JP2009170741A - Semiconductor laser device and its production process - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To avoid being forced to do a complicated work in a manufacturing process, and to provide a semiconductor laser device which can promote heat dissipation from a semiconductor laser element, and to provide its production process. <P>SOLUTION: The semiconductor laser device A1 comprises a semiconductor laser element 2, and a conduction support member 1 comprising a mounting part 11 where the semiconductor laser element 2 is mounted, a cover part 12 located on the opposite side of the mounting part 11 relative to the semiconductor laser device 2, and a linking part 13 which connects the mounting part 11 and the cover part 12. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、たとえば光記録媒体に記録された情報の読取り、または光記録媒体への書き込みに用いられる光ピックアップ装置に用いられる半導体レーザ装置およびその製造方法に関する。   The present invention relates to a semiconductor laser device used for an optical pickup device used for reading information recorded on an optical recording medium or writing to the optical recording medium, and a method for manufacturing the same.

図8は、従来の半導体レーザ装置の一例を示している。同図に示された半導体レーザ装置Xは、レーザ光の発光源として半導体レーザ素子92を備えている。半導体レーザ素子92は、サブマウント93を介して金属プレートからなる実装部91に実装されている。半導体レーザ素子92は、樹脂部94によって囲われている。樹脂部94には、カバー95がはめ込まれている。カバー95は、樹脂部94と同一の樹脂からなり、半導体レーザ素子92を覆っている。カバー95を備えることにより、半導体レーザ装置Xを光ピックアップに組み込む作業において、ピンセットなどで誤って半導体レーザ素子92に損傷を与えてしまうことを防止することができる。   FIG. 8 shows an example of a conventional semiconductor laser device. The semiconductor laser device X shown in the figure includes a semiconductor laser element 92 as a laser light source. The semiconductor laser element 92 is mounted on a mounting portion 91 made of a metal plate via a submount 93. The semiconductor laser element 92 is surrounded by a resin portion 94. A cover 95 is fitted in the resin portion 94. The cover 95 is made of the same resin as the resin portion 94 and covers the semiconductor laser element 92. By providing the cover 95, it is possible to prevent the semiconductor laser element 92 from being accidentally damaged by tweezers or the like in the operation of incorporating the semiconductor laser device X into the optical pickup.

しかしながら、半導体レーザ装置Xの製造に際しては、カバー95を樹脂部94にはめ込む作業が必要である。この作業に先立って、たとえば多数のカバー95が金型成形によって一括して成形される。上記組み込み作業を行うには、これらのカバー95から1つのカバー95を正しい向きで拾い上げることが強いられる。半導体レーザ装置Xが小型となるほど、カバー95を適切に拾い上げることは困難となる。また、半導体レーザ素子92は、樹脂部94およびカバー95によって囲われる格好となる。樹脂部94およびカバー95はいずれも樹脂製であるため、熱を伝達しにくい。この結果、レーザ発光に伴って半導体レーザ素子92から発せられる熱がこもってしまいやすいという問題があった。   However, when manufacturing the semiconductor laser device X, it is necessary to fit the cover 95 into the resin portion 94. Prior to this operation, for example, a large number of covers 95 are collectively formed by mold forming. In order to perform the above assembling work, it is compelled to pick up one cover 95 from these covers 95 in the correct orientation. The smaller the semiconductor laser device X is, the more difficult it is to pick up the cover 95 appropriately. The semiconductor laser element 92 is surrounded by the resin portion 94 and the cover 95. Since both the resin portion 94 and the cover 95 are made of resin, it is difficult to transfer heat. As a result, there has been a problem that heat generated from the semiconductor laser element 92 tends to be stored due to laser emission.

特開2006−19332号公報JP 2006-19332 A

本発明は、上記した事情のもとで考え出されたものであって、製造工程において煩雑な作業が強いられることを回避しつつ、半導体レーザ素子からの放熱を促進することが可能な半導体レーザ装置およびその製造方法を提供することをその課題とする。   The present invention has been conceived under the circumstances described above, and is a semiconductor laser capable of promoting heat dissipation from a semiconductor laser element while avoiding compulsory work in the manufacturing process. It is an object of the present invention to provide an apparatus and a manufacturing method thereof.

本発明の第1の側面によって提供される半導体レーザ装置は、半導体レーザ素子と、上記半導体レーザ素子が実装された実装部、上記半導体レーザ素子に対して上記実装部とは反対側に位置するカバー部、上記実装部および上記カバー部を連結する連結部、を有する導通支持部材と、を備えることを特徴としている。   A semiconductor laser device provided by the first aspect of the present invention includes a semiconductor laser element, a mounting portion on which the semiconductor laser element is mounted, and a cover positioned on the opposite side of the mounting portion with respect to the semiconductor laser element. And a conduction support member having a connecting portion for connecting the mounting portion and the cover portion.

このような構成によれば、レーザ発光時に上記半導体レーザ素子から発生する熱を、上記実装部から上記連結部を介して上記カバー部へと伝達させることができる。したがって、上記半導体レーザ素子からの放熱を促進することが可能であり、上記半導体レーザ装置の大出力化を図ることができる。   According to such a configuration, heat generated from the semiconductor laser element during laser emission can be transmitted from the mounting portion to the cover portion via the connecting portion. Therefore, heat radiation from the semiconductor laser element can be promoted, and the output of the semiconductor laser device can be increased.

本発明の好ましい実施の形態においては、上記実装部と上記カバー部との間に介在し、かつ上記実装部に接合された樹脂部をさらに備えており、上記樹脂部は、上記カバー部に形成された貫通孔に係合する突起を有する。このような構成によれば、上記カバー部の上記実装部に対する姿勢を安定させることができる。   In a preferred embodiment of the present invention, the apparatus further includes a resin portion interposed between the mounting portion and the cover portion and joined to the mounting portion, and the resin portion is formed on the cover portion. A protrusion that engages with the formed through-hole. According to such a structure, the attitude | position with respect to the said mounting part of the said cover part can be stabilized.

本発明の好ましい実施の形態においては、上記貫通孔は、小径部と、この小径部に対して上記半導体レーザ素子とは反対側に位置する大径部とからなり、上記突起の先端は、上記大径部に収容されている。このような構成によれば、上記突起と上記貫通孔とをより強固に係合させることができる。   In a preferred embodiment of the present invention, the through hole comprises a small diameter portion and a large diameter portion located on the opposite side of the small diameter portion from the semiconductor laser element, and the tip of the protrusion is It is housed in the large diameter part. According to such a structure, the said protrusion and the said through-hole can be engaged more firmly.

本発明の第2の側面によって提供される半導体レーザ装置の製造方法は、それぞれが板状である実装部およびカバー部と、上記実装部および上記カバー部を連結する連結部とを有する導通支持部材を用い、上記実装部に半導体レーザ素子を実装する工程と、上記カバー部が上記半導体レーザ素子を挟んで上記実装部と正対するように、上記連結部を折り曲げる工程と、を有することを特徴としている。   A semiconductor laser device manufacturing method provided by the second aspect of the present invention includes a conductive support member having a mounting part and a cover part, each of which is plate-shaped, and a connecting part that connects the mounting part and the cover part. And mounting the semiconductor laser element on the mounting part, and bending the connecting part so that the cover part faces the mounting part across the semiconductor laser element. Yes.

このような構成によれば、上記カバー部を形成するための単体の小片状部材を用意する必要がない。このため、このような小片状部材を拾い上げる作業が強いられない。したがって、上述したように放熱を促進することが可能な上記半導体レーザ装置を効率よく製造することができる。また、上記カバー部が小型であっても上記折り曲げ工程は極端に煩雑とはならない。これは、上記半導体レーザ装置の小型化を図るのに有利である。   According to such a configuration, there is no need to prepare a single piece-like member for forming the cover portion. For this reason, the operation | work which picks up such a small piece member is not forced. Therefore, as described above, the semiconductor laser device capable of promoting heat dissipation can be efficiently manufactured. Even if the cover portion is small, the bending process is not extremely complicated. This is advantageous in reducing the size of the semiconductor laser device.

本発明の好ましい実施の形態においては、上記カバー部には、貫通孔が形成されており、上記導通支持部材を折り曲げる工程の前に、上記実装部に接合され、かつ上記半導体レーザ素子が実装された面が向く方向に突出する突起を有する樹脂部を形成する工程をさらに有し、上記導通支持部材を折り曲げる工程においては、上記貫通孔に上記突起を挿通させ、上記導通支持部材を折り曲げる工程の後に、上記突起の先端を変形させることにより、上記突起と上記貫通孔とを係合させる工程を有する。このような構成によれば、上記カバー部がスプリングバックによって上記実装部から離れてしまうことを防止することができる。   In a preferred embodiment of the present invention, the cover portion is formed with a through hole, and is joined to the mounting portion and the semiconductor laser element is mounted before the step of bending the conduction support member. A step of forming a resin portion having a protrusion protruding in a direction in which the opposite surface faces, and in the step of bending the conduction support member, the step of inserting the protrusion into the through hole and bending the conduction support member. After that, there is a step of engaging the protrusion and the through hole by deforming the tip of the protrusion. According to such a structure, it can prevent that the said cover part leaves | separates from the said mounting part by springback.

本発明のその他の特徴および利点は、添付図面を参照して以下に行う詳細な説明によって、より明らかとなろう。   Other features and advantages of the present invention will become more apparent from the detailed description given below with reference to the accompanying drawings.

以下、本発明の好ましい実施の形態につき、図面を参照して具体的に説明する。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be specifically described with reference to the drawings.

図1および図2は、本発明に係る半導体レーザ装置の第1実施形態を示している。本実施形態の半導体レーザ装置A1は、導通支持部材1、半導体レーザ素子2、および樹脂部3を備えている。半導体レーザ装置A1は、たとえば光記録媒体の読取りまたは書き込みに用いられるピックアップ装置に搭載される。   1 and 2 show a semiconductor laser device according to a first embodiment of the present invention. The semiconductor laser device A1 of this embodiment includes a conduction support member 1, a semiconductor laser element 2, and a resin portion 3. The semiconductor laser device A1 is mounted on a pickup device used for reading or writing of an optical recording medium, for example.

導通支持部材1は、たとえばCu合金からなり、半導体レーザ素子2を支持するとともに半導体レーザ素子2と上記ピックアップ装置の電源回路とを導通させるためのものである。導通支持部材1は、実装部11、カバー部12、連結部13、および端子14,15を有している。   The conduction support member 1 is made of, for example, a Cu alloy, and supports the semiconductor laser element 2 and conducts the semiconductor laser element 2 and the power supply circuit of the pickup device. The conduction support member 1 includes a mounting part 11, a cover part 12, a connecting part 13, and terminals 14 and 15.

実装部11は、略矩形状であり、半導体レーザ素子2が実装される部分である。本実施形態においては、実装部11の両側部は、樹脂部3から延出している。この部分は、たとえば上記ピックアップ装置に対する位置決めに用いられる。   The mounting portion 11 has a substantially rectangular shape and is a portion where the semiconductor laser element 2 is mounted. In the present embodiment, both side portions of the mounting portion 11 extend from the resin portion 3. This portion is used for positioning with respect to the pickup device, for example.

カバー部12は、略矩形状であり、実装部11と略平行に配置されている。実装部11とカバー部12との間隔は、半導体レーザ素子2およびこれに接続されたワイヤ(図示略)を収容するのに十分な大きさとされている。カバー部12には、貫通孔16が形成されている。貫通孔16は、小径部16aおよび大径部16bを有している。上述したピックアップ装置においては、実装部11およびカバー部12に当接する放熱部材を採用することが想定される。   The cover portion 12 has a substantially rectangular shape and is disposed substantially parallel to the mounting portion 11. The distance between the mounting portion 11 and the cover portion 12 is set to be large enough to accommodate the semiconductor laser element 2 and a wire (not shown) connected thereto. A through hole 16 is formed in the cover portion 12. The through hole 16 has a small diameter portion 16a and a large diameter portion 16b. In the pickup device described above, it is assumed that a heat radiating member that contacts the mounting portion 11 and the cover portion 12 is employed.

連結部13は、実装部11とカバー部12とを連結する部分であり、本実施形態では、2つの帯状部からなる。2つの帯状部は、半導体レーザ素子2からのレーザ光を通過させるのに十分な間隔を隔てて平行配置されている。   The connection part 13 is a part which connects the mounting part 11 and the cover part 12, and consists of two strip | belt-shaped parts in this embodiment. The two strips are arranged in parallel at a sufficient interval to allow the laser light from the semiconductor laser element 2 to pass therethrough.

端子14,15は、半導体レーザ装置A1を上記ピックアップ装置に接続するために用いられる部分である。本実施形態においては、実装部11から2つの端子14が延びており、カバー部12から端子15が延びている。端子14,15のいずれか2つは、半導体レーザ素子2への電力供給に用いられ、残りの1つは半導体レーザ素子2に備えられるモニタ素子からの出力電流用である。上記モニタ素子を備えない半導体レーザ素子2を用いる場合、端子14,15は、2つあれば足りる。   The terminals 14 and 15 are parts used for connecting the semiconductor laser device A1 to the pickup device. In the present embodiment, two terminals 14 extend from the mounting portion 11, and terminals 15 extend from the cover portion 12. Any two of the terminals 14 and 15 are used for power supply to the semiconductor laser element 2, and the remaining one is for an output current from a monitor element provided in the semiconductor laser element 2. When the semiconductor laser element 2 not provided with the monitor element is used, two terminals 14 and 15 are sufficient.

半導体レーザ素子2は、半導体レーザ装置A1の光源であり、たとえばGaAsからなり、図2の矢印で示された方向にレーザ光を発する。本実施形態においては、半導体レーザ素子2は、サブマウント21を介して実装部11に実装されている。サブマウント21は、たとえばAlNまたはSiなどからなり、実装部11と半導体レーザ素子2との熱膨張差を緩和する機能を果たす。本実施形態とは異なり、サブマウント21を備えない構成としてもよい。   The semiconductor laser element 2 is a light source of the semiconductor laser device A1, and is made of, for example, GaAs, and emits laser light in a direction indicated by an arrow in FIG. In the present embodiment, the semiconductor laser element 2 is mounted on the mounting portion 11 via the submount 21. The submount 21 is made of, for example, AlN or Si, and fulfills a function of reducing the difference in thermal expansion between the mounting portion 11 and the semiconductor laser element 2. Unlike the present embodiment, the submount 21 may not be provided.

樹脂部3は、たとえばポリフェニレンサルファイド(PPS)樹脂などの熱可塑性樹脂からなり、本実施形態においては暗黒色である。樹脂部3は、実装部11に接合されており、半導体レーザ素子2を囲い、かつ半導体レーザ素子2からのレーザ光の出射方向に開口した略コの字状とされている。   The resin part 3 consists of thermoplastic resins, such as polyphenylene sulfide (PPS) resin, for example, and is dark black in this embodiment. The resin portion 3 is bonded to the mounting portion 11 and has a substantially U shape that surrounds the semiconductor laser element 2 and opens in the direction in which the laser light from the semiconductor laser element 2 is emitted.

樹脂部3には、突起31が形成されている。突起31は、カバー部12の貫通孔16と係合することにより、カバー部12を固定するためのものである。具体的には、突起31は、小径部16aを貫通しており、その先端が大径部16bに収容されている。この先端部分は、小径部16aよりも大である。本実施形態においては、突起31の先端は、貫通孔16からはみ出していない。   A protrusion 31 is formed on the resin portion 3. The protrusion 31 is for fixing the cover part 12 by engaging with the through hole 16 of the cover part 12. Specifically, the protrusion 31 penetrates the small diameter portion 16a, and the tip thereof is accommodated in the large diameter portion 16b. This tip portion is larger than the small diameter portion 16a. In the present embodiment, the tip of the protrusion 31 does not protrude from the through hole 16.

次に、半導体レーザ装置A1の製造方法の一例について、図3〜図5を参照しつつ、以下に説明する。   Next, an example of a manufacturing method of the semiconductor laser device A1 will be described below with reference to FIGS.

まず、図3に示すように、リードフレーム1Aを用意する。リードフレーム1Aは、直列に連結された実装部11、カバー部12、連結部13、および端子部14,15と、これらを挟むフレーム17,18を備えている。本図においては、理解の便宜上1つの半導体レーザ装置A1を製造するための要素を記載しているが、フレーム17,18間に複数の半導体レーザ装置A1を製造可能な要素が配置されるのが一般的である。リードフレーム1Aの実装部11に、サブマウント21にあらかじめ接合された半導体レーザ素子2をたとえばAgペースト(図示略)を用いて実装する。また、たとえば金型成形によって実装部11に突起31Aを有する樹脂部3を形成する。突起31Aは、たとえば円柱状である。   First, as shown in FIG. 3, a lead frame 1A is prepared. 1 A of lead frames are equipped with the mounting part 11, the cover part 12, the connection part 13, and the terminal parts 14 and 15 which were connected in series, and the frames 17 and 18 which pinch | interpose these. In this drawing, elements for manufacturing one semiconductor laser device A1 are shown for convenience of understanding, but elements capable of manufacturing a plurality of semiconductor laser devices A1 are arranged between the frames 17 and 18. It is common. The semiconductor laser element 2 bonded in advance to the submount 21 is mounted on the mounting portion 11 of the lead frame 1A using, for example, Ag paste (not shown). Further, the resin portion 3 having the protrusion 31A is formed on the mounting portion 11 by, for example, molding. The protrusion 31A has, for example, a cylindrical shape.

次いで、図4に示すようにリードフレーム1Aを折り曲げる。具体的には、フレーム18から端子15を切り離す。カバー部12と端子15とを持ち上げるように、連結部13を折り曲げる。さらに、カバー部12が実装部11と正対するまで、連結部13を折り曲げる。このとき、樹脂部3の突起31Aをカバー部12の貫通孔16に挿通させる。   Next, the lead frame 1A is bent as shown in FIG. Specifically, the terminal 15 is disconnected from the frame 18. The connecting portion 13 is bent so as to lift the cover portion 12 and the terminal 15. Further, the connecting portion 13 is bent until the cover portion 12 faces the mounting portion 11. At this time, the protrusion 31 </ b> A of the resin part 3 is inserted into the through hole 16 of the cover part 12.

図5の(a)は、貫通孔16に突起31Aを挿通した状態を示している。この状態で、突起31Aの先端寄り部分を加熱し、下方に押しつぶす。これにより、図5(b)に示すように、先端寄り部分が根元部分より大である突起31が形成される。突起31は、貫通孔16によく沿った形状となっており、貫通孔16と強固に係合する。この後は、図4に示すフレーム17から端子14を切り離すことにより、半導体レーザ装置A1が得られる。   FIG. 5A shows a state in which the protrusion 31 </ b> A is inserted into the through hole 16. In this state, the portion near the tip of the protrusion 31A is heated and crushed downward. As a result, as shown in FIG. 5 (b), a protrusion 31 whose tip end portion is larger than the root portion is formed. The protrusion 31 has a shape well along the through hole 16 and is firmly engaged with the through hole 16. Thereafter, the semiconductor laser device A1 is obtained by separating the terminal 14 from the frame 17 shown in FIG.

次に、半導体レーザ装置A1およびその製造方法の作用について説明する。   Next, the operation of the semiconductor laser device A1 and the manufacturing method thereof will be described.

本実施形態によれば、半導体レーザ装置A1の製造工程においては、カバー部12となる小片状の部材を単体で準備する必要がない。このため、小片状の部材を方向を合わせながら拾い上げるといった煩雑な作業を行わなくて済む。そして、リードフレーム1Aの一部を折り曲げることによりカバー部12を形成する作業は格段に容易である。したがって、半導体レーザ装置A1をより効率よく製造することができる。また、カバー部12の形成が単なる折り曲げ加工によって達成されるため、カバー部12のサイズが小さくなっても、作業が極端に困難とはならない。これは、半導体レーザ装置A1の小型化に有利である。   According to this embodiment, in the manufacturing process of the semiconductor laser device A1, it is not necessary to prepare a small piece-like member that becomes the cover portion 12 alone. For this reason, it is not necessary to perform a complicated operation of picking up a small piece of member while aligning the directions. And the operation | work which forms the cover part 12 by bending a part of lead frame 1A is remarkably easy. Therefore, the semiconductor laser device A1 can be manufactured more efficiently. Further, since the formation of the cover portion 12 is achieved by a simple bending process, even if the size of the cover portion 12 is reduced, the operation is not extremely difficult. This is advantageous for reducing the size of the semiconductor laser device A1.

実装部11とカバー部12とは、連結部13によって一体的に連結されている。しかも、これらは、熱伝導に優れたCu合金からなる。このため、レーザ発光時に半導体レーザ素子2から発生する熱が、実装部11から連結部13を介してカバー部12へと伝達されることが期待できる。したがって、半導体レーザ素子2からの放熱を促進することが可能であり、半導体レーザ装置A1の大出力化を図ることができる。   The mounting part 11 and the cover part 12 are integrally connected by a connecting part 13. In addition, these are made of a Cu alloy excellent in heat conduction. For this reason, it can be expected that heat generated from the semiconductor laser element 2 during laser emission is transmitted from the mounting portion 11 to the cover portion 12 via the connecting portion 13. Therefore, heat radiation from the semiconductor laser element 2 can be promoted, and the output of the semiconductor laser device A1 can be increased.

突起31を貫通孔16に係合させることにより、折り曲げ工程の後にカバー部12が実装部11から不当に離れてしまうことを防止することができる。貫通孔16が小径部16aおよび大径部16bを有する形状であることにより、突起31との係合をより強固とすることが可能である。また、突起31は貫通孔16から突出していない。これは、半導体レーザ装置A1をピックアップ装置に組み込む際に、突起31が引っかかってしまうなどの不具合を回避するのに適している。   By engaging the protrusion 31 with the through hole 16, it is possible to prevent the cover portion 12 from being unduly separated from the mounting portion 11 after the bending step. Since the through-hole 16 has a shape having the small-diameter portion 16a and the large-diameter portion 16b, the engagement with the protrusion 31 can be further strengthened. Further, the protrusion 31 does not protrude from the through hole 16. This is suitable for avoiding problems such as the protrusion 31 being caught when the semiconductor laser device A1 is incorporated in the pickup device.

図6および図7は、本発明の他の実施形態を示している。なお、これらの図において、上記実施形態と同一または類似の要素には、上記実施形態と同一の符号を付している。   6 and 7 show another embodiment of the present invention. In these drawings, the same or similar elements as those in the above embodiment are denoted by the same reference numerals as those in the above embodiment.

図6は、本発明に係る半導体レーザ装置の第2実施形態を示している。本実施形態の半導体レーザ装置A2は、連結部13の構造が上述した実施形態と異なっている。本実施形態においては、連結部13は、半導体レーザ素子2に対して半導体レーザ素子2からのレーザ光の出射方向と直角である方向に配置されている。この場合、連結部13は、レーザ光を通過させる必要がないため、上述した実施形態と比べて格段に広幅となっている。このような実施形態によれば、連結部13によって実装部11からカバー部12に伝達する熱量をより多くすることが可能である。これにより、半導体レーザ素子2の放熱をさらに促進することができる。   FIG. 6 shows a second embodiment of the semiconductor laser device according to the present invention. The semiconductor laser device A2 of this embodiment is different from the above-described embodiment in the structure of the connecting portion 13. In the present embodiment, the connecting portion 13 is arranged in a direction perpendicular to the laser beam emission direction from the semiconductor laser element 2 with respect to the semiconductor laser element 2. In this case, since the connection part 13 does not need to let a laser beam pass, it is much wider than the embodiment mentioned above. According to such an embodiment, it is possible to increase the amount of heat transferred from the mounting portion 11 to the cover portion 12 by the connecting portion 13. Thereby, the heat radiation of the semiconductor laser element 2 can be further promoted.

図7は、本発明に係る半導体レーザ装置の第3実施形態を示している。本実施形態の半導体レーザ装置A3は、2つのカバー部12とこれらを実装部11に連結する2つの連結部13を備えている点が上述した第2実施形態と異なっている。2つの連結部13は、上述した第2実施形態と同様に、半導体レーザ素子2に対して半導体レーザ素子2からのレーザ光の出射方向と直角である方向に配置されており、広幅とされている。このような実施形態によれば、実装部11からの熱を2つの広幅の連結部13を介してカバー部12に伝達することが可能である。これは、半導体レーザ素子2の放熱促進に好適である。   FIG. 7 shows a third embodiment of the semiconductor laser apparatus according to the present invention. The semiconductor laser device A3 of this embodiment is different from the above-described second embodiment in that it includes two cover portions 12 and two connecting portions 13 that connect these to the mounting portion 11. Similar to the second embodiment described above, the two connecting portions 13 are arranged in a direction perpendicular to the laser beam emission direction from the semiconductor laser element 2 with respect to the semiconductor laser element 2 and are wide. Yes. According to such an embodiment, it is possible to transfer the heat from the mounting portion 11 to the cover portion 12 via the two wide connecting portions 13. This is suitable for promoting heat dissipation of the semiconductor laser element 2.

本発明に係る半導体レーザ装置およびその製造方法は、上述した実施形態に限定されるものではない。本発明に係る半導体レーザ装置およびその製造方法の具体的な構成は、種々に設計変更自在である。   The semiconductor laser device and the manufacturing method thereof according to the present invention are not limited to the above-described embodiments. The specific configuration of the semiconductor laser device and the manufacturing method thereof according to the present invention can be changed in various ways.

本発明に係る半導体レーザ装置の第1実施形態を示す斜視図である。1 is a perspective view showing a first embodiment of a semiconductor laser device according to the present invention. 図1のII−II線に沿う断面図である。It is sectional drawing which follows the II-II line | wire of FIG. 図1に示す半導体レーザ装置の製造方法の一例における折り曲げ工程前の状態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the state before the bending process in an example of the manufacturing method of the semiconductor laser apparatus shown in FIG. 図1に示す半導体レーザ装置の製造方法の一例における折り曲げ工程を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the bending process in an example of the manufacturing method of the semiconductor laser apparatus shown in FIG. 図1に示す半導体レーザ装置の製造方法の一例において突起を貫通孔に係合させる工程を示す要部断面図である。FIG. 10 is a cross-sectional view of the main part showing the step of engaging the protrusion with the through hole in the example of the method for manufacturing the semiconductor laser device shown in FIG. 1. 本発明に係る半導体レーザ装置の第2実施形態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows 2nd Embodiment of the semiconductor laser apparatus based on this invention. 本発明に係る半導体レーザ装置の第3実施形態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows 3rd Embodiment of the semiconductor laser apparatus based on this invention. 従来の半導体レーザ装置の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the conventional semiconductor laser apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

A1、A2,A3 半導体レーザ装置
1 導通支持部材
1A リードフレーム
2 半導体レーザ素子
3 樹脂部
11 実装部
12 カバー部
13 連結部
14,15 端子
16 貫通孔
16a 小径部
16b 大径部
17,18 フレーム
21 サブマウント
31 突起
A1, A2, A3 Semiconductor laser device 1 Conductive support member 1A Lead frame 2 Semiconductor laser element 3 Resin portion 11 Mounting portion 12 Cover portion 13 Connection portion 14, 15 Terminal 16 Through hole 16a Small diameter portion 16b Large diameter portion 17, 18 Frame 21 Submount 31 Projection

Claims (5)

半導体レーザ素子と、
上記半導体レーザ素子が実装された実装部、上記半導体レーザ素子に対して上記実装部とは反対側に位置するカバー部、上記実装部および上記カバー部を連結する連結部、を有する導通支持部材と、
を備えることを特徴とする、半導体レーザ装置。
A semiconductor laser element;
A conductive support member having a mounting portion on which the semiconductor laser element is mounted, a cover portion located on the opposite side of the mounting portion with respect to the semiconductor laser element, and a connecting portion for connecting the mounting portion and the cover portion; ,
A semiconductor laser device comprising:
上記実装部と上記カバー部との間に介在し、かつ上記実装部に接合された樹脂部をさらに備えており、
上記樹脂部は、上記カバー部に形成された貫通孔に係合する突起を有する、請求項1に記載の半導体レーザ装置。
It further includes a resin part interposed between the mounting part and the cover part and joined to the mounting part,
The semiconductor laser device according to claim 1, wherein the resin portion has a protrusion that engages with a through hole formed in the cover portion.
上記貫通孔は、小径部と、この小径部に対して上記半導体レーザ素子とは反対側に位置する大径部とからなり、
上記突起の先端は、上記大径部に収容されている、請求項2に記載の半導体レーザ素子。
The through hole is composed of a small diameter portion and a large diameter portion located on the opposite side to the semiconductor laser element with respect to the small diameter portion,
The semiconductor laser device according to claim 2, wherein a tip of the protrusion is accommodated in the large diameter portion.
それぞれが板状である実装部およびカバー部と、上記実装部および上記カバー部を連結する連結部とを有する導通支持部材を用い、
上記実装部に半導体レーザ素子を実装する工程と、
上記カバー部が上記半導体レーザ素子を挟んで上記実装部と正対するように、上記連結部を折り曲げる工程と、
を有することを特徴とする、半導体レーザ装置の製造方法。
Using a conduction support member having a mounting part and a cover part, each of which is plate-shaped, and a connecting part for connecting the mounting part and the cover part,
Mounting a semiconductor laser element on the mounting portion;
Bending the connecting portion so that the cover portion faces the mounting portion across the semiconductor laser element;
A method of manufacturing a semiconductor laser device, comprising:
上記カバー部には、貫通孔が形成されており、
上記導通支持部材を折り曲げる工程の前に、上記実装部に接合され、かつ上記半導体レーザ素子が実装された面が向く方向に突出する突起を有する樹脂部を形成する工程をさらに有し、
上記導通支持部材を折り曲げる工程においては、上記貫通孔に上記突起を挿通させ、
上記導通支持部材を折り曲げる工程の後に、上記突起の先端を変形させることにより、上記突起と上記貫通孔とを係合させる工程を有する、請求項4に記載の半導体レーザ装置の製造方法。
A through hole is formed in the cover part,
Before the step of bending the conduction support member, further comprising a step of forming a resin portion having a protrusion that is bonded to the mounting portion and protrudes in a direction in which the surface on which the semiconductor laser element is mounted is directed;
In the step of bending the conduction support member, the protrusion is inserted into the through hole,
The method of manufacturing a semiconductor laser device according to claim 4, further comprising a step of engaging the protrusion and the through hole by deforming a tip of the protrusion after the step of bending the conductive support member.
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