JP2010166722A - 超音波モータ駆動装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】駆動効率が高い多自由度の超音波モータ駆動装置を提供する。
【解決手段】筐体と、第1の方向に2分割された少なくとも2領域の圧電活性領域を有する上部活性領域と、第2の方向に2分割された少なくとも2領域の圧電活性領域を有する下部活性領域とを、第3の方向に積み重ねた構造で筐体内に配置される第1の圧電素子と、球形部を有する被駆動体と、複数の軸周りに回転可能に被駆動体を支持するキャップと、第1の圧電素子を筐体の中で位置決めする圧電素子ホルダと、圧電素子の被駆動体が接触する接触部を被駆動体に加圧接触させる押圧力を発生する押圧部材と、被駆動体に対して第1の圧電素子と対向する側に配置され前切被駆動体を支持する摺動抵抗低減手段と、を備え、摺動抵抗低減手段は、押圧力を発生する方向に対向する方向の変位成分を有し共振する事を特徴とする超音波モータ駆動装置。
【選択図】図1
【解決手段】筐体と、第1の方向に2分割された少なくとも2領域の圧電活性領域を有する上部活性領域と、第2の方向に2分割された少なくとも2領域の圧電活性領域を有する下部活性領域とを、第3の方向に積み重ねた構造で筐体内に配置される第1の圧電素子と、球形部を有する被駆動体と、複数の軸周りに回転可能に被駆動体を支持するキャップと、第1の圧電素子を筐体の中で位置決めする圧電素子ホルダと、圧電素子の被駆動体が接触する接触部を被駆動体に加圧接触させる押圧力を発生する押圧部材と、被駆動体に対して第1の圧電素子と対向する側に配置され前切被駆動体を支持する摺動抵抗低減手段と、を備え、摺動抵抗低減手段は、押圧力を発生する方向に対向する方向の変位成分を有し共振する事を特徴とする超音波モータ駆動装置。
【選択図】図1
Description
本発明は、多自由度で駆動可能な超音波モータ駆動装置に関するものである。
従来、付加価値の高い超音波モータ駆動装置の一つとして、多自由度に駆動可能な圧電素子を用いた超音波モータ駆動装置の開発が行われている。
例えば、特許文献1は、単一の圧電体で多自由度に駆動可能なアクチュエータを実現するために、複数の活性領域を有する柱状振動子すなわち圧電素子を用いるアクチュエータを提案している。
例えば、特許文献1は、単一の圧電体で多自由度に駆動可能なアクチュエータを実現するために、複数の活性領域を有する柱状振動子すなわち圧電素子を用いるアクチュエータを提案している。
以下に、従来のアクチュエータ301について図6を参照しつつ説明する。図6は、従来のアクチュエータ301の断面構成を示す図である。アクチュエータ301は、圧電素子300の第一の方向200の変位の加速度もしくは速度と、圧電素子300の第二の方向201の変位の加速度もしくは速度とを異ならせる。これにより、球状の被駆動体302に第一の方向200もしくは第二の方向201の駆動力を与えている。さらに第三もしくは第四の方向にも同様に駆動力を与えることで、多自由度に被駆動体302を駆動する。また、被駆動体302は、出力軸302aを介して質量負荷部303に取り付けられ、被駆動体302の移動に伴い、質量負荷部303が動作する。
しかし、特許文献1のアクチュエータ301では、圧電素子300の駆動力を被駆動体302に伝えるための押圧力は、被駆動体302を保持する球306で受ける。このため、被駆動体302の球306に対する転がり抵抗が大きいと、圧電素子302から被駆動体302への駆動力の伝達に大きなロスが生ずること、被駆動体302にキズを発生させること、被駆動体302と球306との間でかじりが生ずることがある。また、転がり抵抗を削減するために、球306にグリスを塗布した場合、圧電素子300から被駆動体302への駆動力の伝達が、グリスにより妨げられ、被駆動体302が停止する可能性がある。
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、駆動力を被駆動体に伝えるための押圧力を受け、被駆動体を支持する部材の被駆動体に対する摺動抵抗を低減でき、駆動効率が高い多自由度の超音波モータ駆動装置を提供することを目的とする。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の超音波モータ駆動装置は、筐体と、
第1の方向に2分割された少なくとも2領域の圧電活性領域を有する活性領域と、
第2の方向に2分割された少なくとも2領域の圧電活性領域を有する活性領域とを第3の方向に積み重ねた構造で前記筐体内に配置される第1の圧電素子と、
球形部を有する被駆動体と、
前記被駆動体を複数の軸周りに回転可能に支持するための開口部を有するキャップと、
前記第1の圧電素子を前記筐体の中で位置決めする圧電素子ホルダと、
前記圧電素子に押圧力を与えて前記被駆動体に加圧接触させる押圧部材と、
前記被駆動体に対して前記第1の圧電素子と対向する側に配置され、前記被駆動体を押さえて支持する摺動抵抗低減手段とを備え、
前記摺動抵抗低減手段は、前記押圧力を発生する方向に対向する方向の変位成分を有するような共振をする事を特徴とする。
第1の方向に2分割された少なくとも2領域の圧電活性領域を有する活性領域と、
第2の方向に2分割された少なくとも2領域の圧電活性領域を有する活性領域とを第3の方向に積み重ねた構造で前記筐体内に配置される第1の圧電素子と、
球形部を有する被駆動体と、
前記被駆動体を複数の軸周りに回転可能に支持するための開口部を有するキャップと、
前記第1の圧電素子を前記筐体の中で位置決めする圧電素子ホルダと、
前記圧電素子に押圧力を与えて前記被駆動体に加圧接触させる押圧部材と、
前記被駆動体に対して前記第1の圧電素子と対向する側に配置され、前記被駆動体を押さえて支持する摺動抵抗低減手段とを備え、
前記摺動抵抗低減手段は、前記押圧力を発生する方向に対向する方向の変位成分を有するような共振をする事を特徴とする。
また、本発明の好ましい態様によれば、前記摺動抵抗軽減手段は、第2の圧電素子を有する事が望ましい。
また、本発明の好ましい態様によれば、前記摺動抵抗軽減手段の前記被駆動体が接触する接触部は、耐摩耗性のある材料から構成されている事が望ましい。
また、本発明の好ましい態様によれば、前記摺動抵抗軽減手段の前記被駆動体が接触する接触部は、潤滑性のある材料から構成されている事が望ましい。
本発明にかかる超音波モータ駆動装置は、被駆動体の転がり抵抗を低減でき、駆動効率が高い多自由度の超音波モータ駆動装置が実現できる。
以下に、本発明にかかる超音波モータ駆動装置の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施例によりこの発明が限定されるものではない。
本発明に係る実施例1の超音波モータ駆動装置101について図1乃至図4を参照しつつ説明する。図1(a)は、実施例1に係る超音波モータ駆動装置101の上面構成を示す図であり、図1(b)は、図1(a)の線Ib−Ibに沿った断面構成を示す図である。また、図2(a)は、第1の圧電素子1の斜視構成を模式的に示す図であり、図2(b)は、第1の圧電素子1による被駆動体2の動作のメカニズムを示す斜視図である。図3(a)、(b)、(c)は、第1の圧電素子1の挙動を示す図であり、図3(a)は第1の圧電素子1が縦一次振動している状態、図3(b)は第1の圧電素子1が屈曲二次振動している状態、(c)は第1の圧電素子1が停止した状態である。図4は、図1(b)のIV部の拡大構成を示す図である。
図1乃至図4において、超音波モータ駆動装置101は、ジルコン酸チタン酸鉛等から形成される第1の圧電素子1と、ジルコニア、アルミナ等のセラミックス系材料や、DLC等の表面処理、焼入れを施した金属材料から形成される球形の被駆動体2と、摺動抵抗低減手段を構成する第2の圧電素子3aと、外部に駆動力を伝達する出力軸4と、ピーク材等、強度の高い樹脂や金属によるキャップ5と、樹脂系材料や金属材料から形成され、第1の圧電素子1の長手方向中央部の全周に亘って固定される円環状の圧電素子ホルダ6と、バネやゴム材等の弾性部材から構成される押圧部材7と、ピーク材等の強度の高い樹脂や金属による筐体8と、筐体8に設けられ圧電素子ホルダ6を位置決めするための第1及び第2の突起部8a、8eとから構成される。
また、筐体8は、一端部に底部8bと他端部に開口部8dとを有する円筒状部材である。筐体8の側壁8cの内面には、径方向内方に突出し周方向に亘り延在する第1の突起部8aが設けられている。第1の突起部8aには、バネ7の一端部が固定されている。各バネ7は図1(a)中の下方に延在し、各バネ7の他端部は、圧電素子ホルダ6に固定されている。バネ7の弾性力により、圧電素子ホルダ6が突起部8aの方向に付勢されている。
また、第1の突起部8aと同様の構成である第2の突起部8eが、筐体8の側壁8cの内面に、径方向内方に突出し周方向に亘り延在する。第1の突起部8aと第2の突起部8eは、筐体8の長手方向(図1(b)の上下方向)において互いに離間している。第2の突起部8eは、圧電素子ホルダ6すなわち第1の圧電素子1の、筐体8の長手方向下方への移動を規制する。
次に、図2乃至図3を参照しつつ第1の圧電素子1の詳細を説明する。なお、図2(a)に示すように第1〜第3の方向を3軸直交座標系として定義する。第1の圧電素子1は、一体焼成された積層圧電素子であり、上部活性領域21と、下部活性領域23とを第3の方向に積み重ねた構造である。
上部活性領域21は、第1の方向に2分割された少なくとも2領域の圧電活性領域21a、21bを有する。下部活性領域23は、第2の方向に2分割された少なくとも2領域の圧電活性領域23a、23bを有する。
図2(b)に示すように、上記構成の第1の圧電素子1の上部活性領域21の2分割された圧電活性領域21a、21bに位相差を有する交流信号(AC)を入力すると、第1の圧電素子1は、図3(a)に示す第3の方向へ振動する縦一次振動と、図3(b)に示す第一の方向へ振動する屈曲二次振動とを組み合わせた複合振動を発生する。
このような複合振動を発生する共振状態の第1の圧電素子1の上部端面1cは楕円軌跡を描くように振動する。従って、押圧部材7の押圧力によって、多自由度に、すなわちx方向、y方向、z方向のいずれにも回転可能な球形の被駆動体2に第1の圧電素子1の上部端面1cの接触部1aを加圧接触させると、第2の方向の軸周り(矢印y方向)に回転する。
図示は省略するが、上部活性領域21と同様に下部活性領域23に交流信号を入力した場合も、第1の圧電素子1は共振振動し、上部端面1cに接する被駆動体2は第1の方向の軸周り(矢印x方向)の回転運動を行い、さらに、前述の第2の方向の軸周り(矢印y方向)の回転動作を組み合わせる事で第3の方向の軸周り(矢印z方向)の回転運動を生じる。
なお、本実施の形態では活性領域を上部、下部としたが、これに限る事はなく、上述した複合信号が端面にて取り出せるよう圧電素子内部の活性領域を形成する。
なお、本実施の形態では活性領域を上部、下部としたが、これに限る事はなく、上述した複合信号が端面にて取り出せるよう圧電素子内部の活性領域を形成する。
なお、図3(c)は、第1の圧電素子1の上部活性領域21に交流信号を付与していない停止した状態を示している。
ここで、第1の圧電素子1の積層方向は、第1、第2、第3の方向、又はその組み合わせ、何れの方向でも構わない。また、本実施例の第1の圧電素子1は一体焼成された積層圧電素子でも、複数の単板圧電素子を一体に組み合わせた構造でも、凹部を有する金属に複数の圧電素子を組み込んで一体とした構造でも構わない。
ここで、第1の圧電素子1の積層方向は、第1、第2、第3の方向、又はその組み合わせ、何れの方向でも構わない。また、本実施例の第1の圧電素子1は一体焼成された積層圧電素子でも、複数の単板圧電素子を一体に組み合わせた構造でも、凹部を有する金属に複数の圧電素子を組み込んで一体とした構造でも構わない。
次に、図4に示す、摺動抵抗低減手段について説明する。摺動抵抗低減手段を構成する第2の圧電素子3a(25、27、29)は、被駆動体2に対して第1の圧電素子1と対向する位置に配置されている。そして、第2の圧電素子3aが被駆動体2に接する点における法線方向Hに振動し、矢印Tで示す方向に共振する。ここで、被駆動体2を安定して保持または支持するために、3個の第2の圧電素子25、27、29は、被駆動体2に対して均等に付勢することが好ましい。
また、第2の圧電素子3aは、キャップ5の開口5aの周囲には周方向で(第3の方向の軸周り(図2(b)の矢印z方向)に)等間隔に、少なくとも3個配置する。これにより、被駆動体2を安定して保持すなわち支持できる。さらに、キャップ5は筐体8の開口部8dの外周面にねじ留め等により固定できる構成である。従って、筐体8にキャップ5を固定すると、キャップ5の第2の圧電素子3aと第1の圧電素子1の接続部1aとにより、筐体8内で被駆動体2が複数の軸周りに回転可能に支持される。
なお、第2の圧電素子3aは、球体の被駆動体2を円周状に押さえても良い。
なお、第2の圧電素子3aは、球体の被駆動体2を円周状に押さえても良い。
このように、キャップ5が筐体8に装着されると、被駆動体2は、第1の圧電素子1とキャップ5の第2の圧電素子3aにより挟持される。この挟持状態では、バネ7の復元力により、保持ホルダ8に保持される第1の圧電素子1が被駆動体2を押圧する。これにより、第1の圧電素子1の駆動力Fが被駆動体2に伝達される。さらに、被駆動体2に固定された出力軸4は、キャップ5の開口5aを介して筐体8の外部に延在し、出力軸4に連結される部材に回転力を伝達する。
第2の圧電素子3aを共振させた状態で、第1の圧電素子1を押圧部材7によって被駆動体2に加圧接触させると、被駆動体2と、第2の圧電素子3aと、の間の摺動抵抗を軽減できる。このため、被駆動体2の回転は安定し、超音波モータ駆動装置101の駆動効率も向上する。また、被駆動体2と摺動抵抗軽減手段である第2の圧電素子3aとの間に固着、焼き付き、かじり等といった回転を阻害する現象も発生しにくくなる。なお、摺動抵抗低減手段は、積層構造の圧電体でも、単板構造の圧電体でも良い。
上述した実施例1の構成により、被駆動体2の転がり抵抗を低減でき、高効率な多自由度の超音波モータ駆動装置101が実現できる。
本発明に係る実施例2の超音波モータ駆動装置について図5を参照しつつ説明する。図5(a)〜(e)は、形状の異なる摺動抵抗低減手段を図4と同様に拡大構成で示す図である。本実施例は、摺動抵抗低減手段の構成が実施例1と異なる。従って、実施例2に関し明記しない事項は、実施例1の構成及び動作と同じであり、同一部分には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
摺動抵抗低減手段は、図5(a)、(b)、(c)、(d)、(e)のように、第2の圧電素子3aと、第2の圧電素子3aの被駆動体2との接触部3bと、から構成される。接触部3bは、耐摩耗性のある樹脂材料、例えばPPSにチタン酸カリウムウィスカを含有させた材料等から形成される。ここで、樹脂材料から形成される接触部3bは、図4(a)乃至(e)に示すように、側面視で矩形状、半球形状、台形形状、凸形状、曲面形状等とすることができる。
上述した実施例2の構成により、被駆動体2の転がり抵抗を低減し、且つ長期の使用にも耐える事ができる、高効率な多自由度の超音波モータ駆動装置が実現できる。
本発明に係る実施例3の超音波モータ駆動装置について説明する。なお、本実施例は、摺動抵抗低減手段構成する接触部3bの材料が実施例2と異なる。従って、実施例3に関し明記しない事項は、実施例2の構成及び動作と同じである。
摺動抵抗低減手段を構成する接触部3b(図5(a)〜(e)参照。)は、テフロン(登録商標)樹脂、フッ素樹脂など潤滑性のある樹脂材料から形成される。潤滑性のある樹脂材料を利用する事により、摺動抵抗を低減する効果が高まる。なお、接触部3b(図4参照)は、実施例2と同様に図5(a)乃至(e)に示すように側面視で矩形状、半球形状、台形形状、凸形状、曲面形状等とすることができる。
上述した実施例3の構成により、実施例1よりも更に転がり抵抗を低減した、高効率な多自由度の超音波モータ駆動装置が実現できる。
なお、上記実施例1乃至3においては、被駆動体をキャップの三か所に設けた第2の圧電素子3aにより支持しているが、圧電素子の位置及び数は適宜変更できることは言うまでもない。また、環形状の部材により被駆動体の外周面に沿って支持する構成としてもよい。
さらに、摺動抵抗低減手段として、圧電素子を用いたが、本発明はこの構成に限定されず、被駆動体に対し共振し摺動抵抗を低減できる手段であればよい。例えば、空気、磁気、及び静電アクチュエータ等を用いることができる。
また、実施例1乃至3を通じて、被駆動体の法線方向にのみ共振する摺動抵抗低減手段を用いたが、本発明はこの構成に限定されず、摺動抵抗低減手段は、押圧部材が押圧力Pを発生する方向に対向する方向の変位成分を有し伸縮可能な機構であればよい。さらに、図4(b)に示した屈曲二次振動する圧電素子であっても、押圧力Pを発生する方向に対向する方向の変位成分を生じるように配置することで摺動抵抗低減手段として用いることができる。
本発明は、駆動効率が高い多自由度の超音波モータ駆動装置に有用である。
1 第1の圧電素子、
1a 接触部
2 被駆動体
3a、25、27、29 第2の圧電素子(摺動抵抗低減手段)
3b 接触部
4 出力軸
5 キャップ
5a 開口
6 圧電素子ホルダ
7 バネ(押圧部材)
8 筐体
8a、8e 突起部
8b 底部
8d 開口部
21 上部活性領域
23 下部活性領域
21a、21b、23a、23b 圧電活性領域
101 超音波モータ駆動装置101
1a 接触部
2 被駆動体
3a、25、27、29 第2の圧電素子(摺動抵抗低減手段)
3b 接触部
4 出力軸
5 キャップ
5a 開口
6 圧電素子ホルダ
7 バネ(押圧部材)
8 筐体
8a、8e 突起部
8b 底部
8d 開口部
21 上部活性領域
23 下部活性領域
21a、21b、23a、23b 圧電活性領域
101 超音波モータ駆動装置101
Claims (4)
- 筐体と、
第1の方向に2分割された少なくとも2領域の圧電活性領域を有する活性領域と、
第2の方向に2分割された少なくとも2領域の圧電活性領域を有する活性領域とを第3の方向に積み重ねた構造で前記筐体内に配置される第1の圧電素子と、
球形部を有する被駆動体と、
前記被駆動体を複数の軸周りに回転可能に支持するための開口部を有するキャップと、
前記第1の圧電素子を前記筐体の中で位置決めする圧電素子ホルダと、
前記圧電素子に押圧力を与えて前記被駆動体に加圧接触させる押圧部材と、
前記被駆動体に対して前記第1の圧電素子と対向する側に配置され、前記被駆動体を押さえて支持する摺動抵抗低減手段とを備え、
前記摺動抵抗低減手段は、前記押圧力を発生する方向に対向する方向の変位成分を有するような共振をする事を特徴とする超音波モータ駆動装置。 - 前記摺動抵抗軽減手段は、第2の圧電素子を有する事を特徴とする請求項1に記載の超音波モータ駆動装置。
- 前記摺動抵抗軽減手段の前記被駆動体が接触する接触部は、耐摩耗性のある材料から構成されている事を特徴とする請求項1又は請求項2に記載の超音波モータ駆動装置。
- 前記摺動抵抗軽減手段の前記被駆動体が接触する接触部は、潤滑性のある材料から構成されている事を特徴とする請求項1又は請求項2に記載の超音波モータ駆動装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009007491A JP2010166722A (ja) | 2009-01-16 | 2009-01-16 | 超音波モータ駆動装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009007491A JP2010166722A (ja) | 2009-01-16 | 2009-01-16 | 超音波モータ駆動装置 |
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JP (1) | JP2010166722A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114326255A (zh) * | 2020-09-29 | 2022-04-12 | 三美电机株式会社 | 驱动单元、光学元件驱动装置、摄像机模块及摄像机搭载装置 |
-
2009
- 2009-01-16 JP JP2009007491A patent/JP2010166722A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114326255A (zh) * | 2020-09-29 | 2022-04-12 | 三美电机株式会社 | 驱动单元、光学元件驱动装置、摄像机模块及摄像机搭载装置 |
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Legal Events
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