JP2010123605A - Light-emitting device and method of manufacturing the same - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To manufacture a reliable light-emitting device 1 having improved adhesion of a light reflection film 5 by a simple manufacturing method. <P>SOLUTION: The light-emitting device 1 includes: a package 2 having a dent at the center; a light-emitting element 4 stored in the dent 3 and packaged at the bottom of the dent 3; the light reflection film 5 formed on the wall and bottom surfaces of the dent 3 by printing nano metal particles; and a sealing material 6, and the like for sealing the light-emitting element 4. Accordingly, the light-emitting device 1 having a simplified manufacturing method can be provided by improving adhesion to the package 2 of the light reflection film 5. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、発光素子をパッケージに実装した発光デバイスの構造及びその製造方法に関する。   The present invention relates to a structure of a light emitting device in which a light emitting element is mounted in a package, and a method for manufacturing the same.

面発光素子、特にLED(Light Emitting Diode)は、近年、発光輝度等の改善が図られて、用途拡大への期待が高い。従来はプラスチックケースにLEDを実装し、マイクロレンズなどを光路の途中において集光させたり、LED及びLEDを実装した基板全体を、透明な樹脂でモールドし、樹脂の表面を滑らかな球面などに仕上げることで、樹脂をレンズとして使用して集光させたりした。このようなLEDを実装した発光デバイスは、例えば液晶表示装置のバックライト、信号機の発光素子、大型電光掲示板や映像画面、その他イルミネーション用として使用されている。LEDは、低電圧、低消費電力で駆動でき、発光輝度や発光寿命が改善されたことから室内灯や自動車照明、液晶表示画面のバックライト用などの幅広い分野への適用が期待されている。   Surface light emitting elements, particularly LEDs (Light Emitting Diodes), have recently been improved in light emission luminance and the like, and are expected to expand their applications. Conventionally, LEDs are mounted on a plastic case, and a microlens or the like is focused in the middle of the optical path, or the entire substrate on which the LEDs and LEDs are mounted is molded with a transparent resin, and the surface of the resin is finished to a smooth spherical surface. As a result, the resin was condensed as a lens. Light emitting devices mounted with such LEDs are used, for example, as backlights for liquid crystal display devices, light emitting elements for traffic lights, large electronic bulletin boards, video screens, and other illuminations. LEDs can be driven with low voltage and low power consumption, and their emission luminance and emission life have been improved, so that they are expected to be applied to a wide range of fields such as indoor lighting, automobile lighting, and backlights for liquid crystal display screens.

しかし、LED素子単体の発光輝度は他の発光体と比較するといまだ弱く、そのために多数のLED素子をまとめて発光体を構成する必要がある。また、LED素子の発光強度を強くすると発熱量が増大する。LED素子が加熱されると発光効率が低下するので、効果的に放熱できる構造を採用する必要がある。また、蛍光灯等の他の発光体と置き換えるには製造工程を簡単にして製造コストを低下させる必要がある。   However, the luminous intensity of a single LED element is still weak compared to other light emitters. For this reason, it is necessary to configure a light emitter by combining a large number of LED elements. Further, when the emission intensity of the LED element is increased, the amount of heat generation increases. Since the luminous efficiency is lowered when the LED element is heated, it is necessary to adopt a structure that can effectively dissipate heat. Moreover, in order to replace with other light emitters such as a fluorescent lamp, it is necessary to simplify the manufacturing process and reduce the manufacturing cost.

特許文献1には、表面に導体膜を印刷したセラミックグリーンシートを成形加工してキャビティーを形成し、このキャビティーの底部にLEDを実装したLEDパッケージが記載されている。キャビティーの側面には導体膜からなる反射層が形成されている。この反射層は、成形される前のグリーンシート上に印刷法により導体膜を形成し、キャビティーの傾斜部にこの導体膜が位置するようにプレス加工し、その後焼成によるメタライズを行って光反射層としている。キャビティーの底部にはスルーホールが形成され、このスルーホールを介して裏面側に配線が引き出されている。
特開平9−45965号公報
Patent Document 1 describes an LED package in which a ceramic green sheet having a conductor film printed on its surface is molded to form a cavity, and an LED is mounted on the bottom of the cavity. A reflective layer made of a conductor film is formed on the side surface of the cavity. This reflective layer is formed by forming a conductor film on the green sheet before being formed by printing, pressing it so that the conductor film is positioned on the inclined part of the cavity, and then performing metallization by firing to reflect light. It is as a layer. A through hole is formed at the bottom of the cavity, and wiring is drawn out to the back side through the through hole.
JP 9-45965 A

しかしながら、特許文献1に記載されるLEDパッケージは、焼成前に電極や反射膜用の導体膜を形成し、その後プレス加工によりキャビティーを形成し、焼成している。この焼成はセラミックスの焼結なので1000℃以上の高温処理が必要である。そのため、製造工程を通す時間が長くなるとともに、電極パターンを印刷してからプレス加工や高温熱処理を経ることになるので、キャビティーの外形精度や電極パターンの高精細化には限界がある。   However, in the LED package described in Patent Document 1, a conductor film for an electrode and a reflective film is formed before firing, and then a cavity is formed by press working and fired. Since this firing is a ceramic sintering, a high temperature treatment of 1000 ° C. or higher is required. For this reason, the time for passing through the manufacturing process becomes longer, and the electrode pattern is printed and then subjected to press working and high-temperature heat treatment, so that there is a limit to the accuracy of the outer shape of the cavity and the high definition of the electrode pattern.

本発明においては、上記課題を解決するために、以下の構成とした。
(1)中央部に窪みを有するパッケージと、前記窪みに収納され、前記窪みの底部に実装された発光素子と、前記窪みの壁面と底面に、ナノ金属粒子を熱処理して形成された光反射膜と、前記発光素子を封止する封止材と、を備える発光デバイスとした。
In the present invention, in order to solve the above problems, the following configuration is adopted.
(1) A package having a depression at the center, a light emitting element housed in the depression and mounted on the bottom of the depression, and light reflection formed by heat-treating nano metal particles on the wall and bottom of the depression. A light emitting device including a film and a sealing material for sealing the light emitting element was obtained.

(2)上記(1)の発光デバイスにおいて、ナノ金属粒子は、ナノ銀粒子とした。   (2) In the light emitting device of (1), the nano metal particles are nano silver particles.

(3)上記(1)または(2)の発光デバイスにおいて、パッケージは、ガラス材料、セラミックス材料、窒化アルミニウム材料、金属材料又は樹脂材料から一体的に形成されるようにした。   (3) In the light emitting device according to (1) or (2), the package is integrally formed of a glass material, a ceramic material, an aluminum nitride material, a metal material, or a resin material.

(4)上記(1)〜(3)のいずれか1の発光デバイスにおいて、中央に形成した窪みは、窪みの底部から上部にかけて口径が末広状に拡大する形状を有することとした。   (4) In the light emitting device according to any one of the above (1) to (3), the recess formed in the center has a shape in which the diameter expands from the bottom to the top of the recess.

(5)中央部に窪みを有するパッケージを形成する工程と、前記窪みの壁面及び底面にナノ金属粒子を付着させ、これを熱処理して光反射膜を形成する工程と、前記窪みの底面に発光素子を実装する工程と、前記発光素子を封止材により封止する工程と、を含む発光デバイスの製造方法とした。   (5) A step of forming a package having a depression at the center, a step of attaching nano metal particles to the wall surface and bottom surface of the depression, heat-treating it to form a light reflecting film, and a light emission on the bottom surface of the depression The light emitting device manufacturing method includes a step of mounting an element and a step of sealing the light emitting element with a sealing material.

(6)上記(5)の発光デバイスの製造方法において、前記光反射膜を形成する工程の前に、前記窪みの壁面を撥水性表面に置換する工程を有することとした。   (6) In the method for manufacturing a light-emitting device according to (5), a step of replacing the wall surface of the depression with a water-repellent surface is provided before the step of forming the light reflecting film.

(7)上記(5)又は(6)の発光デバイスの製造方法において、パッケージを形成する工程において、窪みはパッケージ材料を成形加工して形成することとした。   (7) In the method for manufacturing a light emitting device according to (5) or (6), in the step of forming a package, the depression is formed by molding a package material.

(8)上記(7)の発光デバイスの製造方法において、成形加工する工程において、窪みと同時に窪みの底部に貫通電極用の穴を形成することとした。   (8) In the method for manufacturing a light-emitting device according to (7), in the forming step, a through-electrode hole is formed at the bottom of the recess at the same time as the recess.

(9)上記(5)〜(8)のいずれか1の発光デバイスの製造方法において、前記ナノ金属粒子の付着は、インクジェット印刷法により前記窪みの壁面及び底面にナノ金属粒子を印刷して付着させることとした。   (9) In the method for manufacturing a light-emitting device according to any one of (5) to (8), the nano metal particles are attached by printing the nano metal particles on the wall surface and the bottom surface of the depression by an inkjet printing method. I decided to let them.

(10)上記(5)〜(9)のいずれか1の発光デバイスの製造方法において、窪みの底部から前記パッケージの裏面に向けて貫通する貫通電極を形成する工程と、パッケージの裏面に貫通電極と電気的に接続する裏面電極を形成する工程を含むようにした。   (10) In the method for manufacturing a light-emitting device according to any one of (5) to (9), a step of forming a through electrode penetrating from the bottom of the recess toward the back surface of the package, and a through electrode on the back surface of the package And a step of forming a back electrode that is electrically connected to the substrate.

(11)上記(5)〜(10)のいずれか1の発光デバイスの製造方法において、パッケージはガラス材料からなることとした。   (11) In the method for manufacturing a light-emitting device according to any one of (5) to (10), the package is made of a glass material.

本発明による発光デバイスは、パッケージの中央部に窪みを有し、その窪みの底面に発光素子が実装され、窪みの壁面と底面には、ナノ金属粒子の熱処理により光反射膜が形成されている。これにより、窪みの壁面と光反射膜の密着性が向上し、信頼性の高い発光デバイスを提供することができる。   The light emitting device according to the present invention has a recess in the center of the package, a light emitting element is mounted on the bottom surface of the recess, and a light reflecting film is formed on the wall surface and bottom surface of the recess by heat treatment of nano metal particles. . Thereby, the adhesiveness of the wall surface of a hollow and a light reflection film improves, and a reliable light-emitting device can be provided.

(実施形態1)
図1は本発明の実施形態1に係る発光デバイス1の模式的な縦断面図である。発光デバイス1は、中央部に窪み3を有するパッケージ2と、窪み3の底部に実装された発光素子4と、発光素子4から発光した光を反射させるため、窪み3の壁面及び底面に形成した光反射膜5を備えている。発光デバイス1は、更に、窪み3の底面からパッケージ2の裏面に貫通する貫通電極7a、7bと、パッケージ2の裏面に形成され、貫通電極7と電気的に接続する裏面電極8が形成されている。発光素子4は、貫通電極7aの上にダイボンディング材9を介して実装されている。発光素子4の上部に図示しない電極パッドが形成され、この電極パッドと貫通電極7bの上部に形成した電極との間はワイヤー10により接続されている。
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a schematic longitudinal sectional view of a light emitting device 1 according to Embodiment 1 of the present invention. The light emitting device 1 is formed on the wall surface and the bottom surface of the recess 3 in order to reflect the light emitted from the package 2 having the recess 3 at the center, the light emitting element 4 mounted on the bottom of the recess 3, and the light emitting element 4. A light reflecting film 5 is provided. The light emitting device 1 further includes through electrodes 7 a and 7 b that penetrate from the bottom surface of the recess 3 to the back surface of the package 2, and a back electrode 8 that is formed on the back surface of the package 2 and is electrically connected to the through electrode 7. Yes. The light emitting element 4 is mounted on the through electrode 7a via a die bonding material 9. An electrode pad (not shown) is formed on the light emitting element 4, and the electrode pad and an electrode formed on the through electrode 7 b are connected by a wire 10.

窪み3の壁面と底面に形成した光反射膜5は、ナノ金属粒子を熱処理して形成した。ここでナノ金属粒子とは、直径が数nmから数十nmの金属粒子をいう。例えば、ナノ銀粒子をバインダー樹脂に分散させ、例えばインクジェット印刷法により印刷する。印刷後に100℃〜500℃の熱処理を施す。これにより、密着性の良好な光反射膜5を形成することができる。通常の銀粒子を印刷してメタライズする場合は1000℃以上の熱処理を施す必要があるが、ナノ銀粒子を使用した場合には、粒子の表面積が大きく、反応性が高いので、低温度の熱処理で良好な密着性を得ることができる。また、フォトプロセスによるパターニングを行う必要がないので、製造プロセスを簡素化することができるので、発光デバイス1の製造コストを低減することができる。   The light reflecting film 5 formed on the wall surface and bottom surface of the depression 3 was formed by heat-treating nano metal particles. Here, the nano metal particle means a metal particle having a diameter of several nm to several tens of nm. For example, nano silver particles are dispersed in a binder resin and printed by, for example, an ink jet printing method. A heat treatment at 100 ° C. to 500 ° C. is performed after printing. Thereby, the light reflection film 5 with good adhesion can be formed. When printing and metallizing ordinary silver particles, it is necessary to perform heat treatment at 1000 ° C or higher. However, when nano silver particles are used, the surface area of the particles is large and the reactivity is high. Good adhesion can be obtained. In addition, since it is not necessary to perform patterning by a photo process, the manufacturing process can be simplified, and the manufacturing cost of the light emitting device 1 can be reduced.

パッケージ2は板状のガラス材料を使用し、成形加工により窪み3及び貫通電極7用の穴を形成した。パッケージ2は一体的に形成され、異なる材料による接合部が無いので、耐久性を向上させることができる。パッケージ2は、同じ材料を用いた一体物に代えて、異なる材料を接合して一体的に構成してもよい。また、ナノ金属粒子は比較的低い熱処理温度で下地に対する密着力が向上するので、パッケージ2の材料の選択の幅が拡大する。例えば、ガラス材料の他にセラミックス材料、窒化アルミニウム材料、金属材料又は樹脂材料を使用することができる。また、窪み3や貫通電極7用の穴20を成形加工により形成したが、これに代えて、サンドブラスト法やエッチング法により形成してもよい。   The package 2 used a plate-like glass material, and formed a recess 3 and a hole for the through electrode 7 by molding. Since the package 2 is integrally formed and does not have a joint portion made of different materials, durability can be improved. The package 2 may be integrally formed by joining different materials in place of a single body using the same material. In addition, since the nanometal particles have improved adhesion to the substrate at a relatively low heat treatment temperature, the range of materials for the package 2 is expanded. For example, in addition to the glass material, a ceramic material, an aluminum nitride material, a metal material, or a resin material can be used. Further, although the recess 3 and the hole 20 for the through electrode 7 are formed by molding, it may be formed by a sandblasting method or an etching method instead.

貫通電極7は、パッケージ2の窪み3の底部に設けた貫通孔又は穴20にAgを含有する導電ペーストを充填・固化して形成することができる。また、導電ペーストに代えて、又は導電ペーストとともにコバール、Ni、Fe、Cu等の金属材料を充填し、加熱固化させて形成することができる。また、金属芯材を挿入して接着固定することができる。また、溶融した半田を充填して冷却固化して形成することができる。   The through electrode 7 can be formed by filling and solidifying a conductive paste containing Ag in a through hole or hole 20 provided in the bottom of the recess 3 of the package 2. Further, instead of the conductive paste or together with the conductive paste, a metal material such as Kovar, Ni, Fe, or Cu can be filled and solidified by heating. In addition, a metal core material can be inserted and fixed. Further, it can be formed by filling with molten solder and solidifying by cooling.

発光素子4はLEDを使用することができる。発光素子4はダイボンディング材9を介して貫通電極7aの上に実装されている。また、発光素子4の表面に形成した図示しない電極と貫通電極7bとはAuからなるワイヤー10により電気的に接続されている。発光素子4及びワイヤー10は封止材6により封止されている。封止材6としては透明樹脂材料を使用することができる。また、パッケージ2をガラス材料とする場合は、封止材6として、樹脂材料に代えて金属アルコキシド又は金属アルコキシドから形成されたポリメタロキサンを重合・焼成した金属酸化物とすることができる。特に、金属アルコキシド又はポリメタロキサンから形成した金属酸化物を封止材6とした場合には、ガラスからなるパッケージ2もシリコン酸化物であることから、熱膨張係数が近似し、良好な接着性及び封止性を得ることができる。   The light emitting element 4 can use LED. The light emitting element 4 is mounted on the through electrode 7a through a die bonding material 9. Further, an electrode (not shown) formed on the surface of the light emitting element 4 and the through electrode 7b are electrically connected by a wire 10 made of Au. The light emitting element 4 and the wire 10 are sealed with a sealing material 6. A transparent resin material can be used as the sealing material 6. When the package 2 is made of a glass material, the sealing material 6 can be a metal oxide obtained by polymerizing and baking a metal alkoxide or a polymetalloxane formed from a metal alkoxide instead of a resin material. In particular, when a metal oxide formed from a metal alkoxide or polymetalloxane is used as the sealing material 6, since the package 2 made of glass is also a silicon oxide, the thermal expansion coefficient approximates and good adhesiveness is obtained. And sealing property can be obtained.

裏面電極8は、金属の蒸着法やスパッタリング法、或いは導電材料の印刷法により形成することができる。印刷法によれば、導電膜の堆積とそのパターニングを同時に行うので、製造プロセスの簡素化を図ることができる。パッケージ2の材料としてガラスを使用し、金属の蒸着やスパッタリング法により裏面電極8を形成する場合には、密着性を向上させるためにTi層、その上にバリア層、その上にPt層、或いはNi層、さらに表面酸化を防止するためにAu層を形成することができる。また、先に感光性樹脂、例えばレジスト等により電極パターンを形成しておき、その上に金属膜を堆積して、レジストを除去するリフトオフ法により形成することもできる。   The back electrode 8 can be formed by a metal vapor deposition method, a sputtering method, or a conductive material printing method. According to the printing method, since the conductive film is deposited and patterned at the same time, the manufacturing process can be simplified. When glass is used as the material of the package 2 and the back electrode 8 is formed by metal vapor deposition or sputtering, a Ti layer, a barrier layer thereon, a Pt layer thereon, or An Ni layer can be formed as well as an Au layer to prevent surface oxidation. Alternatively, it may be formed by a lift-off method in which an electrode pattern is first formed from a photosensitive resin, for example, a resist, a metal film is deposited thereon, and the resist is removed.

このように、発光素子4の下部に貫通電極7を設け、この貫通電極7に裏面電極8が接続するようにしたので、発光素子4の発光により発生した熱は、貫通電極7及び裏面電極8を介して外部へ効率よく放熱することができる。そのため、一つの窪み3に複数の発光素子4を設けて発光輝度を向上させる場合でも、加熱による発光効率の低下を防ぐことができる。また、図1に示すように、窪み3を下部から上部に向けてその口径が末広状に拡大する形状としたので、発光素子4から発光した光は、上部方向に指向性を有する光を射出させることができる。   Thus, since the through electrode 7 is provided below the light emitting element 4 and the back electrode 8 is connected to the through electrode 7, the heat generated by the light emission of the light emitting element 4 is caused by the through electrode 7 and the back electrode 8. The heat can be efficiently radiated to the outside through the. Therefore, even when a plurality of light emitting elements 4 are provided in one depression 3 to improve the light emission luminance, it is possible to prevent the light emission efficiency from being lowered due to heating. Further, as shown in FIG. 1, since the diameter of the recess 3 is widened from the lower part to the upper part, the light emitted from the light emitting element 4 emits light having directivity in the upper direction. Can be made.

(実施形態2)
図2は、本発明の実施形態2に係る発光デバイス1の模式的な縦断面図を示す。実施形態1と異なる部分は、パッケージ2に貫通孔や貫通電極7を設けることに代えて、パッケージ2の上面及び側面に電極を形成して、裏面電極8に接続している点であり、その他の部分は同様である。
(Embodiment 2)
FIG. 2 shows a schematic longitudinal sectional view of the light emitting device 1 according to Embodiment 2 of the present invention. The difference from the first embodiment is that, instead of providing through holes and through electrodes 7 in the package 2, electrodes are formed on the top and side surfaces of the package 2 and connected to the back electrode 8. The part of is the same.

パッケージ2の中央部には窪み3が形成されている。中央部の窪み3は、成形加工、サンドブラスト法或いはエッチング法などにより形成することができる。窪み3の内壁面及び底面にはナノ金属粒子の印刷法による光反射板5a、5bが形成されている。パッケージ2の上面には、上面電極21a、21bが形成され、更にパッケージ2の側面には側面電極22a、22bが形成されている。上面電極21a、21b及び側面電極22a、22bは、光反射膜5a、5bと連続してナノ金属粒子の印刷法により形成することができる。パッケージ2の裏面には裏面電極8a、8bが形成されている。光反射膜5a、上面電極21a、側面電極22a及び裏面電極8aは電気的に接続されて一方の電極を構成する。光反射膜5b、上面電極21b、側面電極22b及び裏面電極8bは電気的に接続されて他方の電極を構成する。   A recess 3 is formed in the center of the package 2. The central recess 3 can be formed by molding, sandblasting, etching, or the like. Light reflecting plates 5a and 5b are formed on the inner wall surface and bottom surface of the recess 3 by a printing method of nano metal particles. Upper surface electrodes 21 a and 21 b are formed on the upper surface of the package 2, and side surface electrodes 22 a and 22 b are formed on the side surfaces of the package 2. The upper surface electrodes 21a and 21b and the side surface electrodes 22a and 22b can be formed by a printing method of nano metal particles continuously with the light reflecting films 5a and 5b. On the back surface of the package 2, back surface electrodes 8a and 8b are formed. The light reflecting film 5a, the top electrode 21a, the side electrode 22a, and the back electrode 8a are electrically connected to form one electrode. The light reflecting film 5b, the top electrode 21b, the side electrode 22b, and the back electrode 8b are electrically connected to form the other electrode.

発光素子4は窪み3の底面の光反射膜5aの上にダイボンディング材9を介して実装されている。発光素子4の上面には図示しない電極が形成され、この発光素子4の電極と窪み3上の光反射膜5とはワイヤー10で接続されている。即ち、光反射膜5a及び5bは発光素子4を駆動するための電力を給する導体として機能し、裏面電極8a、8b、側面電極22a、22b及び上面電極21a、21bを介して電力が供給される。また、これらの電極は発光素子4の発熱を放熱する機能も有している。発光素子4及びワイヤー10は、封止材6が塗布されて封止されている。   The light emitting element 4 is mounted on the light reflecting film 5 a on the bottom surface of the recess 3 via a die bonding material 9. An electrode (not shown) is formed on the upper surface of the light emitting element 4, and the electrode of the light emitting element 4 and the light reflecting film 5 on the recess 3 are connected by a wire 10. That is, the light reflecting films 5a and 5b function as conductors for supplying power for driving the light emitting element 4, and power is supplied through the back electrodes 8a and 8b, the side electrodes 22a and 22b, and the top electrodes 21a and 21b. The These electrodes also have a function of radiating heat generated by the light emitting element 4. The light emitting element 4 and the wire 10 are sealed by applying a sealing material 6.

なお、上記実施形態1及び実施形態2において、窪み3の傾斜面は一定の角度有する場合であるが、これに限定されない。傾斜面は曲線状、例えばおわん状に形成することができる。おわん状の反射面とすれば、反射光の指向性をより高めることができる。   In addition, in the said Embodiment 1 and Embodiment 2, although the inclined surface of the hollow 3 has a fixed angle, it is not limited to this. The inclined surface can be formed in a curved shape, for example, a bowl shape. If a bowl-shaped reflecting surface is used, the directivity of reflected light can be further increased.

(実施形態3)
図3〜図10は、本発明の実施形態3に係る発光デバイス1の製造方法を表す模式図である。
(Embodiment 3)
3-10 is a schematic diagram showing the manufacturing method of the light-emitting device 1 which concerns on Embodiment 3 of this invention.

図3は、パッケージ材料を成形加工する様子を表している。図3(a)は成形加工方法を表す模式図であり、定盤16の上にパッケージ材料として例えばガラス材15を設置し、ガラス材15が軟化する略300℃〜略800℃に加熱する。金型17の表面には、凸部18と凹部19が形成されている。凸部18は貫通電極用となる穴20に当たる部分であり、凹部19は窪み3の周囲の土手となる部分である。金型17も略300℃〜略800℃に加熱して、下部のガラス材15に押圧する。図3(b)は成型加工後のパッケージ2の模式的な縦断面図であり、窪み3及び穴20が形成される。なお、本実施形態4では、窪み3は平面的形状が円形のすり鉢状の形状を有している。   FIG. 3 shows how the package material is molded. FIG. 3A is a schematic diagram showing a forming method. For example, a glass material 15 is installed on the surface plate 16 as a package material, and the glass material 15 is softened and heated to about 300 ° C. to about 800 ° C. A convex portion 18 and a concave portion 19 are formed on the surface of the mold 17. The convex portion 18 is a portion that hits the hole 20 for the through electrode, and the concave portion 19 is a portion that becomes a bank around the recess 3. The mold 17 is also heated to about 300 ° C. to about 800 ° C. and pressed against the lower glass material 15. FIG. 3B is a schematic longitudinal sectional view of the package 2 after the molding process, and the recess 3 and the hole 20 are formed. In the fourth embodiment, the recess 3 has a mortar shape with a circular planar shape.

図4は、インクジェット印刷法によりナノ金属粒子、例えばナノ銀粒子を印刷している様子を表している。インクジェット印刷機13のノズル14から溶媒に分散したナノ銀粒子を噴射する。ノズル14は紙面垂直方向に多数配列している。そのため、面状に印刷することができる。インクジェット印刷機13をパッケージ2に対して相対的に移動して、窪み3の壁面及び窪み3の底面に所定のパターンで印刷する。ノズル14から噴射する液滴は、極めて微量で弾丸のように噴出する。ノズル14の先端と印刷面との間隙を2mm〜3mmに固定することができる。そのため、凹凸がある表面に印刷する場合でも、所定の高精細なパターンを印刷することが可能となる。なお、窪み3の壁面及び窪み3の底面とともに、穴20の側面に対してもナノ金属粒子を印刷することができる。なお、光反射膜5aと光反射膜5bは互いに電気的に分離している。   FIG. 4 shows a state in which nano metal particles, for example, nano silver particles are printed by an ink jet printing method. Nano silver particles dispersed in a solvent are ejected from the nozzle 14 of the ink jet printer 13. A large number of nozzles 14 are arranged in the direction perpendicular to the paper surface. Therefore, it can be printed on a sheet. The inkjet printer 13 is moved relative to the package 2 to print on the wall surface of the recess 3 and the bottom surface of the recess 3 in a predetermined pattern. The droplets ejected from the nozzle 14 are ejected in a very small amount like a bullet. The gap between the tip of the nozzle 14 and the printing surface can be fixed to 2 mm to 3 mm. Therefore, a predetermined high-definition pattern can be printed even when printing on an uneven surface. In addition, the nano metal particles can be printed on the side surface of the hole 20 as well as the wall surface of the recess 3 and the bottom surface of the recess 3. The light reflecting film 5a and the light reflecting film 5b are electrically separated from each other.

なお、窪み3の壁面に印刷したときに、インクだれの発生を防止するため、印刷する前にパッケージ2の表面を撥水性表面に置換することが望ましい。例えば、フッソ系樹脂をコーティングする。これにより、ナノ金属粒子が付着したときに、液だれを防止することができ、所望の厚み及び形状に印刷することができる。また、光反射膜5から反射する光に波長選択性を付与する場合には、更にAu等の薄膜を堆積することができる。   Note that it is desirable to replace the surface of the package 2 with a water-repellent surface before printing in order to prevent ink dripping when printed on the wall surface of the recess 3. For example, a fluorine resin is coated. Thereby, when nano metal particles adhere, dripping can be prevented and printing can be performed in a desired thickness and shape. Further, when wavelength selectivity is imparted to the light reflected from the light reflecting film 5, a thin film such as Au can be further deposited.

図5は、パッケージ2に形成した穴20に貫通電極7を充填した状態を表す模式的な縦断面図である。図4に示す穴20にディスペンサー等によりAg等の金属を含有する導電ペーストを充填し、加熱・固化して貫通電極7を形成する。貫通電極7aと貫通電極7bとは電気的に分離している。また、導電ペーストに代えて、金属心材を挿入・充填して接着固化してもよい。   FIG. 5 is a schematic longitudinal sectional view showing a state where the through electrode 7 is filled in the hole 20 formed in the package 2. The hole 20 shown in FIG. 4 is filled with a conductive paste containing a metal such as Ag by a dispenser or the like, and heated and solidified to form the through electrode 7. The through electrode 7a and the through electrode 7b are electrically separated. Further, instead of the conductive paste, a metal core material may be inserted and filled to be solidified.

図6は、パッケージ2の裏面を研磨して、貫通電極7を裏面側に露出させた状態を表す模式的な縦断面図である。パッケージ2を表面が平坦な研磨定盤又は研磨パッドに載置し、パッケージ2を研磨剤を介在して押圧しながら相対的に移動して研磨する。これにより、貫通電極7の裏面の露出面とパッケージ2の裏面とを平坦化することができる。また、このように平坦化することにより、パッケージ2を他の部品に容易に実装することができる。   FIG. 6 is a schematic longitudinal sectional view showing a state where the back surface of the package 2 is polished and the through electrode 7 is exposed to the back surface side. The package 2 is placed on a polishing surface plate or polishing pad having a flat surface, and the package 2 is relatively moved while being pressed through an abrasive and polished. Thereby, the exposed surface of the back surface of the through electrode 7 and the back surface of the package 2 can be planarized. Further, by flattening in this way, the package 2 can be easily mounted on other components.

図7は、パッケージ2の裏面に裏面電極8a、8bを形成した状態を表す模式的な縦断面図である。パッケージ2の裏面に、Ag等の導電材料が混入したインキをスクリーン印刷法により印刷する。次に、加熱焼成を行って固化する。印刷により裏面電極8a、8bを形成するので、フォトリソグラフィ工程及びエッチング工程を必要とせず、製造コストを低減させることができる。また、スクリーン印刷法に代えて、他の方法、例えばスパッタリング法や蒸着法、或いはメッキ法により裏面電極8を堆積し、パターニングして形成してもよい。   FIG. 7 is a schematic longitudinal sectional view showing a state in which the back electrodes 8 a and 8 b are formed on the back surface of the package 2. Ink mixed with a conductive material such as Ag is printed on the back surface of the package 2 by a screen printing method. Next, it heat-fires and solidifies. Since the back electrodes 8a and 8b are formed by printing, the photolithography process and the etching process are not required, and the manufacturing cost can be reduced. Further, instead of the screen printing method, the back electrode 8 may be deposited and patterned by another method such as sputtering, vapor deposition, or plating.

図8は、パッケージ2の窪み3に発光素子4を実装した状態を表す模式的な縦断面図である。発光素子4を、ダイボンディング材9を介在して貫通電極7aの露出面に載置し、加熱炉でダイボンディング材9を硬化して接着する。ダイボンディング材9は導電性であり、発光素子4の裏面には図示しない電極が形成されており、貫通電極7aと発光素子4とを機械的及び電気的に接続している。ダイボンディング材9は、半田バンプや金バンプを使用することができる。また、ダイボンディング材9として、導電性接着材を使用することができる。   FIG. 8 is a schematic longitudinal sectional view showing a state where the light emitting element 4 is mounted in the recess 3 of the package 2. The light emitting element 4 is placed on the exposed surface of the through electrode 7a with the die bonding material 9 interposed therebetween, and the die bonding material 9 is cured and bonded in a heating furnace. The die bonding material 9 is conductive, and an electrode (not shown) is formed on the back surface of the light emitting element 4, and mechanically and electrically connects the through electrode 7 a and the light emitting element 4. As the die bonding material 9, solder bumps or gold bumps can be used. In addition, a conductive adhesive can be used as the die bonding material 9.

図9は、発光素子4と貫通電極7bとをワイヤー10により接続した状態を表す模式的な縦断面図である。発光素子4の上面には図示しない電極が形成されている。ワイヤーとして金の細線を使用することができる。なお、発光素子4の表面に形成した電極と貫通電極7bとを導体からなるワイヤー10により接続することに代えて、発光素子4を貫通電極7bまで延在させ、発光素子4の裏面に貫通電極7aと7bに対応する位置に電極を形成して、面実装により一括して2つの貫通電極7a、7bに電気的に接続してもよい。   FIG. 9 is a schematic longitudinal sectional view showing a state where the light emitting element 4 and the through electrode 7 b are connected by the wire 10. An electrode (not shown) is formed on the upper surface of the light emitting element 4. Gold fine wire can be used as the wire. Instead of connecting the electrode formed on the surface of the light emitting element 4 and the through electrode 7b with the wire 10 made of a conductor, the light emitting element 4 is extended to the through electrode 7b, and the through electrode is formed on the back surface of the light emitting element 4. An electrode may be formed at a position corresponding to 7a and 7b and electrically connected to the two through electrodes 7a and 7b all together by surface mounting.

図10は、窪み3に封止材6を塗布して発光素子4を封止した状態を表す模式的な縦断面図である。封止材6として、絶縁性の透明樹脂材を使用することができる。また、金属アルコキシド又は金属アルコキシドから形成されたポリメタロキサンを重合・硬化させたシリコン酸化物とすることができる。   FIG. 10 is a schematic longitudinal sectional view showing a state in which the light emitting element 4 is sealed by applying the sealing material 6 to the recess 3. As the sealing material 6, an insulating transparent resin material can be used. Moreover, it can be set as the silicon oxide which superposed | polymerized and hardened the polymetalloxane formed from the metal alkoxide or metal alkoxide.

以上説明してきたように、本発明の発光デバイスの製造方法によれば、窪み3の壁面と底面にナノ金属粒子を印刷法により印刷したので、従来例のように高温処理によるメタライズを必要としないで密着性の良好な光反射膜5や電極を形成することができる。そのため、使用できるパッケージ2の材料の範囲が拡大し、セラミックスや金属の他にガラス材料又は樹脂材料を使用することができる。また、印刷法としてインクジェット印刷法を適用することにより、段差のある表面に高精度の印刷パターンを形成することができる。また、窪み3の底面に複雑なパターンを容易に形成することができる。また、必要な部分にのみナノ金属粒子を塗布又は印刷するので、全面に電極形成後に必要な部分を残してエッチング除去する方法と比較して、資源の有効活用を図ることができる。   As described above, according to the method for manufacturing a light-emitting device of the present invention, the nano metal particles are printed on the wall surface and bottom surface of the recess 3 by the printing method, so that metallization by high-temperature treatment as in the conventional example is not required. Thus, it is possible to form the light reflecting film 5 and the electrode having good adhesion. Therefore, the range of materials of the package 2 that can be used is expanded, and glass materials or resin materials can be used in addition to ceramics and metals. Further, by applying an inkjet printing method as a printing method, a highly accurate printing pattern can be formed on a surface having a step. Moreover, a complicated pattern can be easily formed on the bottom surface of the recess 3. In addition, since nano metal particles are applied or printed only on necessary portions, resources can be effectively used as compared with a method in which the necessary portions are left behind and etched away after electrode formation on the entire surface.

なお、上記実施形態3においては、パッケージ2を成形法により成形した例を示しているが、これに限定されない。例えば、パッケージ2に貫通電極7を形成した板状体と、窪み3を構成するための枠を当該板状体に貼り合わせた構造とすることもできる。また、パッケージ2の窪み3を、サンドブラスト法やエッチング法により形成してもよい。   In addition, in the said Embodiment 3, although the example which shape | molded the package 2 by the shaping | molding method is shown, it is not limited to this. For example, a structure in which a plate-like body in which the through electrode 7 is formed in the package 2 and a frame for forming the depression 3 are bonded to the plate-like body can be used. Moreover, you may form the hollow 3 of the package 2 by the sandblasting method or the etching method.

また、上記実施形態3においては、(1)ガラス材料の成形→(2)光反射膜の形成→(3)貫通電極の形成→(4)裏面の平坦化→(5)裏面電極の形成→(6)発光素子の実装→(7)封止材の形成の順であるが、この工程順に限定されない。例えば、(3)貫通電極の形成の後に、(6)発光素子の実装→(7)封止材の形成→(4)裏面の平坦化→(5)裏面電極の形成の順であっても良い。   In the third embodiment, (1) glass material formation → (2) formation of light reflecting film → (3) formation of through electrode → (4) flattening of the back surface → (5) formation of the back electrode → (6) Mounting of light emitting element → (7) The order of forming the sealing material, but not limited to this process order. For example, (3) after formation of the through electrode, (6) mounting of the light emitting element → (7) formation of the sealing material → (4) planarization of the back surface → (5) formation of the back surface electrode good.

(実施形態4)
図11は、本発明の実施形態4に係る発光デバイス1の多数個取りの製造方法を説明するための模式図である。例えば、上記実施形態3に係る発光デバイス1の製造方法において、1枚のウエハー30から86個の発光デバイス1を同時に製造する場合である。
(Embodiment 4)
FIG. 11 is a schematic diagram for explaining a method for manufacturing a multi-cavity light-emitting device 1 according to Embodiment 4 of the present invention. For example, in the manufacturing method of the light emitting device 1 according to the third embodiment, 86 light emitting devices 1 are manufactured simultaneously from one wafer 30.

図11(a)は、実施形態3における図7〜図10のいずれかに対応し、パッケージ2の裏面に形成した裏面電極8のパターンを表している。図11(b)は、1個のパッケージ2の部分を拡大した模式的な背面図である。図11(b)に示すように、発光素子4の領域に4個の貫通電極7aが、発光素子4の外側に1個の貫通電極7bが形成されている。発光素子4の領域に4個の貫通電極7aを形成することにより、発光素子4で発生する熱を効果的に放熱することができる。裏面電極8は、電極分離領域33を境にして、裏面電極8aと8bに電気的に分離している。   FIG. 11A corresponds to any of FIGS. 7 to 10 in the third embodiment, and shows a pattern of the back surface electrode 8 formed on the back surface of the package 2. FIG. 11B is a schematic rear view in which a portion of one package 2 is enlarged. As shown in FIG. 11B, four through electrodes 7 a are formed in the region of the light emitting element 4, and one through electrode 7 b is formed outside the light emitting element 4. By forming the four through electrodes 7 a in the region of the light emitting element 4, the heat generated in the light emitting element 4 can be effectively dissipated. The back electrode 8 is electrically separated into back electrodes 8a and 8b with the electrode separation region 33 as a boundary.

1個のパッケージ2は、縦切断ライン31、及び、横切断ライン32により区画されている。実施形態3の図10に示す工程の終了後に、上記縦切断ライン31及び横切断ライン32に沿って個々の発光デバイス1に分離する。分離は、ダイシング又はスクライブ等により行うことができる。なお、取り個数は実施形態4に限定されない。また、貫通電極8a、8bの個数や径は、発光素子4の数、供給する電流、放熱量等により適宜決定すればよい。   One package 2 is partitioned by a vertical cutting line 31 and a horizontal cutting line 32. After the process shown in FIG. 10 of the third embodiment, the light emitting devices 1 are separated along the vertical cutting lines 31 and the horizontal cutting lines 32. Separation can be performed by dicing or scribing. Note that the number to be obtained is not limited to the fourth embodiment. Further, the number and diameter of the through electrodes 8a and 8b may be appropriately determined depending on the number of the light emitting elements 4, the supplied current, the heat radiation amount, and the like.

本発明の実施形態に係る発光デバイスの模式的な縦断面図である。It is a typical longitudinal section of a light emitting device concerning an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態に係る発光デバイスの模式的な縦断面図である。It is a typical longitudinal section of a light emitting device concerning an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態に係る発光デバイスの製造方法を表す模式図である。It is a schematic diagram showing the manufacturing method of the light emitting device which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る発光デバイスの製造方法を表す模式図である。It is a schematic diagram showing the manufacturing method of the light emitting device which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る発光デバイスの製造方法を表す模式図である。It is a schematic diagram showing the manufacturing method of the light emitting device which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る発光デバイスの製造方法を表す模式図である。It is a schematic diagram showing the manufacturing method of the light emitting device which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る発光デバイスの製造方法を表す模式図である。It is a schematic diagram showing the manufacturing method of the light emitting device which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る発光デバイスの製造方法を表す模式図である。It is a schematic diagram showing the manufacturing method of the light emitting device which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る発光デバイスの製造方法を表す模式図である。It is a schematic diagram showing the manufacturing method of the light emitting device which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る発光デバイスの製造方法を表す模式図である。It is a schematic diagram showing the manufacturing method of the light emitting device which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る発光デバイスの多数個取りの製造方法を表す模式図である。It is a schematic diagram showing the manufacturing method of multi-cavity of the light emitting device which concerns on embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 発光デバイス
2 パッケージ
3 窪み
4 発光素子
5 光反射膜
6 封止材
7 貫通電極
8 裏面電極
9 ダイボンディング材
10 ワイヤー
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Light emitting device 2 Package 3 Dimple 4 Light emitting element 5 Light reflection film 6 Sealing material 7 Through electrode 8 Back surface electrode 9 Die bonding material 10 Wire

Claims (11)

中央部に窪みを有するパッケージと、
前記窪みに収納され、前記窪みの底部に実装された発光素子と、
前記窪みの壁面と底面に、ナノ金属粒子を熱処理して形成された光反射膜と、
前記発光素子を封止する封止材と、を備える発光デバイス。
A package having a depression in the center,
A light emitting device housed in the depression and mounted on the bottom of the depression;
A light reflection film formed by heat-treating nano metal particles on the wall surface and bottom surface of the depression;
A light-emitting device comprising: a sealing material that seals the light-emitting element.
前記ナノ金属粒子は、ナノ銀粒子であることを特徴とする請求項1に記載の発光デバイス。   The light emitting device according to claim 1, wherein the nano metal particles are nano silver particles. 前記パッケージは、ガラス材料、セラミックス材料、窒化アルミニウム材料、金属材料又は樹脂材料から一体的に形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の発光デバイス。   The light emitting device according to claim 1, wherein the package is integrally formed of a glass material, a ceramic material, an aluminum nitride material, a metal material, or a resin material. 前記中央に形成した窪みは、窪みの底部から上部にかけて口径が末広状に拡大する形状を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の発光デバイス。   The light emitting device according to any one of claims 1 to 3, wherein the recess formed in the center has a shape in which the diameter expands from the bottom to the top of the recess. 中央部に窪みを有するパッケージを形成する工程と、
前記窪みの壁面及び底面にナノ金属粒子を付着させ、これを熱処理して光反射膜を形成する工程と、
前記窪みの底面に発光素子を実装する工程と、
前記発光素子を封止材により封止する工程と、を含む発光デバイスの製造方法。
Forming a package having a depression in the center;
A step of attaching nano metal particles to the wall surface and bottom surface of the recess, and heat-treating the nano metal particles,
Mounting a light emitting element on the bottom of the recess;
Sealing the light emitting element with a sealing material.
前記光反射膜を形成する工程の前に、前記窪みの壁面を撥水性表面に置換する工程を有することを特徴とする請求項5に記載の発光デバイスの製造方法。   6. The method of manufacturing a light emitting device according to claim 5, further comprising a step of replacing the wall surface of the depression with a water repellent surface before the step of forming the light reflecting film. 前記パッケージを形成する工程において、前記窪みはパッケージ材料を成形加工して形成することを特徴とする請求項5又は6に記載の発光デバイスの製造方法。   The method for manufacturing a light emitting device according to claim 5, wherein in the step of forming the package, the recess is formed by molding a package material. 前記成形加工する工程において、前記窪みと同時に前記窪みの底部に貫通電極用の穴を形成することを特徴とする請求項7に記載の発光デバイスの製造方法。   The method for manufacturing a light-emitting device according to claim 7, wherein in the forming step, a hole for a through electrode is formed at the bottom of the recess simultaneously with the recess. 前記ナノ金属粒子の付着は、インクジェット印刷法により前記窪みの壁面及び底面にナノ金属粒子を印刷して付着させることを特徴とする請求項5〜8のいずれか1項に記載の発光デバイスの製造方法。   9. The light emitting device according to claim 5, wherein the nano metal particles are attached by printing and attaching the nano metal particles to a wall surface and a bottom surface of the recess by an ink jet printing method. Method. 前記窪みの底部から前記パッケージの裏面に向けて貫通する貫通電極を形成する工程と、
前記パッケージの裏面に前記貫通電極と電気的に接続する裏面電極を形成する工程を含む請求項5〜9のいずれか1項に記載の発光デバイスの製造方法。
Forming a through electrode penetrating from the bottom of the recess toward the back surface of the package;
The manufacturing method of the light-emitting device of any one of Claims 5-9 including the process of forming the back surface electrode electrically connected to the said penetration electrode in the back surface of the said package.
前記パッケージはガラス材料からなることを特徴とする請求項5〜10のいずれか1項に記載の発光デバイスの製造方法。
The method for manufacturing a light emitting device according to claim 5, wherein the package is made of a glass material.
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