JP2009172880A

JP2009172880A - Alignment method and method of manufacturing liquid jet head

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Publication number: JP2009172880A
Application number: JP2008014267A
Authority: JP
Inventors: Takuma Okamuro; 琢磨岡室; Sukenori Okumura; 資紀奥村; Mutsuhiko Ota; 睦彦太田; Kazutoshi Goto; 和敏後藤; Isao Yanagisawa; 功柳澤; Yasuo Inaoka; 靖雄稲岡
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2008-01-24
Filing date: 2008-01-24
Publication date: 2009-08-06

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To adjust a relative positional relationship of a plurality of inkjet recording heads by an inexpensive device and by greatly simple working. <P>SOLUTION: A moving table 61 is moved by using both a mask 62 on which a pair of reference marks 63 according to an interval of the plurality of inkjet recording heads 220 are formed, and single-focus optical means 66 and 67 which keeps an interval of optical axes fixed. A positional relationship of the optical axes is grasped by matching the optical axes of a pair of the optical means 66 and 67 with positions of the pair of the reference marks 63, respectively. The relative positional relationship of the plurality of inkjet recording heads 220 is adjusted by moving the plurality of inkjet recording heads 220 and the mask 62, and matching alignment marks 22 of adjacently arranged inkjet recording heads 220 with the optical axes of the pair of optical means 66 and 67. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明はアライメント方法及び液体噴射ヘッドの製造方法に関する。 The present invention relates to an alignment method and a liquid ejecting head manufacturing method.

インクジェット式プリンタやプロッタ等のインクジェット式記録装置は、インクカートリッジやインクタンクなどの液体収容部に収容されたインクをインク滴として吐出する複数のインクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）を含むインクジェット式記録ヘッドユニットを備えている。インクジェット式記録ヘッドは、並設されたノズル開口からなるノズル列を有するもので、複数のインクジェット式記録ヘッドのノズル列のインク吐出面側は、共通部品であるカバーヘッドで保護されている。 An ink jet recording apparatus such as an ink jet printer or a plotter is an ink jet recording that includes a plurality of ink jet recording heads (liquid ejecting heads) that eject ink stored in a liquid container such as an ink cartridge or an ink tank as ink droplets. A head unit is provided. The ink jet recording head has a nozzle array composed of nozzle openings arranged in parallel, and the ink ejection surface side of the nozzle array of the plurality of ink jet recording heads is protected by a cover head which is a common component.

カバーヘッドは、インクジェット式記録ヘッドのインク滴吐出面側に設けられてノズル開口を露出する開口窓部を有する窓枠部と、窓枠部からインクジェット式記録ヘッドの側面側に折り曲げ成形された側壁部とを有し、側壁部をインクジェット式記録ヘッドの側面に接合することで固定されている（例えば、特許文献１参照）。 The cover head is provided on the ink droplet discharge surface side of the ink jet recording head and has a window frame portion having an opening window portion that exposes the nozzle opening, and a side wall that is bent from the window frame portion to the side surface side of the ink jet recording head. And fixed by joining the side wall portion to the side surface of the ink jet recording head (for example, see Patent Document 1).

また、カバーヘッドや固定板等の固定部材と複数のインクジェット式記録ヘッドとを接合する際には、平板状のガラスマスクに設けられた基準マークに、インクジェット式記録ヘッドのノズルプレートに設けられたアライメントマークが合致するように固定部材に対しインクジェット式記録ヘッドを動かして所定の位置決めを行なっている（例えば、特許文献２参照）。 Further, when joining a fixing member such as a cover head or a fixing plate and a plurality of ink jet recording heads, a reference mark provided on a flat glass mask is provided on a nozzle plate of the ink jet recording head. The ink jet recording head is moved with respect to the fixed member so that the alignment mark matches (for example, refer to Patent Document 2).

即ち、基準マークを備えたマスクと複数のインクジェット式記録ヘッドのノズルプレートを重ね合わせ、基準マークを通してアライメントマークを光学手段（顕微鏡・カメラ等）により観察し、光学手段の光軸上に基準マークとアライメントマークが一致するようにノズルプレートのアライメントを調整するようにしている。 That is, a mask provided with a reference mark and a plurality of inkjet recording head nozzle plates are overlaid, the alignment mark is observed through an optical means (such as a microscope or a camera) through the reference mark, and the reference mark is placed on the optical axis of the optical means. The alignment of the nozzle plate is adjusted so that the alignment marks match.

このため、複数のインクジェット式記録ヘッドの相対位置関係を所望の関係に維持することができ、所望の相対位置関係に維持された状態の複数のインクジェット式記録ヘッドに対して共通部品であるカバーヘッドを固定することが可能になる。 For this reason, the relative positional relationship of the plurality of ink jet recording heads can be maintained in a desired relationship, and the cover head is a common component for the plurality of ink jet recording heads maintained in the desired relative positional relationship. Can be fixed.

しかしながら、光学手段の光軸上にアライメントマークと基準マークを一致させるようにしているので、２つのマークを同時に確認する必要がある。２つのマークを同時に確認できるようにするため、高倍率の顕微鏡を適用することが考えられるが、高倍率の顕微鏡は被写界深度が小さくマスクとワークを密着させる必要がある。また、カメラを光軸上で上下に移動させてそれぞれに焦点を合わせることが考えられるが、カメラの上下の移動精度がアライメント精度に影響してしまう。 However, since the alignment mark and the reference mark coincide with each other on the optical axis of the optical means, it is necessary to confirm the two marks at the same time. In order to be able to confirm two marks at the same time, it is conceivable to apply a high-magnification microscope. However, a high-magnification microscope has a small depth of field and requires that the mask and the work be brought into close contact with each other. Further, it is conceivable to move the camera up and down on the optical axis to focus on each, but the vertical movement accuracy of the camera affects the alignment accuracy.

このようなことから、従来のアライメント調整では、２焦点の光学手段を用いているのが実情である。２焦点の光学手段は非常に高価であり、２つの光軸をあわせるため作業性が低下してしまう。また、光軸は光源の熱等により変位しやすく、その影響を防ぐためにアライメントの直前に光軸調整をすることが望ましいが、現実的には不可能であり、光軸の変位を許容したアライメント調整になってしまう。更に、２焦点の光学手段では、１つの画像の中に基準マーク、アライメントマーク、背景の３色が存在するため、それぞれでコントラストを得るための工夫が必要となる。 For this reason, the conventional alignment adjustment uses a bifocal optical means. The bifocal optical means is very expensive, and the workability is reduced because the two optical axes are aligned. Also, the optical axis is likely to be displaced by the heat of the light source, etc., and it is desirable to adjust the optical axis immediately before alignment in order to prevent the influence, but this is impossible in practice, and alignment that allows displacement of the optical axis It becomes adjustment. Further, in the bifocal optical means, there are three colors of a reference mark, an alignment mark, and a background in one image, and thus it is necessary to devise in order to obtain contrast for each.

このように、光学手段の光軸上にアライメントマークと基準マークを一致させる従来の技術では、高価で使用に様々な制約を受ける２焦点の光学手段が必要であり、インクジェット式記録ヘッドのアライメント調整は高価な装置で大掛かりな作業になっているのが実情であった。 As described above, the conventional technique for matching the alignment mark and the reference mark on the optical axis of the optical means requires a bifocal optical means that is expensive and subject to various restrictions on use, and the alignment adjustment of the ink jet recording head is required. The actual situation is that it is a large-scale work with expensive equipment.

特開２００２−１６０３７６号公報JP 2002-160376 A 特開２００４−３２２６０６号公報JP 2004-322606 A

本発明は上記状況に鑑みてなされたもので、安価な装置により極めて簡単な作業で複数のワークの相対位置関係を調整することができるアライメント方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above situation, and an object of the present invention is to provide an alignment method capable of adjusting the relative positional relationship between a plurality of workpieces with an extremely simple operation using an inexpensive apparatus.

また、本発明は上記状況に鑑みてなされたもので、安価な装置により極めて簡単な作業で複数の液体噴射ヘッドの基板の相対位置関係を調整し、複数の基板に共通部品を取り付けることができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。 In addition, the present invention has been made in view of the above situation, and can adjust the relative positional relationship between the substrates of the plurality of liquid jet heads and attach common components to the plurality of substrates by an extremely simple operation with an inexpensive apparatus. It is an object to provide a method for manufacturing a liquid jet head.

上記目的を達成するための本発明のアライメント方法は、複数のワークのマークの間隔に応じた間隔で一対の基準マークが設けられたマスクと、光軸の間隔が固定される一対の単焦点光学手段と、複数のワーク及びマスクの位置と一対の単焦点光学手段の位置とを相対的に移動させる移動手段とを用い、一対の基準マークの位置に一対の単焦点光学手段の光軸をそれぞれ合わせることで一対の単焦点光学手段の光軸の位置関係を把握し、複数のワーク及びマスクに対して単焦点光学手段を相対的に移動させ、隣接して配されるワークのマークを一対の単焦点光学手段の光軸に合わせることで隣接するワークの相対位置を調整することを特徴とする。 In order to achieve the above object, an alignment method of the present invention includes a mask provided with a pair of reference marks at intervals corresponding to the intervals between the marks of a plurality of workpieces, and a pair of single-focus optics with a fixed optical axis interval. And a moving means for relatively moving the positions of the plurality of workpieces and masks and the position of the pair of single-focus optical means, and the optical axes of the pair of single-focus optical means at the positions of the pair of reference marks, respectively. By aligning, the positional relationship of the optical axes of the pair of single-focus optical means is grasped, the single-focus optical means is moved relative to the plurality of works and the mask, and the marks of the works arranged adjacent to each other are paired. The relative position of adjacent workpieces is adjusted by matching the optical axis of the single focus optical means.

本発明のアライメント方法では、一対の基準マークの位置に一対の単焦点光学手段の光軸をそれぞれ合わせ、この状態で、隣接するワークのマークを一対の単焦点光学手段の光軸に合わせることで、一対の基準マークの位置関係に応じてワークの相対位置が調整される。このため、最小限の大きさのマスクを用いて、安価な装置により極めて簡単な作業で複数のワークの相対位置関係を調整することができる。 In the alignment method of the present invention, the optical axes of the pair of single focus optical means are respectively aligned with the positions of the pair of reference marks, and in this state, the marks of the adjacent workpieces are aligned with the optical axes of the pair of single focus optical means. The relative position of the workpiece is adjusted according to the positional relationship between the pair of reference marks. For this reason, the relative positional relationship of a plurality of workpieces can be adjusted by an extremely simple operation using a mask having a minimum size and an inexpensive apparatus.

また、上記アライメント方法において、一対の単焦点光学手段を順次移動させ、相対位置が調整されたワークのマークと相対位置が調整されていないワークのマークを、一対の単焦点光学手段の光軸に合わせることで複数のワークの相対位置を順次調整することを特徴とする。このため、相対位置が調整されたワークのマークを基準として複数のワークの相対位置を順次調整することができる。 In the above alignment method, the pair of single focus optical means is sequentially moved so that the mark of the workpiece whose relative position is adjusted and the mark of the work whose relative position is not adjusted are placed on the optical axes of the pair of single focus optical means. The relative positions of a plurality of workpieces are sequentially adjusted by combining them. For this reason, it is possible to sequentially adjust the relative positions of a plurality of workpieces with reference to the marks of the workpieces whose relative positions have been adjusted.

また、上記アライメント方法において、ガラス製のマスクを用いたことを特徴とする。 In the above alignment method, a glass mask is used.

上記目的を達成するための本発明の液体噴射ヘッドの製造方法は、上記アライメント方法により、ワークとして液体噴射ヘッドの基板のアライメントを調整し、複数の基板に共通部品を取り付けることを特徴とする。 In order to achieve the above object, a method of manufacturing a liquid jet head according to the present invention is characterized in that the alignment of the substrate of the liquid jet head as a work is adjusted by the alignment method, and common components are attached to a plurality of substrates.

本発明の液体噴射ヘッドの製造方法では、安価な装置により極めて簡単な作業で複数の液体噴射ヘッドの基板の相対位置関係を調整し、複数の基板に共通部品を取り付けることができる。 In the method for manufacturing a liquid jet head according to the present invention, it is possible to adjust the relative positional relationship between the substrates of the plurality of liquid jet heads and to attach common components to the plurality of substrates by an extremely simple operation.

本発明のアライメント方法でアライメントの対象になるワークはインクジェット式記録ヘッドユニットのインクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）である。図１〜図５に基づいてインクジェット式記録ヘッドユニットを説明する。 A workpiece to be aligned in the alignment method of the present invention is an ink jet recording head (liquid ejecting head) of an ink jet recording head unit. The ink jet recording head unit will be described with reference to FIGS.

図１にはインクジェット式記録ヘッドユニットの分解斜視、図２にはインクジェット式記録ヘッドユニットの外観、図３にはインクジェット式記録ヘッドユニットの要部断面、図４にはインクジェット式記録ヘッドの分解斜視、図５にはインクジェット式記録ヘッド及びヘッドケースの断面を示してある。 1 is an exploded perspective view of the ink jet recording head unit, FIG. 2 is an external view of the ink jet recording head unit, FIG. 3 is a cross-sectional view of the main part of the ink jet recording head unit, and FIG. FIG. 5 shows a cross section of the ink jet recording head and the head case.

図に示すように、インクジェット式記録ヘッドユニット（ヘッドユニット）２００は、カートリッジケース２１０、インクジェット式記録ヘッド２２０、カバーヘッド２４０及び固定板２５０を有する。カートリッジケース２１０は、インクカートリッジ（図示省略）がそれぞれ装着されるカートリッジ装着部２１１を有するインクカートリッジの保持部材である。インクカートリッジは、例えば、ブラック及び３色のカラーインクが充填された別体で構成されたインク供給手段である。即ち、カートリッジケース２１０には、各色のインクカートリッジがそれぞれ装着される。 As shown in the drawing, the ink jet recording head unit (head unit) 200 includes a cartridge case 210, an ink jet recording head 220, a cover head 240, and a fixing plate 250. The cartridge case 210 is an ink cartridge holding member having a cartridge mounting portion 211 to which an ink cartridge (not shown) is mounted. The ink cartridge is, for example, an ink supply unit configured as a separate body filled with black and three color inks. That is, each color ink cartridge is mounted in the cartridge case 210.

また、特に図３に示すように、カートリッジケース２１０には、一端が各カートリッジ装着部２１１に開口するとともに他端がヘッドケース２３０側に開口する複数のインク連通路２１２が設けられている。更に、カートリッジ装着部２１１のインク連通路２１２の開口部分には、インクカートリッジのインク供給口に挿入されるインク供給針２１３が固定されている。この固定は、インク内の気泡や異物を除去するためにインク連通路２１２に形成されたフィルタ（図示省略）を介して行なわれる。 In particular, as shown in FIG. 3, the cartridge case 210 is provided with a plurality of ink communication paths 212 having one end opened to each cartridge mounting portion 211 and the other end opened to the head case 230 side. Further, an ink supply needle 213 to be inserted into the ink supply port of the ink cartridge is fixed to the opening portion of the ink communication path 212 of the cartridge mounting portion 211. This fixing is performed through a filter (not shown) formed in the ink communication path 212 in order to remove bubbles and foreign matters in the ink.

ヘッドケース２３０は、カートリッジケース２１０の底面に固着されている。インクジェット式記録ヘッド２２０は、複数の圧電素子３００を有するとともに、カートリッジケース２１０とは反対側の端面に圧電素子３００の駆動によってノズル開口２１からインク滴を吐出するもので、インクカートリッジの各色のインクを吐出するようインク色毎に対応して複数個設けられている。そこで、ヘッドケース２３０も各インクジェット式記録ヘッド２２０に対応してそれぞれ独立して複数個設けられている。 The head case 230 is fixed to the bottom surface of the cartridge case 210. The ink jet recording head 220 includes a plurality of piezoelectric elements 300 and ejects ink droplets from the nozzle openings 21 by driving the piezoelectric elements 300 on the end surface opposite to the cartridge case 210. A plurality of inks are provided for each ink color. Therefore, a plurality of head cases 230 are also provided independently for each ink jet recording head 220.

図４、図５に示すように、インクジェット式記録ヘッド２２０は、ノズルプレート２０、流路形成基板１０、保護基板３０及びコンプライアンス基板４０の４つの基板で構成されている。これらのうち流路形成基板１０は、シリコン単結晶基板からなり、その一方面には予め熱酸化により形成した二酸化シリコンからなる弾性膜５０が形成されている。流路形成基板１０には、複数の隔壁によって区画された圧力発生室１２が形成されている。 As shown in FIGS. 4 and 5, the ink jet recording head 220 is composed of four substrates: a nozzle plate 20, a flow path forming substrate 10, a protective substrate 30, and a compliance substrate 40. Among these, the flow path forming substrate 10 is made of a silicon single crystal substrate, and an elastic film 50 made of silicon dioxide previously formed by thermal oxidation is formed on one surface thereof. The flow path forming substrate 10 is formed with a pressure generating chamber 12 partitioned by a plurality of partition walls.

流路形成基板１０の幅方向に関し２個ずつの２列の圧力発生室１２が、流路形成基板１０の他方面側から異方性エッチングにより形成されている。また、各列の圧力発生室１２の長手方向外側には、後述する保護基板３０に設けられるリザーバ部３１と連通し、各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバ１００を構成する連通部１３が形成されている。連通部１３は、インク供給路１４を介して各圧力発生室１２の長手方向一端部とそれぞれ連通されている。 Two pressure generation chambers 12 in two rows in the width direction of the flow path forming substrate 10 are formed by anisotropic etching from the other surface side of the flow path forming substrate 10. Further, on the outer side in the longitudinal direction of the pressure generating chambers 12 in each row, a communicating portion constituting a reservoir 100 that communicates with a reservoir portion 31 provided on a protective substrate 30 described later and serves as a common ink chamber for each pressure generating chamber 12. 13 is formed. The communication portion 13 is in communication with one end portion in the longitudinal direction of each pressure generating chamber 12 through the ink supply path 14.

流路形成基板１０の開口面側には、ノズルプレート２０が接着剤や熱溶着フィルム等を介して固着されている。このノズルプレート２０には各圧力発生室１２のインク供給路１４とは反対側で連通するノズル開口２１が穿設されている。かくして、本例では、１個のインクジェット式記録ヘッド２２０にノズル開口２１が並設されたノズル列２１Ａが２列設けられている。また、ノズルプレート２０には、固定板２５０との位置合わせを行う際に使用されるアライメントマーク２２が設けられ、アライメントマーク２２は、ノズル開口２１の並設方向の端部に２個設けられている。 A nozzle plate 20 is fixed to the opening surface side of the flow path forming substrate 10 via an adhesive, a heat welding film, or the like. The nozzle plate 20 is formed with nozzle openings 21 communicating with the pressure generation chambers 12 on the side opposite to the ink supply path 14. Thus, in this example, two rows of nozzle rows 21A in which the nozzle openings 21 are arranged in parallel in one ink jet recording head 220 are provided. In addition, the nozzle plate 20 is provided with alignment marks 22 that are used when positioning with the fixed plate 250, and two alignment marks 22 are provided at the end of the nozzle openings 21 in the juxtaposed direction. Yes.

一方、流路形成基板１０の開口面とは反対側には弾性膜５０上に圧電素子３００が配設されている。この圧電素子３００は、酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜、金属からなる下電極膜、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等からなる圧電体層及び金属からなる上電極膜を順次積層することで形成される。 On the other hand, the piezoelectric element 300 is disposed on the elastic film 50 on the side opposite to the opening surface of the flow path forming substrate 10. The piezoelectric element 300 is formed by sequentially laminating an insulator film made of zirconium oxide, a lower electrode film made of metal, a piezoelectric layer made of lead zirconate titanate (PZT), and an upper electrode film made of metal. The

保護基板３０は、圧電素子３００が形成された流路形成基板１０上に接合されている。リザーバ部３１は、保護基板３０を厚さ方向に貫通して圧力発生室１２の幅方向に亘って形成され、流路形成基板１０の連通部１３と連通されて各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバ１００を構成している。また、保護基板３０の圧電素子３００に対向する領域には、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電素子保持部３２が設けられている。 The protective substrate 30 is bonded onto the flow path forming substrate 10 on which the piezoelectric element 300 is formed. The reservoir portion 31 is formed across the protective substrate 30 in the thickness direction and across the width direction of the pressure generation chamber 12, and is connected to the communication portion 13 of the flow path forming substrate 10 to be shared by the pressure generation chambers 12. A reservoir 100 serving as an ink chamber is configured. A piezoelectric element holding portion 32 having a space that does not hinder the movement of the piezoelectric element 300 is provided in a region of the protective substrate 30 that faces the piezoelectric element 300.

保護基板３０上には、各圧電素子３００を駆動するための駆動ＩＣ１１０が設けられている。この駆動ＩＣ１１０の各端子は、ボンディングワイヤ等を介して各圧電素子３００の個別電極から引き出された引き出し配線と接続されている。そして、駆動ＩＣ１１０の各端子には、図１に示すように、フレキシブルプリントケーブル（ＦＰＣ）等の外部配線１１１を介して外部と接続され、外部から外部配線１１１を介して印刷信号等の各種信号を受け取るようになっている。 A drive IC 110 for driving each piezoelectric element 300 is provided on the protective substrate 30. Each terminal of the drive IC 110 is connected to a lead wiring drawn from the individual electrode of each piezoelectric element 300 via a bonding wire or the like. As shown in FIG. 1, each terminal of the drive IC 110 is connected to the outside via an external wiring 111 such as a flexible printed cable (FPC), and various signals such as a print signal from the outside via the external wiring 111. To receive.

コンプライアンス基板４０は保護基板３０上に接合され、コンプライアンス基板４０のリザーバ１００に対向する領域には、リザーバ１００にインクを供給するためのインク導入口４４が厚さ方向に貫通して形成されている。また、コンプライアンス基板４０のリザーバ１００に対向する領域のインク導入口４４以外の領域は、厚さ方向に薄く形成された可撓部４３となっており、リザーバ１００は、可撓部４３により封止されている。この可撓部４３により、リザーバ１００内にコンプライアンスを与えている。コンプライアンス基板４０上には、インク供給連通路２３１を有するヘッドケース２３０が設けられ、ヘッドケース２３０には、可撓部４３に対向する領域に凹部２３２が形成され、可撓部４３の撓み変形が適宜行われるようになっている。 The compliance substrate 40 is bonded onto the protective substrate 30, and an ink introduction port 44 for supplying ink to the reservoir 100 is formed penetrating in the thickness direction in a region facing the reservoir 100 of the compliance substrate 40. . In addition, the region of the compliance substrate 40 other than the ink introduction port 44 in the region facing the reservoir 100 is a flexible portion 43 formed thin in the thickness direction, and the reservoir 100 is sealed by the flexible portion 43. Has been. Compliance is given to the reservoir 100 by the flexible portion 43. A head case 230 having an ink supply communication path 231 is provided on the compliance substrate 40, and a concave portion 232 is formed in the head case 230 in a region facing the flexible portion 43. This is done as appropriate.

ヘッドケース２３０には、保護基板３０上に設けられた駆動ＩＣ１１０に対向する領域に厚さ方向に貫通した駆動ＩＣ保持部２３３が設けられており、外部配線１１１は、駆動ＩＣ保持部２３３を挿通して駆動ＩＣ１１０と接続されている。 The head case 230 is provided with a drive IC holding portion 233 penetrating in the thickness direction in a region facing the drive IC 110 provided on the protective substrate 30, and the external wiring 111 is inserted through the drive IC holding portion 233. Thus, the driving IC 110 is connected.

上記構成のインクジェット式記録ヘッド２２０は、インクカートリッジからのインクをインク連通路２１２（図３参照）及びインク供給連通路２３１を介してインク導入口４４から取り込み、リザーバ１００からノズル開口２１に至るまで内部をインクで充満させる。この状態で、駆動ＩＣ１１０からの記録信号に従い、圧力発生室１２に対応するそれぞれの圧電素子３００に電圧を印加し、弾性膜５０及び圧電素子３００をたわみ変形させることにより、各圧力発生室１２内の圧力を上げてノズル開口２１からインク滴を吐出させる。 The ink jet recording head 220 configured as described above takes ink from the ink cartridge from the ink introduction port 44 via the ink communication path 212 (see FIG. 3) and the ink supply communication path 231, and from the reservoir 100 to the nozzle opening 21. Fill the interior with ink. In this state, a voltage is applied to each piezoelectric element 300 corresponding to the pressure generation chamber 12 in accordance with a recording signal from the drive IC 110 to cause the elastic film 50 and the piezoelectric element 300 to bend and deform, whereby each pressure generation chamber 12 Ink droplets are ejected from the nozzle openings 21.

インクジェット式記録ヘッド２２０を構成する各部材及びヘッドケース２３０には、組立時に各部材を位置決めするためのピンが挿入されるピン挿入孔２３４が角部の２箇所に設けられている。そして、ピン挿入孔２３４にピンを挿入して各部材の相対的な位置決めを行いながら部材同士を接合することで、インクジェット式記録ヘッド２２０及びヘッドケース２３０が一体的に組み合わせられる。 Each member constituting the ink jet recording head 220 and the head case 230 are provided with two pin insertion holes 234 into which pins for positioning the respective members are inserted at the time of assembly. The inkjet recording head 220 and the head case 230 are integrally combined by inserting pins into the pin insertion hole 234 and joining the members while performing relative positioning of the members.

上述したインクジェット式記録ヘッド２２０は、１枚のシリコンウエハ上に多数のチップを同時に形成し、ノズルプレート２０及びコンプライアンス基板４０を接着して一体化し、その後、図４に示すような１つのチップサイズの流路形成基板１０毎に分割することによって形成する。インクジェット式記録ヘッド２２０及びヘッドケース２３０は、図１乃至図３に示すように、カートリッジケース２１０にノズル列２１Ａの並び方向に所定の間隔で４つ固定されている。すなわち、ヘッドユニット２００には、ノズル列２１Ａが８列設けられていることになる。 The above-described ink jet recording head 220 forms a large number of chips on one silicon wafer at the same time, and bonds and integrates the nozzle plate 20 and the compliance substrate 40, and thereafter, a single chip size as shown in FIG. It is formed by dividing each flow path forming substrate 10. As shown in FIGS. 1 to 3, four ink jet recording heads 220 and head cases 230 are fixed to the cartridge case 210 at predetermined intervals in the arrangement direction of the nozzle rows 21A. That is, the head unit 200 is provided with eight nozzle rows 21A.

このように、複数のインクジェット式記録ヘッド２２０を用いて並設されたノズル開口２１からなるノズル列２１Ａの多列化を図ることで、１つのインクジェット式記録ヘッド２２０にノズル列２１Ａを多列形成するのに比べて歩留まりの低下を防止することができる。また、ノズル列２１Ａの多列化を図るために複数のインクジェット式記録ヘッド２２０を用いることで、１枚のシリコンウエハから形成できるインクジェット式記録ヘッド２２０の取り数を増大させることができ、シリコンウエハの無駄な領域を減少させて製造コストを低減することができる。 In this way, by forming multiple nozzle rows 21A including nozzle openings 21 arranged in parallel using a plurality of inkjet recording heads 220, multiple nozzle rows 21A are formed in one inkjet recording head 220. Compared with this, it is possible to prevent the yield from decreasing. Further, by using a plurality of ink jet recording heads 220 in order to increase the number of nozzle rows 21A, the number of ink jet recording heads 220 that can be formed from one silicon wafer can be increased. It is possible to reduce the manufacturing cost by reducing the useless area.

４つのインクジェット式記録ヘッド２２０は、図１及び図３に示すように、複数のインクジェット式記録ヘッド２２０のインク滴吐出面に接合された共通の固定部材である固定板２５０によって位置決めされて保持されている。固定板２５０は、平板からなり、ノズル開口２１を露出する露出開口部２５１と、露出開口部２５１を画成すると共にインクジェット式記録ヘッド２２０のインク滴吐出面の少なくともノズル列２１Ａの両端部側に接合される接合部２５２とを備えている。 As shown in FIGS. 1 and 3, the four ink jet recording heads 220 are positioned and held by a fixing plate 250 that is a common fixing member joined to the ink droplet ejection surfaces of the plurality of ink jet recording heads 220. ing. The fixed plate 250 is a flat plate, defines an exposed opening 251 that exposes the nozzle opening 21, an exposed opening 251, and at least at both ends of the nozzle row 21 </ b> A on the ink droplet ejection surface of the ink jet recording head 220. And a joining portion 252 to be joined.

接合部２５２は、複数のインクジェット式記録ヘッド２２０に亘ってインク滴吐出面の外周に沿って設けられた固定用枠部２５３と、隣接するインクジェット式記録ヘッド２２０の間に延設されて露出開口部２５１を分割する固定用梁部２５４とで構成され、固定用枠部２５３及び固定用梁部２５４からなる接合部２５２が複数のインクジェット式記録ヘッド２２０のインク滴吐出面に同時に接合されている。また、接合部２５２の固定用枠部２５３は、インクジェット式記録ヘッド２２０の製造時に各部材を位置決めするピン挿入孔２３４を塞ぐように形成されている。 The joining portion 252 extends between the fixing frame portion 253 provided along the outer periphery of the ink droplet discharge surface across the plurality of ink jet recording heads 220 and the adjacent ink jet recording head 220 to be exposed. A fixing beam portion 254 that divides the portion 251, and a joint portion 252 including the fixing frame portion 253 and the fixing beam portion 254 is simultaneously bonded to the ink droplet ejection surfaces of the plurality of ink jet recording heads 220. . Further, the fixing frame portion 253 of the joining portion 252 is formed so as to close the pin insertion hole 234 that positions each member when the ink jet recording head 220 is manufactured.

固定板２５０の材料としては、例えばステンレス鋼などの金属、ガラスセラミックス又はシリコン単結晶板等が好適である。なお、固定板２５０は、ノズルプレート２０との熱膨張の違いによる変形を防止するために、ノズルプレート２０と熱膨張係数が同じ材料を用いるのが好ましい。例えば、ノズルプレート２０がシリコン単結晶板で形成されているときは、固定板２５０をシリコン単結晶板で形成するのが好適である。 As a material of the fixing plate 250, for example, a metal such as stainless steel, a glass ceramic, a silicon single crystal plate, or the like is preferable. The fixing plate 250 is preferably made of a material having the same thermal expansion coefficient as that of the nozzle plate 20 in order to prevent deformation due to a difference in thermal expansion from the nozzle plate 20. For example, when the nozzle plate 20 is formed of a silicon single crystal plate, the fixing plate 250 is preferably formed of a silicon single crystal plate.

固定板２５０が、固定用梁部２５４によって隣接するインクジェット式記録ヘッド２２０の間を塞いでいるため、隣接するインクジェット式記録ヘッド２２０の間にインクが侵入することがなく、圧電素子３００や駆動ＩＣ１１０などのインクジェット式記録ヘッド２２０のインクによる劣化及び破壊を防止することができる。また、インクジェット式記録ヘッド２２０のインク滴吐出面と固定板２５０との間は、接着剤によって隙間なく接着されているため、隙間に被記録媒体が入り込むのを防止して固定板２５０の変形及び紙ジャムを防止することができる。 Since the fixing plate 250 blocks between the adjacent ink jet recording heads 220 by the fixing beam portion 254, the ink does not enter between the adjacent ink jet recording heads 220, and the piezoelectric element 300 and the driving IC 110. It is possible to prevent the ink jet recording head 220 from being deteriorated and destroyed by the ink. Further, since the ink droplet ejection surface of the ink jet recording head 220 and the fixing plate 250 are bonded without any gap by an adhesive, the recording medium is prevented from entering the gap and the deformation of the fixing plate 250 and the fixing plate 250 are prevented. Paper jam can be prevented.

上述したヘッドユニット２００では４つのインクジェット式記録ヘッド２２０を固定板２５０に固着してあるが、このインクジェット式記録ヘッド２２０の固定板２５０への位置決めは、後述するアライメント方法を用いて行う。 In the head unit 200 described above, four ink jet recording heads 220 are fixed to the fixed plate 250. The ink jet recording head 220 is positioned on the fixed plate 250 by using an alignment method described later.

ヘッドユニット２００には、図１及び図２に示すように、固定板２５０に対してインクジェット式記録ヘッド２２０とは反対側に、各インクジェット式記録ヘッド２２０を覆うように箱形状を有するカバーヘッド２４０が設けられている。このカバーヘッド２４０は、固定板２５０の露出開口部２５１に対応して開口部２４１が設けられた固定部２４２と、インクジェット式記録ヘッド２２０のインク滴吐出面の側面側に、固定板２５０の外周に亘って屈曲するように設けられた側壁部２４５とを備えている。 As shown in FIGS. 1 and 2, the head unit 200 includes a cover head 240 having a box shape so as to cover each ink jet recording head 220 on the opposite side of the fixing plate 250 from the ink jet recording head 220. Is provided. The cover head 240 includes an outer periphery of the fixing plate 250 on the side of the fixing portion 242 provided with the opening 241 corresponding to the exposed opening 251 of the fixing plate 250 and the ink droplet ejection surface of the ink jet recording head 220. And a side wall portion 245 provided so as to be bent.

固定部２４２は、固定板２５０の固定用枠部２５３に対応して設けられた枠部２４３と、固定板２５０の固定用梁部２５４に対応して設けられて開口部２４１を分割する梁部２４４とで構成されている。また、枠部２４３及び梁部２４４からなる固定部２４２は、固定板２５０の接合部２５２に接合されている。 The fixing portion 242 includes a frame portion 243 provided corresponding to the fixing frame portion 253 of the fixing plate 250 and a beam portion provided corresponding to the fixing beam portion 254 of the fixing plate 250 to divide the opening 241. 244. In addition, the fixing part 242 including the frame part 243 and the beam part 244 is joined to the joining part 252 of the fixing plate 250.

このように、インクジェット式記録ヘッド２２０のインク滴吐出面とカバーヘッド２４０との間が隙間なく接合されているため、隙間に被記録媒体が入り込むのを防止してカバーヘッド２４０の変形及び紙ジャムを防止することができる。また、カバーヘッド２４０の側壁部２４５が、複数のインクジェット式記録ヘッド２２０の外周縁部を覆うことで、インクジェット式記録ヘッド２２０の側面へのインクの回り込みを確実に防止することができる。 As described above, since the ink droplet ejection surface of the ink jet recording head 220 and the cover head 240 are joined without a gap, it is possible to prevent the recording medium from entering the gap and to prevent the deformation of the cover head 240 and the paper jam. Can be prevented. Further, since the side wall portion 245 of the cover head 240 covers the outer peripheral edge portions of the plurality of ink jet recording heads 220, it is possible to reliably prevent the ink from flowing around the side surfaces of the ink jet recording heads 220.

固定部２４２には、カバーヘッド２４０を他部材に位置決め固定するための固定孔２４７が設けられたフランジ部２４６が設けられている。このフランジ部２４６は、側壁部２４５から液滴吐出面の面方向と同一方向に突出するように屈曲して設けられている。カバーヘッド２４０は、図２及び図３に示すように、インクジェット式記録ヘッド２２０及びヘッドケース２３０を保持した保持部材であるカートリッジケース２１０に固定されている。 The fixing portion 242 is provided with a flange portion 246 provided with a fixing hole 247 for positioning and fixing the cover head 240 to another member. The flange portion 246 is bent and provided so as to protrude from the side wall portion 245 in the same direction as the surface direction of the droplet discharge surface. As shown in FIGS. 2 and 3, the cover head 240 is fixed to a cartridge case 210 that is a holding member that holds the ink jet recording head 220 and the head case 230.

図２及び図３に示すように、カートリッジケース２１０には、インク滴吐出面側に突出して、カバーヘッド２４０の固定孔２４７に挿入される突起部２１５が設けられており、この突起部２１５をカバーヘッド２４０の固定孔２４７に挿入するとともに突起部２１５の先端部を加熱してかしめることで、カートリッジケース２１０にカバーヘッド２４０が固定されている。このようなカートリッジケース２１０に設けられた突起部２１５を、フランジ部２４６の固定孔２４７よりも小径の外径とすることで、カバーヘッド２４０をインク滴吐出面の面方向に位置決めしてカートリッジケース２１０に固定することができる。 As shown in FIGS. 2 and 3, the cartridge case 210 is provided with a protrusion 215 that protrudes toward the ink droplet ejection surface and is inserted into the fixing hole 247 of the cover head 240. The cover head 240 is fixed to the cartridge case 210 by being inserted into the fixing hole 247 of the cover head 240 and heating and crimping the tip of the protrusion 215. The protrusion 215 provided on the cartridge case 210 has an outer diameter smaller than that of the fixing hole 247 of the flange 246, so that the cover head 240 is positioned in the surface direction of the ink droplet discharge surface and the cartridge case. 210 can be fixed.

また、このようなカバーヘッド２４０と、複数のインクジェット式記録ヘッド２２０が接合された固定板２５０とは、カバーヘッド２４０の固定孔２４７と複数のノズル列２１Ａとの位置決めにより固定されている。ここで、カバーヘッド２４０の固定孔２４７と複数のノズル列２１Ａとの位置決めは、後述するアライメント装置を用いて行うこともできるが、固定板２５０と複数のインクジェット式記録ヘッド２２０とを位置決め固定する際に、同時にカバーヘッド２４０も位置決め固定するようにしてもよい。 The cover head 240 and the fixing plate 250 to which the plurality of ink jet recording heads 220 are bonded are fixed by positioning the fixing holes 247 of the cover head 240 and the plurality of nozzle rows 21A. Here, positioning of the fixing hole 247 of the cover head 240 and the plurality of nozzle rows 21A can be performed using an alignment device described later, but the fixing plate 250 and the plurality of ink jet recording heads 220 are positioned and fixed. At this time, the cover head 240 may be positioned and fixed at the same time.

上述したヘッドユニット２００では、インクジェット式記録ヘッド２２０が複数個並べられて共通部品である固定板２５０が所定個数毎に取り付けられる。このため、複数個のインクジェット式記録ヘッド２２０は相対位置が調整され、個々のインクジェット式記録ヘッド２２０が高い精度で固定板２５０に取り付けられている。インクジェット式記録ヘッド２２０の相対位置を調整するため、本発明のアライメント方法によるアライメント調整が行われてインクジェット式記録ヘッド２２０が製造される。 In the head unit 200 described above, a plurality of ink jet recording heads 220 are arranged, and a fixed plate 250 as a common component is attached every predetermined number. For this reason, the relative positions of the plurality of ink jet recording heads 220 are adjusted, and the individual ink jet recording heads 220 are attached to the fixed plate 250 with high accuracy. In order to adjust the relative position of the ink jet recording head 220, alignment adjustment is performed by the alignment method of the present invention, and the ink jet recording head 220 is manufactured.

図６〜図８に基づいてアライメント方法を説明する。
図６、図７には本発明の一実施形態例に係るアライメント方法の概念、図８にはアライメント方法の工程説明を示してある。 The alignment method will be described with reference to FIGS.
6 and 7 illustrate the concept of the alignment method according to an embodiment of the present invention, and FIG. 8 illustrates the process of the alignment method.

図６に示すように、移動テーブル６１には移動方向（図中左右方向）に沿って複数（図６の例では５個）のワークであるインクジェット式記録ヘッド２２０が配置され、端部のインクジェット式記録ヘッド２２０の側部にはガラス製のマスク６２が配置されている。マスク６２には、予め定められたインクジェット式記録ヘッド２２０の相対的な間隔の関係に応じた状態のアライメントマーク２２の間隔で、一対の基準マーク６３ａ、６３ｂが備えられている。 As shown in FIG. 6, the moving table 61 has a plurality of (five in the example of FIG. 6) ink jet recording heads 220 arranged along the moving direction (left and right in the figure), and the ink jet at the end. A glass mask 62 is disposed on the side of the recording head 220. The mask 62 is provided with a pair of reference marks 63a and 63b at intervals between the alignment marks 22 in a state corresponding to a predetermined relative interval relationship between the ink jet recording heads 220.

インクジェット式記録ヘッド２２０には両端にアライメントマーク２２が備えられているので、一対の基準マーク６３ａ、６３ｂは、それぞれ一対ずつ備えられている。即ち、基準マーク６３は４箇所に備えられている。基準マーク６３ａ、６３ｂの間隔及び一対の基準マーク６３の距離は、インクジェット式記録ヘッド２２０が所定の間隔で配された状態のアライメントマーク２２の状態に一致している。 Since the inkjet recording head 220 is provided with the alignment marks 22 at both ends, a pair of reference marks 63a and 63b is provided. That is, the reference marks 63 are provided at four locations. The distance between the reference marks 63a and 63b and the distance between the pair of reference marks 63 match the state of the alignment mark 22 in a state where the ink jet recording heads 220 are arranged at a predetermined distance.

また、光軸の間隔が固定された一対の単焦点光学手段６６、６７が移動テーブル６１の下部に備えられ、一対の基準マーク６３ａ、６３ｂの位置に一対の単焦点光学手段６６、６７の光軸が合わせられるようにされている。単焦点光学手段は、例えば、光学顕微鏡とカメラの組み合わせの光学手段が適用される。 In addition, a pair of single focus optical means 66 and 67 having fixed optical axis intervals are provided below the moving table 61, and the light of the pair of single focus optical means 66 and 67 at the positions of the pair of reference marks 63a and 63b. The axis is adjusted. As the single focus optical means, for example, an optical means of a combination of an optical microscope and a camera is applied.

図６に示すように、２組の一対の基準マーク６３ａ、６３ｂの位置を２組の一対の単焦点光学手段６６、６７で確認し、単焦点光学手段６６、６７の位置関係を把握する。これにより、２組の一対の基準マーク６３ａ、６３ｂ対して４個の単焦点光学手段６６、６７の位置関係が把握される。 As shown in FIG. 6, the positions of the two pairs of reference marks 63a and 63b are confirmed by the two pairs of single focus optical means 66 and 67, and the positional relationship between the single focus optical means 66 and 67 is grasped. Thereby, the positional relationship of the four single-focus optical means 66 and 67 with respect to the two pairs of reference marks 63a and 63b is grasped.

図７に示すように、移動テーブル６１を図中右側に移動させて、２組の一対の単焦点光学手段６６、６７の光軸に、端部で隣接する２つのインクジェット式記録ヘッド２２０の一対のアライメントマーク２２を合わせる。これにより、予め把握された４個の単焦点光学手段６６、６７の位置関係に応じて、端部で隣接する２つのインクジェット式記録ヘッド２２０の間隔位置が調整される。 As shown in FIG. 7, the moving table 61 is moved to the right side in the drawing, and a pair of two ink jet recording heads 220 that are adjacent at the ends to the optical axes of the two pairs of single focus optical means 66 and 67. The alignment mark 22 is aligned. Thereby, the interval position of the two ink jet recording heads 220 adjacent at the end portions is adjusted according to the positional relationship of the four single-focus optical means 66 and 67 grasped in advance.

移動テーブルを移動させることにより、２組の一対の単焦点光学手段６６、６７の光軸を隣接するインクジェット式記録ヘッド２２０の一対のアライメントマーク２２に順次一致させ、１工程前で間隔位置が調整されたインクジェット式記録ヘッド２２０の一対のアライメントマーク２２を基準として、２組の一対の単焦点光学手段６６、６７の光軸に、隣接するインクジェット式記録ヘッド２２０の一対のアライメントマーク２２を合わせる。これにより、複数のインクジェット式記録ヘッド２２０の間隔の相対位置関係が調整される。 By moving the moving table, the optical axes of the two pairs of single focus optical means 66 and 67 are sequentially aligned with the pair of alignment marks 22 of the adjacent ink jet recording head 220, and the interval position is adjusted one step before. The pair of alignment marks 22 of the adjacent ink jet recording heads 220 are aligned with the optical axes of the two pairs of single focus optical means 66 and 67 with reference to the pair of alignment marks 22 of the ink jet recording head 220 thus formed. Thereby, the relative positional relationship between the intervals of the plurality of ink jet recording heads 220 is adjusted.

つまり、図８（ｓ）に示すように、一対の基準マーク６３ａ、６３ｂを一対の単焦点光学手段６６、６７で確認し、単焦点光学手段６６、６７の位置関係を把握する。 That is, as shown in FIG. 8 (s), the pair of reference marks 63a and 63b is confirmed by the pair of single focus optical means 66 and 67, and the positional relationship between the single focus optical means 66 and 67 is grasped.

図８（ａ）に示すように、移動テーブル６１を図中右側に移動させて、単焦点光学手段６６、６７の光軸を端部の２つのインクジェット式記録ヘッド２２０の一対のアライメントマーク２２を合わせる。これにより、予め把握された単焦点光学手段６６、６７の位置関係に応じて、単焦点光学手段６６、６７の光軸（一対の基準マーク６３ａ、６３ｂの位置）を基準として、端部の２つのインクジェット式記録ヘッド２２０の位置が調整される。 As shown in FIG. 8A, the moving table 61 is moved to the right side in the figure, and the pair of alignment marks 22 of the two ink jet recording heads 220 with the optical axes of the single focus optical means 66 and 67 at the ends are moved. Match. As a result, in accordance with the positional relationship between the single-focus optical means 66 and 67 that has been grasped in advance, the end portion 2 is determined based on the optical axes of the single-focus optical means 66 and 67 (the positions of the pair of reference marks 63a and 63b). The positions of the two ink jet recording heads 220 are adjusted.

図８（ｂ）に示すように、移動テーブル６１を図中右側に移動させて、単焦点光学手段６６、６７の光軸を隣接するインクジェット式記録ヘッド２２０のアライメントマーク２２に一致させる。即ち、単焦点光学手段６６の光軸に、端部から２番目のインクジェット式記録ヘッド２２０の一対のアライメントマーク２２を合わせ、単焦点光学手段６７の光軸に、端部から３番目のインクジェット式記録ヘッド２２０の一対のアライメントマーク２２を合わせる。同様に、図８（ｃ）（ｄ）に示すように、移動テーブル６１を図中右側に順次移動させて、単焦点光学手段６７の光軸に、端部から４番目、５番目のインクジェット式記録ヘッド２２０の一対のアライメントマーク２２を順次合わせる。 As shown in FIG. 8B, the moving table 61 is moved to the right side in the drawing so that the optical axes of the single focus optical means 66 and 67 coincide with the alignment mark 22 of the adjacent ink jet recording head 220. That is, the pair of alignment marks 22 of the second ink jet recording head 220 from the end is aligned with the optical axis of the single focus optical means 66, and the third ink jet type from the end is aligned with the optical axis of the single focus optical means 67. The pair of alignment marks 22 of the recording head 220 are aligned. Similarly, as shown in FIGS. 8C and 8D, the moving table 61 is sequentially moved to the right side in the drawing, and the fourth and fifth ink jet types from the end to the optical axis of the single focus optical means 67. The pair of alignment marks 22 of the recording head 220 are sequentially aligned.

これにより、予め把握された単焦点光学手段６６、６７の位置関係に応じて、一つ手前のインクジェット式記録ヘッド２２０のアライメントマーク２２に合わせられた単焦点光学手段６６の光軸を基準として、３番目から５番目のインクジェット式記録ヘッド２２０の位置が調整される。 Thereby, according to the positional relationship of the single focus optical means 66 and 67 grasped in advance, the optical axis of the single focus optical means 66 aligned with the alignment mark 22 of the immediately preceding ink jet recording head 220 is used as a reference. The positions of the third to fifth ink jet recording heads 220 are adjusted.

上述したアライメント方法では、一対の基準マーク６３ａ、６３ｂが設けられたマスク６２と単焦点光学手段６６、６７を用いて、一対の基準マーク６３ａ、６３ｂの位置に一対の単焦点光学手段６６、６７の光軸をそれぞれ合わせ、この状態で、隣接する一対のインクジェット式記録ヘッド２２０のアライメントマーク２２を一対の単焦点光学手段６６、６７の光軸に合わせることで、一対の基準マーク６３ａ、６３ｂの位置関係に応じてインクジェット式記録ヘッド２２０の相対位置が調整される。また、一つ手前のインクジェット式記録ヘッド２２０のアライメントマーク２２に合わせられた単焦点光学手段６６の光軸を基準として、隣接するインクジェット式記録ヘッド２２０の位置を順次調整することができる。 In the alignment method described above, a pair of single-focus optical means 66 and 67 are provided at the positions of the pair of reference marks 63a and 63b using the mask 62 provided with the pair of reference marks 63a and 63b and the single-focus optical means 66 and 67. In this state, the alignment marks 22 of the pair of adjacent ink jet recording heads 220 are aligned with the optical axes of the pair of single-focus optical means 66 and 67, so that the pair of reference marks 63a and 63b are aligned. The relative position of the ink jet recording head 220 is adjusted according to the positional relationship. Further, the positions of adjacent ink jet recording heads 220 can be sequentially adjusted based on the optical axis of the single focus optical means 66 aligned with the alignment mark 22 of the immediately preceding ink jet recording head 220.

このため、一対の基準マーク６３ａ、６３ｂが設けられた最小限の大きさのマスク６２を用いて、安価な装置により極めて簡単な作業で複数のインクジェット式記録ヘッド２２０の相対位置関係を調整することができる。 For this reason, the relative positional relationship between the plurality of ink jet recording heads 220 can be adjusted by an extremely simple operation using a mask 62 having a minimum size provided with a pair of reference marks 63a and 63b. Can do.

つまり、マスク６２には一対の基準マーク６３ａ、６３ｂだけが設けられているので、最小限の大きさのマスク６２により極めて簡単な作業で複数のインクジェット式記録ヘッド２２０の相対位置関係を調整することができ、高価なマスク６２を小型化して管理を容易にすることができる。 That is, since the mask 62 is provided with only a pair of reference marks 63a and 63b, the relative positional relationship between the plurality of ink jet recording heads 220 can be adjusted with a minimum size mask 62 by a very simple operation. Therefore, the expensive mask 62 can be downsized to facilitate management.

また、移動テーブル６１を移動させて単焦点光学手段６６、６７を固定状態にしているので、正確に５個のインクジェット式記録ヘッド２２０の相対位置関係を調整することができる。また、一対の単焦点光学手段６６、６７を用いて基準の状態にある単焦点光学手段６６、６７の光軸を固定したので、移動テーブル６１の移動精度の影響を受けることなく５個のインクジェット式記録ヘッド２２０の相対位置関係を調整することができる。 Further, since the movable table 61 is moved and the single focus optical means 66 and 67 are fixed, the relative positional relationship of the five ink jet recording heads 220 can be adjusted accurately. In addition, since the optical axes of the single focus optical means 66 and 67 in the reference state are fixed using the pair of single focus optical means 66 and 67, the five inkjets are not affected by the movement accuracy of the moving table 61. The relative positional relationship of the recording head 220 can be adjusted.

また、単焦点光学手段６６、６７で捕える画像は、基準マーク６３ａ、６３ｂ（ガラス）と背景、もしくは、インクジェット式記録ヘッド２２０のアライメントマーク２２と背景であるので、コントラストを得ることが容易で、画像処理のばらつきを抑えることができ、熱等の影響を受け難く高精度な位置調整が可能である。また、マスク６２は線膨張係数が小さく熱に対する変化が少ないガラス製であるので、この点においても精度を高く維持することができる。そして、単焦点光学手段６６、６７であるので、一般的で安価な光学手段を用いることが可能であり、装置構成を安価にすることができる。 Further, since the images captured by the single focus optical means 66 and 67 are the reference marks 63a and 63b (glass) and the background, or the alignment marks 22 of the ink jet recording head 220 and the background, it is easy to obtain contrast. Variations in image processing can be suppressed, and highly accurate position adjustment is possible without being affected by heat or the like. Further, since the mask 62 is made of glass having a small linear expansion coefficient and little change with respect to heat, the accuracy can be maintained high in this respect as well. And since it is the single focus optical means 66 and 67, it is possible to use a general and cheap optical means, and it can make an apparatus structure cheap.

所定のアライメントを行なうヘッドユニットの分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the head unit which performs predetermined alignment. ヘッドユニットの組立斜視図である。It is an assembly perspective view of a head unit. ヘッドユニットの要部断面図である。It is principal part sectional drawing of a head unit. ヘッドユニットの要部の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the principal part of a head unit. ヘッドユニットの記録ヘッド及びヘッドケースを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the recording head and head case of a head unit. 本発明の一実施形態例に係るアライメント方法の概念図である。It is a conceptual diagram of the alignment method which concerns on the example of 1 embodiment of this invention. 本発明の一実施形態例に係るアライメント方法の概念図である。It is a conceptual diagram of the alignment method which concerns on the example of 1 embodiment of this invention. アライメント方法の工程説明図である。It is process explanatory drawing of an alignment method.

Explanation of symbols

１０流路形成基板、１２圧力発生室、２０ノズルプレート、２１ノズル開口、２２アライメントマーク、１００リザーバ、２００ヘッドユニット、２１０カートリッジケース、２２０インクジェット式記録ヘッド、２３０ヘッドケース、２４０カバーヘッド、２５０固定板、３００圧電素子、６１移動テーブル、６２マスク、６３基準マーク、６６、６７単焦点光学手段 10 flow path forming substrate, 12 pressure generating chamber, 20 nozzle plate, 21 nozzle opening, 22 alignment mark, 100 reservoir, 200 head unit, 210 cartridge case, 220 inkjet recording head, 230 head case, 240 cover head, 250 fixed Plate, 300 piezoelectric element, 61 moving table, 62 mask, 63 reference mark, 66, 67 single focus optical means

Claims

A mask provided with a pair of reference marks at intervals according to the intervals between the marks of a plurality of workpieces;
A pair of single-focus optical means in which the distance between the optical axes is fixed;
Using a moving means for relatively moving the position of a plurality of workpieces and masks and the position of a pair of single focus optical means,
By grasping the positional relationship between the optical axes of the pair of single-focus optical means by aligning the optical axes of the pair of single-focus optical means with the positions of the pair of reference marks,
The relative position of the adjacent workpieces is adjusted by moving the single-focus optical means relative to the plurality of workpieces and the mask and aligning the marks of the workpieces arranged adjacent to the optical axes of the pair of single-focus optical means. An alignment method characterized by:

The alignment method according to claim 1,
A pair of single focus optical means are sequentially moved, and a workpiece mark whose relative position is adjusted and a work mark whose relative position is not adjusted are aligned with the optical axis of the pair of single focus optical means. An alignment method comprising sequentially adjusting relative positions.

In the alignment method according to claim 1 or 2,
An alignment method using a glass mask.

A liquid ejecting head manufacturing method comprising: adjusting an alignment of a substrate of a liquid ejecting head as a workpiece by attaching the common component to a plurality of substrates by the alignment method according to claim 1. Method.