JP2010082784A - Method for controlling parallel link stage, and parallel link stage - Google Patents

Method for controlling parallel link stage, and parallel link stage Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a technique for surely preventing damage to a signal line due to friction without requiring a larger signal line routing space than necessary in a parallel link stage. <P>SOLUTION: In the parallel link stage 7 to control the displacement of an end effector 1 by separatingly subjecting servo motors 5a to 5f of a parallel link mechanism p disposed between the end effector 1 and a base 6 to closed-loop control at a servo driver group 20, slave modules 8a to 8f disposed correspondingly to these servo motors 5a to 5f and a master module 23 connected to the servo driver group 20 are connected to one another by a serial communication cable 10. Motor position information and the like are fed back from the servo motors 5a to 5f to the servo driver group 20 by serial communication. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、パラレルリンクステージの制御方法およびパラレルリンクステージに関する。   The present invention relates to a parallel link stage control method and a parallel link stage.

たとえば、特許文献1等に開示されているように、剛性が高く、自由度の高い高精度の動きを可能にするパラレルリンク機構を備えたパラレルリンクステージは、工作機械や観察装置の台座、ロボット、乗り物等のシミュレータを初めとして広範な応用分野で使用されている。   For example, as disclosed in Patent Document 1 and the like, a parallel link stage having a parallel link mechanism that has a high rigidity and a high degree of freedom can be used as a base for a machine tool or an observation device, a robot It is used in a wide range of application fields such as simulators for vehicles.

ところで、このパラレルリンクステージでは、ベースとエンドエフェクタとの間の比較的限られた空間に複数のサーボモータ等のアクチュエータを実装するため、このアクチュエータを制御するために外部から接続される多数のケーブルの引き回しの効率化が重要な技術的課題となる。   By the way, in this parallel link stage, since a plurality of actuators such as servo motors are mounted in a relatively limited space between the base and the end effector, a large number of cables connected from the outside to control the actuators. The efficiency of routing is an important technical issue.

たとえば、従来の特許文献1では、パラレルリンクステージ107の配線ケーブルと機械構成部との擦れを防止すべく、図4に示されるような参考技術の方法が開示されている。   For example, Patent Document 1 discloses a reference technique method as shown in FIG. 4 in order to prevent friction between the wiring cable of the parallel link stage 107 and the machine component.

まず、エンドエフェクタ101の下方に位置するベース106の中央に、ケーブルクランプ部材111を配置し、各サーボモータ105a〜105fや各サーボモータに配線している。このケーブルクランプ部材111は90度屈曲した2つの面で形成され、一方の面はベース106への取付け面とされ、他方の面は配線ケーブル110の固定面とされている。   First, the cable clamp member 111 is arranged at the center of the base 106 positioned below the end effector 101, and wired to each servo motor 105a to 105f and each servo motor. The cable clamp member 111 is formed by two surfaces bent by 90 degrees, one surface is a mounting surface to the base 106, and the other surface is a fixing surface of the wiring cable 110.

配線ケーブル110は1カ所からベース106に引き込まれた後、ベース106の面に対して90度に曲げられ、ケーブルクランプ部材111にクランプされ、サーボモータ105a〜105fへ接続される。各配線ケーブル110は、サーボモータ105a〜105fの動きの障害とならないように遊びを持たせて、それぞれ各サーボモータ105a〜105fに接続される。   The wiring cable 110 is drawn into the base 106 from one place, then bent at 90 degrees with respect to the surface of the base 106, clamped on the cable clamp member 111, and connected to the servo motors 105a to 105f. Each wiring cable 110 is connected to each servo motor 105a to 105f with play so as not to obstruct the movement of the servo motors 105a to 105f.

この配線ケーブル110は、ケーブルクランプ部材111でクランプされた後、ベース106の面から垂直方向に立ち上がり、上端部側が放射状に分散するようにガイドされ、サーボモータ105a〜105fが移動して配線ケーブル110もそれにつれて移動しても、ケーブルクランプ部材111で固定された配線ケーブル110はベース106等に接することがない。   After the wiring cable 110 is clamped by the cable clamp member 111, it rises in the vertical direction from the surface of the base 106 and is guided such that the upper end side is radially dispersed, and the servo motors 105a to 105f move to move the wiring cable 110. However, the wiring cable 110 fixed by the cable clamp member 111 does not come into contact with the base 106 or the like even if it moves accordingly.

すなわち、配線ケーブル110は他の構成部材とは接触することがないため擦れることはなく、摩擦によってケーブルの被覆が破れ、ショートや断線が生じることを防止することができる。また、配線ケーブル110は、サーボドライバ120を介してコントローラ121に接続されている。   That is, the wiring cable 110 is not rubbed because it does not come into contact with other constituent members, and it can be prevented that the coating of the cable is broken due to the friction and a short circuit or disconnection occurs. The wiring cable 110 is connected to the controller 121 via the servo driver 120.

上述の参考技術ではケーブルクランプを用いることにより、機械構成部と配線ケーブルとの擦れを防止しているが、ベース106にケーブルクランプ部材111を配置するスペースが必要であり、このスペースの余裕がない場合は、上述の対策は実現できない。   In the above-described reference technique, the cable clamp is used to prevent friction between the machine component and the wiring cable. However, a space for arranging the cable clamp member 111 on the base 106 is necessary, and there is no room for this space. In this case, the above-mentioned countermeasure cannot be realized.

また、個々のサーボモータ毎に別個に配線ケーブルを敷設する構成であるため、各サー
ボモータ間にスペースがない時は、配線ケーブルがリンク機構103等に接触したり、さらには配線そのものが困難となることが懸念される。
特開2000−126954号公報
In addition, since the wiring cable is laid separately for each servo motor, when there is no space between each servo motor, the wiring cable contacts the link mechanism 103 or the like, and further, the wiring itself is difficult. There is concern about becoming.
JP 2000-126954 A

本発明の目的は、パラレルリンクステージにおいて、必要以上に大きな信号線の引き回しスペースを必要とすることなく、信号線の摩擦による損傷を確実に防止する技術を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a technique for reliably preventing damage due to friction of a signal line without requiring an unnecessarily large signal line routing space in a parallel link stage.

本発明の第1の観点は、
ベースと、
エンドエフェクタと、
前記ベースと前記エンドエフェクタとの間に介在し、複数のアクチュエータを備えたパラレルリンク機構と、
を含むパラレルリンクステージの制御方法であって、
複数の前記アクチュエータに共通に設けられた信号線を用いて制御信号のシリアル通信を行うことにより、個々の前記アクチュエータの動作を制御するパラレルリンクステージの制御方法を提供する。
The first aspect of the present invention is:
Base and
An end effector;
A parallel link mechanism interposed between the base and the end effector and provided with a plurality of actuators;
A parallel link stage control method including:
Provided is a parallel link stage control method for controlling the operation of each actuator by performing serial communication of control signals using a signal line provided in common to the plurality of actuators.

本発明の第2の観点は、
ベースと、
エンドエフェクタと、
前記ベースと前記エンドエフェクタとの間に介在し、複数のアクチュエータを備えたパラレルリンク機構と、
複数の前記アクチュエータに共通に設けられた信号線と、
前記信号線を用いて制御信号のシリアル通信を行うことにより、個々の前記アクチュエータの動作を制御するシリアル通信制御手段と、
を含むパラレルリンクステージを提供する。
The second aspect of the present invention is:
Base and
An end effector;
A parallel link mechanism interposed between the base and the end effector and provided with a plurality of actuators;
A signal line provided in common to the plurality of actuators;
Serial communication control means for controlling the operation of each actuator by performing serial communication of control signals using the signal line;
A parallel link stage including

本発明によれば、パラレルリンクステージにおいて、必要以上に大きな信号線の引き回しスペースを必要とすることなく、信号線の摩擦による損傷を確実に防止する技術を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the technique which prevents reliably the damage by the friction of a signal wire | line can be provided in a parallel link stage, without requiring the signal wire routing space larger than necessary.

本実施の形態のパラレルリンクステージでは、一例として、以下のようにして各サーボモータとサーボドライバ間の信号配線数を削減する。
すなわち、本実施の形態の第1態様では、パラレルリンクステージを移動させるためのサーボモータと、前記サーボモータを駆動するためのサーボドライバと、機械位置を検出するためのエンコーダやセンサと、前記サーボドライバを制御するためのコントローラを具備する。
In the parallel link stage of the present embodiment, as an example, the number of signal wires between each servo motor and servo driver is reduced as follows.
That is, in the first aspect of the present embodiment, a servo motor for moving the parallel link stage, a servo driver for driving the servo motor, an encoder and a sensor for detecting a machine position, and the servo A controller is provided for controlling the driver.

前記サーボモータ付近にはスレーブモジュールが前記サーボモータと等しい数だけ具備されており、前記エンコーダからの信号や前記センサからの信号を取り込み、パラレル/シリアル変換し、共通の信号線を用いて、シリアル信号として送信する。   In the vicinity of the servo motor, there are as many slave modules as the servo motor, and the signals from the encoder and the sensor are taken in, converted into parallel / serial, and serially using a common signal line. Send as a signal.

サーボドライバ付近にはマスタモジュールが具備されており、スレーブモジュールから前記シリアル信号を受信し、シリアル/パラレル変換し、各サーボドライバへエンコーダ
信号、センサ信号を送信する。
A master module is provided near the servo driver, which receives the serial signal from the slave module, performs serial / parallel conversion, and transmits an encoder signal and a sensor signal to each servo driver.

また、本実施の形態の第2態様にかかるシリアル通信の方法では、前記各サーボモータ側には、シリアル通信を送信するスレーブモジュールをサーボモータの数だけ備えており、前記マスタモジュールから送信される送信要求を受信した前記スレーブモジュールのみ信号を送信する。   Further, in the serial communication method according to the second aspect of the present embodiment, each servo motor is provided with as many slave modules as the number of servo motors that transmit serial communication, and is transmitted from the master module. Only the slave module that has received the transmission request transmits a signal.

本実施の形態における各態様のパラレルリンクステージの作用を以下に説明する。
本実施の形態では、各サーボモータのエンコーダからの信号やセンサからの信号を各スレーブモジュールにて取り込み、取り込んだ信号をパラレル/シリアル変換し送出する。各スレーブモジュールが信号を送出するタイミングは、ドライバ側に設置されているマスタモジュールが管理し、マスタモジュールが、送信要求を送り、その送信要求を受け取ったスレーブモジュールのみが前記シリアル信号の送信を開始する。
The operation of the parallel link stage of each aspect in the present embodiment will be described below.
In the present embodiment, signals from the encoders of the servo motors and signals from the sensors are captured by each slave module, and the captured signals are parallel / serial converted and transmitted. The master module installed on the driver side controls the timing at which each slave module sends a signal. The master module sends a transmission request, and only the slave module that receives the transmission request starts sending the serial signal. To do.

シリアル信号を受信したマスタモジュールは、シリアル/パラレル変換し各サーボドライバへエンコーダ信号、センサ信号を送信する。このように時分割多重化方式を用いることで、物理的に配線数を大幅に削減させることで、機械構成部との接触を避けることが可能になる。   The master module that has received the serial signal performs serial / parallel conversion and transmits an encoder signal and a sensor signal to each servo driver. By using the time division multiplexing method in this way, it is possible to avoid contact with the machine component by physically reducing the number of wires physically.

すなわち、各サーボモータに設置されているスレーブモジュール、即ち複数個のスレーブモジュールとサーボドライバ付近に設置されている一つのマスタモジュール間において、各サーボモータのエンコーダ信号やセンサ信号の送信に共通の信号線を用いた時分割多重化方式を用いることで、従来では多数必要だった配線ケーブルを論理的に一本の配線ケーブルで実現できる。   That is, a signal common to each servo motor encoder signal and sensor signal transmission between the slave modules installed in each servo motor, that is, a plurality of slave modules and one master module installed near the servo driver. By using a time-division multiplexing method using lines, it is possible to logically realize a large number of wiring cables conventionally required with a single wiring cable.

このように配線ケーブルの数を大きく削減することで、必要以上に大きな引き回しスペースを必要とすることなく、配線ケーブルと機械構成部との接触を避けることが可能になるとともに、配線の引き回しが容易となる。   By greatly reducing the number of wiring cables in this way, it is possible to avoid contact between the wiring cables and the machine components without requiring an unnecessarily large routing space, and wiring is easy. It becomes.

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
(構成)
図1は、本発明の一実施の形態であるパラレルリンクステージの制御方法を実施するパラレルリンクステージの構成の一例を示す側面図である。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
(Constitution)
FIG. 1 is a side view showing an example of the configuration of a parallel link stage that implements a method for controlling a parallel link stage according to an embodiment of the present invention.

図2は、本実施の形態のパラレルリンクステージにおける制御系の構成例を示す概念図である。
図3は、本実施の形態のパラレルリンクステージにおける制御系のシリアル通信の一例を示す概念図である。
FIG. 2 is a conceptual diagram showing a configuration example of a control system in the parallel link stage of the present embodiment.
FIG. 3 is a conceptual diagram showing an example of serial communication of the control system in the parallel link stage of the present embodiment.

本実施の形態では、一例として、並進の3自由度と回転の3自由度、の合計で6自由度の相対運動が可能なパラレルリンク機構pを備えたパラレルリンクステージ7について説明する。   In this embodiment, as an example, a parallel link stage 7 including a parallel link mechanism p capable of relative motion of 6 degrees of freedom in total of 3 degrees of freedom of translation and 3 degrees of freedom of rotation will be described.

図1に例示されるように、本実施の形態のパラレルリンクステージ7は、6自由度に移動するステージであるエンドエフェクタ1と、ベース6と、エンドエフェクタ1とベース6の間に配置されたパラレルリンク機構pと、このパラレルリンク機構pを制御するためのサーボドライバ群20(サーボドライバ20a〜サーボドライバ20f)およびコントローラ21を備えている。   As illustrated in FIG. 1, the parallel link stage 7 of the present embodiment is disposed between an end effector 1 that is a stage that moves in six degrees of freedom, a base 6, and between the end effector 1 and the base 6. A parallel link mechanism p, a servo driver group 20 (servo drivers 20a to 20f) for controlling the parallel link mechanism p, and a controller 21 are provided.

コントローラ21は、サーボドライバ群20を介して後述のようにパラレルリンク機構
pの動作を制御することにより、エンドエフェクタ1に所望の変位を実現する。
パラレルリンク機構pには、エンドエフェクタ1に連結された可動リンク2a、可動リンク2b、可動リンク2c、可動リンク2d、可動リンク2e、可動リンク2fが備えられている。
The controller 21 realizes a desired displacement in the end effector 1 by controlling the operation of the parallel link mechanism p through the servo driver group 20 as described later.
The parallel link mechanism p includes a movable link 2a, a movable link 2b, a movable link 2c, a movable link 2d, a movable link 2e, and a movable link 2f connected to the end effector 1.

また、パラレルリンク機構pには、ベース6に固定されたサーボモータ5a、サーボモータ5b、サーボモータ5c、サーボモータ5d、サーボモータ5e、サーボモータ5f(アクチュエータ)を備えた駆動リンク4a、駆動リンク4b、駆動リンク4c、駆動リンク4d、駆動リンク4e、駆動リンク4fが設けられている。   The parallel link mechanism p includes a servo link 5a, a servo link 5a, a servo motor 5b, a servo motor 5c, a servo motor 5e, and a servo motor 5f (actuator). 4b, a drive link 4c, a drive link 4d, a drive link 4e, and a drive link 4f are provided.

駆動リンク4a〜駆動リンク4fは、たとえばボールねじからなり、サーボモータ5a〜サーボモータ5fの各々の回動変位を、軸方向の伸縮変位に変換する。
さらに、パラレルリンク機構pは、一端が駆動リンク4a〜4fの各々に、他端が可動リンク2a〜2fの各々と連結された複数のリンク3a、リンク3b、リンク3c、リンク3d、リンク3e、リンク3fを有している。
The drive link 4a to the drive link 4f are formed of, for example, a ball screw, and convert the rotational displacement of each of the servo motors 5a to 5f into an axial expansion / contraction displacement.
Further, the parallel link mechanism p has a plurality of links 3a, links 3b, links 3c, links 3d, links 3e, one end of which is connected to each of the drive links 4a to 4f and the other end of each of the movable links 2a to 2f. A link 3f is provided.

また、パラレルリンク機構pの個々のサーボモータ5a,5b,5c,5d,5e,5fには、位置検出用のエンコーダ30a,30b,30c,30d,30e,30fを備えている。   The individual servo motors 5a, 5b, 5c, 5d, 5e, 5f of the parallel link mechanism p are provided with position detecting encoders 30a, 30b, 30c, 30d, 30e, 30f.

エンコーダ30a〜エンコーダ30fは、対応するサーボモータ5a〜サーボモータ5fの各々の回転位置をエンコーダ信号SEとして出力する。
サーボモータ5a〜サーボモータ5fの各々は、動力信号ケーブル9を介して、対応するサーボドライバ20a〜サーボドライバ20fの各々によって駆動される。
The encoders 30a to 30f output the rotational positions of the corresponding servo motors 5a to 5f as encoder signals SE.
Each of the servo motors 5a to 5f is driven by the corresponding servo driver 20a to servo driver 20f via the power signal cable 9.

特に図示しないが、パラレルリンク機構pには、サーボモータ5a〜サーボモータ5fの各々によって駆動されるリンク3a〜リンク3fの各々の伸縮位置や変位量、速度、加速度等の情報を検出するセンサが設けられ、センサ信号S1〜S3として出力する。   Although not particularly illustrated, the parallel link mechanism p includes a sensor that detects information such as an expansion position, a displacement amount, a speed, and an acceleration of each of the links 3a to 3f driven by each of the servo motors 5a to 5f. Provided and output as sensor signals S1 to S3.

本実施の形態の場合、パラレルリンク機構pと、サーボドライバ群20との間におけるエンコーダ信号SEやセンサ信号S1〜S3等の制御信号を、共通の1本のシリアル通信ケーブル10(信号線)を介したシリアル通信によって行う。   In the case of the present embodiment, control signals such as the encoder signal SE and sensor signals S1 to S3 between the parallel link mechanism p and the servo driver group 20 are sent to a single serial communication cable 10 (signal line). Via serial communication.

すなわち、本実施の形態の場合、個々のサーボモータ5a〜サーボモータ5fの各々には、スレーブモジュール8a,8b,8c,8d,8e,8fが設けられ、サーボドライバ群20の側には、シリアル通信ケーブル10を介してこれらに共通に接続されるマスタモジュール23(シリアル通信制御手段)が設けられている。   That is, in the case of the present embodiment, each of the individual servo motors 5a to 5f is provided with slave modules 8a, 8b, 8c, 8d, 8e, and 8f. A master module 23 (serial communication control means) that is commonly connected to these via the communication cable 10 is provided.

シリアル通信ケーブル10は、制御信号のシリアル通信に用いられるデータ線10aと、スレーブモジュール8a〜スレーブモジュール8f(シリアル通信制御手段)への電力供給を行うための電源線10bを1本に束ねた構成となっている。   The serial communication cable 10 has a configuration in which a data line 10a used for serial communication of control signals and a power supply line 10b for supplying power to the slave modules 8a to 8f (serial communication control means) are bundled together. It has become.

このスレーブモジュール8a,8b,8c,8d,8e,8fは、前記エンコーダ30a,30b,30c,30d,30e,30fからのエンコーダ信号SEやセンサ信号S1〜S3を受信し、受信した信号のシリアル通信化を行い、シリアル通信ケーブル10を介してマスタモジュール23に送出する。   The slave modules 8a, 8b, 8c, 8d, 8e, and 8f receive the encoder signals SE and sensor signals S1 to S3 from the encoders 30a, 30b, 30c, 30d, 30e, and 30f, and serial communication of the received signals. And send it to the master module 23 via the serial communication cable 10.

マスタモジュール23は、パラレル通信ケーブル22を介して、サーボドライバ群20のサーボドライバ20a〜サーボドライバ20fに接続されており、スレーブモジュール8a,8b,8c,8d,8e,8fの各々からの制御信号を、対応するサーボドライバ
20a〜サーボドライバ20fの各々に振り分けて伝達する。
The master module 23 is connected to the servo drivers 20a to 20f of the servo driver group 20 via the parallel communication cable 22, and control signals from each of the slave modules 8a, 8b, 8c, 8d, 8e, and 8f. Are distributed and transmitted to each of the corresponding servo drivers 20a to 20f.

図2を参照して、本実施の形態のパラレルリンクステージ7におけるシリアル通信による制御系の構成をより詳細に説明する。
図2に例示されるように、サーボモータ5a〜サーボモータ5fの各々に対応した設けられたスレーブモジュール8a〜スレーブモジュール8fの各々は、信号保持回路31a〜f、タイミング信号生成回路32a〜f、パラレル/シリアル変換回路33a〜f、自局ID検出回路34a〜f、シリアル/パラレル変換回路35a〜f、ラインドライバ36a〜f、ラインレシーバー37a〜f、電源回路38a〜fを備えている。
With reference to FIG. 2, the structure of the control system by serial communication in the parallel link stage 7 of this Embodiment is demonstrated in detail.
As illustrated in FIG. 2, each of the slave modules 8a to 8f provided corresponding to each of the servo motor 5a to the servo motor 5f includes a signal holding circuit 31a to f, a timing signal generation circuit 32a to f, It includes parallel / serial conversion circuits 33a-f, own station ID detection circuits 34a-f, serial / parallel conversion circuits 35a-f, line drivers 36a-f, line receivers 37a-f, and power supply circuits 38a-f.

なお、スレーブモジュール8a〜スレーブモジュール8fは同一の構成なので、図2では、スレーブモジュール8a以外は簡略化して図示されている。以下では、スレーブモジュール8aに着目して内部構成を説明する。   Since the slave module 8a to the slave module 8f have the same configuration, the components other than the slave module 8a are simplified in FIG. Hereinafter, the internal configuration will be described focusing on the slave module 8a.

信号保持回路31aは、前記エンコーダ30aからのエンコーダ信号SEやセンサ信号S1〜S3を規定のタイミングで保持する。
パラレル/シリアル変換回路33aは、前記信号保持回路31aからの信号をパラレル/シリアル変換を行う。
The signal holding circuit 31a holds the encoder signal SE and sensor signals S1 to S3 from the encoder 30a at a prescribed timing.
The parallel / serial conversion circuit 33a performs parallel / serial conversion on the signal from the signal holding circuit 31a.

ラインドライバ36aは、前記パラレル/シリアル変換回路33aからのシリアル信号を送出する。
ラインレシーバー37aは、前記マスタモジュール23からの送信要求信号を受信する。
The line driver 36a sends out a serial signal from the parallel / serial conversion circuit 33a.
The line receiver 37a receives the transmission request signal from the master module 23.

シリアル/パラレル変換回路35aは、前記ラインレシーバー37aで受信したシリアル通信信号をパラレル通信信号に変換するシリアル/パラレル変換を行う。
自局ID検出回路34aは、前記シリアル/パラレル変換回路35aからのパラレル信号が自局のID(シリアル通信ケーブル10上におけるスレーブモジュール8a〜スレーブモジュール8fの識別情報)を持つか否かを検出する。
The serial / parallel conversion circuit 35a performs serial / parallel conversion for converting the serial communication signal received by the line receiver 37a into a parallel communication signal.
The own station ID detection circuit 34a detects whether or not the parallel signal from the serial / parallel conversion circuit 35a has the ID of the own station (identification information of the slave modules 8a to 8f on the serial communication cable 10). .

タイミング信号生成回路32aは、スレーブモジュール8a内の上述の各回路ブロックで必要なタイミング信号を生成する。
電源回路38aは、電源線10bを介してマスタモジュール23の側から受電した電力を、上述の各回路ブロックに供給する。
The timing signal generation circuit 32a generates a timing signal necessary for each circuit block in the slave module 8a.
The power supply circuit 38a supplies the power received from the master module 23 side through the power supply line 10b to each circuit block described above.

一方、サーボドライバ群20の側に設けられたマスタモジュール23は、ラインレシーバー50、ラインドライバ51、シリアル/パラレル変換回路52、信号保持回路53、ID生成回路54、タイミング信号生成回路55、電源回路56を備えている。   On the other hand, the master module 23 provided on the servo driver group 20 side includes a line receiver 50, a line driver 51, a serial / parallel conversion circuit 52, a signal holding circuit 53, an ID generation circuit 54, a timing signal generation circuit 55, and a power supply circuit. 56.

ラインレシーバー50は、シリアル通信ケーブル10のデータ線10aに接続され、スレーブモジュール8a〜スレーブモジュール8fの各々のラインドライバ36a〜fから送出されるシリアル通信信号を受信する。   The line receiver 50 is connected to the data line 10a of the serial communication cable 10 and receives serial communication signals transmitted from the line drivers 36a to 36f of the slave modules 8a to 8f.

シリアル/パラレル変換回路52は、前記ラインレシーバー50からのシリアル通信信号をパラレル通信信号に変換するシリアル/パラレル変換を行う。
信号保持回路53は、前記シリアル/パラレル変換回路52から到来するスレーブモジュール8a〜スレーブモジュール8fの各々に対応したパラレル信号を規定のタイミングで保持する。
The serial / parallel conversion circuit 52 performs serial / parallel conversion for converting the serial communication signal from the line receiver 50 into a parallel communication signal.
The signal holding circuit 53 holds parallel signals corresponding to each of the slave modules 8a to 8f coming from the serial / parallel conversion circuit 52 at a prescribed timing.

この信号保持回路53は、パラレル通信ケーブル22を介して、上位のサーボドライバ
群20のサーボドライバ20a〜サーボドライバ20fの各々に接続されている。
そして、信号保持回路53に保持されているスレーブモジュール8a〜スレーブモジュール8fの各々に対応したパラレル通信信号が、対応するサーボドライバ20a〜サーボドライバ20fの各々に並列に伝達される。
The signal holding circuit 53 is connected to each of the servo drivers 20a to 20f of the upper servo driver group 20 via the parallel communication cable 22.
Then, parallel communication signals corresponding to each of the slave modules 8a to 8f held in the signal holding circuit 53 are transmitted in parallel to the corresponding servo drivers 20a to 20f.

ID生成回路54は、スレーブモジュール8a〜スレーブモジュール8fの各々に対して後述のように送出される送信要求72に含まれるサーボモータ5aからサーボモータ5fの中の一つの識別情報(後述のサーボモータ識別情報74b)を生成する。   The ID generation circuit 54 includes one piece of identification information (servo motor described later) from the servo motor 5a included in the transmission request 72 sent as described later to each of the slave modules 8a to 8f. Identification information 74b) is generated.

ラインドライバ51は、前記ID生成回路54から出力されたサーボモータ識別情報74bを含む送信要求72をシリアル通信ケーブル10のデータ線10aに送出する。
タイミング信号生成回路55は、マスタモジュール23内の上述の各回路ブロックで必要なタイミング信号を生成する。
The line driver 51 sends a transmission request 72 including the servo motor identification information 74 b output from the ID generation circuit 54 to the data line 10 a of the serial communication cable 10.
The timing signal generation circuit 55 generates a timing signal necessary for each circuit block in the master module 23.

電源回路56は、マスタモジュール23内における上述の各回路ブロックに対する電力の供給を行うとともに、シリアル通信ケーブル10の電源線10bを介してスレーブモジュール8a〜スレーブモジュール8fの各々に対する電力の供給を行う。   The power supply circuit 56 supplies power to the above-described circuit blocks in the master module 23, and supplies power to each of the slave modules 8a to 8f via the power supply line 10b of the serial communication cable 10.

図3は、本実施の形態のパラレルリンクステージ7におけるシリアル通信ケーブル10を介したマスタモジュール23と、複数のスレーブモジュール8a〜スレーブモジュール8fの各々との間に置けるシリアル通信の送受信タイミングの一例を示すタイミング図である。   FIG. 3 shows an example of transmission / reception timing of serial communication placed between the master module 23 via the serial communication cable 10 and each of the plurality of slave modules 8a to 8f in the parallel link stage 7 of the present embodiment. FIG.

送信要求72では、送信要求信号70a、送信要求信号70b、送信要求信号70c、送信要求信号70d、送信要求信号70e、送信要求信号70fを用いてマスタモジュール23からスレーブモジュール8a〜スレーブモジュール8fの各々への後述の応答フレーム74(制御信号)の送信要求行う。   In the transmission request 72, each of the slave modules 8a to 8f from the master module 23 using the transmission request signal 70a, the transmission request signal 70b, the transmission request signal 70c, the transmission request signal 70d, the transmission request signal 70e, and the transmission request signal 70f. A transmission request for a response frame 74 (control signal) to be described later is made.

送信要求信号70a〜送信要求信号70fの各々は、制御対象のサーボモータ5a〜サーボモータ5fのサーボモータ識別情報74bを含んでいる。
一方、応答73はスレーブモジュール8a〜スレーブモジュール8fの各々からからマスタモジュール23への応答信号71a、応答信号71b、応答信号71c、応答信号71d、応答信号71e、応答信号71fを示している。
Each of the transmission request signal 70a to the transmission request signal 70f includes servo motor identification information 74b of the servo motors 5a to 5f to be controlled.
On the other hand, a response 73 indicates a response signal 71a, a response signal 71b, a response signal 71c, a response signal 71d, a response signal 71e, and a response signal 71f from each of the slave modules 8a to 8f to the master module 23.

なお、図示の都合上、図3には、送信要求信号70aから送信要求信号70cと、対応する応答信号71aから応答信号71cが示されている。
本実施の形態の場合、応答信号71a〜応答信号71fの各々は、スレーブモジュール8a〜スレーブモジュール8fの各々で生成される応答フレーム74で構成されている。
For the convenience of illustration, FIG. 3 shows the transmission request signal 70a to the transmission request signal 70c and the corresponding response signal 71a to the response signal 71c.
In the case of the present embodiment, each of the response signal 71a to the response signal 71f includes a response frame 74 generated by each of the slave modules 8a to 8f.

この応答フレーム74は、先頭側から、順に、ヘッダ部74a、サーボモータ識別情報74b、エンコーダ値74c、センサ信号74d、エラー訂正符号部74eで構成されている。   The response frame 74 is composed of a header portion 74a, servo motor identification information 74b, encoder value 74c, sensor signal 74d, and error correction code portion 74e in this order from the top.

ヘッダ部74aには、応答フレーム74の開始位置を示す情報が設定されている。
サーボモータ識別情報74bには、サーボモータ5a〜サーボモータ5fのいずれかを識別する情報が設定されている。
Information indicating the start position of the response frame 74 is set in the header portion 74a.
In the servo motor identification information 74b, information for identifying any one of the servo motors 5a to 5f is set.

エンコーダ値74cには、サーボモータ5a〜サーボモータ5fの各々のエンコーダ30a〜エンコーダ30fの各々から出力されたエンコーダ信号SEの値が設定される。
センサ信号74dには、上述のセンサ信号S1〜S3が設定される。
In the encoder value 74c, the value of the encoder signal SE output from each of the encoders 30a to 30f of the servo motors 5a to 5f is set.
The sensor signals S1 to S3 described above are set in the sensor signal 74d.

エラー訂正符号部74eには、応答フレーム74の全体の信頼性を高めるための巡回冗長符号(CRC)等の情報が設定されている。
そして、送信要求信号70a〜送信要求信号70fの各々は、前記スレーブモジュール8a〜スレーブモジュール8fの各々に対する送信要求信号を示し、それに対応して、応答信号71a〜応答信号71fの各々は前記スレーブモジュール8a〜スレーブモジュール8fの各々から、前記マスタモジュール23へ送出される応答フレーム74を示している。
(作用)
本実施の形態のパラレルリンクステージ7の作用の一例について説明する。
Information such as a cyclic redundancy code (CRC) for improving the reliability of the entire response frame 74 is set in the error correction code unit 74e.
Each of the transmission request signal 70a to the transmission request signal 70f indicates a transmission request signal for each of the slave module 8a to the slave module 8f. Correspondingly, each of the response signal 71a to the response signal 71f is the slave module. A response frame 74 sent from each of 8a to 8f to the master module 23 is shown.
(Function)
An example of the operation of the parallel link stage 7 of the present embodiment will be described.

まず、パラレルリンクステージ7の全体の動作ついて簡単に説明する。
コントローラ21は、パラレルリンクステージ7のエンドエフェクタ1を所定の位置に変位させるため、サーボドライバ群20に指令して必要なサーボモータ5a〜サーボモータ5fを作動させ、リンク3a〜リンク3fを適宜伸縮変位させる。
First, the overall operation of the parallel link stage 7 will be briefly described.
In order to displace the end effector 1 of the parallel link stage 7 to a predetermined position, the controller 21 instructs the servo driver group 20 to operate the necessary servo motors 5a to 5f, and appropriately expands and contracts the links 3a to 3f. Displace.

このサーボドライバ群20のサーボドライバ20a〜サーボドライバ20fの各々では、対応するサーボモータ5a〜サーボモータ5fの各々に対して、動力信号ケーブル9を介して作動指令(駆動電流)を与えるとともに、実際のサーボモータ5a〜サーボモータ5fや、リンク3a〜リンク3f等の機構部の変位を、エンコーダ30a〜エンコーダ30fの出力であるエンコーダ信号SEや、センサ信号S1〜S3にて検出する閉ループ制御を行う。   In each of the servo drivers 20a to 20f of the servo driver group 20, an operation command (drive current) is given to each of the corresponding servo motors 5a to 5f via the power signal cable 9, and actually The closed loop control for detecting the displacement of the mechanical parts such as the servo motors 5a to 5f and the links 3a to 3f by the encoder signals SE and the sensor signals S1 to S3 output from the encoders 30a to 30f is performed. .

この閉ループ制御において、たとえば、サーボモータ5aに対応して設けられた一つのスレーブモジュール8aに着目すると、エンコーダ30aからのエンコーダ信号SEやセンサ信号S1〜S3を、信号保持回路31aにおいて、タイミング信号生成回路32aで生成された規定のタイミングにて保持する。   In this closed loop control, for example, when attention is paid to one slave module 8a provided corresponding to the servo motor 5a, the encoder signal SE and the sensor signals S1 to S3 from the encoder 30a are generated in the signal holding circuit 31a. It is held at the specified timing generated by the circuit 32a.

次に、保持した信号をパラレル/シリアル変換回路33aにてパラレル/シリアル変換し、応答フレーム74を生成する。
次に、シリアル変換した応答フレーム74をラインドライバ36aにて、マスタモジュール23のラインレシーバー50へ送出する。
Next, the held signal is parallel / serial converted by the parallel / serial conversion circuit 33a to generate a response frame 74.
Next, the serially converted response frame 74 is sent to the line receiver 50 of the master module 23 by the line driver 36a.

この時、ラインドライバ36aはイネーブル/ディセーブルの機能を持っており、自局ID検出回路34aから与えられるイネーブルが有効でないとラインドライバ36aからのシリアル信号は出力されない。   At this time, the line driver 36a has an enable / disable function, and the serial signal from the line driver 36a is not output unless the enable given from the local station ID detection circuit 34a is valid.

自局ID検出回路34aからのイネーブルが有効になる条件は、マスタモジュール23のID生成回路54で生成され、ラインドライバ51で送信された送信要求72のうち、自分のサーボモータ5aに対応したサーボモータ識別情報74bを含む送信要求信号70aを受け取った場合のみである。   The condition for enabling the enable from the own station ID detection circuit 34a is that the servo corresponding to the servo motor 5a in the transmission request 72 generated by the ID generation circuit 54 of the master module 23 and transmitted by the line driver 51. This is only when the transmission request signal 70a including the motor identification information 74b is received.

また、送信要求72(送信要求信号70a)はラインレシーバー37aで受信し、シリアル/パラレル変換回路35aでシリアルパラレル変換された後に自局ID検出回路34aにて検出する。   The transmission request 72 (transmission request signal 70a) is received by the line receiver 37a, serial-parallel converted by the serial / parallel conversion circuit 35a, and then detected by the local station ID detection circuit 34a.

また、前記イネーブル/ディセーブルの機能により、スレーブモジュール8aのラインドライバ36aから出力されるシリアル信号である応答信号71a(応答フレーム74)はマスタモジュール23のラインレシーバー50で受信され、シリアル/パラレル変換回路52にてシリアルパラレル変換され、信号保持回路53にて保持され、スレーブモジュ
ール8aに対応するサーボドライバ20aに出力される。
The response signal 71a (response frame 74), which is a serial signal output from the line driver 36a of the slave module 8a, is received by the line receiver 50 of the master module 23 by the enable / disable function, and serial / parallel conversion is performed. The signal is converted from serial to parallel by the circuit 52, held by the signal holding circuit 53, and output to the servo driver 20a corresponding to the slave module 8a.

他のスレーブモジュール8b〜スレーブモジュール8fでも同様の動作が行われる。
これにより、一つのスレーブモジュール8aから出力される応答信号71aと、その他のスレーブモジュール8b,8c,8d,8e,8fから出力される応答信号71b〜応答信号71fとが衝突することなく、スレーブモジュール8a〜スレーブモジュール8fの各々と、サーボドライバ群20のサーボドライバ20aないとサーボドライバ20fの各々との間でのシリアル通信が可能となる。
The same operation is performed in the other slave modules 8b to 8f.
As a result, the response signal 71a output from one slave module 8a and the response signals 71b to 71f output from the other slave modules 8b, 8c, 8d, 8e, and 8f do not collide with each other. Serial communication between each of the 8a to 8f slave modules and each of the servo drivers 20f and the servo drivers 20f of the servo driver group 20 is possible.

また、シリアル通信ケーブル10のデータ線10aの通信周波数を十分に大きくすることにより、スレーブモジュール8a〜スレーブモジュール8fの各々からの応答フレーム74(応答信号71a〜応答信号71f)の送信遅延が生じることもなく、実時間によるパラレルリンクステージ7の閉ループ制御が可能である。   Further, by sufficiently increasing the communication frequency of the data line 10a of the serial communication cable 10, a transmission delay of the response frame 74 (response signal 71a to response signal 71f) from each of the slave modules 8a to 8f occurs. In addition, the closed-loop control of the parallel link stage 7 in real time is possible.

このように、複数のサーボモータ5a〜サーボモータ5fの各々に設けられたスレーブモジュール8a〜スレーブモジュール8fからの複数の出力を、お互いの出力するタイミングをずらすことで、マスタモジュール23に対して、1本の論理回線上(シリアル通信ケーブル10)で多対一の通信を可能にし、パラレルリンクステージ7のパラレルリンク機構pとサーボドライバ群20との間における配線ケーブル数を大幅に削減できる。   In this way, by shifting the output timings of the plurality of outputs from the slave modules 8a to 8f provided in each of the plurality of servo motors 5a to 5f with respect to the master module 23, Many-to-one communication is possible on one logical line (serial communication cable 10), and the number of wiring cables between the parallel link mechanism p of the parallel link stage 7 and the servo driver group 20 can be greatly reduced.

すなわち、パラレルリンクステージ7において、必要以上に大きなシリアル通信ケーブル10等の信号線の引き回しスペースを必要とすることなく、信号線の摩擦による損傷を確実に防止することが可能となる。   In other words, in the parallel link stage 7, it is possible to reliably prevent damage due to friction of the signal lines without requiring an unnecessarily large routing space for the signal lines such as the serial communication cable 10.

すなわち、以上のような本発明の実施の形態のパラレルリンクステージ7によれば、サーボモータ5a〜サーボモータ5fをパラレルリンク機構pの中心に集中的に配置する構成において、サーボモータ5a〜サーボモータ5fとサーボドライバ群20との間における配線ケーブルの引き回しを困難にしているパラレルリンク構造のケーブル配線数を削減し、機械構成部との接触によるシリアル通信ケーブル10の損傷を防止するとともに、シリアル通信ケーブル10の引き回しを容易化することができる。   That is, according to the parallel link stage 7 of the embodiment of the present invention as described above, in the configuration in which the servo motors 5a to 5f are concentratedly arranged at the center of the parallel link mechanism p, the servo motor 5a to the servo motor are arranged. The number of cable connections of the parallel link structure that makes it difficult to route the wiring cable between 5f and the servo driver group 20 is reduced, and damage to the serial communication cable 10 due to contact with the machine component is prevented, and serial communication The cable 10 can be easily routed.

さらに、信号ケーブルの数の削減により、パラレルリンクステージ7の小型化、設置スペースおよび製造コストの削減を実現できる。
なお、本発明は、上述の実施の形態に例示した構成に限らず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
Furthermore, by reducing the number of signal cables, it is possible to reduce the size of the parallel link stage 7 and reduce the installation space and manufacturing cost.
Needless to say, the present invention is not limited to the configuration exemplified in the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.

たとえば、アクチュエータとしては、サーボモータに限らず、たとえば、流体圧シリンダやソレノイド、圧電素子等の他の変位発生手段を用いてもよい。
(付記1)
ベースと、エンドエフェクタと、前記ベースに固定されたサーボモータを備える駆動リンクと、前記エンドエフェクタに連結された可動リンクと、一端が駆動リンクに、他端が可動リンクと連結された少なくとも3本のリンクを有するパラレルリンクステージにおいて、各サーボモータとサーボドライバ間のエンコーダ信号やセンサ信号をシリアル通信化し、論理的に1本の線で通信を行うことを特徴とするパラレルリンクステージ。
For example, the actuator is not limited to a servo motor, and other displacement generating means such as a fluid pressure cylinder, a solenoid, and a piezoelectric element may be used.
(Appendix 1)
A base, an end effector, a drive link having a servo motor fixed to the base, a movable link coupled to the end effector, at least three coupled to the drive link at one end and the movable link at the other end In the parallel link stage having the links, the encoder signal and the sensor signal between each servo motor and the servo driver are serially communicated and communicated logically through one line.

(付記2)
付記1記載のパラレルリンクステージにおいて、
シリアル通信の手段として、サーボドライバ側にはパラレルリンクステージ機械構成部側の情報をシリアル通信にて受信するマスタモジュールを備え、各サーボモータ側には、パラレルリンクステージ機械構成部側の情報をシリアル通信にて送信するスレーブモジュ
ールをサーボモータの数だけ備えており、前記マスタモジュールの送信要求を受信した前記スレーブモジュールのみ信号を送信することを特徴とするパラレルリンクステージ。
(Appendix 2)
In the parallel link stage described in Appendix 1,
As a means of serial communication, the servo driver side has a master module that receives information on the parallel link stage machine component side via serial communication, and each servo motor side serializes the information on the parallel link stage machine component side. A parallel link stage characterized in that the number of servo modules to be transmitted by communication is the same as the number of servo motors, and a signal is transmitted only to the slave module that has received a transmission request from the master module.

本発明の一実施の形態であるパラレルリンクステージの制御方法を実施するパラレルリンクステージの構成の一例を示す側面図である。It is a side view which shows an example of a structure of the parallel link stage which enforces the control method of the parallel link stage which is one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態であるパラレルリンクステージにおける制御系の構成例を示す概念図である。It is a conceptual diagram which shows the structural example of the control system in the parallel link stage which is one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態であるパラレルリンクステージにおける制御系のシリアル通信の一例を示す概念図である。It is a conceptual diagram which shows an example of the serial communication of the control system in the parallel link stage which is one embodiment of this invention. 本発明の参考技術のパラレルリンクステージを示す側面図である。It is a side view which shows the parallel link stage of the reference technique of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 エンドエフェクタ
2a〜2f 可動リンク
3a〜3f リンク
4a〜4f 駆動リンク
5a〜5f サーボモータ
6 ベース
7 パラレルリンクステージ
8a〜8f スレーブモジュール
9 動力信号ケーブル
10 シリアル通信ケーブル
10a データ線
10b 電源線
20 サーボドライバ群
20a〜20f サーボドライバ
21 コントローラ
22 パラレル通信ケーブル
23 マスタモジュール
30 エンコーダ
30a〜30f エンコーダ
31a〜f 信号保持回路
32a〜f タイミング信号生成回路
33a〜f パラレル/シリアル変換回路
34a〜f 自局ID検出回路
35a〜f シリアル/パラレル変換回路
36a〜f ラインドライバ
37a〜f ラインレシーバー
38a〜f 電源回路
50 ラインレシーバー
51 ラインドライバ
52 シリアル/パラレル変換回路
53 信号保持回路
54 ID生成回路
55 タイミング信号生成回路
56 電源回路
70a〜70f 送信要求信号
71a〜71f 応答信号
72 送信要求
73 応答
74 応答フレーム
74a ヘッダ部
74b サーボモータ識別情報
74c エンコーダ値
74d センサ信号
74e エラー訂正符号部
S1〜S3 センサ信号
SE 回転位置信号
p パラレルリンク機構
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 End effector 2a-2f Movable link 3a-3f Link 4a-4f Drive link 5a-5f Servo motor 6 Base 7 Parallel link stage 8a-8f Slave module 9 Power signal cable 10 Serial communication cable 10a Data line 10b Power line 20 Servo driver Group 20a-20f Servo driver 21 Controller 22 Parallel communication cable 23 Master module 30 Encoder 30a-30f Encoder 31a-f Signal holding circuit 32a-f Timing signal generation circuit 33a-f Parallel / serial conversion circuit 34a-f Own station ID detection circuit 35a-f Serial / parallel conversion circuit 36a-f Line driver 37a-f Line receiver 38a-f Power supply circuit 50 Line receiver 51 Line driver 52 Serial / parallel conversion circuit 5 3 Signal holding circuit 54 ID generation circuit 55 Timing signal generation circuit 56 Power supply circuits 70a to 70f Transmission request signals 71a to 71f Response signal 72 Transmission request 73 Response 74 Response frame 74a Header part 74b Servo motor identification information 74c Encoder value 74d Sensor signal 74e Error correction code units S1 to S3 Sensor signal SE Rotational position signal p Parallel link mechanism

Claims (6)

ベースと、
エンドエフェクタと、
前記ベースと前記エンドエフェクタとの間に介在し、複数のアクチュエータを備えたパラレルリンク機構と、
を含むパラレルリンクステージの制御方法であって、
複数の前記アクチュエータに共通に設けられた信号線を用いて制御信号のシリアル通信を行うことにより、個々の前記アクチュエータの動作を制御することを特徴とするパラレルリンクステージの制御方法。
Base and
An end effector;
A parallel link mechanism interposed between the base and the end effector and provided with a plurality of actuators;
A parallel link stage control method including:
A method for controlling a parallel link stage, comprising: performing serial communication of control signals using a signal line provided in common to the plurality of actuators to control the operation of each of the actuators.
請求項1記載のパラレルリンクステージの制御方法において、
送信要求を受けた前記アクチュエータに関する前記制御信号のみを選択的に前記シリアル通信にて送出することを特徴とするパラレルリンクステージの制御方法。
The parallel link stage control method according to claim 1,
A method for controlling a parallel link stage, wherein only the control signal related to the actuator that has received a transmission request is selectively transmitted by the serial communication.
請求項1または請求項2記載のパラレルリンクステージの制御方法において、
前記アクチュエータは、サーボモータからなり、
複数の前記サーボモータの各々の回転位置を示すエンコーダ信号、および前記パラレルリンク機構の変位状態を示すセンサ信号の少なくとも一つを含む前記制御信号を前記シリアル通信により、前記サーボモータの制御側に送信することを特徴とするパラレルリンクステージの制御方法。
In the control method of the parallel link stage of Claim 1 or Claim 2,
The actuator comprises a servo motor,
The control signal including at least one of an encoder signal indicating the rotational position of each of the plurality of servo motors and a sensor signal indicating a displacement state of the parallel link mechanism is transmitted to the control side of the servo motor by the serial communication. A method for controlling a parallel link stage.
ベースと、
エンドエフェクタと、
前記ベースと前記エンドエフェクタとの間に介在し、複数のアクチュエータを備えたパラレルリンク機構と、
複数の前記アクチュエータに共通に設けられた信号線と、
前記信号線を用いて制御信号のシリアル通信を行うことにより、個々の前記アクチュエータの動作を制御するシリアル通信制御手段と、
を含むことを特徴とするパラレルリンクステージ。
Base and
An end effector;
A parallel link mechanism interposed between the base and the end effector and provided with a plurality of actuators;
A signal line provided in common to the plurality of actuators;
Serial communication control means for controlling the operation of each actuator by performing serial communication of control signals using the signal line;
The parallel link stage characterized by including.
請求項4記載のパラレルリンクステージにおいて、
前記シリアル通信制御手段は、
前記パラレルリンク機構の個々の前記アクチュエータ毎に設けられ、当該アクチュエータに関する前記制御信号を前記シリアル通信にて送受信するスレーブモジュールと、
複数の前記アクチュエータを外部から制御するアクチュエータ駆動部の側に設けられ、前記シリアル通信にて前記制御信号の送受信を行うマスタモジュールと、
を含むことを特徴とするパラレルリンクステージ。
The parallel link stage according to claim 4,
The serial communication control means includes
A slave module that is provided for each of the actuators of the parallel link mechanism, and that transmits and receives the control signal related to the actuators by the serial communication;
A master module that is provided on the side of an actuator driving unit that controls a plurality of the actuators from the outside, and that transmits and receives the control signals by the serial communication;
The parallel link stage characterized by including.
請求項5記載のパラレルリンクステージにおいて、
前記アクチュエータは、サーボモータからなり、
複数の前記サーボモータの各々の回転位置を示すエンコーダ信号、および前記パラレルリンク機構の変位状態を示すセンサ信号の少なくとも一つを含む前記制御信号を前記シリアル通信により、前記スレーブモジュールから前記マスタモジュールに送信することを特徴とするパラレルリンクステージ。
The parallel link stage according to claim 5,
The actuator comprises a servo motor,
The control signal including at least one of an encoder signal indicating each rotational position of the plurality of servo motors and a sensor signal indicating a displacement state of the parallel link mechanism is transmitted from the slave module to the master module by the serial communication. A parallel link stage characterized by transmitting.
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