JP2010107440A - Position detection device and electronic apparatus using the same - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、位置検出装置、および、その位置検出装置を用いた電子機器に関し、より詳細には、磁石とホールセンサを用いた位置検出装置、および、その位置検出装置を用いた電子機器に関する。 The present invention relates to a position detection device and an electronic device using the position detection device, and more particularly to a position detection device using a magnet and a hall sensor, and an electronic device using the position detection device.
近年、様々なセンサがあらゆるところで用いられるようになっている。例えば、デジタルスチルカメラやデジタルビデオカメラ等に用いられる手ブレ補正装置やズームやオートフォーカスのためのレンズ位置検出装置では、瞬時に高精度な位置検出を行う機能を有するセンサが必要となると同時に、近年機器全体の小型化の要求が強いことから、センサ自体の小型化が要求されている。さらには、長寿命化、埃や油(グリース)などの影響を受けにくい特性をもつセンサなど様々な要求がある。 In recent years, various sensors have been used everywhere. For example, a camera shake correction device used in a digital still camera, a digital video camera, or a lens position detection device for zooming or autofocus requires a sensor having a function for instantaneously detecting a position with high accuracy. In recent years, there is a strong demand for downsizing of the entire device, and thus downsizing of the sensor itself is required. Furthermore, there are various demands such as a sensor having a long life and a characteristic that is not easily affected by dust and oil (grease).
このような要求をみたすために、センサとして磁気センサを用いた位置検出方法などが知られている。磁気センサとして、例えば、特許文献1に記載されている方法を変更・修正して行うことができる。すなわち、特許文献1の図3で示されているように、可動部に磁石を内包させ、その移動を複数個の磁気センサを用いて検出する方法である。
In order to meet such a demand, a position detection method using a magnetic sensor as a sensor is known. As the magnetic sensor, for example, the method described in
ここで、複数個の磁気センサを用いて、位置検出を行う原理及びその構成について説明する。 Here, the principle and configuration of position detection using a plurality of magnetic sensors will be described.
図43は、磁気センサとして複数のホールセンサを用いた位置検出方法の説明図である。規定の間隔を隔てて配置された2個のホールセンサ11,12に対向して配置された永久磁石23の側面方向(矢印方向)への移動による磁束密度の変化に応じて、2個のホールセンサ11,12のホール出力電圧がそれぞれ変化する。それらホール出力電圧の差分値を、差動信号処理回路により処理することにより、永久磁石23の位置検出を行うことができる。この位置検出の際、永久磁石23の移動方向は、2個のホールセンサ11,12を結ぶ直線に平行な状態となっている。
FIG. 43 is an explanatory diagram of a position detection method using a plurality of Hall sensors as magnetic sensors. Two holes according to the change in magnetic flux density due to the movement of the
また、キャリブレーションの手間を省くため、上述したホール出力電圧の差分値が永久磁石23の側面方向への移動距離に対して線形に変化するように、その永久磁石23のサイズや、ホールセンサ11,12の間隔や、ホールセンサ11,12と永久磁石23との間隔を設計するのが一般的である。
Further, in order to save the labor of calibration, the size of the
この構成は、磁石とホールセンサの相対的移動範囲が数mm以内であれば、良好な特性を有しており、一眼レフデジタルカメラの手ブレ補正装置などでキーパーツとして使用されている。しかし、移動範囲が数mmを超える領域では、機構全体が大きくなるという問題があり、実用化されていない。 This configuration has good characteristics as long as the relative movement range of the magnet and the Hall sensor is within a few mm, and is used as a key part in a camera shake correction device of a single-lens reflex digital camera. However, in a region where the moving range exceeds several mm, there is a problem that the whole mechanism becomes large, and it has not been put into practical use.
また、広い温度範囲で高精度に位置検出を行う場合において、例えば、特許文献2で示された出力信号処理方法を用いて、ホールセンサや磁石の周囲温度変化による特性の変化を抑えて位置検出を行う場合もある。
In addition, when position detection is performed with high accuracy in a wide temperature range, for example, the output signal processing method disclosed in
さらに、狭い範囲での位置検出においては、部品点数を削減するために、例えば、特許文献4の図6で示されるような配置で、磁石と1個のホールセンサとを用いて1軸方向の位置検出を行うことも可能である。
Further, in position detection in a narrow range, in order to reduce the number of parts, for example, in an arrangement as shown in FIG. 6 of
また、狭い範囲で高い精度が求められる位置検出では、例えば、特許文献3のように磁石を2個使って特殊な配置で位置検出を行う場合もある。
In position detection that requires high accuracy in a narrow range, for example, as in
一方、広範囲な位置検出を行う際には、エンコーダを用いる手法が一般的である。ただし、エンコーダを用いる場合は、センサからの信号を処理するカウンタなどを含む複雑な処理回路が必要になるという問題がある。また、移動装置とエンコーダとが脱調すると、所望の特性が得られないため、あまり高速な移動対象には不向きである。 On the other hand, when performing position detection over a wide range, a method using an encoder is common. However, when an encoder is used, there is a problem that a complicated processing circuit including a counter for processing a signal from the sensor is required. In addition, if the moving device and the encoder step out, desired characteristics cannot be obtained, so that the moving device and the encoder are not suitable for a high-speed moving object.
さらに特許文献6で示されるように、磁気センサを3個以上使用し、広範囲な位置検出を行う場合もある。 Furthermore, as shown in Patent Document 6, there are cases where three or more magnetic sensors are used to detect a wide range of positions.
また、広範囲で高精度を要求される位置検出では、特許文献5の図2で示されるような配置で、磁気センサからの出力に応じて、演算方法を切り替えることで位置検出を行う場合もある。 In addition, in position detection that requires high accuracy over a wide range, the position detection may be performed by switching the calculation method according to the output from the magnetic sensor in the arrangement as shown in FIG. .
近年、非接触式で長寿命であり、埃やチリなどの影響を受けない磁気センサを用いて、広範囲で位置検出を実現したいという要求が増えている。さらに、デジタルカメラなどの携帯機器では小型化要求も強い。 In recent years, there has been an increasing demand to realize position detection in a wide range using a magnetic sensor that is non-contact and has a long life and is not affected by dust or dust. Furthermore, there is a strong demand for downsizing of portable devices such as digital cameras.
後述する比較例(特許文献1に記載の方法)に記載の方法を用いて広範囲で位置検出を行う場合、上述したホール出力電圧の差分値が永久磁石の側面方向への移動距離に対して線形に変化するように設計すると、磁石のサイズや、2個のホールセンサの間隔、及びホールセンサと磁石との間隔が大きくなり、位置検出装置の小型化が困難であるという問題がある。 When position detection is performed over a wide range using the method described in a comparative example (method described in Patent Document 1) described later, the above-described difference value of the Hall output voltage is linear with respect to the movement distance in the lateral direction of the permanent magnet. If it is designed to vary, the size of the magnet, the distance between the two Hall sensors, and the distance between the Hall sensor and the magnet are increased, which makes it difficult to reduce the size of the position detection device.
また、上述した特許文献3や特許文献4に記載されているような方法は、原理的に広い範囲においてホールセンサの出力が線形になるように磁石を配置するのが難しく、カメラのズームやオートフォーカスのためのレンズ位置検出装置で要求されるような、5mm以上の広範囲な位置検出は不可能であるという問題がある。
In addition, the methods described in
また、上述した特許文献5に記載されている方法は、磁石の移動距離方向のサイズが、位置検出範囲よりも長くなり、小型化には不向きであるという問題がある。さらには、磁石はN極とS極が2極ずつ具備され、磁気センサの感磁面に対して垂直に着磁されたものを使用するが、不着磁部のサイズによって、線形性が変化するため、不着時部のサイズを規定した特殊な磁石を用意する必要があるという問題もある。さらには、演算方法を切り替えて位置検出を行うため、不連続点が発生するという問題もある。
In addition, the method described in
また、上述した特許文献6に記載されている方法は、広範囲になるに従い、磁気センサの間隔を広くしなければならず、小型化が困難であるという問題点がある。さらには、全移動範囲において高精度に位置検出することが困難であるという問題点もある。 In addition, the method described in Patent Document 6 described above has a problem in that it is difficult to reduce the size of the magnetic sensor as the distance between the magnetic sensors has to be increased as the range becomes wider. Furthermore, there is a problem that it is difficult to detect the position with high accuracy in the entire movement range.
このような理由により、現在までのところ、小型で位置検出範囲の0.1%程度という高精度で、連続的に位置検出が可能で、磁石を用いた位置検出装置は、磁石の移動距離が数mm以内のものしか実用化されていない。 For these reasons, the position detection device using a magnet can be continuously detected with a small size and high accuracy of about 0.1% of the position detection range so far. Only those within a few mm have been put into practical use.
そこで、本発明の目的は、ホールセンサを磁気センサとして用いて構成部品を汎用品や入手が容易な部品などにより構成した場合においても、簡易な構成で小型化を実現することが可能な位置検出装置、および、その位置検出装置を用いた電子機器を提供することにある。 Therefore, the object of the present invention is to detect the position with a simple configuration even when the hall sensor is used as a magnetic sensor and the component parts are constituted by general-purpose products or easily available parts. An apparatus and an electronic apparatus using the position detection device are provided.
本発明の他の目的は、広範囲な距離を高精度にかつ連続的に検出することが可能な位置検出装置、および、その位置検出装置を用いた電子機器を提供することにある。 Another object of the present invention is to provide a position detection device that can detect a wide range of distances with high accuracy and continuously, and an electronic apparatus using the position detection device.
請求項1記載の発明は、基板上に少なくとも3個以上からなる複数の磁気センサを1組として移動方向に沿って配置され、前記複数の磁気センサの感磁方向が前記基板に対して垂直とされた磁束検出手段と、前記複数の磁気センサのうち前記移動方向に対して前記基板上の最外位置に配置された2個の磁気センサの感磁部の中心間を結ぶ直線に対して平行方向で、かつ前記基板に平行な平面内を移動可能に支持され、前記基板に対して垂直方向にN極とS極が着磁された磁石からなる磁束発生手段と、前記複数の磁気センサからの出力に基づいて位置検出を行う信号処理手段とを具え、前記信号処理手段は、前記複数の磁気センサを搭載した前記基板に対して、前記磁束発生手段を前記移動方向へ所定の距離だけ移動した場合において、前記移動方向への移動距離に対する、前記基板上の最外位置に配置された複数個の磁気センサからの出力値と、前記基板上の前記最外位置以外に配置された他の残りの磁気センサからの出力値との所定の相関関係を用いて位置検出を行うことによって、位置検出装置を構成したことを特徴とする。 According to the first aspect of the present invention, a plurality of magnetic sensors composed of at least three or more magnetic sensors are arranged on the substrate along the moving direction, and the magnetic sensing direction of the plurality of magnetic sensors is perpendicular to the substrate. Parallel to a straight line connecting the centers of the magnetic sensing portions of the two magnetic sensors arranged at the outermost positions on the substrate with respect to the moving direction among the plurality of magnetic sensors. A magnetic flux generating means comprising a magnet which is supported in a direction and movable in a plane parallel to the substrate and is magnetized with N and S poles perpendicular to the substrate, and a plurality of magnetic sensors Signal processing means for detecting a position based on the output of the signal, the signal processing means moving the magnetic flux generation means by a predetermined distance in the movement direction with respect to the substrate on which the plurality of magnetic sensors are mounted. In the case where Output values from a plurality of magnetic sensors arranged at the outermost position on the substrate with respect to a moving distance in the moving direction, and other remaining magnetic sensors arranged at other than the outermost position on the substrate The position detection device is configured by performing position detection using a predetermined correlation with the output value of the above.
請求項2記載の発明は、前記移動方向への移動距離に対する、前記基板上の最外位置に配置された複数個の磁気センサからの出力値と、前記基板上の前記最外位置以外に配置された他の残りの磁気センサからの出力値とから得られた演算値の所定の相関関係を用いて位置検出を行うことを特徴とする。 According to a second aspect of the present invention, output values from a plurality of magnetic sensors arranged at outermost positions on the substrate with respect to a moving distance in the moving direction, and arrangements other than the outermost positions on the substrate. The position detection is performed using a predetermined correlation between the calculated values obtained from the output values from the other remaining magnetic sensors.
請求項3記載の発明は、前記移動方向への移動距離に対する、前記基板上の最外位置に配置された複数個の磁気センサからのそれぞれの出力を所定倍した出力値と、前記基板上の前記最外位置以外に配置された他の残りの磁気センサからのそれぞれの出力を所定倍した出力値を含む総和値との比の所定の相関関係を用いて位置検出を行うことを特徴とする。 According to a third aspect of the present invention, an output value obtained by multiplying each output from a plurality of magnetic sensors arranged at the outermost position on the substrate with respect to the moving distance in the moving direction by a predetermined value, Position detection is performed using a predetermined correlation of a ratio with a sum value including an output value obtained by multiplying each output from other remaining magnetic sensors arranged at positions other than the outermost position by a predetermined value. .
請求項4記載の発明は、前記基板上の前記最外位置の2個の磁気センサからの出力V1及びV2をそれぞれ実数倍した出力値と、前記基板上の前記最外位置の2個の磁気センサ以外の他の残りの磁気センサからのそれぞれの出力をそれぞれ実数倍した出力値の総和値V3を実数倍した出力値を含む総和値とを用いて、Vo=(aV1−bV2+c)/(dV3+e)、ただし、a≠0かつb≠0かつd≠0の実数、cおよびeは実数、の関係式から求められる算出値Voを用いて位置検出を行うことを特徴とする。 According to a fourth aspect of the present invention, output values obtained by multiplying the outputs V1 and V2 from the two outermost magnetic sensors on the substrate by real numbers, respectively, and the two outermost magnetic fields on the substrate are provided. Vo = (aV1−bV2 + c) / (dV3 + e) using the total value including the output value obtained by multiplying the output value from the remaining magnetic sensors other than the sensor by the real number, respectively, multiplied by the real number. However, it is characterized in that position detection is performed using a calculated value Vo obtained from a relational expression of a ≠ 0 and b ≠ 0 and d ≠ 0, and c and e being real numbers.
請求項5記載の発明は、前記磁気センサの総個数をn個としたとき、前記V3は、前記最外位置の2個の磁気センサ以外の他の残りの3番目からn番目の磁気センサの出力をそれぞれV4、V5、V6、…、Vnとした場合、V3=fV4+gV5+hV6+……+mVn、ただし、f、g、h、mのうちどれか一つ以上はゼロではない実数、であることを特徴とする。 According to a fifth aspect of the present invention, when the total number of the magnetic sensors is n, V3 is the remaining third to nth magnetic sensors other than the two outermost magnetic sensors. When the outputs are V4, V5, V6,..., Vn, respectively, V3 = fV4 + gV5 + hV6 +. And
請求項6記載の発明は、前記関係式のうちcは、ゼロであることを特徴とする。 The invention described in claim 6 is characterized in that c in the relational expression is zero.
請求項7記載の発明は、前記関係式のうちeは、aV1+bV2(ただし、a≠0かつb≠0の実数)であることを特徴とする。 The invention described in claim 7 is characterized in that e in the relational expression is aV1 + bV2 (where a ≠ 0 and b ≠ 0 are real numbers).
請求項8記載の発明は、前記最外位置の2個の磁気センサ以外の他の残りの磁気センサは、前記最外位置の2個の磁気センサの感磁部の中心間を結ぶ直線上に配置されていないことを特徴とする。 According to an eighth aspect of the invention, the remaining magnetic sensors other than the two outermost magnetic sensors are on a straight line connecting the centers of the magnetic sensing portions of the two outermost magnetic sensors. It is not arranged.
請求項9記載の発明は、前記最外位置の2個の磁気センサの感磁部の中心間を結ぶ直線の中点と、前記磁石の移動範囲の中点とが同じであることを特徴とする。 The invention according to claim 9 is characterized in that the midpoint of the straight line connecting the centers of the magnetic sensing portions of the two outermost magnetic sensors is the same as the midpoint of the moving range of the magnet. To do.
請求項10記載の発明は、前記複数の磁気センサを、1つのパッケージに一体に封入したことを特徴とする。
The invention according to
請求項11記載の発明は、前記複数の磁気センサは、磁気増幅を行うための磁性体チップを含まないことを特徴とする。
The invention according to
請求項12記載の発明は、前記複数の磁気センサは、GaAs、InAs、InSbなどの III−V族化合物半導体を含むホールセンサであることを特徴とする。
The invention according to
請求項13記載の発明は、前記複数の磁気センサは、Si、GeなどのIV族半導体を含むホールセンサであることを特徴とする。 According to a thirteenth aspect of the present invention, the plurality of magnetic sensors are hall sensors including a group IV semiconductor such as Si or Ge.
請求項14記載の発明は、前記関係式のうち分母が一定となるように、前記複数の磁気センサの各入力値を制御した上で、前記関係式のうち分子を位置出力として検出することを特徴とする。
The invention according to
請求項15記載の発明は、前記関係式のうち分母が一定となるように、前記磁気センサの各出力値に補正ゲインを掛けた上で、前記関係式のうち分子を位置出力として検出することを特徴とする。
The invention according to
請求項16記載の発明は、位置検出装置と、前記位置検出装置からの出力信号が入力される、オートフォーカス(AF)機構およびズーム(Zoom)機構とを具えることによって、電子機器を構成したことを特徴とする。 According to a sixteenth aspect of the present invention, an electronic apparatus is configured by including a position detection device and an autofocus (AF) mechanism and a zoom mechanism to which an output signal from the position detection device is input. It is characterized by that.
請求項17記載の発明は、前記AF機構及びZoom機構は、デジタルカメラ、又は携帯電話のオートフォーカスおよびズームを行うことを特徴とする。 The invention according to claim 17 is characterized in that the AF mechanism and the Zoom mechanism perform auto focus and zoom of a digital camera or a mobile phone.
本発明によれば、ホールセンサを磁気センサとして用いて構成部品を汎用品や入手が容易な部品などにより構成した場合においても、簡易な構成で小型化を実現することができ、また、広範囲な距離を高精度に、かつ連続的に検出することが可能な、位置検出装置とその位置検出装置を用いた電子機器を作製することが可能になる。 According to the present invention, even when the hall sensor is used as a magnetic sensor and the component parts are constituted by general-purpose products or easily available parts, the size can be reduced with a simple configuration, and a wide range can be achieved. It becomes possible to manufacture a position detection device and an electronic device using the position detection device capable of continuously detecting a distance with high accuracy.
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態を詳細に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
[第1の例]
本発明の第1の実施の形態を、図1〜図11に基づいて説明する。
[First example]
A first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
<構成>
本例は、一軸上に整列した3個のホールセンサを使用する位置検出装置の例である。
<Configuration>
This example is an example of a position detection device that uses three Hall sensors aligned on one axis.
図1(a)、(b)は、本発明に係る位置検出装置の概略構成を示す。 1A and 1B show a schematic configuration of a position detection apparatus according to the present invention.
位置検出装置30は、N極S極をそれぞれ1極ずつ着磁した直方体磁石(磁束発生手段)31と、3個を1組としたホールセンサ(磁気センサ/磁束検出手段)32a,32b,32cと、ホールセンサ32a(第1のホールセンサ)と、ホールセンサ32b(第2のホールセンサ)と、ホールセンサ32c(第3のホールセンサ)と、これら3つのホールセンサを実装した基板33とを備えている。なお、本発明に係る位置検出装置30は、様々な形状の磁石と、種々なホールセンサとを用いて構成できる。
The
ホールセンサ32a,32b,32cは、基板33上に等間隔に配置され、感磁方向が基板33に対して垂直である。直方体磁石31は、ホールセンサ32a,32b,32cを実装した基板33に対して垂直に着磁された構成となっており、基板33と対向する1平面100内で、X方向に沿って移動可能に配置されている。
The
直方体磁石31は、ホールセンサ32a,32b,32cの感磁部の中心間を結ぶ直線に対して平行方向でかつ基板33に平行な平面内を移動可能に支持され、基板33に対して垂直方向にN極とS極が着磁されている。
The
ここで、ホールセンサ32a,32b,32cの感磁部の中心間を結ぶ直線に対して平行方向でかつ基板33に平行な平面内を移動可能という意味は、ホールセンサ32a,32b,32cの感磁部の中心間を結ぶ直線と直方体磁石31の移動方向を示す直線とを、基板33に平行な任意の同一平面上に投影した場合にそれぞれの延長線が平行であることを意味するものである。また、ホールセンサ32aの感磁部の中点とホールセンサ32cの感磁部の中点とを結んだ直線の中点と、直方体磁石31の移動範囲の中点とが同じである。
Here, the meaning of being movable in a plane parallel to the
直方体磁石31は、フェライトやネオジ鉄ボロン、サマリウムコバルト磁石などが適用可能であり、薄型の磁石の場合は、プラスチック磁石やゴム磁石を用いることも可能である。磁石の着磁方向は、基板33に対して垂直方向にN極とS極が着磁された方向にするとよい。
As the
1組のホールセンサとして構成された、第1のホールセンサ32aの感磁部中心と、第2のホールセンサ32bの感磁部中心と、第3のホールセンサ32cの感磁部中心を結ぶ直線もx方向である。また、ホールセンサ32a乃至32cは、直方体磁石31の面と対向した位置に配置されている。
A straight line connecting the center of the magnetic sensing part of the
図1において、A1は直方体磁石31の長辺方向Xの長さ、A2は直方体磁石31の短辺方向Yの長さ、A3は直方体磁石31の厚み(着磁)方向Zの長さをそれぞれ示す。また、B1は、直方体磁石31のホールセンサ32a,32b,32cの基板33に対向する平面100から、ホールセンサ32a乃至32cの感磁部の中心までの距離を示す。B2は、第1のホールセンサ32aの感磁部の中心と、第2のホールセンサ32bの感磁部の中心とを結ぶ距離、および、第2のホールセンサ32bの感磁部の中心と、第3のホールセンサ32cの感磁部の中心とを結ぶ距離を示す。
In FIG. 1, A1 is the length in the long side direction X of the
ホールセンサ32a,32b,32cは、GaAs、InAs、InSbなどの III−V族化合物半導体を含むものである。また、Si、GeなどのIV族半導体を含むものでもよい。
The
図2は、図1に示した位置検出装置30内の位置検出回路の構成を示す。
FIG. 2 shows a configuration of a position detection circuit in the
位置検出装置30は、3個のホールセンサ32a,32b,32cを有する駆動回路19と、このホールセンサ32a,32b,32cからのそれぞれの出力に基づいて位置検出を行う信号処理回路20とを備えている。
The
駆動回路19は、1組のホールセンサ32a,32b,32cと、これらのホールセンサ32a,32b,32cに電圧を供給する電源部Vddとから構成される。
The
第1のホールセンサ32aは、正極入力端子32a(A)と、正極出力端子32a(B)と、負極入力端子32a(C)と、負極出力端子32a(D)とから構成される。
The
第2のホールセンサ32bは、正極入力端子32b(E)と、正極出力端子32b(F)と、負極入力端子32b(G)と、負極出力端子32b(H)とから構成される。
The
第3のホールセンサ32cは、正極入力端子32c(I)と、正極出力端子32c(J)と、負極入力端子32c(K)と、負極出力端子32c(L)とから構成される。
The
正極出力端子32a(B)と負極出力端子32a(D)とは、差動増幅器21aの入力信号となり、差動増幅器21aからはV1が出力される。
The
正極出力端子32b(F)と負極出力端子32b(H)とは、差動増幅器21bの入力信号となり、差動増幅器21bからはV3が出力される。
The
正極出力端子32c(J)と負極出力端子32c(L)とは、差動増幅器21cの入力信号となり、差動増幅器21cからはV2が出力される。
The
信号処理部20は、差動増幅器21a,21b,21cと、計算処理部22とにより構成される。この信号処理部20では、ホールセンサ32a,32b,32cからのそれぞれの出力に基づいて位置検出を行う。以下の比較例でも例示するが、数mmの位置検出を行う場合、ホールセンサは所定の間隔を設けた2素子を使用するのが一般的であり、その場合一般に、直方体磁石31とホールセンサ32a、32cとの位置関係など、位置検出装置30の構成を最適化しても、直方体磁石31の移動に伴って直線的に磁束密度が変化する範囲というのは、概ね移動する直方体磁石31の長辺の長さの7〜8割程度である。本発明においては、ホールセンサ32a、32cの中心にホールセンサ32bを設ける。
The
<回路動作>
本位置検出装置30の動作について説明する。
図2に示す信号処理部20は、複数の磁気センサを搭載した基板に対して、磁石を移動方向へ所定の距離だけ移動した場合において、磁石の移動方向への移動距離に対する、基板上の最外位置に配置された複数個の磁気センサからの出力値と、最外位置以外に配置された他の残りの磁気センサからの出力値との所定の相関関係を用いて位置検出を行うことができる。
<Circuit operation>
The operation of the
The
例えば、磁石の移動方向への移動距離に対する、基板上の最外位置に配置された複数個の磁気センサからの出力値と、最外位置以外に配置された他の残りの磁気センサからの出力値とから得られた演算値の所定の相関関係を用いて位置検出を行うようにしてもよい。 For example, the output value from a plurality of magnetic sensors arranged at the outermost position on the substrate and the output from other remaining magnetic sensors arranged at other than the outermost position with respect to the moving distance in the moving direction of the magnet Position detection may be performed using a predetermined correlation between the calculated values obtained from the values.
さらに、磁石の移動方向への移動距離に対する、基板上の最外位置に配置された複数個の磁気センサからのそれぞれの出力を所定倍した出力値と、最外位置以外に配置された他の残りの磁気センサからのそれぞれの出力を所定倍した出力値を含む総和値との比の所定の相関関係を用いて位置検出を行うようにしてもよい。 Further, an output value obtained by multiplying each output from the plurality of magnetic sensors arranged at the outermost position on the substrate with respect to the moving distance in the moving direction of the magnet by a predetermined value, and other values arranged at other than the outermost position. Position detection may be performed using a predetermined correlation of a ratio with a total value including an output value obtained by multiplying each output from the remaining magnetic sensors by a predetermined value.
以下、位置検出回路の具体的な動作について詳細に説明する。 Hereinafter, a specific operation of the position detection circuit will be described in detail.
信号処理部20は、基板33上の最外位置に配置された2個の磁気センサ32a,32cにおいて、磁気センサ32aおよび32cからのそれぞれの出力をV1,V2とし、最外位置以外の位置に配置された他の残りの磁気センサ32bからの出力をV3とした場合、出力V1,V2,V3をそれぞれ実数倍した値を用いて、
Vo=(aV1−bV2+c)/(dV3+e) …(1)
の関係式から求められる値Voを用いて位置検出を行う。
In the two
Vo = (aV1-bV2 + c) / (dV3 + e) (1)
Position detection is performed using a value Vo obtained from the relational expression.
ただし、a≠0かつb≠0かつd≠0である実数であり、c及びeは実数である。また、このcはゼロである。つまり、cの値には、磁石サイズや磁石とホールセンサとの距離等の構成により最適値が存在するが、ゼロとすることで、精度が良くなる場合が多い。また、このeはaV1+bV2である。つまり、eの値には、磁石サイズや磁石とホールセンサとの距離等の構成により最適値が存在するが、aV1+bV2とすることで、精度が良くなる場合が多い。 However, it is a real number where a ≠ 0, b ≠ 0 and d ≠ 0, and c and e are real numbers. Also, this c is zero. In other words, the value of c has an optimum value depending on the configuration such as the magnet size and the distance between the magnet and the hall sensor, but the accuracy is often improved by setting it to zero. Moreover, this e is aV1 + bV2. That is, there is an optimum value for the value of e depending on the configuration such as the magnet size and the distance between the magnet and the Hall sensor, but the accuracy is often improved by setting aV1 + bV2.
駆動回路19において、第1のホールセンサ32aの正極入力端子32a(A)と、第2のホールセンサ32bの正極入力端子32b(E)と、第3のホールセンサ32cの正極入力端子32c(I)とが接続されることによって入力端子とされ、第1のホールセンサ32aの負極入力端子32a(C)と、第2のホールセンサ32bの負極入力端子32b(G)と、第3のホールセンサ32cの負極入力端子32c(K)とが接続されることによって入力端子とされる。
In the
第1のホールセンサ32aの正極出力端子32a(B)と負極出力端子32a(D)は、信号処理回路20の第1の差動増幅器21aに接続され、第2のホールセンサ32bの正極出力端子32b(F)と負極出力端子32b(H)は、信号処理回路20の第2の差動増幅器21bに接続され、第3のホールセンサ32cの正極出力端子32c(J)と負極出力端子32c(L)は、信号処理回路20の第3の差動増幅器21cに接続される。
第1の差動増幅器21aの出力端子と第2の差動増幅器21bの出力端子と第3の差動増幅器21cの出力端子は、ADコンバータに入力され、適宜出力を計算する計算処理部22に伝達される。
The
The output terminal of the first
このような駆動回路19と信号処理部20とによって、第1のホールセンサ32aのホール出力電圧を実数倍した出力V1と、第2のホールセンサ32bのホール出力電圧を実数倍した出力V3と、第3のホールセンサ32cのホール出力電圧を実数倍した出力V2とを用いて、(aV1−bV2+c)/(dV3+e)の値(ただし、a≠0かつb≠0かつd≠0の実数、c及びeは実数)である出力値Voが、直方体磁石31の位置に対応したものになる。
By such a
なお、本例では、第1のホールセンサ32aと第2のホールセンサ32bと第3のホールセンサ32cとの入力端子を並列に接続しているが、これは特に並列接続に限定されるものではない。また、差動増幅器21a,21b,21cについても、より高精度な計装アンプを用いてもよいことは言うまでもない。
In this example, the input terminals of the
また、差動増幅器21a,21b,21cの信号をAD変換して、(aV1−bV2+c)/(dV3+e)の値(ただし、a≠0かつb≠0かつd≠0の実数、c及びeは実数)を計算処理部22で計算して求めたが、別途差動増幅器を設けて、アナログ信号のままで、(aV1−bV2+c)/(dV3+e)の値(ただし、a≠0かつb≠0かつd≠0の実数、cおよびeは実数)を求めることもできる。
Further, the signals of the
本発明では、位置検出を行うのに除算を行う必要があるが、除算とは分子と分母の比を取ることであるから、磁石の全移動範囲において、分母を一定に制御可能であれば、分子の値が、分母を制御せずに行った除算後の値と同じ線形性を示す。 In the present invention, it is necessary to divide to perform position detection, but since division is to take the ratio of numerator and denominator, if the denominator can be controlled to be constant in the entire movement range of the magnet, The value of the numerator shows the same linearity as the value after division performed without controlling the denominator.
例えば、上記(1)式において、分母(=dV3+e)が一定となるように、ホールセンサの入力値を制御すれば、分子(=aV1−bV2+c)の値をそのまま位置出力とすることが可能となる。また、分母(=dV3+e)が一定となるように、ホールセンサの出力値にゲインを掛けることによって、分子(=aV1−bV2+c)の値をそのまま位置出力とすることが可能となる。 For example, in the above equation (1), if the input value of the Hall sensor is controlled so that the denominator (= dV3 + e) is constant, the value of the numerator (= aV1-bV2 + c) can be used as the position output as it is. Become. Further, by multiplying the output value of the Hall sensor by a gain so that the denominator (= dV3 + e) is constant, the value of the numerator (= aV1-bV2 + c) can be used as the position output as it is.
<比較例>
位置検出装置30の構成を、従来の構成と比較して説明する。
<Comparative example>
The configuration of the
図3は、図1に示した位置検出装置30に対応する構成例を示す。なお、図3におけるホールセンサ32a,32b,32cは、1つのパッケージに一体に封入されたセンサを示す。
FIG. 3 shows a configuration example corresponding to the
図4は、従来の位置検出装置40の構成例を示す。位置検出範囲の0.1%以内の位置検出精度で位置検出を行うには、図4に示すように、直方体磁石41の長辺方向Xの長さC1=15.4mm、直方体磁石41の短辺方向Yの長さC2=15.3mm、直方体磁石41の厚み方向Zの長さC3=4.3mm、直方体磁石41のホールセンサに対向する面からホールセンサの感磁部までの距離D1=6.3mm、ホールセンサ42aの感磁部の中心とホールセンサ42bの感磁部の中心との距離D2=11.6mmとなる。
FIG. 4 shows a configuration example of a conventional
図5は、比較用として示した従来の磁石とホールセンサを用いた図4の位置検出装置40の概略構成を拡大して示す。
FIG. 5 shows an enlarged schematic configuration of the
この図5を用いて、広い温度範囲において、7mm(±3.5mm)の位置検出範囲を、位置検出する場合について説明する。 The case where a position detection range of 7 mm (± 3.5 mm) is detected in a wide temperature range will be described with reference to FIG.
41は、ホールセンサに対向する平面200に垂直に単極着磁された直方体磁石である。42a,42bは、ホールセンサである。43は、ホールセンサ42a,42bを実装した基板である。
C1は直方体磁石41の長辺方向Xの長さ、C2は直方体磁石41の短辺方向Yの長さ、C3は直方体磁石41の厚み方向Zの長さ(磁石の着磁方向の長さ)を示す。D1は、直方体磁石41のホールセンサ42a,42bに対向する平面200からホールセンサ42a,42bの感磁部の中心までの距離、D2はホールセンサ42aの感磁部の中心とホールセンサ42bの感磁部の中心との距離を示す。
C1 is the length in the long side direction X of the
この比較例では、直方体磁石41は、図5中に示すX軸方向にのみ移動する。また、直方体磁石41の移動方向Xに対して水平な平面状にホールセンサ42a、42bを配置する。
In this comparative example, the
以上より、本発明に係る図3に示す位置検出装置30の構成は、比較用の図4および図5に示す従来の位置検出装置40の構成に比べて、位置検出装置全体の大きさおよび厚さを著しく小さくすることができるという効果を奏する。
From the above, the configuration of the
<位置検出例>
次に、本発明に係る位置検出装置30の具体的な位置検出例について説明する。
広い温度範囲において、7mm(±3.5mm)の位置検出範囲を、位置検出範囲の0.1%以内の位置検出精度で位置検出する場合について示す。図1における各構成部品のパラメータの最適値の設計例を説明する。
<Example of position detection>
Next, a specific position detection example of the
A case where a position detection range of 7 mm (± 3.5 mm) is detected with a position detection accuracy within 0.1% of the position detection range in a wide temperature range will be described. A design example of optimum values of parameters of each component in FIG. 1 will be described.
図3に示すように、直方体磁石31の長辺方向Xの長さA1=3.5mm、直方体磁石31の短辺方向Yの長さA2=3.1mm、直方体磁石31の厚み方向Zの長さ(磁石の着磁方向の長さ)A3=1.9mmとする。
As shown in FIG. 3, the length A1 of the
また、直方体磁石31のホールセンサ32a,32b,32cに対向する平面100からホールセンサ32a,32b,32cの感磁部の中心までの距離B1=3.4mm、第1のホールセンサ32aの感磁部の中心と第2のホールセンサ32bの感磁部の中心との距離及び第2のホールセンサ32bの感磁部の中心と第3のホールセンサ32cの感磁部の中心との距離B2=1.85mmとする。
Further, the distance B1 = 3.4 mm from the
上記設計の際、ホールセンサ32a,32b,32cを1つのパッケージ内に搭載する方が、ホールセンサ32a,32b,32cの配置誤差が小さくなり、位置検出装置の高精度化に貢献できる。また、例えばSi基板上にホールセンサ32a,32b,32cを設けることも可能である。
In the above design, mounting the
従って、第1のホールセンサ32aと第2のホールセンサ32bと第3のホールセンサ32cとを、1つのパッケージ内に封入することが望ましい。
Therefore, it is desirable to enclose the
図6〜図9は、直方体磁石の移動距離に対するホールセンサの出力電圧の関係を示す。 6 to 9 show the relationship of the output voltage of the Hall sensor with respect to the moving distance of the rectangular parallelepiped magnet.
図6は、磁石の移動距離に対する第1のホールセンサ32aの出力電圧を実数倍した値V1の変化L1を示す。
FIG. 6 shows a change L1 of a value V1 obtained by multiplying the output voltage of the
図7は、磁石の移動距離に対する第2のホールセンサ32bの出力電圧を実数倍した値V3の変化L2を示す。
FIG. 7 shows a change L2 of a value V3 obtained by multiplying the output voltage of the
図8は、磁石の移動距離に対する第3のホールセンサ32cの出力電圧を実数倍した値V2の変化L3である。
FIG. 8 shows a change L3 of a value V2 obtained by multiplying the output voltage of the
図9は、磁石の移動距離に対する(aV1−bV2+c)の変化L4および(dV3+e)の変化L5を示す。ここで、演算中の係数a〜eの値はそれぞれ、a=1、b=1、c=0、d=3.1、e=V1+V2として計算する。 FIG. 9 shows a change L4 in (aV1-bV2 + c) and a change L5 in (dV3 + e) with respect to the moving distance of the magnet. Here, the values of the coefficients a to e during the calculation are calculated as a = 1, b = 1, c = 0, d = 3.1, and e = V1 + V2.
図10は、演算後の値を磁気シミュレーションから求めた結果を示す。 FIG. 10 shows the result of calculating the calculated value from the magnetic simulation.
磁石の移動距離に対する(aV1−bV2+c)/(dV3+e)の変化L5および理想直線L6を示す。ここで、演算中の係数a〜eの値はそれぞれ、a=1、b=1、c=0、d=3.1、e=V1+V2として計算する。 A change L5 and an ideal straight line L6 of (aV1-bV2 + c) / (dV3 + e) with respect to the moving distance of the magnet are shown. Here, the values of the coefficients a to e during the calculation are calculated as a = 1, b = 1, c = 0, d = 3.1, and e = V1 + V2.
磁気シミュレーションの前提として、3個のホールセンサ32a,32b,32cの感度を2.2mV/mT(一般的なホールセンサの感度)、直方体磁石31の残留磁束密度Brを1400mT(一般的なネオジム焼結磁石の値)として行う。
As the premise of the magnetic simulation, the sensitivity of the three
図10に示した磁気シミュレーション結果より、直方体磁石31の移動距離に対して、V1乃至V3の値を用いて演算した値(aV1−bV2+c)/(dV3+e)が、高い線形性を持ち、理想直線とよく一致することが分かる。ここで、演算中の係数a〜eの値はそれぞれ、a=1、b=1、c=0、d=3.1、e=V1+V2として計算してある。
From the magnetic simulation results shown in FIG. 10, the value (aV1-bV2 + c) / (dV3 + e) calculated using the values of V1 to V3 with respect to the moving distance of the
ここで、図10に記載した理想直線L6は、直方体磁石31の移動距離が−3.5mmにおける3個の出力電圧V1,V2,V3の値を用いて演算した値(aV1−bV2+c)/(dV3+e)と、この直方体磁石31の移動距離が+3.5mmにおける3個の出力電圧V1,V2,V3の値を用いて演算した値(aV1−bV2+c)/(dV3+e)とを結んだ直線である。ここで、演算中の係数a〜eの値はそれぞれ、a=1、b=1、c=0、d=3.1、e=V1+V2として計算してある。
Here, the ideal straight line L6 shown in FIG. 10 is a value (aV1-bV2 + c) / () calculated using the values of the three output voltages V1, V2, V3 when the moving distance of the
一般的には、この理想直線上の値を用いて位置検出を行うため、磁気シミュレーション結果L5は理想直線L6からのズレが大きい場合、位置検出誤差が大きくなる。 Generally, since position detection is performed using the value on the ideal straight line, the position detection error becomes large when the magnetic simulation result L5 has a large deviation from the ideal straight line L6.
図11は、理想直線L6と、磁気シミュレーション結果L5とのズレとから換算した磁石の移動距離に対する位置検出誤差を示す。 FIG. 11 shows the position detection error with respect to the moving distance of the magnet converted from the deviation between the ideal straight line L6 and the magnetic simulation result L5.
図11に示す結果より、位置検出誤差は最大でも2.2um程度であり、分解能は全ストローク7mmに対して0.03%と高精度な位置検出を達成していることがわかる。 From the results shown in FIG. 11, it can be seen that the position detection error is about 2.2 μm at the maximum and the resolution is 0.03% with respect to the total stroke of 7 mm, achieving highly accurate position detection.
当然、図10で示したシミュレーション結果から最小2乗法で求めた直線を理想直線L6としてもかまわない。最小2乗法で求めた直線を理想直線とすると、さらに位置検出誤差は小さくなり、分解能は高くなる。 Naturally, the straight line obtained by the least square method from the simulation result shown in FIG. 10 may be the ideal straight line L6. If the straight line obtained by the least square method is an ideal straight line, the position detection error is further reduced and the resolution is increased.
上述のように演算中の係数a〜eの値をそれぞれ、a=1、b=1、c=0、d=3.1、e=V1+V2として演算を行ったが、この数値が異なっても、位置検出装置30において、直方体磁石31の長辺方向Xの長さA1、直方体磁石31の短辺方向Yの長さA2、直方体磁石31の厚み方向Zの長さ(磁石の着磁方向の長さ)A3、直方体磁石31のホールセンサ32a,32b,32cに対向する平面100からホールセンサ32a,32b,32cの感磁部の中心までの距離B1、ホールセンサ32aの感磁部の中心とホールセンサ32bの感磁部の中心との距離及びホールセンサ32bの感磁部の中心とホールセンサ32cの感磁部の中心との距離B2を最適化することで、比較例よりも良い結果が得られる。
As described above, the values of the coefficients a to e being calculated are calculated as a = 1, b = 1, c = 0, d = 3.1, and e = V1 + V2, respectively. In the
例えば、位置検出範囲7mmにおいて、A1=3.5mm、A2=2.7mm、A3=2.0mm、B1=4.3mm、B2=1.15mmの構成において、演算中の係数a〜eの値がそれぞれ、a=1、b=1、c=0、d=3.1、e=V1+V2の場合には、位置検出誤差は105um程度であり、分解能は全ストローク7mmに対して1.5%であるが、a=1、b=1、c=V3、d=1、e=0とすることで、位置検出誤差は3.5um程度となり、分解能は全ストローク7mmに対して0.05%まで改善され、位置検出範囲の0.1%以内の位置検出精度での位置検出が可能となる。 For example, in the position detection range of 7 mm, the values of the coefficients a to e during calculation in the configuration of A1 = 3.5 mm, A2 = 2.7 mm, A3 = 2.0 mm, B1 = 4.3 mm, B2 = 1.15 mm When a = 1, b = 1, c = 0, d = 3.1, and e = V1 + V2, the position detection error is about 105 μm, and the resolution is 1.5% for a total stroke of 7 mm. However, by setting a = 1, b = 1, c = V3, d = 1, and e = 0, the position detection error is about 3.5 μm, and the resolution is 0.05% with respect to the total stroke 7 mm. Position detection with position detection accuracy within 0.1% of the position detection range becomes possible.
以上のような位置検出処理を行うことによって、以下に示す効果を得ることができる。 By performing the position detection process as described above, the following effects can be obtained.
ホールセンサ32bは、ホールセンサ32a、32cの中心に設けることにより、位置検出精度が向上する。すなわち、ホールセンサ32bは、ホールセンサ32a、32cからの距離が等間隔であれば、位置検出精度は良好なまま保つことが可能となる。すなわち、以下でも例示するが、位置検出方向に対し直角にズレて配置させた場合においても、位置検出精度は良好である。ホールセンサ32bのズレ量が概ねホールセンサ32a、32cの距離と同程度以内であれば、位置検出精度が良好であることが多い。
By providing the
また、ホールセンサ32a,32b,32cは、3個を1つのパッケージに一体に封入している。3個のホールセンサの特性(感度やオフセット)が、あまりにかけはなれていると位置検出精度が悪化する。3個のホールセンサの特性を揃えるために、例えば、製造段階でウェハのとなりあった場所にある3個のホールセンサを1つのパッケージに納めることで、上述した問題が解決でき、高精度な位置検出装置を構成することができる。
Further, three
また、ホールセンサ32a,32b,32cは、磁気増幅を行うための磁性体チップを有していない。ホールセンサ32a,32b,32cが内部に磁性体チップを有しており、センサ部分の検出磁場を増幅する構成が知られているが、本発明の構成では磁性体チップの磁気飽和が問題になり、広い範囲で正確に位置検出を行うのが困難である。磁気増幅していないホールセンサを用いることで、広い範囲を正確に位置検出できる。
Further, the
また、位置検出装置30の構成により、磁石の移動に伴い直線的に磁束密度が変化する範囲が、移動磁石の長辺の長さを10としたとき、20程度まで広がる。つまり、磁石のサイズを小さくしても、5mmをこえる範囲で高精度に位置検出を行うことができる。ホールセンサが、増幅器を有したホールICの場合、出力信号線の数をホールセンサに比べて低減できるので、実装基板の省スペース化と、外部ノイズの影響を低減できる。
Further, due to the configuration of the
以上説明したように、感磁方向が、配置された基板に対して垂直な少なくとも3個以上のホールセンサを1組とし、このホールセンサの最外の2個の中心を結ぶ直線および基板に平行に可動可能に支持し、基板に対して垂直にN極とS極が着磁された磁石を配置し、最外の2個のホールセンサの出力を実数倍した出力をV1,V2とし、それ以外のホールセンサの各々の出力を実数倍した総和をV3とした場合、(aV1−bV2+c)/(dV3+e)の関係式を用いて位置検出を行う(ただし、a≠0かつb≠0かつd≠0の実数、c及びeは実数)信号処理回路を設けたので、ホールセンサを磁気センサとして用いて構成部品を汎用品や入手が容易な部品などにより構成した場合においても、簡易な構成で小型化を実現することができ、また、広範囲な距離を高精度に、かつ連続的に検出することが可能な、位置検出装置とその位置検出装置を用いた電子機器を作製することが可能になる。 As described above, at least three or more hall sensors perpendicular to the substrate on which the magnetism is arranged are set as one set, and the straight line connecting the outermost two centers of the hall sensor and the substrate are parallel to each other. A magnet with N poles and S poles magnetized perpendicularly to the substrate is arranged, and the output of the outer two Hall sensors multiplied by the real number is designated as V1 and V2. When the sum of the output of each Hall sensor other than is multiplied by the real number is V3, position detection is performed using the relational expression (aV1-bV2 + c) / (dV3 + e) (where a ≠ 0 and b ≠ 0 and d ≠ 0 real number, c and e are real numbers) Since the signal processing circuit is provided, even when the hall sensor is used as a magnetic sensor and the component parts are composed of general-purpose products or parts that are easily available, the configuration is simple. Can be downsized Also, a wide range of distance with high accuracy, and which can be continuously detected, it is possible to produce the position detecting device and an electronic apparatus using the position detecting device.
<応用例>
応用例として、本例のような位置検出装置30を備えた電子機器として構成することも可能である。例として、位置検出装置30は、デジタルカメラ、カムコーダ、カメラ付き携帯電話などに代表される、カメラ部を有した電子機器に好適である。さらに、オートフォーカスや光学ズーム、光学手ブレ補正など、内部で高精度にレンズやCCDなどの位置検出を行う際にも好適に使用可能である。
<Application example>
As an application example, it is also possible to configure as an electronic device including the
電子機器の具体例としては、位置検出装置30と、位置検出装置30からの出力信号が入力される、オートフォーカス(AF)機構およびズーム(Zoom)機構とを備えて構成してもよい。AF機構及びZoom機構は、デジタルカメラ、又は携帯電話のオートフォーカスおよびズームを行うことができる。
As a specific example of the electronic device, the electronic apparatus may include a
[第2の例]
本発明の第2の実施の形態を、図12に基づいて説明する。なお、前述した第1の例と同一部分については、その説明を省略し、同一符号を付す。
[Second example]
A second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In addition, about the same part as the 1st example mentioned above, the description is abbreviate | omitted and the same code | symbol is attached | subjected.
本例は、第1の例の変形例であり、位置検出装置30において、基板上での各ホールセンサの配設位置を変更した場合の例である。
This example is a modification of the first example, and is an example in which the
図12は、第2のホールセンサ32bが、第1のホールセンサ32aと第3のホールセンサ32cとのそれぞれの感磁部の中心を結んだ直線上に無い場合の構成を示す。
FIG. 12 shows a configuration in the case where the
第2のホールセンサ32bが、第1のホールセンサ32aの感磁部と第3のホールセンサ32cの感磁部との中心を結んだ直線上に無い場合においても、第1のホールセンサ32aと第2のホールセンサ32bとの距離と、第2のホールセンサ32bと第3のホールセンサ32cとの距離とが等しければ、図1に示したような位置検出装置30において、直方体磁石31の長辺方向Xの長さA1、直方体磁石31の短辺方向Yの長さA2、直方体磁石31の厚み方向Zの長さ(磁石の着磁方向の長さ)A3、直方体磁石31のホールセンサ32a,32b,32cに対向する平面100からホールセンサ32a,32b,32cの感磁部の中心までの距離B1、ホールセンサ32aの感磁部の中心とホールセンサ32bの感磁部の中心との距離、および、ホールセンサ32bの感磁部の中心とホールセンサ32cの感磁部の中心との距離B2、および、演算中の係数a〜eの値を最適化することで、比較例よりも良い結果が得られる。
Even when the
例えば、位置検出範囲7mmにおいて、A1=3.5mm、A2=3.4mm、A3=1.8mm、B1=3.2mm、B2=2.0mm、第1のホールセンサ32aの感磁面と第3のホールセンサ32cの感磁面とを結んだ中点と第2のホールセンサ32bの感磁面と結んだ距離が1.5mmの構成において、演算中の係数a及至eの値がそれぞれ、a=1、b=1、c=0、d=3.6、e=V1+V2の場合には、位置検出誤差は4.5um程度であり、分解能は全ストローク7mmに対して0.06%であり、位置検出範囲の0.1%以内の位置検出精度での位置検出が可能となる。
For example, in the position detection range of 7 mm, A1 = 3.5 mm, A2 = 3.4 mm, A3 = 1.8 mm, B1 = 3.2 mm, B2 = 2.0 mm, the first magneto-sensitive surface and the
さらに、ホールセンサ32a,32b,32cが一軸上に整列していないため、第1のホールセンサ32aと第3のホールセンサ32cとの間に演算処理計算部22を配置するのに好適となる。さらに、1つのパッケージ内にホールセンサ32a,32b,32c、および、演算処理計算部22を納める場合、ホールセンサ32a,32b,32cが一軸上に整列していた場合では、パッケージサイズが大きくなってしまうし、演算処理計算部22上にホールセンサをダイボンディングする方法が知られているが、この方法では、パッケージが厚くなってしまう。ホールセンサ32aとホールセンサ32cとの間に演算処理計算部22を設けることで、パッケージサイズを小さくできる。
Furthermore, since the
図12において、第1のホールセンサ32aの感磁面と第3のホールセンサ32cの感磁面との距離が4.0mmであり、第1のホールセンサ32aの感磁面と第3のホールセンサ32cの感磁面とを結んだ直線の中点と第2のホールセンサ32bの感磁面との距離は1.5mmであるため、演算処理計算部22の大きさがおよそ3.0mm×1.0mm以下であれば、ホールセンサ32a,32b,32cと同様に1つのパッケージ内に納めるのに好適となる。34はホールセンサ32a,32b,32c、および、演算処理部22が内包された1つのパッケージである。
In FIG. 12, the distance between the magnetosensitive surface of the
また、第1のホールセンサ32aと第2のホールセンサ32bとの距離と、第2のホールセンサ32bと第3のホールセンサ32cとの距離とが等間隔の場合を計算したが、等間隔では無い場合でも、演算中の係数a〜eの値を変更することで、比較例よりも良い結果が得られる。
Further, the case where the distance between the
例えば、位置検出範囲7mmにおいて、A1=3.5mm、A2=3.1mm、A3=1.9mm、B1=3.4mm、第1のホールセンサ32aと第2のホールセンサ32bとの距離が1.8mm、第2のホールセンサ32bと第3のホールセンサ32cとの距離が1.9mmの構成において、演算中の係数a及至eの値がそれぞれ、a=2.2、b=1.6、c=1.2V3、d=2.5、e=0.8V1+0.8V2とすることで、位置検出誤差は5.3um程度となり、分解能は全ストローク7mmに対して0.08%まで改善され、位置検出範囲の0.1%以内の位置検出精度での位置検出が可能となる。
For example, in a position detection range of 7 mm, A1 = 3.5 mm, A2 = 3.1 mm, A3 = 1.9 mm, B1 = 3.4 mm, and the distance between the
すなわち、実装誤差や公差等の影響があった場合においても、演算中の係数a乃至eの値を変更させることで、良好な位置検出精度が得られることがわかる。 That is, even when there is an influence of mounting error, tolerance, etc., it can be seen that good position detection accuracy can be obtained by changing the values of the coefficients a to e during calculation.
このように、本発明の位置検出装置30を用いることにより、比較例で説明する位置検出装置と比較して、小型な位置検出装置を実現できる。
Thus, by using the
[第3の例]
本発明の第3の実施の形態を、図13〜図22に基づいて説明する。なお、前述した各例と同一部分については、その説明を省略し、同一符号を付す。
[Third example]
A third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In addition, about the same part as each example mentioned above, the description is abbreviate | omitted and the same code | symbol is attached | subjected.
本例は、位置検出装置50において、一軸上に整列した4個のホールセンサを用いて位置検出を行う場合の例である。
In this example, the
<構成>
図13は、位置検出装置50の概略構成を示す。
<Configuration>
FIG. 13 shows a schematic configuration of the
位置検出装置50は、N極S極をそれぞれ1極ずつ着磁した直方体磁石31と、4個を1組としたホールセンサ32a,32b,32c,32dと、ホールセンサ32a(第1のホールセンサ)と、ホールセンサ32b(第2のホールセンサ)と、ホールセンサ32c(第3のホールセンサ)と、ホールセンサ32d(第4のホールセンサ)とを実装した基板33とを備えている。
The
この位置検出装置50は、様々な形状の磁石と、種々なホールセンサとを用いて構成できる。
The
4個のホールセンサは、ホールセンサ32aとホールセンサ32bとの距離と、ホールセンサ32cとホールセンサ32dとの距離とが同値となるように、基板33上に配置され、感磁方向が基板33に対して垂直である。直方体磁石31は、ホールセンサ32a乃至32dを実装した基板33に対して垂直に着磁された構成となっており、基板33と対向する1平面100内で、X方向に沿って移動可能に配置されている。
The four Hall sensors are arranged on the
直方体磁石31は、ホールセンサ32a,32b,32c,32dの感磁部の中心間を結ぶ直線に対して平行方向で、かつ基板33に平行な平面内を移動可能に支持され、基板33に対して垂直方向にN極とS極が着磁されている。
The
ここで、ホールセンサ32a,32b,32c,32dの感磁部の中心間を結ぶ直線に対して平行方向で、かつ基板33に平行な平面内を移動可能という意味は、ホールセンサ32a,32b,32c,32dの感磁部の中心間を結ぶ直線と直方体磁石31の移動方向を示す直線を、基板33に平行な任意の同一平面上に投影した場合にそれぞれの延長線が平行であることを意味するものである。また、第1のホールセンサ32aの感磁部と第4のホールセンサ33dの感磁部とを結んだ直線の中点と、直方体磁石31の移動範囲の中点とが同じである。磁石の着磁方向は、基板33に対して垂直方向にN極とS極が着磁された方向にするとよい。
Here, the meaning of being movable in a plane parallel to the straight line connecting the centers of the magnetic sensing portions of the
1組のホールセンサとして構成された、第1のホールセンサ32aの感磁部中心と、第2のホールセンサ32bの感磁部中心と、第3のホールセンサ32cの感磁部中心と第4のホールセンサ32dの感磁部中心とを結ぶ直線もX方向である。また、ホールセンサ32a,32b,32c,32dは、直方体磁石31の面と対向した位置に配置されている。
A magnetic sensor center of the
A1は、直方体磁石31の長辺方向Xの長さ、A2は直方体磁石31の短辺方向Yの長さ、A3は直方体磁石31の厚み(着磁)方向Zの長さを示す。また、B1は、直方体磁石31のホールセンサ32a乃至32dの基板33に対向する平面100から、ホールセンサ32a乃至32dの感磁部の中心までの距離を示す。B3は、第1のホールセンサ32aの感磁部の中心と、第2のホールセンサ32bの感磁部の中心とを結ぶ距離、および、第3のホールセンサ32cの感磁部の中心と、第4のホールセンサ32dの感磁部の中心とを結ぶ距離を示す。B4は、第2のホールセンサ32bの感磁部の中心と、第3のホールセンサ32cの感磁部の中心とを結ぶ距離を示す。
A1 indicates the length in the long side direction X of the
ホールセンサ32a,32b,32c,32dは、GaAs、InAs、InSbなどのIII−V族化合物半導体を含むものである。また、Si、GeなどのIV族半導体を含むものでもよい。
The
図14は、図13に示したホールセンサを4個用いた位置検出装置50の位置検出回路の構成例を示す。
FIG. 14 shows a configuration example of a position detection circuit of the
位置検出回路は、駆動回路19と、信号処理部20とを備えている。信号処理部20は、差動増幅器21a,21b,21c,21dと、計算処理部22とからなる。
The position detection circuit includes a
駆動回路19は、1組のホールセンサ32a,32b,32c,32dと、これらのホールセンサ32a,32b,32c,32dに電圧を供給する電源部Vddとから構成されている。第1のホールセンサ32aは、正極入力端子32a(A)と正極出力端子32a(B)と負極入力端子32a(C)と負極出力端子32a(D)とから構成される。
The
第2のホールセンサ32bは、正極入力端子32b(E)と正極出力端子32b(F)と負極入力端子32b(G)と負極出力端子32b(H)とから構成される。
The
第3のホールセンサ32cは、正極入力端子32c(I)と正極出力端子32c(J)と負極入力端子32c(K)と負極出力端子32c(L)とから構成される。
The
第4のホールセンサ32dは、正極入力端子32d(M)と正極出力端子32d(N)と負極入力端子32d(O)と負極出力端子32d(P)とから構成される。
The
正極出力端子32a(B)と負極出力端子32a(D)は、差動増幅器21aの入力信号となり、差動増幅器21aからはV1が出力される。正極出力端子32b(F)と負極出力端子32b(H)は、差動増幅器21bの入力信号となり、差動増幅器21bからはV4が出力される。正極出力端子32c(J)と負極出力端子32c(L)は、差動増幅器21cの入力信号となり、差動増幅器21cからはV5が出力される。正極出力端子32d(N)と負極出力端子32d(P)とは、差動増幅器21dの入力信号となり、差動増幅器21dからはV2が出力される。
The
信号処理部20は、ホールセンサ32a,32b,32c,32dからの出力に基づいて位置検出を行うものである。
The
本発明における信号処理部20は、差動増幅器21aの出力をV1、差動増幅器21bの出力をV4、差動増幅器21cの出力をV5、差動増幅器21dの出力をV2とした場合、
Vo=(aV1−bV2+c)/(d(fV4+gV5)+e) …(2)
の関係式から求められる値Voを用いて位置検出を行う。
When the output of the
Vo = (aV1-bV2 + c) / (d (fV4 + gV5) + e) (2)
Position detection is performed using a value Vo obtained from the relational expression.
ただし、a≠0かつb≠0かつd≠0である実数であり、cおよびeは実数であり、fおよびgは両者若しくはどちらか一方はゼロでは無い実数である。 However, a real number in which a ≠ 0, b ≠ 0, and d ≠ 0, c and e are real numbers, and f and g are real numbers in which both or one is not zero.
cはゼロである。cの値には、磁石サイズや磁石とホールセンサとの距離等の構成により最適値が存在するが、ゼロとすることで、精度が良くなる場合が多い。 c is zero. There is an optimum value for the value of c depending on the configuration such as the magnet size and the distance between the magnet and the Hall sensor, but the accuracy is often improved by setting it to zero.
eはaV1+bV2である。eの値には、磁石サイズや磁石とホールセンサとの距離等の構成により最適値が存在するが、aV1+bV2とすることで、精度が良くなる場合が多い。 e is aV1 + bV2. There is an optimum value for the value of e depending on the configuration such as the magnet size and the distance between the magnet and the Hall sensor, but the accuracy is often improved by setting aV1 + bV2.
ホールセンサ32a,32b,32c,32dは、4個を1つのパッケージに一体に封入している。4個のホールセンサの特性(感度やオフセット)が、あまりにかけはなれていると位置検出精度が悪化する。4個のホールセンサの特性を揃えるために、例えば、製造段階でウェハのとなりあった場所にある4個のホールセンサを1つのパッケージに納めることで、上述した問題が解決でき、高精度な位置検出装置を構成することができる。
Four
ホールセンサ32a,32b,32c,32dは、磁気増幅を行うための磁性体チップを有していない。ホールセンサ32a,32b,32c,32dが内部に磁性体チップを有しており、センサ部分の検出磁場を増幅する構成が知られているが、本発明の構成では磁性体チップの磁気飽和が問題になり、広い範囲で正確に位置検出を行うのが困難である。磁気増幅していないホールセンサを用いることで、広い範囲を正確に位置検出できる。
The
このような構成とすることにより、磁石の移動に伴い直線的に磁束密度が変化する範囲が、移動磁石の長辺の長さを10としたとき、20程度まで広がる。つまり、磁石のサイズを小さくしても、10mmを超える範囲で高精度に位置検出を行うことができる。 With such a configuration, the range in which the magnetic flux density changes linearly with the movement of the magnet extends to about 20 when the length of the long side of the moving magnet is 10. That is, even if the size of the magnet is reduced, position detection can be performed with high accuracy within a range exceeding 10 mm.
<回路動作>
図14の位置検出回路の動作について説明する。
位置検出装置50は、4個のホールセンサ32a,32b,32c,32dの駆動回路19と、このホールセンサ32a,32b,32c,32dからの出力に基づいて位置検出を行う信号処理回路20とを備えている。
<Circuit operation>
The operation of the position detection circuit in FIG. 14 will be described.
The
第1のホールセンサ32aの正極入力端子32a(A)と、第2のホールセンサ32bの正極入力端子32b(E)と、第3のホールセンサ32cの正極入力端子32c(I)と、第4のホールセンサ32dの正極入力端子32d(M)とを接続し、第1のホールセンサ32aの負極入力端子32a(C)と、第2のホールセンサ32bの負極入力端子32b(G)と、第3のホールセンサ32cの負極入力端子32c(K)と、第4のホールセンサ32dの負極入力端子32d(O)とを接続して駆動回路19の入力端子とする。
A
第1のホールセンサ32aの正極出力端子32a(B)と負極出力端子32a(D)は、信号処理回路20の第1の差動増幅器21aに接続され、第2のホールセンサ32bの正極出力端子32b(F)と負極出力端子32b(H)は、信号処理回路20の第2の差動増幅器21bに接続され、第3のホールセンサ32cの正極出力端子32c(J)と負極出力端子32c(L)は、信号処理回路20の第3の差動増幅器21cに接続され、第4のホールセンサ32dの正極出力端子32d(N)と負極出力端子32d(P)は、信号処理回路20の第4の差動増幅器21dに接続される。
The
第1の差動増幅器21aの出力端子と第2の差動増幅器21bの出力端子と第3の差動増幅器21cの出力端子と第4の差動増幅器21dの出力端子とは、ADコンバータに入力され、適宜出力を計算する計算処理部22に伝達される。
The output terminal of the first
このような駆動回路19と信号処理回路によって、第1のホールセンサ32aのホール出力電圧を実数倍した出力V1と第2のホールセンサ32bのホール出力電圧を実数倍した出力V4と第3のホールセンサ32cのホール出力電圧を実数倍した出力V5と第4のホールセンサ32dのホール出力電圧を実数倍した出力V2とを用いた(aV1−bV2+c)/(d(fV4+gV5)+e)の値(ただし、a≠0かつb≠0かつd≠0である実数、cおよびeは実数、fおよびgは両者若しくはどちらか一方はゼロでは無い実数)である出力値Voが、直方体磁石31の位置に対応したものになる。
By such a
本例の構成では、第1のホールセンサ32aと第2のホールセンサ32bと第3のホールセンサ32cと第4のホールセンサ32dの入力端子を並列に接続しているが、これは特に並列接続に限定されるものではない。
In the configuration of this example, the input terminals of the
また、差動増幅器21a,21b,21c,21dについても、より高精度な計装アンプを用いてもよいことは言うまでもない。
Needless to say, more accurate instrumentation amplifiers may be used for the
また、差動増幅器21a,21b,21c,21dの信号をAD変換して、(aV1−bV2+c)/(d(fV4+gV5)+e)の値(ただし、a≠0かつb≠0かつd≠0である実数、cおよびeは実数、fおよびgは両者若しくはどちらか一方はゼロでは無い実数)を計算処理部22で計算して求めたが、別途差動増幅器を設けて、アナログ信号のままで、(aV1−bV2+c)/(d(fV4+gV5)+e)の値(ただし、a≠0かつb≠0かつd≠0である実数、cおよびeは実数、fおよびgは両者若しくはどちらか一方はゼロでは無い実数)を求めることもできる。
Further, the signals of the
本例では、位置検出を行うのに除算を行うが、除算とは分子と分母の比を取ることであるから、磁石の全移動範囲において、分母を一定に制御可能であれば、分子の値が、分母を制御せずに行った除算後の値と同じ線形性を示す。 In this example, division is performed to detect the position. Since division is to take the ratio of the numerator to the denominator, if the denominator can be controlled to be constant over the entire movement range of the magnet, the value of the numerator is obtained. Shows the same linearity as the value after division performed without controlling the denominator.
例えば、分母(=d(fV4+gV5)+e)が一定となるように、ホールセンサの入力値を制御すれば、分子(=aV1−bV2+c)の値をそのまま位置出力とすることが可能となる。また、分母(=d(fV4+gV5)+e)が一定となるように、ホールセンサの出力値にゲインを掛けることで、分子(=aV1−bV2+c)の値をそのまま位置出力とすることが可能となる。 For example, if the input value of the Hall sensor is controlled so that the denominator (= d (fV4 + gV5) + e) is constant, the value of the numerator (= aV1-bV2 + c) can be used as the position output as it is. Further, by multiplying the output value of the Hall sensor so that the denominator (= d (fV4 + gV5) + e) is constant, the value of the numerator (= aV1-bV2 + c) can be used as the position output as it is. .
<位置検出例>
次に、位置検出装置50の具体的な位置検出の例について説明する。
図15は、位置検出装置50の具体的な構成例を示す。ホールセンサ32a,32b,32c,32dは、1つのパッケージに一体に封入されたセンサとして構成されている。
<Example of position detection>
Next, a specific example of position detection of the
FIG. 15 shows a specific configuration example of the
本例では、広い温度範囲において、15mm(±7.5mm)の位置検出範囲を、位置検出範囲の0.1%以内の位置検出精度で位置検出する場合について示す。図13に示した各構成部品のパラメータの最適値の設計例を説明する。 In this example, a position detection range of 15 mm (± 7.5 mm) is detected with a position detection accuracy within 0.1% of the position detection range in a wide temperature range. A design example of the optimum value of the parameter of each component shown in FIG. 13 will be described.
図15に示すように、直方体磁石31の長辺方向Xの長さA1=7.0mm、直方体磁石31の短辺方向Yの長さA2=4.8mm、直方体磁石31の厚み方向Zの長さ(磁石の着磁方向の長さ)A3=5.3mmとする。
As shown in FIG. 15, the length A1 of the
また、直方体磁石31のホールセンサ32a,32b,32c,32dに対向する平面100からホールセンサ32a,32b,32c,32dの感磁部の中心までの距離B1=5.0mm、第1のホールセンサ32aの感磁部の中心と第2のホールセンサ32bの感磁部の中心との距離及び第3のホールセンサ32cの感磁部の中心と第4のホールセンサ32dの感磁部の中心との距離B3=2.4mm、第2のホールセンサ32bの感磁部の中心と、第3のホールセンサ32cの感磁部の中心とを結ぶ距離B4=0.9mmとする。
Further, the distance B1 = 5.0 mm from the
上記設計の際、ホールセンサ32a乃至32dを1つのパッケージ内に搭載する方が、ホールセンサ32a乃至32dの配置誤差が小さくなり、位置検出装置の高精度化に貢献できる。また、例えばSi基板上にホールセンサ32a,32b,32c,32dを設ける事も可能である。
In the above design, mounting the
従って、第1のホールセンサ32aと第2のホールセンサ32bと第3のホールセンサ32cと第4のホールセンサ32dとを、1つのパッケージ内に封入することが望ましい。
Therefore, it is desirable to enclose the
図16〜図20は、直方体磁石の移動距離に対するホールセンサの出力電圧、および、演算後の値を示す。 FIGS. 16-20 shows the output voltage of a Hall sensor with respect to the moving distance of a rectangular parallelepiped magnet, and the value after a calculation.
図16は、磁石の移動距離に対する第1のホールセンサ32aの出力電圧を実数倍した値V1の変化L10を示す。
FIG. 16 shows a change L10 of a value V1 obtained by multiplying the output voltage of the
図17は、磁石の移動距離に対する第2のホールセンサ32bの出力電圧を実数倍した値V4の変化L11を示す。
FIG. 17 shows a change L11 of a value V4 obtained by multiplying the output voltage of the
図18は、磁石の移動距離に対する第3のホールセンサ32cの出力電圧を実数倍した値V5の変化L12である。
FIG. 18 shows a change L12 of a value V5 obtained by multiplying the output voltage of the
図19は、磁石の移動距離に対する第4のホールセンサ32dの出力電圧を実数倍した値V2の変化L13である。
FIG. 19 shows a change L13 of a value V2 obtained by multiplying the output voltage of the
図20は、磁石の移動距離に対する(aV1−bV2+c)の変化L14および(d(fV4+gV5)+e)の変化L15を示す。ここで、演算中の係数a〜gの値はそれぞれ、a=1、b=1、c=0、d=1、e=V1+V2、f=1.5、g=1.5で計算してある。 FIG. 20 shows a change L14 of (aV1-bV2 + c) and a change L15 of (d (fV4 + gV5) + e) with respect to the moving distance of the magnet. Here, the values of the coefficients a to g being calculated are calculated as a = 1, b = 1, c = 0, d = 1, e = V1 + V2, f = 1.5, and g = 1.5, respectively. is there.
図21は、演算後の値を磁気シミュレーションから求めた結果を示す。 FIG. 21 shows the result of calculating the calculated value from the magnetic simulation.
磁石の移動距離に対する(aV1−bV2+c)/(d(fV4+gV5)+e)の変化L16および理想直線L17を示す。 A change L16 and an ideal straight line L17 of (aV1-bV2 + c) / (d (fV4 + gV5) + e) with respect to the moving distance of the magnet are shown.
ここで、演算中の係数a〜gの値はそれぞれ、a=1、b=1、c=0、d=1、e=V1+V2、f=1.5、g=1.5で計算してある。 Here, the values of the coefficients a to g being calculated are calculated as a = 1, b = 1, c = 0, d = 1, e = V1 + V2, f = 1.5, and g = 1.5, respectively. is there.
磁気シミュレーションの前提として、4個のホールセンサ32a,32b,32c,32dの感度を2.2mV/mT(一般的なホールセンサの感度)、直方体磁石31の残留磁束密度Brを1400mT(一般的なネオジム焼結磁石の値)として行う。
As the premise of the magnetic simulation, the sensitivity of the four
図21に示した磁気シミュレーション結果より、直方体磁石31の移動距離に対して、V1、V2、V4、V5の値を用いて演算した値(aV1−bV2+c)/(d(fV4+gV5)+e)が、高い線形性を持ち、理想直線とよく一致することが分かる。ここで、演算中の係数a〜gの値はそれぞれ、a=1、b=1、c=0、d=1、e=V1+V2、f=1.5、g=1.5で計算してある。
From the magnetic simulation result shown in FIG. 21, the value (aV1-bV2 + c) / (d (fV4 + gV5) + e) calculated using the values of V1, V2, V4, V5 with respect to the moving distance of the
ここで、図21に記載した理想直線L17は、直方体磁石31の移動距離が−7.5mmにおける4個の出力電圧V1、V2、V4、V5の値を用いて演算した値(aV1−bV2+c)/(d(fV4+gV5)+e)と、この直方体磁石31の移動距離が+7.5mmにおける4個の出力電圧V1、V2、V4、V5の値を用いて演算した値(aV1−bV2+c)/(d(fV4+gV5)+e)とを結んだ直線である。ここで、演算中の係数a〜gの値はそれぞれ、a=1、b=1、c=0、d=1、e=V1+V2、f=1.5、g=1.5で計算してある。
Here, the ideal straight line L17 shown in FIG. 21 is a value (aV1-bV2 + c) calculated using the values of the four output voltages V1, V2, V4, V5 when the moving distance of the
一般的には、この理想直線上の値を用いて位置検出を行うため、磁気シミュレーション結果L16は理想直線L17からのズレが大きい場合、位置検出誤差が大きくなる。 In general, since position detection is performed using values on the ideal straight line, the position detection error becomes large when the magnetic simulation result L16 has a large deviation from the ideal straight line L17.
図22は、理想直線L17と磁気シミュレーション結果L16とのズレとから換算した磁石の移動距離に対する位置検出誤差を示す。 FIG. 22 shows a position detection error with respect to the moving distance of the magnet converted from the deviation between the ideal straight line L17 and the magnetic simulation result L16.
図22に示す結果より、位置検出誤差は最大でも9.5um程度であり、分解能は全ストローク15mmに対して0.06%と高精度な位置検出を達成していることがわかる。 From the results shown in FIG. 22, it can be seen that the position detection error is about 9.5 μm at the maximum, and the resolution is 0.06% with respect to the total stroke of 15 mm, achieving highly accurate position detection.
本例では、前述した各例と同様に、実装誤差や公差等の影響があった場合においても、演算中の係数a乃至gの値を変更させることで、良好な位置検出精度が得ることが可能となる。 In this example, as in the above examples, even when there is an influence of mounting error, tolerance, etc., it is possible to obtain a good position detection accuracy by changing the values of the coefficients a to g being calculated. It becomes possible.
[第4の例]
本発明の第4の実施の形態を、図23〜図33に基づいて説明する。なお、前述した各例と同一部分については、その説明を省略し、同一符号を付す。
[Fourth example]
A fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In addition, about the same part as each example mentioned above, the description is abbreviate | omitted and the same code | symbol is attached | subjected.
本例は、位置検出装置50において、一軸上に整列した5個のホールセンサを用いて位置検出を行う場合の例である。
In this example, the
<構成>
図23は、位置検出装置60の概略構成を示す。
<Configuration>
FIG. 23 shows a schematic configuration of the
位置検出装置60は、N極S極をそれぞれ1極ずつ着磁した直方体磁石31と、5個を1組としたホールセンサ32a,32b,32c,32d,32eと、ホールセンサ32a(第1のホールセンサ)と、ホールセンサ32b(第2のホールセンサ)と、ホールセンサ32c(第3のホールセンサ)と、ホールセンサ32d(第4のホールセンサ)と、ホールセンサ32e(第5のホールセンサ)とを実装した基板33とからなる。
The
本発明に係る位置検出装置は、様々な形状の磁石と、種々なホールセンサとを用いて構成できる。 The position detection apparatus according to the present invention can be configured using variously shaped magnets and various Hall sensors.
5個のホールセンサ32a〜32eは、ホールセンサ32aとホールセンサ32bとの距離と、ホールセンサ32dとホールセンサ32eとの距離とが同値となるように、さらに、ホールセンサ32bとホールセンサ32cとの距離と、ホールセンサ32cとホールセンサ32dとの距離とが同値となるように、基板33上に配置され、感磁方向が基板33に対して垂直である。
The five
直方体磁石31は、ホールセンサ32a,32b,32c,32d,32eを実装した基板33に対して垂直に着磁された構成となっており、基板33と対向する1平面100内で、x方向に沿って移動可能に配置されている。
The
直方体磁石31は、ホールセンサ32a,32b,32c,32d,32eの感磁部の中心間を結ぶ直線に対して平行方向でかつ基板33に平行な平面内を移動可能に支持され、基板33に対して垂直方向にN極とS極が着磁されている。
The
ここで、ホールセンサ32a,32b,32c,32d,32eの感磁部の中心間を結ぶ直線に対して平行方向で、かつ基板33に平行な平面内を移動可能という意味は、ホールセンサ32a,32b,32c,32d,32eの感磁部の中心間を結ぶ直線と直方体磁石31の移動方向を示す直線を、基板33に平行な任意の同一平面上に投影した場合にそれぞれの延長線が平行であることを意味するものである。
Here, the meaning of being movable in a plane parallel to the straight line connecting the centers of the magnetic sensing portions of the
また、第1のホールセンサ32aの感磁部と第5のホールセンサ32eの感磁部とを結んだ直線の中点と、直方体磁石31の移動範囲の中点とが同じである。磁石の着磁方向は、基板33に対して垂直方向にN極とS極が着磁された方向にするとよい。
Further, the midpoint of the straight line connecting the magnetic sensitive part of the
1組のホールセンサとして構成された、第1のホールセンサ32aの感磁部中心と、第2のホールセンサ32bの感磁部中心と、第3のホールセンサ32cの感磁部中心と、第4のホールセンサ32dの感磁部中心と、第5のホールセンサ32eの感磁部中心とを結ぶ直線もX方向である。また、ホールセンサ32a,32b,32c,32d,32eは、直方体磁石31の面と対向した位置に配置されている。
A magnetic sensor center of the
A1は直方体磁石31の長辺方向Xの長さ、A2は直方体磁石31の短辺方向Yの長さ、A3は直方体磁石31の厚み(着磁)方向Zの長さをそれぞれ示す。
A1 indicates the length in the long side direction X of the
B1は、直方体磁石31のホールセンサ32a,32b,32c,32d,32eの基板33に対向する平面100から、ホールセンサ32a,32b,32c,32d,32eの感磁部の中心までの距離を示す。
B1 indicates the distance from the
B5は、第1のホールセンサ32aの感磁部の中心と、第2のホールセンサ32bの感磁部の中心とを結ぶ距離、および、第4のホールセンサ32dの感磁部の中心と、第5のホールセンサ32eの感磁部の中心とを結ぶ距離を示す。
B5 is a distance connecting the center of the magnetic sensing part of the
B6は、第2のホールセンサ32bの感磁部の中心と、第3のホールセンサ32cの感磁部の中心とを結ぶ距離、および、第3のホールセンサ32cの感磁部の中心と、第4のホールセンサ32dの感磁部の中心とを結ぶ距離を示す。
B6 is a distance connecting the center of the magnetic sensing part of the
ホールセンサ32a,32b,32c,32d,32eは、GaAs、InAs、InSbなどのIII−V族化合物半導体を含むものである。また、Si、GeなどのIV族半導体を含むものでもよい。
The
図24は、図23に示したホールセンサを5個用いた位置検出装置60の位置検出回路の構成例を示す。
FIG. 24 shows a configuration example of the position detection circuit of the
位置検出回路は、駆動回路19と、信号処理部20とを備えている。信号処理部20は、差動増幅器21a,21b,21c,21d,21eと、計算処理部22とからなる。
The position detection circuit includes a
駆動回路19は、1組のホールセンサ32a,32b,32c,32d,32eと、これらのホールセンサ32a,32b,32c,32d,32eに電圧を供給する電源部Vddとから構成される。
The
第1のホールセンサ32aは、正極入力端子32a(A)と、正極出力端子32a(B)と、負極入力端子32a(C)と、負極出力端子32a(D)とから構成される。
The
第2のホールセンサ32bは、正極入力端子32b(E)と、正極出力端子32b(F)と、負極入力端子32b(G)と、負極出力端子32b(H)とから構成される。
The
第3のホールセンサ32cは、正極入力端子32c(I)と、正極出力端子32c(J)と、負極入力端子32c(K)と、負極出力端子32c(L)とから構成される。
The
第4のホールセンサ32dは、正極入力端子32d(M)と、正極出力端子32d(N)と、負極入力端子32d(O)と、負極出力端子32d(P)とから構成される。
The
第5のホールセンサ32eは、正極入力端子32e(Q)と、正極出力端子32e(R)と、負極入力端子32e(S)と、負極出力端子32e(T)とから構成される。
The
正極出力端子32a(B)と負極出力端子32a(D)とは、差動増幅器21aの入力信号となり、差動増幅器21aからはV1が出力される。
The
正極出力端子32b(F)と負極出力端子32b(H)は、差動増幅器21bの入力信号となり、差動増幅器21bからはV4が出力される。
The
正極出力端子32c(J)と負極出力端子32c(L)は、差動増幅器21cの入力信号となり、差動増幅器21cからはV5が出力される。
The
正極出力端子32d(N)と負極出力端子32d(P)は、差動増幅器21dの入力信号となり、差動増幅器21dからはV6が出力される。
The
正極出力端子32e(R)と負極出力端子32e(T)は、差動増幅器21eの入力信号となり、差動増幅器21eからはV2が出力される。
The
信号処理部20は、ホールセンサ32a,32b,32c,32d,32eからの出力に基づいて位置検出を行う。
The
本例における信号処理部20は、差動増幅器21aの出力をV1、差動増幅器21bの出力をV4、差動増幅器21cの出力をV5、差動増幅器21dの出力をV6、差動増幅器21eの出力をV2とした場合、
Vo=(aV1−bV2+c)/(d(fV4+gV5+hV6)+e) …(3)
の関係式から求められる値Voを用いて位置検出を行う。
The
Vo = (aV1-bV2 + c) / (d (fV4 + gV5 + hV6) + e) (3)
Position detection is performed using a value Vo obtained from the relational expression.
ただし、a≠0かつb≠0かつd≠0である実数であり、cおよびeは実数であり、f〜hはどれか一つ以上はゼロでは無い実数である。 However, it is a real number in which a ≠ 0, b ≠ 0, and d ≠ 0, c and e are real numbers, and f to h are real numbers in which at least one is not zero.
cはゼロである。cの値には、磁石サイズや磁石とホールセンサとの距離等の構成により最適値が存在するが、ゼロとすることで、精度が良くなる場合が多い。 c is zero. There is an optimum value for the value of c depending on the configuration such as the magnet size and the distance between the magnet and the Hall sensor, but the accuracy is often improved by setting it to zero.
eはaV1+bV2である。eの値には、磁石サイズや磁石とホールセンサとの距離等の構成により最適値が存在するが、aV1+bV2とすることで、精度が良くなる場合が多い。 e is aV1 + bV2. There is an optimum value for the value of e depending on the configuration such as the magnet size and the distance between the magnet and the Hall sensor, but the accuracy is often improved by setting aV1 + bV2.
ホールセンサ32a,32b,32c,32d,32eは、5個を1つのパッケージに一体に封入している。5個のホールセンサの特性(感度やオフセット)が、あまりにかけはなれていると位置検出精度が悪化する。5個のホールセンサの特性を揃えるために、例えば、製造段階でウェハのとなりあった場所にある5個のホールセンサを1つのパッケージに納めることで、上述した問題が解決でき、高精度な位置検出装置を構成することができる。
Five
ホールセンサ32a,32b,32c,32d,32eは、磁気増幅を行うための磁性体チップを有していない。ホールセンサ32a,32b,32c,32d,32eが内部に磁性体チップを有しており、センサ部分の検出磁場を増幅する構成が知られているが、本発明の構成では磁性体チップの磁気飽和が問題になり、広い範囲で正確に位置検出を行うのが困難である。磁気増幅していないホールセンサを用いることで、広い範囲を正確に位置検出できる。
The
このような構成とすることにより、磁石の移動に伴い直線的に磁束密度が変化する範囲が、移動磁石の長辺の長さを10としたとき、20程度まで広がる。つまり、磁石のサイズを小さくしても、15mmをこえる範囲で高精度に位置検出を行うことができる。 With such a configuration, the range in which the magnetic flux density changes linearly with the movement of the magnet extends to about 20 when the length of the long side of the moving magnet is 10. That is, even if the size of the magnet is reduced, position detection can be performed with high accuracy in a range exceeding 15 mm.
<回路動作>
図24の位置検出回路の動作について説明する。
位置検出装置60は、5個のホールセンサ32a,32b,32c,32d,32eの駆動回路19と、このホールセンサ32a,32b,32c,32d,32eからの出力に基づいて位置検出を行う信号処理回路20とを備えている。
<Circuit operation>
The operation of the position detection circuit in FIG. 24 will be described.
The
第1のホールセンサ32aの正極入力端子32a(A)と、第2のホールセンサ32bの正極入力端子32b(E)と、第3のホールセンサ32cの正極入力端子32c(I)と、第4のホールセンサ32dの正極入力端子32d(M)と、第5のホールセンサ32eの正極入力端子32e(Q)とを接続し、第1のホールセンサ32aの負極入力端子32a(C)と、第2のホールセンサ32bの負極入力端子32b(G)と、第3のホールセンサ32cの負極入力端子32c(K)と、第4のホールセンサ32dの負極入力端子32d(O)と、第5のホールセンサ32eの負極入力端子32e(S)とを接続して駆動回路19の入力端子とする。
A
第1のホールセンサ32aの正極出力端子32a(B)と負極出力端子32a(D)は、信号処理回路20の第1の差動増幅器21aに接続され、第2のホールセンサ32bの正極出力端子32b(F)と負極出力端子32b(H)は、信号処理回路20の第2の差動増幅器21bに接続され、第3のホールセンサ32cの正極出力端子32c(J)と負極出力端子32c(L)は、信号処理回路20の第3の差動増幅器21cに接続され、第4のホールセンサ32dの正極出力端子32d(N)と負極出力端子32d(P)は、信号処理回路20の第4の差動増幅器21dに接続され、第5のホールセンサ32eの正極出力端子32e(R)と負極出力端子32e(T)は、信号処理回路20の第5の差動増幅器21eに接続される。
The
第1の差動増幅器21aの出力端子と第2の差動増幅器21bの出力端子と第3の差動増幅器21cの出力端子と第4の差動増幅器21dの出力端子と第5の差動増幅器21eの出力端子とは、ADコンバータに入力され、適宜出力を計算する計算処理部22に伝達される。
The output terminal of the first
このような駆動回路19と信号処理回路によって、第1のホールセンサ32aのホール出力電圧を実数倍した出力V1と第2のホールセンサ32bのホール出力電圧を実数倍した出力V4と第3のホールセンサ32cのホール出力電圧を実数倍した出力V5と第4のホールセンサ32dのホール出力電圧を実数倍した出力V6と第5のホールセンサ32eのホール出力電圧を実数倍した出力V2とを用いた(aV1−bV2+c)/(d(fV4+gV5+hV6)+e)の値(ただし、a≠0かつb≠0かつd≠0である実数、c及びeは実数、f〜hはどれか一つ以上はゼロでは無い実数)である出力値Voが、直方体磁石31の位置に対応したものになる。
By such a
本例の構成では、第1のホールセンサ32aと第2のホールセンサ32bと第3のホールセンサ32cと第4のホールセンサ32dと第5のホールセンサ32eの入力端子を並列に接続しているが、これは特に並列接続に限定されるものではない。
In the configuration of this example, the input terminals of the
また、差動増幅器21a,21b,21c,21d,21eについても、より高精度な計装アンプを用いてもよいことは言うまでもない。
Needless to say, more accurate instrumentation amplifiers may be used for the
また、差動増幅器21a,21b,21c,21d,21eの信号をAD変換して、(aV1−bV2+c)/(d(fV4+gV5+hV6)+e)の値(ただし、a≠0かつb≠0かつd≠0である実数、cおよびeは実数、f〜hはどれか一つ以上はゼロでは無い実数)を計算処理部22で計算して求めたが、別途差動増幅器を設けて、アナログ信号のままで、(aV1−bV2+c)/(d(fV4+gV5+hV6)+e)の値(ただし、a≠0かつb≠0かつd≠0である実数、cおよびeは実数、f〜hはどれか一つ以上はゼロでは無い実数)を求めることもできる。
Further, the signals of the
本例では、位置検出を行うのに除算を行う必要があるが、除算とは分子と分母の比を取ることであるから、磁石の全移動範囲において、分母を一定に制御可能であれば、分子の値が、分母を制御せずに行った除算後の値と同じ線形性を示す。 In this example, it is necessary to divide to perform position detection, but since division is to take the ratio of the numerator and denominator, if the denominator can be controlled to be constant over the entire movement range of the magnet, The value of the numerator shows the same linearity as the value after division performed without controlling the denominator.
例えば、分母(=d(fV4+gV5+hV6)+e)が一定となるように、ホールセンサの入力値を制御すれば、分子(=aV1−bV2+c)の値をそのまま位置出力とすることが可能となる。また、分母(=d(fV4+gV5+hV6)+e)が一定となるように、ホールセンサの出力値にゲインを掛けることで、分子(=aV1−bV2+c)の値をそのまま位置出力とすることが可能となる。 For example, if the input value of the Hall sensor is controlled so that the denominator (= d (fV4 + gV5 + hV6) + e) is constant, the value of the numerator (= aV1-bV2 + c) can be used as the position output as it is. Also, by multiplying the Hall sensor output value by a gain so that the denominator (= d (fV4 + gV5 + hV6) + e) is constant, the value of the numerator (= aV1-bV2 + c) can be used as the position output as it is. .
<位置検出例>
次に、位置検出装置60の具体的な位置検出の例について説明する。
図25は、位置検出装置60の具体的な構成例を示す。ホールセンサ32a,32b,32c,32d,32eは、1つのパッケージに一体に封入されたセンサとして構成されている。
<Example of position detection>
Next, a specific example of position detection of the
FIG. 25 shows a specific configuration example of the
本例では、広い温度範囲において、20mm(±10mm)の位置検出範囲を、位置検出範囲の0.1%以内の位置検出精度で位置検出する場合について示す。図15における各構成部品のパラメータの最適値の設計例を説明する。 This example shows a case where a position detection range of 20 mm (± 10 mm) is detected with a position detection accuracy within 0.1% of the position detection range in a wide temperature range. A design example of the optimum value of the parameter of each component in FIG. 15 will be described.
図25に示すように、直方体磁石31の長辺方向Xの長さA1=10.3mm、直方体磁石31の短辺方向Yの長さA2=10.0mm、直方体磁石31の厚み方向Zの長さ(磁石の着磁方向の長さ)A3=7.0mmとする。
As shown in FIG. 25, the length A1 in the long-side direction X of the
また、直方体磁石31のホールセンサ32a,32b,32c,32d,32eに対向する平面100からホールセンサ32a,32b,32c,32d,32eの感磁部の中心までの距離B1=7.5mm、第1のホールセンサ32aの感磁部の中心と第2のホールセンサ32bの感磁部の中心との距離及び第4のホールセンサ32dの感磁部の中心と第5のホールセンサ32eの感磁部の中心との距離B5=1.75mm、第2のホールセンサ32bの感磁部の中心と、第3のホールセンサ32cの感磁部の中心とを結ぶ距離及び第3のホールセンサ32cの感磁部の中心と、第4のホールセンサ32dの感磁部の中心とを結ぶ距離B6=2.05mmとする。
Further, the distance B1 = 7.5 mm from the
上記設計の際、ホールセンサ32a,32b,32c,32d,32eを1つのパッケージ内に搭載する方が、ホールセンサ32a,32b,32c,32d,32eの配置誤差が小さくなり、位置検出装置の高精度化に貢献できる。また、例えばSi基板上にホールセンサ32a,32b,32c,32d,32eを設けることも可能である。
In the above design, mounting the
従って、第1のホールセンサ32aと第2のホールセンサ32bと第3のホールセンサ32cと第4のホールセンサ32dと第5のホールセンサ32eを、1つのパッケージ内に封入することが望ましい。
Therefore, it is desirable to enclose the
図26〜図31は、直方体磁石の移動距離に対するホールセンサの出力電圧、および、演算後の値を示す。 26 to 31 show the output voltage of the Hall sensor with respect to the moving distance of the rectangular parallelepiped magnet, and the value after the calculation.
図26は、磁石の移動距離に対する第1のホールセンサ32aの出力電圧を実数倍した値V1の変化L20を示す。
FIG. 26 shows a change L20 of a value V1 obtained by multiplying the output voltage of the
図27は、磁石の移動距離に対する第2のホールセンサ32bの出力電圧を実数倍した値V4の変化L21を示す。
FIG. 27 shows a change L21 in a value V4 obtained by multiplying the output voltage of the
図28は、磁石の移動距離に対する第3のホールセンサ32cの出力電圧を実数倍した値V5の変化L22である。
FIG. 28 shows a change L22 of a value V5 obtained by multiplying the output voltage of the
図29は、磁石の移動距離に対する第4のホールセンサ32dの出力電圧を実数倍した値V6の変化L23である。
FIG. 29 shows a change L23 of a value V6 obtained by multiplying the output voltage of the
図30は、磁石の移動距離に対する第5のホールセンサ32eの出力電圧を実数倍した値V2の変化L24である。
FIG. 30 shows a change L24 of a value V2 obtained by multiplying the output voltage of the
図31は、磁石の移動距離に対する(aV1−bV2+c)の変化L25、および、(d(fV4+gV5+hV6)+e)の変化L26を示す。ここで、演算中の係数a〜hの値はそれぞれ、a=1、b=1、c=0、d=1、e=V1+V2、f=1、g=2、h=1で計算してある。 FIG. 31 shows a change L25 in (aV1-bV2 + c) and a change L26 in (d (fV4 + gV5 + hV6) + e) with respect to the moving distance of the magnet. Here, the values of the coefficients a to h being calculated are calculated with a = 1, b = 1, c = 0, d = 1, e = V1 + V2, f = 1, g = 2, and h = 1. is there.
図32は、演算後の値を磁気シミュレーションから求めた結果を示す。磁石の移動距離に対する(aV1−bV2+c)/(d(fV4+gV5+hV6)+e)の変化L27、および、理想直線L28を示す。ここで、演算中の係数a〜hの値はそれぞれ、a=1、b=1、c=0、d=1、e=V1+V2、f=1、g=2、h=1で計算してある。 FIG. 32 shows the result of calculating the calculated value from the magnetic simulation. A change L27 of (aV1-bV2 + c) / (d (fV4 + gV5 + hV6) + e) with respect to the moving distance of the magnet and an ideal straight line L28 are shown. Here, the values of the coefficients a to h being calculated are calculated with a = 1, b = 1, c = 0, d = 1, e = V1 + V2, f = 1, g = 2, and h = 1. is there.
磁気シミュレーションの前提として、5個のホールセンサ32a〜32eの感度を2.2mV/mT(一般的なホールセンサの感度)、直方体磁石31の残留磁束密度Brを1400mT(一般的なネオジム焼結磁石の値)として行う。
As preconditions for the magnetic simulation, the sensitivity of the five
図32に示した磁気シミュレーション結果より、直方体磁石31の移動距離に対して、V1、V2、V4、V5、V6の値を用いて演算した値(aV1−bV2+c)/(d(fV4+gV5+hV6)+e)が、高い線形性を持ち、理想直線とよく一致することが分かる。ここで、演算中の係数a〜hの値はそれぞれ、a=1、b=1、c=0、d=1、e=V1+V2、f=1、g=2、h=1で計算してある。
From the magnetic simulation results shown in FIG. 32, values (aV1-bV2 + c) / (d (fV4 + gV5 + hV6) + e) calculated using the values of V1, V2, V4, V5, and V6 with respect to the moving distance of the
ここで、図32に記載した理想直線L28は、直方体磁石31の移動距離が−10mmにおける5個の出力電圧V1、V2、V4、V5、V6の値を用いて演算した値(aV1−bV2+c)/(d(fV4+gV5+hV6)+e)と、この直方体磁石31の移動距離が+10mmにおける5個の出力電圧V1、V2、V4、V5、V6の値を用いて演算した値(aV1−bV2+c)/(d(fV4+gV5+hV6)+e)とを結んだ直線である。ここで、演算中の係数a〜hの値はそれぞれ、a=1、b=1、c=0、d=1、e=V1+V2、f=1、g=2、h=1で計算してある。
Here, the ideal straight line L28 shown in FIG. 32 is a value (aV1-bV2 + c) calculated using values of five output voltages V1, V2, V4, V5, and V6 when the moving distance of the
一般的には、この理想直線上の値を用いて位置検出を行うため、磁気シミュレーション結果L27は理想直線L28からのズレが大きい場合、位置検出誤差が大きくなる。 In general, since position detection is performed using a value on this ideal straight line, when the magnetic simulation result L27 has a large deviation from the ideal straight line L28, a position detection error increases.
図33は、理想直線L28と磁気シミュレーション結果L27とのズレとから換算した磁石の移動距離に対する位置検出誤差を示す。 FIG. 33 shows a position detection error with respect to the moving distance of the magnet converted from the deviation between the ideal straight line L28 and the magnetic simulation result L27.
図33に示す結果より、位置検出誤差は最大でも11um程度であり、分解能は全ストローク20mmに対して0.055%と高精度な位置検出を達成していることがわかる。 From the results shown in FIG. 33, it can be seen that the position detection error is about 11 μm at the maximum, and the resolution has achieved a highly accurate position detection of 0.055% with respect to the total stroke of 20 mm.
本例では、前述した各例と同様に、実装誤差や公差等の影響があった場合においても、演算中の係数a〜hの値を変更させることで、良好な位置検出精度が得ることが可能となる。 In this example, as in each example described above, even when there is an influence of mounting error, tolerance, etc., it is possible to obtain good position detection accuracy by changing the values of the coefficients a to h during the calculation. It becomes possible.
[第5の例]
本発明の第5の実施の形態を、図34〜図42に基づいて説明する。なお、前述した各例と同一部分については、その説明を省略し、同一符号を付す。
[Fifth Example]
A fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In addition, about the same part as each example mentioned above, the description is abbreviate | omitted and the same code | symbol is attached | subjected.
本例は、第4の例の変形例であり、位置検出装置60の位置検出範囲を変更させた場合の例である。
図34は、位置検出装置60の具体的な構成例を示す。ホールセンサ32a,32b,32c,32d,32eは、1つのパッケージに一体に封入されたセンサとして構成されている。
This example is a modification of the fourth example, and is an example when the position detection range of the
FIG. 34 shows a specific configuration example of the
本例では、広い温度範囲において、7mm(±3.5mm)の位置検出範囲を、位置検出範囲の0.1%以内の位置検出精度で位置検出する場合について示す。図23における各構成部品のパラメータの最適値の設計例を説明する。 This example shows a case where a position detection range of 7 mm (± 3.5 mm) is detected with a position detection accuracy within 0.1% of the position detection range in a wide temperature range. A design example of the optimum value of the parameter of each component in FIG. 23 will be described.
図34に示すように、直方体磁石31の長辺方向Xの長さA1=8.3mm、直方体磁石31の短辺方向Yの長さA2=6.7mm、直方体磁石31の厚み方向Zの長さ(磁石の着磁方向の長さ)A3=6.7mmとする。
As shown in FIG. 34, the length A1 of the
また、直方体磁石31のホールセンサ32a,32b,32c,32d,32eに対向する平面100からホールセンサ32a,32b,32c,32d,32eの感磁部の中心までの距離B1=6.8mm、第1のホールセンサ32aの感磁部の中心と第2のホールセンサ32bの感磁部の中心との距離および第4のホールセンサ32dの感磁部の中心と第5のホールセンサ32eの感磁部の中心との距離B5=1.95mm、第2のホールセンサ32bの感磁部の中心と、第3のホールセンサ32cの感磁部の中心とを結ぶ距離および第3のホールセンサ32cの感磁部の中心と、第4のホールセンサ32dの感磁部の中心とを結ぶ距離B6=1.0mmとする。
Further, the distance B1 = 6.8 mm from the
上記設計の際、ホールセンサ32a,32b,32c,32d,32eを1つのパッケージ内に搭載する方が、ホールセンサ32a,32b,32c,32d,32eの配置誤差が小さくなり、位置検出装置の高精度化に貢献できる。また、例えばSi基板上にホールセンサ32a,32b,32c,32d,32eを設けることも可能である。
In the above design, mounting the
従って、第1のホールセンサ32aと第2のホールセンサ32bと第3のホールセンサ32cと第4のホールセンサ32dと第5のホールセンサ32eを、1つのパッケージ内に封入することが望ましい。
Therefore, it is desirable to enclose the
図35〜図40は、直方体磁石の移動距離に対するホールセンサの出力電圧、および、演算後の値を示す。 35 to 40 show the output voltage of the Hall sensor with respect to the moving distance of the rectangular parallelepiped magnet, and the value after the calculation.
図35は、磁石の移動距離に対する第1のホールセンサ32aの出力電圧を実数倍した値V1の変化L30を示す。
FIG. 35 shows a change L30 of a value V1 obtained by multiplying the output voltage of the
図36は、磁石の移動距離に対する第2のホールセンサ32bの出力電圧を実数倍した値V4の変化L31を示す。
FIG. 36 shows a change L31 in a value V4 obtained by multiplying the output voltage of the
図37は、磁石の移動距離に対する第3のホールセンサ32cの出力電圧を実数倍した値V5の変化L32を示す。
FIG. 37 shows a change L32 in a value V5 obtained by multiplying the output voltage of the
図38は、磁石の移動距離に対する第4のホールセンサ32dの出力電圧を実数倍した値V6の変化L33を示す。
FIG. 38 shows a change L33 of a value V6 obtained by multiplying the output voltage of the
図39は、磁石の移動距離に対する第5のホールセンサ32eの出力電圧を実数倍した値V2の変化L34を示す。
FIG. 39 shows a change L34 in a value V2 obtained by multiplying the output voltage of the
図40は、磁石の移動距離に対する(aV1−bV2+c)の変化L35、および、(d(fV4+gV5+hV6)+e)の変化L36を示す。ここで、演算中の係数a〜hの値はそれぞれ、a=1、b=1、c=0、d=1、e=V1+V2、f=1、g=2、h=1で計算してある。 FIG. 40 shows a change L35 of (aV1-bV2 + c) and a change L36 of (d (fV4 + gV5 + hV6) + e) with respect to the moving distance of the magnet. Here, the values of the coefficients a to h being calculated are calculated with a = 1, b = 1, c = 0, d = 1, e = V1 + V2, f = 1, g = 2, and h = 1. is there.
図41は、演算後の値を磁気シミュレーションから求めた結果を示す。磁石の移動距離に対する(aV1−bV2+c)/(d(fV4+gV5+hV6)+e)の変化L37、および、理想直線L38を示す。ここで、演算中の係数a〜hの値はそれぞれ、a=1、b=1、c=0、d=1、e=V1+V2、f=1、g=2、h=1で計算してある。 FIG. 41 shows the result of calculating the calculated value from the magnetic simulation. A change L37 of (aV1-bV2 + c) / (d (fV4 + gV5 + hV6) + e) with respect to the moving distance of the magnet and an ideal straight line L38 are shown. Here, the values of the coefficients a to h being calculated are calculated with a = 1, b = 1, c = 0, d = 1, e = V1 + V2, f = 1, g = 2, and h = 1. is there.
磁気シミュレーションの前提として、5個のホールセンサ32a,32b,32c,32d,32eの感度を2.2mV/mT(一般的なホールセンサの感度)、直方体磁石31の残留磁束密度Brを1400mT(一般的なネオジム焼結磁石の値)として行う。
As preconditions for the magnetic simulation, the sensitivity of the five
図41に示した磁気シミュレーション結果より、直方体磁石31の移動距離に対して、V1、V2、V4、V5、V6の値を用いて演算した値(aV1−bV2+c)/(d(fV4+gV5+hV6)+e)が、高い線形性を持ち、理想直線とよく一致することが分かる。ここで、演算中の係数a及至hの値はそれぞれ、a=1、b=1、c=0、d=1、e=V1+V2、f=1、g=2、h=1で計算してある。
From the magnetic simulation results shown in FIG. 41, values (aV1-bV2 + c) / (d (fV4 + gV5 + hV6) + e) calculated using the values of V1, V2, V4, V5, and V6 with respect to the moving distance of the
ここで、図41に記載した理想直線L38は、直方体磁石31の移動距離が−3.5mmにおける5個の出力電圧V1、V2、V4、V5、V6の値を用いて演算した値(aV1−bV2+c)/(d(fV4+gV5+hV6)+e)と、この直方体磁石31の移動距離が+3.5mmにおける5個の出力電圧V1、V2、V4、V5、V6の値を用いて演算した値(aV1−bV2+c)/(d(fV4+gV5+hV6)+e)とを結んだ直線である。ここで、演算中の係数a〜hの値はそれぞれ、a=1、b=1、c=0、d=1、e=V1+V2、f=1、g=2、h=1で計算してある。
Here, the ideal straight line L38 shown in FIG. 41 is a value (aV1−) calculated using values of five output voltages V1, V2, V4, V5, and V6 when the moving distance of the
一般的には、この理想直線上の値を用いて位置検出を行うため、磁気シミュレーション結果L37は理想直線L38からのズレが大きい場合、位置検出誤差が大きくなる。 Generally, since position detection is performed using the value on the ideal straight line, the position detection error becomes large when the magnetic simulation result L37 has a large deviation from the ideal straight line L38.
図42は、理想直線L38と磁気シミュレーション結果L37とのズレとから換算した磁石の移動距離に対する位置検出誤差を示す。 FIG. 42 shows a position detection error with respect to the moving distance of the magnet converted from the deviation between the ideal straight line L38 and the magnetic simulation result L37.
図42に示す結果より、位置検出誤差は最大でも0.06um程度であり、分解能は全ストローク7mmに対して0.0009%と高精度な位置検出を達成していることがわかる。すなわち、従来の方法による位置検出誤差(=位置検出範囲の0.1%相当)に対し、本構成による位置検出誤差は、およそ1/110に抑えることが可能となる。 From the results shown in FIG. 42, it can be seen that the position detection error is about 0.06 μm at the maximum and the resolution is 0.0009% with respect to the total stroke of 7 mm, achieving highly accurate position detection. That is, the position detection error according to this configuration can be suppressed to about 1/110 with respect to the position detection error (= corresponding to 0.1% of the position detection range) by the conventional method.
本例では、前述した各例と同様に、実装誤差や公差等の影響があった場合においても、演算中の係数a〜hの値を変更させることで、良好な位置検出精度が得ることが可能となる。 In this example, as in each example described above, even when there is an influence of mounting error, tolerance, etc., it is possible to obtain good position detection accuracy by changing the values of the coefficients a to h during the calculation. It becomes possible.
11 第1のホールセンサ
12 第2のホールセンサ
19 駆動回路
20 信号処理回路
21a,21b,21c,21d,21e 差動増幅器
22 演算処理計算部
23 永久磁石
30,40,50,60 位置検出装置
31,41 直方体磁石
32a,42a 第1のホールセンサ
32b,42b 第2のホールセンサ
32c 第3のホールセンサ
32d 第4のホールセンサ
32e 第5のホールセンサ
32a(A),32b(E),32c(I),32d(M),32e(Q)正極入力端子
32a(B),32b(F),32c(J),32d(N),32e(R)正極出力端子
32a(C),32b(G),32c(K),32d(O),32e(S)負極入力端子
32a(D),32b(H),32c(L),32d(P),32e(T)負極出力端子
33,43 基板
100 平面
200 平面
DESCRIPTION OF
Claims (17)
前記複数の磁気センサのうち前記移動方向に対して前記基板上の最外位置に配置された2個の磁気センサの感磁部の中心間を結ぶ直線に対して平行方向で、かつ前記基板に平行な平面内を移動可能に支持され、前記基板に対して垂直方向にN極とS極が着磁された磁石からなる磁束発生手段と、
前記複数の磁気センサからの出力に基づいて位置検出を行う信号処理手段と
を具え、
前記信号処理手段は、
前記複数の磁気センサを搭載した前記基板に対して、前記磁束発生手段を前記移動方向へ所定の距離だけ移動した場合において、
前記移動方向への移動距離に対する、前記基板上の最外位置に配置された複数個の磁気センサからの出力値と、前記基板上の前記最外位置以外に配置された他の残りの磁気センサからの出力値との所定の相関関係を用いて位置検出を行うことを特徴とする位置検出装置。 Magnetic flux detecting means arranged along a moving direction as a set of a plurality of magnetic sensors composed of at least three or more on a substrate, wherein the magnetic sensitive direction of the plurality of magnetic sensors is perpendicular to the substrate;
Among the plurality of magnetic sensors, the direction parallel to the straight line connecting the centers of the magnetic sensing portions of the two magnetic sensors arranged at the outermost positions on the substrate with respect to the moving direction, and on the substrate Magnetic flux generating means comprising a magnet supported so as to be movable in a parallel plane and having N and S poles magnetized in a direction perpendicular to the substrate;
Signal processing means for performing position detection based on outputs from the plurality of magnetic sensors,
The signal processing means includes
When the magnetic flux generating means is moved by a predetermined distance in the moving direction with respect to the substrate on which the plurality of magnetic sensors are mounted,
Output values from a plurality of magnetic sensors arranged at the outermost position on the substrate with respect to the moving distance in the moving direction, and other remaining magnetic sensors arranged at other than the outermost position on the substrate A position detection apparatus that performs position detection by using a predetermined correlation with an output value from.
前記移動方向への移動距離に対する、前記基板上の最外位置に配置された複数個の磁気センサからの出力値と、前記基板上の前記最外位置以外に配置された他の残りの磁気センサからの出力値とから得られた演算値の所定の相関関係を用いて位置検出を行うことを特徴とする請求項1記載の位置検出装置。 The signal processing means includes
Output values from a plurality of magnetic sensors arranged at the outermost position on the substrate with respect to the moving distance in the moving direction, and other remaining magnetic sensors arranged at other than the outermost position on the substrate The position detection apparatus according to claim 1, wherein position detection is performed using a predetermined correlation between a calculation value obtained from an output value from the input value.
前記移動方向への移動距離に対する、前記基板上の最外位置に配置された複数個の磁気センサからのそれぞれの出力を所定倍した出力値と、前記基板上の前記最外位置以外に配置された他の残りの磁気センサからのそれぞれの出力を所定倍した出力値を含む総和値との比の所定の相関関係を用いて位置検出を行うことを特徴とする請求項1又は2記載の位置検出装置。 The signal processing means includes
An output value obtained by multiplying each output from a plurality of magnetic sensors arranged at the outermost position on the substrate with respect to the moving distance in the moving direction by a predetermined value, and arranged at a position other than the outermost position on the substrate. 3. The position according to claim 1, wherein the position is detected using a predetermined correlation of a ratio with a sum value including an output value obtained by multiplying each output from the other remaining magnetic sensors by a predetermined value. Detection device.
前記基板上の前記最外位置の2個の磁気センサからの出力V1及びV2をそれぞれ実数倍した出力値と、前記基板上の前記最外位置の2個の磁気センサ以外の他の残りの磁気センサからのそれぞれの出力をそれぞれ実数倍した出力値の総和値V3とを用いて、
Vo=(aV1−bV2+c)/(dV3+e)
ただし、a≠0かつb≠0かつd≠0の実数、cおよびeは実数
の関係式から求められる算出値Voを用いて位置検出を行うことを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の位置検出装置。 The signal processing means includes
Output values obtained by multiplying the outputs V1 and V2 from the two outermost magnetic sensors on the substrate by real numbers, and the remaining magnetism other than the two outermost magnetic sensors on the substrate. Using the total value V3 of the output values obtained by multiplying each output from the sensor by a real number,
Vo = (aV1-bV2 + c) / (dV3 + e)
4. The position detection is performed using a real number in which a ≠ 0 and b ≠ 0 and d ≠ 0, and c and e are calculated using a calculated value Vo obtained from a relational expression of real numbers. The position detection apparatus described in 1.
前記V3は、前記最外位置の2個の磁気センサ以外の他の残りの3番目からn番目の磁気センサの出力をそれぞれV4、V5、V6、…、Vnとした場合、
V3=fV4+gV5+hV6+……+mVn
ただし、f、g、h、mのうちどれか一つ以上はゼロではない実数
であることを特徴とする請求項4記載の位置検出装置。 When the total number of the magnetic sensors is n,
When V3 is V4, V5, V6,..., Vn, respectively, the outputs of the remaining third to nth magnetic sensors other than the two outermost magnetic sensors are V4, V5, V6,.
V3 = fV4 + gV5 + hV6 + ...... + mVn
5. The position detecting device according to claim 4, wherein at least one of f, g, h, and m is a non-zero real number.
前記位置検出装置からの出力信号が入力される、オートフォーカス(AF)機構およびズーム(Zoom)機構と
を具えたことを特徴とする電子機器。 A position detection device according to any one of claims 1 to 15,
An electronic apparatus comprising an autofocus (AF) mechanism and a zoom mechanism to which an output signal from the position detection device is input.
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