JP2010161061A - 熱電子放出電流測定装置および熱電子放出電流測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 熱電子放出電流測定装置100は、測定装置本体1、直流電源2、パルス電源3、電流電圧測定装置6を有している。
測定装置本体1は、真空チャンバ13と、真空チャンバ13内に設けられ、測定試料であるカソード15を載置する試料載置台17と、真空チャンバ13内に設けられたアノード19と、フィラメント21とを有している。
カソード15の熱電子放出電流を測定する場合は、フィラメント21に電流を流して加熱し熱電子を放出させ、フィラメント21に直流電源2で電圧を印加して電子を加速し、カソード15に電子衝撃を与えて加熱し、加熱したカソード15の熱電子放出電流を電流電圧測定装置6を用いて測定する。
【選択図】 図1
Description
ここでmは電子の質量、vは放出した電子の最大速度、νは照射した光の振動数、h=2πhはプランク定数でφは仕事関数である。ここでの光電効果はhνというエネルギーを持つ粒子の振る舞いを示唆する。
ただし、A=4πmk2e/h3=1.20×102(A/cm2K2):リチャードソン定数 e=1.60×10‐19(J)、k=1.38×10‐23(J/K):ボルツマン定数、φ(eV):仕事関数である。Tは熱電子放出物質の絶対温度である。
φ:仕事関数(eV)、−e:電子の電荷、k:ボルツマン定数、
T:カソード温度(K)、熱電子放出電流密度J(A/cm2)、A:リチャードソン定数(A/cm2 K2 )
前述の通り、測定装置本体1は、真空チャンバ13と、カソード15を載置する試料載置台17と、アノード19と、フィラメント21とを有している。
真空チャンバ13は、カソード15となる試料の酸化変質を避け電子衝撃加熱が問題なく行うことができることを考えると、高真空が得られることが望ましいが、一般的な真空装置であれば目的を果たすことができ、例えば、株式会社アルバック製のMUE-ECOのチャンバ内を適宜改造することによって、本発明が求める安定した真空雰囲気が得られる。真空チャンバ13内の圧力は加熱時でも10−4Pa以下であることが電子衝撃加熱のためには必要であるが、公知のベーク設備とターボ分子ポンプやクライオポンプとロータリーポンプを組み合わせることにより実現が可能である。
試料載置台17は、カソード15の裏面側を電子衝撃加熱する構造とすることにより、大面積のカソード15の面を通電加熱では得難い熱電子放出に十分な高温に正確に加熱することを可能とすることが必要である。
カソード15は高融点金属を基材とする材質が好ましい。
図3(a)に示すとおり、アノード19はカソード15を載置する試料載置台17と同軸上に配設する構造とする。
本実施形態では、カソード15の熱電子放出面は直径φ8mmあり、対向するアノード19の電極断面は直径φ6.2mmとした。カソード15からアノード19の電極断面、つまり直径φ6.2mmの断面に届いた熱電子による電流が熱電子放出電流である。ここで、本実施形態では、ガードリング35は外径φ9.2mmとし、内径φ6.6mmでアノード19と0.2mmのクリアランスを設け測定電流に影響を与えない構造とした。
電子衝撃加熱の電子源であるフィラメント21は、本実施形態では直径φ1mmのタングステン線をコイル状にし、上記試料載置台17の背面に配設した。
カソード15に電子衝撃を行うための直流電源2には、例えばGAMMA社の直流高圧安定化電源RR5−120を用いることができる。
放出電流の正確な読み取りはパルス電圧を印加することによって行うことができる。
フィラメント21の加熱用のフィラメント電源4は100Vの電源をスライダックにより適切な電圧に調整して行う。また、絶縁トランス23は、例えば株式会社ユニオン電機製のMNR−GTを用いることができる。
温度測定部5はカソード15の温度測定に用いられるものであり、放射温度計が適する。単色式で測定波長の短い放射温度計が温度測定の信頼性が高く、例えばミノルタ株式会社製TR‐630とクローズアップレンズNo.110を用いることで、直径φ0.4mmの領域の温度測定ができる。
パルス電圧印加時の電流を読み取るために、電流電圧測定装置6として本実施形態ではオシロスコープを用いる。例えば横河電機製のDL9710Lを用いることができる。
図3(a)にカソード15、アノード19の測定系を示す。同図に示す電気回路とすることでアノード19で受け取りした熱電子放出電流と、ガードリング35とアノード19及びパルス電源3の正極、負極間の電位差、とを電流電圧測定装置6(オシロスコープ)で読み取ることができる。
仕事関数の算出は、まず、保持温度を2点以上定め、各温度において、熱電子放出電流密度を測定する。保持温度の点数は4点以上がより好ましく、保持温度の最高温度と最低温度の差を40K以上あけるとよい。
まず、熱電子放出電流密度の対数、具体的には、電界の影響を除いた熱電子放出電流密度をカソード温度の2乗で除した値の対数
ln(J0/T2)をグラフの縦軸Yとし、
カソード温度の逆数1/Tをグラフの横軸Xとして、
Y=ln(J0(2251K)/22512)=−18.0
X=1/2251=0.000444
をプロットする。
ln(J/T2)=−eφ/k×(1/T)+lnA
となる。
夫々の保持温度(実験点)毎に、アノード19で受け取りした熱電子放出電流と、ガードリング35とアノード19及びパルス電源3の正極、負極間の電位差とを電流電圧測定装置6(オシロスコープ)で読み取った。
Y=0.0072X−3.12
Y=0.0074X−3.01
Y=0.0065X−2.78
Y=0.0060X−2.61
であるため、各温度における電界の影響を除いた熱電子放出電流密度の対数はそれぞれ、−3.12、−3.01、−2.78、−2.61である。
次に、図7のグラフに示すように、保持温度(絶対温度)の逆数を横軸に、電流密度をカソード温度の2乗で除した値の対数を縦軸に測定点をプロットし、それらの点から回帰直線を求めた。
Y=−50800X+4.55
この傾きから仕事関数を算出した。
2…………直流電源
3…………パルス電源
4…………フィラメント電源
5…………温度測定部
6…………電流電圧測定装置
13………真空チャンバ
15………カソード
17………試料載置台
19………アノード
21………フィラメント
23………絶縁トランス
32………ネジ
33………測温穴
35………ガードリング
100……熱電子放出電流測定装置
Claims (13)
- カソードを電子衝撃加熱する電子衝撃加熱手段と、
前記電子衝撃加熱手段が前記カソードを電子衝撃加熱することによって発生する熱電子放出電流を測定する熱電子放出電流測定手段と、
を有することを特徴とする熱電子放出電流測定装置。 - 前記カソードの加熱温度を測定する加熱温度測定手段をさらに有することを特徴とする請求項1記載の熱電子放出電流測定装置。
- 前記電子衝撃加熱手段は、
真空チャンバと、前記真空チャンバ内に設けられ、前記カソードを位置決め固定する試料載置台と、前記真空チャンバ内に設けられ、前記試料載置台と同軸上に配設したアノードと、前記真空チャンバ内に設けられ、前記試料載置台の背面に配設されたフィラメントと、を有する測定装置本体と、
前記フィラメントを加熱するフィラメント電源と、
前記フィラメントに直流電圧を印加する直流電源と、前記アノードにパルス電圧を印加するパルス電源と、を有する電源装置と、
を有し、
前記熱電子放出電流測定手段は、
前記カソードから前記アノードに到達する電流値と、前記アノードと前記パルス電源の正極と負極間の電位差とを読み取る電流電圧測定装置と、を有することを特徴とする請求項1または2のいずれか一項に記載の熱電子放出電流測定装置。 - 前記アノードは、円形中実丸棒であり、先端部の外周に円筒状のガードリングを備えているガードリング付きアノードであることを特徴とする請求項3記載の熱電子放出電流測定装置。
- 前記ガードリングの外径は、ガードリング外径≧カソード直径+1mmで、かつガードリング断面積/アノード断面積≧1の関係に作製されていることを特徴とする請求項4記載の熱電子放出電流測定装置。
- カソードを電子衝撃加熱する(a)と、
前記電子衝撃加熱手段が前記カソードを電子衝撃加熱することによって発生する熱電子放出電流を測定する(b)と、
を有することを特徴とする熱電子放出電流測定方法。 - 前記カソードの加熱温度を測定する(c)をさらに有することを特徴とする請求項6記載の熱電子放出電流測定方法。
- 前記(a)は、
真空チャンバと、前記真空チャンバ内に設けられ、前記カソードを位置決め固定する試料載置台と、前記試料載置台と同軸上に配設したアノードと、前記真空チャンバ内に設けられ、前記試料載置台の背面に配設されたフィラメントと、を有する測定装置本体と、
前記フィラメントを加熱するフィラメント電源と、
前記フィラメントに直流電圧を印加する直流電源と、前記アノードにパルス電圧を印加するパルス電源と、を有する電源装置と、
を有する熱電子放出電流測定装置を用い、前記カソードを前記試料載置台に取付け固定し、前記フィラメントに電流を流して前記フィラメントから熱電子を放出させ、前記フィラメントに前記直流電圧を印加して前記熱電子を加速して前記カソードに電子衝撃加熱を行い、前記カソードから熱電子放出電流を発生させ、
前記(b)は、前記アノードにパルス電圧を印加して前記熱電子放出電流を前記アノードで受け取り、前記アノードで受け取った前記熱電子放出電流と、前記ガードリングとアノード及び前記パルス電源の正極、負極間の電位差、とを前記電流電圧測定装置で読み取ることを特徴とする請求項6または7のいずれか一項に記載の熱電子放出電流測定方法。 - 前記アノードは、円形中実丸棒であり、先端部の外周に円筒状のガードリングを備えているガードリング付きアノードであり、
前記(a)は、前記アノードと前記ガードリングに印加する前記パルス電圧が同電位となるようにパルス電圧を印加することを特徴とする請求項8記載の熱電子放出電流測定方法。 - 前記(a)の前に、前記カソードの側面に温度を測定するための測定穴を設ける(g)を有することを特徴とする請求項7〜9のいずれか一項に記載の熱電子放出電流測定方法。
- カソードの保持温度を2点以上定めて前記カソードを電子衝撃加熱して熱電子放出電流を取得して電流密度を得る(d)と、
前記2点以上の保持温度を直線近似して最小2乗法で外挿して傾きと切片を求める(e)と、
熱電子放出電流密度の対数を表す式である式1を用いて右辺第一項である前記直線の傾きから仕事関数φを求める(f)と、を有することを特徴とする仕事関数算出方法。
ln(J/T2)=−eφ/k×(1/T)+lnA ・・・(式1)
φ:仕事関数(eV)、−e:電子の電荷、k:ボルツマン定数、
T:カソード温度(K)、熱電子放出電流密度J(A/cm2)、A:リチャードソン定数(A/cm2 K2 ) - 前記(d)は、
真空チャンバと、前記真空チャンバ内に設けられ、前記カソードを位置決め固定する試料載置台と、前記試料載置台と同軸上に配設したアノードと、前記真空チャンバ内に設けられ、前記試料載置台の背面に配設されたフィラメントと、を有する測定装置本体と、
前記フィラメントを加熱するフィラメント電源と、
前記フィラメントに直流電圧を印加する直流電源と、前記アノードにパルス電圧を印加するパルス電源と、を有する電源装置と、
を有する熱電子放出電流測定装置を用い、
前記カソードの保持温度を2点以上定めて前記カソードを加熱し、
前記カソードと前記アノードの電界強度を変化させて前記カソードの前記保持温度ごとの前記熱電子放出電流を取得し、
前記パルス電圧と、カソード・アノード間距離から電界を求め、
保持温度(絶対温度)の逆数を横軸に、電流密度をカソード温度の2乗で除した値の対数を縦軸に測定点をプロットし回帰直線を求めて電界の影響を差し引いて補正された電流密度を得ることを特徴とする請求項11記載の仕事関数算出方法。 - 前記(d)は、アノードとして円形中実丸棒で、先端部の外周に円筒状のガードリングを備えているガードリング付きアノードを用い、前記カソードと前記アノードおよび前記ガードリング間の電界強度を変化させて前記カソードの前記保持温度ごとの前記熱電子放出電流を取得することを特徴とする請求項12記載の仕事関数算出方法。
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