JP2009233509A - Foreign matter removing apparatus and foreign matter removing method for sheet-like object - Google Patents

Foreign matter removing apparatus and foreign matter removing method for sheet-like object Download PDF

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茂 田中
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a foreign matter removing apparatus and method, capable of catching the foreign matters stuck to the surface of a traveling sheet-like object in-line without omission without damaging the sheet-like object. <P>SOLUTION: For the foreign matter removing apparatus and method for the sheet-like object, the foreign matter removing apparatus for removing the foreign matters stuck to the surface of the traveling sheet-like object includes an air blowing means for blowing air at the position of passing through on a roll, a hooded suction means installed in the opposite direction of the air blowing means, and a block for guiding air flowing along the surface of the sheet-like object into the hood of the suction means in front of the hood of the suction means. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、シート状物表面に付着している異物をインラインで捕集する異物除去装置および異物除去方法に関する。   The present invention relates to a foreign matter removing apparatus and a foreign matter removing method for collecting foreign matter adhering to the surface of a sheet-like material in-line.

液晶等に用いる光学フィルムや電子機器部品等に用いる高機能性フィルムは、近年ますます異物に対する要求規格が厳しくなりつつあり、これらのシート状物の製造はクリーンルームで行われている。しかし、運転員の作業等によって発生する環境起因の異物や、スリット工程等で発生したシート状物の切り屑が工程内に飛散することがあり、これらの異物がシート状物の製品に付着した状態で巻き取られて混入するといった問題があった。   In recent years, requirements for foreign substances are becoming stricter for optical films used for liquid crystals and the like, and high-performance films used for electronic equipment parts, and the production of these sheet-like materials is performed in a clean room. However, environmentally generated foreign matter generated by the operator's work, etc., and sheet-like chips generated in the slitting process may scatter in the process, and these foreign matters adhere to the sheet-like product. There was a problem of being wound and mixed in the state.

この問題を解決するため、一般に粘着ゴムロールを用いて異物除去が行われており、粘着ゴムロール表面に積層した異物による粘着力の低下に対して、より強力な粘着力の別の粘着ゴムロールと接触させて異物除去能力を維持する方法(例えば、特許文献1参照)が提案されている。しかしながら、この方法は、シート状物と接触する粘着ゴムロールがより強力な粘着ゴムロールと接触することによって、粘着ゴムロール自体の成分等を引き剥がし、シート状物に粘着ゴムロールの破片や成分が付着するといった問題がある。さらに、粘着ゴムロールでは繊維状の異物や数十ミクロンの小さな異物が完全には除去できない問題があった。   In order to solve this problem, foreign matter removal is generally performed using an adhesive rubber roll, and it is brought into contact with another adhesive rubber roll having a stronger adhesive force against the decrease in the adhesive force caused by foreign matter laminated on the surface of the adhesive rubber roll. There has been proposed a method for maintaining the foreign substance removal capability (see, for example, Patent Document 1). However, in this method, the adhesive rubber roll that comes into contact with the sheet-like material comes into contact with the stronger adhesive rubber roll, thereby peeling off the components and the like of the adhesive rubber roll itself, and the fragments and components of the adhesive rubber roll are attached to the sheet-like material. There's a problem. Further, the adhesive rubber roll has a problem that fibrous foreign matters and small foreign matters of several tens of microns cannot be completely removed.

小さな異物を除去するために、エアーナイフ流の超音波のプレッシャーエアーで異物を浮き上げて吸引する除塵方法(例えば、特許文献2参照)が提案されている。しかし、シート状物の付着異物には、その寸法が直径相当で数十ミクロンから1ミリを越えるものがあり、この方法では大きな異物や重い異物を除去でないケースがあり、さらに、シート状物の移動速度が高速になると除塵性能が低下するといった問題があった。
特開2003−181945号公報 特開平9−52291号公報
In order to remove small foreign matters, a dust removal method (for example, see Patent Document 2) in which foreign matters are lifted and sucked by ultrasonic pressure air in an air knife flow has been proposed. However, there are some foreign substances attached to the sheet-like material whose dimensions are equivalent to the diameter of several tens of microns to over 1 mm. In this case, there are cases where large foreign substances or heavy foreign substances are not removed. There was a problem that the dust removal performance deteriorated as the moving speed increased.
JP 2003-181945 A JP-A-9-52291

かかる問題に対し、シート状物の巻取工程より上流側において、シート状物より一定間隔を空けて設置したエアー吹き付け手段によって圧縮エアーをシート状物に吹き付け、エアー吹き付け手段の反対方向に配置された捕集用の吸引装置等によって異物を除去する方法が一般に用いられている。ここで、捕集手段はシート状物と接触することによる疵の発生を防止する必要があり、シート状物から数センチ程度までしか近づけることができない。しかし、シート状物に吹き付けられる圧縮エアーは、指向性が高く、流速が早いため、コアンダ効果によってシート状物表面を沿って流れる性質があり、エアーの流れの一部が捕集用の吸引装置から外れ、異物がシート状物に再付着するといった問題があった。   For such a problem, on the upstream side of the winding process of the sheet-like material, compressed air is blown onto the sheet-like material by the air blowing means installed at a certain interval from the sheet-like material, and is arranged in the direction opposite to the air blowing means. In general, a method of removing foreign matter using a collecting suction device or the like is used. Here, the collecting means needs to prevent the generation of wrinkles due to contact with the sheet-like material, and can only approach the sheet-like material to about several centimeters. However, the compressed air blown onto the sheet-like material has high directivity and high flow velocity, so it has the property of flowing along the sheet-like surface due to the Coanda effect, and a part of the air flow is a collection suction device There is a problem that the foreign matter is reattached to the sheet-like material.

本発明は、従来の技術の上記問題点を解決し、シート状物の表面に付着した異物を、シート状物にダメージを与えずに、長期間にわたり安定して効率的に除去するシート状物の異物除去装置及び異物除去方法を提供することを目的としている。   The present invention solves the above-mentioned problems of the prior art, and removes foreign matter adhering to the surface of the sheet-like material stably and efficiently over a long period without damaging the sheet-like material. It is an object to provide a foreign matter removing apparatus and a foreign matter removing method.

本発明に係わるシート状物の異物除去装置は、上記課題を解決するために、ロール上を通過する位置でエアーを吹き付けるエアー吹付手段と、エアー吹付手段の反対方向に設置したフード付き吸引手段と、吸引手段のフードの手前にはシート状物表面に沿って流れるエアーを吸引手段のフード内へ誘導するためのブロックとを具備することを特徴としている。   In order to solve the above problems, a sheet-like foreign matter removing apparatus according to the present invention includes an air blowing means for blowing air at a position passing over a roll, and a hooded suction means installed in a direction opposite to the air blowing means. A block for guiding the air flowing along the surface of the sheet-like material into the hood of the suction means is provided in front of the hood of the suction means.

上記構成によれば、シート状物がロール上を通過する位置でエアーを吹き付けるため、シート状物がエアーによる振動で帯電したり、シート状物が破断することを防止することができる。従って、支持されていないフリーな状態のシート状物よりも、強力なエアーを吹き付けることが可能となり、その結果、付着した例えば塵埃や微小の異物を確実に除去することが可能となる。ここで、エアーを吹き付ける方向は、シート状物が移動する方向と逆にする方が、異物がエアーで剥離しやすくなる点で好ましい。   According to the above configuration, since air is blown at a position where the sheet-like material passes over the roll, it is possible to prevent the sheet-like material from being charged by vibration caused by air and from being broken. Therefore, it is possible to blow stronger air than a free sheet-like material that is not supported, and as a result, it is possible to reliably remove attached dust, for example, and minute foreign matter. Here, it is preferable that the direction in which the air is blown is opposite to the direction in which the sheet-like object moves, in that foreign matter is easily peeled off by air.

また、エアー吹き付けと反対方向にフード付きの吸引装置を設置することにより、エアーで剥離した異物を吸引手段で捕集するため、異物が工程内に飛散してシート状物に再付着することを抑制することができる。   In addition, by installing a suction device with a hood in the opposite direction to the air blowing, the foreign material separated by air is collected by the suction means, so that the foreign material is scattered in the process and reattached to the sheet. Can be suppressed.

さらに、吸引手段の手前に、例えばコアンダ効果を利用したブロックを設置することにより、コアンダ効果の影響によってシート状物表面に沿って流れるエアーでも吸引手段のフード内へ誘導することができ、異物の捕集を確実に行うことが可能となる。本発明において「ブロック」とは、シート状物表面に沿って流れるエアーを吸引手段のフード内へ誘導するものであれば良く、その形状、構造等が制限されるものではない。   Furthermore, by installing a block using the Coanda effect, for example, in front of the suction means, air flowing along the surface of the sheet-like material due to the Coanda effect can be guided into the hood of the suction means. It is possible to reliably collect. In the present invention, the “block” is not limited as long as it guides the air flowing along the surface of the sheet-like material into the hood of the suction means.

本発明に係わるシート状物の異物除去装置において、エアー吹付手段と吸引手段は、シート状物の表面側または裏面側に対して少なくとも一方の面に設置し、ロール上のシート状物に向かって直角よりも小さい角度でエアーをシート状物表面に吹き付け、エアーが反射する方向をフードで覆うようにした吸引手段を備えることを特徴とする。   In the sheet foreign matter removing apparatus according to the present invention, the air blowing means and the suction means are installed on at least one surface with respect to the front surface side or the back surface side of the sheet material, toward the sheet material on the roll. A suction means is provided that blows air onto the surface of the sheet-like material at an angle smaller than a right angle and covers the direction in which the air is reflected with a hood.

上記構成によれば、エアー吹付手段と吸引手段は、シート状物の表面側または裏面側に対して少なくとも一方の面に設置し、両方の面に付着異物がある工程では表面側と裏面側の両方にエアー吹付手段と吸引手段を設置することにより、確実に付着異物が除去可能となる。また、エアー吹き付けと反対の方向を覆うように吸引手段を設置するため、吹き付けたエアーによって飛散した異物がシート状物に再び付着することを防止することができる。   According to the above configuration, the air blowing means and the suction means are installed on at least one surface with respect to the front surface side or the back surface side of the sheet-like material, and in the process where there is a foreign object on both surfaces, By installing the air blowing means and the suction means on both, adhered foreign matters can be reliably removed. Further, since the suction means is installed so as to cover the direction opposite to the air blowing, it is possible to prevent the foreign matters scattered by the blown air from adhering to the sheet-like material again.

さらに、エアーの吹き付けをロール上のシート状物に向かって直角よりも小さい角度にすることにより、異物の飛散方向を調整できるうえ、金属粉などの堅い異物が付着している場合でも、エアーの圧力によってシート状物に疵を付けるリスクがない。   Furthermore, by setting the air blowing to an angle smaller than the right angle toward the sheet on the roll, the scattering direction of the foreign matter can be adjusted, and even when hard foreign matter such as metal powder is attached, There is no risk of wrinkling the sheet by pressure.

本発明に係わるシート状物の異物除去装置において、吸引手段のフードの手前に設置したブロックの好ましい実施態様は、円柱状の構造であることを特徴とする。   In the foreign object removing apparatus for sheet-like material according to the present invention, a preferred embodiment of the block installed in front of the hood of the suction means is a columnar structure.

上記構成によれば、円柱状にすることで、曲面でのコアンダ効果が充分に発揮され、吸引手段のフード内にエアーを効果的に誘導でき、異物を的確に吸引手段で捕集することが可能となる。   According to the above configuration, the cylindrical shape can sufficiently exert the Coanda effect on the curved surface, can effectively guide air into the hood of the suction means, and can accurately collect foreign matters with the suction means. It becomes possible.

より好ましくは、ブロックを表面が滑らかな金属製の材質とすることでコアンダ効果の作用が高まり、吸引手段のフード内にエアーをより効果的に誘導できる点で優れている。   More preferably, the block is made of a metal material having a smooth surface, which is superior in that the effect of the Coanda effect is enhanced and air can be more effectively guided into the hood of the suction means.

本発明に係わるシート状物の異物除去装置において、吸引手段のフードの手前に設置したブロックは、好ましくはシート状物の走行方向に対して回転する構造であることを特徴とする。   In the foreign object removing apparatus for sheet-like material according to the present invention, the block installed in front of the hood of the suction means is preferably structured to rotate with respect to the traveling direction of the sheet-like material.

上記構成によれば、ブロックが回転する構造とすることで、吹き付けたエアーによってブロックの表面に付着した異物も吸引手段のフード内へ誘導して除去することが可能となる。   According to the said structure, it becomes possible to guide and remove the foreign material adhering to the surface of the block by the blown air into the hood of the suction means by adopting a structure in which the block rotates.

好ましくは、ブロックに金属製のロールを用いて、エアーの流れる向きの反対側に回転させることで、ロールの表面に付着した異物を的確に除去できる点で優れている。   Preferably, using a metal roll for the block and rotating it to the opposite side of the air flow direction, it is excellent in that the foreign matter adhering to the surface of the roll can be accurately removed.

より好ましくは、ブロックに金属製のロールを用いて、エアーの流れる向きの反対側に回転させ、シート状物の走行速度とロールの周速を同等にする機構とすることにより、シート状物が振動等によってロールと接触した場合でも、シート状物に疵をつけるリスクがない点で優れている。   More preferably, by using a metal roll for the block and rotating it to the opposite side of the air flow direction, the sheet-like material is made to have the same traveling speed of the sheet-like material and the peripheral speed of the roll. Even when it comes into contact with the roll by vibration or the like, it is excellent in that there is no risk of wrinkling the sheet-like material.

本発明に係わるシート状物の異物除去方法は、走行するシート状物表面に付着した例えば塵埃や微小の異物の除去に関して、ロール上を通過する位置でエアーを吹き付け、吹き付けエアーの反対方向から吸引し、吸引手段の手前には、例えばコアンダ効果を利用したブロックを設置してシート状物表面に沿って流れるエアーを吸引手段のフード内へ誘導することを特徴とする。   The method for removing foreign matter from a sheet-like material according to the present invention relates to the removal of, for example, dust or minute foreign matter adhering to the surface of a traveling sheet-like material by blowing air at a position passing over a roll and sucking from the opposite direction of the blowing air. In front of the suction means, for example, a block using the Coanda effect is installed to guide the air flowing along the surface of the sheet-like material into the hood of the suction means.

上記方法によれば、シート状物がロール上を通過する位置でエアーを吹き付けるため、シート状物がエアーによって振動して帯電したり、シート状物が破断することを防止することができる。従って、ロールで支持されていないフリーな状態のシート状物よりも、強力なエアーを吹き付けることが可能となり、その結果、付着した異物を確実に除去できるという効果を奏する。ここで、エアーを吹き付ける方向は、シート状物が移動する方向と逆にする方が、異物がエアーで剥離しやすくなる点で好ましい。   According to the above method, since air is blown at a position where the sheet-like material passes over the roll, it is possible to prevent the sheet-like material from being vibrated by the air and being charged, or from being broken. Therefore, it is possible to blow stronger air than a free sheet-like material that is not supported by the roll, and as a result, the adhering foreign matter can be reliably removed. Here, it is preferable that the direction in which the air is blown is opposite to the direction in which the sheet-like object moves, in that foreign matter is easily peeled off by air.

また、エアー吹き付けと反対の方向から吸引するため、吹き付けたエアーによって異物が巻取機側に飛散してシート状物に再び付着すること抑制できる点で好ましい。   Further, since suction is performed from the opposite direction to the air blowing, it is preferable in that foreign matter can be prevented from being scattered on the winder side by the blown air and reattaching to the sheet.

さらに、吸引手段の手前に例えばコアンダ効果を利用したブロックを設置することにより、コアンダ効果の影響によってシート状物表面に沿って流れるエアーでも吸引手段のフード内へ誘導することができ、異物の捕集を確実に行う点で効果を奏する。   Furthermore, by installing a block using the Coanda effect, for example, in front of the suction means, air flowing along the surface of the sheet-like object due to the Coanda effect can be guided into the hood of the suction means, and foreign matter can be captured. It is effective in that the collection is performed reliably.

本発明に係わるシート状物の異物除去方法は、好ましくはシート状物の表面側または裏面側に対して少なくとも一方の面にエアーの吹き付けと吸引を行い、ロール上のシート状物に向かって直角よりも小さい角度でエアーをシート状物表面に吹き付け、エアーが反射する方向、望ましくはエアーが反射する方向の中心をフードで覆うように吸引することを特徴とする。   The foreign matter removing method for a sheet-like material according to the present invention preferably performs air blowing and suction on at least one surface with respect to the front surface side or the back surface side of the sheet-like material, and is perpendicular to the sheet material on the roll. The air is blown onto the surface of the sheet-like object at a smaller angle, and suction is performed so that the center of the direction in which the air is reflected, preferably the direction in which the air is reflected, is covered with a hood.

上記方法によれば、エアー吹き付けと吸引は、シート状物の表面側または裏面側に対して少なくとも一方の面に実施し、両方の面に付着異物がある工程では表面側と裏面側の両方にエアー吹き付けと吸引を実施することにより、確実に付着異物が除去可能となる。また、エアー吹き付けと反対の方向を覆うように吸引するため、吹き付けたエアーによって飛散した異物がシート状物に再び付着することを防止できるという効果を奏する。   According to the above method, air blowing and suction are performed on at least one surface with respect to the front surface side or the back surface side of the sheet-like material, and in both the front surface side and the back surface side in the process where there is a foreign substance on both surfaces. By performing air blowing and suction, the adhered foreign matter can be reliably removed. Further, since the suction is performed so as to cover the direction opposite to the air blowing, there is an effect that the foreign matter scattered by the blown air can be prevented from adhering to the sheet-like material again.

さらに、エアーの吹き付けをロール上のシート状物に向かって直角よりも小さい角度にすることにより、異物の飛散方向を調整できるうえ、金属粉などの堅い異物が付着している場合でも、エアーの圧力によってシート状物に疵を付けるリスクがない。   Furthermore, by setting the air blowing to an angle smaller than the right angle toward the sheet on the roll, the scattering direction of the foreign matter can be adjusted, and even when hard foreign matter such as metal powder is attached, There is no risk of wrinkling the sheet by pressure.

本発明に係わるシート状物の異物除去方法において、吸引手段のフードの手前に設置したブロックの好ましい実施態様は、円柱状であることを特徴とする。   In the sheet foreign matter removing method according to the present invention, a preferred embodiment of the block installed in front of the hood of the suction means is a columnar shape.

上記方法によれば、円柱状にすることで、曲面でのコアンダ効果が充分に発揮され、吸引手段のフード内にエアーを効果的に誘導でき、異物を的確に捕集することが可能となる。   According to the above method, the cylindrical shape sufficiently exhibits the Coanda effect on the curved surface, can effectively guide air into the hood of the suction means, and can accurately collect foreign matters. .

より好ましくは、ブロックを表面が滑らかな金属製の材質とすることでコアンダ効果の作用が高まり、吸引手段のフード内にエアーをより効果的に誘導できる点で優れている。   More preferably, the block is made of a metal material having a smooth surface, which is superior in that the effect of the Coanda effect is enhanced and air can be more effectively guided into the hood of the suction means.

本発明に係わるシート状物の異物除去方法において、好ましくは吸引手段のフードの手前に設置したブロックは、シート状物の走行方向に対して回転可能にすることを特徴とする。   In the foreign matter removing method for a sheet-like material according to the present invention, the block installed in front of the hood of the suction means is preferably rotatable with respect to the traveling direction of the sheet-like material.

上記方法によれば、ブロックが回転することで、吹き付けたエアーによってブロックの表面に付着した異物も吸引フード内へ誘導して除去することが可能となる。   According to the above method, the rotation of the block allows the foreign matter attached to the surface of the block by the blown air to be guided and removed into the suction hood.

好ましくは、ブロックを金属製ロールとして、エアーの流れる向きの反対側に回転させることで、ロールの表面に付着した異物を的確に除去できる点で優れている。   Preferably, the block is made of a metal roll, which is excellent in that the foreign matter adhering to the surface of the roll can be accurately removed by rotating the block to the opposite side of the air flow direction.

より好ましくは、ブロックを金属製ロールとして、エアーの流れる向きの反対側に回転させ、シート状物の走行速度とロールの周速を同等に制御することにより、シート状物が振動等によってロールと接触した場合でも、シート状物に疵をつけるリスクがない点で優れている。   More preferably, the block is made of a metal roll, rotated in the opposite direction of the air flow direction, and the sheet speed is controlled by the vibration and the like by controlling the traveling speed of the sheet and the peripheral speed of the roll equally. Even in contact, it is excellent in that there is no risk of wrinkling the sheet-like material.

本発明によれば、シート状物の表面に付着した異物に対して、異物の種類や形状や寸法に依存せず、シート状物にダメージを与えずに、長期間にわたり安定して効率的に除去できるという効果を奏する。   According to the present invention, the foreign matter adhering to the surface of the sheet-like material is not dependent on the type, shape or size of the foreign matter, and is stable and efficient over a long period without damaging the sheet-like material. There is an effect that it can be removed.

以下に、本発明に係わるシート状物の異物除去装置とその方法に関して図1〜図2に基づいて説明する。尚、以下の実施形態は、本発明を具体化した一例であって、本発明の技術的範囲を限定する性格のものではない。   Below, the foreign material removal apparatus and method of the sheet-like material concerning this invention are demonstrated based on FIGS. In addition, the following embodiment is an example which actualized this invention, Comprising: The thing of the character which limits the technical scope of this invention is not.

図1は、本発明の実施の形態に係るシート状物の異物除去装置の概略構成を示す模式図である。   FIG. 1 is a schematic diagram showing a schematic configuration of a foreign object removing apparatus for sheet-like material according to an embodiment of the present invention.

図1において、移動するシート状物2がロール3を通過する際に、ロール3上でシート状物2に対して直角よりも小さい角度θで風向を調整したエアージェットノズル1を設置し、エアー吹き付けの反対方向に図示していない吸引装置のフード5を設置し、吸引フード5の手前にはシート状物表面に沿って流れるエアーを吸引フード内へ誘導するブロック6を設置する構成としている。シート状物2の表面に付着した異物4が連続して吹き付けるエアーによって吸引フード5の方向へ吹き飛ばされる際、エアー誘導ブロック6によってシート状物2の表面に沿って流れるエアーもコアンダ効果によってエアー誘導ブロック6の表面に沿って流れ、吸引フード5へ誘導され、エアーで飛散した異物を的確に吸引装置で捕集することが可能となる。   In FIG. 1, when a moving sheet-like object 2 passes through a roll 3, an air jet nozzle 1 is installed on the roll 3 and the air direction is adjusted at an angle θ smaller than a right angle with respect to the sheet-like object 2. A hood 5 of a suction device (not shown) is installed in a direction opposite to the spraying, and a block 6 that guides the air flowing along the surface of the sheet-like material into the suction hood is installed in front of the suction hood 5. When the foreign matter 4 adhering to the surface of the sheet-like material 2 is blown away in the direction of the suction hood 5 by the air continuously blown, the air flowing along the surface of the sheet-like material 2 by the air induction block 6 is also induced by the Coanda effect. A foreign substance that flows along the surface of the block 6 and is guided to the suction hood 5 and scattered by the air can be accurately collected by the suction device.

エアージェットノズル1は、図示していない除湿装置やエアーフィルタを通したエアー源に接続し、ノズル先端からエアーを噴出する装置であり、例えば、いけうち製フラット型エアーノズル(TAIFU-Jet型)が使用できる。   The air jet nozzle 1 is a device that is connected to an air source through a dehumidifying device or an air filter (not shown) and ejects air from the tip of the nozzle. For example, an Ikeuchi flat type air nozzle (TAIFU-Jet type) is used. Can be used.

エアージェットノズル1に供給するエアー源の圧力は、エアーを吹き付けたときのシート状物の振動や皺の状態、および異物4の吹き飛ばしが可能な状態から設定する必要があり、好ましくは0.1MPa〜0.7MPaに設定し、より好ましくは0.3MPa〜0.5MPaに設定する。   The pressure of the air source supplied to the air jet nozzle 1 needs to be set from the vibration of the sheet-like material when air is blown, the state of wrinkles, and the state in which foreign matter 4 can be blown off, preferably 0.1 MPa. It sets to -0.7MPa, More preferably, it sets to 0.3MPa-0.5MPa.

また、エアージェットノズル1は、シート状物2の幅方向全域にエアーを吹き付けるように配置することが好ましく、フラット型エアーノズルをシート状物2の走行方向前後に少し位置をずらして交互に設置することが好ましい。   In addition, the air jet nozzle 1 is preferably arranged so as to blow air over the entire width direction of the sheet-like material 2, and the flat type air nozzles are alternately installed with the position slightly shifted before and after the traveling direction of the sheet-like material 2. It is preferable to do.

エアーの吹き付け角度θ、すなわちエアージェットノズル1からエアーが吹き出す延長線とロール3上でのシート状物2の接線となす角度は、直角よりも小さい角度θに設定し、角度θを20°〜60°の範囲に設定することが好ましい。直角に近い角度でエアーを吹き付けると、金属粉などの堅い異物が付着している場合、エアーの圧力によってシート状物2に疵を付ける場合がある。   The air blowing angle θ, that is, the angle formed between the extended line of air blowing from the air jet nozzle 1 and the tangent of the sheet-like object 2 on the roll 3 is set to an angle θ smaller than a right angle, and the angle θ is 20 ° to It is preferable to set in the range of 60 °. When air is blown at an angle close to a right angle, the sheet-like material 2 may be wrinkled by air pressure if hard foreign matter such as metal powder adheres.

エアー流速は距離に逆比例して減衰するため、エアージェットノズル1の先端とシート状物2との距離は、シート状物2と接触しない程度に近づけるほど有利であり、50mm以下とすることが好ましい。   Since the air flow velocity attenuates in inverse proportion to the distance, the distance between the tip of the air jet nozzle 1 and the sheet-like object 2 is more advantageous as it is close to the extent that it does not contact the sheet-like object 2 and should be 50 mm or less. preferable.

シート状物2の電気的絶縁性が高い場合は、シート状物2が移動中に帯電し、静電気引力によって異物がエアーで吹き飛ばされない場合があり、エアージェットノズル1を設置した上流側に図示していない除電装置を設置し、シート状物2の帯電電圧を±0.5kV以下に抑制することが好ましい。除電手段は、シート状物2の少なくとも片面に、除電バーやイオナイザーエアー装置等を設置する。   If the sheet-like material 2 has high electrical insulation, the sheet-like material 2 may be charged while moving, and foreign matter may not be blown away by air due to electrostatic attraction, and is shown on the upstream side where the air jet nozzle 1 is installed. It is preferable to install a static eliminating device that is not present and suppress the charging voltage of the sheet-like material 2 to ± 0.5 kV or less. The static elimination means is provided with a static elimination bar, an ionizer air device or the like on at least one side of the sheet-like material 2.

また、図1に示したシート状物2の反対面にも、上述と同様の異物除去装置をシート状物2の走行方向の前または後のロールに設置することが好ましい。   Moreover, it is preferable to install the foreign material removal apparatus similar to the above on the opposite surface of the sheet-like object 2 shown in FIG.

また、吸引手段のフードの手前に設置したエアー誘導ブロック6は、円柱状にすることで曲面でのコアンダ効果が充分に発揮され、吸引フード5にエアーを効果的に誘導でき、異物を的確に捕集する点で好ましい。   Further, the air guide block 6 installed in front of the hood of the suction means is sufficiently cylindrical to exhibit the Coanda effect on the curved surface, so that air can be effectively guided to the suction hood 5 and foreign matters can be accurately detected. It is preferable in terms of collection.

より好ましくは、ブロック6を表面が滑らかな金属製の材質とすることでコアンダ効果の作用が高まり、吸引フード5にエアーをより効果的に誘導できる点で優れている。   More preferably, the block 6 is made of a metal material having a smooth surface, which enhances the action of the Coanda effect and is superior in that air can be more effectively guided to the suction hood 5.

また、吸引フード5の手前に設置したエアー誘導ブロック6は、シート状物2の走行方向に回転する構造であることを特徴とする。   The air induction block 6 installed in front of the suction hood 5 has a structure that rotates in the traveling direction of the sheet-like object 2.

また、吸引フード5の手前に設置したエアー誘導ブロック6は、ブロックが回転する構造とすることで、吹き付けたエアーによってエアー誘導ブロック6の表面に付着した異物も吸引フード5へ誘導して除去することが可能となる。   Further, the air guide block 6 installed in front of the suction hood 5 has a structure in which the block rotates, so that foreign matter adhering to the surface of the air guide block 6 by the blown air is also guided to the suction hood 5 and removed. It becomes possible.

好ましくは、エアー誘導ブロック6として金属製ロールを用い、エアーの流れる向きの反対側に回転させることで、金属製ロールの表面に付着した異物を的確に除去する点で優れている。   Preferably, a metal roll is used as the air guide block 6 and is excellent in that the foreign matter adhering to the surface of the metal roll is accurately removed by rotating the roll to the opposite side of the air flow direction.

より好ましくは、エアー誘導ブロック6として金属製ロールを用い、エアーの流れる向きの反対側に回転させ、シート状物2の走行速度とロールの周速を同等にする機構とすることにより、シート状物2が振動等によって金属製ロールと接触した場合でも、シート状物2に疵をつけるリスクがない点で優れている。   More preferably, a metal roll is used as the air guide block 6 and rotated to the opposite side of the air flow direction to make the traveling speed of the sheet-like object 2 equal to the peripheral speed of the roll. Even when the object 2 comes into contact with the metal roll by vibration or the like, the sheet 2 is excellent in that there is no risk of wrinkling.

このように、シート状物2の表面に付着した塵埃や微小の異物を除去する方法として、シート状物2の巻取前のロール3上でシート状物2に対して直角よりも小さい角度θで風向を調整してエアーを吹き付け、その反対方向から、エアー誘導ブロック6を介して効率良く異物4を吸引フード5内へ吸引して捕集することにより、確度の高い異物の除去が可能となる。   As described above, as a method of removing dust and minute foreign matters attached to the surface of the sheet-like object 2, an angle θ smaller than a right angle with respect to the sheet-like object 2 on the roll 3 before winding the sheet-like object 2. It is possible to remove foreign matter with high accuracy by adjusting the wind direction and blowing air, and efficiently sucking and collecting the foreign matter 4 into the suction hood 5 through the air guide block 6 from the opposite direction. Become.

以下、実施例に基づいて本発明の実施態様を説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described based on examples.

(実施例1)
走行するイミド系樹脂フィルムの工程において、厚みが25μmのフィルムを対象とし、図1に示した配置でエアージェットノズルとエアー誘導ブロックと吸引フードをフィルム幅方向の一部に設置し、その下流側にある異物検査装置によってフィルム表面上の異物の除去性能を評価した。
Example 1
In the process of running imide-based resin film, for a film with a thickness of 25 μm, an air jet nozzle, an air guide block, and a suction hood are installed in a part of the film width direction with the arrangement shown in FIG. The foreign substance removal performance on the film surface was evaluated by the foreign substance inspection apparatus in FIG.

評価対象の異物は、寸法が100μm〜2000μmのプラスチック製粉末や繊維を、異物除去装置の上流側で作為的にフィルムに付着させた。   As the foreign matter to be evaluated, plastic powder or fiber having a size of 100 μm to 2000 μm was intentionally attached to the film on the upstream side of the foreign matter removing apparatus.

エアージェットノズルは、いけうち製フラット型エアーノズル(TAIFU-Jet型)を用い、エアー元圧力を0.4MPaに設定し、ロール上のフィルムに対して、エアージェットノズル先端とフィルムとの距離を30mmとし、エアーの吹き付け角度をフィルムの接線方向の約30°にし、エアーを吹き付けた。エアー吹き付けの上流側において、フィルムのエアー吹き付けと反対面に除電バーを設置し、フィルムの帯電が±1kv以下になるように調節した。   The air jet nozzle is a flat air nozzle made by Ikeuchi (TAIFU-Jet type), the air source pressure is set to 0.4 MPa, and the distance between the air jet nozzle tip and the film is 30 mm with respect to the film on the roll. The air was blown at an angle of about 30 ° in the tangential direction of the film, and the air was blown. On the upstream side of the air blowing, a neutralizing bar was installed on the opposite side of the film to the air blowing, and the film was adjusted to have a charge of ± 1 kv or less.

吸引フードは、エアー吹き付けと反対方向に設置し、吸引フードの手前にエアー誘導ブロックとしてφ50mmの金属製ロールを設置した。このとき、金属製ロールは吹き付けたエアーが吸引フード内に流れ込むように配置を調整し、フィルム表面に沿って流れるエアーもフード内に誘導できていることを風速計で確認した。   The suction hood was installed in the opposite direction to air blowing, and a φ50 mm metal roll was installed as an air induction block in front of the suction hood. At this time, the arrangement of the metal roll was adjusted so that the blown air flowed into the suction hood, and it was confirmed with an anemometer that the air flowing along the film surface could be guided into the hood.

上述の条件で、下流側にある異物検査装置で評価した結果、異物除去装置の上流側で作為的に付着させた寸法が100μm〜2000μmの異物が、下流側にある異物検査装置では検出されず、異物が確実に除去できたことを確認した。   As a result of the evaluation by the foreign substance inspection apparatus on the downstream side under the above-mentioned conditions, the foreign substance having a size of 100 μm to 2000 μm which is artificially attached on the upstream side of the foreign substance removal apparatus is not detected by the foreign substance inspection apparatus on the downstream side. It was confirmed that the foreign matter could be removed reliably.

(比較例1)
吸引フード手前にエアー誘導ブロックの金属製ロールを設置しないこと以外は実施例1と同条件にして評価した。
(Comparative Example 1)
Evaluation was performed under the same conditions as in Example 1 except that a metal roll of an air induction block was not installed in front of the suction hood.

上述の条件で、下流側にある異物検査装置で評価した結果、異物除去装置の上流側で作為的に付着させた寸法が100μm〜2000μmの異物が、下流側にある異物検査装置では約4割検出され、エアー誘導ブロックを設置しない場合には約4割の異物が捕集されない結果となることを確認した。   As a result of the evaluation with the foreign substance inspection apparatus on the downstream side under the above-mentioned conditions, the foreign substance having a size of 100 μm to 2000 μm which is artificially attached on the upstream side of the foreign substance removal apparatus is about 40% in the foreign substance inspection apparatus on the downstream side. As a result, it was confirmed that about 40% of foreign matter was not collected when no air guide block was installed.

本発明の実施の形態に係る異物除去方法とその装置の一例を示す図。The figure which shows an example of the foreign material removal method which concerns on embodiment of this invention, and its apparatus. 比較例1の実施の形態に係る異物除去方法とその装置の一例を示す図。The figure which shows an example of the foreign material removal method which concerns on embodiment of the comparative example 1, and its apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

1 エアージェットノズル
2 シート状物
3 ロール
4 付着異物
5 吸引フード
6 エアー誘導ブロック
A シート状物の走行方向
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Air jet nozzle 2 Sheet-like thing 3 Roll 4 Adhering foreign material 5 Suction hood 6 Air induction block A Travel direction of sheet-like thing

Claims (8)

走行するシート状物表面に付着した異物を除去する異物除去装置において、ロール上を通過する位置でエアーを吹き付けるエアー吹付手段と、該エアー吹付手段の反対方向に設置したフード付き吸引手段と、該吸引手段のフードの手前にはシート状物表面に沿って流れるエアーを吸引手段のフード内へ誘導するためのブロックとを、具備することを特徴とするシート状物の異物除去装置。   In the foreign matter removing apparatus for removing foreign matter adhered to the surface of the traveling sheet, the air blowing means for blowing air at a position passing over the roll, the hooded suction means installed in the opposite direction of the air blowing means, An apparatus for removing foreign matter from a sheet-like material, comprising a block for guiding air flowing along the surface of the sheet-like material into the hood of the suction device in front of the hood of the suction device. 前記異物除去装置において、エアー吹付手段と吸引手段は、シート状物の表面側または裏面側に対して少なくとも一方の面に設置し、ロール上のシート状物に向かって直角よりも小さい角度でエアーをシート状物表面に吹き付け、エアーが反射する方向をフードで覆うようにした吸引手段を備えることを特徴とする請求項1記載の異物除去装置。   In the foreign matter removing apparatus, the air blowing means and the suction means are installed on at least one surface with respect to the front surface side or the back surface side of the sheet-like material, and air at an angle smaller than a right angle toward the sheet-like material on the roll. 2. A foreign matter removing apparatus according to claim 1, further comprising suction means for spraying the surface of the sheet-like material and covering the air reflecting direction with a hood. 前記異物除去装置の吸引手段のフードの手前に設置したブロックは、円柱状の構造であることを特徴とする請求項1記載の異物除去装置。   The foreign matter removing apparatus according to claim 1, wherein the block installed in front of the hood of the suction means of the foreign matter removing apparatus has a cylindrical structure. 前記異物除去装置の吸引手段のフードの手前に設置したブロックは、シート状物の走行方向に対して回転する構造であることを特徴とする請求項1記載の異物除去装置。   The foreign matter removing apparatus according to claim 1, wherein the block installed in front of the hood of the suction means of the foreign matter removing apparatus has a structure that rotates with respect to the traveling direction of the sheet-like material. 走行するシート状物表面に付着した異物を除去する異物除去方法において、ロール上を通過する位置でエアーを吹き付け、吹き付けエアーの反対方向から吸引し、吸引手段のフードの手前にはブロックを設置してシート状物表面に沿って流れるエアーを吸引手段のフード内へ誘導することを特徴とするシート状物の異物除去方法。   In the foreign matter removal method for removing foreign matter attached to the surface of a traveling sheet, air is blown at a position that passes over the roll, sucked from the opposite direction of the blown air, and a block is installed in front of the hood of the suction means. A method of removing foreign matter from a sheet-like material, wherein air flowing along the surface of the sheet-like material is guided into a hood of a suction means. 前記異物除去方法において、シート状物の表面側または裏面側に対して少なくとも一方の面にエアーの吹き付けと吸引を行い、ロール上のシート状物に向かって直角よりも小さい角度でエアーをシート状物表面に吹き付け、エアーが反射する方向をフードで覆うように吸引することを特徴とする請求項5記載の異物除去方法。   In the foreign matter removing method, air is blown and sucked on at least one surface with respect to the front surface side or the back surface side of the sheet material, and the air is sheet-shaped at an angle smaller than a right angle toward the sheet material on the roll. 6. The foreign matter removing method according to claim 5, wherein the foreign matter is sprayed on the surface of the object so as to cover the direction in which the air is reflected with a hood. 前記付着異物除去方法の吸引手段のフードの手前に設置したブロックは、円柱状であることを特徴とする請求項5記載の異物除去方法。   6. The foreign matter removing method according to claim 5, wherein the block installed in front of the hood of the suction means of the attached foreign matter removing method has a cylindrical shape. 前記付着異物除去方法の吸引手段のフードの手前に設置したブロックは、シート状物の走行方向に対して回転可能にすることを特徴とする請求項5記載の異物除去方法。   6. The foreign matter removing method according to claim 5, wherein the block installed in front of the hood of the suction means of the attached foreign matter removing method is rotatable with respect to the traveling direction of the sheet-like material.
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