JP2009269804A - Method for producing oxide ceramic - Google Patents

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JP2009269804A JP2008123168A JP2008123168A JP2009269804A JP 2009269804 A JP2009269804 A JP 2009269804A JP 2008123168 A JP2008123168 A JP 2008123168A JP 2008123168 A JP2008123168 A JP 2008123168A JP 2009269804 A JP2009269804 A JP 2009269804A
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for producing a dense ceramic by using a metal hydroxide which is inexpensive compared with a metal oxide, as a raw material. <P>SOLUTION: The method for producing metal oxide ceramics comprises a first process S1 to obtain a temporary molding by temporarily molding a raw material powder containing a metal hydroxide as a main component; a second process S2 to obtain a converted oxide by converting the metal hydroxide in the temporary molding into a metal oxide by heating the temporary molding; a third process S3 to obtain a molding by hot forging of the converted oxide at a higher pressure than that in the temporarily molding in the first process; and a fourth process S4 to obtain a sintered compact by sintering the molding. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、光学材料などに好適に用いられる酸化物セラミックスの製造方法に関する。   The present invention relates to a method for producing oxide ceramics suitably used for optical materials and the like.

酸化物セラミックスの内、スピネル(MgAl24)やマグネシア(MgO)は、その結晶構造が立方晶であり複屈折が無いため、セラミックス粉末の焼結において気孔や不純物の偏析を除去することにより、透光性に優れた焼結体を得ることが可能である。 Among oxide ceramics, spinel (MgAl 2 O 4 ) and magnesia (MgO) have cubic crystal structure and no birefringence. Therefore, by removing pores and segregation of impurities during sintering of ceramic powder, It is possible to obtain a sintered body excellent in translucency.

特に、MgOは、その熱伝導率が50W・m-1・K-1でありスピネルの熱伝導率18W・m-1・K-1に比べて高く、優れた放熱性を持つためにカラー液晶プロジェクター用の光学素子として期待されている。 In particular, MgO has a thermal conductivity of 50 W · m −1 · K −1, which is higher than that of spinel, 18 W · m −1 · K −1 , and has excellent heat dissipation. Expected to be an optical element for projectors.

このような透光性MgO焼結体に関する報告例としては、MgO粉末を有機溶媒に分散し、再仮焼して焼結性を改善する方法などが挙げられる(たとえば特許文献1を参照)。また焼結助剤を添加する方法としては、溶液状のアルミニウム化合物を添加する方法(たとえば特許文献2を参照)、SiO2と微量のB23を添加する方法(たとえば特許文献3を参照)、酸化スカンジウム、酸化イッテルビウム、酸化ゲルマニウムを0.01〜0.5wt%添加し、不活性雰囲気で焼成する方法(たとえば特許文献4を参照)などが挙げられる。 As a report example regarding such a translucent MgO sintered body, there is a method of improving the sinterability by dispersing MgO powder in an organic solvent and re-calcining (for example, see Patent Document 1). As a method for adding the sintering aid, a method of adding a solution-like aluminum compound (see, for example, Patent Document 2), a method of adding SiO 2 and a small amount of B 2 O 3 (for example, see Patent Document 3). ), Scandium oxide, ytterbium oxide, and germanium oxide in an amount of 0.01 to 0.5 wt%, and firing in an inert atmosphere (see, for example, Patent Document 4).

しかし、MgOは融点が2800℃と非常に高いため極めて焼結しにくく、かつ原料であるMgO粉末が高価格であることがコストアップの大きな要因となっている。これは、マグネシアの他、スピネルなどMg−O結合を含む多くの酸化物セラミックスに共通の課題である。
特開昭51−80313号公報 特開昭59−50068号公報 特開2000−281428号公報 特開昭48−2883号公報
However, since MgO has a very high melting point of 2800 ° C., it is extremely difficult to sinter, and the high cost of the raw material MgO powder is a major factor in increasing the cost. This is a problem common to many oxide ceramics containing Mg—O bonds such as spinel in addition to magnesia.
JP 51-80313 A JP 59-50068 JP 2000-281428 A JP-A-48-2883

高価な酸化物粉末を用いずに酸化物セラミックスを製造する方法として、金属酸化物に比べて安価な金属水酸化物粉末を原料として用いる方法がある。たとえば、MgOセラミックスを製造するための原料としてMg(OH)2を、スピネル(MgAl24)セラミックスを製造するための原料としてMg(OH)2とAl(OH)3との混合物を用いる。 As a method for producing oxide ceramics without using expensive oxide powder, there is a method using metal hydroxide powder that is cheaper than metal oxide as a raw material. For example, Mg (OH) 2 is used as a raw material for producing MgO ceramics, and a mixture of Mg (OH) 2 and Al (OH) 3 is used as a raw material for producing spinel (MgAl 2 O 4 ) ceramics.

しかし、金属水酸化物粉末を用いると次のような課題が生じる。たとえば、MgOセラミックスの場合について説明する。Mg(OH)2およびMgOの真密度はそれぞれ2.37および3.59である。そのため、Mg(OH)2の成形体を作製し、これを焼結すると、300℃以上でMg(OH)2からOHの脱離が起こってMgOに転化する際に大きな体積収縮が生じて空孔が生じる。したがって、MgO転化体の空孔率は、Mg(OH)2成形体の空孔率に比べて大きくなる。すなわち、MgO転化体の相対密度は、Mg(OH)2成形体の相対密度に比べて低下する。ここで、MgO転化体およびMg(OH)2成形体の空孔率とは、それぞれ転化体および成形体における空孔の体積百分率をいう。また、MgO転化体の相対密度とは、MgOの真密度に対するMgO転化体の見かけ密度の百分率をいう。また、Mg(OH)2成形体の相対密度とは、Mg(OH)2の真密度に対するMg(OH)2成形体の見かけ密度の百分率をいう。 However, the use of metal hydroxide powder causes the following problems. For example, the case of MgO ceramic will be described. The true densities of Mg (OH) 2 and MgO are 2.37 and 3.59, respectively. Therefore, when a molded body of Mg (OH) 2 is prepared and sintered, when OH is desorbed from Mg (OH) 2 at 300 ° C. or higher and converted to MgO, a large volume shrinkage occurs and empty. A hole is formed. Therefore, the porosity of the MgO conversion body is larger than the porosity of the Mg (OH) 2 compact. That is, the relative density of the MgO conversion body is lower than the relative density of the Mg (OH) 2 compact. Here, the porosity of the MgO conversion body and the Mg (OH) 2 compact refers to the volume percentage of pores in the conversion body and the compact, respectively. Moreover, the relative density of the MgO conversion body means the percentage of the apparent density of the MgO conversion body with respect to the true density of MgO. Further, the Mg (OH) relative density of 2 moldings, refers to the percentage of the apparent density of the Mg (OH) 2 formed body relative to the true density of Mg (OH) 2.

このように気孔率が高い(すなわち、相対密度が低い)MgO転化体をさらに焼結温度まで加熱すると、急激な焼結に伴う割れやクラックの発生が生じたり、また、緻密化自体が起こりにくくなって空孔が残存してしまう。   When the MgO converter having such a high porosity (that is, having a low relative density) is further heated to the sintering temperature, cracks and cracks are generated due to rapid sintering, and densification itself is unlikely to occur. As a result, vacancies remain.

本発明は、上記の課題を解決して、金属酸化物に比べて安価な金属水酸化物を原料に用いて緻密な酸化物セラミックスの製造方法を提供することを目的とする。   An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems and to provide a method for producing a dense oxide ceramic using a metal hydroxide that is less expensive than a metal oxide as a raw material.

本発明は、金属水酸化物を主成分として含む原料粉末を仮成形して仮成形体を得る第1工程と、仮成形体を加熱して仮成形体中の金属水酸化物を金属酸化物に転化させて酸化物転化体を得る第2工程と、第1工程における仮成形圧力よりも高い圧力で、酸化物転化体を熱間鍛造して成形体を得る第3工程と、成形体を焼結して焼結体を得る第4工程と、を備える酸化物セラミックスの製造方法である。   The present invention includes a first step of temporarily forming a raw material powder containing a metal hydroxide as a main component to obtain a temporary molded body, and heating the temporary molded body to convert the metal hydroxide in the temporary molded body into a metal oxide. A second step of obtaining an oxide conversion body by converting to a third step, a third step of obtaining a compact by hot forging the oxide conversion body at a pressure higher than the temporary forming pressure in the first step, and a compact And a fourth step of obtaining a sintered body by sintering.

本発明にかかる酸化物セラミックスの製造方法において、第1工程における仮成形圧力を1000kgf/cm2以下とし、第3工程における熱間鍛造圧力を5000kgf/cm2以上とすることができる。また、第2工程における加熱温度を300℃以上とすることができる。また、第3工程における熱間鍛造の金型温度を300℃以上とすることができる。 In the method for producing oxide ceramics according to the present invention, the temporary forming pressure in the first step can be 1000 kgf / cm 2 or less, and the hot forging pressure in the third step can be 5000 kgf / cm 2 or more. Moreover, the heating temperature in a 2nd process can be 300 degreeC or more. Moreover, the die temperature of hot forging in the third step can be set to 300 ° C. or higher.

また、本発明にかかる酸化物セラミックスの製造方法は、焼結体を熱間等方圧プレス処理してHIP体を得る第5工程をさらに備えることができる。   The method for producing oxide ceramics according to the present invention may further include a fifth step of obtaining a HIP body by subjecting the sintered body to hot isostatic pressing.

また、本発明にかかる酸化物セラミックスの製造方法において、酸化物セラミックスをスピネルとすることができる。また、酸化物セラミックスをMgOとすることができる。また、酸化物セラミックスは、MgOを主成分として含む第1成分中に、第2成分としてFe、Ni、Co、Cu、MnおよびZnからなる群から選ばれる少なくとも1種類の元素が固溶した固溶体を主成分として含むことができる。ここで、第1成分および第2成分の金属元素の総量に対する第2成分の金属元素の比率を、0.3mol%以上5mol%以下とすることができる。また、酸化物セラミックスは、その厚さが1mmである場合において、420nm〜680nmの波長領域の光の直線透過率が85%以上であり得る。   Moreover, in the manufacturing method of oxide ceramics concerning this invention, oxide ceramics can be used as a spinel. The oxide ceramics can be MgO. The oxide ceramic is a solid solution in which at least one element selected from the group consisting of Fe, Ni, Co, Cu, Mn and Zn as a second component is dissolved in the first component containing MgO as a main component. Can be included as a main component. Here, the ratio of the metal element of the second component to the total amount of the metal elements of the first component and the second component can be 0.3 mol% or more and 5 mol% or less. Further, when the thickness of the oxide ceramic is 1 mm, the linear transmittance of light in the wavelength region of 420 nm to 680 nm can be 85% or more.

また、本発明は、上記の製造方法により得られた酸化物セラミックスを含むカラー液晶プロジェクター用の光学素子である。   Moreover, this invention is an optical element for color liquid crystal projectors containing the oxide ceramics obtained by said manufacturing method.

本発明によれば、金属酸化物に比べて安価な金属水酸化物を原料に用いて緻密な酸化物セラミックスの製造方法を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the manufacturing method of precise | minute oxide ceramics can be provided using a cheap metal hydroxide as a raw material compared with a metal oxide.

<実施形態1>
図1を参照して、本発明にかかる酸化物セラミックスの製造方法の一実施形態は、金属水酸化物を主成分として含む原料粉末を仮成形して仮成形体を得る第1工程S1と、仮成形体を加熱して、仮成形体中の金属水酸化物を金属酸化物に転化させて酸化物転化体を得る第2工程S2と、第1工程における仮成形圧力よりも高い圧力で、酸化物転化体を熱間鍛造して成形体を得る第3工程S3と、成形体を焼結して焼結体を得る第4工程S4と、を備える。
<Embodiment 1>
Referring to FIG. 1, one embodiment of a method for producing an oxide ceramic according to the present invention includes a first step S1 for temporarily forming a raw material powder containing a metal hydroxide as a main component to obtain a temporary molded body, Heating the temporary molded body, converting the metal hydroxide in the temporary molded body to a metal oxide to obtain an oxide converted body, and a pressure higher than the temporary molding pressure in the first step, A third step S3 for obtaining a compact by hot forging the oxide conversion body, and a fourth step S4 for obtaining a sintered compact by sintering the compact.

(第1工程)
図1を参照して、本実施形態の酸化物セラミックスの製造方法は、第1工程S1として、金属水酸化物を主成分として含む原料粉末を仮成形して仮成形体を得る工程(仮成形工程)を備える。金属水酸化物を主成分として含む原料粉末を一度に成形し焼結すると、金属水酸化物が金属酸化物に転化する際の体積収縮により、焼結体に空孔が発生してその相対密度が低下して緻密な酸化物セラミックスが得られない。かかる課題を解決するため、第1工程として金属水酸化物を主成分として含む原料粉末を仮成形して仮成形体を得る工程を設けた後、第2工程として仮成形体中の金属水酸化物を金属酸化物に転化させて酸化物転化体を得た。
(First step)
With reference to FIG. 1, the manufacturing method of the oxide ceramics of this embodiment is a 1st process S1. The process (temporary molding) which pre-forms the raw material powder which contains a metal hydroxide as a main component, and forms it. Step). When a raw material powder containing a metal hydroxide as a main component is molded and sintered at once, voids are generated in the sintered body due to volume shrinkage when the metal hydroxide is converted into a metal oxide, and its relative density As a result, a dense oxide ceramic cannot be obtained. In order to solve such a problem, after providing a step of obtaining a temporary formed body by temporarily forming a raw material powder containing a metal hydroxide as a main component as the first step, metal hydroxide in the temporary formed body is provided as a second step. The product was converted to a metal oxide to obtain an oxide conversion product.

ここで、金属水酸化物を主成分として含む原料粉末とは、たとえば、金属水酸化物を50wt%以上、好ましくは90wt%以上、より好ましくは99wt%以上含む原料粉末をいう。   Here, the raw material powder containing a metal hydroxide as a main component means, for example, a raw material powder containing a metal hydroxide at 50 wt% or more, preferably 90 wt% or more, more preferably 99 wt% or more.

また、仮成形するときの圧力(以下、仮成形圧力という)は、仮成形体がその形状を保つ限り特に制限はないが、小さいほど好ましい。仮成形圧力が大きくなるほど、仮成形体の相対密度が高くなり、後に行なう熱間鍛造の際に大きな圧力が必要となり、割れやクラックが発生しやすくなる。具体的には、仮成形圧力は1000kgf/cm2(98MPa)以下が好ましく、100kgf/cm2(9.8MPa)以下がより好ましい。また、仮成形するときの温度(以下、仮成形温度という)は、特に制限はなく、コスト低減の観点から室温(たとえば5℃〜35℃)が好ましい。 Further, the pressure during temporary molding (hereinafter referred to as temporary molding pressure) is not particularly limited as long as the temporary molded body maintains its shape, but it is preferably as small as possible. As the temporary molding pressure increases, the relative density of the temporary molded body increases, and a large pressure is required in the subsequent hot forging, and cracks and cracks are likely to occur. Specifically, the provisional molding pressure is preferably 1000kgf / cm 2 (98MPa) hereinafter, 100kgf / cm 2 (9.8MPa) or less is more preferable. Further, the temperature at which the temporary molding is performed (hereinafter referred to as the temporary molding temperature) is not particularly limited, and is preferably room temperature (for example, 5 ° C. to 35 ° C.) from the viewpoint of cost reduction.

(第2工程)
図1を参照して、本実施形態の酸化物セラミックスの製造方法は、第2工程S2として、仮成形体を加熱して、仮成形体中の金属水酸化物を金属酸化物に転化させて酸化物転化体を得る工程(転化工程)を備える。上記第1工程(仮成形工程)の後に第2工程(転化工程)を行なうことにより、割れやクラックを発生させることなく容易に緻密な酸化物セラミックスが得られる。
(Second step)
With reference to FIG. 1, the manufacturing method of the oxide ceramics of this embodiment heats a temporary molded object as 2nd process S2, and converts the metal hydroxide in a temporary molded object into a metal oxide. A step of obtaining an oxide conversion body (conversion step) is provided. By performing the second step (conversion step) after the first step (temporary forming step), a dense oxide ceramic can be easily obtained without generating cracks or cracks.

第2工程における加熱温度は、金属水酸化物を金属酸化物に転化する温度以上であれば特に制限はない。熱力学的には、金属水酸化物は300℃以上で金属酸化物に転化する。第2工程における加熱のための装置は、特に制限はなく、通常の大気加熱炉を用いることができる。加熱炉中に金属水酸化物粉末を仮成形した仮成形体を挿入し、所定の温度で保持する。保持時間は仮成形体全体が均一に保持温度になれば短くてもよい。仮成形体全体が均一に保持温度になったときに、仮成形体中の金属水酸化物は酸化物に転化している。転化工程後の酸化物転化体を加熱炉から取り出して、次工程である熱間鍛造を行なう金型に配置するまでに、酸化物転化体が若干冷却されることから、酸化物転化体の温度を300℃以上に確保する観点から、加熱温度は400℃以上が好ましい。   The heating temperature in the second step is not particularly limited as long as it is equal to or higher than the temperature at which the metal hydroxide is converted into the metal oxide. Thermodynamically, the metal hydroxide is converted to a metal oxide at 300 ° C. or higher. The apparatus for heating in the second step is not particularly limited, and a normal atmospheric heating furnace can be used. A temporary molded body in which a metal hydroxide powder is temporarily molded is inserted into a heating furnace and held at a predetermined temperature. The holding time may be short as long as the entire temporary molded body reaches the holding temperature uniformly. When the entire temporary molded body reaches the holding temperature uniformly, the metal hydroxide in the temporary molded body is converted into an oxide. Since the oxide converter after the conversion step is taken out of the heating furnace and placed in a die for performing the next hot forging, the oxide converter is slightly cooled, so the temperature of the oxide converter The heating temperature is preferably 400 ° C. or higher from the viewpoint of securing the temperature of 300 ° C. or higher.

(第3工程)
図1を参照して、本実施形態の酸化物セラミックスの製造方法は、第3工程S3として、第1工程における仮成形圧力よりも高い圧力で、酸化物転化体を熱間鍛造して成形体を得る工程(熱間鍛造工程)を備える。上記第2工程(転化工程)後に第3工程(熱間鍛造工程)を行なうことにより、割れやクラックを発生させることなく容易に緻密な成形体が得られる。
(Third step)
With reference to FIG. 1, the manufacturing method of the oxide ceramics of this embodiment WHEREIN: As a 3rd process S3, the oxide conversion body is hot-forged by the pressure higher than the temporary forming pressure in a 1st process, and a molded object The process (hot forging process) of obtaining is provided. By performing the third step (hot forging step) after the second step (conversion step), a dense molded body can be easily obtained without generating cracks or cracks.

ここで、熱間鍛造とは、素材を再結晶温度以上の高温に加熱して金型などで圧力を加えて変形させて成形することをいう。また、熱間鍛造するときの圧力(以下、熱間鍛造圧力という)が高いほど、緻密な成形体が得られるため好ましい。具体的には、熱間鍛造圧力は、5000kgf/cm2(490MPa)以上が好ましい。また、熱間鍛造圧力が9000kgf/cm2(833MPa)を超えると成形体の相対密度の増大が頭打ちになる。また、熱間鍛造するときの金型温度が高いほどセラミックスの仮成形体が変形しやすいので好ましい。具体的には、金型温度は300℃以上がよい。 Here, hot forging means that the material is heated to a temperature higher than the recrystallization temperature and is deformed by applying pressure with a mold or the like. Further, the higher the pressure during hot forging (hereinafter, referred to as hot forging pressure), the more preferable a dense molded body is obtained. Specifically, the hot forging pressure is preferably 5000 kgf / cm 2 (490 MPa) or more. On the other hand, when the hot forging pressure exceeds 9000 kgf / cm 2 (833 MPa), the increase in the relative density of the compact reaches a peak. Further, the higher the mold temperature during hot forging, the more preferable the ceramic temporary molded body is likely to be deformed. Specifically, the mold temperature is preferably 300 ° C. or higher.

(第4工程)
図1を参照して、本実施形態の酸化物セラミックスの製造方法は、第4工程S4として、成形体を焼結して焼結体を得る工程(焼結工程)を備える。上記第3工程(熱間鍛造工程)後に第4工程(焼結工程)を行うことにより、割れやクラックを発生させることなく容易に緻密な成形体が得られる。
(4th process)
With reference to FIG. 1, the manufacturing method of the oxide ceramic of this embodiment is equipped with the process (sintering process) of sintering a molded object and obtaining a sintered compact as 4th process S4. By performing the fourth step (sintering step) after the third step (hot forging step), a dense molded body can be easily obtained without generating cracks or cracks.

ここで、上記第4工程における焼結方法には、特に制限はなく、従来の方法を適用することができる。焼結のときの温度(以下、焼結温度という)および焼結のときの圧力(以下、焼結圧力という)は、製造する酸化物セラミックスの種類によって異なる。   Here, the sintering method in the fourth step is not particularly limited, and a conventional method can be applied. The temperature during sintering (hereinafter referred to as sintering temperature) and the pressure during sintering (hereinafter referred to as sintering pressure) vary depending on the type of oxide ceramics to be produced.

(酸化物セラミックス)
酸化物セラミックスは、特に制限はないが、熱伝導率を高める観点から、MgOを含むものが好ましい。酸化物セラミックスは、たとえば、単相MgO、スピネルなどが好ましい。ここで、酸化物セラミックスとしてスピネルを製造するには、原料粉末の金属水酸化物としてMg(OH)2とAl(OH)3との混合物が好ましく用いられる。また、酸化物セラミックスとして単相MgOを製造するには、原料粉末の金属水酸化物としてMg(OH)2が好ましく用いられる。
(Oxide ceramics)
Although there is no restriction | limiting in particular in oxide ceramics, the thing containing MgO is preferable from a viewpoint of improving thermal conductivity. The oxide ceramic is preferably, for example, single phase MgO, spinel. Here, in order to produce spinel as an oxide ceramic, a mixture of Mg (OH) 2 and Al (OH) 3 is preferably used as the metal hydroxide of the raw material powder. In order to produce single-phase MgO as the oxide ceramic, Mg (OH) 2 is preferably used as the metal hydroxide of the raw material powder.

また、酸化物セラミックスの耐水性を高める観点から、酸化物セラミックスは、MgOを主成分として含む第1成分中に、第2成分としてFe、Ni、Co、Cu、MnおよびZnからなる群から選ばれる少なくとも1種類の元素が固溶した固溶体を主成分として含むことが好ましい。   From the viewpoint of improving the water resistance of the oxide ceramic, the oxide ceramic is selected from the group consisting of Fe, Ni, Co, Cu, Mn and Zn as the second component in the first component containing MgO as the main component. It is preferable to contain as a main component a solid solution in which at least one kind of element is dissolved.

たとえば、MgOは極めて水分と反応しやすいセラミックスであり、空気中の水分と反応してMg(OH)2を形成し失透していくだけでなく、やがて崩壊していく性質を持つ。このようなMgOを光学材料として使用すると、経時変化して表面が失透していく。この現象は、特にMgOの焼結体に顕著である。 For example, MgO is a ceramic that is very easy to react with moisture, and not only reacts with moisture in the air to form Mg (OH) 2 to devitrify, but also eventually collapses. When such MgO is used as an optical material, the surface devitrifies over time. This phenomenon is particularly remarkable in the sintered body of MgO.

これに対して、MgOを主成分として含む第1成分に、第2成分としてFe、Ni、Co、Cu、MnおよびZnからなる群から選ばれる少なくとも1種類の元素を固溶させた固溶体を主成分とする酸化物セラミックスは、第1成分の主成分であるMgOの表面活性が低下し水分との反応が抑制されているため、長期的にも化学的に安定した材料となる。   On the other hand, the main component is a solid solution in which at least one element selected from the group consisting of Fe, Ni, Co, Cu, Mn, and Zn is dissolved in the first component containing MgO as a main component. The oxide ceramic used as a component is a material that is chemically stable even in the long term because the surface activity of MgO, which is the main component of the first component, is reduced and the reaction with moisture is suppressed.

ここで、上記第1成分中に上記第2成分が固溶した固溶体を主成分として含む酸化物セラミックスを製造するには、Mg(OH)2と、Fe(OH)2、Ni(OH)2、Co(OH)2、Cu(OH)2、Mn(OH)2およびZn(OH)2からなる群から選ばれる少なくとも1種類の金属水酸化物との混合物が好ましく用いられる。 Here, in order to manufacture oxide ceramics containing as a main component a solid solution in which the second component is dissolved in the first component, Mg (OH) 2 , Fe (OH) 2 , Ni (OH) 2 are used. A mixture with at least one metal hydroxide selected from the group consisting of Co (OH) 2 , Cu (OH) 2 , Mn (OH) 2 and Zn (OH) 2 is preferably used.

ここで、MgOを主成分として含む第1成分とは、MgOを50wt%以上、好ましくは90wt%以上、より好ましくは99wt%以上含む成分をいう。また、上記第1成分中に上記第2成分が固溶した固溶体を主成分として含む酸化物セラミックスとは、上記固溶体を50wt%以上、好ましくは90wt%以上、より好ましくは99wt%以上含む酸化物セラミックスをいう。   Here, the first component containing MgO as a main component refers to a component containing 50 wt% or more, preferably 90 wt% or more, more preferably 99 wt% or more of MgO. The oxide ceramic containing as a main component a solid solution in which the second component is dissolved in the first component is an oxide containing 50 wt% or more, preferably 90 wt% or more, more preferably 99 wt% or more of the solid solution. Ceramics.

また、上記固溶体において、上記第1成分および上記第2成分の金属元素の総量に対する上記第2成分の金属元素の比率は、固溶体が得られる限り特に制限はないが、0.3mol%以上5mol%以下が好ましい。第1成分および第2成分の金属元素の総量に対する第2成分の金属元素の比率は、0.3mol%より小さいと酸化物セラミックスの耐湿性が高くならず、5mol%より大きいと酸化物セラミックスの熱伝導率が大きく低下する。   In the solid solution, the ratio of the metal element of the second component to the total amount of the metal elements of the first component and the second component is not particularly limited as long as a solid solution is obtained, but is 0.3 mol% or more and 5 mol%. The following is preferred. If the ratio of the metal element of the second component to the total amount of the metal elements of the first component and the second component is less than 0.3 mol%, the moisture resistance of the oxide ceramic is not high, and if it is greater than 5 mol%, the oxide ceramics Thermal conductivity is greatly reduced.

また、酸化物セラミックスは、その厚さが1mmである場合において、420〜680nmの波長領域の光の直線透過率が85%以上という優れた透光性を有することができる。その直線透過率は、より好ましくは87%以上である。   Further, when the thickness of the oxide ceramic is 1 mm, the oxide ceramic can have excellent translucency such that the linear transmittance of light in the wavelength region of 420 to 680 nm is 85% or more. The linear transmittance is more preferably 87% or more.

一方、この直線透過率の上限は酸化物セラミックスの屈折率(たとえば、スピネルの屈折率は1.67〜1.71、MgOの屈折率は1.75など)から算出される。ここで、この直線透過率とは、厚さが1mmである酸化物セラミックスの表面に対する垂直方向(すなわち厚さの深さ方向)の光の透過率を示す。このような直線透過率は、分光光度計により測定することができる。   On the other hand, the upper limit of the linear transmittance is calculated from the refractive index of oxide ceramics (for example, the refractive index of spinel is 1.67 to 1.71, the refractive index of MgO is 1.75, etc.). Here, the linear transmittance indicates the transmittance of light in the direction perpendicular to the surface of the oxide ceramic having a thickness of 1 mm (that is, the depth direction of the thickness). Such linear transmittance can be measured with a spectrophotometer.

<実施形態2>
図1を参照して、本発明にかかる酸化物セラミックスの製造方法の他の実施形態は、実施形態1の第4工程S4で得られた焼結体を熱間等方圧プレス処理してHIP体を得る第5工程S5をさらに備える。
<Embodiment 2>
Referring to FIG. 1, in another embodiment of the method for producing oxide ceramics according to the present invention, the sintered body obtained in the fourth step S <b> 4 of Embodiment 1 is subjected to hot isostatic pressing and HIP. A fifth step S5 for obtaining a body is further provided.

(第5工程)
図1を参照して、本実施形態の酸化物セラミックスの製造方法は、第5工程S5として、焼結体を熱間等方圧プレス処理してHIP体を得る工程(HIP処理工程)を備える。上記第4工程(焼結工程)後に第5工程(HIP処理工程)を行うことにより、割れやクラックを発生させることなくさらに緻密な成形体が得られる。
(5th process)
With reference to FIG. 1, the manufacturing method of the oxide ceramics of this embodiment is equipped with the process (HIP processing process) of obtaining a HIP body by carrying out the hot isostatic pressing process of a sintered compact as 5th process S5. . By performing the fifth step (HIP treatment step) after the fourth step (sintering step), a denser molded body can be obtained without generating cracks or cracks.

このHIP処理工程において、圧力媒体は特に限定されるものではないが、工業的に入手可能な不活性ガスを用いることが好ましい。HIP処理温度は、概ね1200℃以上とすることが好ましい。1200℃よりも低いと空孔を完全に除去することができず、焼結温度を超えると粒成長が進行し、残留空孔を生じる傾向がある。このため、HIP処理温度の上限は焼結温度を超えないことが好ましい。一方、HIP処理圧力は500気圧(50.7MPa)以上2000気圧(202.7MPa)以下とすることが好ましい。500気圧(50.7MPa)を下回ると充分な効果が得られず、また2000気圧(202.7MPa)を超えても透光性をさらに向上させることにはならず、装置が大掛かりなものとなるため好ましくない。また、HIP処理時間は0.5時間以上であれば十分であり、たとえば0.5時間以上2時間以下とし、得られるMgO系セラミックスの厚さなどにより種々時間を変更して行なえばよい。このようなHIP処理時間は最高温度での保持時間に依存して変化する。   In this HIP treatment step, the pressure medium is not particularly limited, but it is preferable to use an industrially available inert gas. The HIP processing temperature is preferably about 1200 ° C. or higher. When the temperature is lower than 1200 ° C., vacancies cannot be completely removed, and when the sintering temperature is exceeded, grain growth proceeds and residual vacancies tend to occur. For this reason, it is preferable that the upper limit of the HIP processing temperature does not exceed the sintering temperature. On the other hand, the HIP treatment pressure is preferably 500 atm (50.7 MPa) or more and 2000 atm (202.7 MPa) or less. If the pressure is less than 500 atm (50.7 MPa), a sufficient effect cannot be obtained, and even if it exceeds 2000 atm (202.7 MPa), the translucency is not further improved, and the apparatus becomes large. Therefore, it is not preferable. Further, it is sufficient that the HIP treatment time is 0.5 hours or longer, for example, 0.5 hours or longer and 2 hours or shorter, and various times may be changed depending on the thickness of the obtained MgO ceramics. Such HIP processing time varies depending on the holding time at the maximum temperature.

<実施形態3>
本発明にかかるカラー液晶プロジェクター用の光学素子は、上記実施形態1および2のいずれかの製造方法により得られた酸化物セラミックスを含む。上記実施形態1および2のいずれかの製造方法により得られる酸化物セラミックス(焼結体またはHIP体)は、透光性、耐熱性、耐水性および熱伝導率が高く複屈折が無いため、通常の光学レンズに要求される物性を満足し、特にカラー液晶プロジェクター用の光学素子として好ましく用いられる。ここで、カラー液晶プロジェクター用の光学素子に要求される物性として、たとえば、光学素子として用いられる酸化物セラミックスは、その厚さが1mmである場合において、420nm〜680nmの波長領域の光の直線透過率が85%以上であることなどが挙げられる。
<Embodiment 3>
An optical element for a color liquid crystal projector according to the present invention includes an oxide ceramic obtained by the manufacturing method of any one of the first and second embodiments. Since the oxide ceramics (sintered body or HIP body) obtained by the manufacturing method of any of Embodiments 1 and 2 above has high translucency, heat resistance, water resistance and thermal conductivity and is not birefringent, it is usually It satisfies the physical properties required for this optical lens, and is particularly preferably used as an optical element for a color liquid crystal projector. Here, as a physical property required for an optical element for a color liquid crystal projector, for example, an oxide ceramic used as an optical element has a thickness of 1 mm, and linearly transmits light in a wavelength region of 420 nm to 680 nm. The rate is 85% or more.

<実施例1>
(a)原料粉末
原料粉末は、全て純度99.99wt%以上のものを用いた。表1を参照して、MgOセラミックスの原料粉末として、平均粒径0.3μmのMg(OH)2粉末を用いた(サンプルNo.2〜7)。なお、比較のため平均粒径0.3μmのMgO粉末を用いた(サンプルNo.1)。また、第1成分であるMgOに第2成分が固溶した固溶体セラミックスの原料粉末としては、第1成分の粉末原料として平均粒径0.3μmのMg(OH)2粉末を用い、第2成分の原料として、平均粒径0.5μmのZn(OH)2、Cu(OH)2またはNi(OH)2の粉末を用いた(サンプルNo.8〜11)。また、スピネルセラミックスの原料粉末として、平均粒径0.3μmのMg(OH)2粉末と平均粒径0.2μmのAl(OH)3粉末とを用いた(サンプルNo.13および14)。また、比較のため平均粒径0.3μmのMgO粉末と平均粒径0.2μmのAl23粉末とを用いた(サンプルNo.12)。
<Example 1>
(A) Raw material powder All the raw material powders used had a purity of 99.99 wt% or more. Referring to Table 1, Mg (OH) 2 powder having an average particle size of 0.3 μm was used as a raw material powder for MgO ceramics (Sample Nos. 2 to 7). For comparison, MgO powder having an average particle size of 0.3 μm was used (Sample No. 1). Moreover, as the raw material powder of the solid solution ceramics in which the second component is dissolved in MgO as the first component, Mg (OH) 2 powder having an average particle size of 0.3 μm is used as the first component powder raw material. As raw materials, Zn (OH) 2 , Cu (OH) 2 or Ni (OH) 2 powder having an average particle size of 0.5 μm was used (Sample Nos. 8 to 11). Further, Mg (OH) 2 powder having an average particle size of 0.3 μm and Al (OH) 3 powder having an average particle size of 0.2 μm were used as raw material powders for spinel ceramics (Sample Nos. 13 and 14). For comparison, MgO powder having an average particle size of 0.3 μm and Al 2 O 3 powder having an average particle size of 0.2 μm were used (Sample No. 12).

(b)仮成形工程(第1工程)
サンプルNo.1〜14について、表1に示す原料粉末に、バインダーとして積水化学製PVB−BL1を5wt%添加してエタノールを加え、ナイロンポットおよびナイロンボールを用いて24時間混合した後、回収した。回収後の原料粉末を仮成形型内に装填し、表1に示す圧力でプレスして直径35mmで厚さ10mmのディスク状の仮成形体を得た。得られた仮成形体の相対密度(材料の真密度に対する仮成形体の見かけ密度の百分率)をアルキメデス法により測定した。結果を表1にまとめた。
(B) Temporary molding step (first step)
Sample No. About 1-14, 5 wt% of PVB-BL1 made by Sekisui Chemical was added as a binder to the raw material powder shown in Table 1, ethanol was added, and the mixture was collected for 24 hours using a nylon pot and a nylon ball, and then collected. The recovered raw material powder was loaded into a temporary mold and pressed at the pressure shown in Table 1 to obtain a disk-shaped temporary molded body having a diameter of 35 mm and a thickness of 10 mm. The relative density of the obtained temporary molded body (percentage of the apparent density of the temporary molded body with respect to the true density of the material) was measured by the Archimedes method. The results are summarized in Table 1.

(c)転化工程(第2工程)
次に、サンプルNo.3〜11および14について、上記仮成形工程で得られた仮成形体を管状大気炉内で表1に示す温度に加熱し、その温度(加熱温度)で15分間保持して、酸化物転化体を得た。なお、サンプルNo.1、2、12および13については、この転化工程を行なわなかった。
(C) Conversion step (second step)
Next, sample no. About 3-11 and 14, the temporary molded body obtained by the said temporary molding process is heated to the temperature shown in Table 1 within a tubular atmospheric furnace, and it hold | maintains for 15 minutes at the temperature (heating temperature), and oxide conversion body Got. Sample No. For 1, 2, 12, and 13, this conversion step was not performed.

(d)熱間鍛造工程(第3工程)
次に、サンプルNo.3〜11および14について、上記転化工程で得られた酸化物転化体を100トン熱間鍛造装置の内径36mmの金型内に装填し、表1に示す金型温度および熱間鍛造圧力で熱間鍛造して、直径36mmのディスク状の成形体を得た。なお、サンプルNo.1、2、12および13については、この熱間鍛造工程も行なわなかった。
(D) Hot forging process (third process)
Next, sample no. About 3-11 and 14, the oxide conversion body obtained by the said conversion process was loaded in the metal mold | die of 36-mm internal diameter of a 100-ton hot forging apparatus, and it heated by the metal mold | die temperature and hot forging pressure which are shown in Table 1. Forging was performed to obtain a disk-shaped molded body having a diameter of 36 mm. Sample No. For 1, 2, 12, and 13, this hot forging process was not performed.

(e)焼結工程(第4工程)
次に、サンプルNo.3〜11および14については上記熱簡鍛造工程で得られた成形体を、サンプルNo1、2、12および13については上記仮成形工程で得られた仮成形体を、それぞれ焼結炉内に装填し、大気雰囲気下かつ大気圧下で表1に示す温度(焼結温度)で15時間焼結して、焼結体を得た。得られた焼結体の相対密度(焼結体材料の真密度に対する焼結体の見かけ密度の百分率)をアルキメデス法により測定した。また、焼結体の生成相を粉末X線回折により確認した。結果を表1にまとめた。ここで、表1の生成相欄における「MgO」とは生成相がMgOまたはMgOに第2成分が固溶した固溶体の多結晶相であることを示し、「スピネル」とは生成相がスピネル(MgAl24)の多結晶相であることを示す。また、ピクノメータで焼結体粉末の真密度を測定し、焼結体材料の真密度の値から、焼結体粉末中の第1成分および第2成分の金属元素の総量に対する第1成分の金属元素および第2成分の金属元素の比率(mol%)を計算した結果、これらはそれぞれ第1成分(MgO)の粉末および第2成分の粉末中の金属元素の総量に対する第1成分の粉末中の金属元素および第2成分の粉末中の金属元素の比率(mol%)と同じであった。
(E) Sintering process (4th process)
Next, sample no. For 3 to 11 and 14, the molded body obtained in the above-mentioned hot forging process, and for sample Nos. 1, 2, 12 and 13, the temporary molded body obtained in the above-mentioned temporary molding process are loaded into the sintering furnace. Then, the sintered body was obtained by sintering at a temperature (sintering temperature) shown in Table 1 for 15 hours in an air atmosphere and at atmospheric pressure. The relative density (percentage of the apparent density of the sintered body with respect to the true density of the sintered body material) of the obtained sintered body was measured by Archimedes method. Moreover, the formation phase of the sintered body was confirmed by powder X-ray diffraction. The results are summarized in Table 1. Here, “MgO” in the generated phase column of Table 1 indicates that the generated phase is MgO or a polycrystalline phase of a solid solution in which the second component is dissolved in MgO, and “spinel” means that the generated phase is spinel ( It shows that it is a polycrystalline phase of MgAl 2 O 4 ). Further, the true density of the sintered body powder is measured with a pycnometer, and the first component metal with respect to the total amount of the first and second component metal elements in the sintered body powder is determined from the true density value of the sintered body material. As a result of calculating the ratio (mol%) of the element and the metal element of the second component, they are respectively in the powder of the first component with respect to the total amount of the metal element in the powder of the first component (MgO) and the powder of the second component. It was the same as the ratio (mol%) of the metal element and the metal element in the powder of the second component.

(f)HIP処理工程(第5工程)
次に、サンプルNo.1〜14について、上記焼結工程で得られた各焼結体をArガス中800℃/hrで表1に示す温度(HIP処理温度)まで昇温し、1000気圧(101.3MPa)の圧力下で1時間保持してHIP(熱間等方圧プレス)処理を行なうことによりHIP体を得た。得られたHIP体の相対密度(HIP体材料の真密度に対するHIP体の見かけ密度の百分率)をアルキメデス法により測定した。結果を表1にまとめた。なお、表1におけるサンプルNo.3〜11および14が本発明の実施例であり、サンプルNo.1、2、12および13が比較例である。
(F) HIP processing step (fifth step)
Next, sample no. About 1-14, each sintered compact obtained at the said sintering process was heated up to the temperature (HIP processing temperature) shown in Table 1 by 800 degreeC / hr in Ar gas, and the pressure of 1000 atmospheres (101.3 MPa) The HIP body was obtained by holding for 1 hour and performing HIP (hot isostatic pressing). The relative density of the obtained HIP body (percentage of the apparent density of the HIP body with respect to the true density of the HIP body material) was measured by the Archimedes method. The results are summarized in Table 1. In Table 1, sample No. 3 to 11 and 14 are examples of the present invention. 1, 2, 12 and 13 are comparative examples.

(g)評価
(g−1)直線透過率
上記で得られた酸化物セラミックス(HIP体)は、厚さ1mmの厚さに加工し、ダイヤモンドスラリーを用いて鏡面研磨を行ない、分光光度計にて直線透過率(厚さ1mm)を測定した。ここで、420nm〜680nmの波長領域の光の直線透過率は、420nmの波長の光で最も低くなる。このため、各実施例及び比較例のサンプルにおいては、420nmの波長の光の直線透過率を測定した。結果を表1の「直線透過率(%)」の欄にまとめた。
(G) Evaluation (g-1) Linear transmittance The oxide ceramic (HIP body) obtained above is processed into a thickness of 1 mm, mirror-polished with diamond slurry, and used as a spectrophotometer. The linear transmittance (thickness 1 mm) was measured. Here, the linear transmittance of light in the wavelength region of 420 nm to 680 nm is lowest for light having a wavelength of 420 nm. For this reason, the linear transmittance of light having a wavelength of 420 nm was measured in the samples of the examples and comparative examples. The results are summarized in the column of “Linear transmittance (%)” in Table 1.

(g−2)耐水性
上記で得られた酸化物セラミックス(HIP体)の耐水性の加速試験を行なうことにより耐水性を評価した。すなわち、各酸化物セラミックスを遊星ボールミルで破砕加速度が150Gで10分間粉砕して、BET比表面積値が約0.3m2/gになるまで粉末状にし、これを98℃の沸騰水中に5時間浸漬することにより浸漬後の重量増加比率を測定した。重量増加が大きくなるほど耐水性に劣っていることを示す。結果を表1の「耐水試験時重量増加率(wt%)」の欄にまとめた。
(G-2) Water resistance Water resistance was evaluated by conducting a water resistance acceleration test of the oxide ceramics (HIP body) obtained above. That is, each oxide ceramic was pulverized with a planetary ball mill at a crushing acceleration of 150 G for 10 minutes to form a powder until the BET specific surface area value was about 0.3 m 2 / g, and this was immersed in boiling water at 98 ° C. for 5 hours. The weight increase ratio after immersion was measured by immersion. It shows that it is inferior to water resistance, so that a weight increase becomes large. The results are summarized in the column of “weight increase rate during water resistance test (wt%)” in Table 1.

(g−3)熱伝導率
上記で得られた酸化物セラミックス(HIP体)から直径10mmで厚さ2mmの試験片を切り出し、レーザーフラッシュ法により室温(たとえば25℃)での熱伝導率を測定した。結果を表1の「熱伝導率(W・m-1・K-1)」の欄にまとめた。
(G-3) Thermal conductivity A test piece having a diameter of 10 mm and a thickness of 2 mm was cut out from the oxide ceramic (HIP body) obtained above, and the thermal conductivity at room temperature (for example, 25 ° C.) was measured by a laser flash method. did. The results are summarized in the column of “thermal conductivity (W · m −1 · K −1 )” in Table 1.

Figure 2009269804
Figure 2009269804

表1から明らかなように、金属水酸化物を主成分として含む原料粉末を仮成形して仮成形体を得る第1工程と、仮成形体を加熱して、仮成形体中の金属水酸化物を金属酸化物に転化させて酸化物転化体を得る第2工程と、第1工程における仮成形圧力よりも高い圧力で、酸化物転化体を熱間鍛造して成形体を得る第3工程と、成形体を焼結して焼結体を得る第4工程と、を備える酸化物セラミックスの製造方法により、相対密度、光の直線透過率、耐水性が高い酸化物セラミックスが得られた。   As is apparent from Table 1, the first step of temporarily forming a raw material powder containing a metal hydroxide as a main component to obtain a temporary molded body, and heating the temporary molded body to metal hydroxide in the temporary molded body A second step of obtaining an oxide converter by converting the product into a metal oxide, and a third step of obtaining a compact by hot forging the oxide converter at a pressure higher than the temporary forming pressure in the first step. And a fourth step of sintering the compact to obtain a sintered body, an oxide ceramic having high relative density, linear light transmittance, and high water resistance was obtained.

今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。   It should be understood that the embodiments and examples disclosed herein are illustrative and non-restrictive in every respect. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.

本発明にかかる酸化物セラミックスの製造方法を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the manufacturing method of the oxide ceramics concerning this invention.

符号の説明Explanation of symbols

S1 第1工程、S2 第2工程、S3 第3工程、S4 第4工程、S5 第5工程。   S1 1st process, S2 2nd process, S3 3rd process, S4 4th process, S5 5th process.

Claims (11)

金属水酸化物を主成分として含む原料粉末を仮成形して仮成形体を得る第1工程と、
前記仮成形体を加熱して、前記仮成形体中の前記金属水酸化物を金属酸化物に転化させて酸化物転化体を得る第2工程と、
前記第1工程における仮成形圧力よりも高い圧力で、前記酸化物転化体を熱間鍛造して成形体を得る第3工程と、
前記成形体を焼結して焼結体を得る第4工程と、を備える酸化物セラミックスの製造方法。
A first step of temporarily forming a raw material powder containing a metal hydroxide as a main component to obtain a temporary molded body;
A second step of heating the temporary molded body to convert the metal hydroxide in the temporary molded body into a metal oxide to obtain an oxide converted body;
A third step of obtaining a molded body by hot forging the oxide conversion body at a pressure higher than the temporary forming pressure in the first step;
And a fourth step of obtaining the sintered body by sintering the shaped body.
前記第1工程における前記仮成形圧力が1000kgf/cm2以下であり、前記第3工程における熱間鍛造圧力が5000kgf/cm2以上である請求項1に記載の酸化物セラミックスの製造方法。 The method for producing oxide ceramics according to claim 1, wherein the temporary forming pressure in the first step is 1000 kgf / cm 2 or less, and the hot forging pressure in the third step is 5000 kgf / cm 2 or more. 前記第2工程における加熱温度が300℃以上である請求項1または請求項2に記載の酸化物セラミックスの製造方法。   The method for producing an oxide ceramic according to claim 1 or 2, wherein the heating temperature in the second step is 300 ° C or higher. 前記第3工程における熱間鍛造の金型温度が300℃以上である請求項1〜請求項3のいずれかに記載の酸化物セラミックスの製造方法。   The method for producing an oxide ceramic according to any one of claims 1 to 3, wherein a mold temperature of hot forging in the third step is 300 ° C or higher. 前記焼結体を熱間等方圧プレス処理してHIP体を得る第5工程をさらに備える請求項1〜請求項4のいずれかに記載の酸化物セラミックスの製造方法。   The manufacturing method of the oxide ceramics in any one of Claims 1-4 further equipped with the 5th process of obtaining the HIP body by carrying out the hot isostatic pressing process of the said sintered compact. 前記酸化物セラミックスがスピネルである請求項1〜請求項5のいずれかに記載の酸化物セラミックスの製造方法。   The said oxide ceramics is a spinel, The manufacturing method of the oxide ceramics in any one of Claims 1-5. 前記酸化物セラミックスがMgOである請求項1〜請求項5のいずれかに記載の酸化物セラミックスの製造方法。   The method for producing an oxide ceramic according to any one of claims 1 to 5, wherein the oxide ceramic is MgO. 前記酸化物セラミックスは、MgOを主成分として含む第1成分中に、第2成分としてFe、Ni、Co、Cu、MnおよびZnからなる群から選ばれる少なくとも1種類の元素が固溶した固溶体を主成分として含む請求項1〜請求項5のいずれかに記載の酸化物セラミックスの製造方法。   The oxide ceramics comprises a solid solution in which at least one element selected from the group consisting of Fe, Ni, Co, Cu, Mn and Zn as a second component is dissolved in a first component containing MgO as a main component. The manufacturing method of the oxide ceramics in any one of Claims 1-5 included as a main component. 前記第1成分および前記第2成分の金属元素の総量に対する前記第2成分の金属元素の比率が、0.3mol%以上5mol%以下である請求項1〜請求項8のいずれかに記載の酸化物セラミックスの製造方法。   The oxidation according to any one of claims 1 to 8, wherein a ratio of the metal element of the second component to a total amount of the metal elements of the first component and the second component is 0.3 mol% or more and 5 mol% or less. Of manufacturing ceramics. 前記酸化物セラミックスは、その厚さが1mmである場合において、420nm〜680nmの波長領域の光の直線透過率が85%以上である請求項7〜請求項9のいずれかに記載の酸化物セラミックスの製造方法。   The oxide ceramic according to any one of claims 7 to 9, wherein the oxide ceramic has a linear transmittance of 85% or more for light in a wavelength region of 420 nm to 680 nm when the thickness is 1 mm. Manufacturing method. 請求項1〜請求項10のいずれかの製造方法により得られた前記酸化物セラミックスを含むカラー液晶プロジェクター用の光学素子。   The optical element for color liquid crystal projectors containing the said oxide ceramics obtained by the manufacturing method in any one of Claims 1-10.
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