JP2009175003A - Contact probe for high frequency - Google Patents

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亮太 鈴木
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To make constitution simple and operation easy and handling, and attain measurements of high quality. <P>SOLUTION: A center conductor pin 15 is disposed, protruding from a probe body 10 and twelve ground pins 17 are concentrically disposed, to surround the center conductor pin 15, in which the twelve ground pins 17 are provided at an outer conductor 12 via spring members 18, independently and freely movably in the axial direction. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

この発明は、例えばマイクロ波帯通信機、ミリ波帯通信機等の高い周波数帯で用いられる高周波回路の信号を直接的に測定するのに用いられる高周波用コンタクトプローブに関する。   The present invention relates to a high-frequency contact probe used for directly measuring a signal of a high-frequency circuit used in a high frequency band such as a microwave band communication device and a millimeter wave band communication device.

一般に、高周波回路基板においては、高周波回路間のインターフェースにおけるインピーダンス整合などの回路特性が、十分にとれているかが回路構成上、重要であるとされている。   In general, in a high-frequency circuit board, it is considered important in terms of circuit configuration whether circuit characteristics such as impedance matching at an interface between high-frequency circuits are sufficiently taken.

そこで、このような高周波回路基板にあっては、その高周波回路の信号を測定して、所望の回路特性が確保されている等の測定試験が行われている。この場合、コネクタ等のインターフェースを有しない高周波回路の特性を測定する方法としては、同軸型の高周波用コンタクトプローブを、回路に直接的に接触させて測定する方法が採られている。   Thus, in such a high-frequency circuit board, a measurement test is performed such that a desired circuit characteristic is ensured by measuring a signal of the high-frequency circuit. In this case, as a method of measuring the characteristics of a high-frequency circuit that does not have an interface such as a connector, a method of measuring a coaxial high-frequency contact probe in direct contact with the circuit is employed.

この高周波用コンタクトプローブ構成としては、中心導体に接続した第1のコンタクトピン及び外導体に接続した第2のコンタクトピンの双方を、ばねを介してそれぞれ軸方向に移動自在に設けて構成したものが提案されている(例えば、特許文献1参照。)。この特許文献1に開示される高周波用コンタクトプローブ構成は、その第1及び第2のコンタクトピンの双方を、ばねのばね力に抗して高周波回路に接触させて検査することで、ばね力を利用して接触の確実化を図るように構成している。
特開平6−3371号公報
As this high frequency contact probe configuration, both the first contact pin connected to the center conductor and the second contact pin connected to the outer conductor are provided so as to be movable in the axial direction via springs. Has been proposed (see, for example, Patent Document 1). The configuration of the high-frequency contact probe disclosed in Patent Document 1 is such that both the first and second contact pins are inspected by contacting the high-frequency circuit against the spring force of the spring. It is configured so as to ensure contact by utilizing.
JP-A-6-3371

しかしながら、上記高周波用コンタクトプローブ構成では、第1及び第2のコンタクトピンの双方が軸方向(長手方向)に移動自在の設けられているために、例えば高周波回路の被測定部位に対して垂直状に接触させた場合に、接触の確実化を図ることが可能であるが、傾斜させて接触させると、第1のコンタクトピンあるいは第2のコンタクトピンの一部が所望の部位に接触させることができなかったり、あるいはインピーダンスの不整合を招く虞を有し、その取扱い操作が面倒であるという問題を有する。   However, in the above-described high-frequency contact probe configuration, both the first and second contact pins are provided so as to be movable in the axial direction (longitudinal direction). It is possible to ensure the contact when the contact is made, but if the contact is made to be inclined, a part of the first contact pin or the second contact pin may contact a desired part. There is a risk that it may not be possible or may cause impedance mismatch, and the handling operation is troublesome.

この発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、構成簡易にして、容易な取扱い操作を実現し得、且つ、高品質な測定を実現し得るようにした高周波用コンタクトプローブを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and provides a high-frequency contact probe that is simple in configuration, can realize an easy handling operation, and can realize a high-quality measurement. With the goal.

この発明は、高周波回路に接触される中心導体ピンと、この中心導体ピンを囲んだ周囲に絶縁体を介して配置され、軸方向に移動自在に設けられたグランドに接触される複数のグランドピンと、この複数のグランドピンを独立して伸長方向に付勢する付勢手段とを備えて高周波用コンタクトプローブを構成した。   The present invention includes a central conductor pin that is in contact with the high-frequency circuit, and a plurality of ground pins that are arranged via an insulator around the central conductor pin and are in contact with a ground that is movably provided in the axial direction. The high-frequency contact probe is configured to include a biasing means that biases the plurality of ground pins independently in the extending direction.

上記構成によれば、位置決めされた中心導体ピンが、高周波回路の被測定部位に当接されると、その周囲の複数のグランドピンは、その被測定部位の周囲にそれぞれが付勢手段の付勢力に抗して当接されて押圧される。この際、複数のグランドピンは、位置決めされている中心導体ピンと付勢手段との作用により、当接状態が垂直あるいは傾斜されている、その当接角度に応じて突出量(引込み量)が独立に可変された状態で、全てがグランド部位に均一的に接触される。   According to the above configuration, when the center conductor pin thus positioned is brought into contact with the measurement site of the high-frequency circuit, the plurality of ground pins around the center pin are each provided with a biasing means around the measurement site. It abuts against the force and is pressed. At this time, the plurality of ground pins are in contact with each other vertically or inclined by the action of the center conductor pin and the biasing means, and the protrusion amount (retraction amount) is independent depending on the contact angle. All of them are uniformly contacted with the ground portion in the state of being varied.

これにより、中心導体ピン及び複数のグランドピンの高品質なインピーダンス整合が得られ、簡便にして容易な取扱い操作を実現したうえで、安定した高精度な測定を実現することが可能となる。   Thereby, high-quality impedance matching of the center conductor pin and the plurality of ground pins can be obtained, and it is possible to realize a stable and highly accurate measurement after realizing a simple and easy handling operation.

以上述べたように、この発明によれば、構成簡易にして、容易な取扱い操作を実現し得、且つ、高品質な測定を実現し得るようにした高周波用コンタクトプローブを提供することができる。   As described above, according to the present invention, it is possible to provide a high-frequency contact probe that has a simple configuration, can realize an easy handling operation, and can realize a high-quality measurement.

以下、この発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図1は、この発明の一実施の形態に係る高周波用コンタクトプローブを示すもので、プローブ本体10には、中心導体11がリング状の外導体12内にフッ素樹脂等の絶縁体13を介して同軸的に内装されている(図2及び図3参照)。そして、このプローブ本体10には、コネクタインターフェース14が設けられ、このコネクタインターフェース14を介して図示しない測定器の高周波ケーブルが配線接続される。   FIG. 1 shows a high-frequency contact probe according to an embodiment of the present invention. A central conductor 11 is provided in a probe main body 10 in a ring-shaped outer conductor 12 via an insulator 13 such as a fluororesin. It is coaxially installed (see FIGS. 2 and 3). The probe main body 10 is provided with a connector interface 14 through which a high-frequency cable of a measuring instrument (not shown) is wired and connected.

上記プローブ本体10の中心導体11には、その先端側に中心導体ピン15が寸法Lだけ突出されて設けられている(図2参照)。そして、他方の外導体12には、その先端側に複数、例えば12本の凹状をしたピン収容部16(図4参照)が周方向に所定の間隔、例えば均等に振り分けて設けられている。   The center conductor 11 of the probe body 10 is provided with a center conductor pin 15 projecting by a dimension L on the tip side (see FIG. 2). The other outer conductor 12 is provided with a plurality of, for example, twelve concave pin housing portions 16 (see FIG. 4) on the tip side, with a predetermined spacing, for example, equally distributed in the circumferential direction.

このピン収容部16の数は、例えば測定周波数の波長(λ)に対して十分小さい(=λ/4以下)になるように設定され、グランドピン17が、付勢手段、例えば圧縮ばね等のばね部材18を介してそれぞれ独立して軸方向(矢印A,B方向)に伸縮する如く移動自在に収容されている。このように12本のグランドピン17は、それぞれがばね部材18を介してピン収容部16内において外導体12と電気的に接続されている。   The number of the pin accommodating portions 16 is set so as to be sufficiently small (= λ / 4 or less) with respect to the wavelength (λ) of the measurement frequency, for example, and the ground pin 17 is provided with an urging means such as a compression spring. The spring members 18 are accommodated so as to be freely movable so as to expand and contract in the axial direction (in the directions of arrows A and B). Thus, the twelve ground pins 17 are each electrically connected to the outer conductor 12 in the pin accommodating portion 16 via the spring member 18.

上記12本のグランドピン17は、それぞれ外導体12のピン収容部16内において、例えばばね部材18を介して最も矢印A方向に伸長された状態で、その中心導体ピン15に比して寸法L1だけ突出された位置を司り(図2参照)、ばね部材18のばね力に抗して最も矢印B方向に引込んだ状態で、中心導体ピン15の突出位置Lより引込んだ位置を司るように設定されている。言い換えると、12本のグランドピン17は、上記二位置間において矢印A,B方向に独立して移動自在に設けられている。   The twelve ground pins 17 are each dimension L1 in comparison with the central conductor pin 15 in the pin accommodating portion 16 of the outer conductor 12, for example, in the state of being extended most in the direction of arrow A via the spring member 18. The position of the central conductor pin 15 is drawn from the protruding position L in the state of being drawn in the direction of arrow B most against the spring force of the spring member 18 (see FIG. 2). Is set to In other words, the twelve ground pins 17 are provided so as to be independently movable in the directions of arrows A and B between the two positions.

上記構成において、プローブ本体10は、位置固定される中心導体ピン15を図5に示すように高周波回路19の被測定部位に当接させて測定が行われる。この測定時において、プローブ本体10の中心導体ピン15を高周波回路基板19の被測定部位に垂直状に接触させると、複数のグランドピン17は、各ばね部材18のばね力により、その突出量(引込み量)均一的に突出され、グランド部位に圧接された状態が維持される。これにより、高精度なインピーダンス整合が得られて、反射損出及び放射損出を最小限に抑えた高精度な高周波信号の測定を行うことができる。   In the above configuration, the probe main body 10 is measured by bringing the center conductor pin 15 whose position is fixed into contact with the part to be measured of the high-frequency circuit 19 as shown in FIG. At the time of this measurement, when the central conductor pin 15 of the probe main body 10 is brought into perpendicular contact with the part to be measured of the high-frequency circuit board 19, the plurality of ground pins 17 are protruded by the spring force of each spring member 18 ( The amount of pull-in) is uniformly projected and kept in pressure contact with the ground portion. As a result, highly accurate impedance matching can be obtained, and a highly accurate high-frequency signal can be measured with minimal reflection loss and radiation loss.

また、上記測定時において、上記プローブ本体10の中心導体ピン17が、被測定部位に対して垂直状に当接されずに、傾斜させて当接させてしまった場合には、その周囲のグランドピン17は、位置固定されている中心導体ピン15と、各ばね部材18のばね力の作用により、その突出量(引込み量)が、傾斜方向に対応して可変調整される。ここで、12本のグランドピン17は、それぞれ突出位置において、グランド部位に対してばね部材18のばね力により圧接された状態が維持される。   Further, when the center conductor pin 17 of the probe body 10 is tilted and brought into contact with the portion to be measured without being brought into contact with the measurement target at the time of the measurement, the surrounding ground is provided. The protrusion amount (retraction amount) of the pin 17 is variably adjusted in accordance with the inclination direction by the action of the center conductor pin 15 whose position is fixed and the spring force of each spring member 18. Here, the twelve ground pins 17 are maintained in a state of being pressed against the ground portion by the spring force of the spring member 18 at the protruding positions.

これにより、プローブ本体10の測定姿勢が垂直状に当接されないで、傾斜されて当接された場合には、その測定姿勢に影響を受けることなく、中心導体ピン15及びグランドピン17の全ての接触部分の高精度なインピーダンス整合が得られて、反射損出及び放射損出を最小限に抑えた高精度な高周波信号の測定を行うことができる。この結果、安定した高精度な高周波信号の測定を実現したうえで、測定時におけるプローブ本体10の簡便にして容易な取扱い操作が実現される。   As a result, when the measurement posture of the probe body 10 is not vertically contacted but is inclined and contacted, all of the center conductor pin 15 and the ground pin 17 are not affected by the measurement posture. High-precision impedance matching of the contact portion can be obtained, and high-precision high-frequency signals can be measured with minimal reflection loss and radiation loss. As a result, a stable and highly accurate measurement of a high-frequency signal is realized, and a simple and easy handling operation of the probe body 10 at the time of measurement is realized.

このように、上記高周波用コンタクトプローブは、中心導体ピン15をプローブ本体10に突設して配置し、この中心導体ピン15を囲んだ周囲に12本のグランドピン17を同軸的に配し、この12本のグランドピン17を、ばね部材18を介して外導体12に軸方向に独立して移動自在に設けて構成した。   As described above, the high-frequency contact probe has the central conductor pin 15 protruding from the probe body 10 and is arranged around the central conductor pin 15 with the 12 ground pins 17 coaxially arranged. The twelve ground pins 17 are provided on the outer conductor 12 via the spring member 18 so as to be independently movable in the axial direction.

これによれば、位置決めされた中心導体ピン17が、高周波回路19の被測定部位に当接されると、その周囲の12本のグランドピン17は、その被測定部位の周囲のグランド部位にそれぞれがばね部材18の付勢力に抗して当接されて圧接される。この際、12本のグランドピン17は、位置決めされている中心導体ピン15と各ばね部材18との作用により、当接状態が垂直あるいは傾斜されている、その当接角度に応じた力が、それぞれに加わり、その突出量(引込み量)が独立に可変されて、全てがグランド部位に均一的に接触される。   According to this, when the positioned center conductor pin 17 is brought into contact with the measurement site of the high-frequency circuit 19, the 12 ground pins 17 around the center conductor pin 17 are respectively connected to the ground site around the measurement site. Is brought into contact with and pressed against the urging force of the spring member 18. At this time, the twelve ground pins 17 have a contact state that is vertical or inclined by the action of the center conductor pin 15 and each spring member 18 that are positioned. In addition to each, the protrusion amount (retraction amount) is varied independently, and all are uniformly in contact with the ground portion.

これにより、中心導体ピン15及びグランドピン17の高品質なインピーダンス整合が得られ、測定時における簡便にして容易な取扱い操作を実現したうえで、安定した高精度な測定を実現することが可能となる。   As a result, high-quality impedance matching between the center conductor pin 15 and the ground pin 17 can be obtained, and it is possible to realize a stable and highly accurate measurement after realizing a simple and easy handling operation at the time of measurement. Become.

なお、上記実施の形態では、グランドピン17を中心導体ピン15の周囲に均等な間隔で12本設けるように構成した場合について説明したが、この数に限ることなく、構成可能である。また、グランドピン17の配置間隔としては、中心導体ピン15の周囲に均等な間隔で配置することなく構成することも可能であり、いずれの構成においても、同様に有効な効果が期待される。   In the above embodiment, the case where twelve ground pins 17 are provided at equal intervals around the center conductor pin 15 has been described. However, the number of the ground pins 17 is not limited to this number, and can be configured. The ground pins 17 can be arranged without being evenly spaced around the center conductor pin 15, and the same effect can be expected in any configuration.

さらに、上記実施の形態では、グランドピン17を、独立に伸縮させるための付勢手段として、それぞれにばね部材18を配して構成した場合について説明したが、これに限ることなく、その他の付勢手段を用いて構成することも可能である。   Further, in the above-described embodiment, the case where the ground pin 17 is configured by arranging the spring member 18 as an urging means for independently expanding and contracting has been described. It is also possible to use a biasing means.

よって、この発明は、上記実施の形態に限ることなく、その他、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々の変形を実施し得ることが可能である。さらに、上記実施の形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示される複数の構成要件における適宜な組合せにより種々の発明が抽出され得る。   Therefore, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention at the stage of implementation. Further, the above embodiments include inventions at various stages, and various inventions can be extracted by appropriately combining a plurality of disclosed constituent elements.

例えば実施の形態に示される全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出され得る。   For example, even if some constituent requirements are deleted from all the constituent requirements shown in the embodiment, the problem described in the column of the problem to be solved by the invention can be solved, and the effect described in the effect of the invention can be obtained. In such a case, a configuration in which this configuration requirement is deleted can be extracted as an invention.

この発明の一実施の形態に係る高周波用コンタクトプローブの外観構成を示した斜視図である。It is the perspective view which showed the external appearance structure of the high frequency contact probe which concerns on one embodiment of this invention. 図1を側面から見た状態を示した平面図である。It is the top view which showed the state which looked at FIG. 1 from the side. 図1を先端側から見た状態を示した平面図である。It is the top view which showed the state which looked at FIG. 1 from the front end side. 図1の要部の詳細を説明するために図3のX−Xの一部を断面して示した一部断面図である。FIG. 4 is a partial cross-sectional view illustrating a part of XX in FIG. 図1の測定動作を説明するために示した平面図である。It is the top view shown in order to demonstrate the measurement operation | movement of FIG.

符号の説明Explanation of symbols

10…プローブ本体、11…中心導体、12…外導体、13…絶縁体、14…コネクタインターフェース、15…中心導体、16…ピン収容部、17…グランドピン、18…ばね部材、19…高周波回路基板。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Probe main body, 11 ... Center conductor, 12 ... Outer conductor, 13 ... Insulator, 14 ... Connector interface, 15 ... Center conductor, 16 ... Pin accommodating part, 17 ... Ground pin, 18 ... Spring member, 19 ... High frequency circuit substrate.

Claims (5)

高周波回路に接触される中心導体ピンと、
この中心導体ピンを囲んだ周囲に絶縁体を介して配置され、軸方向に移動自在に設けられたグランドに接触される複数のグランドピンと、
この複数のグランドピンを独立して伸長方向に付勢する付勢手段と、
を具備することを特徴とする高周波用コンタクトプローブ。
A central conductor pin in contact with the high frequency circuit;
A plurality of ground pins arranged around an insulator around the center conductor pin and in contact with a ground provided to be movable in the axial direction;
A biasing means for independently biasing the plurality of ground pins in the extending direction;
A high-frequency contact probe comprising:
前記複数のグランドピンは、使用周波数のλ/4以下に設定されていることを特徴とする請求項1記載の高周波用コンタクトプローブ。   The high-frequency contact probe according to claim 1, wherein the plurality of ground pins are set to λ / 4 or less of a use frequency. 前記複数のグランドピンは、軸方向の伸長位置が前記中心導体ピンより突出されていることを特徴とする請求項1又は2記載の高周波用コンタクトプローブ。   3. The high-frequency contact probe according to claim 1, wherein the plurality of ground pins have axially extending positions protruding from the center conductor pin. 前記複数のグランドピンは、軸方向の引込み位置が前記中心導体ピンより引込んでいることを特徴とする請求項3記載の高周波用コンタクトプローブ。   The high frequency contact probe according to claim 3, wherein the plurality of ground pins are drawn in the axial drawing position from the central conductor pin. 前記複数のグランドピンは、前記中心導体の周囲に均等な間隔で設けられることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか記載の高周波用コンタクトプローブ。   5. The high-frequency contact probe according to claim 1, wherein the plurality of ground pins are provided at equal intervals around the center conductor. 6.
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