JP2010000414A - Filter - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a filter for eliminating foreign matter contained in slurry suspended with solid matter consisting of fine particles, and providing high quality slurry having solid matter consisting of only object fine particles. <P>SOLUTION: In the filter, a filter element is fixed in a sealed filter housing 1, the filter housing is split into two chambers, a treating object slurry feed port is provided to one chamber and a treated slurry discharge port is provided to the other chamber. The sealed filter housing has a vibration device attached to an outer wall thereof, and is vibratably attached to a fixing stand 5 by a support mechanism. Flexible pipes 3a, 4a are connected to the treating object slurry feed port and treated slurry discharge port to supply the treating object slurry and discharge the treated slurry. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、新規な濾過装置に関する。詳しくは、微粒子よりなる固形分を懸濁したスラリー中に含まれる異物等を取り除き、該微粒子のみからなる固形分を有する高品位なスラリーを得るための濾過装置を提供するものである。   The present invention relates to a novel filtration device. Specifically, the present invention provides a filtration device for removing foreign matters contained in a slurry in which a solid content composed of fine particles is suspended and obtaining a high-quality slurry having a solid content composed only of the fine particles.

ここで、異物等としては、凝集粒子、系外から侵入した粗大異物、溶解不十分なためゲル状のまま残存しているゲル状物質等の粗大粒子が挙げられる。   Here, examples of the foreign matter include aggregated particles, coarse foreign matter that has entered from outside the system, and coarse particles such as a gel-like substance that remains in a gel state due to insufficient dissolution.

一般に、固形分を懸濁したスラリーを、フィルタエレメント(濾材)を通過せしめ、該流体に含有される異物を除去する操作がしばしば実施される。例えば、窒化アルミニウムの焼結体の製造においては、グリーン体を製造する際に使用される、窒化アルミニウム粉末、有機バインダー、及び、有機溶剤を含むスラリーの処理として、該スラリーを濾過装置により濾過して、異物として混入している粗大粒子を除去する操作が行われる。   Generally, an operation of passing a slurry in which a solid content is suspended through a filter element (filter medium) to remove foreign matters contained in the fluid is often performed. For example, in the manufacture of a sintered body of aluminum nitride, the slurry is filtered by a filtration device as a treatment of a slurry containing aluminum nitride powder, an organic binder, and an organic solvent, which is used when manufacturing a green body. Thus, an operation of removing coarse particles mixed as foreign matters is performed.

上記濾過操作においては、被処理流体中に分散している固形分の性状に依存するところが非常に大きい。即ち、20μm以下の微粒子を含むスラリーは濃縮され、ケークの如き高濃度になると流動性を失い、固体のように振舞うが、振動を与えると、液状化する(このような性質をチクソトロピー性と呼ぶ)。この様に濃縮物がチクソトロピー性を有するスラリーから、その中に含まれる異物等を除去するために、該スラリーを濾過すると、フィルタエレメントの濾過抵抗により濾材表面にスラリーが濃縮され、フィルタエレメント上でケークとなり、その結果、フィルタエレメント表面に上記ケークが堆積、成長して、濾過抵抗が急激に増大し、ついには濾過不能になってしまう。   The filtration operation is very dependent on the properties of the solids dispersed in the fluid to be treated. That is, a slurry containing fine particles of 20 μm or less is concentrated and loses fluidity when it becomes a high concentration such as a cake and behaves like a solid, but liquefies when given vibration (this property is called thixotropic property). ). In this way, when the slurry is filtered in order to remove foreign substances contained in the thixotropic slurry, the slurry is concentrated on the surface of the filter medium due to the filtration resistance of the filter element. As a result, the cake accumulates and grows on the surface of the filter element, and the filtration resistance rapidly increases and finally becomes unfilterable.

従来、このようなチクソトロピー性を有するスラリーを濾過するには、スラリーを希釈するか、あるいは高圧をかけて強制的に濾過を行う必要があった。   Conventionally, in order to filter a slurry having such thixotropic properties, it has been necessary to dilute the slurry or to force the filtration by applying a high pressure.

しかし、これらの手段は装置が大がかりになる上、動力費が大きく、また効率が悪いという欠点があった。また、多量の処理を一度に行うことは難しかった。更に、上記濾過の途中で、装置を解体してフィルタエレメントを清掃したり、交換したりすることが必要であり、長期間連続して濾過を行なうことができなかった。   However, these means are disadvantageous in that the apparatus is large, the power cost is high, and the efficiency is low. In addition, it was difficult to perform a large amount of processing at once. Furthermore, it is necessary to dismantle the apparatus and clean or replace the filter element during the filtration, and the filtration cannot be performed continuously for a long period of time.

近年、上記問題に対して、フィルタハウジング内でフィルタエレメントを回転させたり、被処理液を循環させたりしてフィルタエレメントの表面に固形分が堆積しないようにした濾過装置が提案されている(特許文献1、2参照)。   In recent years, in order to solve the above problems, a filtering device has been proposed in which a solid is not deposited on the surface of the filter element by rotating the filter element in the filter housing or circulating the liquid to be treated (patent). References 1 and 2).

しかしながら、上記濾過装置は、フィルタエレメントの表面や体積濾過タイプのフィルタエレメントを使用した場合はその内部で固形分が付着し、固形化してしまうと、それを除去して濾過能力を回復することができず、前記濾過装置と同様、装置を解体してフィルタエレメントを清掃したり、交換したりすることが必要であった。さらに被処理液を循環させたり、フィルタを回転させたりする動力が大きく、かつ被処理液の性状によっては、ポンプや回転軸のシール部が磨耗するため精度の高い特殊な設計を必要とし、それでも磨耗を最少に抑えることが難しいため、セラミックスを含有するスラリーを濾過して高品位のスラリーを得る用途には不向きであった。   However, when the above filtration device uses a filter element surface or a volume filtration type filter element, solid content adheres to the inside of the filter element, and once solidified, it can be removed to recover the filtration capacity. In the same manner as the filtration device, it was necessary to dismantle the device and clean or replace the filter element. In addition, the power to circulate the liquid to be processed and the filter to rotate is large, and depending on the properties of the liquid to be processed, the seal part of the pump and rotary shaft wears, so a special design with high accuracy is required. Since it is difficult to minimize wear, it is unsuitable for use in obtaining a high-quality slurry by filtering a slurry containing ceramics.

一方、濾過室に超音波照射装置を設け、供給される被処理スラリーに超音波を照射することで、粒子の凝集を防ぎ、また、フィルタエレメント表面に堆積された固体として挙動するスラリーを再分散させて流動化し、濾過を行う超音波濾過装置が開示されている(特許文献3参照)。しかしながら、本装置は高価となるばかりでなくロット切り替え時の洗浄作業に多くの労力を要する。しかも使用される溶媒が危険物の場合実質的に使用困難であった。   On the other hand, an ultrasonic irradiation device is installed in the filtration chamber to irradiate the supplied slurry with ultrasonic waves, thereby preventing particle aggregation and redispersing the slurry that behaves as a solid deposited on the filter element surface. An ultrasonic filtration device that fluidizes and performs filtration is disclosed (see Patent Document 3). However, this apparatus is not only expensive, but also requires a lot of labor for the cleaning work when changing lots. In addition, when the solvent used is dangerous, it is substantially difficult to use.

上記濾過装置は、その濃縮物がチクソトロピー性を示すスラリーの濾過においても、面濾過タイプのフィルタエレメントを使用する場合では、目詰まりを生じることなく、長期間安定して、連続的に濾過を行なうことができる。しかしながら体積濾過タイプのフィルタエレメントを使用した場合、フィルタエレメント内部で固化する処理済スラリーに対しては超音波が届かないため十分な流動化を確保することが困難である。   The above filtration device performs continuous and stable filtration for a long period of time without causing clogging in the case of using a surface filtration type filter element even in the filtration of a slurry whose concentrate has thixotropy. be able to. However, when a volume filtration type filter element is used, it is difficult to ensure sufficient fluidization because ultrasonic waves do not reach the treated slurry solidified inside the filter element.

また、フィルタエレメントの目詰まりを防止するため、フィルタハウジングの側壁を貫通する軸によってフィルタハウジングと振動装置とを連結させ、該フィルタエレメントを直接振動させることによって濾材表面へのケークの付着、成長を防ぐ方式も考えられる。   In addition, in order to prevent clogging of the filter element, the filter housing and the vibration device are connected by a shaft passing through the side wall of the filter housing, and the filter element is directly vibrated to thereby prevent the cake from adhering and growing on the filter medium surface. A prevention method is also conceivable.

しかし、上記のように、軸を介してフィルタエレメントを振動する構造を採用した場合、かかる濾過装置は構造的にフィルタハウジングの壁を軸が貫通する箇所に摺動部が存在するため、摩耗性の高い微粒子を含むスラリーの濾過では、かかる摺動部が摩耗し、摩耗粉が濾過処理済みのスラリー中に混入してこれらの品位を低下させてしまうという問題を有する。   However, when a structure in which the filter element is vibrated through the shaft as described above is employed, such a filter device has a sliding portion where the shaft penetrates the wall of the filter housing structurally. Filtration of a slurry containing fine particles having a high particle size has a problem that the sliding portion is worn, and wear powder is mixed in the slurry that has been subjected to the filtration treatment to deteriorate the quality of the slurry.

そのため、このような濾過装置は、廃液処理や、回収された濾液の純度を要求しない用途には使用できるが、前記窒化アルミニウムのグリーン体製造用のスラリーの如き、不純物の混入を極度に嫌うスラリーの精製には使用できないのが現状であった。   Therefore, such a filtration device can be used for waste liquid treatment or for applications that do not require the purity of the collected filtrate, but such a slurry that is extremely hated to be contaminated with impurities, such as a slurry for producing a green body of aluminum nitride. The present situation is that it cannot be used for the purification of sucrose.

特開平6−91201号公報JP-A-6-91201 特許第3758371号公報Japanese Patent No. 3758371 特開2006−247484号公報JP 2006-247484 A

従って、本発明の目的は、前記スラリーの濾過を行なう濾過装置において、フィルタエレメントにおける目詰まりを防止しながら、安定して濾過を行なうことができると共に、得られる処理済みスラリーの汚染を確実に防止することが可能な簡便な濾過装置を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to stably perform filtration while preventing clogging in the filter element in the filtration apparatus for filtering the slurry, and reliably prevent contamination of the obtained treated slurry. An object of the present invention is to provide a simple filtration device that can be used.

本発明者らは、上記目的を解決すべく鋭意研究を重ねた。その結果、密閉フィルタハウジング内に、フィルタエレメントを固定して設け、振動装置により密閉フィルタハウジングを振動させることにより、該振動をその内部に固定したフィルタエレメントに伝播させるようにすれば、磨耗の原因となる摺動部や超音波振動子を設けることなく、フィルタエレメントを振動させ、フィルタエレメントの濾過面にチクソトロピー性を有する固形分が堆積してケークを形成したとしても、これを常時再分散させることができ、更に体積濾過タイプの厚みのあるフィルタエレメントに対しても振動によりエレメント内部の濾液が流動性を維持するので閉塞を起こさず長期間安定した濾過を行なうことができるという知見を得た。また、構造が単純になるためロットの切り替え時の洗浄が容易となる。さらに、上記密閉フィルタハウジングを効果的に、且つ、安定して振動させるためには、密閉フィルタハウジングを単に載置するのではなく、支持機構によって振動可能な状態で固定台に取り付けること、更には、密閉フィルタハウジングに接続する配管(パイプ)の少なくとも一部をフレキシブルとすることが必要であることを見出し、本発明を完成するに至った。
即ち、本発明は、密閉フィルタハウジング内にフィルタエレメントを固定して、該密閉フィルタハウジング内を二室に分割し、一方の室には被処理スラリー供給口を、他方の室には、処理済スラリー排出口を設けた濾過装置において、前記密閉フィルタハウジングは、その外壁に振動装置が付設され、且つ、支持機構によって振動可能な状態で固定台に取り付けられ、更に、前記被処理スラリー供給口と処理済スラリー排出口には、フレキシブルパイプを接続して前記被処理スラリーの供給及び処理済スラリーの排出を行なうようにしたことを特徴とする濾過装置である。
The inventors of the present invention have made extensive studies to solve the above-mentioned object. As a result, if the filter element is fixedly provided in the hermetic filter housing and the hermetic filter housing is vibrated by the vibration device so that the vibration is propagated to the filter element fixed therein, the cause of wear is caused. Even if a filter element is vibrated without forming a sliding part or an ultrasonic vibrator, and a solid content having thixotropy accumulates on the filtration surface of the filter element to form a cake, it is always redispersed. In addition, even for volume filter type thick filter elements, it was found that the filtrate inside the element maintained fluidity by vibration, so that stable filtration could be performed for a long time without clogging. . In addition, since the structure is simple, cleaning at the time of lot switching becomes easy. Furthermore, in order to effectively and stably vibrate the hermetic filter housing, the hermetic filter housing is not simply placed, but is attached to the fixed base in a state where it can be vibrated by a support mechanism. The present inventors have found that it is necessary to make at least a part of piping (pipe) connected to the hermetic filter housing flexible, and have completed the present invention.
That is, the present invention fixes the filter element in the hermetic filter housing, divides the inside of the hermetic filter housing into two chambers, the treated slurry supply port in one chamber, and the treated chamber in the other chamber. In the filtration device provided with the slurry discharge port, the hermetic filter housing has a vibration device attached to an outer wall thereof, and is attached to a fixed base in a state that can be vibrated by a support mechanism. The filtration device is characterized in that a flexible pipe is connected to the treated slurry discharge port to supply the slurry to be treated and discharge the treated slurry.

本発明の濾過装置によれば、その濃縮物がチクソトロピー性を示すスラリーの濾過において、密閉フィルタハウジングを振動させ、その振動をその内部に固定したフィルタエレメントに効率的に伝播させることができ、これにより、フィルタエレメント表面にスラリーが濃縮されてチクソトロピー性を有する固形分が堆積してケークを形成しても、連続してかかるケーキを流動化させて、濾過を継続することができる。   According to the filtration device of the present invention, in the filtration of slurry in which the concentrate exhibits thixotropy, the hermetic filter housing can be vibrated, and the vibration can be efficiently propagated to the filter element fixed therein. Thus, even if the slurry is concentrated on the surface of the filter element and the solid content having thixotropy is deposited to form a cake, the cake can be continuously fluidized and the filtration can be continued.

従って、前記固形分による目詰まりを防止しながら、長期間安定して濾過を行なうことができる。また、上記濾過装置内外での摺動部が存在しないため、かかる摺動部からの汚染を確実に防止することができ、高品位な処理済スラリーを得ることができる。   Therefore, filtration can be performed stably for a long time while preventing clogging due to the solid content. Further, since there is no sliding portion inside and outside the filtration device, contamination from the sliding portion can be surely prevented, and a high-quality treated slurry can be obtained.

上述のように、フィルタエレメントを振動させるために、密閉フィルタハウジング全体を振動させるという技術思想は、本発明によって始めて提案されたものであり、これにより、濃縮によりチクソトロピー性を示すスラリーの連続濾過と高品位化を同時に達成することができたといえる。   As described above, in order to vibrate the filter element, the technical idea of vibrating the entire hermetic filter housing was proposed for the first time by the present invention, which enables continuous filtration of slurry exhibiting thixotropy by concentration. It can be said that high quality was achieved at the same time.

本発明の濾過装置の対象となるスラリーは、特に制限されないが、粘度が5センチポイズ以上、5000センチポイズ以下のスラリーである。好ましくは3000センチポイズ以下のスラリーである。特に、本発明の濾過装置による効果が顕著に現れるスラリーは、その濃縮物がチクソトロピー性を示し、しかも、処理済のスラリー中への装置から不純物が混入するのを嫌うような用途に対して、高品位スラリーを得るために好適である。   Although the slurry used as the object of the filtration apparatus of this invention is not restrict | limited in particular, A viscosity is 5 centipoise or more and 5000 centipoise or less. Preferably, the slurry is 3000 centipoise or less. In particular, the slurry in which the effect of the filtration device of the present invention is remarkably exhibited is for a use in which the concentrate exhibits thixotropy and dislikes that impurities are mixed from the device into the treated slurry. It is suitable for obtaining a high quality slurry.

具体的には、窒化アルミニウムの焼結体の製造において、グリーン体を製造する際に使用される窒化アルミニウムスラリーである。上記窒化アルミニウムスラリーに、濾過装置より金属微粉などの不純物が混入した場合、これをグリーン体に成形し、脱脂、焼成して得られる窒化アルミニウム焼結体の外観に不具合が生じるばかりでなく、その性能、例えば、熱伝導率、絶縁性を低下させるという問題をも生じる。   Specifically, it is an aluminum nitride slurry used when producing a green body in the production of an aluminum nitride sintered body. When impurities such as metal fine powder are mixed into the aluminum nitride slurry from the filtration device, this is not only defective in the appearance of the aluminum nitride sintered body obtained by molding it into a green body, degreasing and firing, There also arises a problem that performance, for example, thermal conductivity and insulation are lowered.

また、他に好適な被処理スラリーとしては、各種セラミックス粉末を含んだスラリー例えばアルミナ、シリカ、チタニア、ジルコニア、窒化珪素、炭化珪素などを含んだスラリーをあげることができる。また、白金、金、パラジウム、ロジウムなどの貴金属、ストロンチウム、タングステン、ビスマス、ネオジウム、サマリウムなどのレアメタルの回収に使用することができる。かかる濾過において、濾過装置より金属微粉などの不純物が混入した場合、焼結性の変化に伴う品質の低下の他、異物として混入する金属による抵抗値、誘電率、絶縁性などの電気物性や、外観などの品質の低下という致命的な問題が起こる。   Other suitable slurry to be treated includes a slurry containing various ceramic powders such as a slurry containing alumina, silica, titania, zirconia, silicon nitride, silicon carbide and the like. Further, it can be used for recovering precious metals such as platinum, gold, palladium and rhodium, and rare metals such as strontium, tungsten, bismuth, neodymium and samarium. In such filtration, when impurities such as metal fine powder are mixed from the filtration device, in addition to deterioration in quality due to change in sinterability, electrical physical properties such as resistance value, dielectric constant, insulation due to metal mixed as foreign matter, A fatal problem of quality deterioration such as appearance occurs.

以下、添付図面を参照しながら、本発明の濾過装置を詳細に説明するが、本発明は、これらの添付図面に限定されるものではない。   Hereinafter, although the filtration apparatus of this invention is demonstrated in detail, referring an accompanying drawing, this invention is not limited to these accompanying drawings.

図1は、本発明の濾過装置の代表的な態様を示す概略図である。また、図2は、図1で示した密閉フィルタハウジングの内部の状態の一態様を示す断面図である。   FIG. 1 is a schematic view showing a typical embodiment of the filtration device of the present invention. FIG. 2 is a cross-sectional view showing an aspect of the internal state of the hermetic filter housing shown in FIG.

上記図1及び図2に示すように、本発明の濾過装置は、密閉フィルタハウジング1内にフィルタエレメント11を固定して、該密閉フィルタハウジング内を二室に分割し、一方の室には被処理スラリー供給口3を、他方の室には、処理済スラリー排出口4を設けた濾過装置において、前記密閉フィルタハウジング1は、その外壁に振動装置2が付設され、且つ、支持機構によって振動可能な状態で固定台5に取り付けられ、更に、前記被処理スラリー供給口3と処理済スラリー排出口4には、フレキシブルパイプ3a、4aを接続して前記被処理スラリーの供給及び処理済スラリーの排出を行なうようにしたことを特徴とする濾過装置である。   As shown in FIG. 1 and FIG. 2, the filtration device of the present invention fixes the filter element 11 in the hermetic filter housing 1 and divides the hermetic filter housing into two chambers. In the filtration apparatus provided with the treated slurry supply port 3 and the treated slurry discharge port 4 in the other chamber, the hermetic filter housing 1 is provided with a vibration device 2 on its outer wall and can be vibrated by a support mechanism. In addition, a flexible pipe 3a, 4a is connected to the treated slurry supply port 3 and the treated slurry discharge port 4 to supply the treated slurry and discharge the treated slurry. It is the filtration apparatus characterized by performing.

本発明の濾過装置において、密閉フィルタハウジング1は、振動装置2による振動により、スラリーが外部に漏れない程度の密閉性を有するものであれば良く、その形状も、図に示すような(円)筒状に限らず、球状、多角体状などの形状とすることもできる。また、密閉フィルタハウジングの材質としては、一般的に使用されているステンレスや鉄等の材質が好適に使用できる。腐食性の強いスラリーに対してグラスライニングやフッ素樹脂等の有機材料をコーティングした材料も好適に使用可能であり、また、更に耐磨耗性を向上させるために各種セラミックス等をコーティングした材料を使用することもできる。   In the filtration device of the present invention, the hermetic filter housing 1 may be any one as long as it has a sealing property such that slurry does not leak to the outside due to vibration by the vibration device 2, and the shape thereof is also shown in the figure (circle). The shape is not limited to a cylindrical shape, and may be a spherical shape or a polygonal shape. Moreover, as a material of the hermetic filter housing, generally used materials such as stainless steel and iron can be preferably used. Materials that are coated with organic materials such as glass lining and fluororesin on highly corrosive slurries can also be used suitably, and materials that are coated with various ceramics are used to further improve wear resistance. You can also

また、上記密閉フィルタハウジング1に設けられる被処理スラリー供給口3と処理済スラリー排出口4は、濾過が可能な限り、任意の位置に設けることができる。   Moreover, the to-be-processed slurry supply port 3 and the processed slurry discharge port 4 provided in the said airtight filter housing 1 can be provided in arbitrary positions, as long as filtration is possible.

更に、上記密閉フィルタハウジング1の内部を二分割するフィルタエレメント11は、公知のものが特に制限無く使用される。代表的なフィルタエレメントの素材を例示すれば、ステンレス、紙、ポリエチレン、ポリプロピレン、ナイロン、ビスコースレーヨン、セラミックスなどで、これらをメッシュ状に編んだものや、メンブレンフィルタに成形したものなどの面濾過タイプ、糸巻状に成形したものや不織布にして巻き込んだもの、焼結金属に加工されたものなどの体積濾過タイプなど一般に市販されているフィルタエレメントが使用可能であり、濾過原液、及び除去すべき異物の性質を考慮して適切なものを選定すればよい。   Further, a known filter element 11 that divides the inside of the hermetic filter housing 1 into two is used without any particular limitation. Examples of typical filter element materials include stainless steel, paper, polyethylene, polypropylene, nylon, viscose rayon, ceramics, etc., which are knitted into a mesh shape, or surface filtered such as those formed into a membrane filter. Commonly available filter elements such as type, volume-filtered types such as those formed into a pincushion shape, wound into a non-woven fabric, or processed into a sintered metal can be used. An appropriate one may be selected in consideration of the nature of the foreign matter.

また、その方式も、体積濾過タイプ、例えば、図2に示す筒状タイプの他、平面タイプなど特に制限されないが、分割された室の気密性やメンテナンスの容易性、更には、強度を考慮すれば、上記体積濾過タイプのものが好ましい。かかる体積濾過タイプのフィルタエレメントは、ゲル状の異物も除去できるため、例えば、セラミックスの成形工程での未溶解のバインダーや、粗大セラミックス微粒子の除去等には特に都合がよい。   Also, the method is not particularly limited, such as a volume filtration type, for example, a cylindrical type as shown in FIG. 2 or a plane type, but the airtightness of the divided chamber, ease of maintenance, and strength are taken into consideration. For example, the volume filtration type is preferable. Such a volume filtration type filter element can remove gel-like foreign matters, and is particularly convenient for removal of undissolved binders and coarse ceramic fine particles in a ceramic forming step, for example.

更に、フィルタエレメントの目開きは、該スラリー中の目的微粒子が容易に通過でき、異物が濾過できる大きさのものを適当に選べばよい。例えば、前記窒化アルミニウムスラリーのようなセラミックス微粒子を含有するスラリーの濾過では、一般に40ミクロン程度以上の粒子を粗粒として除去できるよう、その目開きを調整すればよい。   Further, the opening of the filter element may be appropriately selected so that the target fine particles in the slurry can easily pass through and foreign substances can be filtered. For example, in the filtration of a slurry containing ceramic fine particles such as the aluminum nitride slurry, the opening may be adjusted so that particles of about 40 microns or more are generally removed as coarse particles.

尚、本発明における濾過装置では閉塞がなく濾過効率がよいため、従来使用されているフィルタエレメントより目開を細かくすることができるので、より高品位のスラリーを回収したり、より短時間で濾過処理をしたりなどすることができる。   In addition, since the filtration device in the present invention has no clogging and good filtration efficiency, it can be finer than conventional filter elements, so that a higher quality slurry can be collected or filtered in a shorter time. It can be processed.

上記フィルタエレメント11は、密閉フィルタハウジング1に固定して設けることが、密閉フィルタハウジング1に与えられる振動を確実にフィルタエレメントに伝播させるために必要である。また、この場合、フィルタエレメント11は、密閉フィルタハウジングと共に振動するよう、上記密閉フィルタハウジングに固定されることが、該固定箇所より、全濾過面に振動を伝播させるために好ましい。例えば、フィルタエレメント11は、密閉フィルタハウジングと剛体よりなる固定部材によって、確実に一体化される。   The filter element 11 is required to be fixed to the hermetic filter housing 1 in order to reliably propagate the vibration applied to the hermetic filter housing 1 to the filter element. Further, in this case, it is preferable that the filter element 11 is fixed to the hermetic filter housing so as to vibrate together with the hermetic filter housing in order to propagate the vibration from the fixing portion to the entire filtration surface. For example, the filter element 11 is reliably integrated by a hermetic filter housing and a rigid fixing member.

また、前記フィルタエレメントの素材そのものが剛性を有するもの、具体的には、前記体積濾過タイプのフィルタエレメントが好適である。勿論、面濾過タイプの素材においても、テンションを掛けて撓みを無くした状態で使用したり、剛性を有する型枠に支持させて体積濾過タイプのフィルタエレメントとして使用したりすることができる。   In addition, the filter element material itself has rigidity, specifically, the volume filtration type filter element is suitable. Of course, even a surface filtration type material can be used in a state in which bending is eliminated by applying tension, or it can be used as a volume filtration type filter element by being supported by a rigid formwork.

本発明の濾過装置において、前記振動装置2としては、公知の振動装置が特に制限無く使用される。例えば、往復運動型、回転運動型等などが挙げられる。   In the filtration device of the present invention, a known vibration device is used as the vibration device 2 without any particular limitation. For example, a reciprocating motion type, a rotational motion type, etc. are mentioned.

上記振動装置2は、密閉フィルタハウジング1の全体を振動させるように、密閉フィルタハウジングの外壁に直接取り付けられる。上記取り付けは、例えば、固定具による取り付けの他、溶接による取り付けなど一般的な取付け方法が適宜採用される。また、取り付け位置は、密閉フィルタハウジング内にスラリーが満液になったときの重心位置に振動を与える位置に取り付けることが好ましい。また、図には示していないが、必要により、バランスウェイトを取り付けても良い。   The vibration device 2 is directly attached to the outer wall of the hermetic filter housing so as to vibrate the entire hermetic filter housing 1. For the attachment, for example, a general attachment method such as attachment by welding as well as attachment by a fixture is appropriately adopted. Further, the attachment position is preferably attached to a position that gives vibration to the position of the center of gravity when the slurry is full in the sealed filter housing. Although not shown in the figure, a balance weight may be attached if necessary.

また、スラリーの成分として有機溶媒を含む場合、これが危険物であるので、電動式よりも、エアー駆動の振動体を使うことが、安全性の面で好適である。   In addition, when an organic solvent is included as a component of the slurry, it is a dangerous substance, so it is preferable in terms of safety to use an air-driven vibrating body rather than an electric type.

前記振動装置による振動強度は、濾過すべきスラリーの性状、及び濾材の濾過抵抗を勘案し、最適な振動強度を与えるものを選定すれば良い。一般に、振動数は、100〜3000回/分、振幅は、0.5〜5mmの範囲で選択することが好ましい。   The vibration strength by the vibration device may be selected in consideration of the properties of the slurry to be filtered and the filtration resistance of the filter medium, giving the optimum vibration strength. In general, it is preferable to select a frequency of 100 to 3000 times / minute and an amplitude of 0.5 to 5 mm.

本発明の濾過装置における濾過の原理は、振動力によりチクソトロピー性を示すスラリーが流体として挙動することにより濾材表面上への濾滓の成長を絶つことにより効果的な濾過が可能となっていると推定される。また、フィルタエレメントとして円筒状のものを使用した場合には、振動による濾過原液の濾過ハウジング内での旋回運動によるフィルタエレメント表面の清掃効果も働くものと推定される。   The principle of filtration in the filtration device of the present invention is that the slurry showing thixotropy due to the vibration force behaves as a fluid, so that effective filtration is possible by stopping the growth of the filter cake on the filter medium surface. Presumed. In addition, when a cylindrical element is used as the filter element, it is presumed that the effect of cleaning the surface of the filter element due to the swirling motion of the filtered stock solution in the filter housing due to vibration also works.

本発明の濾過装置においては、密閉フィルタハウジング1の支持機構は、該密閉フィルタハウジングを振動可能な状態で固定台に取り付けることが、振動装置2による振動をフィルタエレメント11に伝播させるために必要である。   In the filtration device of the present invention, it is necessary for the support mechanism of the hermetic filter housing 1 to attach the hermetic filter housing to the fixed base in a state in which the hermetic filter housing can vibrate in order to propagate the vibration by the vibration device 2 to the filter element 11. is there.

即ち、従来の濾過装置は、固定台(地面を含む)に直接固定されるタイプであり、このタイプの場合、前記振動装置2の振動により密閉フィルタハウジングを振動させることができず、フィルタエレメント11を効率よく振動させることができない。   That is, the conventional filtration device is of a type that is directly fixed to a fixed base (including the ground). In this type, the hermetic filter housing cannot be vibrated by the vibration of the vibration device 2, and the filter element 11 Cannot vibrate efficiently.

上記支持機構は、密閉フィルタハウジング1を固定台5に、直接固定しない構造、即ち、前記振動装置によって振動が可能な状態で支持されている構造であれば特に制限されない。代表的な態様を例示すれば、図1に示すように、密閉ハウジング1を固定台5に懸吊する構造、図2、3(密閉フィルタハウジングの支持機構示すものであり、フレキシブルパイプ等は省略されている。)に示すように、密閉フィルタハウジング1を固定台5に弾性体を介して挟持する構造が挙げられる。   The support mechanism is not particularly limited as long as it is a structure in which the hermetic filter housing 1 is not directly fixed to the fixed base 5, that is, a structure that is supported in a state where vibration can be performed by the vibration device. As an example of a typical embodiment, as shown in FIG. 1, a structure in which a sealed housing 1 is suspended from a fixed base 5, FIGS. 2 and 3 (showing a support mechanism for a sealed filter housing, and flexible pipes are omitted. As shown in FIG. 5, there is a structure in which the hermetic filter housing 1 is sandwiched between the fixed base 5 via an elastic body.

図1の態様を更に詳細に説明すれば、密閉フィルタハウジング1は、その側壁にリブ6を設け、途中にスプリングシリンダ7を介した支持棒により該リブ6と固定台とを連結することによって、固定台5に懸吊されている。また、図3において、密閉フィルタハウジング1は、弾性体8を介して、固定台5に、横方向より(図3)、上下方向より(図4)、挟持されている。ここで、弾性体としては、ゴム、スポンジ等が一般的である。また、図3、4において、弾性体8は、加圧具9により密閉フィルタハウジングに押し当てられる。   Referring to FIG. 1 in more detail, the hermetic filter housing 1 is provided with ribs 6 on the side walls thereof, and by connecting the ribs 6 and the fixing base with support rods via spring cylinders 7 in the middle. It is suspended from the fixed base 5. In FIG. 3, the hermetic filter housing 1 is sandwiched by the fixing base 5 via the elastic body 8 from the lateral direction (FIG. 3) and from the vertical direction (FIG. 4). Here, as an elastic body, rubber | gum, sponge, etc. are common. 3 and 4, the elastic body 8 is pressed against the hermetic filter housing by the pressurizing tool 9.

この振動フィルタを用いて濾過実験を実施した結果を次に示す。なお、粘度は東京計器製のDVL−B型回転粘度計を用いて測定された。スラリーの粘度に応じて、100センチポイズ以下のスラリーにはNo.2ローターを、100から10,000センチポイズの範囲のスラリーにはNo.3ローターを用いて、20±1℃の温度下で、毎分12回転させ、30秒後の指示値を読み、そのスラリーの粘度とした。   The results of conducting a filtration experiment using this vibration filter are shown below. The viscosity was measured using a DVL-B type rotational viscometer manufactured by Tokyo Keiki. Depending on the viscosity of the slurry, no more than 100 centipoise slurries. No. 2 rotor for slurry in the range of 100 to 10,000 centipoise. Using 3 rotors, rotating at 12 revolutions per minute at a temperature of 20 ± 1 ° C., reading the indicated value after 30 seconds, and determining the viscosity of the slurry.

実施例1
アルミナ還元窒化法で作られた窒化アルミニウム粉末100部に焼結助剤としてイットリア5部、結合剤、分散剤等としてポリメタクリル酸等を計5部、溶剤としてトルエン、及びエタノール計120部をナイロン製のボールミル中で、ナイロンで被覆された鋼球を用いて約一晩混合し、窒化アルミニウムスラリー約200kgを得た。このスラリーの粘度は約40センチポイズであった。
Example 1
100 parts of aluminum nitride powder made by alumina reduction nitriding method, 5 parts of yttria as sintering aid, 5 parts of polymethacrylic acid etc. as binder, dispersant etc., toluene as solvent and 120 parts of ethanol meter in nylon About 200 kg of aluminum nitride slurry was obtained by mixing overnight in a ball mill made of nylon using steel balls coated with nylon. The slurry had a viscosity of about 40 centipoise.

これを外径60ミリ、長さ250ミリ、濾過精度50ミクロンのビスコースレーヨン製の糸巻タイプのフィルタエレメントを内蔵した本スラリー精製装置で、エアー駆動のポンプ(最高吐出圧5Kg/cmG)で圧送し、精製スラリーを得た。このとき精製に要する時間は約7分であり、差圧(本スラリー精製装置の一次側の静圧から二次側の静圧を引いた値)は精製終了まで約2Kg/cmGで安定していた。 This slurry refiner incorporates a pincushion type filter element made of viscose rayon with an outer diameter of 60 mm, a length of 250 mm, and a filtration accuracy of 50 microns. It is an air-driven pump (maximum discharge pressure 5 kg / cm 2 G) And purified slurry was obtained. The time required for purification is about 7 minutes, and the differential pressure (the value obtained by subtracting the static pressure on the secondary side from the static pressure on the primary side of the slurry purification apparatus) is stable at about 2 Kg / cm 2 G until the end of purification. Was.

上記スラリー精製装置には振動源としてエクセン製の空気式ボールバイブレータを取り付け、約2Kg/cmGの空気圧力、片振幅約1.5mmで運転した。また、精製後のスラリーから噴霧造粒法により窒化アルミニウム顆粒をつくり、さらに乾式プレス法により窒化アルミニウム成形体を作成し、ついで脱脂、焼結し、焼結体の表面を研磨後、十分に経験を積んだ検査員により、目視にて表面の小穴、異物の欠陥数を数えたところ1×10−4個/cm以下であった。 The slurry refiner was equipped with an Exen pneumatic ball vibrator as a vibration source and operated at an air pressure of about 2 Kg / cm 2 G and a single amplitude of about 1.5 mm. In addition, aluminum nitride granules are made from the refined slurry by spray granulation, and then an aluminum nitride molded body is made by dry press, then degreased and sintered, and the surface of the sintered body is polished and fully experienced. When the number of small holes on the surface and the number of defects of foreign matters were counted visually by an inspector loaded with the above, it was 1 × 10 −4 pieces / cm 2 or less.

また、同様のスラリーをさらに数回製造し、本スラリー精製装置を用いて、同じ条件で繰り返し濾過をおこなったが、フィルタエレメントが閉塞し、精製不能になることはなかった。さらに、焼結体表面の目視検査の結果もほぼ同等であった。   Further, the same slurry was further produced several times, and filtration was repeated under the same conditions using this slurry purification apparatus. However, the filter element was not blocked and could not be purified. Furthermore, the result of visual inspection of the sintered body surface was almost the same.

比較例1
実施例1に於いて該スラリー精製装置のバイブレーターを作動させない以外は実施例1と同じ条件で濾過を行ったところ、濾過開始直後にフィルタが閉塞し、濾過は全く不可能であった。
Comparative Example 1
When filtration was performed under the same conditions as in Example 1 except that the vibrator of the slurry purification apparatus was not operated in Example 1, the filter was blocked immediately after the start of filtration, and filtration was impossible at all.

比較例2
実施例1と同じ組成を持つスラリーを外径60ミリ、長さ500ミリ、目開き40ミクロンのステンレスメッシュのフィルタエレメントを内蔵したカートリッジフィルタで濾過した。濾過に要する時間は約7分であった。また、濾過圧(差圧)は、濾過開始直後で1Kg/cmGであったが、濾過終了時には3Kg/cmGまで上昇した。
Comparative Example 2
The slurry having the same composition as in Example 1 was filtered through a cartridge filter having a stainless mesh filter element having an outer diameter of 60 mm, a length of 500 mm, and an aperture of 40 microns. The time required for filtration was about 7 minutes. The filtration pressure (differential pressure) was 1 kg / cm 2 G immediately after the start of filtration, but increased to 3 kg / cm 2 G at the end of filtration.

実施例1と同様に焼結体を作成し、目視にて表面の小穴、異物の欠陥数を数えたところ、欠陥数は2×10−4個/cmであった。また、欠陥を更に詳細に観察した結果、焼結体中に10ミクロン以上の直径かつ数10ミクロンから100ミクロン以上と推定される空洞が観察され、製造工程の洗浄時に使用するウェスの糸くずが原因と思われた。また蛍光X線分析装置により、金属異物の混入が原因である欠陥も発見された。 A sintered body was prepared in the same manner as in Example 1, and the number of defects in the surface small holes and foreign matters was counted visually. As a result, the number of defects was 2 × 10 −4 pieces / cm 2 . In addition, as a result of observing the defects in more detail, a cavity of a diameter of 10 microns or more and an estimated number of tens to 100 microns or more was observed in the sintered body. It seemed to be the cause. In addition, a defect caused by contamination of metal foreign matter was also found by an X-ray fluorescence analyzer.

また、同様のスラリーをさらに数回製造し、同じカートリッジフィルタでの濾過実験を実施したところ、フィルタが閉塞し濾過不能になることがしばしばあった。   In addition, when the same slurry was produced several times and a filtration experiment with the same cartridge filter was conducted, the filter was often clogged and could not be filtered.

実施例2
実施例1と同じ組成のスラリーに、異物として45ミクロンふるい上を250ppm、及び350ppm加えたスラリーを作成し、実施例1と同じスラリー濾過装置で、同じ運転条件で濾過したところ、濾過圧(差圧)が3Kg/cmG以上にまで上昇し、濾過時間は12〜15分を要したが濾過は可能であった。また、実施例1と同様に焼結体を作成し、目視にて表面の小穴、異物の欠陥数を数えたところ、欠陥数は実施例1と同じく1×10−4個/cm以下であった。欠陥には45ミクロン篩上(粗大粒子)や金属異物が原因と推定されるものはなかった。
Example 2
A slurry was prepared by adding 250 ppm and 350 ppm on a 45-micron sieve as a foreign substance to a slurry having the same composition as in Example 1, and filtered under the same operating conditions using the same slurry filtration apparatus as in Example 1. Pressure) increased to 3 Kg / cm 2 G or more and filtration time was 12 to 15 minutes, but filtration was possible. Moreover, when the sintered compact was created similarly to Example 1 and the number of defects of the surface small hole and a foreign material was counted visually, the number of defects was 1 * 10 < -4 > piece / cm < 2 > or less similarly to Example 1. there were. None of the defects were presumed to be due to a 45 micron sieve (coarse particles) or metal foreign matter.

実施例3
アルミナ還元窒化法で作られた窒化アルミニウム粉末100部に焼結助剤としてイットリア5部、結合剤、分散剤等としてポリビニルブチラール、ジブチルブチラール等を計13部、溶剤としてトルエン、及びエタノール計120部をナイロン製のボールミル中で、ナイロンで被覆された鋼球を用いて約一晩混合し、シート成形用の窒化アルミニウムスラリー約200kgを得た。このスラリーを、実施例1と同じ外径60ミリ、長さ250ミリ、濾過精度50ミクロンのビスコースレーヨン製の糸巻タイプのフィルタエレメントを内蔵したスラリー精製装置を用いて、実施例1と同じ運転条件で濾過した。スラリーの粘度は約300センチポイズで、濾過には約12分を要した。また濾過圧力(差圧)は濾過開始から終了にかけて上昇傾向はあったが約1Kg/cmG以下で安定していた。シート成形を行い、2インチ×2インチのサイズの焼結体を作成し、熟練検査員により欠陥の目視検査を行ったところ、不良率は0.3%以下であった。
Example 3
100 parts of aluminum nitride powder made by alumina reduction nitriding method, 5 parts of yttria as sintering aid, 13 parts of polyvinyl butyral, dibutyl butyral etc. as binder, dispersant etc., toluene as solvent and 120 parts of ethanol In a nylon ball mill, the steel balls coated with nylon were mixed for about overnight to obtain about 200 kg of an aluminum nitride slurry for forming a sheet. This slurry was operated in the same manner as in Example 1 by using the same slurry purification apparatus incorporating a pincushion type filter element made of viscose rayon having an outer diameter of 60 mm, a length of 250 mm and a filtration accuracy of 50 microns as in Example 1. Filtered under conditions. The slurry had a viscosity of about 300 centipoise and filtration took about 12 minutes. Further, the filtration pressure (differential pressure) tended to increase from the start to the end of filtration, but was stable at about 1 Kg / cm 2 G or less. Sheet molding was performed to prepare a sintered body having a size of 2 inches × 2 inches, and visual inspection for defects was performed by a skilled inspector. As a result, the defect rate was 0.3% or less.

また、同様のスラリーをさらに数回製造し、同じスラリー精製装置を使って、実施例1と同じ運転条件で濾過実験を繰り返したところ、スラリーの粘度は200から500センチポイズを示した。また、フィルタエレメントが閉塞し、精製不能になることはなかった。さらに、焼結体の不良率は0.3%以下で推移した。   Further, the same slurry was produced several times, and the filtration experiment was repeated using the same slurry purification apparatus under the same operating conditions as in Example 1. As a result, the viscosity of the slurry showed 200 to 500 centipoise. Further, the filter element was not blocked and could not be purified. Furthermore, the defect rate of the sintered body was 0.3% or less.

比較例4
実施例3と同じ組成のスラリーを、富士フィルタ工業製のジェットフィルタMー15/5型を用いて、噴射圧力85kg/cm2Gで濾過した。数回の運転の結果、このスラリーの粘度は250から500センチポイズまでばらついた。また濾過に要する時間は15から20分であった。実施例3と同様に焼結体を作成し、目視検査を行ったところ、欠陥に基づく不良率は0.3%から2%までばらついた。また、欠陥部分を走査型電子顕微鏡および蛍光X線分析装置で観察した結果、欠陥は濾過スラリー中の粗大粒子、糸くず、金属粉が主な原因で発生したことが判った。
Comparative Example 4
A slurry having the same composition as in Example 3 was filtered at a jet pressure of 85 kg / cm 2 G using a jet filter M-15 / 5 type manufactured by Fuji Filter Industry. As a result of several runs, the viscosity of this slurry varied from 250 to 500 centipoise. The time required for filtration was 15 to 20 minutes. When a sintered body was prepared and visually inspected in the same manner as in Example 3, the defect rate based on defects varied from 0.3% to 2%. Moreover, as a result of observing the defective portion with a scanning electron microscope and a fluorescent X-ray analyzer, it was found that the defect was mainly caused by coarse particles, lint and metal powder in the filtration slurry.

実施例4
実施例3と同じ組成のスラリーを作成し、これを外径60ミリ、長さ250ミリ、濾過精度25ミクロンのビスコースレーヨン製の糸巻タイプのフィルタエレメントを内蔵したスラリー精製装置を用いて、実施例1と同じ運転条件で濾過した。スラリーの粘度は約280センチポイズで、濾過には約18分を要した。また濾過圧力(差圧)は濾過開始から終了にかけて上昇傾向はあったが約3Kg/cm2Gで安定していた。シート成形を行い、2インチ×2インチのサイズの焼結体を作成し、欠陥の目視検査を行ったところ、不良率は0.2%以下であった。
Example 4
A slurry having the same composition as that of Example 3 was prepared, and this was carried out using a slurry purification apparatus incorporating a bobbin rayon pincushion type filter element having an outer diameter of 60 mm, a length of 250 mm, and a filtration accuracy of 25 microns. Filtration under the same operating conditions as in Example 1. The slurry had a viscosity of about 280 centipoise and filtration took about 18 minutes. Further, the filtration pressure (differential pressure) was stable at about 3 Kg / cm 2 G although there was an upward trend from the start to the end of filtration. Sheet molding was performed to prepare a sintered body having a size of 2 inches × 2 inches, and visual inspection for defects was performed. As a result, the defect rate was 0.2% or less.

比較例5
実施例3と同じ組成のスラリーを、外径60ミリ、長さ500ミリ、目開き20ミクロンのステンレスメッシュのフィルタエレメントを内蔵したカートリッジフィルタで濾過した。濾過に要する時間は約15分であった。また、濾過器内圧は1Kg/cmGから5Kg/cmG近くまで上昇した。実施例4と同様に焼結体を作成し、目視検査を行ったところ、欠陥に基づく不良率は1.5%であった。欠陥は比較例4と同じく金属異物、窒化アルミニウムの粗大粒子、糸くずが主な原因と推定された。
Comparative Example 5
A slurry having the same composition as in Example 3 was filtered through a cartridge filter containing a filter element of stainless mesh having an outer diameter of 60 mm, a length of 500 mm, and an opening of 20 microns. The time required for filtration was about 15 minutes. Also, filter pressure is increased from 1Kg / cm 2 G until 5Kg / cm 2 G close. When a sintered body was prepared and visually inspected in the same manner as in Example 4, the defect rate based on defects was 1.5%. The defects were presumed to be mainly caused by metal foreign matter, coarse particles of aluminum nitride, and lint as in Comparative Example 4.

また、同様のスラリーをさらに数回製造し、同じカートリッジフィルタでの濾過実験を実施したところ、フィルタが閉塞し濾過不能になることがしばしばあった。   In addition, when the same slurry was produced several times and a filtration experiment with the same cartridge filter was conducted, the filter was often clogged and could not be filtered.

本発明の濾過装置の代表的な態様を示す斜視図The perspective view which shows the typical aspect of the filtration apparatus of this invention 本発明の濾過装置における密閉フィルタハウジングの内部構造の一態様を示す断面図Sectional drawing which shows the one aspect | mode of the internal structure of the airtight filter housing in the filtration apparatus of this invention 本発明の濾過装置における密閉フィルタハウジングの保持構造の他の態様を示す概略図Schematic which shows the other aspect of the holding structure of the airtight filter housing in the filtration apparatus of this invention. 本発明の濾過装置における密閉フィルタハウジングの保持構造の他の態様を示す概略図Schematic which shows the other aspect of the holding structure of the airtight filter housing in the filtration apparatus of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 密閉フィルタハウジング
2 振動装置
3 被処理スラリー供給口
3a フレキシブルパイプ
4 処理済スラリー排出口
4a フレキシブルパイプ
5 固定台
6 リブ
7 スプリングシリンダ
8 弾性体
9 加圧具
10 フィルタエレメント
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Sealing filter housing 2 Vibrating device 3 To-be-processed slurry supply port 3a Flexible pipe 4 Treated slurry discharge port 4a Flexible pipe 5 Fixing stand 6 Rib 7 Spring cylinder 8 Elastic body 9 Pressurizing tool 10 Filter element

Claims (5)

密閉フィルタハウジング内にフィルタエレメントを固定して、該密閉フィルタハウジング内を二室に分割し、一方の室には被処理スラリー供給口を、他方の室には、処理済スラリー排出口を設けた濾過装置において、前記密閉フィルタハウジングは、その外壁に振動装置が付設され、且つ、支持機構によって振動可能な状態で固定台に取り付けられ、更に、前記被処理スラリー供給口と処理済スラリー排出口には、フレキシブルパイプを接続して前記被処理スラリーの供給及び処理済スラリーの排出を行なうようにしたことを特徴とする濾過装置。 The filter element is fixed in the hermetic filter housing, and the inner part of the hermetic filter housing is divided into two chambers. A treated slurry supply port is provided in one chamber, and a treated slurry discharge port is provided in the other chamber. In the filtration device, the hermetic filter housing has a vibration device attached to an outer wall thereof, and is attached to a fixed base in a state that can be vibrated by a support mechanism, and is further connected to the treated slurry supply port and the treated slurry discharge port. Is a filtration device characterized in that a flexible pipe is connected to supply the slurry to be treated and discharge the treated slurry. 前記フィルタエレメントが、体積濾過タイプのフィルタエレメントである請求項1記載の濾過装置。 The filtration device according to claim 1, wherein the filter element is a volume filtration type filter element. 前記支持機構が、前記密閉ハウジングを固定台に懸吊する構造を有する請求項1又は2に記載の濾過装置。 The filtration device according to claim 1, wherein the support mechanism has a structure in which the hermetic housing is suspended from a fixed base. 前記支持機構が、前記密閉ハウジングを固定台に弾性体を介して挟持、或いは、抱持する構造を有する、請求項1又は2に記載の濾過装置。 The filtration device according to claim 1, wherein the support mechanism has a structure in which the hermetic housing is clamped or held by an elastic body on a fixed base. 非処理スラリーが、濃縮によりチクソトロピー性を示すスラリーである請求項1〜3のいずれか一項に記載された濾過装置。 The filtration device according to any one of claims 1 to 3, wherein the untreated slurry is a slurry that exhibits thixotropy by concentration.
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