JP2009174863A

JP2009174863A - Transducer

Info

Publication number: JP2009174863A
Application number: JP2008010593A
Authority: JP
Inventors: Kesatoshi Takeuchi; 啓佐敏竹内
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2008-01-21
Filing date: 2008-01-21
Publication date: 2009-08-06
Anticipated expiration: 2028-01-21
Also published as: JP5262126B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a transducer capable of acquiring a desired input/output relation, regardless of the state of installation. <P>SOLUTION: The transducer includes a conversion element 410 for converting a measured quantity into an output signal SSAO having a prescribed form, and an output correction part 430 for correcting the output signal SSAO from the conversion element 410 so that the input/output relation of the transducer has a desired shape. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

この発明は、非接触型のトランスデューサに関する。 The present invention relates to a non-contact type transducer.

トランスデューサは、一般に、ある種のエネルギを別の種類のエネルギに変換する装置を意味する。代表的なトランスデューサとしては、例えば磁気センサがある。 A transducer generally refers to a device that converts one type of energy into another type of energy. As a typical transducer, for example, there is a magnetic sensor.

特開２００７−２７８７３４号公報JP 2007-278734 A

従来のトランスデューサでは、その設置状態や稼働状態によっては、望ましい出力が得られない場合があった。そこで、従来から、望ましい入出力関係を有するトランスデューサが望まれていた。 In the conventional transducer, a desired output may not be obtained depending on the installation state and the operating state. Therefore, conventionally, a transducer having a desirable input / output relationship has been desired.

本発明は、設置状態に拘わらず望ましい入出力関係を得ることのできるトランスデューサを提供することを目的とする。 An object of the present invention is to provide a transducer capable of obtaining a desirable input / output relationship regardless of the installation state.

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。 SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to solve at least a part of the problems described above, and the invention can be implemented as the following forms or application examples.

［適用例１］
非接触型のトランスデューサであって、
測定量を所定形式の出力信号に変換する変換素子と、
前記トランスデューサの入出力関係が所望の形状となるように、前記変換素子の出力信号を補正する出力補正部と、
を備えるトランスデューサ。 [Application Example 1]
A non-contact transducer,
A conversion element for converting a measured quantity into an output signal of a predetermined format;
An output correction unit that corrects the output signal of the conversion element so that the input / output relationship of the transducer has a desired shape;
A transducer comprising:

このトランスデューサは、トランスデューサの入出力関係が所望の形状となるように補正を行う出力補正部を備えているので、その設置状態に拘わらず望ましい入出力関係を得ることが可能である。 Since this transducer includes an output correction unit that performs correction so that the input / output relationship of the transducer has a desired shape, it is possible to obtain a desirable input / output relationship regardless of the installation state.

［適用例２］
適用例１記載のトランスデューサであって、
前記出力補正部は、
前記変換素子の出力信号のレベルを入力とし、前記出力信号の補正に使用される補正値を出力とするルックアップテーブルと、
前記ルックアップテーブルを参照し、前記補正値を用いて前記変換素子の出力信号の補正を実行する補正実行部と、
を含む、トランスデューサ。 [Application Example 2]
A transducer according to Application Example 1,
The output correction unit is
A look-up table that takes the level of the output signal of the conversion element as an input and outputs a correction value used to correct the output signal;
A correction execution unit that refers to the lookup table and executes correction of the output signal of the conversion element using the correction value;
Including a transducer.

［適用例３］
適用例１記載のトランスデューサであって、
前記出力補正部は、
前記変換素子の出力信号のレベルを引数とし、前記出力信号の補正に使用される補正値を関数値とする関数の係数を記憶する関数係数記憶部と、
前記関数係数を参照し、前記補正値を用いて前記変換素子の出力信号の補正を実行する補正実行部と、
を含む、トランスデューサ。 [Application Example 3]
A transducer according to Application Example 1,
The output correction unit is
A function coefficient storage unit that stores a coefficient of a function having a level of an output signal of the conversion element as an argument and a correction value used for correcting the output signal as a function value;
A correction execution unit that refers to the function coefficient and executes correction of the output signal of the conversion element using the correction value;
Including a transducer.

ルックアップテーブルや関数を利用すれば、トランスデューサの入出力関係を所望の関係に容易に補正することができる。 By using a lookup table or function, the input / output relationship of the transducer can be easily corrected to a desired relationship.

［適用例４］
適用例２又は３記載のトランスデューサであって、
前記補正値は、前記変換素子の出力信号のレベルと補正後の出力信号のレベルとの間の差分である、トランスデューサ。 [Application Example 4]
The transducer according to application example 2 or 3,
The transducer, wherein the correction value is a difference between the level of the output signal of the conversion element and the level of the output signal after correction.

この構成では、差分を元の信号レベルに加算することによって容易に所望の入出力関係を得ることができる。 In this configuration, a desired input / output relationship can be easily obtained by adding the difference to the original signal level.

［適用例５］
適用例１ないし４のいずれかに記載のトランスデューサであって、
前記出力補正部は、前記トランスデューサの入出力関係が直線となるように補正を実行する、トランスデューサ。 [Application Example 5]
The transducer according to any one of Application Examples 1 to 4,
The output correction unit is a transducer that performs correction so that an input / output relationship of the transducer is a straight line.

この構成によれば、トランスデューサの設置状態に拘わらず直線的な入出力関係を得ることが可能である。 According to this configuration, it is possible to obtain a linear input / output relationship regardless of the installation state of the transducer.

［適用例６］
適用例１ないし５のいずれかに記載のトランスデューサであって、
前記変換素子は、前記トランスデューサからの相対的な位置関係が可変な永久磁石に起因する磁場を前記測定量として検出する素子であり、
前記トランスデューサは、さらに、
前記永久磁石の温度を維持するためのヒータを備える、トランスデューサ。 [Application Example 6]
The transducer according to any one of Application Examples 1 to 5,
The conversion element is an element that detects, as the measurement amount, a magnetic field caused by a permanent magnet whose relative positional relationship from the transducer is variable,
The transducer further comprises:
A transducer comprising a heater for maintaining the temperature of the permanent magnet.

この構成では、永久磁石の温度がほぼ一定に保たれるので、永久磁石とトランスデューサとの位置関係を精度良く測定することが可能である。 In this configuration, since the temperature of the permanent magnet is kept substantially constant, the positional relationship between the permanent magnet and the transducer can be accurately measured.

なお、本発明は、種々の形態で実現することが可能であり、例えば、トランスデューサ及びその補正方法等の形態で実現することができる。 The present invention can be realized in various forms, for example, in the form of a transducer and its correction method.

図１は、本発明の実施例としての非接触型トランスデューサの概略構成を示す説明図である。図１（Ａ）に示すトランスデューサ３００は、磁気センサ回路３２０を用いて、可動部３４０の位置を検出する装置である。この例では、磁気センサ回路３２０は、回路基板３２２に固定されており、回路基板３２２の裏側（図の上側）には磁気ヨーク３２４が設けられている。磁気ヨーク３２４は省略可能である。可動部３４０には、永久磁石３３０が固定されている。この例では、２つの永久磁石３３０ａ，３３０ｂが隣接した状態で配置されている。２つの永久磁石３３０ａ，３３０ｂは、紙面の上下方向に磁化されているが、その磁化方向は互いに逆方向である。このトランスデューサ３００では、可動部３４０が左右に移動すると、磁気センサ回路３２０の位置での磁場が変化するので、この磁場の変化から可動部３４０の位置を検出することができる。 FIG. 1 is an explanatory diagram showing a schematic configuration of a non-contact transducer as an embodiment of the present invention. A transducer 300 illustrated in FIG. 1A is a device that detects the position of the movable portion 340 using a magnetic sensor circuit 320. In this example, the magnetic sensor circuit 320 is fixed to the circuit board 322, and a magnetic yoke 324 is provided on the back side (upper side in the drawing) of the circuit board 322. The magnetic yoke 324 can be omitted. A permanent magnet 330 is fixed to the movable part 340. In this example, two permanent magnets 330a and 330b are arranged adjacent to each other. The two permanent magnets 330a and 330b are magnetized in the vertical direction on the paper surface, but the magnetization directions are opposite to each other. In this transducer 300, when the movable part 340 moves to the left and right, the magnetic field at the position of the magnetic sensor circuit 320 changes, so that the position of the movable part 340 can be detected from this change in the magnetic field.

図１（Ｂ）に示すトランスデューサ３００ａは、図１（Ａ）の構成から、永久磁石３３０ａ，３３０ｂの位置を変更したものである。すなわち、図１（Ｂ）では、２つの永久磁石３３０ａ，３３０ｂが互いに離間した状態で配置されている。図１（Ｃ）のトランスデューサ３００ｂでは、左右方向（可動部３４０の移動方向）に磁化された永久磁石３３０ｃが利用されている。これらのトランスデューサ３００ａ、３００ｂによっても、図１（Ａ）と同様に可動部３４０の位置を検出することができる。 A transducer 300a shown in FIG. 1B is obtained by changing the positions of the permanent magnets 330a and 330b from the configuration shown in FIG. That is, in FIG. 1B, the two permanent magnets 330a and 330b are arranged in a state of being separated from each other. In the transducer 300b of FIG. 1C, a permanent magnet 330c magnetized in the left-right direction (the moving direction of the movable portion 340) is used. Also with these transducers 300a and 300b, the position of the movable portion 340 can be detected as in FIG.

図２は、永久磁石の平面形状を示す説明図である。図２（Ａ）の例では、永久磁石３３０は円環状（より正確には半円環状）の形状を有している。この場合には、可動部３４０がその中心軸３４２を中心に回転した場合の回転角度をトランスデューサによって検出することが可能である。図２（Ｂ）の例では、永久磁石３３０は棒状の形状を有している。この場合には、可動部３４０が直線的に移動した場合の位置をトランスデューサによって検出することが可能である。 FIG. 2 is an explanatory view showing a planar shape of the permanent magnet. In the example of FIG. 2A, the permanent magnet 330 has an annular shape (more precisely, a semi-annular shape). In this case, it is possible to detect the rotation angle when the movable unit 340 rotates about the central axis 342 by the transducer. In the example of FIG. 2B, the permanent magnet 330 has a rod shape. In this case, the position when the movable part 340 moves linearly can be detected by the transducer.

図３は、トランスデューサを利用した制御システムの一例を示すブロック図である。この制御システムは、トランスデューサ３００と、制御回路５００とを備えている。制御回路５００は、電源回路５１０と、ＣＰＵ５２０と、通信部５３０とを有している。トランスデューサ３００は、図１で説明した磁気センサ回路３２０、永久磁石３３０、及び可動部３４０の他に、コネクタ３１０を有している。コネクタ３１０は、制御回路５００とトランスデューサ３００とを電気的に接続するための接続端子である。制御回路５００とトランスデューサ３００との間の通信は、例えばデジタル信号を用いて実行される。 FIG. 3 is a block diagram illustrating an example of a control system using a transducer. This control system includes a transducer 300 and a control circuit 500. The control circuit 500 includes a power supply circuit 510, a CPU 520, and a communication unit 530. The transducer 300 includes a connector 310 in addition to the magnetic sensor circuit 320, the permanent magnet 330, and the movable part 340 described with reference to FIG. The connector 310 is a connection terminal for electrically connecting the control circuit 500 and the transducer 300. Communication between the control circuit 500 and the transducer 300 is performed using, for example, a digital signal.

制御回路５００は、可動部３４０の位置や速度の制御を実行するための回路である。制御回路５００は、可動部３４０を移動させるアクチュエータ（例えば電動モータ）を制御する駆動制御回路（図示省略）を含んでいることが好ましい。 The control circuit 500 is a circuit for executing control of the position and speed of the movable part 340. The control circuit 500 preferably includes a drive control circuit (not shown) that controls an actuator (for example, an electric motor) that moves the movable portion 340.

図４は、磁気センサ回路３２０の内部構成を示すブロック図である。この磁気センサ回路３２０は、磁気センサ素子４１０と、ＡＤ変換部４２０と、特性変換部４３０と、記憶部４４０と、ＤＡ変換器４５０と、増幅器４６０と、ＩＤコード記録部４７０と、通信部４８０とを備えている。磁気センサ素子４１０は、例えばホール素子で構成されている。 FIG. 4 is a block diagram showing the internal configuration of the magnetic sensor circuit 320. The magnetic sensor circuit 320 includes a magnetic sensor element 410, an AD conversion unit 420, a characteristic conversion unit 430, a storage unit 440, a DA converter 450, an amplifier 460, an ID code recording unit 470, and a communication unit 480. And. The magnetic sensor element 410 is composed of, for example, a Hall element.

通信部４８０は、制御回路５００の通信部５３０と通信して、センサ出力ＳＳＡ０の補正データを、センサＩＤと共に受け取る。センサ内部のＩＤコード記録部４７０には、センサ固有のＩＤが記録されているか、又は、外部スイッチによりＩＤが設定されている。図４の例では、ディップスイッチなどの外部スイッチ４７２を用いてＩＤを設定することが可能である。但し、ＩＤは、ディップスイッチ以外の種々の任意の手段で磁気センサ回路３２０内に記録又は設定することが可能である。例えば、外部スイッチ４７２を省略し、不揮発性メモリでＩＤコード記録部４７０を構成することも可能である。通信部４８０は、制御回路５００から供給されたＩＤが、ＩＤコード記録部４７０のＩＤと一致する場合には、供給された補正データを記憶部４４０に格納する。このように、ＩＤコードを利用すれば、複数のトランスデューサ３００が制御回路５００に接続されている場合に、その中の特定のトランスデューサ３００に対して補正データを送信することが可能である。但し、ＩＤコード記録部４７０や外部スイッチ４７２は省略可能である。また、制御回路５００以外の装置を用いて、補正データをトランスデューサ３００に送信するようにしてもよい。 The communication unit 480 communicates with the communication unit 530 of the control circuit 500 and receives the correction data of the sensor output SSA0 together with the sensor ID. An ID unique to the sensor is recorded in the ID code recording unit 470 inside the sensor, or the ID is set by an external switch. In the example of FIG. 4, the ID can be set using an external switch 472 such as a dip switch. However, the ID can be recorded or set in the magnetic sensor circuit 320 by various arbitrary means other than the dip switch. For example, it is possible to omit the external switch 472 and configure the ID code recording unit 470 with a nonvolatile memory. When the ID supplied from the control circuit 500 matches the ID of the ID code recording unit 470, the communication unit 480 stores the supplied correction data in the storage unit 440. As described above, when the ID code is used, when a plurality of transducers 300 are connected to the control circuit 500, it is possible to transmit correction data to a specific transducer 300 therein. However, the ID code recording unit 470 and the external switch 472 can be omitted. Further, the correction data may be transmitted to the transducer 300 using a device other than the control circuit 500.

図４の例では、補正データは、変換テーブルＣＴの内容を表すデータであり、記憶部４４０には変換テーブルＣＴが格納される。特性変換部４３０は、この変換テーブルＣＴを利用して、磁気センサ素子４１０の出力ＳＳＡ０のレベルを補正する。具体的には、トランスデューサ３００の入出力関係が所望の形状（入出力特性）を有するように補正を実行する。なお、本実施例において、トランスデューサ３００の入力は可動部３４０（図３）の位置であり、出力は磁気センサ回路３２０の出力ＳＳＡである。特性変換部４３０で補正されたセンサ出力は、ＤＡ変換器４５０でアナログ信号に変換された後、増幅器４６０で増幅されて、センサ出力ＳＳＡとして出力される。 In the example of FIG. 4, the correction data is data representing the contents of the conversion table CT, and the conversion table CT is stored in the storage unit 440. The characteristic conversion unit 430 corrects the level of the output SSA0 of the magnetic sensor element 410 using the conversion table CT. Specifically, correction is performed so that the input / output relationship of the transducer 300 has a desired shape (input / output characteristics). In this embodiment, the input of the transducer 300 is the position of the movable part 340 (FIG. 3), and the output is the output SSA of the magnetic sensor circuit 320. The sensor output corrected by the characteristic converter 430 is converted to an analog signal by the DA converter 450, then amplified by the amplifier 460, and output as the sensor output SSA.

変換テーブルＣＴとしては、例えば以下のようなテーブルを使用することができる。
（１）補正前の出力ＳＳＡ０のレベルを入力とし、補正後の出力ＳＳＡのレベルを出力とする第１のルックアップテーブル。
（２）補正前の出力ＳＳＡ０のレベルを入力とし、補正前の出力ＳＳＡ０と補正後の出力ＳＳＡとの差分を出力とする第２のルックアップテーブル。
（３）補正前の出力ＳＳＡ０のレベルを引数とし、補正前の出力ＳＳＡ０と補正後の出力ＳＳＡとの比を出力とする第３のルックアップテーブル。 For example, the following table can be used as the conversion table CT.
(1) A first look-up table in which the level of the output SSA0 before correction is input and the level of the output SSA after correction is output.
(2) A second look-up table in which the level of the output SSA0 before correction is input and the difference between the output SSA0 before correction and the output SSA after correction is output.
(3) A third lookup table in which the level of the output SSA0 before correction is used as an argument and the ratio between the output SSA0 before correction and the output SSA after correction is output.

上記第１のルックアップテーブルを使用した場合には、変換部４３０は、第１のルックアップテーブルを参照することによって、補正後のセンサ出力を直接得ることができる。一方、上記第２のルックアップテーブルを使用した場合には、変換部４３０は、第２のルックアップテーブルを参照して得られた差分を、磁気センサ素子４１０の出力に加算することによって、補正後のセンサ出力を得ることができる。上記第３のルックアップテーブルを使用した場合には、変換部４３０は、第３のルックアップテーブルを参照して得られた比を、磁気センサ素子４１０の出力に乗算することによって、補正後のセンサ出力を得ることができる。 When the first lookup table is used, the conversion unit 430 can directly obtain the corrected sensor output by referring to the first lookup table. On the other hand, when the second lookup table is used, the conversion unit 430 corrects the difference obtained by referring to the second lookup table by adding the difference to the output of the magnetic sensor element 410. Later sensor output can be obtained. When the third look-up table is used, the conversion unit 430 multiplies the output obtained by referring to the third look-up table by the output of the magnetic sensor element 410, thereby correcting the corrected value. Sensor output can be obtained.

図５は、トランスデューサ３００の望ましい入出力関係の一例を示す説明図である。図５（Ａ）は変換前（補正前）の入出力関係を示し、図５（Ｂ）は変換後（補正後）の入出力関係を示している。これらの図において、横軸は可動部３４０の位置を位相で表現しており、縦軸は磁気センサ回路３２０の出力ＳＳＡを示している。この例では、変換前の非線形な入出力関係が、直線的な（リニアな）入出力関係に変換されている。こうすれば、入力（この例では位置）と出力（この例ではセンサ出力ＳＳＡ）との関係が、トランスデューサ３００の設置状態に拘わらずに直線的な関係となるので、この出力ＳＳＡを用いて制御回路５００が適切な制御を容易に実行することができる。 FIG. 5 is an explanatory diagram illustrating an example of a desirable input / output relationship of the transducer 300. FIG. 5A shows the input / output relationship before conversion (before correction), and FIG. 5B shows the input / output relationship after conversion (after correction). In these drawings, the horizontal axis represents the position of the movable portion 340 in phase, and the vertical axis represents the output SSA of the magnetic sensor circuit 320. In this example, the nonlinear input / output relationship before conversion is converted to a linear input / output relationship. In this way, the relationship between the input (in this example, the position) and the output (in this example, the sensor output SSA) is a linear relationship regardless of the installation state of the transducer 300, and therefore control is performed using this output SSA. The circuit 500 can easily execute appropriate control.

図６は、トランスデューサ３００の望ましい入出力関係の他の例を示す説明図である。この例では、変換前の線形な入出力関係が、非線形な入出力関係に変換されている。このように、変換後の入出力関係（入出力特性）としては、直線（線形）や、非直線（非線形）を含む任意の形状を利用することが可能である。 FIG. 6 is an explanatory diagram showing another example of a desirable input / output relationship of the transducer 300. In this example, the linear input / output relationship before conversion is converted into a nonlinear input / output relationship. Thus, as the input / output relationship (input / output characteristics) after conversion, any shape including a straight line (linear) or a non-linear line (non-linear) can be used.

図７は、磁気センサ回路３２０の他の構成を示すブロック図である。この磁気センサ回路３２０は、図４に示したセンサの特性変換部４３０を関数演算部４３０ａに置き換えたものであり、他の構成は図４と同じである。記憶部４４０は、変換テーブルの代わりに関数係数を格納している。 FIG. 7 is a block diagram showing another configuration of the magnetic sensor circuit 320. This magnetic sensor circuit 320 is obtained by replacing the characteristic conversion unit 430 of the sensor shown in FIG. 4 with a function calculation unit 430a, and the other configuration is the same as FIG. The storage unit 440 stores function coefficients instead of the conversion table.

関数演算部４３０ａは、磁気センサ素子４１０の出力ＳＳＡ０を特定の関数で補正することによって、望ましい入出力関係を実現する。この関数としては、例えば以下のような関数が利用可能である。
（１）補正前の出力ＳＳＡ０のレベルを引数（変数）とし、補正後の出力ＳＳＡのレベルを関数値とする第１の関数。
（２）補正前の出力ＳＳＡ０のレベルを引数（変数）とし、補正前の出力ＳＳＡ０と補正後の出力ＳＳＡとの差分を関数値とする第２の関数。
（３）補正前の出力ＳＳＡ０のレベルを引数（変数）とし、補正前の出力ＳＳＡ０と補正後の出力ＳＳＡとの比を関数値とする第３の関数。 The function calculation unit 430a realizes a desirable input / output relationship by correcting the output SSA0 of the magnetic sensor element 410 with a specific function. As this function, for example, the following functions can be used.
(1) A first function in which the level of the output SSA0 before correction is an argument (variable) and the level of the output SSA after correction is a function value.
(2) A second function in which the level of the output SSA0 before correction is an argument (variable), and the difference between the output SSA0 before correction and the output SSA after correction is a function value.
(3) A third function in which the level of the output SSA0 before correction is an argument (variable) and the ratio between the output SSA0 before correction and the output SSA after correction is a function value.

なお、関数としては、例えば、補正前の出力ＳＳＡ０のレベルｘの多項式ｆ（ｘ）を使用することができる。記憶部４４０に格納されている関数係数は、このような特定の関数ｆ（ｘ）の係数である。図７の構成によっても、図４と同様に、トランスデューサの入出力関係を所望の形状に容易に補正することが可能である。 As a function, for example, a polynomial f (x) of level x of the output SSA0 before correction can be used. The function coefficient stored in the storage unit 440 is a coefficient of such a specific function f (x). 7 can also easily correct the input / output relationship of the transducer into a desired shape, as in FIG.

図８は、トランスデューサを利用した制御システムの他の例を示すブロック図である。この制御システムは、図３に示した制御システムの構成にヒータ３５０と温度センサ３６０を追加したものであり、他の構成は図３に示したものと同じである。温度センサ３６０は永久磁石３３０の温度を非接触で測定するものであり、ヒータ３５０は、永久磁石３３０を一定の温度に保つためのものである。但し、接触式の温度センサを用いても良い。制御回路５００は、永久磁石３３０の温度が所望の温度に維持されるように、ヒータ３５０の出力を制御する。この構成によれば、環境温度に拘わらずに永久磁石３３０の温度がほぼ一定に維持されるので、永久磁石３３０に起因する磁場を安定させることができる。この結果、より正確に可動部３４０の位置を検出して、高精度な制御を実行することが可能である。 FIG. 8 is a block diagram showing another example of a control system using a transducer. This control system is obtained by adding a heater 350 and a temperature sensor 360 to the configuration of the control system shown in FIG. 3, and the other configurations are the same as those shown in FIG. The temperature sensor 360 measures the temperature of the permanent magnet 330 in a non-contact manner, and the heater 350 is for keeping the permanent magnet 330 at a constant temperature. However, a contact-type temperature sensor may be used. The control circuit 500 controls the output of the heater 350 so that the temperature of the permanent magnet 330 is maintained at a desired temperature. According to this configuration, since the temperature of the permanent magnet 330 is maintained almost constant regardless of the environmental temperature, the magnetic field caused by the permanent magnet 330 can be stabilized. As a result, it is possible to detect the position of the movable part 340 more accurately and execute highly accurate control.

なお、この発明は上記の実施例や実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能であり、例えば次のような変形も可能である。 The present invention is not limited to the above-described examples and embodiments, and can be implemented in various modes without departing from the gist thereof. For example, the following modifications are possible.

変形例１：
上記実施例では、制御回路５００とトランスデューサ３００との間の通信がデジタル信号で行われるものとしたが、この通信はアナログ信号や光通信で行うものとしてもよい。また、電力線を用いて通信を行うことも可能である。 Modification 1:
In the above embodiment, the communication between the control circuit 500 and the transducer 300 is performed by a digital signal. However, this communication may be performed by an analog signal or optical communication. It is also possible to perform communication using a power line.

変形例２：
上記実施例では、可動部の位置を電気信号に変換する位置センサとしてトランスデューサを構成していたが、本発明は他の任意の種類のトランスデューサに適用可能である。この場合に、トランスデューサは、特定の種類の測定量を所定形式の出力信号に変換する変換素子と、トランスデューサの入出力関係が所望の形状となるように変換素子の出力信号を補正する出力補正部を備える装置として構成することが可能である。なお、上記実施例では、可動部３４０の位置が測定量であり、磁気センサ回路３２０の出力ＳＳＡがトランスデューサの出力である。 Modification 2:
In the above embodiment, the transducer is configured as a position sensor that converts the position of the movable portion into an electric signal, but the present invention can be applied to any other type of transducer. In this case, the transducer includes a conversion element that converts a specific type of measurement amount into an output signal of a predetermined format, and an output correction unit that corrects the output signal of the conversion element so that the input / output relationship of the transducer has a desired shape. It is possible to comprise as an apparatus provided with. In the above embodiment, the position of the movable part 340 is the measurement amount, and the output SSA of the magnetic sensor circuit 320 is the output of the transducer.

変形例３：
記憶部４４０（図４）としては、電源が遮断されても記憶を保持しておくことができる不揮発性メモリを使用することが好ましく、例えば、ＥＥＰＲＯＭのような書き込み可能なＲＯＭを使用することが好ましい。典型的には、記憶部４４０は、トランスデューサの製品出荷時に基本データを予め書き込んだ状態で出荷される。記憶部４４０内のデータは、その後のシステム状況に応じて随時更新されることが好ましい。 Modification 3:
As the storage unit 440 (FIG. 4), it is preferable to use a non-volatile memory that can retain the memory even when the power is cut off. For example, a writable ROM such as an EEPROM is used. preferable. Typically, the storage unit 440 is shipped with basic data written in advance when the transducer is shipped. The data in the storage unit 440 is preferably updated as needed according to the subsequent system status.

本発明の実施例としての非接触型トランスデューサの概略構成を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows schematic structure of the non-contact-type transducer as an Example of this invention. 永久磁石の平面形状を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the planar shape of a permanent magnet. トランスデューサを利用した制御システムの一例を示すブロック図である。It is a block diagram which shows an example of the control system using a transducer. 磁気センサ回路の内部構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the internal structure of a magnetic sensor circuit. トランスデューサの所望の入出力関係の一例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows an example of the desired input-output relationship of a transducer. トランスデューサの所望の入出力関係の他の例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the other example of the desired input-output relationship of a transducer. 磁気センサ回路の他の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the other structure of a magnetic sensor circuit. トランスデューサを利用した制御システムの他の例を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the other example of the control system using a transducer.

Explanation of symbols

３００…トランスデューサ
３１０…コネクタ
３２０…磁気センサ回路
３２２…回路基板
３２４…磁気ヨーク
３３０…永久磁石
３４０…可動部
３４２…中心軸
３５０…ヒータ
３６０…温度センサ
４１０…磁気センサ素子
４２０…ＡＤ変換部
４３０…特性変換部
４３０ａ…関数演算部
４４０…記憶部
４５０…ＤＡ変換器
４６０…増幅器
４７０…ＩＤコード記録部
４７２…外部スイッチ
４８０…通信部
５００…制御回路
５１０…電源回路
５２０…ＣＰＵ
５３０…通信部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 300 ... Transducer 310 ... Connector 320 ... Magnetic sensor circuit 322 ... Circuit board 324 ... Magnetic yoke 330 ... Permanent magnet 340 ... Movable part 342 ... Central axis 350 ... Heater 360 ... Temperature sensor 410 ... Magnetic sensor element 420 ... AD conversion part 430 ... Characteristic conversion unit 430a ... function calculation unit 440 ... storage unit 450 ... DA converter 460 ... amplifier 470 ... ID code recording unit 472 ... external switch 480 ... communication unit 500 ... control circuit 510 ... power supply circuit 520 ... CPU
530. Communication unit

Claims

A non-contact transducer,
A conversion element for converting a measured quantity into an output signal of a predetermined format;
An output correction unit that corrects the output signal of the conversion element so that the input / output relationship of the transducer has a desired shape;
A transducer comprising:

The transducer of claim 1, comprising:
The output correction unit is
A look-up table that takes the level of the output signal of the conversion element as an input and outputs a correction value used to correct the output signal;
A correction execution unit that refers to the lookup table and executes correction of the output signal of the conversion element using the correction value;
Including a transducer.

The transducer of claim 1, comprising:
The output correction unit is
A function coefficient storage unit that stores a coefficient of a function having a level of an output signal of the conversion element as an argument and a correction value used for correcting the output signal as a function value;
A correction execution unit that refers to the function coefficient and executes correction of the output signal of the conversion element using the correction value;
Including a transducer.

The transducer according to claim 2 or 3, wherein
The transducer, wherein the correction value is a difference between the level of the output signal of the conversion element and the level of the output signal after correction.

The transducer according to any one of claims 1 to 4,
The output correction unit is a transducer that performs correction so that an input / output relationship of the transducer is a straight line.

The transducer according to any one of claims 1 to 5,
The conversion element is an element that detects, as the measurement amount, a magnetic field caused by a permanent magnet whose relative positional relationship from the transducer is variable,
The transducer further comprises:
A transducer comprising a heater for maintaining the temperature of the permanent magnet.