JP2009177818A

JP2009177818A - Method and system for using short-distance wireless-adaptive computer as service tool

Info

Publication number: JP2009177818A
Application number: JP2009017381A
Authority: JP
Inventors: Johan Siegers; シーヘルスヨハン
Original assignee: ASM International NV
Current assignee: ASM International NV
Priority date: 2009-01-28
Filing date: 2009-01-28
Publication date: 2009-08-06

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a handheld apparatus suitable for use in a wireless environment for operating a device. <P>SOLUTION: This handheld apparatus 102 transmits a start request of a maintenance sequence to a device controller 120. The handheld apparatus receives information from the device controller, in order to control the operation of the maintenance sequence. The handheld apparatus transmits a maintenance command to the device controller. Next, the handheld apparatus receives information related to a status of the device, after the maintenance command has been executed. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

（発明が属する技術分野）
本発明は、機械装置の保守および制御に関し、特に短距離無線対応のコンピュータをサービスツールとして使用する方法およびシステムに関する。 (Technical field to which the invention belongs)
The present invention relates to maintenance and control of mechanical devices, and more particularly to a method and system for using a short-range wireless capable computer as a service tool.

（発明の背景）
工業用および製造用設備おいては、複雑な機械の調整および修理が必要とされる。このような調整は困難であり、機械装置の操作および他の変更を行うために複数の人間を要することが多い。機械の制御部が調整または修理対象の部分から離れている場合は、特にそうである。たとえば、半導体製造業においては、半導体ウェハーの処理に炉が使用される。これらのウェハーはカセットに搭載され、このカセットはカセットハンドリングロボットによって操作される。このカセットはストッカに収納される。カセットを収納するストッカ位置を覚え込ませるために、カセットハンドリングロボットを訓練する必要がある。これを行うには、操作者がタッチスクリーン制御盤を使用してカセットハンドリングロボットを移動させる。次に操作者（または第２の操作者）は、梯子を登って機械装置を覗き込み、カセットハンドリングロボットの移動と位置とを確認する必要がある。その後、操作者はタッチスクリーン制御盤に戻って、カセットハンドリングロボットを再度移動させる。このプロセスを数回行う必要があるので、非常に手間がかかる。１つの解決策は、カセットハンドリングロボットを制御するための第２のタッチスクリーンをロボットの近くに設けることであろう。ただし、このようなタッチスクリーンは複雑で、実現が難しいこともあろう。必要とされているものは、使い勝手のよい無線制御式のハンドヘルドユニットである。 (Background of the Invention)
Industrial and manufacturing facilities require complex machine coordination and repair. Such adjustments are difficult and often require multiple persons to operate the machine and make other changes. This is especially true when the machine control is remote from the part to be adjusted or repaired. For example, in the semiconductor manufacturing industry, furnaces are used for processing semiconductor wafers. These wafers are mounted on a cassette, which is operated by a cassette handling robot. This cassette is stored in a stocker. It is necessary to train the cassette handling robot in order to memorize the stocker position for storing the cassette. To do this, the operator moves the cassette handling robot using the touch screen control panel. Next, the operator (or the second operator) needs to climb the ladder and look into the mechanical device to confirm the movement and position of the cassette handling robot. Thereafter, the operator returns to the touch screen control panel and moves the cassette handling robot again. Since this process needs to be performed several times, it is very time consuming. One solution would be to provide a second touch screen near the robot to control the cassette handling robot. However, such touch screens can be complex and difficult to implement. What is needed is a user-friendly, wirelessly controlled handheld unit.

（発明の要旨）
本発明は、短距離無線対応のコンピュータをサービスツールとして使用する方法およびシステムを提供する。一実施態様においては、装置を操作するために無線環境で使用するハンドヘルド機器を提供する。本ハンドヘルド機器は、保守シーケンスの開始要求を装置コントローラに送信する。本ハンドヘルド機器は、保守シーケンスの動作を制御するために、情報を装置コントローラから受信する。本ハンドヘルド機器は、保守コマンドを装置コントローラに送信する。次に、本ハンドヘルド機器は、保守コマンドが実行された後のこの装置の状態に関する情報を受信する。 (Summary of the Invention)
The present invention provides a method and system for using a short range wireless capable computer as a service tool. In one embodiment, a handheld device for use in a wireless environment to operate a device is provided. The handheld device transmits a maintenance sequence start request to the apparatus controller. The handheld device receives information from the device controller to control the operation of the maintenance sequence. The handheld device transmits a maintenance command to the device controller. The handheld device then receives information regarding the status of the device after the maintenance command has been executed.

別の実施態様においては、個別装置に対して保守を実施する方法を提供する。第１のステップでは、装置を制御するための要求がハンドヘルド機器から無線で送信される。次に、この装置の制御に関する情報がハンドヘルド機器に送信される。ハンドヘルド機器は保守コマンドを送信し、装置の現況に関する更新を受信する。 In another embodiment, a method for performing maintenance on an individual device is provided. In the first step, a request to control the device is transmitted wirelessly from the handheld device. Next, information regarding the control of the device is transmitted to the handheld device. The handheld device sends a maintenance command and receives updates regarding the current status of the device.

本発明の技術的便益は、ユーザがどこからでも機械装置を操作できる無線通信の使用を含む。また、標準のハンドヘルドコンピュータをプログラミングできることから、費用便益をもたらす。制御プログラムのサブセットのみをハンドヘルド機器に備えることによって、記憶領域が節約され、実行時間が短縮される。また、必要時にのみ制御アプリケーションを送信することによって、操作者は必ず最新版ソフトウェアを読み込ませることができる。他の技術的便益は、以下の説明および特許請求の範囲から明らかである。
（項目１）
装置コントローラを備えた半導体処理装置を操作するために無線環境で使用されるハンドヘルド機器であって、
前記半導体処理装置に対して実行する保守シーケンスの開始要求を前記装置コントローラに送信し、
前記保守シーケンスの動作を制御するために情報を前記装置コントローラから受信し、
前記装置コントローラによって実行される保守コマンドを前記装置コントローラに送信し、
前記保守コマンドが実行された後の前記半導体処理装置の状態に関する情報を前記装置コントローラから受信することができるハンドヘルド機器。
（項目２）
項目１に記載のハンドヘルド機器であって、前記保守シーケンスがロボットの教示シーケンスを含むハンドヘルド機器。
（項目３）
項目１に記載のハンドヘルド機器であって、前記無線環境がＢｌｕｅｔｏｏｔｈ無線規格を含むハンドヘルド機器。
（項目４）
項目１に記載のハンドヘルド機器であって、前記ハンドヘルド機器がブラウザプログラムを実行できるハンドヘルド機器。
（項目５）
項目１に記載のハンドヘルド機器であって、前記ハンドヘルド機器がバイトコードインタープリタを実行できるハンドヘルド機器。
（項目６）
項目１に記載のハンドヘルド機器であって、前記装置が半導体用炉であるハンドヘルド機器。
（項目７）
項目１に記載のハンドヘルド機器であって、前記ハンドヘルド機器がさらに操作パラメータに関するデータを前記装置から受信できるハンドヘルド機器。
（項目８）
項目７に記載のハンドヘルド機器であって、前記ハンドヘルド機器に前記データがプッシュされるハンドヘルド機器。
（項目９）
項目１に記載のハンドヘルド機器であって、前記装置コントローラが実行できるコマンド群のサブセットを受信するハンドヘルド機器。
（項目１０）
製造装置であって、
情報を１つまたは複数のセンサから受信し、複数のコマンドを１つまたは複数のアクチュエータに送信することができる装置コントローラと、
前記装置コントローラに結合され、情報を無線で送受信できる無線トランシーバと、を含み、
前記無線トランシーバが複数のコマンドをハンドヘルド機器から受信し、前記複数のコマンドを前記装置コントローラに送信することができ、前記装置コントローラが前記複数のコマンドを前記１つまたは複数のアクチュエータに実行させることができる製造装置。
（項目１１）
項目１０に記載の製造装置であって、前記複数のコマンドが複数のロボット教示コマンドを含む製造装置。
（項目１２）
項目１０に記載の製造装置であって、前記無線環境がＢｌｕｅｔｏｏｔｈ無線規格を含む製造装置。
（項目１３）
項目１０に記載の製造装置であって、前記製造装置が操作パラメータに関するデータを前記ハンドヘルド機器に送信することができる製造装置。
（項目１４）
項目１２に記載の製造装置であって、前記データが前記ハンドヘルド機器にプッシュされる製造装置。
（項目１５）
工業用設備に対して保守を実施するためのシステムであって、
ハンドヘルド機器であって、
保守制御プログラムを実行するためのプロセッサとメモリと、
１つまたは複数の保守コマンドを送信するために前記ハンドヘルド機器の前記プロセッサと前記メモリとに結合される第１の無線トランシーバと、を含むハンドヘルド機器と、
処理ユニットであって、
１つまたは複数のセンサから情報を受信し、複数のコマンドを１つまたは複数のアクチュエータに送信できる処理ユニットコントローラと、
前記１つまたは複数の保守コマンドを前記ハンドヘルド機器から無線で受信し、前記コマンドを実行させるために、前記コマンドを前記処理ユニットコントローラに送信できる第２の無線トランシーバと、を含む処理ユニットと、を含むシステム。
（項目１６）
項目１５に記載のシステムであって、前記無線環境がＢｌｕｅｔｏｏｔｈ無線規格を含むシステム。
（項目１７）
項目１５に記載のシステムであって、前記ハンドヘルド機器がブラウザプログラムを実行できるシステム。
（項目１８）
項目１５に記載のシステムであって、前記ハンドヘルド機器がバイトコードインタープリタを実行できるシステム。
（項目１９）
項目１５に記載のシステムであって、前記処理ユニットが半導体用炉であるシステム。
（項目２０）
項目１５に記載のシステムであって、前記ハンドヘルド機器がさらに操作パラメータに関するデータを前記処理ユニットから受信できるシステム。
（項目２１）
項目２０に記載のシステムであって、前記データが前記ハンドヘルド機器にプッシュされるシステム。
（項目２２）
項目１５に記載のシステムであって、前記複数の装置コントローラコマンドのサブセットが前記ハンドヘルド機器上に備えられるシステム。
（項目２３）
項目１５に記載のシステムであって、前記保守がロボット教示シーケンスを含むシステム。
（項目２４）
工業用装置に対して保守を実施する方法であって、
前記装置の制御要求をハンドヘルド機器から無線で受信するステップと、
前記装置の前記制御に関する情報を前記ハンドヘルド機器に送信するステップと、
保守コマンドを前記ハンドヘルド機器から受信するステップと、
前記保守コマンドを実行するステップと、
前記装置の現況に関する更新を前記ハンドヘルド機器に送信するステップと、を含む方法。
（項目２５）
項目２４に記載の方法であって、前記保守がロボット教示シーケンスを含む方法。
（項目２６）
項目２４に記載の方法であって、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ無線規格を用いて情報を前記ハンドヘルド機器から受信するステップをさらに含む方法。
（項目２７）
項目２４に記載の方法であって、前記情報送信ステップが装置制御命令セットのサブセットを前記ハンドヘルド機器に送信するステップをさらに含む方法。
（項目２８）
工業用装置に対して保守を実施する方法であって、
前記装置の制御要求を無線によってハンドヘルド機器から送信するステップと、
前記装置の前記制御に関する情報を無線によって前記ハンドヘルド機器で受信するステップと、
保守コマンドを前記ハンドヘルド機器から無線によって送信するステップと、
前記装置の現況に関する前記ハンドヘルドユニットの更新を無線によって前記ハンドヘルド機器で受信するステップと、を含む方法。
（項目２９）
項目２８に記載の方法であって、前記保守がロボット教示シーケンスを含む方法。
（項目３０）
項目２８に記載の方法であって、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ無線規格を用いて情報を前記ハンドヘルド機器から送信するステップをさらに含む方法。
（項目３１）
項目２８に記載の方法であって、前記情報受信ステップが前記ハンドヘルド機器への装置制御命令セットのサブセットを受信するステップをさらに含む方法。
（項目３２）
半導体処理装置の動作を無線によって制御するためのハンドヘルド機器であって、
無線トランシーバと、
前記無線トランシーバに結合されているプロセッサと、
前記プロセッサに結合され、画面とユーザ入力インタフェースとを備えたユーザインタフェースと、を含み、
前記ユーザ入力インタフェースを介してユーザ入力があると、前記無線トランシーバが制御プログラムを求める要求を前記半導体処理装置に伝達し、前記無線トランシーバが前記制御プログラムを受信し、前記プロセッサが前記制御プログラムを実行し、前記制御プログラムが１つまたは複数の装置制御コマンドを前記画面上に生成し、前記プロセッサが前記１つまたは複数の装置制御コマンドのうちの１つの選択を前記ユーザ入力インタフェースを介して受信し、前記プロセッサが前記１つまたは複数の装置制御コマンドのうちの前記１つの選択を前記無線トランシーバに送信し、前記選択が前記無線トランシーバから前記半導体処理装置に送信されるハンドヘルド機器。 The technical benefits of the present invention include the use of wireless communications that allow the user to operate the mechanical device from anywhere. It also provides cost benefits from the ability to program standard handheld computers. By providing only a subset of the control program in the handheld device, storage space is saved and execution time is reduced. Further, by transmitting the control application only when necessary, the operator can always read the latest version software. Other technical benefits will be apparent from the following description and claims.
(Item 1)
A handheld device used in a wireless environment to operate a semiconductor processing apparatus with an apparatus controller,
A maintenance sequence start request to be executed for the semiconductor processing apparatus is transmitted to the apparatus controller;
Receiving information from the device controller to control the operation of the maintenance sequence;
Sending a maintenance command to be executed by the device controller to the device controller;
A handheld device capable of receiving information about the state of the semiconductor processing apparatus after the maintenance command is executed from the apparatus controller.
(Item 2)
2. The handheld device according to item 1, wherein the maintenance sequence includes a robot teaching sequence.
(Item 3)
The handheld device according to item 1, wherein the wireless environment includes a Bluetooth wireless standard.
(Item 4)
The handheld device according to item 1, wherein the handheld device can execute a browser program.
(Item 5)
The handheld device according to item 1, wherein the handheld device is capable of executing a bytecode interpreter.
(Item 6)
Item 2. The handheld device according to Item 1, wherein the device is a semiconductor furnace.
(Item 7)
Item 2. The handheld device of item 1, wherein the handheld device can further receive data relating to operating parameters from the device.
(Item 8)
8. The handheld device according to item 7, wherein the data is pushed to the handheld device.
(Item 9)
The handheld device according to item 1, wherein the handheld device receives a subset of commands that can be executed by the device controller.
(Item 10)
Manufacturing equipment,
A device controller capable of receiving information from one or more sensors and sending a plurality of commands to one or more actuators;
A wireless transceiver coupled to the device controller and capable of transmitting and receiving information wirelessly;
The wireless transceiver can receive a plurality of commands from a handheld device, send the plurality of commands to the device controller, and the device controller causes the one or more actuators to execute the plurality of commands. Production equipment.
(Item 11)
11. The manufacturing apparatus according to item 10, wherein the plurality of commands include a plurality of robot teaching commands.
(Item 12)
Item 11. The manufacturing device according to Item 10, wherein the wireless environment includes a Bluetooth wireless standard.
(Item 13)
11. The manufacturing apparatus according to item 10, wherein the manufacturing apparatus can transmit data relating to operation parameters to the handheld device.
(Item 14)
13. The manufacturing apparatus according to item 12, wherein the data is pushed to the handheld device.
(Item 15)
A system for performing maintenance on industrial equipment,
A handheld device,
A processor and a memory for executing the maintenance control program;
A handheld device comprising: a first wireless transceiver coupled to the processor and the memory of the handheld device to transmit one or more maintenance commands;
A processing unit,
A processing unit controller that can receive information from one or more sensors and send a plurality of commands to one or more actuators;
A processing unit comprising: a second wireless transceiver capable of wirelessly receiving the one or more maintenance commands from the handheld device and transmitting the commands to the processing unit controller to cause the commands to be executed. Including system.
(Item 16)
16. The system according to item 15, wherein the wireless environment includes a Bluetooth wireless standard.
(Item 17)
16. The system according to item 15, wherein the handheld device can execute a browser program.
(Item 18)
Item 16. The system of item 15, wherein the handheld device is capable of executing a bytecode interpreter.
(Item 19)
16. The system according to item 15, wherein the processing unit is a semiconductor furnace.
(Item 20)
16. The system according to item 15, wherein the handheld device can further receive data relating to operating parameters from the processing unit.
(Item 21)
Item 21. The system of item 20, wherein the data is pushed to the handheld device.
(Item 22)
16. The system of item 15, wherein a subset of the plurality of device controller commands is provided on the handheld device.
(Item 23)
16. The system according to item 15, wherein the maintenance includes a robot teaching sequence.
(Item 24)
A method of performing maintenance on industrial equipment,
Wirelessly receiving a control request for the device from a handheld device;
Transmitting information related to the control of the device to the handheld device;
Receiving a maintenance command from the handheld device;
Executing the maintenance command;
Transmitting an update regarding the current status of the device to the handheld device.
(Item 25)
25. A method according to item 24, wherein the maintenance includes a robot teaching sequence.
(Item 26)
25. The method of item 24, further comprising receiving information from the handheld device using a Bluetooth wireless standard.
(Item 27)
25. The method of item 24, wherein the step of sending information further comprises sending a subset of device control instruction sets to the handheld device.
(Item 28)
A method of performing maintenance on industrial equipment,
Transmitting a control request for the device wirelessly from a handheld device;
Receiving information related to the control of the device wirelessly at the handheld device;
Transmitting a maintenance command wirelessly from the handheld device;
Wirelessly receiving at the handheld device an update of the handheld unit relating to the current status of the device.
(Item 29)
29. A method according to item 28, wherein the maintenance includes a robot teaching sequence.
(Item 30)
29. The method of item 28, further comprising transmitting information from the handheld device using a Bluetooth wireless standard.
(Item 31)
29. The method of item 28, wherein the information receiving step further comprises receiving a subset of a device control instruction set for the handheld device.
(Item 32)
A handheld device for wirelessly controlling the operation of a semiconductor processing apparatus,
A wireless transceiver;
A processor coupled to the wireless transceiver;
A user interface coupled to the processor and comprising a screen and a user input interface;
When there is user input via the user input interface, the wireless transceiver transmits a request for a control program to the semiconductor processing device, the wireless transceiver receives the control program, and the processor executes the control program And the control program generates one or more device control commands on the screen, and the processor receives a selection of one of the one or more device control commands via the user input interface. A handheld device in which the processor transmits the selection of the one or more device control commands to the wireless transceiver, and the selection is transmitted from the wireless transceiver to the semiconductor processing device.

図１は、半導体用炉と通信する典型的なハンドヘルド機器を示す。FIG. 1 shows a typical handheld device in communication with a semiconductor furnace. 図２は、半導体用炉の制御システムを示す。FIG. 2 shows a semiconductor furnace control system. 図３は、ハンドヘルド機器の構成要素のブロック図である。FIG. 3 is a block diagram of the components of the handheld device. 図４は、アプレットの場合のハンドヘルド機器と半導体用炉との間の情報の流れを示す情報流れ図である。FIG. 4 is an information flow diagram illustrating the flow of information between the handheld device and the semiconductor furnace in the case of an applet. 図５は、ＪＡＶＡ（登録商標）仮想マシンを使用した場合の本発明のデータ流れ図である。FIG. 5 is a data flow diagram of the present invention when a JAVA (registered trademark) virtual machine is used.

以下の説明においては、無線コントローラを使用して半導体用炉を制御する一実施形態を使用する。説明はこの実施形態についてであるが、当業者には明らかなように、本発明は、さまざまな種類の装置および機械装置を制御するためのさまざまな用途に使用可能である。 In the following description, an embodiment is used in which a semiconductor controller is controlled using a wireless controller. Although the description is for this embodiment, it will be apparent to those skilled in the art that the present invention can be used in a variety of applications to control various types of devices and machinery.

図１は、半導体用炉１１０と通信し、半導体用炉１１０を調整するために使用される典型的なハンドヘルド機器１０２を示す。ハンドヘルド機器１０２は、無線リンク１１６を介して半導体用炉１１０と通信する。 FIG. 1 illustrates an exemplary handheld device 102 that is used to communicate with and condition a semiconductor furnace 110. Handheld device 102 communicates with semiconductor furnace 110 via wireless link 116.

ハンドヘルド機器１０２は、メッセージの無線による送受信と、アプリケーションおよびプログラムの実行とが可能なハンドヘルド機器であればどのようなものでもよい。たとえば、ハンドヘルド機器１０２は、市販のハンドヘルド機器または個人情報端末でもよく、たとえばカリフォルニア州サンタクララのパーム社製Ｐａｌｍｍ５１５、カリフォルニア州マウンテンバレーのハンドスプリング社製ＨａｎｄｓｐｒｉｎｇＴｒｅｏ９０、またはテキサス州ヒューストンのコンパック・コンピュータ社製ＣｏｍｐａｑＩｐａｑなどでもよい。 The handheld device 102 may be any handheld device capable of wirelessly transmitting and receiving messages and executing applications and programs. For example, handheld device 102 may be a commercially available handheld device or personal information terminal, such as Palm Palm 515 from Palm, Santa Clara, California, Handspring Treo 90 from Handspring, Mountain Valley, California, or a Compaq computer, Houston, Texas. Compaq Ipaq made by the company may be used.

ハンドヘルド機器１０２は、専売権付きハンドヘルド機器でもよい。ハンドヘルド機器は画面１０４を含み、これはグレイスケール画面でも、カラーＬＣＤ画面でもよい。画面１０４は、一般に接触感知型であり、ユーザはユーザ自身の指またはスタイラスで画面に接触することによってプログラム内のメニュー項目を選択することができる。一般に、画面１０４では、ユーザがスタイラスを使ってテキストを手書き入力でき、このテキストは正しいテキスト文字に解釈される。つまり、プログラムまたはアプリケーションに対するテキスト入力が可能である。 The handheld device 102 may be a handheld device with exclusive rights. The handheld device includes a screen 104, which may be a gray scale screen or a color LCD screen. The screen 104 is generally touch sensitive and the user can select menu items in the program by touching the screen with his / her finger or stylus. In general, on the screen 104, a user can input text by hand using a stylus, and the text is interpreted as a correct text character. That is, text input to a program or application is possible.

ハンドヘルド機器１０２は、複数のキー１０６をさらに有する。これらのキー１０６を使用して、データの入力またはプログラムの起動を行うことができる。実施形態によっては、タッチスクリーンインタフェースが備えられていない場合の英数字入力またはいずれかのデータ入力を容易にするために、キー群１０６をキーボードにすることができる。あるいは、ハンドヘルド機器１０２は、コマンドの発声入力が可能な音声認識機能を備えることができる。 The handheld device 102 further includes a plurality of keys 106. These keys 106 can be used to enter data or launch programs. In some embodiments, key group 106 can be a keyboard to facilitate alphanumeric input or any data input when a touch screen interface is not provided. Alternatively, the handheld device 102 can be provided with a voice recognition function capable of inputting a command utterance.

アンテナ１０８は、ハンドヘルド機器１０２と半導体用炉１１０との間の無線情報の送受信に使用される。アンテナ１０８は、図３でさらに説明するトランシーバに結合されている。 The antenna 108 is used for transmission and reception of wireless information between the handheld device 102 and the semiconductor furnace 110. The antenna 108 is coupled to a transceiver described further in FIG.

半導体用炉１１０は、拡散と、酸化と、蒸着とに使用される炉である。半導体用炉の一例は、ネバダ州のＡＳＭインターナショナル社製のＡ４１２炉である。半導体用炉１１０は、半導体用炉１１０の運転を制御する炉コントローラ１２０を含む。炉コントローラ１２０には制御盤１１２が接続されており、この制御盤１１２で炉コントローラ１２０へのデータおよびコマンドの入力と、炉コントローラ１２０からのデータの受信とを行う。一実施形態における制御盤１１２は、タッチスクリーン式の制御盤である。ただし、標準モニタに連係させたキーボードまたは他の入力機器を使用してもよい。 The semiconductor furnace 110 is a furnace used for diffusion, oxidation, and vapor deposition. An example of a semiconductor furnace is an A412 furnace manufactured by ASM International, Nevada. The semiconductor furnace 110 includes a furnace controller 120 that controls the operation of the semiconductor furnace 110. A control panel 112 is connected to the furnace controller 120, and the control panel 112 inputs data and commands to the furnace controller 120 and receives data from the furnace controller 120. In one embodiment, the control panel 112 is a touch screen type control panel. However, a keyboard or other input device linked to a standard monitor may be used.

炉コントローラ１２０には、無線トランシーバ１１４も接続される。無線トランシーバ１１４は、無線周波信号、赤外線信号、または他の無線通信手段を用いて、半導体用炉のコントローラとハンドヘルド機器との間でデータおよびアプリケーションを送受信できる機器であればどのような機器でもよい。 A wireless transceiver 114 is also connected to the furnace controller 120. The wireless transceiver 114 may be any device capable of transmitting and receiving data and applications between the semiconductor furnace controller and the handheld device using radio frequency signals, infrared signals, or other wireless communication means. .

無線リンク１１６は、１つの無線通信方式とすることができる。一実施形態においては、無線リンク１１６は、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ無線仕様の設備を利用する。Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ規格は、モバイル機器（ラップトップ、携帯情報端末、電話機）とデスクトップ機器との間におけるデジタル音声およびデジタルデータの近距離通信のためのオープン規格である。この規格は、ポイントツーポイント通信アプリケーションとポイントツーマルチポイント通信アプリケーションとをサポートする。Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ規格では、最大データ転送速度７２０Ｋｂｐｓが１０メートル以内で可能であり、パワーブースト付きで最大１００メートルまで可能である。これは、壁および他の非金属障害物を通過できる全方向電波を使用する。Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ規格は、免許不要の２．４ＧＨｚ帯域で伝送し、信号を１秒間に１６００回切り替える周波数ホッピングスペクトラム拡散技術を使用する。他の機器からの干渉があると、伝送は停止しないが、伝送速度が低下する。無線ＬＡＮ規格など、他の無線規格も使用しうる。たとえば、８０２．１１ｂ無線ネットワーキングを使用することができる。８０２．１１ｂは、２．４ＧＨｚ帯域を使用し、ワイヤレス・フィディリティまたは「Ｗｉ−Ｆｉ」として公知である。 The wireless link 116 may be one wireless communication method. In one embodiment, the wireless link 116 utilizes Bluetooth wireless specification equipment. The Bluetooth standard is an open standard for short-distance communication of digital voice and digital data between mobile devices (laptops, personal digital assistants, telephones) and desktop devices. This standard supports point-to-point communication applications and point-to-multipoint communication applications. According to the Bluetooth standard, a maximum data transfer speed of 720 Kbps is possible within 10 meters, and a maximum of 100 meters is possible with a power boost. This uses omnidirectional radio waves that can pass through walls and other non-metallic obstacles. The Bluetooth standard uses a frequency hopping spread spectrum technology that transmits in the 2.4 GHz band without a license and switches the signal 1600 times per second. If there is interference from other devices, transmission does not stop, but the transmission speed decreases. Other wireless standards such as a wireless LAN standard can also be used. For example, 802.11b wireless networking can be used. 802.11b uses the 2.4 GHz band and is known as wireless fidelity or “Wi-Fi”.

稼動中、ハンドヘルド機器１０２は、半導体用炉１１０と無線で通信する。ハンドヘルド機器１０２は、半導体用炉の制御プログラムのサブセットが機器自体に格納されているか、または半導体用炉１１０の炉コントローラ１２０から受信するかのどちらかである。一実施形態においては、この制御プログラムの特定のコンポーネント群をハンドヘルド機器に事前に読み込ませておき、他のコンポーネント群は必要時に炉コントローラから受信する。これによって、ハンドヘルド機器を操作するユーザは、ハンドヘルド機器１０２から炉コントローラ１２０にコマンドを送信することによって、ロボットアームの移動を含む、半導体用炉１１０の運転を操作することができる。一実施形態においては、ハンドヘルド機器１２０のユーザは、半導体ウェハーのカセットを置くカセットストッカ上の位置を半導体用炉のウェハーハンドリングロボットに教え込むために、ウェハーハンドリングロボットを制御するコマンドを送信する。無線による遠隔アクセスによって、ユーザはロボットの正確な位置付けを目視確認してから、別の移動コマンドをロボットに送信することができる。炉コントローラの位置にいる操作者はロボットの位置を見ることができないので、ロボットの位置付けを確認するには自身が移動するか、または第２の人間に頼らざるを得ないことから、無線による遠隔アクセスは好都合である。これは、ハンドヘルド機器１２０による制御が可能な処理のほんの一例にすぎない。ハンドヘルド機器１０２は、処理パラメータなどの情報を炉コントローラ１２０から受信することもできる。 During operation, the handheld device 102 communicates wirelessly with the semiconductor furnace 110. The handheld device 102 either has a subset of the semiconductor furnace control program stored in the device itself or receives from the furnace controller 120 of the semiconductor furnace 110. In one embodiment, certain components of this control program are pre-loaded into the handheld device and other components are received from the furnace controller when needed. Accordingly, a user operating the handheld device can operate the semiconductor furnace 110 including the movement of the robot arm by transmitting a command from the handheld device 102 to the furnace controller 120. In one embodiment, the user of the handheld device 120 sends a command to control the wafer handling robot to teach the wafer handling robot in the semiconductor furnace the location on the cassette stocker where the semiconductor wafer cassette is to be placed. Remote access by wireless allows the user to visually confirm the correct positioning of the robot before sending another movement command to the robot. Since the operator at the position of the furnace controller cannot see the position of the robot, it is necessary for the operator to move or to rely on a second person to confirm the positioning of the robot. Access is convenient. This is just one example of a process that can be controlled by the handheld device 120. The handheld device 102 can also receive information such as processing parameters from the furnace controller 120.

図２は、半導体用炉１１０の制御システムをさらに詳細に示す。炉コントローラ１２０は、破線で示されており、複数のサブコントローラを含んでいる。この図において、主制御ステーション２１０は、処理コントローラ２１２と、温度コントローラ２１４と、ロボットコントローラ２１６とに結合されている。主制御ステーション２１０は、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈアクセスポイント２０６およびアンテナ２０８にも結合されている。 FIG. 2 shows the control system of the semiconductor furnace 110 in more detail. The furnace controller 120 is indicated by a broken line and includes a plurality of sub-controllers. In this figure, the main control station 210 is coupled to a process controller 212, a temperature controller 214, and a robot controller 216. The main control station 210 is also coupled to a Bluetooth access point 206 and an antenna 208.

一実施形態における主制御ステーション２１０は、ＩＢＭ社の製品であるＯＳ２などのオペレーティングシステムを実行するＰＣベースの制御ステーションである。勿論、他のプロセッサおよびオペレーティングシステムを使用することもできる。タッチスクリーン１１２は、主制御ステーション２１０のためのユーザ入力機器である。他の実施形態においては、キーボード、マウス、または音声認識システムなど、他のユーザ入力機器を使用することもできる。 The main control station 210 in one embodiment is a PC-based control station that runs an operating system such as OS2 which is a product of IBM. Of course, other processors and operating systems may be used. Touch screen 112 is a user input device for main control station 210. In other embodiments, other user input devices such as a keyboard, mouse, or voice recognition system may be used.

Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈアクセスポイント２０６は、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ規格による無線送受信が可能なＢｌｕｅｔｏｏｔｈ準拠のトランシーバである。勿論、別の無線プロトコルを使用する場合は、異なる種類のアクセスポイントを利用することになるであろう。Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈアクセスポイント２０６は、公知の設計のアンテナ２０８に結合されている。 The Bluetooth access point 206 is a Bluetooth-compliant transceiver capable of wireless transmission / reception according to the Bluetooth standard. Of course, if another wireless protocol is used, a different type of access point will be utilized. The Bluetooth access point 206 is coupled to an antenna 208 of known design.

処理コントローラ２１２は、処理室内で実行される処理プログラムの実行の制御を担当する。処理コントローラ２１２は、処理室内への化学物質および他の材料の導入および除去を主に制御する装置を制御することができる。たとえば、処理コントローラ２１２は、処理室内での処理を制御するために、制御装置の中でも、主に質量流量コントローラとバルブとを制御することができる。 The processing controller 212 is responsible for controlling the execution of the processing program executed in the processing chamber. The process controller 212 can control an apparatus that primarily controls the introduction and removal of chemicals and other materials into the process chamber. For example, the process controller 212 can mainly control the mass flow controller and the valve among the control devices in order to control the process in the process chamber.

温度コントローラ２１４は、処理室内の温度の監視と調整とを担当する。温度コントローラ２１２は、温度センサを監視し、加熱素子を制御することによって処理室内の温度を上昇または下降させることができる。 The temperature controller 214 is in charge of monitoring and adjusting the temperature in the processing chamber. The temperature controller 212 can increase or decrease the temperature in the processing chamber by monitoring the temperature sensor and controlling the heating element.

ロボットコントローラ２１６は、半導体用炉１１０内部のロボットを制御する。ロボットコントローラ２１６は、カセットハンドリングロボットやウェハーハンドリングロボットなど、１つまたは複数のロボットの動きを制御することができる。 The robot controller 216 controls the robot inside the semiconductor furnace 110. The robot controller 216 can control the movement of one or more robots, such as a cassette handling robot or a wafer handling robot.

本発明においては、これらの制御機能の制御および監視をハンドヘルド機器１０２に移管し、監視および操作を遠隔から行うことができる。図２には特定の制御アーキテクチャが示されているが、本発明はこの特定の構成に限定されるものではない。つまり、コントローラの数はこれより多くても少なくてもよく、すべての制御機能を１つの中央制御ユニットで実行することも可能である。複数のコントローラを使用する場合は、これらのコントローラ間を、ネットワーク経由など、当技術分野で周知のいずれかの方法で接続することができる。さらに、複数のユーザインタフェースを設け、システムの複数のサイトなど、複数の場所にユーザインタフェースを配置してもよい。さらに、図示の処理制御装置（質量流量コントローラ、バルブ温度センサ、ヒータ、ロボット）に加え、圧力センサ、位置センサ、濃度センサ、リレー、ランプ、音響警報など、他のセンサおよびアクチュエータを使用してもよい。さらに、本発明は半導体用炉の制御に限定されるものではない。少なくとも部分的にコントローラの制御下で運転される商用装置または工業用装置であれば、どのような装置にでも本発明を適用することができる。このような装置として、食品加工プラントおよび自動車製造装置が挙げられる。 In the present invention, control and monitoring of these control functions can be transferred to the handheld device 102, and monitoring and operation can be performed remotely. Although a specific control architecture is shown in FIG. 2, the present invention is not limited to this specific configuration. In other words, the number of controllers can be greater or less than this, and all control functions can be performed by one central control unit. When a plurality of controllers are used, these controllers can be connected by any method known in the art, such as via a network. Furthermore, a plurality of user interfaces may be provided, and the user interfaces may be arranged at a plurality of locations such as a plurality of sites of the system. Furthermore, in addition to the illustrated processing control device (mass flow rate controller, valve temperature sensor, heater, robot), other sensors and actuators such as pressure sensors, position sensors, concentration sensors, relays, lamps, and acoustic alarms may be used. Good. Furthermore, the present invention is not limited to the control of a semiconductor furnace. The present invention can be applied to any apparatus that is a commercial apparatus or an industrial apparatus that is operated at least partially under the control of a controller. Such devices include food processing plants and automobile manufacturing equipment.

図３は、ハンドヘルド機器１０２の構成要素のブロック図である。一実施形態におけるハンドヘルド機器１０２は、プロセッサ３０２と、メモリ３０４と、アンテナ１０８に結合されているトランシーバ３０６とを含む。 FIG. 3 is a block diagram of the components of the handheld device 102. The handheld device 102 in one embodiment includes a processor 302, a memory 304, and a transceiver 306 that is coupled to the antenna 108.

プロセッサ３０２は、オペレーティングシステム（ＯＳ）３０８の制御下で、ハンドヘルド機器１１０の動作を制御する。プロセッサ３０２は、インテル社製、モトローラ社製、または日立製のプロセッサを含む複数のプロセッサのうちのどれでもよい。プロセッサ３０２は、制御信号と、アドレス信号と、データ信号とをハンドヘルド機器１０２のオペレーティングシステム３０８および他の構成要素とやり取りする。プロセッサ３０２は、メモリ３０４からフェッチつまり取り出された命令を解釈して実行する。メモリ３０４は、ブラウザ３１０やＪａｖａ（登録商標）仮想マシン３１２などの複数のプログラムを含む。プロセッサ３０２は、単一または複数の集積回路として実現してもよい。 The processor 302 controls the operation of the handheld device 110 under the control of an operating system (OS) 308. The processor 302 may be any of a plurality of processors including Intel, Motorola, or Hitachi processors. The processor 302 exchanges control signals, address signals, and data signals with the operating system 308 and other components of the handheld device 102. The processor 302 interprets and executes an instruction fetched, that is, fetched from the memory 304. The memory 304 includes a plurality of programs such as a browser 310 and a Java (registered trademark) virtual machine 312. The processor 302 may be implemented as a single or multiple integrated circuits.

トランシーバ３０６は、データを無線で送受信できる装置であれば、どのような装置でもよい。一実施形態においては、トランシーバ３０６はＢｌｕｅｔｏｏｔｈ対応のトランシーバである。無線ＬＡＮ規格や８０１．１１ｂなど、他の無線規格を使用することもできる。 The transceiver 306 may be any device that can transmit and receive data wirelessly. In one embodiment, transceiver 306 is a Bluetooth enabled transceiver. Other wireless standards such as wireless LAN standards and 801.11b can also be used.

メモリ３０４は、揮発性または非揮発性メモリ、ランダムアクセスメモリ（「ＲＡＭ」）、読み出し専用メモリ（「ＲＯＭ」）、フラッシュメモリ、または他の種類のメモリとして実現してもよい。オペレーティングシステム３０８、ブラウザ３１０、および／またはＪＡＶＡ（登録商標）仮想マシン３１２は、メモリ３０４に格納され、メモリ３０４内部で実行される。 The memory 304 may be implemented as volatile or non-volatile memory, random access memory (“RAM”), read only memory (“ROM”), flash memory, or other types of memory. Operating system 308, browser 310, and / or JAVA® virtual machine 312 are stored in memory 304 and executed within memory 304.

オペレーティングシステム３０８は、ＰＡＬＭＯＳやＷＩＮＤＯＷＳ（登録商標）ＣＥなど、ハンドヘルド機器１０２を動作させることができるオペレーティングシステムであればどのようなものでもよい。 The operating system 308 may be any operating system that can operate the handheld device 102, such as PALM OS and WINDOWS (registered trademark) CE.

この実施形態におけるブラウザ３１０は、ＪＡＶＡ（登録商標）アプレットまたは同様のプログラムの実行、またはこれらとの連係が可能ないずれかのプログラムでる。ブラウザ３１０は、一般的なウェブブラウザなどのプログラムにすることも、アプレットビューアにすることもできる。一般的なウェブブラウザは、ウェブページで使用されるハイパーテキストマークアップ言語（ＨＴＭＬ）などのマークアップ言語を解釈することも、ＪＡＶＡ（登録商標）アプレットを実行することもできる。アプレットビューアは、一般にアプレットを単に実行するだけである。ＪＡＶＡ（登録商標）仮想マシン３１２は、ＪＡＶＡ（登録商標）アプリケーションまたは同様のアプリケーションプログラムを実行できるいずれかのプログラムである。ＪＡＶＡ（登録商標）仮想マシン（ＪＶＭ）３１２は、オペレーティングシステム３０８の上で実行され、ＪＡＶＡ（登録商標）バイトコードプログラムを実行する。ＪＡＶＡ（登録商標）仮想マシン３１２は、ソフトウェアによって実現されるという意味で「仮想」である。ブラウザ３１０とＪＡＶＡ（登録商標）仮想マシン（ＪＶＭ）３１２の主要な違いは、ブラウザ３１０は一般にＪＡＶＡ（登録商標）アプレットを実行するだけであるが、ＪＡＶＡ（登録商標）仮想マシン（ＪＶＭ）３１２はＪＡＶＡ（登録商標）アプリケーションを実行する点である。ＪＡＶＡ（登録商標）アプレットは、セキュリティを念頭において設計されている。したがって、アプレットは、セキュリティの観点から危険性がある特定の機能を行えない。これは、ローカルファイルに対する書き込みまたは読み取りの能力を含む。ＪＡＶＡ（登録商標）アプリケーションにはこのような制限はない。本発明においては、半導体用炉１１０用の制御機能群の限定サブセットがＪＡＶＡ（登録商標）アプレットまたはＪＡＶＡ（登録商標）アプリケーションとしてハンドヘルド機器１０２上で実行される。ＪＡＶＡ（登録商標）アプレットを備える場合は、ブラウザプログラム３１０を一般に使用する。ＪＡＶＡ（登録商標）アプリケーションを使用する場合は、ＪＶＭ３１２を使用することになる。これらの例においてはＪＡＶＡ（登録商標）の使用について言及してきたが、これは典型的な用途の場合についてのみ言及しており、Ｃ＋＋、Ｆｏｒｔｒａｎ、ＶｉｓｕａｌＢａｓｉｃ、アセンブリ言語などを含む他のプログラミング言語を使用することもできる。 The browser 310 in this embodiment is any program capable of executing a JAVA (registered trademark) applet or a similar program, or linking with them. The browser 310 can be a program such as a general web browser or an applet viewer. A typical web browser can interpret a markup language such as hypertext markup language (HTML) used in the web page, or can execute a JAVA applet. Applet viewers generally simply run applets. The JAVA (registered trademark) virtual machine 312 is any program that can execute a JAVA (registered trademark) application or a similar application program. A JAVA (registered trademark) virtual machine (JVM) 312 is executed on the operating system 308 and executes a JAVA (registered trademark) bytecode program. The JAVA (registered trademark) virtual machine 312 is “virtual” in the sense that it is realized by software. The main difference between the browser 310 and the JAVA (registered trademark) virtual machine (JVM) 312 is that the browser 310 generally only executes the JAVA (registered trademark) applet, but the JAVA (registered trademark) virtual machine (JVM) 312 This is a point of executing a JAVA (registered trademark) application. The JAVA applet is designed with security in mind. Thus, applets cannot perform certain functions that are dangerous from a security perspective. This includes the ability to write to or read from local files. There is no such limitation in JAVA (registered trademark) applications. In the present invention, a limited subset of control functions for the semiconductor furnace 110 is executed on the handheld device 102 as a JAVA applet or JAVA application. When a JAVA (registered trademark) applet is provided, a browser program 310 is generally used. When the JAVA (registered trademark) application is used, the JVM 312 is used. In these examples, reference has been made to the use of JAVA®, but this refers only to typical use cases, including other programming languages including C ++, Fortran, Visual Basic, assembly language, etc. It can also be used.

上記のように、ハンドヘルド機器１０２と半導体用炉１１０との間では、情報が無線によってやり取りされる。このやり取りは、複数ある通信方式のうちのいずれか１つで行うことができる。 As described above, information is exchanged wirelessly between the handheld device 102 and the semiconductor furnace 110. This exchange can be performed by any one of a plurality of communication methods.

第１の方式として、メッセージとデータとを無線ネットワーキング用のＴＣＰ／ＩＰソケットを介して送信することができる。この実施形態においては、ハンドヘルド機器１０２および炉コントローラ１２０の両方がＴＣＰ／ＩＰソケットをセットアップし、このソケット経由で直接やり取りすることができる。ＴＣＰ／ＩＰソケット経由の通信は、当技術分野では周知である。 As a first method, messages and data can be transmitted via a TCP / IP socket for wireless networking. In this embodiment, both the handheld device 102 and the furnace controller 120 can set up a TCP / IP socket and communicate directly via this socket. Communication via TCP / IP sockets is well known in the art.

ＴＣＰ／ＩＰ接続に加え、遠隔メソッド呼び出しを使用することもできる。この通信プロトコルにおいては、リンクの一方の側（ハンドヘルド機器側など）がもう一方の側のメソッド、つまりオペレーション、をローカルメソッドであるかのように呼び出すことができる。したがって、ハンドヘルド機器のユーザは、炉制御ステーション上に常駐するメソッドを起動（呼び出）して、動き（ロボットアームの移動など）を起こさせることができる。このアプローチの利点は、メソッドをハンドヘルド機器に読み込ませる必要がないことから、ハンドヘルド機器上の記憶領域が節約され、効率が向上する点である。 In addition to TCP / IP connections, remote method calls can also be used. In this communication protocol, one side of the link (such as the handheld device side) can invoke the other side's method, or operation, as if it were a local method. Accordingly, the user of the handheld device can activate (call) a method that resides on the furnace control station to cause movement (such as movement of the robot arm). The advantage of this approach is that it saves storage space on the handheld device and improves efficiency because the method does not need to be loaded into the handheld device.

通信方式のもう１つの候補は、シリアライゼーションである。シリアライゼーションでは、クラス（クラスはプログラムの最小実行可能要素）がハンドヘルド機器１０２に送信され、ハンドヘルド機器上で実行される。複数のクラスを同時に送信することも、それぞれ別の時点で送信することもできる。 Another candidate for the communication method is serialization. In serialization, a class (a class is the smallest executable element of a program) is sent to the handheld device 102 and executed on the handheld device. Multiple classes can be sent simultaneously or at different times.

さらに、アプレットまたはアプリケーションが特定のデータを必要とする場合は、リスナを使用することができる。リスナの一部はハンドヘルド機器に置かれ（実リスナ）、別の部分は炉コントローラに置かれる（インフォーマ）。リスナは特定のデータの発生を監視し、この情報をハンドヘルドユニットに「プッシュ」する。ハンドヘルドユニットに「プッシュ」する情報は、プラントパラメータに関する情報など、どのような情報でも可能である。 In addition, if an applet or application requires specific data, a listener can be used. Part of the listener is placed on the handheld device (actual listener) and another part is placed on the furnace controller (informer). The listener monitors the occurrence of specific data and “pushes” this information to the handheld unit. The information to “push” to the handheld unit can be any information, such as information about plant parameters.

次の図４および図５には、ハンドヘルド機器１０２でブラウザを使用し、アプレットをダウンロードする一実施形態と、Ｊａｖａ（登録商標）仮想マシンを使用し、Ｊａｖａ（登録商標）仮想マシン上で実行するＪａｖａ（登録商標）アプリケーションのクラスを受信する一実施形態とが開示されている。これらの実施形態の共通点は、半導体用炉または他の装置の制御に必要な情報の少なくとも一部を、ハンドヘルド機器１０２に事前に読み込まず、必要時に送信する点である。この結果、ハンドヘルド機器に送信するソフトウェアのみを更新すればよいので、ソフトウェアの更新が容易になる。ただし、半導体用炉または他の機器の制御に必要なすべての情報とデータとをハンドヘルド機器１０２に事前に読み込ませておくことも可能である。 4 and 5 below, an embodiment using a browser on the handheld device 102 to download an applet and using a Java virtual machine, running on the Java virtual machine. An embodiment for receiving a Java application class is disclosed. The common point of these embodiments is that at least a part of the information necessary for controlling the semiconductor furnace or other apparatus is not read in advance into the handheld device 102 and transmitted when necessary. As a result, since only the software to be transmitted to the handheld device needs to be updated, the software can be easily updated. However, it is also possible for the handheld device 102 to read all information and data necessary for controlling the semiconductor furnace or other devices in advance.

図４は、ハンドヘルド機器１０２と半導体用炉１１０との間の情報の流れを示す情報流れ図である。図４では、ブラウザ３１０が使用されている。第１のステップ４０２で、ハンドヘルド機器１０２は、炉制御アプレットにアクセスするために、炉コントローラ１２０へのアクセスを要求することによって、保守手順の開始を要求する。ステップ４０４で、炉コントローラはログイン画面を返す。ステップ４０６で、ユーザがログイン情報を入力して送信する。ログイン情報は、炉コントローラ１２０へのアクセス許可を受けるために必要なユーザ名およびパスワードなどの情報を含む。この情報を暗号化してもよい。ステップ４０８で、選択肢を表示する主画面を含むアプレットがハンドヘルド機器１０２に送信される。これらの選択肢は、炉コントローラの手動制御と、診断情報と、現況情報とを含む。ステップ４１０で、ユーザはこれらの選択肢から選択する。このケースでは、装置の手動制御を選択している。ステップ４１２で、各種の手動制御機能を表示する第２のアプレットがハンドヘルド機器に送信される。ステップ４１４で、ユーザがロボットの教示オプションを選択し、この選択内容が送信される。次にステップ４１６で、「ロボットの教示」アプレットが送信される。ステップ４１８で、このアプレットはロボットの位置をハンドヘルド機器に自動的に送信する。この位置更新は一定間隔で行うことができる。ステップ４２０で、ユーザは、ロボットを移動するコマンドをハンドヘルド機器１０２から発行することができる。このコマンドは炉コントローラ１２０によって受信され、次に炉コントローラ１２０がこのコマンドをロボットコントローラに発行する。次にロボットが移動され、ユーザはこの移動を目視確認することができる。ステップ４２２で、ロボット位置の更新がハンドヘルド機器に対して行われる。この実施形態では複数のアプレットの読み込みを伴ったが、これらのアプレットの全機能を提供する単一のアプレットを読み込むことも可能である。複数のアプレットを使用する理由の１つは、一度にハンドヘルド機器１０２に送信する情報量を減らすことにある。 FIG. 4 is an information flow diagram showing a flow of information between the handheld device 102 and the semiconductor furnace 110. In FIG. 4, a browser 310 is used. In a first step 402, the handheld device 102 requests the start of a maintenance procedure by requesting access to the furnace controller 120 in order to access the furnace control applet. In step 404, the furnace controller returns a login screen. In step 406, the user inputs and transmits login information. The login information includes information such as a user name and a password necessary for receiving access permission to the furnace controller 120. This information may be encrypted. At step 408, an applet including a main screen that displays options is sent to the handheld device 102. These options include manual control of the furnace controller, diagnostic information, and current status information. At step 410, the user selects from these options. In this case, manual control of the device is selected. At step 412, a second applet displaying various manual control functions is transmitted to the handheld device. At step 414, the user selects a robot teaching option and the selection is transmitted. Next, at step 416, the "Teach Robot" applet is sent. In step 418, the applet automatically sends the robot position to the handheld device. This position update can be performed at regular intervals. In step 420, the user can issue a command to move the robot from the handheld device 102. This command is received by the furnace controller 120, which then issues the command to the robot controller. Next, the robot is moved, and the user can visually confirm this movement. At step 422, the robot position is updated for the handheld device. Although this embodiment involves loading multiple applets, it is also possible to load a single applet that provides the full functionality of these applets. One reason for using multiple applets is to reduce the amount of information sent to the handheld device 102 at a time.

このアプローチの１つの利点は、必要時までアプレットがハンドヘルド機器１０２に送信されないことから、ハンドヘルド機器１０２上の記憶領域が節約される点である。また、制御機能群のサブセットのみがハンドヘルドユニットに送信されるので、どの時点においてもハンドヘルドユニット上に存在するのは制御機能群のサブセットのみであることから、すべての制御機能を無線ユニット上に複製する場合に比べ、動作が高速である。さらに、必要時までアプレット群を読み込まないので、更新はアプレット群に対してのみ行えばよく、ハンドヘルド機器１０２に対しては必要ない。更新されたアプレット群を読み込んだ時点で、ハンドヘルド機器１０２上のソフトウェアは必ず最新版になる。 One advantage of this approach is that storage space on the handheld device 102 is saved because the applet is not sent to the handheld device 102 until needed. Also, since only a subset of the control function group is transmitted to the handheld unit, only a subset of the control function group exists on the handheld unit at any given time, so all control functions are replicated on the wireless unit. Compared to the case, the operation is faster. Furthermore, since the applet group is not read until it is necessary, the update need only be performed for the applet group, and is not necessary for the handheld device 102. When the updated applet group is read, the software on the handheld device 102 is always the latest version.

図５は、ＪＡＶＡ（登録商標）仮想マシンでＪＡＶＡ（登録商標）アプリケーションを使用する場合の本発明のデータ流れ図である。図５のステップ５０２で、ユーザは、ログイン要求をハンドヘルド機器から送信することによって、保守シーケンスの開始を要求する。ステップ５０４で、メインメニュー用のクラスがハンドヘルド機器１０２に送信される。次にステップ５０６でユーザが「手動制御」用オプションを選択すると、ステップ５０８で手動制御用のクラスが送信される。このとき、診断ルーチンや現況情報の要求など、他のオプションを提示してもよい。次にステップ５１０でユーザがロボットの教示を選択すると、ステップ５１２でロボット教示クラスが送信される。このプロセスは図４と同じように続き、その後、ロボットの調整が行われる。この実施形態においては、特定のクラス群をハンドヘルド機器１０２に初めに読み込ませておいてもよい。これらの初期クラス群に、ログインアプリケーション、暗号化、および一般通信機能のためのクラスを含めてもよい。また、必要なすべてのクラスを一度にダウンロードすることも可能である。 FIG. 5 is a data flow diagram of the present invention when using a JAVA (registered trademark) application in a JAVA (registered trademark) virtual machine. In step 502 of FIG. 5, the user requests the start of a maintenance sequence by sending a login request from the handheld device. In step 504, the class for the main menu is transmitted to the handheld device 102. Next, when the user selects the “manual control” option in step 506, the manual control class is transmitted in step 508. At this time, other options such as a diagnosis routine and a request for current status information may be presented. Next, when the user selects teaching of the robot in step 510, the robot teaching class is transmitted in step 512. This process continues in the same way as in FIG. 4, after which the robot is adjusted. In this embodiment, a specific class group may be initially read by the handheld device 102. These initial classes may include classes for login applications, encryption, and general communication functions. It is also possible to download all necessary classes at once.

これらの両例では、ロボットの教示と調整とを例として使用した。本発明はこのような例だけに限定されるものではない。本発明は、運転中の処理パラメータの遠隔監視、処理の遠隔制御など、他の多くの分野でも使用することができる。さらに、本発明は、半導体用炉での使用のみに限定されるものではなく、装置コントローラを備えたものであれば、どのような半導体処理装置または工業用装置でも使用することができる。 In both of these examples, robot teaching and adjustment were used as examples. The present invention is not limited to such examples. The present invention can also be used in many other fields, such as remote monitoring of process parameters during operation, remote control of processes. Furthermore, the present invention is not limited to use in a semiconductor furnace, and any semiconductor processing apparatus or industrial apparatus can be used as long as it includes an apparatus controller.

Claims

A handheld device as described herein.