JP2010168606A - Method for producing particle, and reactor - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for producing particles which is a continuous production method, and is applicable of the knowledge in a batch type treatment. <P>SOLUTION: A raw material fluid containing the precursor of particles is introduced into a reaction flow passage 110 having a temperature gradient increasing from the upstream toward the downstream at least at a part, while fluidizing the precursor in the reaction flow passage 110, temperature is increased and reaction is caused so as to produce particles. A plurality of heaters 380 heat the reaction flow passage 110 so as to provide a temperature gradient in a direction of temperature-increasing from the upstream toward the downstream at least at a part of the reaction flow passage 110. A control part 400 controls the heaters 380 using the flow velocity of the raw material fluid in the reaction flow passage 110 (e.g., the rotational speed of a motor 360), and decide the above temperature gradient in the reaction flow passage 110. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、生産性が高い粒子の製造方法及び反応装置に関する。   The present invention relates to a method for producing particles and a reaction apparatus with high productivity.

直径がナノオーダーの粒子であるナノ粒子は、直径がミクロンオーダー以上の粒子とは異なる特性を示すため、近年盛んに研究されている。ナノ粒子を製造する方法の一つとして、有機金属を用いたＯｎｅｐｏｄ合成法がある。この方法はバッチ式処理であり、有機金属及び安定化剤（例えば脂肪酸など）を合成容器内で混合して加熱し、一定時間還流を行う方法である（非特許文献１，２及び特許文献１参照）。しかし、この方法は生産性が低いという欠点を有する。   Nanoparticles having a diameter on the order of nanometers have been actively studied in recent years because they exhibit different characteristics from particles having a diameter of the order of micron or more. One of the methods for producing nanoparticles is a Onepod synthesis method using an organic metal. This method is a batch type treatment, in which an organic metal and a stabilizer (for example, fatty acid) are mixed and heated in a synthesis vessel, and refluxed for a certain time (Non-patent Documents 1 and 2 and Patent Document 1). reference). However, this method has the disadvantage of low productivity.

また特許文献２，３には、一定温度に加熱した反応容器内に原料を流動させることにより、微粒子を連続的に製造する方法が開示されている。   Patent Documents 2 and 3 disclose a method for continuously producing fine particles by flowing a raw material into a reaction vessel heated to a constant temperature.

特開２００６−２４９４９３号公報JP 2006-249493 A 特開２００２−０５２３３６号公報JP 2002-052336 A 特開２００７−０３１７９９号公報JP 2007-031799 A

"Formation mechanism of FePt nanoparticles synthesized via Pyrolysis Iron(III) ethoxide and Platinum(III) acetylacetonaet", S.Saida and S.Maenosono, Chem. Mater., 17, 6624-6634, 2005"Formation mechanism of FePt nanoparticles synthesized via Pyrolysis Iron (III) ethoxide and Platinum (III) acetylacetonaet", S.Saida and S.Maenosono, Chem. Mater., 17, 6624-6634, 2005 "In situ observation of the nucleation and growth of CdSe nano crystals", L. Qu, W.W.Yu and X. Peng, Nano Lett., 4, 465-469, 2004."In situ observation of the nucleation and growth of CdSe nano crystals", L. Qu, W.W.Yu and X. Peng, Nano Lett., 4, 465-469, 2004.

微粒子を製造する場合、連続製造方法よりバッチ式処理のほうが再現性が高く、最適な製造条件を見出すのが容易である。しかし、特許文献２及び３に記載の方法は、反応条件がバッチ式処理と本質的に異なっているため、バッチ式処理における知見を適用することができなかった。このため、生産性の高い連続製造方法において、最適な製造条件を見出すことは難しかった。   When producing fine particles, batch processing is more reproducible than continuous production methods, and it is easier to find optimum production conditions. However, in the methods described in Patent Documents 2 and 3, the reaction conditions are essentially different from those of batch processing, and thus knowledge in batch processing cannot be applied. For this reason, it has been difficult to find optimum production conditions in a continuous production method with high productivity.

本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、連続製造方法であり、かつバッチ式処理における知見を適用することができる粒子の製造方法及び反応装置を提供することにある。   This invention is made | formed in view of the said situation, The place made into the objective is a continuous manufacturing method, and provides the manufacturing method and reaction apparatus of the particle | grains which can apply the knowledge in batch type processing. It is in.

本発明によれば、上流から下流に向かって昇温する方向の温度勾配を少なくとも一部に有する反応流路に、粒子の前駆体を含む原料流体を導入し、前記前駆体を前記反応流路で流動させつつ昇温して反応させることにより粒子を生成する粒子の製造方法が提供される。   According to the present invention, a raw material fluid containing a particle precursor is introduced into a reaction channel having at least a part of a temperature gradient in a direction in which the temperature rises from upstream to downstream, and the precursor is introduced into the reaction channel. There is provided a method for producing particles that generates particles by reacting by raising the temperature while flowing.

本発明によれば、原料流体が流れる反応流路と、
前記反応流路の少なくとも一部に、上流から下流に向かって昇温する方向の温度勾配を設けるヒータと、
前記反応流路における前記原料流体の流速を用いて前記ヒータを制御し、前記反応流路における前記温度勾配を定める制御部と、
を備える反応装置が提供される。 According to the present invention, a reaction channel through which a raw material fluid flows;
A heater that provides a temperature gradient in a direction of increasing temperature from upstream to downstream in at least a part of the reaction flow path;
A controller that controls the heater using a flow rate of the raw material fluid in the reaction flow path, and determines the temperature gradient in the reaction flow path;
Is provided.

本発明によれば、連続製造方法において、バッチ式処理における知見を適用することができる。   According to the present invention, knowledge in batch processing can be applied in a continuous manufacturing method.

実施形態に係る粒子の製造方法に用いる反応装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the reaction apparatus used for the manufacturing method of the particle | grains concerning embodiment. 図１のＡ−Ａ´断面図である。It is AA 'sectional drawing of FIG. バッチ式の反応容器を用いた予備実験の手順の一例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows an example of the procedure of the preliminary experiment using a batch-type reaction container. 図３に示した処理を行なったときの、原料流体の温度及びパージガス中の特定成分の時間変化の一例を示すグラフである。It is a graph which shows an example of the time change of the temperature of the raw material fluid and the specific component in purge gas when the process shown in FIG. 3 is performed. 図１及び図２に示した反応装置を用いて粒子を製造する方法を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining the method to manufacture particle | grains using the reaction apparatus shown in FIG.1 and FIG.2.

以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In all the drawings, the same reference numerals are given to the same components, and the description will be omitted as appropriate.

図１は、実施形態に係る粒子の製造方法に用いる反応装置の構成を示す図であり、図２は図１のＡ−Ａ´断面図である。この反応装置は、反応流路１１０、複数のヒータ３８０、及び制御部４００を備える。反応流路１１０には原料流体が流れる。原料流体には、粒子の前駆体が含まれる。複数のヒータ３８０は、反応流路１１０を加熱することにより、反応流路１１０の少なくとも一部に、上流から下流に向かって昇温する方向の温度勾配を設ける。制御部４００は、反応流路１１０における原料流体の流速（例えば後述するモータ３６０の回転速度）を用いてヒータ３８０を制御し、反応流路１１０における上記した温度勾配を定める。反応流路１１０は、例えば反応管である。   FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a reaction apparatus used in a method for producing particles according to an embodiment, and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line AA ′ of FIG. This reaction apparatus includes a reaction channel 110, a plurality of heaters 380, and a control unit 400. A raw material fluid flows in the reaction channel 110. The source fluid includes a precursor of particles. The plurality of heaters 380 provide the temperature gradient in the direction of increasing the temperature from upstream to downstream in at least a part of the reaction channel 110 by heating the reaction channel 110. The control unit 400 controls the heater 380 using the flow rate of the raw material fluid in the reaction channel 110 (for example, the rotational speed of a motor 360 described later), and determines the above-described temperature gradient in the reaction channel 110. The reaction channel 110 is, for example, a reaction tube.

この反応装置によれば、上流から下流に向かって昇温する方向の温度勾配を少なくとも一部に有する反応流路１１０に、粒子の前駆体を含む原料流体を導入し、前駆体を反応流路１１０で流動させつつ昇温して反応させることにより粒子を生成することができる。   According to this reaction apparatus, the raw material fluid containing the particle precursor is introduced into the reaction channel 110 having at least a part of the temperature gradient in the direction in which the temperature rises from upstream to downstream, and the precursor is converted into the reaction channel. Particles can be generated by reacting by heating while flowing at 110.

反応装置で生成される粒子は、例えば鉄白金、コバルト白金及びニッケル白金などの遷移金属を含む合金粒子、又は鉄、コバルト、ニッケル、白金、パラジウムなどの金属粒子であり、その直径は、例えば５０ｎｍ以下である。なお、粒子の直径の下限値は、例えば１ｎｍである。例えば反応装置で金属粒子を生成する場合、前駆体は、例えば鉄アセチルアセトレート、白金アセチルアセトレート、鉄カルボニルなどの有機金属であるが、金属の塩化物も使用可能である。そして原料流体は、例えば前駆体を溶媒（例えばオレイン酸やオレイルアミン）に添加したものであり、その粘度は略溶媒の粘度と等しくなる。   The particles generated in the reactor are, for example, alloy particles containing transition metals such as iron platinum, cobalt platinum, and nickel platinum, or metal particles such as iron, cobalt, nickel, platinum, and palladium, and the diameter thereof is, for example, 50 nm. It is as follows. The lower limit of the particle diameter is, for example, 1 nm. For example, when producing metal particles in a reactor, the precursor is an organic metal such as iron acetylacetolate, platinum acetylacetolate, or iron carbonyl, but metal chlorides can also be used. The raw material fluid is obtained by adding a precursor to a solvent (for example, oleic acid or oleylamine), for example, and its viscosity is substantially equal to the viscosity of the solvent.

反応装置において、原料流体は、原料流体供給部３２０に初期温度に調整されて保持されており、原料流体供給部３２０から原料流体導入口１０２を介して反応流路１１０に導入される。前駆体が有機金属である場合、反応流路１１０には、さらに還元剤が導入される。還元剤は、還元剤供給部３４０に所定の温度に調整されて保持されており、還元剤供給部３４０から還元剤導入口１０４を介して反応流路１１０に導入される。還元剤導入口１０４は、反応流路１１０において原料流体導入口１０２より距離Ｌ１ほど下流側に設けられている。この部分は、反応流路１１０のうち下流側に向けて温度が上昇する方向の温度勾配を有する領域内に位置している。 In the reaction apparatus, the raw material fluid is adjusted to an initial temperature and held in the raw material fluid supply unit 320 and is introduced from the raw material fluid supply unit 320 into the reaction channel 110 through the raw material fluid inlet 102. When the precursor is an organic metal, a reducing agent is further introduced into the reaction channel 110. The reducing agent is adjusted and held at a predetermined temperature in the reducing agent supply unit 340 and is introduced from the reducing agent supply unit 340 into the reaction channel 110 through the reducing agent inlet 104. The reducing agent inlet 104 is provided on the downstream side of the raw material fluid inlet 102 by a distance L 1 in the reaction channel 110. This portion is located in a region having a temperature gradient in the direction in which the temperature increases toward the downstream side of the reaction channel 110.

反応装置の反応流路１１０内には送液機構としてのスクリュー１２０が配置されている。スクリュー１２０は反応流路１１０の長手方向に延伸しており、モータ３６０を動力源として回転する。スクリュー１２０が回転すると、反応流路１１０内の原料流体は攪拌されつつ、上流側から下流側に流動し、取出口１０６から排出される。モータ３６０の回転速度は制御部４００によって制御されている。制御部４００は、モータ３６０の回転速度に基づいて、原料流体の流速を把握することができる。   A screw 120 as a liquid feeding mechanism is disposed in the reaction channel 110 of the reaction apparatus. The screw 120 extends in the longitudinal direction of the reaction channel 110 and rotates using the motor 360 as a power source. When the screw 120 rotates, the raw material fluid in the reaction channel 110 flows from the upstream side to the downstream side while being stirred, and is discharged from the outlet 106. The rotation speed of the motor 360 is controlled by the control unit 400. The control unit 400 can grasp the flow rate of the raw material fluid based on the rotation speed of the motor 360.

原料流体は、反応流路１１０内を流動するときに昇温する。そして制御部４００は、原料流体の目標昇温速度を算出するためのデータを保持しており、このデータ及び流速を用いて複数のヒータ３８０を互いに独立して制御し、反応流路１１０における温度勾配を定める。具体的には、制御部４００は、原料流体が反応流路１１０内を流動しているときの昇温速度が目標昇温速度になるように、反応流路１１０における温度勾配を定める。   The temperature of the raw material fluid rises when flowing in the reaction channel 110. The control unit 400 holds data for calculating the target temperature increase rate of the raw material fluid, and controls the plurality of heaters 380 independently from each other using the data and the flow rate, so that the temperature in the reaction flow path 110 can be controlled. Determine the slope. Specifically, the control unit 400 determines the temperature gradient in the reaction channel 110 so that the temperature increase rate when the raw material fluid flows in the reaction channel 110 becomes the target temperature increase rate.

原料流体の目標昇温速度を算出するためのデータは、例えば以下のようにして得ることができる。まず、バッチ式の反応容器において、昇温速度及び加熱温度をパラメータとして、原料流体を昇温および加熱保持することにより、原料流体に含まれる前駆体を反応させて粒子を生成する予備実験を行なう。これにより、バッチ式処理における最適条件としての昇温速度、加熱温度、および加熱温度保持時間を定めることができる。このとき制御部４００は、反応流路１１０における温度勾配を、予備実験において見出された、最適条件としての昇温速度、加熱温度、及び加熱温度保持時間、並びに反応流路１１０内における原料流体の流速（例えばモータ３６０の回転速度）に基づいて定める。   Data for calculating the target temperature increase rate of the raw material fluid can be obtained as follows, for example. First, in a batch-type reaction vessel, a preliminary experiment is performed in which the precursor fluid contained in the raw material fluid is reacted to generate particles by heating and holding the raw material fluid using the temperature increase rate and the heating temperature as parameters. . Thereby, the temperature increase rate, heating temperature, and heating temperature holding time as optimum conditions in batch processing can be determined. At this time, the control unit 400 determines the temperature gradient in the reaction channel 110 as a temperature rise rate, heating temperature, and heating temperature holding time as optimum conditions found in the preliminary experiment, and the raw material fluid in the reaction channel 110. Is determined based on the flow rate (for example, the rotational speed of the motor 360).

反応流路１１０には、複数のガス取出口２００が設けられている。複数のガス取出口２００は、反応流路１１０の長手方向に互いに離間して設けられている。ガス取出口２００それぞれには、ガス成分分析部２１０が取り付けられている。ガス成分分析部２１０は、取り出された反応流路の雰囲気ガスに含まれるガスの成分、例えば有機ガスの濃度を分析する。ガス成分分析部２１０の分析結果は制御部４００に出力される。制御部４００は、複数のガス取出口２００それぞれのガス成分分析部２１０から分析結果を受信し、分析結果から、反応流路１１０の長手方向におけるガス成分の分布（例えば有機ガスの濃度の分布）を把握して、これに基づいて粒子の生成の有無を判断する。   A plurality of gas outlets 200 are provided in the reaction channel 110. The plurality of gas outlets 200 are provided apart from each other in the longitudinal direction of the reaction channel 110. A gas component analyzer 210 is attached to each gas outlet 200. The gas component analyzer 210 analyzes the concentration of a gas component, for example, an organic gas, contained in the extracted atmospheric gas in the reaction flow path. The analysis result of the gas component analysis unit 210 is output to the control unit 400. The control unit 400 receives the analysis result from the gas component analysis unit 210 of each of the plurality of gas outlets 200, and from the analysis result, the distribution of gas components in the longitudinal direction of the reaction channel 110 (for example, the distribution of the concentration of organic gas). And whether or not particles are generated is determined based on this.

なお、図２に示す断面において、反応流路１１０は、原料流体が流動する円形の本体部１１２の上部に、パージガスが流動する縦長のガス流路１１４を設けた構成を有している。上記したスクリュー１２０は、本体部１１２内を延伸している。ガス流路１１４の最上流部には、パージガス導入口１０８が設けられている。ガス流路１１４には、パージガス導入口１０８から不活性ガスであるパージガス（例えばアルゴンガス）が導入される。そしてガス取出口２００は、ガス流路１１４を流れるガスを取り出す。   In the cross section shown in FIG. 2, the reaction flow path 110 has a configuration in which a vertically long gas flow path 114 through which purge gas flows is provided on the upper part of a circular main body 112 through which the raw material fluid flows. The screw 120 described above extends in the main body 112. A purge gas inlet 108 is provided at the most upstream portion of the gas flow path 114. A purge gas (for example, argon gas) that is an inert gas is introduced into the gas flow path 114 from the purge gas inlet 108. The gas outlet 200 takes out the gas flowing through the gas flow path 114.

図３は、バッチ式の反応容器を用いた予備実験の手順の一例を示すフローチャートである。まず、前駆体（例えば有機金属）を含む原料流体を、バッチ処理容器（例えばフラスコ）に導入する（ステップＳ１０）。原料流体の温度は初期温度Ｔ０に設定されている。次いで、バッチ処理容器の中を不活性ガス（例えばアルゴンガス）でパージしつつ排気を行なっている状態で、バッチ処理容器内を攪拌しながら原料流体の加熱を開始する（ステップＳ２０）。そして、バッチ処理容器から排出されるパージガスに含まれる特定成分（例えば有機成分）の濃度の測定を開始する（ステップＳ３０）。 FIG. 3 is a flowchart showing an example of a preliminary experiment procedure using a batch-type reaction vessel. First, a raw material fluid containing a precursor (for example, an organic metal) is introduced into a batch processing container (for example, a flask) (step S10). Temperature of the raw material fluid is set to an initial temperature T 0. Next, in a state where the inside of the batch processing container is purged with an inert gas (for example, argon gas) and evacuated, the heating of the raw material fluid is started while stirring the inside of the batch processing container (step S20). And the measurement of the density | concentration of the specific component (for example, organic component) contained in the purge gas discharged | emitted from a batch processing container is started (step S30).

そして、バッチ処理容器の温度すなわち原料流体の温度が予め定められている第１の温度Ｔ１になった時点で、バッチ処理容器内に還元剤を添加する（ステップＳ４０）。そして、加熱開始から時間ｔ１後に、原料流体は第１の温度Ｔ１より高い第２の温度Ｔ２に昇温し、その後、第２の温度Ｔ２に維持される（ステップＳ４５）。そして、パージガス中の特定成分（例えば有機成分）に急激な増加が見られるか否かを測定する（ステップＳ５０）。特定成分の急激な増加が見られない場合（ステップＳ５０：Ｎｏ）、設定した製造条件（温度Ｔ０、第１の温度Ｔ１、時間ｔ１、及び第２の温度Ｔ２）が不適切であり、粒子の製造に失敗したと判断する。その後、製造条件を変更した上で、ステップＳ１０に戻る。 Then, when the temperature of the batch processing container, that is, the temperature of the raw material fluid has reached a first temperature T 1 that is determined in advance, a reducing agent is added into the batch processing container (step S40). Then, after time t 1 from the start of heating, the raw material fluid is heated to the second temperature T 2 higher than the first temperature T 1 and then maintained at the second temperature T 2 (step S45). Then, it is measured whether or not a rapid increase is observed in a specific component (for example, an organic component) in the purge gas (step S50). When the specific component does not increase rapidly (step S50: No), the set manufacturing conditions (temperature T 0 , first temperature T 1 , time t 1, and second temperature T 2 ) are inappropriate. Yes, it is judged that the production of the particles has failed. Then, after changing manufacturing conditions, it returns to step S10.

特定成分の急激な増加が見られた場合（ステップＳ５０：Ｙｅｓ）、設定した製造条件（初期温度Ｔ０、第１の温度Ｔ１、時間ｔ１、及び第２の温度Ｔ２）が適切であり、粒子の製造に成功したと判断する。そして、特定成分の急激な増加が開始してから時間ｔ２以上第２の温度Ｔ２を保つ（ステップＳ６０）。特定成分の量が減少し、一定値になったら（ステップＳ７０：Ｙｅｓ）、バッチ処理容器の加熱を停止し、バッチ処理容器を冷却する（ステップＳ８０）。そしてバッチ処理容器に有機溶剤（例えばヘキサン）を加え、原料流体を取り出す（ステップＳ９０）。そして原料流体を精製することにより、粒子を抽出する（ステップＳ１００）。 When a sharp increase in the specific component is observed (step S50: Yes), the set manufacturing conditions (initial temperature T 0 , first temperature T 1 , time t 1 , and second temperature T 2 ) are appropriate. It is judged that the particles were successfully produced. Then, keeping the time t 2 than the second temperature T 2 from the start of the rapid increase of the specific component (step S60). When the amount of the specific component decreases and reaches a certain value (step S70: Yes), the heating of the batch processing container is stopped and the batch processing container is cooled (step S80). And an organic solvent (for example, hexane) is added to a batch processing container, and raw material fluid is taken out (step S90). Then, the particles are extracted by purifying the raw material fluid (step S100).

このようにして、バッチ処理における初期温度Ｔ０、還元剤を投入するときの温度である第１の温度Ｔ１、反応を持続させる温度である第２の温度Ｔ２、初期温度Ｔ０から第２の温度Ｔ２に昇温するまでの時間である第２の時間ｔ１、及び第２の温度Ｔ２を維持する時間である第２の時間ｔ２が定まる。次いで、これらの条件に基づいて、図１及び図２に示した反応装置の仕様が以下の各式に基づいて定められる。 In this way, the initial temperature T 0 in the batch processing, the first temperature T 1 that is the temperature when the reducing agent is charged, the second temperature T 2 that is the temperature for maintaining the reaction, and the initial temperature T 0 to the first temperature T 0 . The second time t 1 that is the time until the temperature T 2 is raised to the second temperature T 2 and the second time t 2 that is the time for maintaining the second temperature T 2 are determined. Next, based on these conditions, the specifications of the reactor shown in FIGS. 1 and 2 are determined based on the following equations.

原料流体の流速ｖ＝（反応流路の全長Ｌ）／（ｔ１＋ｔ２）・・・（１）
温度勾配ｄＴ／ｄＬ＝（Ｔ２―Ｔ１）・（ｔ１＋ｔ２）／（Ｌ・ｔ１）・・・（２）
距離Ｌ１＝（Ｔ１―Ｔ０）・（ｄＴ／ｄＬ）−１・・・（３）
第２の温度Ｔ２に昇温する位置Ｌ２＝Ｌ／（ｔ１＋ｔ２）×ｔ１・・・（４） Flow rate of raw material fluid v = (total length L of reaction channel) / (t 1 + t 2 ) (1)
Temperature gradient dT / dL = (T 2 −T 1 ) · (t 1 + t 2 ) / (L · t 1 ) (2)
Distance L 1 = (T 1 −T 0 ) · (dT / dL) −1 (3)
Position L 2 = L / (t 1 + t 2 ) × t 1 (4) where the temperature is raised to the second temperature T 2

図１及び図２に示した反応装置において、還元剤導入口１０４の位置は、上記した式（３）に基づいて定められる。また制御部４００は、式（１）で算出された値に従ってモータ３６０を制御し、式（２）及び式（４）で算出された値に従って、複数のヒータ３８０の出力を制御する。   In the reaction apparatus shown in FIG. 1 and FIG. 2, the position of the reducing agent inlet 104 is determined based on the above equation (3). Further, the control unit 400 controls the motor 360 according to the value calculated by the equation (1), and controls the outputs of the plurality of heaters 380 according to the values calculated by the equations (2) and (4).

図４は、図３に示した処理を行なったときの、原料流体の温度及びパージガス中の特定成分の時間変化の一例を示すグラフである。本図に示すように、原料流体の温度がある温度に達したときに、パージガス中の特定成分の濃度が急激に上昇する。これは、原料流体に含まれる前駆体の分解（すなわち粒子の生成）が開始したためである。そして、時間が経過するにつれて徐々にパージガス中の特定成分の濃度が低下している。これは、原料流体に含まれる前駆体の濃度が徐々に低下していくためである。このように、パージガス中の特定成分の濃度変化を観察することにより、粒子の生成が進んでいるか否かを判断することができる。   FIG. 4 is a graph showing an example of the change in the temperature of the raw material fluid and the specific component in the purge gas over time when the processing shown in FIG. 3 is performed. As shown in the figure, when the temperature of the raw material fluid reaches a certain temperature, the concentration of the specific component in the purge gas rapidly increases. This is because decomposition (ie, generation of particles) of the precursor contained in the raw material fluid has started. As the time elapses, the concentration of the specific component in the purge gas gradually decreases. This is because the concentration of the precursor contained in the raw material fluid gradually decreases. In this way, it is possible to determine whether or not the generation of particles is proceeding by observing the concentration change of the specific component in the purge gas.

そして、図１及び図２に示した反応装置において、反応流路１１０の長手方向を、バッチ処理における時間と見なすことができる。このため、バッチ処理においてパージガス中の特定成分の濃度の時間変化を記録しておくことで、定常状態の反応流路１１０の長手方向におけるパージガス中の特定成分の濃度分布を予め設定（予想）することができる。   In the reaction apparatus shown in FIGS. 1 and 2, the longitudinal direction of the reaction channel 110 can be regarded as the time in batch processing. For this reason, the concentration distribution of the specific component in the purge gas in the longitudinal direction of the reaction channel 110 in the steady state is set (predicted) in advance by recording the change over time of the concentration of the specific component in the purge gas in the batch processing. be able to.

図５は、図１及び図２に示した反応装置を用いて粒子を製造する方法を説明するフローチャートである。図５に示す処理に先立って、制御部４００は、初期温度Ｔ０、第１の温度Ｔ１、第２の温度Ｔ２、上記した（１）式、（２）式、及び（４）式で算出された値を記憶する。そして制御部４００は、記憶した値に基づいて、反応流路１１０の温度分布の設定値を算出する。 FIG. 5 is a flowchart illustrating a method for producing particles using the reaction apparatus shown in FIGS. 1 and 2. Prior to the processing shown in FIG. 5, the control unit 400 sets the initial temperature T 0 , the first temperature T 1 , the second temperature T 2 , the above-described equations (1), (2), and (4). The value calculated in is stored. And the control part 400 calculates the setting value of the temperature distribution of the reaction flow path 110 based on the memorize | stored value.

また制御部４００は、定常状態の反応流路１１０の長手方向におけるパージガス中の特定成分の濃度分布を記憶する。この濃度分布は、上記したように、バッチ処理におけるパージガス中の特定成分の濃度の時間変化に基づいて定められる。   Further, the control unit 400 stores the concentration distribution of the specific component in the purge gas in the longitudinal direction of the reaction channel 110 in the steady state. As described above, this concentration distribution is determined based on the change over time of the concentration of the specific component in the purge gas in the batch processing.

まず、原料流体を原料流体供給部３２０に入れ、還元剤を還元剤供給部３４０に入れる（ステップＳ２１０）。次いで制御部４００は、反応流路１１０内を不活性ガスでパージし、反応流路１１０の加熱を開始する（ステップＳ２２０）。そして制御部４００は、原料流体供給部３２０を制御して反応流路１１０内に液体原料を導入し、かつモータ３６０を駆動してスクリュー１２０を回転させることにより、反応流路１１０内で原料流体を送液する（ステップＳ２３０）。そして制御部４００は、反応流路１１０の温度分布が設定したとおりになるまでの間は（ステップＳ２４０：Ｎｏ）、取出口１０６へ送液された原料流体を破棄し続ける（ステップＳ２４５）。   First, the raw material fluid is put into the raw material fluid supply unit 320, and the reducing agent is put into the reducing agent supply unit 340 (step S210). Next, the controller 400 purges the inside of the reaction channel 110 with an inert gas, and starts heating the reaction channel 110 (step S220). Then, the control unit 400 controls the source fluid supply unit 320 to introduce the liquid source into the reaction channel 110 and drives the motor 360 to rotate the screw 120 so that the source fluid flows in the reaction channel 110. Is fed (step S230). The control unit 400 continues to discard the raw material fluid sent to the outlet 106 until the temperature distribution of the reaction channel 110 becomes as set (step S240: No) (step S245).

反応流路１１０の温度分布が設定したとおりになると（ステップＳ２４０：Ｙｅｓ）、制御部４００は、還元剤供給部３４０を制御して反応流路１１０内への還元剤の導入を開始する（ステップＳ２５０）。そして制御部４００は、反応流路１１０からの排気ガスに含まれる特定成分の検出値を各ガス取出口２００のガス成分分析部２１０から受信する（ステップＳ２６０）。制御部４００は、特定成分の発生パターンが設定どおりになるまで（ステップＳ２７０：Ｎｏ）、取出口１０６に送液された原料流体を破棄し続ける（ステップＳ２７５）。   When the temperature distribution of the reaction channel 110 becomes as set (step S240: Yes), the control unit 400 controls the reducing agent supply unit 340 to start introducing the reducing agent into the reaction channel 110 (step S240). S250). And the control part 400 receives the detection value of the specific component contained in the exhaust gas from the reaction flow path 110 from the gas component analysis part 210 of each gas extraction port 200 (step S260). The control unit 400 continues to discard the raw material fluid fed to the outlet 106 until the generation pattern of the specific component becomes as set (step S270: No) (step S275).

制御部４００は、特定成分の発生パターンが設定どおりになると（ステップＳ２７０：Ｙｅｓ）、取出口１０６に送液された原料流体の取り出しを開始する（ステップＳ２８０）。具体的には、原料流体は希釈槽（図１において図示せず）を経由して、貯蔵槽（図１において図示せず）に送液される（ステップＳ３１０）。希釈層に送液されるまでの間に、原料流体は所定の温度まで冷却される（ステップＳ２９０）。そして希釈層において、原料流体は、攪拌されながら有機溶剤（例えばヘキサン）が添加される（ステップＳ３００）。   When the generation pattern of the specific component becomes as set (step S270: Yes), the controller 400 starts taking out the raw material fluid sent to the outlet 106 (step S280). Specifically, the raw material fluid is sent to a storage tank (not shown in FIG. 1) via a dilution tank (not shown in FIG. 1) (step S310). The raw material fluid is cooled to a predetermined temperature before being sent to the dilution layer (step S290). In the dilution layer, the organic fluid (for example, hexane) is added to the raw material fluid while stirring (step S300).

ステップＳ２８０〜ステップＳ３１０までの処理を、原料流体供給部３２０の原料流体がなくなるまで続ける（ステップＳ３２０）。原料流体供給部３２０の原料流体がなくなると、貯蔵槽に貯蔵されている流体を精製し、粒子を抽出する（ステップＳ３３０）。   The processes from step S280 to step S310 are continued until the raw material fluid in the raw material fluid supply unit 320 runs out (step S320). When the raw material fluid in the raw material fluid supply unit 320 is exhausted, the fluid stored in the storage tank is purified and the particles are extracted (step S330).

次に、本実施形態の作用及び効果について説明する。バッチ処理においては、時間とともに原料流体の温度が上昇する。一方で、反応流路１１０は、上流から下流に向かって昇温する方向の温度勾配を少なくとも一部に有しているため、原料流体は、反応流路１１０を流動する間に温度が上昇する。このため、反応流路１１０の長手方向を、バッチ処理における時間と置き換えて考えることにより、連続製造方法においてバッチ式処理における知見を適用することができる。   Next, the operation and effect of this embodiment will be described. In batch processing, the temperature of the raw material fluid increases with time. On the other hand, since the reaction channel 110 has at least a part of the temperature gradient in the direction in which the temperature rises from upstream to downstream, the temperature of the raw material fluid rises while flowing through the reaction channel 110. . For this reason, by replacing the longitudinal direction of the reaction channel 110 with the time in batch processing, knowledge in batch processing can be applied in the continuous manufacturing method.

特に、バッチ式処理においてパージガスに含まれる特定成分の濃度変化を調べておき、かつ、反応流路１１０の長手方向に複数のガス取出口２００を互いに離間して設け、各ガス取出口２００から取り出されたガスに含まれる特定成分の濃度を調べると、精度よくバッチ式処理における知見を適用することができる。   In particular, the change in the concentration of the specific component contained in the purge gas in the batch process is examined, and a plurality of gas outlets 200 are provided apart from each other in the longitudinal direction of the reaction flow path 110 and taken out from each gas outlet 200. By examining the concentration of the specific component contained in the gas, the knowledge in batch processing can be applied with high accuracy.

例えば、バッチ式処理で予備実験を行うことにより粒子の製造条件を調べ、調べた製造条件が反映されるように、図１及び図２に示した反応装置の構成及び温度勾配等を調整することにより、高い効率で粒子を製造することができる。製造される粒子は、例えば前駆体が有機金属である場合は、直径が５ｎｍ以下の金属粒子である。そしてこの金属粒子の直径のばらつきは小さい。   For example, the production conditions of the particles are examined by conducting a preliminary experiment in batch processing, and the configuration and temperature gradient of the reactor shown in FIGS. 1 and 2 are adjusted so that the examined production conditions are reflected. Thus, particles can be produced with high efficiency. The manufactured particles are metal particles having a diameter of 5 nm or less, for example, when the precursor is an organic metal. And the dispersion | variation in the diameter of this metal particle is small.

以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。   As mentioned above, although embodiment of this invention was described with reference to drawings, these are the illustrations of this invention, Various structures other than the above are also employable.

（実施例）
実施形態に示した方法を用いて、鉄白金粒子を製造した。前駆体としては鉄アセチルアセトレート及び白金アセチルアセトレートを用い、溶媒としてはオレイン酸及びオレイルアミンを用いた。また還元剤としては１，２−ヘキサデカンジオールを用いた。 (Example)
Iron platinum particles were produced using the method shown in the embodiment. Iron acetylacetolate and platinum acetylacetolate were used as precursors, and oleic acid and oleylamine were used as solvents. In addition, 1,2-hexadecanediol was used as the reducing agent.

まず、５０ｍＬのフラスコを用いてバッチ式処理を行なった。オレイン酸及びオレイルアミンをそれぞれ１０ｍｍｏｌ、鉄アセチルアセトレートを０．４９２ｇ、白金アセチルアセトレートを０．２３６ｇほど準備し、これらを混合することにより原料流体を作製した。そして、原料流体を液温５０℃から２５℃／分の速度で昇温していき、３００℃で一定温度になるようにした。昇温の途中、液温が１４０℃になったときに、還元剤である１，２−ヘキサデカンジオールを０．７７６ｇほど添加した。加熱開始後６０分で加熱を終了した。得られた鉄白金粒子の平均粒子径は４．２±０．５ｎｍであり、再現性が高かった。   First, batch processing was performed using a 50 mL flask. About 10 mmol each of oleic acid and oleylamine, 0.492 g of iron acetylacetolate and 0.236 g of platinum acetylacetolate were prepared, and these were mixed to prepare a raw material fluid. Then, the raw material fluid was heated from a liquid temperature of 50 ° C. at a rate of 25 ° C./min so as to reach a constant temperature at 300 ° C. When the liquid temperature reached 140 ° C. during the temperature increase, about 0.776 g of 1,2-hexadecanediol as a reducing agent was added. Heating was completed 60 minutes after the start of heating. The obtained iron platinum particles had an average particle size of 4.2 ± 0.5 nm and high reproducibility.

このバッチ式処理において、初期温度Ｔ０＝５０℃、第１の温度Ｔ１＝１４０℃、時間ｔ１＝１０分、第２の温度Ｔ２＝３００℃、時間ｔ２＝５０分となる。また、処理の間、パージガスに含まれる有機成分の濃度変化を計測した。 In this batch processing, the initial temperature T 0 = 50 ° C., the first temperature T 1 = 140 ° C., the time t 1 = 10 minutes, the second temperature T 2 = 300 ° C. , and the time t 2 = 50 minutes. Further, the concentration change of the organic component contained in the purge gas was measured during the treatment.

次いで、バッチ式処理によって得られた知見を反映させて、図１及び図２に示した反応装置を構築した。上記したように、初期温度Ｔ０＝５０℃、第１の温度Ｔ１＝１４０℃、時間ｔ１＝１０分、第２の温度Ｔ２＝３００℃、時間ｔ２＝５０分となるため、反応流路１１０の全長Ｌ＝１００ｃｍとすると、原料流体の流速ｖ＝１．６７ｃｍ／分、温度勾配ｄＴ／ｄＬ＝９．６℃／ｃｍ、距離Ｌ１（還元剤投入位置）＝６ｃｍ、第２の温度Ｔ２に昇温する位置Ｌ２＝１６．７ｃｍとなる。 Next, the reaction apparatus shown in FIG. 1 and FIG. 2 was constructed reflecting the knowledge obtained by the batch process. As described above, the initial temperature T 0 = 50 ° C., the first temperature T 1 = 140 ° C., the time t 1 = 10 minutes, the second temperature T 2 = 300 ° C. , the time t 2 = 50 minutes, Assuming that the total length L of the reaction channel 110 is 100 cm, the raw material fluid flow velocity v = 1.67 cm / min, temperature gradient dT / dL = 9.6 ° C./cm, distance L 1 (reducing agent charging position) = 6 cm, The position where the temperature is raised to a temperature T 2 of 2 is L 2 = 16.7 cm.

この反応装置を用いると、バッチ式処理によって得られた知見を用いて鉄白金粒子を製造することができた。   When this reactor was used, iron platinum particles could be produced using the knowledge obtained by batch processing.

１０２ 原料流体導入口
１０４ 還元剤導入口
１０６ 取出口
１０８ パージガス導入口
１１０ 反応流路
１１２ 本体部
１１４ ガス流路
１２０ スクリュー
２００ ガス取出口
２１０ ガス成分分析部
３２０ 原料流体供給部
３４０ 還元剤供給部
３６０ モータ
３８０ ヒータ
４００ 制御部 102 Raw Material Fluid Inlet 104 Reductant Inlet 106 Outlet 108 Purge Gas Inlet 110 Reaction Channel 112 Main Body 114 Gas Channel 120 Screw 200 Gas Outlet 210 Gas Component Analyzer 320 Raw Material Fluid Supply Unit 340 Reductant Supply Unit 360 Motor 380 Heater 400 Control unit

Claims (9)

上流から下流に向かって昇温する方向の温度勾配を少なくとも一部に有する反応流路に、粒子の前駆体を含む原料流体を導入し、前記前駆体を前記反応流路で流動させつつ昇温して反応させることにより粒子を生成する粒子の製造方法。   A raw material fluid containing a particle precursor is introduced into a reaction channel having at least a part of a temperature gradient in a direction in which the temperature rises from upstream to downstream, and the temperature of the precursor is increased while flowing in the reaction channel. To produce particles by reacting them. 請求項１に記載の粒子の製造方法において、
予め、バッチ式の反応容器において前記原料流体を昇温および加熱保持する予備実験を行なうことにより、前記前駆体を分解して前記粒子を生成するための昇温速度及び加熱温度を定め、
前記反応流路における前記温度勾配を、前記予備実験における前記昇温速度及び前記加熱温度、並びに前記反応流路内における前記原料流体の流速に基づいて定める粒子の製造方法。 In the manufacturing method of the particle according to claim 1,
Preliminary experiments for heating and holding the raw material fluid in a batch-type reaction vessel in advance are performed to determine a heating rate and a heating temperature for decomposing the precursor to produce the particles,
The method for producing particles, wherein the temperature gradient in the reaction channel is determined based on the temperature increase rate and the heating temperature in the preliminary experiment, and the flow rate of the raw material fluid in the reaction channel. 請求項１又は２に記載の粒子の製造方法において、
前記前駆体は有機金属であり、
前記粒子は平均直径が５０ｎｍ以下の金属粒子である粒子の製造方法。 In the method for producing particles according to claim 1 or 2,
The precursor is an organometallic;
The method for producing particles, wherein the particles are metal particles having an average diameter of 50 nm or less. 請求項３に記載の粒子の製造方法において、
前記反応流路の温度勾配を有する部分において還元剤を導入する粒子の製造方法。 In the manufacturing method of the particle according to claim 3,
A method for producing particles in which a reducing agent is introduced into a portion of the reaction channel having a temperature gradient. 請求項３又は４に記載の粒子の製造方法において、
前記反応流路の長手方向に複数のガス取出口を互いに離間して設け、
前記複数のガス取出口それぞれごとに、取り出された前記反応流路の雰囲気ガスに含まれる有機ガスの濃度を分析し、前記反応流路の長手方向における前記濃度の分布に基づいて前記粒子の生成の有無を判断する粒子の製造方法。 In the method for producing particles according to claim 3 or 4,
A plurality of gas outlets are provided apart from each other in the longitudinal direction of the reaction flow path,
Analyzing the concentration of the organic gas contained in the extracted atmospheric gas of the reaction channel for each of the plurality of gas outlets, and generating the particles based on the concentration distribution in the longitudinal direction of the reaction channel The manufacturing method of the particle | grains which judge the presence or absence of. 原料流体が流れる反応流路と、
前記反応流路の少なくとも一部に、上流から下流に向かって昇温する方向の温度勾配を設けるヒータと、
前記反応流路における前記原料流体の流速を用いて前記ヒータを制御し、前記反応流路における前記温度勾配を定める制御部と、
を備える反応装置。 A reaction channel through which the raw material fluid flows;
A heater that provides a temperature gradient in a direction of increasing temperature from upstream to downstream in at least a part of the reaction flow path;
A controller that controls the heater using a flow rate of the raw material fluid in the reaction flow path, and determines the temperature gradient in the reaction flow path;
A reaction apparatus comprising: 請求項６に記載の反応装置において、
前記原料流体は、前記反応流路内を流動するときに昇温し、
前記制御部は、前記原料流体の目標昇温速度を算出するためのデータを保持しており、前記データ及び前記流速を用いて、前記反応流路における前記温度勾配を定める反応装置。 The reactor according to claim 6,
The raw material fluid is heated when flowing in the reaction channel,
The control unit retains data for calculating a target temperature increase rate of the raw material fluid, and uses the data and the flow rate to determine the temperature gradient in the reaction channel. 請求項６又は７に記載の反応装置において、
前記原料流体が有機金属を含んでおり、
前記反応流路において、前記有機金属の反応が行なわれることにより金属微粒子が生成される反応装置。 The reaction apparatus according to claim 6 or 7,
The raw material fluid contains an organic metal;
A reaction apparatus in which metal fine particles are generated by the reaction of the organometallic in the reaction flow path. 請求項６〜８のいずれか一つに記載の反応装置において、
前記反応流路に長手方向に互いに離間して設けられた複数のガス取出口と、
前記複数のガス取出口それぞれに接続しており、前記ガス取出口から取り出されたガスの成分を分析するガス成分分析部と、
を備える反応装置。 In the reaction apparatus according to any one of claims 6 to 8,
A plurality of gas outlets provided in the reaction channel so as to be spaced apart from each other in the longitudinal direction;
A gas component analyzer connected to each of the plurality of gas outlets and analyzing a component of the gas taken out from the gas outlet;
A reaction apparatus comprising:
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014508743A (en) * 2011-01-31 2014-04-10 高麗大学校産学協力団 Magnetic nanoparticles having Curie temperature within biocompatible temperature and method for producing the same

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0270029A (en) * 1988-09-02 1990-03-08 Nippon Mining Co Ltd Manufacture of ta or nb and its manufacturing apparatus
JP2004232012A (en) * 2003-01-29 2004-08-19 Fuji Photo Film Co Ltd Method for producing high-concentration metal microparticle dispersion
JP2005531405A (en) * 2002-07-02 2005-10-20 ワン オ，ゼ Powder production equipment
JP2006097116A (en) * 2004-09-30 2006-04-13 Fuji Photo Film Co Ltd High concentration metal particulate-dispersed liquid and its production method
JP2008081772A (en) * 2006-09-26 2008-04-10 Fujifilm Corp Method and device for producing metal particulate
JP2008534778A (en) * 2005-03-22 2008-08-28 ハー ツェー シュタルク インコーポレイテッド Production method of primary refractory metal

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0270029A (en) * 1988-09-02 1990-03-08 Nippon Mining Co Ltd Manufacture of ta or nb and its manufacturing apparatus
JP2005531405A (en) * 2002-07-02 2005-10-20 ワン オ，ゼ Powder production equipment
JP2004232012A (en) * 2003-01-29 2004-08-19 Fuji Photo Film Co Ltd Method for producing high-concentration metal microparticle dispersion
JP2006097116A (en) * 2004-09-30 2006-04-13 Fuji Photo Film Co Ltd High concentration metal particulate-dispersed liquid and its production method
JP2008534778A (en) * 2005-03-22 2008-08-28 ハー ツェー シュタルク インコーポレイテッド Production method of primary refractory metal
JP2008081772A (en) * 2006-09-26 2008-04-10 Fujifilm Corp Method and device for producing metal particulate

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014508743A (en) * 2011-01-31 2014-04-10 高麗大学校産学協力団 Magnetic nanoparticles having Curie temperature within biocompatible temperature and method for producing the same

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