JP2010061704A - Magnetic head and magnetic disk device - Google Patents

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文博 田和
Wataru Odajima
渉 小田島
Shinya Hasegawa
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a magnetic head or the like in which a main magnetic pole and a light irradiation position are set close to each other while preventing illumination light being propagated from being absorbed by the main magnetic pole. <P>SOLUTION: The magnetic head 100 includes: an optical waveguide 131 having a core layer 131 and a clad layer 132, extending toward an air-bearing surface F to expose a part of the core layer in the thickness direction T near one surface E of the core layer, and configured to propagate and emit illumination light; and a main magnetic pole 121 formed on one surface E side of the core layer, separated from the core layer, extending toward the air-bearing surface in parallel with the core layer, extending toward the air-bearing surface close to the core layer in a part near the air-bearing surface, and having a part near the air-bearing surface brought into contact with or close to the core layer to be exposed on the air-bearing surface. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本件は、磁気ヘッドおよび磁気ディスク装置に関する。   The present invention relates to a magnetic head and a magnetic disk device.

ハードディスク装置(HDD)に代表される磁気ディスク装置では、記録密度の向上のため、記憶媒体における磁性層の結晶粒の微細構造化が、熱揺らぎが問題となるほどに進んでいる。この熱揺らぎを低減するには、磁性層に保磁力の高い元素の添加が適しているが、保磁力が高いほど、磁気ヘッドによる磁界では書き込めなくなりつつある。そこで記憶媒体上に微小な熱スポットを形成して急加熱し、熱によって一時的に保磁力を下げて磁界で記録し、急冷することで保磁力を回復させて記録する熱アシスト記録方式が提案されている。この熱スポットは、磁気ヘッドから光スポットを記憶媒体に照射し、記憶媒体で吸収させることで発生させる。高密度記録のためには、磁界の及ぶ範囲と熱スポットの範囲が小さいものに限られることから、熱スポットを、磁極の近傍に形成することが求められている。これに対し、光が伝搬する導波路を組み込んだ構造のヘッドが提案されている。   In a magnetic disk device typified by a hard disk device (HDD), in order to improve the recording density, the fine structure of the crystal grains of the magnetic layer in the storage medium has progressed to the extent that thermal fluctuation becomes a problem. In order to reduce this thermal fluctuation, it is suitable to add an element having a high coercive force to the magnetic layer. However, the higher the coercive force, the more difficult it is to write with a magnetic field from a magnetic head. Therefore, a heat-assisted recording method is proposed in which a minute heat spot is formed on the storage medium and heated rapidly, the coercive force is temporarily lowered by heat, recording is performed with a magnetic field, and the coercive force is recovered by rapid cooling. Has been. This heat spot is generated by irradiating the storage medium with a light spot from the magnetic head and absorbing it with the storage medium. For high-density recording, since the range covered by the magnetic field and the range of the heat spot are limited, it is required to form the heat spot in the vicinity of the magnetic pole. On the other hand, a head having a structure incorporating a waveguide through which light propagates has been proposed.

例えば、光ヘッドにおいて、基板の上に、光が伝搬するコアと、コアを挟んだクラッドからなる光導波路が積層された構造が知られている(例えば、特許文献1参照。)。この光ヘッドでは、基板上に設けられた光導波路の先端に、光スポットを発生させる開口部を備えた第1の多層膜が形成されており、その上に、コア内を伝搬してきた光を多層膜側に偏向する第2の多層膜や反射ミラーが設けられている。この構造では、コア内を伝搬してきた光が第2の多層膜で基板上の第1の多層膜側に大きく偏向され開口部から照射される。   For example, in an optical head, a structure is known in which an optical waveguide including a core through which light propagates and a clad sandwiching the core is laminated on a substrate (see, for example, Patent Document 1). In this optical head, a first multilayer film having an opening for generating a light spot is formed at the tip of an optical waveguide provided on a substrate, and light propagating through the core is formed on the first multilayer film. A second multilayer film and a reflection mirror that deflect to the multilayer film side are provided. In this structure, the light propagating in the core is largely deflected to the first multilayer film side on the substrate by the second multilayer film and irradiated from the opening.

また、磁気ヘッドの上にコアを直接配置し、コアの先端には、光を照射する開口部を備えた第1の多層膜と、コアを伝搬してきた光を第1の多層膜に偏向する第2の多層膜が配置された構造が知られている(例えば、特許文献2参照。)。コアの先端面は第1の多層膜と第2の多層膜の双方に接している。   In addition, the core is directly disposed on the magnetic head, the first multilayer film having an opening for irradiating light at the tip of the core, and the light propagating through the core is deflected to the first multilayer film. A structure in which a second multilayer film is arranged is known (see, for example, Patent Document 2). The tip surface of the core is in contact with both the first multilayer film and the second multilayer film.

また、磁極のコア側に、特殊な金属の層を設けることによって、金属表面で発生するプラズモン効果を利用して光を導き、コアのサイズよりも小さな光スポットを発生させる構造が知られている(例えば、特許文献3参照。)。
特開2006−331508号公報 特開2006−73105号公報 特開2007−164936号公報
Also, a structure is known in which a special metal layer is provided on the core side of the magnetic pole to guide light using the plasmon effect generated on the metal surface and generate a light spot smaller than the size of the core. (For example, refer to Patent Document 3).
JP 2006-331508 A JP 2006-73105 A JP 2007-164936 A

しかしながら、コアとクラッドとからなる光導波路で伝導された光を基板上の第1の多層膜側に大きく偏向させる光ヘッドは、コア中心の高さから基板近傍の高さまで、すなわちコアの厚さの半分にクラッドの厚さを加えた高さに渡って光を偏向させる必要がある。このための製造が難しく、光スポットを磁極に近接させることが容易でない。   However, the optical head that largely deflects the light conducted through the optical waveguide composed of the core and the clad toward the first multilayer film on the substrate is from the height of the core to the height near the substrate, that is, the thickness of the core. It is necessary to deflect the light over a height obtained by adding the thickness of the clad to half of the thickness. For this reason, it is difficult to manufacture, and it is not easy to bring the light spot close to the magnetic pole.

また、磁気ヘッドの上にコアを直接配置した構造では、光が磁気ヘッドの金属部分に吸収される問題がある。例えば、磁気ヘッドの主磁極に使用される磁性材料は、光学的にはn=2を超える高い屈折率を有することが一般的である。さらに、可視光領域における屈折率は、一般に波長が長いほど高くなる。相対的に短い波長の青紫レーザが使用される場合、主磁極材料の屈折率は光導波路で使用される材料の屈折率と比べ同程度かまたはそれより低い。しかし、製造が容易な発光素子で出力できる赤色レーザが使用される場合、主磁極材料の屈折率が光導波路材料の屈折率を上回るため、光が磁極側に偏向され、光の一部が磁極に吸収される。コアと磁極の接触距離が長いと、光の損失が増大する。さらに、磁極に吸収された光は熱となり磁極の温度を上昇させる。主磁極は記録トラックに合わせた微小構造の部材であるため、熱の伝導が妨げられ温度が上昇しやすい。磁極の温度上昇によって磁力の発生効率が低下する。   Further, the structure in which the core is directly disposed on the magnetic head has a problem that light is absorbed by the metal portion of the magnetic head. For example, a magnetic material used for the main pole of a magnetic head generally has a high refractive index optically exceeding n = 2. Furthermore, the refractive index in the visible light region generally increases as the wavelength increases. When a relatively short wavelength blue-violet laser is used, the refractive index of the main pole material is comparable or lower than the refractive index of the material used in the optical waveguide. However, when a red laser that can output with a light-emitting element that is easy to manufacture is used, the refractive index of the main magnetic pole material exceeds the refractive index of the optical waveguide material, so that the light is deflected to the magnetic pole side and a part of the light is To be absorbed. When the contact distance between the core and the magnetic pole is long, the loss of light increases. Further, the light absorbed by the magnetic pole becomes heat and raises the temperature of the magnetic pole. Since the main magnetic pole is a microstructure member that matches the recording track, heat conduction is hindered and the temperature tends to rise. The generation efficiency of the magnetic force decreases due to the temperature rise of the magnetic pole.

また、プラズモン効果を用いる構成では、光を導くのが透明材料ではなく金属であるため、金属による光の吸収が避けられない。また、吸収された光によって金属と磁極の双方が加熱され、磁力の発生効率が低下する。   In the configuration using the plasmon effect, light is guided not by a transparent material but by a metal, so light absorption by the metal is inevitable. Further, both the metal and the magnetic pole are heated by the absorbed light, and the generation efficiency of the magnetic force is lowered.

上記事情に鑑み、本件開示の磁気ヘッドおよび磁気ディスク装置の課題は、伝搬中の照射光が主磁極に吸収されるのを抑えつつ、主磁極と光の照射位置とを近接させることにある。   In view of the above circumstances, the problem of the magnetic head and the magnetic disk device disclosed in the present disclosure is to bring the main magnetic pole and the irradiation position of the light close to each other while suppressing propagation light being propagated to the main magnetic pole.

本件開示の磁気ヘッドの基本形態は、層構造を有し、この層構造の一端面からなる浮上面を、相対移動する記憶媒体に向けて浮上し、この記憶媒体に情報を磁気的に記録する磁気ヘッドであって、
コア層とクラッド層と有し上記浮上面に向かって延びてこのコア層の両面のうちの一面寄りの、このコア層の厚み方向の一部分がこの浮上面に露出し、上記記憶媒体に照射する照射光を伝搬してこの浮上面から出射する光導波路と、
上記記憶媒体に情報を記録するための磁力を導いて上記記憶媒体に作用させる、層形状の主磁極であって、上記コア層の上記一面側に形成されてこのコア層とは離間しこのコア層と平行に上記浮上面に向かって延び、上記浮上面寄りの部分でこのコア層に近づきながらこの浮上面に向かって斜めに延び、この浮上面近傍がこのコア層に接触又は近接してこの浮上面に露出する主磁極とを有する。
The basic form of the magnetic head according to the present disclosure has a layer structure, and the air bearing surface composed of one end surface of the layer structure is levitated toward a relatively moving storage medium, and information is magnetically recorded on the storage medium. A magnetic head,
A part of the core layer in the thickness direction, which is close to one of both surfaces of the core layer, is exposed to the air bearing surface and is irradiated onto the storage medium. An optical waveguide that propagates the irradiation light and emits it from the air bearing surface;
A main magnetic pole having a layer shape for guiding magnetic force for recording information on the storage medium and acting on the storage medium. The main pole is formed on the one surface side of the core layer and is separated from the core layer. It extends toward the air bearing surface parallel to the layer, and extends obliquely toward the air bearing surface while approaching the core layer at a portion near the air bearing surface, and the vicinity of the air bearing surface is in contact with or close to the core layer. A main magnetic pole exposed on the air bearing surface.

また、本件開示の磁気ディスク装置の基本形態は、
情報が磁気的に記録される記憶媒体と、
層構造を有し、この層構造の一端面からなる浮上面を、相対移動する上記記憶媒体に向けて浮上し、この記憶媒体に情報を磁気的に記録する磁気ヘッドとを備え、
上記磁気ヘッドが、
コア層とクラッド層と有し上記浮上面に向かって延びてこのコア層の両面のうちの一面寄りの、このコア層の厚み方向の一部分がこの浮上面に露出し、上記記憶媒体に照射する照射光を伝搬してこの浮上面から出射する光導波路と、
上記記憶媒体に情報を記録するための磁力を導いて上記記憶媒体に作用させる、層形状の主磁極であって、上記コア層の上記一面側に形成されてこのコア層とは離間しこのコア層と平行に上記浮上面に向かって延び、上記浮上面寄りの部分でこのコア層に近づきながらこの浮上面に向かって斜めに延び、この浮上面近傍がこのコア層に接触又は近接してこの浮上面に露出する主磁極とを有する。
The basic form of the magnetic disk device disclosed herein is:
A storage medium on which information is magnetically recorded;
A magnetic head that has a layer structure, and floats an air bearing surface composed of one end face of the layer structure toward the relative moving storage medium, and magnetically records information on the storage medium;
The magnetic head is
A part of the core layer in the thickness direction, which is close to one of both surfaces of the core layer, is exposed to the air bearing surface and is irradiated onto the storage medium. An optical waveguide that propagates the irradiation light and emits it from the air bearing surface;
A main magnetic pole having a layer shape for guiding magnetic force for recording information on the storage medium and acting on the storage medium. The main pole is formed on the one surface side of the core layer and is separated from the core layer. It extends toward the air bearing surface parallel to the layer, and extends obliquely toward the air bearing surface while approaching the core layer at a portion near the air bearing surface, and the vicinity of the air bearing surface is in contact with or close to the core layer. A main magnetic pole exposed on the air bearing surface.

これらの基本形態によれば、主磁極は、コア層に沿って浮上面に向かって延びるが、浮上面近傍までコア層に接触又は近接しない。このため、主磁極がコア層より高屈折率の磁性材料で形成されていても、浮上面近傍までは、コア層の照射光が主磁極に吸収されない。したがって、伝搬中の照射光が主磁極に吸収されるのを抑えつつ、主磁極と光の照射位置とが近接可能となる。   According to these basic forms, the main pole extends toward the air bearing surface along the core layer, but does not contact or approach the core layer to the vicinity of the air bearing surface. For this reason, even if the main magnetic pole is made of a magnetic material having a higher refractive index than the core layer, the irradiation light of the core layer is not absorbed by the main magnetic pole up to the vicinity of the air bearing surface. Therefore, the main magnetic pole and the irradiation position of the light can be brought close to each other while suppressing the propagating irradiation light from being absorbed by the main magnetic pole.

以上の本件開示の磁気ヘッドおよび磁気ディスク装置の上記基本形態によれば、伝搬中の照射光が主磁極に吸収されるのを抑えつつ、主磁極と光の照射位置を近接配置させことができる。   According to the above-described basic form of the magnetic head and the magnetic disk device of the present disclosure described above, the main magnetic pole and the light irradiation position can be disposed close to each other while suppressing the propagating irradiation light from being absorbed by the main magnetic pole. .

以下、本件開示の磁気ヘッドおよび磁気ディスク装置の具体的な実施形態について説明する。   Hereinafter, specific embodiments of the magnetic head and the magnetic disk device according to the present disclosure will be described.

図1は、磁気ディスク装置の具体的な実施形態を表した図である。   FIG. 1 is a diagram showing a specific embodiment of a magnetic disk device.

図1に示す磁気ディスク装置1には、図に垂直な方向を回転軸とする回転駆動力を発生するロータリアクチュエータ6が設けられている。このロータリアクチュエータ6は、サスペンションアーム5を支持している。サスペンションアーム5は、ロータリアクチュエータ6の回転駆動力を受けて回動する。サスペンションアーム5の先端には、支持具としてのジンバル4を介して磁気ヘッド100が取り付けられている。磁気ヘッド100は、詳細には、ジンバル4に取り付けられた磁気ヘッドスライダの先端に形成されており、磁気ディスク2上に磁気ヘッドスライダと一体となって浮上する。磁気ヘッド100は、磁気ディスク2からの情報の読み取りや磁気ディスク2への情報の書き込みを行う。   A magnetic disk device 1 shown in FIG. 1 is provided with a rotary actuator 6 that generates a rotational driving force having a rotation axis in a direction perpendicular to the drawing. The rotary actuator 6 supports the suspension arm 5. The suspension arm 5 rotates in response to the rotational driving force of the rotary actuator 6. A magnetic head 100 is attached to the tip of the suspension arm 5 via a gimbal 4 as a support. Specifically, the magnetic head 100 is formed at the tip of a magnetic head slider attached to the gimbal 4 and floats on the magnetic disk 2 together with the magnetic head slider. The magnetic head 100 reads information from the magnetic disk 2 and writes information to the magnetic disk 2.

情報の読み取りや書き込みの際には、ロータリアクチュエータ6によりサスペンションアーム5が回転駆動されることで、磁気ヘッド100が磁気ディスク2上の目標位置に移動し、磁気ディスク2からの情報の読み取りや磁気ディスク2への情報の書き込みを行う。円盤状の磁気ディスク2の表面には、同心円状に多数のトラック7が設けられており、各トラック7には、情報を記憶する記憶領域がある。この記憶領域に並んだ磁化の向きにより情報が表される。この磁気ディスク2は、円盤の中心を回転中心として図の面内を回転し、磁気ディスク2表面近くに配置された磁気ヘッド100は、回転する磁気ディスク2の記憶領域に順次近接する。   When reading or writing information, the rotary arm 6 rotates the suspension arm 5 to move the magnetic head 100 to a target position on the magnetic disk 2, thereby reading information from the magnetic disk 2 or magnetically. Information is written to the disk 2. A large number of tracks 7 are concentrically provided on the surface of the disk-shaped magnetic disk 2, and each track 7 has a storage area for storing information. Information is represented by the direction of magnetization arranged in the storage area. The magnetic disk 2 rotates in the plane of the drawing with the center of the disk as the center of rotation, and the magnetic head 100 disposed near the surface of the magnetic disk 2 sequentially approaches the storage area of the rotating magnetic disk 2.

情報の記録時には、磁気ディスク2に近接した磁気ヘッド100に電気的な記録信号と光が入力され、磁気ヘッド100は、入力された記録信号に応じて磁界と光を印加して、その記録信号に担持された情報をそれらの記憶領域の磁化方向の形式で記録する。また、情報の再生時には、磁気ヘッド100は、各記憶領域において磁化方向の形式で記録された情報を、磁化それぞれから発生する磁界に応じて電気的な再生信号を生成することにより取り出す。ここで、磁気ディスク2は、上述した基本形態における記憶媒体の一例に相当する。   At the time of recording information, an electric recording signal and light are input to the magnetic head 100 adjacent to the magnetic disk 2, and the magnetic head 100 applies a magnetic field and light according to the input recording signal, and the recording signal The information carried in the storage area is recorded in the form of the magnetization direction of those storage areas. In reproducing information, the magnetic head 100 takes out information recorded in the format of the magnetization direction in each storage area by generating an electric reproduction signal in accordance with the magnetic field generated from each magnetization. Here, the magnetic disk 2 corresponds to an example of the storage medium in the basic form described above.

[第1実施形態]
図2、図3および図4は、磁気ヘッドの具体的な第1実施形態を示す図である。図2は磁気ヘッド内部の主要部の構造を斜めから示した透視図であり、図3は断面図であり、図4は磁気ディスクの側から見た図である。
[First Embodiment]
2, 3 and 4 are views showing a specific first embodiment of the magnetic head. 2 is a perspective view showing the structure of the main part inside the magnetic head obliquely, FIG. 3 is a sectional view, and FIG. 4 is a view seen from the magnetic disk side.

図2〜図4に示す磁気ヘッド100は層構造を有しており、層構造の一端面からなる浮上面F(図3参照)を磁気ディスク2に向けて浮上する。磁気ディスク2のトラックは、トラック方向Tとして示す矢印の向きに移動する。すなわち、磁気ヘッド100はトラック上を、トラック方向Tの矢印とは反対方向に相対移動することとなる。トラック方向Tと交わる方向をクロストラック方向Cとする。磁気ヘッド100は、トラック方向Tに積層された層構造を有しており、以降、各層の厚み方向をトラック方向Tとも称し、幅方向をクロストラック方向Cとも称する。   The magnetic head 100 shown in FIGS. 2 to 4 has a layer structure, and the air bearing surface F (see FIG. 3) formed by one end surface of the layer structure is levitated toward the magnetic disk 2. The track of the magnetic disk 2 moves in the direction of the arrow shown as the track direction T. That is, the magnetic head 100 moves relative to the track in the direction opposite to the arrow in the track direction T. A direction crossing the track direction T is defined as a cross track direction C. The magnetic head 100 has a layer structure laminated in the track direction T. Hereinafter, the thickness direction of each layer is also referred to as a track direction T, and the width direction is also referred to as a cross track direction C.

磁気ヘッド100は、再生素子11、記録素子12、および光導波路13を備えている。なお図2では再生素子11の図示を省略している。   The magnetic head 100 includes a reproducing element 11, a recording element 12, and an optical waveguide 13. In FIG. 2, the reproducing element 11 is not shown.

再生素子11は、磁界を検知し磁界に応じた再生信号を出力する。再生素子11は例えばGMR(巨大磁気抵抗)素子である。再生素子11は、一対の磁気シールド14で挟まれており、さらに別の磁気シールド15によって記録素子12から隔てられている。   The reproduction element 11 detects a magnetic field and outputs a reproduction signal corresponding to the magnetic field. The reproducing element 11 is, for example, a GMR (giant magnetoresistive) element. The reproducing element 11 is sandwiched between a pair of magnetic shields 14 and further separated from the recording element 12 by another magnetic shield 15.

光導波路13は、コア層131およびコア層131を挟んだクラッド層132を有している。光導波路13は、浮上面Fに向かって延びており、図示しない発光装置から出射されてくるレーザ光を浮上面Fに伝播させる。図2では、構造を見やすくするためクラッド層132の図示を省略し、図3では、クラッド層132にハッチングを施している。磁気ヘッド100では、例えば660nmの波長を有する赤色レーザ光が使用される。コア層131およびクラッド層132は、使用されるレーザ光の波長に対し、n=n−jkで表される複素屈折率の消衰係数(k)に有意な値を持たず(k≒0)、即ち透明であり、かつ非磁性の材料で形成されている。コア層131の材料としては、例えばTa2O5(n=2.11)やTiO2(n=2.29)に代表される、クラッド層132の材料より高い屈折率を有する材料が採用可能である。また、クラッド層132の材料としては、例えばSiO2(n=1.46)やAl2O3(n=1.77)に代表される、コア層131の材料より低い屈折率を有する材料が採用可能である。 The optical waveguide 13 has a core layer 131 and a cladding layer 132 sandwiching the core layer 131. The optical waveguide 13 extends toward the air bearing surface F, and propagates laser light emitted from a light emitting device (not shown) to the air bearing surface F. In FIG. 2, the cladding layer 132 is not shown for easy understanding of the structure, and in FIG. 3, the cladding layer 132 is hatched. In the magnetic head 100, for example, red laser light having a wavelength of 660 nm is used. The core layer 131 and the clad layer 132 do not have a significant value for the extinction coefficient (k) of the complex refractive index expressed by n * = n−jk with respect to the wavelength of the laser beam used (k≈0). ), That is, it is made of a transparent and non-magnetic material. As a material of the core layer 131, for example, a material having a higher refractive index than the material of the cladding layer 132 represented by Ta2O5 (n = 2.11) or TiO2 (n = 2.29) can be used. Further, as the material of the cladding layer 132, for example, a material having a lower refractive index than the material of the core layer 131 typified by SiO2 (n = 1.46) or Al2O3 (n = 1.77) can be employed. .

また、光導波路13には、浮上面F寄りの先端に光ヘッド133が備えられている。光ヘッド133は、浮上面Fから照射光を出射する光伝搬層134と、伝搬されてきた照射光を光伝搬層134に向けて偏向する光偏向層135を有している。   Further, the optical waveguide 13 is provided with an optical head 133 at the tip near the air bearing surface F. The optical head 133 includes a light propagation layer 134 that emits irradiation light from the air bearing surface F, and a light deflection layer 135 that deflects the propagated irradiation light toward the light propagation layer 134.

光伝搬層134は、コア層131の両面のうちの一面である主磁極面E寄りの、コア層131の厚み方向の一部分が浮上面Fに露出した部分である。また、光偏向層135は、コア層131から光伝搬層134を除いた部分であり、コア層131の主磁極面Eとは反対側の一面寄りの部分である。光偏向層135は複層構造を有しており、各層間の屈折率差を利用して光伝搬層134に向けて光を偏向する。光偏向層135の浮上面F側は光シールド136によって覆われている。光偏向層135は、各層間の屈折率差、光偏向層135自身の長さおよび厚さが調整されることによって、光伝搬層134から出射される光における結合効率の高い入射角や入射位置を制御する。光偏向層135の各層は、光伝搬層134に近い側の層が相対的に高い屈折率を有する材料で形成され、光伝搬層134から遠い側の層が相対的に低い屈折率の材料で形成されている。例えば、光伝搬層134に近い側の層の材料として、例えばコアと同じTa2O5が採用可能である。また、光伝搬層134から遠い側の層の材料として、例えばSiO2が採用可能である。   The light propagation layer 134 is a portion where a part in the thickness direction of the core layer 131 is exposed to the air bearing surface F near the main magnetic pole surface E which is one of both surfaces of the core layer 131. The light deflection layer 135 is a portion obtained by removing the light propagation layer 134 from the core layer 131, and is a portion closer to one surface opposite to the main magnetic pole surface E of the core layer 131. The light deflection layer 135 has a multilayer structure, and deflects light toward the light propagation layer 134 using a difference in refractive index between the layers. The air bearing surface F side of the light deflection layer 135 is covered with a light shield 136. The light deflection layer 135 is adjusted in the refractive index difference between the respective layers and the length and thickness of the light deflection layer 135 itself, whereby the incident angle and the incident position with high coupling efficiency in the light emitted from the light propagation layer 134 are adjusted. To control. Each layer of the light deflection layer 135 is formed of a material having a relatively high refractive index on the layer close to the light propagation layer 134, and a layer having a relatively low refractive index on a layer far from the light propagation layer 134. Is formed. For example, the same Ta 2 O 5 as that of the core can be used as the material of the layer closer to the light propagation layer 134. In addition, for example, SiO 2 can be used as the material of the layer far from the light propagation layer 134.

なお、コア層131の厚さが使用される光の波長程度に薄い場合、光偏向層135には、上述した複層構造以外に、Ta2O5の単層構造が採用可能である。単層構造の場合、光偏向層135はコア層131と同時に作製することができる。   When the thickness of the core layer 131 is as thin as the wavelength of light to be used, the light deflection layer 135 can employ a single layer structure of Ta 2 O 5 in addition to the above-described multilayer structure. In the case of a single layer structure, the light deflection layer 135 can be formed simultaneously with the core layer 131.

光伝搬層134は、使用する光の波長の10分の1程度であるサブ波長以下の厚さの多層構造を有しており、また、浮上面Fに近づくに従いクロストラック方向Cにおいて細幅となるテーパ形状を有している。各層のうち、外側の層は、複素屈折率(n=n−jk)における消衰係数(k)に有意な値を持つ材料で形成されている。外側の層の材料としては、例えばSiやGeなどの比誘電率(ε)が高い誘電体や、Al、Au、Cuなど比誘電率(ε)が低い金属が採用可能である。また、各層のうち、内側の層の少なくとも1層は、複素屈折率における吸収係数(k)に有意な値を持たない、すなわち使用する光の波長にとって透明な材料で形成されている。内側の層の材料としては、例えばTa2O5やTiO2といった材料が採用される。多層構造によって、光伝搬層134を伝搬する光が透明な内側の層内に閉じ込められるとともに、主磁極121への光の染み出しも低減される。 The light propagation layer 134 has a multilayer structure with a thickness equal to or less than a sub-wavelength which is about one-tenth of the wavelength of light to be used, and has a narrow width in the cross-track direction C as it approaches the air bearing surface F. Has a tapered shape. Out of each layer, the outer layer is formed of a material having a significant value for the extinction coefficient (k) in the complex refractive index (n * = n−jk). As the material of the outer layer, for example, a dielectric having a high relative dielectric constant (ε) such as Si or Ge, or a metal having a low relative dielectric constant (ε) such as Al, Au, or Cu can be used. In addition, among the layers, at least one of the inner layers is formed of a material that does not have a significant value for the absorption coefficient (k) in the complex refractive index, that is, is transparent to the wavelength of light to be used. As the material of the inner layer, for example, a material such as Ta2O5 or TiO2 is employed. With the multilayer structure, light propagating through the light propagation layer 134 is confined in the transparent inner layer, and light leakage to the main pole 121 is reduced.

光シールド136は、光偏向層135で光伝搬層134に偏向しきれなかった光が、浮上面Fから出射されて磁気ディスク2の目的外の場所が加熱されてしまうことを防止する。光シールド136は、光偏向層135の浮上面F側を覆い、浮上面Fに沿って広がった形状を有する。この光シールド136は、本実施形態では副磁極としても機能するが、副磁極としての機能については後述する。   The light shield 136 prevents the light that could not be deflected by the light deflection layer 135 to the light propagation layer 134 from being emitted from the air bearing surface F and heating a non-target location of the magnetic disk 2. The light shield 136 covers the air bearing surface F side of the light deflection layer 135 and has a shape that spreads along the air bearing surface F. The light shield 136 also functions as a sub magnetic pole in this embodiment, but the function as the sub magnetic pole will be described later.

記録素子12は、磁力を導いて磁気ディスク2に作用させる層形状の主磁極121、副磁極として機能する光シールド136と主磁極121との間を接続する接続部123、記録用の磁界を発生する薄膜コイル124、および放熱部125を備えている。主磁極121と、副磁極として機能する光シールド136と、接続部123とは、磁気記録時に発生する磁束の磁路の一部を構成する。薄膜コイル124は、この磁路と鎖交するように配置されている。磁気ヘッド100は、垂直磁気記録型の磁気ヘッドであり、主磁極121のトレーリング側すなわちトラック方向Tにおける下流側の位置で磁気ディスク2への記録が行われる。   The recording element 12 generates a layer-shaped main magnetic pole 121 that induces a magnetic force to act on the magnetic disk 2, a connection portion 123 that connects the optical shield 136 that functions as a sub magnetic pole and the main magnetic pole 121, and a magnetic field for recording. A thin film coil 124 and a heat dissipating portion 125 are provided. The main magnetic pole 121, the light shield 136 functioning as a sub magnetic pole, and the connection portion 123 constitute a part of a magnetic path of a magnetic flux generated during magnetic recording. The thin film coil 124 is arranged so as to be linked to this magnetic path. The magnetic head 100 is a perpendicular magnetic recording type magnetic head, and recording is performed on the magnetic disk 2 at a position on the trailing side of the main magnetic pole 121, that is, on the downstream side in the track direction T.

主磁極121は、コア層131の主磁極面E側に形成されており、光伝搬層134とはトラック方向Tに並んで配置されている。以降、主磁極121と光伝搬層134が並んだ方向をトラック方向Tとも称し、主磁極121と光伝搬層134が並んだ方向に交わる方向をクロストラック方向Cとも称する。主磁極121は、コア層131とは離間しコア層131と平行に浮上面Fに向かって延び、浮上面F寄りの部分でコア層131に近づきながら浮上面Fに向かって斜めに延び、浮上面F近傍がコア層131に接触して浮上面Fに露出している。主磁極121の、コア層131とは離間しコア層131と平行に延びた部分、斜めに延びた部分、およびコア層131に接触した部分を、それぞれ平行部121a、斜行部121b、および接触部121cと称する。平行部121aおよび斜行部121bは、コア層131との間にクラッド層132を挟んで配置されている。平行部121aは、浮上面Fに向かって延びる主磁極121の大半を占めている。   The main magnetic pole 121 is formed on the main magnetic pole surface E side of the core layer 131, and is arranged side by side in the track direction T with the light propagation layer 134. Hereinafter, the direction in which the main magnetic pole 121 and the light propagation layer 134 are aligned is also referred to as a track direction T, and the direction that intersects the direction in which the main magnetic pole 121 and the light propagation layer 134 are aligned is also referred to as a cross track direction C. The main magnetic pole 121 is spaced apart from the core layer 131 and extends toward the air bearing surface F in parallel with the core layer 131. The main magnetic pole 121 extends obliquely toward the air bearing surface F while approaching the core layer 131 at a portion near the air bearing surface F. The vicinity of the surface F is in contact with the core layer 131 and exposed to the air bearing surface F. A portion of the main magnetic pole 121 that is separated from the core layer 131 and extends in parallel with the core layer 131, a portion that extends obliquely, and a portion that contacts the core layer 131 are parallel portions 121 a, skew portions 121 b, and contacts, respectively. This will be referred to as a part 121c. The parallel part 121a and the skew part 121b are arranged with the clad layer 132 interposed between the core layer 131 and the parallel part 121a. The parallel part 121a occupies most of the main magnetic pole 121 extending toward the air bearing surface F.

主磁極121は、高い飽和磁化材料で形成されている。主磁極121の材料としては、Fe、Coといった単原子材料や、FeCoといった合金材料が採用可能である。主磁極121は単層構造であってもよく、また多層構造であってもよい。主磁極121に採用される、高い飽和磁化となる磁性材料は、実効的な屈折率がn>2のものが一般的であり、光導波路で用いるコア層131の屈折率に対し同等またはそれ以上の屈折率を有する。   The main magnetic pole 121 is made of a highly saturated magnetization material. As the material of the main magnetic pole 121, a monoatomic material such as Fe or Co or an alloy material such as FeCo can be used. The main magnetic pole 121 may have a single layer structure or a multilayer structure. A magnetic material having a high saturation magnetization adopted for the main magnetic pole 121 generally has an effective refractive index of n> 2, and is equal to or higher than the refractive index of the core layer 131 used in the optical waveguide. The refractive index is

ここで、仮に、主磁極121がコア層131と接触しながら、浮上面Fまで一直線上に延びた構造であるとした場合、コア層131を伝搬される光は、コア層131より高い屈折率を有する主磁極121の側に偏向され、主磁極121に吸収される。この結果、浮上面Fから磁気ディスクに向けて照射される光が減衰するだけでなく、吸収された光によって主磁極が加熱するため磁力も低減する。   Here, if it is assumed that the main magnetic pole 121 has a structure extending straight to the air bearing surface F while being in contact with the core layer 131, the light propagating through the core layer 131 has a higher refractive index than the core layer 131. And is absorbed by the main magnetic pole 121. As a result, not only the light irradiated from the air bearing surface F toward the magnetic disk is attenuated, but also the magnetic force is reduced because the main pole is heated by the absorbed light.

これに対し、本実施形態の主磁極121は、浮上面Fに露出する接触部121cでのみコア層131と接触している。主磁極121は、平行部121aおよび斜行部121bのいずれもコア層131と接触しておらず、コア層131との間にクラッド層132を挟んで配置されている。このため、光の減衰が抑えられる。また、主磁極121の加熱による磁力の低下も抑えられる。また、主磁極121は、浮上面Fに露出する接触部121cでコア層131の光伝搬層134に隣接しており、出射光による光スポットは、主磁極121からの磁界の及ぶ範囲と、記録に十分な程度に重なることとなる。   On the other hand, the main magnetic pole 121 of this embodiment is in contact with the core layer 131 only at the contact portion 121c exposed to the air bearing surface F. Neither the parallel part 121 a nor the skew part 121 b is in contact with the core layer 131, and the main magnetic pole 121 is disposed with the cladding layer 132 sandwiched between the main magnetic pole 121 and the core layer 131. For this reason, attenuation of light is suppressed. Further, a decrease in magnetic force due to heating of the main magnetic pole 121 can be suppressed. Further, the main magnetic pole 121 is adjacent to the light propagation layer 134 of the core layer 131 at the contact portion 121c exposed to the air bearing surface F, and the light spot by the emitted light is within the range covered by the magnetic field from the main magnetic pole 121 and the recording. It will overlap to a sufficient extent.

本実施形態における光シールド136は副磁極としても機能し、主磁極121から出て磁気ディスク2内を通過した磁束が戻る経路を形成する。薄膜コイル124に記録のための電流が流れると、薄膜コイル124を取り囲んだ主磁極121、磁気ディスク2、副磁極として機能する光シールド136、および接続部123に磁路が形成される。主磁極121から磁気ディスク2に向かう磁界の垂直成分によって情報が記録される。ここで、上述した基本形態に対し、「光偏向層の上記浮上面側先端を覆った、上記照射光の透過を防ぐ遮光部を備え、上記遮光部が、磁性材料で形成された、上記主磁極から出力された磁力が戻る副磁極を兼ねたものである」という応用形態が好適である。光偏向層は、光伝搬層を挟んで主磁極の反対側に配置されており、光偏向層の浮上面側を覆った遮光部が副磁極を兼ねることにより、主磁極と副磁極が光伝搬層を挟んで、記憶媒体内の磁路形成に適切な距離に配置される。また、磁気ヘッドの形成工程が簡略化される。光シールド136は、上記応用形態における遮光部の一例に相当する。光シールド136は、使用波長に対して複素屈折率(n=n−jk)の消衰係数(k)に有意な値を持つ材料で形成されることが望ましく、また、本実施形態では磁性材料で形成されることが望ましい。光シールド136の材料としては、例えば、Fe(n=3.31−3.75j)、Co(n=2.28−4.17j)、Nd(n=0.34−1.34j)等や、これらの合金が採用可能である。 The light shield 136 in this embodiment also functions as a sub-magnetic pole, and forms a path for returning the magnetic flux that has exited from the main magnetic pole 121 and passed through the magnetic disk 2. When a recording current flows through the thin film coil 124, a magnetic path is formed in the main magnetic pole 121, the magnetic disk 2, the optical shield 136 that functions as a sub magnetic pole that surrounds the thin film coil 124, and the connection portion 123. Information is recorded by the vertical component of the magnetic field from the main pole 121 toward the magnetic disk 2. Here, with respect to the basic form described above, “the main body is provided with a light shielding portion that covers the tip of the light deflection layer on the air bearing surface side and prevents the transmission of the irradiation light, and the light shielding portion is formed of a magnetic material. The application form that “the magnetic force output from the magnetic pole also serves as the auxiliary magnetic pole to which the magnetic force returns” is suitable. The light deflection layer is placed on the opposite side of the main magnetic pole with the light propagation layer in between. The light shielding part that covers the air bearing surface of the light deflection layer also serves as the sub magnetic pole. The layers are arranged at an appropriate distance for forming a magnetic path in the storage medium. Further, the process of forming the magnetic head is simplified. The light shield 136 corresponds to an example of a light shielding unit in the application mode. The light shield 136 is preferably formed of a material having a significant value for the extinction coefficient (k) of the complex refractive index (n * = n−jk) with respect to the wavelength used, and in this embodiment, the magnetic shield 136 is magnetic. It is desirable to be formed of a material. Examples of the material of the light shield 136 include Fe (n * = 3.31-3.75j), Co (n * = 2.28-4.17j), and Nd (n * = 0.34-1.34j). Etc.) and these alloys can be used.

放熱部125は、主磁極121で生じた熱を周辺に放熱するための部材である。放熱部125は、クロストラック方向Cであってかつ浮上面Fと平行に主磁極121先端部の両側に延びており、詳細には、主磁極121のうち、光伝搬層134に接した接触部121cの両側に延びている。より詳細には、放熱部125はクロストラック方向Cに延びた柱状であり、中央部分に接触部121cが埋没した構造を有している。接触部121cは、光伝搬層134に接触しており、光伝搬層134で伝搬される光の一部が吸収される。光の吸収で生じる熱は放熱部125によって接触部121cの外部に放熱されるため、主磁極121の温度上昇に起因する磁力の低下が抑えられる。放熱部125は、周囲よりも高い熱伝導率を有する非磁性材料で形成されている。放熱部125の材料としては、例えば、Al(=237 W/(m・K))、Au(=317 W/(m・K))、Cu(=401 W/(m・K))やこれらの合金、およびSi(=148 W/(m・K))等が採用可能である。   The heat radiating part 125 is a member for radiating the heat generated in the main magnetic pole 121 to the periphery. The heat radiating portion 125 extends in the cross-track direction C and parallel to the air bearing surface F on both sides of the tip of the main magnetic pole 121. Specifically, the contact portion of the main magnetic pole 121 in contact with the light propagation layer 134 It extends on both sides of 121c. More specifically, the heat radiating portion 125 has a columnar shape extending in the cross track direction C, and has a structure in which the contact portion 121c is buried in the center portion. The contact part 121c is in contact with the light propagation layer 134, and a part of the light propagated in the light propagation layer 134 is absorbed. Since heat generated by light absorption is radiated to the outside of the contact part 121 c by the heat radiating part 125, a decrease in magnetic force due to a temperature rise of the main magnetic pole 121 is suppressed. The heat radiating portion 125 is made of a nonmagnetic material having a higher thermal conductivity than the surroundings. Examples of the material of the heat dissipation part 125 include Al (= 237 W / (m · K)), Au (= 317 W / (m · K)), Cu (= 401 W / (m · K)), and these. And Si (= 148 W / (m · K)) can be employed.

図2〜4に示す磁気ヘッド100は、公知の手法によって基板に対し各材料の積層および選択的エッチングを繰返すことによって作成される。主磁極121の斜行部121bは、浮上面Fに向かって斜めに延びた形状を有している。この部分は、主磁極121の下層のうち、斜行部121bが形成される領域以外の領域をレジスト膜等で覆い、例えばイオンミリング法またはFIB(Focused Ion Beam)で下層を斜めに削った後、レジスト膜を除去して磁性材料を積層することで形成される。   The magnetic head 100 shown in FIGS. 2 to 4 is manufactured by repeatedly laminating each material and selectively etching the substrate by a known method. The oblique portion 121b of the main magnetic pole 121 has a shape extending obliquely toward the air bearing surface F. This portion covers the region below the main magnetic pole 121 other than the region where the skewed portion 121b is formed with a resist film or the like, and after the lower layer is cut obliquely by, for example, ion milling or FIB (Focused Ion Beam). It is formed by removing the resist film and laminating a magnetic material.

放熱部125は、周囲よりも高い熱伝導率を有する非磁性材料で形成されるが、さらに、主磁極121の材料の屈折率に比べ同等または高屈折率の非磁性材料で形成することが、屈折率分布の点からより好ましい。このような材料としては、例えば、Si(=148 W/(m・K))等が採用可能である。   The heat dissipating part 125 is formed of a nonmagnetic material having a higher thermal conductivity than the surroundings, and may be formed of a nonmagnetic material having a refractive index equal to or higher than the refractive index of the material of the main magnetic pole 121. More preferable in terms of refractive index distribution. As such a material, for example, Si (= 148 W / (m · K)) can be employed.

ここで、屈折率分布について説明する。光伝搬層134には主磁極121が浮上面F近傍で隣接している。主磁極121は磁性材料で形成されており、光伝搬層134に比べ高い屈折率を有している。ここで、仮に、放熱部125の材料として、光伝搬層134に比べ低い屈折率の材料を採用すると、主磁極121を中心にクロストラック方向Cとトラック方向Tの屈折率の分布を見た場合、主磁極121の位置で屈折率が高い不均等な分布となる。この屈折率の分布内に光伝搬層134が主磁極121と隣接していることにより、光伝搬層134の同じ層内で主磁極121に近い部分の実効屈折率が高く、他の部分が低い不均等な分布を生じる。光伝搬層134は、トラック方向Tに積層された層構造によって光を内部に閉じ込め伝搬するが、内部の実効的な屈折率の分布が不均等になると、光伝搬層134で伝搬される光が屈折率のピークに対応する主磁極121の中心に向かって、積層方向に対し斜めに偏向する傾向が高まるため、層構造による光の伝搬制御が妨げられる。   Here, the refractive index distribution will be described. The main magnetic pole 121 is adjacent to the light propagation layer 134 in the vicinity of the air bearing surface F. The main magnetic pole 121 is made of a magnetic material and has a higher refractive index than the light propagation layer 134. Here, if a material having a lower refractive index than that of the light propagation layer 134 is used as the material of the heat dissipation part 125, the distribution of the refractive index in the cross-track direction C and the track direction T around the main magnetic pole 121 is seen. The distribution of the refractive index is high at the position of the main magnetic pole 121. Since the light propagation layer 134 is adjacent to the main magnetic pole 121 within this refractive index distribution, the effective refractive index of the portion close to the main magnetic pole 121 in the same layer of the light propagation layer 134 is high and the other portions are low. This produces an uneven distribution. The light propagation layer 134 confines and propagates light by the layer structure laminated in the track direction T. However, when the effective refractive index distribution inside becomes uneven, the light propagated in the light propagation layer 134 Since the tendency to deflect obliquely with respect to the stacking direction toward the center of the main magnetic pole 121 corresponding to the refractive index peak increases, the light propagation control by the layer structure is hindered.

本実施形態の磁気ヘッド100では、放熱部125が、主磁極121の材料の屈折率に比べ同等または高屈折率の非磁性材料で形成されることによって、トラック方向Tにおける主磁極121の位置でクロストラック方向Cに屈折率を見た屈折率の分布が均一化する。したがって、光伝搬層134で伝搬される光の損失が抑えられる。   In the magnetic head 100 of this embodiment, the heat radiating portion 125 is formed of a nonmagnetic material having a refractive index equal to or higher than the refractive index of the material of the main pole 121, so that the position of the main pole 121 in the track direction T is achieved. The refractive index distribution as viewed in the cross-track direction C is uniform. Therefore, loss of light propagated in the light propagation layer 134 can be suppressed.

このことは、上述した基本形態に対し、「上記主磁極と上記光伝搬層とが並んだ向きとは交わる向きであってかつ前記浮上面と平行にこの主磁極先端部の両側に延びた、この主磁極の材料の屈折率に比べ同等または高屈折率を有する非磁性材料で形成された屈折率補正部を備えた」応用形態が好ましいことを意味する。ここで、第1実施形態の放熱部125が、上記応用形態の屈折率補正部の一例に相当する。   This is in contrast to the basic form described above, "the direction in which the main magnetic pole and the light propagation layer are aligned is crossed and extends on both sides of the tip of the main magnetic pole in parallel with the air bearing surface. This means that an application mode including a refractive index correction unit formed of a nonmagnetic material having a refractive index equal to or higher than the refractive index of the material of the main magnetic pole is preferable. Here, the heat dissipation unit 125 of the first embodiment corresponds to an example of the refractive index correction unit of the application mode.

また、上述した基本形態に対し「屈折率補正部が、周囲より高い熱伝導性を有する材料で形成された放熱部を兼ねたものである」応用形態は好適である。屈折率補正部が放熱部を兼ねる場合、主磁極の両側に延びた屈折率補正部の構造によって、主磁極の熱が両側に効率よく放熱され、磁力の低下が抑えられる。   In addition, an application mode in which the “refractive index correction unit also serves as a heat dissipation unit formed of a material having higher thermal conductivity than the surroundings” is suitable for the basic mode described above. When the refractive index correction unit also serves as the heat radiating unit, the heat of the main magnetic pole is efficiently radiated to both sides by the structure of the refractive index correction unit extending on both sides of the main magnetic pole, and the decrease in magnetic force is suppressed.

また、上述した基本形態に対し「上記コア層の上記浮上面寄りの先端部に、この浮上面に露出しこの浮上面から照射光を出射する、上記一面寄りの光伝搬層と、この先端部のうちのこの光伝搬層を除く、このコア層の両面のうちの上記一面とは反対側の一面寄りの部分からなる、伝搬されてきた照射光を上記光伝搬層に向けて偏向する光偏向層とを有する」応用形態は好適である。照射光を出射する光伝搬層を主磁極が形成された一面側とすることによって、反対側とした場合に比べ、主磁極が斜めに延びる部分の傾斜を緩やかにすることができる。   In addition, for the basic form described above, “the light propagation layer near the one surface that emits irradiation light from the air bearing surface exposed to the air bearing surface at the tip portion near the air bearing surface of the core layer, and the tip portion Of the core layer, excluding the light propagation layer, and the portion of the core layer near the one surface opposite to the one surface, the light deflection for deflecting the transmitted irradiation light toward the light propagation layer The "with layer" application is preferred. By setting the light propagation layer that emits the irradiation light to the one surface side where the main magnetic pole is formed, the inclination of the portion in which the main magnetic pole extends obliquely can be made gentler than in the case of the opposite side.

[変形例]
上述した第1実施形態では、トラック方向Tで、再生素子11、主磁極121、光伝搬層134、および光シールド136が順に配置された磁気ヘッド100の構成を説明したが、上述した基本形態における磁気ヘッドは、別の順で配置されたものであってよい。次に、第1実施形態に対し配置順序が異なる変形例を説明する。これらの変形例は、図2に示した磁気ヘッド100の主要部構造と共通の構造を有している。したがって、実施形態における各要素と同一の要素には符号を省略するか同一の符号を付けて示し、第1実施形態との相違点について説明する。
[Modification]
In the first embodiment described above, the configuration of the magnetic head 100 in which the reproducing element 11, the main magnetic pole 121, the light propagation layer 134, and the optical shield 136 are sequentially arranged in the track direction T has been described. The magnetic heads may be arranged in another order. Next, a modification in which the arrangement order is different from that of the first embodiment will be described. These modifications have the same structure as the main structure of the magnetic head 100 shown in FIG. Accordingly, elements that are the same as those in the embodiment will be omitted or denoted by the same reference numerals, and differences from the first embodiment will be described.

図5および図6のそれぞれは、図2〜図4に示す磁気ヘッドに対し各素子の配置が異なる変形例を示す断面図である。   5 and 6 are cross-sectional views showing modifications in which the arrangement of each element is different from the magnetic head shown in FIGS.

図5に示す磁気ヘッド200は、トラック方向Tで、再生素子21、光シールド236、光伝搬層234、および主磁極221が順に配置されている。磁気ヘッド200は、面内記録型磁気ヘッドであり、主磁極221のリーディング側すなわちトラック方向Tにおける上流側の位置で磁気ディスク2への記録が行われる。光伝搬層234は、主磁極221のリーディング側に配置されており、磁気ディスク2上の記録が行われる領域に熱スポットが生じる。   In the magnetic head 200 shown in FIG. 5, the reproducing element 21, the light shield 236, the light propagation layer 234, and the main magnetic pole 221 are sequentially arranged in the track direction T. The magnetic head 200 is an in-plane recording magnetic head, and recording is performed on the magnetic disk 2 at a position on the leading side of the main magnetic pole 221, that is, on the upstream side in the track direction T. The light propagation layer 234 is disposed on the leading side of the main magnetic pole 221, and a heat spot is generated in an area where recording is performed on the magnetic disk 2.

図6に示す磁気ヘッド300は、光シールド336と副磁極322とが別の部材で構成されている。磁気ヘッド300は、単磁極型の垂直磁気記録型磁気ヘッドであり、トラック方向Tで、再生素子31、副磁極322、主磁極321、光伝搬層334、および光シールド336が順に配置されている。光シールド336は、磁極として機能せず、光を遮蔽する部材である。したがって、光シールド336は、使用する光の波長における複素屈折率(n=n−jk)の消衰係数(k)に有意な値を持つ材料であれば、材料磁性材料に限らず非磁性材料で形成することが可能である。磁気ヘッド300における光シールド336の材料としては、例えば、Si(n=4.22−1.46j)、Ge(n=4.89−1.46j)、Ta(n=1.35−2.6j)、Cu(n=0.14−3.67j)、Au(n=0.10−3.81j)、Al(n=1.35−7.09j)といった非磁性材料や、Fe(n=3.31−3.75j)、Co(n=2.28−4.17j)、Nd(n=0.34−1.34j)や、これらの合金といった磁性材料が採用可能である。 In the magnetic head 300 shown in FIG. 6, the light shield 336 and the sub magnetic pole 322 are formed of different members. The magnetic head 300 is a single magnetic pole type perpendicular magnetic recording type magnetic head, and in the track direction T, a reproducing element 31, a sub magnetic pole 322, a main magnetic pole 321, a light propagation layer 334, and a light shield 336 are arranged in this order. . The light shield 336 does not function as a magnetic pole but is a member that shields light. Therefore, the light shield 336 is not limited to a magnetic material, and is not magnetic as long as it has a significant value for the extinction coefficient (k) of the complex refractive index (n * = n−jk) at the wavelength of the light used. It can be made of a material. Examples of the material of the light shield 336 in the magnetic head 300 include Si (n * = 4.22-1.46j), Ge (n * = 4.89-1.46j), Ta (n * = 1.35). -2.6j), Cu (n * = 0.14-3.67j), Au (n * = 0.10-3.81j), Al (n * = 1.35-7.09j), nonmagnetic Materials, Fe (n * = 3.31-3.75j), Co (n * = 2.28-4.17j), Nd (n * = 0.34-1.34j), and alloys thereof Magnetic materials can be used.

[第2実施形態]
上述した実施形態では、クロストラック方向Cにおける主磁極の両側に延びた放熱部を高屈折率の材料で形成することにより屈折率分布を調整する例を説明した。次に、放熱部を低屈折率の材料で形成可能な、磁気ヘッドの具体的な第2実施形態について説明する。以下の第2実施形態の説明にあたっては、これまで説明してきた実施形態における各要素と同一の要素には同一の符号を付けて示し、前述の実施形態との相違点について説明する。
[Second Embodiment]
In the above-described embodiment, the example in which the refractive index distribution is adjusted by forming the heat radiating portions extending on both sides of the main pole in the cross-track direction C with a material having a high refractive index has been described. Next, a specific second embodiment of the magnetic head in which the heat dissipation portion can be formed of a low refractive index material will be described. In the following description of the second embodiment, the same reference numerals are given to the same elements as those in the embodiments described so far, and differences from the above-described embodiments will be described.

図7は、磁気ヘッドの具体的な第2実施形態を磁気ディスクの側から見た図である。   FIG. 7 is a view of a second embodiment of the magnetic head as viewed from the magnetic disk side.

図7に示す磁気ヘッド400は、図2〜4に示す第1実施形態の磁気ヘッド100に対し、光伝搬層434と主磁極421とは近接しているが接しておらず、光伝搬層434と主磁極421との間に屈折率補正層437を備えた点が異なる。屈折率補正層437は、高屈折率の非磁性材料で形成された、クロストラック方向Cにおける長さが主磁極421よりも長い層である。屈折率補正層437の材料としては、例えばSiやGe(=60 W/(m・K),n=4.89−1.46j)が採用可能である。 In the magnetic head 400 shown in FIG. 7, the light propagation layer 434 and the main magnetic pole 421 are close to each other but not in contact with the magnetic head 100 of the first embodiment shown in FIGS. And the main magnetic pole 421 are different in that a refractive index correction layer 437 is provided. The refractive index correction layer 437 is a layer made of a nonmagnetic material having a high refractive index and having a length in the cross track direction C longer than that of the main magnetic pole 421. As a material of the refractive index correction layer 437, for example, Si or Ge (= 60 W / (m · K), n * = 4.89-1.46j) can be employed.

磁気ヘッド400によれば、屈折率補正層437によって、放熱部425の材料に拘わらず、クロストラック方向Cに見た屈折率の分布が均等化される。したがって、光伝搬層134で伝搬される光の損失が抑えられる。第2実施形態の磁気ヘッド400における放熱部425の材料は、高屈折率を有するSiに限られず、周囲の部材より熱伝導率は高いが屈折率の低いAl、Au、Cuおよびこれらの合金など広範囲の材料が採用可能である。これは、上述した基本形態に対し「上記主磁極と上記光伝搬層の間に、この主磁極の材料の屈折率に比べ同等または高屈折率の非磁性材料で形成された屈折率補正部を備えた」応用形態は好適であることを意味している。第2実施形態の屈折率補正層437は、この応用形態における屈折率補正部の一例に相当する。   According to the magnetic head 400, the refractive index distribution as viewed in the cross-track direction C is equalized by the refractive index correction layer 437 regardless of the material of the heat dissipation part 425. Therefore, loss of light propagated in the light propagation layer 134 can be suppressed. The material of the heat radiation part 425 in the magnetic head 400 of the second embodiment is not limited to Si having a high refractive index, and Al, Au, Cu, and alloys thereof having a higher thermal conductivity than the surrounding members but a lower refractive index, etc. A wide range of materials can be used. This is because the refractive index correction unit formed of a nonmagnetic material having a refractive index equal to or higher than the refractive index of the material of the main magnetic pole is provided between the main magnetic pole and the light propagation layer. The “with” application means that it is preferred. The refractive index correction layer 437 of the second embodiment corresponds to an example of a refractive index correction unit in this application mode.

[第3実施形態]
次に、クロストラック方向における光伝搬層の両側に高屈折率の部材が配置された、磁気ヘッドの具体的な第3実施形態について説明する。以下の第3実施形態の説明にあたっては、これまで説明してきた実施形態における各要素と同一の要素には同一の符号を付けて示し、前述の実施形態との相違点について説明する。
[Third Embodiment]
Next, a specific third embodiment of the magnetic head in which high refractive index members are arranged on both sides of the light propagation layer in the cross track direction will be described. In the following description of the third embodiment, the same reference numerals are given to the same elements as those in the embodiments described so far, and differences from the above-described embodiments will be described.

図8および図9は、磁気ヘッドの具体的な第3実施形態を示す図である。図8は、磁気ヘッドを磁気ディスクの側から見た図であり、図9は光伝搬層を含みクロストラック方向に広がる断面を示す断面図である。   FIG. 8 and FIG. 9 are diagrams showing a specific third embodiment of the magnetic head. 8 is a view of the magnetic head as viewed from the magnetic disk side, and FIG. 9 is a cross-sectional view showing a cross section including the light propagation layer and extending in the cross track direction.

図8および図9に示す磁気ヘッド500は、クロストラック方向Cにおける光伝搬層の両側に延びた屈折率補正部537を有する。屈折率補正部537は、テーパ形状の光伝搬層134の両側縁134aに沿って形成されている。屈折率補正部537は、主磁極121の材料の屈折率に比べ同等または高屈折率の材料で形成されている。屈折率補正部537の材料としては、例えば非磁性材料では、SiやGeなどが採用可能である。放熱性の点からは、Siがより好ましい。また磁性材料で主磁極と接しなければ、副磁極を兼ねた光シールド136と接続することで、磁路の一端にすることが可能である。あるいは、主磁極からの余分な磁界を低減するサイドシールとしても使用可能である。磁性材料では、Fe、Coや、これらの合金などが採用可能である。   The magnetic head 500 shown in FIGS. 8 and 9 includes a refractive index correction unit 537 extending on both sides of the light propagation layer in the cross-track direction C. The refractive index correction unit 537 is formed along both side edges 134 a of the tapered light propagation layer 134. The refractive index correction unit 537 is formed of a material that is equal to or higher in refractive index than the material of the main magnetic pole 121. As a material for the refractive index correction unit 537, for example, Si or Ge can be used for a non-magnetic material. From the viewpoint of heat dissipation, Si is more preferable. If the magnetic material is not in contact with the main magnetic pole, it can be used as one end of the magnetic path by connecting to the light shield 136 that also serves as the auxiliary magnetic pole. Alternatively, it can be used as a side seal for reducing an extra magnetic field from the main magnetic pole. As the magnetic material, Fe, Co, and alloys thereof can be used.

図8および図9に示す磁気ヘッド500によれば、光伝搬層134のトラック方向Tには、高屈折率の主磁極121が接するが、クロストラック方向Cの両側でも高屈折率の屈折率補正部537に接している。このため、浮上面Fにおける光伝搬層134近傍の屈折率の分布の対称性が高まり、光の損失が抑えられる。   According to the magnetic head 500 shown in FIGS. 8 and 9, the high refractive index main pole 121 is in contact with the track direction T of the light propagation layer 134, but the high refractive index correction is also performed on both sides in the cross track direction C. It is in contact with the part 537. For this reason, the symmetry of the refractive index distribution in the vicinity of the light propagation layer 134 on the air bearing surface F increases, and the loss of light is suppressed.

このことは、上述した基本形態に対し「上記主磁極と上記光伝搬層とが並んだ向きとは交わる向きであってかつ上記浮上面と平行にこの光伝搬層の両側に延びた、この主磁極の材料の屈折率に比べ同等または高屈折率の非磁性材料で形成された屈折率補正部を備えた」応用形態、および、「上記光伝搬層は、浮上面に近づくに従い細幅となるテーパ形状を有したものであり、
上記屈折率補正部は、テーパ形状の上記光伝搬層の両側縁に沿って形成されたものである」という応用形態が好適であることを意味する。
This is because, with respect to the basic form described above, “the main magnetic pole and the light propagation layer are aligned in an intersecting direction and parallel to the air bearing surface and extending on both sides of the light propagation layer. Application mode including a refractive index correction unit formed of a nonmagnetic material having the same or higher refractive index than that of the magnetic pole material, and “the light propagation layer becomes narrower as it approaches the air bearing surface. It has a tapered shape,
This means that the refractive index correction unit is preferably formed along both side edges of the tapered light propagation layer.

[第4実施形態]
次に、光シールドが異なる屈折率の部分からなる、磁気ヘッドの具体的な第4実施形態について説明する。以下の第4実施形態の説明にあたっては、これまで説明してきた実施形態における各要素と同一の要素には同一の符号を付けて示し、前述の実施形態との相違点について説明する。
[Fourth Embodiment]
Next, a specific fourth embodiment of the magnetic head in which the light shield is composed of portions having different refractive indexes will be described. In the following description of the fourth embodiment, the same reference numerals are given to the same elements as those in the embodiments described so far, and differences from the above-described embodiments will be described.

図10は、磁気ヘッドの具体的な第4実施形態を示す図である。   FIG. 10 is a diagram showing a specific fourth embodiment of the magnetic head.

図10に示す磁気ヘッド500は、光シールド536のうち、光伝搬層134に隣接する部分Pが主磁極121の材料の屈折率に比べ同等または高屈折率の材料で形成されている。また、この光シールド536は、副磁極としても機能している。   In the magnetic head 500 shown in FIG. 10, a portion P adjacent to the light propagation layer 134 in the light shield 536 is formed of a material having the same or higher refractive index than the material of the main magnetic pole 121. The light shield 536 also functions as a sub magnetic pole.

光シールド536は、より詳細には、トラック方向Tにおける主磁極121寄りの低屈折率部536bと、反対寄りの高屈折率部536aとを有している。高屈折率部536aは、クロストラック方向Cにおける光伝搬層134の位置で光伝搬層134に向かって突出し、光伝搬層134に接した凸部Pを有している。凸部Pのクロストラック方向Cにおける幅は主磁極121と略同じ幅に形成されている。低屈折率部536bは、クロストラック方向Cにおける凸部Pの両側に延びた帯状である。高屈折率部536aの材料としては、主磁極121と同じFeまたはCoや、FeCoといった合金材料が採用可能である。また、低屈折率部536bの材料としては、AuやCuが採用可能である。   More specifically, the light shield 536 has a low refractive index portion 536b near the main magnetic pole 121 in the track direction T and a high refractive index portion 536a near the opposite side. The high refractive index portion 536 a has a convex portion P that protrudes toward the light propagation layer 134 at the position of the light propagation layer 134 in the cross track direction C and is in contact with the light propagation layer 134. The width of the protrusion P in the cross track direction C is formed to be substantially the same as that of the main magnetic pole 121. The low refractive index portion 536b has a strip shape extending on both sides of the convex portion P in the cross track direction C. As the material of the high refractive index portion 536a, the same Fe or Co as the main magnetic pole 121, or an alloy material such as FeCo can be used. Further, Au or Cu can be used as the material of the low refractive index portion 536b.

磁気ヘッド500は、トラック方向Tにおける光伝搬層134の両側それぞれに、ともに高い屈折率を有する、主磁極121および高屈折率部536aが接しており、クロストラック方向Cにおける高屈折率部536aの両側には、低い屈折率を有する低屈折率部536bが配置されている。これによって、放熱部525の材料として低屈折率の材料が採用された場合にも、光伝搬層134近傍の屈折率の分布の対称性が高まる。すなわち、屈折率分布のピークが、クロストラック方向Cにおける幅が有限な主磁極121の1箇所に集中することが避けられる。したがって、光の損失が抑えられる。   In the magnetic head 500, the main magnetic pole 121 and the high refractive index portion 536a both having high refractive indexes are in contact with both sides of the light propagation layer 134 in the track direction T, and the high refractive index portion 536a in the cross track direction C is in contact with each other. On both sides, low refractive index portions 536b having a low refractive index are arranged. Thereby, even when a low refractive index material is adopted as the material of the heat radiation part 525, the symmetry of the refractive index distribution in the vicinity of the light propagation layer 134 is enhanced. That is, the peak of the refractive index distribution can be avoided from being concentrated on one place of the main magnetic pole 121 having a finite width in the cross track direction C. Therefore, the loss of light can be suppressed.

[第5実施形態]
次に、上述した第4実施形態とは光シールドの形が異なる、磁気ヘッドの具体的な第5実施形態について説明する。以下の第5実施形態の説明にあたっては、これまで説明してきた実施形態における各要素と同一の要素には同一の符号を付けて示し、前述の実施形態との相違点について説明する。
[Fifth Embodiment]
Next, a specific fifth embodiment of the magnetic head, in which the shape of the light shield is different from the fourth embodiment described above, will be described. In the description of the fifth embodiment below, the same reference numerals are given to the same elements as those in the embodiments described so far, and differences from the above-described embodiments will be described.

図11は、磁気ヘッドの具体的な第5実施形態を示す図である。   FIG. 11 is a diagram showing a specific fifth embodiment of the magnetic head.

図11に示す磁気ヘッド600は、図10に示す磁気ヘッド500と同様に、光シールド636のうち、光伝搬層134に隣接する部分Pが主磁極121の材料の屈折率に比べ同等または高屈折率の材料で形成されている。また、この光シールド636は、副磁極としても機能している。ただし、光シールド636の高屈折率部636bは、光伝搬層134に接した部分に限られており、残りは、低屈折率部636aで占められている。したがって、高屈折率部636bは、光伝搬層134に隣接する部分を除いて低屈折率部636aに取り囲まれている。   In the magnetic head 600 shown in FIG. 11, the portion P adjacent to the light propagation layer 134 in the optical shield 636 is equal to or higher than the refractive index of the material of the main magnetic pole 121, as in the magnetic head 500 shown in FIG. Formed of rate material. The light shield 636 also functions as a sub magnetic pole. However, the high refractive index portion 636b of the light shield 636 is limited to the portion in contact with the light propagation layer 134, and the rest is occupied by the low refractive index portion 636a. Accordingly, the high refractive index portion 636b is surrounded by the low refractive index portion 636a except for a portion adjacent to the light propagation layer 134.

磁気ヘッド600は、磁気ヘッド500と同様に、トラック方向Tにおける光伝搬層134の両側それぞれに、ともに高い屈折率を有する、主磁極121および高屈折率部636bが接しており、クロストラック方向Cにおける高屈折率部636bの両側には、低い屈折率を有する低屈折率部636aが配置されている。これによって、放熱部625の材料として低屈折率の材料が採用された場合にも、光伝搬層134近傍の屈折率の分布の対称性が高まり、光の損失が抑えられる。   Similar to the magnetic head 500, the magnetic head 600 is in contact with the main magnetic pole 121 and the high refractive index portion 636b, both of which have a high refractive index, on both sides of the light propagation layer 134 in the track direction T. A low refractive index portion 636a having a low refractive index is disposed on both sides of the high refractive index portion 636b. Thereby, even when a low refractive index material is adopted as the material of the heat radiation part 625, the symmetry of the refractive index distribution in the vicinity of the light propagation layer 134 is enhanced, and the loss of light is suppressed.

このことは、遮光部を備えた応用形態に対し「上記遮光部が、上記光伝搬層に隣接した、上記主磁極の材料の屈折率に比べ同等または高屈折率の材料で形成された隣接部を備えた」応用形態が好適であることを意味する。ここで、第4実施形態における高屈折率部536a、および第5実施形態における高屈折率部636bのそれぞれがこの応用形態の隣接部の一例に相当する。   This means that for an application having a light-shielding portion, “the light-shielding portion is adjacent to the light propagation layer and is formed of a material having a refractive index equal to or higher than that of the material of the main magnetic pole. This means that the application form “with” is preferred. Here, each of the high refractive index portion 536a in the fourth embodiment and the high refractive index portion 636b in the fifth embodiment corresponds to an example of an adjacent portion in this application mode.

[第6実施形態]
次に、光伝搬層の代わりにプラズモン発生素子を備えた磁気ヘッドの具体的な第6実施形態について説明する。以下の第6実施形態の説明にあたっては、これまで説明してきた実施形態における各要素と同一の要素には同一の符号を付けて示し、前述の実施形態との相違点について説明する。
[Sixth Embodiment]
Next, a specific sixth embodiment of the magnetic head including a plasmon generating element instead of the light propagation layer will be described. In the following description of the sixth embodiment, the same reference numerals are given to the same elements as those in the embodiments described so far, and differences from the above-described embodiments will be described.

図12は、磁気ヘッドの具体的な第6実施形態を示す図である。   FIG. 12 is a diagram showing a specific sixth embodiment of the magnetic head.

図12に示す磁気ヘッド700は、光伝搬層の代わりにプラズモン発生素子734が備えられている。プラズモン発生素子734は、プラズモン効果を生じさせやすい金属材料、例えばCu/Ta2O5で形成されており、今まで説明した光伝搬層と同様に、浮上面Fに近づくに従い細幅となるテーパ形状を有している。また、磁気ヘッド700では、主磁極121への光の吸収に伴う熱を逃がすための放熱部725が必要とされるが、この放熱部725は、高屈折率材料で形成された屈折率補正部を兼ねていることが好ましい。この場合、放熱部725の材料としては、熱伝導率が高い非磁性材料である、例えば、単原子材料の例では、Au、Cu等が採用可能である。   A magnetic head 700 shown in FIG. 12 includes a plasmon generating element 734 instead of the light propagation layer. The plasmon generating element 734 is made of a metal material that easily causes the plasmon effect, for example, Cu / Ta 2 O 5, and has a tapered shape that becomes narrower as the air bearing surface F is approached, similar to the light propagation layer described so far. is doing. Further, the magnetic head 700 requires a heat radiating portion 725 for releasing heat accompanying light absorption into the main magnetic pole 121. The heat radiating portion 725 is a refractive index correcting portion formed of a high refractive index material. It is preferable to serve as both. In this case, as a material of the heat radiation part 725, a nonmagnetic material having high thermal conductivity, for example, Au, Cu or the like can be adopted in the case of a monoatomic material.

なお、具体的な各実施形態に対する上記説明では、「課題を解決するための手段」で説明した基本形態における記憶媒体の一例として磁気ディスクが示されているが、この記録媒体は、磁気ディスク以外にも光磁気ディスクであってもよい。また各実施例は、組み合わせが可能である。   In the above description of each specific embodiment, a magnetic disk is shown as an example of the storage medium in the basic mode described in “Means for Solving the Problems”. Alternatively, a magneto-optical disk may be used. Further, the embodiments can be combined.

以下、上述した基本形態および応用形態を含む種々の形態に関し、更に以下の付記を開示する。   Hereinafter, the following additional notes will be disclosed with respect to various forms including the basic form and the application form described above.

(付記1)
層構造を有し、該層構造の一端面からなる浮上面を、相対移動する記憶媒体に向けて浮上し、該記憶媒体に情報を磁気的に記録する磁気ヘッドであって、
コア層とクラッド層と有し前記浮上面に向かって延びて該コア層の両面のうちの一面寄りの、該コア層の厚み方向の一部分が該浮上面に露出し、前記記憶媒体に照射する照射光を伝搬して該浮上面から出射する光導波路と、
前記記憶媒体に情報を記録するための磁力を導いて前記記憶媒体に作用させる、層形状の主磁極であって、前記コア層の前記一面側に形成されて該コア層とは離間し該コア層と平行に前記浮上面に向かって延び、前記浮上面寄りの部分で該コア層に近づきながら該浮上面に向かって斜めに延び、該浮上面近傍が該コア層に接触又は近接して該浮上面に露出する主磁極とを有することを特徴とする磁気ヘッド。
(Appendix 1)
A magnetic head having a layer structure, the air bearing surface formed by one end surface of the layer structure is levitated toward a relatively moving storage medium, and information is magnetically recorded on the storage medium,
A core layer and a clad layer, extending toward the air bearing surface and being close to one of both surfaces of the core layer, a portion of the core layer in the thickness direction is exposed to the air bearing surface and irradiates the storage medium An optical waveguide that propagates the irradiated light and exits from the air bearing surface;
A main magnetic pole having a layer shape for guiding a magnetic force for recording information on the storage medium to act on the storage medium, the main pole being formed on the one surface side of the core layer and spaced apart from the core layer. Extending toward the air bearing surface in parallel with the layer, extending obliquely toward the air bearing surface while approaching the core layer at a portion near the air bearing surface, and the vicinity of the air bearing surface is in contact with or close to the core layer. A magnetic head having a main magnetic pole exposed on the air bearing surface.

(付記2)
前記コア層の前記浮上面寄りの先端部に、該浮上面に露出し該浮上面から照射光を出射する、前記一面寄りの光伝搬層と、該先端部のうちの該光伝搬層を除く、該コア層の両面のうちの前記一面とは反対側の一面寄りの部分からなる、伝搬されてきた照射光を前記光伝搬層に向けて偏向する光偏向層とを有することを特徴とする付記1記載の磁気ヘッド。
(Appendix 2)
Excluding the light propagation layer near the one surface, which is exposed on the air bearing surface and emits irradiation light from the air bearing surface, and the light propagation layer in the tip portion of the core layer near the air bearing surface. And an optical deflecting layer configured to deflect the irradiated irradiation light toward the light propagating layer, which is composed of a portion of the both sides of the core layer that is closer to the one surface opposite to the one surface. The magnetic head according to appendix 1.

(付記3)
前記主磁極と前記光伝搬層とが並んだ向きとは交わる向きであってかつ前記浮上面と平行に該主磁極先端部の両側に延び、該主磁極の材料の屈折率に比べ同等または高屈折率を有する非磁性材料で形成された屈折率補正部を備えたことを特徴とする付記1または2記載の磁気ヘッド。
(Appendix 3)
The direction in which the main magnetic pole and the light propagation layer are aligned is an intersecting direction and extends to both sides of the front end of the main magnetic pole in parallel with the air bearing surface, and is equal to or higher than the refractive index of the material of the main magnetic pole. The magnetic head according to appendix 1 or 2, further comprising a refractive index correction unit made of a nonmagnetic material having a refractive index.

(付記4)
前記主磁極と前記光伝搬層とが並んだ向きとは交わる向きであってかつ前記浮上面と平行に該主磁極先端部の両側に延び、周囲より高い熱伝導性を有する材料で形成された放熱部を備えたものであることを特徴とする付記3記載の磁気ヘッド。
(Appendix 4)
The direction in which the main magnetic pole and the light propagating layer are aligned intersects and extends to both sides of the front end of the main magnetic pole in parallel with the air bearing surface, and is formed of a material having higher thermal conductivity than the surroundings. The magnetic head according to appendix 3, wherein the magnetic head is provided with a heat radiating portion.

(付記5)
前記主磁極と前記光伝搬層とが並んだ向きとは交わる向きであってかつ前記浮上面と平行に該光伝搬層の両側に延びた、該主磁極の材料の屈折率に比べ同等または高屈折率の材料で形成された屈折率補正部を備えたことを特徴とする付記1から4いずれか1項記載の磁気ヘッド。
(Appendix 5)
The direction in which the main magnetic pole and the light propagation layer are aligned intersects and extends to both sides of the light propagation layer in parallel with the air bearing surface, and is equal to or higher than the refractive index of the material of the main magnetic pole. 5. The magnetic head according to any one of appendices 1 to 4, further comprising a refractive index correction unit formed of a refractive index material.

(付記6)
前記光伝搬層は、浮上面に近づくに従い細幅となるテーパ形状を有したものであり、
前記屈折率補正部は、テーパ形状の前記光伝搬層の両側縁に沿って形成されたものであることを特徴とする付記5記載の磁気ヘッド。
(Appendix 6)
The light propagation layer has a tapered shape that becomes narrower as it approaches the air bearing surface,
6. The magnetic head according to claim 5, wherein the refractive index correction unit is formed along both side edges of the tapered light propagation layer.

(付記7)
前記主磁極と前記光伝搬層の間に、該主磁極の材料の屈折率に比べ同等または高屈折率の非磁性材料で形成された屈折率補正部を備えたことを特徴とする付記1から6いずれか1項記載の磁気ヘッド。
(Appendix 7)
Additional remark 1 characterized in that a refractive index correction portion made of a nonmagnetic material having a refractive index equal to or higher than that of the material of the main magnetic pole is provided between the main magnetic pole and the light propagation layer. 6. The magnetic head according to any one of items 6.

(付記8)
前記光偏向層の前記浮上面側先端を覆った、前記照射光の透過を防ぐ遮光部を備え、
前記遮光部が、磁性材料で形成された、前記主磁極から出力された磁力が戻る副磁極を兼ねたものであることを特徴とする付記1から7いずれか1項記載の磁気ヘッド。
(Appendix 8)
A light shielding part that covers the air bearing surface side tip of the light deflection layer and prevents transmission of the irradiation light;
The magnetic head according to any one of appendices 1 to 7, wherein the light-shielding portion also serves as a sub-magnetic pole made of a magnetic material and returning a magnetic force output from the main magnetic pole.

(付記9)
前記遮光部が、前記光伝搬層に隣接した、前記主磁極の材料の屈折率に比べ同等または高屈折率の材料で形成された隣接部を備えたことを特徴とする付記8記載の磁気ヘッド。
(Appendix 9)
9. The magnetic head according to claim 8, wherein the light shielding portion includes an adjacent portion that is adjacent to the light propagation layer and is formed of a material having a refractive index equal to or higher than that of the material of the main magnetic pole. .

(付記10)
情報が磁気的に記録される記憶媒体と、
層構造を有し、該層構造の一端面からなる浮上面を、相対移動する前記記憶媒体に向けて浮上し、該記憶媒体に情報を磁気的に記録する磁気ヘッドとを備え、
前記磁気ヘッドが、
コア層とクラッド層と有し前記浮上面に向かって延びて該コア層の両面のうちの一面寄りの、該コア層の厚み方向の一部分が該浮上面に露出し、前記記憶媒体に照射する照射光を伝搬して該浮上面から出射する光導波路と、
前記記憶媒体に情報を記録するための磁力を導いて前記記憶媒体に作用させる、層形状の主磁極であって、前記コア層の前記一面側に形成されて該コア層とは離間し該コア層と平行に前記浮上面に向かって延び、前記浮上面寄りの部分で該コア層に近づきながら該浮上面に向かって斜めに延び、該浮上面近傍が該コア層に接触又は近接して該浮上面に露出する主磁極とを有することを特徴とする磁気ディスク装置。
(Appendix 10)
A storage medium on which information is magnetically recorded;
A magnetic head that has a layer structure and floats an air bearing surface composed of one end face of the layer structure toward the relative moving storage medium, and magnetically records information on the storage medium;
The magnetic head is
A core layer and a clad layer, extending toward the air bearing surface and being close to one of both surfaces of the core layer, a portion of the core layer in the thickness direction is exposed to the air bearing surface and irradiates the storage medium An optical waveguide that propagates the irradiated light and exits from the air bearing surface;
A main magnetic pole having a layer shape for guiding a magnetic force for recording information on the storage medium to act on the storage medium, the main pole being formed on the one surface side of the core layer and spaced apart from the core layer. Extending toward the air bearing surface in parallel with the layer, extending obliquely toward the air bearing surface while approaching the core layer at a portion near the air bearing surface, and the vicinity of the air bearing surface is in contact with or close to the core layer. And a main magnetic pole exposed on the air bearing surface.

(付記11)
前記コア層の前記浮上面寄りの先端部に、該浮上面に露出し該浮上面から照射光を出射する、前記一面寄りの光伝搬層と、該先端部のうちの該光伝搬層を除く、該コア層の両面のうちの前記一面とは反対側の一面寄りの部分からなる、伝搬されてきた照射光を前記光伝搬層に向けて偏向する光偏向層とを有することを特徴とする付記10記載の磁気ディスク装置。
(Appendix 11)
Excluding the light propagation layer near the one surface, which is exposed on the air bearing surface and emits irradiation light from the air bearing surface, and the light propagation layer in the tip portion of the core layer near the air bearing surface. And an optical deflecting layer configured to deflect the irradiated irradiation light toward the light propagating layer, which is composed of a portion of the both sides of the core layer that is closer to the one surface opposite to the one surface. The magnetic disk device according to appendix 10.

(付記12)
前記主磁極と前記光伝搬層とが並んだ向きとは交わる向きであってかつ前記浮上面と平行に該主磁極先端部の両側に延び、該主磁極の材料の屈折率に比べ同等または高屈折率を有する非磁性材料で形成された屈折率補正部を備えたことを特徴とする付記10または11記載の磁気ディスク装置。
(Appendix 12)
The direction in which the main magnetic pole and the light propagation layer are aligned is an intersecting direction and extends to both sides of the front end of the main magnetic pole in parallel with the air bearing surface, and is equal to or higher than the refractive index of the material of the main magnetic pole. 12. The magnetic disk drive according to appendix 10 or 11, further comprising a refractive index correction unit made of a nonmagnetic material having a refractive index.

(付記13)
前記主磁極と前記光伝搬層とが並んだ向きとは交わる向きであってかつ前記浮上面と平行に該主磁極先端部の両側に延び、周囲より高い熱伝導性を有する材料で形成された放熱部を備えたものであることを特徴とする付記10記載の磁気ディスク装置。
(Appendix 13)
The direction in which the main magnetic pole and the light propagating layer are aligned intersects and extends to both sides of the front end of the main magnetic pole in parallel with the air bearing surface, and is formed of a material having higher thermal conductivity than the surroundings. The magnetic disk device according to appendix 10, wherein the magnetic disk device includes a heat radiating portion.

(付記14)
前記主磁極と前記光伝搬層とが並んだ向きとは交わる向きであってかつ前記浮上面と平行に該光伝搬層の両側に延び、該主磁極の材料の屈折率に比べ同等または高屈折率の材料で形成された屈折率補正部を備えたことを特徴とする付記10から13いずれか1項記載の磁気ディスク装置。
(Appendix 14)
The direction in which the main magnetic pole and the light propagation layer are aligned intersects and extends on both sides of the light propagation layer in parallel with the air bearing surface, and is equal to or higher than the refractive index of the material of the main magnetic pole. 14. The magnetic disk device according to any one of appendices 10 to 13, further comprising a refractive index correction unit made of a material having a refractive index.

(付記15)
前記光伝搬層は、浮上面に近づくに従い細幅となるテーパ形状を有したものであり、
前記屈折率補正部は、テーパ形状の前記光伝搬層の両側縁に沿って形成されたものであることを特徴とする付記14記載の磁気ディスク装置。
(Appendix 15)
The light propagation layer has a tapered shape that becomes narrower as it approaches the air bearing surface,
15. The magnetic disk device according to appendix 14, wherein the refractive index correction unit is formed along both side edges of the tapered light propagation layer.

(付記16)
前記主磁極と前記光伝搬層の間に、該主磁極の材料の屈折率に比べ同等または高屈折率の非磁性材料で形成された屈折率補正部を備えたことを特徴とする付記10から15いずれか1項記載の磁気ディスク装置。
(Appendix 16)
Additional remark 10 characterized in that a refractive index correction portion formed of a nonmagnetic material having a refractive index equal to or higher than the refractive index of the material of the main magnetic pole is provided between the main magnetic pole and the light propagation layer. 15. The magnetic disk device according to any one of 15.

(付記17)
前記光偏向層の前記浮上面側先端を覆った、前記照射光の透過を防ぐ遮光部を備え、
前記遮光部が、磁性材料で形成された、前記主磁極から出力された磁力が戻る副磁極を兼ねたものであることを特徴とする付記10から16いずれか1項記載の磁気ディスク装置。
(Appendix 17)
A light shielding part that covers the air bearing surface side tip of the light deflection layer and prevents transmission of the irradiation light;
17. The magnetic disk device according to any one of appendices 10 to 16, wherein the light shielding portion also serves as a sub magnetic pole made of a magnetic material and returning a magnetic force output from the main magnetic pole.

(付記18)
前記遮光部が、前記光伝搬層に隣接した、前記主磁極の材料の屈折率に比べ同等または高屈折率の材料で形成された隣接部を備えたことを特徴とする付記17記載の磁気ディスク装置。
(Appendix 18)
18. The magnetic disk according to claim 17, wherein the light shielding portion includes an adjacent portion that is adjacent to the light propagation layer and is formed of a material having a refractive index equal to or higher than that of the material of the main magnetic pole. apparatus.

磁気ディスク装置の具体的な実施形態を表した図である。1 is a diagram illustrating a specific embodiment of a magnetic disk device. 磁気ディスク装置の具体的な実施形態を表した透視図である。1 is a perspective view showing a specific embodiment of a magnetic disk device. 磁気ディスク装置の具体的な実施形態を表した断面図である。1 is a cross-sectional view showing a specific embodiment of a magnetic disk device. 磁気ディスク装置の具体的な実施形態を磁気ディスクの側から見た図である。It is the figure which looked at concrete embodiment of the magnetic disc unit from the magnetic disc side. 図2〜図4に示す磁気ヘッドに対し各素子の配置が異なる変形例を表した断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating a modification in which the arrangement of each element is different from that of the magnetic head illustrated in FIGS. 図2〜図4に示す磁気ヘッドに対し各素子の配置が異なる別の変形例を表した断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing another modification example in which the arrangement of each element is different from the magnetic head shown in FIGS. 磁気ヘッドの具体的な第2実施形態を磁気ディスクの側から見た図である。It is the figure which looked at concrete 2nd Embodiment of the magnetic head from the magnetic disk side. 磁気ヘッドの具体的な第3実施形態を磁気ディスクの側から見た図である。It is the figure which looked at concrete 3rd Embodiment of the magnetic head from the magnetic disk side. 磁気ヘッドの具体的な第3実施形態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows specific 3rd Embodiment of a magnetic head. 磁気ヘッドの具体的な第4実施形態を示す図である。It is a figure which shows specific 4th Embodiment of a magnetic head. 磁気ヘッドの具体的な第5実施形態を示す図である。It is a figure which shows specific 5th Embodiment of a magnetic head. 磁気ヘッドの具体的な第5実施形態を示す図である。It is a figure which shows specific 5th Embodiment of a magnetic head.

符号の説明Explanation of symbols

1 磁気ディスク装置
2 磁気ディスク(記憶媒体)
100,200,300,400,500,600,700 磁気ヘッド
11,21,31 再生素子
12 記録素子
121,221,321,421 主磁極
125,425,525,725 放熱部
13 光導波路
131 コア層
132 クラッド層
134,234,334,434 光伝搬層
135 光偏向層
136,236,336,536,636 光シールド(遮光層、副磁極)
536a,636a 高屈折率部(隣接部)
E 主磁極面(一面)
F 浮上面
T トラック方向
C クロストラック方法
1 Magnetic disk device 2 Magnetic disk (storage medium)
100, 200, 300, 400, 500, 600, 700 Magnetic head 11, 21, 31 Playback element 12 Recording element 121, 221, 321, 421 Main magnetic pole 125, 425, 525, 725 Heat radiation part 13 Optical waveguide 131 Core layer 132 Clad layer 134, 234, 334, 434 Light propagation layer 135 Light deflection layer 136, 236, 336, 536, 636 Light shield (light shielding layer, sub magnetic pole)
536a, 636a High refractive index part (adjacent part)
E Main magnetic pole surface (one surface)
F Air bearing surface T Track direction C Cross track method

Claims (10)

層構造を有し、該層構造の一端面からなる浮上面を、相対移動する記憶媒体に向けて浮上し、該記憶媒体に情報を磁気的に記録する磁気ヘッドであって、
コア層とクラッド層と有し前記浮上面に向かって延びて該コア層の両面のうちの一面寄りの、該コア層の厚み方向の一部分が該浮上面に露出し、前記記憶媒体に照射する照射光を伝搬して該浮上面から出射する光導波路と、
前記記憶媒体に情報を記録するための磁力を導いて前記記憶媒体に作用させる、層形状の主磁極であって、前記コア層の前記一面側に形成されて該コア層とは離間し該コア層と平行に前記浮上面に向かって延び、前記浮上面寄りの部分で該コア層に近づきながら該浮上面に向かって斜めに延び、該浮上面近傍が該コア層に接触又は近接して該浮上面に露出する主磁極とを有することを特徴とする磁気ヘッド。
A magnetic head having a layer structure, the air bearing surface formed by one end surface of the layer structure is levitated toward a relatively moving storage medium, and information is magnetically recorded on the storage medium,
A core layer and a clad layer, extending toward the air bearing surface and being close to one of both surfaces of the core layer, a portion of the core layer in the thickness direction is exposed to the air bearing surface and irradiates the storage medium An optical waveguide that propagates the irradiated light and exits from the air bearing surface;
A main magnetic pole having a layer shape for guiding a magnetic force for recording information on the storage medium to act on the storage medium, the main pole being formed on the one surface side of the core layer and spaced apart from the core layer. Extending toward the air bearing surface in parallel with the layer, extending obliquely toward the air bearing surface while approaching the core layer at a portion near the air bearing surface, and the vicinity of the air bearing surface is in contact with or close to the core layer. A magnetic head having a main magnetic pole exposed on the air bearing surface.
前記コア層の前記浮上面寄りの先端部に、該浮上面に露出し該浮上面から照射光を出射する、前記一面寄りの光伝搬層と、該先端部のうちの該光伝搬層を除く、該コア層の両面のうちの前記一面とは反対側の一面寄りの部分からなる、伝搬されてきた照射光を前記光伝搬層に向けて偏向する光偏向層とを有することを特徴とする請求項1記載の磁気ヘッド。   Excluding the light propagation layer near the one surface, which is exposed on the air bearing surface and emits irradiation light from the air bearing surface, and the light propagation layer in the tip portion of the core layer near the air bearing surface. And an optical deflecting layer configured to deflect the irradiated irradiation light toward the light propagating layer, which is composed of a portion of the both sides of the core layer that is closer to the one surface opposite to the one surface. The magnetic head according to claim 1. 前記主磁極と前記光伝搬層とが並んだ向きとは交わる向きであってかつ前記浮上面と平行に該主磁極先端部の両側に延び、該主磁極の材料の屈折率に比べ同等または高屈折率を有する非磁性材料で形成された屈折率補正部を備えたことを特徴とする請求項1または2記載の磁気ヘッド。   The direction in which the main magnetic pole and the light propagation layer are aligned is an intersecting direction and extends to both sides of the front end of the main magnetic pole in parallel with the air bearing surface, and is equal to or higher than the refractive index of the material of the main magnetic pole. The magnetic head according to claim 1, further comprising a refractive index correction unit made of a nonmagnetic material having a refractive index. 前記主磁極と前記光伝搬層とが並んだ向きとは交わる向きであってかつ前記浮上面と平行に該主磁極先端部の両側に延び、周囲より高い熱伝導性を有する材料で形成された放熱部を備えたものであることを特徴とする請求項3記載の磁気ヘッド。   The direction in which the main magnetic pole and the light propagating layer are aligned intersects and extends to both sides of the front end of the main magnetic pole in parallel with the air bearing surface, and is formed of a material having higher thermal conductivity than the surroundings. The magnetic head according to claim 3, further comprising a heat radiating portion. 前記主磁極と前記光伝搬層とが並んだ向きとは交わる向きであってかつ前記浮上面と平行に該光伝搬層の両側に延びた、該主磁極の材料の屈折率に比べ同等または高屈折率の材料で形成された屈折率補正部を備えたことを特徴とする請求項1から4いずれか1項記載の磁気ヘッド。   The direction in which the main magnetic pole and the light propagation layer are aligned intersects and extends to both sides of the light propagation layer in parallel with the air bearing surface, and is equal to or higher than the refractive index of the material of the main magnetic pole. 5. The magnetic head according to claim 1, further comprising a refractive index correction unit made of a material having a refractive index. 前記光伝搬層は、浮上面に近づくに従い細幅となるテーパ形状を有したものであり、
前記屈折率補正部は、テーパ形状の前記光伝搬層の両側縁に沿って形成されたものであることを特徴とする請求項5記載の磁気ヘッド。
The light propagation layer has a tapered shape that becomes narrower as it approaches the air bearing surface,
6. The magnetic head according to claim 5, wherein the refractive index correcting portion is formed along both side edges of the tapered light propagation layer.
前記主磁極と前記光伝搬層の間に、該主磁極の材料の屈折率に比べ同等または高屈折率の非磁性材料で形成された屈折率補正部を備えたことを特徴とする請求項1から6いずれか1項記載の磁気ヘッド。   2. A refractive index correction unit formed of a nonmagnetic material having a refractive index equal to or higher than a refractive index of a material of the main magnetic pole between the main magnetic pole and the light propagation layer. 7. A magnetic head according to any one of items 1 to 6. 前記光偏向層の前記浮上面側先端を覆った、前記照射光の透過を防ぐ遮光部を備え、
前記遮光部が、磁性材料で形成された、前記主磁極から出力された磁力が戻る副磁極を兼ねたものであることを特徴とする請求項1から7いずれか1項記載の磁気ヘッド。
A light shielding part that covers the air bearing surface side tip of the light deflection layer and prevents transmission of the irradiation light;
8. The magnetic head according to claim 1, wherein the light-shielding portion also serves as a sub-magnetic pole made of a magnetic material and returning a magnetic force output from the main magnetic pole. 9.
前記遮光部が、前記光伝搬層に隣接した、前記主磁極の材料の屈折率に比べ同等または高屈折率の材料で形成された隣接部を備えたことを特徴とする請求項8記載の磁気ヘッド。   9. The magnetism according to claim 8, wherein the light shielding portion includes an adjacent portion that is adjacent to the light propagation layer and is formed of a material having a refractive index equal to or higher than that of the material of the main magnetic pole. head. 情報が磁気的に記録される記憶媒体と、
層構造を有し、該層構造の一端面からなる浮上面を、相対移動する前記記憶媒体に向けて浮上し、該記憶媒体に情報を磁気的に記録する磁気ヘッドとを備え、
前記磁気ヘッドが、
コア層とクラッド層と有し前記浮上面に向かって延びて該コア層の両面のうちの一面寄りの、該コア層の厚み方向の一部分が該浮上面に露出し、前記記憶媒体に照射する照射光を伝搬して該浮上面から出射する光導波路と、
前記記憶媒体に情報を記録するための磁力を導いて前記記憶媒体に作用させる、層形状の主磁極であって、前記コア層の前記一面側に形成されて該コア層とは離間し該コア層と平行に前記浮上面に向かって延び、前記浮上面寄りの部分で該コア層に近づきながら該浮上面に向かって斜めに延び、該浮上面近傍が該コア層に接触又は近接して該浮上面に露出する主磁極とを有することを特徴とする磁気ディスク装置。
A storage medium on which information is magnetically recorded;
A magnetic head that has a layer structure and floats an air bearing surface composed of one end face of the layer structure toward the relative moving storage medium, and magnetically records information on the storage medium;
The magnetic head is
A core layer and a clad layer, extending toward the air bearing surface and being close to one of both surfaces of the core layer, a portion of the core layer in the thickness direction is exposed to the air bearing surface and irradiates the storage medium An optical waveguide that propagates the irradiated light and exits from the air bearing surface;
A main magnetic pole having a layer shape for guiding a magnetic force for recording information on the storage medium to act on the storage medium, the main pole being formed on the one surface side of the core layer and spaced apart from the core layer. Extending toward the air bearing surface in parallel with the layer, extending obliquely toward the air bearing surface while approaching the core layer at a portion near the air bearing surface, and the vicinity of the air bearing surface is in contact with or close to the core layer. And a main magnetic pole exposed on the air bearing surface.
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