JP2010080957A - Method for generating laser and pulsed laser emission - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To improve a Q switch laser so that the maximum pulse repetition rate is enhanced, and pulse length is maintained even a pulse repetition rate is increased, or shorter pulse length is selected. <P>SOLUTION: Laser for generating pulsed laser emission 2 includes: a resonator 3; a laser active medium 6 arranged in the resonator 3; and a Q switch 8 arranged in the resonator 3 and capable of setting a first state and a second state to set the quality of the resonator. The quality of the resonator is lower in a first state than that in a second state. The laser also includes: a detection unit 10 which measures the intensity of laser pulse during formation when the Q switch 8 is in the second state and outputs the measured value as an intensity signal I; and a control unit 11 which switches the Q switch 8 from the second state to the first state in response to a predetermined pulse period and the supplied intensity signal I before the completion of the pulse formation of the laser pulse, and controls the Q switch 8. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、パルスレーザ放射を生成するQスイッチレーザに関する。   The present invention relates to a Q-switched laser that generates pulsed laser radiation.

Qスイッチレーザには、可能なパルス繰り返し率が比較的低いという難点がある。このため、たとえば周知のYb:YAGレーザでは、最大パルス繰り返し率が約30kHzである。パルスレーザ放射の個々のパルスのパルス長も、パルス繰り返し率の増大に伴い高くなる。   Q-switched lasers have the disadvantage that the possible pulse repetition rate is relatively low. For this reason, for example, in a known Yb: YAG laser, the maximum pulse repetition rate is about 30 kHz. The pulse length of individual pulses of pulsed laser radiation also increases with increasing pulse repetition rate.

特許文献1には、レーザとパルスレーザ放射を生成する方法とについて記載されている。特許文献2には、固体レーザと、固体レーザのパルスエネルギを調節する方法とについて記載されている。   U.S. Patent No. 6,057,031 describes a laser and a method for generating pulsed laser radiation. Patent Document 2 describes a solid-state laser and a method for adjusting the pulse energy of the solid-state laser.

独国特許出願公開第10 2006 006 582(A1)号明細書German Patent Application Publication No. 10 2006 006 582 (A1) Specification 独国特許発明第196 34 969(B4)号明細書German Patent Invention No. 196 34 969 (B4) specification

このことから本発明の目的は、最大パルス繰り返し率をより高くできるように、かつパルス繰り返し率が増大してもパルス長を維持できる、あるいはより短いパルス長を選択できるように、Qスイッチレーザを改良することである。   Therefore, the object of the present invention is to provide a Q-switched laser so that the maximum pulse repetition rate can be further increased and the pulse length can be maintained even when the pulse repetition rate is increased or a shorter pulse length can be selected. It is to improve.

上記の目的は、パルスレーザ放射を生成するレーザによって達成される。このレーザは、共振器と、共振器内に配置されるレーザ活性媒質と、共振器内に配置され、かつ共振器の質を設定するために一つの第1状態と少なくとも一つの第2状態とに設定可能なQスイッチと、共振器の質は第2状態よりも第1状態で低いことと、Qスイッチが第2状態にあるとき、形成中のレーザパルスの強度を測定し、その測定値を強度信号として出力する検出部と、レーザパルスのパルス形成が完了する前に、所定パルス期間と供給された強度信号とに応じてQスイッチを第2状態から第1状態に切り替え、Qスイッチを制御する制御部とを備える。   The above objective is accomplished by a laser that generates pulsed laser radiation. The laser includes a resonator, a laser active medium disposed in the resonator, a first state and at least one second state disposed in the resonator and for setting a quality of the resonator. The Q switch and the quality of the resonator that can be set to be lower in the first state than in the second state, and when the Q switch is in the second state, the intensity of the laser pulse being formed is measured and the measured value The Q switch is switched from the second state to the first state in accordance with a predetermined pulse period and the supplied intensity signal before the pulse formation of the laser pulse is completed, and the Q switch is turned on. A control unit for controlling.

これによりパルス期間を短くでき、したがって所望値に設定できる。パルス形成が中断されない場合に比べて、パルス形成が中断された場合、レーザ活性媒質の反転レベルは高いままとなる(たとえば、2〜10倍、特に3〜5倍)。このため、高いパルス最大出力が可能となる。   This shortens the pulse period and can therefore be set to a desired value. Compared to the case where the pulse formation is not interrupted, the inversion level of the laser active medium remains high (for example 2 to 10 times, especially 3 to 5 times) when the pulse formation is interrupted. For this reason, a high pulse maximum output becomes possible.

特に、本発明のレーザを用いることにより、パルス期間とパルス繰り返し率とを独立に広範囲で設定できる。また、パルス形成が中断されない通常のQスイッチレーザに比べて、最大パルス繰り返し率は有意に高い。   In particular, by using the laser of the present invention, the pulse period and the pulse repetition rate can be independently set over a wide range. Further, the maximum pulse repetition rate is significantly higher than that of a normal Q-switched laser in which pulse formation is not interrupted.

特に、本発明のレーザにおいては、レーザパルスの立上りまたは立下り時の強度値を、所望のパルス期間に関係付けてもよい。この場合、この強度値に達するとQスイッチの切り替えが行われる。   In particular, in the laser of the present invention, the intensity value at the rise or fall of the laser pulse may be related to a desired pulse period. In this case, when the intensity value is reached, the Q switch is switched.

特にレーザの実装においては、所望のパルス期間を設定するために、第2状態から第1状態へのQスイッチ切替期間を考慮する。また、Qスイッチの制御電子装置によって生じる遅延も考慮できる。   In particular, in laser mounting, a Q switch switching period from the second state to the first state is considered in order to set a desired pulse period. The delay caused by the control electronics of the Q switch can also be taken into account.

Qスイッチは、音響−光学変調器または電子−光学変調器として実装できる。
また、設定可能な最大パルス期間を長くするために、制御部は、第2状態から第1状態へのQスイッチの切り替えを電子的に遅延させることができる。
The Q switch can be implemented as an acousto-optic modulator or an electro-optic modulator.
Further, in order to lengthen the maximum settable pulse period, the control unit can electronically delay switching of the Q switch from the second state to the first state.

レーザは設定部を備えることができる。この設定部は、所定パルス期間と所定パルス繰り返し率とが入力可能であり、制御部に接続される。制御部は、所定パルス期間と所定パルス繰り返し率とを有するパルスがパルスレーザ放射に含まれるように、Qスイッチを制御するものである。   The laser can include a setting unit. The setting unit can input a predetermined pulse period and a predetermined pulse repetition rate, and is connected to the control unit. The control unit controls the Q switch so that the pulse laser radiation includes a pulse having a predetermined pulse period and a predetermined pulse repetition rate.

詳細には、設定部は、所定パルス期間または所定パルス繰り返し率を入力されると、可能なパルス繰り返し率または可能なパルス期間を選択用に表示できる。このため、パルス期間とパルス繰り返し率とを簡単に設定できるレーザが提供される。   Specifically, when a predetermined pulse period or a predetermined pulse repetition rate is input, the setting unit can display a possible pulse repetition rate or a possible pulse period for selection. For this reason, the laser which can set a pulse period and a pulse repetition rate easily is provided.

設定部は、ハードウェア、ソフトウェア、またはそれらを組み合わせたものとして実装されてもよい。
詳細には、レーザは、レーザ活性媒質のポンピングを行うポンプ源も備える。
The setting unit may be implemented as hardware, software, or a combination thereof.
In particular, the laser also comprises a pump source for pumping the laser active medium.

レーザはさらに、レーザの動作に必要な当業者に周知の要素を含む。
さらに、共振器と、共振器内に配置されているQスイッチおよびレーザ活性媒質とを備え、共振器の質を設定するためにQスイッチを第1状態と第2状態とに設定可能であり、共振器の質は第1状態において第2状態より低いレーザにおいて、パルスレーザ放射を生成する方法を提供する。この方法では、Qスイッチが第2状態にあるとき、形成中のレーザパルスの強度を測定し、強度信号として出力する工程と、レーザパルスのパルス形成が完了する前に、所定パルス期間と所定強度信号とに応じて、Qスイッチを第2状態から第1状態に切り替える。
The laser further includes elements well known to those skilled in the art necessary for the operation of the laser.
Furthermore, a resonator, a Q switch and a laser active medium disposed in the resonator are provided, and the Q switch can be set to a first state and a second state in order to set the quality of the resonator, The cavity quality provides a way to produce pulsed laser radiation in a laser that is lower in the first state than in the second state. In this method, when the Q switch is in the second state, the step of measuring the intensity of the laser pulse being formed and outputting it as an intensity signal, and the predetermined pulse period and the predetermined intensity before completing the pulse formation of the laser pulse The Q switch is switched from the second state to the first state according to the signal.

この方法を用いることにより、Qスイッチレーザにおいて、パルス期間とパルス繰り返し率とを独立に広範囲で設定できる。また、通常のQスイッチレーザに比べて、パルス繰り返し率を有意に高くできる。   By using this method, the pulse period and the pulse repetition rate can be independently set over a wide range in the Q-switched laser. In addition, the pulse repetition rate can be significantly increased as compared with a normal Q-switched laser.

本発明の方法の利点については、従属請求項に開示する。
上記の特性および以下に説明する特性は、本発明の範囲内において、開示の組み合わせでだけでなく、他の組み合わせまたは単体で有用であることを理解されたい。
Advantages of the inventive method are disclosed in the dependent claims.
It is to be understood that the features described above and those described below are useful within the scope of the present invention, not only in the disclosed combination, but also in other combinations or alone.

本発明によるレーザの一実施形態の概略図。1 is a schematic diagram of an embodiment of a laser according to the present invention. パルス生成の説明図。Explanatory drawing of pulse generation. パルス生成の別の説明図。Another explanatory view of pulse generation. 可能なパルス期間および可能なパルス繰り返し率の説明図。Explanatory diagram of possible pulse duration and possible pulse repetition rate.

添付の図面に基づき、本発明について以下に例を挙げ詳細に説明する。図面も本発明に不可欠な特徴を開示するものである。
図1に示す実施形態において、パルスレーザ放射2を生成するレーザ1は、高反射端ミラー4と分離(デカップリング)ミラー5とを含む共振器3を備える。分離ミラー5の分
離率は約10%である。
The present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings. The drawings also disclose essential features of the invention.
In the embodiment shown in FIG. 1, a laser 1 that generates pulsed laser radiation 2 comprises a resonator 3 that includes a high reflection end mirror 4 and a separation (decoupling) mirror 5. The separation rate of the separation mirror 5 is about 10%.

共振器3内にはレーザ活性媒質6(Yb:YAG)が配置される。レーザ活性媒質6は、ポンプ光源7の光を使用して(この実施形態においては連続的に)ポンピングが行われる(矢印P1)。   A laser active medium 6 (Yb: YAG) is disposed in the resonator 3. The laser active medium 6 is pumped using the light from the pump light source 7 (continuously in this embodiment) (arrow P1).

共振器3内にはさらに、音響−光学変調器としてのQスイッチ8と、偏光ミラー9とが配置される。偏光ミラー9は、反射したレーザ放射のうちの小部分を分離する。この部分は検出部10で測定される。検出部10は偏光ミラー9の背後に配置されており、強度信号Iを出力する。   In the resonator 3, a Q switch 8 as an acousto-optic modulator and a polarizing mirror 9 are further arranged. The polarizing mirror 9 separates a small part of the reflected laser radiation. This portion is measured by the detection unit 10. The detection unit 10 is disposed behind the polarizing mirror 9 and outputs an intensity signal I.

レーザ1は、強度信号Iが供給され、かつ音響−光学変調器8を低質の第1状態と高質の第2状態との間で切り替え可能である制御部11と、所望のパルス繰り返し率および所望のパルス期間を設定可能な設定部12とを備える。   The laser 1 is supplied with an intensity signal I and can switch the acousto-optic modulator 8 between a low quality first state and a high quality second state, a desired pulse repetition rate and And a setting unit 12 capable of setting a desired pulse period.

本発明のレーザ1において、設定されたパルス期間を有するパルス(以降、調整済みパルスともいう)は、以下のように生成される。音響−光学変調器8が低質の第1状態に切り替わると、共振器での損失が高いためにレーザ動作は見られないが、反転分布が所望の準位で生じる。   In the laser 1 of the present invention, a pulse having a set pulse period (hereinafter also referred to as an adjusted pulse) is generated as follows. When the acousto-optic modulator 8 is switched to the low-quality first state, no laser operation is observed due to high loss in the resonator, but an inversion distribution occurs at a desired level.

音響−光学変調器を高質の第2状態に切り替えると、レーザ動作が開始する。音響−光学変調器8が十分長い時間、第2状態のままであると、図2において点線で示すレーザパルス13(未調整パルス)が生成されることがある。   When the acousto-optic modulator is switched to the high quality second state, the laser operation starts. If the acousto-optic modulator 8 remains in the second state for a sufficiently long time, a laser pulse 13 (unadjusted pulse) indicated by a dotted line in FIG. 2 may be generated.

しかしながら、共振器における強度、またしたがって形成中のレーザパルス13の強度は、検出部10によって連続的に測定され、強度信号Iとして制御部11に供給される。制御部11は、強度値Iを所望のパルス期間と関係付けるように設計される。これにより、時間tにおいてこの関係付けた強度値Iに達すると、制御部11は音響−光学変調器8を第2状態から第1状態に切り替える。ここで共振器における損失が再び大きくなるため、パルス形成を中断させ、最大パルス出力がより高い、より短いパルス14が共振器3から出力される。 However, the intensity in the resonator, and thus the intensity of the laser pulse 13 being formed, is continuously measured by the detector 10 and supplied to the controller 11 as an intensity signal I. Control unit 11 is designed to associate an intensity value I 1 and the desired pulse duration. Thus, when reaching the intensity value I 1 which gave the relationship at time t 2, the control unit 11 acousto - switching the optical modulator 8 from the second state to the first state. Here, since the loss in the resonator increases again, the pulse formation is interrupted, and a shorter pulse 14 having a higher maximum pulse output is output from the resonator 3.

第2状態から第1状態へ切り替える切替信号が音響−光学変調器8へ供給されてから第1状態になるまでに、所定時間ΔAOMが経過する。このため、音響−光学変調器8は時間tにおいて初めて第1状態に切り替わる。この時間t以降は実際にパルス形成が中断され、パルス期間がパルス13よりも短いパルス14が生成される。反転レベルが高いままであるため、一層高い繰り返し率(この実施形態においては、未調整パルス13に比べて約3倍高い繰り返し率)と、一層高いパルス安定性とが保証される。 A predetermined time ΔAOM elapses from when the switching signal for switching from the second state to the first state is supplied to the acousto-optic modulator 8 until the first state is reached. For this reason, the acousto-optic modulator 8 switches to the first state for the first time at time t 3 . The time t 3 or later is suspended actually pulse form, the pulse period is short pulses 14 than pulse 13 is generated. Since the inversion level remains high, a higher repetition rate (in this embodiment a repetition rate about 3 times higher than the unadjusted pulse 13) and a higher pulse stability are guaranteed.

利点として明らかになっていることは、パルス13の立上り時に強度を決定すること、および、設定するパルス長の尺度としてその強度を使用することである。したがって、この実施形態に記載の例においては、時間t〜時間tの強度値を所望パルス期間の設定に用いることができる。可能な最小パルス長の範囲は、切替期間ΔAOMによって決定される。この実施形態で選択した構造において、最小パルス長は100ns〜200nsである。 What has become clear as an advantage is that the intensity is determined at the rise of the pulse 13 and that it is used as a measure of the pulse length to be set. Therefore, in the example described in this embodiment, the intensity values from time t 1 to time t 4 can be used for setting the desired pulse period. The range of the minimum possible pulse length is determined by the switching period ΔAOM. In the structure selected in this embodiment, the minimum pulse length is 100 ns to 200 ns.

設定可能な最大パルス長tmax1は、図2に示すように、tおよびΔAOMによって決定される。この実施形態において、この最大パルス長tmax1は約700nsである。 The maximum settable pulse length t max1 is determined by t 4 and ΔAOM as shown in FIG. In this embodiment, the maximum pulse length t max1 is about 700 ns.

パルス13とパルス14とは勿論同時には生じないが、図2にはパルス開始の時間が一致するように示す。このため、パルス14の立上りはパルス13の立上りよりも急勾配であることが図から推測できる。これは主に、本発明のパルスの生成においては、各パルスの生成中にパルス形成が中断されるため、パルス13がそうした調整なしで生成される場合よりも高い反転レベルが共振器において持続することによる。   Of course, the pulse 13 and the pulse 14 do not occur simultaneously, but FIG. 2 shows that the pulse start times coincide with each other. For this reason, it can be estimated from the figure that the rising edge of the pulse 14 is steeper than the rising edge of the pulse 13. This is mainly because in the generation of the pulses of the present invention, the pulse formation is interrupted during the generation of each pulse, so that a higher inversion level persists in the resonator than if pulse 13 was generated without such adjustment. It depends.

図3は、未調整のパルスであるレーザパルス13と比較して、生成可能な各種レーザパルス14,14,14,...14を示す。各レーザパルス13,14,14,...14は、トリガ時間に対して時間軸tで示される。トリガ時間とは、音響−光学変調器8が第1状態から第2状態へ切り替わるように動作させる時間である。このトリガ時間は図示していない。 FIG. 3 shows various laser pulses 14, 14 1 , 14 2 ,. . . 14 7 is shown. Each laser pulse 13, 14, 14 1 ,. . . 14 7, indicated by the time axis t with respect to the trigger time. The trigger time is a time during which the acousto-optic modulator 8 is operated so as to switch from the first state to the second state. This trigger time is not shown.

パルス期間が最も長い調整済みパルス14は未調整パルス13と非常に似たパルス形状であることが図より分かる。立下りの中ほどに見られる急な低下から、パルス生成が中断されたことは明らかである。 Longest adjusted pulse 14 1 pulse period can be seen from FIG. Is a pulse shape that closely resembles the unregulated pulse 13. It is clear that the pulse generation was interrupted by the sudden drop seen in the middle of the fall.

パルス14,14,...14,14とパルス期間が短くなるにつれ、パルス最大出力(より高いパルス)が増大し、トリガ時間に対するパルス生成開始までの時間が減少する(図3の左方へのパルス「ずれ」)。この挙動は、上記に記載したとおり、高い反転レベルが維持されることに起因している。 Pulses 14 2 , 14 3 ,. . . As 14, 14 7 and the pulse duration is shortened, increasing the pulse maximum output (higher pulse), time to pulse generation start to decrease for the trigger time (pulse "displacement" to the left in FIG. 3). This behavior is due to the high inversion level being maintained as described above.

図4は、設定可能な繰り返し率(横軸)との関係で可能なパルス幅(縦軸)を示す。図4の曲線K1は、パルス幅を制御しなかった場合を示す。この場合、音響−光学変調器8は、パルス13の生成中、パルス生成が完了したときにのみ、第2状態から第1状態にだけ切り替わる。曲線K1から推測されるように、8kHz〜30kHzの範囲内のパルス繰り返し率が可能である。   FIG. 4 shows a possible pulse width (vertical axis) in relation to a settable repetition rate (horizontal axis). A curve K1 in FIG. 4 shows a case where the pulse width is not controlled. In this case, the acousto-optic modulator 8 switches from the second state to the first state only when the pulse generation is completed during the generation of the pulse 13. As can be inferred from the curve K1, pulse repetition rates in the range of 8 kHz to 30 kHz are possible.

図4に示す範囲B1は、本発明のパルス生成の中断を利用して設定可能なパルス幅の範囲である。範囲200ns〜700nsのパルス幅が可能であるが、未調整パルス13の生成におけるよりも非常に高いパルス繰り返し率が設定可能である。これは主に、上記のようにパルス形成を中断させることによってパルス期間を短くする場合、パルス形成を中断させない場合よりもレーザ活性媒質6で維持される反転レベルが高くなり、またその結果、一層高い反転レベルが維持されるために、パルス繰り返し率が有意に増大可能となる一方、非常に安定したパルスも得られるためである。   A range B1 shown in FIG. 4 is a pulse width range that can be set by using the interruption of pulse generation according to the present invention. Although pulse widths in the range of 200 ns to 700 ns are possible, a much higher pulse repetition rate can be set than in the generation of the unadjusted pulse 13. This is mainly because when the pulse period is shortened by interrupting the pulse formation as described above, the inversion level maintained in the laser active medium 6 is higher than when the pulse formation is not interrupted, and as a result, This is because, since the high inversion level is maintained, the pulse repetition rate can be significantly increased, while a very stable pulse can be obtained.

パルス繰り返し率およびパルス幅は、図4に概略的に示す範囲B1で自由に選択できる。
本発明のレーザ1において、パルス14の制御パルス幅を増大させることが可能である。また、既存の変調器切替期間ΔAOMに加えて、制御部11を用いることにより電子的な遅延ΔRが導入される。この結果、図2に概略的に示すように、一層長い最大パルス期間tmax2が得られる。この一層長いパルス期間は図4に斜線で示す範囲B2を含む。結果として、この範囲内のパルス期間とパルス繰り返し率の値の対が設定可能となり、B1とB2とが含まれる。
The pulse repetition rate and pulse width can be freely selected within a range B1 schematically shown in FIG.
In the laser 1 of the present invention, the control pulse width of the pulse 14 can be increased. In addition to the existing modulator switching period ΔAOM, an electronic delay ΔR is introduced by using the control unit 11. This results in a longer maximum pulse period t max2 as schematically shown in FIG. This longer pulse period includes a range B2 indicated by hatching in FIG. As a result, a pair of pulse period and pulse repetition rate values within this range can be set, and B1 and B2 are included.

特に設定部12は、所望のパルス幅(すなわち、パルス期間)の入力時、このパルス期間で可能なパルス繰り返し率(範囲B1によって、および任意で範囲B2による)を選択用に提示するよう実装されてもよい。選択したパルス期間とパルス繰り返し率の値の対は、設定部12を介して制御部11に供給され、これに従って音響−光学変調器8が動作する。この結果、所望パルス期間と所望パルス繰り返し率とを有するパルスレーザ放射2のパルス14が生じる。勿論、所望パルス繰り返し率の入力時に、設定部12が可能なパル
ス幅を選択用に表示することもできる。
In particular, the setting unit 12 is implemented to present for selection a pulse repetition rate (depending on the range B1 and optionally on the range B2) that is possible in this pulse period when the desired pulse width (ie pulse period) is input. May be. The pair of the selected pulse period and pulse repetition rate value is supplied to the control unit 11 via the setting unit 12, and the acousto-optic modulator 8 operates according to this. This results in a pulse 14 of pulsed laser radiation 2 having a desired pulse duration and a desired pulse repetition rate. Of course, when the desired pulse repetition rate is input, the possible pulse width of the setting unit 12 can be displayed for selection.

Claims (12)

パルスレーザ放射(2)を生成するレーザであって、
共振器(3)と、
共振器(3)内に配置されるレーザ活性媒質(6)と、
共振器(3)内に配置され、かつ共振器の質を設定するために第1状態と第2状態とに設定可能なQスイッチ(8)と、共振器の質は第1状態において第2状態より低いことと、
Qスイッチ(8)が第2状態にあるとき、形成中のレーザパルスの強度を測定し、その測定値を強度信号(I)として出力する検出部(10)と、
所定パルス期間と供給された強度信号(I)とに応じてQスイッチ(8)を制御し、レーザパルスのパルス形成が完了する前に、Qスイッチ(8)を第2状態から第1状態に切り替える制御部(11)と
を備えるレーザ。
A laser producing pulsed laser radiation (2),
A resonator (3);
A laser active medium (6) disposed in the resonator (3);
A Q switch (8) disposed in the resonator (3) and settable in a first state and a second state to set the quality of the resonator; and the quality of the resonator is second in the first state. Lower than condition,
When the Q switch (8) is in the second state, a detector (10) that measures the intensity of the laser pulse being formed and outputs the measured value as an intensity signal (I);
The Q switch (8) is controlled according to the predetermined pulse period and the supplied intensity signal (I), and the Q switch (8) is changed from the second state to the first state before the pulse formation of the laser pulse is completed. A laser comprising a control unit (11) for switching.
レーザパルスの立上りまたは立下りの強度値が所定パルス期間に関係付けられる、請求項1に記載のレーザ。   The laser of claim 1, wherein the rising or falling intensity value of the laser pulse is related to a predetermined pulse period. Qスイッチ(8)は、音響−光学変調器または電子−光学変調器として実装される、請求項1または2に記載のレーザ。   The laser according to claim 1 or 2, wherein the Q-switch (8) is implemented as an acousto-optic modulator or an electro-optic modulator. 制御部は、電子的な遅延によってQスイッチ(8)を第2状態から第1状態に切り替えてパルス期間を設定する請求項1乃至3のうちいずれか一項に記載のレーザ。   The laser according to any one of claims 1 to 3, wherein the control unit sets the pulse period by switching the Q switch (8) from the second state to the first state by an electronic delay. 制御部(11)に接続され、所定パルス期間と所定パルス繰り返し率とを入力可能な設定部(12)を備え、
制御部(11)は、パルスレーザ放射(2)のパルス(14)が所定パルス期間と所定パルス繰り返し率とを有するようにQスイッチ(8)を制御する、請求項1乃至4のうちいずれか一項に記載のレーザ。
A setting unit (12) connected to the control unit (11) and capable of inputting a predetermined pulse period and a predetermined pulse repetition rate;
The control unit (11) controls the Q switch (8) so that the pulse (14) of the pulsed laser radiation (2) has a predetermined pulse duration and a predetermined pulse repetition rate. The laser according to one item.
所定パルス期間および所定パルス繰り返し率のうちの1つ以上の入力時に、設定部(12)は、それぞれ可能なパルス繰り返し率および可能なパルス期間のうちの1つ以上を選択用に表示する、請求項5に記載のレーザ。   The setting unit (12) displays one or more of the possible pulse repetition rates and possible pulse periods for selection, respectively, upon input of one or more of the predetermined pulse periods and predetermined pulse repetition rates. Item 6. The laser according to Item 5. 共振器と、共振器内に配置されているQスイッチおよびレーザ活性媒質とを備え、共振器の質を設定するためにQスイッチを第1状態と第2状態とに設定可能であり、共振器の質は第1状態において第2状態より低いレーザにおいて、パルスレーザ放射を生成する方法であって、
Qスイッチが第2状態にあるとき、形成中のレーザパルスの強度を測定し、強度信号として出力するとともに、レーザパルスのパルス形成が完了する前に、所定パルス期間と所定強度信号とに応じて、前記Qスイッチを第2状態から第1状態に切り替える方法。
A resonator, a Q switch disposed in the resonator, and a laser active medium, wherein the Q switch can be set to a first state and a second state in order to set the quality of the resonator; A method for generating pulsed laser radiation in a laser in a first state lower than in a second state, comprising:
When the Q switch is in the second state, the intensity of the laser pulse being formed is measured and output as an intensity signal, and before the pulse formation of the laser pulse is completed, depending on the predetermined pulse period and the predetermined intensity signal The method of switching the Q switch from the second state to the first state.
前記レーザパルスの立上りの強度値は、所定パルス期間に関係付けられる、請求項7に記載の方法。   The method of claim 7, wherein the intensity value of the rising edge of the laser pulse is related to a predetermined pulse period. 前記Qスイッチは、音響−光学変調器または電子−光学変調器として実装される、請求項7または8に記載の方法。   9. A method according to claim 7 or 8, wherein the Q switch is implemented as an acousto-optic modulator or an electro-optic modulator. 電子的な遅延によってQスイッチを第2状態から第1状態へ切り替えてパルス期間を設定する請求項7乃至9のうちいずれか一項に記載の方法。   The method according to claim 7, wherein the pulse period is set by switching the Q switch from the second state to the first state by an electronic delay. レーザは所定パルス期間と所定パルス繰り返し率とを入力可能な設定部を備え、Qスイッチはパルスレーザ放射のパルスが所定パルス期間と所定パルス繰り返し率とを有するように制御される、請求項7乃至10のうちいずれか一項に記載の方法。   The laser includes a setting unit capable of inputting a predetermined pulse period and a predetermined pulse repetition rate, and the Q switch is controlled so that a pulse of the pulse laser radiation has a predetermined pulse period and a predetermined pulse repetition rate. The method according to any one of 10. 設定部は、所定パルス期間および所定パルス繰り返し率のうちの1つ以上の入力時に、それぞれ可能なパルス繰り返し率および可能なパルス期間のうちの1つ以上を選択用に表示する、請求項11に記載の方法。   The setting unit displays one or more of a possible pulse repetition rate and a possible pulse period for selection when one or more of a predetermined pulse period and a predetermined pulse repetition rate are input, respectively. The method described.
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