JP2010105383A - Method for manufacturing ink-jet head - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing an ink-jet head which can reduce crosstalk by eliminating a piezoelectric substance remaining between driving parts of the ink-jet head and has thinned driving parts. <P>SOLUTION: The method for manufacturing the ink-jet head which contains a plurality of chambers for storing an ink and driving parts for providing pressure to the chambers includes: a step of forming a piezoelectric substance on one surface of the ink-jet head adjacent to the chambers; a step of forming driving parts by dicing the piezoelectric substance so that the piezoelectric substance remains in correspondence with the positions of the chambers; and a step of etching the one surface of the ink-jet head so that the piezoelectric substance remaining between the driving parts adjacent to each other is removed. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明はインクジェットヘッドの製造方法に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing an inkjet head.

インクジェットプリンタは、電気的信号を物理的力に変換してノズルを介してインク液滴を吐出することにより印刷が行われる装置である。インクジェットヘッドは、チャンバ、リストリクタ、ノズル、及び圧電体などの多様な部品をそれぞれの層に加工し、これらを互いに接合する方式で製作することができる。   An ink jet printer is a device that performs printing by converting electrical signals into physical forces and ejecting ink droplets through nozzles. The ink jet head can be manufactured by processing various parts such as a chamber, a restrictor, a nozzle, and a piezoelectric body into respective layers and bonding them to each other.

このようなインクジェットヘッド技術は、従来の紙や繊維に印刷するグラフィックインクジェット産業分野だけでなく、最近のプリント基板、ＬＣＤパネルなどの電子部品の製作にも使用されるなど、その適用が拡大されている。   Such inkjet head technology is used not only in the field of graphic inkjet industry that prints on conventional paper and textiles, but also in the production of electronic components such as recent printed circuit boards and LCD panels. Yes.

しかし、従来のグラフィックプリント技術に比べて、機能性インクを正確かつ精度よく吐出しなければならない電子部品用インクジェットプリント技術には、従来のインクジェットヘッドには要求されなかった機能が要求される。例えば、吐出液滴のサイズや速度の偏差などが基本的に要求されており、それ以外にも、生産量を増加させるための高密度のノズル及び高周波数特性が要求されている。これら要求に応じて薄型化されたインクジェットヘッドの駆動部に対する開発が必要とされている。   However, compared with the conventional graphic printing technology, the inkjet printing technology for electronic components that must eject functional ink accurately and accurately requires a function that is not required for the conventional inkjet head. For example, deviations in the size and speed of ejected droplets are basically required, and besides that, high-density nozzles and high-frequency characteristics for increasing the production amount are required. In response to these requirements, development of a drive unit for an ink jet head that is thinned is required.

一方、図１は従来技術によるインクジェットヘッド１２を示す正断面図である。図１に示すように、従来の圧電体は、インクジェットヘッドの一面に接合された後、それぞれのチャンバ６上にて独立した駆動部２として駆動されるように、ダイシング（dicing）を行った。   On the other hand, FIG. 1 is a front sectional view showing an inkjet head 12 according to the prior art. As shown in FIG. 1, the conventional piezoelectric body was bonded to one surface of the inkjet head and then diced so as to be driven as an independent driving unit 2 on each chamber 6.

この時、それぞれの駆動部２を完全に切断すると、インクジェットヘッド１２のシリコーン基板４に大きなストレスを与えることになる。しかし、この問題から、圧電体を完全に切断しないと、図１に示すように、隣り合うそれぞれの駆動部２が互いに連結されて、クロストーク（crosstalk）を誘発する恐れがあった。   At this time, if each drive unit 2 is completely cut, a large stress is applied to the silicone substrate 4 of the inkjet head 12. However, due to this problem, if the piezoelectric body is not completely cut, as shown in FIG. 1, the adjacent drive units 2 may be connected to each other to induce crosstalk.

さらに、ダイシング工程時、インクジェットヘッドへのストレスのために薄い切断刃（Saw blade）を用いて二回のダイシング工程を行うと、隣り合う駆動部間に壁（wall）形態の圧電体の残存物８が残って、クロストークの原因となった。   Furthermore, when the dicing process is performed twice using a thin saw blade due to stress on the inkjet head during the dicing process, a residual piezoelectric material in the form of a wall between adjacent drive units 8 remained, causing crosstalk.

こうした従来技術の問題点を解決するために、本発明は、クロストークを低減させ、薄型化された駆動部を有するインクジェットヘッドの製造方法を提供する。   In order to solve such problems of the prior art, the present invention provides a method for manufacturing an ink jet head having a thinned drive unit with reduced crosstalk.

本発明の一実施形態によれば、インクが収容される複数のチャンバと、チャンバに圧力を提供する駆動部と、を含むインクジェットヘッドを製造する方法であって、チャンバに隣接するインクジェットヘッドの一面に圧電体を形成する工程と、チャンバの位置に対応して圧電体が残存するように、圧電体をダイシングして駆動部を形成する工程と、隣り合う駆動部間に残存する圧電体が除去されるように、インクジェットヘッドの一面をエッチング（etching）する工程と、を含むインクジェットヘッドの製造方法が提供される。   According to an embodiment of the present invention, there is provided a method of manufacturing an inkjet head including a plurality of chambers in which ink is stored and a driving unit that provides pressure to the chamber, wherein the inkjet head is adjacent to the chamber. Forming a piezoelectric body on the substrate, dicing the piezoelectric body to form a drive unit so that the piezoelectric body remains corresponding to the position of the chamber, and removing the piezoelectric body remaining between adjacent drive units As described above, a method of manufacturing an inkjet head is provided that includes a step of etching one surface of the inkjet head.

ここで、圧電体を形成する工程は、焼結された圧電体をインクジェットヘッドの一面に接合することにより行われることができる。   Here, the step of forming the piezoelectric body can be performed by bonding the sintered piezoelectric body to one surface of the inkjet head.

本発明の実施例によれば、インクジェットヘッドの駆動部間に残存する圧電体を除去してクロストークを低減させ、薄型化された駆動部を有するインクジェットヘッドを製造することができる。   According to the embodiment of the present invention, it is possible to manufacture the ink jet head having the thinned driving portion by removing the piezoelectric body remaining between the driving portions of the ink jet head to reduce the crosstalk.

なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。   It should be noted that the above summary of the invention does not enumerate all the necessary features of the present invention. In addition, a sub-combination of these feature groups can also be an invention.

従来技術によるインクジェットヘッドを示す正断面図である。It is front sectional drawing which shows the inkjet head by a prior art. 本発明の一実施例によるインクジェットヘッドを示す側断面図である。1 is a side sectional view showing an ink jet head according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施例によるインクジェットヘッドの製造方法を示す順序図である。FIG. 5 is a flowchart illustrating a method for manufacturing an inkjet head according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施例によるインクジェットヘッドを示す平面図である。It is a top view which shows the inkjet head by one Example of this invention. 本発明の一実施例によるインクジェットヘッドを示す平面図である。It is a top view which shows the inkjet head by one Example of this invention. 本発明の一実施例によるインクジェットヘッドを示す正断面図である。1 is a front sectional view showing an ink jet head according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施例によるインクジェットヘッドの一部を示す正断面図である。1 is a front sectional view showing a part of an inkjet head according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施例によるインクジェットヘッドの一部を示す正断面図である。1 is a front sectional view showing a part of an inkjet head according to an embodiment of the present invention.

以下、本発明の特徴及び利点が以下の図面と発明の実施の形態により明確になるが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。   Hereinafter, the features and advantages of the present invention will be clarified by the following drawings and embodiments of the present invention. However, the following embodiments do not limit the invention according to the claims. In addition, not all the combinations of features described in the embodiments are essential for the solving means of the invention.

本発明によるインクジェットヘッドの製造方法の実施例を、添付図面を参照して詳細に説明し、添付図面を参照して説明するに当たって、同一または対応の構成要素には同一の図面符号を付し、これに対する重複説明は省略する。   Embodiments of a method for manufacturing an inkjet head according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the description with reference to the accompanying drawings, the same or corresponding components are denoted by the same reference numerals. The overlapping explanation for this will be omitted.

図２は本発明の一実施例によるインクジェットヘッドを示す側断面図である。図２に示すように、インクジェットヘッド１００は、リザーバ１１１、リストリクタ１１３、チャンバ１１４、メンブレイン１１５、駆動部１９０、及びノズル１１６を含むことができる。   FIG. 2 is a side sectional view showing an ink jet head according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 2, the inkjet head 100 may include a reservoir 111, a restrictor 113, a chamber 114, a membrane 115, a driving unit 190, and a nozzle 116.

リザーバ１１１はインクを収容しており、リストリクタ１１３を介してインクをチャンバ１１４に供給する。リザーバ１１１には流入口１１２を介してインクジェットヘッド１００の外部からインクが供給されることができる。流入口１１２はチャンバ１１４と共に第３プレート３０に形成されることができ、リザーバ１１１は第２プレート２０に形成されることができる。   The reservoir 111 contains ink and supplies the ink to the chamber 114 via the restrictor 113. Ink can be supplied to the reservoir 111 from the outside of the inkjet head 100 via the inlet 112. The inlet 112 can be formed in the third plate 30 together with the chamber 114, and the reservoir 111 can be formed in the second plate 20.

リストリクタ１１３は、リザーバ１１１と後述するチャンバ１１４とを連結させ、リザーバ１１１からチャンバ１１４にインクを供給するチャンネルとしての機能を行うことができる。リストリクタ１１３はリザーバ１１１と共に第２プレート２０に形成されることができる。   The restrictor 113 connects the reservoir 111 and a chamber 114 described later, and can function as a channel for supplying ink from the reservoir 111 to the chamber 114. The restrictor 113 may be formed on the second plate 20 together with the reservoir 111.

リストリクタ１１３は、リザーバ１１１よりも小さな断面積を有するように形成され、後述する駆動部１９０によりチャンバ１１４に圧力が提供されるとリザーバ１１１からチャンバ１１４に供給されるインクの流れを制御することができる。   The restrictor 113 is formed to have a smaller cross-sectional area than the reservoir 111, and controls the flow of ink supplied from the reservoir 111 to the chamber 114 when pressure is applied to the chamber 114 by a driving unit 190 described later. Can do.

チャンバ１１４の一端はリストリクタ１１３に連結され、他端はノズル１１６に連結される。チャンバ１１４は、インクジェットヘッド１００の内部に形成されインクを収容し、その上面はメンブレイン１１５でカバーされる。   One end of the chamber 114 is connected to the restrictor 113, and the other end is connected to the nozzle 116. The chamber 114 is formed inside the inkjet head 100 and contains ink, and the upper surface thereof is covered with a membrane 115.

複数のチャンバ１１４は、長手方向にインクジェットヘッド１００の内部に形成されることができる。それにより、上述したリザーバ１１１も長手方向に延びて複数形成されることができ、リストリクタ１１３もそれぞれのチャンバ１１４とリザーバ１１１との間に形成されることができる。   The plurality of chambers 114 can be formed inside the inkjet head 100 in the longitudinal direction. Accordingly, a plurality of the reservoirs 111 described above can be formed to extend in the longitudinal direction, and the restrictor 113 can also be formed between each chamber 114 and the reservoir 111.

ノズル１１６は、それぞれのチャンバ１１４の他端に連結され、チャンバ１１４に収容されているインクをインクジェットヘッド１００の外部に吐出する通路として機能することができる。ノズル１１６は第１プレート１０に形成されることができる。   The nozzle 116 is connected to the other end of each chamber 114, and can function as a passage for discharging the ink stored in the chamber 114 to the outside of the inkjet head 100. The nozzle 116 may be formed on the first plate 10.

チャンバ１１４の位置に対応するインクジェットヘッド１００の一側、すなわちメンブレイン１１５の上面に駆動部１９０を結合することができる。駆動部１９０は振動を発生させ、この振動をメンブレイン１１５を介してチャンバ１１４に伝達することにより、チャンバ１１４に圧力を供給することができる。メンブレイン１１５は第４プレート４０に形成されることができる。   The driving unit 190 may be coupled to one side of the inkjet head 100 corresponding to the position of the chamber 114, that is, the upper surface of the membrane 115. The driving unit 190 generates vibrations and transmits the vibrations to the chamber 114 via the membrane 115, thereby supplying pressure to the chamber 114. The membrane 115 may be formed on the fourth plate 40.

インクジェットヘッド１００の一側には、駆動部１９０に電圧を印加するための上部電極（図示せず）及び下部電極（図示せず）を結合することができる。   An upper electrode (not shown) and a lower electrode (not shown) for applying a voltage to the driving unit 190 may be coupled to one side of the inkjet head 100.

上述したノズル１１６、チャンバ１１４、リストリクタ１１３、及びリザーバ１１１を含むインクジェットヘッド１００は、それぞれの構成要素が形成されている第１プレート１０、第２プレート２０、第３プレート３０、及び第４プレート４０を積層することで形成できる。第１プレート１０、第２プレート２０、第３プレート３０、及び第４プレート４０は、シリコン基板であることができる。以下、本発明の一実施例によるインクジェットヘッド１００の製造方法を説明する。   The inkjet head 100 including the nozzle 116, the chamber 114, the restrictor 113, and the reservoir 111 described above includes the first plate 10, the second plate 20, the third plate 30, and the fourth plate on which the respective components are formed. 40 can be laminated. The first plate 10, the second plate 20, the third plate 30, and the fourth plate 40 may be silicon substrates. Hereinafter, a method for manufacturing the inkjet head 100 according to an embodiment of the present invention will be described.

図３は本発明の一実施例によるインクジェットヘッド１００製造方法を示す順序図である。図３に示すように、本発明の一実施例によるインクジェットヘッド１００の製造方法は、チャンバ１１４に隣接するインクジェットヘッド１００の一面に、焼結された圧電体４００を接合する工程（Ｓ１００）、チャンバ１１４の位置に対応して圧電体４００をダイシングし駆動部１９０を形成する工程（Ｓ２００）、及び隣り合う駆動部１９０間に残存する圧電体４００が除去されるようにインクジェットヘッド１００の一面をエッチングする工程（Ｓ３００）を含んでおり、インクジェットヘッド１００の駆動部１９０間に残存する圧電体４００が除去されることによりクロストークを低減でき、かつ薄型化された駆動部１９０を有するインクジェットヘッド１００を製造することができる。   FIG. 3 is a flowchart illustrating a method of manufacturing the inkjet head 100 according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 3, the method of manufacturing the inkjet head 100 according to an embodiment of the present invention includes a step of bonding a sintered piezoelectric body 400 to one surface of the inkjet head 100 adjacent to the chamber 114 (S100), the chamber The piezoelectric body 400 is diced corresponding to the position 114 to form the drive unit 190 (S200), and one surface of the inkjet head 100 is etched so that the piezoelectric body 400 remaining between the adjacent drive units 190 is removed. The step (S300) of removing the piezoelectric body 400 remaining between the drive units 190 of the inkjet head 100, thereby reducing the crosstalk and reducing the thickness of the inkjet head 100 having the drive unit 190. Can be manufactured.

図４及び図５は本発明の一実施例によるインクジェットヘッド１００を示す平面図である。図３を参照すると、ステップＳ１００で、図４に示すように、チャンバ１１４に隣接するインクジェットヘッド１００の一面に、焼結された圧電体４００を接合する。   4 and 5 are plan views showing an inkjet head 100 according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 3, in step S <b> 100, as shown in FIG. 4, the sintered piezoelectric body 400 is bonded to one surface of the inkjet head 100 adjacent to the chamber 114.

チャンバ１１４はインクジェットヘッド１００の内部に形成されており、チャンバ１１４に隣接するインクジェットヘッド１００の一面、具体的に、インクジェットヘッド１００の上面に、焼結された圧電体４００が接合されることができる。   The chamber 114 is formed inside the inkjet head 100, and the sintered piezoelectric body 400 can be bonded to one surface of the inkjet head 100 adjacent to the chamber 114, specifically, the upper surface of the inkjet head 100. .

焼結された圧電体４００はバルク（bulk）形態であって、バルク形態の圧電体４００がチャンバ１１４の位置に対応してインクジェットヘッド１００の上面に接合されることができる。圧電体４００は接着剤などを用いてインクジェットヘッド１００の上面に接合されてもよい。   The sintered piezoelectric body 400 is in a bulk form, and the bulk form piezoelectric body 400 may be bonded to the upper surface of the inkjet head 100 according to the position of the chamber 114. The piezoelectric body 400 may be bonded to the upper surface of the inkjet head 100 using an adhesive or the like.

ステップＳ２００で、図５に示すように、それぞれのチャンバ１１４の位置に対応して、隣り合って形成される駆動部１９０間に圧電体４００が残存するように圧電体４００をダイシングし駆動部１９０を形成する。上述したように、複数のチャンバ１１４はインクジェットヘッド１００の長手方向に並んで配列されており、ダイシング工程はそれぞれのチャンバ１１４ごとに圧電体４００が分離され駆動部１９０が形成されるように、圧電体４００を切断することができる。   In step S200, as shown in FIG. 5, the piezoelectric body 400 is diced so that the piezoelectric body 400 remains between the adjacent drive sections 190 corresponding to the positions of the respective chambers 114, and the drive section 190. Form. As described above, the plurality of chambers 114 are arranged side by side in the longitudinal direction of the inkjet head 100, and the dicing process is performed so that the piezoelectric body 400 is separated and the driving unit 190 is formed for each chamber 114. The body 400 can be cut.

図６は本発明の一実施例によるインクジェットヘッド１００を示す正断面図である。図６に示すように、ダイシング工程は、隣り合う駆動部１９０を分離形成するために１回行うことができ、これにより、隣り合う駆動部１９０間に壁（wall）形態の圧電体４００の残存物が形成されることを防止することができる。   FIG. 6 is a front sectional view showing an ink jet head 100 according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 6, the dicing process can be performed once in order to separate and form the adjacent driving units 190, so that the wall-shaped piezoelectric body 400 remains between the adjacent driving units 190. An object can be prevented from being formed.

ダイシング工程は、圧電体４００が完全に切断されない深さで行われることができる。これは、圧電体４００を完全に切断する際に第４プレート４０に加えられるストレスを最小化するためである。   The dicing process may be performed at a depth at which the piezoelectric body 400 is not completely cut. This is to minimize the stress applied to the fourth plate 40 when the piezoelectric body 400 is completely cut.

図７及び図８は本発明の一実施例によるインクジェットヘッド１００の一部を示す正断面図である。図７に示すように、ダイシング工程を経た隣り合う駆動部１９０間に残存する圧電体４００の厚さは、後述のエッチング工程により除去される駆動部１９０の厚さと同じであってもよい。これにより、隣り合う駆動部１９０間に残存する圧電体４００を除去すると共に所望の厚さを有する駆動部１９０を形成することができる。   7 and 8 are front sectional views showing a part of the inkjet head 100 according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 7, the thickness of the piezoelectric body 400 remaining between the adjacent drive units 190 that has undergone the dicing process may be the same as the thickness of the drive unit 190 that is removed by an etching process described later. As a result, it is possible to remove the piezoelectric body 400 remaining between the adjacent drive units 190 and form the drive unit 190 having a desired thickness.

ステップＳ３００で、図８に示すように、隣り合う駆動部１９０間に残存する圧電体４００が除去されるように、インクジェットヘッド１００の一面をエッチングする。エッチング工程は、例えば、湿式エッチング（wet etching）方式を行うことにより、隣り合う駆動部１９０間に残存する圧電体４００を除去することができ、これらが物理的に分離されるようにエッチング条件を調節することができる。エッチング液としては、圧電体４００をエッチングできる様々な溶液を適用でき、例えば１ＢＨＦ：２ＨＣｌ：４ＮＨ４Ｃｌ：４Ｈ２Ｏの組成を有する溶液を使用することができる。 In step S300, as shown in FIG. 8, one surface of the inkjet head 100 is etched so that the piezoelectric body 400 remaining between the adjacent drive units 190 is removed. In the etching process, for example, by performing a wet etching method, it is possible to remove the piezoelectric body 400 remaining between the adjacent driving units 190, and the etching conditions are set so that they are physically separated. Can be adjusted. As the etchant, various solutions that can etch the piezoelectric body 400 can be used. For example, a solution having a composition of 1BHF: 2HCl: 4NH 4 Cl: 4H 2 O can be used.

したがって、本発明の一実施例によるインクジェットヘッド１００の製造方法は、機械的方法であるダイシング工程の限界を、化学的方法であるエッチングで補完することにより、隣り合う駆動部１９０間を分離することができる。よって、第４プレート４０にストレスを加えることなく、クロストークの発生を防止でき、インクジェットヘッド１００の吐出特性を向上させることができる。   Accordingly, the method of manufacturing the inkjet head 100 according to an embodiment of the present invention separates adjacent driving units 190 by supplementing the limit of the dicing process, which is a mechanical method, with etching, which is a chemical method. Can do. Therefore, the occurrence of crosstalk can be prevented without applying stress to the fourth plate 40, and the ejection characteristics of the inkjet head 100 can be improved.

一方、エッチング工程は、インクジェットヘッド１００の一面全体にわたって行われることができ、インクジェットヘッド１００の一面に別途のエッチングレジストを形成する工程は省略可能である。したがって、隣り合う駆動部１９０間に残存する圧電体４００を除去すると共に駆動部１９０の厚さを低減することができる。   On the other hand, the etching process can be performed over the entire surface of the inkjet head 100, and a process of forming a separate etching resist on the one surface of the inkjet head 100 can be omitted. Therefore, it is possible to remove the piezoelectric body 400 remaining between the adjacent drive units 190 and to reduce the thickness of the drive unit 190.

結局、焼結されたバルク形態の圧電体４００を使用して薄型化された駆動部１９０を形成でき、インクジェットヘッド１００の駆動電圧を低減させ、インクジェットヘッド１００の周波数特性を向上させることができる。   As a result, the thinned drive unit 190 can be formed using the sintered bulk-shaped piezoelectric body 400, the drive voltage of the inkjet head 100 can be reduced, and the frequency characteristics of the inkjet head 100 can be improved.

以上、本発明を好ましい実施例に基づいて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施例に記載の範囲には限定されない。上記実施例に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。そのような変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。   As mentioned above, although this invention was demonstrated based on the preferable Example, the technical scope of this invention is not limited to the range as described in the said Example. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and improvements can be made to the above-described embodiments. It is apparent from the scope of the claims that the embodiments added with such changes or improvements can be included in the technical scope of the present invention.

特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、及び方法における動作、手順、工程、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「先ず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。   The execution order of each process such as operation, procedure, process, and stage in the apparatus and method shown in the claims, the description, and the drawings is clearly indicated as “before”, “in advance”, etc. It should be noted that, unless the output of the previous process is used in the subsequent process, it can be realized in any order. Even if the operation flow in the claims, the description, and the drawings is described using “first,” “next,” etc. for the sake of convenience, it means that it is essential to carry out in this order. It is not a thing.

１００ インクジェットヘッド
１１４ チャンバ
１１５ メンブレイン
１９０ 駆動部
４００ 圧電体 100 Inkjet head 114 Chamber 115 Membrane 190 Drive unit 400 Piezoelectric body

Claims (2)

インクが収容される複数のチャンバと、前記チャンバに圧力を提供する駆動部と、を含むインクジェットヘッドを製造する方法であって、
前記チャンバに隣接する前記インクジェットヘッドの一面に圧電体を形成する工程と、
前記チャンバの位置に対応して前記圧電体が残存するように、前記圧電体をダイシングして前記駆動部を形成する工程と、
互いに隣り合う前記駆動部の間に残存する前記圧電体が除去されるように、前記インクジェットヘッドの一面をエッチングする工程と、
を含むインクジェットヘッドの製造方法。 A method of manufacturing an ink jet head, comprising: a plurality of chambers in which ink is stored; and a driving unit that provides pressure to the chambers.
Forming a piezoelectric body on one surface of the inkjet head adjacent to the chamber;
Forming the driving unit by dicing the piezoelectric body so that the piezoelectric body remains corresponding to the position of the chamber;
Etching one surface of the inkjet head so that the piezoelectric body remaining between the drive units adjacent to each other is removed;
A method for manufacturing an ink-jet head comprising: 前記圧電体を形成する工程は、
焼結された前記圧電体を前記インクジェットヘッドの一面に接合することにより行われることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドの製造方法。 The step of forming the piezoelectric body includes
The method of manufacturing an ink jet head according to claim 1, wherein the method is performed by bonding the sintered piezoelectric body to one surface of the ink jet head.
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