JP2009197263A - Surface-coated material, and cutting tool and machine tool using the same - Google Patents

Surface-coated material, and cutting tool and machine tool using the same Download PDF

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Ichiro Nagano
一郎 永野
Taiji Kikuchi
泰路 菊池
Masakatsu Fujita
昌克 藤田
Yukio Kigami
幸夫 樹神
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a surface-coated material revealing the high shock resistance while suppressing oxidation degradation in a high-temperature range, and a cutting tool and a machine tool using the same. <P>SOLUTION: The surface-coated material 10 includes a base material 11 consisting of high-speed tool steel or cemented carbide, a metal nitride layer 12 provided on a surface of the base material 11 and consisting of at least one kind of nitride (N) out of aluminum (Al), zirconium (Zr), chromium (Cr), silicon (Si) and titanium (Ti), and a metal oxide layer 13 provided on a surface of the metal nitride layer 12 and consisting of oxide (O) of at least one of tin (Sn) and zirconium (Zr) with aluminum (Al). <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、表面被覆材料及びこれを利用する切削工具並びに工作機械に関する。   The present invention relates to a surface coating material, a cutting tool using the same, and a machine tool.

近年、環境に対する影響から、工作機械で切削加工を行う際に切削油剤を使用しないいわゆるドライ切削加工法が利用され始めている。このドライ切削加工法は、低摩擦係数(約0.4)を有すると共に高耐熱性(約500〜1200℃)を有するTiN系やTiAlN系やAlCrN系等の金属窒化物の層を表面に設けた切削工具を工作機械に装着して切削加工を行うことにより、切削油剤を不要とした技術である。   In recent years, due to the influence on the environment, so-called dry cutting methods that do not use a cutting fluid when cutting with a machine tool have begun to be used. This dry cutting method is provided with a TiN-based, TiAlN-based, or AlCrN-based metal nitride layer having a low coefficient of friction (about 0.4) and high heat resistance (about 500-1200 ° C.) on the surface. This is a technology that eliminates the need for a cutting fluid by mounting a cutting tool on a machine tool for cutting.

特開平10−025566号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-025566 特開2003−321764号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2003-321764 特開2007−131927号公報JP 2007-131927 A

ところで、前述したドライ切削加工法に使用される切削工具においては、1200℃を超えるようなさらなる高温領域で使用しようとすると、上記金属窒化物が酸素と反応して酸化することにより、体積膨張して亀裂等を生じてしまうという問題があった。このため、例えば、上記金属窒化物の表面に低酸素透過性の酸化アルミニウム(Al23)からなる金属酸化物層を設けることにより、さらなる高温領域での使用を可能にすることが考えられている。 By the way, in the cutting tool used in the above-described dry cutting method, if it is intended to be used in a further high temperature region exceeding 1200 ° C., the metal nitride reacts with oxygen and oxidizes, so that volume expansion occurs. There has been a problem of cracks and the like. For this reason, for example, by providing a metal oxide layer made of low oxygen-permeable aluminum oxide (Al 2 O 3 ) on the surface of the metal nitride, it may be possible to use in a higher temperature region. ing.

しかしながら、酸化アルミニウムからなる上記金属酸化物層は、結晶粒が細長い柱状になりやすいことから(アスペクト比:5超)、工作物と接触した際に、切削工具の表面から欠落して、当該欠落箇所を起点にした溶着による剥離や欠陥等を生じやすく、耐久性に難点を生じてしまっていた。   However, since the metal oxide layer made of aluminum oxide tends to have long and narrow crystal grains (aspect ratio: more than 5), it is missing from the surface of the cutting tool when it comes into contact with the workpiece, and the missing Peeling and defects due to welding starting from the location are likely to occur, resulting in difficulty in durability.

このような問題は、上述したような工作機械に使用される切削工具に限らず、高温領域での酸化劣化を抑えながらも高耐衝撃性を要求される表面被覆材料であれば、上述の場合と同様に生じ得ることである。   Such a problem is not limited to the cutting tool used in the machine tool as described above, but if it is a surface coating material that requires high impact resistance while suppressing oxidation deterioration in a high temperature region, It can happen as well.

このようなことから、本発明は、高温領域での酸化劣化を抑えながらも高耐衝撃性を発現できる表面被覆材料及びこれを利用する切削工具並びに工作機械を提供することを目的とする。   In view of the above, an object of the present invention is to provide a surface coating material that can exhibit high impact resistance while suppressing oxidative deterioration in a high temperature region, and a cutting tool and a machine tool using the surface coating material.

前述した課題を解決するための、第一番目の発明に係る表面被覆材料は、スズ及びジルコニウムの少なくとも一方とアルミニウムとの酸化物からなる金属酸化物層を表面に有することを特徴とする。   The surface coating material according to the first invention for solving the above-described problems has a metal oxide layer formed of an oxide of at least one of tin and zirconium and aluminum on the surface.

第二番目の発明に係る表面被覆材料は、第一番目の発明において、前記金属酸化物層が、スズ及びジルコニウムの少なくとも一方の酸化物を合計0.1〜15重量%含有し、アルミニウムの酸化物で残部を構成されていることを特徴とする。   A surface coating material according to a second invention is the surface coating material according to the first invention, wherein the metal oxide layer contains a total of 0.1 to 15 wt% of at least one oxide of tin and zirconium, It is characterized in that the remainder is composed of objects.

第三番目の発明に係る表面被覆材料は、第一番目の発明において、前記金属酸化物層が、リチウム,マグネシウム,珪素のうちの少なくとも一種の酸化物を含有していることを特徴とする。   A surface coating material according to a third invention is characterized in that, in the first invention, the metal oxide layer contains at least one oxide of lithium, magnesium, and silicon.

第四番目の発明に係る表面被覆材料は、第三番目の発明において、前記金属酸化物層が、スズ及びジルコニウムの少なくとも一方の酸化物を合計0.1〜15重量%含有し、リチウム,マグネシウム,珪素のうちの少なくとも一種の酸化物を合計0.1〜15重量%含有し、アルミニウムの酸化物で残部を構成されていることを特徴とする。   A surface coating material according to a fourth invention is the surface coating material according to the third invention, wherein the metal oxide layer contains at least one oxide of tin and zirconium in a total amount of 0.1 to 15% by weight, lithium, magnesium , Containing a total of 0.1 to 15% by weight of at least one oxide of silicon and the balance being made of an oxide of aluminum.

第五番目の発明に係る表面被覆材料は、第一番目から第四番目の発明のいずれかにおいて、前記金属酸化物層の結晶粒のアスペクト比が5以下であることを特徴とする。   The surface coating material according to a fifth invention is characterized in that, in any one of the first to fourth inventions, the aspect ratio of the crystal grains of the metal oxide layer is 5 or less.

第六番目の発明に係る表面被覆材料は、第一番目から第五番目の発明のいずれかにおいて、前記金属酸化物層が、金属窒化物の表面に設けられていることを特徴とする。   The surface coating material according to a sixth aspect of the present invention is characterized in that, in any one of the first to fifth aspects, the metal oxide layer is provided on the surface of the metal nitride.

第七番目の発明に係る表面被覆材料は、第六番目の発明において、前記金属窒化物が、アルミニウム,ジルコニウム,クロム,珪素,チタンのうちの少なくとも一種の窒化物からなることを特徴とする。   According to a seventh invention, in the sixth invention, the surface coating material is characterized in that the metal nitride is made of at least one nitride of aluminum, zirconium, chromium, silicon, and titanium.

第八番目の発明に係る表面被覆材料は、第六番目又は第七番目の発明において、前記金属窒化物が、基材の表面に設けられていることを特徴とする。   A surface coating material according to an eighth invention is characterized in that, in the sixth or seventh invention, the metal nitride is provided on the surface of the substrate.

第九番目の発明に係る表面被覆材料は、第八番目の発明において、前記基材が、高速度工具鋼又は超硬合金からなることを特徴とする。   A surface coating material according to a ninth aspect is characterized in that, in the eighth aspect, the substrate is made of high-speed tool steel or cemented carbide.

また、前述した課題を解決するための、第十番目の発明に係る切削工具は、第一番目から第九番目の発明のいずれかの表面被覆材料からなることを特徴とする。   Further, a cutting tool according to a tenth invention for solving the above-mentioned problems is characterized by comprising the surface coating material according to any one of the first to ninth inventions.

また、前述した課題を解決するための、第十一番目の発明に係る工作機械は、第一番目から第九番目の発明のいずれかの表面被覆材料からなる切削工具を備えていることを特徴とする。   A machine tool according to the tenth invention for solving the above-mentioned problem is characterized by including a cutting tool made of the surface coating material according to any one of the first to ninth inventions. And

本発明に係る表面被覆材料によれば、金属酸化物層がアスペクト比の小さい結晶粒となるので、金属酸化物層が、内部への酸素透過を抑制することができると同時に、衝撃が加わっても欠落してしまうことを著しく抑制することができ、耐久性を大幅に向上させることができる。   According to the surface coating material according to the present invention, since the metal oxide layer becomes a crystal grain having a small aspect ratio, the metal oxide layer can suppress oxygen permeation into the interior, and at the same time, an impact is applied. Can be remarkably suppressed, and the durability can be greatly improved.

本発明に係る表面被覆材料及びこれを利用する切削工具並びに工作機械の実施形態を図面に基づいて以下に説明するが、本発明は以下に説明する実施形態のみに限定されるものではない。   Embodiments of a surface coating material, a cutting tool using the surface coating material, and a machine tool according to the present invention will be described below with reference to the drawings, but the present invention is not limited to only the embodiments described below.

[第一番目の実施形態]
本発明に係る表面被覆材料及びこれを利用する切削工具並びに工作機械の第一番目の実施形態を図1〜4に基づいて説明する。図1は、表面被覆材料の構造説明図、図2は、表面被覆材料の製造装置の概略構成図、図3は、酸化アルミニウム−酸化スズ系の状態図、図4は、酸化アルミニウム−酸化ジルコニウム系の状態図である。
[First embodiment]
1st Embodiment of the surface coating material which concerns on this invention, the cutting tool using this, and a machine tool is described based on FIGS. FIG. 1 is an explanatory view of the structure of a surface coating material, FIG. 2 is a schematic configuration diagram of a production apparatus for the surface coating material, FIG. 3 is a phase diagram of an aluminum oxide-tin oxide system, and FIG. It is a state diagram of the system.

図1に示すように、本実施形態に係る表面被覆材料10は、高速度工具鋼や超硬合金からなる基材11と、基材11の表面に設けられてアルミニウム(Al),ジルコニウム(Zr),クロム(Cr),珪素(Si),チタン(Ti)のうちの少なくとも一種の窒化物(N)からなる金属窒化物層12と、金属窒化物層12の表面に設けられてスズ(Sn)及びジルコニウム(Zr)の少なくとも一方とアルミニウム(Al)との酸化物(O)からなる金属酸化物層13とを備えてなるものである。   As shown in FIG. 1, a surface coating material 10 according to this embodiment includes a base material 11 made of high-speed tool steel or cemented carbide, and aluminum (Al), zirconium (Zr) provided on the surface of the base material 11. ), Chromium (Cr), silicon (Si), titanium (Ti), a metal nitride layer 12 made of at least one nitride (N), and tin (Sn) provided on the surface of the metal nitride layer 12. ) And zirconium (Zr) and a metal oxide layer 13 made of an oxide (O) of aluminum (Al).

このような表面被覆材料10は、スパッタ蒸着法やイオンプレーティング法等のような物理蒸着法(PVD)等により、前記基材11に対して、上述した組成物からなる前記金属窒化物層12及び前記金属酸化物層13を順次設けて、容易に製造することができる。   Such a surface coating material 10 is formed by applying the metal nitride layer 12 made of the above-described composition to the substrate 11 by physical vapor deposition (PVD) such as sputter deposition or ion plating. In addition, the metal oxide layer 13 can be provided in order and can be manufactured easily.

具体的には、例えば、図2に示すような装置(アークイオンプレーティング装置)を使用することにより、上記表面被覆材料10を製造することができる。   Specifically, for example, the surface coating material 10 can be manufactured by using an apparatus (arc ion plating apparatus) as shown in FIG.

図2に示すように、大気と気密なケーシング101の内部下方には、基材11を支持するテーブル状のホルダ102が配設されている。このホルダ102は、ケーシング101に対して回転可能に支持された回転軸103の上端に支持されている。この回転軸103の下端には、モータ104が連結されている。他方、ケーシング101の内部上方には、各種原料のターゲット100が配設されている。   As shown in FIG. 2, a table-like holder 102 that supports the base material 11 is disposed below the inside of the casing 101 that is airtight and airtight. The holder 102 is supported on the upper end of a rotating shaft 103 that is rotatably supported with respect to the casing 101. A motor 104 is connected to the lower end of the rotating shaft 103. On the other hand, a target 100 of various raw materials is disposed above the inside of the casing 101.

また、ターゲット100には、直流電源105の+側が接続され、ホルダ102には、直流電源105の−側が接続されている。そして、ケーシング101には、真空ポンプ106と、アルゴンガス供給源107と、窒素ガス供給源108と、酸素ガス供給源109とが、制御バルブ106a〜109aを介してそれぞれ接続されている。   The target 100 is connected to the + side of the DC power source 105, and the holder 102 is connected to the − side of the DC power source 105. A vacuum pump 106, an argon gas supply source 107, a nitrogen gas supply source 108, and an oxygen gas supply source 109 are connected to the casing 101 via control valves 106a to 109a, respectively.

このような装置においては、まず、高速度工具鋼や超硬合金からなる基材11をホルダ102上に載置すると共に、アルミニウム(Al),ジルコニウム(Zr),クロム(Cr),珪素(Si),チタン(Ti)のうちの少なくとも一種を含むターゲット100を配設する。次に、真空ポンプ106を作動させると共に制御バルブ106a,107aを開放することにより、ケーシング101の内部を真空引きしながらケーシング101の内部にアルゴンガス(Ar)を供給して、ケーシング101の内部をアルゴン雰囲気にする。   In such an apparatus, first, the base material 11 made of high-speed tool steel or cemented carbide is placed on the holder 102, and aluminum (Al), zirconium (Zr), chromium (Cr), silicon (Si) ), And a target 100 containing at least one of titanium (Ti). Next, by operating the vacuum pump 106 and opening the control valves 106a and 107a, argon gas (Ar) is supplied into the casing 101 while evacuating the inside of the casing 101. Argon atmosphere.

続いて、モータ104を作動してホルダ102を回転させると共に、制御バルブ106a,107aを閉鎖したら、直流電源105によりターゲット100とホルダ102との間に直流電圧を印加することにより、ターゲット100とホルダ102との間にアルゴンのプラズマを発生させてケーシング101の内部を昇温させる。ケーシング101の内部が所定の温度に達したら、制御バルブ108aを開放し、窒素ガス供給源108からケーシング101の内部へ窒素ガス(N2)を供給してアーク放電を生じさせることにより、基材11の表面に前記金属窒化物層12を成膜する。 Subsequently, when the motor 104 is operated to rotate the holder 102 and the control valves 106a and 107a are closed, a DC voltage is applied between the target 100 and the holder 102 by the DC power source 105, whereby the target 100 and the holder 102 are rotated. An argon plasma is generated between the casing 101 and the inside of the casing 101 to raise the temperature. When the inside of the casing 101 reaches a predetermined temperature, the control valve 108a is opened, and nitrogen gas (N 2 ) is supplied from the nitrogen gas supply source 108 to the inside of the casing 101 to cause arc discharge. The metal nitride layer 12 is formed on the surface of 11.

そして、基材11上に前記金属窒化物層12が所定の厚さで成膜されたら、制御バルブ108aを閉鎖する一方、制御バルブ109aを開放し、酸素ガス供給源109からケーシング101の内部へ酸素ガス(O2)を供給すると共に、上記ターゲット100を、スズ(Sn)及びジルコニウム(Zr)の少なくとも一方とアルミニウム(Al)とを含むターゲット100に切り換えることにより、前記金属窒化物層12の表面に前記金属酸化物層13が成膜される。これにより、前述したような組成からなる上記表面被覆材料10を容易に製造することができる。 When the metal nitride layer 12 is formed on the base material 11 with a predetermined thickness, the control valve 108a is closed and the control valve 109a is opened to move the oxygen gas supply source 109 into the casing 101. By supplying oxygen gas (O 2 ) and switching the target 100 to a target 100 containing at least one of tin (Sn) and zirconium (Zr) and aluminum (Al), the metal nitride layer 12 is formed. The metal oxide layer 13 is formed on the surface. Thereby, the said surface coating material 10 which consists of a composition as mentioned above can be manufactured easily.

このような上記表面被覆材料10においては、図3,4からわかるように、酸化スズ(SnO2)及び酸化ジルコニウム(ZrO2)と酸化アルミニウム(Al23)とがまったく固溶しないことから、スズやジルコニウムとアルミニウムとの酸化物の結晶粒が互いに干渉し合うようになるので、当該金属酸化物層13の結晶粒のアスペクト比が小さくなる(5以下)。 In such a surface coating material 10, as can be seen from FIGS. 3 and 4, tin oxide (SnO 2 ), zirconium oxide (ZrO 2 ), and aluminum oxide (Al 2 O 3 ) are not dissolved at all. Since crystal grains of oxides of tin, zirconium and aluminum interfere with each other, the aspect ratio of the crystal grains of the metal oxide layer 13 is reduced (5 or less).

このため、上記表面被覆材料10においては、上記金属酸化物層13が、内部への酸素透過を抑制することができると同時に、衝撃が加わっても欠落してしまうことを著しく抑制することができ、耐久性を大幅に向上させることができる。   For this reason, in the surface coating material 10, the metal oxide layer 13 can suppress oxygen permeation into the inside, and at the same time, can be remarkably suppressed from being lost even when an impact is applied. , Durability can be greatly improved.

よって、上記表面被覆材料10を切削工具に利用して工作機械に装着し、ドライ切削加工を行った場合には、当該切削工具が工作物と接触したときに、当該切削工具の表面から上記金属酸化物層13が欠落してしまうことを著しく抑制することができるので、当該欠落箇所を起点にした溶着による当該金属酸化物層13の剥離や欠陥等の発生を防止することができ、当該金属酸化物層13の耐久性を大幅に向上させることができる。   Therefore, when the surface coating material 10 is mounted on a machine tool using a cutting tool and dry cutting is performed, when the cutting tool comes into contact with a workpiece, the metal is removed from the surface of the cutting tool. Since the loss of the oxide layer 13 can be remarkably suppressed, it is possible to prevent the metal oxide layer 13 from being peeled off by the welding starting from the missing portion, the occurrence of defects, and the like. The durability of the oxide layer 13 can be greatly improved.

したがって、上記表面被覆材料10を利用したドライ切削加工法用の切削工具及び工作機械においては、1200℃を超えるようなさらなる高温領域で使用しても、前記金属窒化物層12の酸化による体積膨張に伴う亀裂等の発生を長期にわたって防止することができ、耐久性を大幅に向上させることができる。   Therefore, in the cutting tool and machine tool for the dry cutting method using the surface coating material 10, the volume expansion due to the oxidation of the metal nitride layer 12 even when used in a further high temperature region exceeding 1200 ° C. It is possible to prevent the occurrence of cracks and the like associated with a long-term, and the durability can be greatly improved.

なお、前記金属酸化物層13は、スズ及びジルコニウムの少なくとも一方の酸化物の合計含有量が0.1〜15重量%(特に0.1〜1.5重量%)であると好ましい。なぜなら、スズ及びジルコニウムの少なくとも一方の酸化物の合計含有量が15重量%を超えると、アモルファス相が生成しやすくなり、硬さが低い値になりやすいため、あまり好ましくなく、スズ及びジルコニウムの少なくとも一方の酸化物の合計含有量が0.1重量%未満であると、アスペクト比が5を超えやすくなってしまい、あまり好ましくないからである。   The metal oxide layer 13 preferably has a total content of at least one oxide of tin and zirconium of 0.1 to 15% by weight (particularly 0.1 to 1.5% by weight). This is because when the total content of at least one oxide of tin and zirconium exceeds 15% by weight, an amorphous phase is likely to be formed and the hardness tends to be low, which is not preferable. If the total content of one oxide is less than 0.1% by weight, the aspect ratio tends to exceed 5, which is not preferable.

また、上記切削工具としては、切削加工を施す工具であれば、特に限定されるものではないが、ホブやピニオンカッタ等のような歯切り工具や、ブローチであると、非常に好適であり、上記工作機械としては、切削加工を施すものであれば、特に限定されるものではないが、ホブ盤や歯車形削り盤等のような歯切り盤や、ブローチ盤であると、非常に好適である。   In addition, the cutting tool is not particularly limited as long as it is a tool for cutting, but it is very suitable if it is a gear cutting tool such as a hob or pinion cutter, or a broach, The machine tool is not particularly limited as long as it is capable of cutting, but a gear cutter such as a hobbing machine or a gear shaper or a broaching machine is very suitable. is there.

[第二番目の実施形態]
本発明に係る表面被覆材料及びこれを利用する切削工具並びに工作機械の第二番目の実施形態を図5に基づいて説明する。図5は、表面被覆材料の構造説明図である。なお、前述した第一番目の実施形態の場合と同様な部分については、前述した第一番目の実施形態の説明で用いた符号と同様な符号を用いることにより、前述した第一番目の実施形態での説明と重複する説明を省略する。
[Second Embodiment]
A second embodiment of the surface coating material and the cutting tool and machine tool using the same according to the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 5 is an explanatory diagram of the structure of the surface coating material. In addition, about the part similar to the case of 1st embodiment mentioned above, by using the code | symbol similar to the code | symbol used in description of 1st embodiment mentioned above, 1st embodiment mentioned above is used. The description overlapping with the description in is omitted.

図5に示すように、本実施形態に係る表面被覆材料20は、基材11と、金属窒化物層12と、金属窒化物層12の表面に設けられてスズ(Sn)及びジルコニウム(Zr)の少なくとも一方とリチウム(Li),マグネシウム(Mg),珪素(Si)のうちの少なくとも一種とアルミニウム(Al)との酸化物からなる金属酸化物層23とを備えてなるものである。   As shown in FIG. 5, the surface coating material 20 according to the present embodiment is provided on the surface of the base material 11, the metal nitride layer 12, and the metal nitride layer 12, and includes tin (Sn) and zirconium (Zr). And at least one of lithium (Li), magnesium (Mg), and silicon (Si) and a metal oxide layer 23 made of an oxide of aluminum (Al).

このような表面被覆材料20は、前述した第一番目の実施形態の場合と同様に、スパッタ蒸着法やイオンプレーティング法等のような物理蒸着法(PVD)等により、前記基材11に対して、上述した組成物からなる前記金属窒化物層12及び前記金属酸化物層23を順次設けて、容易に製造することができる。   Such a surface coating material 20 is applied to the substrate 11 by physical vapor deposition (PVD) such as sputter vapor deposition or ion plating as in the case of the first embodiment described above. Thus, the metal nitride layer 12 and the metal oxide layer 23 made of the above-described composition can be provided in order and can be easily manufactured.

このような上記表面被覆材料20においては、前述した第一番目の実施形態で説明したように、金属酸化物層23の結晶粒のアスペクト比が小さくなる(5以下)と共に、アルミニウムと、リチウム,マグネシウム,珪素とが、異なる価数であると共に、その酸化物が互いに固溶しやすいことから、金属酸化物層23の密着性の向上や摩擦係数の低減を図ることができる。   In the surface coating material 20 as described above, as described in the first embodiment, the aspect ratio of the crystal grains of the metal oxide layer 23 is small (5 or less), and aluminum, lithium, Magnesium and silicon have different valences, and oxides thereof are likely to be in solid solution with each other. Therefore, it is possible to improve the adhesion of the metal oxide layer 23 and reduce the friction coefficient.

このため、上記表面被覆材料20においては、前述した第一番目の実施形態の場合と同様に、上記金属酸化物層23が、内部への酸素透過を抑制することができると同時に、衝撃が加わっても欠落してしまうことを著しく抑制することができるのはもちろんのこと、金属窒化物層12からの剥離をさらに確実に防止することができるので、耐久性をさらに向上させることができる。   For this reason, in the surface coating material 20, as in the case of the first embodiment described above, the metal oxide layer 23 can suppress oxygen permeation to the inside and at the same time an impact is applied. However, it is possible to remarkably suppress the loss of the metal nitride layer 12 as well as to further reliably prevent the metal nitride layer 12 from being peeled off, so that the durability can be further improved.

したがって、本実施形態においては、前述した第一番目の実施形態の場合と同様な効果を得ることができると共に、前述した第一番目の実施形態の場合よりも、耐久性をさらに向上させることができる。   Therefore, in this embodiment, the same effect as in the case of the first embodiment described above can be obtained, and the durability can be further improved as compared with the case of the first embodiment described above. it can.

また、金属酸化物層23が、リチウムの酸化物を含んでいると、表面の摩擦係数を低下させることができるので、リチウム,マグネシウム,珪素のうちの少なくともリチウムの酸化物を含んでいると、より好ましい。   Further, when the metal oxide layer 23 contains an oxide of lithium, the friction coefficient of the surface can be lowered. Therefore, when the metal oxide layer 23 contains at least a lithium oxide of lithium, magnesium, and silicon, More preferred.

なお、前記金属酸化物層23は、スズ及びジルコニウムの少なくとも一方の酸化物の合計含有量が0.1〜15重量%(特に0.1〜1.5重量%)であり、リチウム,マグネシウム,珪素のうちの少なくとも一種の酸化物の合計含有量が0.1〜15重量%(特に0.1〜1.5重量%)であると、好ましい。なぜなら、リチウム,マグネシウム,珪素のうちの少なくとも一種の酸化物の合計含有量が15重量%を超えると、硬さが低い値になりやすいため、あまり好ましくなく、リチウム,マグネシウム,珪素のうちの少なくとも一種の酸化物の合計含有量が0.1重量%未満であると、密着性の向上や摩擦係数の低下を図りにくくなってしまい、あまり好ましくないからである。   The metal oxide layer 23 has a total content of at least one of tin and zirconium of 0.1 to 15% by weight (particularly 0.1 to 1.5% by weight), and is composed of lithium, magnesium, The total content of at least one oxide of silicon is preferably 0.1 to 15% by weight (particularly 0.1 to 1.5% by weight). This is because if the total content of at least one oxide of lithium, magnesium and silicon exceeds 15% by weight, the hardness tends to be low, which is not preferable, and at least of lithium, magnesium and silicon. This is because if the total content of one kind of oxide is less than 0.1% by weight, it is difficult to improve adhesion and lower the friction coefficient, which is not preferable.

[他の実施形態]
なお、前述した実施形態においては、基材11上の金属窒化物層12上に前記金属酸化物層13,23を設けた表面被覆材料10,20の場合について説明したが、前記金属窒化物層12を省略して、前記基材11上に金属酸化物層を直接設けるようにすることも可能である。
[Other Embodiments]
In the above-described embodiment, the case of the surface coating materials 10 and 20 in which the metal oxide layers 13 and 23 are provided on the metal nitride layer 12 on the substrate 11 has been described. It is also possible to omit 12 and provide a metal oxide layer directly on the substrate 11.

また、前述した実施形態においては、高速度工具鋼や超硬合金からなる基材11を適用した表面被覆材料10,20の場合について説明したが、他の金属材料(例えば、各種の特殊鋼や合金鋼等)からなる基材を適用することも可能である。   In the above-described embodiment, the case of the surface coating materials 10 and 20 to which the base material 11 made of high-speed tool steel or cemented carbide is applied has been described. However, other metal materials (for example, various special steels and It is also possible to apply a base material made of alloy steel or the like.

本発明に係る表面被覆材料及びこれを利用する切削工具並びに工作機械は、耐久性を大幅に向上させることができるので、機械加工等を始めとした各種産業において、極めて有益に利用することができる。   Since the surface coating material and the cutting tool and machine tool using the same according to the present invention can greatly improve durability, they can be used extremely beneficially in various industries such as machining. .

本発明に係る表面被覆材料の第一番目の実施形態の構造説明図である。It is structure explanatory drawing of 1st embodiment of the surface coating material which concerns on this invention. 図1の表面被覆材料の製造装置の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the manufacturing apparatus of the surface coating material of FIG. 酸化アルミニウム−酸化スズ系の状態図である。It is a phase diagram of an aluminum oxide-tin oxide system. 酸化アルミニウム−酸化ジルコニウム系の状態図である。It is a phase diagram of an aluminum oxide-zirconium oxide system. 本発明に係る表面被覆材料の第二番目の実施形態の構造説明図である。It is structure explanatory drawing of 2nd embodiment of the surface coating material which concerns on this invention.

符号の説明Explanation of symbols

10 表面被覆材料
11 基材
12 金属窒化物層
13 金属酸化物層
20 表面被覆材料
23 金属酸化物層
100 ターゲット
101 ケーシング
102 ホルダ
103 回転軸
104 モータ
106 真空ポンプ
106a 制御バルブ
107 アルゴンガス供給源
107a 制御バルブ
108 窒素ガス供給源
108a 制御バルブ
109 酸素ガス供給源
109a 制御バルブ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Surface coating material 11 Base material 12 Metal nitride layer 13 Metal oxide layer 20 Surface coating material 23 Metal oxide layer 100 Target 101 Casing 102 Holder 103 Rotating shaft 104 Motor 106 Vacuum pump 106a Control valve 107 Argon gas supply source 107a Control Valve 108 Nitrogen gas supply source 108a Control valve 109 Oxygen gas supply source 109a Control valve

Claims (11)

スズ及びジルコニウムの少なくとも一方とアルミニウムとの酸化物からなる金属酸化物層を表面に有する
ことを特徴とする表面被覆材料。
A surface coating material comprising a metal oxide layer formed of an oxide of at least one of tin and zirconium and aluminum.
請求項1に記載の表面被覆材料において、
前記金属酸化物層が、
スズ及びジルコニウムの少なくとも一方の酸化物を合計0.1〜15重量%含有し、
アルミニウムの酸化物で残部を構成されている
ことを特徴とする表面被覆材料。
The surface covering material according to claim 1,
The metal oxide layer is
Containing a total of 0.1 to 15% by weight of at least one oxide of tin and zirconium,
A surface coating material characterized in that the balance is made of aluminum oxide.
請求項1に記載の表面被覆材料において、
前記金属酸化物層が、リチウム,マグネシウム,珪素のうちの少なくとも一種の酸化物を含有している
ことを特徴とする表面被覆材料。
The surface covering material according to claim 1,
The surface coating material, wherein the metal oxide layer contains at least one oxide of lithium, magnesium, and silicon.
請求項3に記載の表面被覆材料において、
前記金属酸化物層が、
スズ及びジルコニウムの少なくとも一方の酸化物を合計0.1〜15重量%含有し、
リチウム,マグネシウム,珪素のうちの少なくとも一種の酸化物を合計0.1〜15重量%含有し、
アルミニウムの酸化物で残部を構成されている
ことを特徴とする表面被覆材料。
The surface covering material according to claim 3,
The metal oxide layer is
Containing a total of 0.1 to 15% by weight of at least one oxide of tin and zirconium,
A total of 0.1 to 15% by weight of at least one oxide of lithium, magnesium and silicon,
A surface coating material characterized in that the balance is made of aluminum oxide.
請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の表面被覆材料において、
前記金属酸化物層の結晶粒のアスペクト比が5以下である
ことを特徴とする表面被覆材料。
In the surface coating material according to any one of claims 1 to 4,
The aspect ratio of crystal grains of the metal oxide layer is 5 or less.
請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の表面被覆材料において、
前記金属酸化物層が、金属窒化物の表面に設けられている
ことを特徴とする表面被覆材料。
In the surface coating material according to any one of claims 1 to 5,
The surface coating material, wherein the metal oxide layer is provided on the surface of the metal nitride.
請求項6に記載の表面被覆材料において、
前記金属窒化物が、アルミニウム,ジルコニウム,クロム,珪素,チタンのうちの少なくとも一種の窒化物からなる
ことを特徴とする表面被覆材料。
The surface covering material according to claim 6,
The surface coating material, wherein the metal nitride is made of at least one nitride of aluminum, zirconium, chromium, silicon, and titanium.
請求項6又は請求項7に記載の表面被覆材料において、
前記金属窒化物が、基材の表面に設けられている
ことを特徴とする表面被覆材料。
The surface coating material according to claim 6 or 7,
The surface coating material, wherein the metal nitride is provided on a surface of a base material.
請求項8に記載の表面被覆材料において、
前記基材が、高速度工具鋼又は超硬合金からなる
ことを特徴とする表面被覆材料。
The surface coating material according to claim 8,
The substrate is made of high-speed tool steel or cemented carbide.
請求項1から請求項9のいずれか一項に記載の表面被覆材料からなる
ことを特徴とする切削工具。
It consists of the surface coating material as described in any one of Claims 1-9. The cutting tool characterized by the above-mentioned.
請求項1から請求項9のいずれか一項に記載の表面被覆材料からなる切削工具を備えている
ことを特徴とする工作機械。
A machine tool comprising a cutting tool made of the surface coating material according to any one of claims 1 to 9.
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