JP2009283709A - Light-emitting device, multi-beam light source device, multi-beam scanner and device for forming image - Google Patents

Light-emitting device, multi-beam light source device, multi-beam scanner and device for forming image Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a light-emitting device mounting a two-dimensional array element for a surface emission type semiconductor laser with an excellent positional accuracy and easily correcting the angle of emission of light beams emitted from an emission source, a multi-beam light source device, a multi-beam scanner and a device for forming an image. <P>SOLUTION: In the light-emitting device 201, a light-emitting element array 245 arrayed so that a plurality of light-emitting elements vertically emit light beams to the same plane is housed in a package 246 so as to emit light beams vertical to the main surface 301 of the package 246. In the light-emitting device, a plurality of projecting sections 312 having height differences corresponding to angles correcting the optic axial direction are formed at a plurality of positions of a surface on the mounting-member side of the package 246 for correcting the optic axial direction of light beams at a time when the package 246 is abutted and fitted to a mounting member mounting the light-emitting device 201. The light-emitting device 201, the multi-beam light source device using the light-emitting device 201, the multi-beam scanner and the device for forming the image are provided. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、発光装置、マルチビーム光源装置、マルチビーム走査装置及び画像形成装置に係り、特に、デジタル複写機及びレーザプリンタ等の書込系として用いられる発光装置、マルチビーム光源装置、マルチビーム走査装置及び画像形成装置に関する。   The present invention relates to a light-emitting device, a multi-beam light source device, a multi-beam scanning device, and an image forming apparatus, and more particularly, a light-emitting device used as a writing system such as a digital copying machine and a laser printer, a multi-beam light source device, and a multi-beam scanning. The present invention relates to an apparatus and an image forming apparatus.

従来から、タンデム方式による多色画像形成装置においては、各色に対応した感光体ドラムを転写体の搬送方向に沿って配列し、各色の画像形成ステーションで形成したトナー増を重ね合わせることで、1パスでカラー画像が形成することができ、これは画像形成の高速化の進展に寄与している。昨今では、この高速化の進展により、オンデマンドプリンティングシステムとして簡易印刷分野にも用いられるようになり、高画質化への要求と共に、プリント間の画質の均一性に対する見方が厳しくなっている。   2. Description of the Related Art Conventionally, in a tandem multicolor image forming apparatus, photosensitive drums corresponding to each color are arranged along the transfer material transport direction, and toner increments formed at each color image forming station are overlapped. A color image can be formed by the pass, which contributes to an increase in the speed of image formation. In recent years, due to the progress of this high speed, it has been used as an on-demand printing system in the simple printing field, and the view of uniformity in image quality between prints has become severe along with a demand for high image quality.

この記録速度を向上させる一手法として、偏向手段であるポリゴンミラーの回転速度を上げる方法がある。この方法を採用すると、その分消費電力が増大するため、例えばレジストずれや走査ラインの傾きが発生する。従って、ポリゴンスキャナの回転速度を上げすぎると、上述したプリント間の画質の均一性を保つことが困難になる。   As one method for improving the recording speed, there is a method of increasing the rotational speed of a polygon mirror which is a deflecting means. If this method is adopted, the power consumption increases accordingly, and thus, for example, registration shift and scan line inclination occur. Therefore, if the rotational speed of the polygon scanner is increased too much, it becomes difficult to maintain the above-described image quality uniformity between prints.

一方、記録速度の向上による光走査装置の高速化を実現する手段としてマルチビーム走査装置が提案されている。   On the other hand, a multi-beam scanning device has been proposed as means for realizing a higher speed optical scanning device by improving the recording speed.

マルチビーム走査装置は、複数のビームにより被走査面上を一括で走査し、隣接する複数のラインを同時に記録することができ、偏向手段であるポリゴンミラーの回転速度を上げずに高速化が可能となる。   The multi-beam scanning device can scan the surface to be scanned at once with multiple beams and simultaneously record a plurality of adjacent lines, enabling high-speed operation without increasing the rotation speed of the polygon mirror, which is a deflection means. It becomes.

このようなマルチビーム走査装置の光源として、例えば面発光型半導体レーザ(:VCSEL:Vertical Cavity Surface Emitting LASER)を2次元に配列した2次元アレイ素子を用い、一括走査によって複数ラインを同時に形成する方式が提案されている。2次元アレイ素子を用いることで、数十ビーム以上にまで発光源を増やすことができるので、感光体上での副走査ピッチを記録密度の1/nにでき、単位画素をn×mの複数ドットのマトリクス構成とすることにより、より高精細な画像記録を行うことができる。特許文献1及び2に、上記のような2次元アレイ素子をマルチビーム走査装置に用いた例が開示されている。   As a light source of such a multi-beam scanning device, for example, a two-dimensional array element in which surface-emitting semiconductor lasers (: VCSEL: Vertical Cavity Surface Emitting LASER) are two-dimensionally arranged is used, and a plurality of lines are simultaneously formed by collective scanning. Has been proposed. By using a two-dimensional array element, the number of light sources can be increased to several tens of beams or more, so that the sub-scanning pitch on the photosensitive member can be reduced to 1 / n of the recording density, and a plurality of unit pixels of n × m With the dot matrix configuration, higher-definition image recording can be performed. Patent Documents 1 and 2 disclose examples in which the above two-dimensional array element is used in a multi-beam scanning device.

このような2次元アレイ素子は、発光源数が数十個にも及ぶため、リードフレームを有するセラミックパッケージ等に収容され、回路基板に直に半田付けされている。   Since such a two-dimensional array element has several tens of light emitting sources, it is accommodated in a ceramic package having a lead frame and soldered directly to a circuit board.

そのため、光源ユニットを構成する支持部材に2次元アレイ素子を固定するには、回路基板を介して取り付けることになるが、半田付けに伴う装着高さのばらつきにより、回路基板面とパッケージ表面との寸法が定まらず、回路基板面を基準として支持する方法では2次元アレイ素子の位置がうまく決まらないという問題がある。この対策として、特許文献1には、回路基板に弾性的にたわませてパッケージ部材を押圧し、パッケージ表面が確実に位置決めできるようにする方式が開示されている。   Therefore, in order to fix the two-dimensional array element to the support member constituting the light source unit, the two-dimensional array element is attached via a circuit board. There is a problem that the position of the two-dimensional array element cannot be determined well by the method in which the dimensions are not determined and the circuit board surface is used as a reference. As a countermeasure, Patent Document 1 discloses a method in which a package member is elastically bent to press a package member so that the package surface can be positioned reliably.

また、特許文献3には、従来の半導体レーザ光源の走査光学系の調整方法の例が開示されている。
特開2004−6592号公報 特開2007−79295号公報 特許3679560号公報
Patent Document 3 discloses an example of a conventional method for adjusting a scanning optical system of a semiconductor laser light source.
Japanese Patent Laid-Open No. 2004-6592 JP 2007-79295 A Japanese Patent No. 3679560

ところが、上記のような2次元アレイ素子をマルチビーム走査装置中で取付ける場合、次のような問題があった。   However, when the two-dimensional array element as described above is mounted in a multi-beam scanning device, there are the following problems.

上記のように、2次元アレイ素子はパッケージに収容され、回路基板に直に半田付けされているため、光源ユニットを構成する支持部材に取付ける際に、2次元アレイ素子を精度良く位置決めすることが難しいという問題があった。2次元アレイ素子とカップリングされるカップリングレンズとを組合せて取付ける際は、数μmの精度を維持しなければならない。もしもこの精度が低下した場合、感光体面上に照射するビームスポット径やビームピッチが不均一になり、画像品質が著しく劣化してしまう。特許文献1及び2に開示される位置決め方式では、2次元アレイ素子のパッケージ表面を支持部材に突き当てて位置決めを行うことができるものの、2次元アレイ素子を搭載する第1の基準面と、2次元アレイ素子のパッケージの表面である第2の基準面とが実質的に平行とされるという仮定においての場合に限られ、実際には第1の基準面と第2の基準面との平行からの誤差が無視できないという問題があった。   As described above, since the two-dimensional array element is housed in the package and soldered directly to the circuit board, the two-dimensional array element can be accurately positioned when attached to the support member constituting the light source unit. There was a problem that it was difficult. When mounting a combination of a two-dimensional array element and a coupling lens to be coupled, an accuracy of several μm must be maintained. If this accuracy is lowered, the beam spot diameter and the beam pitch irradiated on the surface of the photosensitive member become non-uniform, and the image quality is remarkably deteriorated. In the positioning methods disclosed in Patent Documents 1 and 2, positioning can be performed by abutting the package surface of the two-dimensional array element against the support member, but the first reference surface on which the two-dimensional array element is mounted, and 2 Limited to the assumption that the second reference plane, which is the surface of the package of the two-dimensional array element, is substantially parallel, and in practice from the parallel of the first reference plane and the second reference plane. There was a problem that the error was not negligible.

また、特許文献3に開示される半導体レーザ光源の走査光学系の調整方法は、矩形の形状を有するパッケージに収容されてなる2次元アレイ素子に適用できないという問題があった。   Further, the method for adjusting the scanning optical system of the semiconductor laser light source disclosed in Patent Document 3 has a problem that it cannot be applied to a two-dimensional array element housed in a package having a rectangular shape.

本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、パッケージに収容されてなる面発光型半導体レーザの2次元アレイ素子を精度よく位置決めして取付けることができると共に、2次元アレイ素子の各発光源から射出される光ビームの射出角を容易に補正することができる発光装置、マルチビーム光源装置、マルチビーム走査装置及び画像形成装置を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above points. It is possible to accurately position and attach a two-dimensional array element of a surface-emitting type semiconductor laser housed in a package, and to emit each light of the two-dimensional array element. An object of the present invention is to provide a light emitting device, a multi-beam light source device, a multi-beam scanning device, and an image forming apparatus that can easily correct the emission angle of a light beam emitted from a light source.

上記の課題を解決するために本発明では、次に述べる各手段を講じたことを特徴とするものである。   In order to solve the above-described problems, the present invention is characterized by the following measures.

第1の発明は、同一平面に複数の発光素子が配列し、該発光素子の各々が前記平面に垂直に光ビームを出射するように構成された発光素子アレイが、該発光素子アレイに接続するリード端子を備えたパッケージに、該パッケージの主面であって前記光ビームが出射される側の面である出射面に垂直な光ビームを出射するように収容してなる発光装置であって、前記発光装置を取付ける取付部材に前記パッケージが当接されて取付けられる際の前記光ビームの光軸方向を補正するために、前記パッケージの前記取付部材側の面の複数の箇所に、前記光軸方向を補正する角度に応じた高低差を有する前記複数の凸部が設けられることを特徴とする。   In the first invention, a light emitting element array in which a plurality of light emitting elements are arranged on the same plane and each of the light emitting elements emits a light beam perpendicular to the plane is connected to the light emitting element array. A light emitting device that is housed in a package including a lead terminal so as to emit a light beam perpendicular to an emission surface that is a main surface of the package and is a surface on the side from which the light beam is emitted; In order to correct the optical axis direction of the light beam when the package is mounted in contact with the mounting member to which the light emitting device is mounted, the optical axis is provided at a plurality of locations on the surface of the package on the mounting member side. The plurality of convex portions having a height difference corresponding to an angle for correcting the direction is provided.

第2の発明は、第1の発明に係る発光装置において、前記凸部は、平面視において縦及び横の長さが共に1mm以下である板状部材よりなることを特徴とする。   According to a second aspect of the present invention, in the light emitting device according to the first aspect, the convex portion is made of a plate-like member having a vertical and horizontal length of 1 mm or less in plan view.

第3の発明は、第1又は第2の発明に係る発光装置において、前記凸部は、平面視において略円形形状を有することを特徴とする。   According to a third invention, in the light emitting device according to the first or second invention, the convex portion has a substantially circular shape in plan view.

第4の発明は、第1乃至第3の何れか一つの発明に係る発光装置において、前記凸部は、該凸部の表面が略球面状であることを特徴とする。   According to a fourth invention, in the light emitting device according to any one of the first to third inventions, the convex portion has a surface of the convex portion that is substantially spherical.

第5の発明は、第1乃至第4の何れか一つの発明に係る発光装置において、前記凸部は、有機接着剤又は無機接着剤を硬化させて形成されることを特徴とする。   According to a fifth invention, in the light emitting device according to any one of the first to fourth inventions, the convex portion is formed by curing an organic adhesive or an inorganic adhesive.

第6の発明は、第1乃至第4の何れか一つの発明に係る発光装置において、前記凸部は、低融点金属を硬化させて形成されることを特徴とする。   According to a sixth invention, in the light emitting device according to any one of the first to fourth inventions, the convex portion is formed by curing a low melting point metal.

第7の発明は、第1乃至第6の何れか一つの発明に係る発光装置において、前記パッケージは、平面視において略矩形形状を有し、前記凸部の少なくとも1つは、前記パッケージの前記表面の角部付近の領域に設けられることを特徴とする。   According to a seventh aspect of the present invention, in the light emitting device according to any one of the first to sixth aspects, the package has a substantially rectangular shape in plan view, and at least one of the convex portions is the shape of the package. It is provided in a region near the corner of the surface.

第8の発明は、第1乃至第7の何れか一つの発明に係る発光装置において、前記凸部は3つ設けられ、前記パッケージの平面視における重心が、前記3つの前記凸部を頂点とする三角形の略重心付近にあることを特徴とする。   According to an eighth aspect of the present invention, in the light emitting device according to any one of the first to seventh aspects, the three convex portions are provided, and the center of gravity of the package in a plan view has the three convex portions as apexes. It is characterized by being near the approximate center of gravity of the triangle.

第9の発明は、第1乃至第8の何れか一つの発明に係る発光装置と、前記発光装置から出射される前記光ビームを平行光束又は所定の収束状態の光束に変換するカップリングレンズと、前記発光装置及び前記カップリングレンズを取付ける取付部材とを備えるマルチビーム光源装置であって、前記取付部材は、前記発光装置の前記取付部材側と反対側の面から前記取付部材側の面に向けて前記発光装置を付勢する付勢手段を有し、前記発光装置は、前記付勢手段によって付勢されることにより、前記光軸方向が補正されることを特徴とする。   A ninth invention is a light emitting device according to any one of the first to eighth inventions, and a coupling lens that converts the light beam emitted from the light emitting device into a parallel light beam or a light beam in a predetermined convergence state. A multi-beam light source device comprising a mounting member for mounting the light emitting device and the coupling lens, wherein the mounting member extends from a surface opposite to the mounting member side of the light emitting device to a surface on the mounting member side. The light emitting device includes biasing means for biasing the light emitting device toward the optical axis, and the light emitting device is biased by the biasing device to correct the optical axis direction.

第10の発明は、同一平面に複数の発光素子が配列し、該発光素子の各々が前記平面に垂直に光ビームを出射するように構成された発光素子アレイが、該発光素子アレイに接続するリード端子を備えたパッケージに、該パッケージの主面であって前記光ビームが出射される側の面である出射面に垂直な光ビームを出射するように収容してなる発光装置と、前記発光装置から出射される前記光ビームを平行光束又は所定の収束状態の光束に変換するカップリングレンズと、前記発光装置及び前記カップリングレンズを取付ける取付部材とを備えるマルチビーム光源装置であって、前記取付部材は、前記発光装置の前記取付部材側と反対側の面から前記取付部材側の面に向けて前記発光装置を付勢する付勢手段を有すると共に、前記取付部材に前記パッケージが当接して取付けられる際の前記光ビームの光軸方向を補正するために、前記取付部材の前記パッケージと当接される当接面の複数の箇所に、前記光軸方向を補正する角度に応じた高低差を有する前記複数の凸部が設けられ、前記発光装置は、前記付勢手段によって付勢されることにより、前記光軸方向が補正されることを特徴とする。   In a tenth aspect of the invention, a light emitting element array configured such that a plurality of light emitting elements are arranged in the same plane and each of the light emitting elements emits a light beam perpendicular to the plane is connected to the light emitting element array. A light emitting device accommodated in a package including a lead terminal so as to emit a light beam perpendicular to an emission surface which is a main surface of the package and is a surface on which the light beam is emitted; A multi-beam light source device comprising a coupling lens for converting the light beam emitted from the device into a parallel light beam or a light beam in a predetermined convergence state, and a mounting member for mounting the light emitting device and the coupling lens, The mounting member includes biasing means for biasing the light emitting device from the surface opposite to the mounting member side of the light emitting device toward the surface of the mounting member, and the front of the mounting member is In order to correct the optical axis direction of the light beam when the package is abutted and mounted, the angle for correcting the optical axis direction at a plurality of locations on the abutting surface of the mounting member that abuts the package The plurality of convex portions having a height difference corresponding to the height of the light emitting device is provided, and the light emitting device is biased by the biasing means to correct the optical axis direction.

第11の発明は、第10の発明に係るマルチビーム光源装置において、前記凸部は、該凸部の高さが調整可能に設けられることを特徴とする。   An eleventh invention is characterized in that, in the multi-beam light source device according to the tenth invention, the convex portion is provided such that the height of the convex portion is adjustable.

第12の発明は、第11の発明に係るマルチビーム光源装置において、前記凸部は、前記取付部材に螺合したネジであり、該ネジの先端に前記発光装置の前記取付部材側の面を当接させることを特徴とする。   According to a twelfth aspect of the invention, in the multi-beam light source device according to the eleventh aspect of the invention, the convex portion is a screw screwed to the mounting member, and the surface of the light emitting device on the mounting member side is attached to the tip of the screw. It makes it contact | abut.

第13の発明は、第10の発明に係るマルチビーム光源装置において、前記凸部は、前記取付部材の前記当接面の面内で移動可能に設けられることを特徴とする。   A thirteenth invention is characterized in that, in the multi-beam light source device according to the tenth invention, the convex portion is provided so as to be movable within the surface of the contact surface of the mounting member.

第14の発明は、第10の発明に係るマルチビーム光源装置において、前記凸部は、平面視において縦及び横の長さが共に1mm以下である板状部材よりなることを特徴とする。   According to a fourteenth aspect of the invention, in the multi-beam light source device according to the tenth aspect of the invention, the convex portion is made of a plate-like member having a vertical and horizontal length of 1 mm or less in plan view.

第15の発明は、第10又は第14の発明に係るマルチビーム光源装置において、前記凸部は、平面視において略円形形状を有することを特徴とする。   A fifteenth aspect of the invention is the multi-beam light source device according to the tenth or fourteenth aspect of the invention, wherein the convex portion has a substantially circular shape in plan view.

第16の発明は、第10、第14又は第15の発明に係るマルチビーム光源装置において、前記凸部は、該凸部の表面が略球面状であることを特徴とする。   A sixteenth aspect of the invention is the multi-beam light source device according to the tenth, fourteenth or fifteenth aspects of the invention, wherein the convex part has a substantially spherical surface.

第17の発明は、第10又は第14乃至第16の何れか一つの発明に係るマルチビーム光源装置において、前記凸部は、有機接着剤又は無機接着剤を硬化させて形成されることを特徴とする。   According to a seventeenth aspect of the invention, in the multi-beam light source device according to any one of the tenth or fourteenth to sixteenth aspects, the convex portion is formed by curing an organic adhesive or an inorganic adhesive. And

第18の発明は、第10又は第14乃至第16の何れか一つの発明に係るマルチビーム光源装置において、前記凸部は、低融点金属を硬化させて形成されることを特徴とする。   According to an eighteenth aspect of the present invention, in the multi-beam light source device according to any one of the tenth or fourteenth to sixteenth aspects, the convex portion is formed by curing a low melting point metal.

第19の発明は、第10乃至第18の何れか一つの発明に係るマルチビーム光源装置において、前記パッケージは、平面視において略矩形形状を有し、前記凸部の少なくとも1つは、前記取付部材の前記当接面であって、前記発光装置の前記表面の角部付近に当接する領域に設けられることを特徴とする。   According to a nineteenth aspect of the present invention, in the multi-beam light source device according to any one of the tenth to eighteenth aspects, the package has a substantially rectangular shape in plan view, and at least one of the convex portions is the mounting portion. The contact surface of the member is provided in a region that contacts the vicinity of a corner of the surface of the light emitting device.

第20の発明は、第10乃至第19の何れか一つの発明に係るマルチビーム光源装置において、前記凸部は3つ設けられ、前記凸部に当接された前記パッケージの平面視における重心が、前記3つの前記凸部を頂点とする三角形の略重心付近にあることを特徴とする。   According to a twentieth aspect of the present invention, in the multi-beam light source device according to any one of the tenth to nineteenth aspects, the three convex portions are provided, and the center of gravity of the package in contact with the convex portion in plan view is , Being approximately in the vicinity of the center of gravity of a triangle having the three convex portions as apexes.

第21の発明に係るマルチビーム走査装置は、第9乃至第20の何れか一つの発明に係るマルチビーム光源装置と、前記マルチビーム光源装置から出射される前記複数の光ビームを偏向する偏向手段と、偏向された前記光ビームを被走査面に結像する結像光学系と
を備えることを特徴とする。
A multi-beam scanning device according to a twenty-first aspect of the invention is a multi-beam light source device according to any one of the ninth to twentieth inventions, and deflection means for deflecting the plurality of light beams emitted from the multi-beam light source device. And an imaging optical system that forms an image of the deflected light beam on a surface to be scanned.

第22の発明に係る画像形成装置は、第21の発明に係るマルチビーム走査装置と、前記複数の光ビームにより静電潜像を形成する像担持体と、前記像担持体により形成された前記静電潜像をトナーにより顕像化する現像手段と、前記現像手段により現像されたトナー像を記録紙に転写する転写手段とを備えることを特徴とする。   An image forming apparatus according to a twenty-second invention is a multi-beam scanning device according to the twenty-first invention, an image carrier that forms an electrostatic latent image by the plurality of light beams, and the image carrier that is formed by the image carrier. The image forming apparatus includes: a developing unit that visualizes the electrostatic latent image with toner; and a transfer unit that transfers the toner image developed by the developing unit onto a recording sheet.

本発明によれば、パッケージに収容されてなる面発光型半導体レーザの2次元アレイ素子を精度よく位置決めして取付けることができると共に、2次元アレイ素子の各発光源から射出される光ビームの射出角を容易に補正することができる。   According to the present invention, a two-dimensional array element of a surface-emitting type semiconductor laser housed in a package can be positioned and attached with high precision, and light beams emitted from respective light emission sources of the two-dimensional array element can be emitted. The corner can be easily corrected.

次に、本発明を実施するための最良の形態について図面と共に説明する。
(第1の実施の形態)
図1乃至図7を参照し、本発明の第1の実施の形態に係る発光装置及びマルチビーム光源装置を説明する。
Next, the best mode for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings.
(First embodiment)
With reference to FIG. 1 thru | or FIG. 7, the light-emitting device and multi-beam light source device which concern on the 1st Embodiment of this invention are demonstrated.

始めに、図1乃至図3を参照し、本実施の形態に係るマルチビーム光源装置の概略の構成を説明する。   First, a schematic configuration of the multi-beam light source device according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 1 to 3.

図1は、本実施の形態に係るマルチビーム光源装置の概略の構成を模式的に示す斜視図である。図2は、本実施の形態に係るマルチビーム光源装置に含まれる発光装置の構成を模式的に示す分解斜視図である。図3は、本実施の形態に係るマルチビーム光源装置の構成を示す主走査断面図である。   FIG. 1 is a perspective view schematically showing a schematic configuration of the multi-beam light source device according to the present embodiment. FIG. 2 is an exploded perspective view schematically showing a configuration of a light emitting device included in the multi-beam light source device according to the present embodiment. FIG. 3 is a main scanning sectional view showing the configuration of the multi-beam light source device according to the present embodiment.

本実施の形態に係るマルチビーム光源装置107は、図1に示されるように、発光装置201、カップリングレンズ202、アパーチャミラー203、収束レンズ204、光検知センサ210、制御基板206及び光束分割プリズム108から構成される。   As shown in FIG. 1, the multi-beam light source device 107 according to the present embodiment includes a light emitting device 201, a coupling lens 202, an aperture mirror 203, a converging lens 204, a light detection sensor 210, a control board 206, and a light beam splitting prism. 108.

発光装置201は、図2に示されるように、発光素子アレイ245、フラットパッケージ246、ガラス窓247から構成される。また、本実施の形態に係る発光装置201において、発光素子アレイ245は、面発光型半導体レーザアレイ(以下、面発光型半導体レーザアレイ245という)である。   As illustrated in FIG. 2, the light emitting device 201 includes a light emitting element array 245, a flat package 246, and a glass window 247. In the light emitting device 201 according to the present embodiment, the light emitting element array 245 is a surface emitting semiconductor laser array (hereinafter referred to as a surface emitting semiconductor laser array 245).

面発光型半導体レーザアレイ245は、同一平面に面発光型半導体レーザ素子がモノリシックに2次元配列されてなるチップである。また、フラットパッケージ246は、放射状にリード端子が設けられてなる実装用パッケージである。面発光型半導体レーザアレイ245は、フラットパッケージ246内に、面発光型半導体レーザ素子の配列された平面がパッケージの上面(出射面)と平行となるように、平面視におけるパッケージ内の中央部に実装される。また、パッケージ内は、不活性ガスを封入した状態でガラス窓247で封止される。   The surface emitting semiconductor laser array 245 is a chip in which surface emitting semiconductor laser elements are monolithically arranged two-dimensionally on the same plane. The flat package 246 is a mounting package in which lead terminals are provided radially. The surface-emitting type semiconductor laser array 245 has a flat package 246 in the center of the package in plan view so that the plane in which the surface-emitting type semiconductor laser elements are arranged is parallel to the upper surface (emission surface) of the package. Implemented. Further, the inside of the package is sealed with a glass window 247 in a state where an inert gas is sealed.

カップリングレンズ202は、図1及び図3に示されるように、発光装置201から出射される複数の光ビームを平行光束にする。即ち、発光装置201の面発光型半導体レーザアレイ245の各面発光型半導体レーザ素子から出射される複数の光ビームは、カップリングレンズ202の光軸(X軸)に直交する面内(YZ平面)において、光軸に対して対称に配列するように、また、平行光束となるように調整され、射出される。   As shown in FIGS. 1 and 3, the coupling lens 202 turns a plurality of light beams emitted from the light emitting device 201 into parallel light fluxes. That is, a plurality of light beams emitted from the surface emitting semiconductor laser elements of the surface emitting semiconductor laser array 245 of the light emitting device 201 are in a plane perpendicular to the optical axis (X axis) of the coupling lens 202 (YZ plane). ), The light beam is adjusted and emitted so as to be arranged symmetrically with respect to the optical axis and to be a parallel light beam.

アパーチャミラー203は、図1及び図3に示されるように、板状に形成され、発光装置201側の面を反射面となし、光軸と直交する面から主走査方向に所定角度、45°傾けられ配備される。アパーチャミラー203の中央部には、発光装置201から出射される光束の径よりも小さい径の開口が設けられる。収束レンズ204は、発光装置201から出射された光ビームの光軸がアパーチャミラー203で反射され、直角に折曲された後の光路上に設けられる。光検知センサ210は、図3に示されるように、アパーチャミラー203で反射され、収束レンズ204を透過した光ビームを検知するためのもので、ミラー205を介して折曲された光ビームが結像する点に設けられる。本実施の形態では、光検知センサ210は、制御基板206上に、発光装置201と並ぶような配置で実装され、外部ノイズ等による検出信号への影響がないようにしている。   The aperture mirror 203 is formed in a plate shape as shown in FIGS. 1 and 3, the surface on the light emitting device 201 side is a reflection surface, and a predetermined angle of 45 ° in the main scanning direction from the surface orthogonal to the optical axis. Tilt and deployed. An opening having a diameter smaller than the diameter of the light beam emitted from the light emitting device 201 is provided at the center of the aperture mirror 203. The converging lens 204 is provided on the optical path after the optical axis of the light beam emitted from the light emitting device 201 is reflected by the aperture mirror 203 and bent at a right angle. As shown in FIG. 3, the light detection sensor 210 detects a light beam reflected by the aperture mirror 203 and transmitted through the converging lens 204, and the light beam bent through the mirror 205 is combined. Provided at the point to be imaged. In the present embodiment, the light detection sensor 210 is mounted on the control board 206 so as to be aligned with the light emitting device 201 so that the detection signal is not affected by external noise or the like.

発光装置201から出射され、アパーチャミラー203の開口を通過した光束はカップリングレンズ202を通過した後、図示しないポリゴンミラーへと向かう。一方、発光装置201から出射され、アパーチャミラー203の開口を通過せず反射された周辺光は、収束レンズ204を介して光検知センサ210に導かれる。   The light beam emitted from the light emitting device 201 and passing through the opening of the aperture mirror 203 passes through the coupling lens 202 and then travels to a polygon mirror (not shown). On the other hand, the ambient light emitted from the light emitting device 201 and reflected without passing through the aperture of the aperture mirror 203 is guided to the light detection sensor 210 via the convergence lens 204.

本実施の形態に係るマルチビーム光源装置を後述するマルチビーム走査装置に組み込んで使用する場合、発光装置201から出射される光ビームを図示しないポリゴンミラー各面による走査を開始した後、画像領域に至るまでの時間を利用し、発光装置201の各面発光レーザ素子を順次点灯させて各々のビーム強度を検出し、基準値と比較して、各面発光レーザ素子の出力が所定値になるように注入電流を調整する。調整された注入電流は次の検出時まで保持されるため、ビーム強度を一定に保つことができる。   When the multi-beam light source device according to the present embodiment is incorporated in a multi-beam scanning device described later and used, the light beam emitted from the light-emitting device 201 starts scanning on each surface of the polygon mirror (not shown), and is then displayed on the image area. The surface intensity of each surface emitting laser element of the light emitting device 201 is sequentially turned on to detect the intensity of each beam, and the output of each surface emitting laser element becomes a predetermined value compared with the reference value. Adjust the injection current. Since the adjusted injection current is held until the next detection, the beam intensity can be kept constant.

制御基板206は、発光素子201、光検知センサ210が実装される基板であると共に、発光素子201の各面発光型半導体レーザ素子の発光出力を一定に保持するパワー制御回路及び画像情報に応じて発光源を各々変調する駆動回路が形成される回路基板であり、カップリングレンズ202と共に一体的に取付基板に取付けられて保持され、マルチビーム光源装置を構成する。   The control board 206 is a board on which the light emitting element 201 and the light detection sensor 210 are mounted, and according to a power control circuit that holds the light emission output of each surface emitting semiconductor laser element of the light emitting element 201 constant and image information. A circuit board on which a drive circuit for modulating each of the light emission sources is formed. The circuit board is integrally attached and held together with the coupling lens 202 to constitute a multi-beam light source device.

光束分割プリズム108は、第3の実施の形態において後述されるように、ハーフミラー面241とハーフミラー面241と平行なミラー面242とを有し、出射した出射光がカップリングレンズ202で収束され、ポリゴンミラーへ導入される光学系を構成する。   The beam splitting prism 108 has a half mirror surface 241 and a mirror surface 242 parallel to the half mirror surface 241 as will be described later in the third embodiment, and the emitted light is converged by the coupling lens 202. And constitutes an optical system introduced into the polygon mirror.

次に、図2乃至図5を参照し、本実施の形態に係るマルチビーム光源装置の全体の詳細な構成を説明する。   Next, the detailed configuration of the entire multi-beam light source device according to the present embodiment will be described with reference to FIGS.

図4は、本実施の形態に係るマルチビーム光源装置の分解斜視図である。図5は、本実施の形態に係るマルチビーム光源装置のベース部材から付勢部材までの部分を拡大して示す分解斜視図である。   FIG. 4 is an exploded perspective view of the multi-beam light source device according to the present embodiment. FIG. 5 is an exploded perspective view showing an enlarged portion from the base member to the biasing member of the multi-beam light source device according to the present embodiment.

本実施の形態に係るマルチビーム光源装置107は、図4に示されるように、制御基板206、ベース部材207、ホルダ部材208、付勢部材209、ブラケット部材211を有する。   As shown in FIG. 4, the multi-beam light source device 107 according to the present embodiment includes a control board 206, a base member 207, a holder member 208, a biasing member 209, and a bracket member 211.

なお、ベース部材207及びホルダ部材208は、請求項に記載される取付部材に相当し、ベース部材207及びホルダ部材208に発光装置201を取付ける際に用いられる付勢部材209は、請求項に記載される付勢手段に相当する。   The base member 207 and the holder member 208 correspond to attachment members described in the claims, and the biasing member 209 used when the light emitting device 201 is attached to the base member 207 and the holder member 208 is described in the claims. This corresponds to the biasing means.

マルチビーム光源装置107は、カップリングレンズ202を保持するホルダ部材208と、発光装置201を実装した制御基板206を保持するベース部材207とをカップリングレンズ202の光軸に直交する基準面で接合し、ねじ締結することで一体化した構成としている。   In the multi-beam light source device 107, a holder member 208 that holds the coupling lens 202 and a base member 207 that holds the control board 206 on which the light emitting device 201 is mounted are bonded together at a reference plane orthogonal to the optical axis of the coupling lens 202. And it is set as the structure integrated by screw-fastening.

ベース部材207とホルダ部材208とは、いずれもアルミダイキャストにより形成しているが、略同一の熱膨張係数であれば別材質であってもよい。ベース部材207には、発光装置201からのビーム強度を検出するためのアパーチャミラー203、収束レンズ204及び制御基板206上に実装される光検知センサ210へとビームを折り返すミラー205が設けられる。   The base member 207 and the holder member 208 are both formed by aluminum die casting, but may be made of different materials as long as they have substantially the same thermal expansion coefficient. The base member 207 is provided with an aperture mirror 203 for detecting the beam intensity from the light emitting device 201, a converging lens 204, and a mirror 205 that turns the beam back to the light detection sensor 210 mounted on the control substrate 206.

制御基板206のベース部材207への取付けは、図4及び図5に示されるように、ベース部材207に形成された取付面221(当接面248と同じ)に、発光装置201のフラットパッケージ246の表面であって後述する凸部310を設けた表面301側を当接し、光軸と直交する面内での位置決めを行い、発光装置201の側面のうち、図2に示されるように、隣接する2面320、321を、予め決められた基準面である内側面に突き当て、光軸と直交方向の位置決めを行う。更に、取付面222には、光検知センサ210の上面が当接される。   As shown in FIGS. 4 and 5, the control board 206 is attached to the base member 207 on a mounting surface 221 (same as the contact surface 248) formed on the base member 207, and the flat package 246 of the light emitting device 201. 2, the surface 301 side provided with a convex portion 310 described later is brought into contact, positioning is performed in a plane perpendicular to the optical axis, and adjacent to the side surface of the light emitting device 201 as shown in FIG. The two surfaces 320 and 321 to be abutted against the inner side surface, which is a predetermined reference surface, are positioned in the direction orthogonal to the optical axis. Further, the upper surface of the light detection sensor 210 is in contact with the mounting surface 222.

本実施の形態では、板金で成型された付勢部材209の板ばね部220により制御基板206を裏側から押圧するとともに、3点のアンカー部(折り曲げ部)218を制御基板206の穴219に嵌合して制御基板206を矢印方向223に寄せ組みすることで、ベース部材207に対する発光装置201の位置決めがなされる。   In the present embodiment, the control board 206 is pressed from the back side by the leaf spring part 220 of the biasing member 209 formed of sheet metal, and the three anchor parts (folded parts) 218 are fitted into the holes 219 of the control board 206. By combining the control board 206 in the arrow direction 223 together, the light emitting device 201 is positioned with respect to the base member 207.

ベース部材207には、3箇所のスタッド216が形成され、制御基板206に開けた貫通穴217を貫通して、スタッド216に付勢部材209をネジ232で締結することで、制御基板206を支持する。付勢部材209にて制御基板206を裏側から押圧しており、制御基板206をベース部材207等に直接締結しない構成なので、制御基板206に負荷をかけずに、発光装置201をベース部材207に確実に位置決めし、支持することができる。   Three studs 216 are formed in the base member 207, and the control board 206 is supported by fastening a biasing member 209 to the stud 216 with a screw 232 through a through hole 217 formed in the control board 206. To do. Since the control board 206 is pressed from the back side by the urging member 209 and the control board 206 is not directly fastened to the base member 207 or the like, the light emitting device 201 is attached to the base member 207 without applying a load to the control board 206. It can be positioned and supported reliably.

尚、付勢部材209は、弾性を有する材質であれば樹脂等で形成してもよく、板ばね部の代わりにゴム等の弾性部材を挟み込んでもよい。   The urging member 209 may be formed of a resin or the like as long as it is a material having elasticity, and an elastic member such as rubber may be sandwiched instead of the leaf spring portion.

こうして組み立てたられたベース部材207は、ネジにより互いの受け面を接合してホルダ部材208と一体化される。   The base member 207 assembled in this way is integrated with the holder member 208 by joining the receiving surfaces with screws.

カップリングレンズ202は、図4に示されるように、ホルダ部材208に形成された円筒面230に、コバ部との隙間に接着剤を充填して固定される。図3に示されるように、カップリングレンズ202の光軸251に直交する面250と発光装置201の配列面との平行性を合わせるため、図2に示されるように、予め発光装置201の面発光型半導体レーザアレイ245の配列面とフラットパッケージ246の表面301との平行度の誤差を測定しておき、その誤差を補正するような凸部310をフラットパッケージ246の表面301上に設け、当接面248(当接面248はカップリングレンズ202の光軸251に直交する面250と平行になるようあらかじめ設計されている)にフラットパッケージ246(発光装置201)の表面301側を突き当てて搭載する。   As shown in FIG. 4, the coupling lens 202 is fixed to the cylindrical surface 230 formed on the holder member 208 by filling the gap with the edge portion with an adhesive. As shown in FIG. 3, in order to match the parallelism of the surface 250 perpendicular to the optical axis 251 of the coupling lens 202 and the arrangement surface of the light emitting device 201, the surface of the light emitting device 201 is previously shown in FIG. An error of the parallelism between the arrangement surface of the light emitting semiconductor laser array 245 and the surface 301 of the flat package 246 is measured, and a convex portion 310 is provided on the surface 301 of the flat package 246 to correct the error. The surface 301 side of the flat package 246 (light emitting device 201) is abutted against the contact surface 248 (the contact surface 248 is designed in advance to be parallel to the surface 250 orthogonal to the optical axis 251 of the coupling lens 202). Mount.

以上のような構造を有することにより、光軸方向の位置が決まり、光ビームの射出方向を補正することができ、光ビームの射出方向を当接面248と直交させることができる。   With the above structure, the position in the optical axis direction is determined, the light beam emission direction can be corrected, and the light beam emission direction can be orthogonal to the contact surface 248.

次に、図6及び図7を参照し、本実施の形態に係るマルチビーム光源装置に含まれる発光装置のフラットパッケージの表面に設けられる凸部の構造について説明する。   Next, with reference to FIG. 6 and FIG. 7, the structure of the convex portion provided on the surface of the flat package of the light emitting device included in the multi-beam light source device according to the present embodiment will be described.

図6及び図7は、本実施の形態に係るマルチビーム光源装置を説明するための図であり、発光装置のパッケージ上に凸部が設けられた構成を示す斜視図である。   6 and 7 are diagrams for explaining the multi-beam light source device according to the present embodiment, and are perspective views showing a configuration in which convex portions are provided on the package of the light emitting device.

本実施の形態における発光装置201は、図6に示されるように、フラットパッケージ246の表面301上に凸部312を有する。   As shown in FIG. 6, the light emitting device 201 in the present embodiment has a convex portion 312 on the surface 301 of the flat package 246.

凸部312は、フラットパッケージ246の表面301上に312−1、312−2及び312−3の3つが設けられる。3つの凸部312−1、312−2及び312−3は、3つの凸部312のうち、どの2つの凸部312も互いに略等しい距離で離間するように分散し、フラットパッケージ246の平面視における重心が、3つの凸部312を頂点とする三角形の略重心付近にあるように設けられる。   Three protrusions 312, 312-1, 312-2, and 312-3 are provided on the surface 301 of the flat package 246. The three convex portions 312-1, 312-2, and 312-3 are dispersed such that any two convex portions 312 of the three convex portions 312 are separated from each other by a substantially equal distance, and the flat package 246 is viewed in plan view. The center of gravity is provided so that it is in the vicinity of the approximate center of gravity of a triangle having the three convex portions 312 as vertices.

このようにフラットパッケージ246の重心と3つの凸部312を頂点とする三角形の重心が略一致するように凸部312を設けた場合、フラットパッケージ246をフラットパッケージ246の表面301と反対側の面から押圧して固定する際、パッケージの中央部付近であればどこでも安定して押さえることができる。   As described above, when the convex portion 312 is provided so that the center of gravity of the flat package 246 and the center of gravity of the triangle having the three convex portions 312 as vertices substantially coincide with each other, the surface of the flat package 246 opposite to the surface 301 of the flat package 246 is provided. When being pressed and fixed, it can be stably held anywhere near the center of the package.

凸部312は、縦横1mm以下の板状の円形状の部材が接着されて構成される。凸部312の材質は、特に限定されるものではないが、板状の部材として、打抜加工、エッチング等の公知の手法で作製したSUS(ステンレス)の部材を用いることができる。上述したように、高低差をつけるために厚みの異なるSUS材を用いる場合には、種々の厚みを有するSUSの部材を用いることができ、この場合の凸部312の厚みは、特に限定されるもではないが、例えば40〜120μmの間で調整可能である。   The convex portion 312 is configured by adhering plate-like circular members having a length and width of 1 mm or less. Although the material of the convex part 312 is not specifically limited, The SUS (stainless steel) member produced by well-known methods, such as a punching process and an etching, can be used as a plate-shaped member. As described above, when SUS materials having different thicknesses are used in order to provide a difference in height, SUS members having various thicknesses can be used, and the thickness of the convex portion 312 in this case is particularly limited. Although it is not, it can adjust, for example between 40-120 micrometers.

この場合、板状の部材を接着するための接着剤の材質は、特に限定されるものではなく、例えば熱硬化型エポキシ樹脂を用いることができる。また、例えば接着剤の厚さは10μm程度に薄くすることができ、接着剤の厚さのばらつきも2〜3μm以下に抑えることができるため、SUSの部材の厚さに比べ、接着剤の厚さのばらつきはさほど問題にならない。   In this case, the material of the adhesive for bonding the plate-like member is not particularly limited, and for example, a thermosetting epoxy resin can be used. Further, for example, the thickness of the adhesive can be reduced to about 10 μm, and the variation in the thickness of the adhesive can be suppressed to 2 to 3 μm or less, so that the thickness of the adhesive is larger than the thickness of the SUS member. Variations in height are not a problem.

更に、凸部312の厚さを更に薄くする場合は、電着法によりあらかじめパターン化した状態で作製したニッケルの部材等を用いることができ、凸部312の厚さは、例えば10〜40μmの間で調整可能である。   Further, when the thickness of the convex portion 312 is further reduced, a nickel member or the like prepared in a state patterned in advance by an electrodeposition method can be used, and the thickness of the convex portion 312 is, for example, 10 to 40 μm. Can be adjusted between.

ここで、凸部312の、発光装置201から出射される光ビームの光軸とカップリングレンズ202の光軸との角度差を補正する作用について説明する。   Here, the effect | action which correct | amends the angle difference of the optical axis of the light beam of the convex part 312 emitted from the light-emitting device 201 and the optical axis of the coupling lens 202 is demonstrated.

3つの凸部312−1、312−2及び312−3に当接する平面は、その平面がフラットパッケージ246の表面301に接触しない範囲で、一義的に決定することができ、フラットパッケージ246の凸部312以外の部分がベース部材207に形成された取付面221(当接面248)に接触しない範囲で、フラットパッケージ246を任意の角度だけ傾けて取付面221(当接面248)に取付けることができる。ここで、3つの凸部312は、3つの凸部312に当接する平面と、取付面221(当接面248)とのなす角度が、発光装置201から出射される光ビームの光軸と、カップリングレンズ202の光軸251とのずれの角度に等しくなるように、設けられる。   The plane abutting against the three convex portions 312-1, 312-2, and 312-3 can be uniquely determined as long as the plane does not contact the surface 301 of the flat package 246. The flat package 246 is tilted by an arbitrary angle and attached to the attachment surface 221 (contact surface 248) so long as the portion other than the portion 312 does not contact the attachment surface 221 (contact surface 248) formed on the base member 207. Can do. Here, the three convex portions 312 have an angle formed by a plane that contacts the three convex portions 312 and the mounting surface 221 (contact surface 248), and the optical axis of the light beam emitted from the light emitting device 201. It is provided so as to be equal to the angle of deviation of the coupling lens 202 from the optical axis 251.

具体的には、3つの凸部312のうち、位置決め基準となる第1の凸部312−1の位置及び高さ、第2の凸部312−2の位置並びに第3の凸部312−3の位置を予め決定し、3つの凸部312が形成される前の発光装置201から出射される光ビームの光軸と、フラットパッケージ246の表面301の法線方向とのずれの角度を測定し、その角度差を補正するための第2の凸部312−2の高さ及び第3の凸部312−3の高さを算出して決定し、決定された位置及び高さを有する3つの凸部312をフラットパッケージ246の表面301上に形成する。   Specifically, among the three convex portions 312, the position and height of the first convex portion 312-1 serving as a positioning reference, the position of the second convex portion 312-2, and the third convex portion 312-3. And the angle of deviation between the optical axis of the light beam emitted from the light emitting device 201 before the three convex portions 312 are formed and the normal direction of the surface 301 of the flat package 246 is measured. The height of the second convex portion 312-2 and the height of the third convex portion 312-3 for correcting the angle difference are calculated and determined, and the three having the determined position and height are determined. The convex portion 312 is formed on the surface 301 of the flat package 246.

又は、3つの凸部312のうち、位置決め基準となる第1の凸部312−1の位置及び高さ、第2の凸部312−2の高さ並びに第3の凸部312−3の高さを予め決定し、3つの凸部312が形成される前に、発光装置201から出射される光ビームの光軸と、フラットパッケージ246の表面301の法線方向とのずれの角度を測定し、その角度差を補正するための第2の凸部312−2の位置及び第3の凸部312−3の位置を算出して決定し、決定された位置及び高さを有する3つの凸部312をフラットパッケージ246の表面301上に形成する。   Alternatively, of the three convex portions 312, the position and height of the first convex portion 312-1 serving as a positioning reference, the height of the second convex portion 312-2, and the height of the third convex portion 312-3. Before the three convex portions 312 are formed, the angle of deviation between the optical axis of the light beam emitted from the light emitting device 201 and the normal direction of the surface 301 of the flat package 246 is measured. The three convex portions having the determined position and height are determined by calculating the position of the second convex portion 312-2 and the position of the third convex portion 312-3 for correcting the angular difference. 312 is formed on the surface 301 of the flat package 246.

後述するように、発光装置201の複数の発光源は、主走査方向、副走査方向に配列数n、mにて2次元に配列されているため、各発光源がカップリングレンズ202の光軸251に直交する面250内に揃っていないと、カップリングレンズ202から射出されたビームの集束状態が各発光源で均一にならない。   As will be described later, since the plurality of light emitting sources of the light emitting device 201 are two-dimensionally arranged in the main scanning direction and the sub-scanning direction with the arrangement numbers n and m, each light emitting source is an optical axis of the coupling lens 202. If they are not aligned within the plane 250 orthogonal to 251, the focused state of the beam emitted from the coupling lens 202 is not uniform among the light emitting sources.

しかし、本実施の形態に係るマルチビーム光源装置においては、図6に示されるように、パッケージの表面に3つの凸部312を設けるため、その高低差により射出方向を補正することができる。   However, in the multi-beam light source device according to the present embodiment, as shown in FIG. 6, since the three convex portions 312 are provided on the surface of the package, the emission direction can be corrected by the height difference.

なお、凸部312のフラットパッケージ246の表面301上へ設けられる位置は、フラットパッケージ246の表面301上に略等しい距離で離間するように分散し、フラットパッケージ246の平面視における重心が、3つの凸部312を頂点とする三角形の略重心付近にあるように設けられるのであれば、特に限定されるものではなく、例えば図7に示されるように配置されてもよい。更に、3つの凸部312の高さは、フラットパッケージ246の表面301を光軸に対して所定の角度傾けることができるならば、特に限定されるものではなく、3つの凸部312の各々の位置と高低差は、種々に組み合わせてもよい。
(第1の実施の形態の第1の変形例)
次に、図8を参照し、本発明の第1の実施の形態の第1の変形例に係る発光装置及びマルチビーム光源装置を説明する。
Note that the positions of the convex portions 312 provided on the surface 301 of the flat package 246 are dispersed so as to be spaced apart at substantially the same distance on the surface 301 of the flat package 246, and the center of gravity of the flat package 246 in plan view is three. It is not particularly limited as long as it is provided so as to be in the vicinity of the approximate center of gravity of the triangle having the convex portion 312 as a vertex. For example, it may be arranged as shown in FIG. Further, the height of the three convex portions 312 is not particularly limited as long as the surface 301 of the flat package 246 can be inclined by a predetermined angle with respect to the optical axis, and each of the three convex portions 312 is not limited. The position and the height difference may be combined in various ways.
(First modification of the first embodiment)
Next, a light emitting device and a multi-beam light source device according to a first modification of the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

図8は、本変形例に係る発光装置を説明するための図であり、発光装置のパッケージ上に凸部が設けられた構成を示す斜視図である。ただし、以下の文中では、先に説明した部分には同一の符号を付し、説明を省略する場合がある(以下の変形例、実施の形態についても同様)。   FIG. 8 is a diagram for explaining the light emitting device according to this modification, and is a perspective view showing a configuration in which a convex portion is provided on the package of the light emitting device. However, in the following text, the same reference numerals are given to the parts described above, and the description may be omitted (the same applies to the following modified examples and embodiments).

本変形例に係る発光装置は、凸部の少なくとも1つがパッケージの表面の角部付近の領域に設けられ、凸部が矩形である点で、第1の実施の形態に係る発光装置と相違する。   The light emitting device according to this modification is different from the light emitting device according to the first embodiment in that at least one of the convex portions is provided in a region near the corner portion of the surface of the package, and the convex portions are rectangular. .

図8を参照するに、第1の実施の形態において、パッケージの平面視における重心が、3つの凸部を頂点とする三角形の略重心付近にあり、凸部が平面視において円形であるのと相違し、本変形例においては、凸部の少なくとも1つは、パッケージの表面の角部付近の領域に設けられ、凸部は平面視において矩形である。   Referring to FIG. 8, in the first embodiment, the center of gravity of the package in plan view is in the vicinity of the approximate center of gravity of a triangle having three convex portions as vertices, and the convex portion is circular in plan view. In the present modification, at least one of the convex portions is provided in a region near the corner portion of the surface of the package, and the convex portion is rectangular in plan view.

ここで、パッケージの表面の角部付近の領域とは、パッケージ表面に垂直方向に存在するパッケージの位置決め用側面2面の交差する近傍の表面に相当する。   Here, the region in the vicinity of the corner of the surface of the package corresponds to the surface in the vicinity of the intersection of the two positioning side surfaces of the package existing in the direction perpendicular to the package surface.

本変形例に係る発光装置201aは、図8に示されるように、フラットパッケージ246aの表面301a上に凸部311を有する。X軸をパッケージ表面に垂直な光軸方向とし、Y軸及びZ軸の方向に平行な辺を有するフラットパッケージ246aにおいて、Y方向及びZ方向の位置決め基準として、フラットパッケージ246aの側面のうち隣接する2面を基準面320、321とした場合に、基準面320、321の交差する近傍のフラットパッケージ246aの表面301aに、1つの凸部(第1の凸部311−1)、凸部311−1と同じY軸上に1つの凸部(第2の凸部311−2)、及び凸部311−1と同じZ軸上に1つの凸部(第3の凸部311−3)が設けられる。   As shown in FIG. 8, the light emitting device 201a according to the present modification has a convex portion 311 on the surface 301a of the flat package 246a. In a flat package 246a having an X-axis as an optical axis direction perpendicular to the package surface and sides parallel to the Y-axis and Z-axis directions, the side surface of the flat package 246a is adjacent as a positioning reference in the Y-direction and Z-direction. When the two surfaces are the reference surfaces 320 and 321, one convex portion (first convex portion 311-1) and convex portion 311- are formed on the surface 301a of the flat package 246a in the vicinity where the reference surfaces 320 and 321 intersect. 1 convex portion (second convex portion 311-2) on the same Y axis as 1, and one convex portion (third convex portion 311-3) on the same Z axis as the convex portion 311-1 It is done.

Y軸(又は略Y軸方向の回転軸)を回転中心としてフラットパッケージ246aの表面301aを回転させることによって面発光型半導体レーザアレイ245から出射される光軸方向を補正する場合は、第1の凸部311−1に対する第3の凸部311−3の高低差を調整する。同様に、Z軸(又は略Z軸方向の回転軸)を回転中心として回転させることによって光軸方向を補正する場合は、第1の凸部311−1に対する第2の凸部311−2の高低差を調整する。このように、Y軸(又は略Y軸方向の回転軸)及びZ軸(又は略Z軸方向の回転軸)の2つの軸を回転中心としてフラットパッケージ246aの表面301aを任意の方向に傾けることができるため、面発光型半導体レーザアレイ245から出射される光ビームの射出方向を任意の方向に調整することができる。   When correcting the optical axis direction emitted from the surface emitting semiconductor laser array 245 by rotating the surface 301a of the flat package 246a about the Y axis (or the rotation axis in the substantially Y axis direction), the first The height difference of the 3rd convex part 311-3 with respect to the convex part 311-1 is adjusted. Similarly, when the optical axis direction is corrected by rotating around the Z axis (or the rotation axis in the substantially Z axis direction), the second convex portion 311-2 with respect to the first convex portion 311-1. Adjust the height difference. As described above, the surface 301a of the flat package 246a is tilted in an arbitrary direction with the two axes of the Y axis (or the rotation axis in the substantially Y axis direction) and the Z axis (or the rotation axis in the approximately Z axis direction) as the rotation centers. Therefore, the emission direction of the light beam emitted from the surface emitting semiconductor laser array 245 can be adjusted to an arbitrary direction.

凸部311は、第1の実施の形態における円形状の部材に代わり、本変形例において矩形状の部材が用いられること以外は、縦横1mm以下の板状の矩形状の部材が接着されて構成されること、凸部311の材質、製造方法、接着剤の材質は、第1の実施の形態と同様である。   The convex portion 311 is configured by adhering a plate-like rectangular member of 1 mm or less in length and width, except that a rectangular member is used in this modification instead of the circular member in the first embodiment. The material of the convex portion 311, the manufacturing method, and the material of the adhesive are the same as those in the first embodiment.

本変形例では、位置決め基準となる第1の凸部311−1の位置及び高さ、第2の凸部311−2の位置並びに第3の凸部311−3の位置を予め決定し、3つの凸部311が形成される前の発光装置201aから出射される光ビームの光軸と、フラットパッケージ246aの表面301aとのずれの角度を測定し、その角度差を補正するための第2の凸部311−2の高さ及び第3の凸部311−3の高さを算出して決定し、決定された高さを有する3つの凸部311をフラットパッケージ246aの表面301a上に形成することができる。   In this modification, the position and height of the first convex portion 311-1 serving as a positioning reference, the position of the second convex portion 311-2, and the position of the third convex portion 311-3 are determined in advance. A second angle for measuring the angle of deviation between the optical axis of the light beam emitted from the light emitting device 201a before the two convex portions 311 are formed and the surface 301a of the flat package 246a and correcting the angle difference. The height of the convex portion 311-2 and the height of the third convex portion 311-3 are calculated and determined, and three convex portions 311 having the determined height are formed on the surface 301a of the flat package 246a. be able to.

これにより、発光装置201aが、フラットパッケージ246aの表面301aに形成された凸部311で当接するようにベース部材207の取付面221(当接面248)に取付けられた場合に、発光装置201から出射される光ビームの光軸とカップリングレンズ202の光軸が平行となり、カップリングレンズ202から射出されたビームの集束状態が各発光源で均一となる。   Accordingly, when the light emitting device 201a is attached to the attachment surface 221 (the contact surface 248) of the base member 207 so as to come into contact with the convex portion 311 formed on the surface 301a of the flat package 246a, the light emitting device 201a The optical axis of the emitted light beam and the optical axis of the coupling lens 202 are parallel, and the focusing state of the beam emitted from the coupling lens 202 is uniform in each light emitting source.

以上のように、本変形例に係る発光装置及びこの発光装置を含むマルチビーム光源装置においては、1つの凸部を角部付近の領域に設け、その1つの凸部からY軸及びZ軸方向に各々1つずつ高低差調整可能な凸部を設けることによって、Y軸及びZ軸の周りの回転方向に任意に傾けることが可能であり、第1の実施の形態に係る発光装置及びマルチビーム光源装置と同様に、光ビームの射出方向を補正することができる。   As described above, in the light-emitting device according to this modification and the multi-beam light source device including the light-emitting device, one convex portion is provided in the region near the corner portion, and the Y-axis and Z-axis directions from the one convex portion By providing convex portions that can be adjusted in height difference one by one, it is possible to arbitrarily incline in the rotational direction around the Y axis and the Z axis, and the light emitting device and multi-beam according to the first embodiment Similar to the light source device, the emission direction of the light beam can be corrected.

なお、本変形例において、3つの凸部のうち1つが角部付近の領域(パッケージ表面に垂直方向に存在する側面2面の交差する近傍の表面)に設けられるが、他の2つの凸部も、パッケージの表面の角部付近の領域に設けられる1つの凸部からY軸及びZ軸の方向に離間した別の角部付近の領域(別の側面2面の交差する近傍の表面)に設けることができる。
(第1の実施の形態の第2の変形例)
次に、図9を参照し、本発明の第1の実施の形態の第2の変形例に係る発光装置及びマルチビーム光源装置を説明する。
In this modification, one of the three protrusions is provided in a region near the corner (a surface in the vicinity of the intersecting two side surfaces present in the direction perpendicular to the package surface), but the other two protrusions. Also, in a region near one corner that is separated in the Y-axis and Z-axis directions from one convex portion provided in a region near the corner of the surface of the package (a surface in the vicinity where two other side surfaces intersect) Can be provided.
(Second modification of the first embodiment)
Next, a light-emitting device and a multi-beam light source device according to a second modification of the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

図9は、本変形例に係る発光装置を説明するための図であり、発光装置のパッケージ上に凸部が設けられた構成を示す斜視図である。   FIG. 9 is a diagram for explaining the light emitting device according to the present modification, and is a perspective view showing a configuration in which convex portions are provided on the package of the light emitting device.

本変形例に係る発光装置は、3つの凸部のうち、パッケージの表面の角部付近の領域に設けられた1つ以外の残りの2つの凸部について、高さではなく位置を調整する点で、第1の実施の形態の第1の変形例に係る発光装置と相違する。   The light-emitting device according to the present modified example adjusts the position, not the height, of the remaining two convex portions other than one provided in the region near the corner of the surface of the package among the three convex portions. Thus, the light emitting device is different from the light emitting device according to the first modification of the first embodiment.

図9を参照するに、第1の実施の形態の第1の変形例において、パッケージの表面の角部付近の領域に設けられた1つ以外の残りの2つの凸部の高さを調整するのと相違し、本変形例においては、残りの2つの凸部の高さは予め決められており、残りの2つの凸部の設ける位置を調整する。   Referring to FIG. 9, in the first modification of the first embodiment, the heights of the remaining two convex portions other than one provided in the region near the corner portion of the surface of the package are adjusted. Unlike the above, in the present modification, the heights of the remaining two convex portions are determined in advance, and the positions where the remaining two convex portions are provided are adjusted.

ここで、パッケージの表面の角部付近の領域が、パッケージ表面に垂直方向に存在するパッケージの位置決め用側面2面の交差する近傍の表面に相当するのは、第1の実施の形態の第1の変形例と同様である。   Here, the region in the vicinity of the corner of the package surface corresponds to the surface in the vicinity of the intersection of the two positioning side surfaces of the package that exist in the direction perpendicular to the package surface. This is the same as the modified example.

本変形例に係る発光装置201bは、図9に示されるように、フラットパッケージ246bの表面301b上に凸部311を有し、X軸をパッケージ表面に垂直な光軸方向とし、Y軸及びZ軸の方向に平行な辺を有するフラットパッケージ246bにおいて、Y方向及びZ方向の位置決め基準として、パッケージの側面のうち隣接する2面を基準面320、321とした場合に、基準面320、321の交差する近傍のフラットパッケージ246bの表面301bに、1つの凸部(第1の凸部311−1)、凸部311−1と同じY軸上に1つの凸部(第2の凸部311−2)、及び凸部311−1と同じZ軸上に1つの凸部(第3の凸部311−3)が設けられるのは、第1の実施の形態の第1の変形例と同様である。   As shown in FIG. 9, the light emitting device 201b according to the present modification has a convex portion 311 on the surface 301b of the flat package 246b, the X axis is the optical axis direction perpendicular to the package surface, and the Y axis and Z In the flat package 246b having sides parallel to the axis direction, when the two adjacent surfaces of the side surfaces of the package are used as the reference surfaces 320 and 321, as the positioning reference in the Y direction and the Z direction, the reference surfaces 320 and 321 One convex part (first convex part 311-1) and one convex part (second convex part 311- on the same Y axis as the convex part 311-1 are formed on the surface 301b of the flat package 246b in the vicinity of the intersection. 2) and the fact that one convex portion (third convex portion 311-3) is provided on the same Z axis as the convex portion 311-1 is the same as the first modification of the first embodiment. is there.

また、本変形例においては、Y軸(又は略Y軸方向の回転軸)を回転中心としてフラットパッケージ246bの表面301bを回転させることによって面発光型半導体レーザアレイ245から出射される光軸方向を補正する場合は、第1の凸部311−1に対して高低差を有する第3の凸部311−3の位置を調整する。同様に、Z軸(又は略Z軸方向の回転軸)を回転中心として回転させることによって光軸方向を補正する場合は、第1の凸部311−1に対して高低差を有する第2の凸部311−2の位置を調整する。このように、Y軸(又は略Y軸方向の回転軸)及びZ軸(又は略Z軸方向の回転軸)の2つの軸を回転中心としてフラットパッケージ246bの表面301bを任意の方向に傾けることができるため、面発光型半導体レーザアレイ245から出射される光ビームの射出方向を任意の方向に調整することができる。   Further, in this modification, the optical axis direction emitted from the surface emitting semiconductor laser array 245 is changed by rotating the surface 301b of the flat package 246b about the Y axis (or the rotation axis in the approximate Y axis direction). When correcting, the position of the 3rd convex part 311-3 which has a height difference with respect to the 1st convex part 311-1 is adjusted. Similarly, when correcting the optical axis direction by rotating about the Z axis (or the rotation axis in the substantially Z axis direction) as the rotation center, the second protrusion having a height difference with respect to the first convex portion 311-1. The position of the convex part 311-2 is adjusted. In this way, the surface 301b of the flat package 246b is tilted in an arbitrary direction with the two axes of the Y axis (or the rotation axis in the substantially Y axis direction) and the Z axis (or the rotation axis in the approximately Z axis direction) as the rotation center. Therefore, the emission direction of the light beam emitted from the surface emitting semiconductor laser array 245 can be adjusted to an arbitrary direction.

凸部311は、縦横1mm以下の板状の矩形状の部材が接着されて構成されること、凸部311の材質、製造方法、接着剤の材質は、第1の実施の形態の第1の変形例と同様である。   The convex portion 311 is configured by adhering plate-like rectangular members of 1 mm or less in length and width, and the material, manufacturing method, and adhesive material of the convex portion 311 are the same as those in the first embodiment. This is the same as the modification.

本変形例では、第1の実施の形態の第1の変形例と異なり、位置決め基準となる第1の凸部311−1の位置及び高さ、第2の凸部311−2の高さ並びに第3の凸部311−3の高さを予め決定した後、3つの凸部311が形成される前の発光装置201bから出射される光ビームの光軸と、フラットパッケージ246bの表面301bとのずれの角度を測定し、その角度差を補正するための第2の凸部311−2の高さ及び第3の凸部311−3の高さを算出して決定し、決定された高さを有する3つの凸部311をフラットパッケージ246bの表面301b上に形成することができる。   In the present modification, unlike the first modification of the first embodiment, the position and height of the first protrusion 311-1 serving as a positioning reference, the height of the second protrusion 311-2, and After the height of the third convex portion 311-3 is determined in advance, the optical axis of the light beam emitted from the light emitting device 201b before the three convex portions 311 are formed, and the surface 301b of the flat package 246b Measure the angle of deviation, determine the height of the second convex part 311-2 and the height of the third convex part 311-3 for correcting the angular difference, and determine the determined height Can be formed on the surface 301b of the flat package 246b.

これにより、発光装置201bを組み込んだマルチビーム光源装置において、カップリングレンズ202から射出されたビームの集束状態が各発光源で均一となる。   Thereby, in the multi-beam light source device incorporating the light emitting device 201b, the focused state of the beam emitted from the coupling lens 202 is uniform in each light emitting source.

以上のように、本変形例に係る発光装置及びこの発光装置を含むマルチビーム光源装置においては、1つの凸部を角部付近の領域に設け、その1つの凸部からY軸及びZ軸方向に各々1つずつ設置位置調整可能な凸部を設けることによって、Y軸及びZ軸の周りの回転方向に任意に傾けることが可能であり、第1の実施の形態に係る発光装置及びマルチビーム光源装置と同様に、光ビームの射出方向を補正することができる。
(第1の実施の形態の第3の変形例)
次に、図10を参照し、本発明の第1の実施の形態の第3の変形例に係る発光装置及びマルチビーム光源装置を説明する。
As described above, in the light-emitting device according to this modification and the multi-beam light source device including the light-emitting device, one convex portion is provided in the region near the corner portion, and the Y-axis and Z-axis directions from the one convex portion By providing each of the protrusions whose installation positions can be adjusted one by one, it is possible to arbitrarily incline in the rotational direction around the Y axis and the Z axis, and the light emitting device and multi-beam according to the first embodiment Similar to the light source device, the emission direction of the light beam can be corrected.
(Third modification of the first embodiment)
Next, a light-emitting device and a multi-beam light source device according to a third modification of the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

図10は、本変形例に係る発光装置を説明するための図であり、発光装置のパッケージ上に凸部が設けられた構成を示す斜視図である。   FIG. 10 is a diagram for explaining the light emitting device according to this modification, and is a perspective view showing a configuration in which a convex portion is provided on the package of the light emitting device.

本変形例に係る発光装置は、凸部が矩形状ではなく円板状である点で、第1の実施の形態の第1の変形例に係る発光装置と相違する。   The light-emitting device according to the present modification is different from the light-emitting device according to the first modification of the first embodiment in that the convex portion has a disc shape instead of a rectangular shape.

図10を参照するに、第1の実施の形態の第1の変形例において、凸部は矩形であるのと相違し、本変形例においては、凸部は円板状である。   Referring to FIG. 10, in the first modification of the first embodiment, the protrusion is different from a rectangle, and in the present modification, the protrusion has a disk shape.

本変形例に係る発光装置201cは、図10に示されるように、フラットパッケージ246cの表面301c上に凸部312を有し、X軸をパッケージ表面に垂直な光軸方向とし、Y軸及びZ軸の方向に平行な辺を有するフラットパッケージ246cにおいて、Y方向及びZ方向の位置決め基準として、パッケージの側面のうち隣接する2面を基準面320、321とした場合に、基準面320、321の交差する近傍のフラットパッケージ246cの表面301cに、1つの凸部(第1の凸部312−1)、凸部312−1と同じY軸上に1つの凸部(第2の凸部312−2)、及び凸部312−1と同じZ軸上に1つの凸部(第3の凸部312−3)が設けられるのは、第1の実施の形態の第1の変形例と同様である。   As shown in FIG. 10, the light emitting device 201c according to the present modification has a convex portion 312 on the surface 301c of the flat package 246c, the X axis is the optical axis direction perpendicular to the package surface, and the Y axis and Z In the flat package 246c having sides parallel to the axis direction, when two adjacent surfaces of the package side surfaces are used as the reference surfaces 320 and 321 as the positioning reference in the Y direction and the Z direction, the reference surfaces 320 and 321 One convex portion (first convex portion 312-1) and one convex portion (second convex portion 312- on the same Y axis as the convex portion 312-1 are formed on the surface 301c of the flat package 246c in the vicinity of the intersection. 2) and the fact that one convex portion (third convex portion 312-3) is provided on the same Z axis as the convex portion 312-1 is the same as the first modification of the first embodiment. is there.

また、第1の実施の形態の第1の変形例と同様に、第1の凸部312−1に対する第3の凸部312−3及び第2の凸部312−2の高低差を調整することによって、光ビームの射出方向を任意の方向に調整することができる。あるいは、第1の実施の形態の第2の変形例と同様に、第1の凸部312−1に対する第3の凸部312−3及び第2の凸部312−2の位置を調整することによっても、面発光型半導体レーザアレイ245から出射される光ビームの射出方向を任意の方向に調整することができる。   Further, as in the first modification of the first embodiment, the height difference between the third convex portion 312-3 and the second convex portion 312-2 with respect to the first convex portion 312-1 is adjusted. Thus, the light beam emission direction can be adjusted to an arbitrary direction. Or similarly to the 2nd modification of 1st Embodiment, adjusting the position of the 3rd convex part 312-3 and the 2nd convex part 312-2 with respect to the 1st convex part 312-1. Also, the emission direction of the light beam emitted from the surface emitting semiconductor laser array 245 can be adjusted to an arbitrary direction.

ただし、本変形例において、凸部312は、第1の実施の形態と同様に、縦横1mm以下の円板状の部材が接着されて構成される。凸部312が矩形状ではなく円板状であるため、凸部312の設置する際の形状の方向を調整する必要がない。   However, in the present modification, the convex portion 312 is configured by adhering a disk-like member having a length and width of 1 mm or less, as in the first embodiment. Since the convex portion 312 has a disc shape instead of a rectangular shape, it is not necessary to adjust the direction of the shape when the convex portion 312 is installed.

本変形例においても、第1の実施の形態の第1の変形例と同様に、発光装置から射出される光ビームの射出方向を補正することができ、この発光装置を含むマルチビーム光源装置においても、カップリングレンズから射出されたビームの集束状態を各発光源で均一とすることができる。
(第1の実施の形態の第4の変形例)
次に、図11を参照し、本発明の第1の実施の形態の第4の変形例に係る発光装置及びマルチビーム光源装置を説明する。
Also in the present modification, as in the first modification of the first embodiment, the emission direction of the light beam emitted from the light emitting device can be corrected. In the multi-beam light source device including this light emitting device, In addition, the focused state of the beam emitted from the coupling lens can be made uniform in each light emitting source.
(Fourth modification of the first embodiment)
Next, a light emitting device and a multi-beam light source device according to a fourth modification of the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

図11は、本変形例に係る発光装置を説明するための図であり、発光装置のパッケージ上に凸部が設けられた構成を示す斜視図である。   FIG. 11 is a diagram for explaining the light emitting device according to this modification, and is a perspective view showing a configuration in which a convex portion is provided on a package of the light emitting device.

本変形例に係る発光装置は、凸部の表面が略球面状である点で、第1の実施の形態の第3の変形例に係る発光装置と相違する。   The light emitting device according to this modification is different from the light emitting device according to the third modification of the first embodiment in that the surface of the convex portion is substantially spherical.

図11を参照するに、第1の実施の形態の第3の変形例において、凸部の表面は平坦であるのと相違し、本変形例においては、凸部の表面は略球面状である。   Referring to FIG. 11, in the third modification of the first embodiment, the surface of the protrusion is different from the flat surface. In this modification, the surface of the protrusion is substantially spherical. .

本変形例に係る発光装置201dは、図11に示されるように、フラットパッケージ246dの表面301d上に凸部313を有し、第1の実施の形態の第3の変形例と同様に、基準面320、321の交差する近傍のフラットパッケージ246dの表面301dに、1つの凸部(第1の凸部313−1)、凸部313−1と同じY軸上に1つの凸部(第2の凸部313−2)、及び凸部313−1と同じZ軸上に1つの凸部(第3の凸部313−3)が設けられる。   As shown in FIG. 11, the light emitting device 201d according to the present modification has a convex portion 313 on the surface 301d of the flat package 246d, and the reference is the same as in the third modification of the first embodiment. One convex portion (first convex portion 313-1) and one convex portion on the same Y axis as the convex portion 313-1 (second convex portion) are formed on the surface 301d of the flat package 246d in the vicinity where the surfaces 320 and 321 intersect. , And one convex portion (third convex portion 313-3) is provided on the same Z axis as the convex portion 313-1.

ただし、本変形例において、凸部313は、表面が略球面状である。凸部313は、表面が略球面状であるため、凸部とパッケージの接触する位置がほとんど変わらず、高精度な補正が可能となる。   However, in the present modification, the convex portion 313 has a substantially spherical surface. Since the convex portion 313 has a substantially spherical surface, the position where the convex portion and the package come into contact with each other hardly changes, and highly accurate correction is possible.

本変形例では、凸部313は、樹脂系の接着剤を塗布することによって形成され、表面張力を利用して表面を略球面状にしている。凸部313の材質は、特に限定されるものではないが、例えば熱硬化型エポキシ樹脂系の接着剤を用いることができ、凸部313の形成方法も、特に限定されるものではないが、例えば熱硬化型エポキシ樹脂をディスペンサで塗布する方法を用いることができる。   In this modification, the convex portion 313 is formed by applying a resin adhesive and has a substantially spherical surface utilizing surface tension. Although the material of the convex part 313 is not specifically limited, For example, a thermosetting epoxy resin adhesive can be used, and the formation method of the convex part 313 is not particularly limited, for example, A method of applying a thermosetting epoxy resin with a dispenser can be used.

この場合、凸部313は、樹脂系の接着剤を塗布する塗布量を調整することによって、高さを調整することができる。従って、第1の実施の形態の第1の変形例と同様に、第1の凸部313−1に対する第3の凸部313−3及び第2の凸部313−2の高低差を調整することによって、光ビームの射出方向を任意の方向に調整することができる。   In this case, the height of the convex portion 313 can be adjusted by adjusting the amount of application of the resin adhesive. Accordingly, as in the first modification of the first embodiment, the height difference between the third convex portion 313-3 and the second convex portion 313-2 with respect to the first convex portion 313-1 is adjusted. Thus, the light beam emission direction can be adjusted to an arbitrary direction.

また、凸部313は、樹脂系の接着剤を塗布する塗布量を調整する代わりに、樹脂を塗布する位置を変えて調整することもできる。この場合は、第1の実施の形態の第2の変形例と同様に、第1の凸部313−1に対する第3の凸部313−3及び第2の凸部313−2の位置を調整することによって、光ビームの射出方向を任意の方向に調整することができる。   Moreover, the convex part 313 can also be adjusted by changing the position which apply | coats resin instead of adjusting the application quantity which applies a resin-type adhesive agent. In this case, as in the second modification of the first embodiment, the positions of the third convex portion 313-3 and the second convex portion 313-2 with respect to the first convex portion 313-1 are adjusted. By doing so, the emission direction of the light beam can be adjusted to an arbitrary direction.

本変形例においても、第1の実施の形態の第3の変形例と同様に、発光装置から射出される光ビームの射出方向を補正することができ、この発光装置を含むマルチビーム光源装置においても、カップリングレンズから射出されたビームの集束状態が各発光源で均一となる。   Also in the present modification, as in the third modification of the first embodiment, the emission direction of the light beam emitted from the light emitting device can be corrected. In the multi-beam light source device including the light emitting device, However, the focused state of the beam emitted from the coupling lens is uniform in each light emitting source.

なお、本変形例では、樹脂系の接着剤の代わりに、樹脂系の接着剤より硬い無機系の接着剤を用いることができる。   In this modification, an inorganic adhesive harder than the resin adhesive can be used instead of the resin adhesive.

また、本変形例では、熱硬化型エポキシ樹脂系接着剤をディスペンサで塗布することによって凸部を形成するが、低融点金属であるペースト状の半田をメタルマスクで印刷し、炉で溶融させることによって、その表面張力を利用して表面を球面状にした凸部を形成することもできる。凸部の高低差の調整は、メタルマスクの厚さまたは穴径を調整することによって行うことができる。更に、ペースト状の半田を塗布する方法として、ディスペンサ、インクジェット等の公知の塗布方法を用いることができ、塗布量を調整することによって、凸部の高低差を調整することができる。   Moreover, in this modification, a convex part is formed by applying a thermosetting epoxy resin adhesive with a dispenser, but a paste solder which is a low melting point metal is printed with a metal mask and melted in a furnace. Thus, a convex portion having a spherical surface can be formed by utilizing the surface tension. The height difference of the convex portion can be adjusted by adjusting the thickness or the hole diameter of the metal mask. Furthermore, as a method of applying the paste-like solder, a known application method such as a dispenser or an ink jet can be used, and the height difference of the convex portion can be adjusted by adjusting the application amount.

また、本変形例では、パッケージの隣接する2つの側面が交差する近傍の表面に設けた第1の凸部313−1と同じY軸上、Z軸上に第2の凸部313−2、第3の凸部313−3を設けているが、第2の凸部313−2、第3の凸部313−3は、第1の凸部313−1と同一軸上になくても、パッケージ表面301d上であれば、任意の場所に設けることができる。
(第2の実施の形態)
次に、図12乃至図17を参照し、本発明の第2の実施の形態に係るマルチビーム光源装置を説明する。
Moreover, in this modification, the second convex part 313-2 on the same Y-axis and Z-axis as the first convex part 313-1 provided on the surface in the vicinity where two adjacent side surfaces of the package intersect, Although the 3rd convex part 313-3 is provided, even if the 2nd convex part 313-1 and the 3rd convex part 313-3 are not on the same axis as the 1st convex part 313-1, If it is on the package surface 301d, it can be provided at any location.
(Second Embodiment)
Next, a multi-beam light source device according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.

始めに、図12乃至図15を参照し、本実施の形態に係るマルチビーム光源装置の概略の構成を説明する。   First, a schematic configuration of the multi-beam light source device according to the present embodiment will be described with reference to FIGS.

図12は、本実施の形態に係るマルチビーム光源装置に含まれる発光装置の構成を模式的に示す分解斜視図である。図13は、本実施の形態に係るマルチビーム光源装置の構成を示す主走査断面図である。図14は、本実施の形態に係るマルチビーム光源装置の分解斜視図である。図15は、本実施の形態に係るマルチビーム光源装置のベース部材から付勢部材までの部分を拡大して示す分解斜視図である。   FIG. 12 is an exploded perspective view schematically showing a configuration of a light emitting device included in the multi-beam light source device according to the present embodiment. FIG. 13 is a main-scan sectional view showing the configuration of the multi-beam light source device according to the present embodiment. FIG. 14 is an exploded perspective view of the multi-beam light source device according to the present embodiment. FIG. 15 is an exploded perspective view showing an enlarged portion from the base member to the biasing member of the multi-beam light source device according to the present embodiment.

本実施の形態に係るマルチビーム光源装置は、フラットパッケージが当接されるベース部材側に凸部が設けられる点で、第1の実施の形態に係るマルチビーム光源装置と相違する。   The multi-beam light source device according to the present embodiment is different from the multi-beam light source device according to the first embodiment in that a convex portion is provided on the base member side on which the flat package abuts.

図12乃至図15を参照するに、第1の実施の形態において、発光装置のフラットパッケージの表面に凸部が設けられ、その高低差により発光装置から出射される光ビームの射出方向が補正されるのと相違し、本実施の形態に係るマルチビーム光源装置107aは、フラットパッケージ246eが当接されるベース部材207a側に凸部が設けられ、その高低差により射出方向が補正される。   12 to 15, in the first embodiment, a convex portion is provided on the surface of the flat package of the light emitting device, and the emission direction of the light beam emitted from the light emitting device is corrected by the height difference. Unlike the above, in the multi-beam light source device 107a according to the present embodiment, a convex portion is provided on the base member 207a side with which the flat package 246e abuts, and the emission direction is corrected by the height difference.

マルチビーム光源装置107aが、図13乃至図15に示されるように、発光装置201e、カップリングレンズ202、アパーチャミラー203、収束レンズ204、光検知センサ210、制御基板206、ベース部材207a、ホルダ部材208、付勢部材209、ブラケット部材211及び光束分割プリズム108から構成されるのは、第1の実施の形態と同様である。   As shown in FIGS. 13 to 15, the multi-beam light source device 107a includes a light emitting device 201e, a coupling lens 202, an aperture mirror 203, a converging lens 204, a light detection sensor 210, a control substrate 206, a base member 207a, and a holder member. The configuration of 208, the urging member 209, the bracket member 211, and the light beam splitting prism 108 is the same as in the first embodiment.

発光装置201eが、図12に示されるように、発光素子アレイ245、フラットパッケージ246e、ガラス窓247から構成され、発光素子アレイ245が、面発光型半導体レーザアレイ245であるのは、第1の実施の形態と同様である。   As shown in FIG. 12, the light emitting device 201e includes a light emitting element array 245, a flat package 246e, and a glass window 247. The light emitting element array 245 is a surface emitting semiconductor laser array 245. This is the same as the embodiment.

マルチビーム光源装置107aは、図14に示されるように、カップリングレンズ202を保持するホルダ部材208と、発光装置201eを実装した制御基板206を保持するベース部材207aとをカップリングレンズ202の光軸に直交する基準面で接合し、ねじ締結することで一体化した構成としているのは、第1の実施の形態と同様である。   As shown in FIG. 14, the multi-beam light source device 107a includes a holder member 208 that holds the coupling lens 202 and a base member 207a that holds the control board 206 on which the light emitting device 201e is mounted. It is the same as that of 1st Embodiment that it is set as the structure integrated by joining by the reference plane orthogonal to an axis | shaft, and screw fastening.

ベース部材207aとホルダ部材208とが、例えばアルミダイキャスト又は略同一の熱膨張係数を有する別材質よりなること、ベース部材207aには、上記した発光装置201eからのビーム強度を検出するためのアパーチャミラー203、収束レンズ204及び制御基板206上に実装される光検知センサ210へとビームを折り返すミラー205が設けられること、も第1の実施の形態と同様である。   The base member 207a and the holder member 208 are made of, for example, aluminum die cast or another material having substantially the same thermal expansion coefficient, and the base member 207a has an aperture for detecting the beam intensity from the light emitting device 201e. Similarly to the first embodiment, the mirror 205, the converging lens 204, and the mirror 205 for turning the beam back to the light detection sensor 210 mounted on the control board 206 are provided.

しかしながら、制御基板206のベース部材207aへの取付け方法は、第1の実施の形態と異なる。   However, the method of attaching the control board 206 to the base member 207a is different from that of the first embodiment.

制御基板206のベース部材207aへの取り付けは、図15に示されるように、ベース部材207aに形成された取付面221a(当接面248a)に凸部330を設け、発光装置201eのフラットパッケージ246eの表面301e側を凸部330に当接し、光軸と直交する面内での位置決めを行い、発光装置201eの側面のうち、隣接する2面320、321を予め決められた基準面である内側面に突き当てて、光軸と直交方向の位置決めを行う。ここで、本実施の形態においては、当接面248aは、第1の実施の形態と異なり、取付面248aから僅かに傾けられている。また、更に、取付面222には光検知センサ210の上面が当接される。   As shown in FIG. 15, the control board 206 is attached to the base member 207a by providing a convex portion 330 on the attachment surface 221a (abutment surface 248a) formed on the base member 207a, and the flat package 246e of the light emitting device 201e. Of the light emitting device 201e, the two adjacent surfaces 320 and 321 are the predetermined reference surfaces. Positioning in the direction orthogonal to the optical axis by abutting against the side surface. Here, in the present embodiment, the contact surface 248a is slightly inclined from the mounting surface 248a, unlike the first embodiment. Further, the upper surface of the light detection sensor 210 is brought into contact with the mounting surface 222.

本実施の形態でも、第1の実施の形態と同様に、板金で成型された付勢部材209の板ばね部220により制御基板206を裏側から押圧するとともに、3点のアンカー部(折り曲げ部)218を制御基板206の穴219に嵌合して制御基板206を矢印方向223に寄せ組みすることで、ベース部材207aに対する発光装置201eの位置決めがなされる。   Also in this embodiment, as in the first embodiment, the control board 206 is pressed from the back side by the leaf spring portion 220 of the urging member 209 formed of sheet metal, and three anchor portions (folded portions). The light emitting device 201e is positioned with respect to the base member 207a by fitting 218 into the hole 219 of the control board 206 and assembling the control board 206 in the arrow direction 223.

ベース部材207aには、第1の実施の形態と同様に、3箇所のスタッド216が形成され、制御基板206に開けた貫通穴217を貫通して、スタッド216に付勢部材209をネジ232で締結することで、制御基板206を支持する。付勢部材209にて制御基板206を裏側から押圧しており、制御基板206をベース部材207a等に直接締結しない構成なので、制御基板206に負荷をかけずに、発光装置201eをベース部材207aに確実に位置決めし、支持することができる。   As in the first embodiment, the base member 207 a is formed with three studs 216, penetrating through the through holes 217 formed in the control board 206, and attaching the biasing member 209 to the studs 216 with screws 232. The control board 206 is supported by fastening. Since the control board 206 is pressed from the back side by the urging member 209 and the control board 206 is not directly fastened to the base member 207a or the like, the light emitting device 201e is attached to the base member 207a without applying a load to the control board 206. It can be positioned and supported reliably.

尚、付勢部材209は、第1の実施の形態と同様に、弾性を有する材質であれば樹脂等で形成してもよく、板ばね部の代わりに、ゴム等の弾性部材を挟み込んでもよい。   As in the first embodiment, the urging member 209 may be formed of a resin or the like as long as it is a material having elasticity, or an elastic member such as rubber may be sandwiched instead of the leaf spring portion. .

こうして組み立てられたベース部材207aが、ネジにより互いの受け面を接合してホルダ部材208と一体化されるのは、第1の実施の形態と同様である。   The base member 207a assembled in this manner is integrated with the holder member 208 by joining the receiving surfaces with screws, as in the first embodiment.

カップリングレンズ202は、図14に示されるように、第1の実施の形態と同様に、ホルダ部材208に形成された円筒面230に、コバ部との隙間に接着剤を充填して固定される。図13に示されるように、カップリングレンズ202の光軸251に直交する面250と発光装置201eの配列面との平行性を合わせるため、予め発光装置201eの面発光型半導体レーザアレイ245の配列面とフラットパッケージ246eの表面301eの平行度の誤差を測定しておき、図15に示されるように、その誤差を補正するような凸部330をベース部材207aに形成された取付面221aに設け、凸部330に発光装置201eのフラットパッケージ246eの表面301e側を突き当てるように、発光装置201eを取付面221aに搭載する。   As shown in FIG. 14, the coupling lens 202 is fixed to the cylindrical surface 230 formed on the holder member 208 with an adhesive filled in the gap with the edge portion, as in the first embodiment. The As shown in FIG. 13, in order to match the parallelism of the surface 250 orthogonal to the optical axis 251 of the coupling lens 202 and the arrangement surface of the light emitting device 201e, the arrangement of the surface emitting semiconductor laser array 245 of the light emitting device 201e in advance. An error in the parallelism between the surface and the surface 301e of the flat package 246e is measured, and as shown in FIG. 15, a convex portion 330 for correcting the error is provided on the mounting surface 221a formed on the base member 207a. The light emitting device 201e is mounted on the attachment surface 221a so that the convex portion 330 abuts the surface 301e side of the flat package 246e of the light emitting device 201e.

以上のような構造を有することにより、光軸方向の位置が決まり、光ビームの射出方向が補正でき、光ビームの射出方向を取付面221aと直交させることができる。   By having the structure as described above, the position in the optical axis direction is determined, the emission direction of the light beam can be corrected, and the emission direction of the light beam can be orthogonal to the mounting surface 221a.

次に、図16及び図17を参照し、本実施の形態に係るマルチビーム光源装置に含まれる発光装置のパッケージについて説明する。   Next, a light emitting device package included in the multi-beam light source device according to the present embodiment will be described with reference to FIGS.

図16及び図17は、本実施の形態に係るマルチビーム光源装置を説明するための図であり、ベース部材の取付面上に凸部が設けられた構成を示す斜視図である。   16 and 17 are diagrams for explaining the multi-beam light source device according to the present embodiment, and are perspective views showing a configuration in which a convex portion is provided on the mounting surface of the base member.

図16を参照するに、本実施の形態において、マルチビーム光源装置107aは、ベース部材207aの取付面221a上に凸部334を有する。   Referring to FIG. 16, in the present embodiment, multi-beam light source device 107a has a convex portion 334 on mounting surface 221a of base member 207a.

凸部334は、ベース部材207aの取付面221a上に334−1、334−2及び334−3の3つが設けられる。3つの凸部334−1、334−2及び334−3は、3つの凸部334のうち、どの2つの凸部334も互いに略等しい距離で離間するように分散し、取付面221a上に取付けられる(図2に示される)フラットパッケージ246eの平面視における重心が、3つの凸部334を頂点とする三角形の略重心付近にあるように設けられる。   As for the convex part 334, three, 334-1, 334-2, and 334-3, are provided on the attachment surface 221a of the base member 207a. The three convex portions 334-1, 334-2, and 334-3 are dispersed on the mounting surface 221a so that any two convex portions 334 of the three convex portions 334 are spaced apart from each other by a substantially equal distance. The flat package 246e (shown in FIG. 2) is provided so that the center of gravity in plan view is in the vicinity of the approximate center of gravity of a triangle having the three convex portions 334 as apexes.

このようにフラットパッケージ246eの重心と3つの凸部334を頂点とする三角形の重心が略一致するように凸部334を設けた場合、フラットパッケージ246eをフラットパッケージ246eの表面301eと反対側の面から押圧して固定する際、パッケージの中央部付近であればどこでも安定して押さえることができる。   When the convex portion 334 is provided so that the center of gravity of the flat package 246e and the center of gravity of the triangle having the three convex portions 334 as vertices substantially coincide with each other, the flat package 246e is a surface opposite to the surface 301e of the flat package 246e. When being pressed and fixed, it can be stably held anywhere near the center of the package.

凸部334は、縦横1mm以下の板状の円形状の部材が接着されて構成される。凸部334の材質は、特に限定されるものではないが、板状の部材として、打抜加工、エッチング等の公知の手法で作製したSUS(ステンレス)の部材を用いることができる。上述したように、高低差をつけるために厚みの異なるSUS材を用いる場合には、種々の厚みを有するSUSの部材を用いることができ、この場合の凸部312の厚みは、特に限定されるもではないが、例えば40〜120μmの間で調整可能である。   The convex portion 334 is configured by adhering a plate-like circular member having a length and width of 1 mm or less. Although the material of the convex part 334 is not specifically limited, The SUS (stainless steel) member produced by well-known methods, such as a punching process and an etching, can be used as a plate-shaped member. As described above, when SUS materials having different thicknesses are used in order to provide a difference in height, SUS members having various thicknesses can be used, and the thickness of the convex portion 312 in this case is particularly limited. Although it is not, it can adjust, for example between 40-120 micrometers.

この場合、板状の部材を接着するための接着剤の材質は、特に限定されるものではなく、例えば熱硬化型エポキシ樹脂を用いることができる。また、例えば接着剤の厚さは10μm程度に薄くすることができ、接着剤の厚さのばらつきも2〜3μm以下に抑えることができるため、SUSの部材の厚さに比べ、接着剤の厚さのばらつきはさほど問題にならない。   In this case, the material of the adhesive for bonding the plate-like member is not particularly limited, and for example, a thermosetting epoxy resin can be used. Further, for example, the thickness of the adhesive can be reduced to about 10 μm, and the variation in the thickness of the adhesive can be suppressed to 2 to 3 μm or less, so that the thickness of the adhesive is larger than the thickness of the SUS member. Variations in height are not a problem.

更に、凸部334の厚さを更に薄くする場合は、電着法によりあらかじめパターン化した状態で作製したニッケルの部材等を用いることができ、凸部334の厚さは、例えば10〜40μmの間で調整可能である。   Further, when the thickness of the convex portion 334 is further reduced, a nickel member or the like prepared in a state patterned in advance by an electrodeposition method can be used. The thickness of the convex portion 334 is, for example, 10 to 40 μm. Can be adjusted between.

ここで、凸部334の、発光装置201eから出射される光ビームの光軸とカップリングレンズ202の光軸との角度差を補正する作用について説明する。   Here, the effect | action which correct | amends the angle difference of the optical axis of the light beam radiate | emitted from the light-emitting device 201e and the optical axis of the coupling lens 202 of the convex part 334 is demonstrated.

3つの凸部334−1、334−2及び334−3に当接する平面は、フラットパッケージ246eの表面301eがベース部材207aの取付面221a上に接触しない範囲において、一義的に決定することができ、フラットパッケージ246eを任意の角度だけ傾けて取付面221aに取付けることができる。ここで、3つの凸部334は、3つの凸部334に当接する平面と、取付面221aとのなす角度が、発光装置201eから出射される光ビームの光軸と、カップリングレンズ202の光軸251とのずれの角度に等しくなるように、設けられる。   The plane abutting against the three convex portions 334-1, 334-2, and 334-3 can be uniquely determined within a range in which the surface 301e of the flat package 246e does not contact the mounting surface 221a of the base member 207a. The flat package 246e can be attached to the attachment surface 221a at an arbitrary angle. Here, the three convex portions 334 have an angle formed by a plane that contacts the three convex portions 334 and the mounting surface 221a such that the optical axis of the light beam emitted from the light emitting device 201e and the light of the coupling lens 202 It is provided so as to be equal to the angle of deviation from the shaft 251.

具体的には、3つの凸部334のうち、位置決め基準となる第1の凸部334−1の位置及び高さ、第2の凸部334−2の位置並びに第3の凸部334−3の位置を予め決定し、発光装置201eを3つの凸部334が形成される前のベース部材207aの取付面221aに当接させ、発光装置201eから出射される光ビームの光軸と、カップリングレンズ202の光軸251とのずれの角度を測定し、その角度差を補正するための第2の凸部334−2の高さ及び第3の凸部334−3の高さを算出して決定し、決定された位置及び高さを有する3つの凸部334をベース部材207aの取付面221a上に形成する。   Specifically, among the three protrusions 334, the position and height of the first protrusion 334-1 serving as a positioning reference, the position of the second protrusion 334-2, and the third protrusion 334-3. , The light emitting device 201e is brought into contact with the mounting surface 221a of the base member 207a before the three convex portions 334 are formed, the optical axis of the light beam emitted from the light emitting device 201e, and the coupling The angle of deviation of the lens 202 from the optical axis 251 is measured, and the height of the second convex portion 334-2 and the height of the third convex portion 334-3 for correcting the angular difference are calculated. The three convex portions 334 having the determined position and height are formed on the mounting surface 221a of the base member 207a.

又は、3つの凸部334のうち、位置決め基準となる第1の凸部334−1の位置及び高さ、第2の凸部334−2の高さ並びに第3の凸部334−3の高さを予め決定し、発光装置201eを3つの凸部334が形成される前のベース部材207aの取付面221aに当接させ、発光装置201eから出射される光ビームの光軸と、カップリングレンズ202の光軸251とのずれの角度を測定し、その角度差を補正するための第2の凸部334−2の位置及び第3の凸部334−3の位置を算出して決定し、決定された位置及び高さを有する3つの凸部334をフラットパッケージ246eのベース部材207aの取付面221a上に形成する。   Or, among the three convex portions 334, the position and height of the first convex portion 334-1 serving as a positioning reference, the height of the second convex portion 334-2, and the height of the third convex portion 334-3. The light emitting device 201e is brought into contact with the mounting surface 221a of the base member 207a before the three convex portions 334 are formed, the optical axis of the light beam emitted from the light emitting device 201e, and the coupling lens 202, the angle of deviation from the optical axis 251 of 202 is measured, the position of the second convex portion 334-2 and the position of the third convex portion 334-3 for correcting the angular difference are calculated and determined, Three convex portions 334 having the determined position and height are formed on the mounting surface 221a of the base member 207a of the flat package 246e.

後述するように、発光装置201eの複数の発光源は、主走査方向、副走査方向に配列数n、mにて2次元に配列されているため、各発光源がカップリングレンズ202の光軸251に直交する面250内に揃っていないと、カップリングレンズ202から射出されたビームの集束状態が各発光源で均一にならない。   As will be described later, since the plurality of light emitting sources of the light emitting device 201e are two-dimensionally arranged in the main scanning direction and the sub-scanning direction with the number of arrays n and m, each light emitting source is an optical axis of the coupling lens 202. If they are not aligned within the plane 250 orthogonal to 251, the focused state of the beam emitted from the coupling lens 202 is not uniform among the light emitting sources.

しかし、本実施の形態に係るマルチビーム光源装置においては、図16に示されるように、パッケージの表面に3つの凸部334を設けるため、その高低差により射出方向を補正することができる。   However, in the multi-beam light source device according to the present embodiment, as shown in FIG. 16, since the three convex portions 334 are provided on the surface of the package, the emission direction can be corrected by the height difference.

なお、凸部334のベース部材207aの取付面221aへ設けられる位置は、ベース部材207aの取付面221a上に略等しい距離で離間するように分散し、フラットパッケージ246eの平面視における重心が、3つの凸部334を頂点とする三角形の略重心付近にあるように設けられるのであれば、特に限定されるものではなく、例えば図17に示されるように配置されてもよい。更に、3つの凸部334の高さは、ベース部材207aの取付面221aを光軸に対して所定の角度傾けることができるならば、特に限定されるものではなく、3つの凸部334の各々の位置と高低差は、種々に組み合わせてもよい。
(第2の実施の形態の第1の変形例)
次に、図18(a)及び図18(b)を参照し、本発明の第2の実施の形態の第1の変形例に係るマルチビーム光源装置を説明する。
Note that the positions of the convex portions 334 provided on the mounting surface 221a of the base member 207a are dispersed so as to be spaced apart at substantially equal distances on the mounting surface 221a of the base member 207a, and the center of gravity of the flat package 246e in plan view is 3 It is not particularly limited as long as it is provided so as to be in the vicinity of the approximate center of gravity of a triangle having two convex portions 334 as apexes. For example, it may be arranged as shown in FIG. Further, the height of the three convex portions 334 is not particularly limited as long as the mounting surface 221a of the base member 207a can be inclined by a predetermined angle with respect to the optical axis, and each of the three convex portions 334 is not limited. The position and height difference may be combined in various ways.
(First Modification of Second Embodiment)
Next, a multi-beam light source apparatus according to a first modification of the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 18 (a) and 18 (b).

図18(a)及び図18(b)は、本変形例に係るマルチビーム光源装置を説明するための図であり、ベース部材の取付面上に凸部が設けられた構成を模式的に示す平面図及び断面図である。   FIGS. 18A and 18B are views for explaining the multi-beam light source device according to the present modification, and schematically show a configuration in which convex portions are provided on the mounting surface of the base member. It is a top view and sectional drawing.

本変形例に係るマルチビーム光源装置は、凸部がネジの先端であり、ネジの少なくとも1つがベース部材の取付面上の角部付近の領域に設けられる点で、第2の実施の形態に係るマルチビーム光源装置と相違する。   The multi-beam light source device according to this modification is based on the second embodiment in that the convex portion is the tip of the screw and at least one of the screws is provided in a region near the corner on the mounting surface of the base member. This is different from the multi-beam light source device.

図18を参照するに、第2の実施の形態において、凸部が板状の矩形状の部材であり、フラットパッケージの平面視における重心が、3つの凸部を頂点とする三角形の略重心付近にあるのと相違し、本変形例においては、凸部はベース部材207bを貫通するネジの先端であり、ネジの少なくとも1つは、ベース部材207bの取付面221b上であって、発光装置201eのフラットパッケージ246eの表面の角部付近に対応する領域に設けられる。   Referring to FIG. 18, in the second embodiment, the convex portion is a plate-like rectangular member, and the center of gravity of the flat package in plan view is around the approximate center of gravity of a triangle having three convex portions as apexes. In this modification, the convex portion is the tip of a screw that penetrates the base member 207b, and at least one of the screws is on the mounting surface 221b of the base member 207b, and the light emitting device 201e. The flat package 246e is provided in a region corresponding to the vicinity of the corner of the surface.

図18(a)及び図18(b)を参照するに、本変形例において、ベース部材207bの取付面221bに3つのネジ穴が設けられ、その3つのネジ穴に螺合されたネジ331を有する。ネジ穴にはネジ溝が形成されており、ネジ331は、螺入出することにより、光軸方向に移動できる。また、フラットパッケージ側のネジの先端は球面状になっている。   18 (a) and 18 (b), in this modification, three screw holes are provided in the mounting surface 221b of the base member 207b, and the screw 331 screwed into the three screw holes is used. Have. A screw groove is formed in the screw hole, and the screw 331 can move in the optical axis direction by screwing in and out. Moreover, the tip of the screw on the flat package side is spherical.

本変形例において、図18(a)及び図18(b)に示されるように、X軸を取付面に垂直な光軸方向とし、Y軸及びZ軸の方向に平行な辺を有する取付面221bにおいて、Y方向及びZ方向の位置決め基準として、取付面221bの側面のうち隣接する2面を基準面340、341とした場合に、基準面340、341の交差する近傍の取付面221に、1本のネジ(第1のネジ331−1)、第1のネジ331−1と同じY軸上に1本のネジ(第2のネジ331−2)、及び第1のネジ331−1と同じZ軸上に1つのネジ(第3のネジ331−3)が設けられる。   In this modification, as shown in FIGS. 18A and 18B, the X-axis is the optical axis direction perpendicular to the mounting surface, and the mounting surface has sides parallel to the Y-axis and Z-axis directions. In 221b, when two adjacent surfaces among the side surfaces of the mounting surface 221b are set as the reference surfaces 340 and 341 as the positioning reference in the Y direction and the Z direction, the mounting surface 221 in the vicinity where the reference surfaces 340 and 341 intersect with each other One screw (first screw 331-1), one screw (second screw 331-2) on the same Y axis as the first screw 331-1, and the first screw 331-1 One screw (third screw 331-3) is provided on the same Z-axis.

Y軸(又は略Y軸方向の回転軸)を回転中心として当接面を回転させることによって光軸方向を補正する場合は、第1のネジ331−1の先端に対する第3のネジ331−3の先端の高低差を調整する。同様に、Z軸(又は略Z軸方向の回転軸)を回転中心として回転させることによって光軸方向を補正する場合は、第1のネジ331−1の先端に対する第2のネジ331−2の高低差を調整する。このように、Y軸(又は略Y軸方向の回転軸)及びZ軸(又は略Z軸方向の回転軸)の2つの軸を回転中心として当接面を任意の方向に傾けることができるため、発光装置201eから出射される光ビームの射出方向を任意の方向に調整することができる。   When the optical axis direction is corrected by rotating the contact surface about the Y axis (or the rotation axis in the substantially Y axis direction), the third screw 331-3 with respect to the tip of the first screw 331-1. Adjust the height difference of the tip. Similarly, when correcting the optical axis direction by rotating about the Z axis (or the rotation axis in the substantially Z axis direction), the second screw 331-2 relative to the tip of the first screw 331-1 is rotated. Adjust the height difference. As described above, the contact surface can be tilted in any direction with the two axes of the Y axis (or the rotation axis in the substantially Y axis direction) and the Z axis (or the rotation axis in the approximately Z axis direction) as the rotation center. The emission direction of the light beam emitted from the light emitting device 201e can be adjusted to an arbitrary direction.

本変形例では、3本のネジ331を設け、発光装置201eをベース部材207bに取付けた後、発光装置201eから出射される光ビームの光軸と、カップリングレンズ202との光軸とのずれの角度を測定し、その角度差を補正するために、3本のネジ331を螺入出してネジの先端の高さを調整することによって、容易に発光装置201eから出射される光ビームの光軸の方向を調整することができる。   In this modification, after the three screws 331 are provided and the light emitting device 201e is attached to the base member 207b, the optical axis of the light beam emitted from the light emitting device 201e and the optical axis of the coupling lens 202 are shifted. In order to correct the angle difference, the light of the light beam that is easily emitted from the light emitting device 201e can be obtained by screwing the three screws 331 and adjusting the height of the tip of the screw. The direction of the axis can be adjusted.

これにより、発光装置201eが、ベース部材207bの取付面221bに設けられたネジ331の先端で形成される当接面248bで当接するようにベース部材207bの取付面221bに取付けられた場合に、発光装置201eから出射される光ビームの光軸とカップリングレンズ202の光軸が平行となり、カップリングレンズ202から射出されたビームの集束状態が各発光源で均一となる。   Thereby, when the light emitting device 201e is attached to the attachment surface 221b of the base member 207b so as to abut on the abutment surface 248b formed at the tip of the screw 331 provided on the attachment surface 221b of the base member 207b, The optical axis of the light beam emitted from the light emitting device 201e and the optical axis of the coupling lens 202 are parallel, and the focused state of the beam emitted from the coupling lens 202 is uniform in each light emitting source.

以上のように、本変形例に係るマルチビーム光源装置においては、1本のネジを角部付近の領域に設け、その1つのネジからY軸及びZ軸方向に各々1本ずつ高低差調整可能なネジをベース部材の取付面に設けることによって、Y軸及びZ軸の周りの回転方向において任意に傾けることが可能であり、第2の実施の形態に係るマルチビーム光源装置と同様に、光ビームの射出方向を補正することができる。   As described above, in the multi-beam light source device according to this modification, one screw is provided in the area near the corner, and the height difference can be adjusted one by one in the Y-axis and Z-axis directions from the one screw. By providing a simple screw on the mounting surface of the base member, it is possible to incline arbitrarily in the rotational direction around the Y axis and the Z axis, and as with the multi-beam light source device according to the second embodiment, The exit direction of the beam can be corrected.

なお、本変形例において、3つの凸部のうち1つが角部付近の領域(パッケージ表面に垂直方向に存在する側面2面の交差する近傍の表面)に対応した箇所に設けられるが、他の2つの凸部も、角部付近の領域に対応した箇所に設けられる1つの凸部からY軸及びZ軸の方向に離間した別の角部付近の領域(別の側面2面の交差する近傍の表面)に対応した箇所に設けることができる。
(第2の実施の形態の第2の変形例)
次に、図19(a)及び図19(b)を参照し、本発明の第2の実施の形態の第2の変形例に係るマルチビーム光源装置を説明する。
In this modification, one of the three convex portions is provided at a location corresponding to a region near the corner (a surface in the vicinity of two intersecting side surfaces present in the direction perpendicular to the package surface). The two convex portions are also regions near another corner separated from one convex portion provided in a location corresponding to the region near the corner in the Y-axis and Z-axis directions (the vicinity where two other side surfaces intersect) Can be provided at a location corresponding to the surface).
(Second modification of the second embodiment)
Next, a multi-beam light source apparatus according to a second modification of the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 19 (a) and 19 (b).

図19(a)及び図19(b)は、本変形例に係るマルチビーム光源装置を説明するための図であり、ベース部材の取付面上に凸部が設けられた構成を模式的に示す平面図及び断面図である。   FIG. 19A and FIG. 19B are diagrams for explaining the multi-beam light source device according to this modification, and schematically show a configuration in which a convex portion is provided on the mounting surface of the base member. It is a top view and sectional drawing.

本変形例に係るマルチビーム光源装置は、3本のネジのうちの2本が、ベース部材の取付面に形成された貫通溝を貫通して係止される2組のネジとナットの組合わせである点で、第2の実施の形態の第1の変形例に係るマルチビーム光源装置と相違する。   The multi-beam light source device according to this modification is a combination of two screws and a nut in which two of the three screws are locked through a through groove formed in the mounting surface of the base member. This is different from the multi-beam light source device according to the first modification of the second embodiment.

図19(a)及び図19(b)を参照するに、第2の実施の形態の第1の変形例において、ベース部材207bの取付面221bに3つのネジ穴が設けられ、3本のネジがその3つのネジ穴に螺合されるのと相違し、本変形例においては、3本のうち2本のネジ332−2及び332−3のネジ穴は、ネジ穴の代わりに形成された貫通溝であり、その2本のネジ332−2及び332−3は、ネジとナットとの組合せによって係止される。   19A and 19B, in the first modification of the second embodiment, three screw holes are provided in the mounting surface 221b of the base member 207b, and three screws are provided. In this modification, the screw holes of two of the three screws 332-2 and 332-3 are formed in place of the screw holes. It is a through groove, and its two screws 332-2 and 332-3 are locked by a combination of a screw and a nut.

図19(a)及び図19(b)を参照するに、本変形例において、ベース部材207cの取付面221cであって、パッケージの表面の角部付近に対応する領域に1つのネジ穴が設けられて第1のネジ332−1が螺合されると共に、そのネジ穴からY軸方向及びZ軸方向に、各々の軸方向に延在する2箇所の貫通溝が設けられ、第2のネジ332−2及び第3のネジ332−3は、ネジ及びナットの組合せによって、貫通溝に貫通した状態でベース部材207cを挟持するようにその貫通溝に係止される。ネジ穴にはネジ溝が形成されており、第1のネジ332−1は、螺入出することにより、光軸方向に移動できる。また、ナットを緩めることにより、第2のネジ332−2及び第3のネジ332−3は、Y軸方向及びZ軸方向に移動できる。また、3本のネジのフラットパッケージ側の先端は球面状になっている。   Referring to FIGS. 19A and 19B, in this modification, one screw hole is provided in a region corresponding to the vicinity of the corner of the surface of the package on the mounting surface 221c of the base member 207c. The first screw 332-1 is screwed together, and two through grooves extending in the respective axial directions from the screw hole in the Y-axis direction and the Z-axis direction are provided, and the second screw 332-2 and the third screw 332-3 are locked to the through groove so as to sandwich the base member 207c in a state of penetrating the through groove by a combination of a screw and a nut. A screw groove is formed in the screw hole, and the first screw 332-1 can move in the direction of the optical axis by being screwed out. Further, by loosening the nut, the second screw 32-2 and the third screw 332-3 can move in the Y-axis direction and the Z-axis direction. The tip of the three screws on the flat package side is spherical.

本変形例において、図19(a)及び図19(b)に示されるように、X軸を取付面に垂直な光軸方向とし、Y軸及びZ軸の方向に平行な辺を有する取付面221cにおいて、Y方向及びZ方向の位置決め基準として、取付面221cの側面のうち隣接する2面を基準面340、341とした場合に、基準面340、341の交差する近傍の取付面221に、1本のネジ(第1のネジ332−1)、第1のネジ332−1と同じY軸上に1本のネジ(第2のネジ332−2)、及び第1のネジ332−1と同じZ軸上に1本のネジ(第3のネジ332−3)が設けられる。   In this modification, as shown in FIGS. 19A and 19B, the mounting surface having the X axis as the optical axis direction perpendicular to the mounting surface and having sides parallel to the Y axis and Z axis directions. In 221c, when two adjacent surfaces among the side surfaces of the mounting surface 221c are set as the reference surfaces 340 and 341 as the positioning reference in the Y direction and the Z direction, the mounting surface 221 in the vicinity of the intersection of the reference surfaces 340 and 341 One screw (first screw 332-1), one screw (second screw 332-2) on the same Y axis as the first screw 332-1, and the first screw 332-1 One screw (third screw 332-3) is provided on the same Z-axis.

Y軸(又は略Y軸方向の回転軸)を回転中心として当接面を回転させることによって光軸方向を補正する場合は、第3のネジ331−3のボルトを緩め、貫通溝の中での第3のネジ331−3の位置を変えることによって行う。同様に、Z軸(又は略Z軸方向の回転軸)を回転中心として回転させることによって光軸方向を補正する場合は、第2のネジ331−2のボルトを緩め、貫通溝の中での第2のネジ333−2の位置を変えることによって行う。このように、Y軸(又は略Y軸方向の回転軸)及びZ軸(又は略Z軸方向の回転軸)の2つの軸を回転中心として当接面を任意の方向に傾けることができるため、発光装置201eから出射される光ビームの射出方向を任意の方向に調整することができる。   When the optical axis direction is corrected by rotating the contact surface about the Y axis (or the rotation axis in the approximate Y axis direction), the bolt of the third screw 331-3 is loosened, and in the through groove This is done by changing the position of the third screw 331-3. Similarly, when the optical axis direction is corrected by rotating about the Z axis (or the rotation axis in the substantially Z axis direction), the bolt of the second screw 331-2 is loosened, This is done by changing the position of the second screw 333-2. As described above, the contact surface can be tilted in any direction with the two axes of the Y axis (or the rotation axis in the substantially Y axis direction) and the Z axis (or the rotation axis in the approximately Z axis direction) as the rotation center. The emission direction of the light beam emitted from the light emitting device 201e can be adjusted to an arbitrary direction.

本変形例では、3本のネジ332を設け、発光装置201eをベース部材207cに取付けた後、発光装置201eから出射される光ビームの光軸と、カップリングレンズ202との光軸とのずれの角度を測定し、その角度差を補正するために、第1のネジ332−1を螺入出してネジの先端の高さを調整し、第2のネジ332−2及び第3のネジ332−3の位置を調整することによって、容易に発光装置201eから出射される光ビームの光軸の方向を調整することができる。   In this modification, after the three screws 332 are provided and the light emitting device 201e is attached to the base member 207c, the optical axis of the light beam emitted from the light emitting device 201e and the optical axis of the coupling lens 202 are shifted. In order to correct the angle difference, the first screw 332-1 is screwed in and the height of the tip of the screw is adjusted, and the second screw 332-2 and the third screw 332 are adjusted. By adjusting the position of -3, the direction of the optical axis of the light beam emitted from the light emitting device 201e can be easily adjusted.

これにより、発光装置201eが、ベース部材207cの取付面221cに設けられたネジ332の先端で形成される当接面で当接するようにベース部材207cの取付面221cに取付けられた場合に、発光装置201eから出射される光ビームの光軸とカップリングレンズ202の光軸が平行となり、カップリングレンズ202から射出されたビームの集束状態が各発光源で均一となる。   Accordingly, when the light emitting device 201e is attached to the attachment surface 221c of the base member 207c so as to abut on the contact surface formed by the tip of the screw 332 provided on the attachment surface 221c of the base member 207c, the light emission is performed. The optical axis of the light beam emitted from the device 201e and the optical axis of the coupling lens 202 are parallel, and the focusing state of the beam emitted from the coupling lens 202 is uniform in each light emitting source.

以上のように、本変形例に係るマルチビーム光源装置においては、1本のネジを角部付近の領域に設け、その1つのネジからY軸及びZ軸方向に各々1本ずつ位置調整可能なネジをベース部材の取付面に設けることによって、Y軸及びZ軸の周りの回転方向において任意に傾けることが可能であり、第2の実施の形態に係るマルチビーム光源装置と同様に、光ビームの射出方向を補正することができる。
(第2の実施の形態の第3の変形例)
次に、図20を参照し、本発明の第2の実施の形態の第3の変形例に係るマルチビーム光源装置を説明する。
As described above, in the multi-beam light source device according to the present modification, one screw is provided in a region near the corner portion, and the position can be adjusted one by one in the Y-axis and Z-axis directions from the one screw. By providing the screw on the mounting surface of the base member, it can be arbitrarily tilted in the rotation direction around the Y-axis and the Z-axis, and similarly to the multi-beam light source device according to the second embodiment, the light beam The injection direction can be corrected.
(Third Modification of Second Embodiment)
Next, a multi-beam light source device according to a third modification of the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

図20は、本変形例に係るマルチビーム光源装置を説明するための図であり、ベース部材の取付面上に凸部が設けられた構成を示す斜視図である。   FIG. 20 is a diagram for explaining the multi-beam light source device according to this modification, and is a perspective view showing a configuration in which a convex portion is provided on the mounting surface of the base member.

本変形例に係るマルチビーム光源装置は、凸部の少なくとも1つがベース部材の取付面上の角部付近の領域に設けられ、凸部が矩形である点で、第2の実施の形態に係るマルチビーム光源装置と相違する。   The multi-beam light source device according to the present modification relates to the second embodiment in that at least one of the convex portions is provided in a region near the corner portion on the mounting surface of the base member, and the convex portion is rectangular. Different from the multi-beam light source device.

図20を参照するに、第2の実施の形態において、パッケージの平面視における重心が、3つの凸部を頂点とする三角形の略重心付近にあり、凸部が平面視において円形であるのと相違し、本変形例においては、凸部の少なくとも1つは、ベース部材207dの取付面221d上であって、発光装置201eのパッケージの表面の角部付近に対応する領域に設けられ、凸部は平面視において矩形である。   Referring to FIG. 20, in the second embodiment, the center of gravity of the package in plan view is in the vicinity of the approximate center of gravity of a triangle having three convex portions as vertices, and the convex portion is circular in plan view. In the present modification, at least one of the convex portions is provided on the mounting surface 221d of the base member 207d and in a region corresponding to the vicinity of the corner of the surface of the package of the light emitting device 201e. Is rectangular in plan view.

本変形例において、ベース部材207dは、図20に示されるように、取付面221d上に凸部333を有する。X軸を取付面221dに垂直な光軸方向とし、Y軸及びZ軸の方向に平行な辺を有する取付面221dにおいて、Y方向及びZ方向の位置決め基準として、取付面の側面のうち隣接する2面を基準面340、341とした場合に、基準面340、341の交差する近傍の取付面221dに、1つの凸部(第1の凸部333−1)、凸部333−1と同じY軸上に1つの凸部(第2の凸部333−2)、及び凸部333−1と同じZ軸上に1つの凸部(第3の凸部333−3)が設けられる。   In the present modification, the base member 207d has a convex portion 333 on the mounting surface 221d, as shown in FIG. In the mounting surface 221d having the X-axis as the optical axis direction perpendicular to the mounting surface 221d and having sides parallel to the Y-axis and Z-axis directions, adjacent to the side surfaces of the mounting surface as positioning reference in the Y-direction and Z-direction. When the two surfaces are set as the reference surfaces 340 and 341, the same mounting surface 221 d that intersects the reference surfaces 340 and 341 as one protrusion (first protrusion 333-1) and the protrusion 333-1. One convex part (second convex part 333-2) is provided on the Y axis, and one convex part (third convex part 333-3) is provided on the same Z axis as the convex part 333-1.

Y軸(又は略Y軸方向の回転軸)を回転中心として当接面を回転させることによって光軸方向を補正する場合は、第1の凸部333−1に対する第3の凸部333−3の高低差を調整する。同様に、Z軸(又は略Z軸方向の回転軸)を回転中心として当接面を回転させることによって光軸方向を補正する場合は、第1の凸部333−1に対する第2の凸部333−2の高低差を調整する。このように、Y軸(又は略Y軸方向の回転軸)及びZ軸(又は略Z軸方向の回転軸)の2つの軸を回転中心として当接面を任意の方向に傾けることができるため、面発光型半導体レーザアレイ245から出射される光ビームの射出方向を任意の方向に調整することができる。   In the case where the optical axis direction is corrected by rotating the contact surface about the Y axis (or the rotation axis in the approximate Y axis direction), the third convex portion 333-3 with respect to the first convex portion 333-1. Adjust the height difference. Similarly, when the optical axis direction is corrected by rotating the contact surface about the Z axis (or the rotation axis in the substantially Z axis direction), the second convex portion with respect to the first convex portion 333-1. Adjust the height difference of 333-2. As described above, the contact surface can be tilted in any direction with the two axes of the Y axis (or the rotation axis in the substantially Y axis direction) and the Z axis (or the rotation axis in the approximately Z axis direction) as the rotation center. The emission direction of the light beam emitted from the surface emitting semiconductor laser array 245 can be adjusted to an arbitrary direction.

凸部333は、第2の実施の形態における円形状の部材に代わり、本変形例において矩形状の部材が用いられること以外は、縦横1mm以下の板状の矩形状の部材が接着されて構成されること、凸部333の材質、製造方法、接着剤の材質は、第2の実施の形態と同様である。   The convex portion 333 is configured by adhering a plate-like rectangular member of 1 mm or less in length and width, except that a rectangular member is used in this modification instead of the circular member in the second embodiment. The material of the convex part 333, the manufacturing method, and the material of the adhesive are the same as those in the second embodiment.

本変形例では、位置決め基準となる第1の凸部333−1の位置及び高さ、第2の凸部333−2の位置並びに第3の凸部333−3の位置を予め決定し、発光装置201eを3つの凸部333が形成される前のベース部材207dの取付面221dに取付け、発光装置201eから出射される光ビームの光軸と、カップリングレンズ202の光軸251とのずれの角度を測定し、その角度差を補正するための第2の凸部333−2の高さ及び第3の凸部333−3の高さを算出して決定し、決定された位置及び高さを有する3つの凸部333をベース部材207dの取付面221d上に形成する。   In this modification, the position and height of the first convex portion 333-1 serving as a positioning reference, the position of the second convex portion 333-2, and the position of the third convex portion 33-3 are determined in advance, and light emission is performed. The device 201e is attached to the attachment surface 221d of the base member 207d before the three convex portions 333 are formed, and the deviation between the optical axis of the light beam emitted from the light emitting device 201e and the optical axis 251 of the coupling lens 202 is eliminated. The angle is measured, the height of the second convex portion 333-2 and the height of the third convex portion 333-3 for correcting the angular difference are calculated and determined, and the determined position and height Are formed on the attachment surface 221d of the base member 207d.

又は、3つの凸部333のうち、位置決め基準となる第1の凸部333−1の位置及び高さ、第2の凸部333−2の高さ並びに第3の凸部333−3の高さを予め決定し、発光装置201eを3つの凸部333が形成される前のベース部材207dの取付面221dに取付け、発光装置201eから出射される光ビームの光軸と、カップリングレンズ202の光軸251とのずれの角度を測定し、その角度差を補正するための第2の凸部333−2の位置及び第3の凸部333−3の位置を算出して決定し、決定された位置及び高さを有する3つの凸部333をフラットパッケージ246eのベース部材207dの取付面221d上に形成する。   Alternatively, of the three convex portions 333, the position and height of the first convex portion 333-1 serving as a positioning reference, the height of the second convex portion 333-2, and the height of the third convex portion 333-3 The light emitting device 201e is attached to the attachment surface 221d of the base member 207d before the three convex portions 333 are formed, the optical axis of the light beam emitted from the light emitting device 201e, and the coupling lens 202 The angle of deviation from the optical axis 251 is measured and determined by calculating the position of the second convex part 333-2 and the position of the third convex part 333-3 for correcting the angular difference. Three convex portions 333 having different positions and heights are formed on the mounting surface 221d of the base member 207d of the flat package 246e.

後述するように、発光装置201eの複数の発光源は、主走査方向、副走査方向に配列数n、mにて2次元に配列されているため、各発光源がカップリングレンズ202の光軸251に直交する面250内に揃っていないと、カップリングレンズ202から射出されたビームの集束状態が各発光源で均一にならない。   As will be described later, since the plurality of light emitting sources of the light emitting device 201e are two-dimensionally arranged in the main scanning direction and the sub-scanning direction with the number of arrays n and m, each light emitting source is an optical axis of the coupling lens 202. If they are not aligned within the plane 250 orthogonal to 251, the focused state of the beam emitted from the coupling lens 202 is not uniform among the light emitting sources.

しかし、本実施の形態に係るマルチビーム光源装置においては、図20に示されるように、パッケージの表面に3つの凸部333を設けるため、その高低差により射出方向を補正することができる。
(第2の実施の形態の第4の変形例)
次に、図21を参照し、本発明の第2の実施の形態の第4の変形例に係るマルチビーム光源装置を説明する。
However, in the multi-beam light source device according to the present embodiment, as shown in FIG. 20, since the three convex portions 333 are provided on the surface of the package, the emission direction can be corrected by the height difference.
(Fourth modification of the second embodiment)
Next, a multi-beam light source device according to a fourth modification of the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

図21は、本変形例に係るマルチビーム光源装置を説明するための図であり、ベース部材の取付面上に凸部が設けられた構成を示す斜視図である。   FIG. 21 is a diagram for explaining the multi-beam light source device according to this modification, and is a perspective view showing a configuration in which a convex portion is provided on the mounting surface of the base member.

本変形例に係るマルチビーム光源装置は、凸部が矩形状ではなく円板状である点で、第2の実施の形態の第3の変形例に係るマルチビーム光源装置と相違する。   The multi-beam light source device according to this modification is different from the multi-beam light source device according to the third modification of the second embodiment in that the convex portion is not a rectangular shape but a disk shape.

図21を参照するに、第2の実施の形態の第3の変形例において、凸部は矩形であるのと相違し、本変形例においては、凸部は円板状である。   Referring to FIG. 21, in the third modified example of the second embodiment, the convex portion is different from a rectangle, and in the present modified example, the convex portion has a disk shape.

本変形例において、ベース部材207eは、図21に示されるように、取付面221e上に凸部334を有する。X軸を取付面221eに垂直な光軸方向とし、Y軸及びZ軸の方向に平行な辺を有する取付面221eにおいて、Y方向及びZ方向の位置決め基準として、取付面の側面のうち隣接する2面を基準面340、341とした場合に、基準面340、341の交差する近傍の取付面221eに、1つの凸部(第1の凸部334−1)、凸部334−1と同じY軸上に1つの凸部(第2の凸部311−2)、及び凸部311−1と同じZ軸上に1つの凸部(第3の凸部334−3)が設けられるのは、第2の実施の形態の第3の変形例と同様である。   In this modification, the base member 207e has a convex portion 334 on the mounting surface 221e, as shown in FIG. The mounting surface 221e having the X axis as the optical axis direction perpendicular to the mounting surface 221e and having sides parallel to the Y axis and Z axis directions is adjacent to the side surface of the mounting surface as a positioning reference in the Y direction and Z direction. When the two surfaces are the reference surfaces 340 and 341, the same mounting surface 221 e in the vicinity where the reference surfaces 340 and 341 intersect is the same as the one protruding portion (first protruding portion 334-1) and the protruding portion 334-1. One convex part (second convex part 311-2) is provided on the Y axis, and one convex part (third convex part 334-3) is provided on the same Z axis as the convex part 311-1. This is the same as the third modification of the second embodiment.

また、第2の実施の形態の第3の変形例と同様に、第1の凸部334−1に対する第3の凸部334−3及び第2の凸部334−2の高低差を調整することによって、面発光型半導体レーザアレイ245から出射される光ビームの射出方向を任意の方向に調整することができる。あるいは、第1の凸部334−1に対する第3の凸部334−3及び第2の凸部334−2の位置を調整することによっても、面発光型半導体レーザアレイ245から出射される光ビームの射出方向を任意の方向に調整することができる。   Further, similarly to the third modification of the second embodiment, the height difference between the third convex portion 334-3 and the second convex portion 334-2 with respect to the first convex portion 334-1 is adjusted. Thus, the emission direction of the light beam emitted from the surface emitting semiconductor laser array 245 can be adjusted to an arbitrary direction. Alternatively, the light beam emitted from the surface-emitting type semiconductor laser array 245 can also be obtained by adjusting the positions of the third convex portion 334-3 and the second convex portion 334-2 with respect to the first convex portion 334-1. The injection direction can be adjusted to an arbitrary direction.

ただし、本変形例において、凸部334は、縦横1mm以下の円板状の部材が接着されて構成される。凸部334が矩形状ではなく円板状であるため、凸部334の設置する際の形状の方向を調整する必要がない。それ以外の、凸部334の材質、製造方法、接着剤の材質は、第2の実施の形態の第3の変形例と同様である。   However, in this modification, the convex part 334 is configured by adhering a disk-shaped member having a length and width of 1 mm or less. Since the convex part 334 is not rectangular but disk-shaped, it is not necessary to adjust the direction of the shape when the convex part 334 is installed. Other than that, the material of the convex portion 334, the manufacturing method, and the material of the adhesive are the same as those in the third modification of the second embodiment.

本変形例においても、第2の実施の形態の第3の変形例と同様に、発光装置から射出される光ビームの射出方向を補正することができ、この発光装置を含むマルチビーム光源装置においても、カップリングレンズから射出されたビームの集束状態を各発光源で均一とすることができる。
(第2の実施の形態の第5の変形例)
次に、図22を参照し、本発明の第2の実施の形態の第5の変形例に係るマルチビーム光源装置を説明する。
Also in the present modification, as in the third modification of the second embodiment, the emission direction of the light beam emitted from the light emitting device can be corrected. In the multi-beam light source device including this light emitting device, In addition, the focused state of the beam emitted from the coupling lens can be made uniform in each light emitting source.
(Fifth modification of the second embodiment)
Next, a multi-beam light source device according to a fifth modification of the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

図22は、本変形例に係るマルチビーム光源装置を説明するための図であり、ベース部材の取付面上に凸部が設けられた構成を示す斜視図である。   FIG. 22 is a diagram for explaining the multi-beam light source device according to this modification, and is a perspective view showing a configuration in which a convex portion is provided on the mounting surface of the base member.

本変形例に係るマルチビーム光源装置は、凸部の表面が略球面状である点で、第2の実施の形態の第4の変形例に係るマルチビーム光源装置と相違する。   The multi-beam light source device according to this modification is different from the multi-beam light source device according to the fourth modification of the second embodiment in that the surface of the convex portion is substantially spherical.

図22を参照するに、第2の実施の形態の第4の変形例において、凸部の表面は平坦であるのと相違し、本変形例においては、凸部の表面は略球面状である。   Referring to FIG. 22, in the fourth modification of the second embodiment, the surface of the protrusion is different from the flat surface. In this modification, the surface of the protrusion is substantially spherical. .

本変形例において、ベース部材207fは、図22に示されるように、取付面221f上に凸部335を有する。第2の実施の形態の第4の変形例と同様に、基準面340、341の交差する近傍の取付面221fに、1つの凸部(第1の凸部335−1)、凸部335−1と同じY軸上に1つの凸部(第2の凸部311−2)、及び凸部335−1と同じZ軸上に1つの凸部(第3の凸部335−3)が設けられる。   In this modification, the base member 207f has a convex portion 335 on the attachment surface 221f, as shown in FIG. Similar to the fourth modified example of the second embodiment, one convex portion (first convex portion 335-1) and convex portion 335- are formed on the mounting surface 221f in the vicinity where the reference surfaces 340 and 341 intersect. 1 convex portion (second convex portion 311-2) on the same Y axis as 1, and one convex portion (third convex portion 335-3) on the same Z axis as the convex portion 335-1 It is done.

ただし、本変形例において、凸部335は、表面が略球面状である。凸部335は、表面が略球面状であるため、凸部とパッケージの接触する位置がほとんど変わらず、高精度な補正が可能となる。   However, in the present modification, the convex portion 335 has a substantially spherical surface. Since the convex portion 335 has a substantially spherical surface, the position where the convex portion comes into contact with the package hardly changes, and high-precision correction is possible.

本変形例では、凸部335は、第1の実施の形態の第4の変形例と同様に、樹脂系の接着剤を塗布することによって形成され、表面張力を利用して表面を略球面状にしている。凸部335の材質は、特に限定されるものではないが、例えば熱硬化型エポキシ樹脂系の接着剤を用いることができ、凸部335の形成方法も、特に限定されるものではないが、例えば熱硬化型エポキシ樹脂をディスペンサで塗布する方法を用いることができる。   In this modification, the convex portion 335 is formed by applying a resin-based adhesive as in the fourth modification of the first embodiment, and the surface is made into a substantially spherical shape by utilizing surface tension. I have to. Although the material of the convex part 335 is not specifically limited, For example, a thermosetting epoxy resin adhesive can be used, and the formation method of the convex part 335 is not particularly limited, for example. A method of applying a thermosetting epoxy resin with a dispenser can be used.

凸部335が、樹脂系の接着剤を塗布する塗布量を調整することによって、高さを調整することができること、また、樹脂系の接着剤を塗布する塗布量を調整する代わりに、樹脂を塗布する位置を変えて調整することもできることは、第1の実施の形態の第4の変形例と同様である。   The height of the convex portion 335 can be adjusted by adjusting the amount of application of the resin-based adhesive, and instead of adjusting the amount of application of the resin-based adhesive, the resin Similar to the fourth modification of the first embodiment, the application position can be changed and adjusted.

従って、本変形例においても、発光装置から射出される光ビームの射出方向を補正することができ、この発光装置を含むマルチビーム光源装置においても、カップリングレンズから射出されたビームの集束状態を各発光源で均一とすることができる。   Therefore, also in this modification, the emission direction of the light beam emitted from the light emitting device can be corrected, and even in the multi-beam light source device including this light emitting device, the focusing state of the beam emitted from the coupling lens can be changed. Each light source can be uniform.

なお、本変形例では、樹脂系の接着剤の代わりに、樹脂系の接着剤より硬い無機系の接着剤を用いることができる。   In this modification, an inorganic adhesive harder than the resin adhesive can be used instead of the resin adhesive.

また、第1の実施の形態の第4の変形例と同様に、本変形例では、熱硬化型エポキシ樹脂系接着剤をディスペンサで塗布することによって凸部を形成するが、低融点金属であるペースト状の半田をメタルマスクで印刷し、炉で溶融させることによって、その表面張力を利用して表面を球面状にした凸部を形成することもできる。凸部の高低差の調整は、メタルマスクの厚さまたは穴径を調整することによって行うことができる。更に、ペースト状の半田を塗布する方法として、ディスペンサ、インクジェット等の公知の塗布方法を用いることができ、塗布量を調整することによって、凸部の高低差を調整することができる。   In addition, as in the fourth modification of the first embodiment, in this modification, the convex portion is formed by applying a thermosetting epoxy resin adhesive with a dispenser, which is a low melting point metal. By printing paste solder with a metal mask and melting it in a furnace, it is possible to use the surface tension to form a convex portion having a spherical surface. The height difference of the convex portion can be adjusted by adjusting the thickness or the hole diameter of the metal mask. Furthermore, as a method of applying the paste-like solder, a known application method such as a dispenser or an ink jet can be used, and the height difference of the convex portion can be adjusted by adjusting the application amount.

また、本変形例では、パッケージの隣接する2つの側面が交差する近傍の表面に設けた凸部335−1と同じY軸上、Z軸上に他の凸部335−2、335−3を設けているが、凸部335−2、335−3は、凸部335−1と同一軸上になくても、パッケージ表面301e上であれば、任意の場所に設けることができる。
(第3の実施の形態)
次に、図23を参照し、本発明の第3の実施の形態に係るマルチビーム走査装置を説明する。本実施の形態に係るマルチビーム走査装置は、第1の実施の形態に係るマルチビーム光源装置を用いたマルチビーム走査装置である。
Moreover, in this modification, other convex parts 335-2 and 335-3 are provided on the same Y axis and Z axis as the convex part 335-1 provided on the surface in the vicinity where two adjacent side surfaces of the package intersect. Although the protrusions 335-2 and 335-3 are not on the same axis as the protrusion 335-1, the protrusions 335-2 and 335-3 can be provided at any location on the package surface 301e.
(Third embodiment)
Next, a multi-beam scanning device according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The multi-beam scanning device according to the present embodiment is a multi-beam scanning device using the multi-beam light source device according to the first embodiment.

図23は、本実施の形態に係るマルチビーム走査装置の構成を示す斜視図である。   FIG. 23 is a perspective view showing the configuration of the multi-beam scanning device according to the present embodiment.

図23に示されるように、本実施の形態に係るマルチビーム走査装置は、4つの感光体ドラム101、102、103、104、ポリゴンミラー106、光源ユニット107、109、光束分割プリズム108、110、シリンダレンズ113、114、115、116、液晶偏向素子117、118を有する。なお、105は転写体の移動方向を示す。   As shown in FIG. 23, the multi-beam scanning device according to the present embodiment includes four photosensitive drums 101, 102, 103, 104, polygon mirror 106, light source units 107, 109, light beam splitting prisms 108, 110, Cylinder lenses 113, 114, 115, 116 and liquid crystal deflecting elements 117, 118 are included. Reference numeral 105 denotes a moving direction of the transfer body.

図23に示されるマルチビーム走査装置は、4ステーションを走査する光走査装置の一実施の形態である。即ち、図23に示されるマルチビーム走査装置は、マルチビーム光源装置からの4ステーション分に相当する複数の光ビームを、単一のポリゴンミラーで走査し、対向する方向に偏向、走査することで各感光体ドラムを走査するように一体化された光走査ユニットの構成を有する。   The multi-beam scanning device shown in FIG. 23 is an embodiment of an optical scanning device that scans four stations. That is, the multi-beam scanning device shown in FIG. 23 scans a plurality of light beams corresponding to four stations from the multi-beam light source device with a single polygon mirror, and deflects and scans them in opposite directions. It has a configuration of an optical scanning unit integrated so as to scan each photosensitive drum.

4つの感光体ドラム101、102、103、104は、転写体の移動方向105に沿って等間隔で配列され、順次異なる色のトナー像を転写し重ね合わせることでカラー画像を形成する。   The four photosensitive drums 101, 102, 103, and 104 are arranged at equal intervals along the moving direction 105 of the transfer body, and sequentially transfer and superimpose different color toner images to form a color image.

図23に示されるように、感光体ドラム101〜104の各感光体ドラムを走査する光走査装置は一体的に構成され、2段に構成されたポリゴンミラー106により各々光ビームを走査する。   As shown in FIG. 23, the optical scanning device that scans each of the photosensitive drums 101 to 104 is integrally configured, and each optical beam is scanned by a polygon mirror 106 configured in two stages.

光源ユニット107、109は、同一方向に走査する2ステーションに対し各1ずつ配備され、光束分割プリズム108、110を用い、ポリゴンミラー106の上下面に対応して上下2段に光ビームを分岐し、各感光体ドラムに交互に各ステーションに対応した画像を形成していく。光源ユニット107、109は、第1の実施の形態に係るマルチビーム光源装置である。   Each of the light source units 107 and 109 is provided for each of two stations that scan in the same direction. The light beam splitting prisms 108 and 110 are used to split the light beam into two upper and lower stages corresponding to the upper and lower surfaces of the polygon mirror 106. Then, an image corresponding to each station is formed alternately on each photosensitive drum. The light source units 107 and 109 are multi-beam light source devices according to the first embodiment.

光源ユニット107、109、結像光学系を構成するfθレンズ120、121、及びトロイダルレンズ124、125は、ポリゴンミラー106の回転軸を含み感光体ドラム軸に平行な対称面に対し対称に配備され、ポリゴンミラー106により、各マルチビーム光源装置107、109からの光ビームは相反する方向に偏向され、各感光体ドラム101〜104に導かれる。   The light source units 107 and 109, the fθ lenses 120 and 121 and the toroidal lenses 124 and 125 constituting the imaging optical system are arranged symmetrically with respect to a symmetry plane including the rotation axis of the polygon mirror 106 and parallel to the photosensitive drum axis. The light beams from the multi-beam light source devices 107 and 109 are deflected in opposite directions by the polygon mirror 106 and guided to the photosensitive drums 101 to 104, respectively.

従って、各ステーションにおける走査方向は、対向する各感光体ドラムで相反する方向となり、記録領域の幅、言いかえれば主走査方向の倍率を合わせ、一方の走査開始端ともう一方の走査終端とが一致するように静電像を書き込んでいく。   Therefore, the scanning direction at each station is the opposite direction between the opposing photosensitive drums, and the width of the recording area, in other words, the magnification in the main scanning direction is adjusted, so that one scanning start end and the other scanning end are An electrostatic image is written so as to match.

図24は、本実施の形態に係るマルチビーム走査装置を説明するための図であり、発光装置に格納される面発光型半導体レーザアレイの発光源の配置を模式的に示す図である。   FIG. 24 is a diagram for explaining the multi-beam scanning device according to the present embodiment, and is a diagram schematically showing the arrangement of light emitting sources of a surface emitting semiconductor laser array stored in the light emitting device.

図24において、符号dは発光源相互の間隔、mは副走査方向の行数、nは主走査方向の列数、pは副走査方向の走査ラインピッチ、βsは光学系全体の副走査倍率、γは発光源の配列方向と主走査方向とのなす角を示す。   In FIG. 24, symbol d is the distance between the light emitting sources, m is the number of rows in the sub-scanning direction, n is the number of columns in the main scanning direction, p is the scanning line pitch in the sub-scanning direction, and βs is the sub-scanning magnification of the entire optical system. Γ represents an angle formed by the arrangement direction of the light sources and the main scanning direction.

本実施の形態では、各感光体に対して、図24に示すように主副にマトリクス状に等間隔dで配列したn列×m行、実施例では8×4にわたって2次元に配列した32個の発光源を有する面発光型半導体レーザアレイを配備し、マルチビーム光源装置全体をγだけ傾けることにより、感光体ドラム上の副走査方向におけるビームスポット間ピッチpが記録密度に相当する走査ラインピッチに合うように傾きが調整され、ステーション毎に32ラインが同時に走査されるようにしている。   In this embodiment, as shown in FIG. 24, each photoconductor is arranged two-dimensionally in a matrix of n columns × m rows arranged at equal intervals d as shown in FIG. By providing a surface emitting semiconductor laser array having a single light source and tilting the entire multi-beam light source device by γ, a scanning line in which the pitch p between the beam spots on the photosensitive drum corresponds to the recording density. The inclination is adjusted to match the pitch, and 32 lines are scanned simultaneously for each station.

ここで、光学系全系の副走査倍率βsを用いると、傾け量γは以下の式で表される。   Here, when the sub-scan magnification βs of the entire optical system is used, the tilt amount γ is expressed by the following equation.

sinγ=(cosγ)/n=p/d・βs
当然、面発光型半導体レーザアレイの加工プロセスの段階で、予め発光源の配列方向が所定角度だけ傾くようにレイアウトしてもよい。
sin γ = (cos γ) / n = p / d · βs
Of course, the layout may be made in advance so that the arrangement direction of the light emitting sources is inclined by a predetermined angle at the stage of the processing process of the surface emitting semiconductor laser array.

尚、液晶偏向素子117では、液晶の配列方向に合った偏光成分のみが偏向されるため、発光源の偏光方向は一方向に揃えられる。   In the liquid crystal deflecting element 117, only the polarization component that matches the liquid crystal alignment direction is deflected, so that the polarization direction of the light source is aligned in one direction.

光束分割プリズム108は、ハーフミラー面241とハーフミラー面241と平行なミラー面242とを有し、マルチビーム光源装置107からの複数のビーム201eは、各々ハーフミラー面で1/2の光量が反射され、残りの1/2は透過して上下に2分岐され、方向を揃えて副走査方向に所定間隔をもって射出される。本実施の形態では、この上下に2分岐される部分の間隔を、ポリゴンミラー106、fθレンズ120、121の上下間隔とともに6mmとしている。   The beam splitting prism 108 has a half mirror surface 241 and a mirror surface 242 parallel to the half mirror surface 241, and each of the plurality of beams 201 e from the multi-beam light source device 107 has a half light amount on the half mirror surface. The remaining ½ is transmitted and branched into two vertically, and the directions are aligned and emitted at a predetermined interval in the sub-scanning direction. In the present embodiment, the interval between the vertically branched portions is set to 6 mm together with the vertical interval between the polygon mirror 106 and the fθ lenses 120 and 121.

液晶偏向素子117は、光束分割プリズム108の射出面の上下に各々設けられ、電圧を印可すると、副走査方向に電位分布を生じて液晶の配向が変化し、屈折率分布を発生して光線の方向を傾けることができ、印可電圧に応じて感光体ドラム面上の走査位置を可変できる。   The liquid crystal deflecting elements 117 are respectively provided above and below the exit surface of the light beam splitting prism 108. When a voltage is applied, a potential distribution is generated in the sub-scanning direction, the orientation of the liquid crystal is changed, and a refractive index distribution is generated to generate a light beam. The direction can be tilted, and the scanning position on the photosensitive drum surface can be varied according to the applied voltage.

シリンダレンズ113、114は、分岐された各光ビームに対応して2段に設けられ、その一方は光軸を中心に回動調整可能に取り付けられ、各々の焦線が平行となるように調節できるようにしており、副走査方向に6mm間隔に2段に構成されたポリゴンミラー106の各々に入射される。シリンダレンズ113、114は、少なくとも副走査方向に正の曲率を有し、ポリゴンミラー面上で、一旦ビームを収束させることで、後述するトロイダルレンズ124、125とにより偏向点と感光体面上とを副走査方向に共役関係とする面倒れ補正光学系をなす。   The cylinder lenses 113 and 114 are provided in two stages corresponding to each branched light beam, and one of them is attached so as to be rotatable around the optical axis, and adjusted so that the respective focal lines are parallel to each other. In this way, the light is incident on each of the polygon mirrors 106 formed in two stages at intervals of 6 mm in the sub-scanning direction. The cylinder lenses 113 and 114 have a positive curvature at least in the sub-scanning direction, and once converge the beam on the polygon mirror surface, the toroidal lenses 124 and 125, which will be described later, cause the deflection point and the surface of the photosensitive member to move. A surface tilt correction optical system having a conjugate relationship in the sub-scanning direction is formed.

ポリゴンミラー106は、4面を有し、同一の偏向面により各発光源列からの複数のビームを一括で偏向、走査する。上下のポリゴンミラー106の位相は45°ずつずれており、光ビームの走査は上下段で交互に行われる。   The polygon mirror 106 has four surfaces, and deflects and scans a plurality of beams from each light emitting source array in a lump by the same deflection surface. The phases of the upper and lower polygon mirrors 106 are shifted by 45 °, and the scanning of the light beam is alternately performed in the upper and lower stages.

結像光学系はfθレンズ120、121とトロイダルレンズ124、125とからなり、いずれもプラスチック成形によるもので、fθレンズ120は主走査方向にはポリゴンミラー106の回転に伴って感光体面上でビームが等速に移動するようにパワーを持たせた非円弧面形状となし、層状に2段に積み重ねて一体に構成される。   The imaging optical system includes fθ lenses 120 and 121 and toroidal lenses 124 and 125, both of which are formed by plastic molding. The fθ lens 120 emits a beam on the surface of the photoconductor as the polygon mirror 106 rotates in the main scanning direction. It has a non-circular arc shape with power so that it can move at a constant speed, and it is constructed in two layers stacked in one piece.

トロイダルレンズ124、125を通った走査ビームは各々、走査開始側に配備された光検知センサ138、140、走査終端側に配備された光検知センサ139、141に入射され、光検知センサ138、140の検出信号を基に各々発光源毎の同期検知信号を生成し、書込み開始のタイミングをとる。   The scanning beams that have passed through the toroidal lenses 124 and 125 are incident on the light detection sensors 138 and 140 disposed on the scanning start side and the light detection sensors 139 and 141 disposed on the scanning end side, respectively. On the basis of the detection signal, a synchronization detection signal is generated for each light source, and the writing start timing is taken.

一方、走査終端側に配備された光検知センサ139、141の検出信号は、各々走査開始側に配備された光検知センサ138、140からの光ビームの検出時間差を計測し、予め定められた基準値と比較して、各発光源を変調する画素クロックを可変することで、後述するように、主走査方向の倍率のずれを補正している。   On the other hand, the detection signals of the light detection sensors 139 and 141 arranged on the scanning end side measure the difference in detection time of the light beams from the light detection sensors 138 and 140 arranged on the scanning start side, respectively, and set a predetermined reference. By changing the pixel clock that modulates each light source as compared with the value, the magnification deviation in the main scanning direction is corrected as will be described later.

図25に副走査断面における光線の経路を示す。   FIG. 25 shows a ray path in the sub-scan section.

発光装置201中のマルチ発光源から出射される各光線は、カップリングレンズ202の光軸251に対して対称に配置される。カップリングレンズ202によって平行光束に変換された各光線は、マルチビーム光源装置107から射出された後、カップリングレンズ202の後側焦点の近傍で一旦収束し、主走査方向には光線間隔を広げつつfθレンズ120に入射され、副走査方向にはシリンダレンズ113、114により、ポリゴンミラー偏向面の近傍で再度収束されてfθレンズ120に入射される。   Each light beam emitted from the multi-light source in the light emitting device 201 is arranged symmetrically with respect to the optical axis 251 of the coupling lens 202. Each light beam converted into a parallel light beam by the coupling lens 202 is emitted from the multi-beam light source device 107, and then converges once in the vicinity of the rear focal point of the coupling lens 202, thereby widening the light beam interval in the main scanning direction. Then, the light is incident on the fθ lens 120 and is converged again in the vicinity of the polygon mirror deflection surface by the cylinder lenses 113 and 114 in the sub-scanning direction and is incident on the fθ lens 120.

また、上記したように、マルチビーム光源装置107からの複数の光ビームは光束分割プリズム108によって副走査方向上下に2分岐され、各ステーションに対応する感光体ドラムに導かれる。   Further, as described above, the plurality of light beams from the multi-beam light source device 107 are bifurcated vertically by the light beam splitting prism 108 and guided to the photosensitive drum corresponding to each station.

光束分割プリズム108の下段から射出した複数の発光源からのビーム261は、シリンダレンズ113を介してポリゴンミラー106の下段で偏向、走査され、fθレンズ120の下段を通って折返しミラー129によりトロイダルレンズ123に入射され、折返しミラー130を介して感光体ドラム101上にスポット状に結像し、第1の画像形成ステーションとしてイエロー色の画像情報に対応した潜像を形成する。   Beams 261 from a plurality of light emission sources emitted from the lower stage of the beam splitting prism 108 are deflected and scanned at the lower stage of the polygon mirror 106 via the cylinder lens 113, pass through the lower stage of the fθ lens 120, and then the toroidal lens by the return mirror 129. Then, the image is formed in a spot shape on the photosensitive drum 101 via the folding mirror 130, and a latent image corresponding to yellow image information is formed as a first image forming station.

光束分割プリズム108の上段から射出した複数の発光源からのビーム262は、シリンダレンズ114を介してポリゴンミラー106の上段で偏向、走査され、fθレンズ120の上段を通って折返しミラー127によりトロイダルレンズ124に入射され、折返しミラー128を介して感光体ドラム102上にスポット状に結像し、第2の画像形成ステーションとしてマゼンタ色の画像情報に対応した潜像を形成する。   Beams 262 from a plurality of light sources emitted from the upper stage of the beam splitting prism 108 are deflected and scanned at the upper stage of the polygon mirror 106 via the cylinder lens 114, pass through the upper stage of the fθ lens 120, and then the toroidal lens by the return mirror 127. Then, the light is incident on 124 and imaged in a spot shape on the photosensitive drum 102 via the folding mirror 128, and a latent image corresponding to magenta image information is formed as a second image forming station.

同様に、対向するステーションにおいても、マルチビーム光源装置109からの複数の光ビームは、光束分割プリズム110によって上下に2分岐され、各ステーションに対応する感光体ドラムに導かれる。   Similarly, at the stations facing each other, a plurality of light beams from the multi-beam light source device 109 are bifurcated up and down by the light beam splitting prism 110 and guided to the photosensitive drum corresponding to each station.

光束分割プリズム110の下段から射出した複数の発光源からのビーム263は、シリンダレンズ115を介してポリゴンミラー106の下段で偏向、走査され、fθレンズ121の下段を通って折返しミラー132によりトロイダルレンズ126に入射され、折返しミラー133を介して感光体ドラム104上にスポット状に結像し、第4の画像形成ステーションとしてブラック色の画像情報に対応した潜像を形成する。また、光束分割プリズム110の上段から射出した複数の発光源からのビーム264は、シリンダレンズ116を介してポリゴンミラー106の上段で偏向、走査され、fθレンズ121の上段を通って折返しミラー135によりトロイダルレンズ125に入射され、折返しミラー136を介して感光体ドラム103上にスポット状に結像し、第3の画像形成ステーションとしてシアン色の画像情報に対応した潜像を形成する。   Beams 263 from a plurality of light sources emitted from the lower stage of the beam splitting prism 110 are deflected and scanned at the lower stage of the polygon mirror 106 via the cylinder lens 115, pass through the lower stage of the fθ lens 121, and the toroidal lens by the folding mirror 132. Then, the light is incident on 126 and imaged in a spot shape on the photosensitive drum 104 via the folding mirror 133, and a latent image corresponding to black image information is formed as a fourth image forming station. Beams 264 from a plurality of light sources emitted from the upper stage of the beam splitting prism 110 are deflected and scanned by the upper stage of the polygon mirror 106 via the cylinder lens 116, and pass through the upper stage of the fθ lens 121 by the folding mirror 135. The light enters the toroidal lens 125, forms an image on the photosensitive drum 103 via the folding mirror 136, and forms a latent image corresponding to cyan image information as a third image forming station.

本実施の形態に係るマルチビーム走査装置においては、光源ユニット107、109として、第1の実施の形態に係るマルチビーム光源装置を用いている。光源ユニット107、109においては、図2に示されるように、フラットパッケージ246の表面301に3つの凸部を設け、面発光型半導体レーザアレイ245から出射される光ビームの光軸と、カップリングレンズ202の光軸とが平行になるように補正がされている。   In the multi-beam scanning device according to the present embodiment, the multi-beam light source device according to the first embodiment is used as the light source units 107 and 109. In the light source units 107 and 109, as shown in FIG. 2, three convex portions are provided on the surface 301 of the flat package 246, the optical axis of the light beam emitted from the surface emitting semiconductor laser array 245, and the coupling Correction is made so that the optical axis of the lens 202 is parallel.

ここで、図24に示されるように、発光装置201の複数の発光源は、主走査方向、副走査方向に配列数n、mにて2次元に配列されているため、図3に示されるように、各発光源がカップリングレンズ202の光軸251に直交する面250内に揃っていないと、カップリングレンズ202から射出されたビームの集束状態が各発光源で異なり、結像位置(ビームウェスト位置)が感光体面上からずれて、ビームスポット径の偏差となり周期的な濃度むらが発生する。あるいは、先頭行をどの発光源から記録するかによって色味が変るといった画像劣化を生じる。   Here, as shown in FIG. 24, the plurality of light emitting sources of the light emitting device 201 are two-dimensionally arranged in the main scanning direction and the sub-scanning direction with the number of arrays n and m, and thus are shown in FIG. As described above, if the light emitting sources are not aligned within the plane 250 orthogonal to the optical axis 251 of the coupling lens 202, the focusing state of the beam emitted from the coupling lens 202 differs depending on each light emitting source, and the imaging position ( The beam waist position) deviates from the surface of the photoconductor, resulting in a deviation of the beam spot diameter, and periodic density unevenness occurs. Alternatively, image deterioration such as a change in color occurs depending on from which light source the first row is recorded.

しかしながら、本実施の形態に係るマルチビーム走査装置においては、各発光源がカップリングレンズ202の光軸251に直交する面250内で揃うため、カップリングレンズ202から射出されたビームが感光体面上で結像する結像位置がずれたり周期的な濃度むらが発生することがない。   However, in the multi-beam scanning device according to the present embodiment, the light emission sources are aligned in the plane 250 orthogonal to the optical axis 251 of the coupling lens 202, so that the beam emitted from the coupling lens 202 is on the photoreceptor surface. In this case, the image forming position for image formation is not shifted, and periodic density unevenness does not occur.

なお、本実施の形態に係るマルチビーム走査装置においては、光源ユニットとして第1の実施の形態に係るマルチビーム光源装置を用いているが、第1の実施の形態に係るマルチビーム光源装置の代わりに、第1の実施の形態の第1乃至第4の変形例、第2の実施の形態及び第2の実施の形態の第1乃至第5の変形例に係るマルチビーム光源装置を用いた場合にも、同様の効果が得られる。
(第4の実施の形態)
次に、図26を参照し、本発明の第4の実施の形態に係る画像形成装置を説明する。
In the multi-beam scanning device according to the present embodiment, the multi-beam light source device according to the first embodiment is used as the light source unit, but instead of the multi-beam light source device according to the first embodiment. When the multi-beam light source device according to the first to fourth modifications of the first embodiment, the second embodiment, and the first to fifth modifications of the second embodiment is used The same effect can be obtained.
(Fourth embodiment)
Next, an image forming apparatus according to a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

図26は、本実施の形態に係る画像形成装置の構成を模式的に示す断面図である。本実施の形態に係る画像形成装置は、第3の実施の形態に係るマルチビーム走査装置を用いた画像形成装置である。   FIG. 26 is a cross-sectional view schematically showing the configuration of the image forming apparatus according to the present embodiment. The image forming apparatus according to the present embodiment is an image forming apparatus using the multi-beam scanning device according to the third embodiment.

本実施の形態に係る画像形成装置は、光走査装置900、感光体ドラム901、帯電チャージャ902、現像ローラ903、トナーカートリッジ904、クリーニングケース905、転写ベルト906、給紙トレイ907、給紙コロ908、レジストローラ対909、定着ローラ910、排紙トレイ911、排紙ローラ912を有する。   An image forming apparatus according to this embodiment includes an optical scanning device 900, a photosensitive drum 901, a charging charger 902, a developing roller 903, a toner cartridge 904, a cleaning case 905, a transfer belt 906, a paper feed tray 907, and a paper feed roller 908. A registration roller pair 909, a fixing roller 910, a paper discharge tray 911, and a paper discharge roller 912.

感光体ドラム901の周囲には、感光体を高圧に帯電する帯電チャージャ902、光走査装置900により記録された静電潜像に帯電したトナーを付着して顕像化する現像ローラ903、現像ローラにトナーを補給するトナーカートリッジ904、ドラムに残ったトナーを掻き取り備蓄するクリーニングケース905が配置される。感光体ドラム901へは、第3の実施の形態で記載したように、ポリゴンミラー1面毎の走査により、複数ライン(第3の実施の形態では4ライン)で同時に画像記録が行われる。   Around the photosensitive drum 901, a charging charger 902 that charges the photosensitive member to a high voltage, a developing roller 903 that attaches the charged toner to the electrostatic latent image recorded by the optical scanning device 900, and visualizes the toner, a developing roller A toner cartridge 904 for replenishing toner and a cleaning case 905 for scraping and storing toner remaining on the drum are disposed. As described in the third embodiment, image recording is simultaneously performed on a plurality of lines (four lines in the third embodiment) on the photosensitive drum 901 by scanning each surface of the polygon mirror.

上記した画像形成ステーションは、転写ベルト906の移動方向に並列され、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックのトナー画像が転写ベルト上にタイミングを合わせて順次転写され、重ね合わされてカラー画像が形成される。各画像形成ステーションは、トナー色が異なるだけで、基本的には同一構成である。   The above-described image forming stations are arranged in parallel in the moving direction of the transfer belt 906, and yellow, magenta, cyan, and black toner images are sequentially transferred onto the transfer belt at appropriate timing, and are superimposed to form a color image. Each image forming station basically has the same configuration except that the toner color is different.

一方、記録紙は給紙トレイ907から給紙コロ908により供給され、レジストローラ対909により副走査方向の記録開始のタイミングに合わせて送りだされ、転写ベルトよりカラー画像が転写されて、定着ローラ910で定着して排紙ローラ912により排紙トレイ911に排出される。   On the other hand, the recording paper is supplied from the paper supply tray 907 by the paper supply roller 908, and is sent out by the registration roller pair 909 in accordance with the recording start timing in the sub-scanning direction. The color image is transferred from the transfer belt, and the fixing roller The image is fixed at 910 and discharged to a paper discharge tray 911 by a paper discharge roller 912.

ここで、図24に示されるように、発光装置201の複数の発光源は、主走査方向、副走査方向に配列数n、mにて2次元に配列されているため、各発光源がカップリングレンズの光軸に直交する面内に揃っていないと、カップリングレンズから射出されたビームの集束状態が各発光源で異なり、結像位置(ビームウェスト位置)が感光体面上からずれて、ビームスポット径の偏差となり周期的な濃度むらが発生する。あるいは、先頭行をどの発光源から記録するかによって色味が変るといった画像劣化を生じる。   Here, as shown in FIG. 24, since the plurality of light emitting sources of the light emitting device 201 are two-dimensionally arranged in the main scanning direction and the sub-scanning direction with the number of arrays n and m, each light emitting source is a cup. If they are not aligned within the plane perpendicular to the optical axis of the ring lens, the focusing state of the beam emitted from the coupling lens is different for each light source, and the imaging position (beam waist position) is shifted from the surface of the photoreceptor, Deviation of the beam spot diameter causes periodic density unevenness. Alternatively, image deterioration such as a change in color occurs depending on from which light source the first row is recorded.

しかしながら、本実施の形態に係るマルチビーム走査装置においては、各発光源がカップリングレンズの光軸に直交する面内で揃うため、カップリングレンズから射出されたビームが感光体面上で結像する結像位置がずれたり周期的な濃度むらが発生することがない。   However, in the multi-beam scanning device according to the present embodiment, the light sources are aligned in a plane perpendicular to the optical axis of the coupling lens, so that the beam emitted from the coupling lens forms an image on the surface of the photoreceptor. The imaging position is not shifted and periodic density unevenness does not occur.

なお、本実施の形態に係る画像形成装置においては、マルチビーム走査装置の光源ユニットとして第1の実施の形態に係るマルチビーム光源装置を用いているが、第1の実施の形態に係るマルチビーム光源装置の代わりに、第1の実施の形態の第1乃至第4の変形例、第2の実施の形態及び第2の実施の形態の第1乃至第5の変形例に係るマルチビーム光源装置を用いた場合にも、同様の効果が得られる。   In the image forming apparatus according to the present embodiment, the multi-beam light source device according to the first embodiment is used as the light source unit of the multi-beam scanning device, but the multi-beam according to the first embodiment is used. Multi-beam light source devices according to first to fourth modified examples of the first embodiment, second embodiment, and first to fifth modified examples of the second embodiment instead of the light source device The same effect can be obtained when using.

以上、本発明の好ましい実施の形態について記述したが、本発明はかかる特定の実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲内に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。   The preferred embodiments of the present invention have been described above, but the present invention is not limited to such specific embodiments, and various modifications can be made within the scope of the gist of the present invention described in the claims. Can be modified or changed.

また、本発明において、凸部311〜313、331〜335の個数は、当接してできる基準面を一義的に決めるためには、3つであるのが最良の実施の形態であるが、3つの凸部により一義的に決められた基準面より上方に突出しないような凸部を追加するのであれば、凸部の個数を4つ以上とすることも可能であり、逆に、パッケージの表面の一部に当接させることによって凸部の機能を代用するのであるならば、凸部の個数を1又は2個とすることも可能である。   In the present invention, the number of the convex portions 311 to 313 and 331 to 335 is three in the best embodiment in order to uniquely determine a reference plane that can be brought into contact with the convex portions 311 to 313 and 331 to 335. If a convex part that does not protrude upward from a reference plane uniquely determined by one convex part is added, the number of convex parts can be four or more. If the function of the convex portion is substituted by contacting a part of the convex portion, the number of convex portions can be one or two.

本発明の第1の実施の形態に係るマルチビーム光源装置の概略の構成を模式的に示す斜視図である。1 is a perspective view schematically showing a schematic configuration of a multi-beam light source device according to a first embodiment of the present invention. 本発明の第1の実施の形態に係るマルチビーム光源装置に含まれる発光装置の構成を模式的に示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows typically the structure of the light-emitting device contained in the multi-beam light source device which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施の形態に係るマルチビーム光源装置の構成を示す主走査断面図である。1 is a main scanning sectional view showing a configuration of a multi-beam light source device according to a first embodiment of the present invention. 本発明の第1の実施の形態に係るマルチビーム光源装置の分解斜視図である。1 is an exploded perspective view of a multi-beam light source device according to a first embodiment of the present invention. 本発明の第1の実施の形態に係るマルチビーム光源装置のベース部材から付勢部材までの部分を拡大して示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which expands and shows the part from the base member of the multi-beam light source device which concerns on the 1st Embodiment of this invention to a biasing member. 本発明の第1の実施の形態に係るマルチビーム光源装置を説明するための図であり、発光装置のパッケージ上に凸部が設けられた構成を示す斜視図である。It is a figure for demonstrating the multi-beam light source device which concerns on the 1st Embodiment of this invention, and is a perspective view which shows the structure by which the convex part was provided on the package of the light-emitting device. 本発明の第1の実施の形態に係るマルチビーム光源装置を説明するための図であり、発光装置のパッケージ上に凸部が設けられた構成を示す斜視図である。It is a figure for demonstrating the multi-beam light source device which concerns on the 1st Embodiment of this invention, and is a perspective view which shows the structure by which the convex part was provided on the package of the light-emitting device. 本発明の第1の実施の形態の第1の変形例に係る発光装置を説明するための図であり、発光装置のパッケージ上に凸部が設けられた構成を示す斜視図である。It is a figure for demonstrating the light-emitting device which concerns on the 1st modification of the 1st Embodiment of this invention, and is a perspective view which shows the structure by which the convex part was provided on the package of the light-emitting device. 本発明の第1の実施の形態の第2の変形例に係る発光装置を説明するための図であり、発光装置のパッケージ上に凸部が設けられた構成を示す斜視図である。It is a figure for demonstrating the light-emitting device which concerns on the 2nd modification of the 1st Embodiment of this invention, and is a perspective view which shows the structure by which the convex part was provided on the package of the light-emitting device. 本発明の第1の実施の形態の第3の変形例に係る発光装置を説明するための図であり、発光装置のパッケージ上に凸部が設けられた構成を示す斜視図である。It is a figure for demonstrating the light-emitting device which concerns on the 3rd modification of the 1st Embodiment of this invention, and is a perspective view which shows the structure by which the convex part was provided on the package of the light-emitting device. 本発明の第1の実施の形態の第4の変形例に係る発光装置を説明するための図であり、発光装置のパッケージ上に凸部が設けられた構成を示す斜視図である。It is a figure for demonstrating the light-emitting device which concerns on the 4th modification of the 1st Embodiment of this invention, and is a perspective view which shows the structure by which the convex part was provided on the package of the light-emitting device. 本発明の第2の実施の形態に係るマルチビーム光源装置に含まれる発光装置の構成を模式的に示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows typically the structure of the light-emitting device contained in the multi-beam light source device which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2の実施の形態に係るマルチビーム光源装置の構成を示す主走査断面図である。It is a main scanning sectional view showing the configuration of the multi-beam light source device according to the second embodiment of the present invention. 本発明の第2の実施の形態に係るマルチビーム光源装置の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the multi-beam light source device which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2の実施の形態に係るマルチビーム光源装置のベース部材から付勢部材までの部分を拡大して示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which expands and shows the part from the base member of the multi-beam light source device which concerns on the 2nd Embodiment of this invention to a biasing member. 本発明の第2の実施の形態に係るマルチビーム光源装置を説明するための図であり、ベース部材の取付面上に凸部が設けられた構成を示す斜視図である。It is a figure for demonstrating the multi-beam light source device which concerns on the 2nd Embodiment of this invention, and is a perspective view which shows the structure by which the convex part was provided on the attachment surface of the base member. 本発明の第2の実施の形態に係るマルチビーム光源装置を説明するための図であり、ベース部材の取付面上に凸部が設けられた構成を示す斜視図である。It is a figure for demonstrating the multi-beam light source device which concerns on the 2nd Embodiment of this invention, and is a perspective view which shows the structure by which the convex part was provided on the attachment surface of the base member. 本発明の第2の実施の形態の第1の変形例に係るマルチビーム光源装置を説明するための図であり、ベース部材の取付面上に凸部が設けられた構成を模式的に示す平面図及び断面図である。It is a figure for demonstrating the multi-beam light source device which concerns on the 1st modification of the 2nd Embodiment of this invention, and is a plane which shows typically the structure by which the convex part was provided on the attachment surface of the base member It is a figure and sectional drawing. 本発明の第2の実施の形態の第2の変形例に係るマルチビーム光源装置を説明するための図であり、ベース部材の取付面上に凸部が設けられた構成を模式的に示す平面図及び断面図である。It is a figure for demonstrating the multi-beam light source device which concerns on the 2nd modification of the 2nd Embodiment of this invention, and is a plane which shows typically the structure by which the convex part was provided on the attachment surface of the base member It is a figure and sectional drawing. 本発明の第2の実施の形態の第3の変形例に係るマルチビーム光源装置を説明するための図であり、ベース部材の取付面上に凸部が設けられた構成を示す斜視図である。It is a figure for demonstrating the multi-beam light source device which concerns on the 3rd modification of the 2nd Embodiment of this invention, and is a perspective view which shows the structure by which the convex part was provided on the attachment surface of the base member. . 本発明の第2の実施の形態の第4の変形例に係るマルチビーム光源装置を説明するための図であり、ベース部材の取付面上に凸部が設けられた構成を示す斜視図である。It is a figure for demonstrating the multi-beam light source device which concerns on the 4th modification of the 2nd Embodiment of this invention, and is a perspective view which shows the structure by which the convex part was provided on the attachment surface of the base member. . 本発明の第2の実施の形態の第5の変形例に係るマルチビーム光源装置を説明するための図であり、ベース部材の取付面上に凸部が設けられた構成を示す斜視図である。It is a figure for demonstrating the multi-beam light source device which concerns on the 5th modification of the 2nd Embodiment of this invention, and is a perspective view which shows the structure by which the convex part was provided on the attachment surface of the base member. . 本発明の第3の実施の形態に係るマルチビーム走査装置の構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the multi-beam scanning apparatus which concerns on the 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第3の実施の形態に係るマルチビーム走査装置を説明するための図であり、発光装置に格納される面発光型半導体レーザアレイの発光源の配置を模式的に示す図である。It is a figure for demonstrating the multi-beam scanning apparatus which concerns on the 3rd Embodiment of this invention, and is a figure which shows typically arrangement | positioning of the light emission source of the surface emitting semiconductor laser array stored in a light-emitting device. 本発明の第3の実施の形態に係るマルチビーム走査装置を説明するための図であり、副走査断面における光線の経路を示す図である。It is a figure for demonstrating the multi-beam scanning apparatus which concerns on the 3rd Embodiment of this invention, and is a figure which shows the path | route of the light ray in a subscanning cross section. 本発明の第4の実施の形態に係る画像形成装置の構成を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically the structure of the image forming apparatus which concerns on the 4th Embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

101〜104 感光体ドラム
105 移動方向
106 ポリゴンミラー
107、109 光源ユニット
108、110 光束分割プリズム
113〜116 シリンダレンズ
117、118 液晶偏向素子
201、201a〜201e 発光装置
202 カップリングレンズ
203 アパーチャミラー
204 収束レンズ
206 制御基板
207、207a〜207f ベース部材
208 ホルダ部材
209 付勢部材
210 光検知センサ
221、221a〜221f 取付面
245 発光素子アレイ(面発光型半導体レーザアレイ)
246、246a〜246e パッケージ(フラットパッケージ)
247 ガラス窓
248、248a 当接面
301、301a〜301e 表面
311〜313、331〜335 凸部
320、321 側面
101-104 Photosensitive drum 105 Moving direction 106 Polygon mirrors 107, 109 Light source unit 108, 110 Light beam splitting prisms 113-116 Cylinder lenses 117, 118 Liquid crystal deflecting elements 201, 201a-201e Light emitting device 202 Coupling lens 203 Aperture mirror 204 Convergence Lens 206 Control board 207, 207a-207f Base member 208 Holder member 209 Energizing member 210 Photodetection sensors 221, 221a-221f Mounting surface 245 Light emitting element array (surface emitting semiconductor laser array)
246, 246a-246e Package (flat package)
247 Glass window 248, 248a Contact surface 301, 301a-301e Surface 311-313, 331-335 Protruding part 320, 321 Side surface

Claims (22)

同一平面に複数の発光素子が配列し、該発光素子の各々が前記平面に垂直に光ビームを出射するように構成された発光素子アレイが、該発光素子アレイに接続するリード端子を備えたパッケージに、該パッケージの主面であって前記光ビームが出射される側の面である出射面に垂直な光ビームを出射するように収容してなる発光装置であって、
前記発光装置を取付ける取付部材に前記パッケージが当接されて取付けられる際の前記光ビームの光軸方向を補正するために、前記パッケージの前記取付部材側の面の複数の箇所に、前記光軸方向を補正する角度に応じた高低差を有する前記複数の凸部が設けられることを特徴とする発光装置。
A package in which a plurality of light emitting elements are arranged on the same plane, and each light emitting element array configured to emit a light beam perpendicular to the plane includes a lead terminal connected to the light emitting element array And a light-emitting device that is accommodated so as to emit a light beam perpendicular to an emission surface that is a main surface of the package and is a surface on the side from which the light beam is emitted,
In order to correct the optical axis direction of the light beam when the package is mounted in contact with the mounting member to which the light emitting device is mounted, the optical axis is provided at a plurality of locations on the surface of the package on the mounting member side. The light emitting device, wherein the plurality of convex portions having a height difference corresponding to an angle for correcting the direction are provided.
前記凸部は、平面視において縦及び横の長さが共に1mm以下である板状部材よりなることを特徴とする請求項1記載の発光装置。   2. The light emitting device according to claim 1, wherein the convex portion is made of a plate-like member having a vertical and horizontal length of 1 mm or less in plan view. 前記凸部は、平面視において略円形形状を有することを特徴とする請求項1又は2記載の発光装置。   The light emitting device according to claim 1, wherein the convex portion has a substantially circular shape in a plan view. 前記凸部は、該凸部の表面が略球面状であることを特徴とする請求項1乃至3何れか一項に記載の発光装置。   The light emitting device according to claim 1, wherein the convex portion has a substantially spherical surface. 前記凸部は、有機接着剤又は無機接着剤を硬化させて形成されることを特徴とする請求項1乃至4何れか一項に記載の発光装置。   The light emitting device according to claim 1, wherein the convex portion is formed by curing an organic adhesive or an inorganic adhesive. 前記凸部は、低融点金属を硬化させて形成されることを特徴とする請求項1乃至4何れか一項に記載の発光装置。   The light emitting device according to claim 1, wherein the convex portion is formed by curing a low melting point metal. 前記パッケージは、平面視において略矩形形状を有し、
前記凸部の少なくとも1つは、前記パッケージの前記表面の角部付近の領域に設けられることを特徴とする請求項1乃至6何れか一項に記載の発光装置。
The package has a substantially rectangular shape in plan view,
The light emitting device according to claim 1, wherein at least one of the convex portions is provided in a region near a corner portion of the surface of the package.
前記凸部は3つ設けられ、
前記パッケージの平面視における重心が、前記3つの前記凸部を頂点とする三角形の略重心付近にあることを特徴とする請求項1乃至7何れか一項に記載の発光装置。
Three said convex parts are provided,
The light emitting device according to claim 1, wherein a center of gravity of the package in a plan view is in the vicinity of a substantially center of gravity of a triangle having the three convex portions as apexes.
請求項1乃至8記載の発光装置と、
前記発光装置から出射される前記光ビームを平行光束又は所定の収束状態の光束に変換するカップリングレンズと、
前記発光装置及び前記カップリングレンズを取付ける取付部材と
を備えるマルチビーム光源装置であって、
前記取付部材は、前記発光装置の前記取付部材側と反対側の面から前記取付部材側の面に向けて前記発光装置を付勢する付勢手段を有し、
前記発光装置は、前記付勢手段によって付勢されることにより、前記光軸方向が補正されることを特徴とするマルチビーム光源装置。
A light emitting device according to claim 1;
A coupling lens that converts the light beam emitted from the light emitting device into a parallel light beam or a light beam in a predetermined convergence state;
A multi-beam light source device comprising a mounting member for mounting the light emitting device and the coupling lens,
The mounting member has biasing means for biasing the light emitting device from the surface opposite to the mounting member side of the light emitting device toward the surface of the mounting member.
The multi-beam light source device, wherein the light emitting device is urged by the urging means to correct the optical axis direction.
同一平面に複数の発光素子が配列し、該発光素子の各々が前記平面に垂直に光ビームを出射するように構成された発光素子アレイが、該発光素子アレイに接続するリード端子を備えたパッケージに、該パッケージの主面であって前記光ビームが出射される側の面である出射面に垂直な光ビームを出射するように収容してなる発光装置と、
前記発光装置から出射される前記光ビームを平行光束又は所定の収束状態の光束に変換するカップリングレンズと、
前記発光装置及び前記カップリングレンズを取付ける取付部材と
を備えるマルチビーム光源装置であって、
前記取付部材は、前記発光装置の前記取付部材側と反対側の面から前記取付部材側の面に向けて前記発光装置を付勢する付勢手段を有すると共に、前記取付部材に前記パッケージが当接して取付けられる際の前記光ビームの光軸方向を補正するために、前記取付部材の前記パッケージと当接される当接面の複数の箇所に、前記光軸方向を補正する角度に応じた高低差を有する前記複数の凸部が設けられ、
前記発光装置は、前記付勢手段によって付勢されることにより、前記光軸方向が補正されることを特徴とするマルチビーム光源装置。
A package in which a plurality of light emitting elements are arranged on the same plane, and each light emitting element array configured to emit a light beam perpendicular to the plane includes a lead terminal connected to the light emitting element array A light-emitting device that is accommodated so as to emit a light beam perpendicular to an emission surface that is a main surface of the package and is a surface on the side from which the light beam is emitted;
A coupling lens that converts the light beam emitted from the light emitting device into a parallel light beam or a light beam in a predetermined convergence state;
A multi-beam light source device comprising a mounting member for mounting the light emitting device and the coupling lens,
The attachment member has urging means for urging the light emitting device from a surface opposite to the attachment member side of the light emitting device toward a surface on the attachment member side, and the package is applied to the attachment member. In order to correct the optical axis direction of the light beam when mounted in contact, the angle of the optical axis direction is corrected at a plurality of locations on the contact surface of the mounting member that is in contact with the package. The plurality of convex portions having a height difference are provided,
The multi-beam light source device, wherein the light emitting device is urged by the urging means to correct the optical axis direction.
前記凸部は、該凸部の高さが調整可能に設けられることを特徴とする請求項10記載のマルチビーム光源装置。   The multi-beam light source device according to claim 10, wherein the convex portion is provided so that a height of the convex portion can be adjusted. 前記凸部は、前記取付部材に螺合したネジであり、該ネジの先端に前記発光装置の前記取付部材側の面を当接させることを特徴とする請求項11記載のマルチビーム光源装置。   The multi-beam light source device according to claim 11, wherein the convex portion is a screw screwed to the attachment member, and a surface of the light emitting device on the attachment member side is brought into contact with a tip of the screw. 前記凸部は、前記取付部材の前記当接面の面内で移動可能に設けられることを特徴とする請求項10記載のマルチビーム光源装置。   The multi-beam light source device according to claim 10, wherein the convex portion is provided so as to be movable within a surface of the contact surface of the mounting member. 前記凸部は、平面視において縦及び横の長さが共に1mm以下である板状部材よりなることを特徴とする請求項10記載のマルチビーム光源装置。   The multi-beam light source device according to claim 10, wherein the convex portion is formed of a plate-like member having a vertical and horizontal length of 1 mm or less in plan view. 前記凸部は、平面視において略円形形状を有することを特徴とする請求項10又は14記載のマルチビーム光源装置。   The multi-beam light source device according to claim 10, wherein the convex portion has a substantially circular shape in plan view. 前記凸部は、該凸部の表面が略球面状であることを特徴とする請求項10、14又は15記載のマルチビーム光源装置。   The multi-beam light source device according to claim 10, wherein the convex portion has a substantially spherical surface. 前記凸部は、有機接着剤又は無機接着剤を硬化させて形成されることを特徴とする請求項10又は14乃至16何れか一項に記載のマルチビーム光源装置。   The multi-beam light source device according to claim 10, wherein the convex portion is formed by curing an organic adhesive or an inorganic adhesive. 前記凸部は、低融点金属を硬化させて形成されることを特徴とする請求項10又は14乃至16何れか一項に記載のマルチビーム光源装置。   The multi-beam light source device according to claim 10, wherein the convex portion is formed by curing a low melting point metal. 前記パッケージは、平面視において略矩形形状を有し、
前記凸部の少なくとも1つは、前記取付部材の前記当接面であって、前記発光装置の前記表面の角部付近に当接する領域に設けられることを特徴とする請求項10乃至18何れか一項に記載のマルチビーム光源装置。
The package has a substantially rectangular shape in plan view,
19. At least one of the convex portions is provided on a region of the contact surface of the mounting member that is in contact with the vicinity of a corner of the surface of the light emitting device. The multi-beam light source device according to one item.
前記凸部は3つ設けられ、
前記凸部に当接された前記パッケージの平面視における重心が、前記3つの前記凸部を頂点とする三角形の略重心付近にあることを特徴とする請求項10乃至19何れか一項に記載のマルチビーム光源装置。
Three said convex parts are provided,
The center of gravity of the package in contact with the convex portion in plan view is in the vicinity of the approximate center of gravity of a triangle having the three convex portions as apexes. Multi-beam light source device.
請求項9乃至20何れか一項に記載のマルチビーム光源装置と、
前記マルチビーム光源装置から出射される前記複数の光ビームを偏向する偏向手段と、
偏向された前記光ビームを被走査面に結像する結像光学系と
を備えることを特徴とするマルチビーム走査装置。
The multi-beam light source device according to any one of claims 9 to 20,
Deflection means for deflecting the plurality of light beams emitted from the multi-beam light source device;
A multi-beam scanning device comprising: an imaging optical system that forms an image of the deflected light beam on a surface to be scanned.
請求項21記載のマルチビーム走査装置と、
前記複数の光ビームにより静電潜像を形成する像担持体と、
前記像担持体により形成された前記静電潜像をトナーにより顕像化する現像手段と、
前記現像手段により現像されたトナー像を記録紙に転写する転写手段と
を備えることを特徴とする画像形成装置。
A multi-beam scanning device according to claim 21;
An image carrier that forms an electrostatic latent image with the plurality of light beams;
Developing means for developing the electrostatic latent image formed by the image carrier with toner;
An image forming apparatus comprising: a transfer unit that transfers the toner image developed by the developing unit onto a recording sheet.
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