JP2010145730A - Method for producing optical ceramic lens and optical ceramic lens - Google Patents

Method for producing optical ceramic lens and optical ceramic lens Download PDF

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Akito Fujii
明人 藤井
Mikito Hasegawa
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for producing an optical ceramic lens, in which the efficiency in a production process is made high and the production cost of the optical ceramic lens is reduced. <P>SOLUTION: The method for producing the optical ceramic lens 1 includes steps of: fabricating a powdery raw material to prepare a temporarily-molded article; subjecting the temporarily-molded article to hot press molding to form such a lens array 10 that a plurality of optical ceramic lenses are arranged collectively; and dividing the lens array 10, for example, by using a vertical tangent line 6 or a horizontal tangent line 7 as a boundary to obtain the optical ceramic lenses 1. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、光学セラミックレンズの製造方法および光学セラミックレンズに関するものである。   The present invention relates to an optical ceramic lens manufacturing method and an optical ceramic lens.

たとえばエアコンなどの家電製品や、住宅などに設置するホームセキュリティ用設備において、人間の所在を検知するセンサを用いる場合がある。このようなセンサには、赤外線などを集光するための光学セラミックレンズが用いられる。従来から用いられている光学セラミックレンズは、主表面に沿った方向における光学曲面部の直径が6mmから30mm程度のものである。なお、ここで主表面とは、光学セラミックレンズの各方向の表面のうち、投影面積が最も大きくなる面をいう。   For example, in home appliances such as an air conditioner or home security equipment installed in a house or the like, a sensor that detects the location of a person may be used. In such a sensor, an optical ceramic lens for collecting infrared rays or the like is used. Conventionally used optical ceramic lenses have a diameter of the optical curved surface portion in the direction along the main surface of about 6 mm to 30 mm. Here, the main surface refers to the surface having the largest projected area among the surfaces in the respective directions of the optical ceramic lens.

ところが、上述した家電製品やホームセキュリティ用設備などの内部に上記センサを配置するために、当該センサを小型化する必要がある。このため、センサに用いられる光学セラミックレンズについても従来より小型化することが要求されている。具体的には、主表面に沿った方向における光学曲面部の直径が1mmから5mm程度の光学セラミックレンズを提供することが要請される。   However, in order to arrange the sensor in the above-described home appliances and home security equipment, it is necessary to downsize the sensor. For this reason, it is required to reduce the size of the optical ceramic lens used in the sensor. Specifically, it is required to provide an optical ceramic lens in which the diameter of the optical curved surface portion in the direction along the main surface is about 1 mm to 5 mm.

このような光学セラミックレンズは、たとえば以下の特許文献1に開示されているように、被成形物としてのたとえば硫化亜鉛(ZnS)の粉末を加圧成形した後し仮焼結した仮成形品を、上型および下型からなる成形型を用いて加熱しながら加圧成形することにより形成される。
特開2006−45038号公報
For example, as disclosed in Patent Document 1 below, such an opto-ceramic lens is obtained by pressure-molding, for example, zinc sulfide (ZnS) powder as a molding object, and then pre-sintering a temporary molded product. It is formed by pressure molding while heating using a mold composed of an upper mold and a lower mold.
JP 2006-45038 A

上述したように、たとえば硫化亜鉛の粉末を原料として光学セラミックレンズを形成する場合、原料である粉末を所望の形状に成形するために、まず粉末プレスおよび仮焼成を行なう。ここで使用する粉末は前処理として造粒をしてもよい。このようにして、所望の形状に近い形状を有する仮成形品を形成した後、これを最終の所望の形状に成形するために、温度と圧力を同時に印加する熱間モールド成形を行なう。たとえば特許文献1に開示されている成形型を用いて光学セラミックレンズを形成する場合、1回のモールド成形で1個の光学セラミックレンズしか形成できず、生産効率の低下、コスト高を招く可能性がある。このため、たとえば光学セラミックレンズを大量生産する場合において、当該光学セラミックレンズの生産効率の向上には限界がある。   As described above, when an optical ceramic lens is formed using, for example, zinc sulfide powder as a raw material, powder pressing and temporary firing are first performed in order to form the raw material powder into a desired shape. The powder used here may be granulated as a pretreatment. Thus, after forming the temporary molded product which has a shape close | similar to a desired shape, in order to shape | mold this into the final desired shape, the hot mold shaping which applies temperature and pressure simultaneously is performed. For example, when an optical ceramic lens is formed using the mold disclosed in Patent Document 1, only one optical ceramic lens can be formed by one molding, which may lead to a decrease in production efficiency and high cost. There is. For this reason, for example, in the case of mass-producing an optical ceramic lens, there is a limit to improving the production efficiency of the optical ceramic lens.

一方、上述したように小型レンズの場合は、型内に多数のレンズを独立して配置し、実施することも可能である。多数のレンズを独立して配置すると、仮成形品の品質ばらつき、配置での誤差が反映され、得られる光学セラミックレンズの品質ばらつきが大きくなる傾向にあり、寸法や形状等の精度の高い製品を高効率に生産することは困難である。以上のように品質とコストとを両立することは難しかった。   On the other hand, in the case of a small lens as described above, a large number of lenses can be arranged independently in the mold. If a large number of lenses are arranged independently, the quality variation of the temporary molded product and the error in the arrangement are reflected, and the quality variation of the obtained optical ceramic lens tends to increase. It is difficult to produce with high efficiency. As described above, it has been difficult to achieve both quality and cost.

本発明は、上述した問題に鑑みなされたものであり、その目的は、生産効率を向上させコストを低減することができる、粉末原料を加工して形成される光学セラミックレンズの製造方法および、当該製造方法を用いて形成される光学セラミックレンズを提供することである。   The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object of the present invention is to provide an optical ceramic lens manufacturing method formed by processing a powder raw material, which can improve production efficiency and reduce costs, and It is to provide an optoceramic lens formed using a manufacturing method.

本発明に係る光学セラミックレンズの製造方法は、粉末原料を加工して仮成形品を準備する工程と、仮成形品を熱間プレス成形することにより複数個の光学セラミックレンズが集合配置されたレンズアレイを形成する工程と、レンズアレイを分割することにより、光学セラミックレンズを得る工程とを備える、光学セラミックレンズの製造方法である。   The method of manufacturing an optical ceramic lens according to the present invention includes a step of processing a powder raw material to prepare a temporary molded product, and a lens in which a plurality of optical ceramic lenses are collectively arranged by hot press molding the temporary molded product An optical ceramic lens manufacturing method comprising the steps of forming an array and obtaining an optical ceramic lens by dividing the lens array.

上述した粉末原料を加工して仮成形品を準備する工程とは、たとえば原料である粉末を所望の形状に成形するために、造粒などにより調整された粉末を仮の形状に成形するための粉末プレスおよび仮焼成を行なう工程をいう。また、レンズアレイとは、同一形状、寸法を有する複数個のレンズを所定の平面に沿って2次元方向、すなわち一の方向と、当該一の方向に交差する他の方向との2方向に配列することにより形成されるレンズの集合体の形状に配列されたものをいう。   The process of preparing the above-mentioned powder raw material to prepare a temporary molded product is, for example, for forming a powder adjusted by granulation into a temporary shape in order to form the raw material powder into a desired shape. It refers to the step of performing powder pressing and pre-baking. A lens array is a plurality of lenses having the same shape and size arranged in a two-dimensional direction along a predetermined plane, that is, one direction and two directions intersecting the one direction. The lens is arranged in the shape of an assembly of lenses formed by doing so.

すなわち、本発明に係る光学セラミックレンズの製造方法においては、個々の光学セラミックレンズに対応する成形面が2次元方向に複数個配置された成形型を用いて仮成形品を熱間プレス成形することにより、2次元方向に複数個配置された光学セラミックレンズとしての形状を有するレンズアレイを形成することができる。そしてレンズアレイを、たとえばダイヤモンドブレードによるダイシングにより光学セラミックレンズを形成する部分ごとに分割する。このようにすれば、上述した成形型を用いたプレス成形の処理を1回行なうだけで、成形型に配置された成形面の個数に等しい個数の光学セラミックレンズを得ることができる。したがって、本発明に係る光学セラミックレンズの製造方法を用いれば、1回の処理により1個の光学セラミックレンズしか形成できない従来の方法を用いた場合に比べて高い効率で光学セラミックレンズを生産できる。このため、当該光学セラミックレンズのコストを低減させることができる。   That is, in the method of manufacturing an optical ceramic lens according to the present invention, a temporary molded product is hot press-molded using a molding die in which a plurality of molding surfaces corresponding to individual optical ceramic lenses are arranged in a two-dimensional direction. Thus, a lens array having a shape as an optical ceramic lens arranged in a two-dimensional direction can be formed. Then, the lens array is divided into portions for forming the optical ceramic lens, for example, by dicing with a diamond blade. In this way, the number of optical ceramic lenses equal to the number of molding surfaces arranged in the molding die can be obtained by performing the press molding process using the molding die described above only once. Therefore, if the method for producing an optical ceramic lens according to the present invention is used, it is possible to produce an optical ceramic lens with higher efficiency than in the case of using a conventional method in which only one optical ceramic lens can be formed by one treatment. For this reason, the cost of the said optical ceramic lens can be reduced.

上述した光学セラミックレンズの製造方法においては、原料粉末は純度99%以上の硫化亜鉛粉末であることが好ましい。硫化亜鉛を用いて光学セラミックレンズを形成することにより、センサに用いる赤外線などを高い割合で透過する光学セラミックレンズを提供することができる。   In the above-described optical ceramic lens manufacturing method, the raw material powder is preferably zinc sulfide powder having a purity of 99% or more. By forming an optical ceramic lens using zinc sulfide, it is possible to provide an optical ceramic lens that transmits infrared rays used for the sensor at a high rate.

上述した光学セラミックレンズの製造方法におけるレンズアレイを形成する工程では、光学セラミックレンズの光学曲面部の平面視における円形の直径が、当該レンズアレイにおいて隣接する光学セラミックレンズの中心間距離より小さくなるようにレンズアレイが形成されていることが好ましい。   In the step of forming the lens array in the above-described method of manufacturing an optical ceramic lens, the circular diameter in plan view of the optical curved surface portion of the optical ceramic lens is made smaller than the distance between the centers of adjacent optical ceramic lenses in the lens array. It is preferable that a lens array is formed on the surface.

レンズアレイの配置を上述したようにすれば、形成する一の光学セラミックレンズのレンズとして作用する有効部分である光学曲面部の平面視における円形と、当該一の光学セラミックレンズの隣に配置された他の光学セラミックレンズの光学曲面部の平面視における円形との間に、光学セラミックレンズとして利用しない間隙の領域が存在することになる。なお、ここで光学曲面部の平面視における円形とは、光学曲面部が配置された主表面に交差する方向から当該光学曲面部を見たときに当該光学曲面部の外周部分がなす円形のことをいう。この場合、たとえばダイシングによりレンズアレイを個々の光学セラミックレンズごとに分割する際に、分割を行なうことができる領域は上述した光学セラミックレンズとして利用しない間隙の領域全体である。したがって、たとえば上記間隙が存在しない場合に比べて、分割を行なうことができる範囲が広くなり、分割の加工を容易に行なうことができる。その結果、より高い効率で光学セラミックレンズを生産することができるため、当該光学セラミックレンズのコストをさらに低減させることができる。   If the arrangement of the lens array is as described above, it is arranged next to the circular shape in plan view of the optical curved surface portion, which is an effective portion that acts as a lens of one optical ceramic lens to be formed, and next to the one optical ceramic lens. There is a gap region that is not used as an optical ceramic lens between the circular shape in plan view of the optical curved surface portion of another optical ceramic lens. Here, the circular shape in plan view of the optical curved surface portion is a circular shape formed by the outer peripheral portion of the optical curved surface portion when the optical curved surface portion is viewed from a direction intersecting the main surface on which the optical curved surface portion is disposed. Say. In this case, for example, when the lens array is divided into individual optical ceramic lenses by dicing, the region that can be divided is the entire gap region that is not used as the above-described optical ceramic lens. Therefore, for example, compared with the case where the gap does not exist, the range in which the division can be performed is widened, and the division processing can be easily performed. As a result, since an optical ceramic lens can be produced with higher efficiency, the cost of the optical ceramic lens can be further reduced.

上述した光学セラミックレンズの製造方法におけるレンズアレイを形成する工程では、光学セラミックレンズの光学曲面部の平面視における円形の直径が、当該レンズアレイにおいて隣接する光学セラミックレンズの中心間距離と等しくなるようにレンズアレイが形成されていてもよい。   In the step of forming the lens array in the above-described method of manufacturing an optical ceramic lens, the circular diameter in plan view of the optical curved surface portion of the optical ceramic lens is made equal to the distance between the centers of adjacent optical ceramic lenses in the lens array. A lens array may be formed.

レンズアレイの配置を上述したようにすれば、形成する一の光学セラミックレンズのレンズとして作用する有効部分である光学曲面部の平面視における円形と、当該一の光学セラミックレンズの隣に配置された他の光学セラミックレンズの光学曲面部の平面視における円形との間には、光学セラミックレンズとして利用しない間隙の領域が存在しないことになる。したがって、レンズアレイのうち光学セラミックレンズを得るために有効に利用できる領域の割合を大きくすることができ、1回の処理により得ることができる光学セラミックレンズの個数をさらに増やすことができる。したがって、より高い効率で光学セラミックレンズを生産することができるため、当該光学セラミックレンズのコストをさらに低減させることができる。   If the arrangement of the lens array is as described above, it is arranged next to the circular shape in plan view of the optical curved surface portion, which is an effective portion that acts as a lens of one optical ceramic lens to be formed, and next to the one optical ceramic lens. There is no gap area that is not used as an optical ceramic lens between the optical curved surface portion of another optical ceramic lens in a plan view. Therefore, it is possible to increase the ratio of the region that can be effectively used for obtaining the optical ceramic lens in the lens array, and to further increase the number of the optical ceramic lenses that can be obtained by one processing. Therefore, since the optical ceramic lens can be produced with higher efficiency, the cost of the optical ceramic lens can be further reduced.

上述した光学セラミックレンズの製造方法におけるレンズアレイを形成する工程では、光学セラミックレンズの光学曲面部の平面視における円形の直径が、当該レンズアレイにおいて隣接する光学セラミックレンズの中心間距離より大きくなるようにレンズアレイが形成されていてもよい。   In the step of forming the lens array in the above-described method of manufacturing an optical ceramic lens, the circular diameter of the optical curved surface portion of the optical ceramic lens in plan view is larger than the distance between the centers of adjacent optical ceramic lenses in the lens array. A lens array may be formed.

レンズアレイの配置を上述したようにすれば、形成する一の光学セラミックレンズのレンズとして作用する有効部分である光学曲面部の平面視における円形と、当該一の光学セラミックレンズの隣に配置された他の光学セラミックレンズの光学曲面部の平面視における円形とが一部分において重なる状態となる。したがってこの場合、たとえば上述した、光学曲面部の平面視における円形の直径が、当該レンズアレイにおいて隣接する光学セラミックレンズの中心間距離と等しくなるようにレンズアレイが形成されている場合に比べて、一の光学曲面部が占める面積が小さくなるため、同じ直径のレンズアレイからより多くの個数の光学曲面部を形成することができる。   If the arrangement of the lens array is as described above, it is arranged next to the circular shape in plan view of the optical curved surface portion, which is an effective portion that acts as a lens of one optical ceramic lens to be formed, and next to the one optical ceramic lens. The circular shape in plan view of the optical curved surface portion of the other optical ceramic lens partially overlaps. Therefore, in this case, for example, as compared to the case where the lens array is formed so that the circular diameter in plan view of the optical curved surface portion is equal to the distance between the centers of the adjacent optical ceramic lenses in the lens array, for example, Since the area occupied by one optical curved surface portion is reduced, a larger number of optical curved surface portions can be formed from a lens array having the same diameter.

本発明に従った光学セラミックレンズは、上記光学セラミックレンズの製造方法を用いて製造されている。この場合、従来よりも製造コストの低減された光学セラミックレンズを得ることができる。   The optical ceramic lens according to the present invention is manufactured by using the above-described optical ceramic lens manufacturing method. In this case, it is possible to obtain an optical ceramic lens having a manufacturing cost reduced as compared with the prior art.

本発明における光学セラミックレンズの製造方法によれば、高い効率で光学セラミックレンズを生産することができ、当該光学セラミックレンズのコストを低減させることができる。   According to the method for producing an optical ceramic lens of the present invention, an optical ceramic lens can be produced with high efficiency, and the cost of the optical ceramic lens can be reduced.

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態について説明する。なお、本実施の形態において、同一の機能を果たす要素には同一の参照符号を付し、その説明は、特に必要がなければ繰り返さない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the present embodiment, elements having the same function are denoted by the same reference numerals, and the description thereof will not be repeated unless particularly necessary.

図1は、本発明の実施の形態に係る光学セラミックレンズの製造方法を示すフローチャートである。本実施の形態に係る光学セラミックレンズとは、たとえば人間の所在を検知する人感センサにおいて、センサが放射した赤外線などが人体により反射される反射光を集光することにより検知するために用いられるレンズである。   FIG. 1 is a flowchart showing a method for manufacturing an optical ceramic lens according to an embodiment of the present invention. The opto-ceramic lens according to the present embodiment is used, for example, in a human sensor that detects the location of a human being to detect infrared rays emitted from the sensor by collecting reflected light reflected by the human body. It is a lens.

当該光学セラミックレンズの製造方法としては、図1に示すように、まず原料準備工程(S10)を実施する。具体的には、光学セラミックレンズを構成するベースとなる原料を準備する工程である。当該光学セラミックレンズの製造方法は、粉末原料を加工することにより光学セラミックレンズを形成する方法であり、たとえば硫化亜鉛(ZnS)の粉末を用いることが好ましい。なお、硫化亜鉛の代わりに、たとえばフッ化カルシウム(CaF)、YAG(3Y・5Al)、酸化マグネシウム(MgO)、スピネル(MgAl)、酸化イットリウム(Y)の粉末を用いてもよい。これらの原料の粉末を用いれば、センサに用いる赤外線などの光線に対する透過性の良好な光学セラミックレンズを形成することができる。 As a method for producing the optical ceramic lens, first, a raw material preparation step (S10) is performed as shown in FIG. Specifically, this is a step of preparing a raw material to be a base constituting the optical ceramic lens. The optical ceramic lens manufacturing method is a method of forming an optical ceramic lens by processing a powder raw material. For example, it is preferable to use zinc sulfide (ZnS) powder. Instead of zinc sulfide, for example, calcium fluoride (CaF 2 ), YAG (3Y 2 O 3 .5Al 2 O 3 ), magnesium oxide (MgO), spinel (MgAl 2 O 4 ), yttrium oxide (Y 2 O The powder of 3 ) may be used. If these raw material powders are used, it is possible to form an optical ceramic lens having good transparency to light rays such as infrared rays used in the sensor.

また、上述した光学セラミックレンズを形成するための粉末原料を、固体状物質としての使用目的に適した大きさや形、純度に整える処理を行なう工程である造粒工程を行なうことにより、準備した粉末原料の粉末粒を細粒化する処理や、不純物を加える処理を行なってもよい。このようにすれば、たとえば純度が99.7%で平均粒径が2μmの硫化亜鉛粉末など、所望の大きさや純度を有する粉末原料を得ることができる。   In addition, the powder raw material for forming the above-mentioned optical ceramic lens is prepared by performing a granulation process, which is a process for adjusting the size, shape and purity suitable for the intended use as a solid substance. You may perform the process which refines the powder grain of a raw material, and the process which adds an impurity. In this way, it is possible to obtain a powder raw material having a desired size and purity, such as zinc sulfide powder having a purity of 99.7% and an average particle diameter of 2 μm.

続いて粉末プレス工程(S20)、仮焼成工程(S30)を実施する。本実施の形態に係る光学セラミックレンズの製造方法のように、粉末原料を加工することにより成形を行なう工程の場合、所望の形状となるよう当該粉末原料を成形する工程を行なう前に、粉末原料を仮の形状を有する仮成形品(固形塊)となるよう加工する処理を行なうことが好ましい。このため、本実施の形態において粉末プレス工程(S20)および仮焼成工程(S30)を行なうことが好ましい。当該粉末プレス工程(S20)および仮焼成工程(S30)を行なうことにより、後に製品形状に対応したレンズアレイの成形を行なう工程において、より高い精度で容易に加工を行なうことができる。なお、ここで形成される仮成形品は、たとえばその主表面が円形である平板形状であってもよいし、その主表面が矩形状や楕円形状である平板形状であってもよい。あるいは当該仮成形品は、形成する光学セラミックレンズが有する光学曲面部に近い形態を有するニアネットシェイプとなるように形成してもよい。   Then, a powder press process (S20) and a temporary baking process (S30) are implemented. In the case of the step of forming by processing the powder raw material as in the method of manufacturing the optical ceramic lens according to the present embodiment, before performing the step of forming the powder raw material to have a desired shape, the powder raw material It is preferable to perform a process of processing so as to form a temporary molded product (solid lump) having a temporary shape. For this reason, it is preferable to perform a powder press process (S20) and a temporary baking process (S30) in this Embodiment. By performing the powder pressing step (S20) and the pre-baking step (S30), it is possible to easily perform processing with higher accuracy in the step of forming a lens array corresponding to the product shape later. In addition, the temporary molded product formed here may be a flat plate shape whose main surface is circular, for example, or may be a flat plate shape whose main surface is rectangular or elliptical. Or you may form the said temporary molded product so that it may become a near net shape which has a form close | similar to the optical curved surface part which the optical ceramic lens to form has.

上述した粉末プレス工程(S20)は、たとえば両軸式冷間金型プレス成形により、粉末原料に対して一定の圧力を付加することにより行なうことが好ましい。なお、当該処理は室温下で行ない、付加する圧力としては、たとえば粉末が硫化亜鉛の場合は50MPa、たとえばスピネル、YAG、酸化マグネシウムの場合は150MPaなど、粉末原料を仮の固定塊の成形品に成形するために必要な任意の圧力を用いることができる。また、仮焼成工程(S30)においては、粉末プレス工程(S20)により形成された仮成形品を、真空炉中に投入してたとえば粉末が硫化亜鉛の場合は700℃以上900℃以下の温度で5時間程度加熱し、粉末がスピネル、YAG、酸化マグネシウムの場合は1500℃に加熱するなど、仮成形品とするために必要な任意の温度、時間条件を用いることができる。ここで、真空炉内を0.1Torr以下の真空度とすることが好ましい。   The above-described powder pressing step (S20) is preferably performed by applying a certain pressure to the powder raw material by, for example, double-shaft cold mold press molding. The treatment is performed at room temperature, and the applied pressure is, for example, 50 MPa when the powder is zinc sulfide, 150 MPa when the powder is, for example, spinel, YAG, or magnesium oxide. Any pressure required to shape can be used. In the temporary firing step (S30), the temporary molded product formed in the powder pressing step (S20) is put into a vacuum furnace and, for example, when the powder is zinc sulfide, the temperature is 700 ° C. or higher and 900 ° C. or lower. Arbitrary temperature and time conditions necessary for making a temporary molded product can be used, such as heating for about 5 hours and heating to 1500 ° C. when the powder is spinel, YAG, or magnesium oxide. Here, it is preferable that the vacuum furnace has a vacuum degree of 0.1 Torr or less.

より具体的には、まず、真空炉中に上記プレスを行なった仮成形品を投入する。ここで、仮成形品の内部に含まれる水分や不純物の除去を優先的に行なう場合は、真空炉内を0.1Torr以下の真空度とすることが好ましい。また、仮成形品の加熱の均一化を優先的に行なう場合には、たとえばアルゴンや窒素などの不活性ガスを真空炉内に導入しながら処理を行なってもよい。仮成形品の処理として上述したいずれを優先的に行なうかに応じて、真空炉内の真空度やガスの導入の条件を選択することが好ましい。   More specifically, first, a temporary molded product subjected to the above-described pressing is put into a vacuum furnace. Here, when moisture and impurities contained in the temporary molded product are preferentially removed, it is preferable that the vacuum furnace has a vacuum degree of 0.1 Torr or less. Further, when preferentially uniformizing the heating of the temporary molded product, the treatment may be performed while introducing an inert gas such as argon or nitrogen into the vacuum furnace. It is preferable to select the degree of vacuum in the vacuum furnace and the conditions for introducing the gas depending on which of the above-mentioned preferential treatments is performed for the temporary molded product.

なお、仮焼成工程(S30)は、粉末プレス工程(S20)後の粉末プレス中の湿気、揮発不純物を除去、仮成形品の強度を確保するために実施するが、粉末プレス品の湿気、不純物の量がもともと少ない場合、または後工程の熱間モールド工程(S40)で仮焼成工程をかねる場合には仮焼成工程(S30)の実施を省略してもよい。   The temporary firing step (S30) is performed to remove moisture and volatile impurities in the powder press after the powder pressing step (S20) and ensure the strength of the temporary molded product. When the amount of is originally small, or when the preliminary baking step is performed in the subsequent hot molding step (S40), the preliminary baking step (S30) may be omitted.

以上の工程を行なうことにより、粉末原料から、所望の光学セラミックレンズの形状に加工することを容易にするための仮成形品を形成することができる。   By performing the above steps, it is possible to form a temporary molded product for facilitating processing from a powder raw material into a desired optical ceramic lens shape.

続いて図1に示すように熱間モールド工程(S40)を実施する。これは具体的には、先の工程で準備した仮成形品を成形型内で昇温し、一定の温度に達したところで加圧し、モールド成形する工程である。成形型には所望の光学曲面(成形面)が複数形成されており、それを仮成形品に転写することにより、複数個の光学セラミックレンズが配置されたレンズアレイシートを形成できる。   Subsequently, a hot molding step (S40) is performed as shown in FIG. Specifically, this is a step of raising the temperature of the provisional molded article prepared in the previous step in the mold, pressurizing it when reaching a certain temperature, and molding. A plurality of desired optical curved surfaces (molding surfaces) are formed on the molding die, and a lens array sheet on which a plurality of optical ceramic lenses are arranged can be formed by transferring them to a temporary molded product.

熱間モールド工程(S40)においては、金型などの成形型を用いて仮成形品の主表面に、成形型における成形面の形状に応じたたとえば光学曲面部を形成する処理を行なう。当該処理では、個々の光学セラミックレンズの表面形状に対応した成形面が、2次元方向に複数個配置された成形型を用いてモールド処理を行なう。このようにすれば、仮成形品の主表面に、光学セラミックレンズの構造(光学曲面部)が2次元方向に集合配置された表面形状を形成できる。この結果、光学セラミックレンズが2次元方向に複数個集合配置されたフライアイレンズ状のレンズアレイを形成することができる。なお、熱間モールド工程(S40)における加熱焼結により、当該仮成形品のサイズは主としてプレス軸方向に収縮し、薄くなる。   In the hot molding step (S40), for example, an optical curved surface portion corresponding to the shape of the molding surface of the molding die is formed on the main surface of the temporary molding using a molding die such as a mold. In this process, a mold process is performed using a mold in which a plurality of molding surfaces corresponding to the surface shape of each optical ceramic lens are arranged in a two-dimensional direction. In this way, it is possible to form a surface shape in which the structures (optical curved surface portions) of the optical ceramic lens are collectively arranged in the two-dimensional direction on the main surface of the temporary molded product. As a result, it is possible to form a fly-eye lens-like lens array in which a plurality of optical ceramic lenses are arranged in a two-dimensional direction. In addition, the size of the temporary molded product contracts mainly in the press axis direction and becomes thin by heat sintering in the hot molding step (S40).

なおここで熱間モールド工程(S40)は仮成形品を加熱焼結する機能と成形型を用いて仮成形品を所望の形状(レンズアレイ)に仕上げる機能を併せ持つ、熱間プレス成形を行なう工程である。熱間モールド工程(S40)におけるプレスを行なう工程は、たとえば上述したレンズアレイを形成するための成形型を用いて、仮成形品の主表面に対してたとえば50MPaの圧力を加えて保持するなど、仮成形品の主表面に所望の形状や寸法のレンズアレイを高精度に形成するために必要な任意の加圧条件を用いて行なうことができる。   Here, the hot molding step (S40) is a step of performing hot press molding, which has both the function of heating and sintering the temporary molded product and the function of finishing the temporary molded product into a desired shape (lens array) using a mold. It is. The step of performing the pressing in the hot molding step (S40) is performed by using, for example, the mold for forming the lens array described above and applying a pressure of, for example, 50 MPa to the main surface of the temporary molded product. It can be performed using any pressure condition necessary for forming a lens array having a desired shape and size on the main surface of the temporary molded product with high accuracy.

ここで、たとえば仮成形品が硫化亜鉛からなる場合は900℃以上1000℃以下で30秒以上10分以下の時間加熱することが好ましい。また、たとえば仮成形品がスピネルからなる場合はたとえば1650℃に加熱する。以上のように、仮成形品の主表面に所望の形状や寸法のレンズアレイを高精度に形成するために必要な任意の加熱条件を用いて行なうことができる。   Here, for example, when the temporary molded product is made of zinc sulfide, it is preferably heated at 900 ° C. to 1000 ° C. for 30 seconds to 10 minutes. Further, for example, when the temporary molded product is made of spinel, it is heated to 1650 ° C, for example. As described above, the heating can be performed using any heating conditions necessary for forming a lens array having a desired shape and size on the main surface of the temporary molded product with high accuracy.

この熱間モールド工程(S40)におけるプレス圧力の印加は、仮成形品の焼結および塑性変形が起こる温度以上で行なうのが基本である。しかし、仮成形品の強度に問題がなければ、加熱前から圧力を印加してもよい。   The application of the pressing pressure in the hot molding step (S40) is basically performed at a temperature at which sintering and plastic deformation of the temporary molded product occur. However, if there is no problem with the strength of the temporary molded product, pressure may be applied before heating.

図2は、個々の光学曲面部が六角格子状に配置されたレンズアレイの概略平面図である。図3は、個々の光学曲面部が四角格子状に配置されたレンズアレイの概略平面図である。図4は、四角格子状に配置された個々の光学曲面部の一部が重なっているレンズアレイの概略平面図である。仮成形品の主表面(図2〜図4においては円形状の主表面)上に、複数個の光学セラミックレンズ1としての有効部分である光学曲面部(図2〜図4における光学セラミックレンズ1の円形の内部の領域)を形成することによってレンズアレイ10を構成する場合、図2に示すように複数個の光学セラミックレンズ1が六角格子を形成するように配置されていてもよいし、図3に示すように概ね四角格子を形成するように配置されていてもよい。さらに、概ね四角格子を形成するように配置されたレンズアレイ10のなかでも、図4に示すように図3より密に配置されていてもよい。   FIG. 2 is a schematic plan view of a lens array in which individual optical curved surface portions are arranged in a hexagonal lattice shape. FIG. 3 is a schematic plan view of a lens array in which individual optical curved surface portions are arranged in a square lattice pattern. FIG. 4 is a schematic plan view of a lens array in which a part of each optical curved surface portion arranged in a square lattice shape overlaps. On the main surface of the temporary molded product (circular main surface in FIGS. 2 to 4), an optical curved surface portion (the optical ceramic lens 1 in FIGS. 2 to 4) that is an effective portion as the plurality of optical ceramic lenses 1. When the lens array 10 is formed by forming a circular inner region), a plurality of optical ceramic lenses 1 may be arranged so as to form a hexagonal lattice as shown in FIG. As shown in FIG. 3, they may be arranged so as to form a substantially square lattice. Further, among the lens arrays 10 arranged so as to form a substantially square lattice, they may be arranged more densely than FIG. 3 as shown in FIG.

図2における光学セラミックレンズ1の複数本の縦接線4および斜め接線5は、これらの縦接線4および斜め接線5により囲まれる領域の形状が六角形となるように配置されている。また、図3における光学セラミックレンズ1の複数本の縦接線6および横接線7は、これらの縦接線6および横接線7により囲まれる領域の形状が四角形となるように配置されている。また、図4における光学セラミックレンズ1の複数本の縦線11および横線12は、図4の平面図上において重畳する光学セラミックレンズ1の円周の交点を結んでなる直線であり、これらが概ね四角格子を形成するように配置されている。   The plurality of vertical tangent lines 4 and oblique tangent lines 5 of the optical ceramic lens 1 in FIG. 2 are arranged such that the shape of the region surrounded by these vertical tangent lines 4 and oblique tangent lines 5 is a hexagon. Further, the plurality of vertical tangent lines 6 and horizontal tangent lines 7 of the optical ceramic lens 1 in FIG. 3 are arranged so that the shape of the region surrounded by the vertical tangent lines 6 and the horizontal tangent lines 7 is a square. Also, the plurality of vertical lines 11 and horizontal lines 12 of the optical ceramic lens 1 in FIG. 4 are straight lines connecting the intersections of the circumferences of the optical ceramic lens 1 that are superimposed on the plan view of FIG. They are arranged to form a square lattice.

すなわち、図2〜図4に示すようなレンズアレイ10が形成できるように複数個の成形面が配置された成形型を用いて熱間モールド工程(S40)を行なうことが好ましい。また、図2〜図4における各光学セラミックレンズ1の光学曲面部がなす、レンズアレイ10の主表面に沿った方向の平面視における円形の直径は、形成しようとする光学セラミックレンズ1の寸法に合わせて、1mm以上5mm以下とすることが好ましい。   That is, it is preferable to perform the hot molding step (S40) using a molding die in which a plurality of molding surfaces are arranged so that the lens array 10 as shown in FIGS. 2 to 4, the circular diameter in plan view in the direction along the main surface of the lens array 10 formed by the optical curved surface portion of each optical ceramic lens 1 is the size of the optical ceramic lens 1 to be formed. In addition, the thickness is preferably set to 1 mm or more and 5 mm or less.

図5は、図2の線分V−Vにおける概略断面図である。また、図6は、図3の線分VI−VIにおける概略断面図である。なお、図5および図6においては、各断面図中に実際に配置される光学セラミックレンズ1の個数に対して一部を省略している。   FIG. 5 is a schematic cross-sectional view taken along line VV in FIG. 6 is a schematic sectional view taken along line VI-VI in FIG. 5 and 6, a part of the number of the optical ceramic lenses 1 actually arranged in each cross-sectional view is omitted.

図2における六角形状のレンズアレイ10の配置では、個々の光学セラミックレンズ1の光学曲面部の平面視における円形の外周部は、互いに隣同士に配置されているものであっても直接的に接触していない。より具体的には、図5の断面図に示すように、光学セラミックレンズ1の光学曲面部の平面視における円形の直径Dが、レンズアレイ10において隣接する光学セラミックレンズ1の中心間距離LR(隣り合う光学セラミックレンズ1の光学曲面部がなす中心間の距離)よりも小さくなっている。   In the arrangement of the hexagonal lens array 10 in FIG. 2, the circular outer peripheral portions in plan view of the optical curved surface portions of the individual optical ceramic lenses 1 are in direct contact with each other even if they are arranged next to each other. Not done. More specifically, as shown in the cross-sectional view of FIG. 5, the circular diameter D in the plan view of the optical curved surface portion of the optical ceramic lens 1 is the center distance LR ( The distance between the centers of the optical curved surface portions of the adjacent optical ceramic lenses 1 is smaller.

中心間距離LRとはより具体的には、隣り合う光学セラミックレンズ1の光学曲面部がなすたとえば球面などの中心間距離、言い換えれば図2〜図4に示す平面図において隣り合う光学セラミックレンズ1のなす円形の中心間距離をいう。図5に示すように一の光学セラミックレンズ1のレンズとして作用する有効部分である光学曲面部と、当該一の光学セラミックレンズ1の隣に配置された他の光学セラミックレンズ1の光学曲面部との間に、光学セラミックレンズとして利用しない間隙領域2が存在するようにレンズアレイ10を形成してもよい。このようにすれば、後の工程においてレンズアレイ10を個々の光学セラミックレンズ1ごとに分割する際に、分割を行なうことができる領域(つまりダイシングなどの方法により分割する位置である分割線8を配置することができる領域)は間隙領域2の全体となる。したがって間隙領域2を設ければ、間隙領域2が存在しない場合に比べて、分割を行なうことができる範囲が広いため、当該分割する作業を容易に行なうことができる。その結果、より高い効率で光学セラミックレンズ1を生産することができ、当該光学セラミックレンズ1のコストをさらに低減させることができる。   More specifically, the center-to-center distance LR is the distance between the centers of, for example, spherical surfaces formed by the optical curved surface portions of the adjacent optical ceramic lenses 1, in other words, the adjacent optical ceramic lenses 1 in the plan views shown in FIGS. This is the distance between the centers of the circles. As shown in FIG. 5, an optical curved surface portion that is an effective portion that functions as a lens of one optical ceramic lens 1, and an optical curved surface portion of another optical ceramic lens 1 arranged next to the one optical ceramic lens 1 The lens array 10 may be formed so that there is a gap region 2 that is not used as an optical ceramic lens. In this way, when the lens array 10 is divided into the individual optical ceramic lenses 1 in the subsequent process, the dividing area 8 (that is, the dividing line 8 that is a position to be divided by a method such as dicing) is formed. The region that can be arranged) is the entire gap region 2. Therefore, if the gap region 2 is provided, the range in which the division can be performed is wider than that in the case where the gap region 2 does not exist, and therefore the division operation can be easily performed. As a result, the optical ceramic lens 1 can be produced with higher efficiency, and the cost of the optical ceramic lens 1 can be further reduced.

一方、図3における四角格子状のレンズアレイ10の配置は、個々の光学セラミックレンズ1のうち、互いに隣同士に配置されているものの光学曲面部の平面視における円形の外周部は接触している。図3における縦接線6および横接線7は、隣同士に配置される光学セラミックレンズ1のなす円形の接点同士を結んでなる接線となっている。より具体的には、図6の断面図に示すように、レンズアレイ10の主表面に沿った方向における光学セラミックレンズ1の光学曲面部がなす円形の直径Dが、レンズアレイ10において隣接する光学セラミックレンズ1の中心間距離LR(隣り合う光学セラミックレンズ1の光学曲面部がなす中心間の距離)と等しくなっている。   On the other hand, in the arrangement of the rectangular lattice-shaped lens array 10 in FIG. 3, among the individual optical ceramic lenses 1, the circular outer peripheral portions in a plan view of the optical curved surface portion are in contact with each other. . The vertical tangent 6 and the horizontal tangent 7 in FIG. 3 are tangents formed by connecting the circular contacts formed by the adjacent optical ceramic lenses 1. More specifically, as shown in the sectional view of FIG. 6, the circular diameter D formed by the optical curved surface portion of the optical ceramic lens 1 in the direction along the main surface of the lens array 10 is adjacent to the optical element in the lens array 10. The distance LR between the centers of the ceramic lenses 1 is equal to the distance between the centers formed by the optical curved surface portions of the adjacent optical ceramic lenses 1.

図3、図6に示すレンズアレイ10の場合、図5に示すような間隙領域2が存在しないため、仮成形品のうち光学セラミックレンズ1を得るために有効に利用できる領域の割合を大きくすることができ、1回の処理により得ることができる光学セラミックレンズ1の個数をさらに増やすことができる。したがって、より高い効率で光学セラミックレンズ1を生産することができ、当該光学セラミックレンズ1のコストをさらに低減させることができる。   In the case of the lens array 10 shown in FIGS. 3 and 6, since the gap region 2 as shown in FIG. 5 does not exist, the ratio of the region that can be effectively used to obtain the optical ceramic lens 1 in the temporary molded product is increased. The number of the optical ceramic lenses 1 that can be obtained by one treatment can be further increased. Therefore, the optical ceramic lens 1 can be produced with higher efficiency, and the cost of the optical ceramic lens 1 can be further reduced.

さらに、図4におけるレンズアレイの配置は、個々の光学セラミックレンズ1のうち、互いに隣同士に配置されているものの光学曲面部の平面視における円形の外周部が重なっている。すなわち、互いに隣同士に配置される光学曲面部の一部が重畳している。したがって、図4におけるレンズアレイ10の配置は、図3におけるレンズアレイ10の配置よりもさらに個々の光学セラミックレンズ1を密に配置させたものとなっている。より具体的には、図4、図7を参照して、光学セラミックレンズ1の光学曲面部の平面視における円形の直径Dが、レンズアレイ10において隣接する光学セラミックレンズ1の中心間距離LR(隣り合う光学セラミックレンズ1の光学曲面部がなす中心間の距離)よりも大きくなっている。図4(図7)の場合、中心間距離LRは隣り合う縦線11、横線12の距離に等しい。   Further, in the arrangement of the lens array in FIG. 4, among the individual optical ceramic lenses 1, the circular outer peripheral portions in plan view of the optical curved surface portions of those arranged adjacent to each other overlap. That is, a part of the optical curved surface portions arranged next to each other overlap each other. Therefore, the arrangement of the lens array 10 in FIG. 4 is such that the individual optical ceramic lenses 1 are arranged more densely than the arrangement of the lens array 10 in FIG. More specifically, referring to FIG. 4 and FIG. 7, the circular diameter D in the plan view of the optical curved surface portion of the optical ceramic lens 1 is the distance LR (center-to-center between adjacent optical ceramic lenses 1 in the lens array 10. The distance between the centers formed by the optical curved surface portions of the adjacent optical ceramic lenses 1 is larger. In the case of FIG. 4 (FIG. 7), the center-to-center distance LR is equal to the distance between the adjacent vertical line 11 and horizontal line 12.

図7は、図4中の領域VIIを拡大した立体斜視図である。図7に示すように、図4におけるレンズアレイ10の配置は、たとえば図3のレンズアレイ10における個々の光学セラミックレンズ1の光学曲面部を、レンズアレイ10の主表面に沿った平面上で、縦線11または横線12に沿った方向に移動させ、隣り合う光学セラミックレンズ1の光学曲面部の一部同士が重畳するように配置させたものである。したがって、図4におけるレンズアレイ10は、図3におけるレンズアレイ10よりも、光学セラミックレンズ1の光学曲面部の個数を多くすることができる。すなわち、図4、図7に示すレンズアレイ10の場合、1台のレンズアレイ10から得ることができる光学セラミックレンズ1の個数を、図3、図6に示すレンズアレイ10よりもさらに増やすことができる。したがって、より高い効率で光学セラミックレンズ1を生産することができ、当該光学セラミックレンズ1のコストをさらに低減させることができる。   FIG. 7 is a three-dimensional perspective view in which the region VII in FIG. 4 is enlarged. As shown in FIG. 7, the arrangement of the lens array 10 in FIG. 4 is such that, for example, the optical curved surface portion of each optical ceramic lens 1 in the lens array 10 in FIG. 3 is arranged on a plane along the main surface of the lens array 10. It is moved in the direction along the vertical line 11 or the horizontal line 12 and arranged so that parts of the optical curved surface portions of the adjacent optical ceramic lenses 1 overlap each other. Therefore, the lens array 10 in FIG. 4 can have a larger number of optical curved surface portions of the optical ceramic lens 1 than the lens array 10 in FIG. That is, in the case of the lens array 10 shown in FIGS. 4 and 7, the number of the optical ceramic lenses 1 that can be obtained from one lens array 10 can be further increased as compared with the lens array 10 shown in FIGS. 3 and 6. it can. Therefore, the optical ceramic lens 1 can be produced with higher efficiency, and the cost of the optical ceramic lens 1 can be further reduced.

なお、図4、図7においては、縦線11の方向およびこれに交差する横線12の方向の両方において、光学セラミックレンズ1の光学曲面部の円形が重畳している。しかし、縦線11の方向または横線12の方向のいずれか一方の方向に関してのみ、光学曲面部の円形が重畳しており、他方の方向に関してはたとえば図3、図6に示すような配置を有するレンズアレイ10を形成してもよい。この場合においても、1台のレンズアレイ10から得ることができる光学セラミックレンズ1の個数を、図3、図6に示すレンズアレイ10よりもさらに増やすことができる。   4 and 7, the circular shape of the optical curved surface portion of the optical ceramic lens 1 is superimposed in both the direction of the vertical line 11 and the direction of the horizontal line 12 intersecting with the vertical line 11. However, the circular shape of the optical curved surface portion is overlapped only in one of the direction of the vertical line 11 or the direction of the horizontal line 12, and the other direction has an arrangement as shown in FIGS. 3 and 6, for example. The lens array 10 may be formed. Even in this case, the number of the optical ceramic lenses 1 that can be obtained from one lens array 10 can be further increased as compared with the lens array 10 shown in FIGS.

図4、図7におけるレンズアレイ10の配置により得られる光学セラミックレンズ1は、図3、図6におけるレンズアレイ10の配置により得られる光学セラミックレンズ1に比べて個々の光学曲面部をなす領域が小さくなる。しかし、結像の精度の要求により、小さな光学曲面部で十分なレンズを生産する場合には、図4、図7におけるレンズアレイ10の配置は非常に有効となる。   The optical ceramic lens 1 obtained by the arrangement of the lens array 10 in FIGS. 4 and 7 has areas forming individual optical curved surface portions as compared to the optical ceramic lens 1 obtained by the arrangement of the lens array 10 in FIGS. Get smaller. However, the arrangement of the lens array 10 in FIGS. 4 and 7 is very effective when a sufficient lens is produced with a small optical curved surface due to the requirement of imaging accuracy.

以上の手法により所望の形状や寸法を有する光学セラミックレンズ1がフライアイレンズ状に形成できたところで、図1に示すように洗浄工程(S50)を実施する。この洗浄工程(S50)では、レンズアレイ10の表面から異物を除去するために、従来周知の任意の洗浄方法を適用してもよい。その後、ARコート工程(S60)により、各光学セラミックレンズ1の光学曲面部の表面に薄膜をコーティングする処理を行なう。この薄膜とは、当該光学セラミックレンズ1をたとえば上述した人感センサに用いるために、当該光学セラミックレンズ1に赤外線などの光を照射したときに、当該赤外線が光学セラミックレンズ1の表面にて不必要に反射する現象などが発生することを抑制するために形成される薄膜である。なお、これらの工程(S50)、工程(S60)については実施を省略してもよい。   When the optical ceramic lens 1 having a desired shape and size can be formed into a fly-eye lens shape by the above method, a cleaning step (S50) is performed as shown in FIG. In this cleaning step (S50), any conventionally known cleaning method may be applied to remove foreign matter from the surface of the lens array 10. Thereafter, a process of coating a thin film on the surface of the optical curved surface portion of each optical ceramic lens 1 is performed by the AR coating step (S60). This thin film means that when the optical ceramic lens 1 is irradiated with light such as infrared rays so that the optical ceramic lens 1 is used for, for example, the human sensor described above, the infrared rays are not reflected on the surface of the optical ceramic lens 1. It is a thin film formed in order to suppress the occurrence of a phenomenon of reflection that is necessary. Note that these steps (S50) and step (S60) may be omitted.

そして分割工程(S70)を行なう。これはレンズアレイ10を、個々の光学セラミックレンズ1に分割する工程である。たとえば50ミクロンから200ミクロン程度の厚みのダイヤモンドブレードを高速で回転し、たとえば図5の断面図においては間隙領域2の分割線8において、図6の断面図においては隣接する光学セラミックレンズ1の縦接線6(および図3の横接線7)において切断する。また、図7の斜視図においては縦線11および横線12において切断する。このようにすればレンズアレイ10から、光学セラミックレンズ1が個々に分割される。   Then, a dividing step (S70) is performed. This is a process of dividing the lens array 10 into individual optical ceramic lenses 1. For example, a diamond blade having a thickness of about 50 to 200 microns is rotated at a high speed. For example, in the sectional view of FIG. 5, the dividing line 8 of the gap region 2 and in the sectional view of FIG. Cut at tangent 6 (and transverse tangent 7 in FIG. 3). Also, in the perspective view of FIG. In this way, the optical ceramic lenses 1 are individually divided from the lens array 10.

以上のように分割工程(S70)における切断の処理は、ダイヤモンドブレードによるダイシングにより行なってもよい。特に、形成される光学セラミックレンズ1の外形公差、偏芯を重視する場合は、位置決め精度の高いダイヤモンドブレードを用いて切断することが好ましい。このときの切断速度はたとえば3mm/secとすることが好ましい。ただしレンズアレイ10の厚みにより0.5mm以上40mm以下の任意の条件を用いることができる。ただし、当該分割工程(S70)は、上述したダイヤモンドブレードダイシングの代わりに、たとえばレーザーダイシング、ウォータージェット、超音波を利用したブレードダイシング、放電加工、エッチングなどの方法を用いて行なってもよい。   As described above, the cutting process in the dividing step (S70) may be performed by dicing with a diamond blade. In particular, when emphasizing the outer tolerance and eccentricity of the formed optical ceramic lens 1, it is preferable to cut with a diamond blade having high positioning accuracy. The cutting speed at this time is preferably 3 mm / sec, for example. However, arbitrary conditions of 0.5 mm or more and 40 mm or less can be used depending on the thickness of the lens array 10. However, the dividing step (S70) may be performed using a method such as laser dicing, water jet, blade dicing using ultrasonic waves, electric discharge machining, etching, or the like instead of the above-described diamond blade dicing.

たとえば従来の製造方法のように1回の処理により1個のレンズが形成される方法を用いる場合、図1における粉末プレス工程(S20)、仮焼成工程(S30)、熱間モールド工程(S40)はすべて、形成したい光学セラミックレンズ1の個数に等しい回数だけ繰り返し行なう必要がある。しかし、本実施の形態の製造方法を用いる場合、分割工程(S70)が新たに加わるものの、1つのレンズアレイ10から形成する光学セラミックレンズ1の個数にかかわらず、上述した工程(S20)、(S30)、(S40)を1回行なえば、1つのレンズアレイ10に含まれる光学曲面部の個数に等しい光学セラミックレンズ1を形成することができる。また、洗浄工程(S50)やARコート工程(S60)についても、レンズアレイ10の状態で行なうことができるため、単一の光学セラミックレンズのそれぞれに対して処理を行なう場合に比べて作業を容易に行なうことができる。また、特に光学セラミックレンズのサイズが小さい場合には、このような作業性の向上という効果は顕著である。したがって、全工程を総合的に考慮すれば、本実施の形態の製造方法を用いることにより、従来の製造方法を用いる場合に比べて、作業の効率を高め、製品のコストを大幅に低減することができる。   For example, in the case of using a method in which one lens is formed by a single process as in the conventional manufacturing method, the powder pressing step (S20), temporary firing step (S30), and hot molding step (S40) in FIG. Must be repeated a number of times equal to the number of optical ceramic lenses 1 to be formed. However, in the case of using the manufacturing method of the present embodiment, although the dividing step (S70) is newly added, the above-described steps (S20), (regardless of the number of the optical ceramic lenses 1 formed from one lens array 10). If S30) and (S40) are performed once, the optical ceramic lens 1 equal to the number of optical curved surface portions included in one lens array 10 can be formed. Further, since the cleaning step (S50) and the AR coating step (S60) can be performed in the state of the lens array 10, the work is easier than when processing is performed for each single optical ceramic lens. Can be done. In particular, when the size of the optical ceramic lens is small, such an effect of improving workability is remarkable. Therefore, if all processes are considered comprehensively, using the manufacturing method of the present embodiment will increase the work efficiency and greatly reduce the cost of the product compared to the case of using the conventional manufacturing method. Can do.

さらに、小型のレンズの場合、従来の製造方法を発展させて、型に複数個のレンズ面を設けて、独立した仮成形品を並べて、熱間モールド成形することが考えられる。その場合、仮成形品が独立しているため、その形状のばらつきや型へのセット誤差の影響が大きく、成形される光学セラミックレンズの品質ばらつきが大きくなることがある。しかし、本実施の形態の製造方法を用いる場合、多数個の光学セラミックレンズ1を一体化したシートとして1回の処理で同時成形することができる。このため、形成される個々の光学セラミックレンズ1の間の品質面の偏差は、成形型の成形面の精度に依存する。したがって、光学曲面部を形成する熱間モールド工程(S40)の段階で成形される光学曲面部での形状精度や光透過率などの品質の偏差を最小限に抑えることができる。特に光学セラミックレンズ1のサイズが小さい場合には、このような品質安定の効果が顕著となる。   Further, in the case of a small lens, it is conceivable to develop a conventional manufacturing method, provide a plurality of lens surfaces on a mold, arrange independent temporary molded products, and perform hot molding. In that case, since the temporary molded product is independent, the influence of the variation in the shape and the set error on the mold is large, and the quality variation of the formed optical ceramic lens may be large. However, when the manufacturing method of the present embodiment is used, it is possible to simultaneously mold a large number of optical ceramic lenses 1 as an integrated sheet by a single process. For this reason, the quality deviation between the individual optical ceramic lenses 1 to be formed depends on the accuracy of the molding surface of the mold. Therefore, it is possible to minimize deviations in quality such as shape accuracy and light transmittance in the optical curved surface portion formed in the hot molding step (S40) for forming the optical curved surface portion. In particular, when the size of the optical ceramic lens 1 is small, such a quality stabilizing effect becomes remarkable.

さらに、本実施の形態の製造方法においては、最後に分割工程(S70)を行なうまではレンズアレイ10としてロットが管理され、個々のレンズに分割されてフリーの状態となっていない。このため、製造工程の途中における製品の管理が容易となる。   Furthermore, in the manufacturing method of the present embodiment, the lot is managed as the lens array 10 until the last division step (S70), and the lot is not divided into individual lenses. For this reason, the management of the product in the middle of a manufacturing process becomes easy.

また、本実施の形態の製造方法を用いれば、形成される光学セラミックレンズ1の品質を安定させることができる。このため、分割工程(S70)における切断を精密に位置決めして行なえば、個々の光学セラミックレンズ1を形成させた後に行なう、たとえば心取工程などの、製品の品質面の偏差を小さくするための処理を省略することができる。このことからも、本実施の形態の製造方法を用いることにより、従来の製造方法を用いる場合に比べて、作業の効率を高めることができる。   Moreover, if the manufacturing method of this Embodiment is used, the quality of the optical ceramic lens 1 formed can be stabilized. For this reason, if the cutting in the dividing step (S70) is performed with a precise positioning, it is performed after forming the individual optical ceramic lenses 1, for example, to reduce deviations in product quality such as a centering step. Processing can be omitted. Also from this fact, by using the manufacturing method of the present embodiment, it is possible to increase work efficiency as compared with the case of using the conventional manufacturing method.

以上の手順により所望の寸法、形状を有する複数個の光学セラミックレンズ1が形成される。ここで、形成された光学セラミックレンズ1について詳述する。個々の分割された光学セラミックレンズ1は、たとえば図5や図6における分割線8や縦接線6などで分割されたものである。   By the above procedure, a plurality of optical ceramic lenses 1 having desired dimensions and shapes are formed. Here, the formed optical ceramic lens 1 will be described in detail. Each divided optical ceramic lens 1 is divided by, for example, the dividing line 8 or the longitudinal tangent 6 in FIGS. 5 and 6.

ところで、たとえばレンズアレイ10を形成するための成形型を、仮成形品の一方の主表面(図5〜図7における上側)のみに使用すれば、図5や図6の断面図に示すように一方(図5〜図7における上側)のみに光学曲面部としての凸曲面1a、1cを有する光学セラミックレンズ1が形成される。この場合、当該光学セラミックレンズ1の、図5〜図7における下側の主表面には光学曲面部は形成されておらず、仮成形品の主表面を形成する平面9が光学セラミックレンズ1の一方の主表面を構成する。   By the way, for example, if a mold for forming the lens array 10 is used only on one main surface (upper side in FIGS. 5 to 7) of the temporary molded product, as shown in the sectional views of FIGS. The optical ceramic lens 1 having convex curved surfaces 1a and 1c as optical curved surface portions is formed only on one side (upper side in FIGS. 5 to 7). In this case, no optical curved surface portion is formed on the lower main surface of the optical ceramic lens 1 in FIGS. 5 to 7, and the flat surface 9 forming the main surface of the temporary molded product is the optical ceramic lens 1. One main surface is constituted.

光学セラミックレンズ1は、上述した図5〜図7に示す形態のものを個々に分割することにより形成できる、仮成形品の一方の主表面のみに光学曲面部を備えた平凸レンズであってもよい。しかしたとえば当該成形型を、仮成形品の一方の主表面および、一方の主表面に対向する他方の主表面(図5〜図7における上側および下側)の両方に使用すれば、両方の主表面に光学曲面部を有する光学セラミックレンズ1が形成される。したがって光学セラミックレンズ1は両側の主表面に光学曲面部を有する両凸レンズであってもよい。あるいは光学セラミックレンズ1は、一方の主表面に光学曲面部を有し、他方の主表面に光学曲面部と反対方向に屈曲した凹形状部を有するメニスカスレンズであってもよい。さらに光学セラミックレンズ1は、両側の主表面に凹形状部を有する両凹レンズであってもよい。図8は、両方の主表面側に光学曲面部を有する、図2のレンズアレイから分割された光学セラミックレンズ1の、主表面に交差する方向における断面図である。図9は、両方の主表面側に光学曲面部を有する、図3(図4)のレンズアレイから分割された光学セラミックレンズ1の、主表面に交差する方向における断面図である。   The optical ceramic lens 1 may be a plano-convex lens having an optical curved surface portion only on one main surface of a temporary molded product, which can be formed by individually dividing the above-described forms shown in FIGS. Good. However, for example, if the mold is used for both one main surface of the temporary molded product and the other main surface (the upper side and the lower side in FIGS. 5 to 7) opposite to the one main surface, both main surfaces are used. An optical ceramic lens 1 having an optical curved surface portion on the surface is formed. Therefore, the optical ceramic lens 1 may be a biconvex lens having optical curved surface portions on both main surfaces. Alternatively, the optical ceramic lens 1 may be a meniscus lens having an optical curved surface portion on one main surface and a concave shape portion bent in the opposite direction to the optical curved surface portion on the other main surface. Furthermore, the optical ceramic lens 1 may be a biconcave lens having concave portions on the main surfaces on both sides. FIG. 8 is a cross-sectional view of the optical ceramic lens 1 divided from the lens array of FIG. 2 having optical curved surface portions on both main surface sides in a direction intersecting the main surface. 9 is a cross-sectional view of the optical ceramic lens 1 divided from the lens array of FIG. 3 (FIG. 4) having optical curved surface portions on both main surface sides in a direction intersecting the main surface.

図8に示す光学セラミックレンズ100は、間隙領域3を含むように配置されたレンズアレイ(図2、図5参照)から形成されたものである。図8における断面図は、縦接線4または斜め接線5に略平行に切断した光学セラミックレンズ100を、主表面に交差する方向から見た断面図である。そして図8における上側に光学曲面部としての凸曲面1a、そして光学セラミックレンズ1の主表面に関して凸曲面1aと対向する、図8における下側には光学曲面部としての凸曲面1bが配置される。図8における左端および右端は、分割工程(S70)においてレンズアレイから分割された分割線8となっている。   An optical ceramic lens 100 shown in FIG. 8 is formed from a lens array (see FIGS. 2 and 5) arranged so as to include the gap region 3. The cross-sectional view in FIG. 8 is a cross-sectional view of the optical ceramic lens 100 cut substantially parallel to the longitudinal tangent line 4 or the oblique tangent line 5 as seen from the direction intersecting the main surface. Then, a convex curved surface 1a as an optical curved surface portion is arranged on the upper side in FIG. 8, and a convex curved surface 1b as an optical curved surface portion is arranged on the lower side in FIG. . The left end and the right end in FIG. 8 are dividing lines 8 divided from the lens array in the dividing step (S70).

一方、図9に示す光学セラミックレンズ200は、間隙領域を含まないレンズアレイ(図3、図4、図6、図7参照)から形成されたものである。図9における断面図は、図3の縦接線6または横接線7、図4の縦線11または横線12に略平行に切断した光学セラミックレンズ200を、主表面に交差する方向から見た断面図である。そして図9における上側に光学曲面部としての凸曲面1c、そして光学セラミックレンズ1の主表面に関して凸曲面1cと対向する、図9における下側には光学曲面部としての凸曲面1dが配置される。図9における左端および右端は、分割工程(S70)においてレンズアレイから分割された縦接線6または横接線7となっている。図8および図9に示すような光学セラミックレンズ1も、上述した本発明による製造方法を用いて製造することができる。   On the other hand, the optical ceramic lens 200 shown in FIG. 9 is formed from a lens array that does not include a gap region (see FIGS. 3, 4, 6, and 7). 9 is a cross-sectional view of the optical ceramic lens 200 cut substantially parallel to the vertical tangent line 6 or horizontal tangent line 7 of FIG. 3 and the vertical line 11 or horizontal line 12 of FIG. 4 as viewed from the direction intersecting the main surface. It is. A convex curved surface 1c as an optical curved surface portion is arranged on the upper side in FIG. 9, and a convex curved surface 1d as an optical curved surface portion is arranged on the lower side in FIG. . The left end and the right end in FIG. 9 are the vertical tangent line 6 or the horizontal tangent line 7 divided from the lens array in the dividing step (S70). The optical ceramic lens 1 as shown in FIGS. 8 and 9 can also be manufactured using the manufacturing method according to the present invention described above.

なお、図5〜図9に示す凸曲面1a、1b、1c、1dの形状は、球面であってもよいが、たとえば非球面や回折面であってもよい。   The convex curved surfaces 1a, 1b, 1c, and 1d shown in FIGS. 5 to 9 may be spherical surfaces, but may be aspherical surfaces or diffractive surfaces, for example.

以下に、以上に述べた本実施の形態の製造方法において形成する光学セラミックレンズの一例について説明する。レンズアレイ10はたとえば主表面が直径50mmの円形をなすシートである。そして当該レンズアレイ10の主表面上に、たとえば図4に示す、隣り合う縦線11および横線12の間隔が2mmとなるよう、四角格子状に配置された光学セラミックレンズ1を17行×17列=289個形成する。光学セラミックレンズ1の光学曲面部は一方の主表面が半径3mmの球面、他方の主表面が平面の平凸レンズであり、光学曲面部の最も高い(厚みの大きい)箇所における厚み(中心厚)は2mmである。当該光学曲面部の設計値との偏差の最大値と最小値との幅であるPV値は1.5μmである。このようにして光学曲面部が形成されたレンズアレイ10は、図7の斜視図に示す光学曲面部を有するものである。これを個々の光学セラミックレンズに分割することにより、角型レンズが形成される。   Below, an example of the optical ceramic lens formed in the manufacturing method of this Embodiment described above is demonstrated. The lens array 10 is, for example, a sheet whose main surface is a circle having a diameter of 50 mm. Then, on the main surface of the lens array 10, for example, the optical ceramic lenses 1 arranged in a square lattice shape as shown in FIG. 4 so that the interval between the adjacent vertical lines 11 and horizontal lines 12 is 2 mm are arranged in 17 rows × 17 columns. = 289. The optical curved surface portion of the optical ceramic lens 1 is a plano-convex lens in which one main surface is a spherical surface having a radius of 3 mm and the other main surface is a plane, and the thickness (center thickness) at the highest (largest) portion of the optical curved surface portion is 2 mm. The PV value, which is the width between the maximum value and the minimum value of the deviation from the design value of the optical curved surface portion, is 1.5 μm. The lens array 10 thus formed with the optical curved surface portion has the optical curved surface portion shown in the perspective view of FIG. By dividing this into individual optical ceramic lenses, a square lens is formed.

今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。   It should be understood that the embodiments and examples disclosed herein are illustrative and non-restrictive in every respect. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.

本発明は、光学セラミックレンズの製造工程における高効率化およびコスト削減を行なうための技術として、特に優れている。   The present invention is particularly excellent as a technique for improving efficiency and reducing costs in the manufacturing process of an optical ceramic lens.

本発明の実施の形態に係る光学セラミックレンズの製造方法を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the manufacturing method of the optical ceramic lens which concerns on embodiment of this invention. 個々の光学曲面部が六角格子状に配置されたレンズアレイの概略平面図である。It is a schematic plan view of a lens array in which individual optical curved surface portions are arranged in a hexagonal lattice shape. 個々の光学曲面部が四角格子状に配置されたレンズアレイの概略平面図である。It is a schematic plan view of a lens array in which individual optical curved surface portions are arranged in a square lattice pattern. 四角格子状に配置された個々の光学曲面部の一部が重なっているレンズアレイの概略平面図である。It is a schematic plan view of a lens array in which a part of each optical curved surface portion arranged in a square lattice shape overlaps. 図2の線分V−Vにおける概略断面図である。FIG. 5 is a schematic cross-sectional view taken along line VV in FIG. 2. 図3の線分VI−VIにおける概略断面図である。FIG. 4 is a schematic sectional view taken along line VI-VI in FIG. 3. 図4中の領域VIIを拡大した立体斜視図である。It is the three-dimensional perspective view which expanded the area | region VII in FIG. 両方の主表面側に光学曲面部を有する、図2のレンズアレイから分割された光学セラミックレンズ1の、主表面に交差する方向における断面図である。It is sectional drawing in the direction which cross | intersects the main surface of the optical ceramic lens 1 divided | segmented from the lens array of FIG. 2 which has an optical curved surface part in both main surface sides. 両方の主表面側に光学曲面部を有する、図3(図4)のレンズアレイから分割された光学セラミックレンズ1の、主表面に交差する方向における断面図である。It is sectional drawing in the direction which cross | intersects the main surface of the optical ceramic lens 1 divided | segmented from the lens array of FIG. 3 (FIG. 4) which has an optical curved surface part in both main surface sides.

符号の説明Explanation of symbols

1,100,200 光学セラミックレンズ、1a,1b,1c,1d 凸曲面、2,3 間隙領域、4,6 縦接線、5 斜め接線、7 横接線、8 分割線、9 平面、10 レンズアレイ、11 縦線、12 横線。   1, 100, 200 Optical ceramic lens, 1a, 1b, 1c, 1d Convex curved surface, 2, 3 Gap region, 4, 6 Long tangent, 5 Diagonal tangent, 7 Horizontal tangent, 8 Dividing line, 9 Plane, 10 Lens array, 11 Vertical line, 12 Horizontal line.

Claims (6)

粉末原料を加工して仮成形品を準備する工程と、
前記仮成形品を熱間プレス成形することにより複数個の光学セラミックレンズが集合配置されたレンズアレイを形成する工程と、
前記レンズアレイを分割することにより、前記光学セラミックレンズを得る工程とを備える、光学セラミックレンズの製造方法。
Processing the powder raw material to prepare a temporary molded product;
Forming a lens array in which a plurality of optical ceramic lenses are collectively arranged by hot press molding the temporary molded article;
Obtaining the optical ceramic lens by dividing the lens array.
前記原料粉末は純度99%以上の硫化亜鉛粉末である、請求項1に記載の光学セラミックレンズの製造方法。   The method for producing an optical ceramic lens according to claim 1, wherein the raw material powder is zinc sulfide powder having a purity of 99% or more. 前記レンズアレイを形成する工程では、前記光学セラミックレンズの光学曲面部の平面視における円形の直径が、前記レンズアレイにおいて隣接する前記光学セラミックレンズの中心間距離より小さくなるように前記レンズアレイが形成されている、請求項1または2に記載の光学セラミックレンズの製造方法。   In the step of forming the lens array, the lens array is formed such that a circular diameter of the optical curved surface portion of the optical ceramic lens in plan view is smaller than a center-to-center distance between adjacent optical ceramic lenses in the lens array. The method for producing an optical ceramic lens according to claim 1 or 2, wherein: 前記レンズアレイを形成する工程では、前記光学セラミックレンズの光学曲面部の平面視における円形の直径が、前記レンズアレイにおいて隣接する前記光学セラミックレンズの中心間距離と等しくなるように前記レンズアレイが形成されている、請求項1または2に記載の光学セラミックレンズの製造方法。   In the step of forming the lens array, the lens array is formed such that a circular diameter of the optical curved surface portion of the optical ceramic lens in plan view is equal to a center-to-center distance between adjacent optical ceramic lenses in the lens array. The method for producing an optical ceramic lens according to claim 1 or 2, wherein: 前記レンズアレイを形成する工程では、前記光学セラミックレンズの光学曲面部の平面視における円形の直径が、前記レンズアレイにおいて隣接する前記光学セラミックレンズの中心間距離より大きくなるように前記レンズアレイが形成されている、請求項1または2に記載の光学セラミックレンズの製造方法。   In the step of forming the lens array, the lens array is formed such that a circular diameter of the optical curved surface portion of the optical ceramic lens in a plan view is larger than a center-to-center distance between adjacent optical ceramic lenses in the lens array. The method for producing an optical ceramic lens according to claim 1 or 2, wherein: 請求項1〜5のいずれか1項の製造方法を用いて製造された、光学セラミックレンズ。   The optical ceramic lens manufactured using the manufacturing method of any one of Claims 1-5.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013149771A (en) * 2012-01-19 2013-08-01 Stanley Electric Co Ltd Optical semiconductor device manufacturing method
WO2019142770A1 (en) * 2018-01-19 2019-07-25 住友電気工業株式会社 Infrared lens unit and infrared camera
WO2023176068A1 (en) * 2022-03-16 2023-09-21 ナルックス株式会社 Methods for manufacturing microlens and microlens array

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013149771A (en) * 2012-01-19 2013-08-01 Stanley Electric Co Ltd Optical semiconductor device manufacturing method
WO2019142770A1 (en) * 2018-01-19 2019-07-25 住友電気工業株式会社 Infrared lens unit and infrared camera
JPWO2019142770A1 (en) * 2018-01-19 2021-01-07 住友電気工業株式会社 Infrared lens unit and infrared camera
JP7238797B2 (en) 2018-01-19 2023-03-14 住友電気工業株式会社 Infrared lens unit and infrared camera
WO2023176068A1 (en) * 2022-03-16 2023-09-21 ナルックス株式会社 Methods for manufacturing microlens and microlens array

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