JP2009250665A - 計測装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 被検物の計測時に要する計測時間を短縮する。
【解決手段】 被検物を保持するとともに、被検物を識別する際に用いられる識別部が備えられた保持部材と、被検物の形状を測定するとともに、保持部材に保持された識別部の形状を測定する測定手段と、被検物の形状を示す第1形状データが複数記憶された記憶手段と、測定された識別部の形状に基づいて、記憶手段に記憶された複数の第1形状データから、測定手段によって測定された識別部の測定データに対応する第1形状データを読み出す読出手段と、読出手段によって読み出された第1形状データに基づいて、被検物の測定時における測定手段の測定動作を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【選択図】 図6
【解決手段】 被検物を保持するとともに、被検物を識別する際に用いられる識別部が備えられた保持部材と、被検物の形状を測定するとともに、保持部材に保持された識別部の形状を測定する測定手段と、被検物の形状を示す第1形状データが複数記憶された記憶手段と、測定された識別部の形状に基づいて、記憶手段に記憶された複数の第1形状データから、測定手段によって測定された識別部の測定データに対応する第1形状データを読み出す読出手段と、読出手段によって読み出された第1形状データに基づいて、被検物の測定時における測定手段の測定動作を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【選択図】 図6
Description
本発明は、被検物の三次元形状を非接触で測定する計測装置に関するもので、特に、被検物の自動測定に関するものである。
従来、被検物の三次元形状を非接触で測定する計測装置が考案されている。この計測装置は、治具を介して被検物が固定されたベースと、被検物を測定する形状センサーとを備えており、ベース又は形状センサーの何れか一方をベースの上面に平行な方向、又はベースの上面に直交する方向に移動させながら、ベースに固定された被検物の三次元形状を計測している。
特開平11−125508号公報
しかしながら、このような計測装置においては、被検物の計測前に被検物の概略形状を装置自体で自動的に識別することができないため、オペレータが事前に図面等を用いて被検物の形状を示す形状データを被検物の計測前に入力し、入力された形状データを用いて被検物の形状を自動的に計測している。このため、被検物の設計データを入力する作業に手間がかかり、1つの被検物に対する計測時間が長くなるという問題がある。
本発明は、上述した課題を解決するために発明されたものであり、被検物の計測時に要する計測時間を短縮することができるようにした計測装置を提供することを目的とする。
第1の発明は、被検物を保持するとともに、前記被検物を識別する際に用いられる識別部が備えられた保持部材と、前記被検物の形状を測定するとともに、前記保持部材に保持された前記識別部の形状を測定する測定手段と、前記被検物の形状を示す第1形状データが複数記憶された記憶手段と、前記測定された前記識別部の形状に基づいて、前記記憶手段に記憶された複数の第1形状データから、前記測定手段によって測定された前記識別部の測定データに対応する第1形状データを読み出す読出手段と、前記読出手段によって読み出された前記第1形状データに基づいて、前記被検物の測定時における前記測定手段の測定動作を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする。
第2の発明は、第1の発明において、前記識別部の形状を示す第2形状データと前記被検物に対して割り当てられた識別番号とが対応付けられたテーブルデータを備えるとともに、前記記憶手段に記憶される前記複数の第1形状データは、前記識別番号とそれぞれ対応付けられており、前記読出手段は、前記識別部の測定データと前記テーブルデータとから前記被検物の識別番号を特定し、特定された識別番号に対応する第1形状データを読み出すことを特徴とする。
第3の発明は、第1又は第2の発明において、前記保持部材は、前記被検物の形状に合わせた保持凹部を備えており、前記識別部は、前記保持凹部に合わせた形状からなることを特徴とする。
第4の発明は、第3の発明において、前記識別部は、前記保持凹部に固有に対応する凹凸形状からなることを特徴とする。また、第5の発明は、第3の発明において、前記識別部は、少なくとも球体の一部を用いることで形成されていることを特徴とする。
第6の発明は、第1〜第5の発明のいずれかにおいて、前記制御手段は、前記読出手段によって読み出された前記第1形状データに基づいて、前記被検物の測定時における前記測定手段の移動経路を決めることを特徴とする。
本発明によれば、治具に設けられた識別部の形状を計測するだけで、被検物の形状を示す第1形状データを読み出すことができる。この第1形状データを読み出すことで、被検物の形状を測定する際の測定手段の測定動作の駆動制御を容易に行わせることができ、結果的に被検物の形状を計測する際の計測時間を従来よりも短縮することができる。
図1及び図2は、本実施形態の計測装置の構成を示す概略図である。この計測装置10は、被検物35の立体形状を計測する装置である。この計測装置10は、ベース15、形状センサー16、XYステージ17及びZステージ18を備えている。ベース15は除振台19を介して床面に保持される。このベース15は、その上面(以下、試料面)15aの所定位置に被検物35が保持された治具25が載置される。
形状センサー16は、後述する治具25に設けられた識別マーク30の形状や被検物35の形状を非接触で測定する。なお、形状を非接触で測定する方法としては、光切断法が挙げられる。なお、光切断法については、周知であることから、ここではその詳細を省略する。
この形状センサー16は、Zステージ18に設けられている。この形状センサー16は、照明部21及び撮像部22を備えた構成からなる。照明部21は、治具25に設けられた識別マーク30や被検物35に向けてスリット状のパターン光(以下、スリット光と称する)を照射する。撮像部22は、識別マーク30や被検物35により反射されたスリット光を受光することで映像信号を取得する。
XYステージ17は、ベース15の試料面15a上に設けられている。このXYステージ17は、後述するX軸駆動機構42によりX軸方向(以下では、x方向と称する)に、Y軸駆動機構43によりY軸方向(以下では、y方向と称する)にそれぞれ移動する。このXYステージ17のx方向又はy方向の移動に合わせて、形状センサー16もx方向又はy方向に移動する。
Zステージ18は、XYステージ17に設けられ、後述するZ軸駆動機構44により、Z軸方向(以下では、z方向と称する)に移動する。このZステージ18のz方向の移動に供って、形状センサー16もz方向に移動する。
図3に示すように、ベース15の試料面15aに載置される治具25は、その上面の略中央に保持凹部26が設けられている。この保持凹部26は、保持する被検物35の形状に合わせた凹部からなり、この保持凹部26に被検物35を嵌合させることで、被検物35が治具25に安定して保持される。なお、この計測装置10で計測される被検物35は複数あることから、これら被検物35に合わせた保持凹部26を有する治具25が複数用意されている。
治具25は、その上面に識別マーク30を備えている。この識別マーク30は、治具25に保持された被検物35を識別するために設けられている。なお、治具25に設けられる識別マーク30は、いずれの治具25をベース15の試料面15a上に固定した場合であっても、治具25の種類に関係なくベース15上において同位置となるように、それぞれの治具25に設けられている。以下では、治具25において、識別マーク30が設けられる領域27を、配置領域27と称して説明する。
図4(a)、(b)に示すように、識別マーク30は、凹凸形状からなる。本実施形態では、識別マーク30を凹凸形状とする例として、複数の識別ブロック31を配置する場合について説明する。識別マーク30は、例えば高さが同一となる矩形の識別ブロック31を、治具25の上面25aに設けられた配置領域27に、例えば最大横3個縦3個の計9個配置することで形成される。つまり、識別マーク30の測定により、識別ブロック31の有無(或いは凹凸状態)が測定される。この識別マーク30として配置される識別ブロック31の配置状態は、治具25に設けられた保持凹部26の形状に対応付けられており、識別ブロック31の配置状態を保持凹部26の形状に対応付けることで、結果的に治具25に保持される被検物35の形状を識別することができる。また、この識別マーク30を治具25にそれぞれ形成することで、例えばバーコードなどを治具25に貼付したときに生じるバーコードのはがれや逸脱を防止することができる。また、バーコードを被検物35に貼付することで生じる汚れを防止することができる。
なお、識別ブロック31は、高さが同一である必要はなく、各マス目に配置される識別ブロック31の高さをそれぞれ異なるようにしてもよい。また、識別マーク31は、凹凸形状とすればよいことから識別ブロック31を配置することで識別マーク30を形成する他に、治具25の上面25aに深さの異なる凹部を複数設けることで識別マークとすることも可能である。
また、識別マーク30は、例えば最大数である9個の識別ブロック31を配置したときに、横3個縦3個、つまり3×3のマトリクス状に配置されるようにしているが、これに限定される必要はなく、全ての識別ブロック31を配置したときに、配置された識別ブロック31がライン状に配置されることで識別マーク30が形成されるようにしてもよい。
図5は、計測装置10の電気的構成を示す機能ブロック図である。この計測装置10は、CPU40を備えており、このCPU40によって、計測装置10の各部が統括的に制御される。
ステージ駆動回路41は、XYステージ17及びZステージ18の動作を制御する。XYステージ17は、X軸駆動機構42及びY軸駆動機構43を備えており、ステージ駆動回路41は、これらの駆動機構の少なくともいずれか一方を駆動制御することで、XYステージ17をx方向、又はy方向に移動させる。また、Zステージ18は、Z軸駆動機構44を備えており、ステージ駆動回路41は、Z軸駆動機構44を駆動制御することで、Zステージ18をz方向に移動させる。なお、X軸駆動機構42、Y軸駆動機構43及びZ軸駆動機構44の構成は、それぞれ省略するが、例えばモータ及び複数のギヤからなる機構や、モータ、プーリ及びベルトからなる機構などが挙げられる。
このステージ駆動回路41は、上述したX軸駆動機構42、Y軸駆動機構43或いはZ軸駆動機構44の駆動制御を実行したときに、XYステージ17又はZステージ18の位置情報を、後述する形状計測回路47に出力する。
照明回路45は、形状センサー16の照明部21の制御を行う。形状センサー16の照明部21の制御としては、上述したスリット光のオン・オフの制御の他に、スリット光の光量調節の制御などが挙げられる。
撮像回路46は、形状センサー16の撮像部22から出力される映像信号を被検物35の形状を表す点群データに変換する。なお、この点群データは、形状計測回路47に出力される。
形状計測回路47は、入力される位置情報と、撮像回路46から出力された点群データとから、識別マーク30の測定データ、又は被検物35の測定データを作成する。例えば識別マーク30の測定データを作成した場合には、該測定データを形状識別回路48に出力する。一方、被検物35の測定データを作成した場合には、該測定データをCPU40に出力する。
形状識別回路48は、形状計測回路47から出力された測定データから識別マーク30を識別する。詳細には、上述した測定データを用いて、識別マーク30を構成する識別ブロック31の配置状態(識別ブロック31の有無等)を識別する。この識別結果はCPU40に出力される。
テーブルデータ49は、識別マーク30における識別ブロック31の配置状態と、被検物35を特定するために被検物35に割り当てられる被検物番号とが、それぞれ対応付けられたデータである。なお、被検物番号とは、被検物35を識別するために割り振られるものであり、例えば英数字を組み合わせた識別番号からなる。CPU40は、形状識別回路48から識別マーク30を識別した結果が入力されたときに、このテーブルデータ49を参照して、被検物35の被検物番号を読み出す。
設計値記憶部50は、被検物35の形状を示す形状データ51が複数記憶されている。この形状データ51としては、例えば被検物35を製造する際に作成された図面データなどが挙げられ、それぞれの形状データ51に対して被検物番号が対応付けられている。CPU40は、識別した結果を用いて被検物35の被検物番号を特定した後、設計値記憶部50に記憶された複数の形状データ51から、特定された被検物番号に対応する形状データ51を読み出す。なお、この設計値記憶部50としては、RAM等のメモリや、データベースなどが挙げられる。
表示部52は、設計値記憶部50から読み出された形状データ51から割り出される形状を表示する他に、形状センサー16によって測定された被検物35の形状を表示する。操作部53は、被検物35の測定を行う際の測定位置や測定範囲を入力する場合や、計測を開始させる場合に操作される。
次に、計測装置10における被検物35の計測時の処理の流れを図6のフローチャートに基づいて説明する。オペレータが被検物35を治具25に保持させた状態でベース15の試料面15aに固定した後、操作部53により計測開始の操作を実行すると、ステップS101の処理が開始される。
ステップS101は、識別マーク30を測定する処理である。上述したように、ベース15に被検物35が保持された治具25を固定すると、治具25の上面25aに設けられた識別マーク30はベース15に対して所定位置に保持されていることから、CPU40は、ステージ駆動回路41を介してX軸駆動機構42、Y軸駆動機構43或いはZ軸駆動機構44のいずれかの駆動機構を駆動させてXYステージ17及びZステージ18を移動させる。これにより、形状センサー16が図示しない初期位置から識別マーク30の測定を開始する位置に向けて移動する。
形状センサー16が識別マーク30の形状の測定を開始する位置まで移動すると、CPU40は、ステージ駆動回路41を介してY軸駆動機構43のみを駆動してXYステージ17をy方向に移動させる。この移動に合わせて、CPU40は、照明回路45を介して照明部21を制御する。つまり、照明部21からのスリット光が識別マーク30に向けて照射される。これにより、形状センサー16がy方向に移動しながら、識別マーク30の形状が測定されていく。
なお、形状センサー16による識別マーク30の形状の測定の際に、形状センサー16による撮像部22によって識別マーク30によって反射したスリット光が受光される。このスリット光を受光することで、撮像部22によって映像信号が取得され、撮像回路46に順次出力される。撮像回路46は、映像信号を点群信号に変換した後、形状計測回路47に出力する。
また、上述したように、ステージ駆動回路41は、各駆動機構を駆動制御したときに、XYステージ17及びZステージ18の位置情報を形状計測回路47に出力している。上述した点群信号と位置情報とがそれぞれ形状計測回路47に入力されることで、識別マーク30の測定データを作成する。これにより、形状センサー16を被検物35の測定だけでなく、識別マーク30の形状を測定することにも兼用できるので、装置構成を複雑にすることが防止できる。
なお、識別マーク30の形状の測定が終わると、照明回路45は、形状センサー16の照明部21を制御して、スリット光の照射を停止する。また、同時に、ステージ駆動回路41は、測定が終了した位置で形状センサー16を停止させる、又は形状センサー16を初期位置まで移動させる。
ステップS102は、測定データを用いて識別マーク30を識別する処理である。測定データは、識別マーク30を構成する識別ブロック31の配置状態を示すデータであることから、この測定データを用いて、識別マーク30における各識別ブロック31の配置状態を識別する。この識別マーク30の識別結果は、CPU40に出力される。
ステップS103は、被検物35の被検物番号を読み出す処理である。ステップS102において、識別マーク30の識別結果がCPU40に出力されていることから、CPU40はテーブルデータ49を参照して、識別結果に対応した被検物35の被検物番号を読み出す。
ステップS104は、読み出された被検物35の被検物番号が1つ、又は複数あるかを判定する処理である。このステップS104において、特定された被検物35の被検物番号が1つの場合(フローチャート中Yesとなる場合)には、ステップS106に進む。一方、特定された被検物35の被検物番号が複数となる場合(フローチャート中Noとなる場合)には、ステップS105に進む。
ステップS105は、ステップS104において、被検物35の被検物番号が複数となる場合に実行される処理であり、詳細には、表示された複数の被検物35の被検物番号から1つの被検物番号が選択される処理である。ステップS103の処理において複数の被検物35の被検物番号が特定されると、これら特定された被検物番号が表示部52に表示されるので、オペレータは、操作部53を操作して、表示された複数の被検物35の被検物番号から、計測を行う被検物35の被検物番号を選択する。なお、実際に計測する被検物35の被検物番号は紙面等に印刷された図面等によりわかっていることから、表示された被検物35の被検物番号から、計測する被検物35の被検物番号を選択すればよい。これにより、例えば識別マーク30にゴミや汚れが付着し、識別マーク30が誤認識された場合等に対処することができる。
ステップS106は、被検物35の被検物番号に対応する形状データ51を読み出す処理である。ここでの被検物番号とは、ステップS103の処理を実行することで読み出された1つの被検物番号、又は、ステップS105の処理で選択された被検物番号のいずれかである。設計値記憶部50には、被検物35の形状データ51が複数格納されていることから、被検物35の被検物番号に該当する形状データ51を読み出す。これにより、識別マーク30の形状から被検物35の形状データ51を読み出すことができるので、図面等を用いて被検物35の形状データをオペレータが入力する時間を省略することができるので、1回の測定動作にかかる時間を短縮することができる。
ステップS107は、読み出された形状データ51に基づいた形状を表示部52に表示する処理である。
ステップS108は、被検物35の形状を測定する位置(以下、測定位置と称す)と範囲(以下、測定範囲と称す)とを入力する処理である。このステップS108の処理においては、オペレータが操作部53を介して、被検物35の測定位置と測定範囲とを入力する。なお、測定位置と測定範囲の入力は、例えばXYZ座標で入力することが好ましい。
ステップS109は、設計値記憶部50から読み出された形状データ51と、入力された測定位置及び測定範囲とから、被検物35の形状を測定する際の形状センサー16の移動経路を算出する。
ステップS110は、被検物35の形状を測定する処理である。この被検物35の形状を測定する際には、ステップS110により算出された移動経路に沿って形状センサー16が移動する。この移動の際に、入力された測定位置と測定範囲とに基づいて被検物35の形状が測定される。つまり、入力された測定位置に形状センサー16が移動してきたときに、発光部21によるスリット光の照射、及び撮像部22による、反射したスリット光の受光が実行される。そして、入力された測定位置まで、被検物35の形状が測定されると、形状センサー16による被検物35の計測が終了し、形状センサー16が初期位置まで移動する。なお、この測定の際に、撮像部22によって撮像された映像信号は撮像回路46に出力されており、撮像回路46によって点群データに変換される。この変換された点群データは形状計測回路47に出力され、ステージ駆動回路41から出力された位置情報と関連付けられた測定データが作成される。なお、作成された測定データは、CPU40に出力される。
このように識別マーク30の形状から形状センサー16の移動経路を算出することから、形状センサー16による被検物35の形状の測定の際に、形状センサー16が被検物35と干渉することを防ぐことができる。
ステップS111は、作成された測定データを表示する処理である。被検物35を計測することで得られた測定データを用いた表示を行うことで、オペレータは被検物35の形状を認識することができる。
本実施形態では、同一の被検物において、複数箇所を測定する場合については述べていないが、被検物の形状計測においては、複雑な形状の被検物の複数箇所を測定したり、同一の被検物において異なる領域を測定する場合など、被検物の保持状態(被検物の向き等)を変えて測定を行うことがある。このようなときには、被検物における複数の保持状態に合わせた保持凹部をそれぞれ備えた複数の治具を用いる必要がある。このように被検物の向きを変えて測定を行う際に用いる治具に対しては、同じ被検物であっても異なる識別マークとすることが好ましい。
なお、本実施形態では、被検物の形状を計測する計測装置について説明したが、これに限定される必要はなく、本実地形態に挙げた被検物を計測する機能を備えた形状検査装置としてもよい。この場合、図5に示す機能ブロック図や、図6に示すフローチャートに、被検物の測定データと被検物の形状を示す形状データとを比較判定する機能を追加すればよい。
本実施形態では、識別マークとして矩形の識別ブロックをマトリクス状に配置する形態としているが、これに限定される必要はなく、図7に示すように、例えば球体61、又は球体の一部を配置領域27に配置することで識別マーク60とすることも可能である。この場合、配置される球体61の配置状態だけでなく、配置される球体61、又は球体の一部の中心位置を利用して被検物の形状を示す被検物番号を特定させることが可能となる。つまり、球体、又は球体の一部を用いた識別マークの場合、球体の一部を計測できれば、球体の中心位置を求めることができることから、矩形の識別ブロックを並べた識別マークよりも容易に、また正確に識別マークの測定を行うことができる。
10…計測装置、16…形状センサー、25…治具、26…保持凹部、30…識別マーク、31…識別ブロック、35…被検物、40…CPU、49…テーブルデータ、50…設計値記憶部
Claims (6)
- 被検物を保持するとともに、前記被検物を識別する際に用いられる識別部が備えられた保持部材と、
前記被検物の形状を測定するとともに、前記保持部材に保持された前記識別部の形状を測定する測定手段と、
前記被検物の形状を示す第1形状データが複数記憶された記憶手段と、
前記測定された前記識別部の形状に基づいて、前記記憶手段に記憶された複数の第1形状データから、前記測定手段によって測定された前記識別部の測定データに対応する第1形状データを読み出す読出手段と、
前記読出手段によって読み出された前記第1形状データに基づいて、前記被検物の測定時における前記測定手段の測定動作を制御する制御手段と、
を備えたことを特徴とする計測装置。 - 請求項1記載の計測装置において、
前記識別部の形状を示す第2形状データと前記被検物に対して割り当てられた識別番号とが対応付けられたテーブルデータを備えるとともに、前記記憶手段に記憶される前記複数の第1形状データは、前記識別番号とそれぞれ対応付けられており、
前記読出手段は、前記識別部の測定データと前記テーブルデータとから前記被検物の識別番号を特定し、特定された識別番号に対応する第1形状データを読み出すことを特徴とする計測装置。 - 請求項1又は2記載の計測装置において、
前記保持部材は、前記被検物の形状に合わせた保持凹部を備えており、
前記識別部は、前記保持凹部に合わせた形状からなることを特徴とする計測装置。 - 請求項3記載の計測装置において、
前記識別部は、前記保持凹部に固有に対応する凹凸形状からなることを特徴とする計測装置。 - 請求項3記載の計測装置において、
前記識別部は、少なくとも球体の一部を用いることで形成されていることを特徴とする計測装置。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載の計測装置において、
前記制御手段は、前記読出手段によって読み出された前記第1形状データに基づいて、前記被検物の測定時における前記測定手段の移動経路を決めることを特徴とする計測装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2011052386A1 (en) | 2009-10-30 | 2011-05-05 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
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2008
- 2008-04-02 JP JP2008096051A patent/JP2009250665A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
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WO2011052386A1 (en) | 2009-10-30 | 2011-05-05 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
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