JP2009248045A - Ink applying method and ink applying device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an inkjet film forming technique capable of controlling the quantity of the ink to be discharged with high reproducibility and in a short period of time. <P>SOLUTION: In the ink applying method, a film thickness evaluating member is arranged in a film thickness evaluating area to evaluate the film thickness on a material to be coated (steps S1, S4, S7), the ink is discharged from each of a plurality of the nozzles of an inkjet head to apply and dry the ink on a film thickness evaluating member (steps S2, S5, S8), the thickness of an optical film of the ink corresponding to each of the plurality of the nozzles on the film thickness evaluating member is measured and stored (steps S3, S6, S9) and the quantities of the ink to be discharged from the plurality of the nozzles of the ink jet head respectively are controlled on the basis of the measured thickness of the optical film (steps S10, S11). <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、インクジェットを吐出する装置を用いて塗布対象物上にインクを塗布し膜を形成する技術に関する。   The present invention relates to a technique for forming a film by applying ink on an object to be applied using an apparatus that ejects ink jet.

従来、インクジェットヘッドの吐出ノズルからインクを吐出して、塗布対象物上に塗布膜を形成することが広く行われている。
ところで、インクジェット装置においては、インクジェットヘッドの各ノズルの吐出量が、ある程度の分布を有しており、ヘッド毎に異なるという問題がある。 2. Description of the Related Art Conventionally, it has been widely performed to form a coating film on an object to be coated by ejecting ink from a discharge nozzle of an inkjet head.
By the way, in an inkjet apparatus, the discharge amount of each nozzle of an inkjet head has a certain distribution, and there exists a problem that it differs for every head.

この問題を解消するには、インクジェットヘッド内の振動体の駆動電圧を調整させることによって吐出量を均一にする作業が必要になり、従来、インクの重さや液滴像の解析など種々のものを指標として調整が行われている。
しかし、これら従来技術では、いずれも解析に相当の時間を必要とし、また、吐出量制御の再現性が低いなど課題がある。 In order to solve this problem, it is necessary to make the discharge amount uniform by adjusting the drive voltage of the vibrating body in the ink jet head. Conventionally, various methods such as ink weight and droplet image analysis have been used. Adjustments are made as indicators.
However, all of these conventional techniques have problems such as requiring considerable time for analysis and low reproducibility of discharge amount control.

本発明は、このような従来技術の課題を解決するためになされたもので、短時間で、しかも再現性の高いインク吐出量の制御を行うことが可能なインクジェット成膜技術を提供することを目的とする。   The present invention has been made in order to solve the problems of the prior art, and provides an ink-jet film forming technique capable of controlling the ink discharge amount in a short time and with high reproducibility. Objective.

上記目的を達成するためになされた請求項１記載の発明は、複数のノズルを有するインクジェットヘッドからインクを吐出して塗布対象物上にインクを塗布する工程を有するインク塗布方法であって、前記塗布対象物に対する膜厚を評価するための膜厚評価領域に膜厚評価用部材を配置し、前記インクジェットヘッドの前記複数のノズルの各々からインクを吐出して前記膜厚評価用部材上にインクを塗布し、前記膜厚評価用部材上に塗布乾燥された前記複数のノズルに対応するインクの光学膜厚を測定し、当該測定された光学膜厚に基づいて前記インクジェットヘッドの前記複数のノズルの各々におけるインクの吐出量を調整する工程を有するものである。
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記膜厚評価領域に基準用の膜厚評価用部材を配置して前記インクジェットヘッドの前記複数のノズルの各々から基準量のインクを吐出して当該膜厚評価用部材上にインクを塗布し、当該膜厚評価用部材上に塗布乾燥された前記複数のノズルの各々に対応するインクの光学膜厚を測定した後、前記膜厚評価領域に前記基準用の膜厚評価用部材と異なる他の膜厚評価用部材を配置して前記インクジェットヘッドの前記複数のノズルの各々から前記基準量と異なる量のインクを吐出して当該他の膜厚評価用部材上にインクを吐出し、当該他の膜厚評価用部材上に塗布乾燥された前記複数のノズルの各々に対応するインクの光学膜厚を測定し、前記基準用の膜厚評価用部材について測定された前記複数のノズルの各々に対応するインクの光学膜厚と、前記他の膜厚評価用部材について測定された前記複数のノズルの各々に対応するインクの光学膜厚とに基づいて前記インクジェットヘッドの前記複数のノズルの各々におけるインクの吐出量を調整する工程を有するものである。
請求項３記載の発明は、請求項１又は２のいずれか１項記載の発明において、前記膜厚評価用部材には、その上部に前記複数のノズルの配列に対応するように複数の溝状のインク受け部が形成されているものである。
請求項４記載の発明は、塗布対象物に対して相対移動可能に構成され、複数のノズルを有するインクジェットヘッドからインクを吐出して塗布対象物上にインクを塗布するインク塗布装置であって、前記インクジェットヘッドの移動領域に設けられ、前記インクジェットヘッドの前記複数のノズルから吐出されたインクをそれぞれ受ける着脱自在の膜厚評価用部材を配置する膜厚評価領域と、前記膜厚評価用部材に収容されたインクを加熱する加熱手段とを備え、膜厚測定手段において塗布されたインクの光学膜厚に基づいて前記インクジェットヘッドの前記複数のノズルにおけるインクの吐出量を調整するように構成されているものである。
請求項５記載の発明は、請求項４記載の発明において、前記膜厚評価用部材上に塗布され前記複数のノズルに対応するインクの光学膜厚を測定する光学膜厚測定手段を有するものである。 The invention according to claim 1 made to achieve the above object is an ink application method including a step of applying ink onto an object to be applied by discharging ink from an inkjet head having a plurality of nozzles. A film thickness evaluation member is disposed in a film thickness evaluation region for evaluating the film thickness of the coating object, and ink is ejected from each of the plurality of nozzles of the inkjet head to form ink on the film thickness evaluation member. And measuring the optical film thickness of the ink corresponding to the plurality of nozzles coated and dried on the film thickness evaluation member, and the plurality of nozzles of the inkjet head based on the measured optical film thickness Each of which has a step of adjusting the ink discharge amount.
According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the invention, a reference film thickness evaluation member is disposed in the film thickness evaluation region, and a reference amount of ink is supplied from each of the plurality of nozzles of the inkjet head. After discharging and applying the ink on the film thickness evaluation member and measuring the optical film thickness of the ink corresponding to each of the plurality of nozzles applied and dried on the film thickness evaluation member, the film thickness Another film thickness evaluation member different from the reference film thickness evaluation member is arranged in the evaluation region, and an amount of ink different from the reference amount is ejected from each of the plurality of nozzles of the inkjet head. The reference film is measured by discharging the ink onto the other film thickness evaluation member, measuring the optical film thickness of the ink corresponding to each of the plurality of nozzles applied and dried on the other film thickness evaluation member Measured for thickness evaluation member Based on the optical film thickness of the ink corresponding to each of the plurality of nozzles and the optical film thickness of the ink corresponding to each of the plurality of nozzles measured for the other member for film thickness evaluation, The method includes a step of adjusting the amount of ink discharged from each of the plurality of nozzles.
According to a third aspect of the present invention, in the first or second aspect of the present invention, the film thickness evaluation member has a plurality of groove shapes so as to correspond to the arrangement of the plurality of nozzles in the upper part thereof. Ink receiving portions are formed.
The invention according to claim 4 is an ink coating apparatus configured to be relatively movable with respect to an application target, and to apply ink onto the application target by discharging ink from an inkjet head having a plurality of nozzles. A film thickness evaluation area in which a removable film thickness evaluation member is provided in the movement area of the ink jet head and receives each of the ink ejected from the plurality of nozzles of the ink jet head, and the film thickness evaluation member. Heating means for heating the stored ink, and configured to adjust the ink discharge amount at the plurality of nozzles of the inkjet head based on the optical film thickness of the ink applied by the film thickness measuring means. It is what.
According to a fifth aspect of the present invention, in the fourth aspect of the invention, there is provided an optical film thickness measuring means for measuring an optical film thickness of the ink applied on the film thickness evaluation member and corresponding to the plurality of nozzles. is there.

本発明では、インクジェットヘッドの複数のノズルの各々からインクを吐出して膜厚評価用部材上にインクを塗布し、この膜厚評価用部材上に塗布乾燥された複数のノズルに対応するインクの光学膜厚を測定し、この測定された光学膜厚に基づいてインクジェットヘッドの複数のノズルの各々におけるインクの吐出量を調整することから、短時間で各ノズルのインク吐出量を解析して直ちに調整を行うことができる。
また、実際のインク塗布時と同様の条件でインクを塗布乾燥して光学膜厚を測定し調整を行うことから、従来技術に比べて吐出量制御の再現性を向上させることができる。 In the present invention, ink is ejected from each of the plurality of nozzles of the ink jet head to apply the ink onto the film thickness evaluation member, and the ink corresponding to the plurality of nozzles applied and dried on the film thickness evaluation member. Since the optical film thickness is measured and the ink discharge amount of each of the plurality of nozzles of the inkjet head is adjusted based on the measured optical film thickness, the ink discharge amount of each nozzle is immediately analyzed in a short time. Adjustments can be made.
In addition, since the optical film thickness is measured and adjusted by applying and drying the ink under the same conditions as in actual ink application, the reproducibility of the discharge amount control can be improved as compared with the conventional technique.

本発明において、基準用の膜厚評価用部材と、他の膜厚評価用部材を用い、それぞれ異なるインクの吐出量でインクの塗布乾燥を行い、基準用の膜厚評価用部材について測定された複数のノズルの各々に対応するインクの光学膜厚と、他の膜厚評価用部材について測定された複数のノズルの各々に対応するインクの光学膜厚とに基づいて複数のノズルの各々におけるインクの吐出量を調整するようにすれば、実際のインク塗布条件により近づけることができるので、各ノズルにおけるインクの吐出量の均一性をより向上させることができる。
そして、本発明のインク塗布装置によれば、上述した吐出量制御を適切に行うことができるインク塗布装置を提供することができる。 In the present invention, the reference film thickness evaluation member and another film thickness evaluation member were used, and the ink was applied and dried at different ink discharge amounts, and the reference film thickness evaluation member was measured. Ink in each of the plurality of nozzles based on the optical film thickness of the ink corresponding to each of the plurality of nozzles and the optical film thickness of the ink corresponding to each of the plurality of nozzles measured for the other film thickness evaluation members If the discharge amount is adjusted, it can be made closer to the actual ink application condition, so that the uniformity of the ink discharge amount at each nozzle can be further improved.
And according to the ink coating apparatus of this invention, the ink coating apparatus which can perform the discharge amount control mentioned above appropriately can be provided.

本発明によれば、短時間で、しかも再現性の高いインク吐出量の制御を行うことができる。   According to the present invention, it is possible to control the ink discharge amount in a short time and with high reproducibility.

以下、本発明の好ましい実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
図１（ａ）は、本発明のインク塗布装置の実施の形態を模式的に示す斜視図、図１（ｂ）は、本発明に用いる評価用基板の例を示す平面図、図１（ｃ）は、本発明における膜厚評価領域を模式的に示す部分断面図である。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 1A is a perspective view schematically showing an embodiment of the ink application apparatus of the present invention, FIG. 1B is a plan view showing an example of an evaluation substrate used in the present invention, and FIG. ) Is a partial cross-sectional view schematically showing a film thickness evaluation region in the present invention.

図１（ａ）に示すように、本実施の形態のインク塗布装置１は、塗布対象物５０を載置するためのステージ２と、塗布対象物５０上にインクを塗布するための複数のインクジェットヘッド３を備えている。
インクジェットヘッド３は、ステージ２上の塗布対象物５０の上方を、相対的に水平に移動しつつ塗布対象物５０に対して所定のタイミングでインクを吐出するように構成されている。 As shown in FIG. 1A, an ink application apparatus 1 according to the present embodiment includes a stage 2 for placing an application object 50, and a plurality of ink jets for applying ink onto the application object 50. A head 3 is provided.
The inkjet head 3 is configured to eject ink to the application target 50 at a predetermined timing while moving relatively horizontally above the application target 50 on the stage 2.

図１（ｃ）に示すように、インクジェットヘッド３は、それぞれ複数のノズル４を有している。ここで、各ノズル４におけるインクの吐出量は、後述するように、図示しないコンピュータに接続された駆動制御部５からの命令によって各ノズル４における駆動電圧を制御して所望の値となるように構成されている。   As shown in FIG. 1C, the inkjet head 3 has a plurality of nozzles 4. Here, as will be described later, the ink ejection amount at each nozzle 4 is set to a desired value by controlling the drive voltage at each nozzle 4 according to a command from a drive control unit 5 connected to a computer (not shown). It is configured.

本実施の形態では、ステージ２に隣接するように膜厚評価用ステージ６が設けられている。
この膜厚評価用ステージ６は、その上面に、ステージ２の上面とほぼ同じ高さの平坦な膜厚評価領域７が形成されている。 In the present embodiment, a film thickness evaluation stage 6 is provided adjacent to the stage 2.
The film thickness evaluation stage 6 has a flat film thickness evaluation region 7 formed on the upper surface thereof that is substantially the same height as the upper surface of the stage 2.

膜厚評価領域７上においては、複数の着脱自在の膜厚評価用部材２０が、所定の位置に位置決め固定されるようになっている。この場合、膜厚評価領域７上には、シート状のヒータ８が設けられ、このヒータ８上に膜厚評価用部材２０が載置されて各膜厚評価用部材２０を底面側から均一に加熱するように構成されている。
膜厚評価用部材２０は、例えばガラス製の板状部材からなるもので、その上部には、複数の溝（凹部）状のインク受け部２１が形成されている。 On the film thickness evaluation region 7, a plurality of removable film thickness evaluation members 20 are positioned and fixed at predetermined positions. In this case, a sheet-like heater 8 is provided on the film thickness evaluation region 7, and a film thickness evaluation member 20 is placed on the heater 8 so that each film thickness evaluation member 20 is made uniform from the bottom surface side. It is configured to heat.
The film thickness evaluation member 20 is made of, for example, a glass plate-like member, and a plurality of groove (concave) ink receiving portions 21 are formed on the upper portion thereof.

本例においては、インクジェットヘッド３に設けられた複数のノズル４の各々の配列に対応するように複数の細長のインク受け部２１が隣接して設けられている。   In this example, a plurality of elongated ink receiving portions 21 are provided adjacent to each other so as to correspond to the arrangement of each of the plurality of nozzles 4 provided in the inkjet head 3.

ここでは、図１（ｂ）（ｃ）に示すように、隣接するインク受け部２１のピッチｐが、インクジェットヘッド３のノズルのピッチＰと等しくなるように構成されている（例えば、１４０ｎｍ程度）。   Here, as shown in FIGS. 1B and 1C, the pitch p of the adjacent ink receiving portions 21 is configured to be equal to the pitch P of the nozzles of the inkjet head 3 (for example, about 140 nm). .

なお、膜厚評価用部材２０のインク受け部２１の深さ及び幅は、対応するインクジェットヘッド３の全ノズル４から吐出されたインク液２２を溜めた場合にインク液２２がインク受け部２１から溢れない程度に設定することが好ましい。   Note that the depth and width of the ink receiving portion 21 of the film thickness evaluation member 20 are such that the ink liquid 22 is removed from the ink receiving portion 21 when the ink liquid 22 discharged from all the nozzles 4 of the corresponding inkjet head 3 is accumulated. It is preferable to set it so as not to overflow.

図２は、本発明に係る成膜方法の一例を示す流れ図、図３は、各ノズルに印加する駆動電圧と測定された光学膜厚との関係を示すグラフである。
本例においては、塗布対象物５０へのインクの塗布に先立ち、以下に説明する工程により、インクジェットヘッド３の各ノズル４の駆動電圧の設定を行う。 FIG. 2 is a flowchart showing an example of a film forming method according to the present invention, and FIG. 3 is a graph showing a relationship between a driving voltage applied to each nozzle and a measured optical film thickness.
In this example, prior to application of ink to the application object 50, the drive voltage of each nozzle 4 of the inkjet head 3 is set by the process described below.

まず、図２に示すように、膜厚評価用ステージ６の膜厚評価領域７上に第１の膜厚評価用部材２０を位置決め固定する（ステップＳ１）。
そして、例えば図１（ａ）に示すように、各膜厚評価用部材２０上にインクジェットヘッド３を配置して位置合わせを行い、第１の駆動電圧の下で各ノズル４からインクの吐出・塗布を行う。さらに、ヒータ８を動作させて膜厚評価用部材２０を加熱し、インク液２２から溶剤成分を除去乾燥する（ステップＳ２）。 First, as shown in FIG. 2, the first film thickness evaluation member 20 is positioned and fixed on the film thickness evaluation region 7 of the film thickness evaluation stage 6 (step S1).
Then, for example, as shown in FIG. 1A, the inkjet head 3 is arranged on each film thickness evaluation member 20 for alignment, and ink ejection / removal from each nozzle 4 under the first drive voltage is performed. Apply. Further, the heater 8 is operated to heat the film thickness evaluation member 20, and the solvent component is removed from the ink liquid 22 and dried (step S2).

その後、膜厚評価領域７から第１の膜厚評価用部材２０を取り外し、図示しない光学膜厚測定装置において、各ノズル４に対応する領域のインクの光学膜厚を測定し、各値をコンピュータに記憶する（ステップＳ３）。   Thereafter, the first film thickness evaluation member 20 is removed from the film thickness evaluation area 7, and the optical film thickness of the ink corresponding to each nozzle 4 is measured by an optical film thickness measuring apparatus (not shown). (Step S3).

次に、膜厚評価用ステージ６の膜厚評価領域７上に同一構成の新たな第２の膜厚評価用部材２０を位置決め固定し、各膜厚評価用部材２０上にインクジェットヘッド３を配置して位置合わせを行う（ステップＳ４）。   Next, a new second film thickness evaluation member 20 having the same configuration is positioned and fixed on the film thickness evaluation region 7 of the film thickness evaluation stage 6, and the inkjet head 3 is disposed on each film thickness evaluation member 20. Then, alignment is performed (step S4).

そして、例えば上述した第１の駆動電圧より大きい第２の駆動電圧の下で各ノズル４からインクの吐出・塗布を行う。さらに、ヒータ８を動作させて膜厚評価用部材２０を加熱し、インク液２２から溶剤成分を除去乾燥する（ステップＳ５）。   Then, for example, ink is ejected and applied from each nozzle 4 under a second driving voltage higher than the first driving voltage described above. Further, the heater 8 is operated to heat the film thickness evaluation member 20, and the solvent component is removed from the ink liquid 22 and dried (step S5).

その後、膜厚評価領域７から第２の膜厚評価用部材２０を取り外し、図示しない光学膜厚測定装置において、各ノズル４に対応する領域のインクの光学膜厚を測定し、各値をコンピュータに記憶する（ステップＳ６）。   Thereafter, the second film thickness evaluation member 20 is removed from the film thickness evaluation area 7, and the optical film thickness of the ink corresponding to each nozzle 4 is measured by an optical film thickness measurement apparatus (not shown). (Step S6).

次に、膜厚評価用ステージ６の膜厚評価領域７上に同一構成の新たな第３の膜厚評価用部材２０を位置決め固定し、各膜厚評価用部材２０上にインクジェットヘッド３を配置して位置合わせを行う（ステップＳ７）。   Next, a new third film thickness evaluation member 20 having the same configuration is positioned and fixed on the film thickness evaluation area 7 of the film thickness evaluation stage 6, and the inkjet head 3 is disposed on each film thickness evaluation member 20. Then, alignment is performed (step S7).

そして、例えば上述した第１の駆動電圧より小さい第３の駆動電圧の下で各ノズル４からインクの吐出・塗布を行う。さらに、ヒータ８を動作させて膜厚評価用部材２０を加熱し、インク液２２から溶剤成分を除去乾燥する（ステップＳ８）。   For example, ink is ejected and applied from each nozzle 4 under a third drive voltage smaller than the first drive voltage described above. Further, the heater 8 is operated to heat the film thickness evaluation member 20, and the solvent component is removed from the ink liquid 22 and dried (step S8).

その後、膜厚評価領域７から第３の膜厚評価用部材２０を取り外し、図示しない光学膜厚測定装置において、インクジェットヘッド３の各ノズル４に対応する領域のインクの光学膜厚を測定し、各値をコンピュータに記憶する（ステップＳ９）。   Thereafter, the third film thickness evaluation member 20 is removed from the film thickness evaluation region 7, and an optical film thickness measurement device (not shown) measures the optical film thickness of the ink in the region corresponding to each nozzle 4 of the inkjet head 3. Each value is stored in the computer (step S9).

このような操作により、図３に示すように、インクジェットヘッド３の各ノズル４について、駆動電圧と光学膜厚との関係のデータがそれぞれ３点得られる。   By such an operation, as shown in FIG. 3, for each nozzle 4 of the inkjet head 3, three points of data on the relationship between the drive voltage and the optical film thickness are obtained.

そこで、コンピュータにおいて、各ノズル４について得られた３点のデータから一次近似を行い、その傾きを算出してコンピュータに記憶する（ステップＳ１０）。   Therefore, in the computer, first-order approximation is performed from the data of the three points obtained for each nozzle 4, and the inclination is calculated and stored in the computer (step S10).

その後、インクジェットヘッド３の各ノズル４について算出された駆動電圧及び光学膜厚間の一次関数の傾きのデータ（図３参照）に基づいて、各ノズル４についての膜厚が均一となるように、駆動制御部５から各ノズル４に印加する駆動電圧の値を設定する（ステップＳ１１）。
そして、この設定された各ノズル４についての駆動電圧下において塗布対象物５０へのインクの塗布を行う。 Thereafter, based on the drive voltage calculated for each nozzle 4 of the inkjet head 3 and the data of the slope of the linear function between the optical film thicknesses (see FIG. 3), the film thickness for each nozzle 4 is made uniform. The value of the drive voltage applied to each nozzle 4 from the drive control part 5 is set (step S11).
Then, ink is applied to the application object 50 under the set drive voltage for each nozzle 4.

以上説明した本実施の形態によれば、インクジェットヘッド３の複数のノズル４の各々からインクを吐出して膜厚評価用部材２０上にインクを塗布し、この膜厚評価用部材２０上に塗布乾燥された複数のノズル４の各々に対応するインクの光学膜厚を測定し、この測定された光学膜厚に基づいてインクジェットヘッド３の複数のノズル４の各々におけるインクの吐出量を調整することから、短時間で各ノズル４のインク吐出量を解析して直ちに調整を行うことができる。   According to the present embodiment described above, ink is ejected from each of the plurality of nozzles 4 of the inkjet head 3 to apply ink onto the film thickness evaluation member 20, and applied onto the film thickness evaluation member 20. The optical film thickness of the ink corresponding to each of the plurality of dried nozzles 4 is measured, and the ink ejection amount at each of the plurality of nozzles 4 of the inkjet head 3 is adjusted based on the measured optical film thickness. Therefore, the ink discharge amount of each nozzle 4 can be analyzed and adjusted immediately in a short time.

また、実際のインク塗布時と同様の条件でインクを塗布乾燥して光学膜厚を測定し調整を行うことから、従来技術に比べて吐出量制御の再現性を向上させることができる。   In addition, since the optical film thickness is measured and adjusted by applying and drying the ink under the same conditions as in actual ink application, the reproducibility of the discharge amount control can be improved as compared with the conventional technique.

特に本実施の形態では、基準用の膜厚評価用部材２０の他に２つの膜厚評価用部材２０を用い、それぞれ異なるインクの吐出量（駆動電圧）でインクの塗布乾燥を行い、基準用の膜厚評価用部材２０について測定された複数のノズル４の各々に対応するインクの光学膜厚と、他の膜厚評価用部材２０について測定された複数のノズル４の各々に対応するインクの光学膜厚とに基づいて複数のノズル４の各々におけるインクの吐出量を調整することから、実際のインク塗布条件により近づけることができ、各ノズル４におけるインクの吐出量の均一性をより向上させることができる。   In particular, in the present embodiment, two film thickness evaluation members 20 are used in addition to the reference film thickness evaluation member 20, and the ink is applied and dried at different ink discharge amounts (drive voltages). The optical film thickness of the ink corresponding to each of the plurality of nozzles 4 measured for the film thickness evaluation member 20 and the ink corresponding to each of the plurality of nozzles 4 measured for the other film thickness evaluation member 20. Since the ink discharge amount of each of the plurality of nozzles 4 is adjusted based on the optical film thickness, it can be made closer to the actual ink application conditions, and the uniformity of the ink discharge amount of each nozzle 4 is further improved. be able to.

一方、本実施の形態によれば、上述した吐出量制御を適切に行うことができるインク塗布装置１を提供することができる。
なお、本発明は上述の実施の形態に限られることなく、種々の変更を行うことができる。 On the other hand, according to the present embodiment, it is possible to provide the ink coating apparatus 1 capable of appropriately performing the above-described ejection amount control.
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various changes can be made.

例えば、上記実施の形態においては、基準用の膜厚評価用部材の他に２つの膜厚評価用部材を用い、それぞれ異なるインクの吐出量（駆動電圧）でインクの塗布乾燥を行って膜厚測定及びこれに基づくインク吐出量の調整を行うようにしたが、本発明はこれに限られず、基準用の膜厚評価用部材の他に１つ又は３つ以上の膜厚評価用部材を用いて同様の制御・調整を行うことも可能である。   For example, in the above-described embodiment, two film thickness evaluation members are used in addition to the reference film thickness evaluation member, and ink is applied and dried at different ink discharge amounts (drive voltages). The measurement and the adjustment of the ink discharge amount based on this are performed, but the present invention is not limited to this, and one or more film thickness evaluation members are used in addition to the reference film thickness evaluation member. It is also possible to perform similar control and adjustment.

ただし、調整時間の短縮及び吐出量制御の再現性の向上の観点からは、上記実施の形態のように、基準用の膜厚評価用部材の他に２つの膜厚評価用部材を用いて上述した制御・調整を行うことが好ましい。   However, from the viewpoint of shortening the adjustment time and improving the reproducibility of the discharge amount control, the two film thickness evaluation members are used in addition to the reference film thickness evaluation member as described in the above embodiment. It is preferable to perform such control and adjustment.

また、図示のインクジェットヘッド及び膜厚評価用部材は模式的に示す例であり、インクジェットヘッドの各ノズルから吐出されるインクを受けることができる限り、インクジェットヘッド及びノズルの構成及び配置に応じて膜厚評価用部材の構成及び配置を適宜変更することができる。   In addition, the illustrated inkjet head and the film thickness evaluation member are only examples, and as long as the ink ejected from each nozzle of the inkjet head can be received, the film according to the configuration and arrangement of the inkjet head and the nozzle The configuration and arrangement of the thickness evaluation member can be changed as appropriate.

さらに、上述の実施の形態では、光学膜厚測定装置をインク塗布装置とは別個に設けるようにしたが、インク塗布装置に組み込むことも可能である。
さらにまた、本発明は、塗布対象物上にインクジェット方式によってインクを塗布する装置であれば、種々の装置に適用することができるものである。 Furthermore, in the above-described embodiment, the optical film thickness measuring device is provided separately from the ink coating device, but it can also be incorporated in the ink coating device.
Furthermore, the present invention can be applied to various apparatuses as long as it is an apparatus that applies ink onto an object to be applied by an inkjet method.

（ａ）：本発明のインク塗布装置の実施の形態を模式的に示す斜視図（ｂ）：本発明に用いる評価用基板の例を示す平面図（ｃ）：本発明における膜厚評価領域を模式的に示す部分断面図(A): Perspective view schematically showing an embodiment of the ink coating apparatus of the present invention (b): Plan view showing an example of an evaluation substrate used in the present invention (c): Film thickness evaluation region in the present invention Partial sectional view schematically 本発明に係る成膜方法の一例を示す流れ図Flow chart showing an example of a film forming method according to the present invention 各ノズルに印加する駆動電圧と測定された光学膜厚との関係を示すグラフGraph showing the relationship between the driving voltage applied to each nozzle and the measured optical film thickness

符号の説明Explanation of symbols

１…インク塗布装置 ２…ステージ ３…インクジェットヘッド ４…ノズル ５…駆動制御部 ６…膜厚評価用ステージ ７…膜厚評価領域 ８…ヒータ ２０…膜厚評価用部材 ２１…インク受け部 ５０…塗布対象物 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Ink applicator 2 ... Stage 3 ... Inkjet head 4 ... Nozzle 5 ... Drive control part 6 ... Film thickness evaluation stage 7 ... Film thickness evaluation area 8 ... Heater 20 ... Film thickness evaluation member 21 ... Ink receiving part 50 ... Application target

Claims (5)

複数のノズルを有するインクジェットヘッドからインクを吐出して塗布対象物上にインクを塗布する工程を有するインク塗布方法であって、
前記塗布対象物に対する膜厚を評価するための膜厚評価領域に膜厚評価用部材を配置し、
前記インクジェットヘッドの前記複数のノズルの各々からインクを吐出して前記膜厚評価用部材上にインクを塗布し、
前記膜厚評価用部材上に塗布乾燥された前記複数のノズルに対応するインクの光学膜厚を測定し、
当該測定された光学膜厚に基づいて前記インクジェットヘッドの前記複数のノズルの各々におけるインクの吐出量を調整する工程を有するインク塗布方法。 An ink coating method comprising a step of ejecting ink from an inkjet head having a plurality of nozzles and coating the ink on a coating object,
A film thickness evaluation member is arranged in a film thickness evaluation region for evaluating the film thickness for the coating object,
Ink is ejected from each of the plurality of nozzles of the inkjet head to apply the ink onto the film thickness evaluation member,
Measure the optical film thickness of the ink corresponding to the plurality of nozzles applied and dried on the film thickness evaluation member,
An ink application method including a step of adjusting an ink discharge amount at each of the plurality of nozzles of the inkjet head based on the measured optical film thickness. 前記膜厚評価領域に基準用の膜厚評価用部材を配置して前記インクジェットヘッドの前記複数のノズルの各々から基準量のインクを吐出して当該膜厚評価用部材上にインクを塗布し、当該膜厚評価用部材上に塗布乾燥された前記複数のノズルの各々に対応するインクの光学膜厚を測定した後、
前記膜厚評価領域に前記基準用の膜厚評価用部材と異なる他の膜厚評価用部材を配置して前記インクジェットヘッドの前記複数のノズルの各々から前記基準量と異なる量のインクを吐出して当該他の膜厚評価用部材上にインクを吐出し、当該他の膜厚評価用部材上に塗布乾燥された前記複数のノズルの各々に対応するインクの光学膜厚を測定し、
前記基準用の膜厚評価用部材について測定された前記複数のノズルの各々に対応するインクの光学膜厚と、前記他の膜厚評価用部材について測定された前記複数のノズルの各々に対応するインクの光学膜厚とに基づいて前記インクジェットヘッドの前記複数のノズルの各々におけるインクの吐出量を調整する工程を有する請求項１記載のインク塗布方法。 Disposing a reference film thickness evaluation member in the film thickness evaluation region, discharging a reference amount of ink from each of the plurality of nozzles of the inkjet head, and applying the ink on the film thickness evaluation member; After measuring the optical film thickness of the ink corresponding to each of the plurality of nozzles applied and dried on the film thickness evaluation member,
Another film thickness evaluation member different from the reference film thickness evaluation member is disposed in the film thickness evaluation area, and an amount of ink different from the reference amount is ejected from each of the plurality of nozzles of the inkjet head. The ink is discharged onto the other film thickness evaluation member, and the optical film thickness of the ink corresponding to each of the plurality of nozzles coated and dried on the other film thickness evaluation member is measured.
The optical film thickness of the ink corresponding to each of the plurality of nozzles measured for the reference film thickness evaluation member, and the plurality of nozzles measured for the other film thickness evaluation member. The ink application method according to claim 1, further comprising a step of adjusting an ink discharge amount at each of the plurality of nozzles of the inkjet head based on an optical film thickness of the ink. 前記膜厚評価用部材には、その上部に前記複数のノズルの配列に対応するように複数の溝状のインク受け部が形成されている請求項１又は２のいずれか１項記載のインク塗布方法。   The ink application according to claim 1, wherein a plurality of groove-shaped ink receiving portions are formed on the film thickness evaluation member so as to correspond to the arrangement of the plurality of nozzles. Method. 塗布対象物に対して相対移動可能に構成され、複数のノズルを有するインクジェットヘッドからインクを吐出して塗布対象物上にインクを塗布するインク塗布装置であって、
前記インクジェットヘッドの移動領域に設けられ、前記インクジェットヘッドの前記複数のノズルから吐出されたインクをそれぞれ受ける着脱自在の膜厚評価用部材を配置する膜厚評価領域と、
前記膜厚評価用部材に収容されたインクを加熱する加熱手段とを備え、
膜厚測定手段において塗布されたインクの光学膜厚に基づいて前記インクジェットヘッドの前記複数のノズルにおけるインクの吐出量を調整するように構成されているインク塗布装置。 An ink coating apparatus configured to be movable relative to an application target and ejecting ink from an inkjet head having a plurality of nozzles to apply ink onto the application target,
A film thickness evaluation region in which a removable film thickness evaluation member is provided in the moving region of the ink jet head and receives each of the ink ejected from the plurality of nozzles of the ink jet head;
Heating means for heating the ink contained in the film thickness evaluation member,
An ink coating apparatus configured to adjust an ink ejection amount from the plurality of nozzles of the inkjet head based on an optical film thickness of ink applied by a film thickness measuring unit. 前記膜厚評価用部材上に塗布され前記複数のノズルに対応するインクの光学膜厚を測定する光学膜厚測定手段を有する請求項４記載のインク塗布装置。   The ink coating apparatus according to claim 4, further comprising an optical film thickness measuring unit configured to measure an optical film thickness of ink applied to the film thickness evaluation member and corresponding to the plurality of nozzles.
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