JP2010121677A - Pneumatic system - Google Patents

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Yoji Ise
養治 伊勢
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To enhance effectiveness or efficiency in reusing compressed air used for operating an actuator. <P>SOLUTION: The compressed air flowing out of pneumatic cylinder devices 13 and 17 is selectively supplied to a tank 32, and pulsation of the compressed air is removed by the tank 32, and the pulsation-removed compressed air is supplied from the tank 32 to a supply port 22A of an ejector 22 in a vacuum generator 21. The ejector 22 forms a vacuum by using the compressed air supplied from the tank 32, and generates suction force in a suction pad 28, and can grip and carry a workpiece 29 by the suction pad 28. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、例えば空気圧シリンダ、真空パッドなど、空気圧により動作する複数のアクチュエータを備えた空気圧システムに関する。   The present invention relates to a pneumatic system including a plurality of actuators operated by air pressure, such as a pneumatic cylinder and a vacuum pad.

例えば複動形空気圧シリンダのロッドを前進させるときには、シリンダのキャップ側給排ポートに圧縮空気を流入させる。このとき、ヘッド側(ロッド側)給排ポートからシリンダ内部の圧縮空気が流出する。また、シリンダのロッドを後退させるときには、シリンダのヘッド側給排ポートに圧縮空気を流入させる。このとき、キャップ側給排ポートからシリンダ内部の圧縮空気が流出する。ヘッド側給排ポートおよびキャップ側給排ポートからそれぞれ流出する圧縮空気は、一般に、大気中に排出される。   For example, when the rod of a double acting pneumatic cylinder is advanced, the compressed air is caused to flow into the cylinder cap side supply / discharge port. At this time, compressed air inside the cylinder flows out from the head side (rod side) supply / discharge port. Further, when the rod of the cylinder is moved backward, the compressed air is caused to flow into the head side supply / discharge port of the cylinder. At this time, the compressed air inside the cylinder flows out from the cap-side supply / discharge port. The compressed air flowing out from the head-side supply / discharge port and the cap-side supply / discharge port is generally discharged into the atmosphere.

また、シリンダのヘッド側給排ポートまたはキャップ側給排ポートから流出する圧縮空気を大気中に直ちに排出せず、再利用する技術がいくつか知られている。例えば、特開2007−146867号公報(特許文献1)には、シリンダのヘッド側(ロッド側)給排ポートから流出する圧縮空気を大気中に排出しない空気圧回路が記載されている。また、特開2004−360735号公報(特許文献2)には、シリンダを動作させるために用いた圧縮空気を、コンプレッサを含むローカルパワーユニットのインレットポートに導入して再利用する技術が記載されている。また、特開2002−174203号公報(特許文献3)には、シリンダを動作させるために用いた圧縮空気をポンプに戻して再利用する技術が記載されている。
特開2007−146867号公報 特開2004−360735号公報 特開2002−174203号公報
Further, there are some known techniques for reusing the compressed air flowing out from the cylinder head side supply / discharge port or the cap side supply / discharge port without immediately discharging it into the atmosphere. For example, Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2007-146867 (Patent Document 1) describes a pneumatic circuit that does not discharge compressed air flowing out from a cylinder head side (rod side) supply / discharge port to the atmosphere. Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2004-360735 (Patent Document 2) describes a technique for introducing and reusing compressed air used for operating a cylinder into an inlet port of a local power unit including a compressor. . Japanese Patent Laid-Open No. 2002-174203 (Patent Document 3) describes a technique for returning compressed air used for operating a cylinder to a pump and reusing it.
JP 2007-146867 A JP 2004-360735 A JP 2002-174203 A

空気圧シリンダ等のアクチュエータを動作させるために用いた圧縮空気を何ら再利用することなく大気中に排出してしまうことは、エネルギーの利用効率が悪く、好ましくない。このため、アクチュエータを動作させるために用いた圧縮空気を大気中に直ちに排出するのではなく、その圧縮空気を再利用して、他のアクチュエータ等を動作させることが望ましい。この場合、圧縮空気をいかに有効に再利用するか、つまり圧縮空気の再利用効率をいかに高めるかが問題となる。   It is not preferable that the compressed air used to operate an actuator such as a pneumatic cylinder is discharged into the atmosphere without being reused at all because energy utilization efficiency is low. For this reason, it is desirable that the compressed air used for operating the actuator is not immediately discharged into the atmosphere, but the compressed air is reused to operate other actuators and the like. In this case, the problem is how to effectively reuse the compressed air, that is, how to increase the reuse efficiency of the compressed air.

この点、特開2007−146867号公報(特許文献1)に記載された技術は、シリンダのキャップ側給排ポートから流出する圧縮空気を大気中に直ちに排出しているため、圧縮空気の再利用効率が高いとはいえない。   In this regard, the technique described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-146867 (Patent Document 1) immediately discharges compressed air flowing out from the cap-side supply / exhaust port of the cylinder into the atmosphere. It cannot be said that efficiency is high.

また、特開2004−360735号公報(特許文献2)に記載された技術は、シリンダを動作させるために用いた圧縮空気を、コンプレッサを含むローカルパワーユニットに戻し、空気として再利用しているにすぎず、圧力、流量またはエネルギーを有する圧縮空気としての再利用の有効性は高いとはいえない。特開2002−174203号公報(特許文献3)に記載された技術についても、これと同じことがいえる。   Moreover, the technique described in Unexamined-Japanese-Patent No. 2004-360735 (patent document 2) only returns the compressed air used in order to operate a cylinder to the local power unit containing a compressor, and is reused as air. Therefore, the effectiveness of reuse as compressed air having pressure, flow rate or energy is not high. The same can be said for the technique described in Japanese Patent Laid-Open No. 2002-174203 (Patent Document 3).

このように、アクチュエータを動作させるために用いた圧縮空気を再利用する技術はいくつか知られているものの、これらいずれの技術においても、空気圧シリンダ等のアクチュエータを動作させるために用いた圧縮空気の再利用の有効性または再利用効率は高いとはいえない。   As described above, although several techniques for reusing the compressed air used for operating the actuator are known, in any of these techniques, the compressed air used for operating the actuator such as a pneumatic cylinder is used. The effectiveness or efficiency of reuse is not high.

一方、初段のアクチュエータを動作させるために用いた圧縮空気を再利用して、後段のアクチュエータを動作させる場合、初段のアクチュエータを動作させるために用いた圧縮空気を、その圧力または流量を安定化させてから後段のアクチュエータに供給する必要がある。また、この圧縮空気の圧力または流量を、後段のアクチュエータを動作させるのに適切な圧力または流量となるように設定する必要がある。また、初段のアクチュエータが停止している間に後段のアクチュエータを動作させるといった状況も考慮しなければならない。   On the other hand, when reusing the compressed air used to operate the first-stage actuator and operating the second-stage actuator, stabilize the pressure or flow rate of the compressed air used to operate the first-stage actuator. After that, it is necessary to supply to the latter stage actuator. Further, it is necessary to set the pressure or flow rate of the compressed air so as to be an appropriate pressure or flow rate for operating the actuator at the subsequent stage. In addition, it is necessary to consider a situation in which the subsequent actuator is operated while the first actuator is stopped.

しかしながら、再利用する圧縮空気の圧力または流量の安定化を図ること、再利用する圧縮空気の圧力または流量を後段のアクチュエータに適合するように設定すること、および、初段のアクチュエータが停止している間に後段のアクチュエータを動作させることは、いずれも容易ではない。   However, stabilizing the pressure or flow rate of the compressed air to be reused, setting the pressure or flow rate of the compressed air to be reused to be compatible with the subsequent actuator, and the first stage actuator being stopped It is not easy to operate the latter stage actuator in between.

本発明は例えば上述した問題に鑑みなされたものであり、本発明の第1の課題は、アクチュエータを動作させるために用いた圧縮空気の再利用の有効性または再利用効率を高めることができる空気圧システムを提供することにある。   The present invention has been made in view of the above-described problems, for example, and a first object of the present invention is to increase the effectiveness or efficiency of reuse of compressed air used for operating an actuator. To provide a system.

本発明の第2の課題は、初段のアクチュエータを動作させるために用いた圧縮空気を再利用して後段のアクチュエータを動作させる場合に、再利用する圧縮空気の圧力または流量の安定化を図ることができ、再利用する圧縮空気の圧力または流量を後段のアクチュエータに適合するように設定することができ、または、初段のアクチュエータが停止している間に後段のアクチュエータを動作させることができる空気圧システムを提供することにある。   The second problem of the present invention is to stabilize the pressure or flow rate of the compressed air to be reused when the compressed air used to operate the first stage actuator is reused to operate the latter stage actuator. Pneumatic system that can set the pressure or flow rate of the compressed air to be reused to match the latter actuator, or can operate the latter actuator while the first actuator is stopped Is to provide.

上記課題を解決するために、本発明の第1の空気圧システムは、第1の空気圧源と、前記第1の空気圧源に接続され、前記第1の空気圧源から供給される圧縮空気により動作し、この動作に伴い圧縮空気を排出する空気圧アクチュエータ装置と、供給ポート、放出ポートおよび真空ポートを有し、前記供給ポートが前記空気圧アクチュエータ装置に接続され、前記空気圧アクチュエータ装置から排出され前記供給ポートを介して流入した圧縮空気を放出ポートから放出することにより真空ポートに真空を発生させる真空発生器と、前記真空発生器の真空ポートに接続された吸着パッドとを備えている。   In order to solve the above-described problems, a first pneumatic system of the present invention is operated by compressed air supplied from a first pneumatic source and the first pneumatic source, connected to the first pneumatic source. A pneumatic actuator device that discharges compressed air as a result of this operation, a supply port, a discharge port, and a vacuum port, and the supply port is connected to the pneumatic actuator device and discharged from the pneumatic actuator device. A vacuum generator for generating a vacuum in the vacuum port by discharging the compressed air flowing in through the discharge port, and a suction pad connected to the vacuum port of the vacuum generator.

上述した本発明の第1の空気圧システムにおいて、前記空気圧アクチュエータ装置と前記真空発生器との間に接続され、前記空気圧アクチュエータ装置から排出された圧縮空気を蓄積し、この蓄積された圧縮空気を前記真空発生器に供給する第1のタンクを追加してもよい。   In the above-described first pneumatic system of the present invention, the compressed air discharged from the pneumatic actuator device is connected between the pneumatic actuator device and the vacuum generator, and the stored compressed air is stored in the compressed air. A first tank that supplies the vacuum generator may be added.

また、上述した本発明の第1の空気圧システムにおいて、第2のタンクと、一端側が前記空気アクチュエータ装置と前記真空発生器との間に接続され、他端側が前記第2のタンクに接続された第1の分岐経路とを追加してもよい。   In the first pneumatic system of the present invention described above, the second tank and one end side are connected between the air actuator device and the vacuum generator, and the other end side is connected to the second tank. A first branch path may be added.

また、上述した本発明の第1の空気圧システムにおいて、前記空気圧アクチュエータ装置から排出された圧縮空気とは別に、前記第1の空気圧源から吐出された圧縮空気を前記第1のタンクに供給する供給経路を追加してもよい。   Further, in the first pneumatic system of the present invention described above, a supply for supplying compressed air discharged from the first pneumatic pressure source to the first tank separately from compressed air discharged from the pneumatic actuator device. A route may be added.

また、上述した本発明の第1の空気圧システムにおいて、前記第1のタンクと前記真空発生器との間に接続され、前記第1のタンクから排出された圧縮空気を蓄積し、この蓄積された圧縮空気を前記真空発生器に供給する第3のタンクと、前記第1のタンクと前記第3のタンクとの間に接続され、前記第1のタンクと前記第3のタンクとの間の接続・遮断を切り換える第1の切換弁とを追加してもよい。   Further, in the first pneumatic system of the present invention described above, the compressed air discharged from the first tank is connected and connected between the first tank and the vacuum generator. A third tank for supplying compressed air to the vacuum generator; a connection between the first tank and the third tank; and a connection between the first tank and the third tank. -You may add the 1st switching valve which switches interruption | blocking.

また、上述した本発明の第1の空気圧システムにおいて、前記第1のタンクと前記第3のタンクとの間に増圧器を接続してもよい。   In the first pneumatic system of the present invention described above, a pressure intensifier may be connected between the first tank and the third tank.

また、上述した本発明の第1の空気圧システムにおいて、前記真空発生器の前記供給ポートに接続され、前記真空発生器に圧縮空気を供給する第2の空気圧源と、前記第2の空気圧源と前記真空発生器との間に接続され、前記第2の空気圧源と前記真空発生器との間の接続・遮断を切り換える第2の切換弁とを追加してもよい。   In the first pneumatic system of the present invention described above, a second pneumatic pressure source connected to the supply port of the vacuum generator and supplying compressed air to the vacuum generator, and the second pneumatic pressure source, A second switching valve that is connected between the vacuum generator and switches between connection and disconnection between the second air pressure source and the vacuum generator may be added.

また、上述した本発明の第1の空気圧システムにおいて、複数の前記空気圧アクチュエータ装置を備え、一端側が前記各空気圧アクチュエータ装置と前記真空発生器の前記供給ポートとの間に接続され、他端側が外部に開放された第2の分岐経路と、前記第2の分岐経路の途中に接続され、前記各空気圧アクチュエータ装置から前記真空発生器の前記供給ポートに供給すべき圧縮空気の一部または全部を外部に排出するための制御弁とを追加してもよい。   In the first pneumatic system of the present invention described above, a plurality of pneumatic actuator devices are provided, one end side is connected between each pneumatic actuator device and the supply port of the vacuum generator, and the other end side is external. A part of or all of the compressed air to be supplied to the supply port of the vacuum generator from each pneumatic actuator device. A control valve for discharging gas may be added.

また、上述した本発明の第1の空気圧システムにおいて、前記真空発生器の前記真空ポートと前記吸着パッドとの間に接続された第4のタンクと、前記第4のタンクと前記吸着パッドとの間に接続され、前記第4のタンクと前記吸着パッドとの間の接続・遮断を切り換える第3の切換弁とを追加してもよい。   In the first pneumatic system of the present invention described above, the fourth tank connected between the vacuum port of the vacuum generator and the suction pad, the fourth tank, and the suction pad A third switching valve that is connected between the fourth tank and the suction pad for switching between connection and disconnection may be added.

また、上記課題を解決するために、本発明の第2の空気圧システムは、空気圧源と、前記空気圧源に接続され、前記空気圧源から供給される圧縮空気により動作し、この動作に伴い圧縮空気を排出する空気圧アクチュエータ装置と、供給ポート、放出ポートおよび真空ポートを有し、前記供給ポートが前記空気圧アクチュエータ装置に接続され、前記空気圧アクチュエータ装置から排出され前記供給ポートを介して流入した圧縮空気を放出ポートから放出することにより真空ポートに真空を発生させる複数の主真空発生器と、供給ポート、放出ポートおよび真空ポートを有し、前記供給ポートが前記空気圧源に接続され、前記空気圧源から排出され前記供給ポートを介して流入した圧縮空気を放出ポートから放出することにより真空ポートに真空を発生させる副真空発生器と、前記複数の主真空発生器の真空ポートおよび前記副真空発生器の真空ポートが一端側にそれぞれ接続され、他端側に吸着パッドが接続された真空経路と、前記真空経路の前記一端側と前記他端側との間に接続されたタンクとを備えている。   In order to solve the above problem, a second pneumatic system according to the present invention is operated by compressed air supplied from the pneumatic pressure source and the pneumatic pressure source, and compressed air supplied from the pneumatic pressure source. A pneumatic actuator device that discharges air, a supply port, a discharge port, and a vacuum port, and the supply port is connected to the pneumatic actuator device, and the compressed air that is discharged from the pneumatic actuator device and flows in through the supply port A plurality of main vacuum generators for generating a vacuum in the vacuum port by discharging from the discharge port; a supply port; a discharge port; and a vacuum port, wherein the supply port is connected to the air pressure source and discharged from the air pressure source The compressed air flowing in through the supply port is discharged from the discharge port to the vacuum port. A sub-vacuum generator for generating air; a vacuum path in which a vacuum port of the plurality of main vacuum generators and a vacuum port of the sub-vacuum generator are connected to one end side, and a suction pad is connected to the other end side; And a tank connected between the one end side and the other end side of the vacuum path.

上述した本発明によれば、アクチュエータを動作させるために用いた圧縮空気の再利用の有効性または再利用効率を高めることができる。また、上述した本発明によれば、初段のアクチュエータを動作させるために用いた圧縮空気を再利用して後段のアクチュエータを動作させる場合に、再利用する圧縮空気の圧力または流量の安定化を図ることができ、再利用する圧縮空気の圧力または流量を後段のアクチュエータに適合するように設定することができ、初段のアクチュエータが停止している間に後段のアクチュエータを動作させることができる。   According to the present invention described above, it is possible to increase the effectiveness or efficiency of reuse of compressed air used for operating an actuator. Further, according to the present invention described above, when the compressed air used for operating the first stage actuator is reused to operate the subsequent stage actuator, the pressure or flow rate of the compressed air to be reused is stabilized. The pressure or flow rate of the compressed air to be reused can be set to match the latter actuator, and the latter actuator can be operated while the first actuator is stopped.

以下、図面を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

(第1の実施形態)
図1は本発明の空気圧システムの第1の実施形態を示している。図1中の空気圧システム1は、空気圧シリンダ装置13、17を動作させるために用いた圧縮空気を再利用して真空発生装置21を動作させるシステムである。
(First embodiment)
FIG. 1 shows a first embodiment of the pneumatic system of the present invention. The pneumatic system 1 in FIG. 1 is a system that operates the vacuum generator 21 by reusing the compressed air used to operate the pneumatic cylinder devices 13 and 17.

空気圧システム1において、メインコンプレッサ11は、空気を圧縮することにより圧縮空気を生成し、この圧縮空気を吐出する。メインコンプレッサ11は第1の空気圧源の具体例である。圧力ゲージ12はメインコンプレッサ11から吐出する圧縮空気の圧力を測定するものである。   In the pneumatic system 1, the main compressor 11 generates compressed air by compressing air and discharges the compressed air. The main compressor 11 is a specific example of the first air pressure source. The pressure gauge 12 measures the pressure of compressed air discharged from the main compressor 11.

空気圧シリンダ装置13は、メインコンプレッサ11に接続されている。メインコンプレッサ11から吐出された圧縮空気は空気圧シリンダ装置13に供給される。空気圧シリンダ装置13は、メインコンプレッサ11から供給された圧縮空気により動作し、この動作に伴い圧縮空気を排出する。   The pneumatic cylinder device 13 is connected to the main compressor 11. The compressed air discharged from the main compressor 11 is supplied to the pneumatic cylinder device 13. The pneumatic cylinder device 13 is operated by the compressed air supplied from the main compressor 11 and discharges the compressed air with this operation.

具体的には、空気圧シリンダ装置13は、複動形空気圧シリンダ14、ダブルソレノイド形5ポート3位置方向切換弁15およびスピードコントローラ16、16を備えている。切換弁15のソレノイド15Aにハイレベルの制御信号を供給し、ソレノイド15Bにローレベルの制御信号を供給すると、切換弁15は、メインコンプレッサ11と空気圧シリンダ14のヘッド側(ロッド側)給排ポートとの間を接続し、空気圧シリンダ14のキャップ側給排ポートと真空発生装置21との間をチェック弁34およびタンク32を介して接続する。一方、切換弁15のソレノイド15Aにローレベルの制御信号を供給し、ソレノイド15Bにハイレベルの制御信号を供給すると、切換弁15は、メインコンプレッサ11と空気圧シリンダ14のキャップ側給排ポートとの間を接続し、かつ、空気圧シリンダ14のヘッド側給排ポートと真空発生装置21との間をチェック弁34およびタンク32を介して接続する。また、切換弁15のソレノイド15A、15Bにローレベルの制御信号をそれぞれ供給すると、切換弁15は、メインコンプレッサ11と空気圧シリンダ14との間を遮断すると共に、空気圧シリンダ14と真空発生装置21との間を遮断する。スピードコントローラ16、16は、空気圧シリンダ14のロッドの前進速度および後退速度をそれぞれ調整する。   Specifically, the pneumatic cylinder device 13 includes a double-acting pneumatic cylinder 14, a double solenoid type 5-port 3-position direction switching valve 15, and speed controllers 16, 16. When a high level control signal is supplied to the solenoid 15A of the switching valve 15 and a low level control signal is supplied to the solenoid 15B, the switching valve 15 is connected to the head side (rod side) supply / discharge port of the main compressor 11 and the pneumatic cylinder 14. Between the cap side supply / discharge port of the pneumatic cylinder 14 and the vacuum generator 21 via the check valve 34 and the tank 32. On the other hand, when a low level control signal is supplied to the solenoid 15A of the switching valve 15 and a high level control signal is supplied to the solenoid 15B, the switching valve 15 is connected to the main compressor 11 and the cap side supply / discharge port of the pneumatic cylinder 14. The head side supply / discharge port of the pneumatic cylinder 14 and the vacuum generator 21 are connected via the check valve 34 and the tank 32. When a low level control signal is supplied to the solenoids 15A and 15B of the switching valve 15, the switching valve 15 shuts off the main compressor 11 and the pneumatic cylinder 14, and the pneumatic cylinder 14 and the vacuum generator 21 Block between. The speed controllers 16 and 16 adjust the forward speed and the backward speed of the rod of the pneumatic cylinder 14, respectively.

空気圧シリンダ装置17は、メインコンプレッサ11に接続され、メインコンプレッサ11から供給された圧縮空気により動作し、この動作に伴い圧縮空気を排出する。空気圧シリンダ装置17は、複動形空気圧シリンダ18、ダブルソレノイド形5ポート3位置方向切換弁19およびスピードコントローラ20、20を備え、空気圧シリンダ装置13と同様に動作する。空気圧シリンダ装置13、17はそれぞれ空気圧アクチュエータ装置の具体例である。   The pneumatic cylinder device 17 is connected to the main compressor 11 and operates with compressed air supplied from the main compressor 11 and discharges compressed air with this operation. The pneumatic cylinder device 17 includes a double-acting pneumatic cylinder 18, a double solenoid type 5-port 3-position direction switching valve 19, and speed controllers 20, 20 and operates in the same manner as the pneumatic cylinder device 13. The pneumatic cylinder devices 13 and 17 are specific examples of pneumatic actuator devices.

真空発生装置21は、エジェクタ22、真空発生用のシングルソレノイド形2ポート2位置切換弁23、真空破壊用のシングルソレノイド形2ポート2位置切換弁24、絞り弁25およびチェック弁26を備えている。   The vacuum generator 21 includes an ejector 22, a single solenoid type 2-port 2-position switching valve 23 for generating a vacuum, a single-solenoid 2-port 2-position switching valve 24 for breaking a vacuum, a throttle valve 25, and a check valve 26. .

エジェクタ22は、供給ポート22A、放出ポート22Bおよび真空ポート22Cを有している。供給ポート22Aにはチェック弁34、タンク32および切換弁23を介して空気圧シリンダ装置13、17がそれぞれ接続されている。放出ポート22Bは消音器27を介して大気中に開放されている。真空ポート22Cにはチェック弁26、タンク30および切換弁31を介して吸着パッド28が接続されている。空気圧シリンダ装置13または17から排出された圧縮空気が、チェック弁34、タンク32および切換弁23を通過し、供給ポート22Aを介して流入し、放出ポート22Bから放出されることにより、真空ポート22Cに真空が発生する。エジェクタ22は真空発生器の具体例である。   The ejector 22 has a supply port 22A, a discharge port 22B, and a vacuum port 22C. Pneumatic cylinder devices 13 and 17 are connected to the supply port 22A via a check valve 34, a tank 32, and a switching valve 23, respectively. The discharge port 22B is opened to the atmosphere via a silencer 27. A suction pad 28 is connected to the vacuum port 22C via a check valve 26, a tank 30, and a switching valve 31. The compressed air discharged from the pneumatic cylinder device 13 or 17 passes through the check valve 34, the tank 32, and the switching valve 23, flows in through the supply port 22A, and is discharged from the discharge port 22B, whereby the vacuum port 22C. A vacuum is generated. The ejector 22 is a specific example of a vacuum generator.

真空発生用の切換弁23は、空気圧シリンダ装置13、17とエジェクタ22の供給ポート22Aとの間(具体的にはタンク32と供給ポート22Aとの間)に接続されている。切換弁23のソレノイドにハイレベルの制御信号を供給すると、切換弁23は、空気圧シリンダ装置13、17とエジェクタ22の供給ポート22Aとの間をチェック弁34、タンク32を介して接続する。一方、切換弁23のソレノイドにローレベルの制御信号を供給すると、切換弁23は、空気圧シリンダ装置13、17と供給ポート22Aとの間を遮断する。   The switching valve 23 for generating a vacuum is connected between the pneumatic cylinder devices 13 and 17 and the supply port 22A of the ejector 22 (specifically, between the tank 32 and the supply port 22A). When a high level control signal is supplied to the solenoid of the switching valve 23, the switching valve 23 connects the pneumatic cylinder devices 13, 17 and the supply port 22 </ b> A of the ejector 22 via the check valve 34 and the tank 32. On the other hand, when a low-level control signal is supplied to the solenoid of the switching valve 23, the switching valve 23 blocks between the pneumatic cylinder devices 13 and 17 and the supply port 22A.

真空破壊用の切換弁24は、空気圧シリンダ装置13、17と接続点Aとの間(具体的にはタンク32と絞り弁25との間)に接続されている。接続点Aは、エジェクタ22の真空ポート22Cと吸着パッド28とを接続する管路の途中であって、切換弁31と吸着パッド28との間に位置する。切換弁24のソレノイドにハイレベルの制御信号を供給すると、切換弁24は、チェック弁34、タンク32および絞り弁25を介して空気圧シリンダ装置13、17と接続点Aとの間を接続する。切換弁24のソレノイドにローレベルの制御信号を供給すると、切換弁24は、空気圧シリンダ装置13、17と接続点Aとの間を遮断する。   The vacuum break switching valve 24 is connected between the pneumatic cylinder devices 13 and 17 and the connection point A (specifically, between the tank 32 and the throttle valve 25). The connection point A is in the middle of a pipe line connecting the vacuum port 22C of the ejector 22 and the suction pad 28, and is located between the switching valve 31 and the suction pad 28. When a high-level control signal is supplied to the solenoid of the switching valve 24, the switching valve 24 connects the pneumatic cylinder devices 13, 17 and the connection point A via the check valve 34, the tank 32, and the throttle valve 25. When a low-level control signal is supplied to the solenoid of the switching valve 24, the switching valve 24 blocks between the pneumatic cylinder devices 13 and 17 and the connection point A.

絞り弁25は、真空破壊時、すなわち、切換弁24により空気圧シリンダ装置13、17と接続点Aとの間を接続したときに、空気圧シリンダ装置13、17から吸着パッド28に向けて流れる圧縮空気の流量(破壊流量)を調整する弁である。   The throttle valve 25 is a compressed air that flows from the pneumatic cylinder devices 13 and 17 toward the suction pad 28 when the vacuum breaks, that is, when the pneumatic cylinder devices 13 and 17 and the connection point A are connected by the switching valve 24. It is a valve that adjusts the flow rate (destructive flow rate).

チェック弁26は、エジェクタ22の真空ポート22Cからタンク30に向けて圧縮空気が流れることにより、タンク30内の圧力が上昇するのを阻止するための弁である。   The check valve 26 is a valve for preventing the pressure in the tank 30 from increasing due to the flow of compressed air from the vacuum port 22 </ b> C of the ejector 22 toward the tank 30.

吸着パッド28は、エジェクタ22が形成する真空の吸引力を利用して、被工作物29を把持・搬送するためのパッドである。   The suction pad 28 is a pad for gripping and transporting the workpiece 29 using the vacuum suction force formed by the ejector 22.

タンク30は、エジェクタ22の真空ポート22と吸着パッド28との間(より具体的にはチェック弁26と切換弁31との間)に接続されている。タンク30は、エジェクタ22により形成された真空のエネルギーを蓄積する。なお、タンク30は第4のタンクの具体例である。   The tank 30 is connected between the vacuum port 22 of the ejector 22 and the suction pad 28 (more specifically, between the check valve 26 and the switching valve 31). The tank 30 stores the energy of the vacuum formed by the ejector 22. The tank 30 is a specific example of the fourth tank.

シングルソレノイド形2ポート2位置切換弁31は、タンク30と吸着パッド28との間に接続されている。切換弁31のソレノイドにハイレベルの制御信号を供給すると、切換弁31は、タンク30と吸着パッド28との間を接続する。一方、切換弁31のソレノイドにローレベルの制御信号を供給すると、切換弁31は、タンク30と吸着パッド28との間を遮断する。切換弁31は第3の切換弁の具体例である。   The single solenoid type 2-port 2-position switching valve 31 is connected between the tank 30 and the suction pad 28. When a high-level control signal is supplied to the solenoid of the switching valve 31, the switching valve 31 connects between the tank 30 and the suction pad 28. On the other hand, when a low-level control signal is supplied to the solenoid of the switching valve 31, the switching valve 31 blocks between the tank 30 and the suction pad 28. The switching valve 31 is a specific example of a third switching valve.

タンク32は、空気圧シリンダ装置13、17と真空発生装置21との間(具体的にはチェック弁34と真空発生装置21との間)に接続されている。タンク32は、空気圧シリンダ装置13、17から排出された圧縮空気を蓄積し、この蓄積された圧縮空気を真空発生装置21に供給する。タンク32は第1のタンクの具体例である。圧力ゲージ33は、タンク32の排出側の圧力を測定するものである。なお、タンク32には、タンク32内の圧力を検出し、この圧力が予め設定されたタンク内上限圧力を超えたときに、タンク32内の圧縮空気をタンク32外に排出する弁を設けることが望ましい。   The tank 32 is connected between the pneumatic cylinder devices 13 and 17 and the vacuum generator 21 (specifically, between the check valve 34 and the vacuum generator 21). The tank 32 accumulates the compressed air discharged from the pneumatic cylinder devices 13 and 17 and supplies the accumulated compressed air to the vacuum generator 21. The tank 32 is a specific example of the first tank. The pressure gauge 33 measures the pressure on the discharge side of the tank 32. The tank 32 is provided with a valve that detects the pressure in the tank 32 and discharges the compressed air in the tank 32 to the outside of the tank 32 when the pressure exceeds a preset upper limit in the tank. Is desirable.

チェック弁34は、タンク32に蓄積された圧縮空気またはサブコンプレッサ43により供給された圧縮空気が、分岐配管36、40を通じて大気中に逃げるのを阻止するための弁である。   The check valve 34 is a valve for preventing the compressed air accumulated in the tank 32 or the compressed air supplied by the sub-compressor 43 from escaping into the atmosphere through the branch pipes 36 and 40.

シングルソレノイド形2ポート2位置切換弁35は、一端側が空気圧シリンダ装置13と真空発生装置21におけるエジェクタ22の供給ポート22Aとの間(具体的には空気圧シリンダ装置13とチェック弁34との間)に接続され、他端側が大気中に開放された分岐配管36の途中に接続されている。切換弁35のソレノイドにハイレベルの制御信号を供給すると、切換弁35は分岐配管36の他端側を大気中から遮断する。一方、切換弁35のソレノイドにローレベルの制御信号を供給すると、切換弁35は分岐配管36の他端側を大気中に開放する。また、分岐配管36には、分岐配管36を通じて大気中に排出される圧縮空気の流量を調整するための絞り弁37、および分岐配管36を通じて圧縮空気を大気中に排出するときに発生する異音を軽減するための消音器38が設けられている。なお、切換弁35は制御弁の具体例であり、分岐配管36は第2の分岐経路の具体例である。   The single solenoid type 2-port 2-position switching valve 35 has one end between the pneumatic cylinder device 13 and the supply port 22A of the ejector 22 in the vacuum generator 21 (specifically, between the pneumatic cylinder device 13 and the check valve 34). And the other end is connected in the middle of the branch pipe 36 opened to the atmosphere. When a high level control signal is supplied to the solenoid of the switching valve 35, the switching valve 35 shuts off the other end of the branch pipe 36 from the atmosphere. On the other hand, when a low-level control signal is supplied to the solenoid of the switching valve 35, the switching valve 35 opens the other end of the branch pipe 36 to the atmosphere. Further, the branch pipe 36 has a throttle valve 37 for adjusting the flow rate of the compressed air discharged into the atmosphere through the branch pipe 36, and the abnormal noise generated when the compressed air is discharged into the atmosphere through the branch pipe 36. A silencer 38 is provided to reduce the noise. The switching valve 35 is a specific example of the control valve, and the branch pipe 36 is a specific example of the second branch path.

シングルソレノイド形2ポート2位置切換弁39は、一端側が空気圧シリンダ装置17と真空発生装置21におけるエジェクタ22の供給ポート22Aとの間(具体的には空気圧シリンダ装置17とチェック弁34との間)に接続され、他端側が大気中に開放された分岐配管40の途中に接続されている。切換弁39のソレノイドにハイレベルの制御信号を供給すると、切換弁39は分岐配管40の他端側を大気中から遮断する。一方、切換弁39のソレノイドにローレベルの制御信号を供給すると、切換弁39は分岐配管40の他端側を大気中に開放する。また、分岐配管40には、分岐配管40を通じて大気中に排出される圧縮空気の流量を調整するための絞り弁41、および分岐配管40を通じて圧縮空気を大気中に排出するときに発生する異音を軽減するための消音器42が設けられている。なお、切換弁39は制御弁の具体例であり、分岐配管40は第2の分岐経路の具体例である。   One end of the single solenoid type 2-port 2-position switching valve 39 is between the pneumatic cylinder device 17 and the supply port 22A of the ejector 22 in the vacuum generator 21 (specifically, between the pneumatic cylinder device 17 and the check valve 34). And the other end side is connected in the middle of the branch pipe 40 opened to the atmosphere. When a high level control signal is supplied to the solenoid of the switching valve 39, the switching valve 39 shuts off the other end of the branch pipe 40 from the atmosphere. On the other hand, when a low-level control signal is supplied to the solenoid of the switching valve 39, the switching valve 39 opens the other end of the branch pipe 40 to the atmosphere. Further, the branch pipe 40 has a throttle valve 41 for adjusting the flow rate of the compressed air discharged into the atmosphere through the branch pipe 40, and an abnormal noise generated when the compressed air is discharged into the atmosphere through the branch pipe 40. A silencer 42 is provided to reduce the noise. The switching valve 39 is a specific example of the control valve, and the branch pipe 40 is a specific example of the second branch path.

サブコンプレッサ43は、切換弁45、タンク32および切換弁23を介してエジェクタ22の供給ポート22Aに接続されている。サブコンプレッサ43は、空気を圧縮することにより圧縮空気圧を生成し、この圧縮空気を吐出する。サブコンプレッサ43は第2の空気圧源の具体例である。圧力ゲージ44はサブコンプレッサ43から吐出する圧縮空気の圧力を測定するものである。   The sub compressor 43 is connected to the supply port 22 </ b> A of the ejector 22 via the switching valve 45, the tank 32, and the switching valve 23. The sub-compressor 43 generates compressed air pressure by compressing air and discharges the compressed air. The sub-compressor 43 is a specific example of the second air pressure source. The pressure gauge 44 measures the pressure of the compressed air discharged from the sub compressor 43.

シングルソレノイド形2ポート2位置切換弁45は、サブコンプレッサ43とエジェクタ22の供給ポート22Aとの間(具体的にはサブコンプレッサ43とタンク32との間)に接続されている。切換弁45のソレノイドにハイレベルの制御信号を供給すると、切換弁45は、サブコンプレッサ43とエジェクタ22の供給ポート22Aとの間をタンク32および切換弁23を介して接続する。一方、切換弁45のソレノイドにローレベルの制御信号を供給すると、切換弁45は、サブコンプレッサ43とエジェクタ22の供給ポート22Aとの間を遮断する。切換弁45は第2の切換弁の具体例である。   The single solenoid type 2-port 2-position switching valve 45 is connected between the sub compressor 43 and the supply port 22A of the ejector 22 (specifically, between the sub compressor 43 and the tank 32). When a high-level control signal is supplied to the solenoid of the switching valve 45, the switching valve 45 connects the sub compressor 43 and the supply port 22 </ b> A of the ejector 22 via the tank 32 and the switching valve 23. On the other hand, when a low-level control signal is supplied to the solenoid of the switching valve 45, the switching valve 45 cuts off the connection between the sub compressor 43 and the supply port 22A of the ejector 22. The switching valve 45 is a specific example of the second switching valve.

空気圧システム1を構成する上述のコンプレッサ、シリンダ、各制御弁、タンクなどの接続には配管などが用いられている。   Piping or the like is used to connect the above-described compressor, cylinder, each control valve, tank, etc. constituting the pneumatic system 1.

コントローラ46は例えばマイクロコンピュータであり、切換弁制御手段および空気圧源制御手段としての機能を果たす。コントローラ46は、切換弁15、19、23、24、31、35、39および45のソレノイドとそれぞれ電気的に接続されている。コントローラ46は、これらのソレノイドに制御信号を供給することにより、切換弁15、19、23、24、31、35、39および45の切換を制御する。また、コントローラ46は、メインコンプレッサ11およびサブコンプレッサ43の駆動を制御する。   The controller 46 is, for example, a microcomputer, and functions as a switching valve control unit and a pneumatic pressure source control unit. The controller 46 is electrically connected to solenoids of the switching valves 15, 19, 23, 24, 31, 35, 39, and 45, respectively. The controller 46 controls the switching of the switching valves 15, 19, 23, 24, 31, 35, 39 and 45 by supplying control signals to these solenoids. The controller 46 controls the driving of the main compressor 11 and the sub compressor 43.

図2は、空気圧システム1の動作時において、コントローラ46から切換弁15、19、23、24、31、35、39および45のソレノイドにそれぞれ供給される制御信号を示している。図2では、説明の便宜上、期間P1において、空気圧シリンダ装置13を動作させるために用いた圧縮空気を再利用して真空発生装置21を動作させるための準備を行い、期間P2において、空気圧シリンダ装置13を動作させるために用いた圧縮空気を再利用して真空発生装置21を動作させる。続いて、期間P3において、空気圧シリンダ装置17を動作させるために用いた圧縮空気を再利用して真空発生装置21を動作させるための準備を行い、期間P4において、空気圧シリンダ装置17を動作させるために用いた圧縮空気を再利用して真空発生装置21を動作させる。続いて、期間P5において、サブコンプレッサ43から供給される圧縮空気を利用して真空発生装置21を動作させるための準備を行い、期間P6において、サブコンプレッサ43から供給される圧縮空気を利用して真空発生装置21を動作させる。   FIG. 2 shows control signals supplied from the controller 46 to the solenoids of the switching valves 15, 19, 23, 24, 31, 35, 39 and 45 during the operation of the pneumatic system 1. In FIG. 2, for convenience of explanation, preparation for operating the vacuum generator 21 by reusing the compressed air used for operating the pneumatic cylinder device 13 is performed in the period P1, and the pneumatic cylinder device is used in the period P2. The vacuum generating apparatus 21 is operated by reusing the compressed air used to operate 13. Subsequently, in the period P3, preparation for operating the vacuum generator 21 is performed by reusing the compressed air used for operating the pneumatic cylinder device 17, and in order to operate the pneumatic cylinder device 17 in the period P4. The vacuum generator 21 is operated by reusing the compressed air used in the above. Subsequently, in period P5, preparation is made to operate the vacuum generator 21 using compressed air supplied from the sub-compressor 43. In period P6, compressed air supplied from the sub-compressor 43 is used. The vacuum generator 21 is operated.

図2に示すように、空気圧システム1を動作させる直前の時点(期間P1の始点よりも前の時点)において、コントローラ46は、切換弁15、19、23、24、31、35、39および45のソレノイドにローレベルの制御信号をそれぞれ供給する。これにより、切換弁15、19、23、24、31、35、39および45は、図1に示すような位置になる。   As shown in FIG. 2, at the time immediately before operating the pneumatic system 1 (the time before the start point of the period P1), the controller 46 has the switching valves 15, 19, 23, 24, 31, 35, 39 and 45. A low level control signal is supplied to each solenoid. As a result, the switching valves 15, 19, 23, 24, 31, 35, 39, and 45 are positioned as shown in FIG.

続いて、期間P1において、コントローラ46は、空気圧シリンダ装置13の切換弁15のソレノイド15A、15Bにハイレベルとローレベルとが周期的に切り替わる略方形波形の制御信号をそれぞれ供給する。ソレノイド15Aに供給する制御信号とソレノイド15Bに供給する制御信号とは位相が互いに180度ずれている。この直後、コントローラ46はメインコンプレッサ11を駆動させる。これにより、メインコンプレッサ11から吐出された圧縮空気が空気圧シリンダ14に供給され、空気圧シリンダ14が動作(ロッドの前進・後退)を開始する。そして、空気圧シリンダ14のヘッド側給排ポートおよびキャップ側給排ポートからは圧縮空気が交互に流出する。続いて、コントローラ46は、切換弁35のソレノイドに供給する制御信号のレベルをローレベルからハイレベルに切り換える。これにより、切換弁35の位置が切り換えられ、分岐配管36の他端側が大気中から遮断される。この結果、空気圧シリンダ14のヘッド側給排ポートおよびキャップ側給排ポートからそれぞれ流出した圧縮空気は、いずれもチェック弁34を通過してタンク32に供給される。この時点では、真空発生装置21の切換弁23によりタンク32とエジェクタ22の供給ポート22Aとの間が遮断されているので、空気圧シリンダ14から供給される圧縮空気はタンク32内にもっぱら蓄積され、この結果、タンク32内の圧力が上昇する。   Subsequently, in the period P1, the controller 46 supplies a control signal having a substantially square waveform that periodically switches between the high level and the low level to the solenoids 15A and 15B of the switching valve 15 of the pneumatic cylinder device 13. The control signal supplied to the solenoid 15A and the control signal supplied to the solenoid 15B are 180 degrees out of phase with each other. Immediately after this, the controller 46 drives the main compressor 11. As a result, the compressed air discharged from the main compressor 11 is supplied to the pneumatic cylinder 14, and the pneumatic cylinder 14 starts to operate (rod advance / retreat). The compressed air alternately flows out from the head side supply / discharge port and the cap side supply / discharge port of the pneumatic cylinder 14. Subsequently, the controller 46 switches the level of the control signal supplied to the solenoid of the switching valve 35 from the low level to the high level. Thereby, the position of the switching valve 35 is switched, and the other end side of the branch pipe 36 is shut off from the atmosphere. As a result, the compressed air flowing out from the head side supply / discharge port and the cap side supply / discharge port of the pneumatic cylinder 14 both passes through the check valve 34 and is supplied to the tank 32. At this time, since the tank 32 and the supply port 22A of the ejector 22 are blocked by the switching valve 23 of the vacuum generator 21, the compressed air supplied from the pneumatic cylinder 14 is accumulated exclusively in the tank 32. As a result, the pressure in the tank 32 increases.

その後、期間P1中において、タンク32内の圧力が所定の圧力に達した時、コントローラ46は、真空発生装置21における真空発生用の切換弁23のソレノイドに供給する制御信号のレベルをローレベルからハイレベルに切り換える。これにより、切換弁23の位置が切り換えられ、タンク32とエジェクタ22の供給ポート22Aとの間が接続される。これにより、空気圧シリンダ装置13の空気圧シリンダ14から供給され、タンク32に蓄積された圧縮空気が、エジェクタ22の供給ポート22Aに供給される。この圧縮空気は、供給ポート22Aからエジェクタ22内に流入し、エジェクタ22内に形成されたノズルおよびディフューザを通り、放出ポート22Bを介してエジェクタ22内から流出し、消音器27を介して大気中に排出される。これにより、真空ポート22Cに真空が発生する。この時点では、切換弁31によりタンク30と吸着パッド28との間が遮断されているので、真空ポート22Cに発生した真空のエネルギーはタンク30内にもっぱら蓄積される。   Thereafter, when the pressure in the tank 32 reaches a predetermined pressure during the period P1, the controller 46 changes the level of the control signal supplied from the low level to the solenoid of the switching valve 23 for generating vacuum in the vacuum generating device 21. Switch to high level. Thereby, the position of the switching valve 23 is switched, and the tank 32 and the supply port 22A of the ejector 22 are connected. Thereby, the compressed air supplied from the pneumatic cylinder 14 of the pneumatic cylinder device 13 and accumulated in the tank 32 is supplied to the supply port 22 </ b> A of the ejector 22. This compressed air flows into the ejector 22 from the supply port 22A, passes through the nozzle and diffuser formed in the ejector 22, flows out of the ejector 22 through the discharge port 22B, and enters the atmosphere through the silencer 27. To be discharged. Thereby, a vacuum is generated in the vacuum port 22C. At this time, since the tank 30 and the suction pad 28 are shut off by the switching valve 31, the energy of the vacuum generated in the vacuum port 22C is accumulated only in the tank 30.

続いて、真空のエネルギーがタンク30内に蓄積され、タンク30内の真空圧力が十分に高まった時点(期間P1の終点)において、コントローラ46は、切換弁31のソレノイドに供給する制御信号のレベルをローレベルからハイレベルに切り換える。これにより、切換弁31の位置が切り換えられ、タンク30と吸着パッド28との間が接続され、タンク30内の真空圧力により吸着パッド28に吸引力が発生する。   Subsequently, when the vacuum energy is accumulated in the tank 30 and the vacuum pressure in the tank 30 is sufficiently increased (end point of the period P1), the controller 46 controls the level of the control signal supplied to the solenoid of the switching valve 31. From low level to high level. Thereby, the position of the switching valve 31 is switched, the tank 30 and the suction pad 28 are connected, and a suction force is generated in the suction pad 28 by the vacuum pressure in the tank 30.

続いて、期間P2においては、空気圧シリンダ装置13の空気圧シリンダ14から供給され、タンク32に蓄積された圧縮空気によりエジェクタ22の真空ポート22Cに真空が形成され、これにより発生する吸着パッド28における吸引力により被工作物29の把持・搬送が行われる。空気圧シリンダ14からタンク32へ供給される圧縮空気は、空気圧シリンダ14のロッドの往復動に伴い、空気圧シリンダ14のヘッド側給排ポートおよびキャップ側給排ポートから交互に流出する圧縮空気であるため、脈動している。しかし、この圧縮空気の脈動は、タンク32により除去される。したがって、タンク32からエジェクタ22の供給ポート22Aに供給される圧縮空気は脈動していない。   Subsequently, in the period P2, a vacuum is formed in the vacuum port 22C of the ejector 22 by the compressed air supplied from the pneumatic cylinder 14 of the pneumatic cylinder device 13 and accumulated in the tank 32, and suction generated by the suction pad 28 generated thereby. The workpiece 29 is gripped and conveyed by the force. The compressed air supplied from the pneumatic cylinder 14 to the tank 32 is compressed air that alternately flows out from the head side supply / discharge port and the cap side supply / discharge port of the pneumatic cylinder 14 as the rod of the pneumatic cylinder 14 reciprocates. Pulsating. However, this pulsation of compressed air is removed by the tank 32. Therefore, the compressed air supplied from the tank 32 to the supply port 22A of the ejector 22 is not pulsating.

続いて、期間P3において、コントローラ46は、空気圧シリンダ装置17の切換弁19のソレノイド19A、19Bにハイレベルとローレベルとが周期的に切り替わる略方形波形の制御信号をそれぞれ供給する。ソレノイド19Aに供給する制御信号とソレノイド19Bに供給する制御信号とは位相が互いに180度ずれている。これにより、メインコンプレッサ11から吐出された圧縮空気が空気圧シリンダ18に供給され、空気圧シリンダ18が動作(ロッドの前進・後退)を開始する。そして、空気圧シリンダ18のヘッド側給排ポートおよびキャップ側給排ポートからは圧縮空気が交互に流出する。この直後、コントローラ46は、切換弁39のソレノイドに供給する制御信号のレベルをローレベルからハイレベルに切り換える。これにより、切換弁39の位置が切り換えられ、分岐配管40の他端側が大気中から遮断される。この結果、空気圧シリンダ18のヘッド側給排ポートおよびキャップ側給排ポートからそれぞれ流出した圧縮空気は、いずれもチェック弁34を通過してタンク32に供給される。   Subsequently, in the period P3, the controller 46 supplies a control signal having a substantially square waveform in which the high level and the low level are periodically switched to the solenoids 19A and 19B of the switching valve 19 of the pneumatic cylinder device 17. The control signal supplied to the solenoid 19A and the control signal supplied to the solenoid 19B are 180 degrees out of phase with each other. As a result, the compressed air discharged from the main compressor 11 is supplied to the pneumatic cylinder 18, and the pneumatic cylinder 18 starts operating (rod advance / retreat). The compressed air alternately flows out from the head side supply / discharge port and the cap side supply / discharge port of the pneumatic cylinder 18. Immediately after this, the controller 46 switches the level of the control signal supplied to the solenoid of the switching valve 39 from the low level to the high level. Thereby, the position of the switching valve 39 is switched, and the other end side of the branch pipe 40 is shut off from the atmosphere. As a result, the compressed air flowing out from the head side supply / discharge port and the cap side supply / discharge port of the pneumatic cylinder 18 both passes through the check valve 34 and is supplied to the tank 32.

この直後、コントローラ46は、切換弁35のソレノイドに供給する制御信号のレベルをハイレベルからローレベルに切り換える。これにより、切換弁35の位置が切り換えられ、分岐配管36の他端側が大気中に開放される。この結果、空気圧シリンダ14のヘッド側給排ポートおよびキャップ側給排ポートからそれぞれ流出した圧縮空気は、いずれも分岐配管36を通って大気に開放される。その後、コントローラ46は、空気圧シリンダ装置13の切換弁15のソレノイド15A、15Bにローレベルが継続する制御信号をそれぞれ供給する。これにより、メインコンプレッサ11と空気圧シリンダ14との間が遮断され、空気圧シリンダ14が停止する。このように、期間P3において、真空発生装置21を動作させるための圧縮空気の供給元が、空気圧シリンダ装置13から空気圧シリンダ装置17に切り換えられる。   Immediately after this, the controller 46 switches the level of the control signal supplied to the solenoid of the switching valve 35 from the high level to the low level. Thereby, the position of the switching valve 35 is switched, and the other end side of the branch pipe 36 is opened to the atmosphere. As a result, the compressed air flowing out from the head side supply / discharge port and the cap side supply / discharge port of the pneumatic cylinder 14 is released to the atmosphere through the branch pipe 36. Thereafter, the controller 46 supplies control signals for maintaining the low level to the solenoids 15A and 15B of the switching valve 15 of the pneumatic cylinder device 13, respectively. As a result, the main compressor 11 and the pneumatic cylinder 14 are disconnected, and the pneumatic cylinder 14 stops. Thus, in the period P3, the supply source of the compressed air for operating the vacuum generator 21 is switched from the pneumatic cylinder device 13 to the pneumatic cylinder device 17.

続いて、期間P4においては、空気圧シリンダ装置17の空気圧シリンダ18から供給され、タンク32に蓄積された圧縮空気によりエジェクタ22の真空ポート22Cに真空が形成され、これにより発生する吸着パッド28における吸引力により被工作物29の把持・搬送が行われる。空気圧シリンダ18からタンク32へ供給される圧縮空気も、空気圧シリンダ14からタンク32へ供給されていた圧縮空気と同様に脈動しているが、この脈動はタンク32により除去される。   Subsequently, in the period P4, a vacuum is formed in the vacuum port 22C of the ejector 22 by the compressed air supplied from the pneumatic cylinder 18 of the pneumatic cylinder device 17 and accumulated in the tank 32, and suction generated in the suction pad 28 is thereby generated. The workpiece 29 is gripped and conveyed by the force. The compressed air supplied from the pneumatic cylinder 18 to the tank 32 pulsates similarly to the compressed air supplied from the pneumatic cylinder 14 to the tank 32, but this pulsation is removed by the tank 32.

続いて、期間P5において、コントローラ46は、切換弁45に供給する制御信号のレベルをローレベルからハイレベルに切り換える。これにより、切換弁45の位置が切り換えられ、サブコンプレッサ43とタンク32との間が接続される。この直後、コントローラ46はサブコンプレッサ43を駆動する。これにより、サブコンプレッサ43から吐出された圧縮空気がタンク32に供給される。   Subsequently, in the period P5, the controller 46 switches the level of the control signal supplied to the switching valve 45 from the low level to the high level. Thereby, the position of the switching valve 45 is switched, and the sub compressor 43 and the tank 32 are connected. Immediately after this, the controller 46 drives the sub compressor 43. Thereby, the compressed air discharged from the sub compressor 43 is supplied to the tank 32.

この直後、コントローラ46は、切換弁39のソレノイドに供給する制御信号のレベルをハイレベルからローレベルに切り換える。これにより、切換弁39の位置が切り換えられ、分岐配管40の他端側が大気中に開放される。この結果、空気圧シリンダ18のヘッド側給排ポートおよびキャップ側給排ポートからそれぞれ流出した圧縮空気は、いずれも分岐配管40を通って大気に開放される。その後、コントローラ46は、空気圧シリンダ装置17の切換弁19のソレノイド19A、19Bにローレベルが継続する制御信号をそれぞれ供給する。これにより、メインコンプレッサ11と空気圧シリンダ19との間が遮断され、空気圧シリンダ19が停止する。   Immediately after this, the controller 46 switches the level of the control signal supplied to the solenoid of the switching valve 39 from the high level to the low level. Thereby, the position of the switching valve 39 is switched, and the other end side of the branch pipe 40 is opened to the atmosphere. As a result, the compressed air respectively flowing out from the head side supply / discharge port and the cap side supply / discharge port of the pneumatic cylinder 18 is released to the atmosphere through the branch pipe 40. Thereafter, the controller 46 supplies control signals for maintaining the low level to the solenoids 19A and 19B of the switching valve 19 of the pneumatic cylinder device 17, respectively. As a result, the main compressor 11 and the pneumatic cylinder 19 are disconnected from each other, and the pneumatic cylinder 19 is stopped.

続いて、期間P6においては、サブコンプレッサ43から供給され、タンク32に蓄積された圧縮空気によりエジェクタ22の真空ポート22Cに真空が形成され、これにより発生する吸着パッド28における吸引力により被工作物29の把持・搬送が行われる。   Subsequently, in a period P6, a vacuum is formed in the vacuum port 22C of the ejector 22 by the compressed air supplied from the sub-compressor 43 and accumulated in the tank 32, and the workpiece is generated by the suction force generated by the suction pad 28. 29 is gripped and conveyed.

なお、吸着パッド28により把持した被工作物29を、吸着パッド28から分離するときには、切換弁31に供給する制御信号のレベルをハイレベルからローレベルに切り換えることにより切換弁31の位置を切り換え、タンク30と吸着パッド28との間を遮断し、これと同時に、切換弁24に供給する制御信号のレベルをローレベルからハイレベルに切り換えることにより切換弁24の位置を切り換え、タンク32と接続点Aとの間を接続する。これにより、タンク32に蓄積された圧縮空気が接続点Aを介して吸着パッド28に流れ、真空破壊が生じ、被工作物が吸着パッド28から離れる。   When the workpiece 29 gripped by the suction pad 28 is separated from the suction pad 28, the position of the switching valve 31 is switched by switching the level of the control signal supplied to the switching valve 31 from the high level to the low level. At the same time, the position of the switching valve 24 is switched by switching the level of the control signal supplied to the switching valve 24 from the low level to the high level. Connect to A. As a result, the compressed air accumulated in the tank 32 flows to the suction pad 28 via the connection point A, a vacuum break occurs, and the workpiece is separated from the suction pad 28.

また、図2では、説明の便宜上、真空発生装置21を動作させるための圧縮空気の供給元を、空気圧シリンダ装置13、空気圧シリンダ装置17、サブコンプレッサ43の順で切り換える場合を例にあげたが、実際には、空気圧シリンダ装置13、17の動作状況に応じて、真空発生装置21を動作させるための圧縮空気の供給元を切り換える。例えば、空気圧シリンダ装置13を動作させて工作物の加工、搬送などを行う間は、空気圧シリンダ装置13を動作させるために用いる圧縮空気を再利用して真空発生装置21を動作させる。また、空気圧シリンダ装置17を動作させて工作物の加工、搬送などを行う間は、空気圧シリンダ装置17を動作させるために用いる圧縮空気を再利用して真空発生装置21を動作させる。また、空気圧シリンダ装置13および17の双方を動作させて工作物の加工、搬送などを行う間は、切換弁35、39を適宜切り換え、空気圧シリンダ装置13および17のいずれか一方を動作させるために用いる圧縮空気を再利用して真空発生装置21を動作させる。また、空気圧シリンダ装置13および17の双方を停止させる間は、サブコンプレッサ43を駆動し、サブコンプレッサ43から供給される圧縮空気を利用して真空発生装置21を動作させる。また、空気圧シリンダ装置13、17からの圧縮空気の供給量が不足している場合には、空気圧シリンダ装置13、17と同時にサブコンプレッサ43を駆動し、圧縮空気の不足分をサブコンプレッサ43から供給される圧縮空気によって補うことができる。   In FIG. 2, for convenience of explanation, the case where the compressed air supply source for operating the vacuum generator 21 is switched in the order of the pneumatic cylinder device 13, the pneumatic cylinder device 17, and the sub compressor 43 is taken as an example. Actually, the supply source of compressed air for operating the vacuum generator 21 is switched according to the operating conditions of the pneumatic cylinder devices 13 and 17. For example, while the pneumatic cylinder device 13 is operated and a workpiece is processed, conveyed, etc., the vacuum generator 21 is operated by reusing compressed air used to operate the pneumatic cylinder device 13. In addition, while the pneumatic cylinder device 17 is operated to process or convey a workpiece, the vacuum generator 21 is operated by reusing the compressed air used to operate the pneumatic cylinder device 17. In order to operate either one of the pneumatic cylinder devices 13 and 17 while switching both the switching valves 35 and 39 while the pneumatic cylinder devices 13 and 17 are operated to process or convey the workpiece. The vacuum generator 21 is operated by reusing the compressed air to be used. Further, while both the pneumatic cylinder devices 13 and 17 are stopped, the sub compressor 43 is driven, and the vacuum generator 21 is operated using the compressed air supplied from the sub compressor 43. When the supply amount of compressed air from the pneumatic cylinder devices 13 and 17 is insufficient, the sub compressor 43 is driven simultaneously with the pneumatic cylinder devices 13 and 17, and the shortage of compressed air is supplied from the sub compressor 43. Can be supplemented by compressed air.

また、真空発生装置21を動作させる間、タンク32からエジェクタ22の供給ポート22Aに供給する圧縮空気の圧力が一定の範囲内となるようにする。具体的には、真空発生装置21を動作させる間、タンク32からエジェクタ22の供給ポート22Aに供給する圧縮空気の圧力を、エジェクタ22が真空発生動作を適切に行うことができる所定範囲内の圧力(例えばおよそ0.3MPaないし0.4MPa)に常時維持する。空気圧シリンダ装置13からタンク32に圧縮空気を供給する場合、タンク32からエジェクタ22の供給ポート22Aに供給する圧縮空気の圧力の調整は、切換弁35を適宜切り換えてタンク32内の圧力を調整することにより行う。すなわち、タンク32内の圧力が所定範囲の圧力を超えた場合には、切換弁35の切り換えにより分岐配管36の他端側を大気中に一時的に開放し、空気圧シリンダ装置13から供給される圧縮空気がタンク32に供給されるのを一時的に阻止し、タンク32内の圧力を所定の圧力となるまで下げる。また、空気圧シリンダ装置17からタンク32に圧縮空気を供給する場合もこれと同様に、切換弁39を適宜切り換えてタンク32内の圧力を調整し、タンク32からエジェクタ22の供給ポート22Aに供給する圧縮空気の圧力が所定範囲内の圧力となるように制御する。   Further, while operating the vacuum generator 21, the pressure of the compressed air supplied from the tank 32 to the supply port 22A of the ejector 22 is set within a certain range. Specifically, during the operation of the vacuum generator 21, the pressure of the compressed air supplied from the tank 32 to the supply port 22A of the ejector 22 is set to a pressure within a predetermined range at which the ejector 22 can appropriately perform the vacuum generation operation. (For example, approximately 0.3 MPa to 0.4 MPa) is always maintained. When compressed air is supplied from the pneumatic cylinder device 13 to the tank 32, the pressure of the compressed air supplied from the tank 32 to the supply port 22A of the ejector 22 is adjusted by appropriately switching the switching valve 35 to adjust the pressure in the tank 32. By doing. That is, when the pressure in the tank 32 exceeds a predetermined range of pressure, the other end of the branch pipe 36 is temporarily opened to the atmosphere by switching the switching valve 35 and supplied from the pneumatic cylinder device 13. The compressed air is temporarily prevented from being supplied to the tank 32, and the pressure in the tank 32 is lowered to a predetermined pressure. Similarly, when compressed air is supplied from the pneumatic cylinder device 17 to the tank 32, the switching valve 39 is appropriately switched to adjust the pressure in the tank 32 and supplied from the tank 32 to the supply port 22A of the ejector 22. Control is performed so that the pressure of the compressed air is within a predetermined range.

以上説明した通り、空気圧システム1では、空気圧シリンダ装置13または17を動作させるために用いた圧縮空気を再利用して真空発生装置21を動作させる。空気圧システム1では、空気圧シリンダ14または18の動作時に、空気圧シリンダ14または18のヘッド側(ロッド側)給排ポートから流出する圧縮空気およびキャップ側給排ポートから流出する圧縮空気の双方を、タンク32等を介して真空発生装置21に供給し、これにより真空発生装置21を動作させる。したがって、空気圧システム1によれば、空気圧シリンダ14または18を動作させるために用いた圧縮空気の全部を有効にかつ効率よく再利用することができる。   As described above, in the pneumatic system 1, the vacuum generator 21 is operated by reusing the compressed air used to operate the pneumatic cylinder device 13 or 17. In the pneumatic system 1, during operation of the pneumatic cylinder 14 or 18, both compressed air flowing out from the head side (rod side) supply / discharge port of the pneumatic cylinder 14 or 18 and compressed air flowing out from the cap side supply / discharge port are stored in the tank. The vacuum generator 21 is supplied to the vacuum generator 21 through 32 and the like, and the vacuum generator 21 is operated thereby. Therefore, according to the pneumatic system 1, all of the compressed air used for operating the pneumatic cylinder 14 or 18 can be reused effectively and efficiently.

さらに、空気圧システム1では、空気圧シリンダ14または18から流出する圧縮空気の圧力または流量を利用して真空発生装置21を動作させる。すなわち、空気圧システム1では、空気圧シリンダ14または18を動作させるために用いた圧縮空気を単なる空気として再利用するのではなく、圧力または流量を有する圧縮空気として再利用する。したがって、空気圧システム1によれば、空気圧シリンダ14または18を動作させるために用いた圧縮空気が有するエネルギーを有効にかつ効率よく再利用することができる。   Further, in the pneumatic system 1, the vacuum generator 21 is operated using the pressure or flow rate of the compressed air flowing out from the pneumatic cylinder 14 or 18. That is, in the pneumatic system 1, the compressed air used to operate the pneumatic cylinder 14 or 18 is not reused as simple air, but is reused as compressed air having pressure or flow rate. Therefore, according to the pneumatic system 1, the energy of the compressed air used for operating the pneumatic cylinder 14 or 18 can be effectively and efficiently reused.

また、空気圧システム1では、空気圧シリンダ装置13、17と真空発生装置21との間にタンク32を設け、タンク32により、空気圧シリンダ装置13、17から流出する圧縮空気の脈動を除去する。これにより、真空発生装置21におけるエジェクタ22の供給ポート22Aに供給する圧縮空気の圧力または流量を安定化させることができる。したがって、エジェクタ22の真空ポート22Cに安定した真空を形成することができ、吸着パッド28における吸引力を安定化させることができ、吸着パッド28による被工作物29の把持の確実性、安全性および信頼性を高めることができる。   In the pneumatic system 1, a tank 32 is provided between the pneumatic cylinder devices 13 and 17 and the vacuum generator 21, and the pulsation of compressed air flowing out from the pneumatic cylinder devices 13 and 17 is removed by the tank 32. Thereby, the pressure or flow rate of the compressed air supplied to the supply port 22A of the ejector 22 in the vacuum generator 21 can be stabilized. Therefore, a stable vacuum can be formed at the vacuum port 22C of the ejector 22, the suction force at the suction pad 28 can be stabilized, and the certainty, safety and gripping of the workpiece 29 by the suction pad 28 can be improved. Reliability can be increased.

また、空気圧システム1では、切換弁35、39を設け、空気圧シリンダ装置13、17からタンク32への圧縮空気の供給量を切換弁35、39により調整することにより、タンク32から真空発生装置21におけるエジェクタ22の供給ポート22Aに供給される圧縮空気の圧力が所定範囲内となるようにする。このように、空気圧システム1によれば、エジェクタ22の供給ポート22Aに供給する圧縮空気の圧力または流量を、エジェクタ22に適合するように設定することができる。   Further, in the pneumatic system 1, the switching valves 35 and 39 are provided, and the supply amount of compressed air from the pneumatic cylinder devices 13 and 17 to the tank 32 is adjusted by the switching valves 35 and 39, whereby the vacuum generator 21 from the tank 32. The pressure of the compressed air supplied to the supply port 22A of the ejector 22 is set within a predetermined range. Thus, according to the pneumatic system 1, the pressure or flow rate of the compressed air supplied to the supply port 22 </ b> A of the ejector 22 can be set to match the ejector 22.

また、空気圧システム1では、複数の空気圧シリンダ装置13、17を設け、これら空気圧シリンダ装置13、17から排出される圧縮空気を、切換弁35、39により、選択的に真空発生装置21に供給する。これにより、空気圧シリンダ装置13、17のいずれか一方が動作していれば、真空発生装置21を動作させることができ、圧縮空気を再利用して真空発生装置21を動作させる機会を増やすことができる。したがって、圧縮空気の再利用により真空発生装置21を有効に活用することができる。   In the pneumatic system 1, a plurality of pneumatic cylinder devices 13, 17 are provided, and compressed air discharged from the pneumatic cylinder devices 13, 17 is selectively supplied to the vacuum generator 21 by the switching valves 35, 39. . Thereby, if either one of the pneumatic cylinder devices 13 and 17 is operating, the vacuum generating device 21 can be operated, and the opportunity to operate the vacuum generating device 21 by reusing the compressed air can be increased. it can. Therefore, the vacuum generator 21 can be effectively utilized by reusing the compressed air.

また、空気圧システム1では、サブコンプレッサ43を設け、空気圧シリンダ装置13、17の双方が停止しているとき、あるいは、タンク32に蓄積すべき圧縮空気が不足しているときに、サブコンプレッサ43を駆動して、真空発生装置21に供給すべき圧縮空気を補う。これにより、空気圧シリンダ装置13、17がいずれも停止している場合、あるいは、空気圧シリンダ装置13、17からの圧縮空気の供給量が真空発生装置21を動作させるのに不十分な場合でも、真空発生装置21を動作させることができる。したがって、空気圧システム1によれば、空気圧シリンダ装置13、17の動作状況により真空発生装置21の動作が影響を受けるのを防止することができる。   In the pneumatic system 1, the sub compressor 43 is provided. When both the pneumatic cylinder devices 13 and 17 are stopped or when the compressed air to be accumulated in the tank 32 is insufficient, the sub compressor 43 is provided. Drive to supplement the compressed air to be supplied to the vacuum generator 21. Thereby, even when both the pneumatic cylinder devices 13 and 17 are stopped, or when the supply amount of compressed air from the pneumatic cylinder devices 13 and 17 is insufficient to operate the vacuum generator 21, The generator 21 can be operated. Therefore, according to the pneumatic system 1, it is possible to prevent the operation of the vacuum generator 21 from being affected by the operation status of the pneumatic cylinder devices 13 and 17.

また、空気圧システム1では、エジェクタ22の真空ポート22Cから吸着パッド28に通じる管路の途中にタンク30を設け、真空ポート22Cに形成された真空のエネルギーをタンク30内に蓄積し、タンク30内に十分な真空圧力を確保する。これにより、吸着パッド28に安定した吸引力を確実に発生させることができる。また、タンク30は、タンク32と共に、空気圧シリンダ14、18から流出する圧縮空気の脈動を除去する効果も奏する。   Further, in the pneumatic system 1, a tank 30 is provided in the middle of a pipe line leading from the vacuum port 22 </ b> C of the ejector 22 to the suction pad 28, and the vacuum energy formed in the vacuum port 22 </ b> C is accumulated in the tank 30. Ensure sufficient vacuum pressure. Thereby, the stable suction | attraction force can be reliably generate | occur | produced in the suction pad 28. FIG. The tank 30 also has an effect of removing the pulsation of the compressed air flowing out from the pneumatic cylinders 14 and 18 together with the tank 32.

また、エジェクタ22の動作開始時(期間P1)には、タンク30と吸着パッド28との間を遮断し、真空ポート21に形成される真空のエネルギーをタンク30に蓄積し、タンク30内の真空圧力が十分に高まった後、タンク30と吸着パッド28との間を接続し、吸着パッド28に吸引力を発生させる。これにより、被工作物29の把持・搬送作業の開始当初から、吸着パッド28に安定した吸引力を発生させることができ、被工作物29の把持・搬送作業の安全性を高めることができる。   Further, when the operation of the ejector 22 is started (period P1), the tank 30 and the suction pad 28 are disconnected, the vacuum energy formed in the vacuum port 21 is accumulated in the tank 30, and the vacuum in the tank 30 is stored. After the pressure is sufficiently increased, the tank 30 and the suction pad 28 are connected to generate a suction force on the suction pad 28. Accordingly, a stable suction force can be generated on the suction pad 28 from the beginning of the gripping / conveying operation of the workpiece 29, and the safety of the gripping / conveying operation of the workpiece 29 can be improved.

なお、上述した空気圧システム1では、2個の空気圧シリンダ装置13、17を設ける場合を例にあげたが、本発明はこれに限らない。空気圧シリンダ装置の個数は1個でもよいし、3個以上でもよい。また、上述した空気圧システム1では、1個の真空発生装置21を設ける場合を例にあげたが、真空発生装置の個数は2個以上でもよい。2個以上の真空発生装置を同時に動作させる場合など、圧縮空気を多量に再利用する場合には、2個以上の空気圧シリンダ装置から圧縮空気を同時にタンクに蓄積し、タンク内の圧力を高めてもよい。   In the pneumatic system 1 described above, the case where the two pneumatic cylinder devices 13 and 17 are provided is taken as an example, but the present invention is not limited to this. The number of pneumatic cylinder devices may be one, or three or more. In the pneumatic system 1 described above, the case where one vacuum generator 21 is provided is taken as an example, but the number of vacuum generators may be two or more. When reusing a large amount of compressed air, such as when operating two or more vacuum generators at the same time, accumulate the compressed air from two or more pneumatic cylinder devices at the same time and increase the pressure in the tank. Also good.

また、上述した空気圧システム1では、空気圧シリンダ装置13、17から流出する圧縮空気を切換弁35、39により選択的に真空発生装置21に供給する場合を例にあげたが、本発明はこれに限らない。空気圧シリンダ装置13から流出する圧縮空気と空気圧シリンダ装置17から流出する圧縮空気との双方を同時に真空発生装置21に供給してもよい。この場合、真空発生装置21におけるエジェクタ22の供給ポート22Aに流入する圧縮空気の圧力または流量が過剰な場合には、切換弁35、39により、空気圧シリンダ装置13、17からエジェクタ22の供給ポート22Aに供給すべき圧縮空気の一部または全部を大気中に排出し、これにより、タンク32内の圧力、あるいはエジェクタ22の供給ポート22Aに流入する圧縮空気の圧力または流量を適切な範囲内に収めるようにすればよい。また、このような圧縮空気の圧力または流量の調整を行うためにレギュレータなどの制御弁を用いてもよい。   In the pneumatic system 1 described above, the case where the compressed air flowing out from the pneumatic cylinder devices 13 and 17 is selectively supplied to the vacuum generator 21 by the switching valves 35 and 39 has been described as an example. Not exclusively. Both the compressed air flowing out from the pneumatic cylinder device 13 and the compressed air flowing out from the pneumatic cylinder device 17 may be supplied to the vacuum generator 21 at the same time. In this case, when the pressure or flow rate of the compressed air flowing into the supply port 22A of the ejector 22 in the vacuum generator 21 is excessive, the supply valves 22A of the ejector 22 are supplied from the pneumatic cylinder devices 13 and 17 by the switching valves 35 and 39. A part or all of the compressed air to be supplied to the exhaust gas is discharged into the atmosphere, and thereby the pressure in the tank 32 or the pressure or flow rate of the compressed air flowing into the supply port 22A of the ejector 22 falls within an appropriate range. What should I do? A control valve such as a regulator may be used to adjust the pressure or flow rate of the compressed air.

(第2の実施形態)
図3は本発明の空気圧システムの第2の実施形態を示している。上述した空気圧システム1(図1参照)では、複数の空気圧シリンダ装置13、17を設け、空気圧シリンダ装置13、17と真空発生装置21との間にタンク32を設ける場合を例にあげたが、図3に示す空気圧システム2のように、空気圧シリンダ装置を1個とし、タンク32を排除してもよい。この場合、空気圧シリンダ14から流出する圧縮空気の脈動は、エジェクタ22と吸着パッド28との間に接続されたタンク30により除去または抑制することができる。
(Second Embodiment)
FIG. 3 shows a second embodiment of the pneumatic system of the present invention. In the above-described pneumatic system 1 (see FIG. 1), a plurality of pneumatic cylinder devices 13 and 17 are provided, and a tank 32 is provided between the pneumatic cylinder devices 13 and 17 and the vacuum generator 21 as an example. Like the pneumatic system 2 shown in FIG. 3, the number of pneumatic cylinder devices may be one and the tank 32 may be excluded. In this case, the pulsation of the compressed air flowing out from the pneumatic cylinder 14 can be removed or suppressed by the tank 30 connected between the ejector 22 and the suction pad 28.

(第3の実施形態)
図4は本発明の空気圧システムの第3の実施形態を示している。上述した空気圧システム1(図1参照)では、複数の空気圧シリンダ装置13、17を設け、エジェクタ22と吸着パッド28との間にタンク30を設ける場合を例にあげたが、図4に示す空気圧システム3のように、空気圧シリンダ装置を1個とし、タンク30を排除してもよい。この場合、タンク32内の圧力を安定化させることにより、吸着パッド28における吸引力の安定化を図ることができる。
(Third embodiment)
FIG. 4 shows a third embodiment of the pneumatic system of the present invention. In the above-described pneumatic system 1 (see FIG. 1), a case where a plurality of pneumatic cylinder devices 13 and 17 are provided and a tank 30 is provided between the ejector 22 and the suction pad 28 is taken as an example. As in the system 3, one pneumatic cylinder device may be provided and the tank 30 may be eliminated. In this case, the suction force in the suction pad 28 can be stabilized by stabilizing the pressure in the tank 32.

(第4の実施形態)
図5は本発明の空気圧システムの第4の実施形態を示している。上述した空気圧システム3(図4参照)では、空気圧シリンダ装置13とタンク32と真空発生装置21とが直列に配置されるように、空気圧シリンダ装置13と真空発生装置21との間にタンク32を接続した。しかし、図5に示す空気圧システム4のように、タンク51(第2のタンク)と、一端側が空気圧シリンダ装置13と真空発生装置21との間(具体的にはチェック弁34と切換弁23との間)に接続され、他端側がタンク51に接続された分岐配管(第1の分岐経路)52とを備え、空気圧シリンダ装置13が動作しているときには、空気圧シリンダ装置13から排出された圧縮空気を、分岐配管52を介してタンク51に蓄積し、空気圧シリンダ装置13が停止したときは、タンク51に蓄積された圧縮空気を、分岐配管52を介して真空発生装置21に供給する構成としてもよい。また、分岐配管52の途中にレギュレータ53を接続し、空気圧シリンダ装置13からタンク51に向けての圧縮空気の過剰な圧力を大気中に逃がしてもよい。また、タンク51には、タンク51内の圧力を検出し、この圧力が予め設定されたタンク内上限圧力を超えたときに、タンク51内の圧縮空気をタンク51外に排出する弁を設けてもよい。また、図5に示すタンク51、分岐配管52およびレギュレータ53を備えた構成を、図1に示す空気圧システム1に適用してもよい。
(Fourth embodiment)
FIG. 5 shows a fourth embodiment of the pneumatic system of the present invention. In the pneumatic system 3 (see FIG. 4) described above, the tank 32 is provided between the pneumatic cylinder device 13 and the vacuum generator 21 so that the pneumatic cylinder device 13, the tank 32, and the vacuum generator 21 are arranged in series. Connected. However, as in the pneumatic system 4 shown in FIG. 5, the tank 51 (second tank) and one end side are between the pneumatic cylinder device 13 and the vacuum generator 21 (specifically, the check valve 34 and the switching valve 23). And a branch pipe (first branch path) 52 connected to the tank 51 at the other end, and when the pneumatic cylinder device 13 is operating, the compressed air discharged from the pneumatic cylinder device 13 Air is accumulated in the tank 51 via the branch pipe 52, and when the pneumatic cylinder device 13 is stopped, the compressed air accumulated in the tank 51 is supplied to the vacuum generator 21 via the branch pipe 52. Also good. Further, a regulator 53 may be connected in the middle of the branch pipe 52 to release the excessive pressure of compressed air from the pneumatic cylinder device 13 toward the tank 51 to the atmosphere. In addition, the tank 51 is provided with a valve that detects the pressure in the tank 51 and discharges the compressed air in the tank 51 to the outside of the tank 51 when the pressure exceeds the preset upper tank pressure. Also good. Moreover, you may apply the structure provided with the tank 51 shown in FIG. 5, the branch piping 52, and the regulator 53 to the pneumatic system 1 shown in FIG.

(第5の実施形態)
図6は本発明の空気圧システムの第5の実施形態を示している。図6中の空気圧システム5は、図4中の空気圧システム3の構成要素に加え、メインコンプレッサ11とタンク32との間を接続する供給配管55を備えている。これにより、空気圧シリンダ装置13から排出された圧縮空気とは別に、メインコンプレッサ11から吐出された圧縮空気が供給配管55を介してタンク32に供給される。供給配管55を設けることにより、空気圧シリンダ装置13が停止しているときでも、あるいは空気圧シリンダ装置13から十分な圧縮空気が排出されないときでも、タンク32に十分な圧縮空気を供給することができ、真空発生装置21を動作させることができる。
(Fifth embodiment)
FIG. 6 shows a fifth embodiment of the pneumatic system of the present invention. The pneumatic system 5 in FIG. 6 includes a supply pipe 55 that connects between the main compressor 11 and the tank 32 in addition to the components of the pneumatic system 3 in FIG. Thereby, separately from the compressed air discharged from the pneumatic cylinder device 13, the compressed air discharged from the main compressor 11 is supplied to the tank 32 through the supply pipe 55. By providing the supply pipe 55, it is possible to supply sufficient compressed air to the tank 32 even when the pneumatic cylinder device 13 is stopped or when sufficient compressed air is not discharged from the pneumatic cylinder device 13. The vacuum generator 21 can be operated.

供給配管55の途中には、供給配管55を介してメインコンプレッサ11からタンク32に供給される圧縮空気の圧力を調整するためのレギュレータ56、メインコンプレッサ11から吐出する圧縮空気を、供給配管55を介してタンク32に供給するかしないかを切り換える切換弁57、および供給配管55を介してタンク32からメインコンプレッサ11側に向けて圧縮空気が逆流するのを防止するチェック弁58を設けてもよい。図6中の供給配管55、レギュレータ56、切換弁57およびチェック弁58を備えた構成を、図1中の空気圧システム1に適用してもよい。   In the middle of the supply pipe 55, a regulator 56 for adjusting the pressure of compressed air supplied from the main compressor 11 to the tank 32 via the supply pipe 55, and compressed air discharged from the main compressor 11 are connected to the supply pipe 55. A switching valve 57 for switching whether to supply to the tank 32 via the supply pipe 55 and a check valve 58 for preventing the compressed air from flowing backward from the tank 32 toward the main compressor 11 via the supply pipe 55 may be provided. . The configuration including the supply pipe 55, the regulator 56, the switching valve 57, and the check valve 58 in FIG. 6 may be applied to the pneumatic system 1 in FIG.

(第6の実施形態)
図7は本発明の空気圧システムの第6の実施形態を示している。図7中の空気圧システム6は、図6中の空気圧システム5の構成要素に加え、タンク59(第3のタンク)および切換弁60(第1の切換弁)を備えている。タンク59は、タンク32と真空発生装置21との間に接続され、タンク32から排出された圧縮空気を蓄積し、この蓄積された圧縮空気を真空発生装置21に供給する。切換弁60は、タンク32とタンク59との間に接続され、タンク32とタンク59との間の接続・遮断を切り換える。メインコンプレッサ11および空気圧シリンダ装置13が動作している間、あるいはメインコンプレッサ11のみが動作している間は、切換弁60のソレノイドにハイレベルの制御信号を供給して切換弁60を切り換え、タンク32とタンク59との間を接続する。これにより、タンク32から排出される圧縮空気がタンク59に流入し、タンク59内に蓄積される。真空発生装置21を動作させるのに十分な圧縮空気がタンク59内に蓄積された後、切換弁59を切り換え、タンク32とタンク59との間を遮断する。これにより、真空発生装置21はもっぱらタンク59に蓄積された圧縮空気を使用して動作する。
(Sixth embodiment)
FIG. 7 shows a sixth embodiment of the pneumatic system of the present invention. The pneumatic system 6 in FIG. 7 includes a tank 59 (third tank) and a switching valve 60 (first switching valve) in addition to the components of the pneumatic system 5 in FIG. The tank 59 is connected between the tank 32 and the vacuum generator 21, accumulates compressed air discharged from the tank 32, and supplies the accumulated compressed air to the vacuum generator 21. The switching valve 60 is connected between the tank 32 and the tank 59, and switches connection / disconnection between the tank 32 and the tank 59. While the main compressor 11 and the pneumatic cylinder device 13 are operating, or only the main compressor 11 is operating, a high level control signal is supplied to the solenoid of the switching valve 60 to switch the switching valve 60, and the tank 32 and tank 59 are connected. Thereby, the compressed air discharged from the tank 32 flows into the tank 59 and is accumulated in the tank 59. After the compressed air sufficient to operate the vacuum generator 21 is accumulated in the tank 59, the switching valve 59 is switched to shut off the tank 32 and the tank 59. Thereby, the vacuum generator 21 operates exclusively using the compressed air accumulated in the tank 59.

真空発生装置21を動作させるのに十分な圧縮空気がタンク59内に蓄積されている間は、メインコンプレッサ11および空気圧シリンダ装置13の動作が停止しても、真空発生装置21は動作を継続することができる。真空発生装置21を動作させるのに十分な圧縮空気の蓄積がタンク59内において常時維持されるように、メインコンプレッサ11または空気圧シリンダ装置13の動作、および切換弁60の切換を制御することにより、メインコンプレッサ11または空気圧シリンダ装置13の動作期間と、真空発生装置21の動作期間とが異なる場合であっても、真空発生装置21を確実に動作させることができる。すなわち、空気圧シリンダ装置13の動作と真空発生装置21の動作との独立性を高めることができ、真空発生装置21の活用の自由度を高めることができる。図7中のタンク59および切換弁60を備えた構成を、図1中の空気圧システム1に適用してもよい。   While the compressed air sufficient to operate the vacuum generator 21 is accumulated in the tank 59, the vacuum generator 21 continues to operate even if the operations of the main compressor 11 and the pneumatic cylinder device 13 are stopped. be able to. By controlling the operation of the main compressor 11 or the pneumatic cylinder device 13 and the switching of the switching valve 60 so that the accumulation of compressed air sufficient to operate the vacuum generator 21 is constantly maintained in the tank 59, Even when the operation period of the main compressor 11 or the pneumatic cylinder device 13 and the operation period of the vacuum generator 21 are different, the vacuum generator 21 can be reliably operated. In other words, the independence of the operation of the pneumatic cylinder device 13 and the operation of the vacuum generator 21 can be increased, and the degree of freedom in utilizing the vacuum generator 21 can be increased. The configuration including the tank 59 and the switching valve 60 in FIG. 7 may be applied to the pneumatic system 1 in FIG.

(第7の実施形態)
図8は本発明の空気圧システムの第7の実施形態を示している。図8中の空気圧システム7は、図7中の空気圧システム6の構成要素に加えて増圧器61を備えている。増圧器61は、例えば増圧弁であり、タンク32とタンク59との間に接続されている。また、タンク32と増圧器61との間、および増圧器61とタンク59との間には、タンク59からタンク32に向けて圧縮空気が逆流するのを防止するチェック弁62、63がそれぞれ接続されている。
(Seventh embodiment)
FIG. 8 shows a seventh embodiment of the pneumatic system of the present invention. The pneumatic system 7 in FIG. 8 includes a pressure intensifier 61 in addition to the components of the pneumatic system 6 in FIG. The pressure booster 61 is, for example, a pressure boosting valve, and is connected between the tank 32 and the tank 59. Also, check valves 62 and 63 are connected between the tank 32 and the pressure intensifier 61, and between the pressure intensifier 61 and the tank 59, respectively, for preventing the compressed air from flowing backward from the tank 59 toward the tank 32. Has been.

タンク32に蓄積された圧縮空気の圧力が、真空発生装置21を動作させるのに必要な圧縮空気の圧力よりも低い場合でも、タンク32から排出された圧縮空気の圧力を増圧器61で増加させることにより、真空発生装置21を動作させるのに必要な圧縮空気の圧力をつくり出すことができる。そして、真空発生装置21を動作させるのに必要な圧力を有する圧縮空気をタンク59に蓄積することができる。   Even when the pressure of the compressed air accumulated in the tank 32 is lower than the pressure of the compressed air necessary for operating the vacuum generator 21, the pressure of the compressed air discharged from the tank 32 is increased by the pressure intensifier 61. As a result, the pressure of the compressed air necessary for operating the vacuum generator 21 can be created. Then, compressed air having a pressure necessary for operating the vacuum generator 21 can be accumulated in the tank 59.

なお、図8では、図7中の切換弁60を取り除いたが、この切換弁60を図8中のタンク32とタンク59との間のいずれかの場所に接続してもよい。また、図8中のタンク59、増圧器61およびチェック弁62、63を備えた構成を、図1中の空気圧システム1に適用してもよい。   In FIG. 8, the switching valve 60 in FIG. 7 is removed, but this switching valve 60 may be connected to any location between the tank 32 and the tank 59 in FIG. Further, the configuration including the tank 59, the pressure intensifier 61, and the check valves 62 and 63 in FIG. 8 may be applied to the pneumatic system 1 in FIG.

(第8の実施形態)
図9は本発明の空気圧システムの第8の実施形態を示している。図9中の空気圧システム8は、供給配管55、レギュレータ56、切換弁57およびチェック弁58が取り除かれている点で図8中の空気圧システム7と異なる。増圧器61を動作させるために増圧器61に供給すべき圧縮空気の圧力、すなわち増圧器61の作動圧力が大きい場合には、増圧器61を適切に動作させるために、空気圧シリンダ装置13から排出される圧縮空気に加え、メインコンプレッサ11から吐出される圧縮空気の供給が必要である場合が多い。ところが、増圧器61の作動圧力が小さい場合には、空気圧シリンダ装置13から排出される圧縮空気だけで増圧器61を適切に動作させることができ、この場合には、メインコンプレッサ11からの圧縮空気の供給は必ずしも必要ない。増圧器61の作動圧力が大きい場合には、図8中の空気圧システム7が好適であるが、増圧器61の作動圧力が小さい場合には図9中の空気圧システム8を適用することで、システムの簡素化を図ることができる。
(Eighth embodiment)
FIG. 9 shows an eighth embodiment of the pneumatic system of the present invention. The pneumatic system 8 in FIG. 9 differs from the pneumatic system 7 in FIG. 8 in that the supply pipe 55, the regulator 56, the switching valve 57, and the check valve 58 are removed. When the pressure of the compressed air to be supplied to the pressure booster 61 in order to operate the pressure booster 61, that is, when the operating pressure of the pressure booster 61 is large, the pressure cylinder 61 is discharged from the pneumatic cylinder device 13 in order to operate the pressure booster 61 appropriately. In many cases, it is necessary to supply compressed air discharged from the main compressor 11 in addition to the compressed air. However, when the operating pressure of the pressure intensifier 61 is small, the pressure intensifier 61 can be appropriately operated only with the compressed air discharged from the pneumatic cylinder device 13. In this case, the compressed air from the main compressor 11 can be operated. Is not necessarily required. When the operating pressure of the intensifier 61 is large, the pneumatic system 7 in FIG. 8 is suitable. However, when the operating pressure of the intensifier 61 is small, the pneumatic system 8 in FIG. Can be simplified.

(第9の実施形態)
図10は本発明の空気圧システムの第9の実施形態を示している。なお、図10中の空気圧システム9において、図1中の空気圧システム1と同一の構成要素に同一の符号を付し、その説明を省略する。
(Ninth embodiment)
FIG. 10 shows a ninth embodiment of the pneumatic system of the present invention. In the pneumatic system 9 in FIG. 10, the same components as those in the pneumatic system 1 in FIG.

図10中の空気圧システム9において、空気圧源としてのコンプレッサ71に、2つの空気圧アクチュエータ装置としての空気圧シリンダ装置72、73がそれぞれ接続されている。コンプレッサ71から吐出される圧縮空気は空気圧シリンダ装置72、73にそれぞれ供給される。空気圧シリンダ装置72、73はこの圧縮空気によりそれぞれ動作し、この動作に伴い圧縮空気を排出する。空気圧シリンダ装置72、73の内部構造は、上述した図1中の空気圧シリンダ装置13、17とそれぞれ同じである
空気圧シリンダ装置72には、2つの真空発生装置74、75がそれぞれ並列的に接続されている。これら真空発生装置74、75は空気圧シリンダ装置73にもそれぞれ並列的に接続されている。真空発生装置74、75はそれぞれ、上述した図1中の真空発生装置21と同様に、供給ポート22A、放出ポート22Bおよび真空ポート22Cを有し、供給ポート22Aが空気圧シリンダ装置72、73に接続され、空気圧シリンダ装置72、73から排出され供給ポート22Aを介して流入した圧縮空気を放出ポート22Bから放出することにより真空ポート22Cに真空を発生させるエジェクタ22(主真空発生器)、真空発生用の切換弁23、およびエジェクタ22の真空ポート22Cからタンク82に向けて圧縮空気が流れるのを阻止するチェック弁26を備えている。
In the pneumatic system 9 in FIG. 10, pneumatic cylinder devices 72 and 73 as two pneumatic actuator devices are connected to a compressor 71 as a pneumatic source. The compressed air discharged from the compressor 71 is supplied to the pneumatic cylinder devices 72 and 73, respectively. The pneumatic cylinder devices 72 and 73 are each operated by this compressed air, and the compressed air is discharged along with this operation. The internal structure of the pneumatic cylinder devices 72 and 73 is the same as that of the pneumatic cylinder devices 13 and 17 in FIG. 1 described above. Two vacuum generators 74 and 75 are connected in parallel to the pneumatic cylinder device 72, respectively. ing. These vacuum generators 74 and 75 are also connected to the pneumatic cylinder device 73 in parallel. Each of the vacuum generators 74 and 75 has a supply port 22A, a discharge port 22B, and a vacuum port 22C, similar to the vacuum generator 21 in FIG. 1 described above, and the supply port 22A is connected to the pneumatic cylinder devices 72 and 73. Ejector 22 (main vacuum generator) for generating vacuum in vacuum port 22C by discharging compressed air discharged from pneumatic cylinder devices 72 and 73 and flowing in through supply port 22A from discharge port 22B, for generating vacuum And a check valve 26 that prevents compressed air from flowing from the vacuum port 22C of the ejector 22 toward the tank 82.

また、コンプレッサ71には、真空発生装置76が接続されている。真空発生装置76も、上述した図1中の真空発生装置21と同様に、供給ポート22A、放出ポート22Bおよび真空ポート22Cを有し、供給ポート22Aが空気圧シリンダ装置72、73に接続され、空気圧シリンダ装置72、73から排出され供給ポート22Aを介して流入した圧縮空気を放出ポート22Bから放出することにより真空ポート22Cに真空を発生させるエジェクタ22(副真空発生器)、真空発生用の切換弁23、およびエジェクタ22の真空ポート22Cからタンク82に向けて圧縮空気が流れるのを阻止するチェック弁26を備えている。また、コンプレッサ71と真空発生装置76との間にはレギュレータ77が接続されている。レギュレータ77は、コンプレッサ71から真空発生装置76に供給される圧縮空気の圧力を、真空発生装置76のエジェクタ22を動作させるのに適切な圧力に減少させる。   In addition, a vacuum generator 76 is connected to the compressor 71. The vacuum generator 76 also has a supply port 22A, a discharge port 22B and a vacuum port 22C, similar to the vacuum generator 21 in FIG. 1 described above. The supply port 22A is connected to the pneumatic cylinder devices 72 and 73, and the air pressure is increased. Ejector 22 (sub-vacuum generator) for generating vacuum in vacuum port 22C by discharging compressed air discharged from cylinder devices 72 and 73 and flowing in through supply port 22A from discharge port 22B, switching valve for generating vacuum 23, and a check valve 26 that prevents compressed air from flowing from the vacuum port 22C of the ejector 22 toward the tank 82. A regulator 77 is connected between the compressor 71 and the vacuum generator 76. The regulator 77 reduces the pressure of the compressed air supplied from the compressor 71 to the vacuum generator 76 to a pressure appropriate for operating the ejector 22 of the vacuum generator 76.

真空発生装置74、75、76が有するエジェクタ22の真空ポート22Cは、真空配管80(真空経路)の一端側にそれぞれ接続され、真空配管80の他端側には吸着パッド81が接続されている。また、真空配管80の一端側と他端側との間にはタンク82が接続されている。タンク82と吸着パッド81との間には、タンク82と吸着パッド81との間の接続・遮断を切り換える切換弁83が接続されている。   The vacuum port 22C of the ejector 22 included in the vacuum generators 74, 75, and 76 is connected to one end side of the vacuum pipe 80 (vacuum path), and the suction pad 81 is connected to the other end side of the vacuum pipe 80. . A tank 82 is connected between one end side and the other end side of the vacuum pipe 80. A switching valve 83 that switches connection / disconnection between the tank 82 and the suction pad 81 is connected between the tank 82 and the suction pad 81.

また、真空配管80において切換弁83と吸着パッド81との間に位置する接続点Bと、コンプレッサ71との間は真空破壊配管84が設けられており、真空破壊配管84の途中には、真空破壊用の切換弁85が接続され、この切換弁85と接続点Bとの間には、破壊流量を調整するための絞り弁86が接続されている。   In addition, a vacuum break pipe 84 is provided between the connection point B located between the switching valve 83 and the suction pad 81 in the vacuum pipe 80 and the compressor 71. A switching valve 85 for destruction is connected, and a throttle valve 86 for adjusting the breaking flow rate is connected between the switching valve 85 and the connection point B.

このような構成を有する空気圧システム9において、切換弁85によりコンプレッサ71と接続点Bとの間を遮断し、真空発生装置74、75、76の各切換弁23により空気圧シリンダ装置72、73と各エジェクタ22の供給ポート22Aとの間を接続し、切換弁83によりタンク82と吸着パッド81との間を遮断し、コンプレッサ71を駆動する。これにより、コンプレッサ71からの圧縮空気により空気圧シリンダ装置72、73がそれぞれ動作し、これに伴い空気圧シリンダ装置72、73から排出される圧縮空気により、真空発生装置74、75の各エジェクタ22が動作する。さらに、コンプレッサ71から空気圧シリンダ72、73を介さずに供給される圧縮空気により真空発生装置76のエジェクタ22が動作する。真空発生装置74、75、76の各エジェクタ22の動作により各エジェクタ22の真空ポート22Cに真空が発生し、この真空のエネルギーがタンク82に蓄積され、タンク82内の真空圧力が上昇する。タンク82内の真空圧力が所定の真空圧力に達したとき、切換弁83を切り換えることによりタンク82と吸着パッド81との間を接続すると、吸着パッド81に吸着力が発生し、吸着パッド81による被工作物87の把持が可能になる。なお、被工作物87を吸着パッド81から分離するときには、切換弁83を切り換えることによりタンク82と吸着パッド81との間を遮断すると共に、切換弁85を切り換えることによりコンプレッサ71と接続点Bとの間を接続し、コンプレッサ71からの圧縮空気を、真空破壊配管84を介して吸着パッド81に供給する。   In the pneumatic system 9 having such a configuration, the switching valve 85 cuts off the connection between the compressor 71 and the connection point B, and the switching valves 23 of the vacuum generators 74, 75, 76 and the pneumatic cylinder devices 72, 73, and The supply port 22 </ b> A of the ejector 22 is connected, the switching valve 83 blocks the tank 82 and the suction pad 81, and the compressor 71 is driven. As a result, the pneumatic cylinder devices 72 and 73 are operated by the compressed air from the compressor 71, and the ejectors 22 of the vacuum generators 74 and 75 are operated by the compressed air discharged from the pneumatic cylinder devices 72 and 73 accordingly. To do. Further, the ejector 22 of the vacuum generator 76 is operated by the compressed air supplied from the compressor 71 without passing through the pneumatic cylinders 72 and 73. A vacuum is generated in the vacuum port 22C of each ejector 22 by the operation of each ejector 22 of the vacuum generators 74, 75, and 76, the energy of this vacuum is accumulated in the tank 82, and the vacuum pressure in the tank 82 increases. When the vacuum pressure in the tank 82 reaches a predetermined vacuum pressure, when the tank 82 and the suction pad 81 are connected by switching the switching valve 83, suction force is generated in the suction pad 81, and the suction pad 81 The workpiece 87 can be gripped. When the workpiece 87 is separated from the suction pad 81, the switching valve 83 is switched to shut off the tank 82 and the suction pad 81, and the switching valve 85 is switched to connect the compressor 71 and the connection point B. And the compressed air from the compressor 71 is supplied to the suction pad 81 via the vacuum breaking pipe 84.

空気圧システム9によれば、上述した図1中の空気圧システム1と同様に、空気圧シリンダ装置72、73を動作させるために用いた圧縮空気の全部を有効にかつ効率よく再利用することができる。また、空気圧シリンダ72、73を動作させるために用いた圧縮空気が有するエネルギーを有効にかつ効率よく再利用することができる。また、上述した図3中の空気圧システム2と同様に、空気圧シリンダ72、73から流出する圧縮空気の脈動をタンク82により除去または抑制することができる。また、空気圧シリンダ装置72、73から排出される圧縮空気を利用して複数の真空発生装置74、75を動作させ、これらの真空発生装置74、75により作り出される真空のエネルギーをタンク82に集めことにより、タンク82内の真空圧力を高めることができ、吸着パッド81に十分な吸着力を発生させることができる。また、空気圧シリンダ装置72、73から排出される圧縮空気を利用する真空発生装置74、75だけではタンク82内の真空圧力を確保できない場合には、コンプレッサ71から供給される圧縮空気を直接的に利用する真空発生装置76を動作させることにより、タンク82内の真空圧力を十分に高めることができる。   According to the pneumatic system 9, like the pneumatic system 1 in FIG. 1 described above, all of the compressed air used to operate the pneumatic cylinder devices 72 and 73 can be effectively and efficiently reused. Moreover, the energy which the compressed air used in order to operate the pneumatic cylinders 72 and 73 can be reused effectively and efficiently. Further, similarly to the pneumatic system 2 in FIG. 3 described above, the pulsation of the compressed air flowing out from the pneumatic cylinders 72 and 73 can be removed or suppressed by the tank 82. Also, a plurality of vacuum generators 74, 75 are operated using compressed air discharged from the pneumatic cylinder devices 72, 73, and vacuum energy created by these vacuum generators 74, 75 is collected in the tank 82. Thus, the vacuum pressure in the tank 82 can be increased, and a sufficient suction force can be generated in the suction pad 81. Further, when the vacuum pressure in the tank 82 cannot be secured only by the vacuum generators 74 and 75 using the compressed air discharged from the pneumatic cylinder devices 72 and 73, the compressed air supplied from the compressor 71 is directly used. By operating the vacuum generator 76 to be used, the vacuum pressure in the tank 82 can be sufficiently increased.

また、空気圧システム9においては、空気圧シリンダ装置72、73から排出される圧縮空気を利用して動作する2つの真空発生装置74、75を設ける場合を例にあげたが、空気圧シリンダ装置72、73から排出される圧縮空気を利用して動作する真空発生装置の個数は3つ以上でもよい。真空発生装置の個数を2つまたは3つ以上とすることにより、各真空発生装置において採用するエジェクタ22のノズル径が小さい場合でも、空気圧シリンダ装置72、73における空気圧シリンダ14、18の動作速度を上げることができる。すなわち、図10に示すように、空気圧シリンダ14、18の排出経路に接続されたエジェクタ22内のノズルの径が小さい場合には、エジェクタ22内のノズルにより、空気圧シリンダ14、18の排出経路に絞り作用が生じ、この結果、空気圧シリンダ14、18からの圧縮空気の排出流量が制限され、空気圧シリンダ14、18の動作速度が下がってしまう場合がある。このような場合には、真空発生装置の個数を増やし、空気圧シリンダ14、18の排出経路に接続されるエジェクタ22の個数を増やす。これにより、エジェクタ22内のノズルにより空気圧シリンダ14、18の排出経路に生じる絞り作用を小さくすることができ、空気圧シリンダ14、18からの圧縮空気の排出流量を増やすことができ、空気圧シリンダ14、18の動作速度を上げることができる。   In the pneumatic system 9, the case where two vacuum generators 74 and 75 that operate using compressed air discharged from the pneumatic cylinder devices 72 and 73 are described as an example, but the pneumatic cylinder devices 72 and 73 are provided. The number of vacuum generators that operate using the compressed air discharged from the pipe may be three or more. By setting the number of vacuum generators to two or three or more, even when the nozzle diameter of the ejector 22 employed in each vacuum generator is small, the operating speed of the pneumatic cylinders 14 and 18 in the pneumatic cylinder devices 72 and 73 can be reduced. Can be raised. That is, as shown in FIG. 10, when the diameter of the nozzle in the ejector 22 connected to the discharge path of the pneumatic cylinders 14 and 18 is small, the nozzle in the ejector 22 moves to the discharge path of the pneumatic cylinders 14 and 18. There is a case where the throttle action occurs, and as a result, the discharge flow rate of the compressed air from the pneumatic cylinders 14 and 18 is limited, and the operating speed of the pneumatic cylinders 14 and 18 may be reduced. In such a case, the number of vacuum generators is increased, and the number of ejectors 22 connected to the discharge paths of the pneumatic cylinders 14 and 18 is increased. Thereby, the throttle action produced in the discharge path of the pneumatic cylinders 14, 18 by the nozzles in the ejector 22 can be reduced, the discharge flow rate of the compressed air from the pneumatic cylinders 14, 18 can be increased, and the pneumatic cylinders 14, The operating speed of 18 can be increased.

なお、上述した空気圧システム1ないし9における各切換弁の具体的な構成、例えば各切換弁の切換操作方式などは、図1、図3ないし図10に示す例に限定されない。また、図1中の切換弁15、19などは、5ポート2位置方向切換弁でもよい。   The specific configuration of each switching valve in the pneumatic systems 1 to 9 described above, such as the switching operation method of each switching valve, is not limited to the examples shown in FIGS. 1 and 3 to 10. 1 may be a 5-port 2-position direction switching valve.

また、上述した空気圧システム1ないし9では、空気圧アクチュエータ装置として空気圧シリンダ装置13(17)を用いる場合を例にあげたが、本発明はこれに限らない。空気圧アクチュエータ装置として、例えば揺動形アクチュエータ装置などを用いることもできる。   In the pneumatic systems 1 to 9 described above, the pneumatic cylinder device 13 (17) is used as an example of the pneumatic actuator device. However, the present invention is not limited to this. As the pneumatic actuator device, for example, an oscillating actuator device or the like can be used.

また、本発明は、請求の範囲および明細書全体から読み取るこのできる発明の要旨または思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う空気圧システムもまた本発明の技術思想に含まれる。   Further, the present invention can be appropriately changed without departing from the gist or concept of the invention that can be read from the claims and the entire specification, and a pneumatic system with such a change is also included in the technical concept of the present invention. It is.

本発明の第1の実施形態である空気圧システムを示す回路図である。1 is a circuit diagram showing a pneumatic system according to a first embodiment of the present invention. 本発明の第1の実施形態である空気圧システムにおける切換弁を制御するための制御信号を示すタイミングチャートである。It is a timing chart which shows the control signal for controlling the switching valve in the pneumatic system which is the 1st embodiment of the present invention. 本発明の第2の実施形態である空気圧システムを示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the pneumatic system which is the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第3の実施形態である空気圧システムを示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the pneumatic system which is the 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第4の実施形態である空気圧システムを示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the pneumatic system which is the 4th Embodiment of this invention. 本発明の第5の実施形態である空気圧システムを示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the pneumatic system which is the 5th Embodiment of this invention. 本発明の第6の実施形態である空気圧システムを示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the pneumatic system which is the 6th Embodiment of this invention. 本発明の第7の実施形態である空気圧システムを示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the pneumatic system which is the 7th Embodiment of this invention. 本発明の第8の実施形態である空気圧システムを示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the pneumatic system which is the 8th Embodiment of this invention. 本発明の第9の実施形態である空気圧システムを示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the pneumatic system which is the 9th Embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1、2、3、4、5、6、7、8、9 空気圧システム
11 メインコンプレッサ
13、17、72、73 空気圧シリンダ装置
21、74、75、76 真空発生装置
22 エジェクタ
22A 供給ポート
22B 放出ポート
22C 真空ポート
28、81 吸着パッド
30、32、51、59、82 タンク
31、35、39、45、60 切換弁
36、39、52 分岐配管
43 サブコンプレッサ
55 供給管路
61 増圧器
71 コンプレッサ
80 真空配管
1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9 Pneumatic system 11 Main compressor 13, 17, 72, 73 Pneumatic cylinder device 21, 74, 75, 76 Vacuum generator 22 Ejector 22A Supply port 22B Release port 22C Vacuum port 28, 81 Suction pad 30, 32, 51, 59, 82 Tank 31, 35, 39, 45, 60 Switching valve 36, 39, 52 Branch pipe 43 Sub compressor 55 Supply line 61 Pressure booster 71 Compressor 80 Vacuum Piping

Claims (10)

第1の空気圧源と、
前記第1の空気圧源に接続され、前記第1の空気圧源から供給される圧縮空気により動作し、この動作に伴い圧縮空気を排出する空気圧アクチュエータ装置と、
供給ポート、放出ポートおよび真空ポートを有し、前記供給ポートが前記空気圧アクチュエータ装置に接続され、前記空気圧アクチュエータ装置から排出され前記供給ポートを介して流入した圧縮空気を放出ポートから放出することにより真空ポートに真空を発生させる真空発生器と、
前記真空発生器の真空ポートに接続された吸着パッドとを備えていることを特徴とする空気圧システム。
A first air pressure source;
A pneumatic actuator device connected to the first air pressure source, operated by compressed air supplied from the first air pressure source, and discharging compressed air in accordance with the operation;
A supply port, a discharge port, and a vacuum port, wherein the supply port is connected to the pneumatic actuator device, and a vacuum is discharged by discharging compressed air discharged from the pneumatic actuator device and flowing in through the supply port from the discharge port; A vacuum generator for generating a vacuum at the port;
A pneumatic system comprising: a suction pad connected to a vacuum port of the vacuum generator.
前記空気圧アクチュエータ装置と前記真空発生器との間に接続され、前記空気圧アクチュエータ装置から排出された圧縮空気を蓄積し、この蓄積された圧縮空気を前記真空発生器に供給する第1のタンクを備えていることを特徴とする請求項1に記載の空気圧システム。   A first tank is connected between the pneumatic actuator device and the vacuum generator, accumulates compressed air discharged from the pneumatic actuator device, and supplies the accumulated compressed air to the vacuum generator. The pneumatic system according to claim 1, wherein: 第2のタンクと、
一端側が前記空気アクチュエータ装置と前記真空発生器との間に接続され、他端側が前記第2のタンクに接続された第1の分岐経路とを備えていることを特徴とする請求項1に記載の空気圧システム。
A second tank,
The one end side is connected between the air actuator device and the vacuum generator, and the other end side is provided with a first branch path connected to the second tank. Pneumatic system.
前記空気圧アクチュエータ装置から排出された圧縮空気とは別に、前記第1の空気圧源から吐出された圧縮空気を前記第1のタンクに供給する供給経路を備えていることを特徴とする請求項2に記載の空気圧システム。   3. A supply path for supplying compressed air discharged from the first air pressure source to the first tank separately from compressed air discharged from the pneumatic actuator device. Pneumatic system as described. 前記第1のタンクと前記真空発生器との間に接続され、前記第1のタンクから排出された圧縮空気を蓄積し、この蓄積された圧縮空気を前記真空発生器に供給する第3のタンクと、
前記第1のタンクと前記第3のタンクとの間に接続され、前記第1のタンクと前記第3のタンクとの間の接続・遮断を切り換える第1の切換弁とを備えていることを特徴とする請求項2に記載の空気圧システム。
A third tank that is connected between the first tank and the vacuum generator, accumulates compressed air discharged from the first tank, and supplies the accumulated compressed air to the vacuum generator When,
A first switching valve that is connected between the first tank and the third tank and that switches connection / disconnection between the first tank and the third tank; 3. A pneumatic system according to claim 2, characterized in that
前記第1のタンクと前記第3のタンクとの間に増圧器を接続することを特徴とする請求項5に記載の空気圧システム。   The pneumatic system according to claim 5, wherein a pressure intensifier is connected between the first tank and the third tank. 前記真空発生器の前記供給ポートに接続され、前記真空発生器に圧縮空気を供給する第2の空気圧源と、
前記第2の空気圧源と前記真空発生器との間に接続され、前記第2の空気圧源と前記真空発生器との間の接続・遮断を切り換える第2の切換弁とを備えていることを特徴とする請求項1に記載の空気圧システム。
A second air pressure source connected to the supply port of the vacuum generator and supplying compressed air to the vacuum generator;
A second switching valve that is connected between the second air pressure source and the vacuum generator and that switches connection / disconnection between the second air pressure source and the vacuum generator; The pneumatic system according to claim 1, characterized in that:
複数の前記空気圧アクチュエータ装置を備え、
一端側が前記各空気圧アクチュエータ装置と前記真空発生器の前記供給ポートとの間に接続され、他端側が外部に開放された第2の分岐経路と、
前記第2の分岐経路の途中に接続され、前記各空気圧アクチュエータ装置から前記真空発生器の前記供給ポートに供給すべき圧縮空気の一部または全部を外部に排出するための制御弁とを備えていることを特徴とする請求項1に記載の空気圧システム。
A plurality of the pneumatic actuator devices;
A second branch path having one end connected between each pneumatic actuator device and the supply port of the vacuum generator, and the other end opened to the outside;
A control valve connected in the middle of the second branch path and for discharging part or all of the compressed air to be supplied from the pneumatic actuator devices to the supply port of the vacuum generator. The pneumatic system according to claim 1, wherein:
前記真空発生器の前記真空ポートと前記吸着パッドとの間に接続された第4のタンクと、
前記第4のタンクと前記吸着パッドとの間に接続され、前記第4のタンクと前記吸着パッドとの間の接続・遮断を切り換える第3の切換弁とを備えていることを特徴とする請求項1に記載の空気圧システム。
A fourth tank connected between the vacuum port of the vacuum generator and the suction pad;
A third switching valve is connected between the fourth tank and the suction pad, and switches between connection and disconnection between the fourth tank and the suction pad. Item 2. The pneumatic system according to Item 1.
空気圧源と、
前記空気圧源に接続され、前記空気圧源から供給される圧縮空気により動作し、この動作に伴い圧縮空気を排出する空気圧アクチュエータ装置と、
供給ポート、放出ポートおよび真空ポートを有し、前記供給ポートが前記空気圧アクチュエータ装置に接続され、前記空気圧アクチュエータ装置から排出され前記供給ポートを介して流入した圧縮空気を放出ポートから放出することにより真空ポートに真空を発生させる複数の主真空発生器と、
供給ポート、放出ポートおよび真空ポートを有し、前記供給ポートが前記空気圧源に接続され、前記空気圧源から排出され前記供給ポートを介して流入した圧縮空気を放出ポートから放出することにより真空ポートに真空を発生させる副真空発生器と、
前記複数の主真空発生器の真空ポートおよび前記副真空発生器の真空ポートが一端側にそれぞれ接続され、他端側に吸着パッドが接続された真空経路と、
前記真空経路の前記一端側と前記他端側との間に接続されたタンクとを備えていることを特徴とする空気圧システム。
A pneumatic source;
A pneumatic actuator device connected to the air pressure source, operated by compressed air supplied from the air pressure source, and discharging compressed air with this operation;
A supply port, a discharge port, and a vacuum port; the supply port is connected to the pneumatic actuator device; and a vacuum is discharged by discharging compressed air discharged from the pneumatic actuator device and flowing in through the supply port from the discharge port. Multiple main vacuum generators that generate vacuum at the port;
A supply port, a discharge port, and a vacuum port; the supply port is connected to the air pressure source; and the compressed air discharged from the air pressure source and flowing in through the supply port is discharged from the discharge port to the vacuum port. A sub-vacuum generator for generating a vacuum;
A vacuum path in which a vacuum port of the plurality of main vacuum generators and a vacuum port of the sub vacuum generator are respectively connected to one end side, and a suction pad is connected to the other end side;
A pneumatic system comprising: a tank connected between the one end side and the other end side of the vacuum path.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012012943A (en) * 2010-06-29 2012-01-19 Myotoku Ltd Vacuum generation system
KR20140043957A (en) * 2012-09-24 2014-04-14 (주)테크윙 Air providing system for test handler
WO2015137213A1 (en) * 2014-03-11 2015-09-17 日野自動車株式会社 Vehicular air supply system
KR101853287B1 (en) * 2012-12-20 2018-05-02 (주)테크윙 Test handler
JP2022022100A (en) * 2020-07-23 2022-02-03 台灣氣立股▲ふん▼有限公司 Thin energy saving electromagnetic control type vacuum generation and breaking valve

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012012943A (en) * 2010-06-29 2012-01-19 Myotoku Ltd Vacuum generation system
KR20140043957A (en) * 2012-09-24 2014-04-14 (주)테크윙 Air providing system for test handler
KR101710480B1 (en) * 2012-09-24 2017-02-27 (주)테크윙 Air providing system for test handler
KR101853287B1 (en) * 2012-12-20 2018-05-02 (주)테크윙 Test handler
WO2015137213A1 (en) * 2014-03-11 2015-09-17 日野自動車株式会社 Vehicular air supply system
JP2015169202A (en) * 2014-03-11 2015-09-28 日野自動車株式会社 Air supply system for vehicle
CN105849422A (en) * 2014-03-11 2016-08-10 日野自动车株式会社 Vehicular air supply system
EP3118466A4 (en) * 2014-03-11 2017-02-15 Hino Motors, Ltd. Vehicular air supply system
CN105849422B (en) * 2014-03-11 2017-10-20 日野自动车株式会社 Vehicle air feed system
US10221998B2 (en) 2014-03-11 2019-03-05 Hino Motors, Ltd. Vehicular air supply system
JP2022022100A (en) * 2020-07-23 2022-02-03 台灣氣立股▲ふん▼有限公司 Thin energy saving electromagnetic control type vacuum generation and breaking valve
JP7161791B2 (en) 2020-07-23 2022-10-27 台灣氣立股▲ふん▼有限公司 Thin energy-saving electromagnetically controlled vacuum generation and release valve

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