JP2010080182A

JP2010080182A - Manufacturing method of plasma display panel

Info

Publication number: JP2010080182A
Application number: JP2008245818A
Authority: JP
Inventors: Reiko Taniguchi; 麗子谷口; Masayuki Ono; 雅行小野; Eiichi Sato; 栄一佐藤; Takayuki Shimamura; 隆之島村
Original assignee: Panasonic Corp
Current assignee: Panasonic Corp
Priority date: 2008-09-25
Filing date: 2008-09-25
Publication date: 2010-04-08

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a plasma display panel with high quality and a long life without a chronological change of a discharge voltage. <P>SOLUTION: The manufacturing method of a plasma display panel includes a front face substrate with a dielectric layer formed so as to cover a plurality of display electrodes formed on a substrate and with a protection film formed on the dielectric layer, and a rear-face substrate arranged in opposition so as to form a discharge space on the front face substrate with a data electrode formed in a direction crossing with the display electrodes and barrier walls fitted to partition the discharge space, and has a sealing process with discharge gas sealed in after sealing a peripheral part by a sealing material with the front face substrate and the rear-face substrate arranged in opposition. After forming the protection film, a surfactant coating film formation process S14 to coat the protection film surface with the surfactant is provided, and after the process S14, a sealing process S31 is carried out. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、画像表示に用いられるプラズマディスプレイパネルの製造方法に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a plasma display panel used for image display.

近年、大画面で薄型軽量を実現できるカラー表示デバイスとしてプラズマディスプレイパネル（以下、「ＰＤＰ」と略記する）が注目されている。 In recent years, a plasma display panel (hereinafter abbreviated as “PDP”) has been attracting attention as a color display device capable of realizing a thin and lightweight on a large screen.

ＰＤＰとして代表的な交流面放電型ＰＤＰは、対向配置された前面基板と背面基板との間に多数の放電セルが形成されている。前面基板は、１対の走査電極と維持電極とからなる表示電極対がガラス基板上に互いに平行に複数対形成され、それら表示電極対を覆うように誘電体層及び保護膜が形成されている。ここで保護膜は、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）等のアルカリ土類酸化物の薄膜であり、誘電体層をイオンスパッタから保護するとともに放電開始電圧等の放電特性を安定させるために設けられている。背面基板は、ガラス基板上に複数の平行なデータ電極と、それらを覆うように誘電体層と、さらにその上に井桁状の隔壁とがそれぞれ形成され、誘電体層の表面と隔壁の側面とに蛍光体層が形成されている。そして、表示電極対とデータ電極とが立体交差するように前面基板と背面基板とが対向配置されて密封され、内部の放電空間には放電ガスが封入されている。ここで表示電極対とデータ電極とが対向する部分に放電セルが形成される。このような構成のＰＤＰの各放電セル内でガス放電により紫外線を発生させ、この紫外線で赤色、緑色及び青色の各色の蛍光体を励起発光させてカラー表示を行っている。 A typical AC surface discharge type PDP as a PDP has a large number of discharge cells formed between a front substrate and a rear substrate which are arranged to face each other. In the front substrate, a plurality of display electrode pairs each consisting of a pair of scan electrodes and sustain electrodes are formed in parallel with each other on a glass substrate, and a dielectric layer and a protective film are formed so as to cover the display electrode pairs. . Here, the protective film is a thin film of an alkaline earth oxide such as magnesium oxide (MgO), and is provided for protecting the dielectric layer from ion sputtering and stabilizing the discharge characteristics such as the discharge start voltage. The back substrate is formed with a plurality of parallel data electrodes on a glass substrate, a dielectric layer so as to cover them, and a grid-like partition wall formed thereon, respectively, and the surface of the dielectric layer and the side surface of the partition wall A phosphor layer is formed on the substrate. Then, the front substrate and the rear substrate are disposed opposite to each other so that the display electrode pair and the data electrode are three-dimensionally crossed and sealed, and a discharge gas is sealed in the internal discharge space. Here, a discharge cell is formed at a portion where the display electrode pair and the data electrode face each other. Ultraviolet rays are generated by gas discharge in each discharge cell of the PDP having such a configuration, and phosphors of red, green, and blue colors are excited and emitted by the ultraviolet rays to perform color display.

ＰＤＰを駆動する方法としてはサブフィールド法、すなわち、１フィールド期間を複数のサブフィールドに分割した上で、発光させるサブフィールドの組み合わせによって階調表示を行う方法が一般的である。サブフィールドは、初期化期間、書込み期間及び維持期間を有する。初期化期間では各放電セルで初期化放電を発生させて、それに続く書込み放電に必要な壁電荷を形成する。書込み期間では、表示を行うべき放電セルで選択的に書込み放電を発生させて、それに続く維持放電に必要な壁電荷を形成する。そして維持期間では、走査電極及び維持電極に交互に維持パルスを印加して、書込み放電を起こした放電セルで維持放電を発生させ、対応する放電セルの蛍光体層を発光させることにより画像表示を行う。 As a method of driving the PDP, a subfield method, that is, a method of performing gradation display by combining subfields to emit light after dividing one field period into a plurality of subfields. The subfield has an initialization period, an address period, and a sustain period. In the initializing period, initializing discharge is generated in each discharge cell, and wall charges necessary for the subsequent address discharge are formed. In the address period, address discharge is selectively generated in the discharge cells to be displayed, and wall charges necessary for the subsequent sustain discharge are formed. In the sustain period, a sustain pulse is applied alternately to the scan electrode and the sustain electrode, a sustain discharge is generated in the discharge cell that has caused the address discharge, and the phosphor layer of the corresponding discharge cell emits light to display an image. Do.

ここで、前記保護膜は、ガス放電時に生じるイオン衝撃から誘電体層及び電極を保護する役割（耐スパッタ性）と共に、放電時に２次電子を放出し電荷を保持する、いわゆるメモリ機能の役割を果たす。そのため保護膜は、耐イオン衝撃性（耐スパッタ性）と２次電子放出性に優れる酸化マグネシウム（ＭｇＯ）などの金属酸化膜が一般的に用いられている。 Here, the protective film serves to protect the dielectric layer and the electrode from ion bombardment that occurs during gas discharge (sputtering resistance), and also serves as a so-called memory function that emits secondary electrons and retains electric charges during discharge. Fulfill. Therefore, as the protective film, a metal oxide film such as magnesium oxide (MgO) having excellent ion bombardment resistance (sputtering resistance) and secondary electron emission properties is generally used.

しかしながら、アルカリ土類金属である酸化マグネシウムは、材料としての性質や、その膜構造が柱状構造であることから、水（Ｈ_２Ｏ）や炭酸ガス（ＣＯ_２）の吸着性が高く、その吸着した水分などは、２次電子放出能に悪影響を及ぼし、結果として放電電圧に大きな影響を与える。そのため、保護膜の水分などの吸着量を低減する方法が従来から提案されてきた。 However, magnesium oxide, which is an alkaline earth metal, has a high adsorptivity for water (H ₂ O) and carbon dioxide (CO ₂ ) because of its properties as a material and its film structure is a columnar structure. Moisture that has been adversely affected secondary electron emission ability, and as a result, the discharge voltage is greatly affected. Therefore, a method for reducing the amount of adsorption of moisture or the like on the protective film has been proposed.

例えば、特許文献１では、ＭｇＯ保護膜の上部に第二の保護膜として高分子有機膜を形成することにより、水や炭酸ガスの吸着を抑制する技術が開示されている。
特開２００５−１５８３９１号公報 For example, Patent Document 1 discloses a technique for suppressing the adsorption of water and carbon dioxide gas by forming a polymer organic film as a second protective film on the MgO protective film.
JP 2005-158391 A

本発明はこのような問題点に鑑み、保護膜に吸着する水や不純物ガスを低減することで、ＰＤＰのガス放電空間に持ち込まれる水や不純物ガスを減らし、放電電圧の経時変化のない高品質・長寿命のＰＤＰを提供することを目的とする。 In view of such problems, the present invention reduces the water and impurity gas adsorbed on the protective film, thereby reducing the water and impurity gas brought into the PDP gas discharge space, and does not cause a change in discharge voltage over time. -The purpose is to provide a long-life PDP.

このような課題を解決するために本発明は、基板上に形成した複数の表示電極を覆うように誘電体層を形成するとともにその誘電体層上に保護膜を形成した前面基板と、この前面基板に放電空間を形成するように対向配置されかつ前記表示電極と交差する方向にデータ電極を形成するとともに前記放電空間を区画する隔壁を設けた背面基板とを有し、前記前面基板と背面基板とを対向配置して周辺部を封着材により封着した後、内部に放電ガスを封入する封着工程を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記保護膜を形成した後に保護膜表面を界面活性剤で被覆する被覆膜形成工程を設け、この被覆膜形成工程の後に前記封着工程を行うことを特徴とする。 In order to solve such problems, the present invention provides a front substrate in which a dielectric layer is formed so as to cover a plurality of display electrodes formed on the substrate and a protective film is formed on the dielectric layer, and the front surface A front substrate and a rear substrate disposed opposite to each other so as to form a discharge space on the substrate and having a data electrode formed in a direction intersecting with the display electrode and provided with a partition wall partitioning the discharge space. The plasma display panel manufacturing method includes a sealing step in which a discharge gas is sealed inside after the peripheral portion is sealed with a sealing material, and the protective film surface is formed after the protective film is formed A coating film forming step of coating the surface with a surfactant is provided, and the sealing step is performed after the coating film forming step.

本発明に係るＰＤＰの製造方法によれば、界面活性剤を保護膜に被覆することで、水分や二酸化炭素の吸着量を減少させることができ、ＰＤＰのガス放電空間内に持ち込まれる水や不純物ガスを減らすことが可能となり、放電電圧の経時変化のない高品質・長寿命のＰＤＰを提供することができる。 According to the method for producing a PDP according to the present invention, the amount of moisture and carbon dioxide adsorbed can be reduced by coating the protective film with the surfactant, and the water and impurities brought into the gas discharge space of the PDP. Gas can be reduced, and a high-quality and long-life PDP in which the discharge voltage does not change with time can be provided.

以下、本発明の実施の形態に係るＰＤＰの製造方法について、図１〜図７の図面を用いて説明する。 Hereinafter, a method for manufacturing a PDP according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.

図１は本発明の実施の形態におけるＰＤＰの構造を示す斜視図、図２は放電セル部分の構造を示す断面図である。 FIG. 1 is a perspective view showing the structure of a PDP according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view showing the structure of a discharge cell portion.

図１、図２に示すように、ＰＤＰ１は、ガラス基板からなる前面基板３などよりなる前面板２と、ガラス基板からなる背面基板１１などよりなる背面板１０とが対向して配置され、その外周部をガラスフリットなどからなる封着材によって気密封着されている。封着されたＰＤＰ１内部の放電空間１６には、ＮｅおよびＸｅなどの放電ガスが４００Ｔｏｒｒ〜６００Ｔｏｒｒの圧力で封入されている。 As shown in FIG. 1 and FIG. 2, the PDP 1 is arranged such that a front plate 2 made of a front substrate 3 made of a glass substrate and a back plate 10 made of a back substrate 11 made of a glass substrate face each other. The outer periphery is hermetically sealed with a sealing material made of glass frit or the like. The discharge space 16 inside the sealed PDP 1 is filled with a discharge gas such as Ne or Xe at a pressure of 400 Torr to 600 Torr.

前面板２の前面基板３上には、走査電極４および維持電極５よりなる一対の帯状の表示電極６とブラックストライプ（遮光層）７が互いに平行にそれぞれ複数列配置されている。この走査電極４と維持電極５は、それぞれインジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）や酸化スズ（ＳｎＯ_２）などからなる透明電極と、透明電極上に形成された金属バス電極とにより構成されている。金属バス電極は、透明電極の長手方向に導電性を付与する目的として用いられ、銀（Ａｇ）材料を主成分とする導電性材料によって形成されている。また、前面基板３上には表示電極６と遮光層７とを覆うようにコンデンサとしての働きをする誘電体層８が形成され、さらにその表面に酸化マグネシウム（ＭｇＯ）などからなる保護膜９が形成されている。 On the front substrate 3 of the front plate 2, a pair of strip-shaped display electrodes 6 composed of scanning electrodes 4 and sustain electrodes 5 and black stripes (light shielding layers) 7 are arranged in a plurality of rows in parallel with each other. The scan electrode 4 and the sustain electrode 5 are each composed of a transparent electrode made of indium tin oxide (ITO), tin oxide (SnO ₂ ), or the like, and a metal bus electrode formed on the transparent electrode. The metal bus electrode is used for the purpose of imparting conductivity in the longitudinal direction of the transparent electrode, and is formed of a conductive material mainly composed of a silver (Ag) material. A dielectric layer 8 that functions as a capacitor is formed on the front substrate 3 so as to cover the display electrodes 6 and the light shielding layer 7, and a protective film 9 made of magnesium oxide (MgO) is formed on the surface of the dielectric layer 8. Is formed.

また、背面板１０の背面基板１１上には、前面板２の走査電極４および維持電極５と直交する方向に、複数の帯状のデータ電極１２が互いに平行に配置され、これを下地誘電体層１３が被覆している。さらに、データ電極１２間の下地誘電体層１３上には放電空間１６を区切る所定の高さの隔壁１４が形成されている。隔壁１４間の溝にデータ電極１２毎に、紫外線によって赤色、緑色および青色にそれぞれ発光する蛍光体層１５が順次塗布して形成されている。走査電極４および維持電極５とデータ電極１２とが交差する位置に放電セルが形成され、表示電極６方向に並んだ赤色、緑色、青色の蛍光体層１５を有する放電セルがカラー表示のための画素になる。 On the back substrate 11 of the back plate 10, a plurality of band-like data electrodes 12 are arranged in parallel to each other in a direction orthogonal to the scanning electrodes 4 and the sustain electrodes 5 of the front plate 2, and this is provided as a base dielectric layer. 13 is covering. Further, a partition wall 14 having a predetermined height is formed on the underlying dielectric layer 13 between the data electrodes 12 to divide the discharge space 16. A phosphor layer 15 that emits red, green, and blue light by ultraviolet rays is sequentially applied to the data electrode 12 in the groove between the barrier ribs 14. A discharge cell is formed at a position where the scan electrode 4 and the sustain electrode 5 intersect with the data electrode 12, and the discharge cell having red, green, and blue phosphor layers 15 arranged in the direction of the display electrode 6 is used for color display. Become a pixel.

次に、本発明による製造工程について、図３〜図６を用いて説明する。 Next, the manufacturing process according to the present invention will be described with reference to FIGS.

まず、前面板工程について説明すると、前面板工程においては、図３に示すように、ガラス基板からなる前面基板３上に、走査電極４および維持電極５よりなる一対の帯状の表示電極６とブラックストライプ（遮光層）７を形成する走査電極／維持電極形成工程Ｓ１１を行い、その後誘電体層８を形成する誘電体層形成工程Ｓ１２と、その表面に酸化マグネシウム（ＭｇＯ）などからなる保護膜９を形成する保護膜形成工程Ｓ１３を行う。 First, the front plate process will be described. In the front plate process, as shown in FIG. 3, a pair of strip-shaped display electrodes 6 each composed of a scanning electrode 4 and a sustain electrode 5 and a black electrode are formed on a front substrate 3 composed of a glass substrate. A scanning electrode / sustain electrode forming step S11 for forming a stripe (light shielding layer) 7 is performed, and then a dielectric layer forming step S12 for forming a dielectric layer 8, and a protective film 9 made of magnesium oxide (MgO) on the surface thereof. A protective film forming step S13 is performed.

その後、本発明においては、保護膜９を形成する保護膜形成工程Ｓ１３の後に、保護膜表面を界面活性剤で被覆する界面活性剤被覆膜形成工程Ｓ１４を行うことにより、前面板工程が終了する。この界面活性剤被覆膜形成工程Ｓ１４により、保護膜９を界面活性剤で被覆した模式図を図４に示す。 Thereafter, in the present invention, after the protective film forming step S13 for forming the protective film 9, the front plate process is completed by performing the surfactant coating film forming step S14 for coating the surface of the protective film with the surfactant. To do. FIG. 4 shows a schematic diagram in which the protective film 9 is coated with the surfactant in the surfactant coating film forming step S14.

図４において、界面活性剤１７は親水基１７ａと疎水基１７ｂを有しており、保護膜９はイオン性の強い金属酸化物であるため、界面活性剤１７の親水基１７ａ側が保護膜９の表面に強く吸着する。一方、大気側に晒される疎水基１７ｂは、極性が無いため、極性分子であるＨ_２ＯやＣＯ_２との親和性が低く、大気中のＨ_２ＯやＣＯ_２の吸着を抑制することとなる。 In FIG. 4, since the surfactant 17 has a hydrophilic group 17a and a hydrophobic group 17b, and the protective film 9 is a strong ionic metal oxide, the hydrophilic group 17a side of the surfactant 17 is the protective film 9 side. Adsorbs strongly on the surface. On the other hand, since the hydrophobic group 17b exposed to the atmosphere has no polarity, it has a low affinity with the polar molecules H ₂ O and CO ₂ and suppresses the adsorption of H ₂ O and CO _{2 in} the atmosphere. Become.

なお、界面活性剤１７としては様々な種類のものがあるが、本発明においては、特にアニオン性、非イオン性界面活性剤が好適に利用できる。また、界面活性剤１７の疎水基１７ｂの直鎖の炭素数は１０以上のもの、例えばラウリン酸、ミリスチン酸、パルミチン酸、ステアリン酸、オレイン酸、アラキジン酸、リノレン酸、ベヘン酸などを含有していることが望ましい。直鎖の炭素数が多いと疎水性が強く、Ｈ_２Ｏ，ＣＯ_２などの極性分子の吸着抑制に効果が高いためである。 There are various types of surfactant 17, and in the present invention, anionic and nonionic surfactants can be particularly preferably used. Further, the hydrophobic group 17b of the surfactant 17 contains 10 or more linear carbon atoms such as lauric acid, myristic acid, palmitic acid, stearic acid, oleic acid, arachidic acid, linolenic acid, behenic acid and the like. It is desirable that This is because if the number of carbon atoms in the straight chain is large, the hydrophobicity is strong and the effect of suppressing the adsorption of polar molecules such as H ₂ O and CO ₂ is high.

一方、背面板工程においては、背面基板１１上に複数の帯状のデータ電極１２を形成するデータ電極形成工程Ｓ２１を行い、その後データ電極１２を被覆する下地誘電体層１３を形成する下地誘電体層形成工程Ｓ２２を行った後、下地誘電体層１３上に放電空間１６を区切る所定の高さの隔壁１４を形成する隔壁形成工程Ｓ２３と、隔壁１４間の溝に赤色、緑色および青色にそれぞれ発光する蛍光体層１５を形成する蛍光体層形成工程Ｓ２４を行うことにより、図２に示すような背面板１０を得る背面板工程が終了する。 On the other hand, in the back plate process, a data electrode forming step S21 for forming a plurality of strip-like data electrodes 12 on the back substrate 11 is performed, and then a base dielectric layer 13 for forming the base dielectric layer 13 covering the data electrodes 12 is formed. After performing the forming step S22, the barrier rib forming step S23 for forming the barrier ribs 14 of a predetermined height for partitioning the discharge space 16 on the underlying dielectric layer 13, and the grooves between the barrier ribs 14 emit red, green and blue light, respectively. By performing the phosphor layer forming step S24 for forming the phosphor layer 15 to be performed, the back plate step for obtaining the back plate 10 as shown in FIG. 2 is completed.

このようにして作製した前面板２と背面板１０とは、次の組立工程に送られ、パネルとしての組立が行われる。 The front plate 2 and the back plate 10 produced in this way are sent to the next assembling process and assembled as a panel.

組立工程においては、まず背面板１０の周辺部に軟化点が３９０℃程度のガラスフリットからなる封着材を塗布した後、前面板２と背面板１０とを、走査電極４および維持電極５とデータ電極１２とが交差するように対向配置させて貼り合せ、加熱炉により、封着材であるガラスフリットが軟化する温度以上まで加熱することにより周辺部を封着する封着工程Ｓ３１を行う。図５にその封着工程の一例を示しており、図５において、１８は封着材である。この封着工程Ｓ３１においては、パネルを貼り合せた状態で加熱炉１９に入れ、封着材１８の軟化点温度以上まで加熱することにより封着する。 In the assembly process, first, a sealing material made of glass frit having a softening point of about 390 ° C. is applied to the periphery of the back plate 10, and then the front plate 2 and the back plate 10 are connected to the scan electrode 4 and the sustain electrode 5. The sealing step S31 is performed in which the data electrodes 12 are arranged to face each other so as to intersect with each other, and are heated to a temperature at which the glass frit serving as a sealing material is softened or higher by a heating furnace to seal the periphery. FIG. 5 shows an example of the sealing process. In FIG. 5, reference numeral 18 denotes a sealing material. In this sealing step S31, the panel is attached to the heating furnace 19, and the panel is sealed by heating up to the softening point temperature of the sealing material 18.

封着工程Ｓ３１によりパネルの周辺部を封着した後は、図５に示すように、ガラス管２０を通して、パネル内の排気を行う排気工程Ｓ３２を行った後、引き続きパネル内にＮｅ−Ｘｅからなるガラス管２０を通して放電ガスを封入する放電ガス封入工程Ｓ３３を行い、その後パネルのエージング工程Ｓ３４を行うことにより、ＰＤＰパネルが完成する。 After sealing the peripheral part of the panel in the sealing step S31, as shown in FIG. 5, after performing the exhausting step S32 for exhausting the inside of the panel through the glass tube 20, the Ne-Xe is continued into the panel. A PDP panel is completed by performing a discharge gas sealing step S33 in which a discharge gas is sealed through the glass tube 20 and then performing an aging step S34 of the panel.

ここで、本発明においては、前面板工程において、界面活性剤被覆膜形成工程Ｓ１４を設け、保護膜９を界面活性剤１７で被覆したが、界面活性剤１７の多くは３００℃程度の温度で加熱することにより消失するため、封着工程Ｓ３１において、封着材であるガラスフリットを軟化させた際に消失することとなり、パネルに悪影響を与えることはない。なお、分子量が大きい界面活性剤１７を用いる場合などでは、封着工程Ｓ３１における加熱だけでは、界面活性剤１７が充分に除去できないことが考えられるため、このような場合は、図６に示すように、封着工程Ｓ３１の前に、界面活性剤除去焼成工程Ｓ１５を追加してもよい。この界面活性剤除去焼成工程Ｓ１５は、封着工程Ｓ３１の直前に行うことが望ましい。 Here, in the present invention, in the front plate process, a surfactant coating film forming step S14 is provided, and the protective film 9 is coated with the surfactant 17. Most of the surfactant 17 has a temperature of about 300 ° C. In the sealing step S31, it disappears when the glass frit that is the sealing material is softened, and the panel is not adversely affected. In the case of using a surfactant 17 having a large molecular weight, it is considered that the surfactant 17 cannot be sufficiently removed only by heating in the sealing step S31. In such a case, as shown in FIG. Furthermore, you may add surfactant removal baking process S15 before sealing process S31. It is desirable to perform this surfactant removal baking step S15 immediately before the sealing step S31.

次に、具体的に実験した結果について説明する。 Next, the result of a specific experiment will be described.

まず、実験サンプルは、表示電極対、誘電体層を形成した前面ガラス基板上に、電子ビーム蒸着でＭｇＯを８００ｎｍの膜厚で形成し、その後次の界面活性剤分散液をＭｇＯ膜に塗布した後、１００℃で３０分間、乾燥空気中で乾燥させ、界面活性剤の被膜を形成した。
（サンプルａ）ラウリン酸（直鎖炭素数１０）系界面活性剤７ｇを１Ｌのヘプタン（和光純薬工業社製、９７＋％）に分散
（サンプルｂ）ステアリン酸（直鎖炭素数１６）系界面活性剤１０ｇを１Ｌのヘプタン（和光純薬工業社製、９７＋％）に分散
（サンプルｃ）ベヘン酸（直鎖炭素数２０）系界面活性剤１２ｇを１Ｌのブタノール（和光純薬工業社製、９７＋％）に分散
そして、上記サンプルａ〜ｃを大気中で２４時間放置したものと、更にサンプルａ〜ｃを乾燥大気中３００℃で２時間焼成したものを作製した。 First, in the experimental sample, MgO was formed to a thickness of 800 nm by electron beam evaporation on a front glass substrate on which a display electrode pair and a dielectric layer were formed, and then the next surfactant dispersion was applied to the MgO film. Then, it was dried in dry air at 100 ° C. for 30 minutes to form a surfactant film.
(Sample a) 7 g of lauric acid (linear carbon number 10) surfactant is dispersed in 1 L of heptane (97 +%, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) (sample b) stearic acid (linear carbon number 16) interface 10 g of activator is dispersed in 1 L of heptane (97% by Wako Pure Chemical Industries, Ltd., sample c) 12 g of behenic acid (linear carbon number 20) surfactant is added by 1 L of butanol (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd., 97 +%) Then, the samples a to c were left in the air for 24 hours, and the samples a to c were further baked at 300 ° C. for 2 hours in a dry atmosphere.

これらのサンプルについて、表面の吸着種の濃度を調べるために、大気放置後のサンプルと、焼成後のサンプルをＸＰＳ（Ｘ線光電子分光装置、日本電子製ＪＰＳ−９０１０）で分析した。比較のために、界面活性剤で被覆しないサンプルについても上記処理を行い、測定を行った。ＸＰＳの分析結果より求めたＣＨ，ＯＨ，ＣＯの表面濃度を図７（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）に示す。なお、ＣＨは残留有機物（主に界面活性剤そのもの）、ＣＯは炭酸ガス、ＯＨは水分の吸着程度を判定できる。 For these samples, in order to examine the concentration of adsorbed species on the surface, the sample after being left in the atmosphere and the sample after firing were analyzed by XPS (X-ray photoelectron spectrometer, JPS-9010 manufactured by JEOL). For comparison, a sample not coated with a surfactant was also subjected to the above treatment and measured. The surface concentrations of CH, OH and CO obtained from the XPS analysis results are shown in FIGS. 7 (A), (B) and (C). Note that CH is a residual organic substance (mainly the surfactant itself), CO is carbon dioxide, and OH can determine the degree of moisture adsorption.

残留有機物については、大気放置後において、直鎖炭素数にほぼ比例してＣＨ濃度も増加した。つまり、表面に被覆された界面活性剤の密度は同程度であると推測される。焼成後においては、どの界面活性剤を被覆したサンプルでも、被覆無サンプルと同等まで、ＣＨ濃度が減少した。つまり、焼成により界面活性剤はほぼ除去できていることが確認できた。 As for the residual organic matter, the CH concentration increased in proportion to the linear carbon number after being left in the atmosphere. That is, the density of the surfactant coated on the surface is estimated to be approximately the same. After firing, the CH concentration decreased to the same level as the uncoated sample in any of the surfactant-coated samples. That is, it was confirmed that the surfactant was almost removed by firing.

炭酸ガス、水の吸着については、大気放置後において、ラウリン酸系界面活性剤被覆サンプルのＯＨ，ＣＯ濃度が、被覆無サンプルとほとんど変わらなかった。一方、直鎖炭素数の多いステアリン酸系界面活性剤、ベヘン酸系界面活性剤を被覆したサンプルでは、ＯＨ，ＣＯ濃度の減少が見られ、吸着抑制の効果を確認することができた。除去焼成後では、大気放置後に比べ、ＯＨ，ＣＯ濃度の減少が全てのサンプルで確認できた。またラウリン酸系界面活性剤被覆サンプルでも他の界面活性剤と同様に、被覆無サンプルの濃度より少ない吸着濃度となり、結果的には、ＯＨ，ＣＯの吸着抑制ができることが確認できた。 Regarding the adsorption of carbon dioxide gas and water, the OH and CO concentrations of the lauric acid surfactant-coated sample were almost the same as the uncoated sample after being left in the atmosphere. On the other hand, in the sample coated with a stearic acid type surfactant and a behenic acid type surfactant with a large number of straight-chain carbons, a decrease in OH and CO concentrations was observed, and the effect of inhibiting adsorption could be confirmed. After removing and firing, a decrease in OH and CO concentrations was confirmed in all samples compared to after leaving in the atmosphere. In addition, as with other surfactants, the lauric acid-based surfactant-coated sample had an adsorption concentration lower than that of the uncoated sample, and as a result, it was confirmed that adsorption of OH and CO could be suppressed.

ラウリン酸系界面活性剤被覆サンプルが、大気放置後にＯＨ，ＣＯが多かった理由としては、炭酸ガスや水が界面活性剤被膜の上にのみ吸着していた可能性が考えられる。つまり、炭酸ガスや水は界面活性剤被膜でブロックされＭｇＯ膜まで拡散しなかったために、ＭｇＯ膜への吸着は進まず、結果的に吸着抑制効果が発揮できたと考えられる。 The reason why the lauric acid-based surfactant-coated sample contained a lot of OH and CO after being left in the atmosphere could be that carbon dioxide gas or water was adsorbed only on the surfactant coating. That is, it is considered that carbon dioxide gas and water were blocked by the surfactant coating and did not diffuse to the MgO film, so that the adsorption to the MgO film did not proceed and as a result, the adsorption suppressing effect could be exhibited.

以上の説明から明らかなように、本発明に係るＰＤＰの製造方法によれば、界面活性剤を保護膜に被覆することで、水分や二酸化炭素の吸着量を減少させることができ、ＰＤＰのガス放電空間内に持ち込まれる水や不純物ガスを減らすことが可能となり、放電電圧の経時変化のない高品質・長寿命のＰＤＰを提供することができる。 As is apparent from the above description, according to the method for producing a PDP according to the present invention, the amount of moisture and carbon dioxide adsorbed can be reduced by covering the protective film with the surfactant, and the PDP gas. It is possible to reduce water and impurity gas brought into the discharge space, and to provide a high-quality and long-life PDP in which the discharge voltage does not change with time.

以上のように本発明によれば、高品質で長寿命のＰＤＰを実現する上で有用な発明である。 As described above, according to the present invention, the invention is useful for realizing a high-quality and long-life PDP.

本発明の実施の形態に係るＰＤＰの構造を一部を断面で示す斜視図The perspective view which shows a part of structure of PDP which concerns on embodiment of this invention in a cross section 本発明のＰＤＰの放電セル部分の断面図Sectional drawing of the discharge cell part of PDP of this invention 本発明の実施の形態に係るＰＤＰの製造方法における製造工程図Manufacturing process diagram in the manufacturing method of the PDP according to the embodiment of the present invention 本発明の要部工程において、保護膜を界面活性剤で被覆した様子を示す模式図The schematic diagram which shows a mode that the protective film was coat | covered with surfactant in the principal part process of this invention. 本発明の要部工程を示す概略図Schematic showing the main steps of the present invention 本発明の実施の形態に係るＰＤＰの製造方法における他の例を示す製造工程図Manufacturing process figure which shows the other example in the manufacturing method of PDP which concerns on embodiment of this invention 本発明の効果を説明するために行った実験結果を示す特性図The characteristic diagram which shows the experimental result which was done in order to explain the effect of this invention

Explanation of symbols

１ＰＤＰ
２前面板
３前面基板
４走査電極
５維持電極
６表示電極
８誘電体層
９保護膜
１０背面板
１１背面基板
１２データ電極
１４隔壁
１５蛍光体層
１６放電空間
１７界面活性剤 1 PDP
DESCRIPTION OF SYMBOLS 2 Front plate 3 Front substrate 4 Scan electrode 5 Sustain electrode 6 Display electrode 8 Dielectric layer 9 Protective film 10 Back plate 11 Back substrate 12 Data electrode 14 Partition 15 Phosphor layer 16 Discharge space 17 Surfactant

Claims

A front substrate in which a dielectric layer is formed so as to cover a plurality of display electrodes formed on the substrate and a protective film is formed on the dielectric layer; and a front surface substrate is disposed so as to form a discharge space; And a rear substrate provided with partition walls for partitioning the discharge space and forming a data electrode in a direction intersecting the display electrode, and the front substrate and the rear substrate are arranged to face each other with a sealing material at the periphery. A method of manufacturing a plasma display panel having a sealing step of sealing a discharge gas inside after sealing, the coating film forming step of coating the surface of the protective film with a surfactant after forming the protective film A method for manufacturing a plasma display panel, characterized in that the sealing step is performed after the coating film forming step.

2. The method of manufacturing a plasma display panel according to claim 1, wherein the surfactant is a surfactant having 10 or more linear carbon atoms in a hydrophobic group.