca Rorakuton modified epoxy resins. One type of epoxy resin may be used, or two or more types of epoxy resins may be used in combination.

〔1分子中に少なくとも2個の環状エーテル基を有する化合物(B)〕
本発明に係る感光性組成物は、1分子中に少なくとも2つの環状エーテル基を有する化合物を含有する。このような環状エーテル基を有する化合物(B)としては、ジシクロペンタジエンジオキサイド、(3,4−エポキシシクロヘキシル)メチル−3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、ビス(2,3−エポキシシクロペンチル)エーテル、ビス(3,4−エポキシシクロヘキシルメチル)アジペート、ビス(3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘキシルメチル)アジペート、(3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘキシル)メチル−3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘキサンカルボキシレート、ビス(3,4−エポキシシクロヘキシルメチル)アセタール、エチレングリコールのビス(3,4−エポキシシクロヘキシル)エーテル、エチレングリコールのビス(3,4−エポキシシクロヘキシルメチル)エーテル、エチレングリコールの3,4−エポキシシクロヘキサンカルボン酸ジエステル、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル−5,5−スピロ−3,4−エポキシ)シクロヘキサン−メタ−ジオキサン、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールAD型エポキシ樹脂、ヒダントイン型を有するエポキシ樹脂、トリグリシジルイソシアヌレート、カテコールやレゾルシノール等の多価フェノールまたはグリセリン、ポリエチレングリコール等の多価アルコールとエピクロルヒドリンを反応させて得られるグリシジルエーテル、フタル酸またはイソフタル酸のようなポリカルボン酸とエピクロルヒドリンを反応させて得られるポリグリシジルエステル、更にはエポキシ化フェノールノボラック樹脂、エポキシ化ポリオレフィン、水溶性エポキシ樹脂、または、その他ウレタン変性エポキシ樹脂などが挙げられる。
[Compound (B) having at least two cyclic ether groups in one molecule]
The photosensitive composition according to the present invention contains a compound having at least two cyclic ether groups in one molecule. As the compound (B) having such a cyclic ether group, dicyclopentadiene dioxide, (3,4-epoxycyclohexyl) methyl-3,4-epoxycyclohexanecarboxylate, bis (2,3-epoxycyclopentyl) ether Bis (3,4-epoxycyclohexylmethyl) adipate, bis (3,4-epoxy-6-methylcyclohexylmethyl) adipate, (3,4-epoxy-6-methylcyclohexyl) methyl-3,4-epoxy-6 -Methylcyclohexanecarboxylate, bis (3,4-epoxycyclohexylmethyl) acetal, bis (3,4-epoxycyclohexyl) ether of ethylene glycol, bis (3,4-epoxycyclohexylmethyl) ether of ethylene glycol, ethyl 3,4-epoxycyclohexanecarboxylic acid diester of 2-glycol, 2- (3,4-epoxycyclohexyl-5,5-spiro-3,4-epoxy) cyclohexane-meta-dioxane, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type Epoxy resin, bisphenol AD type epoxy resin, epoxy resin having hydantoin type, triglycidyl isocyanurate, polyphenols such as catechol and resorcinol or glycerin, glycidyl ether obtained by reacting polyhydric alcohol such as polyethylene glycol and epichlorohydrin, Polyglycidyl ester obtained by reacting polycarboxylic acid such as phthalic acid or isophthalic acid with epichlorohydrin, epoxidized phenol novolac resin, epoxidation Li olefin, water-soluble epoxy resin, or the like other urethane-modified epoxy resin.

上記環状エーテル基を有する化合物(B)は、光重合開始剤が光の照射により活性化されると、上記重合性炭化水素モノマーもしくはポリマー(A)と反応し、感光性組成物を硬化させる。   When the photopolymerization initiator is activated by light irradiation, the compound (B) having the cyclic ether group reacts with the polymerizable hydrocarbon monomer or polymer (A) to cure the photosensitive composition.

上記環状エーテル基を有する化合物(B)は、上記化合物(A)100重量部に対し、好ましくは、0.1〜50重量部の割合で反応し、より好ましくは1〜30重量部の割合で配合される。環状エーテル基を有する化合物(B)の配合割合が上記好ましい範囲内にある場合、高温に晒されても変色しがたいレジスト膜を得ることができる。   The compound (B) having a cyclic ether group preferably reacts at a ratio of 0.1 to 50 parts by weight, more preferably at a ratio of 1 to 30 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the compound (A). Blended. When the compounding ratio of the compound (B) having a cyclic ether group is within the above preferred range, a resist film that is difficult to discolor even when exposed to high temperatures can be obtained.

上記環状エーテル基を有する化合物は、1種のみが用いられてもよく、1種以上が組み合わされて用いられてもよい。   Only 1 type may be used for the compound which has the said cyclic ether group, and 1 or more types may be used in combination.

〔重合開始剤(C)〕
光重合開始剤(C)としては、例えば、アシルフォスフィンオキサイド、ハロメチル化トリアジン、ハロメチル化オキサジアゾール、イミダゾール、ベンゾイン、ベンゾインアルキルエーテル、アントラキノン、ベンズアンスロン、ベンゾフェノン、アセトフェノン、チオキサントン、安息香酸エステル、アクリジン、フェナジン、チタノセン、α−アミノアルキルフェノン、オキシム、またはこれらの誘導体等が挙げられる。1種の光重合開始剤(C)が用いられてもよく、2種以上の光重合開始剤(C)が用いられてもよい。
[Polymerization initiator (C)]
Examples of the photopolymerization initiator (C) include acylphosphine oxide, halomethylated triazine, halomethylated oxadiazole, imidazole, benzoin, benzoin alkyl ether, anthraquinone, benzanthrone, benzophenone, acetophenone, thioxanthone, benzoate, Examples include acridine, phenazine, titanocene, α-aminoalkylphenone, oxime, and derivatives thereof. 1 type of photoinitiators (C) may be used and 2 or more types of photoinitiators (C) may be used.

上記透明な重合性炭化水素モノマーと透明な重合性炭化水素ポリマーとの合計100重量部に対して、上記光重合開始剤(C)は0.1〜30重量部の範囲内で含有されることが好ましく、1〜15重量部の範囲内で含有されることがより好ましい。光重合開始剤(C)が上記好ましい範囲内で含有される場合には、感光性組成物の感光性をより一層高めることができる。   The photopolymerization initiator (C) is contained in the range of 0.1 to 30 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the total of the transparent polymerizable hydrocarbon monomer and the transparent polymerizable hydrocarbon polymer. It is more preferable that it is contained within the range of 1 to 15 parts by weight. When the photopolymerization initiator (C) is contained within the above preferred range, the photosensitivity of the photosensitive composition can be further enhanced.

〔(D)式(1)で表わされるアミン化合物(D1)または式(2)で表わされるホスフィン化合物(D2)〕
本発明に係る感光性組成物は、下記の式(1)で表わされるアミン化合物(D1)または式(2)で表わされるホスフィン化合物(D2)である化合物(D)を含む。
[(D) Amine compound (D1) represented by formula (1) or phosphine compound (D2) represented by formula (2)]
The photosensitive composition concerning this invention contains the compound (D) which is the phosphine compound (D2) represented by the amine compound (D1) represented by following formula (1), or Formula (2).

Figure 2010175609
Figure 2010175609

Figure 2010175609
Figure 2010175609

式(1)または式(2)において、R〜Rは、水素原子、炭化水素基または酸素原子を含有する有機基である。R〜Rは、同一であってもよく、異なっていてもよい。 In Formula (1) or Formula (2), R 1 to R 6 are a hydrogen atom, a hydrocarbon group, or an organic group containing an oxygen atom. R 1 to R 6 may be the same or different.

式(1)または式(2)において、好ましくは、R〜Rは、炭素数2〜20の鎖状炭化水素基または炭素数6〜12の脂環式炭化水素基であり、その場合には、化合物(D1)または化合物(D2)が上記環状エーテル基を有する化合物(B)と反応し、水酸基を生じる。この水酸基により、最終的に得られたレジスト膜の基板に対する密着性が高められる。従って、高温下に晒されたとしても、基板に対する密着性がより一層低下し難いレジスト膜を得ることができる。 In Formula (1) or Formula (2), R 1 to R 6 are preferably a chain hydrocarbon group having 2 to 20 carbon atoms or an alicyclic hydrocarbon group having 6 to 12 carbon atoms, in which case The compound (D1) or the compound (D2) reacts with the compound (B) having the above cyclic ether group to generate a hydroxyl group. Due to this hydroxyl group, the adhesion of the finally obtained resist film to the substrate is enhanced. Therefore, even when exposed to a high temperature, a resist film can be obtained in which the adhesion to the substrate is hardly further lowered.

より好ましくは、R〜Rは、エチル基、n−プロピル基、n−ブチル基またはシクロヘキシル基であり、その場合には、化合物(D)が、環状エーテル基を有する上記化合物(B)と適度に反応するため、レジスト膜の現像性を高めることができる。 More preferably, R 1 to R 6 are an ethyl group, an n-propyl group, an n-butyl group, or a cyclohexyl group, and in this case, the compound (D) is the above compound (B) having a cyclic ether group. Therefore, the developability of the resist film can be improved.

炭素数2〜20の鎖状炭化水素基としては、エチル基、n−プロピル基、n−ブチル基、ヘキシル基、オクチル基、ペンチル基、デシル基、ドデシル基、テトラデシル基、ヘキサデシル基またはオクタデシル基が挙げられる。炭素数3〜12の脂環式炭化水素基としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロオクチル基またはノルボルニル基が挙げられる。より好ましくは、R〜Rは、エチル基、n−プロビル基、n−ブチル基またはシクロヘキシル基である。 Examples of the chain hydrocarbon group having 2 to 20 carbon atoms include an ethyl group, an n-propyl group, an n-butyl group, a hexyl group, an octyl group, a pentyl group, a decyl group, a dodecyl group, a tetradecyl group, a hexadecyl group, and an octadecyl group. Is mentioned. Examples of the alicyclic hydrocarbon group having 3 to 12 carbon atoms include a cyclopropyl group, a cyclobutyl group, a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, a cyclooctyl group, and a norbornyl group. More preferably, R 1 to R 6 are an ethyl group, an n-propyl group, an n-butyl group, or a cyclohexyl group.

上記化合物(D)の具体例としては、n,n−ジメチルベンジルアミン、ジフェニルメチルホスフィン、トリフェキシルアミン、トリフェキシルホスフィン、トリエチルアミン、トリシクロヘキシルホスフィンなどを挙げることができる。   Specific examples of the compound (D) include n, n-dimethylbenzylamine, diphenylmethylphosphine, triphenylamine, triphenylphosphine, triethylamine, and tricyclohexylphosphine.

上記化合物(D)は、好ましくは、上記化合物(A)と化合物(B)との合計100重量部に対し、0.01〜5重量部の割合で配合される。化合物(D)の配合割合がこの範囲内にある場合、最終的に得られたレジスト膜の基板に対する密着性を十分高くすることができ、かつレジスト膜の現像性を一層高めることができる。   The compound (D) is preferably blended at a ratio of 0.01 to 5 parts by weight with respect to a total of 100 parts by weight of the compound (A) and the compound (B). When the compounding ratio of the compound (D) is within this range, the adhesion of the finally obtained resist film to the substrate can be sufficiently increased, and the developability of the resist film can be further enhanced.

0.01重量部未満では、密着性が低くなることがあり、5重量部を越えると現像性が低下することがある。   If it is less than 0.01 part by weight, the adhesion may be lowered, and if it exceeds 5 parts by weight, the developability may be lowered.

〔無機フィラー(E)〕
本発明に係る感光性組成物は無機フィラーを含有してもよい。このような無機フィラーとしては、炭酸カルシウム、酸化アルミニウム、水酸化アルミニウム、水酸化亜鉛、酸化亜鉛、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、窒化ホウ素、ダイヤモンド粉末、ケイ酸ジルコニウム、酸化ジルコニウム、タルク、硫酸バリウム、チタン酸バリウム、酸化チタン、クレー、炭酸マグネシウム、水酸化マグネシウム、マイカ、雲母粉、硫酸鉛、硫化亜鉛、酸化アンチモン、窒化チタン、フッ化セリウム又は酸化セリウムが挙げられる。
[Inorganic filler (E)]
The photosensitive composition according to the present invention may contain an inorganic filler. Such inorganic fillers include calcium carbonate, aluminum oxide, aluminum hydroxide, zinc hydroxide, zinc oxide, aluminum nitride, silicon nitride, boron nitride, diamond powder, zirconium silicate, zirconium oxide, talc, barium sulfate, titanium. Examples thereof include barium acid, titanium oxide, clay, magnesium carbonate, magnesium hydroxide, mica, mica powder, lead sulfate, zinc sulfide, antimony oxide, titanium nitride, cerium fluoride, and cerium oxide.

なお、無機フィラーは、煮沸法により測定されたpHが6.8以上11以下であることが好ましく、その場合には、レジスト膜の黄変をより一層抑制できる。より好ましくはpH7.0以上、さらに好ましくはpH7.4以上であり、さらに好ましくはpH8.1以上である。感光性組成物のポットライフをより一層良好にすることができるので、上記無機フィラーの煮沸法により測定されたpHは10.0以下であることが好ましく、より好ましくはpH9.0以下である。   In addition, it is preferable that the pH measured by the boiling method is 6.8 or more and 11 or less, and in that case, the inorganic filler can further suppress yellowing of the resist film. More preferably, it is pH 7.0 or more, More preferably, it is pH 7.4 or more, More preferably, it is pH 8.1 or more. Since the pot life of the photosensitive composition can be further improved, the pH measured by the boiling method of the inorganic filler is preferably 10.0 or less, and more preferably pH 9.0 or less.

なお、上記煮沸法とは、(a)上記無機フィラー5gを純水100mLに加えた液を加熱し、5分間沸騰させた後、23℃に達するまで静置し、沸騰処理液を得、(b)次に、得られた沸騰処理液に、沸騰に際し蒸発した量の水を加えて、全量を100mLとして得られた液のpHを測定する方法である。   The boiling method is as follows: (a) A liquid obtained by adding 5 g of the above inorganic filler to 100 mL of pure water is heated and boiled for 5 minutes, and then allowed to stand until reaching 23 ° C. to obtain a boiling treatment liquid ( b) Next, it is a method of measuring the pH of the obtained liquid by adding the amount of water evaporated at the time of boiling to the obtained boiling treatment liquid and making the total amount 100 mL.

上記煮沸法では、具体的には、上記無機フィラー5gを純水100mLに加えた液を、開口を有する容器内に入れる。上記容器を加熱することにより容器内の液を加熱し、容器内の液を沸騰させる。沸騰し始めてから5分間、沸騰状態を維持する。その後、容器の開口に栓体を取り付けて、23℃に達するまで静置し、沸騰処理液を得る。容器の開口から栓を取り外して、得られた沸騰処理液に、沸騰により蒸発した水量の水を加えて、水量を100mLとする。容器の開口に栓体を取り付けて、1分間振り混ぜた後、5分間静置する。このようにして、測定液を得る。得られた測定液のpHは、JIS Z8802の7.に記載された操作に準拠して測定できる。   In the boiling method, specifically, a solution obtained by adding 5 g of the inorganic filler to 100 mL of pure water is placed in a container having an opening. The liquid in the container is heated by heating the container, and the liquid in the container is boiled. Maintain boiling for 5 minutes after starting to boil. Thereafter, a stopper is attached to the opening of the container and left to reach 23 ° C. to obtain a boiling treatment liquid. The stopper is removed from the opening of the container, and the amount of water evaporated by boiling is added to the obtained boiling treatment liquid to make the amount of water 100 mL. A stopper is attached to the opening of the container, shaken for 1 minute, and allowed to stand for 5 minutes. In this way, a measurement liquid is obtained. The pH of the obtained measuring solution is JIS Z8802 7. Can be measured in accordance with the operation described in 1.

上記無機フィラーとしては、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化アンチモン、酸化亜鉛、鉛白、硫化亜鉛、チタン酸カリウム又はチタン酸鉛が挙げられる。なかでも、取り扱いやすいことから酸化チタンが好ましい。   Examples of the inorganic filler include titanium oxide, zirconium oxide, antimony oxide, zinc oxide, white lead, zinc sulfide, potassium titanate, and lead titanate. Of these, titanium oxide is preferable because it is easy to handle.

上記無機フィラーは、ルチル型酸化チタンであることが好ましい。ルチル型酸化チタンの場合、ソルダーレジスト膜が光に晒されたときに、黄変し難い。   The inorganic filler is preferably rutile titanium oxide. In the case of rutile titanium oxide, yellowing hardly occurs when the solder resist film is exposed to light.

少なくとも1種の無機フィラーが塩基性金属酸化物もしくは塩基性金属水酸化物で被覆されて表面が塩基性とされていることが好ましい。上記無機フィラーの表面が塩基性であると、高温化でのレジスト膜の黄変をより一層抑制できるため好ましい。   It is preferable that at least one inorganic filler is coated with a basic metal oxide or basic metal hydroxide so that the surface is made basic. It is preferable that the surface of the inorganic filler is basic because yellowing of the resist film at higher temperatures can be further suppressed.

塩基性金属酸化物もしくは塩基性金属水酸化物としては、マグネシウム、ジルコニウム、セリウム、ストロンチウム、アンチモン、バリウムまたはカルシウムなどの金属化合物が挙げられる。なかでも、高温に晒されたときに黄変する恐れを少なくできるので、無機フィラーを被覆する材料に酸化ジルコニウムが含まれていることが好ましい。   Examples of the basic metal oxide or basic metal hydroxide include metal compounds such as magnesium, zirconium, cerium, strontium, antimony, barium, and calcium. Especially, since the possibility of yellowing when exposed to high temperature can be reduced, it is preferable that the material covering the inorganic filler contains zirconium oxide.

無機フィラーの被覆方法としては、被覆する無機フィラーを水または水を主成分とする媒液中に分散させる方法があげられる。この際に、無機フィラーの凝集程度に応じて、サンドミル、ボールミル等の湿式粉砕機を用いて、予備粉砕を行ってもよい。スラリーのpHは、無機フィラーによって適宜設定することが好ましいが、例えば酸化チタンであればpHは9以上であることが好ましい。次に、スラリー中に被覆する金属の水溶性塩を添加する。その後、中和、固液分離、乾燥及び乾式粉砕を実施し、これによって、被覆された無機フィラーを得ることができる。   Examples of the method for coating the inorganic filler include a method in which the inorganic filler to be coated is dispersed in water or a liquid medium containing water as a main component. At this time, preliminary pulverization may be performed using a wet pulverizer such as a sand mill or a ball mill according to the degree of aggregation of the inorganic filler. The pH of the slurry is preferably set as appropriate depending on the inorganic filler. For example, in the case of titanium oxide, the pH is preferably 9 or more. Next, a water-soluble salt of the metal to be coated is added to the slurry. Thereafter, neutralization, solid-liquid separation, drying and dry pulverization are performed, whereby a coated inorganic filler can be obtained.

上記無機フィラーは、無機フィラー表面の塩基性を高めるために、無機フィラーの酸性部位と反応することができる化合物を含有することが好ましい。また、無機フィラーの塩基性を高めるために、無機フィラーの酸性部位と反応することができる化合物が表面に存在する無機フィラーを含有することが好ましい。無機フィラーの酸性部位と反応することができる化合物としては、(1)トリメチロールプロパン、トリメチロールエタン、ジトリメチロールプロパン、トリメチロールプロパンエトキシレート、もしくはペンタエリスリトール等の多価アルコール、(2)モノエタノールアミン、モノプロパノールアミンジエタノールアミン、ジプロパノールアミン、トリエタノールアミン、もしくはトリプロパノールアミン等のアルカノールアミン、(3)クロロシランまたは(4)アルコキシシランが挙げられる。   The inorganic filler preferably contains a compound capable of reacting with an acidic site of the inorganic filler in order to increase the basicity of the inorganic filler surface. Moreover, in order to raise the basicity of an inorganic filler, it is preferable to contain the inorganic filler in which the compound which can react with the acidic site | part of an inorganic filler exists on the surface. The compound capable of reacting with the acidic site of the inorganic filler includes (1) a polyhydric alcohol such as trimethylolpropane, trimethylolethane, ditrimethylolpropane, trimethylolpropane ethoxylate, or pentaerythritol, and (2) monoethanol. Examples thereof include alkanolamines such as amine, monopropanolamine diethanolamine, dipropanolamine, triethanolamine, and tripropanolamine, (3) chlorosilane, and (4) alkoxysilane.

無機フィラーの酸性部位と反応することができる化合物が塩基性化合物であれば、無機フィラーの塩基性をより高めることができ、好ましい。このような好ましい塩基性化合物としては、アルカノールアミンが挙げられる。   If the compound which can react with the acidic site | part of an inorganic filler is a basic compound, the basicity of an inorganic filler can be improved more and it is preferable. Examples of such preferable basic compound include alkanolamine.

無機フィラーを塩基性化合物で表面処理する方法としては、(1)上記化合物を添加した無機フィラーを流体エネルギー粉砕機、衝撃粉砕機等の乾式粉砕機を用いて粉砕する方法、(2)ヘンシェルミキサー、スーパーミキサー等の高速攪拌機等を用いて、乾式粉砕した後の無機フィラーを上記化合物と攪拌、混合する方法、(3)無機フィラーの水性スラリーに上記化合物を添加し撹拌する方法が挙げられる。特に、(1)の方法は、無機フィラーの粉砕と上記化合物による表面処理とを同時に行うことができ好ましい。乾式粉砕機としては、流体エネルギー粉砕機が好ましく、ジェットミルなどの旋回式粉砕機がより好ましい。   Surface treatment of the inorganic filler with a basic compound includes (1) a method of pulverizing the inorganic filler added with the above compound using a dry pulverizer such as a fluid energy pulverizer or an impact pulverizer, and (2) a Henschel mixer. And a method of stirring and mixing the inorganic filler after dry pulverization with the above compound using a high-speed stirrer such as a super mixer, and (3) a method of adding the above compound to an aqueous slurry of the inorganic filler and stirring. In particular, the method (1) is preferable because the inorganic filler can be pulverized and the surface treatment with the above compound can be simultaneously performed. As the dry pulverizer, a fluid energy pulverizer is preferable, and a swirl pulverizer such as a jet mill is more preferable.

感光性組成物100重量%中の無機フィラーの含有量は、3重量%以上80重量%以下であることが好ましい。より好ましい下限は10重量%であり、より好ましい上限は75重量%である。   The content of the inorganic filler in 100% by weight of the photosensitive composition is preferably 3% by weight or more and 80% by weight or less. A more preferred lower limit is 10% by weight, and a more preferred upper limit is 75% by weight.

〔その他の成分〕
本発明に係る感光性組成物は、紫外線吸収剤、酸化防止剤、溶剤、着色剤、充填剤、消泡剤、硬化剤、硬化促進剤、離型剤、表面処理剤、難燃剤、粘度調節剤、分散剤、分散助剤、表面改質剤、可塑剤、抗菌剤、防黴剤、レベリング剤、安定剤、カップリング剤、タレ防止剤又は蛍光体等を含有してもよい。
[Other ingredients]
The photosensitive composition according to the present invention includes an ultraviolet absorber, an antioxidant, a solvent, a colorant, a filler, an antifoaming agent, a curing agent, a curing accelerator, a release agent, a surface treatment agent, a flame retardant, and a viscosity modifier. An agent, a dispersant, a dispersion aid, a surface modifier, a plasticizer, an antibacterial agent, an antifungal agent, a leveling agent, a stabilizer, a coupling agent, an anti-sagging agent, or a phosphor may be contained.

〔調製方法〕
本発明に係る感光性組成物は、例えば、各配合成分を撹拌混合した後、3本ロールにて均一に混合することにより調製できる。
[Preparation method]
The photosensitive composition according to the present invention can be prepared by, for example, stirring and mixing each compounding component and then uniformly mixing with three rolls.

感光性組成物を硬化させるために使用される光源として、紫外線又は可視光線等の活性エネルギー線を発光する照射装置が挙げられる。上記光源として、例えば、超高圧水銀灯、Deep UV ランプ、高圧水銀灯、低圧水銀灯、メタルハライドランプ又はエキシマレーザーが挙げられる。これらの光源は、感光性組成物の構成成分の感光波長に応じて適宜選択される。光の照射エネルギーは、所望とする膜厚又は感光性組成物の構成成分により適宜選択される。光の照射エネルギーは、一般に、10〜3000mJ/cmの範囲内である。 Examples of the light source used for curing the photosensitive composition include an irradiation device that emits active energy rays such as ultraviolet rays or visible rays. Examples of the light source include an ultra high pressure mercury lamp, a deep UV lamp, a high pressure mercury lamp, a low pressure mercury lamp, a metal halide lamp, and an excimer laser. These light sources are appropriately selected according to the photosensitive wavelength of the constituent components of the photosensitive composition. The irradiation energy of light is appropriately selected depending on the desired film thickness or the constituent components of the photosensitive composition. The irradiation energy of light is generally in the range of 10 to 3000 mJ / cm 2 .

〔LEDデバイス〕
本発明に係る感光性組成物は、LEDチップが基板に実装されているLEDデバイス中のソルダーレジスト膜の形成に好適に用いられる。図1は、本発明に係る感光性組成物を用いて形成されたソルダーレジスト膜を有するLEDデバイスを模式的に示す部分切欠正面断面図である。
[LED device]
The photosensitive composition concerning this invention is used suitably for formation of the soldering resist film in the LED device in which the LED chip is mounted in the board | substrate. FIG. 1 is a partially cutaway front sectional view schematically showing an LED device having a solder resist film formed using a photosensitive composition according to the present invention.

図1に示すLEDデバイス1では、基板2の上面2a上に、ソルダーレジスト膜3が形成されている。ソルダーレジスト膜3上に、LEDチップ7が搭載されている。   In the LED device 1 shown in FIG. 1, a solder resist film 3 is formed on the upper surface 2 a of the substrate 2. An LED chip 7 is mounted on the solder resist film 3.

基板2は、ガラス層5と樹脂層6とを有する積層基板からなる。もっとも、基板2は特に限定されず、樹脂と他の材料からなる積層基板に限らず、セラミック多層基板などの他の積層基板により形成されていてもよい。さらに、基板2は、単一の樹脂材料からなる樹脂基板であってもよい。基板2の上面2a上には、電極4a,4bが形成されている。電極4a,4bは、適宜の金属もしくは合金からなる。   The substrate 2 is composed of a laminated substrate having a glass layer 5 and a resin layer 6. But the board | substrate 2 is not specifically limited, Not only the laminated board which consists of resin and another material, You may form with other laminated boards, such as a ceramic multilayer board | substrate. Further, the substrate 2 may be a resin substrate made of a single resin material. Electrodes 4 a and 4 b are formed on the upper surface 2 a of the substrate 2. The electrodes 4a and 4b are made of an appropriate metal or alloy.

ソルダーレジスト膜3は、本発明の感光性組成物を基板2の上面2a上に塗工し、露光・現像することにより形成されている。より具体的には、電極4a,4bを形成した後に、基板2の上面2a上の全面に感光性組成物を塗工する。次に、下方に電極4a,4bが位置する部分が遮光部とされているマスクを用いて感光性組成物を上方から選択的に露光する。露光により、光が照射された領域では、感光性組成物が硬化する。遮光部で覆われた領域では感光性組成物の硬化は進行しない。従って、硬化していない感光性組成物を溶解する溶剤を用いて、露光されていない感光性組成物部分を除去する。このようにして、図1に示す開口部3a,3bを有するソルダーレジスト膜3を得ることができる。開口部3a,3bには、上記電極4a,4bがそれぞれ露出している。   The solder resist film 3 is formed by applying the photosensitive composition of the present invention onto the upper surface 2a of the substrate 2, and exposing and developing. More specifically, after forming the electrodes 4 a and 4 b, the photosensitive composition is applied to the entire surface of the upper surface 2 a of the substrate 2. Next, the photosensitive composition is selectively exposed from above using a mask in which the portions where the electrodes 4a and 4b are located are light shielding portions. The photosensitive composition is cured in a region irradiated with light by exposure. Curing of the photosensitive composition does not proceed in the region covered with the light shielding part. Therefore, the unexposed photosensitive composition portion is removed using a solvent that dissolves the uncured photosensitive composition. In this way, the solder resist film 3 having the openings 3a and 3b shown in FIG. 1 can be obtained. The electrodes 4a and 4b are exposed in the openings 3a and 3b, respectively.

次に、下面7aに端子8a,8bを有するLEDチップ7をソルダーレジスト膜3上に搭載し、半田9a,9bにより端子8a,8bと電極4a,4bとをそれぞれ接合する。このようにして、LEDデバイス1が得られる。   Next, the LED chip 7 having the terminals 8a and 8b on the lower surface 7a is mounted on the solder resist film 3, and the terminals 8a and 8b and the electrodes 4a and 4b are joined by solders 9a and 9b, respectively. In this way, the LED device 1 is obtained.

LEDデバイス1では、LEDチップ7を駆動すると、破線で示すように光が発せられる。この場合、LEDチップ7から基板2の上面2aとは反対側すなわち上方に照射される光だけでなく、ソルダーレジスト膜3に到達した光が矢印Aで示すように反射される。ソルダーレジスト膜3は、白色であり、上記光を高い効率で反射させる。従って、矢印Aで示す反射光も利用されるので、LEDチップ7の光の利用効率を高めることができる。   In the LED device 1, when the LED chip 7 is driven, light is emitted as indicated by a broken line. In this case, not only the light irradiated from the LED chip 7 to the side opposite to the upper surface 2 a of the substrate 2, that is, the light irradiated on the solder resist film 3 is reflected as shown by the arrow A. The solder resist film 3 is white and reflects the light with high efficiency. Therefore, since the reflected light indicated by the arrow A is also used, the light use efficiency of the LED chip 7 can be increased.

以下、本発明の具体的な実施例及び比較例を挙げることにより、本発明の効果を明らかにする。   Hereinafter, the effects of the present invention will be clarified by giving specific examples and comparative examples of the present invention.

まず、実施例及び比較例の評価方法を説明する。   First, evaluation methods of Examples and Comparative Examples will be described.

(評価方法)
(1)測定サンプルの調製
80mm×90mm×厚さ0.8mmのガラスエポキシ基板、品番:FR−4からなる基板上に、スクリーン印刷法により、100メッシュのポリエステルバイアス製スクリーン印刷版を用いて、感光性組成物を全面に印刷した。印刷後、80℃のオーブン内で20分間印刷された感光性組成物層を乾燥させた。次に、紫外線照射装置を用い、未露光領域が遮光部とされているパターンを有するフォトマスクを介し、感光性組成物層に、波長365nmの紫外線を照射エネルギーが400mJ/cmとなるように、100mW/cmの紫外線照度で4秒間照射した。紫外線による硬化が進行し、白色のレジスト膜が形成された。照射後、炭酸ナトリウムの1重量%水溶液にレジスト膜を浸漬して現像し、未露光部の感光性組成物層部分を除去した。このようにして、遮光部が開口部とされているパターンを有するレジスト膜を得た。しかる後、150℃のオーブン内でレジスト膜を1時間加熱し硬化させ、レジスト膜が形成されているサンプルを得た。なお、得られたサンプルにおけるレジスト膜の厚みは20μmであった。
(Evaluation methods)
(1) Preparation of measurement sample On a glass epoxy substrate having a size of 80 mm × 90 mm × thickness 0.8 mm, a product number: FR-4, using a 100-mesh polyester bias screen printing plate by a screen printing method, The photosensitive composition was printed on the entire surface. After printing, the photosensitive composition layer printed for 20 minutes in an oven at 80 ° C. was dried. Next, using a UV irradiation device, UV light having a wavelength of 365 nm is applied to the photosensitive composition layer through a photomask having a pattern in which an unexposed area is a light-shielding portion so that the irradiation energy is 400 mJ / cm 2. Irradiation with ultraviolet illuminance of 100 mW / cm 2 for 4 seconds. Curing with ultraviolet light progressed, and a white resist film was formed. After irradiation, the resist film was immersed in a 1% by weight aqueous solution of sodium carbonate and developed to remove the unexposed photosensitive composition layer portion. In this way, a resist film having a pattern in which the light shielding part is an opening was obtained. Thereafter, the resist film was heated and cured in an oven at 150 ° C. for 1 hour to obtain a sample on which the resist film was formed. In addition, the thickness of the resist film in the obtained sample was 20 μm.

(2)耐熱性
(1)で得たサンプルを加熱オーブン内に入れ、270℃で5分間加熱した。
(2) Heat resistance The sample obtained in (1) was placed in a heating oven and heated at 270 ° C for 5 minutes.

色彩・色差計(コニカミノルタ社製、CR−400)を用いて、熱処理される前のサンプルのL*、a*、b*を測定した。また、熱処理された後の評価サンプルのL*、a*、b*を測定し、これら2つの測定値からΔE*abを求めた。   Using a color / color difference meter (CR-400, manufactured by Konica Minolta Co., Ltd.), L *, a *, and b * of the sample before heat treatment were measured. Further, L *, a *, and b * of the evaluation sample after the heat treatment were measured, and ΔE * ab was obtained from these two measured values.

〔黄変度の評価基準〕
熱処理された後のサンプルのΔE*abが、2以下の場合を「◎」、2を超え、3以下の場合を「○」、3を超え、3.5以下の場合を「△」、3.5を超える場合を「×」として、結果を下記の表1に示した。
[Evaluation criteria for yellowing degree]
ΔE * ab of the heat-treated sample is “◎” when it is 2 or less, exceeds 2 and is “◯” when it is 3 or less, “△” when 3 or less and 3.5 or less, “Δ”, 3 The results are shown in Table 1 below, where.

〔耐熱密着性の評価基準〕
得られたサンプルにおいて、レジスト膜の基板に対する密着性を評価した。JIS K5600に準拠して、カッターを用いて、平面視したときに1mm×1mmの大きさになるように基板上のレジスト膜を切断し、レジスト膜を100個に分割した。分割されたレジスト膜に、粘着テープ(ニチバン社製、セロファンテープ、LP−18)を貼りつけ、粘着テープをレジスト膜ごと剥離するようにして、剥離を試みた。テープとともにレジスト膜が剥離されるか否かを観察し、密着性を下記評価基準で評価した。
[Evaluation criteria for heat-resistant adhesion]
In the obtained sample, the adhesion of the resist film to the substrate was evaluated. In accordance with JIS K5600, using a cutter, the resist film on the substrate was cut so as to have a size of 1 mm × 1 mm when viewed in plan, and the resist film was divided into 100 pieces. An adhesive tape (cellophane tape, LP-18, manufactured by Nichiban Co., Ltd.) was attached to the divided resist film, and the adhesive tape was peeled off together with the resist film, and peeling was attempted. Whether the resist film was peeled off together with the tape was observed, and the adhesion was evaluated according to the following evaluation criteria.

◎:分割されたレジスト膜100個中、剥離しなかったレジスト膜が100個
○:分割されたレジスト膜100個中、剥離しなかったレジスト膜が90個〜99個
△:分割されたレジスト膜100個中、剥離しなかったレジスト膜が80個〜89個
×:分割されたレジスト膜100個中、剥離しなかったレジスト膜が0個〜79個
◎: 100 resist films that did not peel out of 100 divided resist films ○: 90 to 99 resist films that did not peel out of 100 divided resist films Δ: Divided resist film 80 to 89 resist films that did not peel out of 100 pieces ×: 0 to 79 resist films that did not peel out of 100 divided resist films

(3)現像性
厚み40μmの銅回路が上面に形成されており、80mm×90mm×厚さ1.0mmのプリント配線基板を用意した。該プリント配線基板の上面に、感光性組成物を、100メッシュのポリエステルバイアス製のスクリーン版を使用して全面にスクリーン印刷した。その後、80℃の熱風オーブン内で印刷された感光性組成物層を20分間乾燥させた。
(3) Developability A copper circuit having a thickness of 40 μm was formed on the upper surface, and a printed wiring board of 80 mm × 90 mm × thickness 1.0 mm was prepared. The photosensitive composition was screen-printed on the entire upper surface of the printed wiring board using a 100-mesh polyester bias screen plate. Thereafter, the photosensitive composition layer printed in a hot air oven at 80 ° C. was dried for 20 minutes.

次に、遮光部を有するフォトマスクを介して感光性組成物層に選択的に紫外線を照射した。具体的には、紫外線照射装置(オーク製作所社製、HMW−680GX)を用いて、365nmの波長の紫外線を、照射エネルギーが600mJ/cmとなるように50mW/cmの紫外線照度で12秒間照射した。 Next, the photosensitive composition layer was selectively irradiated with ultraviolet rays through a photomask having a light shielding portion. Specifically, using an ultraviolet irradiation device (HMW-680GX, manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.), ultraviolet rays having a wavelength of 365 nm are irradiated for 12 seconds at an ultraviolet illuminance of 50 mW / cm 2 so that the irradiation energy is 600 mJ / cm 2. Irradiated.

上記紫外線の照射により、感光性組成物層において硬化が進行し、レジスト膜が形成された。このレジスト膜を、30℃の1重量%炭酸ナトリウム水溶液を現像液として用い、0.2MPaの圧力下で90秒間浸漬して現像し、次に、150℃の熱風オーブン内で60分間乾燥した。このようにして、厚みが20μmのレジスト膜を得た。このレジスト膜を第2のサンプルとした。   Curing progressed in the photosensitive composition layer by irradiation with the ultraviolet rays, and a resist film was formed. This resist film was developed by using a 1 wt% sodium carbonate aqueous solution at 30 ° C. as a developing solution, being immersed for 90 seconds under a pressure of 0.2 MPa, and then dried in a hot air oven at 150 ° C. for 60 minutes. Thus, a resist film having a thickness of 20 μm was obtained. This resist film was used as a second sample.

上記第2のサンプルのレジスト膜を得る際に、現像後にパターンが形成されているか否かを電子顕微鏡を用いて観察して現像性を下記の評価基準で評価した。   When obtaining the resist film of the second sample, whether or not a pattern was formed after development was observed using an electron microscope, and developability was evaluated according to the following evaluation criteria.

〔評価基準〕
○:L/S 100μmのパターンが形成されていた
△:L/S 100μmのパターンが形成されていたものの、パターンの長さ方向寸法に10%以上のばらつきがあった
×:L/S 100μmのパターンが形成されていなかった
〔Evaluation criteria〕
○: L / S 100 μm pattern was formed Δ: L / S 100 μm pattern was formed, but there was a variation of 10% or more in the length direction dimension of the pattern ×: L / S 100 μm The pattern was not formed

(合成例1)(アクリルポリマー1)
温度計、攪拌機、滴下ロート、および還流冷却器を備えたフラスコに、溶媒としてエチルカルビトールアセテート、触媒としてアゾビスイソブチロニトリルを入れ、窒素雰囲気下、80℃に加熱し、メタクリル酸とメチルメタクリレートを30:70のモル比で混合したモノマーを約2時間かけて滴下した。さらに1時間攪拌した後、温度を120℃にまで上げた。
(Synthesis Example 1) (Acrylic polymer 1)
A flask equipped with a thermometer, stirrer, dropping funnel, and reflux condenser is charged with ethyl carbitol acetate as a solvent and azobisisobutyronitrile as a catalyst, heated to 80 ° C. in a nitrogen atmosphere, methacrylic acid and methyl A monomer in which methacrylate was mixed at a molar ratio of 30:70 was dropped over about 2 hours. After stirring for another hour, the temperature was raised to 120 ° C.

この溶液を室温まで冷却した後、触媒として臭化テトラブチルアンモニウム1gを投入し、グリシジルアクリレートをメタクリル酸及びメチルアクリレートの合計100に対し10のモル比となるように投入し、100℃で30分間得られた樹脂のカルボキシル基の等量と付加反応させ、しかる後室温まで冷却した。冷却後フラスコから溶液を取り出した。この溶液を分析したところ、固形分の酸価は60mgKOH/gであり、重量平均分子量が15,000のカルボキシル基含有樹脂を50質量%(不揮発分)を含む溶液であることが確かめられた。この溶液を、以下、アクリルポリマー1と呼ぶ。   After cooling this solution to room temperature, 1 g of tetrabutylammonium bromide was added as a catalyst, and glycidyl acrylate was added so as to have a molar ratio of 10 to 100 in total of methacrylic acid and methyl acrylate. The resulting resin was subjected to an addition reaction with an equivalent amount of carboxyl groups, and then cooled to room temperature. The solution was taken out from the flask after cooling. When this solution was analyzed, it was confirmed that the acid value of the solid content was 60 mg KOH / g and the solution contained 50% by mass (nonvolatile content) of a carboxyl group-containing resin having a weight average molecular weight of 15,000. This solution is hereinafter referred to as acrylic polymer 1.

(合成例2)(アクリルポリマー2)
ジプロピレングリコールモノメチルエーテル750gおよびt−ブチルパーオキシ2−エチルヘキサノエート17.9gを仕込み、95℃に昇温後、メタクリル酸241.4g、コハク酸変性ε−カプロラクトン変性2−ヒドロキシエチルメタクリレート(ダイセル化学工業(株)製プラクセルFM1A)205.4gを2,2´−アゾビス−(2,4−ジメチルバレロニトリル)17.9gと共にジプロピレングリコールモノメチルエーテル中に3時間かけて滴下し、さらに8時間熟成することによってカルボキシル基を有するビニル共重合体溶液を得た。反応はN気流下で行った。次にビニル共重合体溶液にエポキシシクロヘキシルメチルアクリレート(ダイセル化学工業(株)製サイクロマーA200)303.3g、トリフェニルフォスフィン3.03g、ハイドロキノンモノメチルエーテル1.5gを加え、100℃に昇温し、攪拌することによってエポキシの開環付加反応を行った。反応は空気気流下で行った。
(Synthesis Example 2) (Acrylic polymer 2)
750 g of dipropylene glycol monomethyl ether and 17.9 g of t-butylperoxy 2-ethylhexanoate were charged, and after raising the temperature to 95 ° C., 241.4 g of methacrylic acid, succinic acid-modified ε-caprolactone-modified 2-hydroxyethyl methacrylate ( 205.4 g of Daicel Chemical Industries, Ltd. Plaxel FM1A) was added dropwise to dipropylene glycol monomethyl ether together with 17.9 g of 2,2′-azobis- (2,4-dimethylvaleronitrile) over 3 hours. By aging for a time, a vinyl copolymer solution having a carboxyl group was obtained. The reaction was performed under a N 2 stream. Next, 303.3 g of epoxy cyclohexyl methyl acrylate (Daicel Chemical Industries, Ltd. Cyclomer A200), 3.03 g of triphenylphosphine, and 1.5 g of hydroquinone monomethyl ether were added to the vinyl copolymer solution, and the temperature was raised to 100 ° C. Then, epoxy ring-opening addition reaction was carried out by stirring. The reaction was performed under an air stream.

10時間後、内容物を取り出し、内容物の溶液を分析した。その結果、酸価76.5mgKOH/g、固形分濃度55%、重量平均分子量20000の不飽和基含有硬化性樹脂溶液であることが確かめられた。以下、この樹脂溶液を、アクリルポリマー2と呼ぶ。   After 10 hours, the contents were removed and the solution of the contents was analyzed. As a result, it was confirmed that this was an unsaturated group-containing curable resin solution having an acid value of 76.5 mgKOH / g, a solid content concentration of 55%, and a weight average molecular weight of 20000. Hereinafter, this resin solution is referred to as acrylic polymer 2.

(実施例1)
アクリルポリマー1を15重量部と、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(DPHA)5重量部と、ルチル型酸化チタン(D−918、堺化学社製)40重量部と、光ラジカル重合開始剤(TPO、日本シイベルヘグナー社製)2重量部と、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(828、ジャパンエポキシレジン社製)とN,N−ジメチルベンジルアミン0.1重量部を配合し、混合機(練太郎SP−500、シンキー社製)にて3分間混合した後、3本ロールにて混合した。その後、混合機(SP−500、シンキー社製)を用いて、混合物を3分間脱泡することにより、感光性組成物を得た。
Example 1
15 parts by weight of acrylic polymer 1, 5 parts by weight of dipentaerythritol hexaacrylate (DPHA), 40 parts by weight of rutile type titanium oxide (D-918, manufactured by Sakai Chemical Co., Ltd.), photo radical polymerization initiator (TPO, Japan) 2 parts by weight of Siebel Hegner), bisphenol A type epoxy resin (828, Japan Epoxy Resin) and 0.1 part by weight of N, N-dimethylbenzylamine are blended, and a blender (Nertaro SP-500, Sinky) After mixing for 3 minutes, the mixture was mixed with 3 rolls. Then, the photosensitive composition was obtained by defoaming the mixture for 3 minutes using a mixer (SP-500, manufactured by Sinky Corporation).

得られた感光性組成物を、FR−4からなる基板上に、スクリーン印刷法により、塗工した。塗工後、80℃のオーブンで20分間乾燥させ、レジスト材料層を基板上に形成した。次に、所定のパターンを有するフォトマスクを介して、紫外線照射装置を用い、レジスト材料層に365nmの波長の紫外線を、照射エネルギーが400mJ/cm2となるように100mW/cm2の紫外線照度で4秒間照射した。紫外線を照射した後、炭酸ナトリウムの1重量%水溶液にレジスト材料層を浸漬して現像し、未露光部のレジスト材料層を除去することにより、基板上にレジスト膜のパターンを形成した。その後、150℃のオーブン内で1時間加熱しレジスト膜を後硬化させることで、レジスト膜を得た。得られたレジスト膜の厚みは20μmであった。   The obtained photosensitive composition was coated on a substrate made of FR-4 by a screen printing method. After coating, the resist material layer was formed on the substrate by drying in an oven at 80 ° C. for 20 minutes. Next, using a UV irradiator through a photomask having a predetermined pattern, UV light having a wavelength of 365 nm is applied to the resist material layer for 4 seconds at an ultraviolet illuminance of 100 mW / cm 2 so that the irradiation energy is 400 mJ / cm 2. Irradiated. After irradiating with ultraviolet rays, the resist material layer was immersed in a 1% by weight aqueous solution of sodium carbonate and developed, and the resist material layer in the unexposed area was removed to form a resist film pattern on the substrate. Thereafter, the resist film was post-cured by heating in an oven at 150 ° C. for 1 hour to obtain a resist film. The thickness of the obtained resist film was 20 μm.

(実施例2〜8および比較例1〜2)
表1に記載された組成に変更したこと以外は、実施例1と同様にして感光性組成物を調製した。
(Examples 2-8 and Comparative Examples 1-2)
A photosensitive composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that the composition was changed to the composition described in Table 1.

Figure 2010175609
Figure 2010175609

表1から明らかなように、式(1)または式(2)を含む実施例は、比較例1に比べて高温に晒されても高い耐熱性を有する。これは、レジスト膜の変色は、高温環境時(使用条件化)に生じた過酸化物等から生成する着色物質が原因であると考えられており、上記式(1)や(2)に示される化合物はルイス塩基であることから、上記過酸化物を分解する機能を有する。従って、過酸化物から生成する着色物質が分解されるので、変色し難いレジスト膜を得ることができたと考えられる。加えて、ルイス塩基は上記、1分子中に少なくとも1つ以上カルボキシル基を有する重合性炭化水素モノマーもしくはポリマーと、1分子中に2つ以上の環状エーテル基を有する化合物との硬化反応を促進することにより、レジスト膜の架橋密度が高くなった結果、レジスト膜が変色し難くなったと考えられる。   As is clear from Table 1, the examples including the formula (1) or the formula (2) have higher heat resistance than the comparative example 1 even when exposed to high temperatures. This is considered that the discoloration of the resist film is caused by a coloring substance generated from a peroxide or the like generated in a high temperature environment (use conditions), and is shown in the above formulas (1) and (2). Since the compound is a Lewis base, it has a function of decomposing the peroxide. Accordingly, it is considered that a resist film that hardly changes color can be obtained because the colored substance generated from the peroxide is decomposed. In addition, the Lewis base promotes the curing reaction between the polymerizable hydrocarbon monomer or polymer having at least one carboxyl group in one molecule and the compound having two or more cyclic ether groups in one molecule. As a result, it is considered that the resist film is hardly discolored as a result of an increase in the crosslink density of the resist film.

また、実施例2、3から明らかであるように、R〜Rは炭素数2〜20の分岐を有しても良い炭化水素、炭素数3〜12の分岐を有しても良い脂環式炭化水素である場合、式(1)及び(2)で表される化合物(D)は上記1分子中に2つ以上の環状エーテル基を有する化合物(B)と反応し、水酸基が発生する。上記水酸基による密着向上効果により、高温に晒されてもレジスト膜の基板に対する密着性が低下し難くなっていると考えられる。 Moreover, as is clear from Examples 2 and 3, R 1 to R 6 are hydrocarbons that may have 2 to 20 carbon atoms, and fats that may have 3 to 12 carbon atoms. When it is a cyclic hydrocarbon, the compound (D) represented by the formulas (1) and (2) reacts with the compound (B) having two or more cyclic ether groups in one molecule to generate a hydroxyl group. To do. It is considered that due to the adhesion improvement effect by the hydroxyl group, the adhesion of the resist film to the substrate is hardly lowered even when exposed to a high temperature.

また、実施例4、5から明らかであるように、R〜Rは、エチル基、n−プロビル基、n−ブチル基、シクロヘキシル基である場合、式(1)及び(2)で表される化合物(D)は上記1分子中に2つ以上の環状エーテル基を有する化合物と適度に反応するため、現像性が高められていると考えられる。 Further, as is clear from Examples 4 and 5, when R 1 to R 6 are an ethyl group, an n-propyl group, an n-butyl group, or a cyclohexyl group, they are represented by formulas (1) and (2). Since the compound (D) to be reacted appropriately with the compound having two or more cyclic ether groups in one molecule, the developability is considered to be improved.

また、実施例7、8から明らかであるように、pHが6.8以上、11以下である無機フィラーを含む場合、上記式(1)または(2)で表される化合物(D)のルイス塩基性が一層高まることで、1分子中に2つ以上の環状エーテル基を有する化合物との硬化反応が進行し、レジスト膜の架橋密度が高くなった結果、さらに一層変色し難いレジスト膜を得ることができたと考えられる。   As is clear from Examples 7 and 8, when an inorganic filler having a pH of 6.8 or more and 11 or less is included, Lewis of the compound (D) represented by the above formula (1) or (2) As the basicity further increases, a curing reaction with a compound having two or more cyclic ether groups in one molecule proceeds, and the crosslink density of the resist film is increased. As a result, a resist film that is more difficult to discolor is obtained. It is thought that it was possible.

1…LEDデバイス
2…基板
2a…上面
3…ソルダーレジスト膜
3a,3b…開口部
4a,4b…電極
5…ガラス層
6…樹脂層
7…LEDチップ
7a…下面
8a,8b…端子
9a,9b…半田
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... LED device 2 ... Board | substrate 2a ... Upper surface 3 ... Solder resist film 3a, 3b ... Opening part 4a, 4b ... Electrode 5 ... Glass layer 6 ... Resin layer 7 ... LED chip 7a ... Lower surface 8a, 8b ... Terminal 9a, 9b ... solder

Claims (6)

(A)1分子中に少なくとも1つのカルボキシル基を有する重合性炭化水素モノマー及び重合性炭化水素ポリマーの内の少なくとも一方の重合性炭化水素化合物と、
(B)1分子中に少なくとも2つの環状エーテル基を有する化合物と、
(C)光重合開始剤と、
(D)下記の式(1)で表わされるアミン化合物または下記の式(2)で表わされるホスフィン化合物を含む、感光性組成物。
Figure 2010175609
Figure 2010175609
(式(1)または式(2)において、R〜Rは、水素原子、炭化水素基及び酸素原子を含む有機基からなる群から選択された1種であり、R〜Rは同一であってもよく、異なっていてもよい)
(A) at least one polymerizable hydrocarbon compound of a polymerizable hydrocarbon monomer having at least one carboxyl group in one molecule and a polymerizable hydrocarbon polymer;
(B) a compound having at least two cyclic ether groups in one molecule;
(C) a photopolymerization initiator;
(D) A photosensitive composition comprising an amine compound represented by the following formula (1) or a phosphine compound represented by the following formula (2).
Figure 2010175609
Figure 2010175609
In (Equation (1) or Formula (2), R 1 to R 6 is a hydrogen atom, a one selected from the group consisting of an organic group containing a hydrocarbon group and an oxygen atom, R 1 to R 6 is They may be the same or different)
前記R〜Rが、炭素数2〜20の鎖状炭化水素基または炭素数3〜12の脂環式炭化水素基である、請求項1に記載の感光性組成物。 Wherein R 1 to R 6 is an alicyclic hydrocarbon group having a chain hydrocarbon group or a 3 to 12 carbon atoms having 2 to 20 carbon atoms, photosensitive composition according to claim 1. 前記R〜Rが、エチル基、n−プロピル基、n−ブチル基及びシクロヘキシル基からなる群から選択された1種の炭化水素基である、請求項2に記載の感光性組成物。 Wherein R 1 to R 6 is an ethyl group, an n- propyl group, one hydrocarbon group selected from the group consisting of n- butyl and cyclohexyl, photosensitive composition according to claim 2. PH6.8以上、11以下の無機フィラーをさらに含む、請求項1〜3のいずれか1項に記載の感光性組成物。   The photosensitive composition according to any one of claims 1 to 3, further comprising an inorganic filler having a pH of 6.8 or more and 11 or less. 前記化合物(A)と前記化合物(B)との合計100重量部に対し、前記化合物(D)を0.01〜5重量部含有している、請求項1〜4のいずれか1項に記載の感光性組成物。   The said compound (D) is 0.01-5 weight part with respect to a total of 100 weight part of the said compound (A) and the said compound (B), The any one of Claims 1-4 containing. Photosensitive composition. 請求項1〜5のいずれか1項に記載の感光性組成物からなるソルダーレジスト組成物。
The soldering resist composition which consists of the photosensitive composition of any one of Claims 1-5.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2012153777A1 (en) * 2011-05-09 2012-11-15 富士フイルム株式会社 Pattern forming method using photosensitive resin composition, pattern, color filter, and image display device

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