JP2010010318A - Light-emitting device, optical print head and image forming device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、発光部を備えた発光装置とこれを用いた光プリントヘッドおよび画像形成装置に関する。 The present invention relates to a light emitting device including a light emitting unit, an optical print head using the light emitting device, and an image forming apparatus.
画像形成装置である電子写真プリンタ用などの光プリントヘッドとして用いられている発光装置として、多数の発光素子(発光ダイオード;Light Emitting Diode:略称LED)を配列して形成されるLEDアレイ(発光素子アレイ)が知られている。このようなLEDアレイは、多数のボンディングパッドを有し、発光ダイオードと駆動回路とが個別に金線のボールボンドを用いたワイヤボンドにより接続され、光プリントヘッドを構成する。 As a light emitting device used as an optical print head for an electrophotographic printer as an image forming apparatus, an LED array (light emitting element) formed by arranging a large number of light emitting elements (light emitting diodes: abbreviated as LEDs) Array) is known. Such an LED array has a large number of bonding pads, and the light emitting diode and the drive circuit are individually connected by wire bonding using a gold wire ball bond to constitute an optical print head.
近年、光プリントヘッドに対する小型化への要求がさらに高まっており、それに伴い以下のような技術が開発されてきている。 In recent years, the demand for miniaturization of optical print heads has further increased, and the following technologies have been developed accordingly.
例えば、特許文献1には、ダイナミック(時分割)駆動方式のLEDアレイが開示されている。ダイナミック駆動では、配線に与える駆動信号を時分割で切り換えて各LEDを発光させる。この駆動方式のLEDアレイを用いると、各LEDと駆動回路とを個別に接続する方式(スタティック方式)のLEDアレイと比較して、ボンディングパッドの数を1/4程度に減少させることができる。
For example,
また、小型化に伴い、LEDアレイとボンディング部との距離が近づけると、アレイからの光がボンディング部により反射されることによる画質への悪影響が懸念される。この問題に対して、特許文献2には、駆動回路側のボンディングパッドにファーストボンドを行いて接続し、その後LEDアレイ側のボンディングパッドにセカンドボンドを行って接続することにより、ボンディングワイヤの傾斜角度を調整し、発光ダイオードからの反射光を低減する構成が記載されている。
現在、小型化および低コスト化への要求が大きく、アレイチップの短辺方向のサイズを小さくすることにより、さらにシュリンク(縮小化)して量産性を向上させることが必要となってきている。しかしながら、従来の構成のまま、ボンディングパッドの面積を小さくすると、ワイヤボンディングの際にボンディングの位置ずれにより、ボンディングパッドと発光素子とを接続する引出電極を破損する恐れがあった。また、ボンディングパッドの面積を小さくすると、セカンドボンドのボンディング部の領域が小さくなり、十分な接合力が得られなくなる恐れもあった。 At present, there is a great demand for downsizing and cost reduction, and it is necessary to further reduce the size of the array chip in the short side direction to further shrink and reduce the mass productivity. However, if the area of the bonding pad is reduced in the conventional configuration, there is a possibility that the lead electrode connecting the bonding pad and the light emitting element may be damaged due to the positional deviation of the bonding at the time of wire bonding. Further, when the area of the bonding pad is reduced, the area of the bonding portion of the second bond is reduced, and there is a possibility that a sufficient bonding force cannot be obtained.
上述の課題に鑑み、本発明の目的は、ボンディングワイヤでの反射が少なく、良好な光学特性を有しつつチップのサイズをより縮小化することのできる良好な量産性を有する発光装置と、この発光装置を用いた光プリントヘッドを提供することにある。 In view of the above-described problems, an object of the present invention is to provide a light-emitting device having good mass productivity that can reduce the size of a chip while having good optical characteristics and less reflection on a bonding wire. An object of the present invention is to provide an optical print head using a light emitting device.
(1)本発明の発光装置は、
回路基板と、
前記回路基板上に設けられた第一電極パッドと、
前記回路基板上に配置され、発光部を備えた発光素子チップと、
前記発光素子チップ上に設けられた四角形状の第二電極パッドと、
前記第一電極パッドに対してファーストボンドが接続され、前記第二電極パッドに対してセカンドボンドが接続されたボンディングワイヤであって、前記ファーストボンドと前記セカンドボンドとを結ぶ直線が前記第二電極パッドの対角方向に沿うように設けられたボンディングワイヤと、を具備する。
(1) The light emitting device of the present invention is
A circuit board;
A first electrode pad provided on the circuit board;
A light emitting device chip disposed on the circuit board and provided with a light emitting unit;
A quadrangular second electrode pad provided on the light emitting element chip;
A bonding wire in which a first bond is connected to the first electrode pad and a second bond is connected to the second electrode pad, and a straight line connecting the first bond and the second bond is the second electrode Bonding wires provided along the diagonal direction of the pad.
(2)本発明の発光装置は、上記(1)の構成において、前記発光素子チップ上に設けられ、前記発光部と前記第二電極パッドとを電気的に接続するとともに、前記第二電極パッドの1つの頂点部寄りに接続された引出電極をさらに具備し、前記ボンディングワイヤが、前記第二電極パッドの前記1つの頂点部を含まない対角方向にボンディングされる。 (2) The light-emitting device of the present invention is configured on the light-emitting element chip in the configuration of (1), and electrically connects the light-emitting portion and the second electrode pad, and the second electrode pad. A lead electrode connected to one apex portion of the second electrode pad, and the bonding wire is bonded in a diagonal direction not including the one apex portion of the second electrode pad.
(3)本発明の発光装置は、上記(2)の構成において、前記引出電極は、前記第二電極パッドとの接続箇所が前記対角方向に沿う方向に引き出される。 (3) In the light emitting device of the present invention, in the configuration of (2), the extraction electrode is extracted in a direction along the diagonal direction at the connection point with the second electrode pad.
(4)本発明の発光装置は、上記(1)〜(3)のいずれかの構成において、前記発光部は、所定間隔で配列された複数の発光素子であり、前記第二電極パッドは、前記複数の発光素子の配列方向に沿って複数個配列されている。 (4) In the light emitting device of the present invention, in any one of the configurations (1) to (3), the light emitting unit is a plurality of light emitting elements arranged at a predetermined interval, and the second electrode pad is A plurality of light emitting elements are arranged along the arrangement direction of the light emitting elements.
(5)本発明の発光装置は、上記(4)の構成において、前記発光素子は、アノード電極、カソード電極およびゲート電極を有する発光サイリスタであり、
隣接する2つの前記第二電極パッド間に設けられるとともに前記ゲート電極に接続され、前記発光サイリスタと同じ層構成を有するスイッチング素子をさらに具備する。
(5) In the configuration of (4), the light emitting device of the present invention is a light emitting thyristor in which the light emitting element includes an anode electrode, a cathode electrode, and a gate electrode.
It further includes a switching element provided between two adjacent second electrode pads and connected to the gate electrode and having the same layer configuration as the light emitting thyristor.
(6)本発明の光プリントヘッドは、上記(4)または(5)の構成を有する発光装置と、
前記発光素子からの光を外部に結像させる集光手段と、を具備する。
(6) An optical print head according to the present invention includes a light emitting device having the above configuration (4) or (5),
Condensing means for imaging light from the light emitting element to the outside.
(7)本発明の画像形成装置は、上記(6)の構成を有する光プリントヘッドと、
前記集光手段によって結像した前記発光素子からの光により露光される感光体と、
前記感光体に現像剤を供給する現像剤供給手段と、
前記感光体上に前記現像剤によって形成された画像を記録シートに転写する転写手段と、
前記記録シートに転写された現像剤を定着させる定着手段と、を具備する。
(7) An image forming apparatus of the present invention includes an optical print head having the configuration of (6) above,
A photoconductor exposed by light from the light emitting element imaged by the light collecting means;
Developer supply means for supplying a developer to the photoreceptor;
Transfer means for transferring an image formed by the developer on the photoreceptor to a recording sheet;
Fixing means for fixing the developer transferred to the recording sheet.
なお、本明細書においては、2箇所をワイヤボンディングで接続する際に、最初に設けられるボンディング部をファーストボンド、次に設けられるボンディング部をセカンドボンドと呼ぶ。 In this specification, when two locations are connected by wire bonding, the bonding portion provided first is called a first bond, and the bonding portion provided next is called a second bond.
本発明の発光装置は、(1)の構成を備えているので、第二電極パッドの対角方向に沿ってセカンドボンドのボンディングの長軸方向の接合部が形成される。そのため、ボンディングの接合部のマージンを広く取ることができるから、安定した接合力を有するものとなる。したがって、第二電極パッドのサイズを縮小することが可能となるので、発光素子チップのサイズの縮小化に寄与するものとなる。
また、ワイヤにより接続される第一電極パッドと第二電極パッドとが上面視したときに斜めの位置に配置されているので、ボンディングワイヤのストロークを長くすることができる。その結果、ボンディング時にワイヤのループの高さが低くなるように調整してもボンディング部に対して無理なストレスがかからないので、信頼性を損なうことなく発光素子からの反射を抑えることができる。
以上の構成により、サイズを縮小した発光素子チップであっても、その近傍の第二電極パッドにセカンドボンドを安定して打つことができ、ワイヤのループ高さを低くできるので、ワイヤによる反射が少なく、高画質で信頼性と量産性に優れた発光装置となる。さらに、ワイヤボンディングの信頼性が高く高密度とすることができるので、面積当たりのI/O数を増やすことができ、高精細化や高速化などの高機能化を図る上で有利である。
Since the light-emitting device of the present invention has the configuration (1), the long-axis joint of the second bond is formed along the diagonal direction of the second electrode pad. For this reason, the margin of the bonding portion of the bonding can be widened, so that a stable bonding force is obtained. Accordingly, the size of the second electrode pad can be reduced, which contributes to the reduction in the size of the light emitting element chip.
Further, since the first electrode pad and the second electrode pad connected by the wire are arranged at an oblique position when viewed from the top, the stroke of the bonding wire can be lengthened. As a result, even if the height of the wire loop is adjusted to be low during bonding, excessive stress is not applied to the bonding portion, so that reflection from the light emitting element can be suppressed without impairing reliability.
With the above configuration, even with a light-emitting element chip with a reduced size, a second bond can be stably applied to the second electrode pad in the vicinity thereof, and the loop height of the wire can be lowered, so that reflection by the wire is prevented. It is a light emitting device that is low in image quality, excellent in reliability and mass productivity. Furthermore, since the reliability of wire bonding can be increased and the density can be increased, the number of I / Os per area can be increased, which is advantageous in achieving higher functions such as higher definition and higher speed.
本発明の発光装置において、(2)の構成を備えている場合には、第二電極パッドにおいて、セカンドボンドが接続されている対角方向とは異なる頂点部寄り(近傍)から引出電極が引き出されている。ボンディング時の位置ズレなどにより、ボンディング部の位置がパッドからずれることがあるが、セカンドボンドを設ける方向から引出電極が離間した位置に存在するので、引出電極が傷つけられにくく、安定してセカンドボンドを設けることができる。 In the light emitting device of the present invention, when the configuration of (2) is provided, the extraction electrode is extracted from the apex portion (near) different from the diagonal direction to which the second bond is connected in the second electrode pad. It is. The position of the bonding part may deviate from the pad due to misalignment during bonding, etc., but the extraction electrode is located at a position away from the direction in which the second bond is provided. Can be provided.
本発明の発光装置において、(3)の構成を備えている場合には、第二電極パッドと引出電極とのインターフェース部分(引き出し部分)以外の配置は、従来のものを用いることができるので、設計にかかる手間を省くことが可能となる。 In the light emitting device of the present invention, when the configuration of (3) is provided, since the arrangement other than the interface portion (leading portion) between the second electrode pad and the lead electrode can be a conventional one, It is possible to save the design effort.
本発明の発光装置において、(4)の構成を備えている場合には、上述した利点を兼ね備えた光プリントヘッド用の発光装置とすることができる。すなわち、短手方向に縮小された発光素子アレイチップを用いることができ、高画質で信頼性と量産性に優れた発光装置を得ることができる。 When the light emitting device of the present invention has the configuration (4), the light emitting device for an optical print head having the above-described advantages can be obtained. That is, a light emitting element array chip reduced in the lateral direction can be used, and a light emitting device with high image quality and excellent reliability and mass productivity can be obtained.
本発明の発光装置において、(5)の構成を備えている場合には、ゲート電極をスイッチング駆動するので、大電流を流す必要がなく、発光装置を小型化できる。さらに、発光サイリスタとスイッチング素子を同じ層構成としたことから、同じ製造プロセスで形成することができる。また、発光素子を駆動させたときにスイッチング素子からも光が漏洩するが、この漏洩光に対しセカンドボンドのボンディング部やボンディングワイヤによる反射が少ないため、良好な画像が得られる発光装置となる。 In the light emitting device of the present invention, when the configuration of (5) is provided, the gate electrode is driven to switch, so that it is not necessary to flow a large current and the light emitting device can be downsized. Furthermore, since the light emitting thyristor and the switching element have the same layer structure, they can be formed by the same manufacturing process. Further, light is also leaked from the switching element when the light emitting element is driven. However, since the reflected light is less reflected by the bonding portion of the second bond and the bonding wire, the light emitting device can obtain a good image.
本発明の光プリントヘッドおよび本発明の画像形成装置は、(1)から(6)のいずれかの構成を備えた本発明の発光装置を用いているので、小型で良好な画質性能を有するものとなる。また、例えば発光素子の高密度化などの高機能化にも対応しやすいものであるので高精細化や高速化に有利な光プリントヘッドもしくは画像形成装置となる。 Since the optical print head of the present invention and the image forming apparatus of the present invention use the light emitting device of the present invention having any one of the constitutions (1) to (6), it is small and has good image quality performance. It becomes. Further, since it is easy to cope with higher functions such as higher density of light emitting elements, for example, an optical print head or an image forming apparatus advantageous for higher definition and higher speed is obtained.
以下、図面を参照しつつ本発明について詳細に説明する。なお、以下の図面に記載される構成は本発明の実施形態の一例示であり、この構成のみに限定されるものではない。 Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In addition, the structure described in the following drawings is an example of embodiment of this invention, and is not limited only to this structure.
[発光装置]
最初に本発明の発光装置の要部について説明する。図1は、本発明の発光装置の実施形態の一例を示す平面模式図である。1は回路基板、2は第一ボンディングパッド(第一電極パッド)、3は発光素子チップ、4は発光部、5は第二ボンディングパッド(第二電極パッド)、6はボンディングワイヤ、6aはファーストボンド、6bはセカンドボンド、7は引出電極、8は発光素子、10は発光装置である。
[Light emitting device]
First, the main part of the light emitting device of the present invention will be described. FIG. 1 is a schematic plan view showing an example of an embodiment of a light emitting device of the present invention. 1 is a circuit board, 2 is a first bonding pad (first electrode pad), 3 is a light emitting element chip, 4 is a light emitting part, 5 is a second bonding pad (second electrode pad), 6 is a bonding wire, and 6a is a first. Bond, 6b is a second bond, 7 is an extraction electrode, 8 is a light emitting element, and 10 is a light emitting device.
回路基板1としては、例えば、プリント基板が用いられ、この回路基板1上には、第一ボンディングパッド2が配置されるとともに、発光素子チップ3として、例えば、LEDアレイチップやサイリスタアレイチップが配置されている。図では省略したが、回路基板1には、発光素子チップ3の駆動を制御する各種信号を供給するための回路が形成されており、1ライン分の画像データを順次処理できるようになっている。
For example, a printed circuit board is used as the
発光素子チップ3は、回路基板1の長手方向(図1の左右方向)に沿って1次元に配列された複数個の発光部4としての発光素子8を有している。この発光素子8は、解像度に応じた画素数の密度で設けられている。そして、発光素子チップ3の表面上には発光素子8に発光信号を印加するための電極として、第二ボンディングパッド5が配置されている。第二ボンディングパッド5は、例えば、Alをスパッタリングなどにより薄膜形成したものであり、膜厚は2〜3μmである。
The light emitting
本実施形態の例では、発光素子8の配列方向に沿って複数個の第二ボンディングパッド5が配置され、複数の発光素子8は、引出電極7により第二ボンディングパッド5と接続されている。なお、実際の発光素子チップ3には、発光素子8に信号を供給するための横配線や接地配線などが設けられ、必要に応じて第二ボンディングパッド5と接続されているが、本図では省略した。
In the example of this embodiment, a plurality of
第一ボンディングパッド2と第二ボンディングパッド5とは、例えば、金線からなるボンディングワイヤ6によって接続される。ボンディングは、回路基板1や発光素子チップ3を加熱した後にボンディングワイヤ6に荷重を加えることにより行う。なお、加熱接合とあわせて超音波を併用しても良い。
The
本発明の構成では、ボンディングワイヤ6を第一ボンディングパッド2に接合して、ファーストボンド6aを形成した後に、第二ボンディングパッド5に接合して、セカンドボンド6bを形成する。このとき、ファーストボンド6aとセカンドボンド6bとを結ぶ直線(図1の例ではボンディングワイヤ6を平面視した形状)が第二ボンディングパッド5の対角方向に沿うように、第一ボンディングパッド2と第二ボンディングパッド5は互いに斜めの配置となる位置関係とされている。
In the configuration of the present invention, the
このような本発明の構成によれば、ボンディングワイヤ6を第一ボンディングパッド2にボンディング(ファーストボンド)した後に、第二ボンディングパッド5にボンディング(セカンドボンド)しているため、第二ボンディングパッド5上のセカンドボンド6bにはボンディングのボール部ができない。そのため、ボール部で反射される光の影響が少なくなる。
According to such a configuration of the present invention, since the
また、ボンディングワイヤ6により接続される第一ボンディングパッド2と第二ボンディングパッド5とが上面視したときに斜めの位置に配置されているので、ボンディングワイヤ6のストロークを長くすることができる。この場合、ボンディング時にボンディングワイヤ6のループの高さが低くなるように調整してもボンディング部に対して無理なストレスがかからないので、信頼性を損なうことなく反射光を抑えることができる。
Further, since the
また、本発明の構成によれば、第二ボンディングパッド5の対角方向に沿ってセカンドボンド6bのボンディングの長軸方向の接合部が形成される。そのため、ボンディングの接合部のマージンを広く取ることができるから、安定した接合力を有するものとなる。このように、第二ボンディングパッド5のサイズを短手方向に縮小することが可能となるので、発光素子チップのサイズの縮小化が可能となる。
Further, according to the configuration of the present invention, the bonding portion in the major axis direction of the bonding of the
また、ワイヤボンダーのキャピラリがボンディングパッドと接触したときの検知のタイミングの微小なずれにより、ボンディングパッド上でキャピラリが何度か接触を繰り返してから静止することがある。このような場合でもパッドの対角方向に向けてボンディングすることにより、キャピラリがパッド上で留まる可能性が向上し、周囲の構造にダメージを与えることが少なくなる。 In addition, due to a slight deviation in detection timing when the capillary of the wire bonder comes into contact with the bonding pad, the capillary may come to rest after being repeatedly contacted on the bonding pad. Even in such a case, by bonding in the diagonal direction of the pad, the possibility that the capillary stays on the pad is improved, and damage to the surrounding structure is reduced.
以上説明した、第二ボンディングパッド5の対角方向に沿ってセカンドボンド6bを設けた構成を得るためには、ボンディングワイヤ6により接続される第一ボンディングパッド2と第二ボンディングパッド5とを上面視したときに斜めの位置となるように回路基板1と発光素子チップ3のパターンを設計すればよい。これにより第一ボンディングパッド2上にファーストボンド6aを形成してから、第二ボンディングパッド5に向かって、ワイヤボンダーのキャピラリが移動するので、この移動の向きとセカンドボンド6bを設ける方向とが一致し、本発明の構成を得ることができる。
In order to obtain the above-described configuration in which the
なお、「第二電極パッドの対角方向に沿う方向」とは、厳密に第二電極パッドの対角同士を結ぶ方向を意味するものではなく、対角方向に向かって±30°以内の範囲内の角度であればよい。 The “direction along the diagonal direction of the second electrode pad” does not mean a direction strictly connecting the diagonals of the second electrode pad, and is within a range of ± 30 ° toward the diagonal direction. Any angle within the range may be used.
また、図1に示す本実施形態の構成では、発光部4と第二ボンディングパッド5とを電気的に接続する引出電極7が、第二ボンディングパッド5の1つの頂点部寄りに接続され、この頂点部は、ボンディングワイヤ6がボンディングされる対角方向を含まないように選ばれている。言い換えれば、第二ボンディングパッド5において、セカンドボンド6bが接続されている対角方向とは異なる頂点部寄り(近傍)から引出電極7が引き出されている。ボンディング時の位置ズレなどにより、ボンディング部の位置がパッドからずれることがあるが、この構成では、セカンドボンド6bを設ける方向から引出電極7が離間した位置に存在するので、引出電極7が傷つけられにくく、安定してセカンドボンド6bを設けることができる。
Further, in the configuration of the present embodiment shown in FIG. 1, the
その他の引出電極7の変形例について図2に示す。図2(a)は、引出電極7を第二ボンディングパッド5の中央部から引き出した例である。図1に示した例と比べると、セカンドボンド6bと引出電極7との距離が近づくが、ワイヤボンダーの精度が高い場合には、このような構成であっても構わない。また、図2(b)に示す例では、引出電極7が第二ボンディングパッド5から引き出されるときに、このボンディングワイヤ6の方向(第二ボンディングパッド5の対角方向)に沿う方向に設けられた接続箇所7aを介している。この例によれば、図1の構成と同様の作用効果を得られ、さらに第二ボンディングパッド5と引出電極7とのインターフェース部分(引き出し部分)以外の配置は、本発明を適用する以前の従来構成を用いることができるので、設計にかかる手間を省くことが可能となる。
Other modified examples of the
[発光装置の適用例:発光サイリスタアレイ]
次に、上述した本発明の構成を有する発光装置の適用例として、発光サイリスタアレイチップについて詳細な構成を説明する。
[Application example of light emitting device: light emitting thyristor array]
Next, a detailed configuration of the light-emitting thyristor array chip will be described as an application example of the light-emitting device having the above-described configuration of the present invention.
図3は、本発明の構成を有する各発光用サイリスタTの光の出射方向を紙面に垂直手前側として配置された発光サイリスタアレイチップの平面図を示す。ゲート横配線GH1〜GH4、電源ライン11、セレクト信号伝送路14、電源用ボンディングパッドVs、セレクト信号入力端子CS、発光用サイリスタT、スイッチ用サイリスタS、プルアップ抵抗RP、およびCS抵抗RCSは、図解を容易にするため斜線を付して示されている。
FIG. 3 is a plan view of a light-emitting thyristor array chip arranged with the light emission direction of each light-emitting thyristor T having the configuration of the present invention as a front side perpendicular to the paper surface. The gate horizontal wirings GH1 to GH4, the power supply line 11, the select
図1と対比すると、発光素子チップ3が発光サイリスタアレイチップ、発光素子8は発光用サイリスタT(図示しない発光部を含む)、第二ボンディングパッド5としては、例えば、A1〜Amであらわされる発光信号入力端子、G1〜G4であらわされるゲート信号入力端子、電源用ボンディングパッドVsおよびセレクト信号入力端子CSが該当する。
Compared with FIG. 1, the light emitting
本実施形態に係る発光サイリスタT1〜Tkは、アノードa1〜ak、Nゲート電極b1〜bkを有しており、さらに、図示しないが各発光用サイリスタTのカソードは共通の電極として接地されている。ここで、各発光用サイリスタTのカソードの動作を制御するための電極としては、アノードa1〜akおよびNゲート電極b1〜bkが用いられる。 The light emitting thyristors T1 to Tk according to the present embodiment have anodes a1 to ak and N gate electrodes b1 to bk. Further, although not shown, the cathodes of the light emitting thyristors T are grounded as a common electrode. . Here, anodes a1 to ak and N gate electrodes b1 to bk are used as electrodes for controlling the operation of the cathode of each light emitting thyristor T.
また、本実施形態に係るスイッチング素子を構成するスイッチ用サイリスタS1〜S4も発光用サイリスタTと同じ層構成のサイリスタ構造を有する。また、このスイッチングの動作を制御するための電極として、アノードc1〜c4およびNゲート電極d1〜d4を用いる。また、スイッチ用サイリスタSのカソードは共通の電極として接地されている。 Further, the switch thyristors S1 to S4 constituting the switching element according to the present embodiment also have a thyristor structure having the same layer configuration as the light emitting thyristor T. Further, anodes c1 to c4 and N gate electrodes d1 to d4 are used as electrodes for controlling the switching operation. The cathode of the switch thyristor S is grounded as a common electrode.
スイッチ用サイリスタS1〜S4のNゲート電極d1〜d4は、CS抵抗RCS1〜RCS4の一端、プルアップ抵抗RP1〜RP4の一端およびゲート横配線GH1〜GH4と接続される(以下、相互に接続される素子の参照符号は同じ番号で表すものとする)。さらに、CS抵抗RCSの他端は共通のセレクト信号が入力されるセレクト信号入力端子CSに接続されて相互に電気的に接続される。プルアップ抵抗RPの他端は、共通の電源電圧が入力される電源電圧入力端子Vccに接続される。ゲート横配線GHは、スイッチ用サイリスタSのNゲート電極dから出力された制御信号を伝送する。各スイッチ用サイリスタSのアノードc1〜c4は、各ゲート信号入力端子G1〜G4にそれぞれ接続される。 The N gate electrodes d1 to d4 of the switch thyristors S1 to S4 are connected to one end of the CS resistors RCS1 to RCS4, one end of the pull-up resistors RP1 to RP4, and the gate lateral wirings GH1 to GH4 (hereinafter, connected to each other). The reference numerals of the elements are represented by the same numbers). Furthermore, the other end of the CS resistor RCS is connected to a select signal input terminal CS to which a common select signal is input and is electrically connected to each other. The other end of the pull-up resistor RP is connected to a power supply voltage input terminal Vcc to which a common power supply voltage is input. The lateral gate wiring GH transmits a control signal output from the N gate electrode d of the switch thyristor S. The anodes c1 to c4 of each switch thyristor S are connected to the gate signal input terminals G1 to G4, respectively.
発光素子として用いられる発光用サイリスタTは、m個の発光素子ブロックB1〜Bmから構成され、1つの発光素子ブロックは、n個以下の発光用サイリスタTの群からなる。なお、本実施形態では発光素子ブロックを構成する発光用サイリスタTの数をn(=4)に設定している。 The light emitting thyristor T used as the light emitting element is composed of m light emitting element blocks B1 to Bm, and one light emitting element block is composed of a group of n or less light emitting thyristors T. In the present embodiment, the number of light emitting thyristors T constituting the light emitting element block is set to n (= 4).
各発光素子ブロックB1〜Bmに、個別に発光信号入力端子A1〜Amが設けられる。各発光素子ブロックBを構成する発光用サイリスタTは、アノードaが発光素子ブロックBごとに共通の発光信号入力端子Aに接続されることで相互に電気的に接続される。また、各発光素子ブロックBを構成する発光用サイリスタTのNゲート電極bはそれぞれ、異なるゲート横配線GHに接続される。 The light emitting signal input terminals A1 to Am are individually provided in the light emitting element blocks B1 to Bm. The light emitting thyristors T constituting each light emitting element block B are electrically connected to each other by connecting the anode a to the common light emitting signal input terminal A for each light emitting element block B. Further, the N gate electrodes b of the light emitting thyristors T constituting each light emitting element block B are respectively connected to different gate lateral wirings GH.
次に、発光サイリスタアレイチップに用いられる発光用サイリスタTとスイッチ用サイリスタSの構成と動作について説明する。 Next, the configuration and operation of the light emitting thyristor T and the switch thyristor S used in the light emitting thyristor array chip will be described.
一般に、発光サイリスタは、直接遷移形のP型半導体とN型半導体とを交互に積層したPNPN構造を有する半導体素子であり、逆阻止3端子サイリスタと同様な負性抵抗特性を有する。各半導体層をカソード側からアノード側へ順に第一半導体層(N型)、第二半導体層(P型)、第三半導体層(N型)、第四半導体層(P型)とすれば、Nゲート電極とは第三半導体層(N型)に設けられる制御用の電極のことであり、Pゲート電極とは第二半導体層(P型)に設けられる制御用の電極のことである。 In general, a light emitting thyristor is a semiconductor element having a PNPN structure in which direct transition type P-type semiconductors and N-type semiconductors are alternately stacked, and has negative resistance characteristics similar to those of a reverse blocking three-terminal thyristor. If each semiconductor layer is a first semiconductor layer (N type), a second semiconductor layer (P type), a third semiconductor layer (N type), and a fourth semiconductor layer (P type) in order from the cathode side to the anode side, The N gate electrode is a control electrode provided in the third semiconductor layer (N type), and the P gate electrode is a control electrode provided in the second semiconductor layer (P type).
カソードを共通の電極として接地する場合はNゲート電極を用い、アノードを接地する場合はPゲート電極を用いる。いずれの導電型のゲート電極を用いるかは、アノードまたはカソードのどちらを共通の電極とするかによって決まるので、共通の電極が決まっている場合には、単にゲート電極bと記載する。 An N gate electrode is used when the cathode is grounded as a common electrode, and a P gate electrode is used when the anode is grounded. Which type of gate electrode is used depends on whether the anode or the cathode is used as a common electrode. When a common electrode is determined, it is simply referred to as a gate electrode b.
ここで、発光信号の電圧とは、発光信号がアノードaに与えられることによって、発光用サイリスタTのアノードaおよびカソード間に印加される電圧を意味し、発光信号の電流とは、発光信号が与えられることによって発光用サイリスタTのアノードaに流入する電流を意味する。また、制御信号の電圧とは、制御信号がNゲート電極bに与えられることによって、発光用サイリスタTのNゲート電極bおよびカソード間に印加される電圧を意味し、制御信号の電流とは、制御信号が与えられることによって、Nゲート電極bに流入する電流を意味する。 Here, the voltage of the light emission signal means a voltage applied between the anode a and the cathode of the light emitting thyristor T when the light emission signal is applied to the anode a, and the current of the light emission signal means that the light emission signal is It means a current flowing into the anode a of the light emitting thyristor T when given. The voltage of the control signal means a voltage applied between the N gate electrode b and the cathode of the light emitting thyristor T when the control signal is applied to the N gate electrode b, and the current of the control signal is It means a current flowing into the N gate electrode b when a control signal is given.
図4は、発光用サイリスタTのアノード電圧とアノード電流との関係である順方向電圧−電流特性を示すグラフである。アノード電圧は、カソードの電位を0(零)ボルト(V)としたときのアノードの電位を表し、アノード電流は、アノードに流入する電流を表す。 FIG. 4 is a graph showing a forward voltage-current characteristic that is a relationship between the anode voltage and the anode current of the light emitting thyristor T. The anode voltage represents the anode potential when the cathode potential is 0 (zero) volts (V), and the anode current represents the current flowing into the anode.
図4は、横軸をアノード電圧とし、縦軸をアノード電流としている。また、図4には負荷線70も示されている。発光用サイリスタTは、ゲート電極bに制御信号を与えることによってしきい電圧が低下するので、動作点が、順方向電圧−電流特性を表す特性曲線71と、負荷線70とが交わるオフ状態のq2点から、特性曲線71と負荷線70とが交わるオン状態のq1点へと遷移することで発光する。オン状態のq1点では、アノードとカソードとの間に主電流が流れる。 In FIG. 4, the horizontal axis represents the anode voltage, and the vertical axis represents the anode current. FIG. 4 also shows a load line 70. Since the threshold voltage of the light-emitting thyristor T is lowered by giving a control signal to the gate electrode b, the operating point is in an off state where the characteristic curve 71 representing the forward voltage-current characteristic and the load line 70 intersect. Light is emitted by transition from the point q2 to the point q1 in the on state where the characteristic curve 71 and the load line 70 intersect. A main current flows between the anode and the cathode at the point q1 in the on state.
具体的に数値を使って、発光用サイリスタTの動作を説明する。ここでは、カソードの電位を0ボルト(V)として、発光信号がハイ(H)レベルのとき、アノードaに5Vの電位を与え、発光信号がロー(L)レベルのとき、アノードaに0Vの電位を与えるものとする。また制御信号がハイ(H)レベルのとき、ゲート電極bに5Vの電位を与え、制御信号がロー(L)レベルのとき、ゲート電極gに0Vの電位を与えるものとする。 The operation of the light emitting thyristor T will be described specifically using numerical values. Here, when the cathode potential is 0 volt (V), when the light emission signal is at a high (H) level, a potential of 5 V is applied to the anode a, and when the light emission signal is at a low (L) level, 0 V is applied to the anode a. A potential shall be applied. When the control signal is high (H) level, a potential of 5V is applied to the gate electrode b, and when the control signal is low (L) level, a potential of 0V is applied to the gate electrode g.
まず、ゲート信号がハイ(H)レベルのとき、ゲート電極bの電位は5Vとなるので、アノード電流を流すためには、ゲート電極bの電位5Vよりも、第三半導体層(N型)および第四半導体層(P型)によって形成されるダイオードの順方向降下電圧分だけ高い電位をアノードaに与える必要がある。順方向降下電圧は、発光サイリスタがGaAsまたはAlGaAsで作製される場合には約1.5Vである。したがって、発光信号をハイ(H)レベルにしても、発光用サイリスタTは、q2点のオフ状態となり発光しない。 First, when the gate signal is at a high (H) level, the potential of the gate electrode b becomes 5 V. Therefore, in order to pass the anode current, the third semiconductor layer (N-type) and the potential of the gate electrode b are more than 5 V. It is necessary to apply a potential higher to the anode a by the forward drop voltage of the diode formed by the fourth semiconductor layer (P type). The forward drop voltage is about 1.5V when the light emitting thyristor is made of GaAs or AlGaAs. Therefore, even if the light emission signal is set to the high (H) level, the light emitting thyristor T is turned off at the point q2 and does not emit light.
次に、ゲート信号がロー(L)レベルのとき、ゲート電極bの電位は0Vとなるので、アノード電流を流すためには、ゲート電極gの電位0Vよりも、第三半導体層(N型)および第四半導体層(P型)によって形成されるダイオードの順方向降下電圧分だけ高い電位をアノードaに与える必要がある。したがって、発光信号をハイ(H)レベルにすれば、発光用サイリスタTは、q1点のオン状態となりアノード電流が流れ発光する。 Next, when the gate signal is at a low (L) level, the potential of the gate electrode b is 0 V. Therefore, in order to flow the anode current, the third semiconductor layer (N-type) is more than the potential 0 V of the gate electrode g. Further, it is necessary to apply a potential higher to the anode a by the forward drop voltage of the diode formed by the fourth semiconductor layer (P type). Therefore, when the light emission signal is set to the high (H) level, the light emitting thyristor T is turned on at the point q1, and the anode current flows to emit light.
なお、スイッチ用サイリスタSの構成およびその動作も、発光用サイリスタTの場合と同様に説明することができる。 The configuration and operation of the switch thyristor S can be described in the same manner as in the case of the light emitting thyristor T.
スイッチング素子であるスイッチ用サイリスタSの動作の詳細説明は省略するが、スイッチ用サイリスタSは、ゲート横配線GH1〜GH4に対応して設けられており、セレクト信号、ゲート信号が与えられたとき、スイッチ用サイリスタSがONに移行して、対応するゲート横配線GHにゲート信号を入力する。このとき、このゲート横配線GHが接続された対応する発光用サイリスタTに発光信号が与えられている場合に、その発光用サイリスタTが発光する。 Although detailed description of the operation of the switching thyristor S that is a switching element is omitted, the switching thyristor S is provided corresponding to the gate horizontal wirings GH1 to GH4, and when a select signal and a gate signal are given, The switch thyristor S is turned ON, and a gate signal is input to the corresponding gate horizontal wiring GH. At this time, when a light emission signal is given to the corresponding light emitting thyristor T to which the gate lateral wiring GH is connected, the light emitting thyristor T emits light.
本実施形態では、発光用サイリスタTおよびスイッチ用サイリスタSを、いずれも同じく第一半導体層(N型)、第二半導体層(P型)、第三半導体層(N型)、第四半導体層(P型)の層構成としている。これらは基板表面に分子線エピタキシャル成長および化学気相成長(CVD)法などのエピタキシャル成長法を用いて順次積層して形成することができる。その後、フォトリソグラフィを用いたパターニングとエッチングとを用いて、各発光用サイリスタTおよびスイッチ用サイリスタSが形成される。したがって、一連の製造プロセスにおいて、発光用サイリスタTおよびスイッチ用サイリスタSを同時に形成することになるので、スイッチ用サイリスタSおよび発光用サイリスタTを構成する各半導体層の層構成が同一になる。結果として、スイッチ用サイリスタSおよび発光用サイリスタTはいずれも発光機能およびスイッチ機能の両方を兼ね備えたものになるが、スイッチ用サイリスタSはそのうちスイッチ機能のみを用いる。このようにすれば同じ構造で特性が安定したものを一度に簡単に作製することができ、製造コストを低減することができる。 In the present embodiment, the light-emitting thyristor T and the switch thyristor S are all the same as the first semiconductor layer (N-type), the second semiconductor layer (P-type), the third semiconductor layer (N-type), and the fourth semiconductor layer. (P-type) layer structure. These can be sequentially stacked on the surface of the substrate using an epitaxial growth method such as molecular beam epitaxial growth and chemical vapor deposition (CVD). Thereafter, the light emitting thyristors T and the switch thyristors S are formed by patterning and etching using photolithography. Therefore, since the light emitting thyristor T and the switch thyristor S are formed simultaneously in a series of manufacturing processes, the semiconductor layers constituting the switch thyristor S and the light emitting thyristor T have the same layer configuration. As a result, both the switch thyristor S and the light emitting thyristor T have both the light emitting function and the switch function, but the switch thyristor S uses only the switch function. In this way, the same structure and stable characteristics can be easily manufactured at a time, and the manufacturing cost can be reduced.
本実施形態では、スイッチ用サイリスタSは発光信号用ボンディングパッドA間に生じたスペースに配置される。複数の発光用サイリスタTからなる1つの発光素子ブロックBに対して、発光信号を供給するためのボンディングパッドを1つ備えることとなるので、発光信号用ボンディングパッドA間にスペースを生じ、そのスペースを有効に活用してスイッチ素子などを配置することができる。各スイッチ用サイリスタSのアノードcにゲート信号を供給するためのゲート信号入力端子Gとしてのボンディングパッドも、ボンディングパッド間に生じたスペースを活用して配置される。 In this embodiment, the switch thyristor S is disposed in a space generated between the light emitting signal bonding pads A. Since one light-emitting element block B composed of a plurality of light-emitting thyristors T is provided with one bonding pad for supplying a light-emitting signal, a space is generated between the light-emitting signal bonding pads A, and the space It is possible to arrange switch elements and the like by effectively utilizing the above. Bonding pads as gate signal input terminals G for supplying a gate signal to the anode c of each switch thyristor S are also arranged utilizing the space generated between the bonding pads.
ここで、スイッチ用サイリスタSは、発光用サイリスタTと同様にスイッチングの際に発光するが、その発光は不要であり、発光による光が発光用サイリスタTに入射して発光用サイリスタTのしきい値を変動させてしまう恐れがある。図3に示す本発明の実施形態では、これを防止するために、遮光膜12を用いた例を示している。この遮光膜12としては、その発光に対して不透明な材質から成る部材で表面を覆ったものとすればよい。適当な層間絶縁膜を施した場合には、ゲート横配線GHに用いる金(Au)薄膜などが好適に用いられる。また、スイッチ用サイリスタSと発光用サイリスタTとをできるだけ遠ざけて配置することも有効であり、図6の平面図で示すように、ゲート横配線GHを跨いで一方側に発光用サイリスタT、他方側にスイッチ用サイリスタSを配置するようにしてもよい。さらに、本発明の構成によれば、発光素子を駆動させたときのスイッチ用サイリスタからの漏洩光に対しセカンドボンドのボンディング部やボンディングワイヤによる反射が少ないため、良好な画像が得られる発光装置となる。
Here, the switching thyristor S emits light at the time of switching in the same manner as the light emitting thyristor T. However, the light emission is unnecessary, and the light generated by the light emission enters the light emitting thyristor T and the threshold of the light emitting thyristor T is reached. There is a risk of changing the value. In the embodiment of the present invention shown in FIG. 3, an example using the
[光プリントヘッド・画像形成装置]
図5は、本実施形態の発光装置を使用した光プリントヘッドおよび画像形成装置の基本的な構成を示す側面図である。
[Optical print head / image forming device]
FIG. 5 is a side view showing a basic configuration of an optical print head and an image forming apparatus using the light emitting device of the present embodiment.
本実施形態に示す本発明の光プリントヘッドは、本発明に係る発光装置10が、各駆動IC(発光信号駆動IC、ゲート信号駆動IC、セレクト信号駆動部など)が設けられる回路基板に実装され、集光手段であるレンズアレイ88と、レンズアレイ88を保持する第一ホルダ89と組み合わせられて構成される。
In the optical print head of the present invention shown in this embodiment, the
レンズアレイ88は、例えば発光素子の光軸上にそれぞれ配置される複数のレンズを含み、これらのレンズを一体的に形成して構成される。また、発光装置10が実装される回路基板およびレンズアレイ88は、発光用サイリスタTの光照射方向と、レンズアレイ88のレンズの光軸方向とがほぼ一致するようにして位置合わせされて第一ホルダ89により保持される。
The lens array 88 includes, for example, a plurality of lenses respectively disposed on the optical axis of the light emitting element, and is configured by integrally forming these lenses. The circuit board on which the
本実施形態に示す画像形成装置87は、Y(イエロ)、M(マゼンタ)、C(シアン)、K(ブラック)の4色のカラー画像を形成するタンデム方式を採用した電子写真方式の画像形成装置であり、発光装置10Y,10M,10C,10Kを、感光体である感光体ドラム90への露光装置に使用している。発光装置10Y,10M,10C,10Kは、各駆動ICによって各色のカラー画像情報に基づいて駆動される。発光装置10Y,10M,10C,10Kの配列方向の長さは、紙などの記録シートの大きさに応じて、例えば200mm〜400mmに選ばれる。
The image forming apparatus 87 shown in the present embodiment is an electrophotographic image forming system that employs a tandem system that forms four color images of Y (yellow), M (magenta), C (cyan), and K (black). The
画像形成装置87は、この発光装置10Y,10M,10C,10Kのほか、大略的に、4つの感光体ドラム90Y,90M,90C,90Kと、4つの現像剤供給手段91Y,91M,91C,91Kと、転写手段である転写ベルト92と、4つのクリーナ93Y,93M,93C,93Kと、4つの帯電器94Y,94M,94C,94Kと、定着手段95と、制御手段96とを含んで構成される。
In addition to the
各発光装置10Y,10M,10C,10Kの発光用サイリスタTからの光は、レンズアレイ88を介して各感光体ドラム90Y,90M,90C,90Kに集光して照射される。
Light from the light emitting thyristors T of the
各感光体ドラム90Y,90M,90C,90Kは、例えば円筒状の基体表面に感光体層を被着して成り、その外周面には各発光装置10Y,10M,10C,10Kからの光を受けて静電潜像が形成される静電潜像形成位置が設定される。
Each of the
各感光体ドラム90Y,90M,90C,90Kの周辺部には、各静電潜像形成位置を基準として回転方向下流側に向かって順番に、露光された感光体ドラム90Y,90M,90C,90Kに現像剤を供給する現像剤供給手段91Y,91M,91C,91K、転写ベルト92、クリーナ93Y,93M,93C,93K、および帯電器94Y,94M,94C,94Kがそれぞれ配置される。感光体ドラム90に現像剤によって形成された画像を記録シートに転写する転写ベルト92は、4つの感光体ドラム90Y,90M,90C,90Kに対して共通に設けられる。
The exposed
感光体ドラム90Y,90M,90C,90Kは、第二ホルダによって保持され、この第二ホルダと第一ホルダ89とは、相対的に固定される。各感光体ドラム90Y,90M,90C,90Kの回転軸方向と、各発光装置10Y,10M,10C,10Kの配列方向Xとがほぼ一致するようにして位置合わせされる。
The
転写ベルト92によって、記録シートを搬送し、現像剤によって画像が形成された記録シートは、定着手段95に搬送される。定着手段95は、記録シートに転写された現像剤を定着させる。感光体ドラム90Y,90M,90C,90Kは、回転駆動手段によって回転される。
The recording sheet is conveyed by the
制御手段96は、光プリントヘッドの各駆動ICにクロック信号および画像情報を与えるとともに、感光体ドラム90Y,90M,90C,90Kを回転駆動する回転駆動手段、現像剤供給手段91Y,91M,91C,91K、転写ベルト92、帯電器94Y,94M,94C,94Kおよび定着手段95の各部を制御する。
The
本発明の光プリントヘッドおよび本発明の画像形成装置は、小型で良好な画質性能を有するものとなる。また、例えば発光素子の高密度化などの高機能化にも対応しやすいものであるので高精細化や高速化に有利な光プリントヘッドもしくは画像形成装置となる。 The optical print head of the present invention and the image forming apparatus of the present invention are small and have good image quality performance. Further, since it is easy to cope with higher functions such as higher density of light emitting elements, for example, an optical print head or an image forming apparatus advantageous for higher definition and higher speed is obtained.
なお、本発明は前述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良などが可能である。 The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various changes and improvements can be made without departing from the gist of the present invention.
1:回路基板
2:第一ボンディングパッド(第一電極パッド)
3:発光素子チップ
4:発光部
5:第二ボンディングパッド(第二電極パッド)
6:ボンディングワイヤ
6a:ファーストボンド
6b:セカンドボンド
7:引出電極
7a:接続箇所
8:発光素子
10:発光装置
1: Circuit board 2: First bonding pad (first electrode pad)
3: Light emitting element chip 4: Light emitting part 5: Second bonding pad (second electrode pad)
6:
Claims (7)
前記回路基板上に設けられた第一電極パッドと、
前記回路基板上に配置され、発光部を備えた発光素子チップと、
前記発光素子チップ上に設けられた四角形状の第二電極パッドと、
前記第一電極パッドに対してファーストボンドが接続され、前記第二電極パッドに対してセカンドボンドが接続されたボンディングワイヤであって、前記ファーストボンドと前記セカンドボンドとを結ぶ直線が前記第二電極パッドの対角方向に沿うように設けられたボンディングワイヤと、を具備する発光装置。 A circuit board;
A first electrode pad provided on the circuit board;
A light emitting device chip disposed on the circuit board and provided with a light emitting unit;
A quadrangular second electrode pad provided on the light emitting element chip;
A bonding wire in which a first bond is connected to the first electrode pad and a second bond is connected to the second electrode pad, and a straight line connecting the first bond and the second bond is the second electrode And a bonding wire provided along the diagonal direction of the pad.
前記ボンディングワイヤが、前記第二電極パッドの前記1つの頂点部を含まない対角方向にボンディングされる請求項1に記載の発光装置。 Provided on the light emitting element chip, electrically connecting the light emitting portion and the second electrode pad, and further comprising an extraction electrode connected to one apex portion of the second electrode pad;
The light emitting device according to claim 1, wherein the bonding wire is bonded in a diagonal direction not including the one apex portion of the second electrode pad.
前記第二電極パッドは、前記複数の発光素子の配列方向に沿って複数個配列されている請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の発光装置。 The light emitting unit is a plurality of light emitting elements arranged at a predetermined interval,
4. The light emitting device according to claim 1, wherein a plurality of the second electrode pads are arranged along an arrangement direction of the plurality of light emitting elements. 5.
隣接する2つの前記第二電極パッド間に設けられるとともに前記ゲート電極に接続され、前記発光サイリスタと同じ層構成を有するスイッチング素子をさらに具備する請求項4に記載の発光装置。 The light emitting element is a light emitting thyristor having an anode electrode, a cathode electrode and a gate electrode,
5. The light emitting device according to claim 4, further comprising a switching element provided between two adjacent second electrode pads and connected to the gate electrode and having the same layer configuration as the light emitting thyristor.
前記発光素子からの光を外部に結像させる集光手段と、を具備する光プリントヘッド。 A light emitting device according to claim 4 or 5,
A light condensing means for focusing light from the light emitting element on the outside;
前記集光手段によって結像した前記発光素子からの光により露光される感光体と、
前記感光体に現像剤を供給する現像剤供給手段と、
前記感光体上に前記現像剤によって形成された画像を記録シートに転写する転写手段と、
前記記録シートに転写された現像剤を定着させる定着手段と、を具備する画像形成装置。 An optical print head according to claim 6;
A photoconductor exposed by light from the light emitting element imaged by the light collecting means;
Developer supply means for supplying a developer to the photoreceptor;
Transfer means for transferring an image formed by the developer on the photoreceptor to a recording sheet;
An image forming apparatus comprising: a fixing unit that fixes the developer transferred to the recording sheet.
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JP2009283965A (en) * | 2009-07-23 | 2009-12-03 | Suzuka Fuji Xerox Co Ltd | Semiconductor device and wire bonding method |
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- 2008-06-26 JP JP2008166787A patent/JP2010010318A/en active Pending
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