JP2010043346A - Method of forming conductive pattern and method of manufacturing plated terminal - Google Patents

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JP2010043346A JP2008210016A JP2008210016A JP2010043346A JP 2010043346 A JP2010043346 A JP 2010043346A JP 2008210016 A JP2008210016 A JP 2008210016A JP 2008210016 A JP2008210016 A JP 2008210016A JP 2010043346 A JP2010043346 A JP 2010043346A
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幹朗 佐藤
Motoya Kawakita
元也 川北
Kingo Furukawa
欣吾 古川
Kazumasa Nishio
一政 西尾
Tomiko Yamaguchi
富子 山口
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Sumitomo Wiring Systems Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of forming conductive pattern and method of manufacturing a plated terminal, in which metal nano-ink is surely fixed in a short time with lower output, by improving energy efficiency in laser irradiation. <P>SOLUTION: After forming a pattern-like nano-ink layer 4 on a surface of a substrate 3 composed of a nickel-plated base material 1 on the surface of which nickel-plating is performed, by applying gold-nano-ink in a prescribed shape, the rear side of a portion where the pattern-like nano-ink layer 4 of the rear side of the substrate 3 is formed, is irradiated with a laser beam 6 using a YAG laser, the pattern-like nano-ink layer 4 is fixed on the surface of the substrate 3, so as to form a conductive pattern 7 of a prescribed shape. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、導電性パターンの形成方法及びめっき端子の製造方法に関する。   The present invention relates to a method for forming a conductive pattern and a method for manufacturing a plated terminal.

電機部品や電子部品等の端子、コネクタ、リードフレームのリード等に端子金具が用いられている。端子金具は、接触部位となる接点の信頼性向上のために、接点に金めっき等のめっきを施して所定形状の導電性パターンを形成し、めっき端子として形成する場合がある。めっき端子としては、スポットめっき条を所定の形状に打ち抜いたものを用いることが公知である(例えば、特許文献1参照)。   Terminal fittings are used for terminals of electrical parts and electronic parts, connectors, leads of lead frames, and the like. In order to improve the reliability of the contact serving as the contact site, the terminal fitting may be formed as a plated terminal by plating the contact with gold plating or the like to form a conductive pattern having a predetermined shape. As a plating terminal, it is known to use a spot-plated strip punched into a predetermined shape (for example, see Patent Document 1).

特許文献1に記載されたスポットめっき条は、金属条の表面に型やマスキングテープ等を用いてマスキングした状態で電気めっき法でスポットめっきを施して、所定の形状、大きさに、長手方向に所定の間隔で導電性パターンを形成することで得られる。ところで、電気めっき法で金めっきを行う場合、シアン化合物が用いられる。しかし、シアン化合物を含むめっき廃液を処理する際、環境負荷が高く、多大な費用がかかるという問題がある。   The spot plating strip described in Patent Document 1 is subjected to spot plating by electroplating in a state where the surface of the metal strip is masked using a mold, a masking tape, etc., to a predetermined shape and size, in the longitudinal direction. It is obtained by forming a conductive pattern at a predetermined interval. By the way, when gold plating is performed by an electroplating method, a cyanide compound is used. However, when processing the plating waste liquid containing a cyanide compound, there is a problem that the environmental load is high and a great amount of cost is required.

これに対し、電気めっき法を用いずに、所定の部分のみに金めっきを施す方法として、端子金具の表面の所定の範囲に、導電性粒子を含む溶液を塗布し、塗布液に熱処理を施して、表面に導電性のめっき層を定着する方法が公知である(例えば、特許文献2参照)。   On the other hand, as a method of performing gold plating only on a predetermined portion without using the electroplating method, a solution containing conductive particles is applied to a predetermined range of the surface of the terminal fitting, and the coating solution is subjected to heat treatment. A method of fixing a conductive plating layer on the surface is known (see, for example, Patent Document 2).

特開2000−87289号公報JP 2000-87289 A 特開2004−259674号公報JP 2004-259654 A

前記特許文献2に記載の方法において、前記塗布液の熱処理による定着は、パルスレーザビームの照射によってなされる。また前記塗布液は例えば金ナノ粒子等の金属ナノ粒子を含む金属ナノインクが用いられる。金属ナノインクの定着に用いられるレーザ光源としては、例えばYAGレーザを用いることができる。   In the method described in Patent Document 2, fixing by heat treatment of the coating solution is performed by irradiation with a pulsed laser beam. In addition, as the coating liquid, for example, a metal nano ink containing metal nanoparticles such as gold nanoparticles is used. As a laser light source used for fixing the metal nano ink, for example, a YAG laser can be used.

図1は金属材料の吸収特性を示すグラフである。ところで、YAGレーザは1064nmに発振波長を持っている。しかしながら図1のグラフに示すように、YAGレーザの波長1064nmにおける金の吸収率は、数%でありエネルギー効率が低い。そのため、金ナノインクを定着させるためには、レーザーの出力を上げたり、照射時間を長く取る必要があった。   FIG. 1 is a graph showing the absorption characteristics of a metal material. By the way, the YAG laser has an oscillation wavelength of 1064 nm. However, as shown in the graph of FIG. 1, the absorption rate of gold at a wavelength of 1064 nm of the YAG laser is several percent, and the energy efficiency is low. Therefore, in order to fix the gold nano ink, it is necessary to increase the output of the laser and take a long irradiation time.

本発明は上記従来技術の欠点を解決するためになされたものであり、レーザ照射の際のエネルギー効率を向上させて、より低出力で、短時間で、確実に金属ナノインクを定着することが可能な、導電性パターンの形成方法及びめっき端子の製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve the above-described drawbacks of the prior art, and it is possible to improve the energy efficiency during laser irradiation, and to fix the metal nano ink reliably in a short time with a lower output. Another object is to provide a method for forming a conductive pattern and a method for producing a plated terminal.

本発明の導電性パターンの形成方法は、基材の表面に導電性ナノ粒子を含む金属ナノインクからなるパターン状ナノインク層を形成した後、前記基材の裏面の前記パターン状ナノインク層が形成された部分の裏側にレーザ光を照射して、前記パターン状ナノインク層を基材の表面に定着させて導電性パターンを形成することを要旨とするものである。   In the method for forming a conductive pattern of the present invention, after forming a patterned nano ink layer made of a metal nano ink containing conductive nanoparticles on the surface of the substrate, the patterned nano ink layer on the back surface of the substrate was formed. The gist is to form a conductive pattern by irradiating the back side of the portion with laser light to fix the patterned nano ink layer on the surface of the substrate.

また本発明の導電性パターンの形成方法は、基材の表面に導電性ナノ粒子を含む金属ナノインクからなるパターン状ナノインク層を形成した後、前記基材の表面の前記パターン状ナノインク層の周囲にレーザ光を照射して、前記パターン状ナノインク層を基材の表面に定着させて導電性パターンを形成することを要旨とするものである。   Further, the conductive pattern forming method of the present invention includes forming a patterned nano ink layer made of a metal nano ink containing conductive nanoparticles on the surface of the substrate, and then surrounding the patterned nano ink layer on the surface of the substrate. The gist is to form a conductive pattern by irradiating a laser beam to fix the patterned nano ink layer on the surface of the substrate.

上記導電性パターンの形成方法において、前記基材は、前記レーザ光が照射される部分が、波長750nm〜1100nmにおける吸収率が20%以上の金属からなることが好ましい。   In the method for forming a conductive pattern, it is preferable that a portion of the base material irradiated with the laser beam is made of a metal having an absorptance of 20% or more at a wavelength of 750 nm to 1100 nm.

上記導電性パターンの形成方法において、前記基材は、前記レーザ光が照射される部分が、波長750nm〜1100nmにおける吸収率が20%以上の金属のめっき層からなることが好ましい。   In the method for forming the conductive pattern, it is preferable that the portion irradiated with the laser beam is made of a metal plating layer having an absorption rate of 20% or more at a wavelength of 750 nm to 1100 nm.

上記導電性パターンの形成方法において、前記金属ナノインクの導電性ナノ粒子が、波長750nm〜1100nmにおける吸収率が10%以下の金属からなることが好ましい。   In the method for forming a conductive pattern, the conductive nano particles of the metal nano ink are preferably made of a metal having an absorption rate of 10% or less at a wavelength of 750 nm to 1100 nm.

上記導電性パターンの形成方法において、前記レーザー光が、YAGレーザを用いたものであることが好ましい。   In the method for forming the conductive pattern, the laser beam preferably uses a YAG laser.

上記導電性パターンの形成方法において、前記導電性ナノ粒子が、金粒子であることが好ましい。   In the method for forming a conductive pattern, the conductive nanoparticles are preferably gold particles.

上記導電性パターンの形成方法において、前記基材がニッケルめっき銅合金であることが好ましい。この場合、前記基材の温度が600K〜950Kになるようにレーザ光の照射を行うことが好ましい。   In the method for forming a conductive pattern, the base material is preferably a nickel-plated copper alloy. In this case, it is preferable to irradiate the laser beam so that the temperature of the substrate becomes 600K to 950K.

本発明のめっき端子の製造方法は、上記の導電性パターンの形成方法を用いて、端子金具を基材として接点部分に金属ナノインキからなる前記導電性パターンを形成することで、端子金具の接点部分にめっきを施すことを要旨とするものである。   The method for producing a plated terminal according to the present invention uses the above-described method for forming a conductive pattern to form the conductive pattern made of metal nano-ink on a contact portion using the terminal fitting as a base material, thereby forming a contact portion of the terminal fitting. The main point is to apply plating to the surface.

本発明の導電性パターンの形成方法は、前記基材の裏面の前記パターン状ナノインク層が形成された部分の裏側、或いは前記基材の表面の前記パターン状ナノインク層の周囲に、レーザ光を照射して、前記パターン状ナノインク層を基材の表面に定着させて、所定の形状の導電性パターンを形成する方法を採用したことにより、パターン状ナノインク層に直接レーザ光を照射せずに、基材にレーザ光を照射するため、金属ナノインクの金属としてレーザ光に対する反射率が高く吸収率が低い金属を用いた場合でもエネルギー効率を向上させることができる。レーザ照射の際のエネルギー効率を向上させることができるので、より低出力で、短時間で、確実に金属ナノインクを定着することが可能である。   The method for forming a conductive pattern of the present invention is to irradiate a laser beam on the back side of the back surface of the substrate where the patterned nano ink layer is formed, or around the patterned nano ink layer on the surface of the substrate. Then, by adopting a method in which the patterned nano ink layer is fixed on the surface of the substrate and a conductive pattern having a predetermined shape is formed, the patterned nano ink layer is not directly irradiated with laser light. Since the material is irradiated with laser light, energy efficiency can be improved even when a metal having high reflectivity with respect to laser light and low absorption is used as the metal of the metal nanoink. Since the energy efficiency at the time of laser irradiation can be improved, it is possible to reliably fix the metal nano ink in a shorter time with a lower output.

図1に示すように、例えば金属ナノインクとして金ナノインクを用いて、基材としてニッケルめっき銅合金を用いた場合、YAGレーザの主な発振波長1064nmにおける金の吸収率は数%程度であり、金ナノインクからなるパターン状ナノインク層に直接レーザ光を照射した場合は、エネルギー効率がきわめて低い。これに対し、基材のレーザ光が照射される部分がニッケルめっき層の場合、ニッケルの波長1064nmにおける吸収率は30%程度であり、金の吸収率に比較してきわめて高いので、エネルギー効率が格段に向上する。そのため、低い照射エネルギーの装置が使用可能となり、金属ナノインクの定着の際の照射時間を短縮することができる。   As shown in FIG. 1, for example, when gold nanoink is used as the metal nanoink and nickel-plated copper alloy is used as the base material, the gold absorptance at the main oscillation wavelength of 1064 nm of the YAG laser is about several percent, When the patterned nano ink layer made of nano ink is directly irradiated with laser light, the energy efficiency is extremely low. On the other hand, when the portion irradiated with the laser beam of the base material is a nickel plating layer, the absorption rate of nickel at a wavelength of 1064 nm is about 30%, which is very high compared to the absorption rate of gold, so that the energy efficiency is high. Greatly improved. Therefore, a device with low irradiation energy can be used, and the irradiation time for fixing the metal nano ink can be shortened.

本発明の端子金具の製造方法は、上記の導電性パターンの形成方法を用いて接点を形成することにより、接点を確実に効率よく形成することができる。   The manufacturing method of the terminal metal fitting of this invention can form a contact reliably and efficiently by forming a contact using the formation method of said electroconductive pattern.

以下、本発明を図面を用いて更に詳細に説明する。図2(a)〜(d)は本発明の導電性パターンの形成方法の一例の各工程を示す工程図である。先ず図2(a)に示すように、例えば銅合金等の母材1の表面にニッケルめっき等のめっきが施されて、めっき層2が表面に形成されているニッケルめっき銅合金等を基材3として準備する。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the drawings. 2A to 2D are process diagrams showing each process of an example of the conductive pattern forming method of the present invention. First, as shown in FIG. 2 (a), for example, the surface of a base material 1 such as a copper alloy is plated with nickel plating or the like, and a nickel plated copper alloy or the like having a plating layer 2 formed on the surface is used as a base material. Prepare as 3.

本発明は、基材3としてはニッケルめっき銅合金に限定されないが、上記のレーザ光が照射される部分が、波長750nm〜1100nmにおける吸収率が20%以上の金属(以下、吸収率の高い金属ということもある)から形成されていることが好ましい。具体的に上記の吸収率の高い金属としては、図1に示すように、ニッケル、鉄(ステンレスを含む)等が挙げられる。またレーザ光が照射される部分に吸収率の高い金属によるめっき層が形成されているものであればよい。すなわち、母材1が吸収率が高い金属ではなくても、吸収率の高い金属のめっき層2がレーザ光が照射される面に形成されていれば使用することができる。尚本発明において、基材3は、少なくともレーザ光が照射される部分が、吸収率の高い金属から形成されていればよいが、基材3全体が吸収率の高い金属から形成されていてもよい。また、基材3の少なくともレーザ光が照射される部分が、吸収率の高い金属のめっき層2から形成されていればよいが、基材3全体が吸収率の高い金属のめっき層2から形成されていてもよい。   In the present invention, the substrate 3 is not limited to a nickel-plated copper alloy, but the portion irradiated with the laser beam is a metal having an absorption rate of 20% or more at a wavelength of 750 nm to 1100 nm (hereinafter, a metal having a high absorption rate). It is preferable that it is formed from. Specific examples of the metal having a high absorption rate include nickel, iron (including stainless steel), and the like as shown in FIG. Moreover, what is necessary is just to have the metal-plating layer with a high absorptance in the part irradiated with a laser beam. That is, even if the base material 1 is not a metal having a high absorption rate, it can be used if the metal plating layer 2 having a high absorption rate is formed on the surface irradiated with the laser beam. In the present invention, the base material 3 is only required to be formed of a metal having a high absorptance, at least the portion irradiated with the laser beam, but even if the entire base material 3 is formed of a metal having a high absorptance. Good. Further, at least a portion of the base material 3 irradiated with the laser beam may be formed from the metal plating layer 2 having a high absorption rate, but the entire base material 3 is formed from the metal plating layer 2 having a high absorption rate. May be.

次いで図2(b)に示すように、基材3の表面に、導電性ナノ粒子を含む金属ナノインクを用いて、所定の形状に塗布してパターン状ナノインク層4を形成する。尚、所定の形状とは、所望の接点の形状等の導電性パターンを形成しようとする形状のことである。   Next, as shown in FIG. 2 (b), a patterned nano ink layer 4 is formed on the surface of the substrate 3 by applying a metal nano ink containing conductive nanoparticles in a predetermined shape. The predetermined shape is a shape to form a conductive pattern such as a desired contact shape.

金属ナノインクは、例えば粒径が7nm程度の導電性の良い金属からなる導電性ナノ粒子を水又は溶剤中に分散させた分散液からなるものである。上記の導電性ナノ粒子としては、波長750nm〜1100nmにおける吸収率が10%以下の金属(以下、吸収率の低い金属ということもある)から形成することが好ましい。具体的に上記の吸収率の低い金属としては、図1に示すように、金、銀、銅等が挙げられる。金属ナノインクは、市販のものを用いることができる。このような市販の金属ナノインクとして、例えばアルバックマテリアル社から販売されている「ナノメタルインク 微細配線用導電性インク」等が挙げられる。   The metal nano ink is made of a dispersion liquid in which conductive nanoparticles made of a highly conductive metal having a particle size of about 7 nm are dispersed in water or a solvent. The conductive nanoparticles are preferably formed from a metal having an absorptivity at a wavelength of 750 nm to 1100 nm of 10% or less (hereinafter sometimes referred to as a metal having a low absorptance). Specific examples of the metal having a low absorption rate include gold, silver, and copper as shown in FIG. A commercially available metal nano ink can be used. Examples of such commercially available metal nano inks include “Nano metal ink conductive ink for fine wiring” sold by ULVAC Materials.

金属ナノインクの塗布方法としては、インクジェット法、スピンコート法、ディッピング法等のコーティング法を用いることができる。これらの塗布方法を用いて、基材3の表面の所定の位置に、所定の形状に塗布して、パターン状ナノインク層4を形成する。必要に応じ、金属ナノインクを塗布後、加熱して乾燥する。乾燥時間は、例えば100℃で3分間程度である。   As a method for applying the metal nano ink, a coating method such as an inkjet method, a spin coating method, or a dipping method can be used. Using these coating methods, a patterned nano ink layer 4 is formed by coating in a predetermined shape at a predetermined position on the surface of the substrate 3. If necessary, after applying the metal nano ink, it is heated and dried. The drying time is about 3 minutes at 100 ° C., for example.

次いで図2(c)に示すように、YAGレーザ照射装置5を用いて、パターン状ナノインク層4を設けた基材3の裏面の、パターン状ナノインク層4を形成した部分の裏側の位置にレーザ光6を照射して加熱し、パターン状ナノインク層4を定着させる[同図(d)]。定着されたパターン状ナノインク層4は、導電性パターン7として形成される。一般に、市販の金属ナノインクを用いて配線膜を形成する場合、焼成加工が施される。この焼成加工処理は、通常、200〜350℃で15分〜30分程度必要である。本発明のレーザ光の照射は、この焼成加工処理に代わるものであり、焼成加工処理と比較して短時間(例えば、数秒単位)で処理を行うことが可能である。尚、導電性パターンの定着は、特に母材を加熱することなくレーザ光の照射だけで行うことが可能であるが、加熱処理を併用してもよい。   Next, as shown in FIG. 2 (c), using the YAG laser irradiation device 5, a laser is applied to the back side of the base material 3 provided with the patterned nano ink layer 4 on the back side of the portion where the patterned nano ink layer 4 is formed. The pattern nano-ink layer 4 is fixed by irradiating with light 6 and heating [FIG. The fixed patterned nano ink layer 4 is formed as a conductive pattern 7. Generally, when forming a wiring film using a commercially available metal nano ink, baking processing is performed. This firing processing usually requires about 30 to 30 minutes at 200 to 350 ° C. The laser beam irradiation of the present invention is an alternative to this baking process, and can be performed in a shorter time (for example, in units of several seconds) than the baking process. The conductive pattern can be fixed only by laser light irradiation without heating the base material, but a heat treatment may be used in combination.

レーザ光6が、基材3の表面のめっき層2に照射されると、レーザ光6がめっき層2で吸収され、母材1及びパターン状ナノインク層4が加熱される。加熱前のパターン状ナノインク層4は、金属の微細な粒子の状態でめっき層2の表面に存在している。レーザ光6の照射によりパターン状ナノインク層4が加熱されると、微細な金属粒子が接合して大きな塊状に成長する。図2(d)に示すように、パターン状ナノインク層4は、金属ナノインクを焼成処理をした場合と同様に、所定の形状の導電性の金属被膜からなる導電性パターン7として形成される。さらに導電性パターン7は、レーザー光6の照射による加熱によって、下地となる母材1と接合している。   When the laser beam 6 is applied to the plating layer 2 on the surface of the substrate 3, the laser beam 6 is absorbed by the plating layer 2, and the base material 1 and the patterned nano ink layer 4 are heated. The patterned nano ink layer 4 before heating is present on the surface of the plating layer 2 in the form of fine metal particles. When the patterned nano ink layer 4 is heated by the irradiation of the laser beam 6, fine metal particles are joined and grow into a large lump. As shown in FIG. 2D, the patterned nano ink layer 4 is formed as a conductive pattern 7 made of a conductive metal film having a predetermined shape, as in the case where the metal nano ink is baked. Further, the conductive pattern 7 is bonded to the base material 1 as a base by heating by irradiation with the laser beam 6.

一般に、金ナノインク等の吸収率の低い金属からなる導電性ナノ粒子を含むパターン状ナノインク層4に、YAGレーザ照射装置を用いてレーザ光6を直接照射すると、レーザ光の反射が大きいためエネルギーを十分付与できない。また、レーザ光の反射が大きい場合には、レーザ照射装置によっては、安全のために装置の照射が自動的に停止してしまうこともある。これに対し、本発明によれば、レーザ光6をパターン状ナノインク層4に直接照射しないので、金ナノインクを用いたパターン状ナノインク層4の様な反射率の高い材料であっても、反射の問題は生じない。そしてレーザ光6は、吸収率の高い金属からなる基材(或いは吸収率の高い金属かならるめっき層)に照射されるので、レーザ光のエネルギーを効率よく加熱に利用することができる。   In general, when a patterned nano ink layer 4 containing conductive nanoparticles made of a metal having a low absorption rate such as gold nano ink is directly irradiated with a laser beam 6 using a YAG laser irradiation device, the energy of the laser beam is large because reflection is large. Cannot grant enough. In addition, when the reflection of the laser beam is large, depending on the laser irradiation apparatus, the irradiation of the apparatus may be automatically stopped for safety. On the other hand, according to the present invention, the laser beam 6 is not directly irradiated onto the patterned nano ink layer 4, so that even a highly reflective material such as the patterned nano ink layer 4 using gold nano ink does not reflect. There is no problem. And since the laser beam 6 is irradiated to the base material which consists of a metal with a high absorption factor (or the plating layer which becomes a metal with a high absorption rate), the energy of a laser beam can be utilized for a heating efficiently.

パターン状ナノインク層4の定着の際のレーザ光の照射は、照射条件として、形成された導電性パターン7の基材3に対する密着性が良好となる温度を下限とし、基材3の劣化がない温度が上限となるように、照射条件を決めることが好ましい。例えば、ニッケルめっき銅合金を基材3として用いて、金ナノインクを用いてパターン状ナノインク層4を形成した場合には、基材3の温度が600K〜950K以下となるように照射するのが好ましい。ニッケルめっき銅合金の温度が600K未満のレーザ光の照射では、形成された導電性パターン7の基材3に対する密着性が不十分となって、導電性パターン7が基材3の表面から剥離してしまうおそれがある。一方、基材3の温度が950Kを超えるレーザ光の照射では、基材3が劣化するおそれがある。基材3が上記の温度範囲となるようにレーザ光を照射すれば、密着性が良好であり、表面が平滑で基材の劣化がない状態で導電性パターン7を確実に形成することができる。   The irradiation of the laser beam at the time of fixing the patterned nano ink layer 4 has, as an irradiation condition, a temperature at which the adhesion of the formed conductive pattern 7 to the base material 3 becomes a lower limit, and the base material 3 is not deteriorated. It is preferable to determine the irradiation conditions so that the temperature becomes the upper limit. For example, when nickel-plated copper alloy is used as the base material 3 and the patterned nano ink layer 4 is formed using gold nano ink, it is preferable to irradiate the base material 3 at a temperature of 600K to 950K or less. . When the temperature of the nickel-plated copper alloy is irradiated with laser light of less than 600K, the adhesion of the formed conductive pattern 7 to the base material 3 becomes insufficient, and the conductive pattern 7 peels off from the surface of the base material 3. There is a risk that. On the other hand, when the temperature of the base material 3 exceeds 950K, the base material 3 may be deteriorated. If the substrate 3 is irradiated with the laser beam so as to be in the above temperature range, the adhesiveness is good, and the conductive pattern 7 can be reliably formed in a state where the surface is smooth and the substrate is not deteriorated. .

図3は、本発明の他の例を示すものであり、レーザー光の照射工程を示す図である。図3に示すように、本発明では、レーザ光を照射する際に、基材3の表面のパターン状ナノインク層4を設けた面と同じ面であり、パターン状ナノインク層4の周囲の隣接する部分にレーザ光6を照射して、導電性パターン7を形成してもよい。この場合も、図2に示した基材3の裏面のパターン状ナノインク層の裏側にレーザ光6を照射する場合と同様に、パターン状ナノインク層4に直接レーザ光6が照射されず、めっき層2にレーザ光が照射されるので、エネルギー効率良く導電性パターン7を形成することができる。   FIG. 3 is a view showing another example of the present invention and showing a laser light irradiation process. As shown in FIG. 3, in the present invention, when laser light is irradiated, the surface is the same as the surface on which the patterned nano ink layer 4 is provided on the surface of the substrate 3, and is adjacent to the periphery of the patterned nano ink layer 4. The conductive pattern 7 may be formed by irradiating the portion with the laser beam 6. Also in this case, similarly to the case of irradiating the back side of the patterned nano ink layer on the back surface of the substrate 3 shown in FIG. 2 with the laser beam 6, the patterned nano ink layer 4 is not directly irradiated with the laser beam 6, and the plating layer 2 is irradiated with the laser beam, the conductive pattern 7 can be formed with high energy efficiency.

また、特に図示しないが、本発明のレーザー光6の照射は、パターン状ナノインク層4に直接照射しなければよく、図2に示すように基材3の裏面のパターン状ナノインク層4の裏側から照射する方法と、図3に示すように基材3の表面のパターン状ナノインク層4の周囲の隣接部分に照射する方法とを併用してもよい。   Although not particularly illustrated, the laser beam 6 of the present invention may be irradiated directly to the patterned nano ink layer 4 from the back side of the patterned nano ink layer 4 on the back surface of the substrate 3 as shown in FIG. You may use together the method of irradiating, and the method of irradiating the adjacent part around the pattern-shaped nano ink layer 4 of the surface of the base material 3 as shown in FIG.

また本発明は、パターン状ナノインク層4の定着に用いるレーザ光としてYAGレーザに限定されず、波長750nm〜1100nmに発振波長を有するものであれば、利用することができる。   Further, the present invention is not limited to the YAG laser as the laser beam used for fixing the patterned nano ink layer 4, and any laser beam having an oscillation wavelength of 750 nm to 1100 nm can be used.

本発明の端子金具の製造方法は、上記の導電性パターンの形成方法を用いて、端子の接点部分に金属ナノインクからなるめっきを施すものである。図4は、本発明の端子金具の製造方法の接点部分にめっきを施すめっき工程を示す斜視図である。図4に示すように、めっき工程では、一枚のニッケルめっき銅合金からなる基板10を準備する。基板10は、リードフレーム11に複数の端子金具12が連設された形状に、後から打ち抜き形成される。この基板の接点部分13に、金属ナノインクを塗布し乾燥させ、パターン状ナノインク層を形成する。基材10の表面の接点部分13の裏側、又は基材10の表面の接点部分13の周囲の隣接部分にレーザ光を照射して、パターン状ナノインク層を定着し、接点部分13に金属ナノインクからなる導電性パターンが形成され、めっきが施される。尚、基板10としてはニッケルめっき銅合金に限定されず、上記の基材3を利用することができる。   The manufacturing method of the terminal metal fitting of this invention performs the plating which consists of metal nano ink on the contact part of a terminal using said conductive pattern formation method. FIG. 4 is a perspective view showing a plating step for plating the contact portion of the method for manufacturing the terminal fitting of the present invention. As shown in FIG. 4, in the plating step, a substrate 10 made of a single nickel-plated copper alloy is prepared. The substrate 10 is punched and formed later in a shape in which a plurality of terminal fittings 12 are connected to the lead frame 11. A metal nano ink is applied to the contact portion 13 of the substrate and dried to form a patterned nano ink layer. The back side of the contact portion 13 on the surface of the substrate 10 or an adjacent portion around the contact portion 13 on the surface of the substrate 10 is irradiated with laser light to fix the patterned nano ink layer, and the contact portion 13 is made of metal nano ink. A conductive pattern is formed and plated. The substrate 10 is not limited to a nickel-plated copper alloy, and the base material 3 can be used.

その後、端子金具12とリードフレーム11を基板10から打ち抜き、所定の折り曲げ加工等を施して端子金具12が得られる。尚、上記の例ではめっき工程は、端子の打ち抜き、折り曲げ工程の前に行ったが、接点の形状によっては、めっき工程を端子金具の打ち抜き、折り曲げ工程の後に行ってもよい。   Thereafter, the terminal fitting 12 and the lead frame 11 are punched from the substrate 10 and subjected to a predetermined bending process to obtain the terminal fitting 12. In the above example, the plating step is performed before the terminal punching and bending steps. However, depending on the shape of the contact, the plating step may be performed after the terminal fitting punching and bending steps.

以下、本発明の実施例を示す。
実施例1
長さ20mm、幅20mm、厚さ0.3mm、ニッケルめっき厚0.001mmのニッケルめっきリン青銅を基材として用い、該基材の表面に金ナノメタルインク(アルバックマテリアル社製:Au1T)を厚さ0.4μmとなるようにインクジェット法によりパターン状に塗布してパターン状ナノインク層を形成した。次にYAGレーザ照射装置(住友重機械工業製:MW−2000型)を用いて、上記基材の裏面の、パターン状ナノインク層が形成された部分の裏側のニッケルめっき層にレーザ光を照射して、パターン状ナノインク層を基材の表面に定着して導電性パターンを形成した。
Examples of the present invention will be described below.
Example 1
Nickel-plated phosphor bronze having a length of 20 mm, a width of 20 mm, a thickness of 0.3 mm, and a nickel plating thickness of 0.001 mm is used as a base material, and gold nanometal ink (available from ULVAC Material Co., Ltd .: Au1T) is thick on the surface of the base material. A patterned nano ink layer was formed by applying the ink in a pattern so as to have a thickness of 0.4 μm. Next, using a YAG laser irradiation device (manufactured by Sumitomo Heavy Industries, Ltd .: MW-2000 type), the nickel plating layer on the back side of the base material where the patterned nano ink layer is formed is irradiated with laser light. Then, the patterned nano ink layer was fixed on the surface of the substrate to form a conductive pattern.

レーザ照射条件は、表1に示すように、YAGレーザ照射装置の出力を100W又は200Wとし、照射時間を変化させ、ディフォーカス距離が30mmの条件でレーザ光を照射して、母材の温度を580K(1−1)、623K(1−2)、923K(1−3)、1120K(1−4)の4段階に変化させて行った。各試験片について導電性パターンを形成した基材について、密着性試験と、基材の劣化の評価を行った。試験結果を表1に示す。尚、密着性試験は、JIS H8504により行い、導電性パターンが基材から剥離しなかった場合は○とし、導電性パターンが基材から剥離した場合は×として評価した。また、母材の劣化は、外観を目視して劣化が見られなかった場合は○とし、劣化が見られた場合は×として評価した。   As shown in Table 1, the laser irradiation conditions are as follows. The output of the YAG laser irradiation apparatus is 100 W or 200 W, the irradiation time is changed, the laser beam is irradiated under a defocus distance of 30 mm, and the temperature of the base material is set. 580K (1-1), 623K (1-2), 923K (1-3), and 1120K (1-4) were changed in four stages. About the base material in which the electroconductive pattern was formed about each test piece, the adhesiveness test and evaluation of deterioration of a base material were performed. The test results are shown in Table 1. The adhesion test was performed according to JIS H8504, and was evaluated as ◯ when the conductive pattern was not peeled off from the substrate, and was evaluated as x when the conductive pattern was peeled off from the substrate. In addition, the deterioration of the base material was evaluated as “◯” when no deterioration was observed by visually observing the appearance, and “X” when deterioration was observed.

表1に示すように、温度が623K(1−2)、923K(1−3)の場合は、導電性パターンが基材と十分接合していた。また温度が580K(1−1)の場合は、剥離が見られた。また温度が1120K(1−4)の場合は、基材の劣化が見られた。この場合の最適なレーザ照射条件は、基材の温度が600K〜950Kの範囲である。   As shown in Table 1, when the temperatures were 623K (1-2) and 923K (1-3), the conductive pattern was sufficiently bonded to the base material. When the temperature was 580K (1-1), peeling was observed. When the temperature was 1120K (1-4), the substrate was deteriorated. In this case, the optimum laser irradiation condition is that the temperature of the substrate is in the range of 600K to 950K.

Figure 2010043346
Figure 2010043346

実施例2
基材として鉄板を用い、レーザ照射条件を表2に示す条件とした以外は実施例1と同様にして導電性パターンを形成して密着性試験と基材の劣化の評価を行った。試験結果を表2に示す。表2に示すように、温度が628K(2−2)、1130K(2−3)の場合は、導電性パターンが基材と十分接合していた。また温度が542K(2−1)の場合は、剥離が見られた。また温度が1358K(2−4)の場合は、基材の劣化が見られた。この場合の最適なレーザ照射条件は、基材の温度が600K〜1160Kの範囲である。
Example 2
A conductive pattern was formed in the same manner as in Example 1 except that an iron plate was used as the substrate and the laser irradiation conditions were changed to those shown in Table 2, and an adhesion test and evaluation of deterioration of the substrate were performed. The test results are shown in Table 2. As shown in Table 2, when the temperature was 628K (2-2) or 1130K (2-3), the conductive pattern was sufficiently bonded to the base material. When the temperature was 542K (2-1), peeling was observed. When the temperature was 1358K (2-4), the base material was deteriorated. In this case, the optimum laser irradiation condition is that the temperature of the substrate is in the range of 600K to 1160K.

Figure 2010043346
Figure 2010043346

実施例3
基材としてニッケル板を用い、レーザ照射条件を表3に示す条件とした以外は実施例1と同様にして導電性パターンを形成して密着性試験と基材の劣化の評価を行った。試験結果を表3に示す。表3に示すように、温度が631K(3−2)、1105K(3−3)の場合は、導電性パターンが基材と十分接合していた。また温度が590K(3−1)の場合は、剥離が見られた。また温度が1478K(3−4)の場合は、基材の劣化が見られた。この場合の最適なレーザ照射条件は、基材の温度が600K〜1140Kの範囲である。
Example 3
A conductive pattern was formed in the same manner as in Example 1 except that a nickel plate was used as the substrate and the laser irradiation conditions were as shown in Table 3, and an adhesion test and evaluation of deterioration of the substrate were performed. The test results are shown in Table 3. As shown in Table 3, when the temperature was 631K (3-2) or 1105K (3-3), the conductive pattern was sufficiently bonded to the base material. In addition, when the temperature was 590K (3-1), peeling was observed. Further, when the temperature was 1478K (3-4), the base material was deteriorated. In this case, the optimum laser irradiation condition is that the temperature of the substrate is in the range of 600K to 1140K.

Figure 2010043346
Figure 2010043346

実施例4
基材としてステンレス板を用い、レーザ照射条件を表4に示す条件とした以外は実施例1と同様にして導電性パターンを形成して密着性試験と基材の劣化の評価を行った。試験結果を表4に示す。表3に示すように、温度が787K(4−2)、1244K(4−3)の場合は、導電性パターンが基材と十分接合していた。また温度が660K(4−1)の場合は、剥離が見られた。また温度が1472K(4−4)の場合は、基材の劣化が見られた。この場合の最適なレーザ照射条件は、基材の温度が750K〜1280Kの範囲である。
Example 4
A stainless steel plate was used as the substrate, and the conductive pattern was formed in the same manner as in Example 1 except that the laser irradiation conditions were changed to those shown in Table 4, and an adhesion test and evaluation of deterioration of the substrate were performed. The test results are shown in Table 4. As shown in Table 3, when the temperatures were 787K (4-2) and 1244K (4-3), the conductive pattern was sufficiently bonded to the base material. When the temperature was 660 K (4-1), peeling was observed. When the temperature was 1472K (4-4), the base material was deteriorated. In this case, the optimum laser irradiation condition is that the temperature of the substrate is in the range of 750K to 1280K.

Figure 2010043346
Figure 2010043346

実施例5
金属ナノインクとして銀ナノインク(住友電気工業社製:AGIN−W4A)を用い、レーザ照射条件を表5に示す条件とした以外は実施例1と同様にニッケルめっき銅合金を基材として導電性パターンを形成して密着性試験と基材の劣化の評価を行った。試験結果を表5に示す。表5に示すように、温度が580K(5−2)、923K(5−3)の場合は、導電性パターンが基材と十分接合していた。また温度が540K(5−1)の場合は、剥離が見られた。また温度が1120K(5−4)の場合は、基材の劣化が見られた。この場合の最適なレーザ照射条件は、基材の温度が550K〜950Kの範囲である。
Example 5
A silver nano-ink (manufactured by Sumitomo Electric Industries, Ltd .: AGIN-W4A) was used as the metal nano-ink, and a conductive pattern was formed using a nickel-plated copper alloy as a base material in the same manner as in Example 1 except that the laser irradiation conditions were as shown in Table 5. After the formation, the adhesion test and the evaluation of the deterioration of the substrate were performed. The test results are shown in Table 5. As shown in Table 5, when the temperatures were 580K (5-2) and 923K (5-3), the conductive pattern was sufficiently bonded to the base material. When the temperature was 540K (5-1), peeling was observed. Further, when the temperature was 1120 K (5-4), deterioration of the substrate was observed. In this case, the optimum laser irradiation condition is that the temperature of the substrate is in the range of 550K to 950K.

Figure 2010043346
Figure 2010043346

材料の吸収特性を示すグラフである。It is a graph which shows the absorption characteristic of material. (a)〜(d)は本発明の導電性パターンの形成方法の一例の各工程を示す工程図である。(A)-(d) is process drawing which shows each process of an example of the formation method of the electroconductive pattern of this invention. 本発明の他の例を示すものであり、レーザー光の照射工程を示す図である。It is a figure which shows the other example of this invention and shows the irradiation process of a laser beam. 本発明のめっき端子の製造方法の一例のめっき工程を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the plating process of an example of the manufacturing method of the plating terminal of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 母材
2 めっき層
3 基材
4 パターン状ナノインク層
5 YAGレーザ照射装置
6 レーザ光
7 導電性パターン
12 端子金具
13 接点部分
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Base material 2 Plating layer 3 Base material 4 Patterned nano ink layer 5 YAG laser irradiation apparatus 6 Laser beam 7 Conductive pattern 12 Terminal metal fitting 13 Contact part

Claims (10)

基材の表面に導電性ナノ粒子を含む金属ナノインクからなるパターン状ナノインク層を形成した後、前記基材の裏面の前記パターン状ナノインク層が形成された部分の裏側にレーザ光を照射して、前記パターン状ナノインク層を基材の表面に定着させて導電性パターンを形成することを特徴とする導電性パターンの形成方法。   After forming a patterned nano ink layer made of metal nano ink containing conductive nanoparticles on the surface of the substrate, irradiate the back side of the portion where the patterned nano ink layer on the back surface of the substrate is formed with a laser beam, A method for forming a conductive pattern, comprising fixing the patterned nano ink layer on a surface of a substrate to form a conductive pattern. 基材の表面に導電性ナノ粒子を含む金属ナノインクからなるパターン状ナノインク層を形成した後、前記基材の表面の前記パターン状ナノインク層の周囲にレーザ光を照射して、前記パターン状ナノインク層を基材の表面に定着させて導電性パターンを形成することを特徴とする導電性パターンの形成方法。   After forming a patterned nano ink layer made of a metal nano ink containing conductive nanoparticles on the surface of the substrate, the patterned nano ink layer is irradiated with laser light around the patterned nano ink layer on the surface of the substrate. A method for forming a conductive pattern, wherein the conductive pattern is formed by fixing to the surface of the substrate. 前記基材は、前記レーザ光が照射される部分が、波長750nm〜1100nmにおける吸収率が20%以上の金属からなることを特徴とする請求項1又は2記載の導電性パターンの形成方法。   3. The method for forming a conductive pattern according to claim 1, wherein the portion of the substrate that is irradiated with the laser beam is made of a metal having an absorptance of 20% or more at a wavelength of 750 nm to 1100 nm. 前記基材は、前記レーザ光が照射される部分が、波長750nm〜1100nmにおける吸収率が20%以上の金属のめっき層からなることを特徴とする請求項1又は2記載の導電性パターンの形成方法。   3. The conductive pattern according to claim 1, wherein the substrate is made of a metal plating layer having an absorption rate of 20% or more at a wavelength of 750 nm to 1100 nm. Method. 前記金属ナノインクの導電性ナノ粒子が、波長750nm〜1100nmにおける吸収率が10%以下の金属からなることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の導電性パターンの形成方法。   5. The method for forming a conductive pattern according to claim 1, wherein the conductive nano particles of the metal nano ink are made of a metal having an absorption rate of 10% or less at a wavelength of 750 nm to 1100 nm. 前記レーザー光が、YAGレーザを用いたものであることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の導電性パターンの形成方法。   The method of forming a conductive pattern according to claim 1, wherein the laser beam uses a YAG laser. 前記導電性ナノ粒子が、金粒子であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の導電性パターンの形成方法。   The method for forming a conductive pattern according to claim 1, wherein the conductive nanoparticles are gold particles. 前記基材がニッケルめっき銅合金であることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の導電性パターンの形成方法。   The said base material is a nickel plating copper alloy, The formation method of the electroconductive pattern of any one of Claims 1-7 characterized by the above-mentioned. 前記基材の温度が600K〜950Kになるようにレーザ光の照射を行うことを特徴とする請求項8記載の導電性パターンの形成方法。   9. The method of forming a conductive pattern according to claim 8, wherein the irradiation of the laser beam is performed so that the temperature of the base material is 600K to 950K. 請求項1〜9のいずれか1項に記載の導電性パターンの形成方法を用いて、端子金具を基材として接点部分に金属ナノインキからなる前記導電性パターンを形成することで、端子金具の接点部分にめっきを施すことを特徴とするめっき端子の製造方法。

Using the method for forming a conductive pattern according to any one of claims 1 to 9, a contact point of a terminal fitting is formed by forming the conductive pattern made of metal nano ink on a contact portion using the terminal fitting as a base material. A method for producing a plated terminal, wherein the portion is plated.

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