JP2010092014A - Radiation sensitive coloring composition, color filter, and color liquid crystal display element - Google Patents

Radiation sensitive coloring composition, color filter, and color liquid crystal display element Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a radiation sensitive coloring composition which forms green pixels high in brightness and contrast without lowering the contrast over aging. <P>SOLUTION: The radiation sensitive coloring composition contains (A) a coloring agent, (B) an alkali-soluble polymer resin, (C) a polyfunctional monomer, (D) a radiation sensitive polymerization initiator, and (E) a solvent. It contains C.I. pigment green 58 as (A) the coloring agent, and two acetoxy groups as (E) the solvent. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、着色感放射線性組成物、カラーフィルタ及びカラー液晶表示素子に関わり、より詳しくは、透過型あるいは反射型のカラー液晶表示装置、カラー撮像管素子、有機EL表示素子、電子ペーパー等に用いられるカラーフィルタに有用な着色層の形成に用いられる感放射線性組成物、当該感放射線性組成物を用いて形成された着色層を備えるカラーフィルタ、並びに当該カラーフィルタを具備するカラー液晶表示素子に関する。   The present invention relates to a colored radiation-sensitive composition, a color filter, and a color liquid crystal display element. More specifically, the present invention relates to a transmissive or reflective color liquid crystal display device, a color imaging tube element, an organic EL display element, electronic paper, and the like. RADIATION-SENSITIVE COMPOSITION USED FOR FORMATION OF COLORED LAYER USEFUL FOR COLOR FILTER USED, COLOR FILTER HAVING COLORED LAYER FORMED USING THE RADIATION-SENSITIVE COMPOSITION, AND COLOR LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE HAVING THE COLOR FILTER About.

着色感放射線性組成物を用いてカラーフィルタを形成する方法として、基板上あるいは予め所望のパターンの遮光層を形成した基板上に、着色感放射線組成物の塗膜を形成して、所定のパターンを有するフォトマスクを介して放射線を照射(以下、「露光」という。)し、現像して未露光部を溶解除去し、その後ポストベークすることにより、各色の画素を得る方法(例えば、特許文献1、特許文献2参照。)が知られている。   As a method of forming a color filter using a colored radiation-sensitive composition, a coating film of a colored radiation-sensitive composition is formed on a substrate or a substrate on which a light-shielding layer having a desired pattern has been previously formed, and a predetermined pattern is formed. A method of obtaining pixels of each color by irradiating radiation (hereinafter referred to as “exposure”) through a photomask having, developing and dissolving and removing unexposed portions, and then post-baking (for example, patent documents) 1 and Patent Document 2).

このようなカラーフィルタを具備する液晶表示素子には高輝度化と色再現領域の拡大が求められており、そのためカラーフィルタについても近年ますます高い光透過率と高い色純度を有することが要求されている。
緑色画素については、輝度が高くかつ色再現領域が広いカラーフィルタを提供することができる材料として、ポリハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料を含有する顔料組成物が知られており注目されている(例えば、特許文献3参照)。しかしながら、ポリハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料を含有する顔料組成物は、コントラスト比を高めようとすると、コントラスト比が経時低下するという問題があった。
以上のような背景から、輝度およびコントラスト比の高い緑色画素を形成することができ、且つコントラスト比が経時低下しない感放射線性組成物の開発が強く求められている。
A liquid crystal display device having such a color filter is required to have higher brightness and an expanded color reproduction region. For this reason, color filters are required to have higher light transmittance and higher color purity in recent years. ing.
For green pixels, a pigment composition containing a polyhalogenated zinc phthalocyanine pigment is known as a material capable of providing a color filter having high luminance and a wide color reproduction region (for example, patents). Reference 3). However, the pigment composition containing the polyhalogenated zinc phthalocyanine pigment has a problem that the contrast ratio decreases with time when the contrast ratio is increased.
From the background as described above, there is a strong demand for the development of a radiation-sensitive composition that can form a green pixel having a high luminance and contrast ratio and that does not decrease with time.

特開平2−144502号公報JP-A-2-144502 特開平3−53201号公報JP-A-3-53201 特開2007−284589号公報JP 2007-284589 A

本発明の目的は、輝度およびコントラスト比の高い緑色画素を形成することができ、且つコントラスト比が経時低下しない感放射線性組成物を提供することにある。
更に本発明の目的は、前記感放射線性組成物から形成された緑色画素を備えてなるカラーフィルタ、および当該カラーフィルタを具備するカラー液晶表示素子を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a radiation-sensitive composition capable of forming a green pixel having a high luminance and contrast ratio and in which the contrast ratio does not decrease with time.
Furthermore, the objective of this invention is providing the color liquid crystal display element which comprises the color filter provided with the green pixel formed from the said radiation sensitive composition, and the said color filter.

斯かる実情に鑑み、本発明者らは、鋭意研究を行ったところ、意外にも、ポリハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料であるC.I.ピグメントグリーン58を、特定の溶剤と組み合わせて分散することで上記課題を解決することができることを見出し、本発明を完成した。   In view of such circumstances, the present inventors have conducted extensive research and surprisingly found that C.I. which is a polyhalogenated zinc phthalocyanine pigment. I. The present invention has been completed by finding that the above-mentioned problems can be solved by dispersing Pigment Green 58 in combination with a specific solvent.

即ち、本発明は、(A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)多官能性単量体、(D)感放射線性重合開始剤および(E)溶媒を含有する着色感放射線性組成物であって、(A)着色剤としてC.I.ピグメントグリーン58を含有し、かつ(E)溶媒として2個のアセトキシ基を有する溶媒を含有することを特徴とする着色感放射線性組成物を提供するものである。
本発明でいう「放射線」は、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等を含むものを意味する。
That is, the present invention relates to a colored radiation sensitive composition comprising (A) a colorant, (B) an alkali-soluble resin, (C) a polyfunctional monomer, (D) a radiation sensitive polymerization initiator, and (E) a solvent. A composition comprising (A) C.I. I. The present invention provides a colored radiation-sensitive composition containing Pigment Green 58 and (E) a solvent having two acetoxy groups as a solvent.
The “radiation” as used in the present invention means a substance including visible light, ultraviolet light, far ultraviolet light, electron beam, X-ray and the like.

また、本発明は、(A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)多官能性単量体、(D)感放射線性重合開始剤および(E)溶媒を含有する着色感放射線性組成物であって、(A)着色剤として臭素化塩素化亜鉛フタロシアニンを含有し、かつ(E)溶媒として2個のアセトキシ基を有する溶媒を含有することを特徴とする着色感放射線性組成物を提供するものである。
また、本発明は、C.I.ピグメントグリーン58および2個のアセトキシ基を有する溶媒を含有することを特徴とする着色剤分散液を提供するものである。
The present invention also relates to a colored radiation-sensitive composition comprising (A) a colorant, (B) an alkali-soluble resin, (C) a polyfunctional monomer, (D) a radiation-sensitive polymerization initiator, and (E) a solvent. A colored radiation-sensitive composition comprising (A) brominated chlorinated zinc phthalocyanine as a colorant and (E) a solvent having two acetoxy groups as a solvent. Is to provide.
The present invention also provides C.I. I. It is intended to provide a colorant dispersion characterized by containing Pigment Green 58 and a solvent having two acetoxy groups.

また、本発明は、該着色感放射線性組成物を用いて形成された緑色画素を備えてなるカラーフィルタ、及び該カラーフィルタを具備するカラー液晶表示素子をも提供するものである。   The present invention also provides a color filter including a green pixel formed using the colored radiation-sensitive composition, and a color liquid crystal display element including the color filter.

本発明の着色感放射線性組成物は、輝度およびコントラスト比の高い緑色画素を形成することができ、しかもコントラスト比が経時低下しない。
したがって、本発明の着色感放射線性組成物を用いて形成された緑色画素を備えてなるカラーフィルタは、例えば、透過型あるいは反射型のカラー液晶表示素子、カラー撮像管素子、カラーセンサー、有機EL表示素子、電子ペーパー等に極めて有用である。
The colored radiation-sensitive composition of the present invention can form green pixels with high brightness and contrast ratio, and the contrast ratio does not decrease with time.
Therefore, a color filter including a green pixel formed using the colored radiation-sensitive composition of the present invention includes, for example, a transmissive or reflective color liquid crystal display element, a color imaging tube element, a color sensor, and an organic EL. It is extremely useful for display elements, electronic paper, and the like.

本発明の着色感放射線性組成物(以下、単に「感放射線性組成物」ということがある。)において、(A)着色剤は、C.I.ピグメントグリーン58を含有するものである。C.I.ピグメントグリーン58は、臭素化塩素化亜鉛フタロシアニンであり、下記式(1)で表される構造であることが好ましい。   In the colored radiation-sensitive composition of the present invention (hereinafter sometimes simply referred to as “radiation-sensitive composition”), (A) the colorant is C.I. I. Pigment Green 58 is contained. C. I. Pigment Green 58 is brominated chlorinated zinc phthalocyanine and preferably has a structure represented by the following formula (1).

Figure 2010092014
Figure 2010092014

(式(1)において、Xは、相互に独立して、水素原子、塩素原子または臭素原子を示し、全てのXのうち10〜15個は臭素原子、1〜6個は塩素原子である。)
本発明の感放射線性組成物は、C.I.ピグメントグリーン58以外の他の着色剤をさらに含有することができる。他の着色剤としては、特に限定されるものでなく、顔料、染料及び天然色素の何れをも使用することができるが、カラーフィルタには高純度で高光透過性の発色と耐熱性が求められることから、有機顔料が好ましい。
本発明において、C.I.ピグメントグリーン58の含有割合は、輝度の高い緑色画素を得るという意味において、全着色剤中、好ましくは20〜100質量%、特に好ましくは35〜75質量%である。
前記他の着色剤としては、例えば、カラーインデックスにおいてピグメントに分類されている化合物、具体的には、下記のようなカラーインデックス(C.I.)名が付されている顔料を挙げることができる。
(In Formula (1), X shows a hydrogen atom, a chlorine atom, or a bromine atom mutually independently, 10-15 pieces of all X are a bromine atom, and 1-6 are a chlorine atom. )
The radiation-sensitive composition of the present invention includes C.I. I. Other colorants other than CI Pigment Green 58 can be further contained. Other colorants are not particularly limited, and any of pigments, dyes, and natural pigments can be used, but color filters are required to have high purity and high light transmission color and heat resistance. Therefore, an organic pigment is preferable.
In the present invention, C.I. I. The content ratio of Pigment Green 58 is preferably 20 to 100% by mass, and particularly preferably 35 to 75% by mass in the total colorant in the sense of obtaining a green pixel with high luminance.
Examples of the other colorant include compounds classified as pigments in the color index, specifically, pigments having the following color index (CI) names. .

C.I.ピグメントグリーン7、C.I.ピグメントグリーン36;
C.I.ピグメントイエロー12、C.I.ピグメントイエロー13、C.I.ピグメントイエロー14、C.I.ピグメントイエロー17、C.I.ピグメントイエロー20、C.I.ピグメントイエロー24、C.I.ピグメントイエロー31、C.I.ピグメントイエロー55、C.I.ピグメントイエロー83、C.I.ピグメントイエロー93、C.I.ピグメントイエロー109、C.I.ピグメントイエロー110、C.I.ピグメントイエロー138、C.I.ピグメントイエロー139、C.I.ピグメントイエロー150、C.I.ピグメントイエロー153、C.I.ピグメントイエロー154、C.I.ピグメントイエロー155、C.I.ピグメントイエロー166、C.I.ピグメントイエロー168、C.I.ピグメントイエロー180、C.I.ピグメントイエロー211、C.I.ピグメントイエロー219;
C. I. Pigment green 7, C.I. I. Pigment green 36;
C. I. Pigment yellow 12, C.I. I. Pigment yellow 13, C.I. I. Pigment yellow 14, C.I. I. Pigment yellow 17, C.I. I. Pigment yellow 20, C.I. I. Pigment yellow 24, C.I. I. Pigment yellow 31, C.I. I. Pigment yellow 55, C.I. I. Pigment yellow 83, C.I. I. Pigment yellow 93, C.I. I. Pigment yellow 109, C.I. I. Pigment yellow 110, C.I. I. Pigment yellow 138, C.I. I. Pigment yellow 139, C.I. I. Pigment yellow 150, C.I. I. Pigment yellow 153, C.I. I. Pigment yellow 154, C.I. I. Pigment yellow 155, C.I. I. Pigment yellow 166, C.I. I. Pigment yellow 168, C.I. I. Pigment yellow 180, C.I. I. Pigment yellow 211, C.I. I. Pigment yellow 219;

C.I.ピグメントオレンジ5、C.I.ピグメントオレンジ13、C.I.ピグメントオレンジ14、C.I.ピグメントオレンジ24、C.I.ピグメントオレンジ34、C.I.ピグメントオレンジ36、C.I.ピグメントオレンジ38、C.I.ピグメントオレンジ40、C.I.ピグメントオレンジ43、C.I.ピグメントオレンジ46、C.I.ピグメントオレンジ49、C.I.ピグメントオレンジ61、C.I.ピグメントオレンジ64、C.I.ピグメントオレンジ68、C.I.ピグメントオレンジ70、C.I.ピグメントオレンジ71、C.I.ピグメントオレンジ72、C.I.ピグメントオレンジ73、C.I.ピグメントオレンジ74;   C. I. Pigment orange 5, C.I. I. Pigment orange 13, C.I. I. Pigment orange 14, C.I. I. Pigment orange 24, C.I. I. Pigment orange 34, C.I. I. Pigment orange 36, C.I. I. Pigment orange 38, C.I. I. Pigment orange 40, C.I. I. Pigment orange 43, C.I. I. Pigment orange 46, C.I. I. Pigment orange 49, C.I. I. Pigment orange 61, C.I. I. Pigment orange 64, C.I. I. Pigment orange 68, C.I. I. Pigment orange 70, C.I. I. Pigment orange 71, C.I. I. Pigment orange 72, C.I. I. Pigment orange 73, C.I. I. Pigment orange 74;

C.I.ピグメントレッド1、C.I.ピグメントレッド2、C.I.ピグメントレッド5、C.I.ピグメントレッド17、C.I.ピグメントレッド31、C.I.ピグメントレッド32、C.I.ピグメントレッド41、C.I.ピグメントレッド122、C.I.ピグメントレッド123、C.I.ピグメントレッド144、C.I.ピグメントレッド149、C.I.ピグメントレッド166、C.I.ピグメントレッド168、C.I.ピグメントレッド170、C.I.ピグメントレッド171、C.I.ピグメントレッド176、C.I.ピグメントレッド177、C.I.ピグメントレッド178、C.I.ピグメントレッド179、C.I.ピグメントレッド180、C.I.ピグメントレッド185、C.I.ピグメントレッド187、C.I.ピグメントレッド202、C.I.ピグメントレッド206、C.I.ピグメントレッド207、C.I.ピグメントレッド209、C.I.ピグメントレッド214、C.I.ピグメントレッド220、C.I.ピグメントレッド221、C.I.ピグメントレッド224、C.I.ピグメントレッド242、C.I.ピグメントレッド243、C.I.ピグメントレッド254、C.I.ピグメントレッド255、C.I.ピグメントレッド262、C.I.ピグメントレッド264、C.I.ピグメントレッド272。
これら他の着色剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
C. I. Pigment red 1, C.I. I. Pigment red 2, C.I. I. Pigment red 5, C.I. I. Pigment red 17, C.I. I. Pigment red 31, C.I. I. Pigment red 32, C.I. I. Pigment red 41, C.I. I. Pigment red 122, C.I. I. Pigment red 123, C.I. I. Pigment red 144, C.I. I. Pigment red 149, C.I. I. Pigment red 166, C.I. I. Pigment red 168, C.I. I. Pigment red 170, C.I. I. Pigment red 171, C.I. I. Pigment red 176, C.I. I. Pigment red 177, C.I. I. Pigment red 178, C.I. I. Pigment red 179, C.I. I. Pigment red 180, C.I. I. Pigment red 185, C.I. I. Pigment red 187, C.I. I. Pigment red 202, C.I. I. Pigment red 206, C.I. I. Pigment red 207, C.I. I. Pigment red 209, C.I. I. Pigment red 214, C.I. I. Pigment red 220, C.I. I. Pigment red 221, C.I. I. Pigment red 224, C.I. I. Pigment red 242, C.I. I. Pigment red 243, C.I. I. Pigment red 254, C.I. I. Pigment red 255, C.I. I. Pigment red 262, C.I. I. Pigment red 264, C.I. I. Pigment Red 272.
These other colorants can be used alone or in admixture of two or more.

これら他の着色剤のうち、緑色の画素を形成するにあたっては、C.I.ピグメントグリーン7、C.I.ピグメントグリーン36、C.I.ピグメントイエロー138、C.I.ピグメントイエロー139、C.I.ピグメントイエロー150、C.I.ピグメントイエロー180、C.I.ピグメントイエロー219等が好ましい。   Among these other colorants, C.I. I. Pigment green 7, C.I. I. Pigment green 36, C.I. I. Pigment yellow 138, C.I. I. Pigment yellow 139, C.I. I. Pigment yellow 150, C.I. I. Pigment yellow 180, C.I. I. Pigment Yellow 219 and the like are preferable.

本発明において、C.I.ピグメントグリーン58および他の着色剤は、必要に応じて、再結晶法、再沈殿法、溶剤洗浄法、昇華法、真空加熱法や、これらの組み合わせ等により精製して使用することができる。また、C.I.ピグメントグリーン58および他の着色剤は、所望により、その粒子表面をポリマーで改質して使用することができる。顔料の粒子表面を改質するポリマーとしては、例えば特開平8−259876号公報に記載されたポリマーや、市販の各種の顔料分散用のポリマーまたはオリゴマーなどを挙げることができる。
本発明において、(A)着色剤の含有割合は、輝度および色純度の高い緑色画素を形成するという意味において、全固形分中、好ましくは5〜70質量%、特に好ましくは5〜60質量%である。ここで固形分とは、後述する溶媒以外の成分である。
In the present invention, C.I. I. Pigment Green 58 and other colorants can be purified and used by recrystallization method, reprecipitation method, solvent washing method, sublimation method, vacuum heating method, or a combination thereof, if necessary. In addition, C.I. I. Pigment Green 58 and other colorants can be used by modifying the particle surface with a polymer, if desired. Examples of the polymer that modifies the particle surface of the pigment include the polymers described in JP-A-8-259876 and various commercially available polymers or oligomers for dispersing pigments.
In the present invention, the content ratio of (A) the colorant is preferably 5 to 70% by mass, particularly preferably 5 to 60% by mass in the total solid content in the sense that a green pixel having high luminance and color purity is formed. It is. Here, solid content is components other than the solvent mentioned later.

本発明の感放射線性組成物に含有される(B)アルカリ可溶性樹脂は、着色層を形成する際の現像処理工程において用いられるアルカリ現像液に対して可溶性を有するものであれば、特に限定されるものではないが、通常、カルボキシル基、フェノール性水酸基等の酸性官能基を有する重合体である。なかでも、カルボキシル基を有する重合体を含有するものが好ましく、特に、1個以上のカルボキシル基を有するエチレン性不飽和単量体(以下、「カルボキシル基含有不飽和単量体」ということがある。)と他の共重合可能なエチレン性不飽和単量体(以下、「共重合性不飽和単量体」ということがある。)との共重合体(以下、「カルボキシル基含有共重合体」ということがある。)が好ましい。   The (B) alkali-soluble resin contained in the radiation-sensitive composition of the present invention is particularly limited as long as it is soluble in the alkali developer used in the development processing step when forming the colored layer. Although not intended, it is usually a polymer having an acidic functional group such as a carboxyl group or a phenolic hydroxyl group. Among them, those containing a polymer having a carboxyl group are preferable, and in particular, an ethylenically unsaturated monomer having one or more carboxyl groups (hereinafter, referred to as “carboxyl group-containing unsaturated monomer”). ) And other copolymerizable ethylenically unsaturated monomers (hereinafter sometimes referred to as “copolymerizable unsaturated monomers”) (hereinafter “carboxyl group-containing copolymers”). Is sometimes preferred).

カルボキシル基含有不飽和単量体としては、例えば、
(メタ)アクリル酸、クロトン酸、α−クロルアクリル酸、桂皮酸の如き不飽和モノカルボン酸;
マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコン酸、メサコン酸の如き不飽和ジカルボン酸またはその無水物;
こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕、フタル酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕の如き2価以上の多価カルボン酸のモノ〔(メタ)アクリロイロキシアルキル〕エステル;
ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレートの如き両末端にカルボキシ基と水酸基とを有するポリマーのモノ(メタ)アクリレート等を挙げることができる。
前記カルボキシル基含有不飽和単量体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
本発明において、カルボキシル基含有不飽和単量体としては、(メタ)アクリル酸、こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート等が好ましく、特に(メタ)アクリル酸が好ましい。
これらのカルボキシル基含有不飽和単量体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
As the carboxyl group-containing unsaturated monomer, for example,
Unsaturated carboxylic acids such as (meth) acrylic acid, crotonic acid, α-chloroacrylic acid, cinnamic acid;
Unsaturated dicarboxylic acids such as maleic acid, maleic anhydride, fumaric acid, itaconic acid, itaconic anhydride, citraconic acid, citraconic anhydride, mesaconic acid or anhydrides thereof;
Mono [(meth) acryloyloxyalkyl] of polyvalent carboxylic acids such as succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] and phthalic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] ester;
Examples thereof include mono (meth) acrylates of polymers having a carboxy group and a hydroxyl group at both ends, such as ω-carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate.
The said carboxyl group-containing unsaturated monomer can be used individually or in mixture of 2 or more types.
In the present invention, the carboxyl group-containing unsaturated monomer is preferably (meth) acrylic acid, succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl], ω-carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate, Particularly preferred is (meth) acrylic acid.
These carboxyl group-containing unsaturated monomers can be used alone or in admixture of two or more.

カルボキシル基含有共重合体において、カルボキシル基含有不飽和単量体の共重合割合は、好ましくは5〜50質量%、さらに好ましくは10〜40質量%である。この場合、該共重合割合が少なすぎると、得られる感放射線性組成物のアルカリ現像液に対する溶解性が低下する傾向があり、一方多すぎると、アルカリ現像液に対する溶解性が過大となり、アルカリ現像液により現像する際に、画素の基板からの脱落や画素表面の膜荒れを来たしやすくなる傾向がある。   In the carboxyl group-containing copolymer, the copolymerization ratio of the carboxyl group-containing unsaturated monomer is preferably 5 to 50% by mass, and more preferably 10 to 40% by mass. In this case, if the copolymerization ratio is too small, the solubility of the resulting radiation-sensitive composition in an alkaline developer tends to decrease, while if too large, the solubility in an alkaline developer becomes excessive and alkali development is caused. When developing with a liquid, the pixel tends to drop off from the substrate or the surface of the pixel becomes rough.

また、共重合性不飽和単量体としては、例えば、
マレイミド:
N−フェニルマレイミド、N−o−ヒドロキシフェニルマレイミド、N−m−ヒドロキシフェニルマレイミド、N−p−ヒドロキシフェニルマレイミド、N−ベンジルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、N−スクシンイミジル−3−マレイミドベンゾエート、N−スクシンイミジル−4−マレイミドブチレート、N−スクシンイミジル−6−マレイミドカプロエート、N−スクシンイミジル−3−マレイミドプロピオネート、N−(アクリジニル)マレイミドの如きN−位置換マレイミド;
スチレン、α−メチルスチレン、o−ビニルトルエン、m−ビニルトルエン、p−ビニルトルエン、p−クロルスチレン、o−メトキシスチレン、m−メトキシスチレン、p−メトキシスチレン、o−ビニルフェノール、m−ビニルフェノール、p−ビニルフェノール、p−ヒドロキシ−α−メチルスチレン、o−ビニルベンジルメチルエーテル、m−ビニルベンジルメチルエーテル、p−ビニルベンジルメチルエーテル、o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテルの如き芳香族ビニル化合物;
インデン、1−メチルインデンの如きインデン類;
Examples of the copolymerizable unsaturated monomer include:
Maleimide:
N-phenylmaleimide, N-o-hydroxyphenylmaleimide, Nm-hydroxyphenylmaleimide, Np-hydroxyphenylmaleimide, N-benzylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide, N-succinimidyl-3-maleimidobenzoate, N- N-substituted maleimides such as succinimidyl-4-maleimidobutyrate, N-succinimidyl-6-maleimidocaproate, N-succinimidyl-3-maleimidopropionate, N- (acridinyl) maleimide;
Styrene, α-methylstyrene, o-vinyltoluene, m-vinyltoluene, p-vinyltoluene, p-chlorostyrene, o-methoxystyrene, m-methoxystyrene, p-methoxystyrene, o-vinylphenol, m-vinyl Phenol, p-vinylphenol, p-hydroxy-α-methylstyrene, o-vinylbenzylmethyl ether, m-vinylbenzylmethyl ether, p-vinylbenzylmethyl ether, o-vinylbenzylglycidyl ether, m-vinylbenzylglycidyl ether , Aromatic vinyl compounds such as p-vinylbenzyl glycidyl ether;
Indenes such as indene and 1-methylindene;

メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、n−プロピル(メタ)アクリレート、i−プロピル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、i−ブチル(メタ)アクリレート、sec−ブチル(メタ)アクリレート、t−ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、アリル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、2−メトキシエチル(メタ)アクリレート、2−フェノキシエチル(メタ)アクリレート、メトキシジエチレングルコール(メタ)アクリレート、メトキシトリエチレングルコール(メタ)アクリレート、メトキシプロピレングルコール(メタ)アクリレート、メトキシジプロピレングルコール(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピル(メタ)アクリレート、グリセロールモノ(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシフェニル(メタ)アクリレート、パラクミルフェノールのエチレンオキサイド変性(メタ)アクリレートの如き不飽和カルボン酸エステル; Methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-propyl (meth) acrylate, i-propyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, i-butyl (meth) acrylate, sec-butyl (meth) Acrylate, t-butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 3-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2-hydroxybutyl ( (Meth) acrylate, 3-hydroxybutyl (meth) acrylate, 4-hydroxybutyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate 2-methoxyethyl (meth) acrylate, 2-phenoxyethyl (meth) acrylate, methoxydiethylene glycol (meth) acrylate, methoxytriethylene glycol (meth) acrylate, methoxypropylene glycol (meth) acrylate, methoxydi Propylene glycol (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl (meth) acrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl (meth) acrylate, Unsaturated carboxylic acid esters such as glycerol mono (meth) acrylate, 4-hydroxyphenyl (meth) acrylate, ethylene oxide modified (meth) acrylate of paracumylphenol;

グリシジル(メタ)アクリレートの如き不飽和カルボン酸グリシジルエステル;
酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、安息香酸ビニルの如きカルボン酸ビニルエステル;
ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、アリルグリシジルエーテルの如き他の不飽和エーテル;
(メタ)アクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデンの如きシアン化ビニル化合物;
(メタ)アクリルアミド、α−クロロアクリルアミド、N−2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリルアミドの如き不飽和アミド;
1,3−ブタジエン、イソプレン、クロロプレンの如き脂肪族共役ジエン;
ポリスチレン、ポリメチル(メタ)アクリレート、ポリ−n−ブチル(メタ)アクリレート、ポリシロキサンの如き重合体分子鎖の末端にモノ(メタ)アクリロイル基を有するマクロモノマー等を挙げることができる。
これらの共重合性不飽和単量体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Unsaturated carboxylic acid glycidyl esters such as glycidyl (meth) acrylate;
Carboxylic acid vinyl esters such as vinyl acetate, vinyl propionate, vinyl butyrate, vinyl benzoate;
Other unsaturated ethers such as vinyl methyl ether, vinyl ethyl ether, allyl glycidyl ether;
Vinyl cyanide compounds such as (meth) acrylonitrile, α-chloroacrylonitrile, vinylidene cyanide;
Unsaturated amides such as (meth) acrylamide, α-chloroacrylamide, N-2-hydroxyethyl (meth) acrylamide;
Aliphatic conjugated dienes such as 1,3-butadiene, isoprene, chloroprene;
Examples thereof include a macromonomer having a mono (meth) acryloyl group at the end of a polymer molecular chain such as polystyrene, polymethyl (meth) acrylate, poly-n-butyl (meth) acrylate, and polysiloxane.
These copolymerizable unsaturated monomers can be used alone or in admixture of two or more.

本発明において、共重合性不飽和単量体としては、N−位置換マレイミド、芳香族ビニル化合物、不飽和カルボン酸エステル、重合体分子鎖の末端にモノ(メタ)アクリロイル基を有するマクロモノマーよりなる群から選ばれる少なくとも1種を含有するものが好ましく、さらにはN−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、スチレン、α−メチルスチレン、p−ヒドロキシ−α−メチルスチレン、メチル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、アリル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、グリセロールモノ(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシフェニル(メタ)アクリレート、パラクミルフェノールのエチレンオキサイド変性(メタ)アクリレート、ポリスチレンマクロモノマー、ポリメチルメタクリレートマクロモノマーよりなる群から選ばれる少なくとも1種を含有するものが好ましい。   In the present invention, as the copolymerizable unsaturated monomer, an N-substituted maleimide, an aromatic vinyl compound, an unsaturated carboxylic acid ester, or a macromonomer having a mono (meth) acryloyl group at the end of the polymer molecular chain. Those containing at least one selected from the group consisting of N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide, styrene, α-methylstyrene, p-hydroxy-α-methylstyrene, methyl (meth) acrylate, n -Butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, glycerol mono (meth) acrylate, 4-hydroxyphenyl (meth) Acrylate, paracumylfe What contains at least 1 sort (s) chosen from the group which consists of an ethylene oxide modified | denatured (meth) acrylate of a polyol, a polystyrene macromonomer, and a polymethylmethacrylate macromonomer is preferable.

また、本発明においては、例えば、特開平5−19467号公報、特開平6−230212号公報、特開2008−181095号公報等に開示されているように、側鎖に(メタ)アクリロイル基等の重合性不飽和結合を有するカルボキシル基含有共重合体を、アルカリ可溶性樹脂として使用することもできる。   In the present invention, for example, as disclosed in JP-A-5-19467, JP-A-6-230212, JP-A-2008-181095, etc., a (meth) acryloyl group or the like is present in the side chain. The carboxyl group-containing copolymer having a polymerizable unsaturated bond can also be used as an alkali-soluble resin.

本発明におけるアルカリ可溶性樹脂のゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC、溶出溶媒:テトラヒドロフラン)で測定したポリスチレン換算重量平均分子量(以下、「Mw」ともいう。)は、通常、1,000〜45,000、好ましくは3,000〜20,000である。Mwが小さすぎると、得られる被膜の残膜率が低下したり、パターン形状、耐熱性が損なわれたり、また電気特性が悪化するおそれがあり、一方大きすぎると、解像度が低下したり、パターン形状が損なわれたり、またスリットノズル方式による塗布時に乾燥異物が発生し易くなるおそれがある。
また、本発明におけるアルカリ可溶性樹脂のMwと、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC、溶出溶媒:テトラヒドロフラン)で測定したポリスチレン換算数平均分子量(以下、「Mn」という。)の比(Mw/Mn)は、好ましくは1.0〜5.0、より好ましくは1.0〜3.0である。
The weight average molecular weight in terms of polystyrene (hereinafter also referred to as “Mw”) measured by gel permeation chromatography (GPC, elution solvent: tetrahydrofuran) of the alkali-soluble resin in the present invention is usually 1,000 to 45,000. Preferably it is 3,000-20,000. If the Mw is too small, the remaining film ratio of the resulting coating may decrease, the pattern shape and heat resistance may be impaired, and the electrical characteristics may deteriorate. On the other hand, if the Mw is too large, the resolution may be reduced. There is a possibility that the shape is damaged, and that dry foreign matter is likely to be generated at the time of application by the slit nozzle method.
In addition, the ratio (Mw / Mn) of Mw of the alkali-soluble resin in the present invention to the polystyrene-equivalent number average molecular weight (hereinafter referred to as “Mn”) measured by gel permeation chromatography (GPC, elution solvent: tetrahydrofuran) is , Preferably 1.0 to 5.0, more preferably 1.0 to 3.0.

本発明におけるアルカリ可溶性樹脂は、例えば、(メタ)アクリル酸等の不飽和単量体を、適当な溶媒中、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)、2,2’−アゾビス(4−メトキシ−2,4−ジメチルバレロニトリル)等のラジカル重合開始剤の存在下で重合することにより製造することができる。   The alkali-soluble resin in the present invention includes, for example, an unsaturated monomer such as (meth) acrylic acid, 2,2′-azobisisobutyronitrile, 2,2′-azobis (2, 4-dimethylvaleronitrile) and 2,2′-azobis (4-methoxy-2,4-dimethylvaleronitrile) can be produced by polymerization in the presence of a radical polymerization initiator.

本発明におけるアルカリ可溶性樹脂は、上記のように不飽和単量体をラジカル重合した後に、極性の異なる有機溶媒を2種以上用いる再沈殿法を経て精製することができる。即ち、重合後の良溶媒中の溶液を、必要に応じてろ過あるいは遠心分離などによって不溶な不純物を除去したのち、大量(通常は、ポリマー溶液体積の5〜10倍量)の沈殿剤(貧溶媒)中に注いで、共重合体を再沈殿させることにより精製する。その際、ポリマー溶液中に残っている不純物のうち、沈殿剤に可溶な不純物は液相に残り、精製されたアルカリ可溶性樹脂から分離される。
この再沈殿法に使用される良溶媒/沈殿剤の組み合わせとしては、例えば、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート/n−ヘキサン、メチルエチルケトン/n−ヘキサン、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート/n−ヘプタン、メチルエチルケトン/n−ヘプタン等を挙げることができる。
The alkali-soluble resin in the present invention can be purified through a reprecipitation method using two or more organic solvents having different polarities after radical polymerization of an unsaturated monomer as described above. That is, after removing insoluble impurities from the solution in a good solvent after polymerization by filtration or centrifugation as necessary, a large amount (usually 5 to 10 times the volume of the polymer solution) of a precipitant (poor) Purification by pouring into the solvent) and reprecipitation of the copolymer. At that time, of the impurities remaining in the polymer solution, impurities soluble in the precipitant remain in the liquid phase and are separated from the purified alkali-soluble resin.
Examples of the good solvent / precipitant combination used in this reprecipitation method include diethylene glycol monomethyl ether acetate / n-hexane, methyl ethyl ketone / n-hexane, diethylene glycol monomethyl ether acetate / n-heptane, and methyl ethyl ketone / n-heptane. Can be mentioned.

また、本発明におけるアルカリ可溶性樹脂は、その共重合成分となる各不飽和単量体を、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)、2,2’−アゾビス(4−メトキシ−2,4−ジメチルバレロニトリル)等のラジカル重合開始剤、およびピラゾール−1−ジチオカルボン酸シアノ(ジメチル)メチルエステル、ピラゾール−1−ジチオカルボン酸ベンジルエステル、テトラエチルチウラムジスルフィド、ビス(ピラゾール−1−イルチオカルボニル)ジスルフィド、ビス(3−メチル−ピラゾール−1−イルチオカルボニル)ジスルフィド、ビス(4−メチル−ピラゾール−1−イルチオカルボニル)ジスルフィド、ビス(5−メチル−ピラゾール−1−イルチオカルボニル)ジスルフィド、ビス(3,4,5−トリメチル−ピラゾール−1−イルチオカルボニル)ジスルフィド、ビス(ピロール−1−イルチオカルボニル)ジスルフィド、ビスチオベンゾイルジスルフィド等のイニファターとして作用する分子量制御剤の存在下、不活性溶媒中で、反応温度を、通常、0〜150℃、好ましくは50〜120℃として、リビングラジカル重合することにより製造することができる。   In addition, the alkali-soluble resin in the present invention comprises 2,2′-azobisisobutyronitrile, 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) as the unsaturated monomer as the copolymer component. ), Radical polymerization initiators such as 2,2′-azobis (4-methoxy-2,4-dimethylvaleronitrile), and pyrazole-1-dithiocarboxylic acid cyano (dimethyl) methyl ester, pyrazole-1-dithiocarboxylic acid Benzyl ester, tetraethylthiuram disulfide, bis (pyrazol-1-ylthiocarbonyl) disulfide, bis (3-methyl-pyrazol-1-ylthiocarbonyl) disulfide, bis (4-methyl-pyrazol-1-ylthiocarbonyl) disulfide Bis (5-methyl-pyrazol-1-ylthiocarbonyl) di In the presence of a molecular weight regulator that acts as an iniferter such as rufide, bis (3,4,5-trimethyl-pyrazol-1-ylthiocarbonyl) disulfide, bis (pyrrol-1-ylthiocarbonyl) disulfide, bisthiobenzoyl disulfide In the inert solvent, the reaction temperature is usually 0 to 150 ° C., preferably 50 to 120 ° C., and can be produced by living radical polymerization.

さらに、本発明におけるアルカリ可溶性樹脂は、その共重合成分となる各不飽和単量体を、上記ラジカル重合開始剤、および連鎖移動剤として作用する多価チオール化合物の存在下、適当な溶媒中でラジカル重合することにより製造することができる。ここで、多価チオール化合物とは、1分子中に2個以上のチオール基を有する化合物をいい、例えば、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトプロピオネート)、テトラエチレングリコールビス(3−メルカプトプロピオネート)、ジペンタエリスリトールヘキサキス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(チオグリコレート)、1,4―ビス(3−メルカプトブチリルオキシ)ブタン、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)、1,3,5,−トリス(3−メルカブトブチルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン等を挙げることができる。   Furthermore, the alkali-soluble resin in the present invention is prepared by mixing each unsaturated monomer serving as a copolymerization component in a suitable solvent in the presence of the radical polymerization initiator and a polyvalent thiol compound that acts as a chain transfer agent. It can be produced by radical polymerization. Here, the polyvalent thiol compound means a compound having two or more thiol groups in one molecule, for example, trimethylolpropane tris (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopropio). Nate), tetraethylene glycol bis (3-mercaptopropionate), dipentaerythritol hexakis (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tetrakis (thioglycolate), 1,4-bis (3-mercaptobutyryl) Oxy) butane, pentaerythritol tetrakis (3-mercaptobutyrate), 1,3,5, -tris (3-mercaptobutyloxyethyl) -1,3,5-triazine-2,4,6 (1H, 3H , 5H) -trione and the like.

本発明において、(B)アルカリ可溶性樹脂の含有量は、(A)着色剤100質量部に対して、通常、10〜1,000質量部、好ましくは20〜500質量部である。この場合、アルカリ可溶性樹脂の含有量が少なすぎると、例えば、アルカリ現像性が低下したり、未露光部の基板上あるいは遮光層上に残渣や地汚れが発生するおそれがあり、一方多すぎると、相対的に着色剤濃度が低下するため、薄膜として目的とする色濃度を達成することが困難となるおそれがある。   In this invention, content of (B) alkali-soluble resin is 10-1,000 mass parts normally with respect to 100 mass parts of (A) coloring agents, Preferably it is 20-500 mass parts. In this case, if the content of the alkali-soluble resin is too small, for example, the alkali developability may be reduced, or a residue or background stain may occur on the unexposed portion of the substrate or on the light shielding layer. Since the colorant concentration is relatively lowered, it may be difficult to achieve the target color density as a thin film.

本発明における(C)多官能性単量体は、2個以上の重合性不飽和結合を有する単量体である。
このような多官能性単量体としては、例えば、
エチレングリコール、プロピレングリコールの如きアルキレングリコールのジ(メタ)アクリレート;
ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコールの如きポリアルキレングリコールのジ(メタ)アクリレート;
グリセリン、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトールの如き3価以上の多価アルコールのポリ(メタ)アクリレートやそのジカルボン酸変性物;
ポリエステル、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、アルキド樹脂、シリコーン樹脂、スピラン樹脂の如きオリゴ(メタ)アクリレート;
両末端ヒドロキシポリ−1,3−ブタジエン、両末端ヒドロキシポリイソプレン、両末端ヒドロキシポリカプロラクトンの如き両末端ヒドロキシル重合体のジ(メタ)アクリレート;
トリス〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕フォスフェート、イソシアヌル酸エチレンオキシド変性トリアクリレート、ウレタン構造を有するポリ(メタ)アクリレート、カプロラクトン構造を有するポリ(メタ)アクリレート
等を挙げることができる。
The (C) polyfunctional monomer in the present invention is a monomer having two or more polymerizable unsaturated bonds.
As such a polyfunctional monomer, for example,
Di (meth) acrylates of alkylene glycols such as ethylene glycol and propylene glycol;
Di (meth) acrylates of polyalkylene glycols such as polyethylene glycol and polypropylene glycol;
Poly (meth) acrylates of trihydric or higher polyhydric alcohols such as glycerin, trimethylolpropane, pentaerythritol, dipentaerythritol and their dicarboxylic acid modified products;
Oligo (meth) acrylates such as polyester, epoxy resin, urethane resin, alkyd resin, silicone resin, spirane resin;
Di (meth) acrylates of both end hydroxyl polymers such as both end hydroxypoly-1,3-butadiene, both end hydroxypolyisoprene, both end hydroxypolycaprolactone;
Examples include tris [2- (meth) acryloyloxyethyl] phosphate, isocyanuric acid ethylene oxide-modified triacrylate, poly (meth) acrylate having a urethane structure, poly (meth) acrylate having a caprolactone structure, and the like.

これらの多官能性単量体のうち、3価以上の多価アルコールのポリ(メタ)アクリレート類やそれらのジカルボン酸変性物、ウレタン構造を有するポリ(メタ)アクリレート、並びにカプロラクトン構造を有するポリ(メタ)アクリレートが好ましい。3価以上の多価アルコールのポリ(メタ)アクリレート類やそれらのジカルボン酸変性物としては、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレートとこはく酸とのモノエステル化物、ペンタエリスリトールトリメタクリレートとこはく酸とのモノエステル化物、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとこはく酸とのモノエステル化物、ジペンタエリスリトールペンタメタアクリレートとこはく酸とのモノエステル化物等が好ましく、特に、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレートとこはく酸とのモノエステル化物およびジペンタエリスリトールペンタアクリレートとこはく酸とのモノエステル化物が、着色層の強度が高く、着色層の表面平滑性に優れ、かつ未露光部の基板上および遮光層上に地汚れ、膜残り等を発生し難い点で好ましい。
前記多官能性単量体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Among these polyfunctional monomers, poly (meth) acrylates of trihydric or higher polyhydric alcohols and their dicarboxylic acid-modified products, poly (meth) acrylates having a urethane structure, and poly (meth) acrylates having a caprolactone structure (Meth) acrylate is preferred. Examples of poly (meth) acrylates of trihydric or higher polyhydric alcohols and their modified dicarboxylic acids include trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, pentaerythritol tetraacrylate. , Pentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol pentamethacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate, monoesterified product of pentaerythritol triacrylate and succinic acid, pentaerythritol trimethacrylate and succinic acid Monoesterified product with dipentaerythritol Preferred are monoesterified products of acrylate and succinic acid, monoesterified products of dipentaerythritol pentamethacrylate and succinic acid, and particularly trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipenta Monoesterified products of erythritol hexaacrylate, pentaerythritol triacrylate and succinic acid, and monoesterified products of dipentaerythritol pentaacrylate and succinic acid have high strength of the colored layer, excellent surface smoothness of the colored layer, and This is preferable in that ground stains, film residue, and the like are hardly generated on the substrate and the light shielding layer in the exposed portion.
The said polyfunctional monomer can be used individually or in mixture of 2 or more types.

本発明における(C)多官能性単量体の含有量は、(B)アルカリ可溶性樹脂100質量部に対して、20〜500質量部が好ましく、特に100〜300質量部が好ましい。この場合、多官能性単量体の含有量が少なすぎると、画素の強度や表面平滑性、耐溶剤性が低下する傾向があり、一方多すぎると、例えば、アルカリ現像性が低下したり、未露光部の基板上あるいは遮光層上に地汚れ、膜残り等が発生しやすくなる傾向がある。   20-500 mass parts is preferable with respect to 100 mass parts of (B) alkali-soluble resin, and, as for content of (C) polyfunctional monomer in this invention, 100-300 mass parts is especially preferable. In this case, if the content of the polyfunctional monomer is too small, the strength and surface smoothness of the pixel, and the solvent resistance tend to decrease, while if too large, for example, alkali developability decreases, There is a tendency that background stains, film residue, etc. are likely to occur on the unexposed portion of the substrate or on the light shielding layer.

また、本発明においては、多官能性単量体の一部を、重合性不飽和結合を1個有する単官能性単量体に置き換えることもできる。
前記単官能性単量体としては、例えば、こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕、フタル酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕の如き2価以上の多価カルボン酸のモノ〔(メタ)アクリロイロキシアルキル〕エステル、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレートの如き両末端にカルボキシ基と水酸基とを有するポリマーのモノ(メタ)アクリレートや、N−(メタ)アクリロイルモルフォリン、N−ビニルピロリドン、N−ビニル−ε−カプロラクタムのほか、市販品として、M−5600(商品名、東亞合成(株)製)等を挙げることができる。
これらの単官能性単量体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
In the present invention, a part of the polyfunctional monomer can be replaced with a monofunctional monomer having one polymerizable unsaturated bond.
Examples of the monofunctional monomer include divalent or higher polyvalent carboxylic acids such as succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] and phthalic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl]. Mono (meth) acrylate of a polymer having a carboxy group and a hydroxyl group at both ends, such as mono [(meth) acryloyloxyalkyl] ester of acid, ω-carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate, and N- (meth) In addition to acryloylmorpholine, N-vinylpyrrolidone, N-vinyl-ε-caprolactam, commercially available products include M-5600 (trade name, manufactured by Toagosei Co., Ltd.).
These monofunctional monomers can be used alone or in admixture of two or more.

本発明における単官能性単量体の含有割合は、多官能性単量体と単官能性単量体の合計に対して、好ましくは90質量%以下、より好ましくは50質量%以下である。この場合、単官能性単量体の使用割合が多すぎると、画素の強度や表面平滑性が低下する傾向がある。   The content ratio of the monofunctional monomer in the present invention is preferably 90% by mass or less, more preferably 50% by mass or less, with respect to the total of the polyfunctional monomer and the monofunctional monomer. In this case, when the proportion of the monofunctional monomer used is too large, the pixel strength and surface smoothness tend to decrease.

本発明に用いる(D)感放射線性重合開始剤は、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等の放射線の露光により、前記(C)多官能性単量体および場合により使用される単官能性単量体の重合を開始しうる活性種を発生する化合物である。
このような感放射線性重合開始剤としては、例えば、チオキサントン系化合物、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物、O−アシルオキシム系化合物、オニウム塩系化合物、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、α−ジケトン系化合物、多核キノン系化合物、ジアゾ系化合物、イミドスルホナート系化合物等を挙げることができる。
The (D) radiation-sensitive polymerization initiator used in the present invention is used by the (C) polyfunctional monomer and optionally by exposure to radiation such as visible light, ultraviolet light, far ultraviolet light, electron beam, and X-ray. A compound that generates an active species capable of initiating polymerization of a monofunctional monomer.
Examples of such radiation-sensitive polymerization initiators include thioxanthone compounds, acetophenone compounds, biimidazole compounds, triazine compounds, O-acyloxime compounds, onium salt compounds, benzoin compounds, and benzophenone compounds. , Α-diketone compounds, polynuclear quinone compounds, diazo compounds, imide sulfonate compounds, and the like.

本発明において、感放射線性重合開始剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができるが、感放射線性重合開始剤としては、チオキサントン系化合物、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物、O−アシルオキシム系化合物の群から選ばれる少なくとも1種が好ましい。また、C.I.ピグメントグリーン58を含有する感放射線性組成物は、該顔料の凝集異物を発生しやすく、凝集異物を低減するという意味においては、チオキサントン系化合物を含有することが好ましい。
本発明においては、前記チオキサントン系化合物と他の感放射線性重合開始剤とを組み合わせて使用することがさらに好ましい。この場合において、チオキサントン系化合物の含有割合は、全感放射線性重合開始剤中、好ましくは1〜75質量%、特に好ましくは5〜50質量%である。このような感放射線性重合開始剤を用いることにより、高感度でしかも分散安定性に優れた感放射線性組成物を得ることができる。
In the present invention, the radiation-sensitive polymerization initiator can be used alone or in admixture of two or more kinds. Examples of the radiation-sensitive polymerization initiator include thioxanthone compounds, acetophenone compounds, biimidazole compounds. , At least one selected from the group of triazine compounds and O-acyloxime compounds is preferred. In addition, C.I. I. The radiation-sensitive composition containing CI Pigment Green 58 is preferable to contain a thioxanthone compound in the sense that it easily generates aggregated foreign substances of the pigment and reduces the aggregated foreign substances.
In the present invention, it is more preferable to use the thioxanthone compound in combination with another radiation-sensitive polymerization initiator. In this case, the content ratio of the thioxanthone compound is preferably 1 to 75% by mass, and particularly preferably 5 to 50% by mass in the total radiation-sensitive polymerization initiator. By using such a radiation sensitive polymerization initiator, a radiation sensitive composition having high sensitivity and excellent dispersion stability can be obtained.

本発明における好ましい感放射線性重合開始剤のうち、チオキサントン系化合物の具体例としては、チオキサントン、2−メチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、4−イソプロピルチオキサントン、2−ドデシルチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン、2−クロロチオキサントン等を挙げることができる。
これらのチオキサントン系化合物のうち、2−メチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、4−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントンが好ましい。
前記チオキサントン系化合物は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Among preferred radiation-sensitive polymerization initiators in the present invention, specific examples of thioxanthone compounds include thioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 4-isopropylthioxanthone, 2-dodecylthioxanthone, and 2,4-dimethylthioxanthone. 2,4-diethylthioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone and the like.
Of these thioxanthone compounds, 2-methylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 4-isopropylthioxanthone, and 2,4-diethylthioxanthone are preferable.
The thioxanthone compounds can be used alone or in admixture of two or more.

また、前記アセトフェノン系化合物の具体例としては、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オン、2−(4−メチルベンジル)−2−(ジメチルアミノ)−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシル・フェニルケトン、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン等を挙げることができる。
これらのアセトフェノン系化合物のうち、2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オン、2−(4−メチルベンジル)−2−(ジメチルアミノ)−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オンが好ましい。
前記アセトフェノン系化合物は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Specific examples of the acetophenone compound include 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropane- 1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one, 2- (4-methylbenzyl) -2- (dimethylamino) -1- (4-morpho And linophenyl) butan-1-one, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one, and the like.
Among these acetophenone compounds, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) ) Butan-1-one, 2- (4-methylbenzyl) -2- (dimethylamino) -1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one are preferred.
The acetophenone compounds can be used alone or in admixture of two or more.

また、前記ビイミダゾール系化合物の具体例としては、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−ブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−ブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール等を挙げることができる。
これらのビイミダゾール系化合物のうち、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール等が好ましい。
前記ビイミダゾール系化合物は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Specific examples of the biimidazole compound include 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1,2′-bi Imidazole, 2,2′-bis (2-bromophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1,2′-biimidazole, 2,2′-bis (2 -Chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2'-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4', 5,5'-tetra Phenyl-1,2′-biimidazole, 2,2′-bis (2,4,6-trichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole, 2, 2'-bis (2-bromophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrafe 1,2′-biimidazole, 2,2′-bis (2,4-dibromophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole, 2,2 ′ -Bis (2,4,6-tribromophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole and the like can be mentioned.
Among these biimidazole compounds, 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole, 2,2′-bis (2 , 4-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole, 2,2′-bis (2,4,6-trichlorophenyl) -4,4 ′, 5 , 5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole and the like are preferable.
The biimidazole compounds can be used alone or in admixture of two or more.

なお、感放射線性重合開始剤としてビイミダゾール系化合物を用いる場合、水素供与体を併用することが、感度を高めることができる点で好ましい。ここでいう「水素供与体」とは、露光によりビイミダゾール系化合物から発生したラジカルに対して、水素原子を供与することができる化合物を意味する。水素供与体としては、例えば、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール等のメルカプタン系水素供与体、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン等のアミン系水素供与体を挙げることができる。本発明において、水素供与体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができるが、メルカプタン系水素供与体を使用することが好ましい。
本発明において、水素供与体をビイミダゾール系化合物と併用する場合、水素供与体の含有量は、ビイミダゾール系化合物100質量部に対して、好ましくは1〜300質量部、特に好ましくは5〜200質量部、さらに好ましくは10〜150質量部である。この場合、水素供与体の含有量が少なすぎると、感度の改良効果が低下する傾向があり、一方多すぎると、形成された着色層が現像時に基板から脱落しやすくなる傾向がある。
In addition, when using a biimidazole-type compound as a radiation sensitive polymerization initiator, it is preferable at the point which can improve a sensitivity to use a hydrogen donor together. The “hydrogen donor” as used herein means a compound that can donate a hydrogen atom to a radical generated from a biimidazole compound by exposure. Examples of the hydrogen donor include mercaptan-based hydrogen donors such as 2-mercaptobenzothiazole and 2-mercaptobenzoxazole, 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, and the like. And an amine-based hydrogen donor. In the present invention, the hydrogen donor can be used alone or in admixture of two or more, but it is preferable to use a mercaptan-based hydrogen donor.
In the present invention, when a hydrogen donor is used in combination with a biimidazole compound, the content of the hydrogen donor is preferably 1 to 300 parts by mass, particularly preferably 5 to 200 parts per 100 parts by mass of the biimidazole compound. Part by mass, more preferably 10 to 150 parts by mass. In this case, if the content of the hydrogen donor is too small, the effect of improving the sensitivity tends to be reduced. On the other hand, if the content is too large, the formed colored layer tends to be detached from the substrate during development.

また、前記トリアジン系化合物の具体例としては、2,4,6−トリス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−メチル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−〔2−(5−メチルフラン−2−イル)エテニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−〔2−(フラン−2−イル)エテニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−〔2−(4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)エテニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−〔2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−エトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−n−ブトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン等のハロメチル基を有するトリアジン系化合物を挙げることができる。
前記トリアジン系化合物は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Specific examples of the triazine compound include 2,4,6-tris (trichloromethyl) -s-triazine, 2-methyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2 -(5-methylfuran-2-yl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (furan-2-yl) ethenyl] -4,6-bis (trichloro Methyl) -s-triazine, 2- [2- (4-diethylamino-2-methylphenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (3,4-dimethoxy) Phenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4- Triazine-based compounds having a halomethyl group such as xystyryl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-n-butoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine Can be mentioned.
The triazine compounds can be used alone or in admixture of two or more.

また、前記O−アシルオキシム系化合物の具体例としては、1,2−ヘプタンジオン,1−〔4−(フェニルチオ)フェニル〕−,2−(O−ベンゾイルオキシム)、1,2−オクタンジオン,1−〔4−(フェニルチオ)フェニル〕−,2−(O−ベンゾイルオキシム)、1,2−オクタンジオン,1−〔4−(ベンゾイル)フェニル〕−,2−(O−ベンゾイルオキシム)、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)、エタノン,1−[9−エチル−6−(3−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)、エタノン,1−(9−エチル−6−ベンゾイル−9H−カルバゾール−3−イル)−、1−(O−アセチルオキシム)、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロフラニルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)、エタノン,1−〔9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロピラニルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル〕−,1−(O−アセチルオキシム)、エタノン,1−〔9−エチル−6−(2−メチル−5−テトラヒドロフラニルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル〕−,1−(O−アセチルオキシム)、エタノン,1−〔9−エチル−6−(2−メチル−5−テトラヒドロピラニルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル〕−,1−(O−アセチルオキシム)、エタノン,1−〔9−エチル−6−{2−メチル−4−(2,2−ジメチル−1,3−ジオキソラニル)ベンゾイル}−9H−カルバゾール−3−イル〕−,1−(O−アセチルオキシム)、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)、エタノン,1−〔9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル〕−,1−(O−アセチルオキシム)、エタノン,1−〔9−エチル−6−(2−メチル−5−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル〕−,1−(O−アセチルオキシム)、エタノン,1−〔9−エチル−6−(2−メチル−5−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル〕−,1−(O−アセチルオキシム)、エタノン,1−〔9−エチル−6−{2−メチル−4−(2,2−ジメチル−1,3−ジオキソラニル)メトキシベンゾイル}−9H−カルバゾール−3−イル〕−,1−(O−アセチルオキシム)等を挙げることができる。   Specific examples of the O-acyloxime compound include 1,2-heptanedione, 1- [4- (phenylthio) phenyl]-, 2- (O-benzoyloxime), 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio) phenyl]-, 2- (O-benzoyloxime), 1,2-octanedione, 1- [4- (benzoyl) phenyl]-, 2- (O-benzoyloxime), ethanone , 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime), ethanone, 1- [9-ethyl-6- (3- Methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime), ethanone, 1- (9-ethyl-6-benzoyl-9H-carbazol-3-yl)-, 1- O-acetyloxime), ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydrofuranylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime), ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydropyranylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime), ethanone, 1- [9-ethyl- 6- (2-Methyl-5-tetrahydrofuranylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime), ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-5) -Tetrahydropyranylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime), ethanone, 1- [9-ethyl-6- {2-methyl-4 (2,2-dimethyl-1,3-dioxolanyl) benzoyl} -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime), ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl) -4-tetrahydrofuranylmethoxybenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime), ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydropyranylmethoxy) Benzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime), ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-5-tetrahydrofuranylmethoxybenzoyl) -9H-carbazole- 3-yl]-, 1- (O-acetyloxime), ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-5-tetrahydropyranylmethoxy) Cibenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime), ethanone, 1- [9-ethyl-6- {2-methyl-4- (2,2-dimethyl-1, 3-Dioxolanyl) methoxybenzoyl} -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime) and the like.

これらのO−アシルオキシム系化合物のうち、1,2−オクタンジオン,1−〔4−(フェニルチオ)フェニル〕−,2−(O−ベンゾイルオキシム)、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)、エタノン,1−〔9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル〕−,1−(O−アセチルオキシム)、エタノン,1−〔9−エチル−6−{2−メチル−4−(2,2−ジメチル−1,3−ジオキソラニル)メトキシベンゾイル}−9H−カルバゾール−3−イル〕−,1−(O−アセチルオキシム)が好ましい。
前記O−アシルオキシム系化合物は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Among these O-acyloxime compounds, 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio) phenyl]-, 2- (O-benzoyloxime), ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-Methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime), ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydrofuranylmethoxybenzoyl)- 9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime), ethanone, 1- [9-ethyl-6- {2-methyl-4- (2,2-dimethyl-1,3-dioxolanyl) Methoxybenzoyl} -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime) is preferred.
The O-acyloxime compounds can be used alone or in admixture of two or more.

本発明において、感放射線性重合開始剤の含有量は、(C)多官能性単量体100質量部に対して、通常0.01〜120質量部、好ましくは1〜100質量部、さらに好ましくは1〜70質量部である。この場合、感放射線性重合開始剤の含有量が少なすぎると、露光による硬化が不十分となり、画素パターンが所定の配列に従って配置されたカラーフィルタを得ることが困難となるおそれがあり、一方多すぎると、形成された画素パターンが現像時に基板から脱落しやすくなる傾向がある。   In this invention, content of a radiation sensitive polymerization initiator is 0.01-120 mass parts normally with respect to 100 mass parts of (C) polyfunctional monomers, Preferably it is 1-100 mass parts, More preferably Is 1 to 70 parts by mass. In this case, if the content of the radiation sensitive polymerization initiator is too small, curing by exposure may be insufficient, and it may be difficult to obtain a color filter in which a pixel pattern is arranged according to a predetermined arrangement. If it is too high, the formed pixel pattern tends to drop off from the substrate during development.

本発明に用いる(E)溶媒は、2個のアセトキシ基を有する溶媒を含有するものである。2個のアセトキシ基を有する溶媒の具体例としては、プロピレングリコールジアセテート、1,3−ブチレングリコールジアセテート、1,6−ヘキサンジオールジアセテート等を挙げることができる。
前記2個のアセトキシ基を有する溶媒は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
The (E) solvent used in the present invention contains a solvent having two acetoxy groups. Specific examples of the solvent having two acetoxy groups include propylene glycol diacetate, 1,3-butylene glycol diacetate, 1,6-hexanediol diacetate and the like.
The solvent having two acetoxy groups can be used alone or in admixture of two or more.

本発明においては、2個のアセトキシ基を有する溶媒と共に、他の溶媒を使用することができる。このような他の溶媒としては、例えば、
エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、プロピレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノエチルエーテルの如き(ポリ)アルキレングリコールモノアルキルエーテル;
In the present invention, other solvents can be used together with a solvent having two acetoxy groups. Examples of such other solvents include:
Ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol mono-n-propyl ether, ethylene glycol mono-n-butyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol mono-n-propyl ether, diethylene glycol mono-n- Butyl ether, triethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol mono-n-propyl ether, propylene glycol mono-n-butyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, di Propylene glycol mono Chirueteru, dipropylene glycol mono -n- propyl ether, dipropylene glycol mono -n- butyl ether, tripropylene glycol monomethyl ether, such as tripropylene glycol monoethyl ether (poly) alkylene glycol monoalkyl ether;

エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルプロピオネートの如き(ポリ)アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート;   Ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, 3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxy (Poly) alkylene glycol monoalkyl ether acetates such as butyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutylpropionate;

ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフランの如きエーテル類;
メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノンの如きケトン類;
Ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, tetrahydrofuran;
Ketones such as methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 2-heptanone, 3-heptanone;

乳酸メチル、乳酸エチルの如き乳酸アルキルエステル;
2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、2−ヒドロキシ−3−メチルブタン酸メチル、酢酸エチル、酢酸n−プロピル、酢酸i−プロピル、酢酸n−ブチル、酢酸i−ブチル、ぎ酸n−アミル、酢酸i−アミル、プロピオン酸n−ブチル、酪酸エチル、酪酸n−プロピル、酪酸i−プロピル、酪酸n−ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸n−プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸エチル等の他のエステル類;
トルエン、キシレンの如き芳香族炭化水素;
N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドンの如きアミドまたはラクタム類を挙げることができる。
Lactic acid alkyl esters such as methyl lactate and ethyl lactate;
Ethyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl ethoxyacetate, ethyl hydroxyacetate, 2-hydroxy Methyl 3-methylbutanoate, ethyl acetate, n-propyl acetate, i-propyl acetate, n-butyl acetate, i-butyl acetate, n-amyl formate, i-amyl acetate, n-butyl propionate, ethyl butyrate, Other esters such as n-propyl butyrate, i-propyl butyrate, n-butyl butyrate, methyl pyruvate, ethyl pyruvate, n-propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, ethyl 2-oxobutanoate;
Aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene;
Mention may be made of amides or lactams such as N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N-methylpyrrolidone.

これらの他の溶媒のうち、顔料分散性、顔料以外の成分の溶解性、塗布性等の観点から、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルプロピオネートが好ましい。
前記他の溶媒は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Among these other solvents, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, ethyl 3-methoxypropionate, 3-ethoxy from the viewpoints of pigment dispersibility, solubility of components other than pigment, and coating properties. Methyl propionate, ethyl 3-ethoxypropionate, 3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutylpropionate are preferred.
The other solvents can be used alone or in admixture of two or more.

本発明に用いる溶媒は、2個のアセトキシ基を有する溶媒と他の溶媒との混合物であることが好ましく、2個のアセトキシ基を有する溶媒の含有割合が、全溶媒中1〜60質量%であることが好ましく、特に1〜45質量%であることが好ましい。この場合、2個のアセトキシ基を有する溶媒の含有割合が少なすぎると、所望の効果が得られないおそれがあり、一方多すぎると、溶媒成分が蒸発し難く塗膜の形成が困難になるおそれがある。   The solvent used in the present invention is preferably a mixture of a solvent having two acetoxy groups and another solvent, and the content ratio of the solvent having two acetoxy groups is 1 to 60% by mass in the total solvent. It is preferable that it is 1 to 45% by mass. In this case, if the content ratio of the solvent having two acetoxy groups is too small, the desired effect may not be obtained. On the other hand, if the content is too large, the solvent component is difficult to evaporate and it is difficult to form a coating film. There is.

溶媒の含有量は、特に限定されるものではないが、得られる感放射線性組成物の塗布性、安定性等の観点から、当該組成物の溶媒を除いた各成分の合計濃度が、5〜50質量%となる量が好ましく、特に10〜40質量%となる量が好ましい。   The content of the solvent is not particularly limited, but from the viewpoint of applicability, stability and the like of the resulting radiation-sensitive composition, the total concentration of each component excluding the solvent of the composition is 5 to 5%. An amount of 50% by mass is preferable, and an amount of 10 to 40% by mass is particularly preferable.

本発明において、感放射線性組成物は、適宜の方法により調製することができ、例えば、(A)〜(E)成分を後述する添加剤と共に、混合することにより調製することができる。好ましい感放射線性組成物の調製方法としては、C.I.ピグメントグリーン58を含有してなる着色剤を、2個のアセトキシ基を有する溶媒を含有してなる溶媒中、(F)分散剤および必要に応じて添加する分散助剤の存在下で、場合により(B)成分の一部と共に、例えばビーズミル、ロールミル等を用いて、粉砕しつつ混合・分散して着色剤分散液とし、この着色剤分散液に、(B)〜(D)成分と、必要に応じてさらに追加の溶媒や添加剤を添加し、混合することにより調製する方法を挙げることができる。
この場合、着色剤分散液の調製に用いる全溶媒中の、2個のアセトキシ基を有する溶媒の含有割合は、2質量%以上であることが好ましく、5質量%以上であることが特に好ましい。
In the present invention, the radiation-sensitive composition can be prepared by an appropriate method. For example, the radiation-sensitive composition can be prepared by mixing the components (A) to (E) together with the additives described later. Preferred methods for preparing the radiation sensitive composition include C.I. I. In the presence of (F) a dispersant and, if necessary, a dispersion aid, a colorant comprising CI Pigment Green 58 is optionally added in a solvent comprising a solvent having two acetoxy groups. (B) Along with a part of the component, for example, a bead mill, a roll mill or the like is used to mix and disperse while pulverizing to obtain a colorant dispersion. In this colorant dispersion, the components (B) to (D) are necessary. Depending on the method, an additional solvent or additive may be further added and mixed for mixing.
In this case, the content ratio of the solvent having two acetoxy groups in the total solvent used for the preparation of the colorant dispersion is preferably 2% by mass or more, and particularly preferably 5% by mass or more.

前記着色剤分散液の調製に使用される(F)分散剤としては、カチオン系、アニオン系、ノニオン系や両性等の適宜の分散剤を使用することができるが、ポリマー分散剤が好ましく、特に、側鎖に顔料吸着基を有するブロックと側鎖に顔料吸着基を有しないブロックからなるブロック共重合体(以下、「ブロック共重合体型分散剤」ということがある。)が好ましい。   As the dispersant (F) used in the preparation of the colorant dispersion, an appropriate dispersant such as a cationic, anionic, nonionic or amphoteric can be used, and a polymer dispersant is preferable, A block copolymer comprising a block having a pigment adsorbing group in the side chain and a block having no pigment adsorbing group in the side chain (hereinafter sometimes referred to as “block copolymer type dispersant”) is preferred.

ブロック共重合体型分散剤における顔料吸着基としては、例えば、アミノ基等の塩基性基、カルボキシル基、ホスホノ基、4級アンモニウム塩基、カルボン酸塩基、リン酸塩基等を挙げることができる。側鎖に顔料吸着基を有するブロックは、例えば、これらの顔料吸着基を有する(メタ)アクリル酸エステルに由来する繰り返し単位により構成される。
一方、側鎖に顔料吸着基を有しないブロックにおいては、鎖状若しくは環状のアルキル基、アリール基、アラルキル基、ポリカプロラクトン構造、ポリエーテル構造等を、その側鎖に有することが好ましい。側鎖に顔料吸着基を有しないブロックは、例えば、これらの官能基や構造を有する(メタ)アクリル酸エステルに由来する繰り返し単位により構成される。
Examples of the pigment adsorption group in the block copolymer type dispersant include basic groups such as amino groups, carboxyl groups, phosphono groups, quaternary ammonium bases, carboxylate groups, and phosphate groups. The block having a pigment adsorbing group in the side chain is composed of, for example, a repeating unit derived from a (meth) acrylic acid ester having such a pigment adsorbing group.
On the other hand, a block having no pigment adsorbing group in the side chain preferably has a chain or cyclic alkyl group, aryl group, aralkyl group, polycaprolactone structure, polyether structure or the like in the side chain. The block having no pigment adsorbing group in the side chain is constituted by, for example, a repeating unit derived from a (meth) acrylic acid ester having these functional groups and structures.

このようなブロック共重合体型分散剤は商業的に入手することができ、例えば、Disperbyk−2000、Disperbyk−2001、BYK−LPN6919、BYK−LPN21116(ビックケミー(BYK)社)等を挙げることができる。
前記ブロック共重合体分散剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Such a block copolymer type dispersing agent can be obtained commercially, and examples thereof include Disperbyk-2000, Disperbyk-2001, BYK-LPN6919, BYK-LPN21116 (BIC Chemie (BYK)).
The block copolymer dispersants can be used alone or in admixture of two or more.

本発明においては、ブロック共重合体型分散剤と共に、他の分散剤を使用することができる。このような他の分散剤としては、具体的には、ポリウレタン、ポリエステル、カチオン性グラフトポリマー等を挙げることができる。ここで、カチオン性櫛型グラフトポリマーとは、複数の塩基性基(カチオン性の官能基)を有する幹ポリマー1分子に、2分子以上の枝ポリマーがグラフト結合した構造のポリマーをいい、例えば、幹ポリマー部がポリエチレンイミン、枝ポリマー部がε−カプロラクトンの開環重合体で構成されるポリマーが挙げられる。 In the present invention, other dispersants can be used together with the block copolymer type dispersant. Specific examples of such other dispersants include polyurethane, polyester, and cationic graft polymer. Here, the cationic comb graft polymer refers to a polymer having a structure in which two or more branched polymers are grafted to one molecule of a trunk polymer having a plurality of basic groups (cationic functional groups). Examples thereof include a polymer composed of a ring-opening polymer in which the trunk polymer part is polyethyleneimine and the branch polymer part is ε-caprolactone.

このような分散剤は商業的に入手することができ、例えば、ポリウレタンとして、Disperbyk−161、Disperbyk−162、Disperbyk−165、Disperbyk−167、Disperbyk−170、Disperbyk−182(以上、ビックケミー(BYK)社製)、ソルスパース76500(ルーブリゾール(株)社製)、カチオン性グラフトポリマーとして、ソルスパース24000(ルーブリゾール(株)社製)、アジスパーPB821、アジスパーPB822、アジスパーPB823、アジスパーPB824、アジスパーPB827(味の素ファインテクノ株式会社製)等を挙げることができる。
これらの分散剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Such dispersants are commercially available, for example, Disperbyk-161, Disperbyk-162, Disperbyk-165, Disperbyk-167, Disperbyk-170, Disperbyk-182 (above, BYK) (BYK) as polyurethane Solsperse 76500 (manufactured by Lubrizol Co., Ltd.), as a cationic graft polymer, Solsperse 24000 (manufactured by Lubrizol Co., Ltd.), Azisper PB821, Azisper PB822, Azisper PB823, Azisper PB824, Ajisper PB827 (Ajinomoto) Fine Techno Co., Ltd.).
These dispersants can be used alone or in admixture of two or more.

分散剤の含有量は、(A)着色剤100質量部に対して、通常、100質量部以下、好ましくは0.5〜100質量部、さらに好ましくは1〜70質量部、特に好ましくは10〜50質量部である。この場合、分散剤の含有量が100質量部を超えると、現像性が損なわれるおそれがある。   Content of a dispersing agent is 100 mass parts or less normally with respect to 100 mass parts of (A) coloring agents, Preferably it is 0.5-100 mass parts, More preferably, it is 1-70 mass parts, Most preferably, it is 10-10 mass parts. 50 parts by mass. In this case, if the content of the dispersant exceeds 100 parts by mass, the developability may be impaired.

本発明の感放射線性組成物は、上記(A)〜(E)成分を含有するものであるが、必要に応じて添加剤をさらに含有することもできる。
ここで添加剤としては、例えば、ガラス、アルミナ等の充填剤;ポリビニルアルコール、ポリ(フロオロアルキルアクリレート)類等の高分子化合物;ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤等の界面活性剤;ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロイロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等の密着促進剤;2,2−チオビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,6−ジ−t−ブチルフェノール等の酸化防止剤;2−(3−t−ブチル−5−メチル−2−ヒドロキシフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン類等の紫外線吸収剤;ポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤;マロン酸、アジピン酸、イタコン酸、シトラコン酸、フマル酸、メサコン酸等の現像残渣改善剤等を挙げることができる。
Although the radiation sensitive composition of this invention contains the said (A)-(E) component, it can further contain an additive as needed.
Examples of additives include fillers such as glass and alumina; polymer compounds such as polyvinyl alcohol and poly (fluoroalkyl acrylates); nonionic surfactants, cationic surfactants, anionic surfactants Surfactant such as an agent; vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N- (2-aminoethyl) ) -3-Aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltri Methoxysilane, 3-chloropropylmethyldimethyl Adhesion promoters such as xysilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-methacryloyloxypropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane; 2,2-thiobis (4-methyl-6-tert-butylphenol), Antioxidants such as 2,6-di-t-butylphenol; UV absorbers such as 2- (3-t-butyl-5-methyl-2-hydroxyphenyl) -5-chlorobenzotriazole and alkoxybenzophenones; poly Anticoagulation agents such as sodium acrylate; development residue improvers such as malonic acid, adipic acid, itaconic acid, citraconic acid, fumaric acid, and mesaconic acid.

本発明のカラーフィルタは、本発明の感放射線性組成物から形成された緑色画素を備えるものである。
以下に、本発明のカラーフィルタを形成する方法について説明する。
まず、基板の表面上に、必要に応じて、画素を形成する部分を区画するように遮光層を形成し、この基板上に、本発明の緑色顔料が分散された感放射線性組成物の液状組成物を塗布したのち、プレベークを行って溶媒を蒸発させ、塗膜を形成する。次いで、この塗膜にフォトマスクを介して露光したのち、アルカリ現像液を用いて現像して、塗膜の未露光部を溶解除去し、その後ポストベークすることにより、緑色の画素パターンが所定の配列で配置された画素アレイを形成する。
その後、赤色または青色の顔料が分散された各感放射線性組成物の液状組成物を用い、前記と同様にして、各液状組成物の塗布、プレベーク、露光、現像およびポストベークを行って、赤色の画素アレイおよび青色の画素アレイを同一基板上に順次形成することにより、赤色、緑色および青色の三原色の画素アレイが基板上に配置されたカラーフィルタを得る。但し、本発明においては、各色の画素を形成する順序は、前記のものに限定されない。
The color filter of the present invention includes a green pixel formed from the radiation-sensitive composition of the present invention.
The method for forming the color filter of the present invention will be described below.
First, on the surface of the substrate, if necessary, a light shielding layer is formed so as to partition a portion for forming a pixel, and a liquid of the radiation sensitive composition in which the green pigment of the present invention is dispersed on the substrate. After applying the composition, pre-baking is performed to evaporate the solvent and form a coating film. Next, this coating film is exposed through a photomask, and then developed using an alkali developer to dissolve and remove the unexposed portions of the coating film, and then post-baked, whereby a green pixel pattern is formed in a predetermined pattern. A pixel array arranged in an array is formed.
Then, using the liquid composition of each radiation-sensitive composition in which a red or blue pigment is dispersed, each liquid composition is coated, pre-baked, exposed, developed and post-baked in the same manner as described above, and then red. By sequentially forming the pixel array and the blue pixel array on the same substrate, a color filter in which the pixel arrays of the three primary colors of red, green and blue are arranged on the substrate is obtained. However, in the present invention, the order of forming the pixels of each color is not limited to the above.

画素を形成する際に使用される基板としては、例えば、ガラス、シリコン、ポリカーボネート、ポリエステル、芳香族ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリイミド等を挙げることができる。
また、これらの基板には、所望により、シランカップリング剤等による薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティング、スパッタリング、気相反応法、真空蒸着等の適宜の前処理を施しておくこともできる。
感放射線性組成物の液状組成物を基板に塗布する際には、スプレー法、ロールコート法、回転塗布法(スピンコート法)、スリットダイ塗布法、バー塗布法、インクジェット法等の適宜の塗布法を採用することができるが、特に、スピンコート法、スリットダイ塗布法が好ましい。
塗布厚さは、乾燥後の膜厚として、通常、0.1〜10μm、好ましくは0.2〜8.0μm、特に好ましくは0.2〜6.0μmである。
Examples of the substrate used when forming the pixel include glass, silicon, polycarbonate, polyester, aromatic polyamide, polyamideimide, and polyimide.
In addition, these substrates may be subjected to appropriate pretreatment such as chemical treatment with a silane coupling agent or the like, plasma treatment, ion plating, sputtering, gas phase reaction method, vacuum deposition, etc., if desired.
When applying a liquid composition of a radiation sensitive composition to a substrate, an appropriate application such as a spray method, a roll coating method, a spin coating method (spin coating method), a slit die coating method, a bar coating method, an ink jet method, etc. Although a method can be employed, a spin coating method and a slit die coating method are particularly preferable.
The coating thickness is usually 0.1 to 10 μm, preferably 0.2 to 8.0 μm, particularly preferably 0.2 to 6.0 μm as the film thickness after drying.

画素を形成する際に使用される放射線としては、例えば、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等を使用することができるが、波長が190〜450nmの範囲にある放射線が好ましい。
放射線の露光量は、一般的には10〜10,000J/mが好ましい。
また、前記アルカリ現像液としては、例えば、炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド、コリン、1,8−ジアザビシクロ−[5.4.0]−7−ウンデセン、1,5−ジアザビシクロ−[4.3.0]−5−ノネン等の水溶液が好ましい。
前記アルカリ現像液には、例えばメタノール、エタノール等の水溶性有機溶剤や界面活性剤等を適量添加することもできる。なお、アルカリ現像後は、通常、水洗する。
現像処理法としては、シャワー現像法、スプレー現像法、ディップ(浸漬)現像法、パドル(液盛り)現像法等を適用することができる。現像条件は、常温で5〜300秒が好ましい。
For example, visible rays, ultraviolet rays, far ultraviolet rays, electron beams, X-rays, and the like can be used as the radiation used when forming the pixels, but radiation having a wavelength in the range of 190 to 450 nm is preferable.
In general, the exposure dose of radiation is preferably 10 to 10,000 J / m 2 .
Examples of the alkali developer include sodium carbonate, sodium hydroxide, potassium hydroxide, tetramethylammonium hydroxide, choline, 1,8-diazabicyclo- [5.4.0] -7-undecene, An aqueous solution such as 5-diazabicyclo- [4.3.0] -5-nonene is preferred.
An appropriate amount of a water-soluble organic solvent such as methanol or ethanol, a surfactant, or the like can be added to the alkaline developer. In addition, it is usually washed with water after alkali development.
As a development processing method, a shower development method, a spray development method, a dip (immersion) development method, a paddle (liquid accumulation) development method, or the like can be applied. The development conditions are preferably 5 to 300 seconds at room temperature.

このようにして得られる本発明のカラーフィルタは、輝度およびコントラスト比が高いため、カラー液晶表示素子、カラー撮像管素子、カラーセンサー、有機EL表示素子、電子ペーパー等に極めて有用である。   Since the color filter of the present invention thus obtained has a high luminance and contrast ratio, it is extremely useful for color liquid crystal display elements, color image pickup tube elements, color sensors, organic EL display elements, electronic paper, and the like.

以下、実施例を挙げて、本発明の実施の形態をさらに具体的に説明する。但し、本発明は、下記実施例に限定されるものではない。   Hereinafter, the embodiment of the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to the following examples.

着色剤分散液の調製
調製例1
(A)着色剤としてC.I.ピグメントグリーン58(DIC社製)とC.I.ピグメントイエロー150との60/40(質量比)混合物40質量部、分散剤としてDisperbyk−2001(ビックケミー(BYK)社製、固形分濃度45.1質量%)24質量部、および溶媒としてプロピレングリコールメチルエーテルアセテート116質量部、1,3−ブチレングリコールジアセテート20質量部からなる混合液を、ビーズミルにより12時間混合・分散して、顔料分散液(A−1)を調製した。
Preparation of colorant dispersion Preparation Example 1
(A) C.I. I. Pigment Green 58 (manufactured by DIC) and C.I. I. 40 parts by mass of a 60/40 (mass ratio) mixture with CI Pigment Yellow 150, 24 parts by mass of Disperbyk-2001 (BYK) (solid content concentration 45.1% by mass) as a dispersant, and propylene glycol methyl as a solvent A mixed liquid composed of 116 parts by mass of ether acetate and 20 parts by mass of 1,3-butylene glycol diacetate was mixed and dispersed by a bead mill for 12 hours to prepare a pigment dispersion (A-1).

調製例2
(A)着色剤としてC.I.ピグメントグリーン58(DIC社製)とC.I.ピグメントイエロー150との60/40(質量比)混合物40質量部、分散剤としてDisperbyk−2001(ビックケミー(BYK)社製、固形分濃度45.1質量%)24質量部、および溶媒としてプロピレングリコールメチルエーテルアセテート116質量部、プロピレングリコールジアセテート20質量部からなる混合液を、ビーズミルにより12時間混合・分散して、顔料分散液(A−2)を調製した。
Preparation Example 2
(A) C.I. I. Pigment Green 58 (manufactured by DIC) and C.I. I. 40 parts by mass of a 60/40 (mass ratio) mixture with CI Pigment Yellow 150, 24 parts by mass of Disperbyk-2001 (BYK) (solid content concentration 45.1% by mass) as a dispersant, and propylene glycol methyl as a solvent A mixed liquid consisting of 116 parts by mass of ether acetate and 20 parts by mass of propylene glycol diacetate was mixed and dispersed for 12 hours by a bead mill to prepare a pigment dispersion (A-2).

調製例3
(A)着色剤としてC.I.ピグメントグリーン58(DIC社製)とC.I.ピグメントイエロー150との60/40(質量比)混合物40質量部、分散剤としてDisperbyk−2001(ビックケミー(BYK)社製、固形分濃度45.1質量%)24質量部、および溶媒としてプロピレングリコールメチルエーテルアセテート96質量部、1,3−ブチレングリコールジアセテート40質量部からなる混合液を、ビーズミルにより12時間混合・分散して、顔料分散液(A−3)を調製した。
Preparation Example 3
(A) C.I. I. Pigment Green 58 (manufactured by DIC) and C.I. I. 40 parts by mass of a 60/40 (mass ratio) mixture with CI Pigment Yellow 150, 24 parts by mass of Disperbyk-2001 (BYK) (solid content concentration 45.1% by mass) as a dispersant, and propylene glycol methyl as a solvent A mixed liquid consisting of 96 parts by mass of ether acetate and 40 parts by mass of 1,3-butylene glycol diacetate was mixed and dispersed for 12 hours by a bead mill to prepare a pigment dispersion (A-3).

調製例4
(A)着色剤としてC.I.ピグメントグリーン58(DIC社製)とC.I.ピグメントイエロー150との60/40(質量比)混合物40質量部、分散剤としてDisperbyk−2001(ビックケミー(BYK)社製、固形分濃度45.1質量%)24質量部、および溶媒として3−エトキシプロピオン酸エチル76質量部、1,3−ブチレングリコールジアセテート60質量部からなる混合液を、ビーズミルにより12時間混合・分散して、顔料分散液(A−4)を調製した。
Preparation Example 4
(A) C.I. I. Pigment Green 58 (manufactured by DIC) and C.I. I. 40 parts by mass of a 60/40 (mass ratio) mixture with CI Pigment Yellow 150, 24 parts by mass of Disperbyk-2001 (BYK) (solid content concentration: 45.1% by mass) as a dispersant, and 3-ethoxy as a solvent A mixed liquid consisting of 76 parts by mass of ethyl propionate and 60 parts by mass of 1,3-butylene glycol diacetate was mixed and dispersed by a bead mill for 12 hours to prepare a pigment dispersion (A-4).

調製例5
(A)着色剤としてC.I.ピグメントグリーン58(DIC社製)とC.I.ピグメントイエロー150との60/40(質量比)混合物40質量部、分散剤としてDisperbyk−2001(ビックケミー(BYK)社製、固形分濃度45.1質量%)24質量部、および溶媒として3−メトキシブチルアセテート76質量部、1,3−ブチレングリコールジアセテート60質量部からなる混合液を、ビーズミルにより12時間混合・分散して、顔料分散液(A−5)を調製した。
Preparation Example 5
(A) C.I. I. Pigment Green 58 (manufactured by DIC) and C.I. I. 40 parts by mass of a 60/40 (mass ratio) mixture with CI Pigment Yellow 150, 24 parts by mass of Disperbyk-2001 (BYK) (solid content concentration 45.1% by mass) as a dispersant, and 3-methoxy as a solvent A mixed liquid composed of 76 parts by mass of butyl acetate and 60 parts by mass of 1,3-butylene glycol diacetate was mixed and dispersed by a bead mill for 12 hours to prepare a pigment dispersion (A-5).

調製例6
(A)着色剤としてC.I.ピグメントグリーン58(DIC社製)とC.I.ピグメントイエロー150との60/40(質量比)混合物40質量部、分散剤としてDisperbyk−2001(ビックケミー(BYK)社製、固形分濃度45.1質量%)24質量部、および溶媒として1,3−ブチレングリコールジアセテート136質量部からなる混合液を、ビーズミルにより12時間混合・分散して、顔料分散液(A−6)を調製した。
Preparation Example 6
(A) C.I. I. Pigment Green 58 (manufactured by DIC) and C.I. I. 40 parts by mass of a 60/40 (mass ratio) mixture with CI Pigment Yellow 150, 24 parts by mass of Disperbyk-2001 (BYK) (solid content concentration 45.1% by mass) as a dispersant, and 1,3 as a solvent -A liquid mixture consisting of 136 parts by mass of butylene glycol diacetate was mixed and dispersed by a bead mill for 12 hours to prepare a pigment dispersion (A-6).

比較調製例1
(A)着色剤としてC.I.ピグメントグリーン58(DIC社製)とC.I.ピグメントイエロー150との60/40(質量比)混合物40質量部、分散剤としてDisperbyk−2001(ビックケミー(BYK)社製、固形分濃度45.1質量%)24質量部、および溶媒としてプロピレングリコールメチルエーテルアセテート136質量部からなる混合液を、ビーズミルにより12時間混合・分散して、顔料分散液(a−1)を調製した。
Comparative Preparation Example 1
(A) C.I. I. Pigment Green 58 (manufactured by DIC) and C.I. I. 40 parts by mass of a 60/40 (mass ratio) mixture with CI Pigment Yellow 150, 24 parts by mass of Disperbyk-2001 (BYK) (solid content concentration 45.1% by mass) as a dispersant, and propylene glycol methyl as a solvent A mixed liquid composed of 136 parts by mass of ether acetate was mixed and dispersed by a bead mill for 12 hours to prepare a pigment dispersion (a-1).

比較調製例2
(A)着色剤としてC.I.ピグメントグリーン58(DIC社製)とC.I.ピグメントイエロー150との60/40(質量比)混合物40質量部、分散剤としてDisperbyk−2001(ビックケミー(BYK)社製、固形分濃度45.1質量%)24質量部、および溶媒としてトリアセチン(3個のアセトキシ基を有する溶剤)136質量部からなる混合液を、ビーズミルにより12時間混合・分散して、顔料分散液(a−2)を調製した。
Comparative Preparation Example 2
(A) C.I. I. Pigment Green 58 (manufactured by DIC) and C.I. I. 40 parts by mass of a 60/40 (mass ratio) mixture with CI Pigment Yellow 150, 24 parts by mass of Disperbyk-2001 (BYK) (solid content concentration 45.1% by mass) as a dispersant, and triacetin (3 A solvent dispersion having 136 acetoxy groups) was mixed and dispersed for 12 hours by a bead mill to prepare a pigment dispersion (a-2).

比較調製例3
(A)着色剤としてC.I.ピグメントグリーン58(DIC社製)とC.I.ピグメントイエロー150との60/40(質量比)混合物40質量部、分散剤としてDisperbyk−2001(ビックケミー(BYK)社製、固形分濃度45.1質量%)24質量部、および溶媒としてプロピレングリコールメチルエーテルアセテート116質量部、シクロヘキサノン20質量部からなる混合液を、ビーズミルにより12時間混合・分散して、顔料分散液(a−3)を調製した。
Comparative Preparation Example 3
(A) C.I. I. Pigment Green 58 (manufactured by DIC) and C.I. I. 40 parts by mass of a 60/40 (mass ratio) mixture with CI Pigment Yellow 150, 24 parts by mass of Disperbyk-2001 (BYK) (solid content concentration 45.1% by mass) as a dispersant, and propylene glycol methyl as a solvent A mixed liquid composed of 116 parts by mass of ether acetate and 20 parts by mass of cyclohexanone was mixed and dispersed by a bead mill for 12 hours to prepare a pigment dispersion (a-3).

比較調製例4
(A)着色剤としてC.I.ピグメントグリーン58(DIC社製)とC.I.ピグメントイエロー150との60/40(質量比)混合物40質量部、分散剤としてDisperbyk−2001(ビックケミー(BYK)社製、固形分濃度45.1質量%)24質量部、および溶媒としてプロピレングリコールメチルエーテルアセテート116質量部、プロピレングリコールモノメチルエーテル20質量部からなる混合液を、ビーズミルにより12時間混合・分散して、顔料分散液(a−4)を調製した。
Comparative Preparation Example 4
(A) C.I. I. Pigment Green 58 (manufactured by DIC) and C.I. I. 40 parts by mass of a 60/40 (mass ratio) mixture with CI Pigment Yellow 150, 24 parts by mass of Disperbyk-2001 (BYK) (solid content concentration 45.1% by mass) as a dispersant, and propylene glycol methyl as a solvent A mixed liquid composed of 116 parts by mass of ether acetate and 20 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether was mixed and dispersed by a bead mill for 12 hours to prepare a pigment dispersion (a-4).

比較調製例5
(A)着色剤としてC.I.ピグメントグリーン36とC.I.ピグメントイエロー150との53/47(質量比)混合物40質量部、分散剤としてDisperbyk−2001(ビックケミー(BYK)社製、固形分濃度45.1質量%)24質量部、および溶媒としてプロピレングリコールメチルエーテルアセテート116質量部、シクロヘキサノン20質量部からなる混合液を、ビーズミルにより12時間混合・分散して、顔料分散液(a−5)を調製した。
Comparative Preparation Example 5
(A) C.I. I. Pigment Green 36 and C.I. I. 40 parts by mass of a 53/47 (mass ratio) mixture with CI Pigment Yellow 150, 24 parts by mass of Disperbyk-2001 (BYK) (solid content concentration 45.1% by mass) as a dispersant, and propylene glycol methyl as a solvent A mixed liquid composed of 116 parts by mass of ether acetate and 20 parts by mass of cyclohexanone was mixed and dispersed for 12 hours by a bead mill to prepare a pigment dispersion (a-5).

(B)アルカリ可溶性樹脂の合成
合成例1
冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)2.5質量部およびエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート200質量部を仕込み、引き続きメタクリル酸15質量部、ω−カルボキシジカプロラクトンモノアクリレート10質量部、N−フェニルマレイミド15質量部、2−エチルヘキシルメタクリレート33質量部、スチレン12質量部、グリセロールモノメタクリレート15質量部およびα−メチルスチレンダイマー(連鎖移動剤)5.0質量部を仕込んで、窒素置換したのち、ゆるやかに攪拌しつつ、反応溶液を80℃に昇温し、この温度を保持して3時間重合した。その後、反応溶液を100℃に昇温して、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)0.5質量部を追加し、さらに1時間重合を継続することにより、樹脂溶液(固形分濃度=30質量%)を得た。得られた樹脂は、Mw=14,000、Mn=5,700であった。この樹脂溶液を「樹脂溶液(B−1)」とする。
(B) Synthesis of alkali-soluble resin Synthesis Example 1
A flask equipped with a condenser and a stirrer was charged with 2.5 parts by mass of 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) and 200 parts by mass of ethylene glycol monomethyl ether acetate, followed by 15 parts by mass of methacrylic acid, ω -10 parts by weight of carboxydicaprolactone monoacrylate, 15 parts by weight of N-phenylmaleimide, 33 parts by weight of 2-ethylhexyl methacrylate, 12 parts by weight of styrene, 15 parts by weight of glycerol monomethacrylate and α-methylstyrene dimer (chain transfer agent) After charging 0 parts by mass and substituting with nitrogen, the reaction solution was heated to 80 ° C. while gently stirring and polymerized for 3 hours while maintaining this temperature. Thereafter, the temperature of the reaction solution was raised to 100 ° C., 0.5 part by mass of 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) was added, and polymerization was continued for another hour, whereby a resin solution ( Solid content concentration = 30% by mass) was obtained. The obtained resin was Mw = 14,000 and Mn = 5,700. This resin solution is referred to as “resin solution (B-1)”.

実施例1
感放射線性組成物の調製
顔料分散液(A−1)400質量部、(B)アルカリ可溶性樹脂として樹脂溶液(B−1)200質量部、(C)多官能性単量体としてジペンタエリスリトールヘキサアクリレート60質量部、(D)感放射線性重合開始剤として2,4−ジエチルチオキサントン6質量部、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)(チバ・スペシャルティー・ケミカルズ社製、商品名IRGACURE OX02)5質量部、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール2質量部および2−メルカプトベンゾチアゾール2質量部、並びに溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを用いて固形分濃度が20.0%になるよう混合して、液状組成物(G1)を調製した。
液状組成物(G1)について、下記の手順にしたがって、評価を行った。評価結果を表1に示す。
Example 1
Preparation of radiation-sensitive composition Pigment dispersion (A-1) 400 parts by mass, (B) 200 parts by mass of resin solution (B-1) as alkali-soluble resin, (C) Dipentaerythritol as polyfunctional monomer 60 parts by mass of hexaacrylate, (D) 6 parts by mass of 2,4-diethylthioxanthone as a radiation-sensitive polymerization initiator, ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazole-3- Yl]-, 1- (O-acetyloxime) (Ciba Specialty Chemicals, trade name IRGACURE OX02) 5 parts by mass, 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5 2 parts by mass of 5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole and 2 parts by mass of 2-mercaptobenzothiazole, and propylene glycol monomethyl as a solvent It was mixed so that the solid content concentration of 20.0% with over ether acetate, liquid composition (G1) was prepared.
The liquid composition (G1) was evaluated according to the following procedure. The evaluation results are shown in Table 1.

色度特性およびコントラストの評価
調製を行った当日に、液状組成物(G1)を、表面にナトリウムイオンの溶出を防止するSiO2膜が形成されたソーダガラス基板上に、スピンコーターを用いて回転数を変量して3枚塗布したのち、90℃のホットプレートで4分間プレベークを行って、膜厚の異なる3枚の塗膜を形成した。
次いで、これらの基板を室温に冷却したのち、高圧水銀ランプを用い、塗膜に365nm、405nmおよび436nmの各波長を含む放射線を400J/m2の露光量で露光した。その後、これらの基板に対して23℃の0.04質量%水酸化カリウム水溶液からなる現像液を現像圧1kgf/cm2(ノズル径1mm)で吐出することにより、1分間シャワー現像を行った。その後、この基板を超純水で洗浄し、風乾した後、さらに220℃のクリーンオーブン内で30分間ポストベークを行って、評価用硬化膜を形成した。
On the day of evaluation and preparation of chromaticity characteristics and contrast , the liquid composition (G1) was rotated using a spin coater on a soda glass substrate on which a SiO 2 film for preventing elution of sodium ions was formed on the surface. After coating three sheets with variable numbers, pre-baking was performed for 4 minutes on a hot plate at 90 ° C. to form three coating films with different film thicknesses.
Next, after these substrates were cooled to room temperature, the coating film was exposed to radiation containing wavelengths of 365 nm, 405 nm, and 436 nm at an exposure dose of 400 J / m 2 using a high-pressure mercury lamp. Thereafter, a developing solution composed of a 0.04 mass% potassium hydroxide aqueous solution at 23 ° C. was discharged onto these substrates at a developing pressure of 1 kgf / cm 2 (nozzle diameter 1 mm) to perform shower development for 1 minute. Thereafter, this substrate was washed with ultrapure water, air-dried, and then post-baked in a clean oven at 220 ° C. for 30 minutes to form a cured film for evaluation.

得られた3枚の硬化膜について、カラーアナライザー(大塚電子(株)製MCPD2000)を用い、C光源、2度視野にて、CIE表色系における色度座標値(x,y)及び刺激値(Y)を測定した。測定結果より、色度座標値y=0.600での色度座標値x、刺激値(Y)を求めた。
また、得られた3枚の硬化膜について、コントラスト計(壺坂電機社製CT−1、ブランク5000)を用いコントラスト比の測定を行い、色度座標値y=0.600でのコントラスト比を求めた。
同様に、液状組成物(G1)を一ヶ月間室温で保管し、色度特性およびコントラスト比の測定を行い、色度座標値y=0.600での色度座標値x、刺激値(Y)およびコントラスト比を求めた。評価結果を表1に示す。
Using the color analyzer (MCPD2000 manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.), the chromaticity coordinate value (x, y) and the stimulus value in the CIE color system with a C light source and a 2-degree visual field for the three cured films obtained. (Y) was measured. From the measurement results, a chromaticity coordinate value x and a stimulus value (Y) at a chromaticity coordinate value y = 0.600 were obtained.
Further, for the three cured films obtained, the contrast ratio was measured using a contrast meter (CT-1, made by Aisaka Electric Co., Ltd., blank 5000), and the contrast ratio at the chromaticity coordinate value y = 0.600 was determined. Asked.
Similarly, the liquid composition (G1) is stored at room temperature for one month, and the chromaticity characteristics and the contrast ratio are measured. The chromaticity coordinate value x and the stimulation value (Y ) And the contrast ratio. The evaluation results are shown in Table 1.

実施例2〜6および比較例1〜5
実施例1において、顔料分散液の種類を表1に示すように変更した以外は、実施例1と同様にして、液状組成物(G2)〜(G11)を調製した。
次いで、液状組成物(G1)に代えてそれぞれ液状組成物(G2)〜(G11)を用いた以外は、実施例1と同様にして評価を行った。評価結果を表1に示す。
Examples 2-6 and Comparative Examples 1-5
Liquid compositions (G2) to (G11) were prepared in the same manner as in Example 1, except that the type of pigment dispersion was changed as shown in Table 1 in Example 1.
Next, evaluation was performed in the same manner as in Example 1 except that the liquid compositions (G2) to (G11) were used instead of the liquid composition (G1). The evaluation results are shown in Table 1.

Figure 2010092014
Figure 2010092014

表1から明らかなように、C.I.ピグメントグリーン58と2個のアセトキシ基を有する溶媒とを含有する感放射線性組成物は、輝度およびコントラスト比の高い緑色画素を形成することができ、しかもコントラスト比が経時低下しないことが分かる。これに対し、1個のアセトキシ基を有する溶媒を使用した場合(比較例1)、3個のアセトキシ基を有する溶媒を使用した場合(比較例2)では、2個のアセトキシ基を有する溶媒を使用した場合に比べてコントラスト比が低い。   As is apparent from Table 1, C.I. I. It can be seen that the radiation-sensitive composition containing Pigment Green 58 and a solvent having two acetoxy groups can form a green pixel having a high luminance and contrast ratio, and the contrast ratio does not decrease with time. In contrast, when a solvent having one acetoxy group is used (Comparative Example 1), when a solvent having three acetoxy groups is used (Comparative Example 2), a solvent having two acetoxy groups is used. The contrast ratio is lower than when used.

Claims (8)

(A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)多官能性単量体、(D)感放射線性重合開始剤および(E)溶媒を含有する着色感放射線性組成物であって、(A)着色剤としてC.I.ピグメントグリーン58を含有し、かつ(E)溶媒として2個のアセトキシ基を有する溶媒を含有することを特徴とする着色感放射線性組成物。   A colored radiation-sensitive composition comprising (A) a colorant, (B) an alkali-soluble resin, (C) a polyfunctional monomer, (D) a radiation-sensitive polymerization initiator, and (E) a solvent, (A) C.I. I. A colored radiation-sensitive composition containing Pigment Green 58 and (E) a solvent having two acetoxy groups as a solvent. (A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)多官能性単量体、(D)感放射線性重合開始剤および(E)溶媒を含有する着色感放射線性組成物であって、(A)着色剤として臭素化塩素化亜鉛フタロシアニンを含有し、かつ(E)溶媒として2個のアセトキシ基を有する溶媒を含有することを特徴とする着色感放射線性組成物。   A colored radiation-sensitive composition comprising (A) a colorant, (B) an alkali-soluble resin, (C) a polyfunctional monomer, (D) a radiation-sensitive polymerization initiator, and (E) a solvent, A colored radiation-sensitive composition comprising (A) brominated chlorinated zinc phthalocyanine as a colorant and (E) a solvent having two acetoxy groups as a solvent. (E)溶媒が2個のアセトキシ基を有する溶媒と他の溶媒との混合物であり、かつ2個のアセトキシ基を有する溶媒の含有割合が全溶媒中1〜60質量%である請求項1または2に記載の着色感放射線性組成物。   (E) The solvent is a mixture of a solvent having two acetoxy groups and another solvent, and the content ratio of the solvent having two acetoxy groups is 1 to 60% by mass in the total solvent. The colored radiation-sensitive composition according to 2. さらに(F)分散剤を含有する請求項1〜3のいずれかに記載の着色感放射線性組成物。 The colored radiation-sensitive composition according to claim 1, further comprising (F) a dispersant. (F)分散剤として、側鎖に顔料吸着基を有するブロックと側鎖に顔料吸着基を有しないブロックからなるブロック共重合体を含有する請求項4に記載の着色感放射線性組成物。 The colored radiation-sensitive composition according to claim 4, comprising (F) a block copolymer comprising a block having a pigment adsorbing group in the side chain and a block having no pigment adsorbing group in the side chain as the dispersant. C.I.ピグメントグリーン58および2個のアセトキシ基を有する溶媒を含有することを特徴とする着色剤分散液。   C. I. A colorant dispersion comprising Pigment Green 58 and a solvent having two acetoxy groups. 請求項1〜5に記載の着色感放射線性組成物を用いて形成された緑色画素を備えてなるカラーフィルタ。   A color filter comprising a green pixel formed using the colored radiation-sensitive composition according to claim 1. 請求項7に記載のカラーフィルタを具備するカラー液晶表示素子。   A color liquid crystal display device comprising the color filter according to claim 7.
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