JP2009152015A - Organic electroluminescence element, and its manufacturing method - Google Patents

Organic electroluminescence element, and its manufacturing method Download PDF

Info

Publication number
JP2009152015A
JP2009152015A JP2007328014A JP2007328014A JP2009152015A JP 2009152015 A JP2009152015 A JP 2009152015A JP 2007328014 A JP2007328014 A JP 2007328014A JP 2007328014 A JP2007328014 A JP 2007328014A JP 2009152015 A JP2009152015 A JP 2009152015A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light emitting
emitting unit
organic
layer
light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2007328014A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP4954861B2 (en
Inventor
Kenji Okumoto
健二 奥本
Kiyotaka Mori
清隆 森
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Corp
Original Assignee
Panasonic Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Panasonic Corp filed Critical Panasonic Corp
Priority to JP2007328014A priority Critical patent/JP4954861B2/en
Publication of JP2009152015A publication Critical patent/JP2009152015A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4954861B2 publication Critical patent/JP4954861B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an inexpensive organic EL element with an excellent element lifetime, and its manufacturing method capable of reducing power consumption of the organic EL element having a tandem structure, and significantly improving productivity. <P>SOLUTION: The manufacturing method of the organic EL element includes a positive electrode forming step for forming a positive electrode 20 on a substrate 10, a first light emitting layer forming step for forming a light emitting layer 302-1 on a surface of the positive electrode 20, an interface layer forming step for forming a precursor containing a conductive organic polymer with molecular weight 1000 or more on a surface of the light emitting layer 302-1 by a wet film forming method, and forming an n-type light emitting unit interface layer 401 and a p-type light emitting unit interface layer 402 by crosslinking reaction of the formed precursor, a second light emitting layer forming sep for forming a light emitting layer 302-2 on a surface of the p-type light emitting unit interface layer 402, and a second electrode forming step for forming a negative electrode 50 on the light emitting layer 302-2. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は有機エレクトロルミネッセンス素子に関し、特にディスプレイデバイスとして用いられる有機エレクトロルミネッセンス素子及びその製造方法に関する。   The present invention relates to an organic electroluminescent element, and more particularly to an organic electroluminescent element used as a display device and a method for manufacturing the same.

有機物の薄膜を対向する2つの電極で挟み、電圧印加して発光(エレクトロルミネッセンス)が得られる素子は、有機エレクトロルミネッセンス素子(以下、有機EL素子記す)と呼ばれる。有機EL素子は、1960年代に見出され(非特許文献1)、1980年代に実用的なプロセスと特性の素子構造が開発された(非特許文献2)。その後1990年代前半には、高分子を用いた有機EL素子が報告された(非特許文献3)。   An element obtained by sandwiching an organic thin film between two opposing electrodes and applying light to obtain light emission (electroluminescence) is called an organic electroluminescence element (hereinafter referred to as an organic EL element). An organic EL element was found in the 1960s (Non-patent Document 1), and an element structure having a practical process and characteristics was developed in the 1980s (Non-Patent Document 2). Subsequently, in the early 1990s, organic EL elements using polymers were reported (Non-patent Document 3).

低分子材料を用いる有機EL素子は、真空蒸着法によりその有機薄膜が形成される。真空プロセスが用いられるので、低分子材料系の有機EL素子は不純物やダストの混入が少ない条件下で作成されるため、長寿命で画素欠陥が少ないという特徴がある。   In an organic EL element using a low molecular material, an organic thin film is formed by a vacuum deposition method. Since a vacuum process is used, an organic EL element based on a low molecular material is produced under conditions where impurities and dust are not mixed, and thus has a feature that it has a long lifetime and few pixel defects.

これに対して、高分子材料を用いる有機EL素子は、高分子を溶媒に溶解して得られる溶液あるいは分散液が湿式法により塗布されることによりその有機薄膜が得られる。よって高分子系の有機EL素子は、大気圧下の簡便なプロセスにて作製され、また材料ロスが少ないという特徴を有している。   On the other hand, an organic EL element using a polymer material is obtained by applying a solution or dispersion obtained by dissolving a polymer in a solvent by a wet method. Therefore, the polymer-based organic EL element has a feature that it is manufactured by a simple process under atmospheric pressure and has little material loss.

いずれの有機EL素子も、自発光で明るい、視野角依存性が小さいなどの長所を有しており、ディスプレイの発光源や照明用光源として近年開発が進められている。   Each of the organic EL elements has advantages such as being self-luminous and bright and having a small viewing angle dependency, and has recently been developed as a light emission source for a display and a light source for illumination.

一方、いずれの有機EL素子も、その最も大きな課題は素子寿命である。素子寿命は多くの場合、初期輝度が半減する時間で評価される。素子寿命の改善についてなされている対策を説明する前提として、以下、有機EL素子の基本動作原理について簡潔に説明する。   On the other hand, in any organic EL element, the biggest problem is the element life. In many cases, the lifetime of the element is evaluated by the time during which the initial luminance is halved. As a premise for explaining measures taken to improve the device lifetime, the basic operation principle of the organic EL device will be briefly described below.

有機層を挟んだ陽極と陰極との間に電圧が印加されることにより、陽極からは正孔が、陰極からは電子がその有機層に注入される。注入された正孔と電子は、有機層中をホッピング機構によって移動し、有機層内で再結合する。このときに有機物の励起種が生成され、これが基底状態に戻るときのエネルギー放出が光エネルギーとして素子外部に取り出される。   When a voltage is applied between the anode and cathode sandwiching the organic layer, holes are injected from the anode and electrons are injected from the cathode into the organic layer. The injected holes and electrons move in the organic layer by a hopping mechanism and recombine in the organic layer. At this time, excited species of the organic matter are generated, and energy emission when the organic species returns to the ground state is extracted as light energy to the outside of the device.

有機EL素子の輝度が駆動時間に依存して低下する機構は、例えば、次のように説明される。上述した正孔あるいは電子のホッピングとは、有機層の中で有機物のラジカルカチオンあるいはラジカルアニオンが生成され、それらが中性状態の有機物との間で電荷移動(1電子酸化還元反応)を起こす反応が繰り返される現象を指す。中間状態として生成されるラジカルカチオンあるいはラジカルアニオンは、中性状態よりもエネルギーが高く、ある確率で化学的変質すなわち劣化を起こす。加えて、上述した有機物の励起種はその基底状態と比較して放出する光のエネルギーに対応する高エネルギーを有している状態であり、ラジカル種と同様にある確率で化学的変質すなわち劣化を起こす。   The mechanism by which the luminance of the organic EL element decreases depending on the driving time is described as follows, for example. The above-described hole or electron hopping is a reaction in which an organic radical cation or radical anion is generated in an organic layer, and a charge transfer (one-electron redox reaction) occurs between these organic substances in a neutral state. Refers to a phenomenon in which is repeated. The radical cation or radical anion generated as an intermediate state has higher energy than the neutral state, and causes chemical alteration, that is, deterioration with a certain probability. In addition, the excited species of the organic matter described above has a high energy corresponding to the energy of the emitted light compared to its ground state, and, as with the radical species, has a certain degree of chemical alteration, that is, degradation. Wake up.

ここで、有機EL素子の寿命を伸ばす対策について説明する。有機EL素子の劣化を抑えるためには、代表的には次の3つのアプローチがある。   Here, a measure for extending the life of the organic EL element will be described. In order to suppress the deterioration of the organic EL element, there are typically the following three approaches.

第1に、前記機構の劣化に強い材料を用いることである。これは、ラジカルカチオン種あるいはラジカルアニオン種および励起種の安定性を向上させる、すなわち、劣化の確率を低下させることに相当する。   First, a material that is resistant to deterioration of the mechanism is used. This corresponds to improving the stability of radical cation species or radical anion species and excited species, that is, reducing the probability of deterioration.

第2に、前記機構の劣化が起こりにくいデバイス構造を用いることである。例えば、デバイス構造を正孔輸送層、発光層、電子輸送層の3層構造にし、正孔輸送層にラジカルカチオン種が安定な材料、発光層に励起種が安定な材料、電子輸送層にラジカルアニオン種が安定な材料が用いることで、それぞれの劣化過程の確率を低減させる。   Secondly, a device structure in which the mechanism does not easily deteriorate is used. For example, the device structure is a three-layer structure of a hole transport layer, a light-emitting layer, and an electron transport layer, a material in which the radical cation species is stable in the hole transport layer, a material in which the excited species is stable in the light-emitting layer, and a radical in the electron transport layer By using a material with stable anion species, the probability of each degradation process is reduced.

第3に、デバイスに流れる電流量を減らすことである。これは、一定確率で素子劣化が起こると仮定すると、単位時間あたりに生成されるラジカル種および励起種の数が減少することにより結果的に劣化が起こりにくくなるためである。   Third, the amount of current flowing through the device is reduced. This is because assuming that device deterioration occurs at a certain probability, the number of radical species and excited species generated per unit time decreases, and consequently deterioration hardly occurs.

通常、デバイスに流れる電流値が減少すると、輝度は低下する。有機EL素子がディスプレイや照明用途に応用されるためには用途に応じた輝度が求められ、寿命を伸ばすために単純に電流値を減らすことはできない。一定輝度を保ったまま、電流値を減らすためには、素子の発光効率を向上させることが必要であり、このためには、発光特性に優れた発光材料が用いられるか、デバイス構造の改善により正孔と電子の再結合バランスが改善されるか、素子内部から素子外部への光の取り出し効率を向上させることが一般的である。   Usually, when the current value flowing through the device decreases, the luminance decreases. In order for an organic EL element to be applied to a display or a lighting application, luminance corresponding to the application is required, and the current value cannot be simply reduced in order to extend the life. In order to reduce the current value while maintaining a constant luminance, it is necessary to improve the light emission efficiency of the element. For this purpose, a light emitting material with excellent light emission characteristics is used, or by improving the device structure Generally, the recombination balance between holes and electrons is improved, or the light extraction efficiency from the inside of the device to the outside of the device is improved.

有機EL素子の電流効率を向上させる方法として、複数の発光ユニットが発光ユニット間の界面層(以下この層を発光ユニット界面層)を介して直列的に(タンデムに)連結され、各発光ユニットの発光が重ね合わされた構造が特許文献1〜3などに提案されている。この有機EL素子の構造の呼称は発明者や著者によって異なるが、ここではこの構造をタンデム構造と呼ぶことにする。また、発光ユニットは、特許文献2における定義と同様であり、タンデム連結構造を有しない有機EL素子を構成する要素のうち、陰極と陽極を除いた、発光層を有する層構造と定義する。以下、タンデム構造の動作原理およびその特徴について説明する。   As a method for improving the current efficiency of the organic EL element, a plurality of light emitting units are connected in series (tandem) via an interface layer between the light emitting units (hereinafter this layer is referred to as a light emitting unit interface layer). Patent Documents 1 to 3 propose a structure in which light emission is superimposed. Although the name of the structure of the organic EL element varies depending on the inventor or the author, this structure is referred to as a tandem structure here. Further, the light emitting unit is the same as the definition in Patent Document 2, and is defined as a layer structure having a light emitting layer, excluding the cathode and the anode, among elements constituting the organic EL element not having a tandem connection structure. Hereinafter, the operating principle of the tandem structure and its features will be described.

図11は従来のタンデム構造を有する有機EL素子の構造断面図である。同図における有機EL素子800は、透明基板801と、透明陽極802と、n個の発光ユニット803−1〜803−nと、n−1個の発光ユニット界面層804−1〜804−n−1と、反射陰極805とを備える。   FIG. 11 is a structural sectional view of an organic EL element having a conventional tandem structure. The organic EL element 800 in the figure includes a transparent substrate 801, a transparent anode 802, n light emitting units 803-1 to 803-n, and n-1 light emitting unit interface layers 804-1 to 804-n-. 1 and a reflective cathode 805.

図12は、従来のタンデム構造を有する有機EL素子の発光ユニットの構造断面図である。同図における発光ユニット803は、正孔輸送層803Aと、発光層803Bと、電子輸送層803Cとを備える。   FIG. 12 is a structural sectional view of a light emitting unit of an organic EL element having a conventional tandem structure. The light emitting unit 803 in the figure includes a hole transport layer 803A, a light emitting layer 803B, and an electron transport layer 803C.

上記タンデム構造を有する有機EL素子を説明する前提として、発光ユニットが単一である非タンデム構造の動作原理を詳細に説明する。   As a premise for explaining the organic EL element having the tandem structure, an operation principle of a non-tandem structure having a single light emitting unit will be described in detail.

図13は、発光ユニットが単一である非タンデム構造を有する有機EL素子が直流電圧源に接続された図である。同図における有機EL素子810は、発光ユニット803と、陽極802と、陰極805とを備える。また、有機EL素子810には直流電圧源901が接続されている。ここで、発光ユニット803については、その構成要素である発光層803Bは単層からなるとする。   FIG. 13 is a diagram in which an organic EL element having a non-tandem structure with a single light emitting unit is connected to a DC voltage source. The organic EL element 810 in the figure includes a light emitting unit 803, an anode 802, and a cathode 805. In addition, a DC voltage source 901 is connected to the organic EL element 810. Here, regarding the light emitting unit 803, the light emitting layer 803B which is a component thereof is assumed to be a single layer.

図14は、非タンデム構造を有する有機EL素子が電源接続されていない場合のエネルギー準位の模式図である。同図には、陽極802及び陰極805の仕事関数、発光層803Bの最高占有分子軌道のエネルギー準位(HOMO)、及び発光層803Bの最低非占有分子軌道のエネルギー準位(LUMO)が、模式的に示されている。   FIG. 14 is a schematic diagram of energy levels when an organic EL element having a non-tandem structure is not connected to a power source. In the figure, the work functions of the anode 802 and the cathode 805, the energy level (HOMO) of the highest occupied molecular orbital of the light emitting layer 803B, and the energy level (LUMO) of the lowest unoccupied molecular orbital of the light emitting layer 803B are schematically shown. Has been shown.

図15は、非タンデム構造を有する有機EL素子が短絡接続された場合のエネルギー準位の模式図である。同図は、陽極802と陰極805とが短絡された状態、つまりV=0で外部回路が駆動された場合のエネルギー図である。自由電子を大量に含む陽極802と陰極805とは、電気的短絡によりフェルミエネルギー準位をそろえる。そして、発光層803Bへは陽極802と陰極805との仕事関数の差分に対応した内蔵電位V0が印加される。 FIG. 15 is a schematic diagram of energy levels when an organic EL element having a non-tandem structure is short-circuited. This figure is an energy diagram when the anode 802 and the cathode 805 are short-circuited, that is, when an external circuit is driven with V = 0. The anode 802 and the cathode 805 containing a large amount of free electrons have the same Fermi energy level by an electrical short circuit. A built-in potential V 0 corresponding to the work function difference between the anode 802 and the cathode 805 is applied to the light emitting layer 803B.

図16は、非タンデム構造を有する有機EL素子に外部電界が印加された場合のエネルギー準位の模式図である。同図では、陽極802が正、陰極805が負となり発光開始電圧以上の電圧が印加された場合のエネルギー準位が示されている。外部電圧V0にしたがって、陽極802から正孔、陰極805から電子が発光層803Bに注入され輸送されることにより外部回路に電流I0が流れる。そして発光層803B内で正孔と電子が再結合することによって発光層803B内で励起状態が生成され、外部に発光L0が取り出される。 FIG. 16 is a schematic diagram of energy levels when an external electric field is applied to an organic EL element having a non-tandem structure. The figure shows the energy level when the anode 802 is positive and the cathode 805 is negative, and a voltage higher than the emission start voltage is applied. According to the external voltage V 0 , holes from the anode 802 and electrons from the cathode 805 are injected and transported into the light emitting layer 803B, whereby a current I 0 flows in the external circuit. Then, holes and electrons recombine in the light emitting layer 803B to generate an excited state in the light emitting layer 803B, and the emitted light L 0 is extracted to the outside.

図17は、直列接続された2つの非タンデム構造の有機EL素子が直流電圧源に接続された図である。同図では、有機EL素子810−1の陰極805−1と有機EL素子810−2の陽極802−2とが短絡接続され、直流電圧源901が接続されている。ここでも、発光ユニット803については、その構成要素である発光層803Bは単層からなるとする。   FIG. 17 is a diagram in which two non-tandem organic EL elements connected in series are connected to a DC voltage source. In the figure, the cathode 805-1 of the organic EL element 810-1 and the anode 802-2 of the organic EL element 810-2 are short-circuited and a DC voltage source 901 is connected. Again, regarding the light emitting unit 803, the light emitting layer 803B which is a component thereof is assumed to be a single layer.

図18は、直列接続された2つの非タンデム構造の有機EL素子が電源接続されていない場合のエネルギー準位の模式図である。同図には、図14と同様に、各層の仕事関数あるいはHOMO、LUMOのエネルギー準位が、模式的に示されている。   FIG. 18 is a schematic diagram of energy levels when two non-tandem organic EL elements connected in series are not connected to a power source. In the same figure, similarly to FIG. 14, the work function of each layer or the energy level of HOMO and LUMO is schematically shown.

図19は、直列接続された2つの非タンデム構造の有機EL素子が短絡接続された場合のエネルギー準位の模式図である。図15と同様に、陽極802と陰極805とが短絡された状態、つまりV=0で外部回路が駆動された場合のエネルギー図である。導線を介して接触された陽極802と陰極805とは、図15と同様にエネルギー準位をそろえる。また、図15と同様に、発光層803B−1および発光層803B−2へは陽極802と陰極805との仕事関数の差分に対応した内蔵電位V0が印加される。 FIG. 19 is a schematic diagram of energy levels when two non-tandem organic EL elements connected in series are short-circuited. FIG. 16 is an energy diagram when the anode 802 and the cathode 805 are short-circuited, that is, when an external circuit is driven with V = 0, similarly to FIG. 15. The anode 802 and the cathode 805 which are in contact with each other through the conductive wires have the same energy level as in FIG. Similarly to FIG. 15, the built-in potential V 0 corresponding to the work function difference between the anode 802 and the cathode 805 is applied to the light emitting layer 803B-1 and the light emitting layer 803B-2.

図20は、直列接続された2つの非タンデム構造の有機EL素子に外部電界が印加された場合のエネルギー準位の模式図である。同図では、陽極802−1が正、陰極805−2が負となり発光開始電圧以上の電圧が印加された場合のエネルギー準位が示されている。有機EL素子810−1および有機EL素子810−2は直列に接続されているので、電流値I0を流すために必要な電圧は2V0となるが、発光の合計は2L0となる。 FIG. 20 is a schematic diagram of energy levels when an external electric field is applied to two non-tandem organic EL elements connected in series. In the figure, the energy level is shown when the anode 802-1 is positive and the cathode 805-2 is negative, and a voltage higher than the emission start voltage is applied. Since the organic EL element 810-1 and the organic EL element 810-2 are connected in series, the voltage required to pass the current value I 0 is 2V 0 , but the total light emission is 2L 0 .

図21は、発光ユニット界面層を備えるタンデム構造の有機EL素子が直流電圧源に接続された図である。同図では、2つの発光ユニット(発光層)803B−1と803B−2とが、n型界面層804Aおよびp型界面層804Bの2層からなる発光ユニット界面層804を介して直列に接続されたタンデム型有機EL素子820が、直流電圧源901に接続されている。この従来例では、発光ユニット(発光層)803B−1と803B−2とは、発光層803Bを示す。   FIG. 21 is a diagram in which an organic EL element having a tandem structure including a light emitting unit interface layer is connected to a DC voltage source. In the figure, two light emitting units (light emitting layers) 803B-1 and 803B-2 are connected in series via a light emitting unit interface layer 804 composed of two layers, an n-type interface layer 804A and a p-type interface layer 804B. The tandem organic EL element 820 is connected to the DC voltage source 901. In this conventional example, light emitting units (light emitting layers) 803B-1 and 803B-2 indicate a light emitting layer 803B.

図22は、発光ユニット界面層を備えるタンデム構造の有機EL素子が電源接続されていない場合のエネルギー準位の模式図である。同図には、図14と同様に、各層の仕事関数あるいはHOMO、LUMOのエネルギー準位が、模式的に示されている。ここで、図17に記載された2つの非タンデム構造の有機EL素子の場合と比較しやすくするため、n型界面層804Aの電子伝導準位およびp型界面層804Bの正孔伝導準位は、それぞれ陽極802および陰極805のエネルギー準位と等しいとする。   FIG. 22 is a schematic diagram of energy levels when an organic EL element having a tandem structure including a light emitting unit interface layer is not connected to a power source. In the same figure, similarly to FIG. 14, the work function of each layer or the energy level of HOMO and LUMO is schematically shown. Here, for easy comparison with the case of the two non-tandem organic EL elements shown in FIG. 17, the electron conduction level of the n-type interface layer 804A and the hole conduction level of the p-type interface layer 804B are: , And the energy levels of the anode 802 and the cathode 805, respectively.

図23は、発光ユニット界面層を備えるタンデム構造の有機EL素子が短絡接続された場合のエネルギー準位の模式図である。図15と同様に、陽極802と陰極805とが短絡された状態、つまりV=0で外部回路が駆動された場合のエネルギー図である。陽極802と陰極805は図15と同様にエネルギー準位をそろえる。また、n型界面層804Aおよびp型界面層804Bとはエネルギー準位をそろえようとするが、一般的には完全に揃わず、このエネルギー差ΔVは過剰電圧となって素子の駆動電圧に加算されることに
なる。これは、発光ユニット界面層804には透明性が求められ、光の反射あるいは吸収が大きい金属材料が用いられることが困難なことから、材料制限による注入障壁が存在するためと考えられている。
FIG. 23 is a schematic diagram of energy levels when an organic EL element having a tandem structure including a light emitting unit interface layer is short-circuited. FIG. 16 is an energy diagram when the anode 802 and the cathode 805 are short-circuited, that is, when an external circuit is driven with V = 0, similarly to FIG. 15. The anode 802 and the cathode 805 have the same energy level as in FIG. In addition, the n-type interface layer 804A and the p-type interface layer 804B try to have the same energy level, but generally they are not perfectly aligned, and this energy difference ΔV becomes an excessive voltage and is added to the drive voltage of the device. Will be. This is presumably because the light emitting unit interface layer 804 is required to be transparent, and it is difficult to use a metal material having a large amount of light reflection or absorption, and therefore there is an injection barrier due to material limitations.

図24は、発光ユニット界面層を備えるタンデム構造の有機EL素子に外部電界が印加された場合のエネルギー準位の模式図である。同図では、陽極802が正、陰極805が負となり発光開始電圧以上の電圧が印加された場合のエネルギー準位が示されている。発光ユニット(発光層)803B−1と803B−2は直列的に接続されているため、電流値I0を流すために必要な電圧は2V0+ΔVとなるが、発光の合計は2L0となる。 FIG. 24 is a schematic diagram of energy levels when an external electric field is applied to an organic EL element having a tandem structure including a light emitting unit interface layer. The figure shows the energy level when the anode 802 is positive and the cathode 805 is negative, and a voltage higher than the emission start voltage is applied. Since the light-emitting units (light-emitting layers) 803B-1 and 803B-2 are connected in series, the voltage required to flow the current value I 0 is 2V 0 + ΔV, but the total light emission is 2L 0. .

また、積層数がn個であるタンデム構造の有機EL素子も上述した積層数が2つの場合と同様に考えることが出来る。従って、同種の発光ユニットがn個積層されたタンデム構造の有機EL素子が作製された場合、一定輝度L0を得るために必要な電流値は、約I0/nになる。即ち、一定輝度を得るために要する電流量が小さくてすむため、前述した素子寿命を向上させるための第3の方策が実行されることとなり、寿命は大きく向上する。 An organic EL element having a tandem structure in which the number of stacked layers is n can be considered in the same manner as in the case where the number of stacked layers is two. Therefore, when an organic EL element having a tandem structure in which n light emitting units of the same kind are stacked, a current value necessary to obtain a constant luminance L 0 is about I 0 / n. That is, since the amount of current required to obtain a constant luminance is small, the third policy for improving the element lifetime described above is executed, and the lifetime is greatly improved.

各発光ユニットに流れる電流値が2分の1、3分の1になったときの寿命の向上は、単に2倍あるいは3倍ではなく、それ以上に向上する。一例として非特許文献4には、輝度の1.7乗に反比例して有機EL素子の半減寿命が向上することが報告されている。これは、輝度が2分の1で有機EL素子の半減寿命は3.2倍程度伸び、輝度の3分の1で有機EL素子の半減寿命は6.5倍程度伸びることを示唆する。   When the value of the current flowing through each light emitting unit is reduced to one half or one third, the improvement of the lifetime is not simply doubled or tripled, but more than that. As an example, Non-Patent Document 4 reports that the half-life of an organic EL element is improved in inverse proportion to the luminance of 1.7. This suggests that the half-life of the organic EL element is extended by about 3.2 times at half the luminance and the half-life of the organic EL element is increased by about 6.5 times at one-third of the luminance.

また、n個の発光ユニットを積み重ねたタンデム構造の有機EL素子の電流値は、1個の発光ユニットからなる有機EL素子と比較してn分の1となるが、同じ電流値を得るための電圧は一般にn倍以上となる。したがって、タンデム構造の有機EL素子は、消費電力においては非タンデム構造の有機EL素子と同程度である。タンデム構造のメリットは、必要な電流値を小さくできるために、外部回路への負担が小さいこと、また、電流値が小さいために寿命が向上することである。
M. Popeら、Journal of Chemical Physics、1963年、38号、p.2042−2043 C. W. Tang及びS. A. Vanslyke、Applied Physcs Letters、1987年、51号、p.913−915 J. H. Burroughesら、Nature、1990年、347号、p.539−541 C. Feryら、Applied Physics Letters、2005年、87号、213502 白川英樹、高分子、1988年、37号、p.518 ティーエーケミカル株式会社ホームページ、インターネット〈URL:http://www.ta-chemi.jp/PEDOT.html〉 特開平11−329748号公報 特開2003−272860号公報 特開2005−166637号公報
In addition, the current value of an organic EL element having a tandem structure in which n light emitting units are stacked is 1 / n compared to an organic EL element composed of one light emitting unit. The voltage is generally n times or more. Therefore, the organic EL element having a tandem structure is comparable in power consumption to the organic EL element having a non-tandem structure. The advantage of the tandem structure is that the required current value can be reduced, so that the burden on the external circuit is small, and the lifetime is improved because the current value is small.
M. Pope et al., Journal of Chemical Physics, 1963, 38, p.2042-2043. CW Tang and SA Vanslyke, Applied Physcs Letters, 1987, 51, p. 913-915 JH Burroughes et al., Nature, 1990, No. 347, p. 539-541 C. Fery et al., Applied Physics Letters, 2005, 87, 213502. Hideki Shirakawa, Polymer, 1988, No. 37, p. 518 TEA Chemical Co., Ltd. website, Internet <URL: http://www.ta-chemi.jp/PEDOT.html> Japanese Patent Laid-Open No. 11-329748 JP 2003-272860 A Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-166737

以上のように、タンデム型構造を有する有機EL素子は、長寿命化という大きなメリットを有する反面、図23に記載された過剰電圧ΔVの制御が大きな課題となる。上述した
ように、ΔVは発光ユニット界面層における電圧降下であり、電流値I0を確保するため
に必要な電圧V0に加算される電圧であり、消費電力の低減の妨げとなる。さらに、発光ユニット界面層は、陽極側の発光ユニットに電子を、また、陰極側の発光ユニットに正孔を注入する役割があり、そのためにそれぞれ適切なエネルギー準位を有する必要があるが、ΔVが電子や正孔の注入効率を低下させ結果的に発光効率向上の妨げとなる。
As described above, the organic EL element having the tandem structure has a great merit of extending the life, but the control of the excess voltage ΔV described in FIG. As described above, ΔV is a voltage drop in the light emitting unit interface layer, which is a voltage added to the voltage V 0 necessary for securing the current value I 0 , and hinders reduction in power consumption. Further, the light emitting unit interface layer has a role of injecting electrons into the light emitting unit on the anode side and holes into the light emitting unit on the cathode side. For this purpose, the light emitting unit interface layer needs to have an appropriate energy level. However, the injection efficiency of electrons and holes is lowered, and as a result, the improvement of the light emission efficiency is hindered.

上記観点から、低消費電力や高発光効率を特徴とするタンデム型有機EL素子を得るには、発光ユニット界面層が極めて重要であり、使用される材料や層構成の改良が要求されている。なお、発光ユニット界面層はその役割から「電荷発生層」あるいは「ホール電流−電子電流変換層」と呼ばれることもある(特許文献2及び特許文献3)。   From the above viewpoint, in order to obtain a tandem type organic EL device characterized by low power consumption and high light emission efficiency, the light emitting unit interface layer is extremely important, and improvement of materials used and layer configuration is required. The light emitting unit interface layer is sometimes called a “charge generation layer” or a “hole current-electron current conversion layer” due to its role (Patent Document 2 and Patent Document 3).

発光ユニット界面層に要求される代表的な条件として、発光ユニットからの発光に対して透明度が高いこと、製膜時に下層の有機層にダメージを与えないこと、過剰電圧ΔVが
小さいこと、及び、隣接する発光ユニットへ正孔および電子を効率的に注入できること、が挙げられる。
Typical conditions required for the light emitting unit interface layer are high transparency with respect to light emission from the light emitting unit, no damage to the underlying organic layer during film formation, low excess voltage ΔV, and The hole and the electron can be efficiently injected into the adjacent light emitting unit.

上記発光ユニット界面層に対する要求条件を満足するためのタンデム型有機EL素子の構造および製造方法として、以下のようなものが報告されている。   The followings have been reported as a structure and manufacturing method of a tandem organic EL element for satisfying the requirements for the light emitting unit interface layer.

特許文献1では、マグネシウム+銀合金薄膜/インジウム−錫酸化物あるいはインジウム−亜鉛酸化物が用いられている。この場合、マグネシウム・銀電極を超薄膜にして半透過電極にしているが、その吸収は無視できないので、発光が吸収されてしまい、電流効率が理論的に得られるべき積層数倍よりも小さい。また、インジウム−錫酸化物あるいはインジウム−亜鉛酸化物のスパッタダメージが懸念される。   In Patent Document 1, magnesium + silver alloy thin film / indium-tin oxide or indium-zinc oxide is used. In this case, the magnesium / silver electrode is formed as an ultra-thin film to form a semi-transmissive electrode, but the absorption is not negligible, so that the light emission is absorbed and the current efficiency is smaller than the number of layers that should be theoretically obtained. Moreover, there is a concern about sputtering damage of indium-tin oxide or indium-zinc oxide.

特許文献2では、nドープした電子輸送層/pドープした正孔輸送層あるいは金属酸化物の構成が開示されている。具体例としては、リチウムドープしたバソクプロイン/酸化バナジウム+NPDなどが挙げられている。   Patent Document 2 discloses a configuration of an n-doped electron transport layer / p-doped hole transport layer or a metal oxide. Specific examples include lithium-doped bathocuproine / vanadium oxide + NPD.

特許文献3では、特許文献2でのnドーパントとpドーパントとの間の望ましくない反応を回避するため、nドーパントを還元しうる金属層を挿入した構造が開示されている。   Patent Document 3 discloses a structure in which a metal layer capable of reducing the n dopant is inserted in order to avoid an undesirable reaction between the n dopant and the p dopant in Patent Document 2.

非特許文献6では、リチウムドープAlq層/塩化鉄(III)ドープNPDが用いられている。   In Non-Patent Document 6, lithium-doped Alq layer / iron (III) chloride-doped NPD is used.

これらは、金属や金属塩をドープしているので、金属やそのイオンの拡散による素子の劣化が問題となるものと考えられる。さらに、各層は共蒸着という真空プロセスで製膜される必要があるため、材料ロスが大きく、大面積化が制限されるといった点では生産性に課題があると考えられる。特に、発光ユニットを多数積層したタンデム型有機EL素子を作成する際には、(発光ユニットの数−1)層分だけ発光ユニット界面層が必要となり、その積層プロセスの生産性を高めることが素子全体の生産にとって重要である。   Since these are doped with a metal or a metal salt, it is considered that deterioration of the element due to diffusion of the metal or ions thereof becomes a problem. Furthermore, since each layer needs to be formed by a vacuum process called co-evaporation, there is a problem in productivity in that the material loss is large and the increase in area is limited. In particular, when producing a tandem organic EL element in which a large number of light emitting units are stacked, the number of light emitting unit interface layers is required for (number of light emitting units −1) layers, which increases the productivity of the stacking process. Important to the whole production.

一方、前述したように、導電性高分子有機材料は、上記無機材料や低分子有機材料と比較し、その高粘度性より印刷による湿式成膜が採用されるので、大がかりな真空装置を必要とせず、簡便な装置を用いて大面積成膜が実現される。   On the other hand, as described above, the conductive high molecular organic material employs wet film formation by printing because of its high viscosity compared to the above inorganic material and low molecular organic material, and therefore requires a large vacuum device. First, large area film formation is realized using a simple apparatus.

一般に導電性高分子は、発達したπ電子が比較的自由に動けることによって、無ドープ状態でも電導度を示すことが知られている。たとえば、シス型のポリアセチレン薄膜は10-9S/cmオーダー、トランス型のポリアセチレン薄膜は10-8S/cmオーダーの電導度を示す(非特許文献5)。 In general, it is known that a conductive polymer exhibits electrical conductivity even in an undoped state because a developed π electron can move relatively freely. For example, a cis-type polyacetylene thin film has a conductivity of the order of 10 −9 S / cm, and a trans-type polyacetylene thin film has a conductivity of the order of 10 −8 S / cm (Non-patent Document 5).

さらに自由電荷を与える目的でヨウ素や五フッ化ヒ素などのドーピングを行うことにより102〜105S/cmという非常に高い電導度を示す。別の例としては、ポリチオフェン誘導体が挙げられる。ポリ(3,4−エチレンジオキシ)チオフェンをポリスチレンスルホン酸でドーピングした薄膜は、400〜500S/cmの電導度を示す。一般に、電導度が高いほど、過剰電圧ΔVは低減されるので、ΔV低減という観点からは導電性高分子は有利な材料である。 Further, doping with iodine, arsenic pentafluoride, or the like for the purpose of giving a free charge shows a very high conductivity of 10 2 to 10 5 S / cm. Another example is a polythiophene derivative. A thin film doped with poly (3,4-ethylenedioxy) thiophene with polystyrene sulfonic acid exhibits a conductivity of 400 to 500 S / cm. In general, the higher the conductivity is, the more the excessive voltage ΔV is reduced. Therefore, the conductive polymer is an advantageous material from the viewpoint of reducing ΔV.

さらに、ポリ(3,4−エチレンジオキシ)チオフェンをポリスチレンスルホン酸でドーピングした薄膜は、12μmの膜厚以下で透過率90%という高い値を示す(非特許文献6)。加えて高分子量であるために、薄膜の形成し易さ、安定性にも優れる。   Furthermore, a thin film obtained by doping poly (3,4-ethylenedioxy) thiophene with polystyrene sulfonic acid exhibits a high value of 90% transmittance at a film thickness of 12 μm or less (Non-patent Document 6). In addition, since it has a high molecular weight, it is easy to form a thin film and has excellent stability.

上記特徴から、導電性高分子は、発光ユニットへ注入すべき正孔および電子を十分に有し、また、発光ユニットからの発光に対して透明度が高いという点では、タンデム型有機EL素子における発光ユニット界面層としての適合性を有している。   From the above characteristics, the conductive polymer has sufficient holes and electrons to be injected into the light emitting unit, and has high transparency with respect to the light emitted from the light emitting unit, so that the light emission in the tandem organic EL element is achieved. It has compatibility as a unit interface layer.

従って、湿式成膜法により製造されたタンデム構造を有する導電性高分子有機EL素子は、低分子化合物や金属薄膜、無機導電膜、無機半導体膜を用いる発光ユニット界面層よりも、長寿命化、大面積化、高生産性といった優位性を有する可能性は高いと考えられる。   Therefore, the conductive polymer organic EL element having a tandem structure manufactured by a wet film formation method has a longer life than a light emitting unit interface layer using a low molecular compound, a metal thin film, an inorganic conductive film, or an inorganic semiconductor film. The possibility of having advantages such as large area and high productivity is considered high.

しかしながら、湿式成膜法によるタンデム型導電性高分子有機EL素子は、積層界面の制御が困難であるため、理論通りに過剰電圧ΔVが低減されない。よって、導電性有機高
分子を発光界面ユニットに用いたことによる消費電力の低減や湿式成膜ならではの高い生産性が発揮されないという課題がある。
However, in the tandem conductive polymer organic EL element by the wet film formation method, it is difficult to control the laminated interface, and thus the excessive voltage ΔV is not reduced as theoretically. Therefore, there is a problem that power consumption is reduced due to the use of the conductive organic polymer in the light emitting interface unit, and high productivity unique to wet film formation is not exhibited.

上記課題に鑑み、本発明は、タンデム構造を有する導電性高分子有機EL素子の消費電力を低減し、生産性を大きく向上させることにより、素子寿命に優れるとともに安価な有機EL素子およびその製造方法を提供することを目的とする。   In view of the above problems, the present invention reduces the power consumption of a conductive polymer organic EL element having a tandem structure and greatly improves the productivity, thereby providing an organic EL element that is excellent in element lifetime and inexpensive and a method for manufacturing the same The purpose is to provide.

上記目的を達成するために、本願発明にかかる有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法は、有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法であって、基板上に第1電極を形成する第1電極形成ステップと、前記第1電極の表面に、少なくとも1層の第1有機発光層を有する第1発光ユニットを形成する第1発光ユニット形成ステップと、前記第1発光ユニットの表面に、分子量1000以上の導電性有機高分子を含む前駆体を湿式製膜法により製膜する第1界面層製膜ステップと、前記湿式製膜法により製膜された前駆体を架橋反応させることで少なくとも表面が分子間又は分子内架橋された発光ユニット界面層を形成する第1界面層架橋ステップと、前記発光ユニット界面層の表面に、少なくとも1層の第2有機発光層を備える第2発光ユニットを形成する第2発光ユニット形成ステップと、前記第2発光ユニットの上に、第2電極を形成する第2電極形成ステップとを含むことを特徴とする。   In order to achieve the above object, a method for manufacturing an organic electroluminescent element according to the present invention is a method for manufacturing an organic electroluminescent element, comprising: a first electrode forming step of forming a first electrode on a substrate; A first light emitting unit forming step of forming a first light emitting unit having at least one first organic light emitting layer on the surface of one electrode; and a conductive organic polymer having a molecular weight of 1000 or more on the surface of the first light emitting unit. A first interfacial layer film forming step for forming a precursor containing a precursor by a wet film forming method, and at least the surface is intermolecularly or intramolecularly crosslinked by cross-linking the precursor formed by the wet film forming method. A first interface layer bridging step for forming the light emitting unit interface layer, and a second organic light emitting layer comprising at least one second organic light emitting layer on the surface of the light emitting unit interface layer. A second light emitting unit formation step of forming a light unit, on the second light-emitting unit, characterized in that it comprises a second electrode forming step of forming a second electrode.

これにより、過剰電圧ΔVの低減に貢献する導電性有機高分子が発光ユニット界面層と
して使用され、しかも、当該発光ユニット界面層の少なくとも表面は架橋反応により架橋構造を有するので、発光ユニット界面層が不溶化され他層への溶出や拡散が発生しない。よって、発光ユニット界面層のエネルギー準位が安定化し、発光層への効率よいキャリア注入が実現されるとともに、歩留まり向上に伴う生産性の向上が図られる。
As a result, the conductive organic polymer that contributes to the reduction of the excess voltage ΔV is used as the light emitting unit interface layer, and at least the surface of the light emitting unit interface layer has a cross-linked structure by a cross-linking reaction. It is insolubilized and does not dissolve or diffuse into other layers. Therefore, the energy level of the light emitting unit interface layer is stabilized, efficient carrier injection into the light emitting layer is realized, and productivity is improved as the yield is improved.

また、前記第1発光ユニット形成ステップでは、分子量1000以上の導電性有機高分子を含む前駆体を湿式製膜法により製膜する第1発光層製膜ステップと、前記湿式製膜法により製膜された前駆体を架橋反応させることで少なくとも表面が分子間又は分子内架橋された前記第1有機発光層を形成する第1発光層架橋ステップとを含むことが好ましい。   In the first light emitting unit forming step, a first light emitting layer forming step of forming a precursor containing a conductive organic polymer having a molecular weight of 1000 or more by a wet film forming method, and a film forming by the wet film forming method. It is preferable to include a first light-emitting layer cross-linking step of forming the first organic light-emitting layer having at least a surface cross-molecularly or intramolecularly cross-linked by cross-linking the formed precursor.

これにより、発光ユニット界面層の上層との界面だけでなく、下層との界面においても不溶化されるので、発光層へのキャリア注入効率及び生産性の向上が加速化される。   This insolubilizes not only at the interface with the upper layer of the light emitting unit interface layer but also at the interface with the lower layer, thereby accelerating the carrier injection efficiency and productivity in the light emitting layer.

また、前記第1界面層架橋ステップでは、前記発光ユニット界面層は一導電型であり、さらに、前記第1界面層架橋ステップの後、かつ、前記第2発光ユニット形成ステップの前に、前記一導電型の発光ユニット界面層の表面に、分子量1000以上の導電性有機高分子を含む前駆体を湿式製膜法により製膜する第2界面層製膜ステップと、前記湿式製膜法により製膜された前駆体を架橋反応させることで少なくとも表面が分子間又は分子内架橋された逆導電型の発光ユニット界面層を形成する第2界面層架橋ステップとを含むことが好ましい。   In the first interface layer bridging step, the light emitting unit interface layer is of one conductivity type, and further after the first interface layer bridging step and before the second light emitting unit forming step, A second interface layer forming step of forming a precursor containing a conductive organic polymer having a molecular weight of 1000 or more on the surface of the conductive light emitting unit interface layer by a wet film forming method, and forming a film by the wet film forming method It is preferable to include a second interfacial layer cross-linking step of forming a reverse conductivity type light emitting unit interfacial layer in which at least the surface is intermolecularly or intramolecularly cross-linked by performing a cross-linking reaction of the precursor.

これにより、正電圧が印加される陽極方向にはn型の導電性有機高分子層から電子が、また、負電圧が印加される陰極方向にはp型の導電性有機高分子層から正孔がそれぞれ隣接する発光ユニットに対して注入される。また、発光ユニット界面層の有する各層の界面は全て架橋反応による架橋構造を有しているので、当該各層は不溶化され他層への溶出や拡散が発生しない。よって、過剰電圧ΔVの低減に伴う低消費電力化が実現されるととも
に、発光ユニットへの高効率なキャリア注入による発光効率の向上が図られる。
Thus, electrons from the n-type conductive organic polymer layer are applied in the anode direction to which a positive voltage is applied, and holes are transmitted from the p-type conductive organic polymer layer in the cathode direction to which a negative voltage is applied. Are injected into each adjacent light emitting unit. Further, since the interfaces of the layers of the light emitting unit interface layer all have a crosslinked structure due to a crosslinking reaction, the respective layers are insolubilized, and elution and diffusion to other layers do not occur. Therefore, power consumption can be reduced along with the reduction of the excess voltage ΔV, and light emission efficiency can be improved by highly efficient carrier injection into the light emitting unit.

また、前記第1電極と前記第2電極との間に形成された、有機物で形成された層は、前記湿式製膜法により形成されることが好ましい。   Moreover, it is preferable that the layer formed with the organic substance formed between the first electrode and the second electrode is formed by the wet film forming method.

これにより、両電極に挟まれた有機物で形成された層が、湿式製膜法により一貫形成される。よって材料ロスの低減や大面積化が可能となり、生産性の向上が図られる。   Thereby, the layer formed with the organic substance pinched | interposed between both electrodes is consistently formed by the wet film forming method. Therefore, material loss can be reduced and the area can be increased, and productivity can be improved.

また、前記有機物で形成された層が各々形成されるたびに、当該有機物で形成された層の少なくとも表面を架橋反応させることが好ましい。   Moreover, it is preferable to carry out a crosslinking reaction at least on the surface of the layer formed of the organic material each time the layer formed of the organic material is formed.

これにより、湿式製膜法により一貫形成された各有機物で形成された層の界面が不溶化されるので、隣接する界面への溶出や拡散が発生しない。よって、各層の膜質が均一化されるとともに歩留まり向上に伴う生産性の向上が図られる。   This insolubilizes the interface of the layer formed of each organic material that is consistently formed by the wet film forming method, so that elution or diffusion to the adjacent interface does not occur. Therefore, the film quality of each layer is made uniform, and the productivity is improved as the yield is improved.

また、前記湿式製膜法による製膜は、含水濃度及び含酸素濃度がいずれも1000ppm以下である不活性ガスの雰囲気下で、前記導電性有機高分子を含む前駆体を分散又は溶解させた溶液を噴霧、塗布、または印刷することにより実施され、前記溶液は含水濃度及び含酸素濃度がいずれも1000ppm以下であることが好ましい。   The film formation by the wet film formation method is a solution in which a precursor containing the conductive organic polymer is dispersed or dissolved in an atmosphere of an inert gas having a water content concentration and an oxygen content concentration of 1000 ppm or less. The solution is preferably sprayed, applied, or printed, and the solution preferably has a water content and oxygen content of 1000 ppm or less.

これにより、発光ユニット界面層であるn型の導電性有機高分子層またはp型の導電性有機高分子層のドーパントが、溶媒および環境中に存在する水や酸素により劣化することが回避されるので、生産効率と素子寿命に優れた有機EL素子を得ることが可能となる。   Thereby, it is avoided that the dopant of the n-type conductive organic polymer layer or p-type conductive organic polymer layer which is the light emitting unit interface layer is deteriorated by water or oxygen present in the solvent and the environment. Therefore, it becomes possible to obtain an organic EL element excellent in production efficiency and element life.

また、前記架橋反応では、前記基板の温度を100℃以上に保持することにより前記前駆体の表面を分子間又は分子内架橋させることが好ましい。   In the cross-linking reaction, it is preferable that the surface of the precursor is cross-linked between molecules or intra-molecularly by keeping the temperature of the substrate at 100 ° C. or higher.

これにより、熱エネルギーによる架橋反応が層全体にわたって促進する。よって、層表面だけでなく、裏面においても隣接する層への溶出が回避される。また、安価な加熱装置により架橋反応を実行することが可能となる。   Thereby, the cross-linking reaction by thermal energy is promoted over the entire layer. Therefore, elution to an adjacent layer is avoided not only on the layer surface but also on the back surface. Moreover, it becomes possible to perform a crosslinking reaction with an inexpensive heating apparatus.

また、前記架橋反応では、波長が200ないし450nmの紫外光を、10ないし1000Wの照射パワーで、かつ、1ないし600秒の照射時間で照射することにより前記前駆体の表面を分子間又は分子内架橋させてもよい。   In the crosslinking reaction, the surface of the precursor is intermolecularly or intramolecularly irradiated by irradiating ultraviolet light having a wavelength of 200 to 450 nm with an irradiation power of 10 to 1000 W and an irradiation time of 1 to 600 seconds. It may be cross-linked.

これにより、光エネルギーによる架橋反応が促進する。また、波長、照射パワー、又は照射時間の調整により、最表面のみを架橋反応させることも可能である。よって、架橋反応の促進による有機発光体自体の構造変化や変質などが発生しにくい。また、架橋反応の対象となる膜の上部から光を照射することにより、既に形成された他層への過剰な熱付加などが回避されるので他層の膜質の変質が生じない。よって、歩留まり向上に伴う生産性の安定化が図られる。   Thereby, the crosslinking reaction by light energy accelerates. It is also possible to cause only the outermost surface to undergo a crosslinking reaction by adjusting the wavelength, irradiation power, or irradiation time. Therefore, the structural change or alteration of the organic light-emitting body itself due to the promotion of the crosslinking reaction hardly occurs. Further, by irradiating light from the upper part of the film to be subjected to the cross-linking reaction, excessive heat addition to the already formed other layer is avoided, so that the film quality of the other layer does not change. Therefore, the productivity can be stabilized with the yield improvement.

また、前記導電性有機高分子を含む前駆体は、熱あるいは光エネルギーによって分子間あるいは分子内架橋する置換基を導入した導電性高分子を含んでもよい。   The precursor containing the conductive organic polymer may include a conductive polymer into which a substituent that crosslinks between molecules or within a molecule by heat or light energy is introduced.

これにより、キャリアを生成する有機体や発光する有機体自体が架橋反応することができる。よって、架橋反応のみを目的とした有機体を混合する必要がないので、混合物の少ない材料を使用した簡便で安価な生産を実現することが可能となる。   Thereby, the organic substance which produces | generates a carrier and the organic substance which light-emits itself can carry out a crosslinking reaction. Therefore, since it is not necessary to mix organic substances for the purpose of only the crosslinking reaction, it is possible to realize simple and inexpensive production using a material with little mixture.

また、上記目的を達成するために、本願発明にかかる有機エレクトロルミネッセンス素子は、基板と、基板上に形成された第1電極と、前記第1電極の表面に形成され、キャリアの注入により発光する、少なくとも1層の第1有機発光層を備える第1発光ユニットと、前記第1発光ユニットの表面に分子量1000以上の導電性有機高分子で形成され、有機発光層にキャリアを供給する発光ユニット界面層と、前記発光ユニット界面層の表面に形成され、キャリアの注入により発光する、少なくとも1層の第2有機発光層を備える第2発光ユニットと、前記第2発光ユニットの上に形成された第2電極とを備え、前記発光ユニット界面層は、湿式製膜法により製膜された前記導電性有機高分子の前駆体が架橋反応することにより、少なくともそれぞれの表面が分子間又は分子内架橋されたp型の導電性有機高分子層とn型の導電性有機高分子層とを備えることを特徴とする。   In order to achieve the above object, an organic electroluminescence element according to the present invention is formed on a substrate, a first electrode formed on the substrate, and a surface of the first electrode, and emits light by injecting carriers. A first light-emitting unit comprising at least one first organic light-emitting layer, and a light-emitting unit interface formed of a conductive organic polymer having a molecular weight of 1000 or more on the surface of the first light-emitting unit and supplying carriers to the organic light-emitting layer A second light-emitting unit including at least one second organic light-emitting layer that is formed on the surface of the light-emitting unit interface layer and emits light by carrier injection; and a second light-emitting unit formed on the second light-emitting unit. The light-emitting unit interface layer includes at least a cross-linking reaction of the conductive organic polymer precursor formed by a wet film formation method. Surface respectively is characterized in that it comprises a intermolecular or intramolecular crosslinked p-type conductive organic polymer layer and the n-type conductive organic polymer layer.

これにより、過剰電圧ΔVの低減に貢献する導電性有機高分子で構成された発光ユニッ
ト界面層が、架橋反応により架橋構造を有するので、当該発光ユニット界面層は不溶化され他層への溶出や拡散が発生しない。よって、過剰電圧ΔVの低減に伴う低消費電力化が
実現されるとともに、発光ユニットへの高効率なキャリア注入による発光効率の向上が図られ、歩留まり向上に伴う生産性の向上が図られる。
As a result, the light emitting unit interface layer composed of the conductive organic polymer that contributes to the reduction of excess voltage ΔV has a cross-linked structure due to the cross-linking reaction, so that the light emitting unit interface layer is insolubilized and eluted or diffused into other layers. Does not occur. Therefore, low power consumption accompanying reduction of excess voltage ΔV is realized, and light emission efficiency is improved by highly efficient carrier injection into the light emitting unit, and productivity is improved along with yield improvement.

本発明の有機EL素子およびその製造方法によれば、タンデム構造を有する導電性高分子有機EL素子の消費電力が低減され、生産性が大きく向上するので、素子寿命に優れるとともに安価な導電性高分子有機EL素子およびその製造方法を提供することができる。   According to the organic EL element and the manufacturing method thereof of the present invention, the power consumption of the conductive polymer organic EL element having a tandem structure is reduced and the productivity is greatly improved. A molecular organic EL device and a method for producing the same can be provided.

本実施の形態における有機エレクトロルミネッセンス素子(以下、有機EL素子と記す)は、タンデム型構造を有し、湿式製膜された導電性高分子前駆体の表面又は全体が分子間又は分子内架橋されたp型導電性有機高分子層及びn型導電性有機高分子層を、複数の発光ユニット層の間に備える。   The organic electroluminescence element in the present embodiment (hereinafter referred to as an organic EL element) has a tandem structure, and the surface or the whole of the wet-formed conductive polymer precursor is intermolecularly or intramolecularly crosslinked. The p-type conductive organic polymer layer and the n-type conductive organic polymer layer are provided between the plurality of light emitting unit layers.

これにより、高導電性を有したp型導電性有機高分子層とn型導電性有機高分子層とが不溶化され、他層への溶出や拡散が発生しないので、高導電性に起因した過剰電圧ΔVの
低減による高発光効率および低消費電力が実現され、併せて、湿式製膜による生産性の向上が達成される。
As a result, the p-type conductive organic polymer layer and the n-type conductive organic polymer layer having high conductivity are insolubilized, and elution and diffusion to other layers do not occur. High luminous efficiency and low power consumption are realized by reducing the voltage ΔV, and productivity is improved by wet film formation.

以下本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図1は、本発明の実施の形態におけるタンデム型有機EL素子の構造断面図である。   FIG. 1 is a structural cross-sectional view of a tandem organic EL element in an embodiment of the present invention.

同図におけるタンデム型有機EL素子1は、基板10と、陽極20と、n個の発光ユニット30−1、30−2、・・・及び30−nと、(n−1)個の発光ユニット界面層40−1、40−2、・・・及び40−(n−1)と、陰極50とを備える。   The tandem organic EL element 1 in FIG. 1 includes a substrate 10, an anode 20, n light emitting units 30-1, 30-2,..., 30 -n, and (n−1) light emitting units. Interface layers 40-1, 40-2,..., And 40- (n-1), and a cathode 50 are provided.

基板10は、基板側から発光を取り出す場合、有機ELの発光に対して透過率が高いことが必要である。材料としては、例えば、ガラス基板、石英基板などが用いられる。また、ポリエチレンテレフタレート、ポリエーテルサルホンなどのプラスチック基板が用いられることにより、有機EL全体に曲げ性を付与することもできる。一方、基板と逆側から発光を取り出す場合、基板の透明性は必要でなく、不透明プラスチック基板や金属基板が用いられてもよい。さらに、基板上に有機ELを駆動するための金属配線やトランジスタ回路が形成されていてもよい。   The substrate 10 needs to have a high transmittance with respect to the light emission of the organic EL when the light emission is taken out from the substrate side. As the material, for example, a glass substrate or a quartz substrate is used. Further, by using a plastic substrate such as polyethylene terephthalate or polyethersulfone, it is possible to impart bendability to the entire organic EL. On the other hand, when light emission is extracted from the side opposite to the substrate, the substrate need not be transparent, and an opaque plastic substrate or a metal substrate may be used. Furthermore, a metal wiring or a transistor circuit for driving the organic EL may be formed on the substrate.

陽極20は、基板10の表面に形成され、n個の発光ユニット30−1、30−2、・・・30−n及び(n−1)個の発光ユニット界面層40−1、40−2、・・・40−(n−1)に正の外部電圧を印加する。これにより、陽極20から正孔がn個の発光ユニット30−1、30−2、・・・30−nに注入される。そしてn個の発光ユニット30−1、30−2、・・・30−n内において、正孔と、後述する電子が再結合することによってn個の発光ユニット30−1、30−2、・・・30−n内で励起状態が生成され、外部に発光が取り出される。また、陽極20は、素子内部で発光した光を外部に取り出す側の電極であった場合、その光に対して透明であることが必要である。透明電極材料としては、例えば、インジウム−錫酸化物電極、インジウム−亜鉛酸化物電極などが挙げられる。一方、光を取り出す側の電極でない場合、金属あるいは合金が用いられてもよい。電極は、一層で形成されていても良いし、多層で形成されていても良い。   The anode 20 is formed on the surface of the substrate 10, and n light emitting units 30-1, 30-2, ... 30-n and (n-1) light emitting unit interface layers 40-1, 40-2. ... A positive external voltage is applied to 40- (n-1). Thereby, holes are injected from the anode 20 into the n light emitting units 30-1, 30-2,... 30-n. Then, in the n light emitting units 30-1, 30-2,... 30-n, holes and electrons described later are recombined so that the n light emitting units 30-1, 30-2,. -An excited state is generated within 30-n, and light emission is extracted outside. Further, when the anode 20 is an electrode on the side from which light emitted inside the element is extracted, it is necessary for the anode 20 to be transparent to the light. Examples of the transparent electrode material include an indium-tin oxide electrode and an indium-zinc oxide electrode. On the other hand, when the electrode is not the light extraction side, a metal or an alloy may be used. The electrode may be formed of one layer or may be formed of multiple layers.

発光ユニット30−1は、陽極20の表面に形成され、少なくとも1つの発光層を含んでおり、正孔と電子が注入され再結合されることにより励起状態が生成され発光する機能を有する。   The light emitting unit 30-1 is formed on the surface of the anode 20, includes at least one light emitting layer, and has a function of emitting light by generating an excited state by injecting and recombining holes and electrons.

図2は、発光ユニットの構造断面図の一例である。同図における発光ユニット30は、基板側から、正孔輸送層301と、発光層302と、電子輸送層303とを備える。発光層302の材料としては、例えば、ポリフルオレン誘導体、ポリチオフェン誘導体、及びポリフェニレンビニレン誘導体などが挙げられる。ポリフェニレンビニレン誘導体としては、以下の式   FIG. 2 is an example of a structural sectional view of the light emitting unit. The light emitting unit 30 in the figure includes a hole transport layer 301, a light emitting layer 302, and an electron transport layer 303 from the substrate side. Examples of the material of the light-emitting layer 302 include polyfluorene derivatives, polythiophene derivatives, and polyphenylene vinylene derivatives. The polyphenylene vinylene derivative has the following formula:

Figure 2009152015
で表される化合物MEH−PPV(Poly(2−methoxy,5−(2’−ethyl−hexyloxy)−p−phenylenevinylene)が挙げられる。発光ユニット界面層40−1は、発光ユニット30−1の表面に形成され、発光ユニット30−1及び発光ユニット30−2にキャリアを供給する機能を有する。
Figure 2009152015
The compound MEH-PPV (Poly (2-methyoxy, 5- (2′-ethyl-hexyloxy) -p-phenylenevinylene)) is represented by the surface of the light emitting unit 30-1. And has a function of supplying a carrier to the light emitting unit 30-1 and the light emitting unit 30-2.

図3は、発光ユニット界面層の構造断面図の一例である。同図における発光ユニット界面層40は、n型発光ユニット界面層401と、その表面にp型発光ユニット界面層402とを備える。陽極側をn型(nドープ)導電性高分子層、陰極側をp型(pドープ)導電性高分子層にすることによって、発光ユニット層への正孔および電子の注入が容易になされるとともに、過剰電圧ΔVが低減され、効率的なタンデム構造の有機EL素子が得ら
れる。なお、2つの層は接触していてもよいが、その間に薄い金属層などを挟んでいてもよい。
FIG. 3 is an example of a structural cross-sectional view of the light emitting unit interface layer. The light emitting unit interface layer 40 in the figure includes an n-type light emitting unit interface layer 401 and a p-type light emitting unit interface layer 402 on the surface thereof. By making the anode side an n-type (n-doped) conductive polymer layer and the cathode side a p-type (p-doped) conductive polymer layer, holes and electrons can be easily injected into the light-emitting unit layer. At the same time, the excessive voltage ΔV is reduced, and an efficient organic EL element having a tandem structure is obtained. The two layers may be in contact with each other, but a thin metal layer or the like may be sandwiched between them.

n型発光ユニット界面層401及びp型発光ユニット界面層402は、1.0×10-8S/cm以上の電導度を有する分子量1000以上の導電性高分子層である。一般に、半導体特性を示す限界の電導度が10-8S/cmであり、これ以下の電導度では絶縁性となり、過剰電圧ΔVが小さいタンデム構造の有機EL素子を得ることが困難となる。導電性
高分子が高電導を有するにはπ共役の十分な広がりが重要であり、これには1000以上の分子量が必要である。加えて、湿式成膜法による薄膜の形成し易さ、安定性に優れるためには、高分子の有する高粘度性が必要であり、これには最低1000以上の分子量が必要であるためである。また、これらの高分子材料の層は、一般的に真空プロセスではなく、常圧での湿式製膜法が適用可能であり、発光ユニット界面層の生産性を向上させることができ、特に高分子有機EL素子作製法との相性がよい。
The n-type light emitting unit interface layer 401 and the p-type light emitting unit interface layer 402 are conductive polymer layers having a conductivity of 1.0 × 10 −8 S / cm or more and a molecular weight of 1000 or more. In general, the limit conductivity indicating semiconductor characteristics is 10 −8 S / cm, and if the conductivity is less than this, it becomes insulating, and it becomes difficult to obtain an organic EL element having a tandem structure with a small excess voltage ΔV. In order for a conductive polymer to have high conductivity, a sufficient spread of π conjugation is important, and this requires a molecular weight of 1000 or more. In addition, in order to be easy to form a thin film by a wet film formation method and excellent in stability, the high viscosity of the polymer is required, and this requires a molecular weight of at least 1000 or more. . In addition, these polymer material layers are generally not a vacuum process, but can be applied by a wet film formation method at normal pressure, which can improve the productivity of the interface layer of the light emitting unit. Good compatibility with organic EL device fabrication methods.

n型発光ユニット界面層401は、アニオンを生成するエネルギー準位すなわち、最低非占有分子軌道(LUMO)のエネルギー準位が真空準位に対して2.5eV〜4.5eVであることが好ましい。このエネルギー準位を満たすことにより、アニオン電荷が生じやすく電導度が高まることに加えて、隣接する発光ユニット30の電子輸送層303に電子が注入され易い効果が得られる。このエネルギー準位を満たす材料の候補としては、例えば、ポリチオフェン誘導体、ポリフェニレンビニレン誘導体、ポリアセチレン誘導体、あるいは窒素を含有する芳香族複素環を含む高分子が挙げられる。一例として、窒素を含有する芳香族複素環を含む高分子としては、以下の式   The n-type light emitting unit interface layer 401 preferably has an energy level for generating anions, that is, an energy level of the lowest unoccupied molecular orbital (LUMO) of 2.5 eV to 4.5 eV with respect to the vacuum level. By satisfying this energy level, an anion charge is likely to be generated and the conductivity is increased. In addition, an effect that electrons are easily injected into the electron transport layer 303 of the adjacent light emitting unit 30 is obtained. Examples of materials that satisfy this energy level include polythiophene derivatives, polyphenylene vinylene derivatives, polyacetylene derivatives, and polymers containing nitrogen-containing aromatic heterocycles. As an example, a polymer containing an aromatic heterocycle containing nitrogen has the following formula:

Figure 2009152015
で示されるようなポリフルオレンとベンゾチアジアゾールを共重合した高分子が挙げられる。また、ベンゾチアジアゾール以外の窒素を含有する芳香族複素環としては、例えば、ピリジン、ビピリジン、オキサジアゾール、トリアゾール、ベンゾアゾール、フェナントロリンなどが挙げられる。
Figure 2009152015
And a polymer obtained by copolymerizing polyfluorene and benzothiadiazole as shown in FIG. Examples of the aromatic heterocycle containing nitrogen other than benzothiadiazole include pyridine, bipyridine, oxadiazole, triazole, benzoazole, phenanthroline, and the like.

なお、上記高分子材料に、アルカリ金属、アルカリ土類金属、脂肪族4級アミン塩、アルカリ金属の有機錯体、アルカリ土類金属の有機錯体が混合されることが好ましい。これにより、n型発光ユニット界面層401内にアニオンが電荷として生成される。これらの有機錯体の配位子としては、例えば、アセテート、アセトアセテート、キノリンなどが挙げられる。このアニオンは可動であるために、導電性が飛躍的に向上し、発光ユニット30への電子の注入が容易になされるとともに、過剰電圧ΔVが低減される。   Note that an alkali metal, an alkaline earth metal, an aliphatic quaternary amine salt, an organic complex of an alkali metal, or an organic complex of an alkaline earth metal is preferably mixed with the polymer material. Thereby, anions are generated as electric charges in the n-type light emitting unit interface layer 401. Examples of the ligand of these organic complexes include acetate, acetoacetate, quinoline and the like. Since the anion is movable, the conductivity is dramatically improved, the injection of electrons into the light emitting unit 30 is facilitated, and the excessive voltage ΔV is reduced.

また、p型発光ユニット界面層402は、カチオンを生成するエネルギー準位すなわち、最高占有分子軌道(HOMO)のエネルギー準位が真空準位に対して4.8eV〜5.8eVであることが好ましい。このエネルギー準位を満たすことにより、カチオン電荷が生じやすく電導度が高まることに加えて、隣接する発光ユニットの正孔輸送層に正孔が注入され易い効果が得られる。このエネルギー準位を満たす材料の候補としては、例えば、ポリチオフェン誘導体、ポリアニリン誘導体、ポリアセチレン誘導体、ポリピロール誘導体、あるいは芳香族3級アミンを含む高分子が挙げられる。一例として、芳香族3級アミンを含む高分子としては、以下の式   The p-type light emitting unit interface layer 402 preferably has an energy level for generating a cation, that is, an energy level of the highest occupied molecular orbital (HOMO) of 4.8 eV to 5.8 eV with respect to the vacuum level. . By satisfying this energy level, an effect of easily injecting holes into the hole transporting layer of the adjacent light emitting unit can be obtained in addition to the increase in electric conductivity that is likely to generate cationic charges. Examples of materials that satisfy this energy level include polythiophene derivatives, polyaniline derivatives, polyacetylene derivatives, polypyrrole derivatives, and polymers containing aromatic tertiary amines. As an example, a polymer containing an aromatic tertiary amine may have the following formula:

Figure 2009152015
で示されるようなポリフルオレンとトリフェニルアミンを共重合した高分子が挙げられる。
Figure 2009152015
And a polymer obtained by copolymerizing polyfluorene and triphenylamine as shown in FIG.

なお、上記高分子材料に、金属酸化物、金属塩、ハロゲン、芳香族3級アミン塩、スルホン酸塩、カルボン酸塩が混合されることが好ましい。これにより、p型発光ユニット界面層402内にカチオンが電荷として生成される。このカチオンは可動であるために、導電性が飛躍的に向上し、発光ユニット30への正孔の注入が容易になされるとともに、過剰電圧ΔVが低減される。   Note that the polymer material is preferably mixed with a metal oxide, a metal salt, a halogen, an aromatic tertiary amine salt, a sulfonate, or a carboxylate. Thereby, cations are generated as charges in the p-type light emitting unit interface layer 402. Since the cation is movable, the conductivity is remarkably improved, holes are easily injected into the light emitting unit 30, and the excess voltage ΔV is reduced.

ここで、n型発光ユニット界面層401及びp型発光ユニット界面層402は、少なくとも表面に架橋構造を有している。架橋構造とは、高分子鎖が、末端以外の任意の位置で、互いに直接または数個の結合を介して化学的に連結してできた構造、もしくは環状有機物の環中の離れた2箇所をつないでできた構造をいう。   Here, the n-type light emitting unit interface layer 401 and the p-type light emitting unit interface layer 402 have a crosslinked structure on at least the surface. A crosslinked structure is a structure in which polymer chains are chemically linked to each other directly or through several bonds at any position other than the end, or two distant locations in the ring of a cyclic organic substance. A connected structure.

表面に架橋構造を有するn型発光ユニット界面層401及びp型発光ユニット界面層402は、各層内での分子結合が強化されるため、その表面上に形成された他の積層膜への溶出や拡散、もしくは当該積層膜からの不純物侵入を防止する機能をもつ。従って、n型発光ユニット界面層401及びp型発光ユニット界面層402のエネルギー準位はその界面状態により変動しない。よって、発光ユニット界面層40に、上述した導電性高分子を採用したことによる過剰電圧ΔVの低減効果が、界面状態の影響を受けない。   The n-type light-emitting unit interface layer 401 and the p-type light-emitting unit interface layer 402 having a crosslinked structure on the surface have enhanced molecular bonds in each layer, so that elution to other laminated films formed on the surface It has a function of preventing diffusion or impurity intrusion from the laminated film. Therefore, the energy levels of the n-type light emitting unit interface layer 401 and the p-type light emitting unit interface layer 402 do not vary depending on the interface state. Therefore, the effect of reducing the excess voltage ΔV due to the adoption of the above-described conductive polymer in the light emitting unit interface layer 40 is not affected by the interface state.

発光ユニット30−k(kは2〜nの自然数)は、発光ユニット界面層40−(k−1)の表面に形成され、少なくとも1つの発光層を含んでおり、正孔と電子が注入され再結合されることにより励起状態が生成され、発光する機能を有する。なお、発光ユニット30−kの層構成及び材料は、前述した発光ユニット30−1と同様である。   The light emitting unit 30-k (k is a natural number of 2 to n) is formed on the surface of the light emitting unit interface layer 40- (k-1), includes at least one light emitting layer, and holes and electrons are injected. By being recombined, an excited state is generated and has a function of emitting light. The layer configuration and material of the light emitting unit 30-k are the same as those of the light emitting unit 30-1.

発光ユニット界面層40−k(kは2〜nの自然数)は、発光ユニット30−kの表面に形成され、発光ユニット30−k及び発光ユニット30−(k+1)にキャリアを供給する機能を有する。なお、発光ユニット界面層40−kの層構成及び材料は、前述した発光ユニット40−1と同様である。   The light emitting unit interface layer 40-k (k is a natural number of 2 to n) is formed on the surface of the light emitting unit 30-k and has a function of supplying carriers to the light emitting unit 30-k and the light emitting unit 30- (k + 1). . The layer configuration and material of the light emitting unit interface layer 40-k are the same as those of the light emitting unit 40-1.

陰極50は、発光ユニット30−nの表面に形成され、n個の発光ユニット30−1、30−2、・・・30−n及び(n−1)個の発光ユニット界面層40−1、40−2、・・・40−(n−1)に負の外部電圧を印加する。これにより、陰極50から電子がn個の発光ユニット30−1、30−2、・・・30−nに注入される。そしてn個の発光ユニット30−1、30−2、・・・30−n内で電子と前述した正孔とが再結合することによってn個の発光ユニット30−1、30−2、・・・30−n内で励起状態が生成され、外部に発光が取り出される。また、素子内部で発光した光を外部に取り出す側の電極であった場合、その光に対して透明であることが必要である。電極材料は、陽極20と同様である。   The cathode 50 is formed on the surface of the light emitting unit 30-n, and n light emitting units 30-1, 30-2,... 30-n and (n-1) light emitting unit interface layers 40-1, A negative external voltage is applied to 40-2, ... 40- (n-1). Thereby, electrons are injected from the cathode 50 into the n light emitting units 30-1, 30-2,... 30-n. Then, electrons and holes described above are recombined in the n light emitting units 30-1, 30-2,... 30-n, so that the n light emitting units 30-1, 30-2,. -An excited state is generated within 30-n, and emitted light is extracted outside. In addition, in the case of an electrode on the side from which light emitted inside the device is extracted, it is necessary to be transparent to the light. The electrode material is the same as that of the anode 20.

以上の構造により、発光ユニット界面層40における十分なエネルギー準位をもった正孔及び電子が、発光ユニット30へ注入されるので、湿式製膜による高発光効率および低消費電力を有する有機EL素子が実現される。   With the above structure, holes and electrons having a sufficient energy level in the light emitting unit interface layer 40 are injected into the light emitting unit 30, so that the organic EL element has high light emission efficiency and low power consumption by wet film formation. Is realized.

なお、具体的な架橋構造およびその方法については、後述する有機EL素子の製造方法で説明する。   In addition, about a concrete crosslinked structure and its method, it demonstrates with the manufacturing method of the organic EL element mentioned later.

図4は、本発明の実施の形態に係る変形例を示すタンデム型有機EL素子の構造断面図である。同図におけるタンデム型有機EL素子2は、基板10と、陽極20と、n個の発光ユニット31−1、31−2、・・・及び31−nと、(n−1)個の発光ユニット界面層41−1、41−2、・・・及び31−(n−1)と、陰極50とを備える。同図におけるタンデム型有機EL素子2は、図1に記載された実施の形態に係る有機EL素子と比較して、有機EL素子を構成する各層の構成は同一であるが、それらの積層順序及び位置関係が異なる。図1に記載された有機EL素子と同じ点は説明を省略し、以下、異なる点のみを説明する。   FIG. 4 is a structural sectional view of a tandem organic EL element showing a modification according to the embodiment of the present invention. The tandem organic EL element 2 in the figure includes a substrate 10, an anode 20, n light emitting units 31-1, 31-2, ..., and 31-n, and (n-1) light emitting units. Interface layers 41-1, 41-2,..., 31- (n-1) and a cathode 50 are provided. Compared with the organic EL element according to the embodiment described in FIG. 1, the tandem organic EL element 2 in FIG. 1 has the same configuration of each layer constituting the organic EL element. The positional relationship is different. Description of the same points as those of the organic EL element shown in FIG. 1 is omitted, and only different points will be described below.

陰極50は、基板10の表面に形成され、素子内部で発光した光を外部に取り出す側の電極であった場合、その光に対して透明であることが必要である。   When the cathode 50 is formed on the surface of the substrate 10 and is an electrode on the side from which the light emitted inside the element is extracted, it needs to be transparent to the light.

発光ユニット31−1は、陰極50の表面に形成され、少なくとも1つの発光層を含んでおり、正孔と電子が注入されると発光する。図5は、発光ユニットの構造断面図の一例である。同図における発光ユニット31は、基板側から、電子輸送層313と、発光層312と、正孔輸送層311とを備える。   The light emitting unit 31-1 is formed on the surface of the cathode 50, includes at least one light emitting layer, and emits light when holes and electrons are injected. FIG. 5 is an example of a cross-sectional view of the structure of the light emitting unit. The light emitting unit 31 in the figure includes an electron transport layer 313, a light emitting layer 312 and a hole transport layer 311 from the substrate side.

発光ユニット界面層41−1は、発光ユニット31−1の表面に形成される。図6は、発光ユニット界面層の構造断面図の一例である。同図における発光ユニット界面層41は、p型発光ユニット界面層402と、その表面にn型発光ユニット界面層401とを備える。   The light emitting unit interface layer 41-1 is formed on the surface of the light emitting unit 31-1. FIG. 6 is an example of a structural cross-sectional view of the light emitting unit interface layer. The light emitting unit interface layer 41 in the figure includes a p-type light emitting unit interface layer 402 and an n-type light emitting unit interface layer 401 on the surface thereof.

発光ユニット31−k(kは2〜nの自然数)は、発光ユニット界面層41−(k−1)の表面に形成され、少なくとも1つの発光層を含んでおり、正孔と電子が注入されると発光する。なお、発光ユニット31−kの層構成及び材料は、前述した発光ユニット31−1と同様である。   The light emitting unit 31-k (k is a natural number of 2 to n) is formed on the surface of the light emitting unit interface layer 41- (k-1), includes at least one light emitting layer, and holes and electrons are injected. Emits light. The layer configuration and material of the light emitting unit 31-k are the same as those of the light emitting unit 31-1.

発光ユニット界面層41−k(kは2〜nの自然数)は、発光ユニット31−kの表面に形成される。なお、発光ユニット界面層41−kの層構成及び材料は、前述した発光ユニット41−1と同様である。   The light emitting unit interface layer 41-k (k is a natural number of 2 to n) is formed on the surface of the light emitting unit 31-k. The layer configuration and material of the light emitting unit interface layer 41-k are the same as those of the light emitting unit 41-1.

陽極20は、発光ユニット31−nの表面に形成され、素子内部で発光した光を外部に取り出す側の電極であった場合、その光に対して透明であることが必要である。電極材料は、陰極50と同様である。   When the anode 20 is formed on the surface of the light emitting unit 31-n and is an electrode on the side from which the light emitted inside the element is extracted, the anode 20 needs to be transparent to the light. The electrode material is the same as that of the cathode 50.

以上の実施の形態に係る変形例を示す有機EL素子においても、実施の形態の有機EL素子と同様の効果を有し、発光ユニット界面層における十分なエネルギー準位をもった正孔及び電子が、発光ユニットへ注入されるので、湿式製膜による高発光効率および低消費電力を有する有機EL素子が実現される。   Also in the organic EL element showing the modification according to the above embodiment, there are the same effects as those of the organic EL element of the embodiment, and holes and electrons having sufficient energy levels in the light emitting unit interface layer are generated. Since it is injected into the light emitting unit, an organic EL element having high luminous efficiency and low power consumption by wet film formation is realized.

なお、実施の形態およびその変形例に記載された有機EL素子の各発光ユニットは、同じ構造及び材料で構成されていても良いし、互いに異なる構造又は材料で構成されていても良い。例えば、図7に記載された2段のタンデム型有機EL素子3のように、基板側から1つ目の発光ユニット30−1に水色の発光を示す発光ユニットが用いられ、基板側から2つ目の発光ユニット30−2にオレンジ色の発光を示す発光ユニットが用いられることにより、両者の発光が重ね合わされた白色発光が得られる。白色発光は照明用途およびバックライト用途に重要である。これらの用途は演色性が重要であり、これを向上させるためには、3段のタンデム型有機EL素子として、赤、青、緑の3つの発光ユニットを重ね合わせることが有効である。   In addition, each light emitting unit of the organic EL element described in the embodiment and the modification thereof may be configured with the same structure and material, or may be configured with different structures or materials. For example, like the two-stage tandem organic EL element 3 shown in FIG. 7, a light emitting unit that emits light blue is used for the first light emitting unit 30-1 from the substrate side. By using a light emitting unit that emits orange light for the light emitting unit 30-2 of the eye, white light emission in which both light emissions are superimposed is obtained. White light emission is important for lighting and backlighting applications. In these applications, color rendering is important, and in order to improve this, it is effective to superimpose three light emitting units of red, blue, and green as a three-stage tandem organic EL element.

次に、本発明のタンデム型有機EL素子の製造方法について図面を参照して説明する。
図8は、本発明の実施の形態に係る有機EL素子の構造断面図の一例である。同図におけるタンデム型有機EL素子4は、基板10と、陽極20と、陰極50と、正孔輸送層301と、2つの発光層302−1及び302−2と、n型発光ユニット界面層401と、p型発光ユニット界面層402とを備える。各層の機能及び使用材料は、実施の形態と同様である。
Next, the manufacturing method of the tandem organic EL element of this invention is demonstrated with reference to drawings.
FIG. 8 is an example of a structural cross-sectional view of the organic EL element according to the embodiment of the present invention. The tandem organic EL element 4 in FIG. 1 includes a substrate 10, an anode 20, a cathode 50, a hole transport layer 301, two light emitting layers 302-1 and 302-2, and an n-type light emitting unit interface layer 401. And a p-type light emitting unit interface layer 402. The functions and materials used in each layer are the same as in the embodiment.

層構成は、基板10から順に、陽極20、正孔輸送層301、発光層302−1、n型発光ユニット界面層401、p型発光ユニット界面層402、発光層302−2、陰極50である。   The layer configuration is, in order from the substrate 10, the anode 20, the hole transport layer 301, the light emitting layer 302-1, the n-type light emitting unit interface layer 401, the p-type light emitting unit interface layer 402, the light emitting layer 302-2, and the cathode 50. .

ここで、n型発光ユニット界面層401及びp型発光ユニット界面層402は、単層であっても複数の層であってもよい。発光ユニット界面層の製造工程は、前述したように、導電性有機高分子材料を分散あるいは溶解させた溶液を用いて、湿式製膜法によって製膜される。これにより、大面積化や材料ロスの低減などのメリットを活かすことができ、一般的には生産性に劣るタンデム構造型有機EL素子のデメリットを克服することができる。   Here, the n-type light emitting unit interface layer 401 and the p-type light emitting unit interface layer 402 may be a single layer or a plurality of layers. As described above, the light emitting unit interface layer is manufactured by a wet film forming method using a solution in which a conductive organic polymer material is dispersed or dissolved. As a result, advantages such as an increase in area and a reduction in material loss can be utilized, and the disadvantages of a tandem structure type organic EL element generally inferior in productivity can be overcome.

湿式製膜法とは、水や有機溶媒などの溶媒を用いて、スプレー、ディップ、ノズルジェット、スピンコート、バーコート、凸版印刷、凹版印刷、スクリーン印刷などの各種印刷法などの手法によって製膜を行い、溶媒を除去することによって所定の薄膜を得る製造方法をいう。   The wet film-forming method uses a solvent such as water or an organic solvent to form a film by various printing methods such as spray, dip, nozzle jet, spin coating, bar coating, letterpress printing, intaglio printing, and screen printing. And a manufacturing method for obtaining a predetermined thin film by removing the solvent.

本発明の導電性有機高分子を用いたタンデム型有機EL素子の、より好ましい製造方法は、全ての有機層を湿式製膜法によって製膜する方法である。この製造方法により、有機層形成に真空プロセスを使う必要がないので、製造時間および製造コストが飛躍的に向上する。   A more preferable manufacturing method of the tandem organic EL element using the conductive organic polymer of the present invention is a method of forming all organic layers by a wet film forming method. With this manufacturing method, it is not necessary to use a vacuum process for forming the organic layer, so that the manufacturing time and the manufacturing cost are drastically improved.

本実施例では、図8に記載されたタンデム型有機EL素子の層構成のうち、正孔輸送層301から発光層302−2までを湿式製膜法にて形成した場合の製造方法の一例について、以下、説明する。   In this example, an example of a manufacturing method in the case where the hole transport layer 301 to the light emitting layer 302-2 are formed by a wet film forming method out of the layer configuration of the tandem organic EL element shown in FIG. This will be described below.

図9は、本発明の実施の形態における導電性高分子を用いたタンデム型有機EL素子の製造方法を説明する工程図である。   FIG. 9 is a process diagram for explaining a method of manufacturing a tandem organic EL element using a conductive polymer according to an embodiment of the present invention.

まず、ソーダガラス基板11上にインジウム−錫酸化物からなる導電層をスパッタ法により100nm製膜する。フォトリソグラフィープロセスを用いて、このインジウム−錫酸化物を電極形状へパターニングして陽極20を形成する。そして、このインジウム−錫酸化物からなる陽極20を2分間UV−オゾンにさらすことにより表面処理する(工程(a))。   First, a conductive layer made of indium-tin oxide is formed on the soda glass substrate 11 by sputtering to a thickness of 100 nm. The indium-tin oxide is patterned into an electrode shape using a photolithography process to form the anode 20. Then, surface treatment is performed by exposing the anode 20 made of indium-tin oxide to UV-ozone for 2 minutes (step (a)).

次に、この表面処理された陽極20の表面に、以下の式   Next, the following formula is applied to the surface of the surface-treated anode 20:

Figure 2009152015
で示される化合物PEDOT(Poly(3、4−ethylenedionxythiophene))とPSS(Poly(styrenesulfonate))との混合物からなる正孔輸送層301をスピンコート法により50nm製膜し、ホットプレート上で200℃、5分間ベークする(工程(b))。
Figure 2009152015
A hole transport layer 301 composed of a mixture of the compound PEDOT (Poly (3,4-ethylenedoxythiophene)) and PSS (Poly (styrenesulfonate)) represented by the following formula: Bake for 5 minutes (step (b)).

次に、以下の式   Then the following formula

Figure 2009152015
で示される化合物MEH−PPVと、20重量%比のジペンタエリスリトールヘキサアクリレートのトルエン溶液とを調整し、スピンコート法により50nmの発光層前駆体302Aを製膜する(工程(c))。
Figure 2009152015
And a toluene solution of dipentaerythritol hexaacrylate in a ratio of 20% by weight is prepared, and a 50 nm light emitting layer precursor 302A is formed by spin coating (step (c)).

そして、ホットプレート上で200℃、30分間加熱することで少なくとも表面が架橋反応した発光層302−1が形成される(工程(d))。   Then, by heating on a hot plate at 200 ° C. for 30 minutes, a light emitting layer 302-1 having at least a surface cross-linking reaction is formed (step (d)).

工程(d)は、発光層前駆体302Aを、熱エネルギーによって所望の導電性高分子に転換する架橋反応工程である。この方法は、所望の導電性高分子が溶媒に不溶である一方、その前駆体が溶媒に可溶であるときに特に有益である。本工程において架橋反応しているのは、以下の式   Step (d) is a cross-linking reaction step in which the light emitting layer precursor 302A is converted into a desired conductive polymer by thermal energy. This method is particularly beneficial when the desired conductive polymer is insoluble in the solvent while the precursor is soluble in the solvent. The cross-linking reaction in this step is the following formula

Figure 2009152015
で示されるジペンタエリスリトールヘキサアクリレートであり、発光機能を有するELポリマーであるMEH−PPVは架橋反応をしていない。ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートは、二重結合部(式中の→部)にエーテル結合(酸素原子による有機基同士の結合)を作りながら、架橋反応を進行させ、複雑な網目状構造をつくる。この網目状構造とELポリマーが絡みあうことによって、溶液への溶解性が低い発光層302−1が形成される。
Figure 2009152015
MEH-PPV, which is an EL polymer having a light emitting function, is not subjected to a crosslinking reaction. Dipentaerythritol hexaacrylate forms a complex network structure by advancing a crosslinking reaction while forming an ether bond (bonding between organic groups by oxygen atoms) at a double bond part (→ part in the formula). When the network structure and the EL polymer are entangled with each other, the light emitting layer 302-1 having low solubility in a solution is formed.

次に、以下の式   Then the following formula

Figure 2009152015
で示されるn型高分子と、20重量%のジペンタエリスリトールヘキサアクリレートと10重量%のバリウムアセトアセテートからなる混合物のトルエン溶液とを調整し、スピンコート法により20nmのn型発光ユニット界面層前駆体401Aを製膜する(工程(e))。ここで、バリウムアセトアセテートはn型ドーパントとして機能する。
Figure 2009152015
And a toluene solution of a mixture of 20% by weight of dipentaerythritol hexaacrylate and 10% by weight of barium acetoacetate, and a 20 nm n-type light emitting unit interface layer precursor by spin coating. The body 401A is formed into a film (step (e)). Here, barium acetoacetate functions as an n-type dopant.

そして、ホットプレート上で200℃、30分間加熱することにより、表面が架橋反応したn型発光ユニット界面層401が形成される(工程(f))。本工程においても、工程(d)に記載された工程と同様に、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートによる架橋反応で生成された網目状構造とn型高分子が絡みあうことによって、溶液への溶解性が低いn型発光ユニット界面層401が形成される。   Then, by heating on a hot plate at 200 ° C. for 30 minutes, an n-type light emitting unit interface layer 401 whose surface is crosslinked is formed (step (f)). In this step, as in the step described in step (d), the network structure formed by the crosslinking reaction with dipentaerythritol hexaacrylate and the n-type polymer are entangled with each other, so that the solubility in the solution is increased. A low n-type light emitting unit interface layer 401 is formed.

次に、以下の式   Then the following formula

Figure 2009152015
で示されるp型高分子と、20重量%のジペンタエリスリトールヘキサアクリレートと10重量%のヨウ素からなる混合物のトルエン溶液とを調整し、スピンコート法により20nmのp型発光ユニット界面層前駆体402Aを製膜する(工程(g))。ここで、ヨウ素はp型ドーパントとして機能する。
Figure 2009152015
And a toluene solution of a mixture of 20% by weight of dipentaerythritol hexaacrylate and 10% by weight of iodine, and a 20 nm p-type light emitting unit interface layer precursor 402A by spin coating. Is formed (step (g)). Here, iodine functions as a p-type dopant.

そして、ホットプレート上で200℃、30分間加熱することにより、表面が架橋反応したp型発光ユニット界面層402が形成される(工程(h))。本工程においても、工程(d)に記載された工程と同様に、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートによる架橋反応で生成された網目状構造とp型高分子が絡みあうことによって、溶液への溶解性が低いp型発光ユニット界面層402が形成される。   Then, by heating on a hot plate at 200 ° C. for 30 minutes, the p-type light emitting unit interface layer 402 whose surface has undergone a crosslinking reaction is formed (step (h)). In this step, as in the step described in step (d), the network structure formed by the crosslinking reaction with dipentaerythritol hexaacrylate and the p-type polymer are entangled with each other, so that the solubility in the solution is increased. A low p-type light emitting unit interface layer 402 is formed.

次に、以下の式   Then the following formula

Figure 2009152015
で示される化合物MEH−PPVからなる発光層302−2をスピンコート法により50nm製膜し、ホットプレート上で150℃、10分間ベークする(工程(i))。
Figure 2009152015
A light emitting layer 302-2 made of the compound MEH-PPV represented by the following formula is formed by spin coating to a thickness of 50 nm and baked on a hot plate at 150 ° C. for 10 minutes (step (i)).

最後に、バリウム5nmとアルミニウム200nmを発光層302−2の表面にメタルマスク蒸着して所定のパターン形状を有する陰極50を形成する(工程(j))。   Finally, barium 5 nm and aluminum 200 nm are vapor-deposited on the surface of the light emitting layer 302-2 to form a cathode 50 having a predetermined pattern shape (step (j)).

なお、上記工程(a)から工程(j)における雰囲気は、水および酸素濃度が1000ppm以下に管理され、スピンコート用の全ての溶液も水および酸素濃度が1000ppm以下となるように管理されている。これにより、工程(e)及び工程(g)におけるドーパントが、溶媒および環境中に存在する水や酸素により劣化することが回避されるので、生産効率と素子寿命に優れる有機EL素子を得ることができる。   The atmosphere from step (a) to step (j) is controlled such that the water and oxygen concentration is 1000 ppm or less, and all the solutions for spin coating are also controlled so that the water and oxygen concentration is 1000 ppm or less. . Thereby, since the dopant in the step (e) and the step (g) is avoided from being deteriorated by water or oxygen present in the solvent and the environment, an organic EL device having excellent production efficiency and device life can be obtained. it can.

さらに、上記工程中の雰囲気は、水および酸素濃度が1ppm以下に管理され、スピンコート用の全ての溶液も水および酸素濃度が1ppm以下となるように管理されていることが好ましい。これにより、生産効率及び素子寿命が大幅に改善される。   Furthermore, it is preferable that the atmosphere in the above process is controlled so that the water and oxygen concentrations are 1 ppm or less, and all the solutions for spin coating are also controlled so that the water and oxygen concentrations are 1 ppm or less. This greatly improves production efficiency and device life.

なお、工程(e)及び工程(g)において、n型発光ユニット界面層401及びp型発光ユニット界面層402は、ドーパントを混合していない溶液を製膜した後に、ハロゲンや金属蒸気にさらすことによって導電性高分子を形成するという製法をとってもよい。   In steps (e) and (g), the n-type light-emitting unit interface layer 401 and the p-type light-emitting unit interface layer 402 are exposed to halogen or metal vapor after forming a solution containing no dopant. Alternatively, the production method of forming a conductive polymer may be used.

また、工程(d)、工程(f)、及び工程(h)における架橋反応の設定温度は200℃としたが、100℃以上であれば加熱時間を調整することにより、架橋反応を進行させることができる。   Moreover, although the setting temperature of the crosslinking reaction in the step (d), the step (f), and the step (h) is 200 ° C., the crosslinking reaction is advanced by adjusting the heating time if it is 100 ° C. or more. Can do.

なお、工程(d)、工程(f)、及び工程(h)における架橋反応は、上述したプロセスのような熱エネルギーを供給することによるものだけでなく、光エネルギーの供給によっても進行する。光エネルギーの供給条件としては、波長が200ないし450nmの紫外光、照射パワーが10ないし1000W、照射時間が1ないし600秒が好ましい。これにより、条件の調整によっては、最表面のみを架橋反応させることも可能であり、架橋反応の促進による有機発光体自体の構造変化や変質などが発生しにくい。また、既に形成された他層への過剰なエネルギー供給による変質などが回避される。よって、歩留まり向上に伴う生産性の安定化が図られる。   In addition, the crosslinking reaction in the step (d), the step (f), and the step (h) proceeds not only by supplying heat energy as in the above-described process but also by supplying light energy. The supply conditions of light energy are preferably ultraviolet light having a wavelength of 200 to 450 nm, irradiation power of 10 to 1000 W, and irradiation time of 1 to 600 seconds. Thereby, depending on the adjustment of conditions, it is possible to cause only the outermost surface to undergo a crosslinking reaction, and structural change or alteration of the organic light-emitting body itself due to the promotion of the crosslinking reaction is unlikely to occur. Further, alteration due to excessive energy supply to other layers already formed is avoided. Therefore, the productivity can be stabilized with the yield improvement.

なお、工程(d)、工程(f)、及び工程(h)における架橋反応は、ELポリマーが架橋せずに、その混合物であるジペンタエリスリトールヘキサアクリレートの架橋反応により、発光層302、n型発光ユニット界面層401、及びp型発光ユニット界面層402が架橋構造を有している。これに対し、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートなどの混合物による架橋反応ではなく、発光機能やキャリア生成及び輸送機能を有する式[化1]〜[化4]などで示されるELポリマー自身が、架橋する置換基を有して架橋反応する構造及び製法をとってもよい。   The cross-linking reaction in the step (d), the step (f), and the step (h) is performed by the cross-linking reaction of dipentaerythritol hexaacrylate that is a mixture of the light emitting layer 302, the n-type without the EL polymer cross-linking. The light emitting unit interface layer 401 and the p-type light emitting unit interface layer 402 have a crosslinked structure. In contrast, the EL polymer itself represented by the formulas [Chemical Formula 1] to [Chemical Formula 4] having a light emitting function and a carrier generating and transporting function is not a crosslinking reaction by a mixture such as dipentaerythritol hexaacrylate. A structure having a group and a crosslinking reaction and a production method may be taken.

なお、実施の形態2で示された有機EL素子の製造方法では、発光層302を含んだ2段の発光ユニットによりタンデム構造が形成されていたが、発光ユニットの段数が3段以上であっても、各層の製造プロセスは同様である。ここで、架橋反応プロセスが必要な層は、各段における発光層302、n型発光ユニット界面層401、及びp型発光ユニット界面層402である。段数が増加するにつれ、所定の発光量に必要な電流値が減少するので、素子の長寿命化が促進される。   In the method for manufacturing the organic EL element shown in Embodiment 2, the tandem structure is formed by the two-stage light-emitting unit including the light-emitting layer 302. However, the number of light-emitting units is three or more. However, the manufacturing process of each layer is the same. Here, the layers that require the crosslinking reaction process are the light emitting layer 302, the n-type light emitting unit interface layer 401, and the p-type light emitting unit interface layer 402 in each stage. As the number of stages increases, the current value required for a predetermined amount of light emission decreases, so that the lifetime of the element is promoted.

なお、発光層302、n型発光ユニット界面層401、及びp型発光ユニット界面層402を架橋反応させるだけでなく、湿式製膜した有機物で形成された層の全てにおいて架橋反応プロセスを実行してもよい。この場合には、発光ユニット界面層40におけるエネルギー準位およびキャリアの制御性向上による高発光効率及び低消費電力といった効果だけでなく、製造歩留まりの向上が期待される。   Not only the light emitting layer 302, the n-type light emitting unit interface layer 401, and the p-type light emitting unit interface layer 402 are subjected to a cross-linking reaction, but also a cross-linking reaction process is performed on all the layers formed of wet-formed organic substances. Also good. In this case, not only the effects of high light emission efficiency and low power consumption due to improved energy levels and carrier controllability in the light emitting unit interface layer 40, but also an improvement in manufacturing yield are expected.

以上の製造方法により、有機高分子を有する層はすべて湿式製膜されるので、素子の大面積化や生産の低コスト化が図られる。また、発光ユニット界面層及び発光層の各層の製膜工程後に、その都度架橋反応工程が付加されているので、各界面における溶出や拡散が防止され、導電性有機高分子を有する発光ユニット界面層の長所である過剰電圧ΔVの低
減が達成される。これにより、発光ユニット界面層において十分なエネルギー準位をもった正孔及び電子が発光ユニットへ効率よく注入されるので、湿式製膜による高発光効率および低消費電力を有する有機EL素子が実現される。
With the above manufacturing method, all layers having organic polymers are wet-formed, so that the area of the device can be increased and the production cost can be reduced. In addition, since a cross-linking reaction step is added after each step of forming the light emitting unit interface layer and the light emitting layer, elution and diffusion at each interface are prevented, and the light emitting unit interface layer having a conductive organic polymer The reduction of the excess voltage ΔV, which is an advantage of the above, is achieved. As a result, holes and electrons having sufficient energy levels in the light emitting unit interface layer are efficiently injected into the light emitting unit, so that an organic EL element having high light emission efficiency and low power consumption by wet film formation is realized. The

なお、本発明に用いる有機EL素子用の基板上の電極は、陰極でも陽極でも良い。この電極は基板上の全面あるいは大部分に一様に形成されていてもよい。この場合は、大面積発光が得られるので照明などの用途に用いることができる。あるいは、この電極は、特定の図形や文字を表示できるようにパターンされていても良い。この場合は、特性のパターン状の発光が得られるので広告表示などに用いることができる。あるいは、この電極は、単純マトリクス上に形成されていても良い。この場合は、パッシブ駆動のディスプレイなどの用途に用いることができる。あるいは、この電極は、トランジスタアレイを並べた基板上で、このトランジスタアレイに対応する形で電気的な接続を得られるように形成されていても良い。この場合は、図10に記載されたTVに代表されるように、アクティブ駆動のディスプレイなどの用途に用いることができる。   The electrode on the substrate for the organic EL element used in the present invention may be a cathode or an anode. This electrode may be uniformly formed on the entire surface or most of the substrate. In this case, since large area light emission can be obtained, it can be used for applications such as illumination. Or this electrode may be patterned so that a specific figure and a character can be displayed. In this case, a characteristic pattern of light emission can be obtained, which can be used for advertising display. Alternatively, this electrode may be formed on a simple matrix. In this case, it can be used for applications such as a passive drive display. Alternatively, the electrode may be formed on the substrate on which the transistor array is arranged so that electrical connection can be obtained in a form corresponding to the transistor array. In this case, as represented by the TV described in FIG. 10, it can be used for applications such as an active drive display.

また、本発明の有機EL素子において、発光を外部に取り出すためには陽極あるいは陰極のいずれかが透明であることが必要であるが、本発明の有機ELはどちらが透明であっても良いし、両方が透明であっても良い。両方が透明で基板がガラス基板などの透明基板の場合は、発光が基板面と基板と逆側の両方により出すことができ、さらに有機EL素子を通して基板と逆側が見える効果が得られる。   Further, in the organic EL device of the present invention, either the anode or the cathode needs to be transparent in order to extract emitted light to the outside, but either of the organic EL of the present invention may be transparent, Both may be transparent. In the case where both are transparent and the substrate is a transparent substrate such as a glass substrate, light emission can be emitted from both the substrate surface and the opposite side of the substrate, and the effect of seeing the opposite side of the substrate through the organic EL element can be obtained.

以上、本発明の有機EL素子及びその製造方法について、実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、これらの実施の形態に限定されるものではない。本発明の趣旨を逸脱しない限り、当業者が思いつく各種変形を本実施の形態に施したものや、異なる実施の形態における構成要素を任意に組み合わせて構築される形態も、本発明の範囲内に含まれる。   As mentioned above, although the organic EL element of this invention and its manufacturing method were demonstrated based on embodiment, this invention is not limited to these embodiment. Unless it deviates from the meaning of the present invention, various modifications conceived by those skilled in the art have been made in the present embodiment, and forms constructed by arbitrarily combining components in different embodiments are also within the scope of the present invention. included.

本発明は、特に有機EL素子を光源とするディスプレイデバイスや光デバイス、又は液晶ディスプレイのバックライト等に有用であり、特に長寿命、低消費電力、低価格が要求される有機EL素子として最適である。   The present invention is particularly useful for a display device or an optical device using an organic EL element as a light source, or a backlight of a liquid crystal display, and is particularly suitable as an organic EL element that requires long life, low power consumption, and low price. is there.

本発明の実施の形態におけるタンデム型を有する有機EL素子の構造断面図である。It is a structure sectional view of the organic EL element which has a tandem type in an embodiment of the invention. 発光ユニットの構造断面図の一例である。It is an example of the structure sectional view of a light emitting unit. 発光ユニット界面層の構造断面図の一例である。It is an example of structure sectional drawing of a light emitting unit interface layer. 本発明の実施の形態に係る第1の変形例を示す有機EL素子の構造断面図である。It is a structure sectional view of the organic EL element which shows the 1st modification concerning an embodiment of the invention. 発光ユニットの構造断面図の一例である。It is an example of the structure sectional view of a light emitting unit. 発光ユニット界面層の構造断面図の一例である。It is an example of structure sectional drawing of a light emitting unit interface layer. 2段のタンデム型有機EL素子の構造断面図である。It is a structural sectional view of a two-stage tandem organic EL device. 本発明の実施の形態に係る有機EL素子の構造断面図の一例である。It is an example of the structure sectional view of the organic EL element concerning an embodiment of the invention. 本発明の実施の形態における導電性高分子を用いたタンデム型有機EL素子の製造方法を説明する工程図である。It is process drawing explaining the manufacturing method of the tandem-type organic EL element using the conductive polymer in embodiment of this invention. 本発明の有機EL素子が用いられるTVの外観図である。It is an external view of TV using the organic EL element of this invention. 従来のタンデム構造を有する有機EL素子の構造断面図である。It is structure sectional drawing of the organic EL element which has the conventional tandem structure. 従来のタンデム構造を有する有機EL素子の発光ユニットの構造断面図である。It is structure sectional drawing of the light emission unit of the organic EL element which has the conventional tandem structure. 発光ユニットが単一である非タンデム構造を有する有機EL素子が直流電圧源に接続された図である。It is the figure where the organic EL element which has a non-tandem structure with a single light emission unit was connected to the direct-current voltage source. 非タンデム構造を有する有機EL素子が電源接続されていない場合のエネルギー準位の模式図である。It is a schematic diagram of the energy level when the organic EL element having a non-tandem structure is not connected to a power source. 非タンデム構造を有する有機EL素子が短絡接続された場合のエネルギー準位の模式図である。It is a schematic diagram of an energy level when the organic EL element which has a non-tandem structure is short-circuited. 非タンデム構造を有する有機EL素子に外部電界が印加された場合のエネルギー準位の模式図である。It is a schematic diagram of an energy level when an external electric field is applied to an organic EL element having a non-tandem structure. 直列接続された2つの非タンデム構造の有機EL素子が直流電圧源に接続された図である。FIG. 2 is a diagram in which two non-tandem organic EL elements connected in series are connected to a DC voltage source. 直列接続された2つの非タンデム構造の有機EL素子が電源接続されていない場合のエネルギー準位の模式図である。It is a schematic diagram of the energy level when two organic EL elements having a non-tandem structure connected in series are not connected to a power source. 直列接続された2つの非タンデム構造の有機EL素子が短絡接続された場合のエネルギー準位の模式図である。It is a schematic diagram of the energy level when two organic EL elements having a non-tandem structure connected in series are short-circuited. 直列接続された2つの非タンデム構造の有機EL素子に外部電界が印加された場合のエネルギー準位の模式図である。It is a schematic diagram of the energy level when an external electric field is applied to two organic EL elements having a non-tandem structure connected in series. 発光ユニット界面層を備えるタンデム構造の有機EL素子が直流電圧源に接続された図である。It is the figure where the organic EL element of the tandem structure provided with the light emission unit interface layer was connected to the DC voltage source. 発光ユニット界面層を備えるタンデム構造の有機EL素子が電源接続されていない場合のエネルギー準位の模式図である。It is a schematic diagram of an energy level when the organic EL element of a tandem structure provided with a light emitting unit interface layer is not connected to a power source. 発光ユニット界面層を備えるタンデム構造の有機EL素子が短絡接続された場合のエネルギー準位の模式図である。It is a schematic diagram of an energy level when the organic EL element of a tandem structure provided with a light emitting unit interface layer is short-circuited. 発光ユニット界面層を備えるタンデム構造の有機EL素子に外部電界が印加された場合のエネルギー準位の模式図である。It is a schematic diagram of an energy level when an external electric field is applied to an organic EL element having a tandem structure including a light emitting unit interface layer.

符号の説明Explanation of symbols

1、2、3、4、820 タンデム型有機EL素子
10、801 基板
11 ソーダガラス基板
20、802、802−1、802−2 陽極
30、30−1、30−2、30−k、30−n、31、31−1、31−2、31−k、31−n、803、803−1、803−2、803−n 発光ユニット
40、40−1、40−2、40−k、40−(n−1)、41、41−1、41−2、41−k、41−(n−1)、804、804−1、804−2、804−(n−1) 発光ユニット界面層
50、805、805−1、805−2 陰極
301、311、803A 正孔輸送層
302、302−1、302−2、302A、312、803B、803B−1、803B−2 発光層
303、313、803C 電子輸送層
401 n型発光ユニット界面層
401A n型発光ユニット界面層前駆体
402 p型発光ユニット界面層
402A p型発光ユニット界面層前駆体
810、810−1、810−2 有機EL素子
804A n型界面層
804B p型界面層
901 直流電圧源
1, 2, 3, 4, 820 Tandem organic EL element 10, 801 Substrate 11 Soda glass substrate 20, 802, 802-1, 802-2 Anode 30, 30-1, 30-2, 30-k, 30- n, 31, 31-1, 31-2, 31-k, 31-n, 803, 803-1, 803-2, 803-n Light emitting unit 40, 40-1, 40-2, 40-k, 40 -(N-1), 41, 41-1, 41-2, 41-k, 41- (n-1), 804, 804-1, 804-2, 804- (n-1) Light emitting unit interface layer 50, 805, 805-1, 805-2 Cathode 301, 311, 803A Hole transport layer 302, 302-1, 302-2, 302A, 312, 803B, 803B-1, 803B-2 Light emitting layer 303, 313, 803C electron transport layer 401 n-type Optical unit interface layer 401A n-type light emitting unit interface layer precursor 402 p-type light emitting unit interface layer 402A p-type light emitting unit interface layer precursor 810, 810-1, 810-2 Organic EL element 804A n-type interface layer 804B p-type interface Layer 901 DC voltage source

Claims (10)

有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法であって、
基板上に第1電極を形成する第1電極形成ステップと、
前記第1電極の表面に、少なくとも1層の第1有機発光層を有する第1発光ユニットを形成する第1発光ユニット形成ステップと、
前記第1発光ユニットの表面に、分子量1000以上の導電性有機高分子を含む前駆体を湿式製膜法により製膜する第1界面層製膜ステップと、
前記湿式製膜法により製膜された前駆体を架橋反応させることで少なくとも表面が分子間又は分子内架橋された発光ユニット界面層を形成する第1界面層架橋ステップと、
前記発光ユニット界面層の表面に、少なくとも1層の第2有機発光層を備える第2発光ユニットを形成する第2発光ユニット形成ステップと、
前記第2発光ユニットの上に、第2電極を形成する第2電極形成ステップとを含む
ことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
A method for producing an organic electroluminescence device, comprising:
A first electrode forming step of forming a first electrode on the substrate;
A first light emitting unit forming step of forming a first light emitting unit having at least one first organic light emitting layer on a surface of the first electrode;
A first interface layer forming step of forming a precursor containing a conductive organic polymer having a molecular weight of 1000 or more on the surface of the first light emitting unit by a wet film forming method;
A first interface layer crosslinking step for forming a light emitting unit interface layer having at least a surface intermolecular or intramolecularly crosslinked by crosslinking reaction of the precursor formed by the wet film formation method;
A second light emitting unit forming step of forming a second light emitting unit comprising at least one second organic light emitting layer on the surface of the light emitting unit interface layer;
And a second electrode forming step of forming a second electrode on the second light emitting unit. A method of manufacturing an organic electroluminescence element, comprising:
前記第1発光ユニット形成ステップでは、
分子量1000以上の導電性有機高分子を含む前駆体を湿式製膜法により製膜する第1発光層製膜ステップと、
前記湿式製膜法により製膜された前駆体を架橋反応させることで少なくとも表面が分子間又は分子内架橋された前記第1有機発光層を形成する第1発光層架橋ステップとを含む
ことを特徴とする請求項1記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
In the first light emitting unit formation step,
A first light-emitting layer forming step of forming a precursor containing a conductive organic polymer having a molecular weight of 1000 or more by a wet film forming method;
A first light-emitting layer cross-linking step that forms a first organic light-emitting layer having at least a surface intermolecularly or intramolecularly cross-linked by cross-linking the precursor formed by the wet film forming method. The manufacturing method of the organic electroluminescent element of Claim 1.
前記第1界面層架橋ステップでは、
前記発光ユニット界面層は一導電型であり、
さらに、前記第1界面層架橋ステップの後、かつ、前記第2発光ユニット形成ステップの前に、
前記一導電型の発光ユニット界面層の表面に、分子量1000以上の導電性有機高分子を含む前駆体を湿式製膜法により製膜する第2界面層製膜ステップと、
前記湿式製膜法により製膜された前駆体を架橋反応させることで少なくとも表面が分子間又は分子内架橋された逆導電型の発光ユニット界面層を形成する第2界面層架橋ステップとを含む
ことを特徴とする請求項1または2に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
In the first interface layer crosslinking step,
The light emitting unit interface layer is of one conductivity type,
Furthermore, after the first interface layer crosslinking step and before the second light emitting unit formation step,
A second interface layer forming step of forming a precursor containing a conductive organic polymer having a molecular weight of 1000 or more on the surface of the light-emitting unit interface layer of the one conductivity type by a wet film forming method;
A second interfacial layer cross-linking step of forming a reverse conductivity type light emitting unit interfacial layer having at least a surface intermolecularly or intramolecularly cross-linked by a cross-linking reaction of the precursor formed by the wet film-forming method. The manufacturing method of the organic electroluminescent element of Claim 1 or 2 characterized by these.
前記第1電極と前記第2電極との間に形成された、有機物で形成された層は、前記湿式製膜法により形成される
ことを特徴とする請求項1〜3のうちいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
The layer formed with the organic substance formed between the first electrode and the second electrode is formed by the wet film forming method. The manufacturing method of the organic electroluminescent element of description.
前記有機物で形成された層が各々形成されるたびに、当該有機物で形成された層の少なくとも表面を架橋反応させる
ことを特徴とする請求項4記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
5. The method of manufacturing an organic electroluminescence element according to claim 4, wherein a cross-linking reaction is performed on at least the surface of the layer formed of the organic material each time the layer formed of the organic material is formed.
前記湿式製膜法による製膜は、
含水濃度及び含酸素濃度がいずれも1000ppm以下である不活性ガスの雰囲気下で、前記導電性有機高分子を含む前駆体を分散又は溶解させた溶液を噴霧、塗布、または印刷することにより実施され、
前記溶液は含水濃度及び含酸素濃度がいずれも1000ppm以下である
ことを特徴とする請求項1〜5のうちいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
Film formation by the wet film formation method is
It is carried out by spraying, applying or printing a solution in which the precursor containing the conductive organic polymer is dispersed or dissolved in an atmosphere of an inert gas whose water content and oxygen content are both 1000 ppm or less. ,
The method for producing an organic electroluminescent element according to any one of claims 1 to 5, wherein the solution has a water content and an oxygen content of 1000 ppm or less.
前記架橋反応では、
前記基板の温度を100℃以上に保持することにより前記前駆体の表面を分子間又は分子内架橋させる
ことを特徴とする請求項1〜6のうちいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
In the crosslinking reaction,
The organic electroluminescence device according to any one of claims 1 to 6, wherein the surface of the precursor is intermolecularly or intramolecularly crosslinked by maintaining the temperature of the substrate at 100 ° C or higher. Production method.
前記架橋反応では、
波長が200ないし450nmの紫外光を、10ないし1000Wの照射パワーで、かつ、1ないし600秒の照射時間で照射することにより前記前駆体の表面を分子間又は分子内架橋させる
ことを特徴とする請求項1〜6のうちいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
In the crosslinking reaction,
The surface of the precursor is intermolecularly or intramolecularly crosslinked by irradiating ultraviolet light having a wavelength of 200 to 450 nm with an irradiation power of 10 to 1000 W and an irradiation time of 1 to 600 seconds. The manufacturing method of the organic electroluminescent element of any one of Claims 1-6.
前記導電性有機高分子を含む前駆体は、
熱あるいは光エネルギーによって分子間あるいは分子内架橋する置換基を導入した導電性高分子を含む
ことを特徴とする請求項1〜8のうちいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
The precursor containing the conductive organic polymer,
The method for producing an organic electroluminescent element according to claim 1, comprising a conductive polymer into which a substituent that crosslinks between molecules or intramolecularly by heat or light energy is introduced.
基板と、
基板上に形成された第1電極と、
前記第1電極の表面に形成され、キャリアの注入により発光する、少なくとも1層の第1有機発光層を備える第1発光ユニットと、
前記第1発光ユニットの表面に分子量1000以上の導電性有機高分子で形成され、有機発光層にキャリアを供給する発光ユニット界面層と、
前記発光ユニット界面層の表面に形成され、キャリアの注入により発光する、少なくとも1層の第2有機発光層を備える第2発光ユニットと、
前記第2発光ユニットの上に形成された第2電極とを備え、
前記発光ユニット界面層は、
湿式製膜法により製膜された前記導電性有機高分子の前駆体が架橋反応することにより、少なくともそれぞれの表面が分子間又は分子内架橋されたp型の導電性有機高分子層とn型の導電性有機高分子層とを備える
ことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子。
A substrate,
A first electrode formed on the substrate;
A first light emitting unit including at least one first organic light emitting layer formed on the surface of the first electrode and emitting light by injecting carriers;
A light-emitting unit interface layer formed of a conductive organic polymer having a molecular weight of 1000 or more on the surface of the first light-emitting unit and supplying carriers to the organic light-emitting layer;
A second light emitting unit comprising at least one second organic light emitting layer formed on the surface of the light emitting unit interface layer and emitting light by carrier injection;
A second electrode formed on the second light emitting unit,
The light emitting unit interface layer is
The conductive organic polymer precursor formed by the wet film forming method undergoes a cross-linking reaction, so that at least each surface is intermolecular or intramolecularly cross-linked, a p-type conductive organic polymer layer and an n-type An organic electroluminescence element comprising: a conductive organic polymer layer of:
JP2007328014A 2007-12-19 2007-12-19 Organic electroluminescence device and manufacturing method Active JP4954861B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007328014A JP4954861B2 (en) 2007-12-19 2007-12-19 Organic electroluminescence device and manufacturing method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007328014A JP4954861B2 (en) 2007-12-19 2007-12-19 Organic electroluminescence device and manufacturing method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009152015A true JP2009152015A (en) 2009-07-09
JP4954861B2 JP4954861B2 (en) 2012-06-20

Family

ID=40920923

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007328014A Active JP4954861B2 (en) 2007-12-19 2007-12-19 Organic electroluminescence device and manufacturing method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4954861B2 (en)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010027539A (en) * 2008-07-24 2010-02-04 Sumitomo Chemical Co Ltd Organic electroluminescent element, and manufacturing method therefor
JP2011077024A (en) * 2009-09-01 2011-04-14 Fujifilm Corp Organic electroluminescent element, manufacturing method of organic electroluminescent element, display device, and illumination device
JP2011222383A (en) * 2010-04-13 2011-11-04 Konica Minolta Holdings Inc Method of manufacturing organic electroluminescent element
KR101091034B1 (en) * 2009-11-10 2011-12-09 단국대학교 산학협력단 Organic Light-Emitting Memory Device And Display Device
JP2014075347A (en) * 2013-11-05 2014-04-24 Konica Minolta Inc Organic electroluminescent element and lighting system
JP2014192291A (en) * 2013-03-27 2014-10-06 Hitachi Chemical Co Ltd Polymerizable coating liquid, resin and organic electroluminescent element formed using the same, and method for producing polymerizable coating liquid and organic electroluminescent element
JP2015041699A (en) * 2013-08-22 2015-03-02 国立大学法人山形大学 Organic electroluminescent element
WO2016150687A1 (en) * 2015-03-23 2016-09-29 Osram Oled Gmbh Method for producing an organic charge-carrier generating layer and an organic light-emitting component with an organic charge-carrier generating layer

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007180020A (en) * 2005-11-30 2007-07-12 Sumitomo Chemical Co Ltd White organic electroluminescence element
JP2007242388A (en) * 2006-03-08 2007-09-20 Seiko Epson Corp Manufacturing method of light emitting device

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007180020A (en) * 2005-11-30 2007-07-12 Sumitomo Chemical Co Ltd White organic electroluminescence element
JP2007242388A (en) * 2006-03-08 2007-09-20 Seiko Epson Corp Manufacturing method of light emitting device

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010027539A (en) * 2008-07-24 2010-02-04 Sumitomo Chemical Co Ltd Organic electroluminescent element, and manufacturing method therefor
JP2011077024A (en) * 2009-09-01 2011-04-14 Fujifilm Corp Organic electroluminescent element, manufacturing method of organic electroluminescent element, display device, and illumination device
KR101091034B1 (en) * 2009-11-10 2011-12-09 단국대학교 산학협력단 Organic Light-Emitting Memory Device And Display Device
JP2011222383A (en) * 2010-04-13 2011-11-04 Konica Minolta Holdings Inc Method of manufacturing organic electroluminescent element
JP2014192291A (en) * 2013-03-27 2014-10-06 Hitachi Chemical Co Ltd Polymerizable coating liquid, resin and organic electroluminescent element formed using the same, and method for producing polymerizable coating liquid and organic electroluminescent element
JP2015041699A (en) * 2013-08-22 2015-03-02 国立大学法人山形大学 Organic electroluminescent element
JP2014075347A (en) * 2013-11-05 2014-04-24 Konica Minolta Inc Organic electroluminescent element and lighting system
WO2016150687A1 (en) * 2015-03-23 2016-09-29 Osram Oled Gmbh Method for producing an organic charge-carrier generating layer and an organic light-emitting component with an organic charge-carrier generating layer

Also Published As

Publication number Publication date
JP4954861B2 (en) 2012-06-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4954861B2 (en) Organic electroluminescence device and manufacturing method
KR102465407B1 (en) Electroluminescent device
KR101473220B1 (en) Electroluminescent Devices Comprising Heteroatomic Regioregular Poly(3-substituted thiophenes)
JP5611926B2 (en) ORGANIC LIGHT EMITTING DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
JP5184736B2 (en) Light emitting device and manufacturing method thereof
EP1753047B1 (en) Solution processed crosslinkable hole injection and hole transport polymers for oleds
KR20090092114A (en) Electron injecting layer comprising super acid salt, photovoltaic device including the same and electron injecting layer including the same
KR20140034174A (en) Organic light emitting device and method
EP2811524A1 (en) Organic light-emitting device
TW201712922A (en) Method of doping an organic semiconductor and doping composition
KR102471967B1 (en) Organic light-emitting device
US8569743B2 (en) Light-emitting component
Payandeh et al. High-brightness perovskite light-emitting diodes using a printable silver microflake contact
Lakshmanan et al. Engineered nanomaterials for organic light-emitting diodes (OLEDs)
Zhang et al. Efficient red phosphorescent organic light emitting diodes based on solution processed all-inorganic cesium lead halide perovskite as hole transporting layer
Charas et al. Oxetane-functionalized conjugated polymers in organic (opto) electronic devices
KR20170125356A (en) Phosphorescent ink
GB2527606A (en) Charge-transfer salt
TWI605071B (en) Organic light emissive device
CN107078225A (en) Organic luminescent device
US20220052303A1 (en) Method of manufacturing perovskite light emitting device by inkjet printing
WO2008007124A1 (en) A hybrid organic light emitting device
Geske et al. Organometal Halide Perovskites for Next Generation Fully Printed and Flexible LEDs and Displays
Kajii et al. Polymer Light-Emitting Devices with Selectively Transparent Photonic Crystals Consisting of Printed Inorganic/Organic Hybrid Dielectric Films
US8790937B2 (en) Zinc oxide-containing transparent conductive electrode

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20101020

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20111122

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20120221

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20120314

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Ref document number: 4954861

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150323

Year of fee payment: 3

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S303 Written request for registration of pledge or change of pledge

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316303

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S803 Written request for registration of cancellation of provisional registration

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316803

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113