JP2009258559A - Scanner apparatus - Google Patents

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智 福島
Yaichi Okubo
弥市 大久保
Soichi Toyama
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To improve the positioning accuracy of an optical path of light to be reflected and to detect the rotational angle of a mirror at high accuracy by detecting inclination of the mirror. <P>SOLUTION: Two pairs of angle detectors 4 (when the angle detector 4 is a rotary laser encoder composed of a glass disk 22 and sensor heads 23, one glass disk 22 and two sensor heads 23 are used) are prepared, detecting directions of the two angle detectors 4 are arranged in a direction vertical to a reflection surface of the mirror 5 and symmetrically about the axial line O of a rotary shaft 16 and the inclination of the mirror 5 is detected from a difference between outputs from the two angle detectors 4. The rotational angle of the mirror 5 is detected from the sum of outputs from the two angle detectors 4. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、回転軸に支持されたミラーを位置決めして光を所望の位置に反射させるスキャナ装置に関する。   The present invention relates to a scanner device that positions a mirror supported on a rotating shaft and reflects light to a desired position.

近年、電子機器の小型化・高機能化により、プリント基板の高密度化が進んでいる。これに伴いレーザ加工機には加工精度に対する要求が急速に高まっている。なかでもスキャナ装置は、加工精度に大きく影響を与える装置である。   In recent years, the density of printed circuit boards has been increasing due to the downsizing and high functionality of electronic devices. Along with this, demands for processing accuracy are rapidly increasing in laser processing machines. Among them, the scanner device is a device that greatly affects the processing accuracy.

図５は、プリント基板穴明け用レーザ加工機におけるスキャナ装置の構成を示すブロック図、図６はスキャナの断面図である。また、図７は図６におけるA矢視図であり、ケースは断面して示している。   FIG. 5 is a block diagram showing a configuration of a scanner device in a printed circuit board drilling laser processing machine, and FIG. 6 is a sectional view of the scanner. FIG. 7 is a view taken in the direction of arrow A in FIG. 6, and the case is shown in cross section.

スキャナ装置はスキャナ１００とスキャナ制御装置２００とから構成されている。上位制御装置１は、ＮＣプログラムを解釈して、レーザビーム２を位置決めすべき対象物上の位置に応じて、スキャナ制御装置２００に目標位置決め角度３を指令する。   The scanner device includes a scanner 100 and a scanner control device 200. The host controller 1 interprets the NC program and commands the target positioning angle 3 to the scanner controller 200 according to the position on the object on which the laser beam 2 is to be positioned.

スキャナ制御装置２００は、指令された目標位置決め角度３に基づいて目標軌道を計算し、刻々のレーザビームの目標位置をリアルタイムで計算する。そして、レーザビームの目標位置とスキャナ１００に取り付けられた角度検出器４とから出力されるミラー５の現在位置（偏向角）６との差に基づいてモータに駆動電流７を供給する。上記の処理を一定のサンプル周期毎に繰り返すことにより、ミラー５を目標位置に接近させる。そして、位置決めが完了すると、スキャナ制御装置２００は位置決め完了信号８を上位制御装置１に送る。上位制御装置１は位置決め完了信号８を受信すると、図示を省略するレーザ発振器に指令を送り、パルス状のレーザビーム２を出力させる。出力されたレーザビーム２はＦθレンズ９を介して対象物の加工位置に照射され、プリント基板の導体層間を接続するための穴をあける（特許文献１）。   The scanner control apparatus 200 calculates a target trajectory based on the commanded target positioning angle 3, and calculates a target position of the laser beam every moment in real time. Then, a drive current 7 is supplied to the motor based on the difference between the target position of the laser beam and the current position (deflection angle) 6 of the mirror 5 output from the angle detector 4 attached to the scanner 100. The mirror 5 is brought close to the target position by repeating the above processing every predetermined sample period. When the positioning is completed, the scanner control device 200 sends a positioning completion signal 8 to the host control device 1. When receiving the positioning completion signal 8, the host controller 1 sends a command to a laser oscillator (not shown) to output a pulsed laser beam 2. The output laser beam 2 is irradiated to the processing position of the object through the Fθ lens 9, and a hole for connecting the conductor layers of the printed board is formed (Patent Document 1).

図６に示すように、スキャナ１００の可動コイル１５は、方形に形成され、一方の相対する２辺が回転軸１６の回転の軸線と平行になるようにして、他方の相対する２辺の中央部が回転軸１６に保持されている。可動コイル１５は、回転軸１６の軸線と平行に配置された一対の永久磁石１７によって形成される磁力線の方向が回転軸１６の軸線に直交する方向の磁界中に配置されている。軸受１８と軸受１９は、可動コイル１５の両側で、回転軸１６を回転自在に支持している。可動コイル１５と永久磁石１７とで電磁アクチュエータ（以下、「モータ」という。）を構成している。ミラーマウンタ２０は、直方体部と円筒部とから構成されている。そして、円筒部の中心部に形成された穴が回転軸１６に嵌合し、図示を省略するねじにより回転軸１６に固定されている。ミラー５は、ミラーマウンタ２０の直方体部の側面に形成された溝に嵌合し、ミラーマウンタ２０に接着されている。円筒形のハブ２１は中心部に形成された穴が回転軸１６に嵌合し、図示を省略するねじにより回転軸１６に固定されている。センサヘッド２３と組み合わされることによりロータリ型のレーザエンコーダ（すなわち、角度検出器４）を構成するガラス円盤２２は、ハブ２１の側面に接着されている。センサヘッド２３は、ガラス円盤２２表面の回折格子と対向するようにして、ケース２４に固定されている。   As shown in FIG. 6, the movable coil 15 of the scanner 100 is formed in a square shape so that one opposite two sides are parallel to the axis of rotation of the rotation shaft 16 and the other two opposite sides are in the center. The part is held by the rotating shaft 16. The movable coil 15 is disposed in a magnetic field in which the direction of the magnetic force line formed by the pair of permanent magnets 17 disposed in parallel with the axis of the rotating shaft 16 is perpendicular to the axis of the rotating shaft 16. The bearing 18 and the bearing 19 rotatably support the rotating shaft 16 on both sides of the movable coil 15. The movable coil 15 and the permanent magnet 17 constitute an electromagnetic actuator (hereinafter referred to as “motor”). The mirror mounter 20 is composed of a rectangular parallelepiped portion and a cylindrical portion. And the hole formed in the center part of a cylindrical part fits in the rotating shaft 16, and is being fixed to the rotating shaft 16 with the screw which abbreviate | omits illustration. The mirror 5 is fitted in a groove formed on the side surface of the rectangular parallelepiped portion of the mirror mounter 20 and bonded to the mirror mounter 20. The cylindrical hub 21 has a hole formed in the center thereof fitted in the rotary shaft 16 and is fixed to the rotary shaft 16 with a screw (not shown). The glass disk 22 constituting the rotary type laser encoder (that is, the angle detector 4) by being combined with the sensor head 23 is bonded to the side surface of the hub 21. The sensor head 23 is fixed to the case 24 so as to face the diffraction grating on the surface of the glass disk 22.

図７に示すように、ガラス円盤２２表面の回折格子２２ｋは円周方向に一様に配置されており、センサヘッド２３は回転軸１６の一方の側（図示の場合は左側）に配置されている。そして、回転軸１６を揺動させてミラー５の向きを変えることにより、ミラー５に入射するレーザビーム２の出射方向を変える（特許文献２）。   As shown in FIG. 7, the diffraction grating 22k on the surface of the glass disk 22 is uniformly arranged in the circumferential direction, and the sensor head 23 is arranged on one side of the rotating shaft 16 (left side in the case of illustration). Yes. Then, by rotating the rotating shaft 16 and changing the direction of the mirror 5, the emission direction of the laser beam 2 incident on the mirror 5 is changed (Patent Document 2).

ミラー２が軸方向に傾くことを予防するため、ミラー２の軸方向の両側を支持するものもある。(特許文献３)
特開２００２−１３７０７４号公報 特開２００２−６２５５号公報 特開２００２−２９６５３３号公報 In order to prevent the mirror 2 from tilting in the axial direction, there are some that support both sides of the mirror 2 in the axial direction. (Patent Document 3)
JP 2002-137074 A JP 2002-6255 A JP 2002-296533 A

ミラーの位置決めの高精度化を阻害する要因の一つにミラーの軸方向の傾き（倒れ。以下、単に「ミラーの倒れ」という。）がある。ミラーの倒れは回転軸に発生する曲げ振動に伴って発生する。しかし、上記特許文献１〜３のいずれも、ミラーの倒れを検出する技術については開示されていない。   One factor that hinders the high accuracy of mirror positioning is the mirror tilt in the axial direction (falling, hereinafter simply referred to as “mirror tilting”). The mirror tilts with the bending vibration generated on the rotating shaft. However, none of the above-mentioned Patent Documents 1 to 3 disclose a technique for detecting mirror tilt.

なお、特許文献３の技術を採用した場合であっても、軸受けの磨耗等による経年変化により、回転軸に発生する曲げ振動に伴ってミラーの倒れが発生する。   Even when the technique of Patent Document 3 is adopted, the mirror collapses due to the bending vibration generated on the rotating shaft due to the secular change due to the wear of the bearing or the like.

本発明の目的は、ミラーの倒れを検出することにより、反射させる光の光路の位置決め精度を向上させると共にミラーの回転角度を高精度に検出することにある。   An object of the present invention is to improve the positioning accuracy of the optical path of light to be reflected and detect the rotation angle of the mirror with high accuracy by detecting the tilt of the mirror.

図１はミラーの倒れを模式的に説明する図であり、図６と同じものまたは同一機能のものは同一の符号を付して重複する説明を省略する。同図において、（ａ）は倒れが発生していない状態を、（ｂ）は倒れが発生している場合を、（ｃ）はミラーの倒れとガラス円盤２２の倒れとの関係を示している。   FIG. 1 is a diagram for schematically explaining mirror tilting, and the same or the same function as in FIG. In the same figure, (a) shows a state where no fall occurs, (b) shows a case where the fall occurs, and (c) shows a relationship between the fall of the mirror and the fall of the glass disk 22. .

同図（ａ）に示すように、例えば、スキャナが停止状態にある場合、回転軸の軸線Ｏは直線であり、ミラー５の反射面５ａは軸線Ｏと平行である。しかし、回転数が増加した場合、同図（ｂ）に示すように、回転軸１６は曲線状に変形し、この変形に伴ってミラー５には角度αの倒れが発生する。本発明者は、ミラー５に倒れが発生する場合、ガラス円盤２２にも倒れが発生することを見いだした。そして、ミラー５の倒れ角度αとガラス円盤２２の倒れ角度βとの関係を調べた結果、同図（ｃ）に示すように、倒れ角度αが倒れ角度βに比例することを見いだした。   As shown in FIG. 5A, for example, when the scanner is in a stopped state, the axis O of the rotation axis is a straight line, and the reflecting surface 5a of the mirror 5 is parallel to the axis O. However, when the number of rotations increases, as shown in FIG. 5B, the rotation shaft 16 is deformed into a curved shape, and the mirror 5 is tilted by this deformation. The inventor has found that when the mirror 5 falls, the glass disk 22 also falls. As a result of investigating the relationship between the tilt angle α of the mirror 5 and the tilt angle β of the glass disk 22, it was found that the tilt angle α is proportional to the tilt angle β as shown in FIG.

以上の知見に基づき、上記課題を解決するため、本発明の第１の手段は、光を反射するミラーと、回転軸に支持された前記ミラーを回動させるモータと、前記ミラーの回転角度を検出する角度検出器と、目標値と前記角度検出器の出力信号とを比較して前記モータを駆動する制御手段とを備え、前記ミラーの位置を前記目標値に位置決めするスキャナ装置において、前記角度検出器を２個設け、前記２個の前記角度検出器の検出方向をミラーの反射面に垂直の方向かつ前記回転軸の軸線に対して対称に配置し、前記２個の角度検出器の出力の差から前記ミラーの倒れを検出することを特徴とする。   Based on the above knowledge, in order to solve the above problems, the first means of the present invention includes a mirror that reflects light, a motor that rotates the mirror supported by a rotation shaft, and a rotation angle of the mirror. In a scanner device comprising: an angle detector to detect; and a control means for driving the motor by comparing a target value with an output signal of the angle detector, wherein the angle of the mirror is set to the target value. Two detectors are provided, the detection directions of the two angle detectors are arranged in a direction perpendicular to the reflecting surface of the mirror and symmetrical with respect to the axis of the rotation axis, and the outputs of the two angle detectors The tilt of the mirror is detected from the difference between the two.

また、本発明の第２の手段は、光を反射するミラーと、回転軸に支持された前記ミラーを回動させるモータと、前記ミラーの回転角度を検出する角度検出器と、目標値と前記角度検出器の出力信号とを比較して前記モータを駆動する制御手段とを備え、前記ミラーの位置を前記目標値に位置決めするスキャナ装置において、前記角度検出器を２個設け、前記２個の前記角度検出器の検出方向をミラーの反射面に垂直の方向かつ前記回転軸の軸線に対して対称に配置し、前記２個の角度検出器の出力の和から前記ミラーの回転角度を検出することを特徴とする。   The second means of the present invention includes a mirror that reflects light, a motor that rotates the mirror supported by a rotation shaft, an angle detector that detects a rotation angle of the mirror, a target value, and the Control means for driving the motor by comparing the output signal of the angle detector, and in a scanner device for positioning the mirror position at the target value, two angle detectors are provided, and the two The detection direction of the angle detector is arranged in a direction perpendicular to the reflection surface of the mirror and symmetrical with respect to the axis of the rotation axis, and the rotation angle of the mirror is detected from the sum of the outputs of the two angle detectors. It is characterized by that.

ミラーの倒れを検出できるので、例えば、本発明に係るスキャナ装置をプリント基板穴明け用レーザ加工機に適用した場合、加工精度を向上させることができる。   Since the mirror tilt can be detected, for example, when the scanner device according to the present invention is applied to a printed circuit board drilling laser processing machine, the processing accuracy can be improved.

図２は、本発明に係るスキャナ制御装置のブロック線図であり、図５と同じものまたは同一機能のものは同一の符号を付して重複する説明を省略する。なお、このスキャナ制御装置２００は図示を省略するマイクロプロセッサを用いたディジタル制御ファームウェアで実現されており、サーボ補償器５０、倒れ検出器５１および加算器５２に関する処理は、前記マイクロプロセッサが実行するプログラムの一部に記述されている。そして、一定サンプル周期毎の離散的な時刻（以下、「離散的時刻」と呼ぶ。）において処理演算が実行される。また、角度検出器４は離散的時刻ごとに角度検出データを出力する。離散的時刻が開始されると、加算器５２は上位制御１から指令された位置指令データである目標位置決め角度３から角度検出器４で検出された角度検出データ６を減算し、その結果を追従誤差５３としてサーボ補償器５０に出力する。サーボ補償器５０は演算結果をＤＡ変換器５４に出力し、ＤＡ変換器５４はサーボ補償器５０の出力をアナログ値に変換する。このアナログ値は電流指令値であり、電流制御回路５５はこの電流指令値に追従するように駆動電流７をモータのコイル１５に供給する。また、倒れ検出器５１にも角度検出器４の出力が入力される（倒れ検出器５１の動作については後述する）。そして、上記の処理を一定サンプル周期毎に繰り返すことにより、ミラー５を目標位置に位置決めする。   FIG. 2 is a block diagram of the scanner control apparatus according to the present invention. Components having the same or the same functions as those in FIG. The scanner control device 200 is realized by digital control firmware using a microprocessor (not shown), and the processing related to the servo compensator 50, the fall detector 51, and the adder 52 is a program executed by the microprocessor. It is described in a part of. Then, the processing operation is executed at discrete times (hereinafter referred to as “discrete times”) at regular sample periods. Further, the angle detector 4 outputs angle detection data for each discrete time. When the discrete time is started, the adder 52 subtracts the angle detection data 6 detected by the angle detector 4 from the target positioning angle 3 which is position command data commanded by the host control 1, and follows the result. The error 53 is output to the servo compensator 50. The servo compensator 50 outputs the calculation result to the DA converter 54, and the DA converter 54 converts the output of the servo compensator 50 into an analog value. The analog value is a current command value, and the current control circuit 55 supplies the drive current 7 to the motor coil 15 so as to follow the current command value. The output of the angle detector 4 is also input to the fall detector 51 (the operation of the fall detector 51 will be described later). Then, the mirror 5 is positioned at the target position by repeating the above processing every predetermined sample period.

次に、倒れ検出器５１について説明する。   Next, the fall detector 51 will be described.

図３は、本発明におけるスキャナ１００をセンサヘッド２３が配置されている側から見た図である。   FIG. 3 is a view of the scanner 100 according to the present invention as viewed from the side where the sensor head 23 is disposed.

センサヘッド２３は回転軸１６に対して左右に各１個配置されている。以下、左側に配置されているセンサヘッド２３をセンサヘッド２３L、右側に配置されているセンサヘッド２３をセンサヘッド２３Rと呼ぶ。センサヘッド２３L、２３Rは検出方向が回転範囲の中心位置（ミラー5の揺動角度を±θ度とするとき、０度の位置である。以下、「基準位置」という。）においたミラー５の反射面に垂直の方向かつ回転軸１６の軸線Ｏに対して点対称に配置されている。なお、角度θは１０〜１５度程度である。センサヘッド２３L、２３Rの検出角度は時計回り方向がプラス、反時計回り方向がマイナスである。   One sensor head 23 is arranged on each of the left and right sides of the rotation shaft 16. Hereinafter, the sensor head 23 disposed on the left side is referred to as a sensor head 23L, and the sensor head 23 disposed on the right side is referred to as a sensor head 23R. The sensor heads 23L and 23R have a detection direction at the center position of the rotation range (when the swing angle of the mirror 5 is ± θ degrees, it is a position of 0 degrees, hereinafter referred to as “reference position”). They are arranged in point symmetry with respect to the axis O of the rotating shaft 16 in the direction perpendicular to the reflecting surface. The angle θ is about 10 to 15 degrees. The detection angles of the sensor heads 23L and 23R are positive in the clockwise direction and negative in the counterclockwise direction.

次に、本発明の動作を説明する。   Next, the operation of the present invention will be described.

図４は本発明の動作を説明する図である。   FIG. 4 is a diagram for explaining the operation of the present invention.

いま、ミラー５が角度をｆ（ｔ）回転した時に、曲げ振動によりガラス円盤２２が回転軸１６と共に図４の上方に距離ｈだけ移動した（倒れた）とする。この場合、センサヘッド２３L、２３Rは固定されているので、ガラス円盤２２に対して相対的に下がる。すなわち、ガラス円盤２２上の回折格子２３ｋはセンサヘッド２３L、２３Rよりも距離ｈだけ下方のセンサヘッド２３Lｍ、２３Rｍにより回転角度を検出される。距離ｈに相当する回転角度がｇ（ｔ）であるとすると、図示の場合、センサヘッド２３Lの出力値Ｘａ（ｔ）およびセンサヘッド２３Rの出力値Ｘｂ（ｔ）はそれぞれ式１，２で表される。   Now, it is assumed that when the mirror 5 rotates by an angle f (t), the glass disk 22 moves (falls down) together with the rotary shaft 16 by a distance h due to bending vibration. In this case, since the sensor heads 23L, 23R are fixed, they are lowered relative to the glass disk 22. That is, the rotation angle of the diffraction grating 23k on the glass disk 22 is detected by the sensor heads 23Lm and 23Rm below the sensor heads 23L and 23R by a distance h. Assuming that the rotation angle corresponding to the distance h is g (t), in the illustrated case, the output value Xa (t) of the sensor head 23L and the output value Xb (t) of the sensor head 23R are expressed by Equations 1 and 2, respectively. Is done.

Ｘａ（ｔ）＝ｆ（ｔ）＋ｇ（ｔ） ・・・（式１）
Ｘｂ（ｔ）＝ｆ（ｔ）−ｇ（ｔ） ・・・（式２）
倒れ振動検出器５１は、一定のサンプル周期毎に出力値Ｘａ（ｔ）と出力値Ｘｂ（ｔ）との差Ｙ（ｔ）（ただし、Ｙ（ｔ）＝２ｇ（ｔ））を求める。この動作（倒れ２ｇ（ｔ）を採取する動作）をある期間（ここでは、ある位置から次の位置に移動するまでの期間である。）繰り返す。そして、採取した期間内における最大値と最小値との差を求め、求めた差を倒れの振幅値とし、振幅値がしきい値を超えている場合は、信号を出力する。したがって、本発明に係るスキャナ装置をレーザ加工機に適用する場合は、倒れ振動検出器５１から信号が出力された場合は、加工を中止するように構成することができる。 Xa (t) = f (t) + g (t) (Formula 1)
Xb (t) = f (t) -g (t) (Formula 2)
The falling vibration detector 51 obtains a difference Y (t) (where Y (t) = 2g (t)) between the output value Xa (t) and the output value Xb (t) at a constant sample period. This operation (the operation of collecting the fall 2g (t)) is repeated for a certain period (here, the period until moving from a certain position to the next position). Then, the difference between the maximum value and the minimum value within the collected period is obtained, and the obtained difference is set as the fallen amplitude value. When the amplitude value exceeds the threshold value, a signal is output. Therefore, when the scanner device according to the present invention is applied to a laser processing machine, when a signal is output from the falling vibration detector 51, the processing can be stopped.

また、出力値Ｘａ（ｔ）と出力値Ｘｂ（ｔ）との和W（ｔ）（ただし、W（ｔ）＝２ｆ（ｔ））を求めることにより、ミラー５の倒れをキャンセルすることができるので、ミラー５の回転角度を正確に知ることができる。   Further, the tilt of the mirror 5 can be canceled by obtaining the sum W (t) (W (t) = 2f (t)) of the output value Xa (t) and the output value Xb (t). Therefore, the rotation angle of the mirror 5 can be accurately known.

この実施形態の場合、ガラス円盤２２を共用できるので、センサヘッド２３だけを２個設ければよく、構成を簡単にできる。   In this embodiment, since the glass disk 22 can be shared, only two sensor heads 23 need be provided, and the configuration can be simplified.

なお、倒れ２ｇ（ｔ）の値はミラー５の回転位置により誤差が発生するが、ミラー５が回転する範囲は、図示の状態から±１５度程度であるので、無視することができる。   Note that an error occurs in the value of the tilt 2g (t) depending on the rotation position of the mirror 5, but the range in which the mirror 5 rotates is about ± 15 degrees from the illustrated state, and can be ignored.

ミラーの倒れを模式的に説明する図である。It is a figure explaining a mirror fall down typically. 本発明に係るスキャナ制御装置のブロック線図である。It is a block diagram of the scanner control apparatus according to the present invention. 本発明に係るスキャナをセンサヘッド側から見た図である。It is the figure which looked at the scanner concerning the present invention from the sensor head side. 本発明の動作を説明する図である。It is a figure explaining operation | movement of this invention. プリント基板穴明け用レーザ加工機における従来のスキャナ装置の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the conventional scanner apparatus in the laser beam machine for printed circuit board drilling. 従来のスキャナの断面図である。It is sectional drawing of the conventional scanner. 図６におけるA矢視図である。It is A arrow directional view in FIG.

符号の説明Explanation of symbols

４ 角度検出器
２２ ガラス円盤
２３ センサヘッド
５ ミラー
１６ 回転軸
Ｏ 回転軸の軸線 4 Angle detector 22 Glass disk 23 Sensor head 5 Mirror 16 Rotating axis O Axis of rotating axis

Claims (3)

加工用のレーザビームが入射するミラーと、前記ミラーを支持する回転軸を回動させるモータと、前記ミラーの回転角度を検出する角度検出器と、前記ミラー目標位置決め角度と前記角度検出器の出力信号で示される角度とを比較して前記モータを駆動する制御手段とを備え、前記ミラーの位置を前記目標位置決め角度に位置決めするスキャナ装置において、
前記角度検出器を２個設け、
前記２個の前記角度検出器の検出方向をミラーの反射面に垂直の方向かつ前記回転軸の軸線に対して対称に配置し、
前記２個の角度検出器の出力の差から前記ミラーの倒れを検出する
ことを特徴とするスキャナ装置。 A mirror on which a processing laser beam is incident, a motor that rotates a rotating shaft that supports the mirror, an angle detector that detects a rotation angle of the mirror, an output of the mirror target positioning angle and the angle detector A scanner that compares the angle indicated by the signal with the control means for driving the motor, and positions the mirror at the target positioning angle.
Two angle detectors are provided,
The detection directions of the two angle detectors are arranged in a direction perpendicular to the reflecting surface of the mirror and symmetrical with respect to the axis of the rotation axis,
A scanner device that detects a tilt of the mirror from a difference between outputs of the two angle detectors. 検出された前記ミラーの倒れが予め定める許容値を超えた場合は信号を出力することを特徴とする請求項１に記載のスキャナ装置。   The scanner device according to claim 1, wherein a signal is output when the detected tilt of the mirror exceeds a predetermined allowable value. 加工用のレーザビームが入射するミラーと、前記ミラーを支持する回転軸を回動させるモータと、前記ミラーの回転角度を検出する角度検出器と、前記ミラー目標位置決め角度と前記角度検出器の出力信号で示される角度とを比較して前記モータを駆動する制御手段とを備え、前記ミラーの位置を前記目標位置決め角度に位置決めするスキャナ装置において、
前記角度検出器を２個設け、
前記２個の前記角度検出器の検出方向をミラーの反射面に垂直の方向かつ前記回転軸の軸線に対して対称に配置し、
前記２個の角度検出器の出力の和から前記ミラーの回転角度を検出する
ことを特徴とするスキャナ装置。 A mirror on which a processing laser beam is incident, a motor that rotates a rotating shaft that supports the mirror, an angle detector that detects a rotation angle of the mirror, an output of the mirror target positioning angle and the angle detector A scanner that compares the angle indicated by the signal with the control means for driving the motor, and positions the mirror at the target positioning angle.
Two angle detectors are provided,
The detection directions of the two angle detectors are arranged in a direction perpendicular to the reflecting surface of the mirror and symmetrical with respect to the axis of the rotation axis,
A scanner device that detects a rotation angle of the mirror from a sum of outputs of the two angle detectors.
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