JP2009233879A - Liquid jet head, method for manufacturing liquid jet head and method for manufacturing metal sheet - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドの製造方法、及び、金属板の製造方法に係り、特に、微細な貫通孔を開設した液体噴射ヘッド用ノズルプレートを作製するのに適したものである。 The present invention relates to a liquid ejecting head, a method of manufacturing a liquid ejecting head, and a method of manufacturing a metal plate, and is particularly suitable for manufacturing a nozzle plate for a liquid ejecting head having fine through holes. .
圧力発生室内の液体に圧力変動を生じさせることでノズル開口から液滴として吐出させる液体噴射ヘッドとしては、例えば、インクジェット式記録装置(プリンタ)等の画像記録装置に用いられるインクジェット式記録ヘッド(以下、単に記録ヘッドという)、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機EL(Electro Luminescence)ディスプレー、FED(面発光ディスプレー)等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ(生物化学素子)の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等がある。 Examples of the liquid ejecting head that discharges liquid droplets from the nozzle openings by causing pressure fluctuations in the liquid in the pressure generating chamber include, for example, an ink jet recording head (hereinafter referred to as an ink jet recording head) used in an image recording apparatus such as an ink jet recording apparatus (printer). , Simply a recording head), a color material ejecting head used for manufacturing a color filter such as a liquid crystal display, an electrode material ejecting head used for forming electrodes such as an organic EL (Electro Luminescence) display, FED (surface emitting display), bio There are bioorganic ejecting heads used for manufacturing chips (biochemical elements).
例えば、上記の記録ヘッドは、中空状の圧力発生室を封止する弾性板に圧力発生素子を接合し、圧力発生素子を該圧力発生素子の長手方向に振動させることで、圧力発生室に圧力変動を与え、圧力発生室と連通したノズル開口から圧力発生室内の液体を吐出させている(特許文献1参照)。 For example, in the above recording head, a pressure generating element is joined to an elastic plate that seals a hollow pressure generating chamber, and the pressure generating element is vibrated in the longitudinal direction of the pressure generating element, whereby pressure is applied to the pressure generating chamber. The liquid in the pressure generation chamber is discharged from a nozzle opening that is fluctuated and communicated with the pressure generation chamber (see Patent Document 1).
ところで、この種のプリンタは、吐出対象物(記録紙)への画質の向上や、記録(印字)速度の向上が求められている。しかしながら、吐出する液滴の径を大きくすると、広い面積を大きなドットで埋めることができる反面、液滴の粒状感が生じてしまうため、画質が低下する虞があった。一方、吐出する液滴の径を小さくすると、印刷速度を低下させる虞があった。 By the way, this type of printer is required to improve the image quality on the discharge target (recording paper) and the recording (printing) speed. However, when the diameter of the ejected droplets is increased, a large area can be filled with large dots, but on the other hand, the granularity of the droplets is generated, and the image quality may be degraded. On the other hand, if the diameter of the ejected droplets is reduced, the printing speed may be reduced.
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、液体を効率的に吐出対象物に着弾させることが可能な液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドの製造方法、及び、金属板の製造方法を提供することにある。 SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is that it provides a liquid ejecting head capable of efficiently landing a liquid on an ejection target, a method for manufacturing the liquid ejecting head, and a metal. It is in providing the manufacturing method of a board.
上記目的を達成するため、本発明の液体噴射ヘッドは、ノズル開口を複数個列設したノズル列を複数並べて形成したノズル形成部材と、
前記ノズル開口に連通するように設けられた圧力発生室を形成した流路形成基板と、
前記圧力発生室に圧力変動を与える圧力発生素子と、を備えた液体噴射ヘッドであって、
前記ノズル形成部材には、前記圧力発生室毎に複数の前記ノズル開口から構成されるノズル開口群が形成されたことを特徴とする。
In order to achieve the above object, a liquid jet head according to the present invention includes a nozzle forming member formed by arranging a plurality of nozzle rows in which a plurality of nozzle openings are arranged, and
A flow path forming substrate in which a pressure generating chamber provided to communicate with the nozzle opening is formed;
A liquid ejecting head including a pressure generating element that applies pressure fluctuation to the pressure generating chamber,
The nozzle forming member is characterized in that a nozzle opening group including a plurality of nozzle openings is formed for each pressure generating chamber.
上記構成によれば、ノズル形成部材には、圧力発生室毎に複数のノズル開口から構成されるノズル開口群が形成されているので、ノズル開口群を構成する各ノズル開口から液滴を同時に吐出させることができ、吐出対象物への画質を向上させると共に、従来よりも少ない液体量で噴射対象物上の所定の領域を効率良くドットで埋めることができる。これにより、液体の消費を従来よりも抑えることができ、その結果、例えば、水分による記録紙の歪みや記録画像の滲みを抑制することが可能となる。 According to the above configuration, the nozzle forming member is formed with the nozzle opening group composed of a plurality of nozzle openings for each pressure generating chamber, so that droplets are simultaneously ejected from each nozzle opening constituting the nozzle opening group. In addition to improving the image quality of the discharge target, it is possible to efficiently fill a predetermined area on the injection target with dots with a smaller amount of liquid than in the past. As a result, the consumption of liquid can be suppressed as compared with the conventional case, and as a result, for example, distortion of the recording paper due to moisture and bleeding of the recorded image can be suppressed.
上記構成において、前記ノズル開口群を形成する各前記ノズル開口の形状が矩形であることが望ましい。 The said structure WHEREIN: It is desirable for the shape of each said nozzle opening which forms the said nozzle opening group to be a rectangle.
上記構成によれば、ノズル開口が断面矩形状に形成され、丸型のノズル開口に比べて、隣り合うノズル開口同士を密に配置することができるので、ノズル開口の開口面積を稼ぐことができる。その結果、ノズル開口から液滴を吐出させるときの印字領域を広げることができ、液体の吐出性を向上させることができる。 According to the above configuration, the nozzle openings are formed in a rectangular shape in cross section, and the adjacent nozzle openings can be arranged densely as compared with the round nozzle openings, so that the opening area of the nozzle openings can be increased. . As a result, it is possible to widen a printing area when droplets are ejected from the nozzle openings, and it is possible to improve liquid ejection properties.
また、本発明の液体噴射ヘッドの製造方法は、ノズル開口を複数個列設したノズル列を複数並べて形成したノズル形成部材と、
前記ノズル開口に連通するように設けられた圧力発生室を形成した流路形成基板と、
前記圧力発生室に圧力変動を与える圧力発生素子と、を備えた液体噴射ヘッドの製造方法であって、
先端面に溝を形成して当該先端を複数に分割した分割パンチを、前記ノズル形成部材に打ち込んで、各前記圧力発生室に対応する位置に複数の前記ノズル開口を同時に開設して複数の前記ノズル開口から構成されるノズル開口群を形成することを特徴とする。
Further, the method of manufacturing a liquid jet head according to the present invention includes a nozzle forming member formed by arranging a plurality of nozzle rows in which a plurality of nozzle openings are arranged,
A flow path forming substrate in which a pressure generating chamber provided to communicate with the nozzle opening is formed;
A pressure generating element that applies pressure fluctuation to the pressure generating chamber, and a manufacturing method of a liquid ejecting head comprising:
A plurality of the above-mentioned nozzle openings are simultaneously opened at positions corresponding to the respective pressure generation chambers by forming a groove on the tip surface and dividing the tip into a plurality of divided punches into the nozzle forming member. A nozzle opening group composed of nozzle openings is formed.
上記構成によれば、パンチの先端面に溝を形成して当該先端を複数に分割した分割パンチを形成したので、分割パンチを金属板に打ち込むと、金属板に複数の孔を同時に開設することができ、孔を効率良く開設することができる。また、パンチに溝を切削するだけで分割パンチを形成できるため、既存のパンチを加工して使用することができる。 According to the above configuration, a groove is formed on the front end surface of the punch to form a divided punch in which the front end is divided into a plurality of portions. Therefore, when the divided punch is driven into the metal plate, a plurality of holes are simultaneously opened in the metal plate. Can be opened efficiently. In addition, since the divided punch can be formed simply by cutting the groove in the punch, the existing punch can be processed and used.
また、本発明の金属板の製造方法は、金属板にパンチを打ち込んで、孔を開設する金属板の製造方法であって、
先端面に溝を形成して当該先端を複数に分割した分割パンチを、前記金属板に打ち込んで、当該金属板に複数の孔を同時に開設することを特徴とする。
Further, the method for producing a metal plate of the present invention is a method for producing a metal plate in which a punch is punched into the metal plate to open a hole,
A plurality of holes are formed in the metal plate at the same time by driving into the metal plate a split punch in which a groove is formed on the tip surface and the tip is divided into a plurality of portions.
上記構成によれば、先端面に溝を形成して当該先端を複数に分割した分割パンチを金属板に打ち込むので、分割パンチをパンチの先端に多数設けることができ、金属板に多数の孔を同時に開設することができる。 According to the above configuration, a split punch having a groove formed on the tip surface and divided into a plurality of tips is driven into the metal plate, so a large number of split punches can be provided at the tip of the punch, and a large number of holes are formed in the metal plate. It can be opened at the same time.
以下、本発明を実施するための最良の形態を図面に基づいて説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下の説明では、本発明において被加工材である金属板材として、インクジェット式記録装置に搭載されるインクジェット式記録ヘッド(液体噴射ヘッドの一種。以下、単に記録ヘッド1という。)に用いられるノズルプレート(本発明におけるノズル形成部材に相当)を例示する。 Hereinafter, the best mode for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings. In the embodiments described below, various limitations are made as preferred specific examples of the present invention. However, the scope of the present invention is not limited to the following description unless otherwise specified. However, the present invention is not limited to these embodiments. In the following description, the metal plate material that is a workpiece in the present invention is used in an ink jet recording head (a type of liquid ejecting head; hereinafter simply referred to as a recording head 1) mounted on an ink jet recording apparatus. The nozzle plate (equivalent to the nozzle formation member in this invention) is illustrated.
まず、記録ヘッド1の構成について説明する。
図1は、記録ヘッド1の構成を説明する要部の断面図である。この記録ヘッド1は、インク導入針2、フィルタ3、及び導入針ユニット4等からなるフィルタアッセンブリ5と、ヘッドケース6、その内部に収納した振動子ユニット7、及び、流路ユニット8等からなるヘッドユニット9とを備えて概略構成されている。そして、記録ヘッド1の内部には、液体供給源の一種であるインクカートリッジから流路ユニット8のノズル開口10に至るまでの一連のインク流路(液体流路の一種)が形成されている。
First, the configuration of the
FIG. 1 is a cross-sectional view of a main part for explaining the configuration of the
図2は、本実施形態における流路ユニット8の構成を説明する分解斜視図である。この流路ユニット8は、流路形成基板12の一方の面にノズルプレート13を、流路形成基板12の他方の面に振動板11を、それぞれ接合して一体化することにより作製されており、振動板11、流路形成基板12、及びノズルプレート13を順次積層した状態でケースヘッド6の先端面に接合されている。
FIG. 2 is an exploded perspective view illustrating the configuration of the
振動板11は、流路形成基板12とヘッドケース6との間に配置される板材であり、ステンレス鋼等の金属製の支持板21上に弾性フィルム22をラミネート加工した二重構造の複合板である。この振動板11の圧力室17に対応する部分には、エッチングなどによって支持板21を環状に除去することで、圧電振動子18(本発明における圧力発生素子に相当)の自由端の先端面を接合するための島部19が形成されており、この部分はダイヤフラム部として機能する。即ち、この振動板11は、圧電振動子18の作動に応じて島部19の周囲の弾性フィルム22が弾性変形するように構成されている。また、この振動板11は、流路形成基板12の共通インク室15の開口面を封止してコンプライアンス部20としても機能する。このコンプライアンス部20に相当する部分についてはダイヤフラム部と同様にエッチングなどにより支持板21を除去して弾性フィルム22だけにしている。
The
本実施形態における圧電振動子18は、電界方向に直交する方向に変位する所謂縦振動モードの圧電振動子であり、駆動信号が供給されると圧電体及び電極の積層方向とは直交する方向に変位(伸縮)する。また、各圧電振動子18は、流路ユニット8の圧力室17の形成ピッチと同じピッチで切り分けられており、1つの圧力室17(図3参照)に対して1つずつ対応するように構成されている。
The
流路形成基板12は、ノズルプレート13と振動板11との間に配置される部材であり、共通液体室の一種である共通インク室15、インク供給口16、圧力室17(本発明における圧力発生室に相当)ノズル連通口14等のインク流路となる空部が区画形成されている。流路形成基板12は、例えば、シリコンウェハーをエッチング処理することによって作製される。そして、前記した空部は、ノズルプレート13及び振動板11によりそれぞれ開口面が封止される。
The flow
圧力室17は、ノズル開口10の列設方向(ノズル列方向)に対して直交する方向(副走査方向)に細長い室として形成されている。この圧力室17は、流路形成基板12において副走査方向に複数列設されており、圧力室17同士は、区画壁26によって区画されている。そして、この圧力室17は、一端がインク供給口16に連通すると共に、他端はノズル連通口14を通じてノズルプレート13のノズル開口10に連通するように構成されている。また、共通インク室15は、インクカートリッジやサブタンク等のインク供給源からのインクが導入される室である。そして、この共通インク室15に導入されたインクは、インク供給口16を通じて各圧力室17に分配供給される。即ち、流路ユニット8は、図1に示すように、共通インク室15から、インク供給口16、圧力室17、及びノズル開口10に至るまでの一連のインク流路を形成する。
The
上記ノズルプレート13は、副走査方向に、断面四角形状の複数のノズル開口10からなるノズルセット23(本発明におけるノズル開口群に相当)を列状に穿設した金属製の薄いプレートである。本実施形態では、このノズルプレート13をステンレス製の板材によって構成し、ノズルセット23の列(ノズル列)を複数平行に設けている。1つのノズルセット23は、本実施形態では、副走査方向及び主走査方向に隣り合って田字状となるように、4つのノズル開口10の組を配置するように構成されている。これらのノズル開口10は、矩形状に形成され、ノズルセット23を構成するノズル開口10は、対向するノズル開口10の辺同士が互いに平行になるように配置されている。即ち、ノズルセット23を構成するノズル開口10は、互いに密になるように配置されている。このノズルプレート13の作製方法については、後で詳説する。
The
また、本実施形態においては、ノズルプレート13を厚さ方向の途中まで窪ませて、同一ノズルセット23を構成する各ノズル開口10に共通な平面視楕円形状の凹状部24をノズルセット23毎に形成している。そして、この凹状部24の底部に各ノズル開口10をそれぞれ開設している。つまり、凹状部24は、同一ノズルセットを構成する各ノズル開口を含めるように形成されている。この凹状部24の底部における板厚は周囲の板厚に比べて薄いので、この凹状部24の底部にノズル開口10を開設することにより、その際の塑性加工に用いられる後述するパンチ36への負荷が軽減され、パンチ36の座屈等を防止することができる。また、凹状部24は、同一ノズルセット23を構成する各ノズル開口10に共通となっているため、ノズル開口毎に凹状部を形成する構成と比較して加工が容易であり、また、これを形成するためのパンチ36の強度を確保することができる。
Further, in this embodiment, the
図3は、本実施形態における流路形成基板12の構成を説明する要部平面図である。図4は、流路ユニット8の構成を説明する図であり、図3中のIV−IV線断面図である。図3に示すように、本実施形態では、隣り合う4つのノズル開口10によって1つのノズルセット23が構成され、このノズルセット23が副走査方向に配列されている。
FIG. 3 is a plan view of a main part for explaining the configuration of the flow
図4に示すように、振動板11の島部19と振動子ユニット7の圧電振動子18と圧力室17とは、ノズルセット23に対して1対1に設けられている。そして、ノズルセット23は、1つの圧力室17に対して1セットずつ配置されている。このノズルセット23に対応した各圧力室17同士は、図3に示すように、区画壁26によって区画されている。この様に、各圧力室17に対応して複数のノズル開口10の組となるノズルセット23を配置することで、従来の様に、1つのノズル開口10に対して1つずつ圧力室17を設ける必要が無くなる。すなわち、同じ個数のノズル開口10で構成したノズル群においては、圧力発生室とノズル開口を1対1に対応させる従来の構成と比較して、これらのノズル開口10に対応した圧力室17の数を減らすこと(半減)ができる。若しくは、圧電振動子18や圧力室17の個数を増やすことなく、ノズル開口10の個数を増やすこと(倍増)ができる。本実施形態においては、一つのノズル列が720個のノズル開口10で構成されているのに対し、これらのノズル開口10に対応した圧力室17は、その1/4の180個で構成される。これにより、各圧力室17同士を区画する区画壁26を、圧力室17をノズル開口10と同じ数だけ設ける従来構成に比較して、厚くすることができる。この結果、区画壁26の剛性を従来構成の場合よりも高めることができ、隣り合う各圧力室17の吐出動作によって発生する圧力波の影響を防止することができる。このことから、クロストークを防止でき、吐出特性を安定させることができる。
As shown in FIG. 4, the
前記した構成からなる記録ヘッド1は、圧電振動子18の作動により圧力室17内に圧力変動を与えると、インクカートリッジからインク流路を介して圧力室17内に導入したインクをノズル開口10からインク滴として吐出することができ、このインク滴を記録媒体である記録紙等に着弾することにより画像等を記録することができる。
When the
次に、本発明に係るパンチを備えたプレス装置30の塑性加工によりノズルプレート13を作製する方法を、図5〜図7に基づいて説明する。図5は、プレス装置30の構成を説明する要部断面図である。
プレス装置30は、ノズルプレート13の材料である金属板(板材)31(図5中に破線で示す)を載せるダイ32と、ラム(図示せず)の下面に取り付けるパンチプレート33と、このパンチプレート33の下にスプリングやエラストマ等の弾性材(図示せず)を介してパンチプレート33に対して上下動可能な状態で設けた押圧盤35と、パンチプレート33に基端を固定して下向きに設けられたパンチ36と、から概略構成している。ダイ32には、パンチ36の先端面51と対向する位置にその表面から凹状に形成されたバーリング形成穴37が設けられている。押圧盤35は、パンチ36の径よりも大きい貫通ガイド孔42が形成されており、その貫通ガイド孔42内に、パンチ36の途中から先端までの部分を挿通させる。
Next, a method for producing the
The
パンチ36は、図6及び7に示すように、パンチングプレート33(基端)側のパンチ本体45と、パンチ本体45の先端側の端部に連なるテーパ部46と、テーパ部46の先端に配された円柱状の小径ストレート部47と、を備えている。パンチ本体45は、外径が20〜30μmで、パンチ36の打ち込み方向(即ち、パンチの軸方向であり、図5,6中に矢印Kで示す)に沿った円柱形に形成されている。テーパ部46は、矢印K(先端側)に向かうに従って徐々に外径が細くなった略円錐形に形成されている。小径ストレート部47は、矢印Kに沿って延びた円柱状に形成され、図6に示すように、先端側に、分割された複数の分割パンチ50が設けられている。分割パンチ50は、矢印Kに沿って延びた角柱状(1辺が約4μm)をなしており、それぞれの先端面51が平坦になるように形成されている。
As shown in FIGS. 6 and 7, the
それぞれの分割パンチ50は、その先端面51に切削されて設けられた溝48によって隔てられている。溝48は、幅が約4μmで、深さがノズルプレートの板厚とほぼ同じ10〜15μmである。本実施形態の溝48は、パンチ36の軸芯上で互いに交差した一対の溝48a,48bが設けられている。即ち、これらの溝48a,48bによって、分割パンチ50は、4つに分割されている。なお、溝48a,48bの数は2本に限定されずに、1本の場合は、分割パンチが2つ形成され、また、2本よりも多い場合は、分割パンチがさらに細かく分割形成される。さらに、溝48a,48bは、切削によって設けても、放電加工によって形成しても良い。
Each of the divided punches 50 is separated by a
また、分割パンチ50は、4本それぞれが同じ四角形断面となるように成形されている。即ち、分割パンチ50は、外側の側面に、欠截部49が設けられている。欠截部49は、溝48aに対して平行に形成された欠截部49aと、溝48bに対して平行に形成された欠截部49bとが、互いに直交した方向に延びている。
Further, each of the four divided
そして、前記した構成からなるプレス装置30を使用してパンチング加工(工程)を行う場合について説明する。なお、ダイはプレス装置30の図示しないボルスタ等の支持盤上に固定され、パンチングプレート33はラムの下面に固定され、ダイとパンチングプレート33(パンチ36)との相対位置やパンチ36の下死点調整などの型調整はすべて終了していることとする。
And the case where punching process (process) is performed using the
まず、ダイ32の上に金属板31を所定位置に載せ、図5に示すように、バーリング形成穴37とパンチ36の先端面51とが対向した状態でパンチングプレート33を下降させる。すると、押圧盤35の下面が、金属板31の表面に当接して、その後、弾性材の付勢力に抗しながらパンチングプレート33をさらに下方に押し下げると、押圧盤35の貫通ガイド孔42に案内されて、パンチ36が分割パンチ50の長手方向の途中まで矢印Kに沿って金属板31に押し込まれ、これにより金属板31に孔(ノズルセット23を構成するノズル開口10)が形成される。この際に、本実施形態の分割パンチ50は、パンチ36の先端に4つ設けられているために、金属板31には4つのノズル開口10が同時に形成される。こうして、金属板31には、それぞれ分割パンチ50の外形と同形の四角形状のノズル開口10が形成される。なお、分割パンチ50同士は直交した溝48a,48bによって隔てられているため、ノズルセット23を構成するノズル開口10は、それぞれが矩形状に形成されると共に、ノズル開口10の対向する辺同士が互いに平行になるように配置される。
First, the
なお、パンチ36が下死点まで下降して金属板31にノズル開口10を形成すると、その後は上昇に転じる。そして、ラムの上昇に伴ってパンチングプレート33が上昇すると、弾性材の復元により押圧盤35がパンチングプレート33よりも少し遅れて上昇を開始し、金属板31の表面から離隔して上死点まで上昇する。これで打ち抜きの一工程を終了する。
When the
そして、次の工程のために金属板31をフィーダーにより所定のピッチだけ移動する。この移動が終了したならば、前記したパンチング工程を再度繰り返すことにより金属板31に次のノズルセット23を所定のピッチで開設することができ、これらの操作を繰り返すと、金属板31にノズルセット23を所定のピッチで順次開設することができる。こうして、ノズル開口10が開設されたノズルプレート13が作製される。
Then, the
このように、上記パンチ36では、パンチ36の先端面51に溝48a,48bを設けることで、当該先端を複数に分割した分割パンチ50を形成したので、分割パンチ50を金属板31に打ち込むと、金属板31に複数の孔(ノズル開口10)を同時に開設することができ、孔の開設を効率良く行うことができる。また、パンチ36に溝48a,48bを形成するだけで分割パンチ50を形成できるため、既存のパンチを加工して使用することができる。
As described above, in the
また、上記ノズルプレート13は、ノズルセット23を構成するノズル開口10を矩形状に形成し、このノズル開口10のうち対向するノズル開口10の辺同士を互いに平行になるように配置するので、ノズルセット23を構成するノズル開口10同士を密に配置することができ、ノズル開口10からインク滴を吐出させたときの印字領域を広げることができる。
Further, the
また、上記記録ヘッド1では、圧力室17毎にノズルセット23、即ち複数のノズル開口10が配され、これらのノズル開口10からインク滴を同時に吐出させるので、吐出対象物としての記録紙などへの画質を向上させると共に、従来よりも少ないインク量で記録紙上の所定の領域を効率良くドットで埋めることができる。これにより、インクの消費を従来よりも抑えることができ、その結果、例えば、水分による記録紙の歪みや記録画像の滲みを抑制することが可能となる。また、ノズル開口10が断面矩形(四角形)状に形成されるために、丸型のノズル開口に比べて、ノズル開口におけるインクのメニスカス領域(ノズル開口の開口面積)を稼ぐことができ、インクの吐出性を向上させることができる。
Further, in the
ところで、本発明は、上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。
例えば、上記実施形態では、凹状部24に形成された4つのノズル開口10の組をノズルセット23とした構成のものを例示したが、これには限られない。例えば、2つ、3つ、或いは5つ以上のノズル開口10の組をノズルセット23とする構成を採用することもできる。即ち、圧力室17毎に複数のノズル開口10が配されるようなノズルセット23であれば、どのようなノズル開口10の組み合わせでも良い。
By the way, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made based on the description of the scope of claims.
For example, in the above-described embodiment, the configuration in which the set of four
また、上記実施形態では、ノズル開口10を断面四角形状とした構成のものを例示したが、これに限られない。例えば、図8に示すように、ノズル開口10´を断面円形状に形成したノズルセット23´とする構成を採用することもできる。
Moreover, in the said embodiment, although the thing of the structure which made the nozzle opening 10 square cross section was illustrated, it is not restricted to this. For example, as shown in FIG. 8, it is also possible to adopt a configuration in which a nozzle set 23 ′ in which the
以上は、液体噴射装置の一種であるプリンタに装着される記録ヘッド1を例に挙げて説明したが、本発明は他の液体噴射装置に装着した記録ヘッドにも適用することができる。例えば、液晶ディスプレー等のカラーフィルタを製造するディスプレー製造装置,有機EL(Electro Luminescence)ディスプレーやFED(面発光ディスプレー)等の電極を形成する電極製造装置,バイオチップ(生物化学素子)を製造するチップ製造装置等にも適用することができる。
In the above, the
1…記録ヘッド、10…ノズル開口、12…流路形成基板、13…ノズルプレート、17…圧力室、18…圧電振動子、23…ノズルセット、31…金属板、36…パンチ、48a,48b…溝、50…分割パンチ、51…先端面
DESCRIPTION OF
Claims (4)
前記ノズル開口に連通するように設けられた圧力発生室を形成した流路形成基板と、
前記圧力発生室に圧力変動を与える圧力発生素子と、を備えた液体噴射ヘッドであって、
前記ノズル形成部材には、前記圧力発生室毎に複数の前記ノズル開口から構成されるノズル開口群が形成されたことを特徴とする液体噴射ヘッド。 A nozzle forming member formed by arranging a plurality of nozzle rows in which a plurality of nozzle openings are arranged;
A flow path forming substrate in which a pressure generating chamber provided to communicate with the nozzle opening is formed;
A liquid ejecting head including a pressure generating element that applies pressure fluctuation to the pressure generating chamber,
The liquid ejecting head according to claim 1, wherein a nozzle opening group including a plurality of nozzle openings is formed in the nozzle forming member for each pressure generating chamber.
前記ノズル開口に連通するように設けられた圧力発生室を形成した流路形成基板と、
前記圧力発生室に圧力変動を与える圧力発生素子と、を備えた液体噴射ヘッドの製造方法であって、
先端面に溝を形成して当該先端を複数に分割した分割パンチを、前記ノズル形成部材に打ち込んで、各前記圧力発生室に対応する位置に複数の前記ノズル開口を同時に開設して複数の前記ノズル開口から構成されるノズル開口群を形成することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。 A nozzle forming member formed by arranging a plurality of nozzle rows in which a plurality of nozzle openings are arranged;
A flow path forming substrate in which a pressure generating chamber provided to communicate with the nozzle opening is formed;
A pressure generating element that applies pressure fluctuation to the pressure generating chamber, and a manufacturing method of a liquid ejecting head comprising:
A plurality of the above-mentioned nozzle openings are simultaneously opened at positions corresponding to the respective pressure generation chambers by forming a groove on the tip surface and dividing the tip into a plurality of divided punches into the nozzle forming member. A method of manufacturing a liquid ejecting head, comprising forming a nozzle opening group composed of nozzle openings.
先端面に溝を形成して当該先端を複数に分割した分割パンチを、前記金属板に打ち込んで、当該金属板に複数の孔を同時に開設することを特徴とする金属板の製造方法。 A method of manufacturing a metal plate by punching a metal plate and opening a hole,
A method of manufacturing a metal plate, comprising: forming a groove on a front end surface and dividing the front end into a plurality of divided punches into the metal plate to simultaneously open a plurality of holes in the metal plate.
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