JP2010062002A - Exhaust pipe for plasma display panel, and manufacturing method for plasma display panel - Google Patents

Exhaust pipe for plasma display panel, and manufacturing method for plasma display panel Download PDF

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衛 渡邉
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To uniformly heat a plasma display panel by reducing heating variations in an exhausting process in manufacturing processes of the plasma display panel; and to reduce impure gas and impurities remaining in the plasma display panel. <P>SOLUTION: In an exhaust pipe 50 for a plasma display panel 10 wherein one end is glued on a rear plate 30 so as to cover an exhaust hole arranged on the rear plate 30 and the other end is mounted on an exhaust head 53 and a sealing section is sealed after introducing a discharge gas in the plasma display panel 10, when one end is glued on the rear plate 30, the exhaust pipe 50 is formed to have a shape with at lease one bending section so as to make the exhaust head 53 mounted on the other end to be arranged outside a zone where a heater 73 for heating the plasma display panel 10 and the rear plate 30 are faced each other. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、壁掛けテレビや大型モニターに用いられるプラズマディスプレイ装置の製造工程において用いられるプラズマディスプレイパネル用排気管およびプラズマディスプレイパネルの製造方法に関する。   The present invention relates to a plasma display panel exhaust pipe and a plasma display panel manufacturing method used in a manufacturing process of a plasma display device used for a wall-mounted television or a large monitor.

プラズマディスプレイパネル(以下、「パネル」と略記する)として代表的な交流面放電型パネルは、対向配置された前面板と背面板との間に多数の放電セルが形成されている。前面板は、1対の走査電極と維持電極とからなる表示電極対が前面ガラス基板上に互いに平行に複数対形成され、それら表示電極対を覆うように誘電体層および保護層が形成されている。背面板は、背面ガラス基板上に複数の平行なデータ電極が形成され、それらデータ電極を覆うように誘電体層が形成され、さらに誘電体層の上にデータ電極と平行に配置された複数の隔壁が形成され、誘電体層の表面と隔壁の側面とに蛍光体層が形成されている。そして、表示電極対とデータ電極とが立体交差するように前面板と背面板とが対向配置されて密封され、内部の放電空間には、例えば分圧比で5%のキセノンを含む放電ガスが封入されている。ここで表示電極対とデータ電極とが対向する部分に放電セルが形成される。このような構成のパネルにおいて、各放電セル内でガス放電により紫外線を発生させ、この紫外線で赤色(R)、緑色(G)および青色(B)の各色の蛍光体を励起発光させてカラー表示を行っている。   A typical AC surface discharge type panel as a plasma display panel (hereinafter abbreviated as “panel”) has a large number of discharge cells formed between a front plate and a back plate arranged to face each other. In the front plate, a plurality of display electrode pairs each consisting of a pair of scan electrodes and sustain electrodes are formed in parallel with each other on the front glass substrate, and a dielectric layer and a protective layer are formed so as to cover the display electrode pairs. Yes. In the back plate, a plurality of parallel data electrodes are formed on a back glass substrate, a dielectric layer is formed so as to cover the data electrodes, and a plurality of data electrodes arranged in parallel with the data electrodes on the dielectric layer. A partition wall is formed, and a phosphor layer is formed on the surface of the dielectric layer and the side surface of the partition wall. Then, the front plate and the back plate are arranged opposite to each other so that the display electrode pair and the data electrode are three-dimensionally crossed and sealed, and a discharge gas containing, for example, 5% xenon is enclosed in the internal discharge space. Has been. Here, a discharge cell is formed at a portion where the display electrode pair and the data electrode face each other. In the panel having such a configuration, ultraviolet rays are generated by gas discharge in each discharge cell, and the phosphors of red (R), green (G) and blue (B) colors are excited and emitted by the ultraviolet rays, thereby performing color display. It is carried out.

パネルを駆動する方法としては、サブフィールド法、すなわち、1フィールドを複数のサブフィールドに分割した上で、発光させるサブフィールドの組み合わせによって階調表示を行う方法が一般に用いられている。   As a method for driving the panel, a subfield method, that is, a method of performing gradation display by combining subfields to emit light after dividing one field into a plurality of subfields is generally used.

各サブフィールドは、初期化期間、書込み期間および維持期間を有する。初期化期間では初期化放電を発生し、続く書込み動作に必要な壁電荷を各電極上に形成するとともに、書込み放電を安定して発生させるためのプライミング粒子(書込み放電を発生させるための励起粒子)を発生させる。   Each subfield has an initialization period, an address period, and a sustain period. During the initializing period, initializing discharge is generated, and wall charges necessary for the subsequent addressing operation are formed on each electrode, and priming particles (excited particles for generating addressing discharge) for stably generating the address discharge. ).

書込み期間では、走査電極に走査パルス電圧を印加するとともにデータ電極に選択的に書込みパルス電圧を印加して表示を行うべき放電セルに選択的に書込み放電を発生させ壁電荷を形成する(以下、この動作を「書込み」とも記す)。そして維持期間では、走査電極と維持電極とからなる表示電極対に交互に維持パルス電圧を印加し、書込み放電を起こした放電セルで維持放電を発生させ、対応する放電セルの蛍光体層を発光させることにより画像表示を行う。   In the address period, a scan pulse voltage is applied to the scan electrode and an address pulse voltage is selectively applied to the data electrode to selectively generate an address discharge in a discharge cell to be displayed to form a wall charge (hereinafter referred to as a wall charge). This operation is also referred to as “writing”). In the sustain period, a sustain pulse voltage is alternately applied to the display electrode pair composed of the scan electrode and the sustain electrode, and a sustain discharge is generated in the discharge cell that has caused the address discharge, and the phosphor layer of the corresponding discharge cell emits light. To display an image.

このようなパネルを製造する工程には、前面ガラス基板および背面ガラス基板の表面に、印刷、乾燥、焼成の各工程を繰り返す厚膜形成工程を経て、各電極、誘電体層、蛍光体層、隔壁等のパネルの構成に必要な各構造物(以下、「パネル構造物」と呼称する)を逐次形成する基板形成工程、パネル構造物が形成された前面板と背面板とを対向配置して重ね合わせ、パネルの周囲を封着する封着工程、パネル内部の不純ガスを排気する排気工程、パネル内部に放電ガスを導入する放電ガス導入工程、等がある。   In the process of manufacturing such a panel, on the surface of the front glass substrate and the back glass substrate, through a thick film forming step that repeats the steps of printing, drying, and firing, each electrode, dielectric layer, phosphor layer, A substrate forming step for sequentially forming each structure necessary for the panel configuration such as a partition wall (hereinafter referred to as “panel structure”), and a front plate and a back plate on which the panel structure is formed are arranged to face each other. There are an overlapping process, a sealing process for sealing the periphery of the panel, an exhaust process for exhausting impure gas inside the panel, a discharge gas introducing process for introducing a discharge gas into the panel, and the like.

封着工程では、基板形成工程を経て完成した前面板および背面板の周囲に、例えば低融点ガラスからなる封止部材を形成し、前面板および背面板を位置合わせして対向配置した後、パネルの周囲を金属製のクリップ等の把持部材によって把持しながら加熱する。これにより封止部材を軟化させ、放電空間を間に挟んで前面板と背面板とを封着し、パネルを形成する。   In the sealing step, a sealing member made of, for example, low-melting glass is formed around the front plate and the rear plate completed through the substrate forming step, and the front plate and the rear plate are aligned and opposed to each other. Is heated while being gripped by a gripping member such as a metal clip. As a result, the sealing member is softened, and the front plate and the rear plate are sealed with the discharge space interposed therebetween to form a panel.

なお、この封着工程では、続く排気工程においてパネル内部の不純ガスを排気し、また放電ガス導入工程においてパネル内部に放電ガスを導入するために背面板に形成された排気孔に、上述と同様の封止部材によってガラス製の排気管を接着する。   In this sealing process, the impurity gas inside the panel is exhausted in the subsequent exhaust process, and the exhaust hole formed in the back plate for introducing the discharge gas into the panel in the discharge gas introducing process is the same as described above. The glass exhaust pipe is bonded by the sealing member.

排気工程では、パネル内部の不純ガスを排気する。図10は、従来技術によるパネル101の製造工程における排気工程を行うときの概略図である。排気工程では、まず、一方の端部をパネル101の排気孔を覆うようにパネル101に接着した排気管104の他方の端部に排気ヘッド105を接続する。この排気ヘッド105は、パネル101内部から不純ガスを排気する真空排気装置(図示せず)およびパネル101内部へ放電ガスを導入する放電ガス導入装置(図示せず)と排気管104とを接続するための働きを有する。   In the exhaust process, the impure gas inside the panel is exhausted. FIG. 10 is a schematic view when performing an exhausting process in the manufacturing process of the panel 101 according to the prior art. In the exhaust process, first, the exhaust head 105 is connected to the other end of the exhaust pipe 104 whose one end is bonded to the panel 101 so as to cover the exhaust hole of the panel 101. The exhaust head 105 connects an exhaust pipe 104 to a vacuum exhaust device (not shown) that exhausts impure gas from the inside of the panel 101 and a discharge gas introduction device (not shown) that introduces a discharge gas into the panel 101. Have a function for.

パネル101の前面板側にはヒーター102が、パネル101の背面板側にはヒーター103が、それぞれパネル101に対向するように配置されており、パネル101全体をヒーター102、103によって加熱しながら真空排気装置を動作させる。このように、排気工程では、パネル101をヒーター102、103等の加熱手段で加熱しながら、排気孔、排気管104および排気ヘッド105を通してパネル101を真空排気し、パネル101内部から不純ガスを除去する。   A heater 102 is disposed on the front plate side of the panel 101 and a heater 103 is disposed on the rear plate side of the panel 101 so as to face the panel 101. The panel 101 is heated and heated by the heaters 102 and 103 while being vacuumed. Activate the exhaust system. As described above, in the exhaust process, the panel 101 is evacuated through the exhaust hole, the exhaust pipe 104 and the exhaust head 105 while the panel 101 is heated by the heating means such as the heaters 102 and 103, and the impure gas is removed from the inside of the panel 101. To do.

不純ガスの排気が終了したら、続く放電ガス導入工程では、放電ガス導入装置を動作させ、排気ヘッド105、排気管104、排気孔を通して、パネル101内部に放電ガスを導入する。パネル101内部の放電ガスが所定の圧力に達したら、排気管104を溶断、封止して、排気孔を封着し、放電空間を密封する(例えば、特許文献1参照)。   When the exhaust of the impure gas is completed, in the subsequent discharge gas introduction process, the discharge gas introduction device is operated to introduce the discharge gas into the panel 101 through the exhaust head 105, the exhaust pipe 104, and the exhaust hole. When the discharge gas inside the panel 101 reaches a predetermined pressure, the exhaust pipe 104 is melted and sealed, the exhaust holes are sealed, and the discharge space is sealed (see, for example, Patent Document 1).

そして、パネル101内部に残留した不純ガスの濃度を低減するために、放電セル内の隔壁の表面に不純ガスを吸着する吸着膜を形成する技術等が提案されている(例えば、特許文献2参照)。   In order to reduce the concentration of the impure gas remaining inside the panel 101, a technique for forming an adsorption film that adsorbs the impure gas on the surface of the partition wall in the discharge cell has been proposed (see, for example, Patent Document 2). ).

また、排気工程および放電ガス導入工程において、排気管およびその封止部分に不必要な応力が生じず、パネル101内部から放電ガスが漏出するのを防止することができる技術等も開示されている(例えば、特許文献3参照)。
特開2003−331725号公報 特開2003−303555号公報 特開2008−171791号公報
Also disclosed is a technique that can prevent the discharge gas from leaking from the inside of the panel 101 without causing unnecessary stress in the exhaust pipe and its sealing portion in the exhaust process and the discharge gas introduction process. (For example, refer to Patent Document 3).
JP 2003-331725 A JP 2003-303555 A JP 2008-171791 A

排気工程においてパネル101を加熱しながら排気を行うのは、次のような理由による。基板形成工程では、ガラス粉末に有機溶剤、有機バインダ等を混合してペースト状にし、これを塗布、乾燥、焼成して誘電体層を生成する。焼成時には、ガラス粉末が溶融し、また、有機バインダ等は熱分解されて、誘電体層が形成されるが、有機バインダ等が熱分解される際に、放電を阻害する性質を有する不純ガス(例えば、HO、CO、あるいは炭化水素ガス等の有機系のガス等)が大量に発生する。 The reason for exhausting while heating the panel 101 in the exhaust process is as follows. In the substrate forming step, a glass powder is mixed with an organic solvent, an organic binder or the like to form a paste, which is coated, dried and fired to generate a dielectric layer. At the time of firing, the glass powder is melted, and the organic binder and the like are thermally decomposed to form a dielectric layer. When the organic binder and the like are thermally decomposed, an impure gas having a property of inhibiting discharge ( For example, H 2 O, CO 2 , or organic gases such as hydrocarbon gas) are generated in large quantities.

この不純ガスが放電空間内に残留し、放電ガスに混入すると、放電開始電圧が上昇して放電が発生しにくくなるといった放電特性の劣化が起こり、発光輝度のばらつきや表示のちらつき等が生じてパネル101の画像表示品質が劣化する。このように、放電空間内に残留する不純ガスは、画像表示品質を劣化させる主な原因の1つとなるため、排気工程では、真空排気装置によってパネル101を排気し、焼成時に発生した不純ガスを除去する。   If this impure gas remains in the discharge space and enters the discharge gas, the discharge start voltage will rise and the discharge characteristics will become difficult to occur, resulting in variations in emission luminance, display flicker, etc. The image display quality of the panel 101 deteriorates. Thus, since the impure gas remaining in the discharge space is one of the main causes for deteriorating the image display quality, in the exhaust process, the panel 101 is exhausted by the vacuum exhaust device, and the impure gas generated during firing is removed. Remove.

このとき、前面板、背面板に形成されたパネル構造物や放電空間内には、ガス化しないまま残留した不純物が存在する。そして、その不純物は、常温下での真空排気だけでは除去することが困難であり、除去できずに放電空間内に残留した不純物は、放電空間内で放電が繰り返されるうちに徐々にガス化し、不純ガスとなって放電ガスに混入していく。   At this time, impurities remaining without being gasified exist in the panel structure and the discharge space formed on the front plate and the back plate. And it is difficult to remove the impurities only by vacuum evacuation at room temperature, the impurities that could not be removed and remained in the discharge space gradually gasify while the discharge is repeated in the discharge space, It becomes an impure gas and gets mixed into the discharge gas.

そこで、排気工程では、パネル101を加熱しながら真空排気することで、不純物をガス化して除去している。   Therefore, in the exhaust process, impurities are gasified and removed by evacuating the panel 101 while heating.

しかしながら、従来技術による排気工程においては、図10に示すように、ヒーター103とパネル101との間に排気ヘッド105が配置されてしまうため、ヒーター103の発する熱が排気ヘッド105に遮られてしまい、直に伝わらない領域がパネル101に発生していた。すなわち、パネル101に加熱ムラが生じ、不純物が十分にガス化されず残留する領域がパネル101に生じるおそれがあった。   However, in the exhaust process according to the prior art, as shown in FIG. 10, since the exhaust head 105 is disposed between the heater 103 and the panel 101, the heat generated by the heater 103 is blocked by the exhaust head 105. An area that cannot be transmitted directly has occurred in the panel 101. That is, the panel 101 has uneven heating, and there is a possibility that a region where impurities are not sufficiently gasified and remains is generated in the panel 101.

本発明はこのような課題に鑑みなされたものであり、パネルの製造工程における排気工程において、ヒーターでパネルを加熱する際に、加熱ムラを低減してパネルを均一に加熱することができ、パネル内に残留する不純ガスおよび不純物を低減することが可能なパネル用排気管およびパネルの製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such a problem, and in the exhaust process in the panel manufacturing process, when the panel is heated with a heater, the heating unevenness can be reduced and the panel can be heated uniformly. It is an object of the present invention to provide a panel exhaust pipe and a panel manufacturing method capable of reducing impure gas and impurities remaining in the panel.

本発明のパネル用排気管は、不純ガスの排気および放電ガスの導入のための排気孔を設けた背面板を有するパネルに用い、一方の端部を排気孔を覆うようにパネルに接着し、他方の端部を不純ガスの排気および放電ガスの導入に用いる排気ヘッドに装着するとともに、パネル内に放電ガスを導入した後、封止部を封着するパネル用排気管であって、この排気管は、一方の端部をパネルに接着したときに、他方の端部に装着する排気ヘッドが、不純ガスの排気時にパネルを加熱するヒーターとパネルとが対向する領域の外に配置されるように、少なくとも1箇所の屈曲部を有する形状であることを特徴とする。   The panel exhaust pipe of the present invention is used for a panel having a back plate provided with exhaust holes for impure gas exhaust and discharge gas introduction, and one end is bonded to the panel so as to cover the exhaust holes, The other end is attached to an exhaust head used for exhausting impure gas and introducing discharge gas, and is a panel exhaust pipe for sealing the sealing portion after introducing discharge gas into the panel. When one end of the tube is bonded to the panel, the exhaust head attached to the other end is disposed outside the region where the panel and the heater that heats the panel when impure gas is exhausted are opposed to each other. Further, it is characterized by having a shape having at least one bent portion.

これにより、パネルの製造工程における排気工程において、ヒーターでパネルを加熱する際に、排気ヘッドによって加熱が遮られる領域を発生させることがなくなるので、加熱ムラを低減してパネルを均一に加熱することができ、パネル内に残留する不純ガスおよび不純物を低減することが可能となる。   As a result, in the exhaust process in the panel manufacturing process, when the panel is heated by the heater, a region where the heat is blocked by the exhaust head is not generated, so that heating unevenness is reduced and the panel is heated uniformly. It is possible to reduce the impurity gas and impurities remaining in the panel.

また、このパネル用排気管は、鉛を含まないガラス成分を材料に形成されてもよい。   The panel exhaust pipe may be formed of a glass component not containing lead.

また、本発明のパネルの製造方法は、排気管の一方の端部をパネルに形成された排気孔を覆うようにパネルに接着するとともに、排気管の他方の端部に排気ヘッドを装着し、パネルをヒーターで加熱しながら、排気孔、排気管、排気ヘッドを介してパネル内部の不純ガスを排気するパネルの製造方法であって、排気管の他方の端部に装着される排気ヘッドが、パネルとヒーターとが対向する領域の外に配置されるように、少なくとも1箇所の屈曲部を有する排気管を用いて不純ガスの排気を行うことを特徴とする。   The panel manufacturing method of the present invention is such that one end of the exhaust pipe is bonded to the panel so as to cover the exhaust hole formed in the panel, and the exhaust head is attached to the other end of the exhaust pipe, A panel manufacturing method for exhausting impure gas inside a panel through an exhaust hole, an exhaust pipe, and an exhaust head while heating the panel with a heater, the exhaust head attached to the other end of the exhaust pipe, Impurity gas is exhausted using an exhaust pipe having at least one bent portion so that the panel and the heater are arranged outside the facing region.

これにより、パネルの製造工程における排気工程において、ヒーターでパネルを加熱する際に、排気ヘッドによって加熱が遮られる領域を発生させることがなくなるので、加熱ムラを低減してパネルを均一に加熱することができ、パネル内に残留する不純ガスおよび不純物を低減することが可能となる。   As a result, in the exhaust process in the panel manufacturing process, when the panel is heated by the heater, a region where the heat is blocked by the exhaust head is not generated, so that heating unevenness is reduced and the panel is heated uniformly. It is possible to reduce the impurity gas and impurities remaining in the panel.

本発明によれば、パネルの製造工程における排気工程において、ヒーターでパネルを加熱する際に、加熱ムラを低減してパネルを均一に加熱することができ、パネル内に残留する不純ガスおよび不純物を低減することが可能なパネル用排気管およびパネルの製造方法を提供することが可能となる。   According to the present invention, in the exhaust process in the panel manufacturing process, when the panel is heated with a heater, the panel can be heated uniformly by reducing heating unevenness, and the impurity gas and impurities remaining in the panel can be reduced. It is possible to provide a panel exhaust pipe and a panel manufacturing method that can be reduced.

以下、本発明の実施の形態におけるパネル用排気管を用いて製造されるプラズマディスプレイ装置について、図面を用いて説明する。   Hereinafter, a plasma display device manufactured using a panel exhaust pipe according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

(実施の形態)
図1は、本発明の一実施の形態におけるパネル10の構造を示す分解斜視図である。前面板20は、前面ガラス基板21上に形成された走査電極22と維持電極23とからなる複数の表示電極対24、遮光層(図示せず)、表示電極対24および遮光層を覆うように形成された誘電体層25、誘電体層25上に形成された保護層26を有する。
(Embodiment)
FIG. 1 is an exploded perspective view showing the structure of panel 10 according to an embodiment of the present invention. The front plate 20 covers the plurality of display electrode pairs 24 formed of the scanning electrodes 22 and the sustain electrodes 23 formed on the front glass substrate 21, a light shielding layer (not shown), the display electrode pairs 24 and the light shielding layer. The dielectric layer 25 is formed, and the protective layer 26 is formed on the dielectric layer 25.

なお、保護層26は、放電セルにおける放電開始電圧を下げるために、パネルの材料として使用実績があり、ネオン(Ne)およびキセノン(Xe)ガスを封入した場合に2次電子放出係数が大きく耐久性に優れた酸化マグネシウム(MgO)を主成分とする材料から形成されている。   The protective layer 26 has been used as a panel material in order to lower the discharge start voltage in the discharge cell, and has a large secondary electron emission coefficient and durability when neon (Ne) and xenon (Xe) gas is sealed. It is made of a material mainly composed of magnesium oxide (MgO) having excellent properties.

背面板30は、背面ガラス基板31上に形成された複数のデータ電極32、データ電極32を覆うように形成された誘電体層33、さらにその上に形成された井桁状の隔壁34を有する。そして、隔壁34の側面および誘電体層33上には赤色(R)、緑色(G)および青色(B)の各色に発光する蛍光体層35が設けられている。   The back plate 30 includes a plurality of data electrodes 32 formed on the back glass substrate 31, a dielectric layer 33 formed so as to cover the data electrodes 32, and a grid-like partition wall 34 formed thereon. A phosphor layer 35 that emits light of each color of red (R), green (G), and blue (B) is provided on the side surface of the partition wall 34 and on the dielectric layer 33.

これら前面板20と背面板30とは、微小な放電空間を挟んで表示電極対24とデータ電極32とが交差するように対向配置され、その外周部をガラスフリット等の封着材によって封着されている。そして、内部の放電空間には、ネオンとキセノンの混合ガスが放電ガスとして封入されている。なお、本実施の形態では、発光効率を向上させるためにキセノン分圧を約10%とした放電ガスを用いている。放電空間は隔壁34によって複数の区画に仕切られており、表示電極対24とデータ電極32とが交差する部分に放電セルが形成されている。そしてこれらの放電セルが放電、発光することにより画像が表示される。   The front plate 20 and the back plate 30 are arranged to face each other so that the display electrode pair 24 and the data electrode 32 intersect each other with a minute discharge space interposed therebetween, and the outer peripheral portion thereof is sealed with a sealing material such as glass frit. Has been. A mixed gas of neon and xenon is sealed as a discharge gas in the internal discharge space. In the present embodiment, a discharge gas having a xenon partial pressure of about 10% is used in order to improve luminous efficiency. The discharge space is partitioned into a plurality of sections by partition walls 34, and discharge cells are formed at the intersections between the display electrode pairs 24 and the data electrodes 32. These discharge cells discharge and emit light to display an image.

なお、パネル10の構造は上述したものに限られるわけではなく、例えばストライプ状の隔壁を備えたものであってもよい。また、放電ガスの混合比率も上述した数値に限られるわけではなく、その他の混合比率であってもよい。   Note that the structure of the panel 10 is not limited to the above-described structure, and for example, the panel 10 may include a stripe-shaped partition wall. Further, the mixing ratio of the discharge gas is not limited to the above-described numerical values, and may be other mixing ratios.

図2は、本発明の一実施の形態におけるパネル10の電極配列図である。パネル10には、行方向に長いn本の走査電極SC1〜走査電極SCn(図1の走査電極22)およびn本の維持電極SU1〜維持電極SUn(図1の維持電極23)が配列され、列方向に長いm本のデータ電極D1〜データ電極Dm(図1のデータ電極32)が配列されている。そして、1対の走査電極SCi(i=1〜n)および維持電極SUiと1つのデータ電極Dk(k=1〜m)とが交差した部分に放電セルが形成され、放電セルは放電空間内にm×n個形成されている。そして、m×n個の放電セルが形成された領域がパネル10の表示領域となる。   FIG. 2 is an electrode array diagram of panel 10 according to the embodiment of the present invention. The panel 10 includes n scan electrodes SC1 to SCn (scan electrodes 22 in FIG. 1) and n sustain electrodes SU1 to SUn (sustain electrodes 23 in FIG. 1) that are long in the row direction. M data electrodes D1 to Dm (data electrodes 32 in FIG. 1) that are long in the column direction are arranged. A discharge cell is formed at a portion where one pair of scan electrode SCi (i = 1 to n) and sustain electrode SUi intersects one data electrode Dk (k = 1 to m), and the discharge cell is in the discharge space. M × n are formed. A region where m × n discharge cells are formed becomes a display region of the panel 10.

なお、本実施の形態におけるパネル10は、サブフィールド法、すなわち1フィールドを時間軸上で複数のサブフィールドに分割し、各サブフィールドに輝度重みをそれぞれ設定し、サブフィールド毎に各放電セルの発光・非発光を制御することによって階調表示を行うものとする。   Panel 10 in the present embodiment is divided into a subfield method, that is, one field is divided into a plurality of subfields on the time axis, luminance weights are set for each subfield, and each discharge cell is set for each subfield. It is assumed that gradation display is performed by controlling light emission / non-light emission.

このサブフィールド法では、例えば、1フィールドを8つのサブフィールド(第1SF、第2SF、・・・、第8SF)で構成し、各サブフィールドはそれぞれ1、2、4、8、16、32、64、128の輝度重みを有する構成とすることができる。また、複数のサブフィールドのうち、1つのサブフィールドの初期化期間においては全ての放電セルに初期化放電を発生させる全セル初期化動作を行い(以下、全セル初期化動作を行うサブフィールドを「全セル初期化サブフィールド」と呼称する)、他のサブフィールドの初期化期間においては維持放電を行った放電セルに対して選択的に初期化放電を発生させる選択初期化動作を行う(以下、選択初期化動作を行うサブフィールドを「選択初期化サブフィールド」と呼称する)ことで、階調表示に関係しない発光を極力減らしコントラスト比を向上させることが可能である。   In this subfield method, for example, one field is composed of eight subfields (first SF, second SF,..., Eighth SF), and each subfield is 1, 2, 4, 8, 16, 32, A configuration having luminance weights of 64 and 128 can be adopted. In addition, in the initializing period of one subfield among a plurality of subfields, an all-cell initializing operation for generating an initializing discharge in all discharge cells is performed (hereinafter, the subfield for performing the all-cell initializing operation is referred to as a subfield for performing all-cell initializing operations). In the initializing period of other subfields, a selective initializing operation for selectively generating initializing discharge is performed for the discharge cells that have undergone sustain discharge (hereinafter referred to as “all-cell initializing subfield”). The subfield that performs the selective initialization operation is referred to as “selective initialization subfield”), and it is possible to reduce light emission not related to gradation display as much as possible and improve the contrast ratio.

しかし、本実施の形態は、サブフィールド数や各サブフィールドの輝度重みが上記の値に限定されるものではなく、また、画像信号等にもとづいてサブフィールド構成を切換える構成であってもよい。   However, in the present embodiment, the number of subfields and the luminance weight of each subfield are not limited to the above values, and the subfield configuration may be switched based on an image signal or the like.

次に、このように構成されたパネル10の製造方法について説明する。   Next, a method for manufacturing the panel 10 configured as described above will be described.

まず、前面ガラス基板21上に、走査電極22および維持電極23と遮光層とを形成する。これらの走査電極22および維持電極23は透明電極と金属バス電極とで構成し、透明電極と金属バス電極は、フォトリソグラフィ法等を用いて所定のパターンを形成することで形成する(以下、所定のパターンを形成することを「パターニング」とも記す)。透明電極は薄膜プロセス等を用いて形成し、金属バス電極は銀材料を含むペーストを所定の温度で焼成して固化する。また、遮光層も同様に、黒色顔料を含むペーストをスクリーン印刷する方法や、黒色顔料を前面ガラス基板21の全面に形成した後にフォトリソグラフィ法を用いてパターニングする方法等により所定のパターンを形成し、焼成することにより形成する。   First, on the front glass substrate 21, the scan electrode 22, the sustain electrode 23, and the light shielding layer are formed. These scan electrode 22 and sustain electrode 23 are composed of a transparent electrode and a metal bus electrode, and the transparent electrode and the metal bus electrode are formed by forming a predetermined pattern using a photolithography method or the like (hereinafter referred to as a predetermined electrode). Forming the pattern is also referred to as “patterning”). The transparent electrode is formed using a thin film process or the like, and the metal bus electrode is solidified by baking a paste containing a silver material at a predetermined temperature. Similarly, the light-shielding layer is also formed with a predetermined pattern by a screen printing method using a paste containing a black pigment, a method in which a black pigment is formed on the entire surface of the front glass substrate 21, and then patterning using a photolithography method. It is formed by firing.

この後、走査電極22、維持電極23および遮光層を覆うように前面ガラス基板21上に誘電体ペーストをダイコート法等により塗布して誘電体ペースト層(誘電体材料層)を形成する。誘電体ペーストを塗布した後、所定の時間放置することによって、塗布された誘電体ペースト表面を平坦化する。その後、誘電体ペースト層を焼成固化することにより、走査電極22、維持電極23および遮光層を覆う誘電体層25を形成する。なお、誘電体ペーストはガラス粉末等の誘電体材料、バインダおよび溶剤を含む塗料である。次に、誘電体層25上に酸化マグネシウム(MgO)からなる保護層26を真空蒸着法により形成する。以上の工程により前面ガラス基板21上に所定のパネル構造物(走査電極22および維持電極23からなる表示電極対24、遮光層、誘電体層25、保護層26)を形成し、前面板20が完成する。   Thereafter, a dielectric paste is applied on the front glass substrate 21 by a die coating method or the like so as to cover the scanning electrode 22, the sustain electrode 23, and the light shielding layer, thereby forming a dielectric paste layer (dielectric material layer). After applying the dielectric paste, the surface of the applied dielectric paste is flattened by leaving it for a predetermined time. Thereafter, the dielectric paste layer is formed by baking and solidifying the dielectric paste layer to cover the scan electrode 22, the sustain electrode 23, and the light shielding layer. The dielectric paste is a paint containing a dielectric material such as glass powder, a binder and a solvent. Next, a protective layer 26 made of magnesium oxide (MgO) is formed on the dielectric layer 25 by vacuum evaporation. Through the above steps, a predetermined panel structure (a display electrode pair 24 including a scanning electrode 22 and a sustain electrode 23, a light shielding layer, a dielectric layer 25, and a protective layer 26) is formed on the front glass substrate 21. Complete.

背面板30は次のようにして形成する。まず、背面ガラス基板31上に、銀材料を含むペーストをスクリーン印刷する方法や、金属膜を全面に形成した後、フォトリソグラフィ法を用いて所定のパターンを形成する方法等によりデータ電極32用の構成物となる材料層を形成し、それを所定の温度で焼成することによりデータ電極32を形成する。   The back plate 30 is formed as follows. First, a method for screen-printing a paste containing a silver material on the back glass substrate 31 or a method for forming a predetermined pattern using a photolithography method after forming a metal film on the entire surface, etc. A data layer is formed by forming a material layer to be a constituent and firing it at a predetermined temperature.

次に、データ電極32を形成した背面ガラス基板31上にダイコート法等によりデータ電極32を覆うように誘電体ペーストを塗布して誘電体ペースト層を形成する。その後、誘電体ペースト層を焼成することにより誘電体層33を形成する。なお、誘電体ペーストはガラス粉末等の誘電体材料とバインダおよび溶剤を含んだ塗料である。   Next, a dielectric paste is applied on the rear glass substrate 31 on which the data electrodes 32 are formed by a die coating method or the like so as to cover the data electrodes 32 to form a dielectric paste layer. Thereafter, the dielectric layer 33 is formed by firing the dielectric paste layer. The dielectric paste is a paint containing a dielectric material such as glass powder, a binder and a solvent.

この後、誘電体層33上に隔壁材料を含む隔壁形成用ペーストを塗布して所定の形状にパターニングすることにより隔壁材料層を形成し、それを焼成することにより隔壁34を形成する。ここで、誘電体層33上に塗布した隔壁形成用ペーストをパターニングする方法としては、フォトリソグラフィ法やサンドブラスト法を用いることができる。   Thereafter, a partition wall forming paste containing a partition wall material is applied on the dielectric layer 33 and patterned into a predetermined shape to form a partition wall material layer, and the partition wall 34 is formed by firing it. Here, as a method of patterning the partition wall forming paste applied on the dielectric layer 33, a photolithography method or a sand blast method can be used.

そして、隔壁34を形成した背面ガラス基板31には、隣接する隔壁34間の誘電体層33上および隔壁34の側面に蛍光体材料を含む蛍光体ペーストを塗布し、焼成することにより蛍光体層35を形成する。以上の工程により、背面ガラス基板31上に所定のパネル構造物(データ電極32、誘電体層33、隔壁34、蛍光体層35)を形成し、背面板30が完成する。   Then, a phosphor layer containing a phosphor material is applied to the rear glass substrate 31 on which the barrier ribs 34 are formed on the dielectric layer 33 between the adjacent barrier ribs 34 and on the side surfaces of the barrier ribs 34, and then fired. 35 is formed. Through the above steps, predetermined panel structures (data electrodes 32, dielectric layers 33, barrier ribs 34, phosphor layers 35) are formed on the back glass substrate 31, and the back plate 30 is completed.

そして、厚膜印刷やインクジェットまたはディスペンサーを備えた塗布装置を用いて前面板20または背面板30の周囲の所定の位置に封着材を塗布し、封着材に含まれる樹脂成分を燃焼できる温度で前面板20または背面板30を加熱して、前面板20または背面板30の仮焼成を行う。その後、前面板20と背面板30とを電極形成面側が向かい合うように対向配置させてパネル10を組み立てる。続いて、前面板20および背面板30の周囲を気密封着する工程、および、排気および放電ガス導入用の排気管(いわゆるチップ管)を封着材によって気密封着する工程に移る。そして、排気管を通してパネル10内部の真空排気とパネル10内部への放電ガスの導入を行った後、排気管を加熱、溶融して排気管を閉塞し、封じ切る。この排気管は鉛成分を含まないガラス成分を材料にして形成してもよく、軟化点温度以上の温度で加熱することで溶融させることが可能である。このとき、溶融に際しては軟化点温度よりも200℃以上高い温度で加熱することが望ましい。   And the temperature which can apply | coat a sealing material to the predetermined | prescribed position around the front board 20 or the back board 30 using a coating apparatus provided with thick film printing, an inkjet, or a dispenser, and can burn the resin component contained in a sealing material Then, the front plate 20 or the back plate 30 is heated and the front plate 20 or the back plate 30 is temporarily fired. Thereafter, the front panel 20 and the rear panel 30 are arranged to face each other so that the electrode forming surface faces each other, and the panel 10 is assembled. Subsequently, the process proceeds to a step of hermetically sealing the periphery of the front plate 20 and the rear plate 30 and a step of hermetically sealing the exhaust pipe for introducing exhaust gas and discharge gas (so-called chip pipe) with a sealing material. Then, after evacuating the panel 10 through the exhaust pipe and introducing the discharge gas into the panel 10, the exhaust pipe is heated and melted to close and seal the exhaust pipe. This exhaust pipe may be formed from a glass component that does not contain a lead component, and can be melted by heating at a temperature equal to or higher than the softening point temperature. At this time, in melting, it is desirable to heat at a temperature 200 ° C. or higher than the softening point temperature.

図3は、本発明の一実施の形態におけるパネル10の平面図および断面図である。図3(a)は本発明の一実施の形態におけるパネル10の平面図であり、図3(b)は図3(a)に示したパネル10のA−A線における断面図である。   FIG. 3 is a plan view and a cross-sectional view of panel 10 according to the embodiment of the present invention. 3A is a plan view of the panel 10 according to the embodiment of the present invention, and FIG. 3B is a cross-sectional view taken along the line AA of the panel 10 shown in FIG.

図3に示すように、前面板20と背面板30とは表示電極対24とデータ電極32とが直交するように対向配置され、その周囲が封着材41で気密封着されている。また、背面板30には排気孔40が設けられており、排気孔40を覆うように配置された排気管50と背面板30とは封着材であるタブレット42によって気密封着されている。そして、パネル10内部の放電空間には排気管50を通して導入された放電ガスが所定の圧力で封入されており、排気および放電ガスの導入に用いられた排気管50は、封止部を加熱して封じ切る(以下、「チップオフ」とも記す)ことにより閉塞される。   As shown in FIG. 3, the front plate 20 and the back plate 30 are arranged to face each other so that the display electrode pair 24 and the data electrode 32 are orthogonal to each other, and the periphery thereof is hermetically sealed with a sealing material 41. The back plate 30 is provided with exhaust holes 40, and the exhaust pipe 50 and the back plate 30 disposed so as to cover the exhaust holes 40 are hermetically sealed by a tablet 42 which is a sealing material. A discharge gas introduced through the exhaust pipe 50 is sealed at a predetermined pressure in the discharge space inside the panel 10, and the exhaust pipe 50 used for introducing the exhaust gas and the discharge gas heats the sealing portion. And then closed (hereinafter also referred to as “chip-off”).

ここで、本実施の形態における排気管50について説明する。図4は、本発明の一実施の形態における排気管50の形状を示す概略図である。本実施の形態における排気管50は、図4に示すように、2箇所の屈曲部を有する形状に形成されており、一方の端部、すなわち排気孔接着部51を排気孔40を覆うように背面板30に接着し、他方の端部、すなわち排気ヘッド装着部52を排気ヘッドに装着する。   Here, the exhaust pipe 50 in the present embodiment will be described. FIG. 4 is a schematic view showing the shape of the exhaust pipe 50 in one embodiment of the present invention. As shown in FIG. 4, the exhaust pipe 50 in the present embodiment is formed in a shape having two bent portions, and covers one end portion, that is, the exhaust hole bonding portion 51 so as to cover the exhaust hole 40. It adheres to the back plate 30 and the other end, that is, the exhaust head mounting portion 52 is mounted on the exhaust head.

そして、排気管50が、図4に示す形状を有するのは、排気孔接着部51を背面板30に接着したときに、排気ヘッド装着部52に装着する排気ヘッドが、排気工程において、パネル10を加熱するヒーターとパネル10とが対向する領域の外に配置されるようにするためである。なお、放電ガス導入後のチップオフに際しては、排気孔接着部51に近い場所に設定された封止部を封じ切るため、排気管50のチップオフ後の形状は、従来の排気管のチップオフ後の形状と同様である。   The exhaust pipe 50 has the shape shown in FIG. 4 because the exhaust head mounted on the exhaust head mounting portion 52 when the exhaust hole bonding portion 51 is bonded to the back plate 30 is used for the panel 10 in the exhaust process. This is because the heater for heating the panel and the panel 10 are arranged outside the facing region. When the chip is turned off after the introduction of the discharge gas, the sealing part set near the exhaust hole bonding part 51 is sealed off. It is the same as the later shape.

図5は、本発明の一実施の形態における前面板20と背面板30との封着および排気管50と背面板30との封着の様子を示した概略図である。まず、図5(a)に示すように、ディスペンサーを備えた塗布装置(図示せず)を用いて、封着材41を塗布する。このとき、前面板20の周囲の所定の位置に封着材41bを、背面板30の周囲の所定の位置に封着材41aをそれぞれ塗布する。この封着材41としては、例えば、ペースト状にした低融点フリットガラスを用いることができる。   FIG. 5 is a schematic diagram showing a state of sealing between the front plate 20 and the back plate 30 and sealing between the exhaust pipe 50 and the back plate 30 in the embodiment of the present invention. First, as shown in FIG. 5A, a sealing material 41 is applied using an application device (not shown) provided with a dispenser. At this time, the sealing material 41 b is applied to a predetermined position around the front plate 20, and the sealing material 41 a is applied to a predetermined position around the back plate 30. As the sealing material 41, for example, a paste-like low melting point frit glass can be used.

なお、封着材41a、41bの塗布に際しては、ディスペンサーを備えた塗布装置以外に、厚膜印刷やインクジェット塗布装置を用いることもできる。あるいは、厚膜印刷や塗布装置を用いずに、シート状のベース材に所定の厚さ、形状で粘着性を持たせて形成した封着材41a、41bを所定の位置に接着させる方法を用いることもできる。また、前面板20または背面板30のいずれか一方にのみ封着材41a、41bを塗布あるいは接着する構成としてもよい。   In addition, when applying the sealing materials 41a and 41b, thick film printing or an ink jet coating apparatus can be used in addition to a coating apparatus provided with a dispenser. Alternatively, a method of adhering sealing materials 41a and 41b formed by giving adhesiveness to a sheet-like base material with a predetermined thickness and shape to a predetermined position without using thick film printing or a coating apparatus is used. You can also. Moreover, it is good also as a structure which apply | coats or adhere | attaches sealing material 41a, 41b only to either one of the front plate 20 or the backplate 30. FIG.

そして、封着材41を一定時間乾燥させた後、封着温度よりも低い所定の仮焼成温度(例えば、約350℃)で仮焼成を行い、その後、前面板20の表示電極対24と背面板30のデータ電極32とが交差するように前面板20と背面板30とを対向配置させ、固定手段である固定治具(図示せず)を用いて固定する。   After the sealing material 41 is dried for a certain period of time, the sealing material 41 is temporarily fired at a predetermined temporary firing temperature (for example, about 350 ° C.) lower than the sealing temperature. The front plate 20 and the back plate 30 are arranged to face each other so that the data electrodes 32 of the face plate 30 intersect with each other, and are fixed using a fixing jig (not shown) as fixing means.

次に、排気管50を背面板30に封着する封着工程に移る。この封着工程では、封着材をあらかじめ所定の形状に形成しておき(例えば、図面に示すタブレット42)、排気管50用の封着材として用いる。タブレット42の材料としては、例えば、低融点フリットガラスを用いることができる。   Next, the process moves to a sealing step for sealing the exhaust pipe 50 to the back plate 30. In this sealing step, a sealing material is formed in a predetermined shape in advance (for example, tablet 42 shown in the drawing) and used as a sealing material for the exhaust pipe 50. As a material of the tablet 42, for example, a low melting point frit glass can be used.

そして、背面板30の隅に近い所定の位置に設けた排気孔40の中心とタブレット42の中央部の空孔43の中心を合わせて載置する。このとき、排気管50の排気孔接着部51の開口部の中心と排気孔40の中心とが略一致するように位置決めする。また、排気管50の排気ヘッド装着部52に排気ヘッド53を装着したときに、排気ヘッド53が、排気工程においてパネル10を加熱するヒーターとパネル10とが対向する領域の外に配置されるように、排気管50の装着方向を決める。このようにして各部品を組み立て、それぞれの中心がずれないように別の固定治具(図示せず)で押さえて固定する。   Then, the center of the exhaust hole 40 provided at a predetermined position near the corner of the back plate 30 and the center of the hole 43 at the center of the tablet 42 are placed together. At this time, positioning is performed so that the center of the opening of the exhaust hole bonding portion 51 of the exhaust pipe 50 and the center of the exhaust hole 40 substantially coincide. Further, when the exhaust head 53 is mounted on the exhaust head mounting portion 52 of the exhaust pipe 50, the exhaust head 53 is disposed outside the region where the heater for heating the panel 10 and the panel 10 face each other in the exhaust process. Next, the mounting direction of the exhaust pipe 50 is determined. In this way, the parts are assembled and fixed by pressing with another fixing jig (not shown) so that the center of each part does not shift.

次に、固定治具で固定した前面板20、背面板30、排気管50を焼成炉内(図示せず)に設置し、仮焼成温度よりも高い封着温度(例えば、約450℃)で加熱して封着材41およびタブレット42を溶融させる。その後、冷却して固化させることで、前面板20と背面板30との気密封着、および排気管50と背面板30との気密封着を行う。この様子を図5(b)に示す。図5(b)は、前面板20と背面板30とがその周囲を気密封着され、排気管50と背面板30とが気密封着された状態を概略的に示した図である。なお、排気管50の軟化点温度は、例えば約630℃であり、ここでの封着温度(例えば、約450℃)よりも高いので、この焼成により排気管50が軟化することはない。   Next, the front plate 20, the back plate 30 and the exhaust pipe 50 fixed with a fixing jig are installed in a firing furnace (not shown), and at a sealing temperature (for example, about 450 ° C.) higher than the temporary firing temperature. The sealing material 41 and the tablet 42 are melted by heating. Thereafter, by cooling and solidifying, the hermetic seal between the front plate 20 and the rear plate 30 and the hermetic seal between the exhaust pipe 50 and the rear plate 30 are performed. This state is shown in FIG. FIG. 5B schematically shows a state in which the front plate 20 and the back plate 30 are hermetically sealed around the periphery, and the exhaust pipe 50 and the back plate 30 are hermetically sealed. The softening point temperature of the exhaust pipe 50 is, for example, about 630 ° C., which is higher than the sealing temperature here (for example, about 450 ° C.), so that the exhaust pipe 50 is not softened by this firing.

次に、排気管50の排気ヘッド装着部52を、排気および放電ガスの導入を行うための排気ヘッド53に接続する。排気ヘッド53は、パネル10内部から不純ガスを排気する真空排気装置(図示せず)およびパネル10内部へ放電ガスを導入する放電ガス導入装置(図示せず)と排気管50とを接続するためのものであり、パネル10内部の不純ガスは、排気管50および排気ヘッド53を通して真空排気される。   Next, the exhaust head mounting portion 52 of the exhaust pipe 50 is connected to an exhaust head 53 for introducing exhaust gas and discharge gas. The exhaust head 53 connects the exhaust pipe 50 with a vacuum exhaust device (not shown) that exhausts impure gas from the inside of the panel 10 and a discharge gas introduction device (not shown) that introduces a discharge gas into the panel 10. The impure gas inside the panel 10 is evacuated through the exhaust pipe 50 and the exhaust head 53.

図6は、本発明の一実施の形態におけるパネル10の排気工程を行うときの概略図である。排気工程では、前面板20に対向するようにヒーター72を配置し、背面板30に対向するようにヒーター73を配置して、パネル10全体をヒーター72、73で加熱できるようにする。そして、パネル10全体をヒーター72、73によって加熱しながら排気ヘッド53の先に設けられた真空排気装置(図示せず)を動作させ、真空排気を行う。このように、排気工程では、パネル10を加熱手段であるヒーター72、73で加熱しながら、排気孔40、排気管50および排気ヘッド53を通してパネル10を真空排気し、パネル10内部から不純ガスを除去する。   FIG. 6 is a schematic view when performing the exhausting process of panel 10 in one embodiment of the present invention. In the exhaust process, the heater 72 is arranged to face the front plate 20 and the heater 73 is arranged to face the back plate 30 so that the entire panel 10 can be heated by the heaters 72 and 73. Then, while the entire panel 10 is heated by the heaters 72 and 73, a vacuum exhaust device (not shown) provided at the tip of the exhaust head 53 is operated to perform vacuum exhaust. As described above, in the exhaust process, the panel 10 is evacuated through the exhaust hole 40, the exhaust pipe 50 and the exhaust head 53 while the panel 10 is heated by the heaters 72 and 73 which are heating means, and the impure gas is discharged from the inside of the panel 10. Remove.

このとき、従来技術による排気工程では、上述したようにヒーター103とパネル101との間に排気ヘッド105が配置されてしまうため、ヒーター103の発する熱が直に伝わる領域と、排気ヘッド105に遮られてしまいヒーター103の発する熱が直には伝わらない領域とがパネル101に生じていた。これにより加熱ムラが生じ、不純物が十分にガス化されずに残留する領域がパネル101に発生するおそれがあった。   At this time, in the exhaust process according to the prior art, the exhaust head 105 is disposed between the heater 103 and the panel 101 as described above, so that the heat generated by the heater 103 is directly transmitted to the exhaust head 105. The panel 101 has a region where the heat generated by the heater 103 is not directly transmitted. As a result, heating unevenness may occur, and there may be a region in the panel 101 where impurities are not sufficiently gasified and remain.

しかし、本実施の形態における排気管50を用いて行う排気工程では、図6に示すように、排気管50を屈曲部を有する形状にしているため、ヒーター73とパネル10とが対向する領域の外に排気ヘッド53を配置することができる。したがって、ヒーター73の発する熱を、排気ヘッド53が遮ることなく、背面板30に均一に伝えることができる。すなわち、本実施の形態における排気工程では、加熱ムラを低減してパネル10を均一に加熱することができるので、不純ガスおよび不純物をより精度良く除去することができ、パネル10内に残留する不純ガスおよび不純物を低減することができる。   However, in the exhaust process performed using the exhaust pipe 50 in the present embodiment, as shown in FIG. 6, the exhaust pipe 50 has a bent portion, so that the heater 73 and the panel 10 face each other. An exhaust head 53 can be disposed outside. Therefore, the heat generated by the heater 73 can be uniformly transmitted to the back plate 30 without being blocked by the exhaust head 53. That is, in the exhaust process in the present embodiment, the panel 10 can be heated uniformly by reducing heating unevenness, so that the impurity gas and impurities can be removed with higher accuracy, and the impurity remaining in the panel 10 can be removed. Gases and impurities can be reduced.

そして、排気が終了した後は、同じく排気ヘッド53の先に設けられた放電ガス導入装置(図示せず)を動作させ、排気ヘッド53および排気管50を介してネオンやキセノン等を含む放電ガスを所定の圧力(例えば、Ne−Xe混合ガスの場合、約530hPa〜800hPaの圧力)でパネル10内部に導入する。   After the exhaust is finished, a discharge gas introduction device (not shown) provided at the tip of the exhaust head 53 is operated, and a discharge gas containing neon, xenon, etc. is provided via the exhaust head 53 and the exhaust pipe 50. Is introduced into the panel 10 at a predetermined pressure (for example, in the case of a Ne—Xe mixed gas, a pressure of about 530 hPa to 800 hPa).

最後に、排気管50の所定の部分(封止部)をガスバーナー等の加熱手段を用いて局部的に加熱して溶融し、閉塞した部分を切断する。こうすることで排気管50を封じ切り、気密封止(チップオフ)する。   Finally, a predetermined portion (sealing portion) of the exhaust pipe 50 is locally heated and melted by using a heating means such as a gas burner, and the blocked portion is cut. In this way, the exhaust pipe 50 is sealed and hermetically sealed (chip off).

以上説明したように、本実施の形態によれば、排気管50を2箇所の屈曲部を有する形状にしているので、排気工程において、排気ヘッド装着部52に排気ヘッド53を装着したときに、ヒーター73とパネル10とが対向する領域の外に排気ヘッド53を配置することができる。これにより、ヒーター73の発する熱が排気ヘッド53に遮られることがなくなり、背面板30を均一に加熱することが可能となる。したがって、排気工程において、加熱ムラを低減してパネル10を均一に加熱することが可能となり、不純ガスおよび不純物をより精度良く除去し、パネル10内に残留する不純ガスおよび不純物を低減することが可能となる。   As described above, according to the present embodiment, since the exhaust pipe 50 has a shape having two bent portions, when the exhaust head 53 is mounted on the exhaust head mounting portion 52 in the exhaust process, The exhaust head 53 can be disposed outside the region where the heater 73 and the panel 10 face each other. Thus, the heat generated by the heater 73 is not blocked by the exhaust head 53, and the back plate 30 can be heated uniformly. Therefore, in the exhaust process, it is possible to uniformly heat the panel 10 by reducing heating unevenness, to remove the impure gas and impurities more accurately, and to reduce the impure gas and impurities remaining in the panel 10. It becomes possible.

なお、本実施の形態では、2箇所の屈曲部を有する形状の排気管50を例に挙げて説明したが、排気管が少なくとも1箇所の屈曲部を有する形状であれば、排気ヘッドを領域外に配置することが可能である。図7は、本発明の一実施の形態における排気管の他の一形状例を示す概略図であり、その排気管54を用いて排気工程を行うときの概略図である。図7に示す排気管54は、1箇所の屈曲部を有する形状であるが、例えば排気管54のような形状であっても、排気管54に接続する排気ヘッド53をヒーター73とパネル10とが対向する領域の外に配置することが可能である。また、屈曲部が1箇所しかない形状の排気管は、屈曲部が2箇所以上ある形状の排気管と比較して、製造しやすいといった利点がある。   In this embodiment, the exhaust pipe 50 having two bent portions is described as an example. However, if the exhaust pipe has a shape having at least one bent portion, the exhaust head is out of the region. It is possible to arrange in FIG. 7 is a schematic view showing another example of the shape of the exhaust pipe according to the embodiment of the present invention, and is a schematic view when the exhaust process is performed using the exhaust pipe 54. Although the exhaust pipe 54 shown in FIG. 7 has a shape having one bent portion, the exhaust head 53 connected to the exhaust pipe 54 is connected to the heater 73 and the panel 10 even if the exhaust pipe 54 has a shape like the exhaust pipe 54, for example. Can be placed outside the opposing areas. In addition, an exhaust pipe having a shape with only one bent portion has an advantage that it is easier to manufacture than an exhaust pipe having two or more bent portions.

また、本実施の形態では、屈曲部を約90度の角度で屈曲させた形状の排気管50を例に挙げて示したが、本発明は屈曲部が何らこの角度に限定されるものではない。例えば、本発明における排気管は、90度よりも鋭角に屈曲した屈曲部を有する形状であってもよい。図8は、本発明の一実施の形態における排気管のさらに他の一形状例を示す概略図であり、その排気管55を用いて排気工程を行うときの概略図である。図8に示す排気管55は、アルファベットの「Z」の文字に似た形状となるように、2箇所の屈曲部を有するとともに、各屈曲部をそれぞれ90度よりも鋭角に屈曲させている。例えば、このような形状の排気管であっても、上述と同様の効果を得ることができる。また、屈曲部が90度よりも鋭角に屈曲した形状の排気管は、屈曲部が90度もしくはそれよりも広角に屈曲した形状の排気管と比較して、チップオフの際に封止部を封着しやすい、といった効果が得られることが確認された。   Further, in the present embodiment, the exhaust pipe 50 having a shape in which the bent portion is bent at an angle of about 90 degrees has been described as an example, but the bent portion is not limited to this angle in the present invention. . For example, the exhaust pipe in the present invention may have a shape having a bent portion bent at an acute angle of more than 90 degrees. FIG. 8 is a schematic view showing still another example of the shape of the exhaust pipe in the embodiment of the present invention, and is a schematic view when an exhaust process is performed using the exhaust pipe 55. The exhaust pipe 55 shown in FIG. 8 has two bent portions so as to have a shape similar to the letter “Z” of the alphabet, and each bent portion is bent at an acute angle of more than 90 degrees. For example, even with an exhaust pipe having such a shape, the same effect as described above can be obtained. Also, an exhaust pipe having a bent portion bent at an acute angle of more than 90 degrees has a sealing portion at the time of chip-off compared to an exhaust pipe bent at an angle of 90 degrees or wider than that. It was confirmed that effects such as easy sealing were obtained.

図9は、本発明の一実施の形態における排気管のさらに他の一形状例を示す概略図であり、その排気管56を用いて排気工程を行うときの概略図である。図9に示す排気管56は、1箇所の屈曲部を有する形状であるが、その屈曲部は、90度よりも鋭角に屈曲している。例えば、このような形状の排気管であっても、上述と同様の効果を得ることができる。また、このような形状の排気管は、屈曲部が2箇所以上ある形状の排気管と比較して製造しやすいといった利点に加え、チップオフの際に封止部を封着しやすいといった効果も得ることができる。   FIG. 9 is a schematic view showing still another example of the shape of the exhaust pipe in the embodiment of the present invention, and is a schematic view when the exhaust process is performed using the exhaust pipe 56. Although the exhaust pipe 56 shown in FIG. 9 has a shape having one bent portion, the bent portion is bent at an acute angle of more than 90 degrees. For example, even with an exhaust pipe having such a shape, the same effect as described above can be obtained. In addition to the advantage that the exhaust pipe having such a shape is easier to manufacture than an exhaust pipe having two or more bent portions, it also has the effect of easily sealing the sealing portion at the time of chip-off. Obtainable.

本発明は、パネルの製造工程における排気工程において、ヒーターでパネルを加熱する際に、加熱ムラを低減してパネルを均一に加熱することができるので、パネル内に残留する不純ガスおよび不純物を低減することが可能なパネル用排気管およびパネルの製造方法として有用である。   In the exhaust process of the panel manufacturing process according to the present invention, when the panel is heated with a heater, the unevenness of heating can be reduced and the panel can be heated uniformly, so that impurities and impurities remaining in the panel are reduced. This is useful as a panel exhaust pipe and a method for manufacturing a panel.

本発明の一実施の形態におけるパネルの構造を示す分解斜視図The disassembled perspective view which shows the structure of the panel in one embodiment of this invention. 同パネルの電極配列図Electrode arrangement of the panel 同パネルの平面図および断面図Plan view and sectional view of the panel 本発明の一実施の形態における排気管の形状を示す概略図Schematic which shows the shape of the exhaust pipe in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態における前面板と背面板との封着および排気管と背面板との封着の様子を示した概略図Schematic showing the state of sealing between the front plate and the back plate and sealing between the exhaust pipe and the back plate in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるパネルの排気工程を行うときの概略図Schematic when performing the exhaust process of the panel in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態における排気管の他の一形状例を示す概略図Schematic which shows the other example of another shape of the exhaust pipe in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態における排気管のさらに他の一形状例を示す概略図Schematic which shows another example of another shape of the exhaust pipe in one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態における排気管のさらに他の一形状例を示す概略図Schematic which shows another example of another shape of the exhaust pipe in one embodiment of this invention. 従来技術によるパネルの製造工程における排気工程を行うときの概略図Schematic when performing the exhaust process in the panel manufacturing process according to the prior art

符号の説明Explanation of symbols

10,101 パネル
20 前面板
21 前面ガラス基板
22 走査電極
23 維持電極
24 表示電極対
25,33 誘電体層
26 保護層
30 背面板
31 背面ガラス基板
32 データ電極
34 隔壁
35 蛍光体層
40 排気孔
41,41a,41b 封着材
42 タブレット
43 空孔
50,54,55,56,104 排気管
51 排気孔接着部
52 排気ヘッド装着部
53,105 排気ヘッド
72,73,102,103 ヒーター
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10,101 Panel 20 Front plate 21 Front glass substrate 22 Scan electrode 23 Sustain electrode 24 Display electrode pair 25, 33 Dielectric layer 26 Protective layer 30 Back plate 31 Back glass substrate 32 Data electrode 34 Partition 35 Phosphor layer 40 Exhaust hole 41 , 41a, 41b Sealing material 42 Tablet 43 Air holes 50, 54, 55, 56, 104 Exhaust pipe 51 Exhaust hole bonding part 52 Exhaust head mounting part 53, 105 Exhaust head 72, 73, 102, 103 Heater

Claims (3)

不純ガスの排気および放電ガスの導入のための排気孔を設けた背面板を有するプラズマディスプレイパネルに用い、一方の端部を前記排気孔を覆うように前記プラズマディスプレイパネルに接着し、他方の端部を前記不純ガスの排気および前記放電ガスの導入に用いる排気ヘッドに装着するとともに、前記プラズマディスプレイパネル内に前記放電ガスを導入した後、封止部を封着するプラズマディスプレイパネル用排気管であって、
前記排気管は、前記一方の端部を前記プラズマディスプレイパネルに接着したときに、前記他方の端部に装着する前記排気ヘッドが、前記不純ガスの排気時に前記プラズマディスプレイパネルを加熱するヒーターと前記プラズマディスプレイパネルとが対向する領域の外に配置されるように、少なくとも1箇所の屈曲部を有する形状であることを特徴とするプラズマディスプレイパネル用排気管。
Used for a plasma display panel having a back plate provided with exhaust holes for exhaust of impure gas and introduction of discharge gas, one end is bonded to the plasma display panel so as to cover the exhaust holes, and the other end A plasma display panel exhaust pipe that is attached to an exhaust head used for exhausting the impure gas and introducing the discharge gas, and sealing the sealing portion after introducing the discharge gas into the plasma display panel There,
The exhaust pipe has a heater that heats the plasma display panel when the impure gas is exhausted when the exhaust head attached to the other end when the one end is bonded to the plasma display panel; An exhaust pipe for a plasma display panel, characterized by having a shape having at least one bent portion so as to be disposed outside a region facing the plasma display panel.
前記排気管は、鉛を含まないガラス成分を材料に形成されたことを特徴とする請求項1記載のプラズマディスプレイパネル用排気管。 2. The exhaust pipe for a plasma display panel according to claim 1, wherein the exhaust pipe is made of a glass component not containing lead. 排気管の一方の端部をプラズマディスプレイパネルに形成された排気孔を覆うように前記プラズマディスプレイパネルに接着するとともに、前記排気管の他方の端部に排気ヘッドを装着し、前記プラズマディスプレイパネルをヒーターで加熱しながら、前記排気孔、前記排気管、前記排気ヘッドを介して前記プラズマディスプレイパネル内部の不純ガスを排気するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記排気管の前記他方の端部に装着される前記排気ヘッドが、前記プラズマディスプレイパネルと前記ヒーターとが対向する領域の外に配置されるように、少なくとも1箇所の屈曲部を有する前記排気管を用いて前記不純ガスの排気を行うことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
Adhering one end of the exhaust pipe to the plasma display panel so as to cover the exhaust hole formed in the plasma display panel, and mounting an exhaust head on the other end of the exhaust pipe, A method for manufacturing a plasma display panel in which an impurity gas inside the plasma display panel is exhausted through the exhaust hole, the exhaust pipe, and the exhaust head while being heated by a heater,
The exhaust pipe having at least one bent portion so that the exhaust head attached to the other end of the exhaust pipe is disposed outside a region where the plasma display panel and the heater face each other. A method for manufacturing a plasma display panel, characterized in that the impure gas is exhausted using a gas.
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