JP2009204442A - Weighing device for particulate matter - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、粒状物質を計量して定量供給する粒状物質の計量装置に係るものである。 The present invention relates to a granular material measuring apparatus that measures and supplies quantitatively a granular material.
計量器を回転させて粒状物質を計量する計量装置は、例えば特開平9−306919号公報や特開2006−175471号公報に開示されている。 For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-306919 and Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-175471 disclose a measuring device that measures a granular material by rotating a measuring device.
しかし、従来技術は、粒状物質を計量して排出するために計量器を180度程度回転するため、計量器の回転に必要な空間が大きくなる欠点と、回転に要する時間が長い欠点と、計量装置の出口から排出される粒状物質の逸散を防止し難い欠点と、周囲から塵が入り易い欠点と、粒状物質に計量器の回転に伴う表面変質や割れ欠けが生じる欠点等がある。また、従来の計量器は、粒状物質の残量検出装置が設けられていないので、粒状物質が無くなっても作業を続けるミスが生じ易い欠点と、貯留部に長時間滞留する粒状物質が発生する欠点がある。
解決しようとする問題点は、上記従来の欠点を改良することにあり、第1の課題は、計量器の回転角度を小さくすることにある。他の問題点は、粒状物質を逸散させないで計量すること、周囲からのゴミや塵を計量された粒状物質に紛れ込ませないこと、粒状物質に損傷を与えないで計量すること、粒状物質の残留量を精度高く且つ残量がゼロとなる直前に自動検出することである。 The problem to be solved is to improve the conventional drawbacks described above, and the first problem is to reduce the rotation angle of the measuring instrument. Other problems include measuring the particulate material without escaping it, ensuring that dust and dirt from the surroundings are not mixed into the measured particulate material, measuring the particulate material without damaging it, The remaining amount is automatically detected with high accuracy and immediately before the remaining amount becomes zero.
本発明は、粒状物質を貯留する貯留部と粒状物質を計量する計量部からなる計量器と粒状物質を計量するために計量部を回転させる駆動装置を有し、計量部は、貯留部につながる入口と粒状物質を計量する計量キャビティと計量された粒状物質を一時貯留する一時貯留キャビティと出口とを有する計量装置であって、貯留部から粒状物質を計量部へ受け入れる入口は、垂直下方向にのびる第1流路とつながり、この第1流路は、斜め下方向にのびる第2流路とつながり、この第2流路は、垂直下方向にのびる第3流路とつながり、この第3流路は、水平方向にのびる計量キャビティである第4流路とつながり、計量キャビティは、斜め上方向にのびる第5流路とつながり、この第5流路は、垂直下方向にのびる一時貯留キャビティである第6流路とつながり、一時貯留キャビティは、斜め下方向にのびる第7流路とつながり、この第7流路は、垂直下方向にのびる第8流路とつながり、そしてこの第8流路は、計量された粒状物質を排出する出口とつながることを特徴とする。 The present invention has a measuring device including a storage unit for storing particulate matter and a measuring unit for measuring particulate matter, and a driving device that rotates the measuring unit to measure the particulate matter, and the measuring unit is connected to the storage unit. A metering device having an inlet, a metering cavity for metering the particulate material, a temporary storage cavity for temporarily storing the metered particulate material, and an outlet, wherein the inlet for receiving the particulate material from the reservoir into the metering unit is vertically downward The first flow path is connected to the second flow path extending obliquely downward, the second flow path is connected to the third flow path extending vertically downward, and the third flow is connected. The path is connected to the fourth flow path, which is a measuring cavity extending in the horizontal direction, the measuring cavity is connected to the fifth flow path extending obliquely upward, and the fifth flow path is a temporary storage cavity extending vertically downward. Connected to a sixth channel The temporary storage cavity is connected to the seventh flow path extending obliquely downward, the seventh flow path is connected to the eighth flow path extending vertically downward, and the eighth flow path is a measured granular It is connected to an outlet for discharging the substance.
又、本発明は、粒状物質を貯留する貯留部と粒状物質を計量する計量部からなる計量器と粒状物質を計量するために計量部を回転させる駆動装置を有し、計量部は、貯留部につながる入口と粒状物質を計量する計量キャビティと計量された粒状物質を一時貯留する一時貯留キャビティと出口とを有する計量装置であって、計量キャビティの方向と、一時貯留キャビティの方向がほぼ90度の角度をなすことを特徴とする。 In addition, the present invention has a measuring device comprising a storage unit for storing the particulate material and a measuring unit for measuring the particulate material, and a driving device for rotating the measuring unit to measure the particulate material. A metering device having a metering cavity for metering granular material, a temporary storage cavity for temporarily storing metered granular material, and an outlet, wherein the direction of the metering cavity and the direction of the temporary storage cavity are approximately 90 degrees It is characterized by making an angle of
更に、本発明は、粒状物質を貯留する貯留部と粒状物質を計量する流路が設けられている計量部からなる計量器と、この計量部を回転させる駆動装置を有し、計量部は、粒状物質の入口と粒状物質を計量する計量キャビティと計量された粒状物質を一時貯留する一時貯留キャビティと計量された粒状物質を排出する出口とそれらをつなぐ流路と含む計量装置であって、粒状物質の残量検出部を入口と計量キャビティの間に配設することを特徴とする。 Furthermore, the present invention has a measuring device comprising a storage unit for storing the particulate material and a measuring unit provided with a flow path for measuring the particulate material, and a driving device for rotating the measuring unit. A metering device comprising a particulate material inlet, a metering cavity for metering the particulate material, a temporary storage cavity for temporarily storing the metered particulate material, an outlet for discharging the metered particulate material, and a flow path connecting them. A substance remaining amount detection unit is disposed between the inlet and the measurement cavity.
本発明の粒状物質の計量装置は、計量キャビティと一時貯留キャビティのなす角度を凡そ90度とするため、計量器を回転させる角度が小さい凡そ90度で粒状物質を計量できるようになり、回転に必要な空間を小さくでき、回転に必要な時間を短縮でき、且つ回転に伴う貯留部内での半田ボールどうしの衝突および半田ボールと容器内壁との衝突による半田ボールの損傷を小さくできる利点がある。 In the granular material measuring device of the present invention, since the angle formed between the measuring cavity and the temporary storage cavity is about 90 degrees, the granular material can be measured at a small rotation angle of about 90 degrees. There are advantages in that the required space can be reduced, the time required for rotation can be shortened, and the damage of the solder balls due to the collision between the solder balls in the storage part and the collision between the solder balls and the container inner wall accompanying the rotation can be reduced.
更に、本発明の粒状物質の計量装置は、残量検出部を計量部の粒状物質の入口と、計量キャビティの間に設けたため、粒状物質の残量を正確に且つ適切な時に検知でき、貯留部の交換又は貯留部への粒状物質の補充を失敗すること無く、且つ粒状物質の残量が極めて少なくなった状態での交換ができる利点がある。 Furthermore, the particulate matter weighing device of the present invention is provided with a remaining amount detection unit between the particulate matter inlet of the weighing unit and the weighing cavity, so that the remaining amount of the particulate matter can be detected accurately and at an appropriate time. There is an advantage that the replacement can be performed in a state where the remaining amount of the particulate matter is extremely small without failing to replace the part or replenish the particulate matter to the storage part.
計量するための回転角度が小さい計量装置を提供するという目的を、計量部の流路の改良により実現した。また、計量された粒状物質を逸散させない構造と周囲からの塵が計量された粒状物質に紛れ込まない構造を実現した。更に、計量部の一部の流路に光センサを設けることにより、粒状物質の残量が少なくなった状態で検出することを実現した。 The purpose of providing a weighing device with a small rotation angle for weighing has been realized by improving the flow path of the weighing unit. In addition, a structure that does not dissipate the measured granular material and a structure that does not allow dust from the surroundings to enter the measured granular material have been realized. Furthermore, by providing an optical sensor in a part of the flow path of the measuring unit, it is possible to detect in a state where the remaining amount of the particulate matter is reduced.
本発明において、粒状物質とは、半田ボール、金属ボール、プラスチックボール、セラミックボールや薬剤ボール等の球状形状や、それらの無定形形状で、その形状によらず、サイズが粉体より大きく、流動性の大きな物質を指す。
半田ボールの流れの方向は、順方向と逆方向とがあり、順方向の流れは、図1において入口11から出口12方向への流れを、逆方向のは、出口12から入口11方向への流れと定義する。
垂直方向は、図3の上下方向をいい、水平方向は、垂直方向と直角に交わる方向をいう。下方向は、図3で下方向を、上方向は、図3で上方向をいう。斜め下方は、第3図で水平より下方の方向を、斜め上方は、水平より上方の方向をいう。
In the present invention, the granular material is a spherical shape such as a solder ball, a metal ball, a plastic ball, a ceramic ball or a drug ball, or an amorphous shape thereof. It refers to a substance with a large nature.
The direction of the solder ball flow includes a forward direction and a reverse direction. The forward flow is the flow from the inlet 11 to the outlet 12 in FIG. 1, and the reverse flow is from the outlet 12 to the inlet 11. Define as flow.
The vertical direction refers to the vertical direction in FIG. 3, and the horizontal direction refers to a direction that intersects the vertical direction at a right angle. The downward direction refers to the downward direction in FIG. 3, and the upward direction refers to the upward direction in FIG. The diagonally downward direction refers to a direction below horizontal in FIG. 3, and the diagonally upward direction refers to a direction above horizontal.
以下流路について説明する。
図1と図2は、本発明になる計量器1の1実施例である。図1は計量器1の側面図、図2は正面図である。計量器1は、半田ボールを貯留する貯留部2と半田ボールを計量する計量部3からなる。貯留部2は、半田ボールを貯留する容器4と、その容器4を計量部3へ取付部を備えた蓋5からなり、それらの内部に半田ボール23が貯留されている。そして蓋5は、入口取付部材11により計量部3と脱着可能に連結されている。容器4の容量は、120ccである。
The flow path will be described below.
1 and 2 show an embodiment of a measuring instrument 1 according to the present invention. FIG. 1 is a side view of the measuring instrument 1, and FIG. 2 is a front view. The measuring instrument 1 includes a storage unit 2 that stores solder balls and a measuring unit 3 that measures solder balls. The storage unit 2 includes a container 4 that stores solder balls, and a lid 5 that is provided with an attachment unit for attaching the container 4 to the measuring unit 3, and solder balls 23 are stored therein. And the lid | cover 5 is connected with the measurement part 3 by the inlet attachment member 11 so that attachment or detachment is possible. The capacity of the container 4 is 120 cc.
計量部3は、2枚の板8(8a、8b)の重ね合わせからなり、4隅をネジで固定されて、重ね合わせ位置精度をだすために2個の位置決め用のピン7と孔が設けられている。その1つの孔は、水平方向の長孔である。計量部3の入口10には、入口取付部材11が、出口12には、出口取付部材13が取付られている。販売・搬送用の容器の蓋は、入口取付部材11が取り付けられた専用の蓋5に交換される。 The measuring unit 3 is composed of two plates 8 (8a, 8b) overlapped, and four corners are fixed with screws, and two positioning pins 7 and a hole are provided in order to increase the overlay position accuracy. It has been. The one hole is a long hole in the horizontal direction. An inlet attachment member 11 is attached to the inlet 10 of the measuring unit 3, and an outlet attachment member 13 is attached to the outlet 12. The lid of the container for sale / conveyance is replaced with a dedicated lid 5 to which the inlet mounting member 11 is attached.
半田ボールが通過する流路(15,16,17,18,19,20、21,22)が少なくとも一方の板8aにサライ加工されている。板8の寸法は、40×40mmで、厚みは5mmである。貯留部2と接続する入口取付部材11は、第1流路15とネジで螺合している。 The flow paths (15, 16, 17, 18, 19, 20, 21, 22) through which the solder balls pass are salicided on at least one plate 8a. The dimensions of the plate 8 are 40 × 40 mm and the thickness is 5 mm. The inlet mounting member 11 connected to the reservoir 2 is screwed to the first flow path 15 with a screw.
第1流路15は、半田ボールが通りやすい大きな断面積の円柱の流路と、半田ボールの残量の有無を検出する方形の残量検出キャビティ14と、このキャビティと第2流路をつなぐ断面積の小さい扁平の流路から構成される。円柱の流路と方形の流路は、板8aと8bの双方に加工されている(図11参照)。 The first flow path 15 is a cylindrical flow path having a large cross-sectional area that is easy for solder balls to pass through, a rectangular remaining amount detection cavity 14 that detects the presence or absence of the remaining amount of solder balls, and connects the cavity and the second flow path. It consists of a flat channel with a small cross-sectional area. The cylindrical channel and the rectangular channel are processed into both plates 8a and 8b (see FIG. 11).
貯留部2内の半田ボールの残留有無の検出は、貯留部2から残量検出キャビティ14へ流れ込んだ半田ボールが光センサ35からの光を受光素子が検出することにより行なうようになっている。光の遮断は、半田ボールが例えば一列では不十分なので、幾重にも重なるように、残量検出キャビティの形状は、縦横高さを大きくしてある。板8がアルミニュウム等の不透明な材料からなる場合、残量検出キャビティ14には、半田ボールの残量検出窓14aが透明な板で設けられている。残留検出窓14aは、板8aと8bの双方に設けられている。光センサ35は、発光素子と受光素子が残留検出窓14aを挟み、離間するように配設されている。 The detection of the presence or absence of solder balls remaining in the storage unit 2 is performed when the light receiving element detects the light from the optical sensor 35 by the solder balls flowing into the remaining amount detection cavity 14 from the storage unit 2. Since the solder balls are not sufficient in a single row, for example, the shape of the remaining amount detection cavity is increased in height and width so that it overlaps several times. When the plate 8 is made of an opaque material such as aluminum, the remaining amount detection cavity 14 is provided with a solder ball remaining amount detection window 14a as a transparent plate. The residual detection window 14a is provided on both the plates 8a and 8b. The optical sensor 35 is disposed such that the light emitting element and the light receiving element are spaced apart from each other with the residual detection window 14a interposed therebetween.
待機状態(図3、図6)の計量器1は、入口10が上に、出口12が下になり、第1流路15は、垂直下方に延びている。 In the measuring instrument 1 in the standby state (FIGS. 3 and 6), the inlet 10 is on the upper side, the outlet 12 is on the lower side, and the first flow path 15 extends vertically downward.
入口10の断面は、計量器1が回転する時に半田ボール23が良く流れ、たなを吊ることがないように、直径6mmと大きく設計されている。第1流路15の上部は、円柱状で、方形の残留検出キャビティ14とつながっている。更に、第1流路15の下部は、半田ボールがたなを吊り滞留しないように第2流路と同じ断面(巾2×深さ1mm)としている。 The cross section of the inlet 10 is designed to be as large as 6 mm in diameter so that the solder balls 23 flow well when the measuring instrument 1 rotates and do not suspend the gutter. The upper part of the first flow path 15 is cylindrical and connected to the rectangular residual detection cavity 14. Further, the lower portion of the first flow path 15 has the same cross section (width 2 × depth 1 mm) as the second flow path so that the solder balls do not suspend and stay.
第2流路16は、第1流路に対して斜め下方へ(45度)傾く方向に加工されている。第2流路16の断面は、第1流路との接続部と第3流路との接続部で半田ボールが滞留しないように、且つ第2流路内で滞留しないように、第1流路15の下部と第3流路と同じとし、接続部は面取りをしている。 The second flow path 16 is processed in a direction inclined obliquely downward (45 degrees) with respect to the first flow path. The cross-section of the second flow path 16 is such that the solder balls do not stay at the connection portion between the first flow path and the third flow path and do not stay in the second flow path. The lower part of the path 15 is the same as the third flow path, and the connecting portion is chamfered.
第3流路17は、垂直方向に延在し、半田ボール23の流れを規制できるように断面積を小さくしている。更に、その流路の長さも短くしてある。計量器1の右回転速度等に依存するが、第3流路17に充填された半田ボールは、第2流路16に戻るものと、残留するものと、第4流路(計量キャビティ)18へ流れるものとに分かれるので、その体積を小さくしてある。 The third flow path 17 extends in the vertical direction and has a small cross-sectional area so that the flow of the solder balls 23 can be regulated. Furthermore, the length of the flow path is also shortened. Depending on the right rotation speed and the like of the measuring instrument 1, the solder balls filled in the third flow path 17 return to the second flow path 16, remain solder balls, and the fourth flow path (measurement cavity) 18. Since it is divided into those that flow to
第4流路18である計量キャビティ18は、計量するための主要な領域で水平方向に加工され、計量精度を高めるように断面積を小さくしている。この計量キャビティ18は、第3流路17と第5流路19と境界部を持っている。計量キャビティ18が計量する容積は、大略この境界内であるが、条件(ボールの径や表面状態、流路の形状や表面状態、回転速度等)によって変動する。本発明の計量器は、半田ボールを連続した空間(流路)の一部(計量空間)に充填させて、計量空間に充填された半田ボールを取り出す計量方式が採用されている。したがって、計量される半田ボールの量は、前後の流路等の影響を受けるので、計量空間に充填された量と同一となり難い。計量空間に充填された半田ボールが計量空間と隣接する他の空間に流れ出す場合と他の空間から流れ込む場合がある。このように、本発明の計量装置は、同一の半田ボールを計量しても、計量される量が流路や回転角度と回転速度によって変動し、通常の計量器のように、計量器によって一義的にさだまらない特徴がる。 The measurement cavity 18 which is the fourth flow path 18 is processed in a horizontal direction in a main region for measurement, and has a small cross-sectional area so as to improve measurement accuracy. The measuring cavity 18 has a third channel 17, a fifth channel 19, and a boundary portion. The volume measured by the measuring cavity 18 is approximately within this boundary, but varies depending on conditions (ball diameter, surface state, flow path shape, surface state, rotational speed, etc.). The measuring instrument of the present invention employs a measuring method in which a solder ball is filled in a part (metering space) of a continuous space (flow path) and the solder ball filled in the measuring space is taken out. Therefore, the quantity of solder balls to be weighed is affected by the flow paths before and after, so it is difficult to be the same as the quantity filled in the weighing space. There are cases where the solder balls filled in the measurement space flow out to other spaces adjacent to the measurement space and flow from other spaces. As described above, the measuring device of the present invention varies the amount to be measured depending on the flow path, the rotation angle, and the rotation speed even if the same solder ball is measured. There are special features.
第5流路19は、斜め上方へ(45度)傾くように配設されている。第5流路の断面は、計量キャビティ18からのはみ出しが少なくなるように小さくし、半田ボールが滞留しないように、計量キャビティの断面と同じ形状とし、その断面積は、半田ボール23の流れを規制できるように断面積を、2×1mmと小さくしている。計量器3を垂直にして計量キャビティ18に半田ボール23を充填した時、第5流路19へ押し出す半田ボールの量は、この断面積が大きいとより多くなる。 The fifth channel 19 is disposed so as to be inclined obliquely upward (45 degrees). The cross section of the fifth flow path is made small so that the protrusion from the measurement cavity 18 is small, and the cross section of the fifth flow path is the same as the cross section of the measurement cavity so that the solder balls do not stay. The cross-sectional area is reduced to 2 × 1 mm so that it can be regulated. When the measuring instrument 3 is vertical and the measuring cavity 18 is filled with the solder balls 23, the amount of the solder balls pushed out to the fifth flow path 19 becomes larger when this cross-sectional area is larger.
第6流路20(一時貯留キャビティ)は、計量器1を90度右回転した時、水平となるように、垂直方向に配設されている。計量器が90度右回転した時、計量した半田ボールを一時貯留する空間で、半田ボールが流れ易いように断面積を巾4×深さ1mmと大きくしている。一時貯留された半田ボールは、計量器が90度左回転して待機状態に戻る過程で、第7流路21へ流れ出す。計量器1を右回転した時、半田ボールが第5流路19ら容易に入り且つ第7流路21へ流れ出さないように、第5流路と第7流路と所定の角度を持って配設されている。更に、計量器を左に90度回して待機状態にした時、第5流路から半田ボールが入り込むことがなく且つ一時貯留キャビティ内の半田ボールを残り無く第7流路に送り出すように、隣接する流路との関係を含めて、設計されている。 The sixth flow path 20 (temporary storage cavity) is arranged in the vertical direction so as to be horizontal when the measuring instrument 1 is rotated 90 degrees to the right. When the measuring instrument rotates 90 degrees to the right, the cross-sectional area is increased to a width of 4 × depth of 1 mm so that the solder balls can easily flow in a space for temporarily storing the measured solder balls. The temporarily stored solder balls flow out to the seventh flow path 21 in the process in which the measuring instrument rotates 90 degrees counterclockwise and returns to the standby state. When the measuring instrument 1 is rotated to the right, the fifth and seventh flow paths have a predetermined angle so that the solder balls easily enter the fifth flow path 19 and do not flow out to the seventh flow path 21. It is arranged. Further, when the measuring instrument is turned 90 degrees counterclockwise to be in a standby state, the solder ball does not enter from the fifth flow path and the solder ball in the temporary storage cavity is sent to the seventh flow path without remaining. It is designed including the relationship with the flow path.
第7流路21は、一時貯留キャビティ20に貯留された半田ボールが、少しの回転では順方向に移動しないように、第6流路20に対して斜め下方へ45度傾けて加工され、半田ボールが流れ易いように断面積を大きく設計されている。なお、第6流路20に対して45度傾く方向は、2通りあるが、計量部3を右方に90度傾けた時、第7流路が上方向を向いている方向である。また、この流路は、計量した半田ボールを一時貯留する空間の役割の一部を担っても良い。 The seventh flow path 21 is processed by inclining 45 degrees obliquely downward with respect to the sixth flow path 20 so that the solder balls stored in the temporary storage cavity 20 do not move in the forward direction with a slight rotation. The cross-sectional area is designed to be large so that the ball can easily flow. Note that there are two directions inclined 45 degrees with respect to the sixth flow path 20, but the seventh flow path is directed upward when the measuring unit 3 is inclined 90 degrees to the right. Moreover, this flow path may play a part of the role of the space for temporarily storing the measured solder balls.
第8流路22は、出口取付部材13に接続する流路で、半田ボールが流れ易いように断面積を大きく設計されている。第8流路22の下端は、出口12である。出口12には、出口取付部材13が取り付けられている。出口取付部材13は、案内パイプ40に連結している。案内パイプ40は、計量されて出口12から供給される半田ボール23が逸散しないようになっている。更に、大気中のゴミと混合しないように、又は新鮮な大気が半田ボールに接触しないようにしている。 The eighth flow path 22 is a flow path connected to the outlet mounting member 13 and is designed to have a large cross-sectional area so that the solder balls can easily flow. The lower end of the eighth flow path 22 is the outlet 12. An outlet attachment member 13 is attached to the outlet 12. The outlet mounting member 13 is connected to the guide pipe 40. The guide pipe 40 is configured so that the solder balls 23 weighed and supplied from the outlet 12 do not escape. Further, it is prevented from mixing with dust in the atmosphere, or fresh air does not contact the solder balls.
図11は、計量器1の斜視図で、分かり易いように、上下を逆さに、半田ボールを除いて図示してある。入口10と出口12の断面は円形で、残留検出キャビティ14は方形で、板8aと板8bに跨っている。他の流路は、板8aに形成されている。 FIG. 11 is a perspective view of the measuring instrument 1 and is shown upside down, excluding the solder balls, for easy understanding. The cross section of the inlet 10 and the outlet 12 is circular, and the residual detection cavity 14 is square and straddles the plates 8a and 8b. Other flow paths are formed in the plate 8a.
図1に図示した第5流路19は、斜め上方に、第7流路21は、斜め下方に、平行して設けられている。それらの角度は、水平に対して上方又は下方へ45度である。 The fifth flow path 19 illustrated in FIG. 1 is provided in a diagonally upward direction, and the seventh flow path 21 is provided in a diagonally downward direction in parallel. Their angle is 45 degrees upward or downward with respect to the horizontal.
以下、計量器1の回転機構について説明する。
図3〜図5は、本発明になる粒状物質の計量装置39をボール振込装置に適用した1実施例の側面図で、計量器1の3種類の傾き状態をそれぞれに示してある。図3は、計量器1が垂直上向の状態、図4は、計量器1が45度右方向に回転した状態、そして図5は、計量器1が90度右方向へ回転し、水平となった状態を示している。
なお、計量器1の動きは、単純な円運動ではなく、円運動と垂直方向の直線運動を組合せた回転となる。更に、それらの図は、ボール振込ヘッド25を基板41に押し付けたボール振込操作状態では、基板41上に供給された半田ボール23を表示し難いので、待機状態(例えば、半田ボールの振込を行なわない状態で計量供給装置39を所定の位置に移動する状態)で示してある。また、半田ボールの振込を行なう場合、計量装置は、スライダ(図示略)により上下移動可能に配設されている治具取付板43を降下させ、ボール振込ヘッド25を基板41に適切に接する位置まで降下させ、基板上に半田ボールを保持しながら自転と水平移動させる。
Hereinafter, the rotation mechanism of the measuring instrument 1 will be described.
3 to 5 are side views of an embodiment in which the granular material measuring device 39 according to the present invention is applied to a ball transfer device, and shows three types of inclination states of the measuring device 1 respectively. 3 shows a state in which the measuring instrument 1 is vertically upward, FIG. 4 shows a state in which the measuring instrument 1 has been rotated 45 degrees to the right, and FIG. 5 shows that the measuring instrument 1 has been rotated 90 degrees in the right direction. This shows the state.
Note that the movement of the measuring instrument 1 is not a simple circular motion, but a rotation that combines a circular motion and a vertical linear motion. Furthermore, in these drawings, in the ball transfer operation state in which the ball transfer head 25 is pressed against the substrate 41, it is difficult to display the solder balls 23 supplied onto the substrate 41. Therefore, the standby state (for example, transfer of solder balls is performed). In this state, the metering supply device 39 is moved to a predetermined position). In addition, when transferring the solder ball, the weighing device lowers the jig mounting plate 43 disposed so as to be movable up and down by a slider (not shown) and appropriately contacts the ball transfer head 25 with the substrate 41. And rotate and move horizontally while holding the solder balls on the board.
図3は、半田ボールを計量供給する前又は供給した後の待機状態を示す。計量器1は、ボール振込ヘッド25の上方に配設され、案内パイプ26を介してボール振込ヘッド25に連結されている。計量装置39は、エアシリンダ27のピストンロッド28が上下することにより、計量器1が上下に移動しながら回転する駆動機構を有している。ピストンロッド28の上端には、上下移動板29が固定されていて、上下移動板29は、スライダ36で案内され上下に移動できる。計量器1のフタ5は、回転板31に取り付けられている。回転板31は、回転軸30を介して回転可能に上下移動板29と連結している。ピン案内板33は、エアシリンダ27、光センサ35、ボール振込ヘッド25の回転用のモータ37と共に、治具取付板43に固定されている。回転板31の下方に設けられたピン32は、上下移動板29が上下に移動するに伴い、回転板30が回転軸31を中心に回転するように、ピン案内板33に設けられた長孔34を水平方向に移動する。回転軸30は、上下移動板29と一緒に上下するだけで、水平には移動しない。 FIG. 3 shows a standby state before or after solder balls are supplied. The measuring instrument 1 is disposed above the ball transfer head 25 and is connected to the ball transfer head 25 via a guide pipe 26. The measuring device 39 has a drive mechanism that rotates while the measuring instrument 1 moves up and down as the piston rod 28 of the air cylinder 27 moves up and down. A vertical movement plate 29 is fixed to the upper end of the piston rod 28, and the vertical movement plate 29 is guided by a slider 36 and can move up and down. The lid 5 of the measuring instrument 1 is attached to the rotating plate 31. The rotating plate 31 is connected to the up-and-down moving plate 29 via the rotating shaft 30 so as to be rotatable. The pin guide plate 33 is fixed to the jig mounting plate 43 together with the air cylinder 27, the optical sensor 35, and the motor 37 for rotating the ball transfer head 25. The pin 32 provided below the rotary plate 31 is a long hole provided in the pin guide plate 33 so that the rotary plate 30 rotates about the rotary shaft 31 as the vertical movement plate 29 moves up and down. 34 is moved horizontally. The rotary shaft 30 only moves up and down together with the vertical movement plate 29 and does not move horizontally.
シリンダロッド28が降下すると、上下移動板29が一緒に降下し、上下移動板29と回転可能に連結している回転軸30が降下しながら回転し、ピン32は、長孔34に沿って左方に移動するので、計量器1は、右回転する。逆に、シリンダロッド28が上昇すると計量器1は、左回転する。 When the cylinder rod 28 is lowered, the vertical movement plate 29 is lowered together, the rotary shaft 30 that is rotatably connected to the vertical movement plate 29 is rotated while being lowered, and the pin 32 is moved to the left along the long hole 34. The measuring instrument 1 rotates to the right. On the contrary, when the cylinder rod 28 rises, the measuring instrument 1 rotates counterclockwise.
シリンダロッド28が下降すると、計量器1は、下降しながら回転するが、案内パイプ26は、その下端が固定されているので、降下した分の距離の変化を吸収して湾曲する。パイプ案内板24は、案内パイプ26が蛇行しないように規制するものである。 When the cylinder rod 28 descends, the measuring instrument 1 rotates while descending. However, since the lower end of the guide pipe 26 is fixed, the guide pipe 26 is curved by absorbing the change in the distance of the descending portion. The pipe guide plate 24 regulates the guide pipe 26 so as not to meander.
図4は、ピストンロッド28と上下移動板29の降下に伴い回転軸30が降下し、それによってピン32の左方向への移動と回転板31の回転軸30周りの回転とが同時に引き起こされ、計量器1が、右回転へ45度回転した状態を示す。即ち、図3より45度右回転した状態が図4である。なお、計量器1中のボールの状態は、図7に対応している。 In FIG. 4, the rotary shaft 30 is lowered as the piston rod 28 and the vertical movement plate 29 are lowered, thereby causing the pin 32 to move to the left and the rotation plate 31 to rotate around the rotary shaft 30 at the same time. The state in which the measuring instrument 1 is rotated 45 degrees clockwise is shown. That is, FIG. 4 shows a state rotated 45 degrees from FIG. In addition, the state of the ball in the measuring instrument 1 corresponds to FIG.
図5は、ピストンロッド28が下降し、計量器1が90度右回転した状態を示す。この過程で、計量器1は、半田ボールを計量し、一時貯留キャビティ20へ一時貯留する。 FIG. 5 shows a state where the piston rod 28 is lowered and the measuring instrument 1 is rotated 90 degrees to the right. In this process, the measuring instrument 1 measures the solder ball and temporarily stores it in the temporary storage cavity 20.
図5の状態のピストンロッド28を上方へ駆動することにより、計量器1は、45度左回転して図4、そして90度左回転して図3の状態となる。この過程で、半田ボール23は、基板41上に供給される。このように、本発明の計量器1は、エアシリンダ27により、垂直と水平の間を往復回転できるようになっていて、往路で半田ボールを計量し、復路で計量した半田ボールを供給するようになっている。なお、計量器1中のボールの状態は、図8に対応している。 By driving the piston rod 28 in the state of FIG. 5 upward, the measuring instrument 1 rotates 45 degrees counterclockwise to FIG. 4 and then rotates 90 degrees counterclockwise to the state of FIG. In this process, the solder balls 23 are supplied onto the substrate 41. As described above, the measuring instrument 1 of the present invention can reciprocate between vertical and horizontal by the air cylinder 27 so as to measure the solder ball in the forward path and supply the solder ball measured in the backward path. It has become. In addition, the state of the ball in the measuring instrument 1 corresponds to FIG.
次に半田ボール23を回転により計量・供給する過程について説明する。
図6〜図10は、計量器1の回転状態と計量器内の半田ボールの分布状況を示した図である。実施例では、直径が80μmの半田ボールを使用しているが、小さすぎて表示できないので、相対的に大きく図示しているので、計量器等との大きさの縮尺が対応していない。半田ボールの直径は、1〜500μmが好ましい。1μm未満となると、粉状となり計量がし難くなる。
Next, the process of measuring and supplying the solder balls 23 by rotation will be described.
6 to 10 are views showing the rotation state of the measuring instrument 1 and the distribution state of the solder balls in the measuring instrument. In the embodiment, a solder ball having a diameter of 80 μm is used, but since it is too small to be displayed, it is shown relatively large, so that it does not correspond to the scale of a measuring instrument or the like. The diameter of the solder ball is preferably 1 to 500 μm. When it is less than 1 μm, it becomes powdery and it becomes difficult to measure.
図6は、半田ボールを計量供給する前又は供給した後の待機状態を示す。貯留部2の半田ボール23は、入口10から入り計量キャビティ18までの流路を充填し、第5流路19の下端まで流れてき、半田ボール同士と半田ボールと流路側壁との間に生じた摩擦力により停留している。なお、第5流路19は、断面積を小さくしてあるので、半田ボール23は、この流路へ大量に流れ込むことはない。第5流路19は、水平な第4流路18より45度斜め上方を向いているので、回転角度が例えば−30度程度では、半田ボール23は、摩擦力により殆ど移動しない。 FIG. 6 shows a standby state before or after solder balls are supplied. The solder ball 23 of the storage unit 2 fills the flow path from the inlet 10 to the measuring cavity 18 and flows to the lower end of the fifth flow path 19 and is generated between the solder balls and between the solder ball and the flow path side wall. It is stopped by the friction force. Since the fifth flow path 19 has a small cross-sectional area, the solder balls 23 do not flow into the flow path in large quantities. Since the fifth flow path 19 faces obliquely upward by 45 degrees from the horizontal fourth flow path 18, the solder ball 23 hardly moves due to frictional force when the rotation angle is about −30 degrees, for example.
図7は、図6の状態から計量器1を45度右回転させた状態を示す。
第5流路19が斜め上方へ45度の角度で配設されているので、回転角度が45度を越えると、計量キャビティ18内の半田ボールは、例えば半田ボールが坂を転がるように、第5流路19へ転がり出し、第3流路17にある半田ボールは、計量キャビティ18の空いた空間へ移動する。一方、半田ボール23は、第2流路16の傾きが水平より下方の向きから水平となり、更に水平より上方へ向きとなるで、第2流路16から第3流路17へ、移動ができなくなる。このようなことで、第3流路17には、空隙が生じる。
FIG. 7 shows a state in which the measuring instrument 1 is rotated 45 degrees to the right from the state of FIG.
Since the fifth flow path 19 is disposed obliquely upward at an angle of 45 degrees, when the rotation angle exceeds 45 degrees, the solder balls in the measurement cavity 18 are, for example, such that the solder balls roll on a slope. The solder balls in the third flow path 17 roll out to the fifth flow path 19 and move to the space in which the measurement cavity 18 is vacant. On the other hand, the solder ball 23 can move from the second flow path 16 to the third flow path 17 because the inclination of the second flow path 16 becomes horizontal from the direction lower than the horizontal and further upward from the horizontal. Disappear. As a result, a gap is generated in the third flow path 17.
第1流路15の半田ボールの一部が貯留部2に戻った場合を図8は示している。
なお、第1流路15にある半田ボールが貯留部2へ移動しない場合、第2流路16にある半田ボールは、そのままの状態で残留する。
FIG. 8 shows a case where a part of the solder balls in the first flow path 15 returns to the storage unit 2.
In addition, when the solder ball in the first flow path 15 does not move to the storage unit 2, the solder ball in the second flow path 16 remains as it is.
図8は、更に45度右回転させて、計量器1を水平にした状態を示す。第1流路15にある半田ボールの一部は、貯留部2へ移動するので、第2流路16にある半田ボールも第1流路15へ移動し、第2流路16に生じた空隙が生じる。一方、第3流路17にある半田ボールは、流路の角度の関係で、殆どが第4流路18へ移動し、第5流路19を通って、一時貯留キャビティ20へ移動する。この90度の回転で、計量された半田ボール23が一時貯留キャビティ20に分離される。 FIG. 8 shows a state in which the measuring instrument 1 is further rotated to the right by 45 degrees to be horizontal. Since some of the solder balls in the first flow path 15 move to the storage unit 2, the solder balls in the second flow path 16 also move to the first flow path 15, and the gap generated in the second flow path 16. Occurs. On the other hand, most of the solder balls in the third flow path 17 move to the fourth flow path 18 and move to the temporary storage cavity 20 through the fifth flow path 19 because of the angle of the flow path. With this 90-degree rotation, the weighed solder balls 23 are separated into the temporary storage cavities 20.
図9は、計量器1を第8図から45度弱左回転させた状態を示す。
計量された半田ボールは、一時計量キャビティ20とその下流の第7流路21に跨り延在する。一方、貯留部2からの半田ボールは、第2流路16で移動を阻まれ停滞する。
次に、計量器1を更に回転させ、例えば、回転角度を70度にすると、一時計量キャビティ20とその下の第7流路21に跨り延在していた半田ボールは、出口12を経由して案内パイプ40へ流れる。一方、第2流路16で移動を阻まれ停滞していいた貯留部2からの半田ボールは、第3流路17と第4流路18を通り、第5流路19の入口で阻まれる。
FIG. 9 shows a state in which the measuring instrument 1 is rotated slightly to the left by 45 degrees from FIG.
The weighed solder balls extend across the temporary metering cavity 20 and the seventh flow path 21 downstream thereof. On the other hand, the solder balls from the reservoir 2 are blocked by the second flow path 16 and are stagnated.
Next, when the measuring instrument 1 is further rotated, for example, when the rotation angle is set to 70 degrees, the solder ball extending over the temporary measuring cavity 20 and the seventh flow path 21 thereunder passes through the outlet 12. To the guide pipe 40. On the other hand, the solder balls from the storage unit 2 that have been blocked by the movement of the second flow path 16 pass through the third flow path 17 and the fourth flow path 18 and are blocked by the inlet of the fifth flow path 19.
図10は、図9の状態から計量器1を垂直にした状態を示す。貯留部2からの半田ボールは、第5流路19の入口で阻まれ、計量キャビティ20に滞留する。排出された半田ボール23は、案内パイプ26に放出されるが、わかり易いように、大気へ放出しするように作図してある。また、半田ボール23は、実寸では、点となり分かり難いので、実寸より大きく作図してある。 FIG. 10 shows a state in which the measuring instrument 1 is made vertical from the state of FIG. Solder balls from the reservoir 2 are blocked by the inlet of the fifth flow path 19 and stay in the measuring cavity 20. The discharged solder balls 23 are discharged to the guide pipe 26, but are drawn so as to be released to the atmosphere for easy understanding. Further, the solder ball 23 is drawn larger than the actual size because it is difficult to understand at the actual size.
半田ボールが貯留部2の入口10を覆っている場合について説明する。
第1流路15と第2流路16に充填されている半田ボールは、計量器1が回転しても、貯留部2に逆流できない。一方、第3流路17に充填されている半田ボールは、計量器1が45度より右回転した状態で静止又は回転速度を遅くし、図7と図8の状態にすると、第4流路18を通り第5流路19へ流れ出す。しかし、この場合、第2流路16が斜め上を向くので、第2流路16から第3流路17へ順方向の半田ボールの移動は生じない。
A case where the solder ball covers the inlet 10 of the storage unit 2 will be described.
The solder balls filled in the first flow path 15 and the second flow path 16 cannot flow back to the storage section 2 even if the measuring instrument 1 rotates. On the other hand, the solder balls filled in the third flow path 17 are stationary or slowed in the state in which the measuring instrument 1 is rotated to the right from 45 degrees. 18 and flows out to the fifth flow path 19. However, in this case, since the second flow path 16 faces obliquely upward, the forward movement of the solder balls from the second flow path 16 to the third flow path 17 does not occur.
図11は、計量器1の斜視図で、分かり易いように、上下を逆さに、半田ボールを除いて図示してある。 FIG. 11 is a perspective view of the measuring instrument 1 and is shown upside down, excluding the solder balls, for easy understanding.
残留ボール検出について記述する。
光センサ35は、治具取付板43の上端付近に取り付けられている(図4参照)。そして、計量部3の板8に残量検出窓14aが設けられている。残量検出は、図3のように計量器1を垂直に立てた時に行なう。図3に示すように、光センサ35の発光部と受光部は、残量検出窓14aを挟んで対応させてある。光センサ35の発光素子から射出された光が、残量検出キャビティ14内の半田ボールに反射されて、受光素子に届かない場合、半田ボールの残留量は、あると判断する。光が受光素子に届いた場合、半田ボールの残留量はないと判断する。
Describes residual ball detection.
The optical sensor 35 is mounted near the upper end of the jig mounting plate 43 (see FIG. 4). A remaining amount detection window 14 a is provided on the plate 8 of the measuring unit 3. The remaining amount is detected when the measuring instrument 1 is set up vertically as shown in FIG. As shown in FIG. 3, the light emitting part and the light receiving part of the optical sensor 35 correspond to each other with the remaining amount detection window 14a interposed therebetween. When the light emitted from the light emitting element of the optical sensor 35 is reflected by the solder ball in the remaining amount detection cavity 14 and does not reach the light receiving element, it is determined that there is a residual amount of the solder ball. When the light reaches the light receiving element, it is determined that there is no remaining solder ball.
受光素子に届く光量が、中間的な値をとる場合があるので、受光素子からの出力の50%を境に規格化すると良い。また、残量検出センサ35が作動しても、十数回分の残留ボールがあるようになっている。警報が鳴ったら、半田ボールの振込を中止し、半田ボールの補充をする。 Since the amount of light reaching the light receiving element may take an intermediate value, it may be standardized with 50% of the output from the light receiving element as a boundary. Even when the remaining amount detection sensor 35 is activated, there are ten or more remaining balls. When the alarm sounds, stop transferring the solder balls and refill the solder balls.
他の実施例について説明する。
容器4は、半田ボールの販売や運搬に使用する容器も用いることができる。容器4の容量は、粒状物質の大きさや計量頻度等により20〜500ccでも良い。容器4の大きさが1,000ccを超える場合は、容器4を大型容器とし、計量部と可撓性のあるパイプで接続すると良い。貯留部と計量部を可撓性のあるパイプで接続すると、貯留部は、回転しないで半田ボールを常時入口10に供給できる。このような構造により、半田ボールが計量器の回転により損傷を受けることが無くなる。
Another embodiment will be described.
The container 4 can also be a container used for selling and transporting solder balls. The capacity of the container 4 may be 20 to 500 cc depending on the size of the granular material, the measurement frequency, and the like. When the size of the container 4 exceeds 1,000 cc, the container 4 may be a large container and connected to the weighing unit with a flexible pipe. When the storage unit and the measuring unit are connected by a flexible pipe, the storage unit can always supply the solder ball to the inlet 10 without rotating. With such a structure, the solder ball is not damaged by the rotation of the measuring instrument.
待機状態の計量器1の角度が垂直の場合を説明したが、垂直でなくて、例えば、70〜110度でも良い。また、計量するための回転角度を90度の往復で説明したが、60度〜110度でも良く、より好ましくは。70〜90度である。
また、計量器1の回転面は、治具取付板43と垂直な場合、複数の計量供給装置39を並列に配列する場合、計量供給装置を密に配列できるメリットがあるが、安全等を考慮して平行でも良い。
Although the case where the angle of the measuring instrument 1 in the standby state is vertical has been described, it may be 70 to 110 degrees instead of being vertical. Moreover, although the rotation angle for weighing was described as a reciprocation of 90 degrees, it may be 60 to 110 degrees, and more preferably. 70 to 90 degrees.
In addition, when the rotating surface of the measuring instrument 1 is perpendicular to the jig mounting plate 43, and when a plurality of measuring and feeding devices 39 are arranged in parallel, there is an advantage that the measuring and feeding devices can be arranged densely, but safety and the like are taken into consideration. And it may be parallel.
また、第2流路16、第5流路19と第7流路21は、水平に対して45度の傾きの流路となっているが、20〜50度でも良い。この角度が小さくなると、計量するために必要とされる回転角を小さくすることができる。しかし、本発明は、半田ボールに作用する重力を利用しているので、半田ボールの供給速度が遅くなること、回転に伴う半田ボールの切れが低下する。さらに、第2流路16と第6流路は、平行でなくても良い。これらの条件を変更することにより、半田ボールの流れ出しや流れの停止を変更することができる。 Moreover, although the 2nd flow path 16, the 5th flow path 19, and the 7th flow path 21 are a flow path of 45 degree | times inclination with respect to horizontal, 20-50 degree | times may be sufficient. When this angle is reduced, the rotation angle required for weighing can be reduced. However, since the present invention uses the gravity acting on the solder ball, the supply speed of the solder ball becomes slow and the breakage of the solder ball accompanying the rotation is reduced. Furthermore, the 2nd flow path 16 and the 6th flow path do not need to be parallel. By changing these conditions, it is possible to change the flow of the solder ball and the stop of the flow.
また、第2流路、第3流路、第4流路および第5流路の断面は、2×1mmに限定されない。流路は、幅は、1〜10mm、深さが1〜5mmが良い。 The cross sections of the second flow path, the third flow path, the fourth flow path, and the fifth flow path are not limited to 2 × 1 mm. The channel preferably has a width of 1 to 10 mm and a depth of 1 to 5 mm.
この第7流路は、半田ボールの出口13が入口11の下方に配設するために必要なものである。従って、出口13を90度回転して取り付けると、半田ボールを、一時貯留キャビティに滞留させることなく、出口13へ排出できる。この場合、出口13は、図1の右側面で+-に配設される。 The seventh flow path is necessary for the solder ball outlet 13 to be disposed below the inlet 11. Therefore, when the outlet 13 is rotated 90 degrees and attached, the solder balls can be discharged to the outlet 13 without staying in the temporary storage cavity. In this case, the outlet 13 is arranged on the right side of FIG.
貯留部2の交換または貯留部2への半田ボールの追加は、残留する半田ボールが少なくなった状態で行なうことが、貯留部2内に長い時間残留する半田ボールを少なくするので好ましい。貯留部2の交換は、管案内24から案内パイプ26を取り外し、計量器1を上向きにして、フタを外して行なう。 Replacing the storage part 2 or adding solder balls to the storage part 2 is preferably performed in a state where the remaining solder balls are reduced, because the number of solder balls remaining in the storage part 2 for a long time is reduced. Replacement of the reservoir 2 is performed by removing the guide pipe 26 from the tube guide 24, with the measuring instrument 1 facing upward, and removing the lid.
貯留部2に残留する半田ボールの検出精度は、半田ボールが広い面積に積層又は散在している状態で検出すると、精度が低くなる。検出精度は、半田ボールを小さい空間に導き、その空間を半田ボールが充たしているかどうかを判断することにより、検出精度が高くなる。また、残量検出は、半田ボールの補充作業を考慮して、残留する半田ボールが完全に無くなった時でなく、所定回数分残留している状態で、警報を発するようにしてある。 The detection accuracy of the solder balls remaining in the storage unit 2 is low when the detection is performed in a state where the solder balls are stacked or scattered over a wide area. The detection accuracy is increased by guiding the solder ball to a small space and determining whether the space is filled with the solder ball. Further, in the remaining amount detection, in consideration of the replenishment work of the solder balls, an alarm is issued not when the remaining solder balls are completely removed but when they remain for a predetermined number of times.
半田ボールの直径は、89μmに限定されず、20〜300μmで良い。また、この計量器は、水のような流体は、流動性が高すぎて、また小麦粉のような粉体は、流動性が悪く、計量に適していない。 The diameter of the solder ball is not limited to 89 μm and may be 20 to 300 μm. Further, in this measuring instrument, a fluid such as water has too high fluidity, and a powder such as wheat flour has poor fluidity and is not suitable for measurement.
本発明のボール計量装置は、半田ボール以外のボールに適用できる他、球状でない粉体にも有効に適用できる。また、本発明のボール供給方法とボール供給装置は、ボール振込装置の他に、真空吸着ヘッドを用いてボールを基板に搭載するボール搭載装置にも適用できる。 The ball weighing device of the present invention can be applied to balls other than solder balls, and can also be effectively applied to non-spherical powders. In addition to the ball transfer device, the ball supply method and the ball supply device of the present invention can also be applied to a ball mounting device that mounts a ball on a substrate using a vacuum suction head.
また、本発明のボール振込装置は、半田ボール以外のボールに適用できる他、球状でない角状の粒子にも有効に適用できる。薬剤、食物、薬品等の供給に適する。 Moreover, the ball transfer apparatus of the present invention can be applied not only to balls other than solder balls but also effectively to non-spherical angular particles. Suitable for supply of drugs, food, medicines, etc.
符号の説明
1・・・計量器、2・・・貯留部、3・・・計量部、4・・・容器、5・・・フタ、6・・・、7・・・回転シャフト、8(8a、8b)・・・スキージ支持板、9・・・ピン、10・・・入口、11・・・入口取付部材、12・・・出口、13・・・出口取付部材、14・・・残留検出キャビティ、14a・・・残量検出窓、15・・・第1流路、16・・・第2流路、17・・・第3流路、18・・・第4流路(計量キャビティ)、19・・・第5流路、20・・・第6流路(一時貯留キャビティ)、21・・・第7流路、22・・・第8流路、23・・・半田ボール、24・・・管案内板、25・・・ボール振込ヘッド、26・・・案内パイプ、27・・・エアシリンダ、28・・・シリンダロッド、29・・・上下板、30・・・回転板、31・・・回転軸、32・・・ピン、33・・・ピン案内板、34・・・長孔、35・・・光センサ、36・・・スライダ、37・・・モータ、38・・・マスク、39・・・計量装置、41・・・基板、42・・・案内パイプの下部、43・・・治具取付板
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Measuring device, 2 ... Storage part, 3 ... Measuring part, 4 ... Container, 5 ... Cover, 6 ..., 7 ... Rotating shaft, 8 ( 8a, 8b) ... squeegee support plate, 9 ... pin, 10 ... inlet, 11 ... inlet attachment member, 12 ... outlet, 13 ... exit attachment member, 14 ... residual Detection cavity, 14a ... remaining amount detection window, 15 ... first channel, 16 ... second channel, 17 ... third channel, 18 ... fourth channel (metering cavity) ), 19 ... 5th flow path, 20 ... 6th flow path (temporary storage cavity), 21 ... 7th flow path, 22 ... 8th flow path, 23 ... solder ball, 24 ... pipe guide plate, 25 ... ball transfer head, 26 ... guide pipe, 27 ... air cylinder, 28 ... cylinder rod, 29 ... upper and lower plates, 30 ... Rotating plate, 31 ... Rotating shaft, 32 ... Pin, 33 ... Pin guide plate, 34 ... Elongated hole, 35 ... Optical sensor, 36 ... Slider, 37 ... -Motor, 38 ... Mask, 39 ... Measuring device, 41 ... Substrate, 42 ... Lower part of guide pipe, 43 ... Jig mounting plate
Claims (3)
上記貯留部から上記粒状物質を上記計量部へ受け入れる上記入口は、垂直下方向にのびる第1流路とつながり、
この第1流路は、斜め下方向にのびる第2流路とつながり、
この第2流路は、垂直下方向にのびる第3流路とつながり、
この第3流路は、水平方向にのびる上記計量キャビティである第4流路とつながり、
上記計量キャビティは、斜め上方向にのびる第5流路とつながり、
この第5流路は、垂直下方向にのびる上記一時貯留キャビティである第6流路とつながり、
上記一時貯留キャビティは、斜め下方向にのびる第7流路とつながり、
この第7流路は、垂直下方向にのびる第8流路とつながり、そして
この第8流路は、計量された上記粒状物質を排出する上記出口とつながることを特徴とする粒状物質の計量装置。 A measuring unit comprising a storage unit for storing the particulate material, a measuring unit for measuring the particulate material, and a driving device for rotating the measuring unit to measure the particulate material, wherein the measuring unit is connected to the storage unit; In a metering device having a connected inlet, a metering cavity for metering the particulate material, a temporary storage cavity for temporarily storing the metered particulate material, and an outlet,
The inlet for receiving the particulate matter from the reservoir to the measuring unit is connected to a first flow path extending vertically downward,
This first flow path is connected to the second flow path extending obliquely downward,
This second flow path is connected to the third flow path extending vertically downward,
This third flow path is connected to the fourth flow path, which is the measurement cavity extending in the horizontal direction,
The measuring cavity is connected to the fifth flow path extending obliquely upward,
This fifth channel is connected to the sixth channel which is the temporary storage cavity extending vertically downward,
The temporary storage cavity is connected to the seventh flow path extending obliquely downward,
The seventh flow path is connected to an eighth flow path extending vertically downward, and the eighth flow path is connected to the outlet for discharging the measured granular substance. .
上記計量キャビティの方向と、上記一時貯留キャビティの方向がほぼ90度の角度をなすことを特徴とする粒状物質の計量装置。 A measuring unit comprising a storage unit for storing the particulate material, a measuring unit for measuring the particulate material, and a driving device for rotating the measuring unit to measure the particulate material, wherein the measuring unit is connected to the storage unit; In a metering device having a connected inlet, a metering cavity for metering the particulate material, a temporary storage cavity for temporarily storing the metered particulate material, and an outlet,
An apparatus for measuring particulate matter, characterized in that the direction of the measuring cavity and the direction of the temporary storage cavity form an angle of approximately 90 degrees.
上記粒状物質の残量検出部を上記入口と上記計量キャビティの間に配設することを特徴とする粒状物質の計量装置。 A measuring unit comprising a storage unit for storing the particulate material, a measuring unit provided with a flow path for measuring the particulate material, and a driving device for rotating the measuring unit; In a metering device including an inlet, a metering cavity for metering the particulate material, a temporary storage cavity for temporarily storing the metered particulate material, an outlet for discharging the metered particulate material, and a flow path connecting them,
The particulate matter measuring device, wherein the particulate matter remaining amount detecting portion is disposed between the inlet and the measuring cavity.
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