JP2009244120A

JP2009244120A - Light reflecting device

Info

Publication number: JP2009244120A
Application number: JP2008091369A
Authority: JP
Inventors: Ichinaga Ono; 壱永大野
Original assignee: DKK TOA Corp
Current assignee: DKK TOA Corp
Priority date: 2008-03-31
Filing date: 2008-03-31
Publication date: 2009-10-22

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a light reflecting device with a simply designed optical system capable of uniformly irradiating a wide range with detection light. <P>SOLUTION: A parallel light output section 900 includes a main unit 23 and a reflector 20 disposed in the main unit 23 and having many small plane mirrors 22 arranged on the inner surface 21a of a parabolic curved surface 21. This reflector 20 is elliptical consisting of only a part of the parabolic curved surface and has a focal point f. A laser beam L2 including laser beams L2a, L2b and L2c resulting from a laser beam L8 reflected from the plane mirrors 22 of the reflector 20 irradiates a predetermined irradiation area. The focal point f of the reflector 20 is located in an offset position. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、入射された光を反射する光反射装置に関するものであり、より詳しくは、入射される拡散光を反射してその反射光を平行光とする光反射装置に関するものである。本発明は、検出対象面に検出光を反射させて反射率を検出する反射率検出装置に適用可能であり、より具体的には、例えば浄水場や河川、湖沼等の水面の油膜を検出する油膜検出装置に適用可能である。 The present invention relates to a light reflecting device that reflects incident light, and more particularly, to a light reflecting device that reflects incident diffused light and converts the reflected light into parallel light. The present invention is applicable to a reflectance detection device that detects reflectance by reflecting detection light on a detection target surface. More specifically, for example, an oil film on a water surface such as a water purification plant, a river, or a lake is detected. It is applicable to an oil film detection device.

油膜による光の反射率が水面による光の反射率よりも高いことに着目し、水面に光を照射してその反射光の強度を測定することで反射率を求め、これによって水面での油膜の有無を検出するという油膜検出方法が知られている。この方法を用いた装置としては、例えば特許文献１〜６に記載された油膜検出装置が知られている。これらの油膜検出装置での課題は、一般的に、水面の状態（水位の変動や波立ち、浮遊物の有無等）に影響されることなく、広範囲にわたって面積の小さな油膜であっても検出できることである。 Focusing on the fact that the reflectance of light by the oil film is higher than the reflectance of light by the water surface, the reflectance is obtained by irradiating the water surface with light and measuring the intensity of the reflected light. An oil film detection method of detecting the presence or absence is known. As an apparatus using this method, for example, an oil film detection apparatus described in Patent Documents 1 to 6 is known. The problem with these oil film detectors is that, in general, even oil films with a small area can be detected over a wide range without being affected by the state of the water surface (water level fluctuations, waves, presence or absence of suspended matter, etc.). is there.

具体的に説明すると、固定されている光源からのレーザ光等の検出光の水面に対する照射角度が一定である場合には、水位の変動や波立ち等が生じると、光源と水面との間の距離や反射光の方向が変わる。そのために、水面からの反射光が十分に受光部に受光されず、油膜の検出が困難になる。そのための対策としては、受光部自体を大型化したり受光部に集光するためのミラーを大型化したりして水面からの反射光を受光する受光面積を増やすことが考えられる。しかしながら、そのような対策では、油膜検出装置全体の大型化が避けられず、広い設置面積が必要となること等によって好ましくない。このような対策に代わるものとして、従来から検出光の照射範囲を広くすることを目的として種々の技術が提案されている。 Specifically, when the irradiation angle of the detection light such as laser light from the fixed light source to the water surface is constant, the distance between the light source and the water surface when the water level fluctuates or ripples occur. And the direction of reflected light changes. Therefore, the reflected light from the water surface is not sufficiently received by the light receiving unit, and the oil film is difficult to detect. As a countermeasure for that, it is conceivable to increase the light receiving area for receiving the reflected light from the water surface by increasing the size of the light receiving unit itself or by increasing the size of the mirror for condensing the light receiving unit. However, such measures are not preferable because the entire oil film detection device cannot be increased in size and requires a large installation area. As an alternative to such measures, various techniques have been proposed for the purpose of widening the detection light irradiation range.

例えば特許文献１及び特許文献２には、光源から水面に照射されるレーザ光の角度を機械的手段により一定周期で変化させる油膜検出装置が開示されている。
特許文献３には、光源からの光を凹レンズにより発散ビームとして水面に照射し、その反射光を回帰性のリフレクタにより反射させたときの水面からの再反射光を凹レンズを介して検出するようにした光学系を備えた油膜検出装置が開示されている。
特許文献４には、光源からのレーザ光を走査する回転ミラーとその周囲に配置された複数の反射ミラーとを備えた油膜検知器が開示されている。すなわち、これらの反射ミラーによりレーザ光を水面に対して複数方向から交差的に走査することにより、大口径の放物ミラー等を用いずに、あらゆる方向の波立ちや水面の角度に対して安定した受光を可能にするものである。
特許文献５には、複数の光源を環状に配置して水面にレーザ光を照射し、これらの反射光を受光することによって水面の波立ちや浮遊物の影響を低減する油膜検知器が開示されている。
特許文献６には、レーザ光の照射方向を可変とする振動式又は固定式ミラーを設け、これらのミラーを介した水面からの反射光を受光することにより、水面の波立ちや浮遊物の影響を低減する油膜検知器が開示されている。 For example, Patent Literature 1 and Patent Literature 2 disclose an oil film detection device that changes the angle of laser light emitted to a water surface from a light source at a constant cycle by mechanical means.
In Patent Document 3, light from a light source is irradiated onto a water surface as a divergent beam by a concave lens, and re-reflected light from the water surface when the reflected light is reflected by a recursive reflector is detected through the concave lens. An oil film detection device provided with the optical system is disclosed.
Patent Document 4 discloses an oil film detector including a rotating mirror that scans laser light from a light source and a plurality of reflecting mirrors arranged around the rotating mirror. In other words, by using these reflecting mirrors to scan the laser beam across the water surface from a plurality of directions, it is stable against undulations in all directions and the angle of the water surface without using a large-diameter parabolic mirror. It enables light reception.
Patent Document 5 discloses an oil film detector that arranges a plurality of light sources in an annular shape, irradiates the water surface with laser light, and receives the reflected light to reduce the influence of water surface ripples and suspended matter. Yes.
In Patent Document 6, a vibration type or fixed type mirror that can change the irradiation direction of the laser beam is provided, and reflected light from the water surface through these mirrors is received, so that the influence of the ripples on the water surface and the suspended matter can be reduced. A reduced oil film detector is disclosed.

特開２００１−１５３８００号公報JP 2001-153800 A 特開２００３−１４９１４６号公報JP 2003-149146 A 特開２００５−２４４１４号公報JP 2005-24414 A 特開平１０−９０１７７号公報JP-A-10-90177 特開平１０−２１３５４１号公報JP-A-10-213541 特開２００３−１４９１３４号公報JP 2003-149134 A

しかしながら、これらの技術においては、構造や駆動機構が複雑化したり検出光の照射範囲が十分でなかったりするという問題があった。
このような状況下で、従来とは異なる新しい光学系が望まれている。すなわち、油膜検出装置の設計の際には、諸条件に応じて光学系を選択することから、従来とは異なる光学系が提供できれば、設計の際の選択肢が増え、諸条件に応じてより適切な光学系を選択することが可能になる。 However, these techniques have a problem in that the structure and the driving mechanism are complicated, or the detection light irradiation range is not sufficient.
Under such circumstances, a new optical system different from the conventional one is desired. In other words, when designing an oil film detection device, an optical system is selected according to various conditions, so if an optical system different from the conventional one can be provided, the choices at the time of design increase and more appropriate according to various conditions. It becomes possible to select an appropriate optical system.

本発明は、検出光を広範囲にわたって均一に照射することができる光学系を簡易な構造で実現することが可能な光反射装置を提供することを目的とする。 An object of this invention is to provide the light reflection apparatus which can implement | achieve the optical system which can irradiate detection light uniformly over a wide range with a simple structure.

本発明が適用される光反射装置は、入射した光を反射して反射光を出力する光反射装置であって、装置本体と、前記装置本体に設けられ、焦点を有する放物面の内面側に反射面を有する凹面鏡と、を含み、前記凹面鏡の前記反射面は、当該凹面鏡よりも小寸の平面鏡を複数配列して構成され、前記凹面鏡の焦点を通って入射した光が前記平面鏡で反射した反射光は、所定の照射範囲を有する平行光であることを特徴とするものである。 A light reflecting device to which the present invention is applied is a light reflecting device that reflects incident light and outputs reflected light, the device main body, and an inner surface side of a paraboloid that is provided in the device main body and has a focal point. A concave mirror having a reflecting surface, and the reflecting surface of the concave mirror is configured by arranging a plurality of plane mirrors smaller than the concave mirror, and light incident through the focal point of the concave mirror is reflected by the plane mirror. The reflected light is parallel light having a predetermined irradiation range.

ここで、前記凹面鏡の焦点は、反射光が通過する領域以外の領域に位置することを特徴とすることができる。 Here, the focal point of the concave mirror may be located in a region other than a region through which reflected light passes.

本発明によれば、検出光を広範囲にわたって均一に照射することができる光学系を、本発明を適用しない場合に比べて簡易な構造で実現することが可能になる。 According to the present invention, an optical system capable of uniformly irradiating detection light over a wide range can be realized with a simple structure as compared with the case where the present invention is not applied.

以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
図１は、本実施の形態に係る光反射装置を適用する油膜検出装置Ｅ１の構成例を示すブロック図である。
同図に示す油膜検出装置Ｅ１は、液面に油膜が存在するときの光の反射率と存在しないときの光の反射率とが違うという性質を利用して、検出対象面である水面Ｗに油膜があるか否かを検出する装置である。この水面Ｗとしては、例えば浄水場や河川、湖沼等の水面を指すものであり、水面Ｗの位置が高くなったり低くなったり、また、水面Ｗが波立ったりするものである。 Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings.
FIG. 1 is a block diagram illustrating a configuration example of an oil film detection device E1 to which the light reflecting device according to the present embodiment is applied.
The oil film detection device E1 shown in the figure uses the property that the reflectance of light when the oil film is present on the liquid surface is different from the reflectance of light when it is not present on the water surface W that is the detection target surface. It is a device that detects whether or not there is an oil film. The water surface W indicates the water surface of a water purification plant, a river, a lake, or the like, for example, and the position of the water surface W is increased or decreased, and the water surface W is undulated.

この油膜検出装置Ｅ１は、レーザ光Ｌ１を発光する発光手段の一例としてのレーザ光源１００と、レーザ光源１００により発光されたレーザ光Ｌ１が所定の範囲を照射するように作用する第１の光学系の一例としての照射部２００と、を備えている。更に説明すると、照射部２００は、レーザ光Ｌ１を走査することにより所定の範囲を照射するレーザ光Ｌ２を出力する。レーザ光Ｌ２は、レーザ光Ｌ２の光路上流側の横断面積と光路下流側の横断面積との大きさの差が無い乃至ほとんど無いいわゆる平行光である。
なお、本明細書で平行光というときには、１本のレーザ光を走査することによりビーム群に構成された光の横断面積が光路上の位置によって実質的に変わりがないレーザ光をいうものとする。 The oil film detection device E1 includes a laser light source 100 as an example of a light emitting unit that emits laser light L1, and a first optical system that operates so that the laser light L1 emitted from the laser light source 100 irradiates a predetermined range. And an irradiation unit 200 as an example. More specifically, the irradiation unit 200 outputs a laser beam L2 that irradiates a predetermined range by scanning the laser beam L1. The laser light L2 is so-called parallel light that has no or almost no difference in size between the cross-sectional area upstream of the optical path of the laser light L2 and the cross-sectional area downstream of the optical path.
In the present specification, the term “parallel light” refers to laser light in which the cross-sectional area of the light formed in the beam group is substantially unchanged depending on the position on the optical path by scanning one laser light. .

また、油膜検出装置Ｅ１は、水面Ｗに照射するレーザ光Ｌ３の光軸と水面Ｗで反射したレーザ光Ｌ４の光軸とが同軸となるようにレーザ光Ｌ３，Ｌ４を導く第２の光学系の一例としての同軸落射部３００と、同軸落射部３００からのレーザ光Ｌ５を受光する受光手段の一例としての受光部４００と、を備えている。この同軸落射部３００は、入射した光の一部を反射して残りを透過させる部分透過鏡の一例としてのハーフミラー３１０を有する。このハーフミラー３１０は、反射光と透過光の強さがほぼ等しくなるように形成されている板状部材である。
更に説明すると、同軸落射部３００は、照射部２００からのレーザ光Ｌ２をハーフミラー３１０に反射させ、その反射光であるレーザ光Ｌ３を水面Ｗに全反射するように導き、かつ、水面Ｗで全反射したレーザ光Ｌ４をハーフミラー３１０に透過させ、その透過光であるレーザ光Ｌ５を受光部４００に受光されるように導く。レーザ光Ｌ４は、レーザ光Ｌ３の入射角に等しい角度で水面Ｗから反射していく。すなわち、レーザ光Ｌ３の入射角とレーザ光Ｌ４の反射角とは互いに等しい。 The oil film detection device E1 also guides the laser beams L3 and L4 so that the optical axis of the laser beam L3 irradiated on the water surface W and the optical axis of the laser beam L4 reflected by the water surface W are coaxial. A coaxial epi-illumination unit 300 as an example, and a light-receiving unit 400 as an example of a light-receiving unit that receives the laser light L5 from the coaxial epi-illumination unit 300. The coaxial epi-illumination unit 300 includes a half mirror 310 as an example of a partial transmission mirror that reflects part of incident light and transmits the remaining part. The half mirror 310 is a plate-like member formed so that the intensity of reflected light and transmitted light is substantially equal.
More specifically, the coaxial epi-illumination unit 300 reflects the laser beam L2 from the irradiation unit 200 to the half mirror 310, guides the reflected laser beam L3 to the water surface W, and reflects the laser beam L3 on the water surface W. The totally reflected laser beam L4 is transmitted through the half mirror 310, and the transmitted laser beam L5 is guided to be received by the light receiving unit 400. The laser beam L4 is reflected from the water surface W at an angle equal to the incident angle of the laser beam L3. That is, the incident angle of the laser beam L3 and the reflection angle of the laser beam L4 are equal to each other.

このように、照射部２００は、水面Ｗの油膜検知に用いる検出光を、所定の範囲を照射する平行光として出力するように構成されている。そして、同軸落射部３００は、検出光をハーフミラー３１０を介して水面Ｗに全反射させ、その全反射した検出光をハーフミラー３１０を介して受光部４００に向かわせるように構成されている。
このため、検出光を広い範囲に照射することが可能であり、水面Ｗの高さが変動して油膜検出装置Ｅ１に対する距離が変わっても、受光部４００による油膜検出に必要な検出光の受光に影響を受けず、また、水面Ｗが波立ったりしても、同様に、油膜検出に必要な検出光の受光に影響を受けない。 Thus, the irradiation unit 200 is configured to output detection light used for detecting an oil film on the water surface W as parallel light that irradiates a predetermined range. The coaxial epi-illumination unit 300 is configured to cause the detection light to be totally reflected on the water surface W via the half mirror 310 and to direct the detection light that has been totally reflected to the light receiving unit 400 via the half mirror 310.
For this reason, it is possible to irradiate the detection light over a wide range, and even if the height of the water surface W fluctuates and the distance to the oil film detection device E1 changes, the light reception unit 400 receives the detection light necessary for oil film detection. Even if the water surface W undulates, it is not affected by the detection light necessary for detecting the oil film.

また、油膜検出装置Ｅ１は、受光部４００が受光したレーザ光Ｌ５を所定の信号に変換することでレーザ光Ｌ５の強度情報を得て水面Ｗの反射率を演算する演算手段の一例としての演算部５００と、演算部５００による演算結果を基に、水面Ｗに油膜が存在するか否かを判断する判断手段の一例としての判断部６００と、判断部６００により水面Ｗに油膜が存在するとの判断がされるとユーザに通知する通知手段の一例としての通知部７００と、を備えている。 In addition, the oil film detection device E1 obtains intensity information of the laser beam L5 by converting the laser beam L5 received by the light receiving unit 400 into a predetermined signal, and calculates as an example of a calculation unit that calculates the reflectance of the water surface W. A determination unit 600 as an example of a determination unit that determines whether or not an oil film exists on the water surface W based on a calculation result by the unit 500 and the calculation unit 500, and that an oil film exists on the water surface W by the determination unit 600 A notification unit 700 as an example of a notification unit that notifies the user when the determination is made.

ここで、レーザ光源１００としては、図示しないレーザダイオードと、レーザダイオードに所定の電圧が印加されるように制御する図示しない駆動回路と、で構成する例が考えられる。
また、照射部２００の構成例については後述する。 Here, as the laser light source 100, an example configured by a laser diode (not shown) and a drive circuit (not shown) that controls the laser diode so that a predetermined voltage is applied can be considered.
A configuration example of the irradiation unit 200 will be described later.

また、同軸落射部３００の構成については上述したとおりである。
また、受光部４００としては、レーザ光Ｌ５を集光するための図示しない集光レンズと、集光した光の強度に応じた電気信号に変換する図示しないフォトダイオードと、で構成する例が考えられる。 The configuration of the coaxial epi-illumination unit 300 is as described above.
In addition, an example in which the light receiving unit 400 includes a condensing lens (not shown) for condensing the laser light L5 and a photodiode (not shown) that converts the light into an electric signal corresponding to the intensity of the collected light is considered. It is done.

また、演算部５００及び判断部６００としては、予め定められた動作制御プログラム（ファームウェア）に従ってデジタル演算処理を実行する図示しないＣＰＵ(Central Processing Unit)と、ＣＰＵの作業用メモリ等として用いられる図示しないＲＡＭ(Random Access Memory)と、ＣＰＵにより実行される処理プログラムや処理プログラムにて用いられる各種のデータが格納される図示しないＲＯＭ(Read Only Memory)と、で構成する例が考えられる。
また、通知部７００としては、ユーザに対して視覚的に通知する図示しない表示画面で構成する例が考えられ、また、汎用の通信手段にて遠隔のユーザに通知するための通信インターフェースで構成する例が考えられる。 Further, as the calculation unit 500 and the determination unit 600, a CPU (Central Processing Unit) (not shown) that performs digital calculation processing according to a predetermined operation control program (firmware), a CPU working memory, and the like (not shown) are used. An example of a RAM (Random Access Memory) and a ROM (Read Only Memory) (not shown) that stores processing programs executed by the CPU and various data used in the processing programs can be considered.
Further, the notification unit 700 may be configured with a display screen (not shown) that visually notifies the user, and is configured with a communication interface for notifying a remote user by general-purpose communication means. Examples are possible.

図２は、本実施の形態に係る光反射装置を適用する別の油膜検出装置Ｅ２の構成例を示すブロック図である。なお、油膜検出装置Ｅ２の基本的な構成は、上述した油膜検出装置Ｅ１（図１参照）と共通するため、同じ構成には同じ符号を用い、また、その説明を省略することがある。
同図に示す油膜検出装置Ｅ２は、レーザ光源１００、照射部２００、同軸落射部３００、受光部４００、演算部５００、判断部６００及び通知部７００を備えている。同軸落射部３００は、ハーフミラー３１０を有する。このような油膜検出装置Ｅ２の構成は、油膜検出装置Ｅ１と共通する。 FIG. 2 is a block diagram illustrating a configuration example of another oil film detection device E2 to which the light reflecting device according to the present embodiment is applied. The basic configuration of the oil film detection device E2 is the same as that of the above-described oil film detection device E1 (see FIG. 1). Therefore, the same components are denoted by the same reference numerals, and the description thereof may be omitted.
The oil film detection apparatus E2 shown in the figure includes a laser light source 100, an irradiation unit 200, a coaxial incident unit 300, a light receiving unit 400, a calculation unit 500, a determination unit 600, and a notification unit 700. The coaxial incident part 300 has a half mirror 310. The configuration of the oil film detection device E2 is the same as that of the oil film detection device E1.

ここで、油膜検出装置Ｅ２が油膜検出装置Ｅ１と相違する構成について具体的に説明する。油膜検出装置Ｅ２が備える同軸落射部３００は、ハーフミラー３１０を透過して水面Ｗに検出光を照射すると共にハーフミラー３１０で反射して受光部４００に検出光を入射する点で、ハーフミラー３１０で反射して水面Ｗに検出光を照射すると共にハーフミラー３１０を透過して受光部４００に検出光を入射する油膜検出装置Ｅ１が備える同軸落射部３００と異なる。 Here, the configuration in which the oil film detection device E2 is different from the oil film detection device E1 will be specifically described. The coaxial epi-illumination unit 300 included in the oil film detection device E2 transmits the half mirror 310 so as to irradiate the water surface W with the detection light, and reflects off the half mirror 310 so that the detection light is incident on the light receiving unit 400. Is different from the coaxial epi-illumination unit 300 provided in the oil film detection device E1 that irradiates the detection light to the water surface W and transmits the detection light to the light receiving unit 400 through the half mirror 310.

すなわち、油膜検出装置Ｅ２が備える同軸落射部３００では、水面Ｗを照射するレーザ光Ｌ３はハーフミラー３１０を透過したものであり、受光部４００に受光されるレーザ光Ｌ５はハーフミラー３１０で反射したものである。言い換えると、油膜検出装置Ｅ２が備える同軸落射部３００では、照射部２００からのレーザ光Ｌ２をハーフミラー３１０に透過させ、その透過光であるレーザ光Ｌ３を水面Ｗに全反射するように導き、かつ、水面Ｗで全反射したレーザ光Ｌ４をハーフミラー３１０に反射させ、その反射光であるレーザ光Ｌ５を受光部４００に受光されるように導く。 That is, in the coaxial epi-illumination unit 300 provided in the oil film detection device E2, the laser light L3 that irradiates the water surface W is transmitted through the half mirror 310, and the laser light L5 received by the light receiving unit 400 is reflected by the half mirror 310. Is. In other words, the coaxial epi-illumination unit 300 included in the oil film detection device E2 transmits the laser light L2 from the irradiation unit 200 to the half mirror 310, and guides the laser light L3 that is the transmitted light to be totally reflected on the water surface W. In addition, the laser beam L4 totally reflected by the water surface W is reflected by the half mirror 310, and the reflected laser beam L5 is guided to be received by the light receiving unit 400.

〔第１の実施の形態〕
図３は、第１の実施の形態に係る照射部２００の構成例を示すブロック図である。なお、本実施の形態に係る照射部２００は、油膜検出装置Ｅ１に適用することが可能であり、また、油膜検出装置Ｅ２に適用することも可能である。
同図に示すように、本実施の形態の照射部２００は、レーザ光源１００により発光されたレーザ光Ｌ１を二次元に走査する走査光学系の一例としての走査部８００と、走査部８００により二次元に走査されて成るレーザ光（ビーム群）Ｌ８の向きを変えて平行光にしてレーザ光Ｌ２を出力する照射光学系の一例としての平行光出力部（光反射装置）９００と、を備えている。 [First Embodiment]
FIG. 3 is a block diagram illustrating a configuration example of the irradiation unit 200 according to the first embodiment. In addition, the irradiation part 200 which concerns on this Embodiment can be applied to the oil film detection apparatus E1, and can also be applied to the oil film detection apparatus E2.
As shown in the figure, the irradiation unit 200 of the present embodiment includes a scanning unit 800 as an example of a scanning optical system that scans the laser light L1 emitted from the laser light source 100 two-dimensionally, and two scanning units 800. A parallel light output unit (light reflecting device) 900 as an example of an irradiation optical system that changes the direction of the laser light (beam group) L8 that is scanned in two dimensions and outputs the laser light L2 as parallel light. Yes.

更に説明すると、レーザ光Ｌ１は、走査部８００により二次元に走査されることで、連続的に振られるように順次光路が変えられる。このように光路が変えられてなるレーザ光Ｌ８は、１本のレーザ光Ｌ１のビーム径よりも広い領域を通過していく。
また、レーザ光Ｌ８は、走査部８００によって角度を付けて走査される。すなわち、レーザ光Ｌ８は、走査部８００によって拡散する方向に向くように光路が変えられる。このため、レーザ光Ｌ８が通過する領域の面積は、光路下流（図３における左の方向）に行くに従って大きくなる。 More specifically, the laser beam L1 is scanned two-dimensionally by the scanning unit 800, so that the optical path is sequentially changed so as to be continuously swung. The laser beam L8 having the optical path changed in this way passes through a region wider than the beam diameter of one laser beam L1.
The laser beam L8 is scanned at an angle by the scanning unit 800. That is, the optical path of the laser beam L8 is changed so as to be directed in the direction of diffusion by the scanning unit 800. For this reason, the area of the region through which the laser beam L8 passes increases as it goes downstream in the optical path (the left direction in FIG. 3).

拡散しながら進むレーザ光Ｌ８は、通過する領域の面積が光路下流に行っても増加ないし減少しないように、平行光出力部９００によって更に光路が変えられる。このように平行光出力部９００によって光路が変えられて平行に進むレーザ光Ｌ２は、上述した同軸落射部３００（図１又は図２参照）に導かれる。 The optical path of the laser beam L8 traveling while diffusing is further changed by the parallel light output unit 900 so that the area of the passing region does not increase or decrease even if the area of the laser beam L8 travels downstream of the optical path. In this way, the laser light L2 whose optical path is changed by the parallel light output unit 900 and travels in parallel is guided to the above-described coaxial incident part 300 (see FIG. 1 or FIG. 2).

次に、走査部８００及び平行光出力部９００の構成例について説明する。
図４は、走査部８００の構成例を示す図である。すなわち、同図の（ａ）は、走査部８００の構成を説明する図であり、（ｂ）は、走査部８００により走査されたレーザ光Ｌ８のパターンＰを説明する図である。
同図の（ａ）に示す走査部８００は、いわゆる回転傾きミラーを採用した構成であり、複数の回転ミラーを組み合わせて、レーザ光源１００からのレーザ光Ｌ１を走査している。具体的に説明すると、同図に示す走査部８００は、駆動源１１Ａの回転軸１２Ａに取り付けられた平面状の円盤ミラー１３Ａと、駆動源１１Ｂの回転軸１２Ｂに取り付けられた平面状の円盤ミラー１３Ｂと、駆動源１１Ａ，１１Ｂの駆動を制御する制御部１４と、を備えている。 Next, configuration examples of the scanning unit 800 and the parallel light output unit 900 will be described.
FIG. 4 is a diagram illustrating a configuration example of the scanning unit 800. That is, (a) in the figure is a diagram for explaining the configuration of the scanning unit 800, and (b) is a diagram for explaining the pattern P of the laser light L8 scanned by the scanning unit 800.
The scanning unit 800 shown in FIG. 6A employs a so-called rotational tilt mirror, and scans the laser light L1 from the laser light source 100 by combining a plurality of rotational mirrors. More specifically, the scanning unit 800 shown in the figure includes a planar disk mirror 13A attached to the rotating shaft 12A of the driving source 11A and a planar disk mirror attached to the rotating shaft 12B of the driving source 11B. 13B and the control part 14 which controls the drive of drive source 11A, 11B are provided.

円盤ミラー１３Ａは、回転軸１２Ａに対して傾斜して取り付けられている。また、円盤ミラー１３Ｂは、回転軸１２Ｂに対して傾斜して取り付けられている。円盤ミラー１３Ａが回転軸１２Ａに対して傾斜する傾斜角度はθ_１Ａであり、また、円盤ミラー１３Ｂが回転軸１２Ｂに対して傾斜する傾斜角度はθ_１Ｂである。 The disk mirror 13A is attached to be inclined with respect to the rotating shaft 12A. The disk mirror 13B is attached to be inclined with respect to the rotating shaft 12B. The inclination angle at which the disk mirror 13A is inclined with respect to the rotation axis 12A is θ _1A , and the inclination angle at which the disk mirror 13B is inclined with respect to the rotation axis 12B is θ _1B .

レーザ光源１００からのレーザ光Ｌ１が円盤ミラー１３Ａに入射するように、円盤ミラー１３Ａをレーザ光源１００に対して配置している。また、円盤ミラー１３Ａで反射したレーザ光Ｌ１が円盤ミラー１３Ｂに入射するように、円盤ミラー１３Ｂを円盤ミラー１３Ａに対して配置している。このため、レーザ光Ｌ１は、円盤ミラー１３Ａで反射した後に円盤ミラー１３Ｂで反射する。なお、円盤ミラー１３Ｂで反射したレーザ光Ｌ８は、平行光出力部９００に向かう。 The disk mirror 13A is arranged with respect to the laser light source 100 so that the laser light L1 from the laser light source 100 is incident on the disk mirror 13A. Further, the disk mirror 13B is arranged with respect to the disk mirror 13A so that the laser light L1 reflected by the disk mirror 13A enters the disk mirror 13B. For this reason, the laser beam L1 is reflected by the disk mirror 13B after being reflected by the disk mirror 13A. The laser beam L8 reflected by the disk mirror 13B travels to the parallel light output unit 900.

円盤ミラー１３Ａは、駆動源１１Ａによって単位時間当たり回転数ｎ_１Ａで回転し、また、円盤ミラー１３Ｂは、駆動源１１Ｂによって単位時間当たり回転数ｎ_１Ｂで回転する。円盤ミラー１３Ａの回転方向と円盤ミラー１３Ｂの回転方向とは互いに同じである。このため、走査部８００によりレーザ光Ｌ１が走査されることで描くレーザ光Ｌ８の形状は、図４の（ｂ）に示すように、複数の円形状が含まれるパターンＰである。 The disk mirror 13A is rotated at a rotational speed n _1A per unit time by the drive source 11A, and the disk mirror 13B is rotated at a rotational speed n _1B per unit time by the drive source 11B. The rotation direction of the disk mirror 13A and the rotation direction of the disk mirror 13B are the same. For this reason, the shape of the laser beam L8 drawn by the scanning unit 800 being scanned with the laser beam L1 is a pattern P including a plurality of circular shapes as shown in FIG.

ここで、円盤ミラー１３Ａの回転数ｎ_１Ａと円盤ミラー１３Ｂの回転数ｎ_１Ｂとの関係について説明する。制御部１４は、円盤ミラー１３Ａの回転数ｎ_１Ａと円盤ミラー１３Ｂの回転数ｎ_１Ｂを制御する。すなわち、制御部１４は、回転数ｎ_１Ａと回転数ｎ_１Ｂとの回転比Ｎを、ユーザの指示を基に制御する。
回転数ｎ_１Ａと回転数ｎ_１Ｂとの回転比Ｎは、様々な値を採用することが考えられる。更に説明すると、回転比Ｎが正の整数（１以上の整数）のときには、図４の（ｂ）に示すパターンＰが変化しない。その一方で、回転比Ｎが正の整数以外の数のときには、同図の（ｂ）に示すパターンＰは、中心位置ＰＣを中心に回転する。このようにパターンＰを回転させることで、検出対象面である水面Ｗ（図１又は図２参照）にレーザ光Ｌ３をまんべんなく照射することが可能になる。 Here, the relationship between the rotational speed n _1A of the disk mirror 13A and the rotational speed n _1B of the disk mirror 13B will be described. The control unit 14 controls the rotational speed n _1A of the disk mirror 13A and the rotational speed n _1B of the disk mirror 13B. That is, the control unit 14 controls the rotation ratio N between the rotation speed n _1A and the rotation speed n _1B based on a user instruction.
It is conceivable to employ various values for the rotation ratio N between the rotation speed n _1A and the rotation speed n _1B . More specifically, when the rotation ratio N is a positive integer (an integer of 1 or more), the pattern P shown in FIG. 4B does not change. On the other hand, when the rotation ratio N is a number other than a positive integer, the pattern P shown in (b) of the figure rotates around the center position PC. By rotating the pattern P in this way, it becomes possible to irradiate the water surface W (see FIG. 1 or 2), which is the detection target surface, with the laser light L3 evenly.

なお、同図の（ｂ）に示すパターンＰは、その一例を図示したものであり、これ以外のパターンＰの場合もある。すなわち、円盤ミラー１３Ａの傾斜角度θ_１Ａ及び回転数ｎ_１Ａと円盤ミラー１３Ｂの傾斜角度θ_１Ｂ及び回転数ｎ_１ＢによってパターンＰが変わる。例えば、傾斜角度θ_１Ａ，θ_１Ｂが小さいと円が小さくなり、傾斜角度θ_１Ａ，θ_１Ｂが大きいと円が大きくなる。 In addition, the pattern P shown to (b) of the figure has illustrated the example, and may be the pattern P other than this. That is, the pattern P changes depending on the tilt angle θ _1A and the rotational speed n _{1A of} the disk mirror 13A and the tilt angle θ _1B and the rotational speed n _{1B of the} disk mirror 13B. For example, when the inclination angles θ _1A and θ _1B are small, the circle becomes small, and when the inclination angles θ _1A and θ _1B are large, the circle becomes large.

図５は、平行光出力部９００の構成例を示す図であり、図６は、平行光出力部９００から出力されるレーザ光Ｌ２を説明するための図である。
図５に示す光反射装置の一例としての平行光出力部９００は、いわゆるオフセットパラボラを採用した構成であり、走査部８００からのレーザ光Ｌ８を放物面鏡を用いて平行光に変換している。具体的に説明すると、同図に示す平行光出力部９００は、光反射装置本体の一例としての本体部２３と、本体部２３に設けられ、放物曲面２１の内面２１ａに小さい平面鏡２２を多数並べた凹面鏡の一例としての反射鏡２０と、を備えている。 FIG. 5 is a diagram illustrating a configuration example of the parallel light output unit 900, and FIG. 6 is a diagram for explaining the laser light L2 output from the parallel light output unit 900.
The parallel light output unit 900 as an example of the light reflecting device shown in FIG. 5 has a configuration employing a so-called offset parabola, and converts the laser light L8 from the scanning unit 800 into parallel light using a parabolic mirror. Yes. More specifically, the parallel light output unit 900 shown in the figure includes a main body unit 23 as an example of a light reflecting device main body, and a large number of small plane mirrors 22 provided on the inner surface 21a of the parabolic curved surface 21. And a reflecting mirror 20 as an example of the arranged concave mirrors.

この反射鏡２０は、一般的な放物曲面の一部のみを用いた楕円形状であり、焦点ｆを有する。この焦点ｆに、走査部８００により走査されるレーザ光Ｌ８の走査中心が位置するようにレイアウトされている。そして、レーザ光Ｌ８が反射鏡２０の平面鏡２２で反射したレーザ光Ｌ２ａ，Ｌ２ｂ，Ｌ２ｃを含むレーザ光Ｌ２は、図６に示すように、外径Ｄ_２の所定の照射範囲を照射する。付言すると、このレーザ光Ｌ２は、同軸落射部３００（図１又は図２参照）に入射する。 The reflecting mirror 20 has an elliptical shape using only a part of a general paraboloid and has a focal point f. The focus f is laid out so that the scanning center of the laser beam L8 scanned by the scanning unit 800 is located. Then, the laser beam L2 including the laser beam L2a laser light L8 is reflected by the plane mirror 22 of the reflecting mirror 20, L2b, a L2c, as shown in FIG. 6, irradiates a predetermined irradiation range of the outer diameter _{D 2.} In other words, the laser beam L2 is incident on the coaxial incident part 300 (see FIG. 1 or 2).

更に説明すると、図５に示すように、反射鏡２０の焦点ｆは、オフセットされた位置に存在する。すなわち、焦点ｆは、レーザ光Ｌ２の光路領域以外の領域に位置している。したがって、焦点ｆに位置する走査部８００により、レーザ光Ｌ２が遮られることがなく、幅広い範囲について油膜検出することが可能になる。 More specifically, as shown in FIG. 5, the focal point f of the reflecting mirror 20 exists at an offset position. That is, the focal point f is located in a region other than the optical path region of the laser light L2. Therefore, the laser beam L2 is not blocked by the scanning unit 800 located at the focal point f, and an oil film can be detected over a wide range.

ビーム群としてのレーザ光Ｌ８は、次第に拡がっており、光路下流側の横断面積が光路上流側の横断面積よりも大きい。ところが、反射鏡２０の平面鏡２２で反射すると、レーザ光Ｌ２は、光路上流側の横断面積と光路下流側の横断面積との大きさの差がない。このように、反射鏡２０は、レーザ光Ｌ２を拡散させないように、走査部８００からのレーザ光Ｌ８の向きを平行にするように作用する。 The laser beam L8 as the beam group gradually spreads, and the cross-sectional area on the downstream side of the optical path is larger than the cross-sectional area on the upstream side of the optical path. However, when reflected by the plane mirror 22 of the reflecting mirror 20, the laser light L2 has no difference in size between the cross-sectional area upstream of the optical path and the cross-sectional area downstream of the optical path. Thus, the reflecting mirror 20 acts so that the direction of the laser beam L8 from the scanning unit 800 is parallel so as not to diffuse the laser beam L2.

また、上述したように、反射鏡２０には、複数の平面鏡２２が配列されている。このため、レーザ光Ｌ８を構成するレーザビームの各々は、反射鏡２２により反射したときにビーム径は変わらない。更に説明すると、レーザ光Ｌ８を構成するレーザビームの各々を、放物曲面２１の内面２１ａで反射させると、ビーム径が拡がってしまう。ビーム径が変わるレーザ光を検出光として用いると、水面Ｗ（図１又は図２参照）の位置が変わることによって受光部４００の受光に影響が及んでしまう。ところが、本実施の形態では、レーザ光Ｌ８を平面鏡２２で反射させるので、ビーム径が拡がらず、レーザ光Ｌ２のビーム径は変わらないので、そのような影響が及ばない。 In addition, as described above, the reflecting mirror 20 has a plurality of plane mirrors 22 arranged therein. For this reason, the beam diameter of each of the laser beams constituting the laser beam L8 does not change when reflected by the reflecting mirror 22. More specifically, when each of the laser beams constituting the laser beam L8 is reflected by the inner surface 21a of the parabolic curved surface 21, the beam diameter is expanded. When laser light with a different beam diameter is used as detection light, the position of the water surface W (see FIG. 1 or FIG. 2) changes, which affects the light reception of the light receiving unit 400. However, in this embodiment, since the laser beam L8 is reflected by the plane mirror 22, the beam diameter does not expand and the beam diameter of the laser beam L2 does not change, so that such influence does not occur.

図７は、平行光出力部９００の他の構成例を示す図である。図８は、平行光出力部９００から出力されるレーザ光Ｌ２を説明するための図であり、（ａ）はレーザ光Ｌ２の斜視図であり、（ｂ）はレーザ光Ｌ２の照射範囲を説明する平面図である。
図７に示す光反射装置の一例としての平行光出力部９００は、焦点ｆがオフセットしていない構成である点で、図５に示す構成と異なる。焦点ｆがオフセットしていない場合には、上述したように、レーザ光Ｌ２が遮られる部分が存在する。すなわち、図８の（ａ）に示すように、レーザ光Ｌ２は外径Ｄ_３ａであるが、その中心部分では、レーザ光Ｌ２が、焦点ｆに設置されている走査部８００（図３参照）によって遮られる。そのため、レーザ光Ｌ２が照射されない部分（図８の（ａ）に示す内径Ｄ_３ｂの部分）が存在する。したがって、図８の（ｂ）に示すように、レーザ光Ｌ２の照射範囲すなわち油膜検出ができる範囲は、斜線で図示するいわゆるドーナツ型になる。しかしながら、このような構成であっても、所定の範囲についての油膜検出することが可能である。また、このような構成は、装置の小型化のために焦点ｆをオフセットの位置に配置できない場合に採用されることが考えられる。 FIG. 7 is a diagram illustrating another configuration example of the parallel light output unit 900. FIG. 8 is a diagram for explaining the laser light L2 output from the parallel light output unit 900, (a) is a perspective view of the laser light L2, and (b) is an explanation of the irradiation range of the laser light L2. FIG.
A parallel light output unit 900 as an example of the light reflecting device illustrated in FIG. 7 is different from the configuration illustrated in FIG. 5 in that the focal point f is not offset. When the focal point f is not offset, there is a portion where the laser beam L2 is blocked as described above. That is, as shown in FIG. 8A, the laser beam L2 has an outer diameter _D3a , but in the central portion, the laser beam L2 is placed at the focal point f (see FIG. 3). Blocked by. Therefore, there is a portion that is not irradiated with the laser beam L2 (portion having an inner diameter _D3b shown in FIG. 8A). Therefore, as shown in FIG. 8B, the irradiation range of the laser light L2, that is, the range in which the oil film can be detected is a so-called donut shape illustrated by hatching. However, even with such a configuration, it is possible to detect an oil film for a predetermined range. Further, such a configuration may be adopted when the focal point f cannot be arranged at the offset position for the purpose of downsizing the apparatus.

〔第２の実施の形態〕
図９は、第２の実施の形態に係る走査部８００の構成例を示す図である。図１０は、ポリゴンミラー３１の傾き角を説明する図であり、（ａ）〜（ｆ）は、反射面３１ａ〜３１ｆを含む縦断面図であり、（ｇ）は、レーザ光Ｌ８を説明する図である。なお、本実施の形態では、平行光出力部９００としては、第１の実施の形態に示す構成を採用することができる。
図９に示す走査部８００は、いわゆる傾きポリゴンミラーを採用した構成であり、レーザ光源１００からのレーザ光Ｌ１を走査している。具体的に説明すると、同図に示す走査部８００は、６面の反射面３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄ，３１ｅ，３１ｆを有する回転多面鏡の一例としてのポリゴンミラー３１を備えている。このポリゴンミラー３１は、回転軸３２を中心にして回転するように構成されている。付言すると、走査部８００は、ポリゴンミラー３１を回転駆動する図示しないポリゴンモータと、ポリゴンモータの駆動を制御する図示しない制御部と、を備えている。 [Second Embodiment]
FIG. 9 is a diagram illustrating a configuration example of the scanning unit 800 according to the second embodiment. FIG. 10 is a diagram for explaining the tilt angle of the polygon mirror 31, (a) to (f) are longitudinal sectional views including the reflecting surfaces 31a to 31f, and (g) explains the laser beam L8. FIG. In the present embodiment, the configuration shown in the first embodiment can be adopted as the parallel light output unit 900.
The scanning unit 800 shown in FIG. 9 employs a so-called inclined polygon mirror, and scans the laser light L1 from the laser light source 100. More specifically, the scanning unit 800 shown in the figure includes a polygon mirror 31 as an example of a rotary polygon mirror having six reflecting surfaces 31a, 31b, 31c, 31d, 31e, and 31f. The polygon mirror 31 is configured to rotate around the rotation shaft 32. In addition, the scanning unit 800 includes a polygon motor (not shown) that rotationally drives the polygon mirror 31 and a control unit (not shown) that controls the driving of the polygon motor.

ポリゴンミラー３１の反射面３１ａ〜３１ｆは、回転軸３２に対して傾斜して形成されている。すなわち、反射面３１ａ〜３１ｆは、回転軸３２に対する傾き角が互いに異なる。そして、レーザ光Ｌ１は、反射面３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄ，３１ｅ，３１ｆの順に入射する。このため、レーザ光Ｌ１は、一方向に回転駆動されるポリゴンミラー３１の反射面３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄ，３１ｅ，３１ｆに入射し、その反射光が、図１０の（ａ）〜（ｆ）に示すように、レーザ光Ｌ８ａ，Ｌ８ｂ，Ｌ８ｃ，Ｌ８ｄ，Ｌ８ｅ，Ｌ８ｆとなる。 The reflection surfaces 31 a to 31 f of the polygon mirror 31 are formed to be inclined with respect to the rotation shaft 32. That is, the reflection surfaces 31 a to 31 f have different inclination angles with respect to the rotation shaft 32. And the laser beam L1 injects in order of the reflective surfaces 31a, 31b, 31c, 31d, 31e, and 31f. For this reason, the laser light L1 is incident on the reflecting surfaces 31a, 31b, 31c, 31d, 31e, and 31f of the polygon mirror 31 that is rotationally driven in one direction, and the reflected light is (a) to (f) in FIG. ), Laser beams L8a, L8b, L8c, L8d, L8e, and L8f are obtained.

ここで、図１０の（ａ）〜（ｆ）に示すように、反射面３１ａは傾き角θ_３ａであり、反射面３１ｂは傾き角θ_３ｂである。反射面３１ｃは傾き角が０度（θ_３ｃ＝０）であり、反射面３１ｄは傾き角θ_３ｄであり、反射面３１ｅは傾き角θ_３ｅであり、反射面３１ｆは傾き角θ_３ｆである。
更に説明すると、各々の傾き角は、θ_３ａ＜θ_３ｂ＜０（θ_３ｃ）＜θ_３ｄ＜θ_３ｅ＜θ_３ｆの関係である。反射面３１ａ〜３１ｆのうち隣り合うもの同士は、傾き角が互いに異なる。このように、反射面３１ａ〜３１ｆは、傾き角が互いに異なっており、また、反射面３１ａ〜３１ｆの走査する順番に傾き角が大きくなっていくようにポリゴンミラー３１が形成されている。このため、同図の（ｇ）に示すように、ポリゴンミラー３１の走査によって、上からレーザ光Ｌ８ａ〜Ｌ８ｆの順になったレーザ光Ｌ８が平行光出力部９００に導かれる。 Here, as shown to (a)-(f) of FIG. 10, the reflective surface 31a is inclination | tilt angle (theta) _3a , and the reflective surface 31b is inclination | tilt angle (theta) _3b . The reflection surface 31c has an inclination angle of 0 degree (θ _3c = 0), the reflection surface 31d has an inclination angle θ _3d , the reflection surface 31e has an inclination angle θ _3e , and the reflection surface 31f has an inclination angle θ _3f . .
More specifically, each inclination angle has a relationship of θ _3a <θ _3b <0 (θ _3c ) <θ _3d <θ _3e <θ _3f . Adjacent ones of the reflective surfaces 31a to 31f have different inclination angles. As described above, the reflection surfaces 31a to 31f have different inclination angles, and the polygon mirror 31 is formed so that the inclination angles increase in the scanning order of the reflection surfaces 31a to 31f. For this reason, as shown in FIG. 5G, the laser beam L8 in the order of the laser beams L8a to L8f from the top is guided to the parallel light output unit 900 by the scanning of the polygon mirror 31.

図１１は、ポリゴンミラー３１の変形例の場合の傾き角を説明する図であり、（ａ）〜（ｆ）は、反射面３１ａ〜３１ｆを含む縦断面図であり、（ｇ）は、レーザ光Ｌ８を説明する図である。
同図に示すように、反射面３１ａは傾き角が０度（θ_４ａ＝０）であり、反射面３１ｂは傾き角θ_４ｂである。反射面３１ｃは傾き角θ_４ｃであり、反射面３１ｄは傾き角θ_４ｄであり、反射面３１ｅは傾き角θ_４ｅであり、反射面３１ｆは傾き角θ_４ｆである。そして、各々の傾き角は、θ_４ｅ＜θ_４ｄ＜０（θ_４ａ）＜θ_４ｂ＜θ_４ｃ＜θ_４ｆの関係である。このように、変形例では、傾き角の大きい順に反射面３１ａ〜３１ｆが走査するものではない。反射面３１ａ〜３１ｆの走査する順番では、傾き角が順に変わるものではなく、アトランダムに変わる。言い換えると、反射面３１ａ〜３１ｆの傾き角θ_４ａ〜θ_４ｆは、ポリゴンミラー３１の回転方向に沿って増加と減少を繰り返す。このため、図１１の（ｇ）に示すように、ポリゴンミラー３１の走査によって平行光出力部９００に向かうレーザ光Ｌ８ａ〜Ｌ８ｆの順番に、上から配列されるものではなく、バラバラである。したがって、この変形例によれば、ポリゴンミラー３１の回転速度を高めなくても水面Ｗ（図１又は図２参照）での油膜の検出確率を向上させることが可能になる。 FIG. 11 is a diagram for explaining the tilt angle in the case of a modified example of the polygon mirror 31, (a) to (f) are longitudinal sectional views including the reflecting surfaces 31a to 31f, and (g) is a laser. It is a figure explaining light L8.
As shown in the figure, the reflection surface 31a has an inclination angle of 0 degree (θ _4a = 0), and the reflection surface 31b has an inclination angle θ _4b . The reflection surface 31c has an inclination angle θ _4c , the reflection surface 31d has an inclination angle θ _4d , the reflection surface 31e has an inclination angle θ _4e , and the reflection surface 31f has an inclination angle θ _4f . Each inclination angle has a _{relationship of} θ _4e <θ _4d <0 (θ _4a ) <θ _4b <θ _4c <θ _4f . Thus, in the modified example, the reflecting surfaces 31a to 31f are not scanned in descending order of the inclination angle. In the scanning order of the reflecting surfaces 31a to 31f, the tilt angle does not change in order, but changes at random. In other words, the inclination angles θ _{4a to} θ _4f of the reflecting surfaces 31 a to 31 _f repeat increasing and decreasing along the rotation direction of the polygon mirror 31. For this reason, as shown in FIG. 11 (g), the laser beams L8a to L8f that are directed to the parallel light output unit 900 by scanning with the polygon mirror 31 are not arranged from above but are scattered. Therefore, according to this modification, it is possible to improve the oil film detection probability on the water surface W (see FIG. 1 or 2) without increasing the rotational speed of the polygon mirror 31.

本実施の形態に係る光反射装置を適用する油膜検出装置の構成例を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structural example of the oil film detection apparatus to which the light reflection apparatus which concerns on this Embodiment is applied. 本実施の形態に係る光反射装置を適用する別の油膜検出装置の構成例を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structural example of another oil film detection apparatus to which the light reflection apparatus which concerns on this Embodiment is applied. 第１の実施の形態に係る照射部の構成例を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structural example of the irradiation part which concerns on 1st Embodiment. 走査部の構成例を示す図であり、（ａ）は、走査部の構成を説明する図であり、（ｂ）は、走査部により走査されたレーザ光のパターンを説明する図である。It is a figure which shows the structural example of a scanning part, (a) is a figure explaining the structure of a scanning part, (b) is a figure explaining the pattern of the laser beam scanned by the scanning part. 平行光出力部の構成例を示す図である。It is a figure which shows the structural example of a parallel light output part. 平行光出力部から出力されるレーザ光を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the laser beam output from a parallel light output part. 平行光出力部の他の構成例を示す図である。It is a figure which shows the other structural example of a parallel light output part. 平行光出力部から出力されるレーザ光を説明するための図であり、（ａ）はレーザ光の斜視図であり、（ｂ）はレーザ光の照射範囲を説明する平面図である。It is a figure for demonstrating the laser beam output from a parallel light output part, (a) is a perspective view of a laser beam, (b) is a top view explaining the irradiation range of a laser beam. 第２の実施の形態に係る走査部の構成例を示す図である。It is a figure which shows the structural example of the scanning part which concerns on 2nd Embodiment. ポリゴンミラーの傾き角を説明する図であり、（ａ）〜（ｆ）は、反射面を含む縦断面図であり、（ｇ）は、レーザ光を説明する図である。It is a figure explaining the inclination angle of a polygon mirror, (a)-(f) is a longitudinal cross-sectional view including a reflective surface, (g) is a figure explaining a laser beam. ポリゴンミラーの変形例の場合の傾き角を説明する図であり、（ａ）〜（ｆ）は、反射面を含む縦断面図であり、（ｇ）は、レーザ光を説明する図である。It is a figure explaining the inclination angle in the case of the modification of a polygon mirror, (a)-(f) is a longitudinal cross-sectional view including a reflective surface, (g) is a figure explaining a laser beam.

Explanation of symbols

２０…反射鏡、２１…放物曲面、２１ａ…内面、２２…平面鏡、２３…本体部、９００…平行光出力部、Ｄ_２，Ｄ_３ａ…外径、Ｄ_３ｂ…内径、Ｅ１，Ｅ２…油膜検出装置、ｆ…焦点、Ｌ２，Ｌ２ａ，Ｌ２ｂ，Ｌ２ｃ，Ｌ２ｄ，Ｌ８…レーザ光、Ｗ…水面 20 ... reflector, 21 ... parabolic curved surface, 21a ... inner surface, 22 ... plane mirror, 23 ... main body, 900 ... parallel light output _{section, D} 2, D _{3a ...} outer diameter, D _{3b ...} inner diameter, E1, E2 ... oil film Detection device, f ... focal point, L2, L2a, L2b, L2c, L2d, L8 ... laser light, W ... water surface

Claims

A light reflecting device that reflects incident light and outputs reflected light,
The device body;
A concave mirror provided in the apparatus body and having a reflecting surface on the inner surface side of a paraboloid having a focal point;
Including
The reflecting surface of the concave mirror is configured by arranging a plurality of smaller plane mirrors than the concave mirror,
The light reflection device, wherein the light reflected through the focal point of the concave mirror and reflected by the plane mirror is parallel light having a predetermined irradiation range.

The light reflecting device according to claim 1, wherein a focal point of the concave mirror is located in a region other than a region through which reflected light passes.