JP2009269336A - Liquid droplet ejection method and apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、液滴吐出安定化のための液滴吐出方法および装置に関し、特にインクジェットの液滴吐出装置に適用される。 The present invention relates to a droplet ejection method and apparatus for stabilizing droplet ejection, and is particularly applied to an inkjet droplet ejection apparatus.
従来、民生用プリンタ,産業用印刷装置、あるいは電子光学装置用のディスプレイの製造工程などにインクジェット法が用いられている。インクジェット法は、材料を物体上に堆積する技術として用いられており、吐出ヘッドに設けられたノズルから液体材料を吐出する方法であって、スピンコート法などの他の塗布技術に比べて、液体材料の無駄な消費が少なく、物体上に直接精度よくパターニング塗布することが可能であるという利点を有する。 2. Description of the Related Art Conventionally, an ink jet method has been used in a manufacturing process of a display for a consumer printer, an industrial printing device, or an electro-optical device. The ink jet method is used as a technique for depositing a material on an object, and is a method for discharging a liquid material from a nozzle provided in an ejection head, which is more liquid than other coating techniques such as a spin coat method. There is an advantage that the material can be used and the patterning can be applied directly and accurately on the object with less wasteful consumption of material.
さらに、インクジェット法において、液体材料として特殊なインクや感光性樹脂などの特別な材料を用いることにより、さまざまな商品分野への応用が期待されている。 Furthermore, in the inkjet method, application to various product fields is expected by using a special material such as a special ink or a photosensitive resin as a liquid material.
インクジェットプリンタなどの液滴吐出装置では、一般的に液滴材料として溶質を溶媒で溶かした材料が用いられている。このため運転停止時には、時間経過とともに溶媒が蒸発し、インクジェットヘッドの液滴吐出面での液滴材料の粘度が増加する。 In a droplet discharge device such as an ink jet printer, a material obtained by dissolving a solute with a solvent is generally used as a droplet material. For this reason, when the operation is stopped, the solvent evaporates over time, and the viscosity of the droplet material on the droplet discharge surface of the inkjet head increases.
そして、インクジェットヘッド面上にある液滴吐出孔内での液滴材料の粘度が増加すると、液滴吐出ノズルに目詰まりが発生し、不吐出や不安定な吐出が発生する。そのため、従来からヘッドキャップを用いて、ヘッド面を覆い液滴材料を吸引するという方法が行われている。
ところで、特許文献1,2に記載されている吐出ヘッドの目詰まりを防止するためのキャップを用いた場合、液滴材料を吸引する方法であるため、この吸引により液滴材料を多量に消費してしまい、高価な液滴材料の場合にはコスト高になるという問題がある。例えば、用法によっては1ヘッドで1回当たり数十cc吸引する必要がある場合もある。特に、頻繁に吐出停止が発生した場合、吸引回数が増え、液滴材料を大量に消費してしまう。
By the way, when the cap for preventing clogging of the discharge head described in
そのため、吸引量を少なくすることも考えられるが、長時間停止したときは、ヘッドのノズル孔にはキャップが直接接触していないため、僅かながら液滴材料の蒸発が発生し、液滴材料の粘度が上がる。そのため、目詰まりが改善されず、不吐出や不安定な吐出が発生するという問題がある。 For this reason, it is conceivable to reduce the suction amount, but when the head is stopped for a long time, the cap is not in direct contact with the nozzle hole of the head. Increases viscosity. Therefore, there is a problem that clogging is not improved and non-ejection or unstable ejection occurs.
また、液滴材料の溶媒の化学的性質により、通常のゴム系樹脂では、膨潤が発生して吸引できないという問題が起こる。溶媒の種類によっては、現状、耐溶剤性材料がほとんど存在せず、あったとしても耐溶剤材料によっては、型などで成形困難な材料もあり、その場合には機械加工しなければならない。このため環状形状にする場合には製造コストが高くなるという問題がある。 In addition, due to the chemical nature of the solvent of the droplet material, there is a problem that normal rubber-based resins swell and cannot be sucked. Depending on the type of solvent, there are almost no solvent-resistant materials at present, and some of the solvent-resistant materials are difficult to mold with a mold or the like, and in that case, must be machined. For this reason, there exists a problem that manufacturing cost becomes high when making it annular shape.
本発明は、前記従来の課題に鑑みなされたものであり、液滴材料の消費を少なくしても液滴材料の安定吐出を実現できる液滴吐出方法および装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above-described conventional problems, and an object of the present invention is to provide a droplet discharge method and apparatus that can realize stable discharge of a droplet material even if consumption of the droplet material is reduced.
前記目的を達成するため、請求項1に記載の発明は、液滴を吐出するノズルを有するヘッドを用いて液滴吐出を行う液滴吐出方法において、前記ノズルからの液滴吐出を停止する際、前記ノズルが形成される面を外部雰囲気から遮断すべく部材を前記ノズルが形成される面に圧着することを特徴とする。 In order to achieve the above object, according to the first aspect of the present invention, there is provided a droplet ejection method for ejecting droplets using a head having a nozzle for ejecting droplets, wherein the droplet ejection from the nozzles is stopped. The member is pressure-bonded to the surface on which the nozzle is formed in order to block the surface on which the nozzle is formed from the external atmosphere.
請求項2に記載の発明は、請求項1記載の液滴吐出方法において、部材を液滴材料あるいは液滴材料を生成する溶剤に浸した後、部材をヘッドに圧着することを特徴とする。 According to a second aspect of the present invention, in the droplet discharge method according to the first aspect of the present invention, after the member is immersed in a droplet material or a solvent that generates the droplet material, the member is pressure-bonded to the head.
請求項3に記載の発明は、請求項1または2記載の液滴吐出方法において、部材をヘッドに対して弾接させることを特徴とする。 According to a third aspect of the present invention, in the droplet discharge method according to the first or second aspect, the member is brought into elastic contact with the head.
請求項4に記載の発明は、請求項1〜3いずれか1項記載の液滴吐出方法において、ヘッドに部材を15〜80gf/cm2の圧力にて圧着することを特徴とする。 According to a fourth aspect of the present invention, in the droplet discharge method according to any one of the first to third aspects, the member is pressure-bonded to the head at a pressure of 15 to 80 gf / cm 2 .
請求項5に記載の発明は、請求項1記載の液滴吐出方法において、ヘッドの変位を計測し、計測された変位をあらかじめ設定された基準変位と比較して、部材がヘッドに密着しているか否かを判断することを特徴とする。 According to a fifth aspect of the present invention, in the droplet discharge method according to the first aspect, the displacement of the head is measured, the measured displacement is compared with a preset reference displacement, and the member is brought into close contact with the head. It is characterized by determining whether or not.
請求項6に記載の発明は、液滴吐出装置において、液滴を吐出するためのノズルを有するヘッドと、前記ノズルの液滴吐出を長時間停止するときに、前記ヘッドにおける前記ノズルを有する面を外部雰囲気から遮断するために前記ヘッドに圧着する部材とを備えたことを特徴とする。 According to a sixth aspect of the present invention, in the droplet discharge device, a head having a nozzle for discharging a droplet, and a surface having the nozzle in the head when the droplet discharge of the nozzle is stopped for a long time And a member that is pressure-bonded to the head in order to cut off from the external atmosphere.
請求項7に記載の発明は、請求項6記載の液滴吐出装置において、部材をヘッドに圧着する前に、部材を浸す液滴材料あるいは液滴材料を生成する溶剤を収納する容器を備えたことを特徴とする。 According to a seventh aspect of the present invention, in the droplet discharge device according to the sixth aspect, the container is provided with a droplet material that immerses the member or a solvent that generates the droplet material before the member is pressure-bonded to the head. It is characterized by that.
請求項8に記載の発明は、請求項6または7記載の液滴吐出装置において、部材をヘッドに圧着するための複数個の弾性部材を備えたことを特徴とする。 According to an eighth aspect of the present invention, in the liquid droplet ejection apparatus according to the sixth or seventh aspect, the apparatus includes a plurality of elastic members for pressing the member to the head.
請求項9に記載の発明は、請求項6〜8いずれか1項記載の液滴吐出装置において、ヘッドに圧接する部材の圧力を、15〜80gf/cm2に設定したことを特徴とする。 According to a ninth aspect of the present invention, in the liquid droplet ejection apparatus according to any one of the sixth to eighth aspects, the pressure of the member that is in pressure contact with the head is set to 15 to 80 gf / cm 2 .
請求項10に記載の発明は、請求項6〜9いずれか1項記載の液滴吐出装置において、部材の形状を板状にしたことを特徴とする。 According to a tenth aspect of the present invention, in the liquid droplet ejection apparatus according to any one of the sixth to ninth aspects, the shape of the member is a plate.
請求項11に記載の発明は、請求項6〜9いずれか1項記載の液滴吐出装置において、部材をチューブから構成したことを特徴とする。
The invention according to
請求項12に記載の発明は、請求項6〜11いずれか1項記載の液滴吐出装置において、部材の材料として、吐出する液体材料に対して耐腐食性を有する樹脂材料を用いたことを特徴とする。 According to a twelfth aspect of the present invention, in the liquid droplet ejection device according to any one of the sixth to eleventh aspects, a resin material having corrosion resistance to the liquid material to be ejected is used as a material of the member. Features.
請求項13に記載の発明は、請求項6記載の液滴吐出装置において、ヘッドに部材が密着しているか否かを確認するために、ヘッドの内部に組み込まれた圧電素子の変位を計測する手段と、計測された変位をあらかじめ設定された基準変位と比較して圧着制御する手段とを備えたことを特徴とする。 According to a thirteenth aspect of the present invention, in the droplet discharge device according to the sixth aspect, in order to check whether or not the member is in close contact with the head, the displacement of the piezoelectric element incorporated in the head is measured. And a means for controlling the compression by comparing the measured displacement with a preset reference displacement.
本発明によれば、長時間停止した場合でも、液滴材料の消費をすることなく、液滴材料の安定吐出を実現することができる。 According to the present invention, even when the operation is stopped for a long time, stable discharge of the droplet material can be realized without consuming the droplet material.
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
(実施の形態1)
図1は本発明の実施の形態1を説明するための液滴吐出装置におけるインクジェットのヘッドとキャップの構成を示す断面図である。
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a configuration of an inkjet head and a cap in a droplet discharge device for explaining
図1に示すように、ヘッド1には液滴を吐出する複数のノズル2が設けられている。ステンレスからなる圧接台3上に耐溶剤性の材料からなる板状キャップ4が載置固定されている。圧接台3は、ステンレスからなる支柱5により圧接板6に上下動可能に支えられ、弾性部材であるバネ7によりヘッド1方向に付勢されている。支柱5を支持する圧接板6は回転可能に設置されている。また、後述するように板状キャップ4上を乾燥させないため、ヘッド1に併設して液滴材料あるいは該液滴材料を生成する溶媒8で満たされた容器9が設けられている。
As shown in FIG. 1, the
溶媒8は自動的に供給装置(図示せず)によって供給される。本例では、溶媒8として沸点175℃のメトキシトルエン(CH3OC6H4CH3)を使用した。板状キャップ4には耐溶剤性の材料として、フッ素系材料であるカルレッツ(kalrez:登録商標,デュポン社製)を用いた。
The
次に、実施の形態1における動作について説明する。なお、図1において、吐出位置とは液滴を吐出するための位置であり、停止位置とは液滴吐出を長期間停止する位置である。 Next, the operation in the first embodiment will be described. In FIG. 1, the discharge position is a position for discharging a droplet, and the stop position is a position where the droplet discharge is stopped for a long time.
長時間液滴吐出を停止する場合、液滴吐出を停止したヘッド1は、吐出位置から停止位置に移動する。圧接板6は、停止位置に移動した後、回転駆動され、これにより板状キャップ4が、反転かつ下降して容器9内の溶媒8に浸される。図2に板状キャップ4を溶媒8に浸した状態を示す。
When the droplet discharge is stopped for a long time, the
板状キャップ4が溶媒8に浸されると、圧接板6が、逆転駆動されてヘッド1方向に向き、かつ上昇することにより、板状キャップ4がヘッド1を加圧する。このとき、バネ7は2箇所で圧接台3を介して板状キャップ4を付勢するため、板状キャップ4がヘッド1のノズル2を均等に加圧することになる。ヘッド1のノズル2面には、液滴吐出を安定に吐出するために撥水処理がなされている。この撥水処理面(図示せず)を板状キャップ4が均等に加圧することにより、ヘッド1のノズル2付近の撥水処理面を損傷することがなく、よって、吐出時には安定した吐出が可能となる。
When the plate-like cap 4 is immersed in the
本例においてヘッド1のノズル2面に加圧する圧力は、圧力25gf/cm2相当で加圧した。実際には実験した結果より、15gf/cm2未満でなければ板状キャップ4が完全密着するという結果が得られている。前記圧力の上限は、加圧後に板状キャップ4にあいてノズル孔の形状が残らない程度の圧力80gf/cm2以下が適当な値と考えられる。加圧後に板状キャップ4にノズル孔の形状が残る場合、密着は完全であり信頼性は向上するが、繰り返し使用頻度を考えると消耗品としての交換頻度が増加し、コストアップとなるからである。
In this example, the pressure applied to the
以上のようにヘッド1のノズル2を、板状キャップ4で完全に外気と遮断した状態で安定吐出の評価を実施した結果、密着した状態で72時間停止してから再び板状キャップ4をヘッド1から離し、吐出位置に移動してから30kHzの吐出周期で吐出しても、安定な液滴吐出を得ることができた。
As described above, the stable discharge was evaluated in a state where the
以上に説明したように、ヘッド1のノズル2を板状キャップ4で完全密着することにより、従来のように液滴を吸引しないでも安定した液滴吐出を実現でき、そのため、液滴の無駄な消費量も抑えることができる。また、キャップ形状が板状であるため安価な装置にすることが可能となる。
As described above, by completely contacting the
(実施の形態2)
図3は本発明の実施の形態2を説明するための液滴吐出装置におけるインクジェットのヘッドとキャップの構成を示す断面図である。
(Embodiment 2)
FIG. 3 is a cross-sectional view showing a configuration of an inkjet head and a cap in a droplet discharge device for explaining
図3はヘッド11を短手側から見た断面図であって、ヘッド11の構成は実施の形態1と同様なものであり、液滴を吐出する複数のノズル12が設けられている。ステンレスからなる圧接台13上に耐溶剤性の材料からなるチューブ14が載置固定されている。圧接台13は、圧接板16に支持され、液滴材料を生成する溶媒15を溜める容器の機能を有している。溶媒15は、自動的に供給装置(図示せず)によって供給される。
FIG. 3 is a cross-sectional view of the
溶媒15として沸点175℃のメトキシトルエン(CH3OC6H4CH3)を使用した。チューブ14には耐溶剤性の材料として、フッ素系材料のチューブを用いた。通常のゴム系チューブでは膨潤してしまい、フッ素系材料が良好であるという結果が得られた。圧接板16は加圧機構を有して圧接台13を加圧する。
Methoxytoluene (CH 3 OC 6 H 4 CH 3 ) having a boiling point of 175 ° C. was used as the solvent 15. The
図4はヘッド11を長手側の側面から見た断面図であって、チューブ14の一端部の孔部に、チューブ14を回転させる回転軸17が挿入固定されている。回転軸17の設置側とは反対側のチューブ14には、エアー供給装置(図示せず)によってエアーが供給されている。回転軸17には樹脂材料(シリコン)を用いた。回転軸17は、回転駆動装置18により回転駆動され、回転軸17の回転は半回転のみとし、例えば、時計方向に半回転したら、次回転は反時計回りに半回転するようにしている。
FIG. 4 is a cross-sectional view of the
次に、実施の形態2における動作について説明する。なお、図3において、吐出位置とは液滴を吐出するための位置であり、停止位置とは液滴吐出を長期間停止する位置である。 Next, the operation in the second embodiment will be described. In FIG. 3, the discharge position is a position for discharging a droplet, and the stop position is a position where the droplet discharge is stopped for a long time.
長時間液滴吐出を停止する場合、液滴吐出を停止したヘッド11は、吐出位置から停止位置に移動する。停止位置に移動した後、チューブ14は半回転駆動され、溶媒15に浸した面がヘッド11面の方向に向き、チューブ14にはエアーが供給される。
When the droplet discharge is stopped for a long time, the
圧接板16が上昇して圧接台13をヘッド11側方向に加圧し、チューブ14を介して間接的にヘッド11を加圧する。チューブ14で加圧するため、ヘッド11のノズル12を均等に加圧することになる。ヘッド11のノズル12面には、液滴吐出を安定に吐出するために、撥水処理がなされている。この撥水処理面(図示せず)を均等に加圧することにより、ヘッド11のノズル12付近の撥水処理面を損傷することがなく、よって、長期間使用しても安定した吐出が可能となる。
The
本例においてヘッド加圧する圧力は、ヘッド11面に対して圧力20gf/cm2相当となるように加圧した。
In this example, the pressure applied to the head was applied to the surface of the
以上のようにヘッド11のノズル12を、チューブ14で完全に外気と遮断した状態で安定吐出の評価を実施した結果、密着した状態で72時間停止してから再びチューブ14をヘッド11から離し、吐出位置に移動してから30kHzの吐出周期で吐出しても、安定な液滴吐出を得ることができた。
As described above, the stable discharge was evaluated in a state where the
以上に説明したように、ヘッド11のノズル12をチューブ14で完全密着することにより、従来のように液滴を吸引しないでも安定した液滴吐出を実現できる。そのため、液滴の無駄な消費量も抑えることができる。また、キャップ形状がチューブであるため、安価な装置にすることが可能となる。
As described above, when the
(実施の形態3)
図5は本発明の実施の形態3を説明するための液滴吐出装置の概略構成図であって、実施の形態3は、基本的に実施の形態1と同様の構成のインクジェットのヘッドとキャップからなり、インクジェットのヘッドとキャップが完全密着しているか否かを計測して評価するシステムになっている。
(Embodiment 3)
FIG. 5 is a schematic configuration diagram of a droplet discharge device for explaining the third embodiment of the present invention. The third embodiment is basically an inkjet head and cap having the same configuration as that of the first embodiment. It is a system that measures and evaluates whether or not the inkjet head and the cap are completely in close contact with each other.
図5に示すように、実施の形態1にて説明したように、ヘッド1には液滴を吐出する複数のノズル2が設けられている。ステンレスからなる圧接台3上に耐溶剤性の材料からなる板状キャップ4が載置固定されている。圧接台3は、ステンレスからなる支柱5で圧接板6に対して上下動可能に支えられ、弾性部材であるバネ7によりヘッド1方向に加圧されている。支柱5を支持する圧接板6は回転可能に設置されている。また、後述するように板状キャップ4上を乾燥させないため、ヘッド1に併設して液滴材料あるいは該液滴材料を生成する溶媒8で満たされた容器9が設けられている。
As shown in FIG. 5, as described in the first embodiment, the
溶媒8は自動的に供給装置(図示せず)によって供給される。本例では、溶媒8として沸点175℃のメトキシトルエン(CH3OC6H4CH3)を使用した。板状キャップ4には耐溶剤性の材料として、フッ素系材料であるカルレッツ(kalrez)(登録商標:デュポン社)を用いている。 The solvent 8 is automatically supplied by a supply device (not shown). In this example, methoxytoluene (CH 3 OC 6 H 4 CH 3 ) having a boiling point of 175 ° C. was used as the solvent 8. The plate-like cap 4 uses Kalrez (registered trademark: DuPont), which is a fluorine-based material, as a solvent-resistant material.
実施の形態3において、ヘッド1には、液滴を吐出するための機構である圧電素子21が設けられている。圧電素子21は電圧の印加により振動し、その振動が振動板22に伝達して、この振動板22の動きによって液滴がノズル2から吐出されるようになっている。
In the third embodiment, the
また、圧電素子21の設置部に対してレーザ発光・受光装置23が設置され、レーザ発光・受光装置23はレーザ光をヘッド1内の圧電素子21へ照射し圧電素子21からの反射光を受光する。さらに、ドップラー変位測定装置24により圧電素子21の変位を計測する。ドップラー変位測定装置24からの信号はオシロスコープ25に送られる。オシロスコープ25には、圧電素子21を駆動する信号のタイミング信号も入力され、駆動タイミングの信号と圧電素子21の変位信号から実際の圧電素子21の駆動する波形を表すことができる。そして、実際に圧電素子21の変位から求めた波形と圧電素子21に入力した駆動波形との差をデータ処理装置26により評価する。
Further, a laser light emitting / receiving
図6(a)はヘッド1から液滴が吐出している場合の圧電素子21の変位から求めた駆動波形を示す図、図6(b)は板状キャップ4がヘッド1に密着し液滴が吐出していない場合の圧電素子21の変位から求めた駆動波形を示す図である。
FIG. 6A is a diagram showing a driving waveform obtained from the displacement of the
吐出している場合は、図6(a)に示すように、波形は急峻な振動が観測されるが、液滴が吐出していない場合は、図6(b)に示すように、圧電素子21に入力した電圧の駆動波形と同じ形状となり、振動が観測されない。 When discharging, a steep vibration is observed in the waveform as shown in FIG. 6A, but when a droplet is not discharged, as shown in FIG. 21 has the same shape as the drive waveform of the voltage input to 21 and no vibration is observed.
次に、実施の形態3における動作について説明する。 Next, the operation in the third embodiment will be described.
長時間液滴吐出を停止する場合、液滴吐出を停止したヘッド1は、吐出位置から停止位置に移動する。圧接板6は、停止位置に移動した後、回転駆動され、これにより板状キャップ4が、反転かつ下降して容器9内の溶媒8に浸される。
When the droplet discharge is stopped for a long time, the
板状キャップ4が溶媒8に浸されると、圧接板6が、逆転駆動されてヘッド1方向に向き、かつ上昇することにより、板状キャップ4がヘッド1を加圧する。このとき、バネ7は2箇所で圧接台3を介して板状キャップ4を付勢するため、板状キャップ4がヘッド1のノズル2を均等に加圧することになる。ヘッド1のノズル2面には、液滴吐出を安定に吐出するために撥水処理がなされている。この撥水処理面(図示せず)を板状キャップ4が均等に加圧することにより、ヘッド1のノズル2付近の撥水処理面を損傷することがなく、吐出時に安定した吐出が可能となる。ヘッド1のノズル2面に加圧する圧力は、圧力25gf/cm2相当で加圧した。
When the plate-like cap 4 is immersed in the solvent 8, the plate-like cap 4 pressurizes the
板状キャップ4をヘッド1に圧着した段階で、レーザ発光・受光発光装置23でレーザ光をヘッド1内の圧電素子21へ照射すると共に反射光を受光し、かつドップラー変位測定装置24で圧電素子21の変位を測定し、オシロスコープ25に変位信号を入力する。同時に、吐出波形生成装置(図示せず)と吐出波形増幅器(図示せず)から入力された実際の圧電素子21を駆動するための駆動波形信号もオシロスコープ25に入力される。
At the stage where the plate-like cap 4 is pressure-bonded to the
そして、駆動波形の変位を示した駆動波形と実際に入力した駆動波形とのそれぞれの信号がデータ処理装置26に入力され、2つの駆動波形の差に基づいて板状キャップ4が確実に密着しているか否かを判断する。完全密着していないと判断された場合は、再度、加圧動作を行い、同じようにデータ処理装置26において駆動波形を観測する。これを完全密着されたと判断されるまで繰り返す圧着制御を行う。あるいは、完全密着していないと判断された場合に警告ブザー(図示せず)などで報知する。
Then, the respective signals of the drive waveform indicating the displacement of the drive waveform and the actually input drive waveform are input to the
以上に説明したように、ヘッド1内の圧電素子21の変位を測定し、その変位波形をヘッド1に板状キャップ4が完全密着している場合の基準波形(基準変位)と比較することにより、完全密着しているか否かを判断することが可能となり、より信頼性の高い安定な液滴吐出を得ることができる。これにより従来のように液滴を吸引しないでも、安定した液滴吐出を実現できるため、液滴の無駄な消費量を抑えることができる。
As described above, the displacement of the
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は前記実施の形態1〜3に限定されるものではなく、様々な変更が可能である。 As mentioned above, although embodiment of this invention has been described, this invention is not limited to the said Embodiment 1-3, A various change is possible.
例えば、ヘッド1,11は、前記実施の形態では1個のヘッドでの例を示したが、複数個並んで配設されている場合も、個々にそれぞれ板状キャップ4やチューブ14で圧着すれば同様の効果を得ることができる。
For example, the
より完全密着の信頼性を向上するため板状キャップ4,チューブ14を、溶媒8,15で浸してからヘッド1,14と完全密着するようにしたが、完全密着する構造のものであれば、必ずしも溶媒8,15に浸さなくてもよい。
In order to improve the reliability of complete adhesion, the plate-like cap 4 and the
また、板状キャップ4の材質としてカルレッツ(kalrez:登録商標)を使用し、チューブ14の材質としてフッ素系チューブを使用したが、他のシリコン系などの耐溶剤性の材質のものであれば使用できる。
Further, Kalrez (registered trademark) is used as the material of the plate-shaped cap 4 and a fluorine-based tube is used as the material of the
板状キャップ4を加圧するために、2個のバネ7で加圧した例を示したが、多数のバネで加圧すれば、より均等に加圧することができる。
In order to pressurize the plate-shaped cap 4, the example which pressurized with the two
実施の形態2において、ヘッド11のノズル12面を均等に加圧するため、チューブ14にエアーを供給して加圧した例を示したが、エアーを供給していなくても、チューブ14の構造によっては、その弾性のみで同様の密着性を確保することができる。
In the second embodiment, in order to uniformly pressurize the
本発明は、有機溶剤を用いた溶液の塗布として、民生用や産業用の印刷としてだけではなく、特に、高機能で高価なインクを用いるディスプレイや半導体などの製造工程に使用される液滴塗布用インクジェットヘッドとして利用可能である。 The present invention is not limited to the application of a solution using an organic solvent, not only for consumer and industrial printing, but particularly for the application of droplets used in the manufacturing process of displays and semiconductors using high-performance and expensive ink. It can be used as an inkjet head.
1,11 ヘッド
2,12 ノズル
3,13 圧接台
4 板状キャップ
5 支柱
6,16 圧接板
7 バネ
8,15 溶媒
9 容器
14 チューブ
21 圧電素子
22 振動板
23 レーザ受光発光装置
24 ドップラー変位計測装置
26 データ処理装置
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2008
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