JP2009271830A - 描画データ分散処理方法およびマスク描画装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】分散処理を割り当てられた計算ノードが、1つのチップデータの分散処理を実行し、この分散処理されたチップデータを転送用の計算ノードでマスク描画装置に転送すると、この転送処理が終了する前に、リソースの空きがある計算ノードに後続のチップデータの分散処理を割り当てて、前記1つのチップデータの転送処理と前記後続のチップデータの分散処理とを並行処理し、以後、順次この並行処理を実行する描画データ分散処理方法およびマスク描画装置を提供する。
【選択図】図2
Description
(例えば、特許文献1参照)。
2 PCクラスタ
11 電子光学鏡筒
12 描画室
21 WCU(管理ノード、Writing Control Unit)
22 PPU(分散処理ノード、Parallel Processing Unit)
23 ON(転送ノード、Output Node)
24 高速伝送路
25 光ファイバケーブル
111 電子銃
121 ステージ
Claims (5)
- 描画データを複数のチップデータに分割し、この分割された各チップデータを高速伝送路で接続された複数の計算ノードによって分散処理し、順次マスク描画装置に転送する描画データ分散処理方法であって、
所定の計算ノードが、他の計算ノードのリソースの空き状況の監視と他の計算ノードに前記チップデータの分散処理の割り当てとを行うために起動する処理工程と、前記分散処理を割り当てられた計算ノードが、1つのチップデータの分散処理を実行する処理工程と、この処理されたチップデータを転送用の計算ノードで前記マスク描画装置に転送する処理工程と、この転送処理が終了する前に、前記所定の計算ノードが、リソースの空きがある計算ノードに後続のチップデータの分散処理を割り当てて、前記1つのチップデータの転送処理と前記後続のチップデータの分散処理とを並行処理する処理工程とを有し、以後、順次この並行処理が実行されることを特徴とする描画データ分散処理方法。 - 前記各チップデータは、2以上のストライプデータを含み、前記後続のチップデータの分散処理は、前記1つのチップデータの最終のストライプデータの転送処理が開始されるときに実行されることを特徴とする請求項1記載の描画データ分散処理方法。
- 前記所定の計算ノードは、複数のチップデータから構成されるレイアウトデータのジョブを投入することにより起動し、前記並行処理は、この投入されたジョブに含まれるすべてのチップデータの分散処理が終了するまで順次繰り返されることを特徴とする請求項1または請求項2記載の描画データ分散処理方法。
- 前記所定の計算ノードは、前記各ストライプデータを2以上の分散処理ブロックデータに分割し、この分散処理ブロックデータ単位に他の計算ノードを割り当てて分散処理を順次実行させ、最終のストライプデータにおける最終の分散処理ブロックデータの実行情報とリソースの空き情報とを取得すると、前記最終の分散処理ブロックデータの転送処理と同時に、リソースが空いている計算ノードに後続のチップデータの分散処理を実行させることを特徴とする請求項3記載の描画データ分散処理方法。
- 描画データを2以上のストライプデータから構成される複数のチップデータに分割し、さらに、各ストライプデータを分散処理ブロックデータに分割し、この分割された分散処理ブロックデータを分散処理するために、高速伝送路で相互に接続された複数の計算ノードを備えたマスク描画装置であって、
前記複数の計算ノードは、他の計算ノードのリソースの空き状況の監視と他の計算ノードに前記分散処理ブロックデータの割り当てを行う管理ノードと、管理ノードによって割り当てられた前記分散処理ブロックデータの分散処理を実行する分散処理ノードと、前記分散処理されたブロックデータを前記ストライプデータ単位にまとめてチップデータごとにマスク描画装置に転送する転送ノードとから構成されたPCクラスタを形成し、
前記管理ノードは、1つのチップデータの分散処理が実行されている間に、他の分散処理ユニットのリソースの空き状況を監視し、前記分散処理が実行されているチップデータの最終分散処理ブロックデータの分散処理が実行され、前記転送ノードで転送処理が実行されると、後続のチップデータの分散処理を開始するものであることを特徴とするマスク描画装置。
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JP2008123314A JP2009271830A (ja) | 2008-05-09 | 2008-05-09 | 描画データ分散処理方法およびマスク描画装置 |
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- 2008-05-09 JP JP2008123314A patent/JP2009271830A/ja active Pending
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