JP2009180749A - Noise generator, measurement apparatus, and testing apparatus - Google Patents

Noise generator, measurement apparatus, and testing apparatus Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To perform measurement of two or more noise figures at low cost. <P>SOLUTION: A noise generator, measurement apparatus, and testing apparatus are provided which include a noise source which generates noise signals, a distributor which receives the noise signals, and distributes each of the two or more output signals corresponding to the noise signals to each of the two or more output terminals, and two or more switches which are provided corresponding to the respective two or more output terminals and which are used for choosing whether or not the corresponding output signals are output from the respective output terminals to the outside. A noise generator which provides each of the two or more output signals to two or more devices and each of the two or more devices may also include a measurement part which measures first response signals output when the output signals are not provided and which measures second response signals output when the output signals are provided. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は、ノイズ発生装置、計測装置、および試験装置に関する。   The present invention relates to a noise generation device, a measurement device, and a test device.

従来、デバイスの雑音指数を測定する方法として、ノイズソースを用いた方法が知られている。ノイズソースの出力を被測定デバイスに入力させ、デバイスの出力をスペクトラムアナライザ等の計測器に接続する。ノイズソースの電源電圧のオン/オフを切り替え、測定器の出力ノイズ電力密度の変化を測定して所定の計算式から雑音指数を算出する。   Conventionally, a method using a noise source is known as a method for measuring a noise figure of a device. The output of the noise source is input to the device under test, and the output of the device is connected to a measuring instrument such as a spectrum analyzer. The power supply voltage of the noise source is switched on / off, the change in the output noise power density of the measuring instrument is measured, and the noise figure is calculated from a predetermined calculation formula.

ところで、複数のデバイスについてこのような雑音測定を同時に実行する場合、複数のデバイスのそれぞれに対してノイズソースと計測器を用意しなければならない。しかしながら特にノイズソースは高価であり、被試験デバイスと同数用意することは現実的ではない。   By the way, when such noise measurement is simultaneously performed for a plurality of devices, a noise source and a measuring instrument must be prepared for each of the plurality of devices. However, noise sources are particularly expensive, and it is not practical to prepare the same number as the device under test.

上記課題を解決するために、本発明の第1の態様においては、ノイズ信号を発生するノイズソースと、ノイズ信号を受信し、ノイズ信号に応じた複数の出力信号のそれぞれを複数の出力端子のそれぞれへ分配する分配器と、複数の出力端子のそれぞれに対応して設けられ、対応する出力端子から外部へと対応する出力信号を出力するか否かを切り換える複数のスイッチと、を備えるノイズ発生装置を提供する。   In order to solve the above-described problem, in the first aspect of the present invention, a noise source that generates a noise signal, a noise signal is received, and a plurality of output signals corresponding to the noise signal are respectively connected to a plurality of output terminals. A noise generator comprising: a distributor for distributing to each of the plurality of switches; and a plurality of switches provided corresponding to each of the plurality of output terminals and switching whether or not to output a corresponding output signal from the corresponding output terminal to the outside. Providing equipment.

なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。   It should be noted that the above summary of the invention does not enumerate all the necessary features of the present invention. In addition, a sub-combination of these feature groups can also be an invention.

本実施形態に係る計測装置5の構成を示す。The structure of the measuring device 5 which concerns on this embodiment is shown. 本実施形態に係るノイズ発生装置10の構成を示す。The structure of the noise generator 10 which concerns on this embodiment is shown. 本実施形態に係る計測装置5の動作を示す。Operation | movement of the measuring apparatus 5 which concerns on this embodiment is shown. 本実施形態の変形例に係る試験装置40の構成を示す。The structure of the test apparatus 40 which concerns on the modification of this embodiment is shown.

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。   Hereinafter, the present invention will be described through embodiments of the invention, but the following embodiments do not limit the invention according to the claims. In addition, not all the combinations of features described in the embodiments are essential for the solving means of the invention.

図1は、本実施形態に係る計測装置5の構成をDUT100(Device Under Test:被試験デバイス)とともに示す。計測装置5は、RFおよびマイクロ波周波数領域でのシステム全体およびプリアンプ、ミキサ、IF増幅器等のシステムを構成するコンポーネントといったDUT100の雑音指数を測定する。計測装置は、ノイズ発生装置10と、測定装置110を備える。   FIG. 1 shows a configuration of a measuring apparatus 5 according to this embodiment together with a DUT 100 (Device Under Test). The measuring device 5 measures the noise figure of the DUT 100 such as the entire system in the RF and microwave frequency regions and the components constituting the system such as a preamplifier, a mixer, and an IF amplifier. The measurement device includes a noise generation device 10 and a measurement device 110.

ノイズ発生装置10は、複数の出力端子120を備え、複数のDUT100のそれぞれに対して雑音信号を供給する。ノイズ発生装置10は、ノイズソースの出力を複数の出力端子120のそれぞれへ分配する分配器と、複数の出力のオン/オフを独立に切り換えられるスイッチを備えることで、少なくとも1つのノイズソースで複数のDUT100の雑音指数を同時に測定する。   The noise generator 10 includes a plurality of output terminals 120 and supplies a noise signal to each of the plurality of DUTs 100. The noise generation device 10 includes a distributor that distributes the output of the noise source to each of the plurality of output terminals 120, and a switch that can independently switch on / off of the plurality of outputs. Simultaneously measure the noise figure of the DUT100.

測定装置110は、複数の入力端子130を備え、複数のDUT100のそれぞれの出力信号を受信する。測定装置110は、複数のDUT100のそれぞれについて、出力信号が与えられていない場合に出力される第1応答信号および出力信号が与えられている場合に出力される第2応答信号を測定する。測定装置110は、測定結果を所定の計算式に代入して複数のDUT100の雑音指数をそれぞれ求める。   The measuring apparatus 110 includes a plurality of input terminals 130 and receives output signals of the plurality of DUTs 100. The measuring device 110 measures, for each of the plurality of DUTs 100, a first response signal that is output when no output signal is given and a second response signal that is output when an output signal is given. The measuring apparatus 110 substitutes the measurement result into a predetermined calculation formula to obtain the noise figures of the plurality of DUTs 100, respectively.

図2は、本実施形態に係るノイズ発生装置10の構成を示す。ノイズ発生装置10は、複数の出力端子120のそれぞれに対して、出力信号が与えられていない場合のオフ状態および出力信号が与えられている場合のオン状態のノイズ信号を出力する。ノイズ発生装置10は、ノイズソース200と、信号分配器210と、増幅器220と、可変減衰器230と、スイッチ240と、出力端子120とを備える。   FIG. 2 shows a configuration of the noise generator 10 according to the present embodiment. The noise generator 10 outputs, to each of the plurality of output terminals 120, an off state noise signal when no output signal is applied and an on state noise signal when an output signal is applied. The noise generator 10 includes a noise source 200, a signal distributor 210, an amplifier 220, a variable attenuator 230, a switch 240, and an output terminal 120.

ノイズソース200は、ノイズ信号を発生する。ノイズソース200は、例えば、一定電流が流れ、アバレンシェ・ブレークダウンまで逆バイアスされると雑音を発生する、比較的小容量のダイオードを備える。   The noise source 200 generates a noise signal. The noise source 200 includes, for example, a relatively small-capacitance diode that generates noise when a constant current flows and is reverse-biased until avalanche breakdown.

ノイズソース200は、ダイオードに逆バイアスが加えられると、ダイオード内のアバランシェ雑音を出力する。このアバランシェ雑音は、ノイズソース200のオン状態と呼ばれ、雑音出力値をk・Th・Bと表現する場合がある。ここで、kはボルツマン定数、Bはシステムの雑音帯域幅を示す。また逆バイアスがゼロの場合の熱雑音は、ノイズソース200のオフ状態と呼ばれ、その出力値をk・Tc・Bと表現する場合がある。ノイズソース200の逆バイアスの有無による雑音出力は、ThとTcで比較してもよい。   The noise source 200 outputs avalanche noise in the diode when a reverse bias is applied to the diode. This avalanche noise is called the ON state of the noise source 200, and the noise output value may be expressed as k · Th · B. Here, k represents the Boltzmann constant, and B represents the noise bandwidth of the system. The thermal noise when the reverse bias is zero is called the off state of the noise source 200, and the output value may be expressed as k · Tc · B. The noise output due to the presence or absence of the reverse bias of the noise source 200 may be compared between Th and Tc.

例えば、ThとTcの差を290K(ケルビン)で割った比をdB(デシベル)単位で表した値は過剰雑音比(ENR)のデシベル形式と呼ばれる。過剰雑音比のデシベル形式をENRdBとすると、ノイズソース200のENRdBは、以下の式で求められる。   For example, a value obtained by dividing the difference between Th and Tc by 290 K (Kelvin) and expressed in dB (decibel) is called a decibel format of excess noise ratio (ENR). When the decibel format of the excess noise ratio is ENRdB, the ENRdB of the noise source 200 can be obtained by the following equation.

Figure 2009180749
また、過剰雑音比の線形形式をENRとすると、ノイズソース200のENRは、以下の式で求められる。
Figure 2009180749
Further, assuming that the linear form of the excess noise ratio is ENR, the ENR of the noise source 200 can be obtained by the following equation.

Figure 2009180749
Figure 2009180749

信号分配器210は、ノイズソース200のノイズ信号を受信して、ノイズ信号に応じた複数の出力信号のそれぞれを複数の出力端子120のそれぞれへ分配する。信号分配器210は、電気抵抗でインピーダンスを調整した抵抗分岐型分配器でもよく、あるいは伝送線路長を調整することで意図した信号周波数を分岐するウイルキンソン型分配器でもよい。   The signal distributor 210 receives the noise signal of the noise source 200 and distributes each of the plurality of output signals corresponding to the noise signal to each of the plurality of output terminals 120. The signal distributor 210 may be a resistance branching distributor whose impedance is adjusted by electric resistance, or may be a Wilkinson distributor that branches an intended signal frequency by adjusting a transmission line length.

信号分配器210は、等分配の場合、理想的には入力した電力を分配した数で割った電力値が、それぞれの出力値となる。例えば、信号分配器210が2分岐の等分配器の場合、信号分配器210は、入力した電力の半分の電力値を理想的にはそれぞれ出力する。信号分配器210が抵抗分岐型の場合、信号分配器210の出力は、抵抗で消費される電力のためにさらに半分になって入力電力の1/4となる。   In the case of equal distribution, the signal distributor 210 ideally has a power value obtained by dividing the input power by the number of distributions as each output value. For example, when the signal distributor 210 is a two-branch equal distributor, the signal distributor 210 ideally outputs a power value that is half of the input power. When the signal distributor 210 is a resistance branching type, the output of the signal distributor 210 is further halved to ¼ of the input power due to the power consumed by the resistor.

増幅器220は、信号分配器210の出力を増幅する。増幅器220は、信号分配器210によって分配されたことによって低下したそれぞれのノイズ信号出力の電力値を、それぞれの出力端子120における出力が意図する電力値になるように増幅する。   The amplifier 220 amplifies the output of the signal distributor 210. The amplifier 220 amplifies the power value of each noise signal output reduced by being distributed by the signal distributor 210 so that the output at each output terminal 120 becomes the intended power value.

可変減衰器230は、増幅器220の増幅信号の信号強度を、意図した信号強度に調整する。可変減衰器230は、測定したいDUT100の雑音指数のレンジに合わせて、ノイズ信号の強弱を調整するために調整されてもよい。   The variable attenuator 230 adjusts the signal strength of the amplified signal of the amplifier 220 to the intended signal strength. The variable attenuator 230 may be adjusted to adjust the strength of the noise signal according to the noise figure range of the DUT 100 to be measured.

スイッチ240は、複数の出力端子120のそれぞれに対応して設けられ、対応する出力端子120から外部へと対応する出力信号を出力するか否かを切り換える。スイッチ240は、ノイズ発生装置10がオフ状態のノイズ信号を出力する場合、ノイズソース200の出力信号を出力しないように切り換え、オン状態のノイズ信号を出力する場合、出力信号を出力するように切り換える。ここでスイッチ240がオフに切り換えた場合に、スイッチ240は、出力端子120をインピーダンスマッチングのために終端抵抗を介して接地してもよい。ここで同様にスイッチ240がオフに切り換えた場合、反射信号がノイズソース200の入力信号側に伝わらないように、スイッチ240は、入力信号側も終端抵抗を介して接地してもよい。   The switch 240 is provided corresponding to each of the plurality of output terminals 120 and switches whether or not to output a corresponding output signal from the corresponding output terminal 120 to the outside. The switch 240 is switched so as not to output the output signal of the noise source 200 when the noise generator 10 outputs a noise signal in the off state, and is switched so as to output the output signal when outputting the noise signal in the on state. . Here, when the switch 240 is switched off, the switch 240 may ground the output terminal 120 via a termination resistor for impedance matching. Similarly, when the switch 240 is turned off, the switch 240 may be grounded via the terminating resistor so that the reflected signal is not transmitted to the input signal side of the noise source 200.

ノイズ発生装置10は、以上の構成でノイズ信号を発生するため、ENRdBおよびENRの算出にはノイズソース200のそれぞれの値をそのまま用いることはできない。例えば、ノイズ発生装置10のオン状態のノイズ信号は、ノイズソース200のノイズ信号から信号分配器210で分岐され、増幅器220と、可変減衰器230と、スイッチ240とをそれぞれ経た後のそれぞれの出力端子120からのノイズ信号出力となる。また、ノイズ発生装置10のオフ状態のノイズ信号は、スイッチ240をオフにしたときのそれぞれの出力端子120からのノイズ信号出力となる。したがって、ノイズ発生装置10のENRdBおよびENRは、ノイズ発生装置10のオンおよびオフ状態にあるそれぞれの出力端子120からのノイズ信号出力に応じたThおよびTcをそれぞれ算出してから、ENRdBもしくはENRの計算式である式(数1)もしくは式(数2)に代入して求めることが望ましい。   Since the noise generator 10 generates a noise signal with the above-described configuration, the respective values of the noise source 200 cannot be used as they are for calculating ENRdB and ENR. For example, the noise signal in the ON state of the noise generator 10 is branched from the noise signal of the noise source 200 by the signal distributor 210, and each output after passing through the amplifier 220, the variable attenuator 230, and the switch 240, respectively. The noise signal is output from the terminal 120. Further, the noise signal in the off state of the noise generator 10 becomes a noise signal output from each output terminal 120 when the switch 240 is turned off. Therefore, ENRdB and ENR of the noise generator 10 calculate Th and Tc corresponding to the noise signal output from the respective output terminals 120 in the on and off states of the noise generator 10, respectively, and then the ENRdB or ENR It is desirable to obtain by substituting into the formula (Formula 1) or Formula (Formula 2) which is a calculation formula.

図3は、本実施形態に係る計測装置5の動作を示す。計測装置5は、雑音指数測定のために用いるノイズ信号の強度を、増幅器220および可変減衰器230のゲインを設定することで調整する(S300)。ここで計測装置5は、複数のDUT100のそれぞれに対してそれぞれのノイズ信号強度を設定してもよく、これに代えて全てのノイズ信号強度を一定の値に設定してもよい。   FIG. 3 shows the operation of the measuring apparatus 5 according to this embodiment. The measuring device 5 adjusts the intensity of the noise signal used for noise figure measurement by setting the gains of the amplifier 220 and the variable attenuator 230 (S300). Here, the measurement device 5 may set the respective noise signal strengths for each of the plurality of DUTs 100, or may instead set all the noise signal strengths to constant values.

計測装置5は、複数のスイッチ240を全てオフにしてから、複数のDUT100の出力信号について測定装置110を用いて測定する(S310)。ここで計測装置5は、測定装置110の複数の測定結果をNoff(n)として記憶する(nは1からDUT100の個数mまでの自然数、1、2、3、…m)。   The measuring device 5 turns off all the plurality of switches 240 and then measures the output signals of the plurality of DUTs 100 using the measuring device 110 (S310). Here, the measuring device 5 stores a plurality of measurement results of the measuring device 110 as Noff (n) (n is a natural number from 1, to the number m of the DUT 100, 1, 2, 3,... M).

計測装置5は、複数のスイッチ240を全てオンにしてから、複数のDUT100の出力信号について測定装置110を用いて測定する(S320)。ここで計測装置5は、測定装置110の複数の測定結果をNon(n)として記憶する。計測装置5は、ノイズ発生装置10のオンとオフに対応したDUT100の第2応答信号および第1応答信号の比Non(n)/Noff(n)を計算してからY(n)として記憶する。   The measuring device 5 turns on all of the plurality of switches 240 and then measures the output signals of the plurality of DUTs 100 using the measuring device 110 (S320). Here, the measuring device 5 stores a plurality of measurement results of the measuring device 110 as Non (n). The measuring device 5 calculates the ratio Non (n) / Noff (n) between the second response signal and the first response signal of the DUT 100 corresponding to the on / off of the noise generating device 10 and then stores it as Y (n). .

計測装置5は、所定の計算式から複数のDUT100の雑音指数をそれぞれ計算する(S330)。複数のDUT100の雑音指数をNF(n)とすると、所定の計算式は以下で与えられる。   The measuring device 5 calculates the noise figure of each of the plurality of DUTs 100 from a predetermined calculation formula (S330). When the noise figure of the plurality of DUTs 100 is NF (n), a predetermined calculation formula is given as follows.

Figure 2009180749
ここでENR(n)はノイズ発生装置10の複数の出力のそれぞれの過剰雑音比である。またNFmes(n)は、測定装置110自身の雑音指数であり、複数のDUT100のそれぞれに対応した入力端子130から測定装置110内部の複数の雑音指数に相当する。
Figure 2009180749
Here, ENR (n) is the excess noise ratio of each of the plurality of outputs of the noise generator 10. NFmes (n) is a noise figure of the measuring apparatus 110 itself, and corresponds to a plurality of noise figures inside the measuring apparatus 110 from the input terminal 130 corresponding to each of the plurality of DUTs 100.

以上の本実施形態の計測装置5によれば、複数のDUT100の雑音指数測定を、1つのノイズソース200で同時に実行することができる。本実施形態においては、ノイズ発生装置10の一例として1つのノイズソース200の信号出力を信号分配器210で分岐して、複数の出力信号のそれぞれを複数の出力端子120のそれぞれへ分配した。これに代えて、複数のノイズソース200のそれぞれの信号出力を複数の信号分配器210を用いてそれぞれ分岐して、複数の出力信号のそれぞれを複数の出力端子120のそれぞれへ分配してもよい。   According to the measurement apparatus 5 of the present embodiment described above, noise figure measurement of a plurality of DUTs 100 can be performed simultaneously with one noise source 200. In the present embodiment, as an example of the noise generator 10, the signal output of one noise source 200 is branched by the signal distributor 210, and each of the plurality of output signals is distributed to each of the plurality of output terminals 120. Alternatively, the respective signal outputs of the plurality of noise sources 200 may be branched using the plurality of signal distributors 210, and the plurality of output signals may be distributed to the plurality of output terminals 120, respectively. .

本実施形態においては、雑音指数の測定方法の一例として複数のDUT100の測定を同時に実行する手順を説明したが、これに代えて計測装置5は、複数のDUT100のそれぞれの測定を個別に実行してもよい。ノイズ発生装置10は複数のノイズ信号出力端子120を持つが、それぞれのノイズ信号出力は、複数のスイッチ240によってそれぞれ独立にオン/オフを切り換えることができる。すなわち、計測装置5は、複数のスイッチ240をそれぞれ独立に切り換えて得られる測定装置110のそれぞれの信号をそれぞれ処理することによって、複数のDUT100のそれぞれの雑音指数測定を個別に実行することができる。   In the present embodiment, the procedure for simultaneously performing measurement of a plurality of DUTs 100 has been described as an example of a noise figure measurement method, but instead of this, the measurement apparatus 5 individually performs measurement of each of the plurality of DUTs 100. May be. Although the noise generator 10 has a plurality of noise signal output terminals 120, each noise signal output can be switched on / off independently by a plurality of switches 240. That is, the measuring device 5 can individually execute the noise figure measurement of each of the plurality of DUTs 100 by processing each signal of the measuring device 110 obtained by independently switching the plurality of switches 240. .

図4は、本実施形態の変形例に係る試験装置40の構成を示す。図4において、図1と同一の符号を付した部材は、図1とほぼ同様の機能および構成をとるので、以下相違点を除き説明を省略する。   FIG. 4 shows a configuration of a test apparatus 40 according to a modification of the present embodiment. 4, members denoted by the same reference numerals as those in FIG. 1 have substantially the same functions and configurations as those in FIG.

試験装置40は、アナログ回路、デジタル回路、メモリ、およびシステム・オン・チップ(SOC)等のDUT100を試験する。試験装置40は、DUT100を試験するための試験パターンに基づく試験信号をDUT100に入力して、試験信号に応じてDUT100が出力する出力信号に基づいてDUT100の良否を判定する。また試験装置40は、DUT100の雑音指数を試験する場合、ノイズ信号をDUT100に入力して、ノイズ信号に応じてDUT100が出力する出力信号に基づいてDUT100の雑音指数を算出して良否を判定する。試験装置40は、ノイズ発生装置10と、信号発生部410と、選択部420と、測定部430とを備える。   The test apparatus 40 tests the DUT 100 such as an analog circuit, a digital circuit, a memory, and a system on chip (SOC). The test apparatus 40 inputs a test signal based on a test pattern for testing the DUT 100 to the DUT 100, and determines pass / fail of the DUT 100 based on an output signal output from the DUT 100 according to the test signal. Further, when testing the noise figure of the DUT 100, the test apparatus 40 inputs a noise signal to the DUT 100, calculates the noise figure of the DUT 100 based on the output signal output from the DUT 100 according to the noise signal, and determines pass / fail. . The test apparatus 40 includes the noise generation device 10, a signal generation unit 410, a selection unit 420, and a measurement unit 430.

信号発生部410は、DUT100へ供給する複数の試験信号を発生する。信号発生部410は、複数の試験信号出力440より試験パターンに基づく試験信号をDUT100に供給する。   The signal generator 410 generates a plurality of test signals to be supplied to the DUT 100. The signal generator 410 supplies a test signal based on the test pattern to the DUT 100 from the plurality of test signal outputs 440.

選択部420は、信号発生部410から出力される複数の試験信号およびノイズ発生装置10から出力される複数のノイズ出力信号の何れか選択して、DUT100へと供給する。選択部420は、試験信号およびノイズ出力信号の選択は、複数の切り換えスイッチで実行してよい。   The selection unit 420 selects any one of the plurality of test signals output from the signal generation unit 410 and the plurality of noise output signals output from the noise generation device 10 and supplies the selected signals to the DUT 100. The selection unit 420 may select the test signal and the noise output signal with a plurality of changeover switches.

測定部430は、DUT100の出力信号を受信する。測定部430は、試験装置40がDUT100の雑音指数を測定する場合、複数のデバイスのそれぞれについて、ノイズ発生装置10の第1応答信号および第2応答信号を測定する。   Measurement unit 430 receives the output signal of DUT 100. When the test apparatus 40 measures the noise figure of the DUT 100, the measurement unit 430 measures the first response signal and the second response signal of the noise generator 10 for each of the plurality of devices.

試験装置40は、DUT100の試験を実行する場合、信号発生部410から出力される複数の試験信号を複数のDUT100にそれぞれ供給されるように選択部420を切り換え、測定部430のそれぞれの受信信号に基づいて複数のDUT100の良否を判定する。試験装置40は、DUT100の雑音指数を測定する場合、ノイズ発生装置10から出力される複数のオンおよびオフ状態のノイズ信号を複数のDUT100にそれぞれ供給されるように選択部420を切り換え、測定部430のそれぞれの第1応答信号および第2応答信号に基づいて複数のDUT100の雑音指数を算出して良否を判定する。   When performing the test of the DUT 100, the test apparatus 40 switches the selection unit 420 so that the plurality of test signals output from the signal generation unit 410 are supplied to the plurality of DUTs 100, respectively, and each reception signal of the measurement unit 430 is received. The quality of the plurality of DUTs 100 is determined based on the above. When measuring the noise figure of the DUT 100, the test device 40 switches the selection unit 420 so that the plurality of ON and OFF state noise signals output from the noise generation device 10 are supplied to the plurality of DUTs 100, respectively. Based on the first response signal and the second response signal of 430, the noise figures of the plurality of DUTs 100 are calculated to determine pass / fail.

ここで試験装置40は、複数のそれぞれのDUT100について試験および雑音指数測定をそれぞれ独立に実行することができる。したがって、試験装置40が意図するプログラムに応じて、複数のDUT100のそれぞれについて試験および雑音指数測定を同時に実行してもよい。   Here, the test apparatus 40 can independently perform a test and a noise figure measurement for each of the plurality of DUTs 100. Therefore, the test and the noise figure measurement may be simultaneously performed for each of the plurality of DUTs 100 according to a program intended by the test apparatus 40.

以上の本実施形態の変形例に係る試験装置40によれば、複数のDUT100の雑音指数測定および/または試験を、少なくとも1つのノイズソース200でそれぞれ同時に実行することができる。   According to the test apparatus 40 according to the modification of the present embodiment described above, the noise figure measurement and / or test of the plurality of DUTs 100 can be simultaneously performed by at least one noise source 200.

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。   As mentioned above, although this invention was demonstrated using embodiment, the technical scope of this invention is not limited to the range as described in the said embodiment. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications or improvements can be added to the above-described embodiment. It is apparent from the scope of the claims that the embodiments added with such changes or improvements can be included in the technical scope of the present invention.

特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。   The order of execution of each process such as operations, procedures, steps, and stages in the apparatus, system, program, and method shown in the claims, the description, and the drawings is particularly “before” or “prior to”. It should be noted that the output can be realized in any order unless the output of the previous process is used in the subsequent process. Regarding the operation flow in the claims, the description, and the drawings, even if it is described using “first”, “next”, etc. for convenience, it means that it is essential to carry out in this order. It is not a thing.

5 計測装置
10 ノイズ発生装置、100 DUT、110 測定装置、120 出力端子、130 入力端子、200 ノイズソース、210 信号分配器、220 増幅器、230 可変減衰器、240 スイッチ、40 試験装置、410 信号発生部、420 選択部、430 測定部、440 試験信号出力
5 Measuring device 10 Noise generating device, 100 DUT, 110 Measuring device, 120 Output terminal, 130 Input terminal, 200 Noise source, 210 Signal distributor, 220 Amplifier, 230 Variable attenuator, 240 Switch, 40 Test device, 410 Signal generation Section, 420 selection section, 430 measurement section, 440 test signal output

Claims (3)

ノイズ信号を発生するノイズソースと、
前記ノイズ信号を受信し、前記ノイズ信号に応じた複数の出力信号のそれぞれを複数の出力端子のそれぞれへ分配する分配器と、
前記複数の出力端子のそれぞれに対応して設けられ、対応する出力端子から外部へと対応する出力信号を出力するか否かを切り換える複数のスイッチと、
を備えるノイズ発生装置。
A noise source that generates a noise signal;
A distributor that receives the noise signal and distributes each of a plurality of output signals according to the noise signal to each of a plurality of output terminals;
A plurality of switches provided corresponding to each of the plurality of output terminals, and a switch for switching whether or not to output a corresponding output signal from the corresponding output terminal to the outside;
A noise generator.
前記複数の出力信号のそれぞれを複数のデバイスへ与える請求項1に記載のノイズ発生装置と、
前記複数のデバイスのそれぞれについて、出力信号が与えられていない場合に出力される第1応答信号および出力信号が与えられている場合に出力される第2応答信号を測定する測定部と、
を備える計測装置。
The noise generator according to claim 1, wherein each of the plurality of output signals is supplied to a plurality of devices;
For each of the plurality of devices, a measurement unit that measures a first response signal that is output when an output signal is not provided and a second response signal that is output when an output signal is provided;
A measuring device comprising:
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスへ供給する複数の試験信号を発生する信号発生部と、
請求項1に記載のノイズ発生装置と、
前記複数の試験信号および前記複数の出力信号の何れか選択して、前記被試験デバイスへと供給する選択部と、
を備える試験装置。
A test apparatus for testing a device under test,
A signal generator for generating a plurality of test signals to be supplied to the device under test;
A noise generating device according to claim 1;
A selection unit that selects one of the plurality of test signals and the plurality of output signals and supplies the selected signal to the device under test;
A test apparatus comprising:
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