JP2010118256A - Spiral contactor and method of manufacturing the same - Google Patents

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幸廣 平井
Hideyuki Fukuda
秀幸 福田
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a spiral contactor endowed with excellent electrical connectivity and a method of manufacturing the same. <P>SOLUTION: In the spiral contactor 2 formed in a spiral shape from its root 2d to its tip 2a center and having its tip at the center of the spiral, there is provided a groove 2d along a length direction of the spiral contactor 2 at a center in a width direction of the spiral contactor 2, and the spiral contactor 2 is formed in a flat shape and a convex shape and a projection 2aa is provided on an upper face of the tip 2a so as to enable the spiral contactor to have excellent electrical connectivity. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、渦巻状の中心に先端を有する凸形のスパイラル状接触子の幅方向のセンターにスパイラル状接触子の長手方向に沿って溝を備えるスパイラルコンタクタ、及びその製造方法に関する。   The present invention relates to a spiral contactor having a groove along the longitudinal direction of a spiral contact at the center in the width direction of a convex spiral contact having a tip at a spiral center, and a method of manufacturing the same.

図5は、従来のスパイラル状接触子を示し、(a)は先端及びその近傍に突起を備えたスパイラル状接触子を示す概略図、(b)は(a)に示すB―B線の断面を示して自然体では凸形状の断面図、(c)(d)(e)(f)(g)(h)(i)(j)は、突起の種類を示す斜視図である。
図5(a)(b)に示すように、スパイラル状接触子102は、自然体では凸形状のスパイラル(渦巻き)であるが、渦巻きの中心において先端が一体となった2本の渦巻きが併行に設けられている。その中心に位置する先端には、半球形状の突起が設けられている。渦巻きの幅は、先端102aから根元102bに近づけば近づく程に広くなっており、根元102bから先端102aに向かって渦巻き部102cを備えている。
5A and 5B show a conventional spiral contact, wherein FIG. 5A is a schematic view showing a spiral contact having a tip and a protrusion in the vicinity thereof, and FIG. 5B is a cross-sectional view taken along line BB shown in FIG. In the natural body, a convex sectional view is shown, and (c), (d), (e), (f), (g), (h), (i), and (j) are perspective views showing types of protrusions.
As shown in FIGS. 5 (a) and 5 (b), the spiral contact 102 is a convex spiral (vortex) in the natural body, but two spirals with the tip integrated at the center of the spiral are parallel. Is provided. A hemispherical projection is provided at the tip located at the center. The width of the spiral increases as it approaches the root 102b from the tip 102a, and a spiral portion 102c is provided from the root 102b toward the tip 102a.

この渦巻きの中心に先端102aを有する凸形のスパイラル状接触子102において、スパイラル状接触子102の根元102b、102bを互いに対向した位置に配置して、根元102b、102bから渦巻きの中心に向けて立ち上がり、渦巻きの中心で互いに合流する先端102aを備える。すなわち、先端102aは、左右から支持された2重の渦巻きによって中心に維持されながら、さらに先端102aがねじり回動する。そして、スパイラル状接触子102が接続端子(図略)と接触して、スパイラル状接触子102を先端102aから順に押し下げるときに、スパイラル状接触子102の先端102aに設けられた少なくとも1つの鋭い突起102dが、接続端子に対してねじり動作を伴いながら接触し、微小円を描くことになり、接続端子の表面の酸化膜を切り裂くとともに優れた電気接続性を得ることができる。   In the convex spiral contact 102 having a tip 102a at the center of the spiral, the roots 102b and 102b of the spiral contact 102 are arranged at positions facing each other, and the roots 102b and 102b are directed toward the center of the spiral. The tip 102a which stands | starts up and merges mutually in the center of a spiral is provided. That is, the tip 102a is further twisted and rotated while being maintained at the center by the double spiral supported from the left and right. When the spiral contact 102 comes into contact with a connection terminal (not shown) and pushes down the spiral contact 102 sequentially from the tip 102a, at least one sharp protrusion provided on the tip 102a of the spiral contact 102 102d comes into contact with the connection terminal with a twisting action and draws a minute circle, and the oxide film on the surface of the connection terminal is cut and excellent electrical connectivity can be obtained.

図5の(c)(d)(e)(f)に示すように、突起(凸部102d)の形態を示す斜視図には、先端102a近傍に1個の突起を備えている。その形状は半円形状、四角錐台形状、三角錐台形状、及び円錐台形状を示している。
この突起102dが接続端子(図略)と接触して、スパイラル状接触子102を先端102aから順に押し下げるときに、渦巻きの中心が維持されながら、さらに先端102aがねじり回動することによって、スパイラル状接触子102の先端102aに設けられた少なくとも1つの鋭い突起102dが接続端子と接触しながら微小円を描くことになり、接続端子の表面の酸化膜を切り裂くとともに優れた電気接続性を得ることができる。
As shown in FIGS. 5C, 5D, 5E, and 5F, in the perspective view showing the form of the protrusion (projection 102d), one protrusion is provided in the vicinity of the tip 102a. The shape shows a semicircular shape, a quadrangular frustum shape, a triangular frustum shape, and a frustum shape.
When the protrusion 102d comes into contact with a connection terminal (not shown) and pushes down the spiral contact 102 in order from the tip 102a, the tip 102a is further twisted and rotated while the center of the spiral is maintained, so that the spiral shape is maintained. The at least one sharp protrusion 102d provided at the tip 102a of the contactor 102 draws a minute circle while being in contact with the connection terminal, so that the oxide film on the surface of the connection terminal is cut and excellent electrical connectivity can be obtained. it can.

図6は、従来のスパイラル状接触子の製造方法の工程図である。図6に示すように、渦巻きの中心に先端を有するスパイラル状接触子を備えたスパイラルコンタクタの製造方法において、第1工程は、金属板104を用意し、この金属板104の表面に少なくとも1つの凹部104aをスパイラル状接触子の先端の位置に形成する。   FIG. 6 is a process diagram of a conventional method for manufacturing a spiral contact. As shown in FIG. 6, in the manufacturing method of a spiral contactor having a spiral contact having a tip at the center of a spiral, the first step is to prepare a metal plate 104, and at least one metal plate 104 is provided on the surface of the metal plate 104. A recess 104a is formed at the tip of the spiral contact.

第2工程は、Cu箔104の表面にフォトレジスト105を塗布、もしくはドライフィルムを貼付する。その上方からスパイラル状接触子102のパターンを有するフォトマスク106を被せ、このフォトマスク106の上方から光を照射して露光する。
このフォトマスク106の形状は、スパイラル形状接触子102の部分を黒塗りにした模様になっている。また、白黒逆のパターンを用いた方法でも構わない。
第3工程は、フォトマスク106のパターンを形成するようにフォトレジスト105を現像する。
第4工程は、さらに上方からCu箔104の露出面104bにAuメッキ107b、Niメッキ107aから構成される金属メッキ107を施し、スパイラル状接触子102を成形する。ここでの金属メッキ107は、ニッケル合金メッキが好適である。
In the second step, a photoresist 105 is applied to the surface of the Cu foil 104 or a dry film is applied. A photomask 106 having a pattern of spiral contacts 102 is covered from above, and exposure is performed by irradiating light from above the photomask 106.
The shape of the photomask 106 is a pattern in which the spiral contact 102 is blackened. Further, a method using a reverse black and white pattern may be used.
In the third step, the photoresist 105 is developed so as to form a pattern of the photomask 106.
In the fourth process, the exposed surface 104b of the Cu foil 104 is further subjected to metal plating 107 composed of Au plating 107b and Ni plating 107a from above to form the spiral contact 102. The metal plating 107 here is preferably nickel alloy plating.

第5工程は、フォトレジスト105を除去する。
第6工程は、Cu箔104の裏面にフォトレジスト105を貼付もしくは塗布し、穴を開けるためのフォトマスク116を被せ、このフォトマスク116に光を照射して露光・現像する。
第7工程は、Cu箔104の裏面からCu箔104にエッチングで穴104cを開ける。
第8工程は、Cu箔104の裏面のフォトレジスト105を除去する。
In the fifth step, the photoresist 105 is removed.
In the sixth step, a photoresist 105 is pasted or coated on the back surface of the Cu foil 104, a photomask 116 for making a hole is covered, and the photomask 116 is exposed to light and developed.
In the seventh step, a hole 104 c is formed in the Cu foil 104 by etching from the back surface of the Cu foil 104.
In the eighth step, the photoresist 105 on the back surface of the Cu foil 104 is removed.

図7は、従来のスパイラル状接触子の製造方法の工程図である。図7に示すように、第9工程は、上下反転させたスパイラル状接触子の渦巻きの中心を一方から凸形工具で押し上げて凸形に変形させた状態でアニールフォーミングする。
詳細には、スパイラル状接触子102の下方に凸形工具112を配置し、スパイラル状接触子102を下方から凸形工具112で押し上げて凸形に変形させた状態でアニールフォーミングして成形を安定させ、すなわち、凸状に変形したスパイラル状接触子102が加熱及び焼鈍されて凸形状に成形される。このアニールフォーミングは、例えば、250℃で加熱し、焼きなまし処理を行い、内部応力を除去する。
第10工程は、表面に導電性のランド108aを有する実装基板108を設け、ランド108aの上面に導電性のペースト(半田ペースト)109を塗布し、ランド108aの上面に、スパイラル状接触子102を位置決めする。
FIG. 7 is a process diagram of a conventional method for manufacturing a spiral contactor. As shown in FIG. 7, in the ninth step, annealing is performed in a state where the center of the spiral of the spiral contactor turned upside down is pushed up from one side by a convex tool and deformed into a convex shape.
Specifically, a convex tool 112 is arranged below the spiral contact 102, and the forming is stabilized by annealing forming the spiral contact 102 pushed up from below by the convex tool 112 and deformed into a convex shape. That is, the spiral contact 102 deformed into a convex shape is heated and annealed to be formed into a convex shape. In this annealing forming, for example, heating is performed at 250 ° C., annealing is performed, and internal stress is removed.
In the tenth step, a mounting substrate 108 having a conductive land 108a is provided on the surface, a conductive paste (solder paste) 109 is applied to the upper surface of the land 108a, and a spiral contact 102 is formed on the upper surface of the land 108a. Position it.

第11工程は、Cu箔104をエッチングで除去する。
第12工程は、複数のスパイラル状接触子102、102…からなるスパイラルコンタクタ101に接続端子111を接触させる。これによって、スパイラル状接触子102の突起102dと接続端子111が接続されるとともに、突起102dは接続端子111の接触面で微小円を描きながら電気的導通が図られる(特許文献1参照)。
特願2008−79940号
In the eleventh step, the Cu foil 104 is removed by etching.
In the twelfth step, the connection terminal 111 is brought into contact with a spiral contactor 101 including a plurality of spiral contacts 102, 102. As a result, the protrusion 102d of the spiral contact 102 and the connection terminal 111 are connected, and the protrusion 102d is electrically connected while drawing a minute circle on the contact surface of the connection terminal 111 (see Patent Document 1).
Japanese Patent Application No. 2008-79940

しかしながら、従来、スパイラル状接触子は、半球形状や平坦なランド形状などさまざまな接続端子の形状にも対応可能で、電気的接続特性をさらに向上させなければならないという課題があった。   Conventionally, however, the spiral contactor can cope with various connection terminal shapes such as a hemispherical shape and a flat land shape, and there has been a problem that the electrical connection characteristics must be further improved.

本発明は、前記課題を解決するために創案されたものであり、さまざまな形状の接続端子にも接続可能であるとともに、スパイラル状接触子が接続端子と接触して、スパイラル状接触子を先端から順に押し下げるときにスパイラル状接触子の先端部に設けられた1つの鋭い突起が接続端子とねじり動作を伴いながら接触し、微小円を描くことによって、優れた電気接続性を有するスパイラルコンタクタおよびその製造方法を提供することを課題とする。   The present invention was devised to solve the above-described problem, and can be connected to connection terminals of various shapes, and the spiral contact is brought into contact with the connection terminal. A spiral contactor having excellent electrical connectivity by drawing a minute circle with one sharp projection provided at the tip of the spiral contact when it is pushed down in order and making contact with the connecting terminal while twisting, and its It is an object to provide a manufacturing method.

請求項1に係る発明のスパイラルコンタクタは、根元から先端中心に向かって渦巻状に形成され、前記渦巻の中心に先端を有するスパイラル状接触子において、前記スパイラル状接触子の幅方向のセンターに前記スパイラル状接触子の長手方向に沿って溝を備えることを特徴とする。   The spiral contactor of the invention according to claim 1 is formed in a spiral shape from the root toward the tip center, and has a tip at the center of the spiral, and the spiral contactor has a center in the width direction of the spiral contact. A groove is provided along the longitudinal direction of the spiral contact.

請求項2に係る発明のスパイラルコンタクタは、根元を同一として前記根元から先端中心に向かって渦巻状に形成され、前記渦巻の中心に先端を有する2つのスパイラル状接触子であって、前記2つのスパイラル状接触子が互いに間隔を有して並行に形成され、前記2つのスパイラル状接触子が前記先端で合体したことを特徴とする。   A spiral contactor according to a second aspect of the present invention is a spiral contactor having the same root, spirally formed from the root toward the center of the tip, and having a tip at the center of the spiral. Spiral contacts are formed in parallel with a space between each other, and the two spiral contacts are combined at the tip.

請求項3に係る発明は、請求項1または請求項2に記載のスパイラルコンタクタであって、前記スパイラル状接触子は、凸形に形成されていることを特徴とする。   The invention according to claim 3 is the spiral contactor according to claim 1 or 2, wherein the spiral contactor is formed in a convex shape.

請求項4に係る発明は、請求項1または請求項2に記載のスパイラルコンタクタであって、前記先端の上面には突起を備えることを特徴とする。   The invention according to claim 4 is the spiral contactor according to claim 1 or 2, wherein a projection is provided on an upper surface of the tip.

請求項5に係る発明のスパイラルコンタクタの製造方法は、根元から先端中心に向かって渦巻状に形成され、前記渦巻状の中心に先端を有するスパイラル状接触子において、前記スパイラル状接触子の幅方向のセンターに前記スパイラル状接触子の長手方向に沿って溝を備えるスパイラルコンタクタの製造方法であって、
Cu箔を用意し、前記Cu箔の表面にフォトレジストを貼付もしくは塗布し、その上方から前記スパイラル状接触子のパターンを有するフォトマスクを被せ、このフォトマスクの上方から光を照射して露光する第2工程と、
前記フォトマスクのパターンを形成するように前記フォトレジストを現像する第3工程と、
さらに上方から前記Cu箔の露出面に金属メッキを施し、前記スパイラル状接触子を成形する第4工程と、
前記フォトレジストを除去する第5工程と、
前記Cu箔の裏面にフォトレジストを貼付もしくは塗布し、穴を開けるためのフォトマスクを被せ、このフォトマスクに光を照射して露光・現像する第6工程と、
を含むことを特徴とする。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a spiral contactor manufacturing method comprising: a spiral contact formed in a spiral shape from a root toward a tip center, and having a tip at the spiral center; A spiral contactor manufacturing method comprising a groove along the longitudinal direction of the spiral contact at the center of the spiral contactor,
Prepare a Cu foil, apply or apply a photoresist on the surface of the Cu foil, cover the photomask having the spiral contactor pattern from above, and irradiate light from above the photomask for exposure. A second step;
A third step of developing the photoresist so as to form a pattern of the photomask;
Further, a metal plating is performed on the exposed surface of the Cu foil from above, and a fourth step of forming the spiral contact,
A fifth step of removing the photoresist;
A sixth step of applying or applying a photoresist to the back surface of the Cu foil, covering with a photomask for opening a hole, irradiating the photomask with light and exposing and developing;
It is characterized by including.

請求項6に係る発明は、請求項5に記載のスパイラルコンタクタの製造方法であって、上下反転させた前記スパイラル状接触子の渦巻きの中心を一方から凸形工具で押し上げて凸形に変形させた状態で、アニールフォーミングする第9工程を含むことを特徴とする。   The invention according to claim 6 is the method of manufacturing the spiral contactor according to claim 5, wherein the spiral contact of the spiral contactor turned upside down is pushed up from one side by a convex tool and deformed into a convex shape. And a ninth step of annealing and forming in a state where the film is annealed.

請求項7に係る発明は、請求項5に記載のスパイラルコンタクタの製造方法であって、前記スパイラル状接触子の製造方法において、前記第2工程の前に、前記Cu箔の表面に少なくとも1つの凹部を、前記スパイラル状接触子の先端の位置に形成する第1工程を含むことを特徴とする。   The invention according to claim 7 is the manufacturing method of the spiral contactor according to claim 5, wherein in the spiral contactor manufacturing method, at least one surface of the Cu foil is provided before the second step. It includes a first step of forming a recess at a position of the tip of the spiral contact.

請求項1または請求項2に係る発明によれば、さまざまな形状の接続端子にも接続可能であるとともに、スパイラル状接触子が接続端子と接触して、スパイラル状接触子を先端から順に押し下げるときにスパイラル状接触子の先端部に設けられた少なくとも1つの鋭い突起が接続端子とねじり動作を伴いながら接触し、微小円を描くことによって、接続端子の表面の酸化膜を切り裂くとともに優れた電気接続性を有することができる。   According to the invention which concerns on Claim 1 or Claim 2, while connecting also to the connection terminal of various shapes, when a spiral contactor contacts a connection terminal and pushes down a spiral contactor in order from a front-end | tip At least one sharp protrusion provided on the tip of the spiral contact contacts the connection terminal with a torsional motion and draws a minute circle, thereby cutting off the oxide film on the surface of the connection terminal and providing excellent electrical connection Can have sex.

請求項3に係る発明によれば、凸形に形成されたスパイラル状接触子は、さまざまな形状の接続端子にも接続可能であるとともに、スパイラル状接触子が接続端子と接触して、スパイラル状接触子が先端から順に押し下げられるときにスパイラル状接触子が接続端子とねじり動作を伴いながら接触し、微小円を描くことによって、接続端子の表面の酸化膜を切り裂くとともに優れた電気接続性を有することができる。   According to the invention of claim 3, the spiral contact formed in a convex shape can be connected to connection terminals of various shapes, and the spiral contact is brought into contact with the connection terminal to form a spiral shape. When the contacts are pushed down sequentially from the tip, the spiral contacts come into contact with the connection terminals with a torsional motion, and by drawing a minute circle, the oxide film on the surface of the connection terminals is cut and excellent electrical connectivity is achieved. be able to.

請求項4に係る発明によれば、さまざまな形状の接続端子にも接続可能であるとともに、スパイラル状接触子が接続端子と接触して、スパイラル状接触子を先端から順に押し下げるときにスパイラル状接触子の先端部に設けられた少なくとも1つの鋭い突起が接続端子とねじり動作を伴いながら接触し、微小円を描くことによって、接続端子の表面の酸化膜を切り裂くとともに優れた電気接続性を有することができる。   According to the invention of claim 4, it is possible to connect to connection terminals of various shapes, and when the spiral contact comes into contact with the connection terminal and pushes down the spiral contact in order from the tip, the spiral contact At least one sharp projection provided at the tip of the child contacts the connection terminal with a torsional motion and draws a minute circle, thereby tearing the oxide film on the surface of the connection terminal and having excellent electrical connectivity Can do.

請求項5に係る発明によれば、スパイラル状接触子の幅方向のセンターの長手方向に沿っていろんな長さの溝を備え、先端で合体した2つのスパイラル状接触子が互いに間隔を有して並行に形成されたスパイラル状接触子を容易に形成することができる。   According to the fifth aspect of the present invention, the two spiral contactors having grooves of various lengths along the longitudinal direction of the center in the width direction of the spiral contactor are spaced apart from each other. Spiral contacts formed in parallel can be easily formed.

請求項6に係る発明によれば、スパイラル状接触子の渦巻きの中心を凸形工具で押し上げて凸形に変形させた状態で、アニールフォーミングすることによって、ばね特性に優れた凸形のスパイラル状接触子を形成することができる。   According to the invention of claim 6, a convex spiral shape having excellent spring characteristics is obtained by performing annealing forming in a state in which the spiral center of the spiral contactor is pushed up by a convex tool and deformed into a convex shape. A contact can be formed.

請求項7に係る発明によれば、凸形のスパイラル状接触子の先端及びその近傍に突起を形成することができ、接続端子と接触した凸形のスパイラル状接触子を先端から順に押し下げるときに、凸形のスパイラル状接触子の先端部に設けられた少なくとも1つの鋭い突起が、接続端子と接触しながらねじり回動して微小円を描くことになり、接続端子の表面の酸化膜を切り裂くとともに優れた電気接続性を得ることができる。   According to the invention of claim 7, the protrusion can be formed at and near the tip of the convex spiral contact, and when the convex spiral contact in contact with the connection terminal is pushed down sequentially from the tip. Then, at least one sharp projection provided at the tip of the convex spiral contactor twists and rotates while contacting the connection terminal to draw a minute circle, and tears the oxide film on the surface of the connection terminal In addition, excellent electrical connectivity can be obtained.

以下、本発明に係るスパイラルコンタクタおよびその製造方法の実施の形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。
図1は、本発明の実施形態を説明するためのスパイラル状接触子を示し、(a)は先端及びその近傍に突起を備えたスパイラル状接触子を示す概略図、(b)は(a)に示すA―A線の断面図であり、自然体では凸形状の断面図である。
図1(a)(b)に示すように、スパイラル状接触子2は、自然体では凸形状のスパイラル(渦巻き)であるが、根元2bから先端2a中心に向かって渦巻状に形成され、渦巻の中心に先端2aを有するスパイラル状接触子2において、スパイラル状接触子2の幅方向のセンターにスパイラル状接触子2の長手方向に沿って溝2dを備えている。
その中心に位置する先端2aには、四角錐形状の突起2aaが設けられている。渦巻きの幅は、先端2aから根元2bに近づけば近づく程に広くなっており、根元2bから先端2aに向かって渦巻き部2cを備えている。なお、幅は、先端2aから根元2bに行くにしたがって、一定でも構わない。厚さも一定としているが、先端から根元に行くにしたがって、次第に厚く変化していても構わない。また、スパイラル状接触子2を形成するコア材はニッケル(Ni)基材であり、表面にはAuメッキが施されている。
Embodiments of a spiral contactor and a manufacturing method thereof according to the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.
FIG. 1 shows a spiral contact for explaining an embodiment of the present invention, (a) is a schematic view showing a spiral contact having a tip and a protrusion in the vicinity thereof, and (b) is (a). Is a sectional view taken along line AA shown in FIG.
As shown in FIGS. 1A and 1B, the spiral contact 2 is a convex spiral (spiral) in a natural body, but is formed in a spiral shape from the root 2b toward the center of the tip 2a. In the spiral contact 2 having a tip 2 a at the center, a groove 2 d is provided at the center in the width direction of the spiral contact 2 along the longitudinal direction of the spiral contact 2.
A projection 2aa having a quadrangular pyramid shape is provided at the tip 2a located at the center thereof. The width of the spiral increases as it approaches the root 2b from the tip 2a, and a spiral portion 2c is provided from the root 2b toward the tip 2a. The width may be constant as it goes from the tip 2a to the root 2b. Although the thickness is also constant, the thickness may gradually increase from the tip to the base. Moreover, the core material which forms the spiral contact 2 is a nickel (Ni) base material, and Au plating is given to the surface.

また、この溝2dの長さはスパイラル状接触子2の根元2bから先端2aまでの間の所定の区間に設けられている。区間は適宜、設定可能で有る。   The length of the groove 2d is provided in a predetermined section between the root 2b of the spiral contact 2 and the tip 2a. The section can be set as appropriate.

また、前記スパイラル状接触子2の溝2dの長さを固定したものとして、次のように定義できる。すなわち、2つのスパイラル状接触子2、2の根元2b、2bを同一としてその根元2bから先端2a中心に向かって渦巻状に形成され、渦巻の中心に先端2aを有し、2つのスパイラル状接触子2、2が互いに間隔を有して並行に形成され、その間隔を溝2dと称し、2つのスパイラル状接触子2、2が先端2aで合体している。   The length of the groove 2d of the spiral contact 2 can be defined as follows. That is, the two spiral contacts 2, 2 have the same roots 2b, 2b and are formed in a spiral shape from the root 2b toward the center of the tip 2a, and have a tip 2a at the center of the spiral. The elements 2 and 2 are formed in parallel with an interval therebetween, and the interval is referred to as a groove 2d, and the two spiral contacts 2 and 2 are combined at the tip 2a.

また、スパイラル状接触子2は、凸形に形成されており、先端2aの上面には突起2aaを備えている。   The spiral contact 2 is formed in a convex shape, and has a protrusion 2aa on the upper surface of the tip 2a.

これによって、さまざまな形状の接続端子11、11´にも接続可能であるとともに、スパイラル状接触子2が接続端子11、11´と接触して、スパイラル状接触子2を先端2aから順に押し下げるときにスパイラル状接触子2の先端2aに設けられた少なくとも1つの鋭い突起2dが接続端子11、11´とねじり動作を伴いながら接触し、微小円を描くことによって、接続端子11、11´の表面の酸化膜を切り裂くとともに優れた電気接続性を有することができる。   As a result, it is possible to connect to connection terminals 11 and 11 ′ of various shapes, and when the spiral contact 2 comes into contact with the connection terminals 11 and 11 ′ and the spiral contact 2 is pushed down from the tip 2 a in order. The at least one sharp projection 2d provided at the tip 2a of the spiral contact 2 is in contact with the connection terminals 11 and 11 'while being twisted, and draws a minute circle, whereby the surface of the connection terminals 11 and 11' It is possible to cut the oxide film and to have excellent electrical connectivity.

また、渦巻きを2本並行にして2重渦巻きとして説明したが、3重渦巻きでも、4重渦巻きでも、さらに複数の渦巻きとしても良い。   Moreover, although two spirals were paralleled and demonstrated as a double spiral, it may be a triple spiral, a quadruple spiral, or a plurality of spirals.

また、図1の(a)(b)に示すように、先端2a近傍に1個の突起2aaを備えている。その形状は四角錐形状を示しているが、突起2aaの形状は、これらに限るものではなく、三角錐形状、その他の角錐及び円錐形状や、その他類似の形状であっても構わない。
この突起2aaが接続端子(図略)と接触して、スパイラル状接触子2を先端2aから順に押し下げるときに、渦巻きの中心が維持されながら、さらに先端2aがねじり回動することによって、スパイラル状接触子2の先端2aに設けられた少なくとも1つの鋭い突起2aaが接続端子11、11´(図3、図4参照)と接触しながら微小円を描くことになり、接続端子11、11´の表面の酸化膜を切り裂くとともに優れた電気接続性を得ることができる。
なお、突起2aaを先端の回転中心から偏心させなくともねじり動作を伴うことによって回転するが、先端の回転中心からわずかに偏心させた1個の突起2aaを設けても良い。
Further, as shown in FIGS. 1A and 1B, one protrusion 2aa is provided in the vicinity of the tip 2a. Although the shape shows a quadrangular pyramid shape, the shape of the protrusion 2aa is not limited to these, and may be a triangular pyramid shape, other pyramids and a conical shape, or other similar shapes.
When this protrusion 2aa comes into contact with a connection terminal (not shown) and pushes down the spiral contact 2 in order from the tip 2a, the tip 2a is further twisted and rotated while maintaining the center of the spiral. The at least one sharp protrusion 2aa provided at the tip 2a of the contactor 2 draws a minute circle while being in contact with the connection terminals 11 and 11 '(see FIGS. 3 and 4), and the connection terminals 11 and 11' Excellent electrical connectivity can be obtained while cutting the oxide film on the surface.
Although the protrusion 2aa rotates by being twisted without being decentered from the tip rotation center, a single protrusion 2aa slightly decentered from the tip rotation center may be provided.

図2は、本発明に係る製造方法の工程図である。図2に示すように、渦巻きの中心に先端を有するスパイラル状接触子を備えたスパイラルコンタクタの製造方法において、第1工程は、金属板4を用意し、この金属板4の表面に少なくとも1つの凹部4aをスパイラル状接触子の先端の位置に形成する。なお、金属板4はCu箔が好適であるので、以下、金属板4はCu箔4と記載する。Cu箔4の厚みは、箔状であり、例えば、0.08mmとしたが、これに限定されるものではない。   FIG. 2 is a process diagram of the manufacturing method according to the present invention. As shown in FIG. 2, in the manufacturing method of a spiral contactor having a spiral contact having a tip at the center of a spiral, the first step is to prepare a metal plate 4, and at least one metal plate 4 is provided on the surface of the metal plate 4. The recess 4a is formed at the position of the tip of the spiral contact. Since the metal plate 4 is preferably a Cu foil, the metal plate 4 is hereinafter referred to as a Cu foil 4. The thickness of the Cu foil 4 is a foil shape, for example, 0.08 mm, but is not limited thereto.

第2工程は、Cu箔4の表面にフォトレジスト5を塗布、もしくはドライフィルムを貼付する。その上方からスパイラル状接触子2のパターンを有するフォトマスク6を被せ、このフォトマスク6の上方から光を照射して露光する。
このフォトマスク6の形状は、スパイラル形状接触子2の部分を黒塗りにした模様になっている。また、白黒逆のパターンを用いた方法でも構わない。
第3工程は、フォトマスク6のパターンを形成するようにフォトレジスト5を現像する。
第4工程は、さらに上方からCu箔4の露出面4bにAuメッキ7b、Niメッキ7aから構成される金属メッキ7を施し、スパイラル状接触子2を成形する。ここでの金属メッキ7は、ニッケル合金メッキが好適である。なお、金属メッキは、例えば、ニッケルNi合金メッキを用いたが、これに限定されるものではない。
In the second step, a photoresist 5 is applied to the surface of the Cu foil 4 or a dry film is applied. A photomask 6 having a pattern of the spiral contact 2 is covered from above, and light is irradiated from above the photomask 6 for exposure.
The shape of the photomask 6 is a pattern in which the spiral contact 2 is blackened. Further, a method using a reverse black and white pattern may be used.
In the third step, the photoresist 5 is developed so as to form a pattern of the photomask 6.
In the fourth step, the exposed surface 4b of the Cu foil 4 is further subjected to metal plating 7 composed of Au plating 7b and Ni plating 7a from above to form the spiral contact 2. The metal plating 7 here is preferably nickel alloy plating. In addition, although nickel nickel alloy plating was used for metal plating, for example, it is not limited to this.

第5工程は、フォトレジスト5を除去する。
第6工程は、Cu箔4の裏面にフォトレジスト5を貼付もしくは塗布し、穴を開けるためのフォトマスク16を被せ、このフォトマスク16に光を照射して露光・現像する。
第7工程は、Cu箔4の裏面からCu箔4にエッチングで穴4cを開ける。
第8工程は、Cu箔4の裏面のフォトレジスト5を除去する。
In the fifth step, the photoresist 5 is removed.
In the sixth step, a photoresist 5 is pasted or applied on the back surface of the Cu foil 4, and a photomask 16 for making a hole is covered, and the photomask 16 is exposed to light and developed.
In the seventh step, a hole 4c is formed in the Cu foil 4 from the back surface of the Cu foil 4 by etching.
In the eighth step, the photoresist 5 on the back surface of the Cu foil 4 is removed.

図3は、本発明に係る製造方法の工程図である。図3に示すように、第9工程は、上下反転させたスパイラル状接触子の渦巻きの中心を一方から凸形工具で押し上げて凸形に変形させた状態でアニールフォーミングする。
詳細には、スパイラル状接触子2の下方に凸形工具12を配置し、スパイラル状接触子2を下方から凸形工具12で押し上げて凸形に変形させた状態でアニールフォーミングして成形を安定させ、すなわち、凸状に変形したスパイラル状接触子2が加熱及び焼鈍されて凸形状に成形される。このアニールフォーミングは、例えば、250℃で加熱し、焼きなまし処理を行い、内部応力を除去する。ここで加熱温度は250℃としたが、250℃前後を含むものとし、さらにこれに限定されるものではない。
第10工程は、表面に導電性のランド8aを有する実装基板8を設け、ランド8aの上面に導電性のペースト(半田ペースト)9を塗布し、ランド8aの上面に、スパイラル状接触子2を位置決めする。
FIG. 3 is a process diagram of the manufacturing method according to the present invention. As shown in FIG. 3, in the ninth step, annealing forming is performed in a state where the center of the spiral of the spiral contact that is turned upside down is pushed up from one side by a convex tool and deformed into a convex shape.
Specifically, the convex tool 12 is arranged below the spiral contact 2, and the forming is stabilized by annealing and forming the spiral contact 2 with the convex tool 12 pushed up from below and deformed into a convex shape. That is, the spiral contact 2 deformed into a convex shape is heated and annealed to be formed into a convex shape. In this annealing forming, for example, heating is performed at 250 ° C., annealing is performed, and internal stress is removed. Although the heating temperature is 250 ° C. here, it is assumed to include around 250 ° C., and is not limited to this.
In the tenth step, a mounting substrate 8 having a conductive land 8a on the surface is provided, a conductive paste (solder paste) 9 is applied to the upper surface of the land 8a, and the spiral contact 2 is applied to the upper surface of the land 8a. Position it.

第11工程は、Cu箔4をエッチングで除去する。
第12工程は、複数のスパイラル状接触子2、2…からなるスパイラルコンタクタ1に接続端子11を接触させる。これによって、スパイラル状接触子2の突起2aaと接続端子11が接続されるとともに、突起2aaは接続端子11の接触面で微小円を描きながら電気的導通が図られる。
In the eleventh step, the Cu foil 4 is removed by etching.
In the twelfth step, the connection terminal 11 is brought into contact with the spiral contactor 1 composed of a plurality of spiral contacts 2, 2,. Thereby, the projection 2aa of the spiral contact 2 and the connection terminal 11 are connected, and the projection 2aa is electrically connected while drawing a minute circle on the contact surface of the connection terminal 11.

図4は、本発明に係る製造方法の工程図である。図4は図3に示すように、前記第9工程〜第11工程と同様である。
第12´工程は、複数のスパイラル状接触子2、2…からなるスパイラルコンタクタ1に接続端子11´を接触させる。これによって、スパイラル状接触子2の突起2aaと接続端子11´が接続されるとともに、突起2aaは接続端子11´の接触面で微小円を描きながら電気的導通が図られる。
このように、さまざまな形状の接続端子に対しても良好な接続が得られる。
FIG. 4 is a process diagram of the manufacturing method according to the present invention. FIG. 4 is the same as the ninth to eleventh steps as shown in FIG.
In the twelfth step, the connection terminal 11 ′ is brought into contact with the spiral contactor 1 including the plurality of spiral contacts 2, 2. Thereby, the projection 2aa of the spiral contact 2 and the connection terminal 11 ′ are connected, and the projection 2aa is electrically connected while drawing a minute circle on the contact surface of the connection terminal 11 ′.
In this way, a good connection can be obtained for connection terminals of various shapes.

以上、好ましい実施の形態を説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱することの無い範囲内において適宜変更が可能なものである。例えば、スパイラル状接触子の溝は、スパイラル状接触子の長手方向全てにあっても、一部分にあっても構わない。スパイラル状接触子2の先端2aの位置に少なくとも1つの凸部2dを備えたが、先端の突起2aaは2個、3個、4個以上なども可能である。また、渦巻きを2本並行にして2重渦巻きとして説明したが、3重渦巻きでも4重渦巻きでも、さらに複数の渦巻きも製作可能である。また、スパイラル状接触子は、自然体で凸形状としたが、自然体で平坦状であっても構わない。また、第1工程の金属板4は銅板(Cu箔)の他に、例えばSUS板としてもよい。   The preferred embodiments have been described above. However, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and can be appropriately changed without departing from the gist of the present invention. For example, the groove of the spiral contact may be in all or a part of the spiral contact in the longitudinal direction. Although at least one convex portion 2d is provided at the position of the tip 2a of the spiral contact 2, two, three, four, or more projections 2aa at the tip are possible. In addition, although two spirals are described in parallel as a double spiral, a plurality of spirals can be manufactured by a triple spiral or a quadruple spiral. In addition, the spiral contactor has a natural and convex shape, but may be a natural and flat shape. The metal plate 4 in the first step may be, for example, a SUS plate in addition to the copper plate (Cu foil).

本発明の実施形態を説明するためのスパイラル状接触子を示し、(a)は先端近傍に突起を備えたスパイラル状接触子を示す概略図、(b)は(a)に示すA―A線の断面図であり、自然体では凸形状の断面図である。The spiral contact for explaining the embodiment of the present invention is shown, (a) is a schematic diagram showing a spiral contact provided with a projection near the tip, and (b) is an AA line shown in (a) It is sectional drawing of this, and is a sectional view of convex shape in a natural body. 本発明に係る製造方法の工程図である。It is process drawing of the manufacturing method which concerns on this invention. 本発明に係る製造方法の工程図である。It is process drawing of the manufacturing method which concerns on this invention. 本発明に係る製造方法の工程図である。It is process drawing of the manufacturing method which concerns on this invention. 従来の実施形態を説明するためのスパイラル状接触子を示し、(a)は先端近傍に突起を備えたスパイラル状接触子を示す概略図、(b)は(a)に示すB―B線の断面図であり、自然体で凸形状の断面図である。The spiral contact for demonstrating the conventional embodiment is shown, (a) is the schematic which shows the spiral contact which provided the protrusion near the front-end | tip, (b) is the BB line shown to (a). It is a sectional view, and is a sectional view of a natural and convex shape. 従来の実施形態を説明するためのスパイラル状接触子の製造方法を示す工程図である。It is process drawing which shows the manufacturing method of the spiral contact for demonstrating the conventional embodiment. 従来の実施形態を説明するためのスパイラル状接触子の製造方法を示す工程図である。It is process drawing which shows the manufacturing method of the spiral contact for demonstrating the conventional embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

1 スパイラルコンタクタ
2 スパイラル状接触子
2a 先端
2aa 突起
2b 根元
2c 渦巻き部
2d 溝
4 Cu箔
5 フォトレジスト
6、16 フォトマスク
7 金属メッキ
8 実装基板
9 ペースト
11、11´ 接続端子
12 凸形工具
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Spiral contactor 2 Spiral contact 2a Tip 2aa Protrusion 2b Root 2c Spiral part 2d Groove 4 Cu foil 5 Photoresist 6, 16 Photomask 7 Metal plating 8 Mounting board 9 Paste 11, 11 'Connection terminal 12 Convex tool

Claims (7)

根元から先端中心に向かって渦巻状に形成され、前記渦巻の中心に先端を有するスパイラル状接触子において、前記スパイラル状接触子の幅方向のセンターに前記スパイラル状接触子の長手方向に沿って溝を備えることを特徴とするスパイラルコンタクタ。   A spiral contact formed in a spiral shape from the root toward the center of the tip, and having a tip at the center of the spiral, a groove along the longitudinal direction of the spiral contact at the center in the width direction of the spiral contact A spiral contactor comprising: 根元を同一として前記根元から先端中心に向かって渦巻状に形成され、前記渦巻の中心に先端を有する2つのスパイラル状接触子であって、前記2つのスパイラル状接触子が互いに間隔を有して並行に形成され、前記2つのスパイラル状接触子が前記先端で合体したことを特徴とするスパイラルコンタクタ。   Two spiral contacts having the same root and spirally formed from the root toward the center of the tip, and having a tip at the center of the spiral, the two spiral contacts being spaced apart from each other A spiral contactor formed in parallel, wherein the two spiral contacts are combined at the tip. 前記スパイラル状接触子は、凸形に形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のスパイラルコンタクタ。   The spiral contactor according to claim 1, wherein the spiral contact is formed in a convex shape. 前記先端の上面には突起を備えることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のスパイラルコンタクタ。   The spiral contactor according to claim 1, wherein a protrusion is provided on an upper surface of the tip. 根元から先端中心に向かって渦巻状に形成され、前記渦巻状の中心に先端を有するスパイラル状接触子において、前記スパイラル状接触子の幅方向のセンターに前記スパイラル状接触子の長手方向に沿って溝を備えるスパイラルコンタクタの製造方法であって、
Cu箔を用意し、前記Cu箔の表面にフォトレジストを貼付もしくは塗布し、その上方から前記スパイラル状接触子のパターンを有するフォトマスクを被せ、このフォトマスクの上方から光を照射して露光する第2工程と、
前記フォトマスクのパターンを形成するように前記フォトレジストを現像する第3工程と、
さらに上方から前記Cu箔の露出面に金属メッキを施し、前記スパイラル状接触子を成形する第4工程と、
前記フォトレジストを除去する第5工程と、
前記Cu箔の裏面にフォトレジストを貼付もしくは塗布し、穴を開けるためのフォトマスクを被せ、このフォトマスクに光を照射して露光・現像する第6工程と、
を含むことを特徴とするスパイラルコンタクタの製造方法。
In a spiral contact formed in a spiral shape from the root toward the tip center, and having a tip at the spiral center, along the longitudinal direction of the spiral contact at the center in the width direction of the spiral contact A method of manufacturing a spiral contactor having a groove,
Prepare a Cu foil, apply or apply a photoresist on the surface of the Cu foil, cover the photomask having the spiral contactor pattern from above, and irradiate light from above the photomask for exposure. A second step;
A third step of developing the photoresist so as to form a pattern of the photomask;
Further, a metal plating is performed on the exposed surface of the Cu foil from above, and a fourth step of forming the spiral contact,
A fifth step of removing the photoresist;
A sixth step of applying or applying a photoresist to the back surface of the Cu foil, covering with a photomask for opening a hole, irradiating the photomask with light and exposing and developing;
A process for producing a spiral contactor comprising:
上下反転させた前記スパイラル状接触子の渦巻きの中心を一方から凸形工具で押し上げて凸形に変形させた状態で、アニールフォーミングする第9工程を含むことを特徴とする請求項5に記載のスパイラルコンタクタの製造方法。   6. The ninth process according to claim 5, further comprising a ninth step of annealing forming in a state in which the center of the spiral of the spiral contactor turned upside down is pushed up from one side by a convex tool and deformed into a convex shape. Manufacturing method of spiral contactor. 前記スパイラル状接触子の製造方法において、前記第2工程の前に、前記Cu箔の表面に少なくとも1つの凹部を、前記スパイラル状接触子の先端の位置に形成する第1工程を含むことを特徴とする請求項5に記載のスパイラルコンタクタの製造方法。   The manufacturing method of the spiral contact includes a first step of forming at least one concave portion on the surface of the Cu foil at a position of a tip of the spiral contact before the second step. A method for manufacturing a spiral contactor according to claim 5.
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