JP2010146350A - Vibration suppression control device for positioning control device - Google Patents

Vibration suppression control device for positioning control device Download PDF

Info

Publication number
JP2010146350A
JP2010146350A JP2008323796A JP2008323796A JP2010146350A JP 2010146350 A JP2010146350 A JP 2010146350A JP 2008323796 A JP2008323796 A JP 2008323796A JP 2008323796 A JP2008323796 A JP 2008323796A JP 2010146350 A JP2010146350 A JP 2010146350A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
control device
disturbance observer
gdis
pass filter
frequency
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2008323796A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP5329203B2 (en
Inventor
Akihiko Nakamura
明彦 中村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Juki Corp
Original Assignee
Juki Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Juki Corp filed Critical Juki Corp
Priority to JP2008323796A priority Critical patent/JP5329203B2/en
Publication of JP2010146350A publication Critical patent/JP2010146350A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5329203B2 publication Critical patent/JP5329203B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress vibration independently of filter phase lag. <P>SOLUTION: In a vibration suppression control device for a positioning control device including an acceleration control system using a disturbance observer 10, a low-pass filter 12 is inserted in the part of a position command, and the cutoff frequency of the low-pass filter 12 in the position command part is the frequency of a disturbance observer gain value Gdis set for the positioning control device. Another low-pass filter 14 may be inserted in the part of a velocity feed-forward command different from the position command part, and the cutoff frequency of the low-pass filter in the velocity feed-forward command part is the frequency of the disturbance observer gain value Gdis set for the positioning control device. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、位置決め制御装置の振動抑制制御装置に係り、特に、フレキシブルマニピュレータやXYロボット等に用いられる、モータ制御装置の振動抑制制御に関する。   The present invention relates to a vibration suppression control device of a positioning control device, and more particularly to vibration suppression control of a motor control device used for a flexible manipulator, an XY robot, or the like.

一般に、フレキシブルマニピュレータや、ボールねじやタイミングベルト等を用いたXYロボット等のモータ駆動系においては、図1に例示する如く、モータMと負荷Aが、剛性よりも軽量化を優先して低剛性の弾性軸(図ではプーリP間に掛け渡されたベルトB)で結合されていると共振系となり、軸ねじれ振動等が発生し問題となることがある。   In general, in motor drive systems such as flexible manipulators, XY robots using ball screws, timing belts, etc., as illustrated in FIG. 1, the motor M and the load A have low rigidity in preference to weight reduction rather than rigidity. Are coupled by an elastic shaft (belt B stretched between pulleys P in the figure), a resonance system is generated, which may cause a problem of torsional vibration of the shaft.

実際の共振系は、多数の振動モードや固有周波数が存在するため、図2に例示する如く、多慣性共振系としてモデル化される。図2において、JmはモータMの慣性、Kf1、Kf2・・・は、ばね定数、Ja1、Ja2・・・Janは負荷Aの慣性である。   Since an actual resonance system has many vibration modes and natural frequencies, it is modeled as a multi-inertia resonance system as illustrated in FIG. In FIG. 2, Jm is the inertia of the motor M, Kf1, Kf2... Are spring constants, Ja1, Ja2,.

この多慣性共振系は、図3に示すようなブロック図で表わされる。図3において、θmはモータMの回転角度(モータ位置)、θaは負荷Aの回転角度(負荷位置)、Tはトルク、sはラプラス演算子、添字mはモータ、添字aは負荷、添字disは外乱、添字reacは軸ねじれ反力を表わす。   This multi-inertia resonance system is represented by a block diagram as shown in FIG. In FIG. 3, θm is the rotation angle (motor position) of the motor M, θa is the rotation angle (load position) of the load A, T is the torque, s is the Laplace operator, subscript m is the motor, subscript a is the load, subscript dis Is a disturbance and subscript reac is a torsional reaction force.

このような共振系の振動抑制と外乱抑圧制御に対して、状態フィードバック制御やH∞制御、遅い外乱オブザーバ制御、共振比制御(非特許文献1参照)等の手法が提案されている。   For such resonance suppression and disturbance suppression control, methods such as state feedback control, H∞ control, slow disturbance observer control, resonance ratio control (see Non-Patent Document 1) have been proposed.

しかしながら、状態フィードバック制御やH∞制御は、制御系が複雑であったり、計算量が膨大であることなどから、高速、高機能のCPUが必要であり、又、現場での調整が困難である等の理由により、実機への適用には問題がある。これに対して、遅い外乱オブザーバ制御と共振比制御は、比較的簡単な制御系から構成され、実用性が高い。   However, state feedback control and H∞ control require a high-speed, high-function CPU because of complicated control systems and enormous amount of calculations, and are difficult to adjust in the field. For these reasons, there is a problem in application to actual machines. On the other hand, the slow disturbance observer control and the resonance ratio control are composed of a relatively simple control system and have high practicality.

しかしながら、非特許文献1に記載された共振比制御では、システムを、モータとアームが柔軟な駆動軸により結合された2慣性共振系としてモデル化しているため、1次の共振に対しては抜群の効果があるものの、現実の多慣性系では高次の共振を招いてしまうことがある等、高次の振動に対しての効果は低いという問題点を有していた。   However, in the resonance ratio control described in Non-Patent Document 1, the system is modeled as a two-inertia resonance system in which a motor and an arm are coupled by a flexible drive shaft. However, in an actual multi-inertia system, there is a problem that a high-order vibration is caused, and the effect on a high-order vibration is low.

一方、特許文献1には、サーボ系に別体の位相進みフィルタを設けることが記載されているが、構成が複雑であり、細かい計算が必要で計算時間が長くなり、安価な制御装置で実現できなくなる。設計も複雑で、応答が安定なパラメータをみつけにくいという問題点を有していた。   On the other hand, Patent Document 1 describes that a separate phase advance filter is provided in the servo system, but the configuration is complicated, requires a detailed calculation, requires a long calculation time, and is realized by an inexpensive control device. become unable. The design is complicated, and it is difficult to find a parameter with a stable response.

このような問題点を解決するべく、出願人は特許文献2で、図4に一般的な構成を示すような、外乱オブザーバ10を用いた加速度制御系を提案している。図において、Cは軸受部である。   In order to solve such problems, the applicant has proposed an acceleration control system using a disturbance observer 10 as shown in FIG. In the figure, C is a bearing portion.

図4ではタイミングベルトBを用いた位置決め制御系を取り上げているが、ボールねじやリニアモータの場合についても制御系自体の構成は同様である。   In FIG. 4, the positioning control system using the timing belt B is taken up, but the configuration of the control system itself is the same in the case of a ball screw or a linear motor.

外乱オブザーバ10のブロック線図を図5に示す。この外乱オブザーバ10は、入力される外乱に対して高域通過フィルタの特性で働くため、図6に示す如く、外乱オブザーバゲインGdisよりも低い周波数の外乱を抑圧することができる。外乱オブザーバゲインGdisの値は、位置決め制御装置の挙動を見ながら設定されるが、制御対象の剛性等の影響により外乱オブザーバゲインGdisを上げられる周波数には限界がある。   A block diagram of the disturbance observer 10 is shown in FIG. Since the disturbance observer 10 works with the characteristics of a high-pass filter with respect to the input disturbance, as shown in FIG. 6, it is possible to suppress a disturbance having a frequency lower than the disturbance observer gain Gdis. The value of the disturbance observer gain Gdis is set while observing the behavior of the positioning control device, but there is a limit to the frequency at which the disturbance observer gain Gdis can be increased due to the influence of the rigidity of the control target.

特許第3381880号公報Japanese Patent No. 3381880 特開2007−043884号公報JP 2007-038884 A 結城他「共振比制御による2慣性共振系の振動抑制制御」電学論D、113巻(平成5年)10号、1162頁−1169頁Yuki et al. “Vibration Suppression Control of Two-Inertia Resonance System by Resonance Ratio Control”, D. Vol. 113, No. 10, (pp. 1162–1169)

しかしながら、実際の位置決め動作においては、振動中に外乱オブザーバゲインGdisよりも高い周波数成分も含まれるため、外乱オブザーバを用いても外乱の影響をすべて抑圧することはできない。従って、制御系は外乱オブザーバゲインGdis以上の周波数の外乱の影響を受けてしまうという問題点が残っていた。   However, in the actual positioning operation, since the frequency component higher than the disturbance observer gain Gdis is included in the vibration, the influence of the disturbance cannot be suppressed even if the disturbance observer is used. Therefore, there remains a problem that the control system is affected by a disturbance having a frequency higher than the disturbance observer gain Gdis.

なお、外乱オブザーバと低域通過フィルタを併用することも考えられるが、通常は、図7に示す如く、低域通過フィルタ12がメインの制御ループ中に挿入されるため、後出図11に例示する如く、フィルタの位相遅れの影響により発振や特性の劣化が生じる恐れがあった。   Although it is conceivable to use a disturbance observer and a low-pass filter in combination, normally, as shown in FIG. 7, the low-pass filter 12 is inserted into the main control loop. As described above, there is a possibility that oscillation and characteristic deterioration may occur due to the influence of the phase delay of the filter.

本発明は、前記従来の問題点を解消するべくなされたもので、フィルタの位相遅れの影響を受けることなく振動の抑制を可能とすることを課題とする。   The present invention has been made to solve the above-described conventional problems, and an object of the present invention is to enable suppression of vibration without being affected by the phase delay of the filter.

本発明は、外乱オブザーバを用いた加速度制御系を含む位置決め制御装置の振動抑制制御装置において、位置指令の部分に低域通過フィルタを挿入し、位置決め制御装置を対象に設定した外乱オブザーバゲイン値Gdisの周波数を、前記位置指令部分の低域通過フィルタのカットオフ周波数とすることにより、前記課題を解決したものである。   The present invention relates to a vibration suppression control device for a positioning control device including an acceleration control system using a disturbance observer, and a disturbance observer gain value Gdis set for the positioning control device by inserting a low-pass filter in the position command portion. Is the cutoff frequency of the low-pass filter of the position command portion.

又、前記位置指令の部分に加えて、速度フィードフォワード指令の部分にも低域通過フィルタを挿入し、前記位置決め制御装置を対象に設定した外乱オブザーバゲイン値Gdisの周波数を、前記速度フィードフォワード指令部分の低域通過フィルタのカットオフ周波数とすることができる。   In addition to the position command part, a low-pass filter is inserted in the speed feed forward command part, and the frequency of the disturbance observer gain value Gdis set for the positioning control device is set as the speed feed forward command. The cut-off frequency of the partial low-pass filter can be used.

本発明によれば、外乱オブザーバを用いた制御を行なう際に、外乱オブザーバでは除去されない高周波成分が位置指令から取り除かれるので、外乱オブザーバと合わせて、理想的な外乱抑圧を行なうことが可能となる。   According to the present invention, when performing control using a disturbance observer, high-frequency components that are not removed by the disturbance observer are removed from the position command, so that it is possible to perform ideal disturbance suppression together with the disturbance observer. .

ここで、低域通過フィルタは位置指令の部分に挿入しており、メインの制御ループ中には含まれていない為、フィルタの位相遅れ等の問題が制御に悪影響を与えるおそれがない。   Here, since the low-pass filter is inserted in the position command portion and is not included in the main control loop, there is no possibility that problems such as the phase delay of the filter will adversely affect the control.

又、外乱オブザーバに基づいた制御法であるため、振動抑制効果を持ちながらロバスト性の確保も達成できる。   In addition, since the control method is based on a disturbance observer, it is possible to achieve robustness while having a vibration suppressing effect.

又、状態フィードバック制御やH∞制御に比べて制御系が簡単で、演算量も少ないため、高価なCPU等を使用する必要がない。更に、設計や調整が容易である。   Further, since the control system is simple and the amount of calculation is small compared to the state feedback control and H∞ control, it is not necessary to use an expensive CPU or the like. Furthermore, design and adjustment are easy.

特に、位置決め制御装置を対象に設定した外乱オブザーバゲイン値Gdisのカットオフ周波数の低域通過フィルタを位置指令の部分に挿入することで、位置指令中からGdis以上の周波数が取り除かれるため、位置決め制御装置の挙動内にGdis以上の周波数成分が含まれなくなり、理想的な外乱抑圧を行なうことが可能となる。   In particular, by inserting a low-pass filter with a cutoff frequency of the disturbance observer gain value Gdis set for the positioning control device into the position command portion, the frequency above Gdis is removed from the position command. A frequency component equal to or higher than Gdis is not included in the behavior of the apparatus, and ideal disturbance suppression can be performed.

以下図面を参照して、本発明の実施形態を詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

本発明の第1実施形態の全体のブロック図を図8、ブロック線図を図9に示す。   FIG. 8 shows an overall block diagram of the first embodiment of the present invention, and FIG. 9 shows a block diagram.

図4と比べて異なるところとして、位置指令の部分に低域通過フィルタ(LPF)12を挿入する。この時のLPF12のカットオフ周波数は、位置決め制御装置を対象に設定した外乱オブザーバゲイン値Gdisとする。   The difference from FIG. 4 is that a low-pass filter (LPF) 12 is inserted in the position command portion. The cutoff frequency of the LPF 12 at this time is a disturbance observer gain value Gdis set for the positioning control device.

このように、外乱オブザーバゲイン値Gdisのカットオフ周波数のLPF12を位置指令の部分に挿入することで、位置指令中からGdis以上の周波数が取り除かれるため、位置決め制御装置の挙動内にGdis以上の周波数成分を含まなくなり、理想的な外乱抑圧と振動抑制を行なうことが可能となる。   In this way, by inserting the LPF 12 having the cutoff frequency of the disturbance observer gain value Gdis into the position command portion, the frequency above Gdis is removed from the position command, so the frequency above Gdis is included in the behavior of the positioning control device. The component is not included, and ideal disturbance suppression and vibration suppression can be performed.

外乱オブザーバゲイン値Gdisのカットオフ周波数のLPF12を位置指令の部分に挿入した場合としない場合との効果の違いについて、シミュレーションの結果で比較する。   The difference in effect between the case where the LPF 12 having the cutoff frequency of the disturbance observer gain value Gdis is inserted in the position command portion and the case where the LPF 12 is not inserted are compared with the result of the simulation.

シミュレーションのパラメータは表1のとおりである。   The simulation parameters are shown in Table 1.

Figure 2010146350
Figure 2010146350

図10は、カットオフ周波数GdisのLPFを挿入しない場合、図11は、図7のように、LPF12をメインの制御ループ中に挿入した場合、図12には、本発明により位置指令の部分にLPF12を挿入した場合の位置ステップ応答である。   FIG. 10 shows a case where the LPF having the cutoff frequency Gdis is not inserted, FIG. 11 shows a case where the LPF 12 is inserted in the main control loop as shown in FIG. It is a position step response when the LPF 12 is inserted.

図10〜図12を比較して見ると、図10では位置決め時に振動が発生し、図11では発振が生じているが、図12ではカットオフ周波数GdisのLPF12を位置指令の部分に挿入することによって、フィルタの位相遅れの影響を受けることなく、位置決め時の振動が小さく抑制されているのが分かる。   10 to 12, a vibration occurs during positioning in FIG. 10 and an oscillation occurs in FIG. 11. In FIG. 12, the LPF 12 having the cutoff frequency Gdis is inserted into the position command portion. Thus, it can be seen that the vibration during positioning is suppressed to be small without being affected by the phase delay of the filter.

上記のように、外乱オブザーバゲイン値Gdisのカットオフ周波数のLPF12を位置指令の部分に挿入することで、位置指令中からGdis以上の周波数が取り除かれるため、位置決め制御装置の挙動内にGdis以上の周波数成分を含まなくなり、外乱を理想的に抑圧することができ、ロバストな加速度制御系を構築することが可能となる。   As described above, by inserting the LPF 12 having the cutoff frequency of the disturbance observer gain value Gdis into the position command portion, the frequency above Gdis is removed from the position command. A frequency component is not included, disturbance can be suppressed ideally, and a robust acceleration control system can be constructed.

なお、速度フィードフォワードを用いる場合には、図13に示す第2実施形態のように、速度フィードフォワード指令に対してLPF14を挿入する。そして、このLPF14のカットオフ周波数を、LPF12と同じくGdisの値とする。   In addition, when using speed feedforward, LPF14 is inserted with respect to speed feedforward instruction | command like 2nd Embodiment shown in FIG. The cut-off frequency of the LPF 14 is set to the value of Gdis as with the LPF 12.

このように、外乱オブザーバゲイン値Gdisのカットオフ周波数のLPF14を速度フィードフォワード指令の部分に挿入することで、速度フィードフォワード指令中からGdis以上の周波数が取り除かれるため、位置決め制御装置の挙動内にGdis以上の周波数成分を含まなくなり、理想的な外乱抑圧と振動抑制を行なうことが可能となる。   As described above, since the LPF 14 having the cutoff frequency of the disturbance observer gain value Gdis is inserted into the speed feedforward command, the frequency higher than Gdis is removed from the speed feedforward command. The frequency component higher than Gdis is not included, and ideal disturbance suppression and vibration suppression can be performed.

又、LPF12、14のカットオフ周波数は、図14に示す第3実施形態のように、外乱オブザーバゲインの調整値Gdisを自動で設定することも可能である。本実施形態では、位置指令部と速度フィードフォワード部ともにLPFを挿入している場合についてであるが、位置指令部にのみLPFを挿入する場合にも適用が可能である。   Further, the cutoff frequency of the LPFs 12 and 14 can automatically set the disturbance observer gain adjustment value Gdis as in the third embodiment shown in FIG. In the present embodiment, the LPF is inserted into both the position command unit and the speed feedforward unit, but the present invention can also be applied to the case where the LPF is inserted only into the position command unit.

又、前記制御装置のブロック図では、速度演算部にP制御を用いているが、PI制御、PD制御、PID制御を用いても良い。   In the block diagram of the control device, P control is used for the speed calculation unit, but PI control, PD control, and PID control may be used.

更に、外乱オブザーバを使用するにおいて、図15に示す第4実施形態のように、外乱オブザーバ10に発明者らが既に特許文献2にて提案した、モータ慣性のノミナル値を実際のモータの慣性値よりも大きく設定して位相進み補償を行なう手法を併用しても良い。これにより、高次の極の安定化を図ることが可能となる。   Further, when using the disturbance observer, as in the fourth embodiment shown in FIG. 15, the nominal value of the motor inertia previously proposed by the inventors in Patent Document 2 is used for the disturbance observer 10 as the actual inertia value of the motor. A method of performing phase lead compensation with a larger setting may be used in combination. This makes it possible to stabilize the higher-order pole.

本発明の適用対象の一例を示す構成図The block diagram which shows an example of the application object of this invention 同じくモデル図Same model diagram 同じくブロック図Same block diagram 外乱オブザーバを用いた従来の制御系のブロック図Block diagram of a conventional control system using a disturbance observer 外乱オブザーバのブロック図Block diagram of disturbance observer 外乱に対する外乱オブザーバの周波数特性を示す図Diagram showing frequency characteristics of disturbance observer for disturbance 外乱オブザーバと低域通過フィルタを併用した比較例の制御系のブロック図Block diagram of a comparative control system using both a disturbance observer and a low-pass filter 本発明に係る第1実施形態のブロック図1 is a block diagram of a first embodiment according to the present invention. 同じくブロック線図Similarly block diagram 図4の従来例のステップ応答を示す図The figure which shows the step response of the prior art example of FIG. 図7の比較例のステップ応答を示す図The figure which shows the step response of the comparative example of FIG. 本発明の第1実施形態のステップ応答を示す図The figure which shows the step response of 1st Embodiment of this invention. 本発明の第2実施形態で速度フィードフォワードを用いる場合のブロック図Block diagram when using speed feedforward in the second embodiment of the present invention 本発明の第3実施形態で外乱オブザーバゲインをカットオフ周波数に自動設定する場合のブロック図Block diagram when the disturbance observer gain is automatically set to the cutoff frequency in the third embodiment of the present invention 本発明の第4実施形態で外乱オブザーバを用いた位相進み補償を示すブロック図Block diagram showing phase lead compensation using a disturbance observer in the fourth embodiment of the present invention

符号の説明Explanation of symbols

M…モータ
A…負荷
10…外乱オブザーバ
12、14…低域通過フィルタ(LPF)
M ... Motor A ... Load 10 ... Disturbance observer 12, 14 ... Low-pass filter (LPF)

Claims (2)

外乱オブザーバを用いた加速度制御系を含む位置決め制御装置の振動抑制制御装置において、
位置指令の部分に低域通過フィルタを挿入し、位置決め制御装置を対象に設定した外乱オブザーバゲイン値Gdisの周波数を、前記位置指令部分の低域通過フィルタのカットオフ周波数とすることを特徴とする位置決め制御装置の振動抑制制御装置。
In the vibration suppression control device of the positioning control device including the acceleration control system using the disturbance observer,
A low-pass filter is inserted in the position command portion, and the frequency of the disturbance observer gain value Gdis set for the positioning control device is set as a cutoff frequency of the low-pass filter in the position command portion. Vibration suppression control device for positioning control device.
前記位置指令の部分に加えて、速度フィードフォワード指令の部分にも低域通過フィルタを挿入し、前記位置決め制御装置を対象に設定した外乱オブザーバゲイン値Gdisの周波数を、前記速度フィードフォワード指令部分の低域通過フィルタのカットオフ周波数とすることを特徴とする、請求項1に記載の位置決め制御装置の振動抑制制御装置。   In addition to the position command part, a low-pass filter is also inserted in the speed feedforward command part, and the frequency of the disturbance observer gain value Gdis set for the positioning control device is set to the speed feedforward command part. The vibration suppression control device for a positioning control device according to claim 1, wherein the vibration suppression control device is a cutoff frequency of a low-pass filter.
JP2008323796A 2008-12-19 2008-12-19 Vibration suppression control device for positioning control device Expired - Fee Related JP5329203B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008323796A JP5329203B2 (en) 2008-12-19 2008-12-19 Vibration suppression control device for positioning control device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008323796A JP5329203B2 (en) 2008-12-19 2008-12-19 Vibration suppression control device for positioning control device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2010146350A true JP2010146350A (en) 2010-07-01
JP5329203B2 JP5329203B2 (en) 2013-10-30

Family

ID=42566720

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008323796A Expired - Fee Related JP5329203B2 (en) 2008-12-19 2008-12-19 Vibration suppression control device for positioning control device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5329203B2 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012130214A (en) * 2010-12-17 2012-07-05 Sanyo Denki Co Ltd Motor control device and motor control method
WO2017126095A1 (en) * 2016-01-22 2017-07-27 東芝三菱電機産業システム株式会社 Speed control device for electric motor

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005071034A (en) * 2003-08-22 2005-03-17 Mitsubishi Electric Corp Servo controller
JP2006024674A (en) * 2004-07-07 2006-01-26 Nikon Corp Device and method for controlling stage, exposure device and method and manufacturing method for device

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005071034A (en) * 2003-08-22 2005-03-17 Mitsubishi Electric Corp Servo controller
JP2006024674A (en) * 2004-07-07 2006-01-26 Nikon Corp Device and method for controlling stage, exposure device and method and manufacturing method for device

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012130214A (en) * 2010-12-17 2012-07-05 Sanyo Denki Co Ltd Motor control device and motor control method
WO2017126095A1 (en) * 2016-01-22 2017-07-27 東芝三菱電機産業システム株式会社 Speed control device for electric motor
KR20180021179A (en) * 2016-01-22 2018-02-28 도시바 미쓰비시덴키 산교시스템 가부시키가이샤 Motor speed control device
CN108012576A (en) * 2016-01-22 2018-05-08 东芝三菱电机产业系统株式会社 The speed control unit of motor
JPWO2017126095A1 (en) * 2016-01-22 2018-05-31 東芝三菱電機産業システム株式会社 Speed control device for electric motor
TWI626825B (en) * 2016-01-22 2018-06-11 日商東芝三菱電機產業系統股份有限公司 Speed control device for electric motor
KR102013080B1 (en) * 2016-01-22 2019-08-21 도시바 미쓰비시덴키 산교시스템 가부시키가이샤 Speed control device of electric motor
CN108012576B (en) * 2016-01-22 2021-04-20 东芝三菱电机产业系统株式会社 Speed control device for motor

Also Published As

Publication number Publication date
JP5329203B2 (en) 2013-10-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10029366B2 (en) Control device for motor drive device, control device for multi-axial motor, and control method for motor drive device
JP2004272883A (en) Servo control device
JP4685071B2 (en) Motor control device and motor control method
JP2004213472A (en) Control device
US10261520B2 (en) Motor controller and industrial machine
JP5989694B2 (en) Control device, control method, and control program
JP6412071B2 (en) Motor control device, motor control method, and motor control program
JP4992909B2 (en) Servo control device and control method thereof
JP2017175890A (en) Motor control apparatus having vibration control function
JP6604157B2 (en) Resonance suppression controller in multi-inertia resonance system
JP2010284758A (en) Robot controller and robot control method
JP4860277B2 (en) Vibration suppression control method and apparatus for multi-inertia resonance system
JP2008004007A (en) Position controller, position control method, robot controller and robot control method
JP2020057296A (en) Vibration inhibition system, vibration inhibition method, and program
JP2008182828A (en) Method and device for controlling motor of sewing machine main shaft
JP5329203B2 (en) Vibration suppression control device for positioning control device
JP2011036061A (en) Motor control device and motor control system
JP2006302201A (en) Servo controller
JP2003216243A (en) Robot controller
JP2008079478A (en) Servo control device and speed follow-up control method thereof
JP2005071034A (en) Servo controller
JP2019009858A (en) Motor control device
JP2005063362A (en) Servo controller
JP5125283B2 (en) Electric motor control device and electric motor control program
JP2009226520A (en) Positioning control apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20111215

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20121205

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20121211

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130128

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130625

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130724

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5329203

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees