JP2009226632A - Method of manufacturing ultra-thin polyimide film - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of manufacturing an ultra-thin polyimide film of about ≤10 μm by using a simple apparatus and a process suitable for continuous production. <P>SOLUTION: The method of manufacturing the ultra-thin polyimide film characteristically comprises: a process (I) of applying a polyimide resin precursor solution containing a releasing agent on a base material; a process (II) of drying the applied polyimide resin precursor solution, a process (III) of thermally curing a polyimide resin precursor solution layer to form the polyimide film; and a process (IV) of exfoliating the polyimide film from the base material. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、極薄のポリイミドフィルムの製造方法に関するものである。   The present invention relates to a method for producing an extremely thin polyimide film.

電子機器やその周辺機器の小型化や高密度化に対応して、その部品等に使用される材料として、耐熱性とともに、高強度、高弾性率を有する極薄のフィルムへの要求が急増している。従来、ポリイミドフィルムを製造する方法としては、溶媒に溶解させたポリイミド樹脂前駆体を金属製エンドレスベルトなどの支持体の上に塗布し、乾燥、剥離を経て、必要に応じて縦横に延伸し、熱固定する方法が知られている。   In response to the downsizing and higher density of electronic devices and peripheral devices, the demand for ultra-thin films that have high strength and high elastic modulus as well as heat resistance is rapidly increasing as materials used for parts and the like. ing. Conventionally, as a method for producing a polyimide film, a polyimide resin precursor dissolved in a solvent is applied onto a support such as a metal endless belt, dried, peeled, and stretched vertically and horizontally as necessary. A method of heat setting is known.

たとえば、特許文献1、2には、芳香族ポリアミック酸溶液にリン酸エステルやカルボン酸を特定量含有させることにより、その溶液をエンドレスベルトのような基体上に流延、加熱後、基体から自己支持性フィルムを剥離し、さらに加熱してイミド化する方法が開示されている。   For example, Patent Documents 1 and 2 disclose that an aromatic polyamic acid solution contains a specific amount of phosphoric acid ester or carboxylic acid so that the solution is cast on a substrate such as an endless belt, heated, and then self-treated from the substrate. A method is disclosed in which the support film is peeled and further heated to imidize.

しかし、このような方法で厚みが10μm以下程度の極薄のポリイミドフィルムを製造する場合、エンドレスベルトからのポリイミド前駆体フィルムの剥離や、その後の延伸、熱処理におけるクリップやピンでのフィルムの把持などの工程においては、たとえフィルムが自己支持性を有していたとしても、その薄さゆえに破断が起こりやすいという問題がある。   However, when an extremely thin polyimide film having a thickness of about 10 μm or less is manufactured by such a method, the polyimide precursor film is peeled off from the endless belt, the film is held by clips or pins in the subsequent stretching and heat treatment, etc. In this process, even if the film has a self-supporting property, there is a problem that the film tends to break due to its thinness.

特許文献3においては、6μm以下の極薄い耐熱性フィルムの製造方法において、自己支持性フィルムのエンドレスベルトからの剥離点を一定にすることで、厚みに影響を及ぼす剥離張力が軽減できると記載されている。   In Patent Document 3, it is described that in a method for producing an extremely thin heat-resistant film of 6 μm or less, the peeling tension that affects the thickness can be reduced by making the peeling point of the self-supporting film from the endless belt constant. ing.

しかし、一般的にエンドレスベルトのような基材から自己支持性フィルムを剥離する工程、およびその後の熱処理の工程は、極薄いフィルムを製造する場合には、その取り扱いが困難であるため適さない。これらの工程を経る場合には、自己支持性フィルムの温度が高いため弾性率が低いことから剥離時の張力によりフィルムに伸びが生じやすく、このような極薄いフィルムにおいて均一な品質を得るためには高度な制御が必要となる。また、エンドレスベルトは高価であり、より安価な製造方法が求められている。   However, generally, the process of peeling a self-supporting film from a substrate such as an endless belt and the subsequent heat treatment process are not suitable when an extremely thin film is produced because it is difficult to handle. When going through these steps, the temperature of the self-supporting film is high, so the elastic modulus is low, so the film tends to stretch due to the tension at the time of peeling, and in order to obtain uniform quality in such an extremely thin film Requires advanced control. Further, the endless belt is expensive, and a cheaper manufacturing method is demanded.

特許文献4には、自己支持性フィルムの剥離を伴わない方法として、酸やアルカリ等の薬品により、支持体を溶解し除去することにより厚さ1〜5μmの極薄フィルムを製造する方法が記載されている。また、剥離剤を付着させた基板上にワニスを塗布、イミド化後、ポリイミドフィルムにテープを貼り付けて基板から剥離する方法が特許文献5に記載されている。これらの方法では剥離張力はかからず、剥離による裂けの発生も回避できる可能性があるが、いずれも連続生産には適しておらず、薬剤を用いることによる環境負荷が懸念されるという問題がある。
特公昭62−60416号公報 特公昭63−5421号公報 特開平9−220726号公報 特開2000−309026号公報 特開2002−361659号公報
Patent Document 4 describes a method for producing an ultrathin film having a thickness of 1 to 5 μm by dissolving and removing a support with a chemical such as acid or alkali as a method that does not involve peeling of the self-supporting film. Has been. Further, Patent Document 5 describes a method in which a varnish is applied to a substrate on which a release agent is adhered and imidized, and then a tape is attached to a polyimide film to be peeled from the substrate. These methods do not apply peeling tension and may prevent the occurrence of tearing due to peeling. However, none of these methods are suitable for continuous production, and there is a problem that the environmental load due to the use of chemicals is concerned. is there.
Japanese Examined Patent Publication No. 62-60416 Japanese Patent Publication No. 63-5421 JP-A-9-220726 JP 2000-309026 A JP 2002-361659 A

本発明の目的は、厚さ10μm以下程度の極薄のポリイミドフィルムを、連続生産に適した単純な工程で製造する方法を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a method for producing an extremely thin polyimide film having a thickness of about 10 μm or less by a simple process suitable for continuous production.

本発明者等は上記課題を解決するために鋭意研究を行った結果、離型剤を含有するポリイミド樹脂前駆体溶液を基材に塗布し、これを熱硬化させた後に基材から剥離することにより、前記課題が解決されることを見出し、本発明に到達した。   As a result of diligent research to solve the above-mentioned problems, the present inventors apply a polyimide resin precursor solution containing a release agent to a base material, thermally cure it, and then peel off the base material. Thus, the inventors have found that the above-mentioned problems can be solved, and have reached the present invention.

すなわち本発明の要旨は、下記工程(I)〜(IV)を含むことを特徴とする極薄のポリイミドフィルムの製造方法である。
(I)離型剤を含有するポリイミド樹脂前駆体溶液を基材上に塗布する工程、
(II)塗布されたポリイミド樹脂前駆体溶液を乾燥する工程、
(III)ポリイミド樹脂前駆体溶液層を熱硬化してポリイミドフィルムを形成する工程、および
(IV)ポリイミドフィルムを基材から剥離する工程。
That is, the gist of the present invention is a method for producing an ultrathin polyimide film characterized by including the following steps (I) to (IV).
(I) The process of apply | coating the polyimide resin precursor solution containing a mold release agent on a base material,
(II) a step of drying the applied polyimide resin precursor solution,
(III) A step of thermosetting the polyimide resin precursor solution layer to form a polyimide film, and (IV) a step of peeling the polyimide film from the substrate.

本発明によれば、厚み10μm以下の極薄のポリイミドフィルムを、単純な装置や工程で、安定的に連続的に製造することができる。   According to the present invention, an ultra-thin polyimide film having a thickness of 10 μm or less can be stably and continuously manufactured with a simple apparatus or process.

基材上にて熱硬化することで、剥離後に延伸や熱処理の必要が無いため、極薄ポリイミドフィルムでは特に裂けの要因となりやすい延伸、熱処理におけるクリップやピンでのフィルムの把持といった工程が不要となる。また、離型剤を添加したことにより、熱硬化後でもフィルムを基材より容易に剥離することができる。   By heat curing on the substrate, there is no need for stretching or heat treatment after peeling, so there is no need for a process such as stretching, which tends to cause tearing in ultra-thin polyimide film, and gripping the film with clips or pins in heat treatment Become. Moreover, by adding a release agent, the film can be easily peeled off from the substrate even after thermosetting.

本発明の製造方法は、極薄ポリイミドフィルムの製造に適用される。本発明においては「極薄」とは10μm以下の厚みを指すものとする。なお、本発明の製造方法が適用されるポリイミドフィルムの厚みとしては、1〜5μmの範囲が好ましい。フィルム厚みが1μm未満であると本発明の製法においても、基材との剥離という点で、フィルムの取り扱いが困難となる傾向がある。また、フィルムの厚みが5μmを超える場合でも製造は可能であるが、公知の製造方法も適用可能であるため、本発明を適用するメリットが小さくなる。   The production method of the present invention is applied to the production of an ultrathin polyimide film. In the present invention, “ultra-thin” refers to a thickness of 10 μm or less. In addition, as thickness of the polyimide film to which the manufacturing method of this invention is applied, the range of 1-5 micrometers is preferable. When the film thickness is less than 1 μm, the film handling tends to be difficult in the production method of the present invention in terms of peeling from the substrate. Further, although the film can be manufactured even when the thickness of the film exceeds 5 μm, since a known manufacturing method can be applied, the merit of applying the present invention is reduced.

本発明でいうポリイミド樹脂前駆体とは、加熱硬化によってイミド結合を生じ、下記構造式(1)で示される構成単位を有するポリイミド樹脂となるものである。そのような化合物であれば如何なるものも用いることができるが、例えば、ポリイミド樹脂前駆体として、下記構造式(2)で示されるポリアミック酸を用いることができる。ポリアミック酸は通常、ポリアミック酸と溶媒からなるポリイミド樹脂前駆体溶液として製造することができる。   The polyimide resin precursor referred to in the present invention is a polyimide resin having an imide bond by heat curing and having a structural unit represented by the following structural formula (1). Any compound can be used as long as it is such a compound. For example, a polyamic acid represented by the following structural formula (2) can be used as a polyimide resin precursor. The polyamic acid can be usually produced as a polyimide resin precursor solution composed of a polyamic acid and a solvent.

構造式(1)、(2)において、Rは4価の有機残基を、R’は2価の有機残基を示す。   In the structural formulas (1) and (2), R represents a tetravalent organic residue, and R ′ represents a divalent organic residue.

ポリイミド樹脂前駆体は通常、溶液として製造され、そのための溶媒としては、例えば、非プロトン性極性溶媒、エーテル系化合物、水溶性アルコール系化合物が挙げられる。   The polyimide resin precursor is usually produced as a solution, and examples of the solvent therefor include aprotic polar solvents, ether compounds, and water-soluble alcohol compounds.

非プロトン性極性溶媒としては、N−メチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、ヘキサメチルフォスフォラアミド等が挙げられる。   Examples of the aprotic polar solvent include N-methyl-2-pyrrolidone, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, dimethyl sulfoxide, hexamethylphosphoramide and the like.

また、エーテル系化合物としては、2−メトキシエタノール、2−エトキシエタノール、2−(メトキシメトキシ)エトキシエタノール、2−イソプロポキシエタノール、2−ブトキシエタノール、テトラヒドロフルフリルアルコール、ジエチレングリコール、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、トリエチレングリコール、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、テトラエチレングリコール、1−メトキシ−2−プロパノール、1−エトキシ−2−プロパノール、ジプロピレングリコール、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、テトラヒドロフラン、ジオキサン、1,2−ジメトキシエタン、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル等が挙げられる。   The ether compounds include 2-methoxyethanol, 2-ethoxyethanol, 2- (methoxymethoxy) ethoxyethanol, 2-isopropoxyethanol, 2-butoxyethanol, tetrahydrofurfuryl alcohol, diethylene glycol, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol. Monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, triethylene glycol, triethylene glycol monoethyl ether, tetraethylene glycol, 1-methoxy-2-propanol, 1-ethoxy-2-propanol, dipropylene glycol, dipropylene glycol monomethyl ether, di Propylene glycol monoethyl ether, tripropylene glycol monomethyl ether, poly Ji glycol, polypropylene glycol, tetrahydrofuran, dioxane, 1,2-dimethoxyethane, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, and the like.

また、水溶性アルコール系化合物としては、メタノール、エタノール、1−プロパノール、2−プロパノール、tert−ブチルアルコール、エチレングリコール、1,2−プロパンジオール、1,3−プロパンジオール、1,3−ブタンジオール、1,4−ブタジオール、2,3−ブタンジオール、1,5−ペンタンジオール、2−ブテン−1,4−ジオール、2−メチル−2,4−ペンタンジオール、1,2,6−ヘキサントリオール、ジアセトンアルコール等が挙げられる。   Examples of water-soluble alcohol compounds include methanol, ethanol, 1-propanol, 2-propanol, tert-butyl alcohol, ethylene glycol, 1,2-propanediol, 1,3-propanediol, and 1,3-butanediol. 1,4-butadiol, 2,3-butanediol, 1,5-pentanediol, 2-butene-1,4-diol, 2-methyl-2,4-pentanediol, 1,2,6-hexanetriol And diacetone alcohol.

これらの溶媒は2種以上を混合して用いることができる。これらの溶媒のうち、特に好ましい例としては、単独溶媒としてはN,N−ジメチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドンが挙げられ、また、混合溶媒としては、N,N−ジメチルアセトアミドとN−メチル−2−ピロリドン、N−メチル−2−ピロリドンとメタノール、N−メチル−2−ピロリドンと2―メトキシエタノール等の組み合わせが挙げられる。   These solvents can be used as a mixture of two or more. Among these solvents, particularly preferred examples include N, N-dimethylacetamide and N-methyl-2-pyrrolidone as the sole solvent, and examples of the mixed solvent include N, N-dimethylacetamide and N- Examples thereof include a combination of methyl-2-pyrrolidone, N-methyl-2-pyrrolidone and methanol, N-methyl-2-pyrrolidone and 2-methoxyethanol.

次に、ポリイミド樹脂前駆体の製造方法について説明する。まず、ポリアミック酸からなる溶液は、たとえば、下記構造式(3)で示される芳香族テトラカルボン酸二無水物と下記構造式(4)で示される芳香族ジアミンとを上記溶媒例えば非プロトン性極性溶媒中で反応させることにより製造することができる。   Next, the manufacturing method of a polyimide resin precursor is demonstrated. First, a solution composed of a polyamic acid is prepared by, for example, mixing an aromatic tetracarboxylic dianhydride represented by the following structural formula (3) and an aromatic diamine represented by the following structural formula (4) with the above solvent such as aprotic polarity. It can manufacture by making it react in a solvent.

ここで、Rは4価の芳香族残基を表す。 Here, R 1 represents a tetravalent aromatic residue.

ここで、Rは2価の芳香族残基を表す。 Here, R 2 represents a divalent aromatic residue.

上記反応においては、上記テトラカルボン酸二無水物と上記ジアミンとの割合は、ジアミン1モルに対してテトラカルボン酸二無水物1.04〜0.96モルが好ましく、より好ましくはジアミン1モルに対しテトラカルボン酸二無水物が1.03〜0.97モルである。また、反応温度は、−20〜80℃が好ましく、50〜80℃がより好ましい。   In the above reaction, the ratio of the tetracarboxylic dianhydride and the diamine is preferably 1.04 to 0.96 mol of tetracarboxylic dianhydride with respect to 1 mol of diamine, more preferably 1 mol of diamine. The amount of tetracarboxylic dianhydride is 1.03 to 0.97 mol. Moreover, -20-80 degreeC is preferable and, as for reaction temperature, 50-80 degreeC is more preferable.

上記反応において、モノマー及び溶媒の混合順序は特に制限はなくいかなる順序でもよい。溶媒として混合溶媒を用いる場合は、個々の溶媒に別々のモノマーを溶解又は懸濁させておき、それらを混合し、撹拌下、所定の温度と時間で反応させることによっても、ポリアミック酸からなる溶液が得られる。このポリイミド樹脂前駆体の溶液は2種類以上混合して用いることもできる。   In the above reaction, the mixing order of the monomer and the solvent is not particularly limited and may be any order. When a mixed solvent is used as a solvent, a solution composed of polyamic acid can also be obtained by dissolving or suspending separate monomers in each solvent, mixing them, and reacting at a predetermined temperature and time with stirring. Is obtained. Two or more kinds of polyimide resin precursor solutions may be mixed and used.

上記構造式(3)で示される芳香族テトラカルボン酸二無水物の具体例としては、ピロメリット酸、3,3′,4,4′−ビフェニルテトラカルボン酸、3,3′,4,4′−ベンゾフェノンテトラカルボン酸、3,3′,4,4′−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸、2,3,3′,4′−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸、2,3,3′,4′−ベンゾフェノンテトラカルボン酸、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸、1,4,5,7−ナフタレンテトラカルボン酸、1,2,5,6−ナフタレンテトラカルボン酸、3,3′,4,4′−ジフェニルメタンテトラカルボン酸、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン、3,4,9,10−テトラカルボキシペリレン、2,2−ビス[4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパンの二無水物等が挙げられる。これらの芳香族テトラカルボン酸二無水物は2種類以上を混合して用いることもできる。   Specific examples of the aromatic tetracarboxylic dianhydride represented by the structural formula (3) include pyromellitic acid, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic acid, 3,3 ′, 4,4. '-Benzophenone tetracarboxylic acid, 3,3', 4,4'-diphenylsulfone tetracarboxylic acid, 2,3,3 ', 4'-diphenyl ether tetracarboxylic acid, 2,3,3', 4'-benzophenone tetra Carboxylic acid, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic acid, 1,4,5,7-naphthalenetetracarboxylic acid, 1,2,5,6-naphthalenetetracarboxylic acid, 3,3 ', 4,4 '-Diphenylmethanetetracarboxylic acid, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) hexafluoropropane, 3, , 9,10-tetracarboxyperylene, 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] hexa Fluoropropane dianhydride and the like. These aromatic tetracarboxylic dianhydrides can be used in combination of two or more.

本発明において、特に好ましい芳香族テトラカルボン酸二無水物として、ピロメリット酸または3,3′,4,4′−ビフェニルテトラカルボン酸を用いることが出来る。これらは単独または混合して用いることができる。   In the present invention, pyromellitic acid or 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic acid can be used as a particularly preferred aromatic tetracarboxylic dianhydride. These can be used alone or in combination.

また、上記構造式(4)で示される芳香族ジアミンの具体例としては、p−フェニレンジアミン、m−フェニレンジアミン、3,4′−ジアミノジフェニルエーテル、4,4′−ジアミノジフェニルエーテル、4,4′−ジアミノジフェニルメタン、3,3′−ジメチル−4,4′−ジアミノジフェニルメタン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、1,2−ビス(アニリノ)エタン、ジアミノジフェニルスルホン、ジアミノベンズアニリド、ジアミノベンゾエート、ジアミノジフェニルスルフィド、2,2−ビス(p−アミノフェニル)プロパン、2,2−ビス(p−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン、1,5−ジアミノナフタレン、ジアミノトルエン、ジアミノベンゾトリフルオライド、1,4−ビス(p−アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4′−ビス(p−アミノフェノキシ)ビフェニル、ジアミノアントラキノン、4,4′−ビス(3−アミノフェノキシフェニル)ジフェニルスルホン、1,3−ビス(アニリノ)ヘキサフルオロプロパン、1,4−ビス(アニリノ)オクタフルオロブタン、1,5−ビス(アニリノ)デカフルオロペンタン、1,7−ビス(アニリノ)テトラデカフルオロヘプタン等が挙げられる。これらの芳香族ジアミンは2種類以上を混合して用いることもできる。   Specific examples of the aromatic diamine represented by the structural formula (4) include p-phenylenediamine, m-phenylenediamine, 3,4'-diaminodiphenyl ether, 4,4'-diaminodiphenyl ether, 4,4 ' -Diaminodiphenylmethane, 3,3'-dimethyl-4,4'-diaminodiphenylmethane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 1,2-bis (anilino) ethane, diaminodiphenylsulfone , Diaminobenzanilide, diaminobenzoate, diaminodiphenyl sulfide, 2,2-bis (p-aminophenyl) propane, 2,2-bis (p-aminophenyl) hexafluoropropane, 1,5-diaminonaphthalene, diaminotoluene, Diaminobenzotrifluoride, 1,4- (P-aminophenoxy) benzene, 4,4'-bis (p-aminophenoxy) biphenyl, diaminoanthraquinone, 4,4'-bis (3-aminophenoxyphenyl) diphenylsulfone, 1,3-bis (anilino) Examples include hexafluoropropane, 1,4-bis (anilino) octafluorobutane, 1,5-bis (anilino) decafluoropentane, 1,7-bis (anilino) tetradecafluoroheptane. Two or more of these aromatic diamines can be mixed and used.

本発明において、特に好ましい芳香族ジアミンとして、p−フェニレンジアミン、または4,4′−ジアミノジフェニルエーテルを用いることが出来る。これらは単独または混合して用いることができる。   In the present invention, p-phenylenediamine or 4,4′-diaminodiphenyl ether can be used as a particularly preferred aromatic diamine. These can be used alone or in combination.

本発明において、ポリイミド樹脂前駆体の溶液を製造する際、重合性不飽和結合を有するアミン、ジアミン、ジカルボン酸、トリカルボン酸、テトラカルボン酸の誘導体を添加して、熱硬化時に橋かけ構造を形成させることができる。不飽和化合物としては、マレイン酸、ナジック酸、テトラヒドロフタル酸、エチニルアニリン等が使用できる。   In the present invention, when a polyimide resin precursor solution is produced, an amine, diamine, dicarboxylic acid, tricarboxylic acid, or tetracarboxylic acid derivative having a polymerizable unsaturated bond is added to form a crosslinked structure during thermosetting. Can be made. As the unsaturated compound, maleic acid, nadic acid, tetrahydrophthalic acid, ethynylaniline and the like can be used.

ポリイミド樹脂前駆体の合成条件、乾燥条件、その他の理由等により、ポリイミド樹脂前駆体中に部分的にイミド化されたものが存在していても特に支障はない。   There is no particular problem even if a partially imidized polyimide resin precursor is present in the polyimide resin precursor due to synthesis conditions, drying conditions, and other reasons of the polyimide resin precursor.

本発明においては、前記のように製造されたポリイミド樹脂前駆体溶液に離型剤を含有させて使用する。離型剤は、ポリイミド樹脂前駆体を硬化させてポリイミドフィルムとした際に基材からの剥離を容易にする目的で配合される。離型剤としては、公知の離型剤が適用でき、例えば、ステアリン酸、パルミチン酸等の高級脂肪酸や、そのアミド、金属塩が挙げられ、好ましくはステアリン酸である。ポリイミド樹脂固形分100質量部に対して0.01から2質量部添加することが必要であり、好ましくは0.01から1質量部である。添加量が0.01質量部より少ないと効果に乏しく、2質量部前より多い場合には効果は変わらず、むしろフィルムの物性が低下する傾向となる。   In the present invention, the polyimide resin precursor solution produced as described above is used by containing a release agent. The mold release agent is blended for the purpose of facilitating peeling from the substrate when the polyimide resin precursor is cured to form a polyimide film. As the release agent, known release agents can be applied, and examples thereof include higher fatty acids such as stearic acid and palmitic acid, amides and metal salts thereof, and stearic acid is preferable. It is necessary to add 0.01 to 2 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the polyimide resin solid content, and preferably 0.01 to 1 part by mass. When the added amount is less than 0.01 parts by mass, the effect is poor, and when it is more than 2 parts by mass, the effect is not changed, but the physical properties of the film tend to be lowered.

ポリイミド樹脂前駆体には、その他、必要に応じて、界面活性剤、有機シラン、顔料、導電性のカーボンブラックおよび金属微粒子のような充填材、摩滅材、誘電体、潤滑材、他の重合体等を添加することができる。これらは通常、ポリイミド樹脂前駆体溶液の段階で添加される。   Other polyimide resin precursors include surfactants, organosilanes, pigments, conductive carbon black and fillers such as fine metal particles, abrasives, dielectrics, lubricants, and other polymers as required. Etc. can be added. These are usually added at the stage of the polyimide resin precursor solution.

本発明では、前記のポリイミド樹脂前駆体溶液を用いて、下記工程(I)〜(IV)により極薄のポリイミドフィルムが製造される。
(I)離型剤を含有するポリイミド樹脂前駆体溶液を基材上に塗布する工程、
(II)塗布されたポリイミド樹脂前駆体溶液を乾燥する工程、
(III)ポリイミド樹脂前駆体溶液層を熱硬化してポリイミドフィルムを形成する工程、および
(IV)ポリイミドフィルムを基材から剥離する工程。
In the present invention, an extremely thin polyimide film is produced by the following steps (I) to (IV) using the polyimide resin precursor solution.
(I) The process of apply | coating the polyimide resin precursor solution containing a mold release agent on a base material,
(II) a step of drying the applied polyimide resin precursor solution,
(III) A step of thermosetting the polyimide resin precursor solution layer to form a polyimide film, and (IV) a step of peeling the polyimide film from the substrate.

以下、(I)〜(IV)各工程をさらに詳細に説明する。 Hereinafter, the steps (I) to (IV) will be described in more detail.

<工程(I)>
この工程は、離型剤を含有するポリイミド樹脂前駆体溶液を基材上に塗布し、基材上に前記溶液の塗膜を形成する工程である。塗布に用いるポリイミド前駆体溶液の固形分濃度や粘度は、塗布が可能は範囲であれば特に限定されないが、固形分濃度としては、5〜30質量%が好ましく、5〜20質量%がより好ましい。また、溶液粘度としては、0.03〜10Pa・s/30℃の範囲が好ましく、より好ましくは0.05〜8Pa・s/30℃の範囲である。
<Process (I)>
This step is a step of applying a polyimide resin precursor solution containing a release agent on a base material to form a coating film of the solution on the base material. The solid content concentration and viscosity of the polyimide precursor solution used for coating are not particularly limited as long as coating is possible, but the solid content concentration is preferably 5 to 30% by mass, more preferably 5 to 20% by mass. . Moreover, as a solution viscosity, the range of 0.03-10 Pa.s / 30 degreeC is preferable, More preferably, it is the range of 0.05-8 Pa.s / 30 degreeC.

基材へのポリイミド樹脂前駆体溶液の塗布は、任意の塗工機を用いて行うことができるが、ダイコーター、リップコーター、グラビアコーター、バーコーター、ドクターブレードコーター、コンマコーター、リバースロールコーター、バーリバースロールコーターなどが挙げられる。また、特性の向上などを目的として多層塗布することも可能であり、その際、各層のポリイミド樹脂前駆体溶液は同じであっても異なっていてもよい。   The application of the polyimide resin precursor solution to the substrate can be performed using any coating machine, but is a die coater, lip coater, gravure coater, bar coater, doctor blade coater, comma coater, reverse roll coater, Examples include a bar reverse roll coater. In addition, it is also possible to apply multiple layers for the purpose of improving characteristics, and the polyimide resin precursor solutions in each layer may be the same or different.

基材としては、銅、アルミニウム、鉄、銀、パラジウム、ニッケル、クロム、モリブデン、タングステン又はそれらの合金等の金属箔、およびテフロン(登録商標)、ポリイミドフィルム、ガラス繊維織物などが挙げられ、熱硬化工程に耐えうる材質であれば特に限定されない。好ましくは、アルミニウム、ステンレスである。基材の厚さは25〜300μmが好ましく、50〜200μmがより好ましい。   Examples of the substrate include metal foils such as copper, aluminum, iron, silver, palladium, nickel, chromium, molybdenum, tungsten, or alloys thereof, and Teflon (registered trademark), polyimide film, glass fiber fabric, etc. There is no particular limitation as long as the material can withstand the curing process. Aluminum and stainless steel are preferable. The thickness of the substrate is preferably 25 to 300 μm, and more preferably 50 to 200 μm.

基材のポリイミド樹脂前駆体溶液を塗布する側の面は平滑であることが好ましい。例えば、上記した種々の金属箔基材の市販品程度の平滑性であれば問題なく使用可能である。   It is preferable that the surface of the substrate on which the polyimide resin precursor solution is applied is smooth. For example, if the above-mentioned various metal foil base materials are as smooth as commercial products, they can be used without problems.

<工程(II)>
この工程は、基材に塗布されたポリイミド樹脂前駆体溶液を乾燥する工程である。ここでいう「乾燥」とは、加熱等の手段よりポリイミド樹脂前駆体溶液における溶媒量を減少させることをいう。乾燥には任意の装置を用いることができ、熱風乾燥機が好ましいが、赤外線加熱、電磁誘導加熱などを使用又は併用してもよい。乾燥のためには50〜200℃の温度範囲が適当である。
<Process (II)>
This step is a step of drying the polyimide resin precursor solution applied to the substrate. “Drying” as used herein refers to reducing the amount of solvent in the polyimide resin precursor solution by means such as heating. Any device can be used for drying, and a hot air dryer is preferable, but infrared heating, electromagnetic induction heating, or the like may be used or used in combination. A temperature range of 50 to 200 ° C. is suitable for drying.

乾燥は、好ましくは塗布直後に行う。なお、乾燥とともに、工程(III)(硬化)を連続的に行ってもよく、乾燥後に一旦巻き取ってから、しかる後に硬化工程を行ってもよい。   Drying is preferably performed immediately after application. In addition, a process (III) (curing) may be performed continuously with drying, and after winding once after drying, a hardening process may be performed after an appropriate time.

乾燥後に一旦巻き取る際には、塗膜中の固形分濃度が50質量%以上となるまで溶媒の除去を行うことが好ましく、より好ましくは連続的に行う。固形分濃度が50質量%未満であると、塗布面のべたつきのため、巻き取りを良好に行うことができない場合がある。   When winding up once after drying, it is preferable to remove the solvent until the solid concentration in the coating film is 50% by mass or more, more preferably continuously. If the solid content concentration is less than 50% by mass, winding may not be performed satisfactorily due to stickiness of the coated surface.

<工程(III)>
この工程は、ポリイミド樹脂前駆体溶液層を熱硬化してポリイミドフィルムを形成する工程である。
<Process (III)>
This step is a step of thermosetting the polyimide resin precursor solution layer to form a polyimide film.

熱硬化温度としては200℃以上、好ましくは300℃以上である。また、上限は450℃程度である。このような高温で十分に加熱処理を行う。ポリイミドの熱硬化の際、水や溶媒などのガスが発生するため、熱硬化は熱風循環下で行うことが好ましい。   The thermosetting temperature is 200 ° C. or higher, preferably 300 ° C. or higher. Moreover, an upper limit is about 450 degreeC. Heat treatment is sufficiently performed at such a high temperature. When polyimide is thermally cured, a gas such as water or a solvent is generated. Therefore, the thermal curing is preferably performed under hot air circulation.

熱硬化を行う際には、ポリイミド樹脂前駆体溶液層を形成した基材を適当な幅や長さに切り出してもよい。このとき、切り出した基材をアルミ製コアなどの適当な芯に塗工面を外側にして巻きつけた状態で熱硬化を行うと効率的である。   When performing thermosetting, the base material on which the polyimide resin precursor solution layer is formed may be cut out to an appropriate width or length. At this time, it is efficient to perform thermosetting in a state where the cut base material is wound around an appropriate core such as an aluminum core with the coating surface facing outward.

本発明においては、前記(I)〜(III)の工程を、ポリイミド樹脂前駆体溶液を基材から剥離することなく同一基材上で実施する。このように、ポリイミド樹脂前駆体溶液の塗布からポリイミドフィルム形成までを連続的に行うことで、生産効率が向上する。   In the present invention, the steps (I) to (III) are carried out on the same substrate without peeling off the polyimide resin precursor solution from the substrate. Thus, production efficiency improves by performing continuously from application | coating of a polyimide resin precursor solution to polyimide film formation.

<工程(IV)>
この工程は、ポリイミドフィルムを基材から剥離する工程である。
<Process (IV)>
This step is a step of peeling the polyimide film from the substrate.

基材からの剥離方法は特に限定されないが、例えば次のような機械的な手段を用いることができる。巻き状態の熱硬化後の基材付きポリイミドフィルムの片方の端において、フィルム、基材のそれぞれを異なる巻芯に粘着テープ等で固定し、これらを異なる軸で巻き取ることにより、ポリイミドフィルムを基材から剥離することができる。このとき、熱硬化後のポリイミドフィルムの縁を剥離前にスリットすることや、保護フィルム、メンディングテープなどで補強した後に基材から剥離することで、ハンドリング性を向上させることができる。なお、本発明においては、既述のように硬化前のポリイミド樹脂前駆体が離型剤を含有しているため、基材からの剥離が容易となる。   Although the peeling method from a base material is not specifically limited, For example, the following mechanical means can be used. At one end of the polyimide film with a base material after thermosetting in a wound state, the film and the base material are fixed to different cores with an adhesive tape, etc. It can be peeled from the material. At this time, handling property can be improved by slitting the edge of the polyimide film after thermosetting before peeling, or by peeling from the substrate after reinforcing with a protective film, a mending tape or the like. In the present invention, as described above, since the polyimide resin precursor before curing contains a release agent, peeling from the substrate is facilitated.

基材の材質によっては化学エッチングも可能であるが、本発明においては基材からのフィルムの剥離性は良好なので、特に目的がない限りは機械的剥離を行うだけで、工業的な使用に足るポリイミドフィルムが得られる。   Depending on the material of the substrate, chemical etching is possible, but in the present invention, the peelability of the film from the substrate is good. A polyimide film is obtained.

以下、実施例及び比較例に基づいて本発明を具体的に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although this invention is demonstrated concretely based on an Example and a comparative example, this invention is not limited to this.

[参考例1](ポリイミド樹脂前駆体溶液の合成例)
p−フェニレンジアミン0.67kg、N−メチル−2−ピロリドン10kgを反応釜に入れ、これを室温中で5分間攪拌した後、3,3´,4,4´‐ビフェニルテトラカルボン酸二無水物1.8kgを加え70℃の湯浴中で2時間攪拌を行い、ポリイミド樹脂前駆体としてポリアミック酸を20質量%含有する、均一なポリイミド樹脂前駆体溶液を得た。これを溶液(イ)とする。
[Reference Example 1] (Synthesis example of polyimide resin precursor solution)
After adding 0.67 kg of p-phenylenediamine and 10 kg of N-methyl-2-pyrrolidone to the reaction kettle and stirring it at room temperature for 5 minutes, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride 1.8 kg was added and stirred in a hot water bath at 70 ° C. for 2 hours to obtain a uniform polyimide resin precursor solution containing 20% by mass of polyamic acid as a polyimide resin precursor. This is designated as solution (I).

[実施例1]
溶液(イ)11kgに離型剤としてステアリン酸0.01kg、希釈溶媒としてN−メチル−2−ピロリドン7.2kgを添加し、これらを分散機で1時間混合した後、ろ過精度0.3μmでろ過をしたものを塗工液とした。ステアリン酸の添加量は形成されるポリイミド固形分100質量部に対して0.5質量部であり、塗工液の固形分濃度は11質量%、溶液粘度は3Pa・s/30℃であった。これを幅540mm、厚さ50μmのアルミ箔上に硬化後の塗膜厚みが3μmになるようにコンマコーターを用いて連続的に塗工し、140℃で3分間乾燥した。このとき塗膜の固形分濃度は70質量%に上昇していた。
[Example 1]
Add 11 kg of stearic acid as a mold release agent and 7.2 kg of N-methyl-2-pyrrolidone as a diluting solvent to 11 kg of the solution (a), and mix them with a disperser for 1 hour. The filtered solution was used as a coating solution. The addition amount of stearic acid was 0.5 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the polyimide solid content to be formed, the solid content concentration of the coating liquid was 11% by mass, and the solution viscosity was 3 Pa · s / 30 ° C. . This was continuously applied onto an aluminum foil having a width of 540 mm and a thickness of 50 μm using a comma coater so that the coating thickness after curing was 3 μm, and dried at 140 ° C. for 3 minutes. At this time, the solid content concentration of the coating film increased to 70% by mass.

次に、塗膜が密着した状態の基材を長さ500mmに切り出し、内径6インチのアルミコアに塗工面を外側にして1周分巻きつけた。続いて、熱風イナートオーブン中、窒素雰囲気下にて、140℃から200℃、200℃から250℃を各4分、250℃から350℃を16分でそれぞれ昇温、さらに350℃で2時間加熱して硬化反応を行い、冷却後アルミ箔を剥離し、極薄いポリイミドフィルムを得た。   Next, the base material in a state where the coating film was in close contact was cut out to a length of 500 mm, and wound around an aluminum core having an inner diameter of 6 inches with the coating surface facing outward for one turn. Subsequently, 140 ° C to 200 ° C, 200 ° C to 250 ° C was heated for 4 minutes each, and 250 ° C to 350 ° C was heated for 16 minutes, and further heated at 350 ° C for 2 hours in a hot air inert oven. Then, a curing reaction was performed, and after cooling, the aluminum foil was peeled off to obtain an extremely thin polyimide film.

[比較例1]
溶液(イ)にステアリン酸を添加しなかった以外は、実施例1と同様の塗工液を調製した。これを用いて、実施例1と同様にコンマコーターを用いて塗膜の形成を行い、140℃で3分間乾燥した。実施例1同様に基材を500mmに切り出し、アルミコアに巻きつけて同一の温度・時間条件で硬化反応を行ったが、形成されたポリイミドフィルムを基材から剥離しようとしたところ、フィルムが破断した。
[Comparative Example 1]
A coating solution similar to Example 1 was prepared except that stearic acid was not added to the solution (i). Using this, a coating film was formed using a comma coater in the same manner as in Example 1, and dried at 140 ° C. for 3 minutes. Similarly to Example 1, the base material was cut out to 500 mm, wound around an aluminum core, and subjected to a curing reaction under the same temperature and time conditions. When the formed polyimide film was peeled from the base material, the film was broken. .

[比較例2]
実施例1の塗工液を用いて、実施例1と同様にして幅540mm、厚さ50μmのアルミ箔上に硬化後の塗膜厚みが3μmになるようにコンマコーターを用いて連続的に塗工し、140℃で3分間乾燥した。この状態で基材から塗膜を剥離しようと試みたが、塗膜はフィルムとして剥離することができなかった。
[Comparative Example 2]
Using the coating solution of Example 1, in the same manner as in Example 1, using a comma coater, the coating thickness after curing is 3 μm on an aluminum foil having a width of 540 mm and a thickness of 50 μm. And dried at 140 ° C. for 3 minutes. Although an attempt was made to peel the coating film from the substrate in this state, the coating film could not be peeled off as a film.

実施例1および比較例1、2における製造状況とポリイミドフィルムの評価結果を表1に示す。   Table 1 shows the production status and the evaluation results of the polyimide film in Example 1 and Comparative Examples 1 and 2.

表1に示すように、実施例1では剥離が容易であり、外観の良好なポリイミドフィルムが得られた。   As shown in Table 1, in Example 1, peeling was easy and a polyimide film having a good appearance was obtained.

これに対して、比較例1では、硬化後のポリイミドフィルムと基材との接着力が強く、容易に剥離できず、すぐに破断してしまった。また、比較例2では、乾燥後にいったん塗膜を基材から剥離しようと試みたが、破断してしまった。このような厚みでは硬化前のポリイミドフィルムを基材から剥離することが困難であることがわかった。
On the other hand, in Comparative Example 1, the adhesive force between the cured polyimide film and the base material was strong, and could not be easily peeled off, and immediately broke. Moreover, in Comparative Example 2, an attempt was made to peel the coating film from the substrate once after drying, but it was broken. It has been found that it is difficult to peel off the polyimide film before curing from the substrate with such a thickness.

Claims (4)

下記工程(I)〜(IV)を含むことを特徴とする極薄のポリイミドフィルムの製造方法:
(I)離型剤を含有するポリイミド樹脂前駆体溶液を基材上に塗布する工程、
(II)塗布されたポリイミド樹脂前駆体溶液を乾燥する工程、
(III)ポリイミド樹脂前駆体溶液層を熱硬化してポリイミドフィルムを形成する工程、および
(IV)ポリイミドフィルムを基材から剥離する工程。
A method for producing an ultrathin polyimide film comprising the following steps (I) to (IV):
(I) The process of apply | coating the polyimide resin precursor solution containing a mold release agent on a base material,
(II) a step of drying the applied polyimide resin precursor solution,
(III) A step of thermosetting the polyimide resin precursor solution layer to form a polyimide film, and (IV) a step of peeling the polyimide film from the substrate.
ポリイミドフィルムの厚みが1〜5μmである請求項1記載のポリイミドフィルムの製造方法。 The method for producing a polyimide film according to claim 1, wherein the polyimide film has a thickness of 1 to 5 μm. 離型剤の含有量がポリイミド100質量部に対して0.01〜2質量部である請求項1記載のポリイミドフィルムの製造方法。 The method for producing a polyimide film according to claim 1, wherein the content of the release agent is 0.01 to 2 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the polyimide. 前記(I)〜(III)の工程を、ポリイミド樹脂前駆体溶液を基材から剥離することなく同一基材上で実施することを特徴とする請求項1記載のポリイミドフィルムの製造方法。
2. The method for producing a polyimide film according to claim 1, wherein the steps (I) to (III) are carried out on the same substrate without peeling off the polyimide resin precursor solution from the substrate.
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