JP2010109389A - Conveying device and vacuum treatment apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、例えば半導体基板等を真空処理槽内に搬入したり、搬出して所定の位置に搬送するための搬送装置に関する。 The present invention relates to a transfer device for transferring, for example, a semiconductor substrate or the like into a vacuum processing tank and transferring it to a predetermined position.
近年、半導体素子に関し、超微細高精度化が要求されており、このような半導体素子を製造する装置には、スループットを向上させること、また装置を設置するための床面積を小さくすること等が要求されている。 2. Description of the Related Art In recent years, semiconductor devices have been required to be ultrafine and highly accurate. In the devices for manufacturing such semiconductor devices, it is necessary to improve the throughput and reduce the floor area for installing the devices. It is requested.
このため、搬送室を中心としてその周囲に複数の処理室を配し、ゲートバルブを介して連結することによって種々の基板処理を真空中で一貫して行うことができるマルチチャンバ装置及び搬送装置が提案されている(例えば、特許第2733799号公報、特許第2808826号公報等参照)。 For this reason, a multi-chamber apparatus and a transfer apparatus capable of consistently performing various substrate processes in a vacuum by arranging a plurality of process chambers around the transfer chamber and connecting them through a gate valve. It has been proposed (see, for example, Japanese Patent No. 2733799, Japanese Patent No. 2808826, etc.).
図5は、従来の搬送装置(特開平4−279043号公報参照)の要部構成を示す平面図である。
図5に示すように、この搬送装置100においては、図示しない駆動源の回転動力が、駆動軸101及びこの駆動軸101に取り付けられた駆動ギア102に伝達され、さらに、駆動ギア102及びこの駆動ギア102と噛み合う従動ギア103を介して従動軸104に伝達されるようになっている。
FIG. 5 is a plan view showing a main part configuration of a conventional transport device (see Japanese Patent Laid-Open No. 4-279043).
As shown in FIG. 5, in the
駆動軸101には第1のアーム105が取り付けられ、この第1のアーム105の先端部には、回転軸106を中心として回転可能な第3のアーム107が取り付けられている。
A
一方、従動軸104には第2のアーム108が取り付けられ、この第2のアーム108の先端部には、回転軸109を中心として回転可能な第4のアーム110が取り付けられている。
On the other hand, a
第3のアーム107には上記回転軸106と同心的に回転可能な動プーリ111が取り付けられ、この動プーリ111は、駆動軸101と同心位置に固定された固定プーリ112とベルト113によって連結されている。なお、動プーリ111と固定プーリ112との直径比は1:2である。
A moving
第3のアーム107と第4のアーム110の先端部には、それぞれ拘束ギア114、116が回転可能に取り付けられ、これら拘束ギア114、116は、噛み合った状態で基板載置台115に取り付けられている。
このようなリンク機構を有する従来の搬送装置100においては、駆動軸101を回転させることにより、駆動軸101と従動軸104の中心を結ぶ直線に水平面内で直交する直線(以下「搬送ライン」という。)lに沿って基板載置台115が移動し、第1のアーム105と第2のアーム108の開き角が180度となる位置(以下「死点位置」という。)を通過する。
In the
また、この搬送装置100は、駆動軸101及び従動軸104は図示しない支持台に回転可能に取り付けられ、この支持台を他の駆動源(図示せず)によって回転させることにより基板載置台115が駆動軸101を中心として旋回するように構成されている。
Further, in the
しかしながら、このような従来の搬送装置100においては、駆動軸101を中心として基板載置台115を回転させる構成となっているため、第1〜第4のアーム105、107、108、110を死点位置まで縮めた状態で旋回させた場合に、基板載置台115は第1〜第4のアーム105、107、108、110の中心位置、すなわち、駆動軸101と従動軸104の中心軸を結ぶ直線mと上記搬送ラインlの交点Oを中心に旋回しない構成となっている。
However, since the
このため、従来技術においては、最小旋回半径を小さくすることができず、搬送室の内径を小さくすることができないので、半導体製造装置を小さくすることができないという課題がある。 For this reason, in the prior art, since the minimum turning radius cannot be reduced and the inner diameter of the transfer chamber cannot be reduced, there is a problem that the semiconductor manufacturing apparatus cannot be reduced.
また、半導体製造装置のスループットを向上させるためには、搬送装置の動作速度を大きくすることが効果的であるが、従来技術においては、一つの駆動源を用いて駆動軸101及び従動軸104を動作させるようにしているため、回転動力の伝達ロス等によって駆動源の動作トルクが不足し、動作速度が速くならないという課題がある。
In order to improve the throughput of the semiconductor manufacturing apparatus, it is effective to increase the operation speed of the transfer apparatus. However, in the conventional technique, the
このような課題を解決するためには、同心状に配設した第1及び第2の駆動軸に対して2つの独立した駆動源の回転動力を伝達させることも考えられるが、その場合、関節機構を構成する拘束ギア114、116が2個並列に配置されているので、上記第3のアーム107の第1のアーム105に対する回転角と、第4のアーム110の第2のアーム108に対する回転角は、それぞれ第1のアーム105及び第2のアーム108の回転角に比例しない。そのため、第1及び第2のアーム105、108の回転運動に第3及び第4のアーム107、110の回転運動に同期せず、基板載置台115の移動が困難になってしまう。
In order to solve such a problem, it is conceivable to transmit the rotational power of two independent drive sources to the first and second drive shafts arranged concentrically. Since the two
その一方、このような課題を回避するためには複雑な補正機構を設けなければならず、部品点数が増加するとともに組立工程も煩雑になってしまう。 On the other hand, in order to avoid such a problem, it is necessary to provide a complicated correction mechanism, which increases the number of parts and makes the assembly process complicated.
本発明は、このような従来の技術の課題を解決するためになされたもので、簡素な構成で旋回半径を小さくすることができ、しかも搬送速度が大きい搬送装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve the above-described problems of the conventional technology, and an object of the present invention is to provide a transport apparatus that can reduce the turning radius with a simple configuration and has a high transport speed. .
上記目的を達成するためになされた請求項1記載の発明は、第1、第2、第3及び第4のアームを有する搬送装置であって、前記第1のアームは、一方の端部Aが第1の駆動軸に固定され、前記第2のアームは、一方の端部Bが、前記第1の駆動軸と同心状に配設された第2の駆動軸に固定され、前記第3のアームは、一方の端部Eが前記第1のアームの他方の端部Cにおいて支軸を中心に回転可能に連結され、前記第4のアームは、一方の端部Fが前記第2のアームの他方の端部Dにおいて支軸を中心に回転可能に連結され、前記第3及び第4のアームの他方の端部G、Hが所定の連結軸を中心に回転可能に連結され、前記第1又は第2のアームの駆動軸の回転動力を前記第3又は第4のアームに伝達するための第1の動力伝達機構と、前記第1又は第2のアームの他端部における回転動力を前記連結軸に伝達するための第2の動力伝達機構とを備え、前記第1の動力伝達機構は、前記第1又は第2のアームの一方の端部A、Bに設けられた駆動部と、前記第3又は第4のアームの一方の端部E、Fに設けられた従動部とを有し、前記駆動部と前記従動部とが所定の動力伝達部材によって連結され、前記第2の動力伝達機構は、前記第1又は第2のアームの他方の端部C、Dに設けられた駆動部と、前記連結軸に設けられた従動部とを有し、前記駆動部と前記従動部とが所定の動力伝達部材によって連結されていることを特徴とする。
請求項2記載の発明は、請求項1記載の発明において、前記第1、第2、第3及び第4のアームのアーム長が同一であることを特徴とする。
請求項3記載の発明は、請求項1又は2のいずれか1項記載の発明において、前記第1の動力伝達機構は、前記第1又は第2のアームの一方の端部A、Bに設けられた第1のプーリと、前記第3又は第4のアームの一方の端部E、Fに設けられた第2のプーリとを有し、前記第1のプーリと前記第2のプーリとが伝達ベルトによって連結されていることを特徴とする。
請求項4記載の発明は、請求項1乃至3のいずれか1項記載の発明において、前記第2の動力伝達機構は、前記第1又は第2のアームの他方の端部C、Dに設けられた第3のプーリと、前記連結軸に設けられた第4のプーリとを有し、前記第3のプーリと前記第4のプーリとが伝達ベルトによって連結されていることを特徴とする。
請求項5記載の発明は、請求項4記載の発明において、前記第1のプーリの直径と、前記第2のプーリの直径と、前記第3のプーリの直径とが同一であり、前記第4のプーリの直径が、前記第1〜第3のプーリの直径の2倍であることを特徴とする。
請求項6記載の発明は、請求項1乃至請求項5のいずれか1項記載の搬送装置を用いて真空処理槽内の搬送を行うように構成されていることを特徴とする真空処理装置である。
In order to achieve the above object, the invention according to
According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the invention, the first, second, third, and fourth arms have the same arm length.
According to a third aspect of the present invention, in the first or second aspect of the present invention, the first power transmission mechanism is provided at one end A or B of the first or second arm. The first pulley and the second pulley provided at one end E, F of the third or fourth arm, and the first pulley and the second pulley are It is characterized by being connected by a transmission belt.
Invention of
The invention according to
Invention according to claim 6, in the vacuum processing apparatus characterized by being configured to perform the conveyance of the vacuum processing chamber using the transfer apparatus according to any one of
本発明の場合、第1及び第2のアームの駆動軸が同心状に配設されていることから、第1〜第4のアームを死点位置に配置した状態における最小旋回半径を従来技術に比べて小さくすることが可能になる。
また、本発明によれば、第3及び第4のアームの他方の端部G、Hが所定の連結軸によって同心状に連結されていることから、アーム長を変化させるための複雑な補正機構を用いることなく第3及び第4のアームに駆動軸の回転動力を与えることができ、その結果、簡素な構成で第1〜第4のアームの動作速度を速くすることが可能になる。
しかも、本発明にあっては、第2の動力伝達機構によって第1又は第2のアームの他方の端部C、Dにおける回転動力を前記連結軸に伝達するように構成されていることから、例えばこの連結軸に取り付けたキャリアが回転してしまうことなく所定の搬送ラインに沿って直進性良く移動させることができ、また、死点位置近傍においてもキャリアを円滑に移動させることができる。
さらに、本発明によれば、第1の動力伝達機構によって駆動源の動力が効率良く各アームに伝達されるので、より円滑かつ高速で動作させることが可能になる。
さらにまた、本発明において、第1の動力伝達機構を第1及び第2のプーリとベルトによって構成すれば、薄型で軽量の搬送機構を提供することが可能になる。
加えて、本発明において、第2の動力伝達機構を第3及び第4のプーリとベルトによって構成すれば、薄型で軽量の搬送機構を提供することが可能になる。
この場合、第1のプーリの直径と、第2のプーリの直径と、第3のプーリの直径とを同一とし、第4のプーリの直径を、第1〜第3のプーリの直径の2倍となるように構成すれば、第1のアームの回転角度と、第3のアームに対する第4のプーリの回転角度を一致させることができ、これにより第4のプーリに連結軸に固定した例えばキャリアを連結軸を中心に回転することなく搬送ライン上を直進性良く移動させることができる。
一方、本発明の真空処理装置によれば、小型で処理対象物の搬送速度の大きい真空処理装置を提供することができる。
In the case of the present invention, since the drive shafts of the first and second arms are arranged concentrically, the minimum turning radius in the state where the first to fourth arms are arranged at the dead center position is set in the prior art. It becomes possible to make it smaller.
Further, according to the present invention, since the other ends G and H of the third and fourth arms are concentrically connected by a predetermined connecting shaft, a complicated correction mechanism for changing the arm length is provided. Rotational power of the drive shaft can be applied to the third and fourth arms without using the above, and as a result, the operating speed of the first to fourth arms can be increased with a simple configuration.
Moreover, in the present invention, the second power transmission mechanism is configured to transmit the rotational power at the other end C, D of the first or second arm to the connecting shaft. For example, the carrier attached to the connecting shaft can be moved with good straightness along a predetermined transport line without rotating, and the carrier can be smoothly moved even in the vicinity of the dead center position.
Furthermore, according to the present invention, since the power of the drive source is efficiently transmitted to each arm by the first power transmission mechanism, it is possible to operate more smoothly and at high speed.
Furthermore, Oite the present invention, the first power transmission mechanism be constituted by the first and second pulleys and the belt, it is possible to provide a transport mechanism of lightweight thin.
In addition, Oite the present invention, the second power transmission mechanism be configured by the third and fourth pulley and the belt, it is possible to provide a transport mechanism of lightweight thin.
In this case, the diameter of the first pulley, the diameter of the second pulley, and the diameter of the third pulley are the same, and the diameter of the fourth pulley is twice the diameter of the first to third pulleys. The rotation angle of the first arm and the rotation angle of the fourth pulley with respect to the third arm can be made to coincide with each other, so that, for example, the carrier fixed to the connecting shaft on the fourth pulley Can be moved on the transport line with good straightness without rotating around the connecting shaft.
On the other hand, according to the vacuum processing apparatus of the present invention, it is possible to provide a vacuum processing apparatus that is small and has a high conveyance speed of the processing object.
以上述べたように本発明によれば、簡素な構成で旋回半径を小さくすることができ、しかも搬送速度が大きい搬送装置を提供することができる。 As described above, according to the present invention, it is possible to provide a transport apparatus that can reduce the turning radius with a simple configuration and that has a high transport speed.
以下、本発明に係る搬送装置の好ましい実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。 Hereinafter, a preferred embodiment of a transport device according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
図1は、本発明に係る搬送装置の第1の実施の形態の構成を示す平面図、図2は、本実施の形態の構成を示す側断面図である。
図1に示すように、本実施の形態の搬送装置1は、例えば真空処理槽(図示せず)内における処理対象物の搬送を行うもので、同心状に配設した第1及び第2の駆動軸11、12を有し、これら各駆動軸11、12は、独立した第1及び第2の駆動源M1、M2からそれぞれ時計回り方向又は反時計回り方向の回転動力が伝達されるように構成されている。
FIG. 1 is a plan view showing the configuration of the first embodiment of the transport apparatus according to the present invention, and FIG. 2 is a side sectional view showing the configuration of the present embodiment.
As shown in FIG. 1, the
第1の駆動軸11には第1のアーム21の一方の端部Aが固定され、第2の駆動軸12には、第2のアーム22の一方の端部Bが固定されている。
One end A of the
第1及び第2のアーム21、22の他方の端部C、Dには、例えば軸受け(図示せず)を用いて第3及び第4のアーム23、24の一方の端部E、Fが、支軸23a、24aを中心としてそれぞれ回転自在に取り付けられている。
The other ends C and D of the first and
これら第3及び第4のアーム23、24は、その他方の端部G、Hが、後述するベース板30に固定された連結軸30aを中心として同心的に回転できるように構成されている。
The third and
なお、本実施の形態においては、第1〜第4のアーム21〜24の長さ(回転軸間の距離)が、全て同一の長さに設定されている。以下、第1〜第4のアーム21〜24全体を適宜アーム20と総称する。
In the present embodiment, the lengths of the first to
また、本実施の形態においては、第2のアーム22と第3のアーム23との間に第1の動力伝達機構4が設けられている。
In the present embodiment, the first
図1及び図2に示すように、この第1の動力伝達機構4においては、第2のアーム22の回転軸である第2の駆動軸12に対して同心状に第1のプーリ(駆動部)41が固定されるとともに、第3のアーム23の回転軸である支軸23aに対して同心状に第2のプーリ(従動部)42が固定され、これら第1及び第2のプーリ41、42に伝達ベルト(動力伝達部材)40が巻き掛けられている。
As shown in FIGS. 1 and 2, in the first
ここで、第1及び第2のプーリ41、42は、それぞれ径が同一のものが用いられている。
Here, the first and
そして、このような構成を有する第1の動力伝達機構4により、第2のアーム22を駆動するための第2の駆動軸12の回転動力が、同位相で第3のアーム23に伝達されるようになっている。
Then, the first
さらに、本実施の形態においては、第2の動力伝達機構5が設けられている。
この第2の動力伝達機構5は、第1のアーム21の他方の端部Cに固定され第3のアーム23の支軸23aを中心として回転可能な第3のプーリ(駆動部)53を有している。
Furthermore, in the present embodiment, a second
The second
また、ベース板30の連結軸30aには当該連結軸30aを中心として第4のプーリ(従動部)54が固定されている。この第4のプーリ54の直径は第3のプーリ53の直径の2倍に設定されている。そして、これら第3及び第4のプーリ54に伝達ベルト(動力伝達部材)50が巻き掛けられ、これにより第3のプーリ53の回転が同位相で第4のプーリ54に伝達されるようになっている。
A fourth pulley (driven portion) 54 is fixed to the connecting
図1に示すように、ベース板30には、半導体ウェハ2を載置するためのキャリア31が取り付けられている。
As shown in FIG. 1, a
本実施の形態の場合は、ベース板30に対して第1及び第2の駆動軸11、12側に第1のキャリア31aが設けられるとともに、ベース板30を挟んで180度回転対称側に第2のキャリア31bが設けられ、これにより2枚の半導体ウェハ2を同時に載置できるようになっている。
In the case of the present embodiment, the
次に、本実施の形態の動作を説明する。
まず、第1のアーム21と第2のアーム22の開き角が180度の状態、即ち死点位置にある状態から、第1のアーム21と第2のアーム22の開き角が小さくなるように第1の駆動軸11と第2の駆動軸12を逆方向に所定の角度θだけ回転させると、第1のアーム21と第2のアーム22は、それぞれ逆方向に同一の角度θだけ回転する。
Next, the operation of the present embodiment will be described.
First, from the state where the opening angle of the
ここで、第1〜第4のアーム21〜24は、リンク機構を構成しており、また、第1〜第4のアーム21〜24はアーム長が等しいので、この回転に伴い、ベース板30に固定された連結軸30aは、第1及び第2の駆動軸11、12の中心と当該連結軸30aの中心を結ぶ直線(以下「搬送ライン」という。)L上を移動する(図1参照)。
Here, the first to
ここで、第1のアーム21が角度θだけ回転すると、第3のアーム23は第1のアーム21に対して逆方向に角度2θだけ回転する。第1のアーム21に固定された第3のプーリ53は第3のアーム23に対して相対的に2θだけ回転したことになる。この第3のプーリ53の回転動力は伝達ベルト50を介して第4のプーリ54に伝達されるが、第3のプーリ53と第4のプーリ54の直径比が1:2であるので、第4のプーリ54は、第3のアーム23に対して角度θだけ回転する。
Here, when the
その結果、第4のプーリ54に連結軸30aを介して固定されているベース板30とキャリア31は、連結軸30aを中心に回転することなく、搬送ラインL上を直進性良く移動することになる。
As a result, the
一方、キャリア31を元の位置に戻す場合には、第1の駆動軸11と第2の駆動軸12を上記方向と逆方向に所定の角度θだけ回転させる。これにより、上述した動作と反対の動作が行われ、第1のアーム21と第2のアーム22が死点位置に戻る。
On the other hand, when returning the
なお、第1の駆動軸11と第2の駆動軸12を同じ方向へ回転させた場合には、キャリア31は、第1の駆動軸11及び第2の駆動軸12を中心として同方向に回転する。
Note that when the
次に、本実施の形態においてキャリア31が死点位置を通過するときの動作について説明する。
ここでは、第1のアーム21と第2のアーム22の開き角が死点位置における180度から少し小さくなった状態を考える。
Next, the operation when the
Here, a state in which the opening angle of the
この状態において、第1のアーム21と第2のアーム22の開き角が大きくなるように、第1の駆動軸11を所定の方向に角度θだけ回転させ、第2の駆動軸12をこれと逆方向に角度θだけ回転させる。
In this state, the
本実施の形態においては、第2の駆動軸12の回転動力が、動力伝達機構8によって同位相で第3のアーム23に伝達されるようになっているため、第1及び第2のアーム21、22を回転させると、第3のアーム23が第1のアーム21に対して回転移動し、その結果、キャリア31は円滑に死点位置を通過することになる。
In the present embodiment, the rotational power of the
図3(a)〜(d)及び図4(e)〜(g)は、本実施の形態を用い、真空処理槽内において処理済みの半導体ウェハを未処理の半導体ウェハと入れ替える動作を示す説明図である。 3 (a) to 3 (d) and FIGS. 4 (e) to 4 (g) illustrate the operation of replacing a processed semiconductor wafer with an unprocessed semiconductor wafer in the vacuum processing tank using the present embodiment. FIG.
ここでは、図3(a)に示すように、第1のキャリア31a上に未処理の半導体ウェハ2aがあり、第2のキャリア31b上には半導体ウェハ2がない状態を考える。
Here, as shown in FIG. 3A, consider a state in which there is an
まず、第1〜第4のアーム21〜24を死点位置に配置した状態で旋回させることにより、第2のキャリア31bを、真空処理槽(図示せず)内の所定の位置に配置された処理済みの半導体ウェハ2の方向に向ける。
First, the
次いで、図3(b)に示すように、アーム20を伸ばして第2のキャリア31bをウェハ受け渡し位置50に移動させ、さらに、図3(c)に示すように、処理済みの半導体ウェハ2を第2のキャリア31b上に載せてアーム20を初期位置に戻す。この状態では第1及び第2のキャリア31a、31b上に半導体ウェハ2が載置されている。
Next, as shown in FIG. 3 (b), the
そして、図3(d)及び図4(e)に示すように、アーム20を180度旋回させ、第1のキャリア31aをウェハ受け渡し位置50に向け、アーム20を伸ばして第1のキャリア31aをウェハ受け渡し位置50に移動させる。
Then, as shown in FIGS. 3D and 4E, the
その後、図4(f)に示すように、第1のキャリア31a上にある未処理の半導体ウェハ2aを受け渡し、さらに、図4(g)に示すように、第1のキャリア31aを初期位置に戻す。
Thereafter, as shown in FIG. 4 (f), the
以上述べたように本実施の形態によれば、第1及び第2のアーム21、22の駆動軸11、12が同心状に配設されていることから、第1〜第4のアーム21〜24を死点位置に配置した状態における最小旋回半径を従来技術に比べて小さくすることが可能になる。
As described above, according to the present embodiment, since the
また、本実施の形態によれば、第3及び第4のアーム23、24が、それぞれ他方の端部G、Hにおいて連結軸30aを中心として同心的に回転するように構成されていることから、アーム長を変化させるための複雑な補正機構を用いることなく第3及び第4のアーム23、24に駆動軸11、12の回転動力を与えることができ、その結果、簡素な構成で第1〜第4のアーム21〜24の動作速度を速くすることができる。
Further, according to the present embodiment, the third and
しかも、本実施の形態にあっては、第2の動力伝達機構5によって第1のアーム21の他方の端部Cにおける回転動力を前記連結軸30aに伝達するように構成されていることから、この連結軸30aに取り付けたキャリア31が回転してしまうことなく搬送ラインLに沿って直進性良く移動させることができ、また、死点位置近傍においてもキャリア31を円滑に移動させることができる。
In addition, in the present embodiment, the second
さらに、本実施の形態によれば、第1の動力伝達機構4によって駆動源M1、M2の動力が効率良く各アーム21〜24に伝達されるので、より円滑かつ高速で動作させることが可能になる。
Furthermore, according to the present embodiment, the power of the drive sources M1 and M2 is efficiently transmitted to the
さらにまた、本実施の形態によれば、第1及び第2の動力伝達機構4、5が第1〜4のプーリ41、42及び53、54と伝達ベルト40及び50によって構成されているので、薄型で軽量の動力伝達機構を提供することができるものである。
Furthermore, according to the present embodiment, the first and second
なお、本発明は上述の実施の形態に限られることなく、種々の変更を行うことができる。
例えば、上記第1及び第2の動力伝達機構のプーリとベルトの代わりにスプロケットとチェーンを用いることも可能である。
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various changes can be made.
For example, it is also possible to use a sprocket and a chain instead of the pulleys and belts of the first and second power transmission mechanisms.
スプロケットとチェーンを用いた場合には、滑りのない、また、熱伸びの小さな動力伝達機構を提供することができる。 When a sprocket and a chain are used, it is possible to provide a power transmission mechanism that does not slip and has low thermal elongation.
また、上述した実施の形態では、第2のアームと第3のアームとの間に第1の動力伝達機構を設け、第1のアームと連結軸の間に第2の動力伝達機構を設けるようにしたが、第1のアームと第4のアームの間に第1の動力伝達機構を設け、第2のアームと連結軸の間に第2の動力伝達機構を設けることもできる。 In the above-described embodiment, the first power transmission mechanism is provided between the second arm and the third arm, and the second power transmission mechanism is provided between the first arm and the connecting shaft. However, the first power transmission mechanism may be provided between the first arm and the fourth arm, and the second power transmission mechanism may be provided between the second arm and the connecting shaft.
さらにまた、本発明の搬送装置は例えば真空処理装置を始めとして種々の装置に用いることができ、本発明の範囲を逸脱しない限り、適宜変更することができるものである。 Furthermore, the transfer apparatus of the present invention can be used in various apparatuses including, for example, a vacuum processing apparatus, and can be changed as appropriate without departing from the scope of the present invention.
1…搬送装置 2…半導体ウェハ 4…第1の動力伝達機構 5…第2の動力伝達機構 11…第1の駆動軸 12…第2の駆動軸 20…アーム 21…第1のアーム 22…第2のアーム 23…第3のアーム 24…第4のアーム 30…ベース板 30a…連結軸 40…伝達ベルト(動力伝達部材) 41…第1のプーリ(駆動部) 42…第2のプーリ(従動部) 50…伝達ベルト(動力伝達部材) 53…第3のプーリ(駆動部) 54…第4のプーリ(従動部)
DESCRIPTION OF
Claims (12)
前記第1のアームは、一方の端部Aが第1の駆動軸に固定され、
前記第2のアームは、一方の端部Bが、前記第1の駆動軸と同心状に配設された第2の駆動軸に固定され、
前記第3のアームは、一方の端部Eが前記第1のアームの他方の端部Cにおいて支軸を中心に回転可能に連結され、
前記第4のアームは、一方の端部Fが前記第2のアームの他方の端部Dにおいて支軸を中心に回転可能に連結され、
前記第3及び第4のアームの他方の端部G、Hが所定の連結軸を中心に回転可能に連結され、
前記第1又は第2のアームの駆動軸の回転動力を前記第3又は第4のアームに伝達するための第1の動力伝達機構と、
前記第1又は第2のアームの他端部における回転動力を前記連結軸に伝達するための第2の動力伝達機構とを備えたことを特徴とする搬送装置。 A transport device having first, second, third and fourth arms,
The first arm has one end A fixed to the first drive shaft,
The second arm has one end B fixed to a second drive shaft disposed concentrically with the first drive shaft,
The third arm is connected such that one end E is rotatable about the support shaft at the other end C of the first arm,
The fourth arm is connected such that one end F is rotatable about the support shaft at the other end D of the second arm,
The other ends G and H of the third and fourth arms are coupled to be rotatable about a predetermined coupling axis,
A first power transmission mechanism for transmitting rotational power of the drive shaft of the first or second arm to the third or fourth arm;
And a second power transmission mechanism for transmitting rotational power at the other end of the first or second arm to the connecting shaft.
前記第1のアームは、一方の端部Aが第1の駆動軸に固定され、
前記第2のアームは、一方の端部Bが、前記第1の駆動軸と同心状に配設された第2の駆動軸に固定され、
前記第3のアームは、一方の端部Eが前記第1のアームの他方の端部Cにおいて支軸を中心に回転可能に連結され、
前記第4のアームは、一方の端部Fが前記第2のアームの他方の端部Dにおいて支軸を中心に回転可能に連結され、
前記第3及び第4のアームの他方の端部G、Hが所定の連結軸を中心に回転可能に連結され、
前記第1又は第2のアームの駆動軸の回転動力を前記第3又は第4のアームに伝達するための第1の動力伝達機構と、
前記第1又は第2のアームの他端部における回転動力を前記連結軸に伝達するための第2の動力伝達機構とを備え、
前記第1、第2、第3及び第4のアームのアーム長が同一であり、
前記第1の動力伝達機構は、前記第1又は第2のアームの一方の端部A、Bに設けられた駆動部と、前記第3又は第4のアームの一方の端部E、Fに設けられた従動部とを有し、前記駆動部と前記従動部とが所定の動力伝達部材によって連結され、
前記第2の動力伝達機構は、前記第1又は第2のアームの他方の端部C、Dに設けられた駆動部と、前記連結軸に設けられた従動部とを有し、前記駆動部と前記従動部とが所定の動力伝達部材によって連結されていることを特徴とする搬送装置。 A transport device having first, second, third and fourth arms,
The first arm has one end A fixed to the first drive shaft,
The second arm has one end B fixed to a second drive shaft disposed concentrically with the first drive shaft,
The third arm is connected such that one end E is rotatable about the support shaft at the other end C of the first arm,
The fourth arm is connected such that one end F is rotatable about the support shaft at the other end D of the second arm,
The other ends G and H of the third and fourth arms are coupled to be rotatable about a predetermined coupling axis,
A first power transmission mechanism for transmitting rotational power of the drive shaft of the first or second arm to the third or fourth arm;
A second power transmission mechanism for transmitting rotational power at the other end of the first or second arm to the connecting shaft;
The arm lengths of the first, second, third and fourth arms are the same;
The first power transmission mechanism includes a drive unit provided at one end A, B of the first or second arm and one end E, F of the third or fourth arm. A driven portion provided, and the drive portion and the driven portion are connected by a predetermined power transmission member,
The second power transmission mechanism includes a driving unit provided at the other end C or D of the first or second arm, and a driven unit provided at the connecting shaft, and the driving unit And the follower are connected by a predetermined power transmission member.
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