JP2009524258A - 平らな物を処理するための音響エネルギシステム、方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、2006年1月20日出願の米国仮特許出願シリアル番号60/760820、2006年8月16日出願の米国仮特許出願シリアル番号60/837965、2006年10月11日出願の米国仮特許出願シリアル番号60/850930、2007年1月22日出願の米国仮特許出願シリアル番号60/885978及び2007年1月22日出願の米国非仮特許出願シリアル番号11/625556の利益を要求する。それらの全ては参照することでここに導入される。
発明の要約
発明の記述
表1
材料 Za
アルミナ 40.6
圧延アルミニウム 17.33
アラルダイト502/956 20phe 3.52
アラルダイト502/956 50phe 4.14
アラルダイト502/956 90phe 12.81
ベリリウム 24.10
ビスマス 21.5
真鍮 70cu 30Zn 40.6
煉瓦 7.4
カドミウム 24
Carbon vitreous, Sigradur
K 7.38
コンクリート 8.0
圧延銅 44.6
ジェラルミン 17S 17.63
Epotek 301 2.85
溶融シリカ 12.55
ゲルマニウム 29.6
耐熱ガラス(Glass pyrex) 13.1
石英ガラス(Glass quartz) 12.1
シリカガラス(Glass silica) 13
グルコース 5.0
金 63.8
花崗岩 26.8
インジウム 18.7
鉄 46.4
鋳鉄 33.2
鉛 24.6
リチウム 33.0
マグネシウム 10.0
大理石 10.5
モリブデン 63.1
ニッケル 49.5
パラフィン 1.76
ポリエステル注型用樹脂 2.86
磁器 13.5
PVDF 4.2
水晶 x cut 15.3
ルビジウム 1.93
塩結晶 x方向(Salt crystalline x
direction)
10.37
サファイア、酸化アルミニウム 44.3
スコッチテープ2.5ミル厚 2.08
大きな異方性を有するシリコン 約19.7
炭化珪素 91.8
窒化珪素 36
銀 38.0
軟鋼 46.0
ステンレス鋼 45.7
Stycast
2.64
タンタル 54.8
テフロン 2.97
スズ 24.2
チタン 27.3
Tracon 4.82
タングステン 101.0
ウラン 63.0
バナジウム 36.2
木のコルク 0.12
木の松 1.57
亜鉛 29.6
酸化亜鉛 36.4
ジルコニウム 30.1
λ=vw/f (1)
ここで、λ=音響波の波長、vwは該音響波の波長の伝播速度、及びf=音響波の周波数 1/s=Hzである。1/4波長の端数(例えば、1/4、3/4,1と1/4)の間隙は、次の媒質にエネルギを通過することを許容するマッチング層として作用する傾向があり、ウエハ50と反射材400との間が、1/4波長の端数のない(例えば、0.5,1.0,1.5,2.0)間隙は、媒質の境界での反射特性を増大させる傾向がある。例えば、図12において、ウエハ50と洗浄液を介した音響エネルギの伝達を増大させるためには、上部トランスデューサ装置200とウエハ50の間の間隙は、1と1/4波長にセットされる。反対側の面では、反射特性を増大させるためにウエハ50と反射材400の間の間隙は1.0波長(即ち、端数がない)にセットされ、ウエハ50の下表面52に向けて方向付けられた音響エネルギの伝達を維持する。例を示すと、水と835kHzの周波数を使用した場合、1と1/4波長、トランスデューサ装置200とウエハ50の間の間隙は約0.087インチとなる。ウエハ50と反射材400との間の間隙は、1.0波長の約0.070インチとなる。
Claims (74)
- 平らな物を処理するための装置であり、該装置は、
平らな物を支持する回転可能な支持体、
前記回転可能な支持体上の平らな物の第1の表面に液体を供給する第1のディスペンサ、及び、
前記回転可能な支持体上の平らな物の第2の表面に液体を供給する第2のディスペンサ、を有し、
更に、前記装置は、音響エネルギを生成する第1のトランスデューサ及び該第1のトランスデューサに音響的に接続された第1のトランスミッタを有する第1のトランスデューサ装置を有し、該第1のトランスデューサ装置は、前記第1のディスペンサが前記回転支持体上の平らな物の前記第1の表面に液体を供給すると、前記第1のトランスミッタの一部分と前記平らな物の前記第1の表面の間に液体の第1のメニスカスが形成されるように位置決めされており、
更に、前記装置は、音響エネルギを生成する第2のトランスデューサ及び該第2のトランスデューサに音響的に接続された第2のトランスミッタを有する第2のトランスデューサ装置を有し、該第2のトランスデューサ装置は、前記第2のディスペンサが前記回転支持体上の前記平らな物の前記第2の表面に液体を供給すると、前記第2のトランスミッタの一部分と前記平らな物の前記第2の表面の間に液体の第2のメニスカスが形成されるように位置決めされている、
ことを特徴とする装置。 - 請求項1記載の装置において、
前記回転支持体は前記平らな物を水平な位置に支持し、回転することが出来、前記物の前記第1の表面は上面であり、前記物の前記第2の表面は、下表面である、
ことを特徴とする装置。 - 請求項1記載の装置において、
前記第2のトランスデューサ装置を処理位置と待避位置との間で移動させるための、前記第2のトランスデューサ装置に運転可能に接続されたアクチュエータを有する、
ことを特徴とする装置。 - 請求項3記載の装置において、
前記回転支持体は前記平らな物を水平な位置に支持し、回転することが出来、前記物の前記第1の表面は上面であり、前記物の前記第2の表面は、下表面であり、
前記処理位置は上昇位置であり、前記待避位置は下降位置である、
ことを特徴とする装置。 - 請求項1記載の装置において、
前記第2のトランスデューサ装置を処理位置と待避位置との間で移動させるための、前記第2のトランスデューサ装置に運転可能に接続されたアクチュエータを有し、
前記第2のトランスデューサ装置の位置を示すセンサ、
前記センサ及び前記アクチュエータに運転可能に接続されたコントローラを有し、
該コントローラは、前記第2のトランスデューサ装置が前記処理位置にあることを示す前記センサからの信号を受けると、前記第2のトランスデューサ装置の移動を停止するようにプログラムされている、
ことを特徴とする装置。 - 請求項1記載の装置において、
前記第2のトランスデューサ装置を処理位置と待避位置との間で移動させるための、前記第2のトランスデューサ装置に運転可能に接続されたアクチュエータを有し、
前記待避位置から前記処理位置に移動させる際に、前記第2のトランスデューサ装置が前記処理位置を超えて移動することを物理的に禁止する手段を有する、
ことを特徴とする装置。 - 請求項1記載の装置において、
前記第1のトランスミッタの前記一部分は、前記回転支持体上の物の前記第1の表面に平行に伸延する第1の細長いへりを有し、
前記第2のトランスミッタの前記一部分は、前記回転支持体上の物の前記第2の表面に平行に伸延する第2の細長いへりを有する、
ことを特徴とする装置。 - 請求項1記載の装置において、
洗浄液の供給源が前記第1のディスペンサ及び前記第2のディスペンサに運転可能に接続されている、
ことを特徴とする装置。 - 請求項1記載の装置において、
前記第2のトランスデューサ装置を支持するベースを有し、
前記第2のディスペンサは前記ベースに配置された、前記回転支持体上の平らな物の前記第2の表面に液体を供給することが出来る複数のノズルである、
ことを特徴とする装置。 - 請求項1記載の装置において、
前記第2のトランスデューサ装置は、前記第2のトランスミッタに接続されたハウジングを有し、これにより前記第2のトランスデューサが配置される囲まれた空間を形成し、前記ハウジングは、前記囲まれた空間から及び/又は囲まれた空間へのガスの流れのための一つ以上の開口を有する、
ことを特徴とする装置。 - 請求項10記載の装置において、
ガスの供給源が前記一つ以上の開口に運転可能に接続されている、
ことを特徴とする装置。 - 請求項10記載の装置において、
前記第2のトランスミッタと前記ハウジングは、不活性非反応性プラスチック内に包まれる形で封入されている、
ことを特徴とする装置。 - 請求項1記載の装置において、
前記第2のトランスミッタは細長いへりを有する凸状の外表面を有し、前記第2のトランスデューサ装置は、前記第2のディスペンサが前記回転支持体上の前記平らな物の前記第2の表面に液体を供給すると、前記第2のトランスミッタの前記凸状の外表面の前記細長いへりと前記平らな物の前記第2の表面の間に液体の前記第2のメニスカスが形成されるように位置決めされている、
ことを特徴とする装置。 - 請求項13記載の装置において、
前記第2のトランスミッタの少なくとも一部の周囲を囲んで、液体保持溝を形成するダムを有し、前記第2のトランスミッタの前記細長いへりは、前記ダムの先端を超えて突出している、
ことを特徴とする装置。 - 請求項1記載の装置において、
前記第2のトランスミッタの少なくとも一部の周囲を囲んで、液体保持溝を形成するダムを有し、
前記第2のトランスミッタは頂点を持った凸状の外表面を有し、前記第2のトランスミッタの前記頂点は、前記ダムの先端を超えて突出している、
ことを特徴とする装置。 - 請求項1記載の装置において、
前記第2のトランスミッタの少なくとも一部の周囲を囲んで、前記第2のトランスミッタとダムとの間に液体保持溝を形成するダムを有する、
ことを特徴とする装置。 - 請求項1記載の装置において、
前記第1のトランスミッタの前記一部分と前記第2のトランスミッタの前記部分は、互いに対向している、
ことを特徴とする装置。 - 請求項1記載の装置において、
前記第1のトランスミッタの前記部分と前記第2のトランスミッタの前記部分は、互いに対向していない、
ことを特徴とする装置。 - 請求項1記載の装置において、
前記第1のトランスデューサ装置と前記第2のトランスデューサ装置に運転可能に接続されたコントローラを有し、
前記コントローラは、前記第1のトランスデューサ装置と前記第2のトランスデューサ装置を間を置かずに一定の順序で引き続いて運転するようにプログラムされている、
ことを特徴とする装置。 - 請求項1記載の装置において、
前記第1のトランスデューサ装置と前記第2のトランスデューサ装置に運転可能に接続されたコントローラを有し、
前記コントローラは、前記第1のトランスデューサ装置と前記第2のトランスデューサ装置を同時に運転するようにプログラムされている、
ことを特徴とする装置。 - 請求項1記載の装置において、
前記第1のトランスデューサ装置と前記第2のトランスデューサ装置に運転可能に接続されたコントローラを有し、
前記コントローラは、前記第1のトランスデューサ装置と前記第2のトランスデューサ装置を交互に運転するようにプログラムされている、
ことを特徴とする装置。 - 請求項1記載の装置において、
前記第2のトランスミッタは、概略円筒形の、凹状の内表面及び凸状の外表面を有する板である、
ことを特徴とする装置。 - 請求項22記載の装置において、
前記第2のトランスデューサは、前記第2のトランスミッタの凹状の内表面の曲率に対応した曲率を有する凸状の表面を有する、
ことを特徴とする装置。 - 平らな物を洗浄する装置であって、該装置は、
平らな物を支持する回転可能な支持体、を有し、
更に、前記装置は、第1のトランスデューサ及び該第1のトランスデューサに音響的に接続された第1のトランスミッタを有する第1のトランスデューサ装置を有し、該第1のトランスデューサ装置は、前記回転支持体上の平らな物の第1の表面と前記第1のトランスミッタの一部分との間に第1の小さな間隙が形成されるように位置決めされており、液体が前記第1の表面に供給されると、前記平らな物の前記第1の表面と前記第1のトランスミッタの前記一部分の間に、液体の第1のメニスカスが形成され、
更に、前記装置は、第2のトランスデューサ及び該第2のトランスデューサに音響的に接続された第2のトランスミッタを有する第2のトランスデューサ装置を有し、該第2のトランスデューサ装置は、前記回転支持体上の平らな物の第2の表面と前記第2のトランスミッタの一部分との間に第2の小さな間隙が形成されるように位置決めされており、液体が前記第2の表面に供給されると、前記第2の表面と前記第2のトランスミッタの前記一部分の間に、液体の第2のメニスカスが形成される、
ことを特徴とする装置。 - 平らな物を処理する装置であって、該装置は、
平らな物を水平位置で支持して回転させる、回転可能な支持体、
音響エネルギを生成するトランスデューサ、該第1のトランスデューサに音響的に接続されたトランスミッタ及び前記トランスミッタの周囲の少なくとも一部を囲むダム有し、前記ダムと前記トランスミッタとの間に液体保持溝を形成した、トランスデューサ装置を有し、
前記トランスデューサ装置は、前記トランスミッタの一部分が前記回転支持体上の平らな物の下表面に近接し、液体が前記平らな物の下表面に供給されると、前記平らな物の下表面と前記トランスミッタの前記一部分の間に液体のメニスカスが形成されるように、位置決めされている、
ことを特徴とする装置。 - 請求項25の装置において、
該装置に、前記回転支持体上の前記平らな物の底表面に液体を供給するディスペンサを設けた、
ことを特徴とする装置。 - 請求項25の装置において、
前記トランスミッタは、前記ダムの先端の上方に突出する頂点を有する、凸状の外表面を有する、
ことを特徴とする装置。 - 請求項27の装置において、
前記トランスミッタは、概略円筒形状の板であり、前記頂点は細長い背部を形成する、
ことを特徴とする装置。 - 請求項25の装置において、
前記トランスデューサ装置は、更に前記トランスミッタに接続されたハウジングを有し、該ハウジングにより、前記トランスデューサが位置する空間を囲むようにして構成した、
ことを特徴とする装置。 - 請求項29の装置において、
前記トランスミッタと前記ハウジングは、不活性非反応性プラスチック内に包まれる形で封入されている、
ことを特徴とする装置。 - 請求項30の装置において、
前記空間へガスを入れ、及び又は該空間からガスを出すための1個以上の開口を設けて構成した、
ことを特徴とする装置。 - 請求項25の装置において、
該装置は、前記トランスデューサ装置を支持するベースを有し、
前記ベースに、前記回転支持体上の平らな物の底表面に液体を供給する1個以上の液体ディスペンサを設けて構成した、
ことを特徴とする装置。 - 平らな物の下表面の下に配置されるトランスデューサ装置であって、該装置は、
音響エネルギを生成するトランスデューサ、
第1のトランスデューサに音響的に接続されたトランスミッタ、及び、
前記トランスミッタの周囲の少なくとも一部を囲んで、第2のトランスミッタとの間に液体保持溝を形成するダム、を有する、
ことを特徴とする装置。 - 請求項33の装置において、
前記トランスミッタは、概略円筒形の、凹状の内表面及び凸状の外表面を有する板である、
ことを特徴とする装置。 - 請求項34の装置において、
前記トランスデューサは、前記トランスミッタの凹状の内表面の曲率に対応した曲率を有する凸状の表面を有する、
ことを特徴とする装置。 - 請求項33の装置において、
該装置は更に、前記トランスデューサ装置を、平らな物の底表面に対して近いが、間隔を開けた形で配置する手段を有する、
ことを特徴とする装置。 - 請求項33の装置において、
前記トランスミッタは、前記ダムの先端より上に突出した頂点を有する、凸状の外表面を有している、
ことを特徴とする装置。 - 請求項33の装置において、
前記装置は、前記トランスミッタに接続されたハウジングを有し、
該ハウジングにより、前記トランスデューサが位置する空間を囲むようにして構成した、
ことを特徴とする装置。 - 請求項38の装置において、
前記トランスミッタと前記ハウジングは、不活性非反応性プラスチック内に包まれる形で封入されている、
ことを特徴とする装置。 - 請求項38の装置において、
前記空間へガスを入れ、及び又は該空間からガスを出すための1個以上の開口を設けて構成した、
ことを特徴とする装置。 - 請求項33の装置において、
該装置は、前記トランスデューサ及び前記トランスミッタを支持するベースを有し、
前記ベースに、平らな物の底表面に液体を供給する1個以上の液体ディスペンサを設けて構成した、
ことを特徴とする装置。 - トランスデューサ装置を製造する方法であって、該方法は、
概略円筒形のトランスミッタ板を準備し、
該トランスミッタ板の凸状の内表面に一つ以上のトランスデューサを結合し、
前記トランスミッタにハウジングを接続して、その中に前記一つ以上のトランスデューサが配置された、囲まれた空間を有する部品を生成し、
該部品を、不活性非反応性プラスチックで包む形で封入する、
ことを特徴とする方法。 - 請求項42記載の方法において、
該方法は更に、前記部品にダムを接続して、該部品の周囲の少なくとも一部を囲み、該部品と前記ダムの間に液体保持溝を形成する、
ことから構成される方法。 - 請求項42記載の方法において、
該方法は更に、前記部品に、前記空間から及び/又は前記空間へガスを供給する一つ以上の開口を形成する、
ことから構成される方法。 - 平らな物の処理方法であって、該方法は、
a)下表面と上表面を有する平らな物を、ガスの充満した雰囲気中で水平位置に支持し、
b)水平位置に保持した状態で、前記平らな物を回転させ、
c)前記平らな物の前記上表面に液体の膜を適用し、
d)前記平らな物の前記下表面に液体の膜を適用し、
e)前記平らな物の前記上表面に音響エネルギを、第1のトランスデューサ及び第1のトランスミッタからなる第1のトランスデューサ装置を介して適用し、前記第1のトランスミッタの一部分は、前記平らな物の上表面上の液体の前記膜と接触しており、
f)前記平らな物の前記下表面に音響エネルギを、第2のトランスデューサ及び第2のトランスミッタからなる第2のトランスデューサ装置を介して適用し、前記第2のトランスミッタの一部分は、前記平らな物の下表面上の液体の前記膜と接触している、
ことから構成される方法。 - 請求項45記載の方法において、
ステップe)及びf)はインサチュー(in-situ)で行なうことを、特徴とする方法。 - 請求項45記載の方法において、
ステップf)は更に、前記第2のトランスミッタの前記部分が、前記平らな物の下表面上の液体の前記膜と接触する際には、前記第2のトランスデューサ装置を待避位置から処理位置に上昇させることを含む、
ことを特徴とする方法。 - 請求項45記載の方法において、
ステップe)は更に、前記第1のトランスミッタの前記部分が、前記平らな物の上表面上の液体の前記膜と接触する際には、前記第1のトランスデューサ装置を待避位置から処理位置に移動させることを含む、
ことを特徴とする方法。 - 請求項45記載の方法において、
前記液体は、SC1,SC2、脱イオン水及びオゾン化脱イオン水からなるグループから選択される洗浄液である、
ことを特徴とする方法。 - 請求項45記載の方法において、
平らな物の上表面上の液体の膜と接触する第1のトランスミッタの部分は、前記平らな物の下表面の液体の膜と接触する第2のトランスミッタの部分と対向している、
ことを特徴とする方法。 - 請求項51記載の方法において、
ステップe)及びf)は、交互に、同時に、及び/又は連続的に行なわれる、
ことを特徴とする方法。 - 請求項45記載の方法において、
平らな物の上表面上の液体の膜と接触する第1のトランスミッタの部分は、前記平らな物の下表面の液体の膜と接触する第2のトランスミッタの部分と対向していない、
ことを特徴とする方法。 - 請求項53記載の方法において、
ステップe)及びf)は、交互に、同時に、及び/又は連続的に行なわれる、
ことを特徴とする方法。 - 請求項45記載の方法において、
前記第2のトランスミッタの周囲の少なくとも一部を囲んで、第2のトランスミッタとの間に液体保持溝を形成するダムを設けておき、これにより、前記平らな物の下表面の液体の膜と接触する前記第2のトランスミッタの部分を増大させる、
ことを特徴とする方法。 - 請求項45記載の方法において、
音響エネルギは、ステップe)及びf)において、高周波超音波帯域で適用される、
ことを特徴とする方法。 - 請求項45記載の方法において、
前記第2のトランスミッタは、前記平らな物の下表面の前記液体の膜と接触する頂点を持った、凸状の外表面を有する、
ことを特徴とする方法。 - 請求項57記載の方法において、
前記第2のトランスミッタは、概略円筒形の板であり、前記頂点は、細長い背部を形成する、
ことを特徴とする方法。 - 請求項57記載の方法において、
前記第1のトランスミッタは、平らな物の上表面上の前記液体の膜と接触する細長い背部を有する、
ことを特徴とする方法。 - 請求項45記載の方法において、
前記第2のトランスデューサ装置は、更に前記トランスミッタに接続されたハウジングを有し、該ハウジングにより、前記第2のトランスデューサがその中に位置する、囲まれた空間を形成するようにし、
前記第2のトランスデューサ装置は、更に、前記空間へガスを入れ、及び又は該空間からガスを出すための1個以上の開口を設け、
前記方法は、更に、不活性ガスを前記空洞に流入させ、前記第2のトランスデューサと接触させる、
ことを特徴とする方法。 - 請求項60記載の方法において、
前記第2のトランスミッタと前記ハウジングは、不活性非反応性プラスチック内に包まれる形で封入されている、
ことを特徴とする方法。 - 請求項45記載の方法において、
前記第2のトランスミッタは、概略円筒形の、凹状の内表面及び凸状の外表面を有する板であり、前記第2のトランスデューサは、前記第2のトランスミッタの凹状の前記内表面の曲率に対応した曲率を有する凸状の表面を有する、
ことを特徴とする方法。 - 請求項45記載の方法において、
前記平らな物は、半導体ウエハであり、前記上表面は該ウエハの装置側であり、前記下表面は前記ウエハの非装置側である、
ことを特徴とする方法。 - 平らな物を処理するための装置であり、該装置は、
平らな物を水平位置に支持する回転可能な支持体を有し、
音響エネルギを生成するトランスデューサ及び該トランスデューサに音響的に接続されたトランスミッタを有するトランスデューサ装置を有し、該トランスデューサ装置は、前記トランスミッタの一部分を、前記回転支持体上の平らな物の上表面に近接させて、液体が該上表面に供給されると、前記トランスミッタの前記一部分と前記上表面の間に液体の第1のメニスカスが形成されるように、位置決めされており、
前記装置は、更に反射材を有し、該反射材は、前記反射材の一部分を、前記支持体上の平らな物の下表面に近接させて、液体が該下表面に供給されると、前記反射材の一部分と前記下表面の間に液体の第2のメニスカスが形成されるように、位置決めされており、
更に、前記反射材は、前記平らな物を通過して来た、前記第1のトランスデューサ装置により生成された音響エネルギの少なくとも一部を、前記平らな物の下表面に向けて反射するように、位置決めされている、
ことを特徴とする装置。 - 請求項64記載の装置において、
前記反射材は、音響インピーダンスが5.0よりも大きな材料から構成される、
ことを特徴とする装置。 - 請求項64記載の装置において、
前記反射材は、管状部材、概略円筒状部材、平らな板又は湾曲した板である、
ことを特徴とする装置。 - 請求項64記載の装置において、
前記トランスデューサ装置は、前記反射材の前記一部分と前記平らな物の下表面との間が、前記音響エネルギの波長の1/4の間隔の距離となる、波長を持った音響エネルギを生成するように設けられている、
ことを特徴とする装置。 - 請求項64記載の装置において、
前記反射材は、水晶、サファイア、窒化ほう素、炭化けい素又はこれらの組み合わせから構成される、
ことを特徴とする装置。 - 請求項64記載の装置において、
該装置は更に、
前記回転可能な支持体上の平らな物の上表面に液体を供給する第1のディスペンサ、及び、
前記回転可能な支持体上の平らな物の下表面に液体を供給する第2のディスペンサ、を有する、
ことを特徴とする装置。 - 請求項64記載の装置において、
前記反射材は、音響エネルギを生成出来る第2のトランスデューサ装置である、
ことを特徴とする装置。 - 平らな物を処理する装置であって、該装置は、
平らな物をガスの充満した雰囲気中で支持する回転可能な支持体を有し、
トランスデューサ及び該トランスデューサに結合されたトランスミッタを有するトランスデューサ装置を有し、該トランスデューサ装置は、前記トランスミッタの一部分と前記回転支持体上の平らな物の第1の表面との間に第1の小さな間隙が存在し、これにより液体が前記平らな物の第1の表面に供給されると、前記トランスミッタの前記一部分と前記平らな物の前記第1の表面との間に液体の第1のメニスカスが形成されるように、位置決めされており、
更に、前記装置は、更に反射材を有し、該反射材は、前記反射材の一部分と前記回転支持体上の平らな物の第2の表面との間に第2の小さな間隙が存在し、これにより液体が前記平らな物の第2の表面に供給されると、前記反射材の前記一部分と前記平らな物の前記第2の表面との間に液体の第2のメニスカスが形成されるように、位置決めされており、
前記反射材は、前記平らな物を透過して来た、前記第1のトランスデューサ装置により生成された音響エネルギの少なくとも一部を、前記反射材により前記平らな物の前記第2の表面に向けて反射するように、位置決めされている、
ことを特徴とする装置。 - 平らな物を処理する方法であって、該方法は、
a)下表面及び上表面を有する平らな物をガスが充満した雰囲気中で水平位置に支持し、
b)前記平らな物を水平位置を保ったまま回転させ、
c)前記平らな物の上表面に液体の膜を適用し、
d)前記平らな物の下表面に液体の膜を適用し、
e)前記平らな物の上表面の液体の膜とトランスミッタの一部分を接触させて、トランスデューサ及び前記トランスミッタからなるトランスデューサ装置を介して前記平らな物の上表面に音響エネルギを適用し、
f)前記平らな物の下表面の液体の膜に接触する反射材を介して、前記第1のトランスデューサ装置により生成され、前記平らな物を通過してきた音響エネルギを、前記平らな物の下表面に向けて反射させて、
構成したことを特徴とする方法。 - 請求項71記載の方法において、
前記反射材は、音響インピーダンスが5.0よりも大きな材料から構成される、
ことを特徴とする方法。 - 請求項71記載の方法において、
前記反射材は、管状部材、概略円筒状部材、平らな板又は湾曲した板である、
ことを特徴とする方法。 - 請求項71記載の方法において、
前記音響エネルギは、前記反射材と前記平らな物の下表面との間が、前記音響エネルギの波長の1/4の間隔の距離となる、波長を持っている、
ことを特徴とする方法。
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