JP2010014873A - Method for producing color filter - Google Patents
Method for producing color filter Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010014873A JP2010014873A JP2008173357A JP2008173357A JP2010014873A JP 2010014873 A JP2010014873 A JP 2010014873A JP 2008173357 A JP2008173357 A JP 2008173357A JP 2008173357 A JP2008173357 A JP 2008173357A JP 2010014873 A JP2010014873 A JP 2010014873A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- color filter
- filter substrate
- ito
- ito layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
Description
本発明は、横電界(IPS)方式の液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの製造方法に係り、とりわけ製造工程における搬送中に着色層やITO層に傷が付かず、高品質かつ低コストでカラーフィルタを製造することが可能なカラーフィルタの製造方法に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a color filter used in a lateral electric field (IPS) type liquid crystal display device, and in particular, a colored layer and an ITO layer are not damaged during transportation in the manufacturing process, and the color is high quality and low cost. The present invention relates to a color filter manufacturing method capable of manufacturing a filter.
従来より、フラットディスプレイとして、カラー液晶表示装置が用いられている。このような液晶表示装置においては、カラーフィルタと、薄膜トランジスタ(TFT)基板とを所定の間隙をもたせて向かい合わせ、この間隙部に液晶材料を注入して液晶層としている。 Conventionally, a color liquid crystal display device has been used as a flat display. In such a liquid crystal display device, a color filter and a thin film transistor (TFT) substrate face each other with a predetermined gap, and a liquid crystal material is injected into the gap to form a liquid crystal layer.
このようなカラーフィルタは、カラーフィルタ基板と、カラーフィルタ基板表面に形成されたブラックマトリックス層と、カラーフィルタ基板表面に形成された赤色、青色、緑色の各色からなる着色層とを有している。 Such a color filter has a color filter substrate, a black matrix layer formed on the surface of the color filter substrate, and a colored layer composed of each color of red, blue, and green formed on the surface of the color filter substrate. .
とりわけ横電界(IPS)方式の液晶表示装置に用いられるカラーフィルタについては、カラーフィルタ基板の裏面に例えばITO等からなる導電層が形成されている。このような導電層は、カラーフィルタ基板の裏面が帯電することにより上述した液晶層の配向に乱れが生じ、これにより液晶表示装置に画質劣化が生じることを防ぐために設けられるものである。この導電層は、一般にカラーフィルタ基板の裏面に導電材料をスパッタリングによって製膜することにより形成される。 In particular, for a color filter used in a lateral electric field (IPS) liquid crystal display device, a conductive layer made of, for example, ITO or the like is formed on the back surface of the color filter substrate. Such a conductive layer is provided in order to prevent the above-described alignment of the liquid crystal layer from being disturbed by charging the back surface of the color filter substrate, thereby degrading the image quality of the liquid crystal display device. This conductive layer is generally formed by forming a conductive material on the back surface of the color filter substrate by sputtering.
またこのほか、従来よりカラーフィルタ基板裏面の帯電を防止するための帯電防止層の印刷方法、および帯電防止用の各種導電膜について様々な検討が行われている。
しかしながら、スパッタリングによって製膜する際に用いるスパッタリング装置は、真空中でカラーフィルタ基板に対して成膜処理を行なうものであるため高額である。したがって、カラーフィルタ基板の裏面に導電材料をスパッタリングによって製膜する場合、カラーフィルタの製造コストが比較的高くなってしまう。 However, a sputtering apparatus used for forming a film by sputtering is expensive because it forms a film on a color filter substrate in a vacuum. Therefore, when a conductive material is formed on the back surface of the color filter substrate by sputtering, the manufacturing cost of the color filter becomes relatively high.
また、スパッタリングを行なう際にカラーフィルタ基板を搬送する間、ブラックマトリックス層および着色層に傷が生じやすい。このため、カラーフィルタ基板表面にブラックマトリックス層および着色層を形成した後、カラーフィルタ基板裏面にスパッタリングによって導電層を形成することは難しい。このような事情により、まずカラーフィルタ基板裏面にスパッタリングによって導電層を形成し、その後、カラーフィルタ基板表面にブラックマトリックス層および着色層を形成することが一般に行なわれている。 Further, the black matrix layer and the colored layer are likely to be damaged while the color filter substrate is transported during sputtering. For this reason, it is difficult to form the conductive layer by sputtering on the back surface of the color filter substrate after the black matrix layer and the colored layer are formed on the surface of the color filter substrate. Under such circumstances, it is generally performed that a conductive layer is first formed on the back surface of the color filter substrate by sputtering, and then a black matrix layer and a colored layer are formed on the surface of the color filter substrate.
しかしながら、この場合、導電層の一部に欠けが生じ、これによりパーティクルが生じる場合があり、カラーフィルタの品質が劣化するおそれがある。また、ブラックマトリックス層および着色層を形成する際、現像工程とベーク工程とを繰り返し行なうため、導電材料の種類によっては導電層に劣化が生じるおそれもある。 However, in this case, a part of the conductive layer may be chipped, thereby generating particles, which may deteriorate the quality of the color filter. Further, when the black matrix layer and the colored layer are formed, the development process and the baking process are repeatedly performed, so that the conductive layer may be deteriorated depending on the type of the conductive material.
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、製造工程における搬送中に着色層やITO層に傷が付かず、高品質かつ低コストでカラーフィルタを製造することが可能なカラーフィルタの製造方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in consideration of such points, and the color layer and the ITO layer are not damaged during transportation in the production process, and it is possible to produce a color filter with high quality and low cost. An object is to provide a method for manufacturing a color filter.
本発明は、IPS方式の液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの製造方法において、カラーフィルタ基板を準備する工程と、カラーフィルタ基板の一方の面にブラックマトリックス層、レッド層、ブルー層、およびグリーン層を形成する工程と、ブラックマトリックス層、レッド層、ブルー層、およびグリーン層上に、オーバーコート層を形成する工程と、カラーフィルタ基板の一方の面にブラックマトリックス層、レッド層、ブルー層、グリーン層、およびオーバーコート層を形成した後、カラーフィルタ基板の他方の面にITO層を塗布により形成する工程とを備えたことを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。 The present invention relates to a method of manufacturing a color filter used in an IPS liquid crystal display device, a step of preparing a color filter substrate, and a black matrix layer, a red layer, a blue layer, and a green layer on one surface of the color filter substrate. Forming an overcoat layer on the black matrix layer, red layer, blue layer, and green layer, and forming the black matrix layer, red layer, blue layer, green on one side of the color filter substrate And a step of forming an ITO layer on the other surface of the color filter substrate by forming the layer and the overcoat layer.
本発明は、ITO層を形成する際、カラーフィルタ基板の他方の面を下方に向け、カラーフィルタ基板の端部を把持しながら、カラーフィルタ基板を下方からエア浮上させた状態で、カラーフィルタ基板下方からITO層塗工液を表面張力タイプの塗工装置により塗布することを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。 In the present invention, when the ITO layer is formed, the color filter substrate is placed in a state in which the other surface of the color filter substrate faces downward and the end of the color filter substrate is gripped while the color filter substrate is floated from below. An ITO layer coating solution is applied from below by a surface tension type coating apparatus.
本発明は、ITO層を形成する際、カラーフィルタ基板の他方の面を上方に向け、カラーフィルタ基板の端部を把持しながら、カラーフィルタ基板を下方からエア浮上させた状態で、カラーフィルタ基板上方からITO層塗工液を塗工装置により塗布することを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。 In the present invention, when the ITO layer is formed, the color filter substrate is formed in a state in which the other surface of the color filter substrate faces upward and the end of the color filter substrate is gripped while the color filter substrate is floated from below. An ITO layer coating solution is applied from above by a coating apparatus.
本発明は、ITO層を形成する際、カラーフィルタ基板を垂直方向に向け、カラーフィルタ基板の上端部を吊りながら、カラーフィルタ基板の側方からITO層塗工液を塗工装置により塗布することを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。 In the present invention, when forming the ITO layer, the color filter substrate is oriented in the vertical direction, and the upper end portion of the color filter substrate is suspended, and the ITO layer coating liquid is applied from the side of the color filter substrate by the coating apparatus. A method for producing a color filter characterized by the above.
本発明は、ITO層塗工液を塗布した後、カラーフィルタ基板をベークして、ITO層塗工液を焼成してITO層を形成する工程を更に備えたことを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。 The present invention further comprises a step of baking the color filter substrate after applying the ITO layer coating solution and baking the ITO layer coating solution to form an ITO layer. Is the method.
本発明は、ITO層塗工液は、ITO微粒子と、分散液と、溶剤とを含むことを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。 This invention is a manufacturing method of the color filter characterized by the ITO layer coating liquid containing ITO microparticles | fine-particles, a dispersion liquid, and a solvent.
以上のように本発明によれば、カラーフィルタ基板の一方の面にブラックマトリックス層、レッド層、ブルー層、グリーン層、およびオーバーコート層を形成した後、カラーフィルタ基板の他方の面にITO層を塗布により形成するので、ブラックマトリックス層、レッド層、ブルー層、グリーン層、およびオーバーコート層を形成する工程、またはその前後の工程における搬送中に、ITO層の一部が欠けてパーティクルが生じることがない。したがって、ITO層の一部が欠けることによりカラーフィルタの品質が劣化することを確実に防止することができる。 As described above, according to the present invention, after the black matrix layer, the red layer, the blue layer, the green layer, and the overcoat layer are formed on one surface of the color filter substrate, the ITO layer is formed on the other surface of the color filter substrate. Is formed by coating, so that a part of the ITO layer is missing and particles are generated during the transport in the process of forming the black matrix layer, the red layer, the blue layer, the green layer, and the overcoat layer, or the process before and after the process. There is nothing. Therefore, it is possible to reliably prevent the quality of the color filter from being deteriorated due to the lack of a part of the ITO layer.
また本発明によれば、ITO層を形成する際、カラーフィルタ基板の端部を把持しながら、カラーフィルタ基板を下方からエア浮上させた状態で、カラーフィルタ基板にITO層塗工液を塗布する。あるいは、ITO層を形成する際、カラーフィルタ基板を垂直方向に向け、カラーフィルタ基板の上端部を吊りながら、カラーフィルタ基板にITO層塗工液を塗布する。このことにより、カラーフィルタ基板の一方の面に既に形成されたブラックマトリックス層、レッド層、ブルー層、グリーン層、およびオーバーコート層に傷や汚れが付着するおそれがない。また、ITO層を形成する際スパッタリング装置を用いることがないので、カラーフィルタの製造コストを低く抑えることができる。 According to the present invention, when forming the ITO layer, the ITO layer coating solution is applied to the color filter substrate in a state where the color filter substrate is air levitated from below while gripping the end of the color filter substrate. . Alternatively, when forming the ITO layer, the color filter substrate is oriented in the vertical direction, and the ITO layer coating solution is applied to the color filter substrate while suspending the upper end portion of the color filter substrate. As a result, there is no possibility that the black matrix layer, the red layer, the blue layer, the green layer, and the overcoat layer that have already been formed on one surface of the color filter substrate are damaged or stained. Moreover, since the sputtering apparatus is not used when forming the ITO layer, the manufacturing cost of the color filter can be kept low.
以下、図面を参照して本発明の一実施の形態について説明する。
図1は、カラーフィルタを示す概略断面図であり、図2は、カラーフィルタの他の構成を示す概略断面図である。図3(a)−(f)は、図1に示すカラーフィルタの製造方法を示す工程図であり、図4(a)−(e)は、図2に示すカラーフィルタの製造方法を示す工程図である。図5は、カラーフィルタ基板の下方からITO層塗工液を塗布する場合におけるITO層塗工液の塗布工程を示す図であり、図6は、カラーフィルタ基板の上方からITO層塗工液を塗布する場合におけるITO層塗工液の塗布工程を示す図である。図7は、カラーフィルタ基板の側方からITO層塗工液を塗布する場合におけるITO層塗工液の塗布工程を示す図である。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a schematic sectional view showing a color filter, and FIG. 2 is a schematic sectional view showing another configuration of the color filter. FIGS. 3A to 3F are process diagrams showing a method for manufacturing the color filter shown in FIG. 1, and FIGS. 4A to 4E are processes showing a method for manufacturing the color filter shown in FIG. FIG. FIG. 5 is a diagram showing a coating process of the ITO layer coating solution when the ITO layer coating solution is applied from below the color filter substrate, and FIG. 6 shows the ITO layer coating solution from above the color filter substrate. It is a figure which shows the application | coating process of the ITO layer coating liquid in the case of apply | coating. FIG. 7 is a diagram illustrating an ITO layer coating solution application process in the case where the ITO layer coating solution is applied from the side of the color filter substrate.
カラーフィルタの構成
まず、図1および図2によりカラーフィルタの概要について説明する。
Configuration of Color Filter First, an outline of a color filter will be described with reference to FIGS.
図1に示すカラーフィルタ10は、横電界(IPS)方式の液晶表示装置に用いられるものである。このカラーフィルタ10は、カラーフィルタ基板11と、カラーフィルタ基板11の一方の面11aに形成されたブラックマトリックス層12と、カラーフィルタ基板11の一方の面11a上に各々形成されたレッド層15、ブルー層16、およびグリーン層17とを備えている。
A
また、ブラックマトリックス層12、レッド層15、ブルー層16、およびグリーン層17上に、これらブラックマトリックス層12、レッド層15、ブルー層16、およびグリーン層17を覆う透明なオーバーコート層18が形成されている。さらに、オーバーコート層18上のうち、ブラックマトリックス層12に対応する所定の位置に、複数のスペーサ20が設けられている。
In addition, a
他方、カラーフィルタ基板11の他方の面11bには、ITO(酸化インジウムスズ)層19が均一に形成されている。
On the other hand, an ITO (indium tin oxide)
カラーフィルタ基板11としては、石英ガラス、ホウケイ酸ガラス、アルミノケイ酸塩ガラス、表面をシリカコートしたソーダライムガラス等の無機ガラス類、有機プラスチックのフィルム又はシート等を用いることができる。
As the
またブラックマトリックス層12は、Cr、CrOxなどの金属薄膜、遮光剤を樹脂中に分散させてなる薄膜のいずれを用いても良いが、IPS方式の安定な表示のためには遮光剤を分散させた樹脂ブラックマトリックスの方が好ましい。遮光剤としては、カーボンブラック、酸化チタン、四酸化鉄等の金属酸化物粉、金属硫化物粉、金属粉等を含むものを用いることができる。この中でも、カーボンブラックは遮光性が優れており、被覆カーボンを使用することにより高抵抗率のブラックマトリクスを形成できるため特に好ましい。
The
ブラックマトリックス層12に用いられる樹脂としては、特に限定されないが、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、ウレタン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリオレフィン系樹脂などの感光性又は非感光性の材料が好ましく用いられる。ブラックマトリクス用樹脂は、高い耐熱性を有する樹脂が好ましく、また、ブラックマトリックス層12形成後の工程で使用される有機溶剤に耐性を持つ樹脂が好ましいことからポリイミド系樹脂が特に好ましく用いられる。
The resin used for the
ブラックマトリックス層12の膜厚は、好ましくは0.5μm乃至1.5μm、より好ましくは0.8μm乃至1.3μmである。この膜厚が0.5μmよりも薄い場合には遮光性が不十分になることから好ましくない。
The film thickness of the
一方、レッド層15、ブルー層16、およびグリーン層17は、それぞれ赤色、青色、緑色に着色された着色層であり、着色剤により着色された樹脂が用いられる。
On the other hand, the
着色層に用いられる着色剤としては、有機顔料、無機顔料、染料等を好適に用いることができ、さらには、紫外線吸収剤、分散剤、レベリング剤等の種々の添加剤を添加してもよい。有機顔料としては、フタロシアニン系、アジレーキ系、縮合アゾ系、キナクリドン系、アントラキノン系、ペリレン系、ペリノン系が好適に用いられる。 As the colorant used in the colored layer, organic pigments, inorganic pigments, dyes, and the like can be suitably used, and various additives such as ultraviolet absorbers, dispersants, and leveling agents may be added. . As the organic pigment, phthalocyanine, azirake, condensed azo, quinacridone, anthraquinone, perylene, and perinone are preferably used.
着色剤に用いられる樹脂としては、エポキシ樹脂、アクリル系樹脂、ウレタン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリオレフィン系樹脂等の感光性又は非感光性の材料が好ましく用いられ、着色剤をこれらの樹脂中に分散あるいは溶解させて着色することが好ましい。感光性の樹脂としては、光分解型樹脂、光架橋型樹脂、光重合型樹脂等のタイプがあり、特にエチレン不飽和結合を有するモノマ、オリゴマ又はポリマと紫外線によりラジカルを発生する開始剤とを含む感光性組成物、感光性ポリアミック酸組成物等が好適に用いられる。非感光性の樹脂としては、上記の各種ポリマ等で現像処理が可能なものが好ましく用いられるが、透明導電膜の成膜工程や液晶表示装置の製造工程でかかる熱に耐えられる様な耐熱性を有する樹脂が好ましく、また、液晶表示装置の製造工程で使用される有機溶剤への耐性を持つ樹脂が好ましいことから、ポリイミド系樹脂が特に好ましく用いられる。ここで、好ましいポリイミド樹脂としては、上記した樹脂ブラックマトリクスの材料として好ましく用いられるポリイミド樹脂を挙げることができる。 As the resin used for the colorant, a photosensitive or non-photosensitive material such as an epoxy resin, an acrylic resin, a urethane resin, a polyester resin, a polyimide resin, or a polyolefin resin is preferably used. It is preferable to disperse or dissolve in the resin to color. Photosensitive resins include photodegradable resins, photocrosslinkable resins, and photopolymerizable resins. Particularly, monomers, oligomers, or polymers having an ethylenically unsaturated bond and initiators that generate radicals by ultraviolet rays are used. A photosensitive composition, a photosensitive polyamic acid composition, and the like are preferably used. As the non-photosensitive resin, those that can be developed with the above-mentioned various polymers are preferably used, but the heat resistance is such that it can withstand the heat applied in the transparent conductive film forming process and the liquid crystal display manufacturing process. Since a resin having a resistance to organic solvents used in the manufacturing process of a liquid crystal display device is preferable, a polyimide resin is particularly preferably used. Here, as a preferable polyimide resin, the polyimide resin preferably used as a material of the above-mentioned resin black matrix can be mentioned.
レッド層15、ブルー層16、およびグリーン層17の厚さは、好ましくは1層当たり0.9乃至3μm、より好ましくは1.6乃至2.4μmである。着色層の厚さが0.9μm以下の場合、ブラックマトリクス層12のパターンエッジ上でのカラーフィルタ表面の傾斜角が大きくなり、配向不良を引き起こし易い。一方、膜厚が3μmを越えるとレッド層15、ブルー層16、およびグリーン層17を均一に塗布することが難しくなる。
The thickness of the
またオーバーコート層18に用いられる樹脂としては、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、ウレタン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、ゼラチン等が好ましく用いられるが、オーバーコート層18の成膜工程や液晶表示装置の製造工程でかかる熱に耐えられるような耐熱性を有する樹脂が好ましく、また、液晶表示装置の製造装置で使用される有機溶剤への耐性を持つ樹脂が好ましいことから、ポリイミド系樹脂やアクリル系樹脂が好ましく用いられる。
The resin used for the
このオーバーコート層18は、カラーフィルタ10の表面を平坦化するとともに、レッド層15、ブルー層16、およびグリーン層17に含有される成分の液晶層への溶出を防止するために設けられるものである。オーバーコート層18の厚みは、使用される材料の光透過率、カラーフィルタ10の表面状態等考慮して設定することができ、例えば、0.1乃至3.0μmの範囲で設定することができる。このようなオーバーコート層18は、少なくとも、レッド層15、ブルー層16、およびグリーン層17のうちカラーフィルタ10をTFT基板と貼り合わせた際に液晶層と接する部分を覆うように形成される。
The
さらにスペーサ20は、カラーフィルタ10をTFT基板と貼り合わせた際に両者間に間隔を形成するために設けられるものである。このスペーサ20は、オーバーコート層18よりも2μm乃至10μm程度の範囲で突出するように一定の高さをもつ。なおこの突出量は、液晶表示装置の液晶層に要求される厚み等から適宜設定することができる。また、スペーサ20の形成密度は、液晶層の厚みムラ、開口率、スペーサ20の形状、材質等を考慮して適宜設定することができる。
Further, the
スペーサ20は、感光性樹脂を主成分とした硬化物からなるものであり、この感光性樹脂は、ポジ型感光性樹脂およびネガ型感光性樹脂のいずれであってもよい。ポジ型感光性樹脂としては、例えば、酸によってフェノール性水酸基を生じるスチレン骨格を有するポジ型感光性樹脂を挙げることができる。また、使用できるネガ型感光性樹脂として、例えば、スチレンとヒドロキシスチレンの共重合体にエポキシを添加したネガ型感光性樹脂、スチレンとカルボキシスチレンの共重合体にエポキシを添加したネガ型感光性樹脂等を挙げることができる。
The
ITO層19は、酸化インジウムスズからなる層であり、透明性が高くかつ導電性に優れている。このITO層19の膜厚は、100nm以上1000nm以下、好ましくは200nm以上500nm以下が適している。これより厚いと透過率が下がりすぎてしまい、これより薄いと導電性が不十分となる。
The
次に図2により、カラーフィルタ10の他の構成について説明する。図2に示すカラーフィルタ10は、各着色層(レッド層15、ブルー層16、およびグリーン層17)を重ね合わせることによりスペーサ20Aを形成した点が異なるものであり、他の構成は図1に示すカラーフィルタ10と略同一である。図2において、図1に示すカラーフィルタ10と同一部分には、同一符号を符して詳細な説明は省略する。
Next, another configuration of the
すなわち図2に示すカラーフィルタ10において、スペーサ20Aは、ブラックマトリックス層12上の所定位置に複数設けられている。各スペーサ20Aは、ブラックマトリックス層12上に順次形成されたスペーサ用レッド層15a、スペーサ用ブルー層16a、およびスペーサ用グリーン層17aと、最上層のスペーサ用オーバーコート層18aとを有している。なおスペーサ20を構成するスペーサ用レッド層15a、スペーサ用ブルー層16a、スペーサ用グリーン層17a、およびスペーサ用オーバーコート層18aは、それぞれ上述したレッド層15、ブルー層16、グリーン層17、およびオーバーコート層18に対応しており、これらの対応する層と同時に形成される。またスペーサ用レッド層15a、スペーサ用ブルー層16a、スペーサ用グリーン層17a、およびスペーサ用オーバーコート層18aは、対応するレッド層15、ブルー層16、グリーン層17、およびオーバーコート層18と同一の材料から構成される。
That is, in the
なお、図2において、スペーサ20Aを構成する着色層は、最下層側からスペーサ用レッド層15a、スペーサ用ブルー層16a、およびスペーサ用グリーン層17aの順に積層されている。しかしながら、各着色層を積層する順番は問わない。
In FIG. 2, the colored layer constituting the
カラーフィルタの製造方法
次に、図1に示すカラーフィルタ10の製造方法について、図3(a)−(f)により説明する。
Manufacturing Method of Color Filter Next, a manufacturing method of the
まず図3(a)に示すように、カラーフィルタ基板11を準備する。
First, as shown in FIG. 3A, a
次に、カラーフィルタ基板11の一方の面11a上に、ディップ法、ロールコーター法、スピナー法、ダイコーティング法、ワイヤーバーによる方法等により、黒色感光材料を所定の膜厚になるように形成し、その後、露光、現像の各工程を行う。このようにして、カラーフィルタ基板11の一方の面11a上に所定のパターンを有するブラックマトリックス層12が形成される。(図3(b))。
Next, a black photosensitive material is formed on one
次に、カラーフィルタ基板11の一方の面11a上にレッド層15、ブルー層16、およびグリーン層17を順次形成する(図3(c))。
Next, a
この間、まずブラックマトリックス層12が形成されたカラーフィルタ基板11の一方の面11a上に、ディップ法、ロールコーター法、スピナー法、ダイコーティング法、ワイヤーバーによる方法等により、対応する色の着色感光材料を所定の膜厚になるように形成し、その後、露光、現像の各工程を行う。同様の工程をレッド層15、ブルー層16、およびグリーン層17に関して繰り返し行うことにより、カラーフィルタ基板11の一方の面11a上にレッド層15、ブルー層16、およびグリーン層17を形成する。
In the meantime, first, on one
続いてブラックマトリックス層12、レッド層15、ブルー層16、およびグリーン層17上にオーバーコート層18を形成する(図3(d))。この際、まずブラックマトリックス層12、レッド層15、ブルー層16、およびグリーン層17上にオーバーコート層用材料を塗布する。オーバーコート層用材料を塗布する方法としては、黒色感光材料、着色感光材料の場合と同様、ディップ法、ロールコーター法、スピナー法、ダイコーティング法、ワイヤーバーによる方法などが好適に用いられる。その後、オーブンやホットプレートを用いて加熱乾燥を行う。このとき、レベリング性向上を目的として、必要に応じて真空乾燥、予備加熱乾燥(セミキュア)を行ってもよい。
Subsequently, an
次に、オーバーコート層18上にスペーサ20を形成する(図3(e))。この場合、まずオーバーコート層18上に、感光性のスペーサ用材料をディップ法、ロールコーター法、スピナー法、ダイコーティング法、またはワイヤーバーによる方法等によって塗布する。次にスペーサ20の位置に対応するパターンを形成したフォトマスクを用いて、感光性のスペーサ用材料を露光、現像することにより、オーバーコート層18上にスペーサ20を形成する。
Next, a
その後、カラーフィルタ基板11の他方の面11bにITO層19を形成する(図3(e))。この際、まずカラーフィルタ基板11の他方の面11bにITO層塗工液19aを塗布する。このITO層塗工液19aは、1nm乃至100nmの粒径を有するITO微粒子と、このITO微粒子を均等に分散させるための分散液と、有機系の溶剤とを含む。このうち溶剤は、例えばデカリン、エーテルアルコール、ケトン系溶剤からなっている。またITO層塗工液19aは、必要に応じて界面活性剤を含んでいても良い。なお、このようにしてITO層塗工液19aを塗布する方法については以下に詳述する(図5乃至図7参照)。
Thereafter, an
その後カラーフィルタ基板11を200℃乃至300℃の温度でベーク(加熱)することにより、ITO層塗工液19aを焼成し、ITO層19を形成する。
Thereafter, the
次に、図2に示すカラーフィルタ10の製造方法について、図4(a)−(e)により説明する。
Next, a method for manufacturing the
まず上述した工程(図3(a)−(b))と同様にして、カラーフィルタ基板11の一方の面11a上に所定のパターンを有するブラックマトリックス層12を形成する。(図4(a)−(b))。
First, the
次に、カラーフィルタ基板11にレッド層15、ブルー層16、およびグリーン層17を上述した工程(図3(c))と略同様にして順次形成する(図4(c))。但し、この際ブラックマトリックス層12上に、スペーサ用レッド層15a、スペーサ用ブルー層16a、およびスペーサ用グリーン層17aをそれぞれ対応するレッド層15、ブルー層16、およびグリーン層17とともに形成する。
Next, a
次に、ブラックマトリックス層12、レッド層15、ブルー層16、グリーン層17、スペーサ用レッド層15a、スペーサ用ブルー層16a、およびスペーサ用グリーン層17a上にオーバーコート層18を上述した工程(図3(d))と同様に形成する(図4(d))。
Next, the
このようにして、ブラックマトリックス層12上に、スペーサ用レッド層15a、スペーサ用ブルー層16a、スペーサ用グリーン層17a、およびスペーサ用オーバーコート層18aからなるスペーサ20Aが形成される。
Thus, the
その後、カラーフィルタ基板11の他方の面11bにITO層19を形成する(図4(e))。この際、上述した方法と同様に、まずカラーフィルタ基板11の他方の面11bにITO層塗工液19aを塗布する。その後カラーフィルタ基板11をベークすることにより、ITO層塗工液19aを焼成して、ITO層19を形成する。なお、ITO層塗工液19aを塗布する方法については以下に詳述する(図5乃至図7参照)。
Thereafter, an
ITO層塗工液を塗布する方法
カラーフィルタ基板11の一方の面11a上にブラックマトリックス層12、レッド層15、ブルー層16、グリーン層17、およびオーバーコート層18を形成した後、カラーフィルタ基板11の他方の面11bにITO層塗工液19aを塗布する方法について、以下に説明する。
Method of Applying ITO Layer Coating Liquid After forming the
まず図5により、カラーフィルタ基板11の他方の面11bを下方に向け、カラーフィルタ基板11の下方からITO層塗工液19aを塗布する場合について述べる。
First, referring to FIG. 5, the case where the
図5に示す表面張力タイプの塗工装置40は、ITO層塗工液19aを下方から上方に向けて吐出するコーター41と、コーター41の両側にそれぞれ配置された上流側定盤42aおよび下流側定盤42bと、カラーフィルタ基板11を水平に把持するとともにカラーフィルタ基板11を上流側定盤42aおよび下流側定盤42bの上面に沿って搬送する一対のチャック43a、43bとを有している。
A surface tension
このうち上流側定盤42aおよび下流側定盤42bは、その上面に多数のエア吹出し孔44を有している。これらエア吹出し孔44から吹き出すエアによってカラーフィルタ基板11が浮上させられ、したがってカラーフィルタ基板11は、一対のチャック43a、43bによって搬送される際にたわむことがない。
Among these, the
図5において、カラーフィルタ基板11の他方の面11bにITO層19を形成する際、まずカラーフィルタ基板11の一方の面11aを上方に向け、カラーフィルタ基板11の他方の面11bを下方に向けた状態とする。この状態で一対のチャック43a、43bによってカラーフィルタ基板11の端部を把持し、カラーフィルタ基板11を上流側定盤42a側から下流側定盤42b側へ搬送する。この際、カラーフィルタ基板11は、エア吹出し孔44から吹き出すエアによって下方から上方へ向けてエア浮上され、カラーフィルタ基板11と上流側定盤42aおよび下流側定盤42bとの間に所定の間隔を空けた状態で搬送される。
In FIG. 5, when forming the
この間、カラーフィルタ基板11は、上流側定盤42aと下流側定盤42bとの間に設けられたコーター41からITO層塗工液19aを塗布される。すなわちコーター41は、カラーフィルタ基板11の下方からカラーフィルタ基板11の他方の面11bに向けてITO層塗工液19aを吐出して塗布する。ITO層塗工液19aは、その表面張力によりカラーフィルタ基板11の他方の面11bに付着される。
During this time, the
次に図6により、カラーフィルタ基板11の他方の面11bを上方に向け、カラーフィルタ基板11の上方からITO層塗工液19aを塗布する場合について述べる。
Next, a case where the ITO
図6に示すダイコートまたはスクリーンコートタイプの塗工装置50は、ITO層塗工液19aを上方から下方に向けて吐出するコーター51と、コーター51の両側にそれぞれ配置された上流側定盤52aおよび下流側定盤52bと、カラーフィルタ基板11を水平に把持するとともにカラーフィルタ基板11を上流側定盤52aおよび下流側定盤52bの上面に沿って搬送する一対のチャック53a、53bとを有している。
A die coat or screen coat
このうち上流側定盤52aおよび下流側定盤52bは、その上面に多数のエア吹出し孔54を有している。これらエア吹出し孔54から吹き出すエアによってカラーフィルタ基板11が浮上させられ、したがってカラーフィルタ基板11は、一対のチャック53a、53bによって搬送される際にたわむことがない。
Among these, the
図6において、カラーフィルタ基板11の他方の面11bにITO層19を形成する際、まずカラーフィルタ基板11の一方の面11aを下方に向け、カラーフィルタ基板11の他方の面11bを上方に向けた状態とする。この状態で、一対のチャック53a、53bによってカラーフィルタ基板11の端部を把持し、カラーフィルタ基板11を上流側定盤52a側から下流側定盤52b側へ搬送する。この際、カラーフィルタ基板11は、エア吹出し孔54から吹き出すエアによって下方から上方へ向けてエア浮上され、カラーフィルタ基板11と上流側定盤52aおよび下流側定盤52bとの間に所定の間隔を空けた状態で搬送される。
In FIG. 6, when the
この間、カラーフィルタ基板11は、上流側定盤52aと下流側定盤52bとの間に設けられたコーター51からITO層塗工液19aを塗布される。すなわちコーター51は、カラーフィルタ基板11の上方からカラーフィルタ基板11の他方の面11bに向けてITO層塗工液19aを吐出して塗布する。
In the meantime, the
次に図7により、カラーフィルタ基板11を垂直方向に向け、カラーフィルタ基板11の側方からITO層塗工液19aを塗布する場合について述べる。
Next, the case where the
図7に示す吊るし搬送タイプの塗工装置60は、ITO層塗工液19aを側方に向けて塗布するスプレー装置61と、カラーフィルタ基板11の上端部11cを吊着してカラーフィルタ基板11を垂直に把持しながら搬送するチャック63とを有している。このうちスプレー装置61は、各々垂直方向に並んで配置され、各先端部からITO層塗工液19aを側方に向けて吐出する複数のノズル61aを有している。またチャック63は、水平方向かつITO層塗工液19aの塗布方向に対して垂直な方向に向けて、カラーフィルタ基板11を搬送する。
The hanging conveyance
図7において、カラーフィルタ基板11の他方の面11bにITO層19を形成する際、まずチャック63によってカラーフィルタ基板11の上端部11cを把持して吊り下げ、カラーフィルタ基板11を垂直に向けるとともに、カラーフィルタ基板11の他方の面11bをスプレー装置61側に向ける。この状態で、チャック63は、カラーフィルタ基板11をITO層塗工液19aの塗布方向に垂直な方向に搬送する。
In FIG. 7, when forming the
この間、カラーフィルタ基板11は、スプレー装置61からITO層塗工液19aを塗布される。すなわちスプレー装置61は、カラーフィルタ基板11の側方からカラーフィルタ基板11の他方の面11bに向けてITO層塗工液19aを吐出して塗布する。
During this time, the
このように本実施の形態によれば、カラーフィルタ基板11の一方の面11aにブラックマトリックス層12、レッド層15、ブルー層16、グリーン層17、およびオーバーコート層18を形成した後、カラーフィルタ基板11の他方の面11bにITO層19を塗布により形成する。したがって、ブラックマトリックス層12、レッド層15、ブルー層16、グリーン層17、およびオーバーコート層18を形成する工程、またはその前後の工程における搬送中に、ITO層19の一部が欠けてパーティクルが生じることがない。これにより、ITO層19の一部が欠けることによるカラーフィルタ10の品質の劣化を確実に防止することができる。
As described above, according to the present embodiment, after the
また本実施の形態によれば、ITO層19を形成する際、チャック43a、43b(53a、53b)によってカラーフィルタ基板11の端部を把持し、エア吹出し孔44からのエアによってカラーフィルタ基板11を下方からエア浮上させた状態で、コーター41(51)によってカラーフィルタ基板11にITO層塗工液19aを塗布する(図5および図6)。あるいは、ITO層19を形成する際、カラーフィルタ基板11を垂直方向に向け、チャック63によってカラーフィルタ基板11の上端部11cを吊りながら、スプレー装置61によってカラーフィルタ基板11にITO層塗工液を塗布する(図7)。これにより、カラーフィルタ基板11の一方の面11aに既に形成されたブラックマトリックス層12、レッド層15、ブルー層16、グリーン層17、およびオーバーコート層18に傷や汚れが付着するおそれがない。また、ITO層19を形成する際スパッタリング装置を用いることがないので、カラーフィルタ10の製造コストを低く抑えることができる。
Further, according to the present embodiment, when the
(実施例)
次に、本発明の具体的実施例について述べる。まずガラス基板からなるカラーフィルタ基板11を準備し、次にカラーフィルタ基板11の一方の面11aにブラックマトリックス層12、レッド層15、ブルー層16、およびグリーン層17の順に各層をそれぞれ製版により形成した。その後、ブラックマトリックス層12、レッド層15、ブルー層16、およびグリーン層17の上にオーバーコート層18を形成した。次に、カラーフィルタ基板11の他方の面11bにITO層19を塗布により形成し、このようにしてカラーフィルタ10(本実施例)を製造した。
(Example)
Next, specific examples of the present invention will be described. First, a
この場合、ブラックマトリックス層12、レッド層15、ブルー層16、およびグリーン層17の製版中にITOの粉塵が発生することはなく、ITO層19に劣化(抵抗率変化)が生じることもなく、良好なITO層19の膜面を形成することができた。
In this case, ITO dust is not generated during the plate making of the
(比較例1)
次に、本発明の比較例1について述べる。まず、ガラス基板からなるカラーフィルタ基板を準備し、このカラーフィルタ基板の一方の面にITO層をスパッタリングにより形成した。次にカラーフィルタ基板の他方の面にブラックマトリックス層、レッド層、ブルー層、およびグリーン層の順に各層をそれぞれ製版により形成した。その後、ブラックマトリックス層、レッド層、ブルー層、およびグリーン層の上にオーバーコート層を形成し、このようにして、比較例1としてのカラーフィルタを製造した。
(Comparative Example 1)
Next, Comparative Example 1 of the present invention will be described. First, a color filter substrate made of a glass substrate was prepared, and an ITO layer was formed on one surface of the color filter substrate by sputtering. Next, the black matrix layer, the red layer, the blue layer, and the green layer were formed in this order on the other surface of the color filter substrate by plate making. Thereafter, an overcoat layer was formed on the black matrix layer, the red layer, the blue layer, and the green layer, and thus a color filter as Comparative Example 1 was produced.
この場合、ブラックマトリックス層、レッド層、ブルー層、グリーン層、およびオーバーコート層を形成する際、スパッタリングにより形成したITO層の一部が欠け、ITOの粉塵が発生した。 In this case, when forming the black matrix layer, the red layer, the blue layer, the green layer, and the overcoat layer, a part of the ITO layer formed by sputtering was lost, and ITO dust was generated.
(比較例2)
次に、本発明の比較例2について述べる。まず、ガラス基板からなるカラーフィルタ基板を準備し、このカラーフィルタ基板の一方の面にITO層を印刷により形成した。次にカラーフィルタ基板の他方の面にブラックマトリックス層、レッド層、ブルー層、およびグリーン層の順に各層をそれぞれ製版により形成した。その後、ブラックマトリックス層、レッド層、ブルー層、およびグリーン層の上にオーバーコート層を形成し、このようにして、比較例2としてのカラーフィルタを製造した。
(Comparative Example 2)
Next, Comparative Example 2 of the present invention will be described. First, a color filter substrate made of a glass substrate was prepared, and an ITO layer was formed on one surface of the color filter substrate by printing. Next, the black matrix layer, the red layer, the blue layer, and the green layer were formed in this order on the other surface of the color filter substrate by plate making. Thereafter, an overcoat layer was formed on the black matrix layer, red layer, blue layer, and green layer, and thus a color filter as Comparative Example 2 was produced.
この場合、ブラックマトリックス層、レッド層、ブルー層、グリーン層、およびオーバーコート層を製版により形成する際、ITO層の一部が欠け、ITOの粉塵が発生した。 In this case, when the black matrix layer, the red layer, the blue layer, the green layer, and the overcoat layer were formed by plate-making, a part of the ITO layer was missing and ITO dust was generated.
10 カラーフィルタ
11 カラーフィルタ基板
12 ブラックマトリックス層
15 レッド層
15a スペーサ用レッド層
16 ブルー層
16a スペーサ用ブルー層
17 グリーン層
17a スペーサ用グリーン層
18 オーバーコート層
18a スペーサ用オーバーコート層
19 ITO層
19a ITO層塗工液
20、20A スペーサ
40、50、60 塗工装置
DESCRIPTION OF
Claims (6)
カラーフィルタ基板を準備する工程と、
カラーフィルタ基板の一方の面にブラックマトリックス層、レッド層、ブルー層、およびグリーン層を形成する工程と、
ブラックマトリックス層、レッド層、ブルー層、およびグリーン層上に、オーバーコート層を形成する工程と、
カラーフィルタ基板の一方の面にブラックマトリックス層、レッド層、ブルー層、グリーン層、およびオーバーコート層を形成した後、カラーフィルタ基板の他方の面にITO層を塗布により形成する工程とを備えたことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 In a method for manufacturing a color filter used in an IPS liquid crystal display device,
Preparing a color filter substrate;
Forming a black matrix layer, a red layer, a blue layer, and a green layer on one surface of the color filter substrate;
Forming an overcoat layer on the black matrix layer, the red layer, the blue layer, and the green layer;
Forming a black matrix layer, a red layer, a blue layer, a green layer, and an overcoat layer on one surface of the color filter substrate, and then forming an ITO layer on the other surface of the color filter substrate by coating. A method for producing a color filter characterized by the above.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008173357A JP5182628B2 (en) | 2008-07-02 | 2008-07-02 | Manufacturing method of color filter |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008173357A JP5182628B2 (en) | 2008-07-02 | 2008-07-02 | Manufacturing method of color filter |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010014873A true JP2010014873A (en) | 2010-01-21 |
JP5182628B2 JP5182628B2 (en) | 2013-04-17 |
Family
ID=41701052
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008173357A Expired - Fee Related JP5182628B2 (en) | 2008-07-02 | 2008-07-02 | Manufacturing method of color filter |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5182628B2 (en) |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0455347A (en) * | 1990-06-20 | 1992-02-24 | Konica Corp | Method and device for applying oily resin solution |
JPH10293207A (en) * | 1997-02-24 | 1998-11-04 | Toray Ind Inc | Color filter and its production |
JPH1157587A (en) * | 1997-08-22 | 1999-03-02 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | Coating device |
JPH11221509A (en) * | 1998-02-09 | 1999-08-17 | Sharp Corp | Coating device |
JP2000039509A (en) * | 1998-07-23 | 2000-02-08 | Toray Ind Inc | Color filter and its production |
JP2001162204A (en) * | 1999-12-07 | 2001-06-19 | Hirano Tecseed Co Ltd | Coating eqipment using capillary phenomenon |
JP2004098012A (en) * | 2002-09-12 | 2004-04-02 | Seiko Epson Corp | Thin film formation method, thin film formation device, optical device, organic electroluminescent device, semiconductor device, and electronic apparatus |
JP2006237482A (en) * | 2005-02-28 | 2006-09-07 | Tokyo Electron Ltd | Substrate processing device, substrate processing method, and substrate processing program |
-
2008
- 2008-07-02 JP JP2008173357A patent/JP5182628B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0455347A (en) * | 1990-06-20 | 1992-02-24 | Konica Corp | Method and device for applying oily resin solution |
JPH10293207A (en) * | 1997-02-24 | 1998-11-04 | Toray Ind Inc | Color filter and its production |
JPH1157587A (en) * | 1997-08-22 | 1999-03-02 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | Coating device |
JPH11221509A (en) * | 1998-02-09 | 1999-08-17 | Sharp Corp | Coating device |
JP2000039509A (en) * | 1998-07-23 | 2000-02-08 | Toray Ind Inc | Color filter and its production |
JP2001162204A (en) * | 1999-12-07 | 2001-06-19 | Hirano Tecseed Co Ltd | Coating eqipment using capillary phenomenon |
JP2004098012A (en) * | 2002-09-12 | 2004-04-02 | Seiko Epson Corp | Thin film formation method, thin film formation device, optical device, organic electroluminescent device, semiconductor device, and electronic apparatus |
JP2006237482A (en) * | 2005-02-28 | 2006-09-07 | Tokyo Electron Ltd | Substrate processing device, substrate processing method, and substrate processing program |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5182628B2 (en) | 2013-04-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI603249B (en) | Transparent laminated body, electrostatic capacitive-type input device and image display device | |
US10338470B2 (en) | Photosensitive laminate, transfer material, patterned photosensitive laminate, method for manufacturing the same, touch panel, and image display device | |
JP5914392B2 (en) | Photosensitive film, method for manufacturing capacitance-type input device, capacitance-type input device, and image display device including the same | |
TWI574109B (en) | Black resin film, electrostatic capacitive input device and method for producing the same and image display device having the same | |
TWI647598B (en) | Substrate having decorative material and production method thereof, touch panel, and information display device | |
JP5857013B2 (en) | SUBSTRATE WITH DECORATION MATERIAL AND ITS MANUFACTURING METHOD, TOUCH PANEL AND INFORMATION DISPLAY DEVICE | |
JP6336032B2 (en) | Transfer film, transfer film manufacturing method, transparent laminate, transparent laminate manufacturing method, capacitive input device, and image display device | |
JP6170288B2 (en) | Transfer material, method for manufacturing capacitive input device, capacitive input device, and image display device including the same | |
JP2014108541A (en) | Transfer film and transparent laminate, method for manufacturing the same, electrostatic capacitive input device and image display device | |
WO2014115415A1 (en) | Transparent layered body and method for manufacturing same | |
US20150116270A1 (en) | Transparent laminate, capacitance type input device, and image display device | |
JP5182628B2 (en) | Manufacturing method of color filter | |
JP5837832B2 (en) | Substrate on which a photocurable resin layer is formed, method for forming the same, capacitance-type input device, and image display device | |
JP6093891B2 (en) | Transparent laminate, capacitance input device, and image display device | |
JP6404255B2 (en) | TRANSFER FILM AND TRANSPARENT LAMINATE, ITS MANUFACTURING METHOD, CAPACITANCE TYPE INPUT DEVICE, AND IMAGE DISPLAY DEVICE | |
CN101093350A (en) | Photosensitive transprint material, image forming method, component for display device, color filter and display device | |
JP2000338317A (en) | Color filter for liquid crystal display and its production | |
JP2018196993A (en) | Transfer film and transparent laminate, manufacturing method therefor, capacitance type input device, and image display device | |
JP2016153242A (en) | Transfer material, method for manufacturing capacitive input device, capacitive input device, and image display device provided with the same | |
JP2014162658A (en) | Method for evaluating glass substrate for display, and method for producing glass substrate for display |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110517 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120614 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120619 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120814 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120928 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121126 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121221 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130103 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5182628 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160125 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |